KR20130098859A - 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치, 기판 처리 기구 및 이러한 장치를 조립하기 위한 방법 - Google Patents

가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치, 기판 처리 기구 및 이러한 장치를 조립하기 위한 방법 Download PDF

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Abstract

본 개시내용은 가요성 기판(16)용 챔버 입구(18) 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치(100)에 관한 것이며, 상기 장치는 밀봉면(108)을 갖는 본체(104)와, 본체 내에 형성되어 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성된 본체 내에 형성되는 기판 개구(106)와, 적어도 부분적으로 밀봉면에 대면하는 탄성 튜브(116)를 포함하고, 탄성 튜브는, 가스 공급원(136)에 연결하기 위한 연결부를 구비하고, 동작 동안 팽창 및 수축하도록 조정된다. 또한, 개시내용은 가요성 기판(16)용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법에 관한 것이며, 상기 방법은, 밀봉면(108)을 갖는 본체(104)를 제공하는 단계로서, 기판 개구(106)가 상기 본체에 형성되어 상기 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성되는 단계와, 탄성 튜브(116)가 적어도 부분적으로 상기 밀봉면(108)에 대면하도록, 상기 탄성 튜브(116)를 상기 본체 내로 삽입하는 단계로서, 탄성 튜브는, 연결부를 구비하고, 동작 동안 팽창 및 수축하도록 조정되는 단계와, 상기 탄성 튜브의 연결부를 가스 공급부(136)에 연결하는 단계를 포함한다.

Description

가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치, 기판 처리 기구 및 이러한 장치를 조립하기 위한 방법{A DEVICE FOR SEALING A CHAMBER INLET OR A CHAMBER OUTLET FOR A FLEXIBLE SUBSTRATE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD FOR ASSEMBLING SUCH A DEVICE}
본 개시내용은 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치에 관한 것이다. 특히, 본 개시내용은 본체 및 본체에 형성되는 기판 개구를 갖는 장치에 관한 것이다.
또한, 본 개시내용은 가요성 기판을 처리하기 위한 기판 처리 기구로서, 제1 챔버 및 제1 챔버로부터 분리되어 있는 제2 챔버를 포함하는 기판 처리 기구에 관한 것이다.
또한, 본 개시내용은 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하기 위한 방법에 관한 것이다.
많은 응용예에서, 박막층을 가요성 기판 상에 증착하는 것이 필요하다.
전형적으로, 가요성 기판은 가요성 기판 코팅 기구의 상이한 챔버에서 코팅된다. 또한, 일단의 가요성 기판, 예를 들어 롤 형태의 가요성 기판이 기판 코팅 기구의 하나의 챔버에 배치될 수 있다. 전형적으로, 가요성 기판은 기상 증착 기술, 예를 들어 물리적 기상 증착법 또는 화학적 기상 증착법을 사용하여 진공에서 코팅된다. 그러나, 챔버 내의 일부 장치를 보수하거나 교체하기 위해, 또는 일단의 가요성 기판을 재충전하거나 보충하기 위해, 사람들이 챔버에 접근할 수 있거나, 일단의 가요성 기판이 재충전되거나 회수될 수 있도록, 챔버들 중 적어도 하나가 대기압까지 가압될 수 있다. 다른 예에서, 증착 기구가 점검되어야 할 때, 예를 들어 스퍼터링 기구의 목표물이 변경될 필요가 있을 때, 일단의 가요성 기판은 진공 상태로 유지될 수 있다. 그러나, 기판 코팅 기구의 다른 챔버는 여전히 소개된 상태일 수 있다. 이를 위해, 챔버는 특히, 가요성 기판이 2개의 챔버 사이의 벽을 횡단하고 있을 때, 다른 챔버로부터 밀봉될 수 있다.
따라서, 가요성 기판이 2개의 챔버 사이의 벽을 횡단하는 경우라도, 하나의 챔버가 매우 낮은 압력을 갖는 반면, 다른 챔버는 상대적으로 높은 압력을 갖는 것이 가능하다.
전술한 내용을 고려하여, 청구항 제1항에 따른 챔버 입구를 밀봉하기 위한 장치, 청구항 제1O항에 따른 기판 처리 기구, 및 청구항 제11항에 따른 방법이 제공된다.
전술한 내용을 고려하여, 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치로서, 밀봉면을 갖는 본체, 본체에 형성되어 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성되는 기판 개구, 밀봉면에 적어도 부분적으로 대면하는 탄성 튜브를 포함하며, 탄성 튜브는, 가스 공급원을 연결하고 동작 중에 팽창 및 수축을 위해 조정되는 연결부를 갖는 장치가 제공된다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 장치는 본체 내 밀봉면의 맞은편에 형성되는 홈을 더 포함하고, 특히 홈은 실질적으로 U자 형상이거나, 탄성 튜브의 종방향 축선에 직교하는 부분에서 실질적으로 반-원형인 단면을 갖는다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 홈은 특히 그루브의 형태를 갖는다.
