TWI558842B - 用於對可撓基材密封腔室入口或腔室出口的裝置；基材處理設備及用於組裝此裝置的方法 - Google Patents

Description

用於對可撓基材密封腔室入口或腔室出口的裝置；基材處理設備及用於組裝此裝置的方法

本發明係關於一種用於對一可撓(flexible)基材密封一腔室入口或一腔室開口之裝置。特別是，本發明係與一種具有一本體與形成於該本體中之一基材開口的裝置有關。

此外，本發明與一種用於處理一可撓基材的基材處理設備有關，該基材處理設備包含一第一腔室以及與該第一腔室分隔之一第二腔室。

另外，本發明係關於一種用於組裝對一可撓基材密封一腔室入口或一腔室出口之裝置的方法。

在許多應用中都需要沉積薄層在一可撓基材上。

一般而言，可撓基材係在可撓基材塗佈設備的不同腔室中進行塗佈；此外，可撓基材存料(例如可撓基材捲材)係置於基材塗佈設備的一個腔室中。一般而言，係利用真空沉積技術(例如物理氣相沉積或化學氣相沉積)而在真空中塗佈可撓基材。然而，為了在腔室中修復或更換某些裝置，或為了重新填充或重新進料可撓基材存料，必須對至少其中一個腔室加壓至大氣壓力，因此有人需進入腔室，或者需重新填充或收回可撓基材存料。在其他實例中，在必須保養沉積設備時(例如需要更換濺 鍍設備之靶材時)，可撓基材存貨係保持於真空中；然而基材塗佈設備的其他腔室係仍保持排空。為了這些目的，需對另一腔室密封一腔室，特別是在可撓基材橫越兩腔室之間的壁體時。

因此，即使是在可撓基材橫越兩腔室之間的壁體時，都可能有一個腔室具有非常低的壓力、而另一個腔室具有相對高之壓力。

鑑於上述，本發明提供了一種如申請專利範圍第1項之用於密封腔室入口的裝置、一種如申請專利範圍第10項之基材處理設備、以及一種如申請專利範圍第11項之方法。

鑑於上述，提供了一種用於對可撓基材密封一腔室入口或一腔室出口之裝置，該裝置包含具一密封表面之本體、形成於該本體中供可撓基材橫越之一基材開口、至少部分面對該密封表面之一彈性(elastic)管件，其中該彈性管件具有一連接部，其用以連接一氣體供應源並於運作期間用於進行充氣與抽氣。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，該裝置更包含一凹部，該凹部形成於該本體中且與該密封表面相對，其中該凹部特別是實質上為U形、或在與彈性管件縱向軸正交的截面上具有一實質半 圓形之截面。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，該凹部特別是具有溝槽之形式。

舉例而言，在一具體實施例中，該凹部具有一縱向軸，該凹部的該縱向軸係實質上平行於該彈性管件之縱向軸。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，該彈性管件係至少部分置於該凹部中。

舉例而言，在一具體實施例中，該密封表面係形成於基材開口中。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，該彈性管件的縱向軸係實質上正交於該可撓基材的傳輸方向。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，一剛性桿(特別是一剛性管件)係置於該彈性管件內，其中該剛性管件的內部係與一空間流體連通，該空間位在該剛性管件與該彈性管件之間。在一典型具體實施例中，剛性桿係由金屬製成，該金屬例如鋼。在一典型具體實施例中，剛性桿具有剛性管件的形式。

舉例而言，在一具體實施例中，本體包含至少一管件固定開口，該管件固定開口在凹部縱向軸的方向中延伸凹部而用於固定選自彈性管件與剛性桿所組成群組中的至少一元件。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實 施例組合)，該至少一管件固定開口具有一周圍管件固定開口密封表面，其中該彈性管件係壓抵該管件固定開口密封表面，以避免在通過該至少一管件固定開口的方向中之流體流動；其中特別是，供應源開口密封表面係實質上為圓錐形。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，該裝置更包含至少一插塞，該插塞分別置於一管件固定開口中，其中該插塞將彈性管件壓抵固定開口密封表面，其中特別是，該至少一插塞係實質上為圓錐形。

在一典型具體實施例中，插塞係適用於該固定開口密封表面。

舉例而言，在一具體實施例中，該至少一插塞係維持該剛性桿(特別是剛性管件)。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，該至少一插塞包含一流體通道，用於將彈性管件的內部連接選自壓力源與真空源所組成之群組的至少一來源。

