EP3491663A1 - Vorrichtung zum greifen und transportieren von substraten - Google Patents

Vorrichtung zum greifen und transportieren von substraten

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Publication number
EP3491663A1
EP3491663A1 EP17755426.8A EP17755426A EP3491663A1 EP 3491663 A1 EP3491663 A1 EP 3491663A1 EP 17755426 A EP17755426 A EP 17755426A EP 3491663 A1 EP3491663 A1 EP 3491663A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
separating element
hollow
vacuum chambers
transport
gripping head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP17755426.8A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Achim Arnold
Florian WAMSLER
Klaus Oppelt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asys Automatisierungssysteme GmbH
Original Assignee
Asys Automatisierungssysteme GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asys Automatisierungssysteme GmbH filed Critical Asys Automatisierungssysteme GmbH
Publication of EP3491663A1 publication Critical patent/EP3491663A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G21/00—Supporting or protective framework or housings for endless load-carriers or traction elements of belt or chain conveyors
    • B65G21/20—Means incorporated in, or attached to, framework or housings for guiding load-carriers, traction elements or loads supported on moving surfaces
    • B65G21/2027—Suction retaining means
    • B65G21/2036—Suction retaining means for retaining the load on the load-carrying surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
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    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups

Definitions

  • the invention relates to a device for gripping and transporting substrates, in particular wafers, printed circuit boards, solar cells or the like, with a gripping head having at least one support surface for placement on a substrate and at least one suction device for sucking the substrate against the support surface, wherein the suction device has a plurality of negative pressure acted upon vacuum chambers, the associated with the support surface suction openings fluidly connected / connectable and are separated from each other in the longitudinal direction of the gripping head.
  • devices have emerged that no longer grip the substrate in a form-fitting or mechanical manner, but hold it by a negative pressure or a vacuum, or grasp and transport it.
  • devices which have a gripping head, which have at least one support surface for placement on the respective substrate.
  • the gripping head is thus not brought from below to the substrate or from the side, but rather from above onto the substrate, or the substrate is brought from below to the gripping head.
  • a gripping head to a suction device which generates the vacuum or the negative pressure to suck the substrate against the support surface so that it is held or gripped by the negative pressure.
  • the invention is therefore an object of the invention to provide a device for gripping and transporting substrates, which is inexpensive and technically easy to manufacture.
  • the object is achieved by a device having the features of claim 1.
  • This has the advantage that the gripping head or at least the vacuum chambers of the gripping head are created by a simple technical precaution, whereby differently sized gripping heads and a different number and size of vacuum chambers can be produced in a simple manner, so that an adaptation of the device or the gripping head with regard to certain boundary conditions and / or requirements can be realized without much extra effort. Because it can be used on known manufacturing processes, the production is also cost.
  • provision is made for the vacuum chambers to be formed by at least one hollow profile, which has a hollow chamber in which at least one separate separating element for producing adjacent vacuum chambers is arranged.
  • a hollow profile is characterized in that, seen in the longitudinal direction, it has a non-changing cross section as in the case of an extruded profile.
  • a hollow chamber extending continuously or extending along the longitudinal extent of the hollow profile can be created in a simple manner, by means of which the introduction of separating elements can be subdivided into separate vacuum chambers in a simple manner.
  • two separating elements In order to produce the desired size of a vacuum chamber, two separating elements must be arranged only in the appropriate distance from each other in the hollow chamber. Characterized in that separate separating elements are used, the hollow chamber can be formed by the hollow profile and subsequently subdivided.
  • the respective separating element is in particular in the hollow chamber and positioned and fixed at the desired location for forming the respective vacuum chamber.
  • an outer contour of the separating element corresponds at least substantially to the cross section of the hollow chamber in order to separate adjacent vacuum chambers from one another in a dense manner.
  • the outer contour of the separating element is made with excess in relation to the cross section of the hollow chamber, so that between the separating element and the hollow chamber a press fit occurs when the separating element is inserted into the hollow chamber.
  • the hollow profile has at least one first transverse bore leading into the hollow chamber, in which a fastening screw for locking the separating element in the hollow chamber is inserted / inserted.
  • the hollow profile has seen in its longitudinal extension several in particular evenly distributed transverse bores through which the fastening screw can be performed in order to fix the one or more separating elements seen at different positions in the longitudinal extension of the Hohlpro fils.
  • the respective separating element has at least one circumferential and elastically deformable sealing lip, which in the inserted state is prestressed against the inside of the hollow chamber.
  • a sealing compound is introduced through the first or a second transverse bore of the hollow section.
  • the sealant ensures that any existing space between the separating element and the hollow chamber or inner wall of the hollow chamber is sealed.
  • the fact that the sealant is introduced through the first transverse bore or second transverse bore it is ensured that sealant directly between the separator and the hollow chamber or their inner wall passes.
  • the sealant is introduced through the first transverse bore before the fastening screw is inserted.
  • the sealing compound is preferably introduced through the second transverse bore, while the separating element is already locked in the hollow chamber by a fastening screw inserted through the first transverse bore.
  • the second transverse bore is expediently at the same height, seen in the longitudinal extent of the hollow profile, formed in the Hohlpro fil as the first transverse bore to ensure easy installation and sealing.
  • one of the outer contour following lateral surface of the separating element has a groove which extends in the circumferential direction of the separating element and is aligned in the locked position by the fastening screw with the first and / or second transverse bore.
  • This ensures that the introduced by the first or second transverse sealant seal is introduced into the groove of the separating element.
  • the sealant distributed along the groove around the separator around. This ensures that the sealing compound can always completely surround the separating element along the groove, so that an advantageous sealing is fully guaranteed.
  • the sealant is silicone, in particular permanently elastic silicone. As a result, a safe separation of the vacuum chambers is guaranteed from each other in the long term.
  • an outlet opening for the sealing compound is formed in the hollow profile.
  • the outlet opening may be formed, for example, by the second or a third transverse bore.
  • the outlet opening allows the sealant to escape from the hollow profile again. This ensures in a simple manner that so much sealant is introduced until all air pockets were expelled.
  • the sealing compound projecting from the outlet opening can serve as a sealing element outside the hollow chamber, in particular as a separating element in a longitudinal groove of a track for a transport belt, as will be discussed in more detail later.
  • each Venturi nozzle is associated with a controllable valve which is assigned to a suction connection of the Venturi nozzle connected to the respective vacuum chamber in order to completely open or completely close the suction-side throughflow cross section as required.
  • the valve is designed as a proportional valve, so that it can also assume intermediate states in order, for example, to only partially release the throughflow cross section.
  • a transport device for moving a sucked substrate along the support surface is arranged on the gripper head.
  • the sucked substrate can thus be moved along the support surface and displaced, for example, from the region of a first vacuum chamber into the region of a second vacuum chamber, which can be individually pressurized, in particular by means of the aforementioned valves and venturi nozzles, with a negative pressure. This ensures that a substrate can be sucked in on one side of the gripping head and a substrate can be deposited on the other side at the same time.
  • the transport device has at least one transport belt, which extends in the longitudinal extent of the hollow profile and forms the bearing surface.
  • the fact that the support surface is formed by the transport belt it is avoided that during transport of the substrate relative movements between the substrate and support surface arise, through which the substrate could be damaged. This reduces the wear and reduces the load on the substrates to be transported.
  • the mammal openings are formed in the transport belt, wherein each vacuum chamber has through openings in the hollow profile, which lead from the vacuum chamber to a tread or track of the conveyor belt. This is ensured by fluidic connection between the vacuum chambers and the mammalian openings by means of the passage openings in the hollow profile.
  • the suction openings and conveyor belts and the passage openings in the high profile are uniformly spaced from each other, so that the substrate permanently or independently of the position along the Support surface can be sucked by the gripping head and held.
  • the suction openings are formed in the transport belt in a plurality of groups, each group having a plurality of suction openings, which are arranged uniformly distributed, wherein the groups themselves have a greater distance compared to each other.
  • the passage openings open into a longitudinal groove in the running surface, which lies below the conveyor belt, wherein the suction openings are formed in the region of the longitudinal groove in the transport belt.
  • the longitudinal groove in the longitudinal extent is preferably likewise divided by further separating elements, the separating elements preferably being formed by the sealing compound emerging from the outlet opening, as already described above become.
  • these are in particular on the underside of the conveyor belt and separate the adjacent negative pressure areas along the tread or the longitudinal groove in the tread from each other.
  • these further separating elements are designed as plug-in parts which are inserted into a passage opening or transverse bore.
  • the transport device has at least two, in particular exactly two of the transport belts, which are arranged parallel to one another and at a distance from one another on the gripping head.
  • the transport belts are formed as described above and held on the gripping head.
  • both transport belts each have a plurality of mammalian openings which cooperate with passage openings in the support structure and associated vacuum chambers.
