JP5878162B2 - フレキシブル基板に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイス、基板処理装置、およびそのようなデバイスを組み立てる方法 - Google Patents

Description

本開示は、フレキシブル基板に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスに関する。詳細には、本開示は、本体と、本体内に形成された基板開口とを有するデバイスに関する。

さらに、本開示は、フレキシブル基板を処理する基板処理装置に関し、基板処理装置は、第１のチャンバと、第１のチャンバから分離された第２のチャンバとを含む。

さらに、本開示は、フレキシブル基板に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスを組み立てる方法に関する。

多くの適用分野では、フレキシブル基板上に薄い層を堆積させることが必要である。

通常、フレキシブル基板は、フレキシブル基板被覆装置の異なるチャンバ内で被覆される。さらに、基板被覆装置の１つのチャンバ内に、フレキシブル基板の備蓄、たとえば１巻きのフレキシブル基板を配置することができる。通常、フレキシブル基板は、気相堆積技術、たとえば物理的気相堆積または化学気相堆積を使用して、真空中で被覆される。しかし、チャンバ内で一部のデバイスを修理もしくは交換するため、またはフレキシブル基板の備蓄を補給もしくは補充するために、これらのチャンバの少なくとも１つが大気圧まで加圧することができ、したがってチャンバにアクセスすることができ、またはフレキシブル基板の備蓄を補給もしくは回収することができる。他の例では、堆積装置を補修しなければならないとき、たとえば、スパッタリング装置のターゲットを交換する必要があるときは、フレキシブル基板の備蓄を真空のまま維持することができる。しかし、基板被覆装置の他のチャンバはそれでもなお、引き続き排気することができる。これらの目的のため、特にフレキシブル基板が２つのチャンバ間の壁を横断しているとき、あるチャンバを別のチャンバから密封することができる。

したがって、フレキシブル基板が２つのチャンバ間の壁を横断しているときでも、１つのチャンバが非常に低い圧力を有し、他のチャンバが相対的に高い圧力を有する可能性がある。

上記に照らし合わせて、請求項１に記載のチャンバ入り口を密封するためのデバイス、請求項１０に記載の基板処理装置、および請求項１１に記載の方法が提供される。

上記に照らし合わせて、フレキシブル基板に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスが提供され、このデバイスは、シール面を有する本体と、本体内に形成され、フレキシブル基板が横断するように構成された基板開口と、少なくとも部分的にシール面に対向する弾性チューブとを含み、弾性チューブは、ガス供給に連通する連通部分を有し、動作中に膨張および収縮する。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、デバイスは、本体内でシール面の反対側に形成された凹部をさらに含み、具体的には凹部は、弾性チューブの長手方向軸に直交する断面において、実質上Ｕ字状であり、または実質的に半円形の横断面を有する。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、凹部は、具体的には溝の形態を有する。

たとえば、一実施形態では、凹部は、弾性チューブの長手方向軸に対して実質上平行な長手方向軸を有する。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、弾性チューブは、少なくとも部分的に凹部内に配置される。

たとえば、一実施形態では、シール面は、基板開口内に形成される。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、弾性チューブの長手方向軸は、フレキシブル基板の輸送方向に実質上直交する。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、弾性チューブ内に剛性バー、具体的には剛性チューブが配置され、具体的には剛性チューブの内部は、剛性チューブと弾性チューブとの間の空間と流体連通している。典型的な実施形態では、剛性バーは、金属、たとえば鋼鉄から製造することができる。典型的な実施形態では、剛性バーは剛性チューブの形態である。

たとえば、一実施形態では、本体は、弾性チューブおよび剛性バーからなる群から選択された少なくとも１つの要素を取り付けるための凹部の長手方向軸の方向に凹部を延ばす少なくとも１つのチューブ取り付け開口を含む。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、少なくとも１つのチューブ取り付け開口は、円周方向チューブ取り付け開口シール面を有し、弾性チューブは、少なくとも１つのチューブ取り付け開口を流れる方向の流体流が防止されるように、チューブ取り付け開口シール面に押し付けられ、具体的には供給開口シール面が実質上円錐形である。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、デバイスは、チューブ取り付け開口内にそれぞれ配置された少なくとも１つのプラグをさらに含み、プラグは弾性チューブを取り付け開口シール面に押し付け、具体的には少なくとも１つのプラグは実質上円錐形である。