舉例而言，在一具體實施例中，其中在一充氣狀態下，彈性管件的一部分係壓抵面對基材開口密封表面之凹部表面。

根據另一態樣，提供了一種用於處理可撓基材之基材處理設備；該基材處理設備包含一第一腔室以及與第一腔室分隔之一第二腔室，以及如本發明之一具體實施例 所述之裝置，其中該裝置係選擇性的開啟或關閉第一與第二腔室之間的流體連接。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，該裝置設於該第一與第二腔室之間的一壁體中。

根據另一態樣，提供了一種用於組裝對一可撓基材密封一腔室入口或一腔室出口的方法，該方法包含以下步驟：提供具一密封表面之本體，其中一基材開口係形成於本體中以供可撓基材橫越；將一彈性管件插入本體中，使得該彈性管件係至少部分面對該密封表面，該彈性管件具有一連接部並且係適於在運作期間進行充氣與抽氣；以及使彈性管件的連接部連接至一氣體供應源。

根據另一態樣，該裝置更包含形成於該本體中、相對於該密封表面之一凹部，其中該方法包含將彈性管件至少部分插入凹部中。

舉例而言，在一具體實施例中，該本體包含至少一個管件供應源開口，其於縱向軸的方向中延伸於凹部，其中該彈性管件係通過管件供應源開口而被引入凹部中。

在一具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，該方法更包含：將該彈性管件壓抵該至少一管件供應源開口的一周圍管件供應源開口密封表面，以避免通過該至少一管件供應源開口之方向中的流體流動。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，該方法包含：將彈性管件配置在一剛性桿附 近，其中，特別是該剛性桿具有剛性管件的形式。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，該密封表面具有一縱向軸、且包含一中央部，其特別是實質上平行於該彈性管件或該彈性管件的縱向軸。此外，該密封表面可包含在密封表面之各縱向末端處的一側向部分，以及在各側向部分與中央部之間的一中間部分；其中，特別是該彈性管件係長期壓抵該側向部分，特別是在對彈性管件進行充氣或抽氣時。

舉例而言，在一具體實施例中，側向部分與各別相鄰中間部分之間的轉換曲率半徑係大於80mm，特別是大於90mm。舉例而言，曲率半徑係介於90mm與120mm之間。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，中央部分與中間部分之間的轉換曲率半徑係分別大於80mm、特別是大於90mm。舉例而言，曲率半徑係介於90mm與120mm之間。

舉例而言，在一具體實施例中，中央部分與中間部分之間的轉換圓形區段之角度係分別小於15度，特別是小於10度。舉例而言，中央部分與中間部分的轉換角度係介於5度與10度之間。

在一典型具體實施例中(可與本文所述之其他具體實施例組合)，側向部分與各別相鄰中間部分之間的轉換圓形區段的角度小於15度，特別是小於10度。舉例而言，側向部分與各相鄰中間部分之間的轉換角度介於5度與 10度之間。

舉例而言，在一具體實施例中，中間部分約為密封表面之縱向延伸開口的延伸部的5%與10%之間。

現將詳細參照各種具體實施例來進行說明，其中在圖式中係描述了其一或多個實例。每一個實例都僅為說明之用，而非用於限制本發明。在圖式的下述說明內，相同的元件符號係代表相同的組件。一般而言，僅說明各別具體實施例中的差異處。

第1圖繪示了在第一腔室12與第二腔室14之間的壁體10的截面側視圖，可撓基材16係於兩腔室12、14中進行處理。一般而言，在處理期間，腔室12、14具有約10^-4毫巴(mbar)或約10^-5毫巴之壓力。舉例而言，在第一腔室12，可撓基材16可由一塗佈裝置20加以塗佈。在腔室14中，可撓基材可於可撓基材捲材22上捲起或展開。一般而言，可撓基材16係經由壁體開口18而橫越壁部10。第一腔室12與第二腔室14可具有不同壓力，例如在以新捲材22來更換捲材22時。接著，壁體開口18可為緊密密封，即使是在部分可撓基材16橫越壁體開口18時。

為此目的，用於密封腔室入口或腔室開口之裝置100係置於壁體開口18處或壁體開口18中。可撓基材16係 橫越裝置100。在進一步的具體實施例中(可與本發明之其他具體實施例結合)，裝置100係整合於壁體10中、或作為壁體10的一部分，因此壁體開口係對應於裝置100的基材開口。在某些具體實施例中，裝置100係例如藉由螺絲或螺栓緊密固定至壁體10。