예를 들어, 일 실시예에서, 홈은 탄성 튜브의 종방향 축선에 실질적으로 평행하는 종방향 축선을 갖는다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브는 적어도 부분적으로 홈 내에 배열된다.
예를 들어, 일 실시예에서, 밀봉면은 기판 개구에 형성된다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브의 종방향 축선은 가요성 기판의 이송 방향에 실질적으로 직교한다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 강성 바아, 특히 강성 튜브가 탄성 튜브 내에 배치되고, 특히 강성 튜브의 내부는 강성 튜브와 탄성 튜브 사이의 공간과 유체 연통한다. 전형적인 실시예에서, 강성 바아는 금속, 예를 들어 강철로 제조될 수 있다. 전형적인 실시예에서, 강성 바아는 강성 튜브의 형태를 갖는다.
예를 들어, 일 실시예에서, 본체는 탄성 튜브 및 강성 바아로 이루어지는 군으로부터 선택된 적어도 하나의 요소를 장착하기 위해, 홈의 종방향 축선의 방향으로 홈을 연장시키는 적어도 하나의 튜브 장착 개구를 포함한다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 적어도 하나의 튜브 장착 개구는 원주 방향 튜브 장착 개구 밀봉면을 구비하고, 탄성 튜브는 적어도 하나의 튜브 장착 개구를 통과하는 방향으로의 유체 유동이 방지되도록, 튜브 장착 개구 밀봉면에 대해 가압되며, 특히 공급 개구 밀봉면은 실질적으로 원뿔형이다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 장치는 튜브 장착 개구에 각각 배치되는 적어도 하나의 플러그를 더 포함하고, 플러그는 장착 개구 밀봉면에 대해 탄성 튜브를 가압하며, 특히 적어도 하나의 플러그는 실질적으로 원뿔형이다.
전형적인 실시예에서, 플러그는 장착 개구 밀봉면에 맞춰 조정된다.
예를 들어, 일 실시예에서, 적어도 하나의 플러그는 강성 바아, 특히 강성 튜브를 유지한다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 적어도 하나의 플러그는 탄성 튜브의 내부를 압력 소스 및 진공 소스로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 소스에 연결시키기 위한 유체 채널을 포함한다.
예를 들어, 일 실시예에서, 팽창 상태에서, 탄성 튜브의 일부는 기판 개구 밀봉면에 대면하는 홈의 표면에 대해 가압된다.
추가적인 태양에 따라, 제1 챔버 및 제1 챔버로부터 분리되어 있는 제2 챔버와, 본 명세서에 개시된 실시예에 따른 장치를 포함하는, 가요성 기판을 처리하기 위한 기판 처리 기구가 제공되며, 상기 장치는 제1 챔버와 제2 챔버 사이의 유체 연결을 선택적으로 개방 또는 폐쇄한다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 장치는 제1 챔버와 제2 챔버 사이의 벽에 제공된다.
추가적인 태양에 따르면, 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법이 제공되며, 이 방법은, 밀봉면을 갖는 본체를 제공하는 단계로서, 기판 개구가 상기 본체에 형성되어 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성되는 단계와; 탄성 튜브가 밀봉면과 적어도 부분적으로 대면하도록 본체 내로 탄성 튜브를 삽입하는 단계로서, 탄성 튜브는, 연결부를 갖고 동작 중에 팽창 및 수축을 위해 조정되는 단계와; 탄성 튜브의 연결부를 가스 공급부에 연결하는 단계를 포함한다.
추가적인 태양에 따르면, 상기 장치는 본체 내 밀봉면의 맞은편에 형성되는 홈을 더 포함하고, 상기 방법은 탄성 튜브를 적어도 부분적으로 홈에 삽입하는 단계를 포함한다.
예를 들어, 일 실시예에서, 본체는 종방향 축선의 방향으로 홈을 연장시키는 적어도 하나의 튜브 공급 개구를 포함하고, 탄성 튜브는 튜브 공급 개구를 통해 홈 내로 도입된다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 상기 방법은 적어도 하나의 튜브 공급 개구를 통과하는 방향으로의 유체 유동이 방지되도록, 적어도 하나의 튜브 공급 개구의 원주 방향 튜브 공급 개구 밀봉면에 대해 탄성 튜브를 가압하는 단계를 더 포함한다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예에 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 상기 방법은 강성 바아 주위에 탄성 튜브를 배열하는 단계를 포함할 수 있으며, 특히 상기 강성 바아는 강성 튜브의 형태를 갖는다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 밀봉면은 종방향 축선을 갖고, 특히 탄성 튜브 또는 탄성 튜브의 종방향 축선에 실질적으로 평행한 중심부를 포함한다. 또한, 밀봉면은 밀봉면의 종방향 각 극단부의 측방부, 및 각 측방부와 중심부 사이의 개재부를 포함할 수 있으며, 특히 탄성 튜브는 특히, 탄성 튜브가 팽창 또는 수축될 때, 측방부에 대해 영구적으로 가압된다.