典型的な実施形態では、プラグは、取り付け開口シール面に適合される。

たとえば、一実施形態では、少なくとも１つのプラグは、剛性バー、具体的には剛性チューブを維持する。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、少なくとも１つのプラグは、圧力源および真空源からなる群から選択された少なくとも１つの供給源に弾性チューブの内部を連通させる流体チャネルを含む。

たとえば、一実施形態では、膨張した状態にあるとき、弾性チューブの一部分は、基板開口シール面に対向する凹部の表面に押し付けられる。

さらなる態様によれば、フレキシブル基板を処理する基板処理装置が提供され、基板処理装置は、第１のチャンバおよび第１のチャンバから分離された第２のチャンバと、本明細書に開示する一実施形態によるデバイスとを含み、デバイスは、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の流体連通を選択的に開閉する。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、デバイスは、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の壁の中に設けられる。

さらなる態様によれば、フレキシブル基板に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスを組み立てる方法が提供され、この方法は、シール面を有する本体を設けるステップであり、フレキシブル基板が横断するように構成された基板開口が本体内に形成されるステップと、弾性チューブが少なくとも部分的にシール面に対向するように本体内へ弾性チューブを挿入するステップであり、弾性チューブが連通部分を有し、動作中に膨張および収縮するステップと、弾性チューブの連通部分をガス供給に連通させるステップとを含む。

さらなる態様によれば、デバイスは、本体内でシール面の反対側に形成された凹部をさらに含み、この方法は、弾性チューブを少なくとも部分的に凹部内へ挿入するステップを含む。

たとえば、一実施形態では、本体は、凹部の長手方向軸の方向に凹部を延ばす少なくとも１つのチューブ供給開口を含み、弾性チューブは、チューブ供給開口を通って凹部内へ導入される。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる一実施形態では、この方法は、少なくとも１つのチューブ供給開口を流れる方向の流体流が防止されるように、少なくとも１つのチューブ供給開口の円周方向チューブ供給開口シール面に弾性チューブを押し付けるステップをさらに含む。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、この方法は、剛性バーの周りに弾性チューブを構成するステップを含むことができ、具体的には剛性バーは、剛性チューブの形態である。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、シール面は長手方向軸を有し、具体的には弾性チューブまたは弾性チューブの長手方向軸に対して実質上平行な中心部分を含む。さらに、シール面は、シール面の長手方向の各末端に位置する横方向部分と、各横方向部分と中心部分との間に位置する中間部分とを含むことができ、具体的には弾性チューブは、特に弾性チューブが膨張または収縮しているとき、横方向部分に永続的に押し付けられる。

たとえば、一実施形態では、横方向部分とそれぞれの隣接する中間部分との間の遷移部の曲率半径は、８０ｍｍより大きく、特に９０ｍｍより大きい。たとえば、曲率半径は、９０ｍｍ〜１２０ｍｍとすることができる。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、中心部分と中間部分との間の遷移部の曲率半径は、それぞれ８０ｍｍより大きく、特に９０ｍｍより大きい。たとえば、曲率半径は、９０ｍｍ〜１２０ｍｍとすることができる。

たとえば、一実施形態では、中心部分と中間部分との間の遷移部の円形部分の角度は、それぞれ１５度より小さく、特に１０度未満である。たとえば、中心部分と中間部分との間の遷移部の角度は、５度〜１０度である。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、横方向部分とそれぞれの隣接する中間部分との間の遷移部の円形部分の角度は、１５度より小さく、特に１０度未満である。たとえば、横方向部分とそれぞれの隣接する中間部分との間の遷移部の角度は、５度〜１０度である。

たとえば、一実施形態では、これらの中間部分は、シール面の長手方向の長さにおいて、開口の長さの５パーセント〜１５パーセントである。

当業者に対する完全かつ権能付与的な最良の形態を含む開示について、添付の図への参照を含めて、本明細書の残り部分でより詳細に記載する。

チャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスを含む壁の概略断面図である。 チャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスの図３の横断方向の横断面Ｂ−Ｂを示す概略図である。 チャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスの図２の長手方向の横断面Ａ−Ａを示す概略図である。 チャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスを組み立てる方法の流れ図である。