  • the adjacent conveyor belt can cooperate with one or with a common vacuum chamber.
  • To 1 shows a device for gripping and transporting substrates in a simplified side view
  • FIG. 2 shows the device in a top view
  • FIG. 3 shows a first detail view of the device in a longitudinal sectional view
  • FIG. 4 shows a second detail view of the device in a cross-sectional representation
  • Figure 5 shows an advantageous development of the device in a perspective
  • FIGS 6A and 6B an advantageous development of the device in two different
  • FIG. 1 shows, in a simplified longitudinal sectional representation, an advantageous device 1 for gripping and transporting substrates, which are not shown here, which is shown in FIG. 2 in a plan view.
  • the longitudinal section is indicated in FIG. 2 by a dashed line B-B.
  • the device 1 has a gripping head 2, which is elongate and for this purpose has a length which is significantly greater than a width and height.
  • the gripping head 2 is formed in several parts. In this case, the gripping head 2 on a support structure 3, which is formed of two mutually parallel and spaced-apart hollow sections 4 and by a plurality of the two hollow sections 4 interconnecting intermediate elements 5.
  • three of the intermediate elements 5 each carry a Venturi nozzle 6 which has at least one pressure port 7 and a suction port 8.
  • the pressure ports 7 are connectable or connected to a compressed air generator not shown here.
  • the suction ports 8 are connected to a through the respective intermediate element 5 transversely extending suction channel 9, which opens at its two ends in the Hohlpro file 4.
  • the Hohlpro file 4 have in the present case three vacuum chambers 10, 11, 12, which are seen in the longitudinal extension of the gripping head 2 arranged one behind the other. In this case, the vacuum chambers 10, 11, 12 of the two Hohlpro file 4 parallel to each other, the hollow sections 4 are insofar mirror image of each other.
  • the opposing vacuum chambers 10, 11, 12 are in each case connected to a suction channel 9 of the associated intermediate element 5.
  • the vacuum chambers 10, 11, 12 are each connected to the suction side with one of the Venturi nozzles 6, so that upon pressurization of the Venturi nozzles 6 at the respective pressure port 7, a negative pressure to the respective vacuum chamber 10, 11, 12 is generated.
  • the hollow sections also have a multiplicity of side-by-side through openings 14, which in the present case are formed as through-holes, and open on one side into the respective vacuum chamber 10, 11 or 12 and at the other end on a tread 15 for a conveyor belt 16 end.
  • the transport belt 16 is part of a transport device 17 which comprises two transport belts 16, each of which rotates one of the Hohlpro file 4 in its longitudinal extent.
  • two deflection rollers 18 and 19 are arranged at the longitudinal ends of the Hohlpro file 4 and at the end-side intermediate elements 5, which are rotatably supported on the support structure 3.
  • the axes of rotation of the deflection rollers 18 and 19 are aligned parallel to one another and perpendicular to the longitudinal extent of the gripping head 2.
  • the respective transport belt 16, which rotates around the gripping head 2 thus revolves it both on the underside and on its upper side.
  • the previously mentioned tread 15 is associated with the underside of the gripping head 2.
  • a drive device 20 is expediently provided, which is coupled in accordance with the present embodiment with the deflection rollers 19 in order to drive them when needed, so that the respective transport belt 16 is guided around the gripping head 2.
  • the running surface 15 or raceway has a longitudinal groove 21 which extends over the longitudinal extension of the respective hollow profile 4 and into which the passage openings 14 open.
  • the longitudinal groove 21 is formed open to the conveyor belt 16, so that the negative pressure on the Hohlpro fil 4 facing back of the conveyor belt 16, so that at existing negative pressure in the respective Hohlpro fil 4 of the conveyor belt 16 against the tread 15 and the respective hollow profile 4 is pulled.
  • the transport belts 16 themselves have a plurality of mammalian openings 22.
  • the suction openings 22 are formed in the respective carrying strap 16 such that they are present in groups, wherein a group in the present case comprises seven suction openings 22, which in the longitudinal extension of the Transport belt 16 are formed one behind the other, and wherein the groups 23 of mammalian openings 22 in the longitudinal extension of the conveyor belt 23 have a relatively large distance from each other, according to the present exemplary embodiment, the groups 23 are evenly spaced from each other, but so far apart that when the one group is completely in the region of the vacuum chamber 10, the next group 23 is completely in the vacuum chamber 12.
  • the groups 23 of the adjacent conveyor belts 16 are arranged side by side, as shown in FIG.
  • the suction openings 22 may be evenly distributed, so not grouped, distributed along the conveyor belt 16.
  • the mammal openings 22 are formed centrally in the respective transport belt 16 and therefore are in operative connection with the respective longitudinal slot 21 or the respective vacuum chamber 10, 11, 12, depending on the position in which the respective transport belt 16 is located. Due to the longitudinal slot 21 in the tread 15 ensures that over the entire length of the hollow profile continuously negative pressure on the mammalian openings 22 can rest, at least when all three Venturi nozzles 6 acted upon with compressed air and suction side with the respective vacuum chamber 10, 11, 12 are connected ,
  • FIG. 3 shows, in an enlarged detailed sectional view, a detail from FIG. 1, which is identified by a circle A in FIG.
  • the vacuum chambers 10, 11, 12 are formed in the respective Hohlpro fil 4 by a longitudinal extent of the hollow section 4 extending hollow chamber 25, wherein the hollow chamber 25 is subdivided by separating elements 24 into the individual vacuum chambers 10, 11, 12.
  • This allows cost-effective production, because the hollow sections 4 can be produced, for example, as extruded profiles.
  • the respective separating element 24 is subsequently inserted into the hollow chamber 25, so that the three vacuum chambers 10, 1 1, 12 arise, which are each associated with one of the venturi 6.
  • the longitudinal groove 21 is also divided by dividing elements 26 into three sections corresponding to the vacuum chambers 10, 11, 12.
  • These separating elements 26 are formed for example as projections which bridge the longitudinal groove 21, and on which the respective transport belt 16 rests, as shown by way of example in FIG.
  • the separating elements 24 expediently have an outer contour which corresponds to the cross section of the hollow chamber 25 in order to separate the vacuum chambers 10, 11, 12 as well as possible from each other in terms of flow.
  • the separating elements with their insertion into the hollow chamber 25 with a sealant, in particular silicone, which preferably hardens permanently elastic, encapsulated in order to ensure a secure seal.
  • the separating elements each have a circumferential groove into which the sealing compound is introduced from the outside.
  • the hollow sections 4 expediently transverse bores, through which the sealant can be introduced.
  • so much sealant is introduced that the sealant protrudes from one of the transverse bores, this transverse bore then opening in particular into the longitudinal groove 21.
  • the then protruding sealing compound forms the separating elements 26, by which the longitudinal groove 21 in the respective areas, the vacuum chambers 10, 11, 12 assigned, is divided.
  • FIG. 4 shows a cross section through the gripping head 2.
  • the cross section along the line C - C from FIG. 2 is shown, so that the cross section leads through the vacuum chamber 10.
  • the conveyor belt 16 is securely guided on the respective Hohlpro fil 4, this particular has a guide 27 for the conveyor belt 16.
  • the guide is designed in particular form-fitting and can be realized in different ways.
  • the respective transport belt 16 on the inside a receptacle 28, in which the support structure 3, in particular the respective hollow profile 4 or a guide profile arranged thereon 29, which will be discussed in more detail later, with the tread 15 rests in regions, so that the transport belt 16 engages around the running surface 15 laterally.
  • the side of the transport belt 16 is thereby guided in a simple manner by the support structure 3 in a form-fitting manner in the longitudinal direction.
  • Each of the venturi nozzles 6 furthermore has a controllable valve 30, which is assigned to the suction connection 9 of the respective venturi nozzle 6.
  • the switching valves 30 are in particular designed to completely release the flow cross-section of the suction connection or to completely close it.
  • the valves 30 are designed as proportional valves, which also allow an intermediate position in which, for example, the flow cross-section will only partially release.
  • the gripping head 2 is first guided downwards and placed on a substrate, for example a waver, or the substrate is guided from below to the gripping head 2. This is done, for example, such that the gripping head 2 is placed in the region of the vacuum chamber 10 on the substrate.
  • a negative pressure in the vacuum chamber 10 is generated, which acts through the vacuum chamber 10, the through holes 14, the longitudinal groove 21 and the suction openings 22 on the substrate and this attracts against the conveyor belt 16.
  • the drive device 20 is actuated to move the transport belts 16, so that the substrate is moved along the support surface 29 on the gripper head 2.
  • the substrate is displaced, for example, from the region of the vacuum chamber 10 into the region of the vacuum chamber 11 or the vacuum chamber 12. Once there, the substrate can be quickly deposited by the respective valve 30 is driven to close the respective suction-side flow cross-section of the corresponding Venturi nozzle 6.