예를 들어, 일 실시예에서, 측방부와 각각의 인접한 개재부 사이의 과도 부분의 곡률 반경은 80 mm보다 크고, 특히 90 mm보다 크다. 예를 들어, 곡률 반경은 90 mm 내지 120 mm일 수 있다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 중심부와 개재부 사이의 과도 부분의 곡률 반경은 각각 80 mm보다 크며, 특히 90 mm보다 크다. 예를 들어, 곡률 반경은 90 mm 내지 120 mm일 수 있다.
예를 들어, 일 실시예에서, 중심부와 개재부 사이의 과도 부분의 원호의 각도는 각각 15° 미만이며, 특히 10° 미만이다. 예를 들어, 중심부와 개재부 사이의 과도 부분의 각도는 5° 내지 10° 이다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예에 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 측방부와 각각의 인접한 개재부 사이의 과도 부분의 원호의 각도는 15° 미만, 특히 10° 미만이다. 예를 들어, 측방부와 각각의 인접한 개재부 사이의 과도 부분의 각도는 5° 내지 10° 이다.
예를 들어, 일 실시예에서, 개재부는 밀봉면의 종방향 연장부에 있어서 개구의 연장부의 5% 내지 15%이다.
당업자에의 최상의 모드를 포함하는 완전하고 가능한 개시내용이 이하의 첨부 도면에 대한 참고를 포함하여, 명세서의 나머지 부분에 보다 상세하게 개시된다.
도 1은 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 포함하는 벽의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 2는 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치의 도 3의 B-B에 의해 취해진 개략적인 횡단면도를 도시한다.
도 3은 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치의 도 2의 A-A에 의해 취해진 개략적인 종방향 단면도를 도시한다.
도 4는 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법의 순서도를 도시한다.
이제, 하나 이상의 예가 도면에 예시되어 있는 여러 실시예들을 상세하게 참고할 것이다. 각각의 예는 설명을 통해 제공되며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 도면에 대한 이하의 기술에 있어서, 동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 나타낸다. 일반적으로, 각각의 실시예에 대한 차이점만이 설명된다.
도 1은 제1 챔버(12)와 제2 챔버(14) 사이의 벽(10)의 단면의 측면도를 개략적으로 도시한다. 양 챔버(12, 14)에서, 가요성 기판(16)이 처리된다. 전형적으로, 처리 동안, 챔버(12, 14)는 약 10-4 mbar 또는 약 10-5 mbar의 압력을 갖는다. 예를 들어, 제1 챔버(12)에서, 가요성 기판(16)은 코팅 장치(20)에 의해 코팅될 수 있다. 챔버(14)에서, 가요성 기판은 가요성 기판 롤(22) 상에 권취되거나 풀릴 수 있다. 전형적으로, 가요성 기판(16)은 벽 개구(18)를 통해 벽(10)을 횡단한다. 제1 챔버(12) 및 제2 챔버(14)는 예를 들어, 롤(22)이 새로운 롤(22)로 교체될 때, 상이한 압력을 가질 수 있다. 그리고, 벽 개구(18)는 가요성 기판(16)의 일부가 벽 개구(18)를 횡단하는 경우라도, 긴밀하게 밀봉될 수 있다.
이를 위해, 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치(100)가 벽 개구(18)에 또는 벽 개구 내에 배치된다. 장치(100)를 가요성 기판(16)이 횡단한다. 본 명세서에 개시된 다른 실시예에 조합될 수 있는 추가적인 실시예에서, 장치(100)는 벽(10)에 통합되거나, 벽(10)의 일부일 수 있으며, 이로써 벽 개구는 장치(100)의 기판 개구에 대응할 수 있다. 일부 실시예에서, 장치(100)는 예를 들어, 나사 또는 볼트에 의해 벽(10)에 단단히 고정된다.
도 2는 장치(100)의 횡단면도를 개략적으로 도시한다. 장치(100)는 가요성 기판의 이송 방향(102)으로 전형적으로는 가요성 기판(16)이 횡단하는 기판 개구(106)를 갖는 본체(104)를 포함한다. 본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 본체(104)는 강성 재료, 전형적으로는 예를 들어, 강철 또는 스테인리스 스틸과 같은 금속으로 제조된다. 예를 들어, 일 실시예에서, 본체(104)는 부조립체로 제조될 수 있으며, 부조립체는 각각 본체(104)의 절반부에 대응할 수 있다.