様々な実施形態について次に詳細に参照し、図には１つまたは複数の例を示す。各例は、説明を目的として提供するものであり、本発明の限定を意味するものではない。以下の図面の説明の範囲内で、同じ参照番号は同じ構成要素を指す。全体として、個々の実施形態に対する違いのみについて説明する。

図１は、第１のチャンバ１２と第２のチャンバ１４との間の壁１０の横断面の側面図を概略的に示す。両チャンバ１２、１４内で、フレキシブル基板１６が処理される。通常は、処理中、チャンバ１２、１４は、約１０^−４ミリバールまたは約１０^−５ミリバールの圧力を有する。たとえば、第１のチャンバ１２内では、フレキシブル基板１６を被覆デバイス２０によって被覆することができる。チャンバ１４内では、フレキシブル基板ロール２２上でフレキシブル基板の巻取りまたは巻出しを行うことができる。通常、フレキシブル基板１６は、壁開口１８を通って壁１０を横断する。第１のチャンバ１２と第２のチャンバ１４は、たとえばロール２２が新しいロール２２と交換されるとき、異なる圧力を有することがある。このとき壁開口１８は、フレキシブル基板１６の一部分が壁開口１８を横断している場合でも、しっかりと密封することができる。

この目的のため、チャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイス１００が、壁開口１８に、または壁開口１８内に配置される。デバイス１００を、フレキシブル基板１６が横断する。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができるさらなる実施形態では、デバイス１００を壁１０内に組み込むことができ、または壁１０の一部分とすることができ、したがって壁開口は、デバイス１００の基板開口に対応することができる。いくつかの実施形態では、デバイス１００は、たとえばねじまたはボルトによって、壁１０にしっかりと固定される。

図２は、デバイス１００の横断方向の横断面を概略的に示す。デバイス１００は、基板開口１０６を有する本体１０４を含み、通常は、フレキシブル基板１６が基板開口１０６をフレキシブル基板の輸送方向１０２に横断する。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、本体１０４は、剛性材料、通常は金属、たとえば鋼鉄またはステンレス鋼から製造される。たとえば、一実施形態では、本体１０４はサブアセンブリから製造することができ、サブアセンブリは、本体１０４の半分にそれぞれ対応することができる。

基板開口１０６はシール面１０８を有し、シール面１０８は通常、デバイス１００の長手方向に沿って延び、シール面１０８の反対側には、溝または凹部１１０が配置される。図３に示すデバイス１００の長手方向の横断面に見られるように、基板開口１０６は、デバイス１００の長手方向Ｘに第１の端部１１２および第２の端部１１４を有する。図３では、デバイス１００は、横断するフレキシブル基板なしで示す。

凹部１１０内には、弾性チューブ１１６が配置される。典型的な実施形態では、弾性チューブ１１６は、ゴム、ヴァイトン、シリコーン、および／またはニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）から製造することができる。弾性チューブは膨張させることができ、したがって一実施形態では、弾性チューブ１１６の表面の一部分がシール面１０８に押し付けられる。フレキシブル基板１６が基板開口１０６を横断している場合、膨張した弾性チューブは、フレキシブル基板１６に押し付けられる。

通常、収縮した弾性チューブは、約２５ｍｍ〜約５０ｍｍ、特に３０ｍｍ〜４５ｍｍの外径を有することができる。さらに、収縮した弾性チューブは、２ｍｍ〜約８ｍｍ、特に約３ｍｍ〜約７ｍｍの厚さを有することができる。

一実施形態では、弾性チューブ１１６は、長手方向Ｘに基板開口１０６を超過する。したがって、弾性チューブ１１６の長手方向の長さは、基板開口１０６の長手方向の長さより大きい。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、弾性チューブ１１６は、圧力源によって膨張させることができる。