第2圖繪示了裝置100的橫向截面圖。裝置100包含本體104，該本體104具有一基材開口106，可撓基材16一般係以可撓基材的傳輸方向102橫越基材開口106。在一典型具體實施例中(可與本發明之其他具體實施例結合)，本體104係由剛性材料所製成，該剛性材料一般為金屬，例如鋼或不鏽鋼。舉例而言，本體104係由次組件所製成，次組件接著即分別對應至本體104的一半。

基材開口106具有密封表面108，該密封表面108一般在沿著裝置100的縱向軸延伸，且相對於密封表面108上係置有一溝槽或凹部110。如圖所示，在第3圖所示之裝置100的縱向截面中，基材開口106在裝置100的縱向方向X中具有第一端部112與第二端部114。在第3圖中，所繪示之裝置100係不具橫越的可撓基材。

在凹部110中係配置有彈性管件116。在一典型具體實施例中，彈性管件116係可由橡膠、氟膠、矽膠及/或丁腈橡膠(nitrile butadiene rubber,NBR)所製成。彈性管件可經充氣，因此在一具體實施例中，彈性管件116的一部分表面係壓抵密封表面108。當可撓基材16橫越基材 開口106時，充氣之彈性管件係壓抵可撓基材16。

一般而言，經抽氣之彈性管件可具有一外徑，該外徑介於約25mm與約50mm之間，特別是介於30mm與45mm之間。此外，抽氣之彈性管件可具有一厚度，該厚度介於2mm與約8mm之間，特別是介於約3mm與約7mm之間。

在一具體實施例中，彈性管件116係於縱向方向X上超過基材開口106。因此，彈性管件116縱向延伸部係大於基材開口106的縱向延伸部。在一典型具體實施例中(可與本發明之其他具體實施例結合)，彈性管件116係由壓力源進行充氣。

密封表面一般具有實質平行於裝置100之縱向軸X的縱向軸，在一具體實施例中(可與本發明之其他具體實施例結合)，其與彈性管件116的縱向軸X一致。

一般而言，凹部110在橫向截面上係實質為U形，因此充氣之彈性管件116係緊密壓抵凹部110的壁體。在另一具體實施例中，凹部110在橫向截面上係實質為半圓形或半橢圓形。在一典型具體實施例中，凹部110的橫向延伸部實質上對應抽氣之彈性管件116的外徑。舉例而言，U形截面的半圓形部分之半徑可對應於、或稍大於經抽氣之彈性管件的外面的半徑。舉例而言，凹部的半圓形部分的半徑可超過經抽氣之彈性管件外徑的5%。在另一具體實施例中，經抽氣之彈性管件可與凹部的壁體接觸。在一具體實施例中(可與本發明之其他具體 實施例結合)，凹部的半圓形部分之半徑係介於約15mm與約30mm之間，特別是約20mm。

一般而言，經充氣之彈性管件116的連續部分(該連續部分係特別是沿縱向軸X配置)係壓抵凹部的壁體。一般而言，連續部分係至少延伸於基材開口106的第一端部112和第二端部114之間。因此，在有經充氣之彈性管件下，即使在壓力差很大時，仍可實質避免第一腔室12與第二腔室14之間的流體流經凹部。

在一典型具體實施例中(可與本發明之其他具體實施例結合)，剛性管件124係置於彈性管件116內；在典型具體實施例中，剛性管件124的長度為至少基材開口106的長度。進一步而言，在一典型具體實施例中，剛性管件124在裝置100的縱向軸X上之長度係超過基材開口106之縱向延伸部。此外，在一具體實施例中，彈性管件116的縱向延伸部係大於剛性管件124的縱向延伸部。舉例而言，在一具體實施例中(可與本發明之其他具體實施例結合)，剛性管件之外徑係稍小於經抽氣之彈性管件的內徑(例如小於5%至20%)。因此，在經抽氣之彈性管件與剛性管件之間會形成一空間。

在某些具體實施例中，一剛性桿(特別是一圓柱形剛性桿)係置於彈性管件116中。剛性桿可用於某些具體實施例中而取代剛性管件。一般而言，剛性管件可為剛性桿的具體實施例之一。在一典型具體實施例中，剛性桿可具有至少基材開口106之長度。在一典型具體實施例 中，剛性桿在裝置的縱向軸X上之長度係超過基材開口106的側向延伸部。在典型具體實施例中，彈性管件116的縱向延伸部係大於剛性桿的縱向延伸部。舉例而言，在一具體實施例中(可與本發明之其他具體實施例結合)，剛性桿具有之外徑係稍小於經抽氣之彈性管件的內徑(例如小於5%至20%)。因此，在經抽氣之彈性管件與剛性桿之間係形成一空間。一般而言，剛性桿比彈性管件更為剛硬；例如，剛性桿可由金屬(例如鋼)製成。