  • FIG. 5 shows an advantageous development of the device 1 in a perspective detail view.
  • This shows the pulleys 18 of the transport device 17, which are mounted on a common shaft.
  • the shaft 30 is rotatably mounted in a housing part 31.
  • the housing part 31 is displaceable relative to the support structure 3 of the gripping head 2 in its longitudinal extent.
  • the housing part 31 is associated with a pneumatic actuator 32, which moves the housing 31 with the deflection rollers 18 against the clamping force of the transport belt 16 in order to set a desired belt tension.
  • the actuator 32 to a pneumatic cylinder 33, in which a pneumatic piston 34 is arranged axially displaceable.
  • the pneumatic piston 34 is connected to the housing part 31 in order to displace it against the tensioning force of the transport belts 16, as indicated by an arrow 35.
  • the pneumatic actuator 32 can be acted upon, for example, by the same compressed air generator, as well as the venturi 6. Alternatively, the actuator 32 has its own compressed air generator. Because compressed air is used here as a means of generating force, it is ensured that the transport belt 16 is not overstretched.
  • an optional Spring element 36 which is biased between the support structure 3 and the housing part 31, the housing part 31 is also urged against the clamping force of the conveyor belt 16 to the outside. This ensures that the transport belts 16 do not jump off the deflection rollers 18 in the event of a pressure failure of the pneumatic actuator 32. As a result, a safe and permanent operation of the device 1 is ensured.
  • the actuator 32 thus forms together with the movably mounted deflection rollers 18, a belt tensioner 38, by means of which the tension of the transport belt 16 is adjustable. This ensures that the conveyor belts 16 do not detach from the running surface 15 of the hollow file 4, which would result in a false air and thus a release of the negative pressure, which could lead to a substrate being detached from the gripping head 2.
  • the pneumatic belt tensioner 38 By means of the pneumatic belt tensioner 38, thermal changes and signs of aging of the transport belts 16 can be taken into account and compensated during operation.
  • the belt tensioner 38 allows a simple and tool-free replacement of the conveyor belt.
  • the support structure 3 and the Hohlpro file 4 are formed such that the tread 15 is formed curved downwards or in the direction of the substrate to be gripped.
  • the curvature is formed such that it biases the respective transport belt over the entire length of the tread 15 against the tread 15. This takes into account that due to the weight of the transport belt 16, this could sag in the direction of the substrate, if a sufficient belt tension is not present.
  • the Curvature formed by the respective Hohlpro fil 4 itself.
  • the curvature is formed by the attached to the respective Hohlpro fil 4 guide profile 39, which forms the tread 15 on the Hohlpro fil 4.
  • the passage openings 14 are further developed as through-holes in the guide profile 39, as can also be seen in FIG. 1, thereby connecting the respective longitudinal groove 21 with the vacuum chambers 10, 11 and 12.
  • the vacuum chambers 10, 11, 12 and the passage openings 14 in the hollow profile 4 are thus not directly, but indirectly connected by the guide profile 39 with the tread 15 and the transport belt 16.
  • the transport belts 16 on the upper side of the support structure 3 essentially run freely, so that frictional forces are minimized.
  • To guide the transport belt 16 on the top of optional lateral guide rollers 37 are provided which are assigned to the respective transport belt 16 on both sides, so that it is felt between them.
  • the transport rollers 37 are expediently distributed uniformly over the longitudinal extent of the support structure 3 on the upper side in order to ensure a secure transport belt guide.
  • FIGS. 6A and 6B show in two simplified perspective sectional views of one of the hollow sections 4.
  • the section extends along the longitudinal extent of the hollow section 4, so that it passes through the hollow chamber 25, the fürgangsöffhungen 14 and the longitudinal groove 21.
  • FIG. 6A shows a view of the cut surface and
  • FIG. 6B shows the outside of the hollow profile 4.
  • the through-openings 14 are not formed as through-holes, but rather as elongated holes in order to allow a larger volume flow.
  • a further transverse bore 40 is formed, which extends parallel to the passage openings 14 in the hollow chamber 25 and thereby longitudinal groove 21 and hollow chamber 25 connect to each other.
  • the previously mentioned separating element 24 is arranged in the hollow chamber 25 and has a cross-section of the hollow chamber 25 adapted outer contour, as already mentioned above.
  • the separating element 24 has, along its circumferential circumferential surface, a groove 41 which extends in the circumferential direction over the entire separating element 24.
  • a sealing compound in particular a permanently elastic hardening silicone, introduced into the hollow chamber 25 through the transverse bore 40, so that the sealant along the groove 41 of the partition member 24 is distributed in the hollow chamber 25 and thereby existing spaces between separating element 24 and the inside of the hollow chamber 25th securely closes.
  • a secure seal of the adjacent vacuum chambers 10, 11, 12 ensures each other in a simple manner.
  • the further separating element 26 is inserted into the transverse bore 40, which separates the longitudinal groove 21 according to the arrangement of the vacuum chambers 10, 11, 12 from each other to obtain the different areas along the tread 15, as previously mentioned.
  • the separating element 26 can be designed as a separate separating element.
  • the sealing compound 45 can be introduced through the transverse bore 42 past the fastening screw 43 or before the fastening screw 43 is inserted into the groove 41 and optionally emerge again through the transverse bore 40, which then forms an outlet opening 46 for the sealing compound 45, around the sealing element 26 to build.
  • the filling holes for the sealant can then be closed by fastening screws or sealing screws.
  • a further transverse bore, in particular threaded bore in the Hohlpro fil 41 may be formed through which the sealant can escape during filling again.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Greifen und Transportieren von Substraten, insbesondere Wafern, Leiterplatten, Solarzellen oder dergleichen, mit einem Greifkopf (2), der zumindest eine Auflagefläche (29) zum Auflegen auf ein Substrat und zumindest eine Saugeinrichtung zum Ansaugen des Substrats gegen die Auflagefläche (29) aufweist, wobei die Saugeinrichtung mehrere mit einem Unterdruck beaufschlagbare Vakuumkammern (10,11,12) aufweist, die mit der Auflagefläche (29) zugeordneten Saugöffnungen (22) strömungstechnisch verbunden/verbindbar und in Längsrichtung des Greifkopf (2) voneinander getrennt sind. Es ist vorgesehen, dass die Vakuumkammern (10,11,12) durch zumindest ein Hohlprofil gebildet sind, das eine Hohlkammer (25) aufweist, in welcher zumindest ein separates Trennelement (24) zum Herstellen benachbarter Vakuumkammern (10,11,12) angeordnet ist.

Description

BESCHREIBUNG
Vorrichtung zum Greifen und Transportieren von Substraten
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Greifen und Transportieren von Substraten, insbesondere Wafern, Leiterplatten, Solarzellen oder dergleichen, mit einem Greifkopf, der zumindest eine Auflagefläche zum Auflegen auf ein Substrat und zumindest eine Saugeinrichtung zum Ansaugen des Substrats gegen die Auflagefläche aufweist, wobei die Saugeinrichtung mehrere mit einem Unterdruck beaufschlagbare Vakuumkammern aufweist, die mit der Auflagefläche zugeordneten Saugöffnungen strömungstechnisch verbunden/verbindbar und in Längsrichtung des Greifkopfs voneinander getrennt sind.
Vorrichtungen der eingangs genannten Art sind aus dem Stand der Technik bekannt. Bei der Bearbeitung von Substraten, wie Wafern, Leiterplatten, Solarzellen oder dergleichen, ist es häufig notwendig, das Substrat beispielsweise von einer ersten Bearbeitungsstation zu einer zweiten Bearbeitungsstation zu bewegen. Dies kann manuell erfolgen, wird jedoch bevorzugt automatisiert durchgeführt, um insbesondere auch Reinhaltungserfordernissen gerecht werden zu können. Damit die Substrate selbst oder auf den Substraten angeordnete Bauteile, wie beispielweise elektronische/elektrische Komponenten, während des Transports nicht beschädigt werden, ist es notwendig, eine Vorrichtung zu schaffen, die einen sicheren und vorsichtigen Transport der Substrate gewährleistet, wobei gleichzeitig auch Anforderungen an Effizienz und Durchsatz erfüllt werden müssen.