シール面は通常、デバイス１００の長手方向軸Ｘに対して実質上平行な長手方向軸を有し、本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる一実施形態では、この長手方向軸Ｘは弾性チューブ１１６の長手方向軸Ｘと一致することができる。

通常、凹部１１０は、横断方向の横断面において実質上Ｕ字状であり、したがって膨張した弾性チューブ１１６は、凹部１１０の壁にしっかりと押し付けることができる。別の実施形態では、凹部１１０は、横断方向の横断面において実質上半円形または半楕円形の形状とすることができる。典型的な実施形態では、凹部１１０の横断方向の長さは、収縮した弾性チューブ１１６の外径に実質上対応する。たとえば、Ｕ字状の横断面の半円形部分の半径は、収縮した弾性チューブの外半径に対応する半径、またはわずかに超過する半径を有することができる。たとえば、凹部の半円形部分の半径は、収縮した弾性チューブの外半径を５％超過することができる。別の実施形態では、収縮した弾性チューブは、凹部の壁に接触することができる。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる一実施形態では、凹部の半円形部分の半径は、約１５ｍｍ〜約３０ｍｍ、特に約２０ｍｍとすることができる。

通常、具体的には長手方向軸Ｘに沿って配置される膨張した弾性チューブ１１６の連続部分は、凹部の壁に押し付けられる。通常、連続部分は、少なくとも基板開口１０６の第１の端部１１２と第２の端部１１４との間を延びる。したがって、膨張した弾性チューブの場合、圧力差が大きい場合でも、第１のチャンバ１２と第２のチャンバ１４との間の流体連通が凹部を通過することは実質上防止される。

他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、弾性チューブ１１６内に剛性チューブ１２４が配置され、典型的な実施形態では、剛性チューブ１２４は、少なくとも基板開口１０６の長さを有する。典型的な実施形態では、剛性チューブ１２４は、デバイス１００の長手方向軸Ｘに、基板開口１０６の長手方向の長さを超過する長さを有することができる。さらに、一実施形態では、弾性チューブ１１６の長手方向の長さは、剛性チューブ１２４の長手方向の長さより大きい。たとえば、本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる一実施形態では、剛性チューブは、収縮した弾性チューブの内径よりわずかに小さい外径、たとえば５％〜２０％小さい外径を有することができる。したがって、収縮した弾性チューブと剛性チューブとの間には空間が形成される。

いくつかの実施形態では、弾性チューブ１１６内に剛性バー、具体的には円筒形の剛性バーを配置することができる。いくつかの実施形態では、剛性バーを剛性チューブの代わりに使用することができる。通常、剛性チューブは、剛性バーの一実施形態とすることができる。典型的な実施形態では、剛性バーは、少なくとも基板開口１０６の長さを有することができる。典型的な実施形態では、剛性バーは、デバイスの長手方向軸Ｘに、基板開口１０６の長手方向の長さを超過する長さを有することができる。典型的な実施形態では、弾性チューブ１１６の長手方向の長さは、剛性バーの長手方向の長さより大きい。たとえば、本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる一実施形態では、剛性バーは、収縮した弾性チューブの内径よりわずかに小さい外径、たとえば５％〜２０％小さい外径を有することができる。したがって、収縮した弾性チューブと剛性バーとの間には空間が形成される。通常、剛性バーは、弾性チューブより強い剛性を有する。たとえば、剛性バーは、金属、たとえば鋼鉄から製造することができる。

一実施形態では、剛性チューブ１２４および／または剛性バーは、デバイス１００の凹部１１０内で固定の位置に維持される。したがって、弾性チューブ１１６は、剛性チューブまたは剛性バーによって、デバイス１００内で固定の位置に維持される。したがって、収縮した弾性チューブ１１６が基板開口１０６を横断するフレキシブル基板１６に損傷を与えないように、収縮した状態でも、弾性チューブは凹部内へ、または凹部の方向に後退する。このように、収縮した弾性チューブ１１６は、フレキシブル基板に擦傷を与えないことが可能である。

通常、剛性チューブ１２４または剛性バーは、特に収縮した弾性チューブを凹部内で維持するため、弾性チューブ１１６より強い剛性を有する。たとえば、剛性チューブは、金属、たとえばアルミニウム、ステンレス鋼、または鋼鉄から製造することができる。