在一具體實施例中，剛性管件124及/或剛性桿係保持在裝置100的凹部110中的固定位置；因此，彈性管件116係由剛性管件或剛性桿保持於裝置100的固定位置中。因此，即使在抽氣狀態下，彈性管件係縮回凹部或在凹部方向中，使得經抽氣之彈性管件116不致破壞橫越基材開口106的可撓基材116。因此，經抽氣之彈性管件116不會刮傷可撓基材。

一般而言，剛性管件124或剛性桿係比彈性管件116更為剛硬，特別是在用於維持凹部中的經抽氣彈性管件時。舉例而言，剛性管件係由金屬製成，例如鋁、不鏽鋼或鋼。

在一典型具體實施例中(可與本發明之其他具體實施例結合)，凹部110係於縱向軸X的方向上、開口的各末端處112、114延伸一管件固定開口126。管件固定開口126係用以將彈性管件116與剛性管件124插入凹部110中。一般而言，管件固定開口126分別具有一側向部分， 側向部分具有一實質上圓錐形表面128。在一典型具體實施例中(可與本發明之其他具體實施例結合)，彈性管件係由插塞130壓抵管件固定開口126的圓錐形表面128。在一典型具體實施例中，插塞130具有一周圍突出部132，因此避免在凹部縱向方向中、通過管件固定開口126之流體流動。此外，在一具體實施例中，插塞130可具有一支撐突出部134以支撐剛性管件124。因此，剛性管件124係於凹部110固定定位。一般而言，插塞130係由例如螺絲或螺栓固定於裝置100的本體104。

插塞係進一步設計以提供流體供應源136與彈性管件116內部之間的流體連接部138。舉例而言，各插塞具有這樣的流體連接部138。在另一具體實施例中，第一插塞係連接於一泵以排空彈性管件或進行抽氣，而另一流體連接部138係連接於壓力源136。在一典型具體實施例中(可與本發明之其他具體實施例結合)，流體供應源係連接至剛性管件124的內部。為了避免剛性管件與彈性管件116間之空間的壓力，剛性管件可包含開口140，因此上述「剛性管件124和彈性管件116間的空間」與剛性管件124的內部之間是可能有流體連接的。舉例而言，彈性管件116係經充氣，因此經充氣之彈性管件116的內部具有約為6巴(bar)的壓力。

在某些具體實施例中，流體連接部138係配置為使得壓縮空氣可直接提供於剛性管件124與彈性管件116之間的空間中。

由於彈性管件116係機械與氣密地壓抵管件固定開口126的密封表面，因而彈性管件116一般未經硫化(vulcanized)或鍍鋅(galvanized)。因此，在裝置100中係可輕易替換彈性管件116。

在一典型具體實施例中，密封表面包含一中央部118。在一典型具體實施例中，一側向部分120係分別配置在密封表面108的各縱向末端處。在某些具體實施例中，側向部分120可(至少部分)置於管件固定開口126中。

此外，密封表面108可包含在各側向部分與中央部118間之一中間部分122。一般而言，側向部分120係置於密封表面108的第一端部112與第二端部114處，在一典型具體實施例中，中央部及/或側向部分120係實質上平行於彈性管件116或裝置110的縱向軸X。

一般而言，在中央部與中間部分之間、以及在中間部分與各側向部分之間有平順轉換。舉例而言，在側向部分與各相鄰中間部分、或是在中間部分與中央部之間的轉換空腔半徑係大於80mm，特別是大於90mm。舉例而言，曲率半徑係介於90mm與120mm之間。

此外，密封表面部分之間的轉換圓形區段係小於15度，特別是小於10度。舉例而言，密封表面部分之間的轉換角度係介於5度與10度之間。

因此，即使是彈性管件經加壓、且將基材壓抵密封表面108，仍可產生氣密連接。

根據本發明具體實施例之裝置具相當氣密性，因此能 可靠地隔離具不同空氣壓力之腔室，即使是在可撓基材存在於基材開口內時亦然。特別是，可靠的圓管件設計可產生高度氣密性。