Als eine vorteilhafte Lösung haben sich Vorrichtungen herausgestellt, die das Substrat nicht mehr formschlüssig beziehungsweise mechanisch greifen, sondern dieses durch einen Unterdruck oder ein Vakuum halten, beziehungsweise greifen und transportieren. So sind Vorrichtungen bekannt, die einen Greifkopf aufweisen, der zumindest eine Auflagefläche zum Auflegen auf das jeweilige Substrat aufweisen. Der Greifkopf wird somit nicht von unten an das Substrat herangeführt oder von der Seite, sondern vielmehr von oben auf das Substrat aufgelegt, oder das Substrat wird von unten an den Greifkopf herangeführt. Des Weiteren weist ein derartiger Greifkopf eine Saugeinrichtung auf, die das Vakuum beziehungsweise den Unterdruck erzeugt, um das Substrat gegen die Auflagefläche anzusaugen, sodass es an dieser durch den Unterdruck gehalten beziehungsweise gegriffen ist. Um zu erreichen, dass entlang des Greifkopfs mehrere Substrate gleichzeitig gehandhabt werden können, sodass beispielsweise in einem ersten Bereich ein Substrat gegriffen und in einem zweiten Bereich gleichzeitig ein Substrat abgelegt wird, ist es bekannt, den Greifkopf mit mehreren Vakuumkammern zu versehen, die durch eine Saugeinrichtung individuell mit einem Unterdruck beaufschlagt werden können. Damit die Vakuumkammern sich nicht gegenseitig beeinflussen, müssen diese voneinander getrennt sein. Die einfachste Lösung ist es, separate Vakuumkammern herzustellen und an dem Greifkopf anzuordnen. Die hat jedoch den Nachteil, dass die Herstellung verhältnismäßig aufwendig und kostenintensiv ist.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Greifen und Transportieren von Substraten zu schaffen, welche kostengünstig und technisch einfach herstellbar ist.
Die Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Diese hat den Vorteil, dass der Greifkopf oder zumindest die Vakuumkammern des Greifkopfs durch eine einfache technische Vorkehrung geschaffen werden, wodurch unterschiedlich große Greifköpfe und eine unterschiedliche Anzahl und Größe von Vakuumkammern auf einfache Art und Weise herstellbar sind, sodass eine Anpassung der Vorrichtung beziehungsweise des Greifkopfs in Bezug auf bestimmte Randbedingungen und/oder Anforderungen ohne großen Mehraufwand realisierbar ist. Weil dabei auf bekannte Herstellungsverfahren zurückgegriffen werden kann, erfolgt die Herstellung auch kostengünstig. Erfindungsgemäß ist dazu vorgesehen, dass die Vakuumkammern von zumindest einem Hohlprofü gebildet sind, das eine Hohlkammer aufweist, in welcher zumindest ein separates Trennelement zum Herstellen benachbarter Vakuumkammern angeordnet ist. Ein Hohlprofil zeichnet sich dadurch aus, dass es in Längserstreckung gesehen einen sich nicht verändernden Querschnitt wie bei einem Strangpressprofil aufweist. Dadurch kann auf einfache Art und Weise eine durchgehend beziehungsweise sich in Längserstreckung des Hohlprofils erstreckende Hohlkammer geschaffen werden, durch die das Einbringen von Trennelementen auf einfache Art und Weise in voneinander getrennte Vakuumkammern unterteilbar ist. Um die gewünschte Größe einer Vakuumkammer herzustellen, müssen zwei Trennelemente nur in dem entsprechenden Abstand voneinander in der Hohlkammer angeordnet werden. Dadurch, dass separate Trennelemente verwendet werden, kann die Hohlkammer durch das Hohlprofil gebildet und nachträglich unterteilt werden. Das jeweilige Trennelement wird insbesondere in die Hohlkammer eingeschoben und an der gewünschten Stelle zum Bilden der jeweiligen Vakuumkammer positioniert und befestigt.
Vorzugsweise entspricht eine Außenkontur des Trennelements zumindest im Wesentlichen dem Querschnitt der Hohlkammer, um benachbarte Vakuumkammern voneinander dicht abzutrennen. In einer Ausführungsform ist bevorzugt vorgesehen, dass die Außenkontur des Trennelements mit Übermaß in Bezug auf den Querschnitt der Hohlkammer gefertigt ist, sodass zwischen Trennelement und Hohlkammer eine Presspassung erfolgt, wenn das Trennelement in die Hohlkammer eingeschoben wird. Dadurch ist einerseits eine sichere Arretierung an der gewünschten Stelle und andererseits ein sicheres Abdichten benachbarter Vakuumkammern voneinander gewährleistet.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Hohlprofil wenigstens eine in die Hohlkammer führende erste Querbohrung aufweist, in welcher eine Befestigungsschraube zum Arretieren des Trennelements in der Hohlkammer eingeführt/einführbar ist. Hierdurch ist eine einfache Montage und Arretierung des Trennelements an der gewünschten Stelle in der Hohlkammer gewährleistet, insbesondere auch dann, wenn durch Trennelement und Hohlkammer keine Presspassung gebildet wird. Wird auf die Presspassung verzichtet, ist insbesondere das Einschieben des Trennelements in die Hohlkammer vereinfacht aufgrund der verringerten Reibung zwischen Trennelement und Hohlkammer. Durch das Hinzufügen der Befestigungsschraube lässt sich das Trennelement dennoch sicher und fest in der Hohlkammer arretieren. Zweckmäßigerweise weist das Hohlprofil dazu in seiner Längserstreckung gesehen mehrere insbesondere gleichmäßig verteilt angeordnete Querbohrungen auf, durch welche die Befestigungsschraube geführt werden kann, um das eine oder mehrere Trennelemente an unterschiedlichen Positionen in Längserstreckung des Hohlpro fils gesehen, befestigen zu können. Optional weist das jeweilige Trennelement wenigstens eine umlaufende und elastisch verformbare Dichtlippe auf, die im eingesetzten Zustand gegen die Innenseite der Hohlkammer vorgespannt ist.
Weiterhin ist bevorzugt vorgesehen, dass zwischen Trennelement und Hohlkammer eine Dichtmasse durch die erste oder eine zweite Querbohrung des Hohlprofüs eingebracht ist. Die Dichtmasse sorgt dafür, dass gegebenenfalls vorhandener Freiraum zwischen Trennelement und Hohlkammer beziehungsweise Innenwand der Hohlkammer dicht abgeschlossen ist. Dadurch, dass die Dichtmasse durch die erste Querbohrung oder zweite Querbohrung eingebracht wird, ist gewährleistet, dass Dichtmasse direkt zwischen Trennelement und Hohlkammer beziehungsweise deren Innenwand gelangt. Hierdurch ist es möglich, dass die Außenkontur des Trennelements kleiner ausgebildet ist, als die Innenkontur der Hohlkammer, weil der verbleibende Freiraum anschließend durch die Dichtmasse aufgefüllt ist und dadurch benachbarte Vakuumkammer sicher voneinander dichtend abgetrennt sind. Vorzugsweise wird die Dichtmasse durch die erste Querbohrung eingebracht, bevor die Befestigungsschraube eingeführt wird. Alternativ wird die Dichtmasse bevorzugt durch die zweite Querbohrung eingeführt, während das Trennelement durch eine durch die erste Querbohrung eingeführte Befestigungsschraube bereits in der Hohlkammer arretiert ist. Die zweite Querbohrung ist zweckmäßigerweise auf gleicher Höhe, in Längserstreckung des Hohlprofils gesehen, in dem Hohlpro fil ausgebildet wie die erste Querbohrung, um eine einfache Montage und Dichtung zu gewährleisten.
Besonders bevorzugt ist vorgesehen, dass eine der Außenkontur folgende Mantelfläche des Trennelements eine Nut aufweist, die sich in Umfangsrichtung des Trennelements erstreckt und in der durch die Befestigungsschraube arretierten Stellung mit der ersten und/oder zweiten Querbohrung fluchtet. Hierdurch wird erreicht, dass die durch die erste oder zweite Querbohrung eingebrachte Dichtmasse in die Nut des Trennelements eingebracht wird. Damit verteilt sich die Dichtmasse entlang der Nut um das Trennelement herum. Dadurch wird gewährleistet, dass die Dichtmasse das Trennelement entlang der Nut stets vollumfänglich umschließen kann, sodass eine vorteilhafte Abdichtung vollumfänglich gewährleistet ist. Insbesondere ist vorgesehen, dass die Dichtmasse Silikon ist, insbesondere dauerelastischaushärtendes Silikon. Dadurch ist ein sicheres Trennen der Vakuumkammern voneinander auf Dauer gewährleistet. Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass in dem Hohlprofil eine Auslassöffnung für die Dichtmasse ausgebildet ist. Die Auslassöffnung kann beispielsweise durch die zweite oder eine dritte Querbohrung gebildet sein. Die Auslassöffnung erlaubt, dass die Dichtmasse wieder aus dem Hohlprofil austreten kann. Dadurch wird auf einfache Art und Weise gewährleistet, dass so viel Dichtmasse eingebracht wird, bis sämtliche Lufteinschlüsse ausgetrieben wurden. Darüber hinaus kann die aus der Auslassöffnung vorstehende Dichtmasse als Dichtelement außerhalb der Hohlkammer dienen, insbesondere als Trennelement in einer Längsnut einer Laufbahn für einen Transportriemen, wie später näher erörtert werden soll.