기판 개구(106)는 전형적으로는, 장치(100)의 종방향을 따라 연장되는 밀봉면(108)을 가지며, 밀봉면(108)의 맞은편에는 그루브 또는 홈(110)이 배치된다. 도 3에 도시된 장치(100)의 종방향 단면도에서 볼 수 있는 바와 같이, 기판 개구(106)는 장치(100)의 종방향 X로 제1 단부(112) 및 제2 단부(114)를 갖는다. 도 3에서, 장치(100)는 횡단하는 가요성 기판 없이 도시된다.
홈(110)에, 탄성 튜브(116)가 배열된다. 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브(116)는 고무, 바이턴, 실리콘, 및/또는 니트릴부타디엔 고무(NBR)로 제조될 수 있다. 탄성 튜브는 일 실시예에서, 탄성 튜브(116)의 표면의 일부가 밀봉면(108)에 대해 가압되도록, 팽창될 수 있다. 가요성 기판(16)이 기판 개구(106)를 횡단하는 경우에, 팽창된 탄성 튜브가 가요성 기판(16)에 대해 가압된다.
전형적으로, 수축된 탄성 튜브는 외경이 약 25 mm 내지 약 50 mm, 특히 30 mm 내지 45 mm일 수 있다. 또한, 수축된 탄성 튜브는 두께가 2 mm 내지 약 8 mm, 특히 약 3 mm 내지 약 7 mm일 수 있다.
일 실시예에서, 탄성 튜브(116)는 종방향 X로 기판 개구(106)를 초과한다. 따라서, 탄성 튜브(116)의 종방향 연장부는 기판 개구(106)의 종방향 연장부보다 크다. 본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브(116)는 압력 소스에 의해 팽창될 수 있다.
밀봉면은 전형적으로, 본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서 탄성 튜브(116)의 종방향 축선 X와 일치할 수 있는 장치(100)의 종방향 축선 X에 실질적으로 평행한 종방향 축선을 갖는다.
전형적으로, 홈(110)은 팽창된 탄성 튜브(116)가 홈(110)의 벽에 대해 긴밀하게 가압할 수 있도록, 실질적으로 U자 형상의 횡단면을 갖는다. 다른 실시예에서, 홈(110)은 횡단면이 실질적으로 반원 또는 반타원 형상일 수 있다. 전형적인 실시예에서, 홈(110)의 횡방향 연장부는 수축된 탄성 튜브(116)의 외경에 실질적으로 대응한다. 예를 들어, U자 형상 단면의 반원부의 반경은 수축된 탄성 튜브의 바깥 반경에 대응하거나 약간 큰 반경을 가질 수 있다. 예를 들어, 홈의 반원부의 반경은 수축된 탄성 튜브의 외측 반경의 5%를 초과할 수 있다. 다른 실시예에서, 수축된 탄성 튜브는 홈의 벽과 접촉할 수 있다. 본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 홈의 반원부의 반경은 약 15 mm 내지 약 30 mm, 특히 약 20 mm일 수 있다.
전형적으로, 팽창된 탄성 튜브(116)의 인접부로서, 특히 종방향 축선 X을 따라 배치되는 인접부는 홈의 벽에 대해 가압된다. 전형적으로, 인접부는 적어도, 기판 개구(106)의 제1 단부(112)와 제2 단부(114) 사이에서 연장된다. 따라서, 팽창된 탄성 튜브의 경우에, 홈을 통과하는 제1 챔버(12)와 제2 챔버(14) 사이의 유체 연통은, 큰 압력차의 경우에도 실질적으로 방지된다.
다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 강성 튜브(124)는 탄성 튜브(116) 내에 배치되고, 강성 튜브(124)는 전형적인 실시예에서, 적어도 기판 개구(106)의 길이를 갖는다. 전형적인 실시예에서, 강성 튜브(124)는 기판 개구(106)의 종방향 연장부를 초과하는 장치(100)의 종방향 축선 X에 따른 길이를 가질 수 있다. 또한, 일 실시예에서, 탄성 튜브(116)의 종방향 연장부는 강성 튜브(124)의 종방향 연장부보다 크다. 예를 들어, 본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 강성 튜브는 수축된 탄성 튜브의 내경보다 약간 작은, 예를 들어 5% 내지 20% 작은 외경을 가질 수 있다. 따라서, 수축된 탄성 튜브와 강성 튜브 사이에 공간이 형성된다.
일부 실시예에서, 강성 바아, 특히 원통형 강성 바아가 탄성 튜브(116) 내에 배치될 수 있다. 강성 바아는 일부 실시예에서 강성 튜브 대신 사용될 수 있다. 전형적으로, 강성 튜브는 강성 바아의 일 실시예일 수 있다. 강성 바아는 전형적인 실시예에서, 적어도 기판 개구(106)의 길이를 가질 수 있다. 전형적인 실시예에서, 강성 바아는 기판 개구(106)의 종방향 연장부를 초과하는 장치의 종방향 축선 X에 따른 길이를 가질 수 있다. 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브(116)의 종방향 연장부는 강성 바아의 종방향 연장부보다 크다. 예를 들어, 본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 일 실시예에서, 강성 바아는 수축된 탄성 튜브의 내경보다 약간 작을 수 있는, 예를 들어 5% 내지 20% 작을 수 있는 외경을 가질 수 있다. 따라서, 수축된 탄성 튜브와 강성 바아 사이에 공간이 형성된다. 전형적으로, 강성 바아는 탄성 튜브보다 더 강성을 띤다. 예를 들어, 강성 바아는 금속, 예를 들어 강철로 제조될 수 있다.