本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、凹部１１０は、開口の各末端１１２、１１４で、チューブ取り付け開口１２６によって長手方向軸Ｘの方向に延ばされる。チューブ取り付け開口１２６は、弾性チューブ１１６および剛性チューブ１２４を凹部１１０内へ挿入するために使用される。通常、チューブ取り付け開口１２６はそれぞれ、実質上円錐形の表面１２８を有する横方向部分を有する。他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、弾性チューブは、プラグ１３０によって、チューブ取り付け開口１２６の円錐形の表面１２８に押し付けられる。典型的な実施形態では、プラグ１３０は、チューブ取り付け開口１２６を流れる凹部の長手方向の流体流が防止されるように、円周方向の突起１３２を有することができる。さらに、一実施形態では、プラグ１３０は、剛性チューブ１２４を支持する支持突起１３４を有することができる。したがって、剛性チューブ１２４は、凹部１１０内でその位置に固定される。通常、プラグ１３０は、たとえばねじまたはボルトによって、デバイス１００の本体１０４に固定される。

プラグは、流体供給１３６と弾性チューブ１１６の内部との間の流体連通１３８を提供するようにさらに設計される。たとえば、各プラグは、そのような流体連通１３８を有することができる。さらなる実施形態では、弾性チューブを排気または収縮させるポンプに第１のプラグを連通させることができ、他の流体連通１３８を圧力源１３６に連通させることができる。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、流体供給は、剛性チューブ１２４の内部に連通する。剛性チューブと弾性チューブ１１６との間の空間に圧力を提供するために、剛性チューブは開口１４０を含むことができ、したがって、剛性チューブ１２４の内部と、剛性チューブ１２４と弾性チューブ１１６との間の空間との間で、流体連通が可能になる。たとえば、弾性チューブ１１６は、膨張した弾性チューブ１１６の内部が約６バールの圧力を有するように膨張させることができる。

いくつかの実施形態では、流体連通１３８は、剛性チューブ１２４と弾性チューブ１１６との間の空間内に圧縮空気が直接提供されるように配置することができる。

弾性チューブ１１６は、チューブ取り付け開口１２６のシール面に機械的にしっかりと押し付けられるため、弾性チューブ１１６は通常、本体１０４に加硫処理または亜鉛めっき処理されない。したがって、弾性チューブ１１６は、デバイス１００内で容易に交換することができる。

典型的な実施形態では、シール面は、中心部分１１８を含む。典型的な実施形態では、シール面１０８の長手方向の各末端に横方向部分１２０がそれぞれ配置される。いくつかの実施形態では、横方向部分１２０は、少なくとも部分的にチューブ取り付け開口１２６内に配置することができる。

さらに、シール面１０８は、各横方向部分と中心部分１１８との間に中間部分１２２を含むことができる。通常、横方向部分１２０は、シール面１０８の第１の端部１１２および第２の端部１１４に配置される。典型的な実施形態では、中心部分および／または横方向部分１２０は、弾性チューブ１１６またはデバイス１１０の長手方向軸Ｘに対して実質上平行である。

通常、中心部分と中間部分との間、および中間部分とそれぞれの横方向部分との間には、平滑な遷移部が存在する。たとえば、横方向部分とそれぞれの隣接する中間部分との間、または中間部分と中心部分との間の遷移部の空胴の半径は、８０ｍｍより大きく、特に９０ｍｍより大きくすることができる。たとえば、曲率半径は、９０ｍｍ〜１２０ｍｍとすることができる。

さらに、シール面の部分間の遷移部の円形部分は、１５度より小さく、特に１０度未満にすることができる。たとえば、シール面の部分間の遷移部の角度は、５度〜１０度とすることができる。

したがって、弾性チューブが加圧されて基板をシール面１０８に押し付ける場合でも、しっかりとした連通を実現することができる。

本明細書に開示する実施形態によるデバイスは極めて気密性が高く、したがって、フレキシブル基板が基板開口内に存在する場合でも、異なる空気圧を有するチャンバを確実に分離することができる。具体的には、頑丈な丸いチューブ設計により、高レベルの気密性を実現する。