Weiterhin ist bevorzugt vorgesehen, dass die Saugeinrichtung für jede der Vakuumkammern jeweils eine Venturidüse zum Erzeugen des Unterdrucks in der jeweiligen Vakuumkammer aufweist. Hierdurch ist ein schnelles Erzeugen und Aufheben des Unterdrucks in der jeweiligen Vakuumkammer möglich. Insbesondere ist dazu jeder Venturidüse ein ansteuerbares Ventil zugeordnet, welches einem mit der jeweiligen Vakuumkammer verbundenen Sauganschluss der Venturidüse zugeordnet ist, um den saugseitigen Durchströmungsquerschnitt bei Bedarf vollständig freizugeben oder vollständig zu verschließen. Insbesondere ist das Ventil als Proportionalventil ausgebildet, sodass es auch Zwischenzustände einnehmen kann, um den Durchströmungsquerschnitt beispielsweise nur teilweise freizugeben. Durch das Vorsehen des jeweiligen Ventils wird erreicht, dass eine Druckbeaufschlagung der Venturidüse nicht unterbrochen werden muss, wenn der Unterdruck in der jeweiligen Vakuumkammer verändert werden soll. Dadurch ist ein schnelles Erzeugen und Aufheben des Unterdrucks in der jeweiligen Vakuumkammer durch Betätigen des Ventils möglich.
Vorteilhafterweise ist an dem Greifkopf eine Transporteinrichtung zum Bewegen eines angesaugten Substrats entlang der Auflagefläche angeordnet. Mittels des Greifkopfs lässt sich damit das angesaugte Substrat entlang der Auflagefläche bewegen und beispielsweise von dem Bereich einer ersten Vakuumkammer in den Bereich einer zweiten Vakuumkammer verlagern, die individuell insbesondere mittels der zuvor genannten Ventile und Venturidüsen mit einem Unterdruck beaufschlagbar sind. Dadurch wird gewährleistet, dass an einer Seite des Greifkopfs ein Substrat angesaugt und an der anderen Seite ein Substrat gleichzeitig abgelegt werden kann.
Weiterhin ist bevorzugt vorgesehen, dass die Transporteinrichtung wenigstens einen Transportriemen aufweist, der sich in Längserstreckung des Hohlprofils erstreckt und die Auflagefläche bildet. Dadurch, dass die Auflagefläche von dem Transportriemen gebildet wird, wird vermieden, dass beim Transport des Substrats Relativbewegungen zwischen Substrat und Auflagefläche entstehen, durch welche das Substrat beschädigt werden könnte. Hierdurch wird der Verschleiß verringert und die Belastung der zu transportierenden Substrate reduziert. Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Säugöffnungen in dem Transportriemen ausgebildet sind, wobei jede Vakuumkammer Durchgangsöffnungen in dem Hohlprofil aufweist, die von der Vakuumkammer zu einer Lauffläche beziehungsweise Laufbahn des Transportriemens führen. Damit ist durch strömungstechnische Verbindung zwischen den Vakuumkammern und den Säugöffnungen mittels der Durchgangsöffnungen im Hohlprofil gewährleistet. Zweckmäßigerweise sind die Saugöffnungen und Transportriemen sowie die Durchgangsöffnungen im Hochprofil gleichmäßig beabstandet zueinander ausgebildet, sodass das Substrat dauerhaft beziehungsweise unabhängig von der Position entlang der Auflagefläche durch den Greifkopf angesaugt werden und gehalten werden kann. Alternativ sind die Saugöffnungen in dem Transportriemen in mehreren Gruppen ausgebildet, wobei jede Gruppe mehrere Saugöffnungen aufweist, die gleichmäßig verteilt angeordnet sind, wobei die Gruppen zueinander selbst einen im Vergleich dazu größeren Abstand zueinander aufweisen. Insbesondere ist vorgesehen, dass die Durchgangsöffnungen in eine Längsnut in der Lauffläche münden, welche unterhalb des Transportriemens liegt, wobei die Saugöffnungen im Bereich der Längsnut in dem Transportriemen ausgebildet sind. Dadurch ist gewährleistet, dass unabhängig von der Position des Transportriemens entlang der Lauffläche durchgehend ein Unterdruck auf die Saugöffnungen ausgeübt werden und damit ein Substrat sicher transportiert werden kann. Damit gewährleistet ist, dass die in den Vakuumkammern gegebenenfalls unterschiedlichen Unterdrücke sich auch unterschiedlich auf die Saugöffnungen auswirken, ist die Längsnut in Längserstreckung bevorzugt ebenfalls durch weitere Trennelemente unterteilt, wobei die Trennelemente bevorzugt, wie zuvor bereits beschrieben, durch die aus der Auslassöffnung herausgetretenen Dichtmasse gebildet werden. Dadurch liegen diese insbesondere an der Unterseite des Transportriemens an und trennen die benachbarten Unterdruckbereiche entlang der Lauffläche beziehungsweise der Längsnut in der Lauffläche voneinander. Alternativ sind diese weiteren Trennelemente als Einsteckteile ausgebildet, die in eine Durchgangsöffnung oder Querbohrung eingesteckt sind.
Weiterhin ist bevorzugt vorgesehen, dass die Transporteinrichtung wenigstens zwei, insbesondere genau zwei der Transportriemen aufweist, die parallel zueinander und beabstandet voneinander an dem Greifkopf angeordnet sind. Die Transportriemen sind dabei wie zuvor beschrieben ausgebildet und an dem Greifkopf gehalten. Insbesondere weisen beide Transportriemen jeweils mehrere Säugöffnungen auf, die mit Durchgangsöffnungen in der Tragstruktur und zugehörigen Vakuumkammern zusammenwirken. Dabei können die benachbarten Transportriemen mit jeweils einer oder mit einer gemeinsamen Vakuumkammer zusammenwirken. Durch das Vorsehen der zwei Transportriemen sind die Substrate beispielsweise an ihren Randbereichen auf einfache Art und Weise greifbar und transportierbar. Dadurch wird die Freiheit bei Gestaltung der Substrate selbst erhöht und der Transport vereinfacht. Insbesondere ist dadurch eine symmetrische Beaufschlagung des jeweiligen Substrats mit den Haltekräften möglich, wodurch die Belastung des Substrats beim Transport verringert wird.
Im Folgenden soll die Erfindung anhand der Zeichnung näher erörtert werden. Dazu Figur 1 eine Vorrichtung zum Greifen und Transportieren von Substraten in einer vereinfachten Seitenansicht,
Figur 2 die Vorrichtung in einer Draufsicht,
Figur 3 eine erste Detailansicht der Vorrichtung in einer Längsschnittdarstellung, Figur 4 eine zweite Detailansicht der Vorrichtung in einer Querschnittdarstellung,
Figur 5 eine vorteilhafte Weiterbildung der Vorrichtung in einer perspektivischen
Teildarstellung und
Figuren 6A und 6B eine vorteilhafte Weiterbildung der Vorrichtung in zwei unterschiedlichen
Ansichten. Figur 1 zeigt in einer vereinfachten Längsschnittdarstellung eine vorteilhafte Vorrichtung 1 zum Greifen und Transportieren von hier nicht näher dargestellten Substraten, die in Figur 2 in einer Draufsicht gezeigt ist. Der Längsschnitt ist in Figur 2 durch eine gestrichelte Linie B-B gekennzeichnet. Die Vorrichtung 1 weist einen Greifkopf 2 auf, der länglich ausgebildet ist und hierzu eine Länge aufweist, die deutlich größer als eine Breite und auch Höhe ist. Der Greifkopf 2 ist mehrteilig ausgebildet. Dabei weist der Greifkopf 2 eine Trägerstruktur 3 auf, die aus zwei parallel zueinander und beabstandet zueinander angeordneten Hohlprofilen 4 sowie durch mehrere die beiden Hohlprofüe 4 miteinander verbindende Zwischenelemente 5 gebildet ist.
Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel tragen drei der Zwischenelemente 5 jeweils eine Venturidüse 6, die zumindest einen Druckanschluss 7 und einen Sauganschluss 8 aufweist. Die Druckanschlüsse 7 sind mit einem hier nicht näher gezeigten Drucklufterzeuger verbindbar beziehungsweise verbunden. Die Sauganschlüsse 8 sind mit einem durch das jeweilige Zwischenelement 5 quer verlaufenden Saugkanal 9 verbunden, welcher an seinen beiden Enden in die Hohlpro file 4 mündet. Die Hohlpro file 4 weisen vorliegend jeweils drei Vakuumkammern 10, 11, 12 auf, die in der Längserstreckung des Greifkopfs 2 gesehen hintereinanderliegend angeordnet sind. Dabei liegen die Vakuumkammern 10, 11, 12 der beiden Hohlpro file 4 parallel zueinander, die Hohlprofile 4 sind insofern spiegelbildlich zueinander ausgebildet. Die einander gegenüberliegenden Vakuumkammern 10, 11, 12 sind dabei mit jeweils einem Saugkanal 9 des zugehörigen Zwischenelements 5 verbunden. Damit sind die Vakuumkammern 10, 11, 12 mit jeweils einer der Venturidüsen 6 saugseitig verbunden, sodass bei Druckbeaufschlagung der Venturidüsen 6 an dem jeweiligen Druckanschluss 7 ein Unterdruck an der jeweiligen Vakuumkammer 10, 11, 12 erzeugt wird.