일 실시예에서, 강성 튜브(124) 및/또는 강성 바아는 장치(100)의 홈(110) 내의 고정 위치에 유지된다. 따라서, 탄성 튜브(116)는 강성 튜브 또는 강성 바아에 의해 장치(100) 내의 고정 위치에 유지된다. 따라서, 수축된 상태이더라도, 탄성 튜브는 홈 내로 또는 홈의 방향으로 퇴피함에 있어서, 수축된 탄성 튜브(116)가 기판 개구(106)를 횡단하는 가요성 기판(116)에 손상을 가하지 않을 수 있도록 퇴피한다. 따라서, 수축된 탄성 튜브(116)는 가요성 기판에 흠을 내지 않을 수 있다.
전형적으로, 강성 튜브(124) 또는 강성 바아는 특히, 이들이 수축된 탄성 튜브를 홈에 유지시키도록 조정되기 때문에, 탄성 튜브(116)보다 더 강성을 띤다. 예를 들어, 강성 튜브는 금속, 예를 들어 알루미늄, 스테인리스 스틸 또는 강철로 제조될 수 있다.
본 발명에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 홈(110)은 튜브 장착 개구(126)에 의해 종방향 축선 X의 방향으로 개구의 각 극단부(112, 114)에 연장된다. 튜브 장착 개구(126)는 탄성 튜브(116) 및 강성 튜브(124)를 홈(110) 내로 삽입하는데 사용된다. 전형적으로, 튜브 장착 개구(126)는 각각, 실질적으로 원뿔형 표면(128)을 구비한 측방부를 갖는다. 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브는 튜브 장착 개구(126)의 원뿔형 표면(128)에 대해 플러그(130)에 의해 가압된다. 전형적인 실시예에서, 플러그(130)는 튜브 장착 개구(126)를 통한 홈의 종방향의 유체 유동이 방지되도록, 원주 방향 돌출부(132)를 가질 수 있다. 또한, 플러그(130)는 일 실시예에서, 강성 튜브(124)를 지지하기 위한 지지 돌출부(134)를 가질 수 있다. 따라서, 강성 튜브(124)는 홈(110)에서 제 위치에 고정된다. 전형적으로, 플러그(130)는 예를 들어, 나사 또는 볼트에 의해 장치(100)의 본체(104)에 고정된다.
또한, 플러그는 탄성 튜브(116)의 내부와 유체 공급부(136) 사이에 유체 연결부(138)를 제공하도록 설계된다. 예를 들어, 각각의 플러그는 이러한 유체 연결부(138)를 가질 수 있다. 추가적인 실시예에서, 제1 플러그는 탄성 튜브를 소개하거나 수축시키기 위한 펌프와 연결될 수 있으며, 다른 유체 연결부(138)는 압력 소스(136)와 연결될 수 있다. 본 명세서에 개시된 다른 실시예와 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 유체 공급부는 강성 튜브(124)의 내부에 연결된다. 강성 튜브와 탄성 튜브(116) 사이의 공간에 압력을 제공하기 위해, 강성 튜브는 유체 연결부가 강성 튜브(124)와 탄성 튜브(116) 사이의 공간과 강성 튜브(124)의 내부 사이에 존재할 수 있도록, 개구(140)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 탄성 튜브(116)는 팽창된 탄성 튜브(116)의 내부가 약 6 bar의 압력을 갖도록 팽창될 수 있다.
일부 실시예에서, 유체 연결부(138)는 압축 공기가 강성 튜브(124)와 탄성 튜브(116) 사이의 공간에 직접 제공되도록 배치될 수 있다.
탄성 튜브(116)가 튜브 장착 개구(126)의 밀봉면에 대해 기계적이고 긴밀하게 가압되기 때문에, 탄성 튜브(116)는 전형적으로 본체(104)에 가황처리 또는 아연도금 처리되지 않는다. 따라서, 탄성 튜브(116)는 장치(100)에서 용이하게 대체될 수 있다.
전형적인 실시예에서, 밀봉면은 중심부(118)를 포함한다. 전형적인 실시예에서, 측방부(120)는 밀봉면(108)의 각각의 종방향 극단부에 각각 배치된다. 일부 실시예에서, 측방부(120)는 적어도 부분적으로 튜브 장착 개구(126)에 배치될 수 있다.
