KR101823962B1 - 유기 ｅｌ 장치, 유기 ｅｌ 장치의 제조 방법 및, 전자 기기 - Google Patents

유기 ｅｌ 장치, 유기 ｅｌ 장치의 제조 방법 및, 전자 기기 Download PDF

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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

기판(10)과, 기판(10) 상에 형성되며, 제1 전극(52)과, 발광 기능층(54)과, 투명 도전성을 갖는 제2 전극(56)을 갖고 제2 전극(56)측으로 빛을 사출하는 유기 EL 소자(50)와, 유기 EL 소자(50)가 빛을 사출하는 영역인 화소 영역(42)에 있어서 제2 전극(56)측에 형성된 컬러 필터(90)와, 화소 영역(42) 이외의 영역인 차광 영역(43)에 형성된 격벽(44)을 갖는 유기 EL 장치(1)로서, 컬러 필터(90)는, 적색 컬러 필터(90R)와 녹색 컬러 필터(90G)와 청색 컬러 필터(90B)와의 3색의 컬러 필터(90) 중 어느 것이며, 3색의 컬러 필터(90) 중 1색의 컬러 필터(90)가 격벽(44)의 적어도 일부를 구성하고 있는 유기 EL 장치(1).

Description

유기 ＥＬ 장치, 유기 ＥＬ 장치의 제조 방법 및, 전자 기기{ORGANIC EL DEVICE, METHOD OF PRODUCING ORGANIC EL DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS}
본 발명은 유기 EL 장치, 유기 EL 장치의 제조 방법 및, 전자 기기에 관한 것이다.
최근, 평면형의 표시 장치로서 양극(제1 전극)과 적어도 유기 EL(일렉트로 루미네선스)층을 포함하는 발광 기능층과 음극(제2 전극)을 적층하여 형성되는 유기 EL 소자를, 화상 표시 영역 내에 규칙적으로 배치하여 이루어지는 유기 EL 장치가 주목 받고 있다. 그리고 당해 유기 EL 장치의 이용 분야로서 휴대 전화기의 표시 화면, 헤드 마운트 디스플레이(HMD), 전자 뷰 파인더(EVF) 등의 소형화가 요구되는 분야가 개척되고 있다. 이러한 소형의 유기 EL 장치에 있어서는, 유기 EL 소자와 컬러 필터와의 맞춤 어긋남을 저감하기 위해, 컬러 필터를 유기 EL 소자가 형성된 기판에 형성하는 온칩(on-chip) 컬러 필터의 채용이 고려되고 있다.
유기 EL 소자가 형성된 기판 상에 컬러 필터를 형성하는 경우, 금속으로 이루어지는 블랙 매트릭스를 격벽으로서 이용하는 구성이 제시되어 있다(예를 들면 특허문헌 1 참조). 즉, Cr(크롬) 혹은 Al(알루미늄) 등의 금속 박막을 패터닝하여 평면에서 보았을 때 그물 형상(격자 형상)의 격벽을 형성함으로써 유기 EL 소자의 발광이 서로 이웃하는 다른 유기 EL 소자의 발광 영역으로부터 사출되는 현상을 저감하고 있다.
일본공개특허공보 2010-027265호
그러나, 전술한 유기 EL 장치는, 제조 과정에 있어서 금속 박막의 형성 공정 및, 패터닝 공정을 여분으로 필요로 하고 있어, 제조 비용의 증가로 이어진다는 과제가 있었다. 또한, 내열성이 낮은 유기 EL 소자에 대한 영향이 우려된다는 과제가 있었다.
본 발명은, 전술한 과제의 적어도 일부를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 이하의 형태 또는 적용예로서 실현되는 것이 가능하다.
[적용예 1] 본 적용예에 따른 유기 EL 장치는, 기판과, 상기 기판 상에 형성되며, 제1 전극과, 발광 기능층과, 투명 도전성을 갖는 제2 전극을 갖고 상기 제2 전극측으로 빛을 사출하는 유기 EL 소자와, 상기 유기 EL 소자가 빛을 사출하는 영역인 화소 영역에 있어서 상기 제2 전극측에 형성된 컬러 필터와, 상기 화소 영역 이외의 영역인 차광(light-blocking) 영역에 형성된 격벽을 갖는 유기 EL 장치로서, 상기 컬러 필터는, 적색광을 투과시키는 적색 컬러 필터와 녹색광을 투과시키는 녹색 컬러 필터와 청색광을 투과시키는 청색 컬러 필터의 3색의 컬러 필터 중 어느 것이며, 상기 3색의 컬러 필터 중 적어도 1색의 상기 컬러 필터가 상기 격벽의 적어도 일부를 구성하고 있는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성이라면, 격벽을 금속 등의 차광성 재료를 이용하여 별도로 형성하는 경우에 비하여 박막 형성 공정 및 패터닝 공정을 저감할 수 있다. 따라서, 유기 EL 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제조 비용도 저감할 수 있다.
[적용예 2] 전술한 유기 EL 장치로서, 상기 격벽의 적어도 상기 기판측은, 상기 적색 컬러 필터로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
적색 컬러 필터는, 적색광을 제외한 2원색광 즉 녹색광과 청색광에 대하여 높은 차광성을 갖고 있다. 따라서 이러한 구성이라면, 차광 영역으로부터 사출되는 빛을 충분히 저감할 수 있어, 표시 품질을 향상할 수 있다.
[적용예 3] 전술한 유기 EL 장치로서, 상기 격벽 중 평면에서 보았을 때 상기 화소 영역과 인접하는 부분의 적어도 상기 기판측은, 각각의 상기 화소 영역에 형성되어 있는 상기 컬러 필터로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
이러한 구성이라면 서로 이웃하는 화소 영역간에, 쌍방의 화소 영역에 형성되는 컬러 필터와는 상이한 색의 컬러 필터를 형성할 필요가 없다. 따라서, 세밀한 패터닝 공정을 실시하는 일 없이 격벽을 구성할 수 있어, 제조 비용을 보다 한층 저감할 수 있다.
[적용예 4] 전술한 유기 EL 장치로서, 상기 발광 기능층은 백색광을 발광하는 발광 기능층이고, 상기 제2 전극은 반투과 반사성 재료로 이루어지고, 상기 기판과 상기 발광 기능층과의 사이에는 반사층이 형성되어 있고, 상기 제2 전극과 상기 반사층과의 사이에는 광공진(光共振) 구조가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
이러한 구성이라면, 광공진 구조에 의해 특정한 파장 범위의 빛을 강조한 후, 컬러 필터에 의해 더욱 색순도가 향상된 빛으로서 사출시킬 수 있다. 따라서, 발광 기능층의 패터닝 공정을 생략할 수 있어 제조 비용을 보다 한층 저감할 수 있다.
[적용예 5] 전술한 유기 EL 장치로서, 상기 유기 EL 소자와 상기 컬러 필터와의 사이에는 무기 재료층을 포함하는 보호층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
무기 재료층은 높은 봉지성(sealing property)을 갖기 때문에, 이러한 구성이라면, 컬러 필터의 제조 과정 및 유기 EL 장치의 완성 후에 있어서 유기 EL 소자를 보호할 수 있다. 따라서, 유기 EL 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
[적용예 6] 전술한 유기 EL 장치로서, 상기 보호층은, 상기 유기 EL 소자측에 형성된 유기 재료로 이루어지는 평탄화층과, 상기 컬러 필터측에 형성된 무기 재료층을 포함하는 층인 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
이러한 구성이라면, 무기 재료층에 의해 봉지성을 확보하면서, 전술한 광공진 구조의 형성에 수반되는 단차를 평탄화층에서 해소할 수 있다. 따라서, 유기 EL 장치의 신뢰성을 유지하면서 표시 품질을 향상시킬 수 있다.