したがって、膨張した弾性チューブの場合、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の圧力差が大きい場合でも、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の流体連通が実質上防止される。たとえば、チャンバは、フレキシブル基板処理デバイスの巻出しまたは巻取りチャンバとすることができ、巻出しまたは巻取りチャンバは、堆積チャンバに隣接している。一実施形態によれば、巻出しまたは巻取りチャンバは、堆積チャンバに対して真空気密密封することができる。したがって、たとえば、細かい粒子を含有することもある大気に別のチャンバ内のフレキシブル基板を露出させることなく、物理的気相堆積装置のターゲットを交換することができる。

したがって、デバイス１００は、フレキシブル基板がデバイス１００を横断している場合でも、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の開口を真空気密密封する。通常、フレキシブル基板は、基板開口内に存在する場合でも、デバイスの気密性を損なわない。開示する実施形態によれば、凹部内に弾性チューブが配置されており、加圧空気で加圧することができ、したがって弾性チューブは膨張し、フレキシブル基板に対する開口を閉じる。弾性チューブは、実質上シール面の方向のみに延びることができ、したがって基板は、対向するシール面に押し付けられる。開いた状態では、弾性チューブは、凹部内へ後退して基板開口を開く。

図４は、フレキシブル基板に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスを組み立てる方法の概略図を示す。ボックス１０００で、本体が設けられる。本体はシール面を有し、本体内には、フレキシブル基板が横断するように構成された基板開口が形成される。典型的な実施形態では、本体内でシール面の反対側に、凹部が形成される。ボックス１０１０で、本体内へ、たとえば本体の凹部内に、弾性チューブが挿入され、したがって弾性チューブは部分的にシール面に対向している。たとえば、弾性チューブは、本体内に設けられたチューブ取り付け開口を通じて設けることができる。さらなる実施形態では、弾性チューブ内に剛性チューブを設けることができる。通常、ボックス１０２０で、弾性チューブ、具体的には弾性チューブの内部は、ガス供給、たとえば加圧空気源に連通している。したがって、弾性チューブを膨張させて基板開口を閉じることができる。

典型的な実施形態では、凹部は実質上隅部をもたない。たとえば、特に基板開口の第１の端部と基板開口の第２の端部との間に延びる弾性チューブの連続部分が、凹部の壁に押し付けられる。

上記の説明では、例を使用して、最良の形態を含めて本発明について開示し、またあらゆるデバイスまたはシステムの作製および使用ならびにあらゆる組み込まれた方法の実行を含めて、当業者が記載の主題を実施できるようにする。上記では、様々な特有の実施形態について開示したが、特許請求の範囲の精神および範囲では等しく効果的な修正形態も実現できることが、当業者には理解されるであろう。特に、上述した実施形態の相互に非排他的な特徴は、互いに組み合わせることができる。特許可能な範囲は特許請求の範囲によって定義されており、当業者には想到される修正形態および他の例を含むことができる。そのような他の例は、特許請求の範囲の文言と違いのない構造上の要素を有する場合、または特許請求の範囲の文言とほとんど違いのない同等の構造上の要素を含む場合、特許請求の範囲の範囲内に入るものとする。

Claims (15)