또한, 밀봉면(108)은 각각의 측방부와 중심부(118) 사이에 개재부(122)를 포함할 수 있다. 전형적으로, 측방부(120)는 밀봉면(108)의 제1 단부(112) 및 제2 단부(114)에 배치된다. 전형적인 실시예에서, 중심부 및/또는 측방부(120)는 탄성 튜브(116) 또는 장치(100)의 종방향 축선 X에 실질적으로 평행한다.
전형적으로, 중심부와 개재부 사이, 및 개재부와 각각의 측방부 사이에 완만한 과도 부분이 있다. 예를 들어, 측방부와 각각의 인접 개재부, 또는 개재부와 중심부 사이의 과도 부분의 캐비티의 반경은 80 mm보다 클 수 있고, 특히 90 mm보다 클 수 있다. 예를 들어, 곡률 반경은 90 mm 내지 120 mm일 수 있다.
또한, 밀봉면의 부분들 사이의 과도 부분의 원호는 15°보다 작을 수 있으며, 특히 10° 미만일 수 있다. 예를 들어, 밀봉면의 부분들 사이의 과도 부분의 각도는 5° 내지 10°일 수 있다.
따라서, 탄성 튜브가 가압되고, 밀봉면(108)에 대해 기판을 가압하는 경우라도, 긴밀한 연결이 실현될 수 있다.
본 명세서에 개시된 실시예에 따른 장치는 가요성 기판이 기판 개구 내에 존재하는 경우라도, 상이한 공기 압력을 갖는 챔버의 신뢰할 수 있는 분리가 실현될 수 있도록 매우 견고하다. 특히, 튼튼하고 둥근 튜브 설계는 높은 수준의 견고함을 가능하게 한다.
따라서, 팽창된 탄성 튜브의 경우에, 제1 챔버와 제2 챔버 사이의 유체 연통은 제1 챔버와 제2 챔버 사이의 압력 차가 큰 경우에도 실질적으로 방지된다. 예를 들어, 챔버는 가요성 기판 처리 장치의 권취 해제 또는 권취 챔버일 수 있으며, 권취 해제 또는 권취 챔버는 증착 챔버에 인접한다. 일 실시예에 따라, 권취 해제 또는 권취 챔버는 증착 챔버에 대해 진공 기밀하게 밀봉될 수 있다. 따라서, 예를 들어, 물리적 기상 증착 기구의 목표물은 작은 입자를 함유할 수 있는 대기에, 다른 챔버 내의 가요성 기판을 노출시키지 않고서 변경될 수 있다.
따라서, 장치(100)는 가요성 기판이 장치(100)를 횡단하는 경우라도, 제1 챔버와 제2 챔버 사이의 개구를 진공 기밀 밀봉한다. 전형적으로, 가요성 기판은 기판 개구가 존재하는 경우라도, 장치의 긴밀성에 해를 미치지 않는다. 개시된 실시예에 따르면, 탄성 튜브는, 팽창되어 가요성 기판용 개구를 페쇄시키도록, 홈에 배치되어 압축 공기로 가압될 수 있다. 탄성 튜브는 실질적으로 밀봉면의 방향으로 확장되는 것만으로, 기판이 대면하는 밀봉면에 대해 가압되도록 할 수 있다. 개방 상태에서, 탄성 튜브는 홈 내로 퇴피하여 기판 개구를 비워둔다.
도 4는 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법의 개략적인 도면을 도시한다. 박스(1000)에서, 본체가 제공된다. 본체는 밀봉면을 갖고, 기판 개구는 본체에 형성되어 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성된다. 전형적인 실시예에서, 홈은 본체 내 밀봉면의 맞은편에 형성된다. 박스(1010)에서, 탄성 튜브는 탄성 튜브가 부분적으로 밀봉면에 대면하도록, 본체 내로, 예를 들어 본체의 홈에 삽입된다. 예를 들어, 탄성 튜브는 본체에 제공되는 튜브 장착 개구를 통해 제공될 수 있다. 추가적인 실시예에서, 강성 튜브는 탄성 튜브 내에 제공될 수 있다. 전형적으로, 박스(1020)에서, 탄성 튜브, 특히 탄성 튜브의 내부는 가스 공급원, 예를 들어 압축 공기 소스에 연결된다. 따라서, 탄성 튜브는 기판 개구를 폐쇄하기 위해 팽창될 수 있다.
전형적인 실시예에서, 홈은 실질적으로 에지가 없다. 예를 들어, 특히 기판 개구의 제1 단부와 기판 개구의 제2 단부 사이에서 연장되는 탄성 튜브의 인접부는 홈의 벽에 대해 가압된다.