[적용예 7] 본 적용예에 따른 전자 기기는, 전술한 유기 EL 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 표시 품질과 신뢰성이 향상된 표시부를 갖는 전자 기기를 저비용으로 얻을 수 있다.
[적용예 8] 본 적용예에 따른 유기 EL 장치의 제조 방법은, 기판 상의 화상 표시 영역에, 섬(island) 형상의 제1 전극과, 발광 기능층과, 투명 도전성 재료로 이루어지는 제2 전극을 순서대로 적층하여 유기 EL 소자를 형성하는 제1 공정과, 상기 화상 표시 영역을, 평면에서 보았을 때 상기 제1 전극에 포함되는 화소 영역과 상기 화소 영역 이외의 영역인 차광 영역으로 구획하고, 추가로 상기 화소 영역을 적색 화소 영역과 녹색 화소 영역과 청색 화소 영역의 3종류의 화소 영역으로 구획하는 제2 공정과, 상기 적색 화소 영역과 상기 차광 영역에 적색 착색층을 형성하는 제3 공정과, 상기 녹색 화소 영역에 녹색 착색층을 형성하고, 그리고, 상기 청색 화소 영역에 청색 착색층을 형성하는 제4 공정을 기재한 순서대로 실시하는 것을 특징으로 한다.
이러한 제조 방법이라면, 차광성 재료층의 형성과 패터닝을 행하는 일 없이 서로 이웃하는 화소 영역간에 격벽을 형성할 수 있다. 따라서, 유기 EL 소자에 대한 영향 및 제조 비용을 저감하면서 컬러 표시 가능한 유기 EL 장치를 얻을 수 있다.
[적용예 9] 전술한 유기 EL 장치의 제조 방법으로서, 상기 제4 공정은, 상기 녹색 화소 영역과 당해 녹색 화소 영역을 둘러싸는 환상(環狀)의 영역에 상기 녹색 착색층을 형성하고, 그리고, 상기 청색 화소 영역과 당해 청색 화소 영역을 둘러싸는 환상의 영역에 상기 청색 착색층을 형성하는 공정인 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
이러한 제조 방법이라면, 녹색 화소 영역의 주위의 차광 영역 및 청색 화소 영역의 주위의 차광 영역에, 적색 착색층을 포함하는 2층의 투명 착색층으로 이루어지는 격벽을 형성할 수 있다. 따라서, 보다 한층 표시 품질이 향상된 유기 EL 장치를 얻을 수 있다.
[적용예 10] 본 적용예에 따른 유기 EL 장치의 제조 방법은, 기판 상의 화상 표시 영역에, 섬 형상의 제1 전극과, 발광 기능층과, 투명 도전성 재료로 이루어지는 제2 전극을 순서대로 적층하여 유기 EL 소자를 형성하는 제1 공정과, 상기 화상 표시 영역을, 평면에서 보았을 때 상기 제1 전극에 포함되는 화소 영역과, 상기 화소 영역 이외의 영역인 차광 영역으로 구획하고, 추가로 상기 화소 영역을 적색 화소 영역과 녹색 화소 영역과 청색 화소 영역의 3종류의 화소 영역으로 구획하는 제2 공정과, 상기 적색 화소 영역과, 상기 차광 영역 중 상기 적색 화소 영역에 인접하는 영역에 적색 착색층을 형성하는 제3 공정과, 상기 녹색 화소 영역과, 상기 차광 영역 중 상기 녹색 화소 영역에 인접하는 영역에 녹색 착색층을 형성하는 제4 공정과, 상기 청색 화소 영역과, 상기 차광 영역 중 상기 청색 화소 영역에 인접하는 영역에 청색 착색층을 형성하는 제5 공정을 기재한 순서대로 실시하는 것을 특징으로 한다.
이러한 제조 방법이라면, 차광성 재료층의 형성과 패터닝을 행하는 일 없이 서로 이웃하는 화소 영역간에 격벽을 형성할 수 있다. 따라서, 유기 EL 소자에 대한 영향 및 제조 비용을 저감하면서 컬러 표시 가능한 유기 EL 장치를 얻을 수 있다.
[적용예 11] 전술한 유기 EL 장치의 제조 방법으로서, 상기 제3 공정은, 상기 적색 화소 영역과, 상기 차광 영역 중 상기 적색 화소 영역에 인접하는 영역 및, 상기 제4 공정에서 상기 녹색 착색층이 형성되지 않고 그리고 상기 제5 공정에서 상기 청색 착색층이 형성되지 않는 영역에 상기 적색 착색층을 형성하는 공정인 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
이러한 제조 방법이라면, 차광 영역의 전역에 적어도 1층의 투명 착색층을 형성할 수 있다. 따라서, 차광 영역으로부터 빛이 사출되는 것을 저감할 수 있어, 보다 한층 표시 품질이 향상된 유기 EL 장치를 얻을 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 유기 EL 장치의 화상 표시 영역 내에 있어서의 화소 전극 등의 배치의 모습을 나타내는 개략 평면도이다.
도 3은 유기 EL 장치의 화상 표시 영역 내에 있어서의 화소 전극 등의 배치의 모습을 나타내는 개략 평면도이다.
도 4는 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 Y방향의 단면을 나타내는 개략 단면도이다.
도 5는 제1 실시 형태의 유기 EL 장치의 X방향의 단면을 나타내는 개략 단면도이다.
도 6은 화소 전극의 외연부(外緣部)를 확대하여 나타내는 개략 단면도이다.
도 7은 컬러 필터의 분광 투과 특성을 나타내는 도면이다.
도 8은 제2 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 개략 평면도이다.
도 9는 제2 실시 형태에 따른 유기 EL 장치에 있어서, 컬러 필터가 형성되는 영역을 당해 컬러 필터의 색마다 나타내는 도면이다.
도 10은 제2 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 X방향의 단면을 나타내는 개략 단면도이다.
도 11은 제3 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 개략 평면도이다.
도 12는 제4 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 공정 단면도이다.
도 13은 제4 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 공정 단면도이다.
도 14는 제5 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 공정 단면도이다.
도 15는 제5 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 공정 단면도이다.
도 16은 제1 실시 형태의 유기 EL 장치를 부품으로서 장착한 전자 기기를 나타내는 도면이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 제조 방법 등에 대해서, 도면을 참조하면서 서술한다. 또한, 이하의 각 도면에 있어서는, 각 층이나 각 부위를 도면상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해, 각 층이나 각 부위의 축척을 실제와는 상이하게 하고 있다.
(제1 실시 형태)
도 1은 본 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(1)의 회로 구성을 나타내는 도면이다. 또한, 후술하는 각 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 회로 구성도 도 1에 나타내는 구성과 동일하다. 유기 EL 장치(1)는 규칙적으로 형성된 복수의 유기 EL 소자(50)의 발광을 개별적으로 제어하여, 화상 표시 영역(100)에 컬러 화상을 형성하는 액티브 매트릭스형의 유기 EL 장치다. 화상 표시 영역(100)에는, X방향으로 연재(extending)되는 복수의 주사선(102)과 당해 주사선과 직교하도록 Y방향으로 연재되는 복수의 신호선(104)과 당해 신호선과 평행으로 연재되는 복수의 전원 공급선(106)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 3종류의 배선으로 둘러싸이는 구획마다 화소(46)가 형성되어 있다.