Die Vakuumkammern 10, 11, 12 erstrecken sich jeweils längs des jeweiligen Hohlprofils 4. Das Hohlprofil weist darüber hinaus eine Vielzahl nebeneinander angeordneter Durchgangsöffnungen 14 auf, die vorliegend als Durchbohrungen ausgebildet sind, und einseitig in die jeweilige Vakuumkammer 10, 11 oder 12 münden und anderendig an einer Lauffläche 15 für einen Transportriemen 16 enden.
Der Transportriemen 16 ist Bestandteil einer Transporteinrichtung 17, welche zwei Transportriemen 16 umfasst, die jeweils eines der Hohlpro file 4 in ihrer Längserstreckung umlaufen. Dazu sind an den längsseitigen Enden der Hohlpro file 4 beziehungsweise an den endseitigen Zwischenelementen 5 jeweils zwei Umlenkrollen 18 beziehungsweise 19 angeordnet, die drehbar an der Tragstruktur 3 gehalten sind. Dabei sind die Drehachsen der Umlenkrollen 18 und 19 parallel zueinander und senkrecht zur Längserstreckung des Greifkopfs 2 ausgerichtet. Der jeweilige Transportriemen 16, der den Greifkopf 2 umläuft, umläuft diesen somit sowohl an der Unterseite als auch an seiner Oberseite. Die zuvor bereits erwähnte Lauffläche 15 ist der Unterseite des Greifkopfs 2 zugeordnet. Auf dieser gleitet der Transportriemen 16 in Längserstreckung des Greifkopfs 2, wenn eine der Umlenkrollen 18 oder 19 angetrieben wird. Hierzu ist zweckmäßigerweise eine Antriebseinrichtung 20 vorgesehen, welche gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel mit den Umlenkrollen 19 gekoppelt ist, um diese bei Bedarf anzutreiben, sodass der jeweilige Transportriemen 16 um den Greifkopf 2 herumgeführt wird.
Die Lauffläche 15 beziehungsweise Laufbahn weist gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel eine sich über die Längserstreckung des jeweiligen Hohlprofils 4 erstreckende Längsnut 21 auf, in welche die Durchgangsöffnungen 14 münden. Die Längsnut 21 ist zu dem Transportriemen 16 hin offen ausgebildet, sodass sich der Unterdruck auf die dem Hohlpro fil 4 zugewandte Rückseite des Transportriemens 16 auswirkt, sodass bei vorhandenem Unterdruck in dem jeweiligen Hohlpro fil 4 der Transportriemen 16 gegen die Lauffläche 15 beziehungsweise das jeweilige Hohlprofil 4 gezogen wird.
Die Transportriemen 16 weisen selbst mehrere Säugöffnungen 22 auf. Die Saugöffnungen 22 sind dabei in dem jeweiligen Tragriemen 16 derart ausgebildet, dass sie in Gruppen vorliegen, wobei eine Gruppe vorliegend sieben Saugöffnungen 22 umfasst, die in Längserstreckung des Transportriemens 16 hintereinanderliegend ausgebildet sind, und wobei die Gruppen 23 von Säugöffnungen 22 in Längserstreckung des Transportriemens 23 einen verhältnismäßig großen Abstand zueinander aufweisen, wobei gemäß dem vorliegenden Ausfuhrungsbeispiel die Gruppen 23 gleichmäßig voneinander beabstandet sind, jedoch derart weit voneinander, dass wenn die eine Gruppe 23 vollständig im Bereich der Vakuumkammer 10 liegt, die nächste Gruppe 23 vollständig im Bereich der Vakuumkammer 12 liegt. Zweckmäßigerweise sind die Gruppen 23 der benachbarten Transportriemen 16 nebeneinanderliegend angeordnet, wie in Figuren 2 gezeigt. Alternativ können die Saugöffnungen 22 gleichmäßig, also nicht gruppiert, entlang des Transportriemens 16 verteilt angeordnet sein. Die Säugöffnungen 22 sind dabei mittig in dem jeweiligen Transportriemen 16 ausgebildet und stehen daher in Wirkverbindung mit dem jeweiligen Längsschlitz 21 beziehungsweise der jeweiligen Vakuumkammer 10, 11, 12, je nach dem, in welcher Position sich der jeweilige Transportriemen 16 befindet. Aufgrund des Längsschlitzes 21 in der Lauffläche 15 ist gewährleistet, dass über die gesamte Länge des Hohlprofils durchgehend ein Unterdruck an den Säugöffnungen 22 anliegen kann, zumindest wenn alle drei Venturidüsen 6 mit Druckluft beaufschlagt und saugseitig mit der jeweiligen Vakuumkammer 10, 11, 12 verbunden sind.
Figur 3 zeigt in einer vergrößerten Detail-Schnittdarstellung einen Ausschnitt aus Figur 1, der in Figur 1 durch einen Kreis A gekennzeichnet ist. Die Vakuumkammern 10, 11, 12 werden in dem jeweiligen Hohlpro fil 4 durch eine sich in Längserstreckung des Hohlprofils 4 erstreckenden Hohlkammer 25 gebildet, wobei die Hohlkammer 25 durch Trennelemente 24 in die einzelnen Vakuumkammern 10, 11 , 12 nachträglich unterteilt wird. Dies ermöglicht eine kostengünstige Fertigung, weil die Hohlprofile 4 beispielsweise als Strangpressprofile herstellbar sind. Das jeweilige Trennelement 24 wird im Nachhinein in die Hohlkammer 25 eingesetzt, sodass die drei Vakuumkammern 10, 1 1, 12 entstehen, die jeweils einer der Venturidüsen 6 zugeordnet sind. Damit diese Trennung auch in Bezug auf den jeweiligen Transportriemen 16 wirksam ist, ist der Längsnut 21 ebenfalls durch Trennelemente 26 in drei Abschnitte entsprechend der Vakuumkammern 10, 11, 12 unterteilt. Diese Trennelemente 26 sind beispielsweise als Vorsprünge ausgebildet, welche den Längsnut 21 überbrücken, und auf welchen der jeweilige Transportriemen 16 aufliegt, wie in Figur 2 beispielhaft gezeigt. Die Trennelemente 24 weisen zweckmäßigerweise eine Außenkontur auf, die dem Querschnitt der Hohlkammer 25 entspricht, um die Vakuumkammern 10, 11, 12 möglichst gut voneinander strömungstechnisch abzutrennen. Vorteilhafterweise werden die Trennelemente nach ihrem Einsetzen in die Hohlkammer 25 mit einer Dichtmasse, insbesondere Silikon, das bevorzugt dauerelastisch aushärtet, umspritzt, um eine sichere Abdichtung zu gewährleisten. Vorteilhafterweise weisen die Trennelemente dazu jeweils eine Umfangsnut auf, in welche die Dichtmasse von außen eingebracht wird. Dazu weisen die Hohlprofile 4 zweckmäßigerweise Querbohrungen auf, durch welche die Dichtmasse eingebracht werden kann. Vorteilhafterweise wird so viel Dichtmasse eingebracht, dass die Dichtmasse von einer der Querbohrungen vorsteht, wobei diese Querbohrung dann insbesondere in die Längsnut 21 mündet. Die dann vorstehende Dichtmasse bildet die Trennelemente 26, durch welche die Längsnut 21 in die jeweiligen Bereiche, den Vakuumkammern 10, 11, 12 zugeordnet, eingeteilt wird.
Figur 4 zeigt einen Querschnitt durch den Greifkopf 2. Dabei ist der Querschnitt entlang der Linie C-C aus Figur 2 gezeigt, sodass der Querschnitt durch die Vakuumkammer 10 führt. Damit der Transportriemen 16 sicher an dem jeweiligen Hohlpro fil 4 geführt ist, weist dieses insbesondere eine Führung 27 für den Transportriemen 16 auf. Die Führung ist insbesondere formschlüssig ausgebildet und kann auf unterschiedliche Art und Weise realisiert sein. Gemäß dem in Figur 4 gezeigten Ausführungsbeispiel weist der jeweilige Transportriemen 16 innenseitig eine Aufnahme 28 auf, in welche die Tragstruktur 3, insbesondere das jeweilige Hohlprofil 4 oder ein daran angeordnetes Führungsprofil 29, auf das später näher eingegangen wird, mit der Lauffläche 15 bereichsweise einliegt, sodass der Transportriemen 16 jeweils die Lauffläche 15 seitlich umgreift. Seitlich ist der Transportriemen 16 dadurch auf einfache Art und Weise von der Tragstruktur 3 formschlüssig in Längsrichtung geführt.