기술된 설명은, 최상의 모드를 포함하고, 또한 당업자가 임의의 장치 또는 시스템을 제조 및 사용하며, 임의의 통합된 방법을 실행하는 것을 포함하여 설명된 청구대상을 실현할 수 있는 본 발명의 개시내용에 대한 예들을 사용한다. 다양한 특정 실시예들이 앞서 개시되었지만, 당업자는 특허청구범위의 사상 및 범주가 동등하게 효과적인 변형예를 고려한다는 점을 인식할 것이다. 특히, 전술된 실시예들의 상호 비-배타적인 특징은 서로 조합될 수 있다. 특허 가능한 범주는 특허청구범위에 의해 규정되며, 이러한 변형예 및 당업자가 도출해 낼 수 있는 다른 예들을 포함할 수 있다. 이러한 다른 예들은 특허청구범위의 문자 언어와 다르지 않는 구조적 요소를 갖거나, 특허청구범위의 문자 언어와 거의 차이가 없는 동등한 구조적 요소를 포함한다면, 특허청구범위의 범주 내에 있는 것으로 된다.

Claims (15)

  1. 가요성 기판(16)용 챔버 입구(18) 또는 챔버 출구를 밀봉(seal)하기 위한 장치(100)로서,
    밀봉면(108)을 갖는 본체(104),
    상기 본체에 형성되어, 상기 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성된 기판 개구(106), 및
    적어도 부분적으로 상기 밀봉면에 대면하는 탄성 튜브(116)를 포함하며,
    상기 탄성 튜브는, 가스 공급부(136)와의 연결을 위한 연결부를 구비하고, 동작 동안 팽창(inflat) 및 수축(deflat)하도록 구성되는, 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본체 내에서 상기 밀봉면의 맞은편에 형성되는 홈(recess)(110)을 더 포함하고, 특히, 상기 홈(110)은 실질적으로 U자 형상이거나, 상기 탄성 튜브의 종방향 축선에 직교하는 부분에서 실질적으로 반-원 단면을 갖는, 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 탄성 튜브(116)는 적어도 부분적으로 상기 홈에 배열되는, 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밀봉면(108)은 상기 기판 개구(106)에 형성되는, 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    강성 바아(124), 특히 강성 튜브가 상기 탄성 튜브(116) 내에 배치되고, 특히, 상기 강성 튜브의 내부는 상기 강성 튜브와 상기 탄성 튜브 사이의 공간과 유체 연통하는, 장치.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본체(104)는, 상기 탄성 튜브와 상기 강성 바아로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 요소를 장착하기 위해, 상기 홈(110)의 종방향 축선(X)의 방향으로 상기 홈을 연장시키는 적어도 하나의 튜브 장착 개구(126)를 포함하는, 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 튜브 장착 개구(126)는 원주 방향(circumferential) 튜브 장착 개구 밀봉면(128)을 갖고, 상기 탄성 튜브는, 상기 적어도 하나의 튜브 장착 개구를 통과하는 방향으로의 유체 유동이 방지되도록, 상기 튜브 장착 개구 밀봉면(128)에 대해 가압되며, 특히, 공급 개구 밀봉면은 실질적으로 원뿔형인, 장치.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    튜브 장착 개구에 각각 배치되는 적어도 하나의 플러그(130)를 더 포함하고, 상기 플러그는 장착 개구 밀봉면에 대해 상기 탄성 튜브(116)를 가압하며, 특히 상기 적어도 하나의 플러그는 실질적으로 원뿔형인, 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 플러그는 상기 강성 바아(124)를 유지하는, 장치.
  10. 가요성 기판을 처리하기 위한 기판 처리 기구(apparatus)로서,
    제1 챔버(12) 및 상기 제1 챔버로부터 분리된 제2 챔버(14), 및
    제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 장치를 포함하고,
    상기 장치는 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버 사이의 유체 연통을 선택적으로 개폐하는, 기판 처리 기구.
  11. 가요성 기판(16)용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법으로서,
    밀봉면(108)을 갖는 본체(104)를 제공하는 단계 ― 기판 개구(106)가 상기 본체에 형성되어 상기 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성됨 ―;
    탄성 튜브(116)가 적어도 부분적으로 상기 밀봉면(108)에 대면하도록, 상기 탄성 튜브(116)를 상기 본체 내로 삽입하는 단계 ― 상기 탄성 튜브는, 연결부를 구비하고, 동작 동안 팽창 및 수축하도록 구성됨 ―; 및
    상기 탄성 튜브의 연결부를 가스 공급부(136)에 연결하는 단계를 포함하는, 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 장치는 상기 본체 내에서 상기 밀봉면의 맞은편에 형성되는 홈(110)을 더 포함하고, 상기 방법은,
    상기 탄성 튜브(116)를 적어도 부분적으로 상기 홈 내로 삽입하는 단계를 포함하는, 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 본체는 상기 홈을 그 종방향 축선의 방향으로 연장시키는 적어도 하나의 튜브 공급 개구(126)를 포함하고, 상기 탄성 튜브는 상기 튜브 공급 개구를 통해 상기 홈에 도입되는, 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 튜브 공급 개구를 통과하는 방향으로의 유체 유동이 방지되도록, 상기 탄성 튜브를 상기 적어도 하나의 튜브 공급 개구의 원주 방향 튜브 공급 개구 밀봉면(128)에 대해 가압하는 단계를 더 포함하는, 방법.