1. フレキシブル基板（１６）に対するチャンバ入り口（１８）またはチャンバ出口を密封するためのデバイス（１００）であって、
   シール面（１０８）を有する本体（１０４）と、
   前記本体内に形成され、前記フレキシブル基板が横断するように構成された基板開口（１０６）と、
   少なくとも部分的に前記シール面に対向する弾性チューブ（１１６）と、
   前記弾性チューブ（１１６）内に配置された剛性バー（１２４）と
   を備えており、前記弾性チューブが、ガス供給（１３６）に連通する連通部分を有し、かつ動作中に膨張および収縮し、前記剛性バーが剛性チューブであり、前記剛性チューブの内部が、前記剛性チューブと前記弾性チューブ間の空間に流体連通し、
   前記ガス供給（１３６）からのガスが前記剛性チューブを介して前記弾性チューブ（１１６）内に供給され、
   前記デバイス（１００）が真空気密密封に適している、デバイス。
2. 前記本体内で前記シール面の反対側に形成された凹部（１１０）をさらに備えている、請求項１に記載のデバイス。
3. 前記凹部（１１０）が、前記弾性チューブの長手方向軸に直交する断面において、実質上Ｕ字状であるか、または実質的に半円形の横断面を有する、請求項２に記載のデバイス。
4. 前記弾性チューブ（１１６）が、少なくとも部分的に前記凹部内に配置される、請求項２または３に記載のデバイス。
5. 前記シール面（１０８）が前記基板開口（１０６）内に形成される、請求項１ないし４のいずれか一項に記載のデバイス。
6. 前記本体（１０４）が、前記凹部（１１０）の前記長手方向軸（Ｘ）の方向に前記凹部を延ばす少なくとも１つのチューブ取り付け開口（１２６）を備え、前記チューブ取り付け開口は前記弾性チューブおよび前記剛性バーからなる群から選択された少なくとも１つの要素を取り付けるためものである、請求項２ないし５のいずれか一項に記載のデバイス。
7. 前記少なくとも１つのチューブ取り付け開口（１２６）が、円周方向チューブ取り付け開口シール面（１２８）を有し、前記弾性チューブが、前記少なくとも１つのチューブ取り付け開口を流れる方向の流体流が防止されるように、前記チューブ取り付け開口シール面（１２８）に押し付けられる、請求項６に記載のデバイス。
8. 前記開口シール面が実質上円錐形である、請求項７に記載のデバイス。
9. チューブ取り付け開口内にそれぞれ配置された少なくとも１つのプラグ（１３０）をさらに備え、前記プラグが、前記弾性チューブ（１１６）を前記取り付け開口シール面に押し付ける、請求項６ないし８のいずれか一項に記載のデバイス。
10. 前記少なくとも１つのプラグが前記剛性バー（１２４）を維持している、請求項９に記載のデバイス。
11. フレキシブル基板を処理するための基板処理装置であって、
    第１のチャンバ（１２）および前記第１のチャンバから分離された第２のチャンバ（１４）と、
    請求項１ないし１０のいずれか一項に記載のデバイスと
    を備えており、前記デバイスが、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間の流体連通を選択的に開閉する、基板処理装置。
12. フレキシブル基板（１６）に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスを組み立てる方法であって、
    シール面（１０８）を有する本体（１０４）を設けるステップであり、前記フレキシブル基板が横断するように構成された基板開口（１０６）が前記本体内に形成されるステップと、
    弾性チューブ（１１６）の少なくとも一部が前記シール面（１０８）に対向するように前記本体内へ弾性チューブ（１１６）を挿入するステップであり、前記弾性チューブが連通部分を有し、かつ動作中に膨張および収縮するステップと、
    剛性バー（１２４）の周りに前記弾性チューブを構成するステップであり、前記剛性バーが剛性チューブで構成され、前記剛性チューブの内部が、前記剛性チューブと前記弾性チューブ間の空間に流体連通するステップと、
    前記弾性チューブの前記連通部分をガス供給（１３６）に連通させるステップと
    を含み、
    前記ガス供給（１３６）からのガスが前記剛性チューブを介して前記弾性チューブ（１１６）内に供給される、方法。
13. 前記デバイスが、前記本体内で前記シール面の反対側に形成された凹部（１１０）をさらに備え、前記方法が、
    前記弾性チューブ（１１６）を少なくとも部分的に前記凹部内へ挿入するステップ
    を含む、請求項１２に記載の方法。
14. 前記本体が、前記凹部の長手方向軸の方向に前記凹部を延ばす少なくとも１つのチューブ取り付け開口（１２６）を備え、前記弾性チューブが、前記チューブ取り付け開口を通って前記凹部内へ導入される、請求項１３に記載の方法。
15. 前記少なくとも１つのチューブ供給開口を流れる方向の流体流が防止されるように、前記少なくとも１つのチューブ取り付け開口の円周方向チューブ取り付け開口シール面（１２８）に前記弾性チューブを押し付けるステップ
    をさらに含む、請求項１４に記載の方法。

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