각각의 화소(46)는, 주사선(102)을 통하여 주사 신호가 게이트 전극에 공급되는 스위칭용 TFT(박막 트랜지스터)(108)와, 스위칭용 TFT(108)를 통하여 신호선(104)으로부터 공급되는 화상 신호를 보지(保持)하는 보지 용량(110)과, 보지 용량(110)에 의해 보지된 화상 신호가 게이트 전극에 공급되는 구동용 TFT(112)와, 구동용 TFT(112)를 통하여 전원 공급선(106)으로부터 구동 전류가 공급되는 유기 EL 소자(50)를 구비하고 있다. 전술한 각 TFT는, 소위 고온 폴리실리콘 프로세스를 이용하여 형성되어 있다. 그리고 각 유기 EL 소자(50)는, 제1 전극으로서의 화소 전극(양극)(52)(도 5 참조)과, 화상 표시 영역(100)의 전역에 형성된 제2 전극으로서의 음극(56)(도 5 참조)과, 동일하게 화상 표시 영역(100)의 전역에 형성된 적어도 유기 EL층을 포함하는 발광 기능층(54)(도 3 참조)으로 구성되어 있다.
화소(46)는, 적색광을 사출하는 적색 화소(46R)와 녹색광을 사출하는 녹색 화소(46G)와 청색광을 생성하는 청색 화소(46B)의 합계 3종류가 있으며, 화상 표시 영역(100) 내에 규칙적으로 형성되어 있다. 구체적으로는, Y방향에는 동일한 색을 생성하는 화소(46)가 늘어서고, X방향에는 전술한 3종류의 화소(46(R, G, B))가 규칙적으로 형성되어 있다. 또한, 화소(46)는, 이러한 제 요소로 구성되는 기능적인 개념이다. 한편, 후술하는 화소 영역(42)(도 2 등 참조)은, 적색광, 녹색광, 청색광의 3원색광의 어느 것인가의 빛을 사출(발광)할 수 있는 최소의 단위 영역을 나타내는 평면적인 개념이다.
화상 표시 영역(100)의 주변에는, 주사선 구동 회로(120) 및, 신호선 구동 회로(130)가 형성되어 있다. 주사선(102)에는, 주사선 구동 회로(120)로부터, 도시하지 않은 외부 회로로부터 공급되는 각종 신호에 따라 주사 신호가 순차 공급된다. 그리고, 신호선(104)에는 신호선 구동 회로(130)로부터 화상 신호가 공급되고, 전원 공급선(106)에는 도시하지 않은 외부 회로로부터 화소 구동 전류가 공급된다. 또한, 주사선 구동 회로(120)의 동작과 신호선 구동 회로(130)의 동작은, 동기 신호선(140)을 통하여 외부 회로로부터 공급되는 동기 신호에 의해 상호적으로 동기가 도모되고 있다.
주사선(102)이 구동되어 스위칭용 TFT(108)가 온 상태가 되면, 그 시점의 신호선(104)의 전위가 보지 용량(110)에 보지되며, 보지 용량(110)의 상태에 따라 구동용 TFT(112)의 레벨이 정해진다. 그리고, 구동용 TFT(112)를 통하여 전원 공급선(106)으로부터 화소 전극(52)에 구동 전류가 흐르며, 추가로 발광 기능층(54)을 통하여 음극(56)에 구동 전류가 흐른다. 발광 기능층(54)은 구동 전류의 크기에 따라 발광한다. 그 결과, 당해 발광 기능층을 구비하는 개개의 유기 EL 소자(50), 그리고 당해 유기 EL 소자를 구비하는 개개의 화소(46)는, 당해 구동 전류의 크기에 따라 빛을 사출한다. 그 결과, 3종류의 화소(46(R, G, B))가 규칙적으로 형성되어 있는 화상 표시 영역(100)에 컬러 화상이 형성된다.
각각의 화소(46)의 발광색(3원색의 어느 것인가)은, 후술하는 바와 같이, 소정의 파장 범위의 빛을 투과시키고 다른 파장 범위의 빛을 차광하는 컬러 필터(90)(도 3 등 참조)에 의해 생성된다. 따라서, 개개의 유기 EL 소자(50)는, 3종류의 화소(46(R, G, B))간에서 공통이다. 또한, 이하의 기재에 있어서서, 단순히 「화소(46)」라고 한 경우, 전술한 3종류의 화소(46(R, G, B))의 총칭으로 한다.
본 실시 형태 및 후술하는 각 실시 형태의 기재에 있어서서, 화소(46)의 구성 요소인, 컬러 필터(90)(도 3 참조), 화소 영역(42)(도 2 참조), 화소 전극(52)(도 2 참조) 등에 대해서도, 3종류의 화소(46(R, G, B))에 맞춰 R, G, B의 부호가 부여되어 있다. 그리고 부호(R, G, B)를 생략하여 단순히 「컬러 필터(90)」와 같이 기재한 경우는, 「화소(46)」와 동일하게 총칭으로 한다.
각각의 화소(46)는, 소정의 범위 내에 있어서서 임의의 강도의 빛(3원색광의 어느 것인가의 빛)을 생성할 수 있기 때문에, X방향으로 늘어서는 3개의 화소(46)의 조합은 임의의 색(색도)의 빛을 생성할 수 있다. 이러한 3개의 화소(46)의 조합을 「화소」로서, 전술한 개개의 화소(46)를 「서브 화소」로 정의할 수도 있지만, 본 명세서에서는 3원색광의 어느 것인가의 빛을 생성할 수 있는 최소 단위를 「화소(46)」라고 하고 있다.
도 2∼도 7은, 본 실시 형태의 유기 EL 장치(1)의 구성 등을 나타내는 도면이다. 도 2는, 유기 EL 장치(1)의 화상 표시 영역(100) 내를 확대하여 나타내는 개략 평면도이다. 도 4는, 도 2의 Y방향에 있어서의 단면을 나타내는 개략 단면도이다. 도 5는, 도 2의 X방향에 있어서의 단면을 나타내는 개략 단면도이다. 도 3, 도 6 및 도 7은 후술한다. 이하, 도 2∼도 7을 이용하여, 유기 EL 장치(1)의 구성 등에 대해서 서술한다.
도 2는, 유기 EL 장치(1)의 화상 표시 영역(100)(도 1 참조) 내에 있어서의 화소 전극(52) 등의 배치의 모습 및, 적색 컬러 필터(90R)의 형성 영역(형성되어 있는 영역)을 나타내는 개략 평면도이다. 도 3은, 유기 EL 장치(1)의 화상 표시 영역(100) 내에 있어서의 화소 전극(52) 등의 배치의 모습 및, 녹색 컬러 필터(90G)의 형성 영역과 청색 컬러 필터(90B)의 형성 영역을 나타내는 개략 평면도이다. 유기 EL 장치(1) 및 후술하는 각 실시 형태의 유기 EL 장치는, 후술하는 차광 영역(43)을 포함하는 화상 표시 영역(100)의 전체면(全面)에, 적어도 1층의 컬러 필터(90)가 형성되어 있다.
도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 화상 표시 영역(100) 내에는, 평면에서 보았을 때 사각형의 화소 전극(52)이 규칙적으로 형성되어 있다. 그리고, 각각의 화소 전극(52)에는, 화소 영역(42)이 당해 화소 전극에, 평면에서 보았을 때 포함되도록 구획되어 있다. 구체적으로는, 평면에서 보았을 때에 있어서, 화소 전극(52)으로부터 당해 화소 전극의 외연부를 차지하는 약간의 폭을 갖는 환상의 영역을 제외한 영역이 화소 영역(42)이다. 또한, 전술한 바와 같이, 화소(46(R, G, B))는, 화소 전극(52(R, G, B))과 1 대 1로 대응하고 있다.