Die von dem jeweiligen Hohlprofil 4 abgewandte Oberfläche des Transportriemens 16 bildet eine Auflagefläche 29, zum Auflegen auf das zu transportierende Substrat. Jede der Venturidüsen 6 weist weiterhin ein ansteuerbares Ventil 30 auf, welches dem Sauganschluss 9 der jeweiligen Venturidüse 6 zugeordnet ist. Die Schaltventile 30 sind insbesondere dazu ausgebildet, den Durchströmungsquerschnitt des Sauganschluss vollständig freizugeben oder vollständig zu verschließen. Optional sind die Ventile 30 als Proportionalventile ausgebildet, welche auch eine Zwischenstellung zulassen, in welcher beispielsweise der Durchströmungsquerschnitt nur teilweise freigeben wird. Durch das Ansteuern der Ventile 30 können die Vakuumkammern 10, 11, 12 mit unterschiedlichen Unterdrücken individuell beaufschlagt werden. Aufgrund der vorteilhaften Ausgestaltung mit Venturidüsen 6 ist ein schneller Aufbau des Unterdrucks und auch ein schneller Abbau des Unterdrucks möglich, sodass ein Substrat schnell gegriffen und wieder abgelegt werden kann, wie im Folgenden näher erörtert werden soll.
Im Betrieb wird der Greifkopf 2 zunächst nach unten geführt und auf ein Substrat, beispielsweise ein Waver, aufgelegt, oder das Substrat wird von unten an dem Greifkopf 2 herangeführt. Dies erfolgt beispielsweise derart, dass der Greifkopf 2 im Bereich der Vakuumkammer 10 auf das Substrat aufgelegt wird. Durch Betätigen des Schaltventils 30 wird ein Unterdruck in der Vakuumkammer 10 erzeugt, der sich durch die Vakuumkammer 10, die Durchgangsöffnungen 14, die Längsnut 21 und die Saugöffnungen 22 auf das Substrat auswirkt und dieses gegen die Transportriemen 16 anzieht. Sobald das Substrat an dem Transportriemen 16 anliegt, wird die Antriebseinrichtung 20 dazu angesteuert, die Transportriemen 16 zu bewegen, sodass das Substrat entlang der Auflagefläche 29 an dem Greifkopf 2 bewegt wird. Dadurch wird das Substrat beispielsweise von dem Bereich der Vakuumkammer 10 in den Bereich der Vakuumkammer 11 oder der Vakuumkammer 12 verlagert. Dort angekommen, kann das Substrat schnell abgelegt werden, indem das jeweilige Ventil 30 dazu angesteuert wird, den jeweiligen saugseitigen Durchströmungsquerschnitt der entsprechenden Venturidüse 6 zu verschließen.
Dadurch ist ein einfaches Greifen, Transportieren und Ablegen eines Substrats mittels des vorteilhaften Greifkopfs 2 möglich.
Figur 5 zeigt eine vorteilhafte Weiterbildung der Vorrichtung 1 in einer perspektivischen Detailansicht. Diese zeigt die Umlenkrollen 18 der Transporteinrichtung 17, die an einer gemeinsamen Welle gelagert sind. Die Welle 30 ist drehbar in einem Gehäuseteil 31 gelagert. Das Gehäuseteil 31 ist relativ zu der Tragstruktur 3 des Greifkopfs 2 in dessen Längserstreckung verlagerbar. Dem Gehäuseteil 31 ist ein pneumatischer Aktor 32 zugeordnet, welcher das Gehäuse 31 mit den Umlenkrollen 18 entgegen der Spannkraft der Transportriemen 16 bewegt, um eine gewünschte Riemenspannung einzustellen. Dazu weist der Aktor 32 einen Pneumatikzylinder 33 auf, in welchem ein Pneumatikkolben 34 axial verlagerbar angeordnet ist. Der Pneumatikkolben 34 ist mit dem Gehäuseteil 31 verbunden, um dieses entgegen der Spannkraft der Transportriemen 16 zu verlagern, wie durch einen Pfeil 35 angedeutet. Der pneumatische Aktor 32 kann beispielsweise durch den gleichen Drucklufterzeuger beaufschlagt werden, wie auch die Venturidüsen 6. Alternativ weist der Aktor 32 einen eigenen Drucklufterzeuger auf. Weil Druckluft hier als Mittel zur Krafterzeugung genutzt wird, ist gewährleistet, dass der Transportriemen 16 nicht überspannt wird. Durch ein optionales Federelement 36, das zwischen der Tragstruktur 3 und dem Gehäuseteil 31 vorgespannt ist, wird das Gehäuseteil 31 ebenfalls entgegen der Spannkraft der Transportriemen 16 nach außen gedrängt. Dies gewährleistet, dass die Transportriemen 16 bei einem Druckausfall des pneumatischen Aktors 32 nicht von den Umlenkrollen 18 abspringen. Dadurch ist ein sicherer und dauerhafter Betrieb der Vorrichtung 1 gewährleistet.
Der Aktor 32 bildet somit zusammen mit dem beweglich gelagerten Umlenkrollen 18 einen Riemenspanner 38, mittels dessen die Spannung der Transportriemen 16 einstellbar ist. Dadurch wird gewährleistet, dass sich die Transportriemen 16 nicht von der Lauffläche 15 der Hohlpro file 4 lösen, was eine Fehlluft zur Folge hätte und damit ein Aufheben des Unterdrucks, was dazu führen könnte, dass sich ein Substrat von dem Greifkopf 2 löst. Durch den pneumatischen Riemenspanner 38 können thermische Veränderungen und Alterungserscheinungen der Transportriemen 16 berücksichtigt und im Betrieb ausgeglichen werden. Darüber hinaus erlaubt der Riemenspanner 38 einen einfachen und werkzeuglosen Austausch der Transportriemen.
Um die Riemenspannung der Transportriemen 16 außerdem zu verbessern und eine sichere Anlage des Transportriemens 16 an der jeweiligen Lauffläche 15 zu gewährleisten, ist vorgesehen, wie insbesondere aus Figur 1 ersichtlich, dass die Tragstruktur 3 beziehungsweise die Hohlpro file 4 derart ausgebildet sind, dass die Lauffläche 15 nach unten beziehungsweise in Richtung des zu greifenden Substrats vorstehend gekrümmt ausgebildet ist. Dabei erstreckt sich die Krümmung über die gesamte Lauffläche 15 beziehungsweise über die Länge des jeweiligen Hohlpro fils 4. Dabei ist die Krümmung derart ausgebildet, dass sie den jeweiligen Transportriemen über die gesamte Länge der Lauffläche 15 gegen die Lauffläche 15 vorspannt. Hierdurch wird berücksichtigt, dass durch das Eigengewicht der Transportriemen 16 dieser in Richtung des Substrats durchhängen könnte, wenn nicht eine ausreichende Riemenspannung vorhanden ist. Zwar könnte eine ausreichend hohe Riemenspannung mittels des Riemenspanners 38 erreicht werden, jedoch würde dazu viel Energie benötigt und die Reibung insbesondere zwischen Lauffläche 15 und Transportriemen 16 erhöht werden, wodurch auch der Verschleiß zunimmt. Zwar trägt auch der Unterdruck dazu bei, dass der Transportriemen 16 an das jeweilige Hohlprofil angezogen wird, jedoch würde ein hoher Vakuumvolumenstrom benötigt werden, um zu gewährleisten, dass die Transportriemen 16 allein dadurch sicher an der Lauffläche 15 gehalten werden.
Durch die beschriebene Krümmung wird ein Anliegen des Transportriemens 16 entlang der Lauffläche jedoch auf einfache Art und Weise gewährleistet. Vorteilhafterweise wird die Krümmung durch das jeweilige Hohlpro fil 4 selbst gebildet. Alternativ ist vorgesehen, dass die Krümmung durch das an das jeweilige Hohlpro fil 4 angesetzte Führungsprofil 39 gebildet wird, das die Lauffläche 15 an dem Hohlpro fil 4 bildet. Dadurch ist eine kostengünstige Herstellung des Hohlprofils 4 selbst und der Tragstruktur 3 insgesamt gewährleistet. Vorteilhafterweise werden die Durchgangsöffhungen 14 als Durchgangsbohrungen in dem Führungsprofil 39 weitergebildet, wie beispielsweise auch in Figur 1 ersichtlich, und verbinden dadurch die jeweilige Längsnut 21 mit den Vakuumkammern 10, 11 und 12. Die Vakuumkammern 10, 11, 12 beziehungsweise die Durchgangsöffhungen 14 im Hohlprofil 4 sind somit nicht direkt, sondern indirekt durch das Führungsprofil 39 mit der Lauffläche 15 beziehungsweise mit dem Transportriemen 16 verbunden.