因此，在有經充氣之彈性管件下，即使在第一腔室與第二腔室之間壓力差很大時，仍可實質避免第一腔室與第二腔室之間的流體流通。舉例而言，腔室可為一可撓基材處理裝置的非捲繞或捲繞腔室，其中非捲繞或捲繞腔室係與沉積腔室相鄰。根據一具體實施例，非捲繞或捲繞腔室係對沉積腔室密封而為真空氣密；因此，舉例而言，可在不使另一腔室中的可撓基材暴露至大氣(可能含有微小粒子)下進行物理氣相沉積設備靶材之更換。

因此，裝置100係真空氣密地密封了第一腔室與第二腔室之間的開口，即使在可撓基材橫越裝置100時亦然。一般而言，可撓基材並不傷害裝置的緊密性，即使是在基材開口中。根據所揭示之具體實施例，彈性管件係置於凹部中，且可以加壓空氣進行加壓，因此彈性管件可被充氣並關閉可撓基材之開口。彈性管件實質上僅於密封表面的方向中延伸，因此基材係被壓抵所面對之密封表面。在開啟狀態下，彈性管件會縮回凹部中、並離開基材開口。

第4圖為用於組裝對彈性基板密封腔室入口或腔室開口之裝置的方法示意圖。在方塊1000中，提供一本體；該本體具有一密封表面，且一基材開口係形成於本體中以供可撓基材橫越。在一典型具體實施例中，凹部係形 成於本體中而與密封表面相對。在方塊1010中，彈性管件係插入本體中，例如插入本體的凹部中，使得彈性管件部分面對密封表面。舉例而言，彈性管件係通過本體中的管件固定開口。在另一具體實施例中，係於彈性管件中提供一剛性管件。一般而言，在方塊1020中，彈性管件(特別是彈性管件的內部)係連接於氣體供應源(例如一加壓空氣源)。因此，可對彈性管件充氣以關閉基材開口。

在一具體實施例中，凹部係實質上不含角部。舉例而言，彈性管件的連續部分(特別是延伸於基材開口之第一端部至基材開口之第二端部)係壓抵凹部壁體。

上述說明係利用實例(包含最佳具體實施例)來揭示本發明，上述說明可使熟習該領域技術之人士來實施所述之標的，該標的包含產生與使用任何裝置或系統、及執行任何所含方法。在前文中雖已說明了各種特定具體實施例，熟習該領域技術人士應知申請專利範圍的精神與範疇係可經等效修飾；特別是，上述具體實施例中彼此不相斥的特徵係可彼此結合。可專利之範圍係由申請專利範圍所界定，且包含了該領域技術人士所能進行的修飾例與其他實例。如結構元件與申請專利範圍的字義無不同、或包含與申請專利範圍之字義有非實質差異之等效結構元件時，這些其他實例皆涵蓋於申請專利範圍的範疇內。

10‧‧‧壁體

12‧‧‧腔室

14‧‧‧腔室

16‧‧‧可撓基材

18‧‧‧開口

20‧‧‧塗佈裝置

22‧‧‧捲材

100‧‧‧裝置

102‧‧‧傳輸方向

104‧‧‧本體

106‧‧‧基材開口

108‧‧‧密封表面

110‧‧‧凹部

112‧‧‧端部

114‧‧‧端部

116‧‧‧彈性管件

118‧‧‧中央部

120‧‧‧側向部分

122‧‧‧中間部分

124‧‧‧剛性管件

126‧‧‧管件固定開口

128‧‧‧圓錐形表面

130‧‧‧插塞

132‧‧‧周圍突出部

134‧‧‧支撐突出部

136‧‧‧流體供應源

138‧‧‧流體連接部

140‧‧‧開口

1000‧‧‧方塊

1010‧‧‧方塊

1020‧‧‧方塊

對於熟習該領域技術人士而言，完整且可據以實施的揭露內容包含了其最佳實施例，該等實施例係特定地記載於說明書中，包括對如附圖式之參照，其中：第1圖繪示了包含用於密封一腔室入口或一腔室出口之裝置的壁體之截面圖；第2圖繪示了用於密封一腔室入口或一腔室出口之裝置、沿第3圖中橫向截面B-B之截面圖；第3圖繪示了用於密封一腔室入口或一腔室出口之裝置、沿第2圖中縱向截面A-A之截面圖；以及第4圖繪示了一種組裝用於密封一腔室入口或一腔室出口之裝置的方法流程圖。