화상 표시 영역(100) 내에 있어서 화소 영역(42)에 포함되지 않는 영역, 즉 서로 이웃하는 화소 영역(42)을 분리시키는 영역이 차광 영역(43)이다. 전술한 바와 같이 화소 영역(42)은 화소 전극(52)에 포함되는 영역이다. 따라서, 화소 전극(52)의 외연부 즉 전술한 환상의 영역은 차광 영역(43)에 포함된다. 유기 EL 장치(1)에서는, 화소 전극(52)이 매트릭스 형상으로 형성되어 있기 때문에, 차광 영역(43)은 격자 형상이 된다. 또한, 화소 전극(52)의 배치의 모습은 매트릭스 형상으로 한정되지 않고, 다른 모습, 예를 들면 지그재그 형상의 배치도 가능하다.
각 화소 영역(42)의 치수는 대략 14㎛×대략 4㎛이다. 그리고 서로 이웃하는 화소 영역(42)간을 분리시키는 차광 영역(43)의 폭은 대략 1㎛이다. 따라서, 화소 영역(42)은, 중심간 치수로 대략 15㎛×대략 5㎛가 되도록 형성되어 있다. 전술한 바와 같이 본 실시 형태의 유기 EL 장치(1)에 있어서는, 개개의 유기 EL 소자(50)를 구동하는 구동용 TFT(112) 등을 구성하는 반도체층(71)(도 4 참조)이 고온 폴리실리콘 프로세스로 형성되어 있다. 따라서, 구동용 TFT(112) 등의 소자가 소형화 그리고 소면적화되고 있다. 그 때문에, 전술한 대략 14㎛×대략 4㎛라는 소면적의 화소 영역(42) 내에, 1개의 화소(46)를 구성하는 스위칭용 TFT(108)와 보지 용량(110)과 구동용 TFT(112)를 형성하는 것이 가능해지고 있다.
화소 영역(42)은, 유기 EL 소자(50) 내에서 발생한 발광이 사출되는 영역이다. 전술한 발광은, 컬러 필터(90) 및 후술하는 광공진 구조에 의해 3원색광의 어느 것인가에 해당하는 빛으로 된 후에 사출된다. 전술한 바와 같이, 본 실시 형태의 유기 EL 장치(1) 및 후술하는 각 실시 형태의 유기 EL 장치(이하 「유기 EL 장치(1) 등」이라고 칭함)에 있어서는, 발광 기능층(54) 및 음극(56)은 화상 표시 영역(100)의 전체면에 형성되어 있다. 따라서, 화소 전극(52)의 형성 영역과 발광이 발생하는 영역은 일치한다.
그러나, 전술한 바와 같이, 유기 EL 장치(1) 등에서는 광공진 구조와 컬러 필터(90)를 병용하여 3원색광을 얻고 있다. 그리고 화소 전극(52)의 외연부에서는 화소 전극(52)의 층두께가 불균일하기 때문에, 공진 길이가 변동한다. 즉, 광공진 구조를 적합하게 형성할 수 없다. 그 결과, 당해 외연부에서는, 파장 분포가 3원색광의 각각의 파장 분포로부터 벗어나는 빛이 발생할 수 있다. 그 때문에, 유기 EL 장치(1) 등에 있어서는, 평면에서 보았을 때에 있어서 화소 전극(52)으로부터 외연부를 제외한 영역을 화소 영역(42)으로 정의하고, 외연부는 차광 영역(43)에 포함하고 있다.
도 2에 있어서 해칭된 영역이, 적색 컬러 필터(90R)의 형성 영역이다. 그리고, 도 3에 있어서 해칭된 영역이, 녹색 컬러 필터(90G)의 형성 영역과 청색 컬러 필터(90B)의 형성 영역이다. 여기에서, 컬러 필터의 형성 재료에 대해서 설명한다. 유기 EL 장치(1) 등의 컬러 필터(90)는, 안료 등이 분산된 네거티브(negative)형의 아크릴 등의 수지 즉 투명 착색층을 패터닝하여 형성되어 있다.
각각의 컬러 필터(90)에는, 각 화소(46)의 발광색에 맞춘 안료가 혼입되어 있다. 적색 컬러 필터(90R)에는, 적색광에 상당하는 파장 범위의 빛, 즉 파장이 대략 610㎚∼대략 750㎚의 범위 내의 빛을 투과시키고, 그 이외의 파장 범위의 빛을 흡수하는 재료가 분산되어 있다. 녹색 컬러 필터(90G)에는, 녹색광에 상당하는 파장 범위의 빛, 즉 파장이 대략 500㎚∼대략 560㎚의 범위 내의 빛을 투과시키고, 그 이외의 파장 범위의 빛을 흡수하는 재료가 분산되어 있다. 청색 컬러 필터(90B)에는, 청색광에 상당하는 파장 범위의 빛, 즉 파장이 대략 435㎚∼대략 480㎚의 범위 내의 빛을 투과시키고, 그 이외의 파장 범위의 빛을 흡수하는 재료가 분산되어 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 적색 컬러 필터(90R)는, 녹색 화소 영역(42G) 및 청색 화소 영역(42B)을 제외한 전역에 형성되어 있다. 즉, 적색 컬러 필터(90R)는, 차광 영역(43)의 전역 및, 적색 화소 영역(42R)에 형성되어 있다. 한편, 도 3에 나타내는 바와 같이, 녹색 컬러 필터(90G) 및 청색 컬러 필터(90B)는, 적색 컬러 필터(90R)에 비하면 국소적으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 평면에서 보았을 때 화소 전극(52(G, B))과 당해 화소 전극을 둘러싸는 소정의 폭의 환상의 영역(외측의 2점쇄선으로 표시)에 겹치도록 형성되어 있다. 따라서, 녹색 컬러 필터(90G) 및 청색 컬러 필터(90B)는, 대응하는 화소 영역(42(B, G)) 상과, 차광 영역(43) 중의 화소 영역(42(B, G))에 인접하는 영역, 즉 당해 화소 영역을 둘러싸는 환상의 영역에만 형성되어 있다.
유기 EL 장치(1) 등에서는, 컬러 필터(90)가 격벽(44)(도 5 등 참조)을 겸하고 있다. 즉, 유기 EL 장치(1) 등에 있어서는, 격벽(44)이 컬러 필터(90)로 구성되어 있다. 또한, 단락 <0003> 등에서 서술한 바와 같이, 격벽(44)이란, 화소 영역(42)을 제외한 영역으로부터 유기 EL 소자(50)의 발광이 사출되는 것을 저감하기 위해 형성되는 요소이다. 화상 표시 영역(100)의 전역에 형성된 컬러 필터(90) 중, 화소 영역(42)과 겹치지 않는 영역 즉 차광 영역(43)에 형성되어 있는 부분이 격벽(44)이 된다. 따라서, 컬러 필터(90) 중, 화소 영역(42)에 형성되어 있는 부분이 협의의 즉 본래의 컬러 필터(90)로서 기능하고 있다. 전술한 바와 같이 컬러 필터(90)는 투명 착색층이다. 화상 표시 영역(100)의 전역에 형성된 투명 착색층 중, 화소 영역(42)과 겹치는 부분이 컬러 필터(90)로 정의되며, 차광 영역(43)과 겹치는 부분이 격벽(44)으로 정의된다고도 말할 수 있다.
본 명세서에서는, 평면도에서는 「44」의 부호는 이용하지 않고 모두 「90」의 부호를 이용하고 있다. 그리고 단면도에서는, 광의의 컬러 필터 중, 차광 영역(43)에 형성되어 있고 격벽으로서 기능하고 있는 부분에는, 「44(90)」의 부호를 부여하고 있다. 그리고 명세서 안의 기재는 「격벽(44)」으로 하고 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 적색 컬러 필터(90R)는, 적색 화소 영역(42R) 및 차광 영역(43)의 전역에 형성되어 있다. 즉, 녹색 화소 영역(42G) 및 청색 화소 영역(42B)의 외주선(外周線)에 이르기까지 형성되어 있다. 그리고, 유기 EL 장치(1)에 있어서는, 적색 컬러 필터(90R)가 다른 2종류의 컬러 필터(90(G, B))보다도 먼저 형성되어 있다. 따라서, 녹색 화소 영역(42G)을 둘러싸는 환상의 영역에는, 하층(소자 기판(10)측)이 적색 컬러 필터(90R)이고 상층이 녹색 컬러 필터(90G)인 적층체가 형성되어 있다. 마찬가지로 청색 화소 영역(42B)을 둘러싸는 환상의 영역에는, 하층(소자 기판(10)측)이 적색 컬러 필터(90R)이고 상층이 청색 컬러 필터(90B)인 적층체가 형성되어 있다. 한편, 적색 화소 영역(42R)을 둘러싸는 환상의 영역에는, 적색 컬러 필터(90R)만이 형성되어 있다.