  15. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 탄성 튜브를 강성 바아(124) 주위에 배열하는 단계를 더 포함하는, 방법.
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI385215B (zh) * 2007-12-20 2013-02-11 Chung Shan Inst Of Science Ruthenium Metal Complexes Dyes and Their Solar Cells
CN102941433B (zh) * 2012-10-19 2016-02-24 浙江吉尚汽车部件有限公司 主缸密封圈装配方法
DE102014100070B4 (de) * 2013-09-06 2019-04-18 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Schlitzventil und Vakuumbeschichtungsanlage
GB2521645B (en) * 2013-12-24 2016-01-06 Bobst Manchester Ltd Vacuum metallizers and methods of operating vacuum metallizers
USD924825S1 (en) * 2018-01-24 2021-07-13 Applied Materials, Inc. Chamber inlet
CN108899249B (zh) * 2018-07-11 2023-11-21 浙江正泰电器股份有限公司 继电器、继电器抽真空充气系统及继电器抽真空充气方法
US20220112594A1 (en) * 2020-10-14 2022-04-14 Applied Materials, Inc. Device for sealing a vacuum chamber, vacuum processing system, and method of monitoring a load lock seal

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3302432A (en) * 1963-05-31 1967-02-07 Mather & Platt Ltd Seals for pressure vessels or the like
US4291727A (en) * 1979-02-28 1981-09-29 Institute Of Gas Technology Pipeline flow restrictor and process

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3170576A (en) 1962-08-24 1965-02-23 Pennsalt Chemicals Corp Rotary seal
DE2331367A1 (de) * 1973-06-20 1975-01-23 Kleinewefers Ind Co Gmbh Dichtung fuer behandlungsbehaelter, insbesondere fuer textile warenbahnen
US4017258A (en) * 1974-06-10 1977-04-12 Sando Iron Works Co., Ltd. Method of forming a pressure seal employing an air-balance in a high pressure steamer
US4249846A (en) * 1978-12-20 1981-02-10 Pacific Western Systems, Inc. Rotary vacuum seal for a wafer transport system
JP2581676B2 (ja) * 1986-07-17 1997-02-12 日本鋼管株式会社 炉内ロ−ル
US4812101A (en) 1987-04-27 1989-03-14 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Method and apparatus for continuous throughput in a vacuum environment
DD285120A5 (de) * 1989-06-20 1990-12-05 Fi Manfred Von Ardenne,Dd Bandventil
NL9101900A (nl) * 1991-11-14 1993-06-01 Beugen J Van Beheer Bv Werkwijze voor het vervaardigen van een opblaasbare afsluitplug voor leidingen.
DE59306704D1 (de) * 1992-02-12 1997-07-17 Balzers Hochvakuum Vakuumbearbeitungsanlage
DE4207525C2 (de) * 1992-03-10 1999-12-16 Leybold Ag Hochvakuum-Beschichtungsanlage
JP3199162B2 (ja) * 1996-03-18 2001-08-13 松下電器産業株式会社 連続真空処理装置
EP1021338B1 (fr) * 1997-10-06 2002-04-03 ROSSI, Jean-Pierre Dispositif de conditionnement sous atmosphere controlee de produits dans les emballages opercules par un film
DE19960751A1 (de) * 1999-12-16 2001-07-05 Fzm Ges Fuer Produktentwicklun Schleuse und Verfahren zur Anwendung derselben
DE502004010406D1 (de) 2004-05-25 2009-12-31 Applied Materials Gmbh & Co Kg Schleusenventil, insbesondere für eine bandbehandlungsanlage
DE102007009678A1 (de) * 2006-10-27 2008-04-30 Sms Demag Ag Bandschleuse

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3302432A (en) * 1963-05-31 1967-02-07 Mather & Platt Ltd Seals for pressure vessels or the like
US4291727A (en) * 1979-02-28 1981-09-29 Institute Of Gas Technology Pipeline flow restrictor and process

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Publication number Publication date
CN102834544A (zh) 2012-12-19
EP2374914B1 (en) 2015-07-22
TW201202471A (en) 2012-01-16
EP2374914A1 (en) 2011-10-12
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JP2013524017A (ja) 2013-06-17
WO2011124467A1 (en) 2011-10-13
TWI558842B (zh) 2016-11-21
JP5878162B2 (ja) 2016-03-08
KR101869525B1 (ko) 2018-06-22
US20110247557A1 (en) 2011-10-13

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