Aus Figur 5 ist es außerdem ersichtlich, dass die Transportriemen 16 auf der Oberseite der Tragstruktur 3 im Wesentlichen frei laufen, sodass Reibkräfte minimiert werden. Zur Führung der Transportriemen 16 auf der Oberseite sind optional seitliche Führungsrollen 37 vorgesehen, die den jeweiligen Transportriemen 16 beidseitig zugeordnet sind, sodass dieser zwischen diesen hindurchgefühlt ist. Die Transportrollen 37 sind zweckmäßigerweise gleichmäßig über die Längserstreckung der Tragstruktur 3 auf der Oberseite verteilt angeordnet, um eine sichere Transportriemenführung zu gewährleisten.
Figuren 6A und 6B zeigen in zwei vereinfachten perspektivischen Schnittdarstellungen eines der Hohlprofile 4. Dabei erstreckt sich der Schnitt entlang der Längserstreckung des Hohlprofils 4, sodass er durch die Hohlkammer 25, die Durchgangsöffhungen 14 und die Längsnut 21 führt. Figur 6A zeigt ein Blick auf die Schnittfläche und Figur 6B auf die Außenseite des Hohlprofils 4.
Aus Figuren 6A und 6B zeigt sich, dass gemäß einen weiteren Ausführungsbeispiel die Durchgangsöffnungen 14 nicht als Durchgangsbohrungen, sondern vielmehr als Langlöcher ausgebildet sind, um einen größeren Volumenstrom zu ermöglichen. Zwischen zwei benachbarten Durchgangsöffhungen 14 ist eine weitere Querbohrung 40 ausgebildet, die sich parallel zu den Durchgangsöffnungen 14 in die Hohlkammer 25 erstreckt und dadurch Längsnut 21 und Hohlkammer 25 miteinander verbinden. Das zuvor bereits erwähnte Trennelement 24 ist in der Hohlkammer 25 angeordnet und weist eine dem Querschnitt der Hohlkammer 25 angepasste Außenkontur auf, wie zuvor bereits erwähnt. Darüber hinaus weist das Trennelement 24 entlang seiner Umfangsmantelfläche eine Nut 41 auf, die sich in Umfangsrichtung über das gesamte Trennelement 24 erstreckt. Aus Figur 6B ist ersichtlich, dass auf Höhe der Querbohrung 40 eine weitere Querbohrung 42 in dem Hohlpro fil 4 ausgebildet ist, die jedoch um 90° bezüglich der Querbohrung 40 ausgerichtet ist. Durch die Querbohrung 42 ist eine Befestigungsschraube 43 geschoben, welche in eine Gewindeöffnung 44 des Trennelements 24 eingeschraubt ist. Dadurch ist das Trennelement 24 an der gewünschten Stelle in der Hohlkammer 25 arretiert. Anschließend wird durch die Querbohrung 40 eine Dichtmasse, insbesondere ein dauerelastisch aushärtendes Silikon, in die Hohlkammer 25 eingebracht, sodass sich die Dichtmasse entlang der Nut 41 des Trennelements 24 in der Hohlkammer 25 verteilt und dadurch vorhandene Freiräume zwischen Trennelement 24 und der Innenseite der Hohlkammer 25 sicher verschließt. Dadurch ist eine sichere Abdichtung der benachbarten Vakuumkammern 10, 11, 12 voneinander auf einfache Art und Weise gewährleistet.
Abschließend wird in die Querbohrung 40 noch das weitere Trennelement 26 eingesteckt, welches die Längsnut 21 gemäß der Anordnung der Vakuumkammern 10, 11, 12 voneinander trennt, um die unterschiedlichen Bereiche entlang der Lauffläche 15 zu erhalten, wie zuvor bereits erwähnt. Das Trennelement 26 kann dabei als separates Trennelement ausgebildet sein. Alternativ ist bevorzugt vorgesehen, dass das Trennelement 26 durch die Dichtmasse 45 mitgebildet wird, die nach dem Einfüllen in die Hohlkammer 25 verbleibt und sich aus der Querbohrung 40 in die Längsnut 21 hineinerstreckt, um dort das Dichtelement 26 zu bilden.
Die Dichtmasse 45 kann durch die Querbohrung 42 an der Befestigungsschraube 43 vorbei oder vor Einbringen der Befestigungsschraube 43 in die Nut 41 eingebracht werden und optional durch die Querbohrung 40, die dann eine Auslassöffnung 46 für die Dichtmasse 45 bildet, wieder austreten, um das Dichtelement 26 zu bilden. Die Befüllbohrungen für die Dichtmasse können anschließend durch Befestigungsschrauben oder Dichtschrauben verschlossen werden. Optional kann auch gegenüber der Querbohrung 42 eine weitere Querbohrung, insbesondere Gewindebohrung in dem Hohlpro fil 41 ausgebildet sein, durch welche die Dichtmasse beim Befüllen wieder austreten kann.
Insgesamt wird hierdurch eine sichere und dichte Abtrennung der benachbarten Vakuumkammern 10, 1 1, 12 und der damit zusammenwirkenden Bereiche der Längsnut 21 voneinander erreicht, wodurch der jeweils erzeugte Unterdruck optimal ausgenutzt wird.

Claims

ANSPRÜCHE
1. Vorrichtung (1) zum Greifen und Transportieren von Substraten, insbesondere Wafern, Leiterplatten, Solarzellen oder dergleichen, mit einem Greifkopf (2), der zumindest eine Auflagefläche (29) zum Auflegen auf ein Substrat und zumindest eine Saugeinrichtung zum Ansaugen des Substrats gegen die Auflagefläche (29) aufweist, wobei die Saugeinrichtung mehrere mit einem Unterdruck beaufschlagbare Vakuumkammern (10,11,12) aufweist, die mit der Auflagefläche (29) zugeordneten Saugöffnungen (22) strömungstechnisch verbunden/verbindbar und in Längsrichtung des Greifkopf (2) voneinander getrennt sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumkammern (10,11,12) durch zumindest ein Hohlpro fil gebildet sind, das eine Hohlkammer (25) aufweist, in welcher zumindest ein separates Trennelement (24) zum Herstellen benachbarter Vakuumkammern (10,11,12) angeordnet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Außenkontur des Trennelements (24) zumindest im Wesentlichen dem Querschnitt der Hohlkammer (25) entspricht.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Hohlprofil (4) wenigstens eine in die Hohlkammer (25) führende erste Querbohrung (42) aufweist, in welcher eine Befestigungsschraube (43) zum Arretieren des Trennelements (24) in der Hohlkammer (25) eingeführt/einführbar ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Trennelement (24) und Hohlkammer (25) eine Dichtmasse (45) durch die erste Querbohrung (42) oder durch eine zweite Querbohrung (40) eingebracht ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine der Außenkontur folgende Mantelfläche des Trennelements (24) eine Nut (41) aufweist, die sich in Umfangsrichtung des Trennelements (24) erstreckt und in der durch die Befestigungsschraube (43) arretierten Stellung mit der ersten und/oder zweiten Querbohrung (40,42) fluchtet.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtmasse Silikon ist.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Hohlprofil (4) wenigstens eine Auslassöffnung (46) für die Dichtmasse (45) aufweist.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugeinrichtung für jede der Vakuumkammern (10,11,12) jeweils eine Venturidüse (6) zum Erzeugen des Unterdrucks in der jeweiligen Vakuumkammer (10,11,12) aufweist.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Greifkopf (2) eine Transporteinrichtung (17) zum Bewegen eines angesaugten Substrats entlang der Auflagefläche (29) angeordnet ist.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transporteinrichtung (17) wenigstens einen Transportriemen (16) aufweist, der sich in Längserstreckung des Hohlprofils (4) erstreckt und die Auflagefläche (29) bildet.
11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugöffnungen (22) in dem Transportriemen (16) ausgebildet sind, wobei jede Vakuumkammer (10,11,12) Durchgangsöffnungen (14) in dem Hohlprofil (4) aufweist, die von der jeweiligen Vakuumkammer (10,11,12) zu einer Lauffläche (15) des Transportriemens (10) führen.
12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchgangsöffnungen (14) in eine Längsnut (21) der Lauffläche (15) münden, welche unterhalb des Transportriemens (16) liegt, wobei die Saugöffnungen (22) im Bereich der Längsnut (21) in dem Transportriemen (16) ausgebildet sind.
13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transporteinrichtung (17) wenigstens zwei, insbesondere genau zwei der Transportriemen (16) aufweist, die parallel zueinander und beabstandet voneinander an dem Greifkopf (2) angeordnet sind.
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