본 발명의 각 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(1) 등은, 격벽(44)을 컬러 필터(90)로 구성함으로써, 흑색 안료를 분산 등 시킨 투명 수지, 혹은 Al 등 금속 재료로 이루어지는 블랙 매트릭스를 별도 형성하는 일 없이, 화소 영역(42)을 제외한 영역으로부터 발광이 사출되는 것을 저감하고 있다. 그 때문에, 포토리소그래피(photolithography) 공정 즉 성막 공정과 패터닝 공정 즉 웨트(wet) 에칭 공정이 적어도 1회분은 저감되어 있다. 그 결과, 내식성, 내열성이 낮은 유기 EL 소자(50)에 가해지는 부하가 저감되고 있어, 유기 EL 장치의 신뢰성의 향상에 기여하고 있다.
또한, 본 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(1)에서는, 차광 영역(43)의 전역에 적색 컬러 필터(90R)를 형성함으로써, 화소 전극(52)의 외연부에 있어서의 공진 길이의 변동에도 대응하여, 표시 품질을 향상하고 있다.
도 4는, 유기 EL 장치(1)의 Y방향의 단면을 나타내는 개략 단면도이다. 구체적으로는 도 2에 있어서의 A－A'선의 단면과 B－B'선의 단면과 C－C'선의 단면을 접합하여 나타내는 도면이며, X방향으로 늘어 놓여져 있는 3종류의 화소(46(R, G, B))의 단면을 접합하여 나타내는 도면이다. 또한, 본 도면에서는 스위칭용 TFT(108)와 보지 용량(110)에 대해서는 도시를 생략하고 있다. 이하, 소자 기판(10)측부터 순서대로 설명한다.
소자 기판(10)은 석영 유리로 이루어진다. 유기 EL 장치(1) 등은, 소자 기판(10)측과는 반대의 측으로 빛을 사출하는 톱 이미션(top emission)형의 유기 EL 장치이다. 따라서, 소자 기판(10)은 투명성을 필요로 하지 않는다. 그러나, 소자 기판(10)은 구동용 TFT(112) 등을 고온 폴리실리콘 프로세스에 의해 형성할 때의 기체(基體)로서도 기능하고 있다. 그 때문에, 대략 1000도까지의 가열에 견디고, 그리고 당해 가열시에 불순물을 석출하지 않을 것이 필요하다. 이러한 조건을 만족하기 위해서, 소자 기판(10)에는 석영 유리가 이용되고 있다.
소자 기판(10)의, 대향 기판(11)측의 면 상에는, 3종류의 화소(46(R, G, B))마다 대응하도록 구동용 TFT(112)가 형성되어 있다. 전술한 바와 같이, 스위칭용 TFT(108) 등은 도시를 생략하고 있다. 이러한 대향 기판(11)측을, 이하의 기재에 있어서는 「상면」, 「상방」 혹은 「상측」이라고 칭한다.
구동용 TFT(112)는, 폴리(다결정)실리콘으로 이루어지는 반도체층(71)과 게이트 절연막(79)과 게이트 전극(75)으로 구성되어 있다. 반도체층(71)의 구성 재료인 폴리실리콘은 전술한 바와 같이 고온 프로세스로 형성되어 있어, 이동도 등이 향상되어 있다. 게이트 전극(75)은 Al(알루미늄) 등으로 이루어지며, 전술한 주사선(102)과 동일한 층을 패터닝하여 형성되어 있다. 게이트 절연막(79)은, SiOn(산화 실리콘) 혹은 SiNn(질화 실리콘) 혹은 SiOmNn(산질화 실리콘)로 이루어지며, 화상 표시 영역(100)의 전체면에 형성되어 있다.
반도체층(71)은, 게이트 전극(75)과 대향하는 부분인 채널 영역(72)과, 당해 채널 영역의 양측의 영역인 소스 영역(73) 및 드레인 영역(74)으로 이루어진다. 구동용 TFT(112)의 상면에는, SiOn 등으로 이루어지는 제1 층간 절연막(61)이 형성되어 있다. 제1 층간 절연막(61)의, 전술한 소스 영역(73) 및 드레인 영역(74)과 겹치는 영역에는(당해 제1 층간 절연막을 선택적으로 제거하여) 제1 콘택트 홀(67)이 형성되어 있다. 그리고, 당해 제1 콘택트 홀에 매설되도록 소스 전극(77) 및 드레인 전극(78)이 형성되어 있다.
소스 전극(77) 및 드레인 전극(78)의 상면에는, SiOn 등으로 이루어지는 제2 층간 절연막(62)이 형성되어 있다. 그리고 드레인 전극(78)의 상면에는, 당해 제2 층간 절연막을 선택적으로 제거하여 제2 콘택트 홀(68)이 형성되어 있다. 그리고, 평면에서 보았을 때 당해 제2 콘택트 홀의 형성 영역 및 그 주위의 약간의 영역을 제외한 영역에 반사층(63)이 형성되어 있다. 반사층(63)은, Al 등의 반사성이 높은 금속 재료층을 패터닝하여 형성되어 있다. 각 반사층(63)은, SiOn 등의 무기 재료로 이루어지는 반사층 보호층(64)으로 덮여 있다. 그리고, 각 반사층(63)의 상면에는 당해 반사층 보호층을 개재하여 화소 전극(52)이 형성되어 있다.
화소 전극(52)은 ITO(산화 인듐·주석 합금) 등의 투명 도전성 재료로 이루어지며, 제2 콘택트 홀(68)을 통하여 드레인 전극(78)과 접속하고 있다. 따라서, 화소 전극(52)은 구동용 TFT(112)와 도통하여, 전원 공급선(106)으로부터 공급되는 구동 전류를 후술하는 발광 기능층(54)에 공급할 수 있다.
도시하는 바와 같이 유기 EL 장치(1)의 화소 전극(52)의 층두께는, 화소(46)의 발광색에 의해 상이하다. 구체적으로는, 적색 화소(46R)의 적색 화소 전극(52R)의 층두께는 대략 100㎚이며, 녹색 화소(46G)의 녹색 화소 전극(52G)의 층두께는 대략 60㎚이며, 청색 화소(46B)의 청색 화소 전극(52B)의 층두께는 대략 20㎚이다. 이러한 층두께의 차이는, 공진(공진 현상)을 이용하여, 소정의 파장 분포의 빛을 강조하기 위해 설정되어 있다. 즉, 화소 전극(52)의 층두께와 발광 기능층(54)의 층두께와 반사층 보호층(64)의 층두께와의 합이, 각각의 화소(46)가 사출해야 할 파장 범위의 빛을 강조하기 위해 적합한 길이로 되도록 설정되어 있다.
화소 전극(52)은, 포토리소그래피 공정, 구체적으로는 ITO 박막의 성막 공정과 패터닝 공정의 조합을 합계 3회 반복하여 형성된다.