16‧‧‧可撓基材

100‧‧‧裝置

102‧‧‧傳輸方向

104‧‧‧本體

106‧‧‧基材開口

108‧‧‧密封表面

110‧‧‧凹部

116‧‧‧彈性管件

124‧‧‧剛性管件

Claims (17)

1. 一種用於對一可撓(flexible)基材(16)密封一腔室入口(18)或一腔室出口之裝置(100)，該裝置包含：一本體(104)，該本體具有一密封表面(108)，形成於該本體中之一基材開口(106)，該基材開口係配置以供該可撓基材橫越，一彈性(elastic)管件(116)，該彈性管件至少部分面向該密封表面，其中該彈性管件具有一連接部，以連接一氣體供應源(136)且在運作期間適於充氣及抽氣(deflating)。
2. 如申請專利範圍第1項所述之裝置，該裝置更包含：形成於該本體中之一凹部(110)，該凹部與該密封表面相對，或形成於該本體中之一凹部(110)，該凹部與該密封表面相對，其中該凹部(110)係實質上為U形或在與該彈性管件之一縱向軸正交的截面中具有一實質半圓形截面。
3. 如申請專利範圍第2項所述之裝置，其中該彈性管件(116)係至少部分排列在該凹部中。
4. 如申請專利範圍第1項所述之裝置，其中該密封表面(108)係形成於該基材開口(106)中。
5. 如申請專利範圍第1項所述之裝置，其中一剛性桿(124)係配置在該彈性管件(116)內，其 中該剛性桿呈一剛性管件之形式，或者，其中一剛性桿(124)係配置在該彈性管件(116)內，其中該剛性桿呈一剛性管件之形式且該剛性管件的內部係與該剛性管件與該彈性管件之間的空間流體連通。
6. 如申請專利範圍第2項或第4項中任一項所述之裝置，其中該本體(104)包含至少一管件固定開口(126)，該管件固定開口係以該凹部(110)之縱向軸(X)之方向延伸於該凹部而用於固定選自由該彈性管件與該剛性桿所組成之群組之至少一元件。
7. 如申請專利範圍第6項所述之裝置，其中該至少一管件固定開口(126)具有一周圍管件固定開口密封表面(128)，其中該彈性管件係被壓抵該管件固定開口密封表面(128)，以避免在通過該至少一管件固定開口之一方向中的流體流動。
8. 如申請專利範圍第7項所述之裝置，其中該管件固定開口密封表面實質上為圓錐形。
9. 如申請專利範圍第6項所述之裝置，該裝置更包含：至少一插塞(130)，該插塞係分別置於一管件固定開口中，其中該插塞將該彈性管件(116)壓抵一管件固定開口密封表面。
10. 如申請專利範圍第9項所述之裝置，其中該至少一插塞實質上為圓錐形。
11. 如申請專利範圍第9項所述之裝置，其中該至少一插塞支撐該剛性桿(124)。
12. 一種用於處理一可撓基材之基材處理設備，該基材處理設備包含：一第一腔室(12)以及與該第一腔室分隔之一第二腔室(14)，以及如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述之裝置，其中該裝置係選擇性開啟或關閉該第一與第二腔室間之一流體連接。
13. 一種用於組裝對一可撓基材(16)密封一腔室入口或一腔室出口之裝置的方法，該方法包含以下步驟：提供一本體(104)，該本體具有一密封表面(108)，其中一基材開口(106)係形成於該本體中以供該可撓基材橫越；將一彈性管件(116)插入該本體中，使得該彈性管件至少部分面對該密封表面(108)，該彈性管件具有一連接部且於運作期間適於充氣與抽氣；以及將該彈性管件之該連接部連接至一氣體供應源(136)。
14. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該裝置更包含形成於該本體中、與該密封表面相對之一凹部(110)，其中該方法包含以下步驟：將該彈性管件(116)至少部分插入該凹部中。
15. 如申請專利範圍第14項所述之方法，其中該本體包含至少一管件供應源開口(126)，該管件供應源開口以該管件供應源開口的縱向軸之方向延伸於該凹部，其中該彈性管件係通過該管件供應源開口而被引入該凹部中。
16. 如申請專利範圍第15項所述之方法，該方法更包含以下步驟：將該彈性管件壓抵該至少一管件供應源開口之一周圍管件供應源開口密封表面(128)，以避免在通過該至少一管件供應源開口之一方向中的流體流動。
17. 如申請專利範圍第13項至第16項中任一項所述之方法，該方法更包含以下步驟：將該彈性管件排列在一剛性桿(124)周圍。