1회째의 포토리소그래피 공정은, 막두께 40㎚의 ITO 박막을 소자 기판(10) 상의 전체면에 형성한 후, 제2 콘택트 홀(68)의 근방의 영역 및 장래에 적색 화소 전극(52R)이 형성되는 영역에 당해 박막을 남기고, 다른 영역으로부터 당해 박막을 선택적으로 제거하는 공정이다.
2회째의 포토리소그래피 공정은, 막두께 40㎚의 ITO 박막을 소자 기판(10) 상의 전체면에 형성한 후, 제2 콘택트 홀(68)의 근방의 영역 및 장래에 적색 화소 전극(52R)이 형성되는 영역 및 장래에 녹색 화소 전극(52G)이 형성되는 영역에 당해 박막을 남기고, 다른 영역으로부터 당해 박막을 선택적으로 제거하는 공정이다.
3회째의 포토리소그래피 공정은, 막두께 20㎚의 ITO 박막을 소자 기판(10) 상의 전체면에 형성한 후, 제2 콘택트 홀(68)의 근방의 영역 및 장래에 3종류의 화소 전극(52(R, G, B))의 어느 것인가 형성되는 영역에 당해 박막을 남기고, 다른 영역으로부터 당해 박막을 선택적으로 제거하는 공정이다.
여기에서, ITO 박막의 패터닝은 웨트 에칭으로 행해지기 때문에, 화소 전극(52)의 외연부는 층두께가 서서히 얇아진다. 또한, 적색 화소(46R) 및 녹색 화소(46G)의 화소 전극(52(R, G))에서는, 먼저 형성된 ITO 박막의 단부(端部)에 의해 단차가 생겨 버려, 전술한 공진 길이를 적합한 거리로 형성할 수 없다. 그래서 유기 EL 장치(1)에서는, 이러한 외연부를 화소 영역(42)에는 포함하지 않고 차광 영역(43)에 포함하고 있다. 그리고, 이러한 외연부에, 평면에서 보았을 때 겹치도록 격벽(44)을 형성하고, 적합하지 않은 파장 범위의 빛이 사출되는 것을 저감하고 있다. 전술한 바와 같이, 격벽(44)은 컬러 필터(90) 중 차광 영역(43)에 형성되어 있는 부분이다.
또한 후술하는 바와 같이, 격벽(44)은 2층의 컬러 필터(90)의 적층체로 구성되어 있는 경우도 있지만, 본 도면에서는 모두 단층의 컬러 필터(90)로 구성되어 있도록 도시하고 있다.
화소 전극(52)의 상면에는, 발광 기능층(54)과 음극(56)이 화상 표시 영역(100)의 전역에 걸쳐서 형성되어 있다. 화소 전극(52)과 발광 기능층(54)과 음극(56)으로, 유기 EL 소자(50)가 구성된다. 또한, 이하의 기재에 있어서, 소자 기판(10)의 상면으로부터 반사층(63)의 하면에 이르기까지 사이를 소자층(12)이라고 칭한다.
음극(56)은, LiF(불화 리튬) 혹은 Ca(칼슘) 등으로 이루어지는 전자 주입 버퍼층(부호 없음)과 도전층(부호 없음)의 적층체이다. 그리고 화상 표시 영역(100) 내의 전역에서 동(同) 전위이며, 화상 표시 영역의 외측에서 소자 기판(10) 상에 형성된 음극 배선(도시하지 않음)과 도통하고 있다. 도전층은 ITO 혹은 Al, AgMg(은-마그네슘 합금) 등의 금속 박막으로 이루어지며, 반투과 반사성 즉 조사(irradiation)된 빛의 대략 50％를 투과하고, 나머지를 반사하는 성질을 갖고 있다. 그 때문에, 반사층(63)과 음극(56)과의 사이에는, 마이크로 캐비티(micro-cavity) 즉 광공진 구조가 구성된다. 유기 EL 소자(50)는, 이러한 광공진 구조에 의해, 발광 기능층(54) 내에서 발생한 백색광을 공진시키면서, 대향 기판(11)을 통하여 사출시킬 수 있다.
발광 기능층(54)은 소자 기판(10)측으로부터 순서대로, 화소 전극(52)으로부터 정공을 주입하기 쉽게 하기 위한 정공 주입층과, 주입된 정공을 발광층에 수송하기 쉽게 하기 위한 정공 수송층과, 통전에 의해 즉 정공과 전자의 결합에 의해 발광하는 유기 EL층과, 음극(56)으로부터 주입된 전자를 유기 EL층으로 수송하기 쉽게 하기 위한 전자 수송층과, 음극(56)으로부터 전자를 주입하기 쉽게 하기 위한 전자 주입층의 합계 5층이 적층되어 형성되어 있다.
유기 EL층은, 전술한 결합에 의해 백색광을 발광하는 층이며, 저분자계 유기 EL 재료 혹은 고분자계 유기 EL 재료로 형성되어 있다. 전술한 바와 같이, 유기 EL층은 3종류의 화소(46(R, G, B))간에서 공통이다. 유기 EL 장치(1) 등은, 전술한 광공진 구조와 컬러 필터(90)로 백색광을 3원색광의 어느 것인가의 빛으로 한 후에 사출하고 있다. 따라서, 기능적 개념으로서의 화소(46)는, 유기 EL 소자(50)와 소자 기판(10) 상에 형성된 구동용 TFT(112) 등의 소자와 함께, 컬러 필터(90)도 포함하고 있다.
음극(56)의 상면에는, 보호층(94)을 개재하여 컬러 필터(90) 및 격벽(44)이 형성되어 있다. 보호층(94)은, 소자 기판(10)측으로부터 순서대로 아크릴 등의 유기 재료로 이루어지는 평탄화층(92)과 SiOn 등의 무기 재료로 이루어지는 봉지층(seal layer; 93)을 적층하여 형성되어 있다. 평탄화층(92)은, 주로 화소 전극(52)의 외연부의 단차 및, 서로 이웃하는 화소 전극(52)간의 단차를 저감하는 기능을 수행하고 있다. 봉지층(93)은, 주로 수분 혹은 에칭액 등이 유기 EL 소자(50) 등의 형성 영역에 침입하는 현상을 저감하는 기능을 수행하고 있다.
컬러 필터(90) 및 격벽(44)의 상면에는, 오버코트층(overcoat layer; 95) 및 충전층(96)을 개재하여 대향 기판(11)이 접착되어 있다. 대향 기판(11)은 투명성을 필요로 하지만 내열성은 필요로 하지 않기 때문에, 통상의 유리 혹은 플라스틱 등으로 형성할 수 있다. 유기 EL 장치(1) 등은, 대향 기판(11)과 소자 기판(10)과 당해 한 쌍의 기판간에 형성된 각 요소로 구성되어 있다. 또한, 대향 기판(11)의 상면에 편광판 등을 배치해도 좋다.
화소 전극(52)은, 제2 콘택트 홀(68)의 주변 영역을 제외하고는, 평면에서 보았을 때 반사층(63)에 들어가도록 패터닝되어 있다. 따라서, 이러한 주변 영역을 제외하고는, 발광 기능층(54) 내에서 발생한 빛은, 반사층(63)과 음극(56)과의 사이에서 공진하여 특정의 파장 범위의 빛이 강조된 후, 음극(56)을 투과하여 컬러 필터(90)측으로 사출된다. 그리고, 컬러 필터(90)로 3원색광의 각각의 파장 범위에 포함되지 않는 빛이 흡수되어, 보다 한층 색순도가 향상된 빛이 되어 대향 기판(11)측으로부터 사출된다. 그 결과, 유기 EL 장치(1)의 화상 표시 영역(100)에는, 고품질의 화상이 형성된다.
전술한 바와 같이, 화소 전극(52)의 외연부에서는 공진 길이가 변동하기 때문에, 목적으로 하는 빛의 파장 범위로부터 벗어난 빛이 발생할 수 있다. 그 때문에, 유기 EL 장치(1) 등에서는, 컬러 필터(90)의 주위를 평면에서 보았을 때 둘러싸는 차광 영역(43)에 당해 컬러 필터를 구성 요소로 하는 격벽(44)을 형성하여, 목적 외의 빛이 사출되는 것을 저감하고 있다.
도 5는 X방향의 단면도로서, 도 2에 나타내는 D－D'선에 있어서의 단면을 나타내는 개략 단면도이다. 본 도면에서는, 컬러 필터(90)의 상방에 형성되는 오버코트층(95) 및 대향 기판(11) 등의 도시를 생략하고 있다. 또한, 소자 기판(10)의 표면으로부터 반사층(63)에 이르기까지의 각 요소를, 소자층(12)(도 4 참조)으로서 간략화하여 도시하고 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 일부의 요소에 대해서는 기재를 생략하고 있다.
도시하는 바와 같이, 음극(56)의 상방에는, 평탄화층(92)과 봉지층(93)이 적층되어 이루어지는 보호층(94)을 개재하여 컬러 필터(90)와 격벽(44)이 형성되어 있다. 전술한 바와 같이, 컬러 필터(90)는, 안료가 분산 등이 된 아크릴 수지, 즉 투명 착색층으로 이루어진다. 당해 투명 착색층은, 분산 등이 되는 안료를 변경함으로써 임의의 색으로 할 수 있다. 즉, 임의의 파장 범위의 빛을 투과시키고, 다른 파장 범위의 빛을 흡수시키는 것이 가능한 투명 착색층을 얻을 수 있다.
전술한 바와 같이, 컬러 필터(90)는, 화소 영역(42)에서는 협의의 컬러 필터(90)로서 기능하며, 차광 영역(43)에서는 격벽(44)으로서 기능하고 있다. 그리고 유기 EL 장치(1)에서는, 적색 컬러 필터(90R)(적색 컬러 필터(90R)가 되는 투명 착색층, 즉 적색 착색층)가 차광 영역(43)의 전역에 형성되어 있다. 따라서 모든 격벽(44)은, 적어도 일부가 적색 컬러 필터(90R)로 구성되어 있다.
구체적으로는, 적색 화소 영역(42R)의 주위의 격벽(44)은, 적색 컬러 필터(90R)(부호는 「44(90)」)만으로 구성되어 있다. 녹색 화소 영역(42G)의 주위의 격벽(44)은, 하층의 적색 컬러 필터(90R)(부호는 「44(90)」)와 상층의 녹색 컬러 필터(90G)(부호는 「44(90)」)로 구성되는 2층 구조를 갖고 있다. 청색 화소 영역(42B)의 주위의 격벽(44)은, 하층의 적색 컬러 필터(90R)(부호는 「44(90)」)와 상층의 청색 컬러 필터(90B)(부호는 「44(90)」)로 구성되는 2층 구조를 갖고 있다. 이러한 구성에 의해, 유기 EL 장치(1)에 있어서는, 화소 전극(52)의 외연부에 있어서의 공진 길이의 변동에 의해 발생하는, 목적으로 하는 빛의 파장 범위로부터 벗어난 빛이, 대향 기판(11)을 통하여 사출되는 현상이 저감되고 있다. 이하, 이러한 화소 전극(52)의 외연부에 있어서의 공진 길이의 변동 등을 설명한다.
도 6은, 화소 전극(52)의 외연부를 확대하여 나타내는 개략 단면도이다. 도 6(a)는, 도 5에 나타내는 E의 부분, 즉 적색 화소 전극(52R)의 외연부를 확대하여 나타내는 도면이다. 도 6(b)는, 도 5에 나타내는 F의 부분, 즉 녹색 화소 전극(52G)의 외연부를 확대하여 나타내는 도면이다. 쌍방의 도면 모두, 반사층(63)의 하층에는 제2 층간 절연막(62)만을 도시하고 있으며, 제2 층간 절연막(62)으로부터 소자 기판(10)에 이르는 각 요소는 도시를 생략하고 있다. 또한, 음극(56)의 상층에 형성되는 각 요소도 도시를 생략하고 있다.
전술한 바와 같이, 화소 전극(52)은 ITO의 박막을 적층하여 형성되어 있다. 따라서, 도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 적색 화소 전극(52R)의 외연부(즉 적색 화소 영역(42R)을 둘러싸는 환상의 영역)에는, 제1 단차 영역(81)과 제2 단차 영역(82)으로 이루어지는 단차 영역(80)이 형성된다. 제1 단차 영역(81)에 있어서, 적색 화소 전극(52R)은 2층째의 ITO 박막과 3층째의 ITO 박막의 적층체로 구성되어 있다. 제2 단차 영역(82)에 있어서, 적색 화소 전극(52R)은 3층째의 ITO 박막만으로 구성되어 있다.
또한, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 녹색 화소 전극(52G)의 외연부(즉 녹색 화소 영역(42G)을 둘러싸는 환상의 영역)에는, 단차 영역(80)이 형성된다. 단차 영역(80)에 있어서, 녹색 화소 전극(52G)은 3층째의 ITO 박막만으로 구성되어 있다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 녹색 화소 전극(52G)은, 외연부 및 제2 콘택트 홀(68)의 근방을 제외하면, 2층째의 ITO 박막과 3층째의 ITO 박막이 적층되어 형성되어 있다. 이러한 2층의 ITO 박막의 층두께는, 당해 2층을 합친 층두께와 발광 기능층(54)의 층두께와 반사층 보호층(64)의 층두께와의 합, 즉 합계의 층두께가, 녹색광을 공진에 의해 강조 가능한 두께(길이)가 되도록 설정되어 있다. 또한, 청색 화소 전극(52B)은, 3층째의 ITO 박막으로 형성되어 있다. 3층째의 ITO 박막의 층두께는, 당해 3층째의 ITO 박막의 층두께와 발광 기능층(54)의 층두께와 반사층 보호층(64)의 층두께와의 합, 즉 합계의 층두께가, 청색광을 공진에 의해 강조 가능한 두께(길이)가 되도록 설정되어 있다.
따라서, 적색 화소 영역(42R)을 둘러싸는 소정의 폭의 환상의 영역에서는 녹색광 및 청색광이 공진에 의해 강조되면서 음극(56)을 통하여 대향 기판(11)(도 4 참조)측으로 사출된다. 마찬가지로, 녹색 화소 영역(42G)을 둘러싸는 소정의 폭의 환상의 영역에서는 청색광이 공진에 의해 강조되면서 음극(56)을 통하여 대향 기판(11)(도 4 참조)측으로 사출된다. 또한, 확대도를 제시하고 있지는 않지만, 청색 화소 영역(42B)을 둘러싸는 소정의 폭의 환상의 영역에서는, 청색 화소 전극(52B)의 층두께의 변동에 의해, 주로 청색광보다도 단파장측의 빛이 강조되어 사출된다. 이러한 경우에 있어서, 적색 컬러 필터(90R)(적색 컬러 필터(90R)가 되는 투명 착색층)는 녹색광 및 당해 녹색광보다도 단파장측의 빛을 차광(차단)하는 기능이 높기 때문에, 격벽(44)으로서의 기능을 충분히 수행할 수 있다.
도 7은, 컬러 필터(90)가 되는, 안료를 분산시킨 네거티브형의 감광성 아크릴 재료의 파장-투과율 특성 즉 분광 투과 특성을, R, G, B의 색마다 나타내는 도면이다. 도시하는 바와 같이, 적색 컬러 필터(90R)는, 녹색광 및 청색광에 대하여 높은 차광성(컷 오프 특성)을 갖고 있다. 따라서, 3원색광을 이용하여 컬러 화상을 형성하는 유기 EL 장치에 있어서는, 격벽(44)을 적색 컬러 필터(90R)로 구성함으로써, 적합하지 않은 파장의 빛이 사출되는 것을 충분히 저감할 수 있다. 「충분히」란, 흑색 안료가 분산 등 된 수지 재료 혹은 Al 등의 금속 재료로 형성된 격벽(44)을 이용한 경우와 비교하여, 거의 변하지 않는 레벨이라는 것이다.
또한, 격벽(44)을 컬러 필터(90)로 형성함으로써, 격벽(44)을 컬러 필터(90)와는 상이한 재료로 별도 형성하는 경우에 비하여 제조 비용을 저감할 수 있다. 따라서, 본 실시 형태의 유기 EL 장치(1)는, 표시 품질을 유지할 뿐 아니라 저비용화가 도모되고 있다. 또한, 격벽을 전술한 재료 등으로 별도 형성하는 경우에 비하여 박막의 형성 공정 및, 패터닝 공정이 적어도 1회분은 감소하고 있기 때문에 유기 EL 소자(50) 등에 대한 영향도 저감되고 있어, 신뢰성도 향상되고 있다.
(제2 실시 형태)
다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 전기 광학 장치로서의 유기 EL 장치에 대해서 도 8∼10을 이용하여 설명한다. 도 8은, 제2 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(2)의 화상 표시 영역(100)(도 1 참조) 내에 있어서의 화소(46), 화소 전극(52) 등의 배치의 모습과 컬러 필터(90)가 형성되는 영역을 나타내는 개략 평면도이다. 본 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(2)는, 제1 실시 형태의 유기 EL 장치(1)와 유사한 구성을 갖고 있다. 소자층(12) 등의 구성은 동일하고, 컬러 필터(90) 및 격벽(44)의 구성과, 화소 전극(52)의 Y방향의 간격이 유기 EL 장치(1)와 상이하다. 그래서, 공통되는 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 설명은 일부 생략한다. 또한, 회로도 및 Y방향의 단면도는 생략한다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 그리고 전술한 유기 EL 장치(1)와 동일하게, 유기 EL 장치(2)는 화상 표시 영역(100) 내에 있어서 규칙적으로 형성된 3원색에 대응하는 3종류의 화소(46(R, G, B))를 갖고 있다. 각각의 화소(46)는, 화소 전극(52)과, 평면에서 보았을 때 당해 화소 전극 내에 들어가는 화소 영역(42)(2점쇄선으로 도시)을 갖고 있다. 화상 표시 영역(100) 내에 있어서의 화소 영역(42) 이외의 영역이 차광 영역(43)이다. 화소 전극(52)이 매트릭스 형상으로 형성되어 있기 때문에, 차광 영역(43)의 평면 형상은, X방향으로 연재되는 띠 형상의 부분과 Y방향으로 연재되는 띠 형상의 부분을 갖는 격자 형상이 된다.
화상 표시 영역(100) 내의 전역에는 적어도 1층의 컬러 필터(90)가 형성되어 있다. 당해 컬러 필터는 광의의 컬러 필터(90)이며, 적, 녹, 청 중 어느 것인가의 안료가 분산 등 된 투명 착색층이다. 전술한 유기 EL 장치(1)와 동일하게, 이러한 투명 착색층 중 화소 영역(42)에 형성된 부분이 본래의(협의의) 컬러 필터(90)가 되고, 차광 영역(43)에 형성된 부분이 격벽(44)(도 10 참조)이 된다.
유기 EL 장치(2)에 있어서는, Y방향으로 서로 이웃하는 화소(46)간의 간격이 X방향으로 서로 이웃하는 화소(46)간의 간격보다도 크게 형성되어 있다. 따라서, 차광 영역(43) 중 X방향으로 연재되는 부분의 폭이 Y방향으로 연재되는 부분의 폭보다도 넓어지고 있다. 개개의 화소(46)를 서브 화소로 하여 3색의 화소(46(R, G, B))의 집합을 「화소」라고 정의한 경우, 서로 이웃하는 「화소」의 Y방향의 간격이 동일 「화소」 내에 있어서의 「서브 화소」간의 간격보다도 넓게 형성되어 있다고 생각할 수도 있다. 그리고 3색의 컬러 필터(90) 중, 녹색 컬러 필터(90G)와 청색 컬러 필터(90B)는, 대응하는 화소 영역(42)과 당해 화소 영역을 둘러싸는 환상의 영역에만 형성되어 있다. 한편, 적색 컬러 필터(90R)는 차광 영역(43) 중, Y방향으로 서로 이웃하는 화소(46)간을 분리시키는 영역, 즉 X방향으로 연재되는 띠 형상의 영역에도 형성되어 있다.
도 9는, 본 실시 형태의 유기 EL 장치(2)에 있어서의 (광의의) 컬러 필터(90)의 형성 영역을, 당해 컬러 필터의 색마다 나타내는 도면이다. 도 9(a)는 적색 컬러 필터(90R)의 형성 영역을 나타내는 도면이며, 도 9(b)는 녹색 컬러 필터(90G)의 형성 영역을 나타내는 도면이며, 도 9(c)는 청색 컬러 필터(90B)의 형성 영역을 나타내는 도면이다. 본 도면에 있어서 2점쇄선으로 둘러싸인 사각형의 영역은, 개개의 화소(46)를 「서브 화소」로 정의한 경우에 1개의 「화소」가 포함되는 영역(범위)이다. 따라서, 이러한 2점쇄선으로 둘러싸인 영역은, 임의의 파장 분포의 빛(즉 임의의 색의 빛)을 임의의 강도로 사출할 수 있는 최소의 영역이다.
도시하는 바와 같이, 녹색 컬러 필터(90G)의 형성 영역과 청색 컬러 필터(90B)의 형성 영역은, 전술한 제1 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(1)에 있어서의 당해 형성 영역과 유사하다. 즉, 평면에서 보았을 때, 화소 전극(52(G, B))과 당해 화소 전극을 둘러싸는 소정의 폭의 환상의 영역과 겹치도록 형성되어 있다. 단, 유기 EL 장치(1)에 있어서의 당해 형성 영역과는 상이하여, 녹색 컬러 필터(90G)와 청색 컬러 필터(90B)의 형성 영역은, 쌍방의 화소 전극(G, B)이 평면에서 보았을 때 대향하는 영역에 있어서 일부 서로 겹쳐져 있다.
한편, 적색 컬러 필터(90R)의 형성 영역은, 유기 EL 장치(1)에 있어서의 당해 형성 영역과는 상이하다. 즉 적색 컬러 필터(90R)는, 녹색 화소(46G)와 청색 화소(46B)가 X방향으로 서로 이웃하는 부분에는 형성되어 있지 않다. 또한, 녹색 화소 영역(42G) 및 청색 화소 영역(42B)에 인접하는 영역에도 형성되어 있지 않다. 화소(46)가 Y방향으로 서로 이웃하는 부분의 차광 영역(43), 즉 차광 영역(43) 중 X방향으로 연재되는 부분에 있어서, 적색 컬러 필터(90R)는 중앙 부분만 형성되어 있으며, 양 옆의 부분에는 형성되어 있지 않다. 따라서, 각각의 화소 영역(42(R, G, B))을 둘러싸는 환상의 영역, 즉 각각의 화소 영역(42(R, G, B))에 인접하는 영역에는, 단층의 컬러 필터(90(R, G, B))가 형성되어 있다.
이러한 모습의 (광의의) 컬러 필터(90)는, 제1 실시 형태의 유기 EL 장치(1)의 컬러 필터(90)와 비교하면, 형성이 용이하다는 이점을 갖고 있다. 적색 컬러 필터(90R)를, 당해 적색 컬러 필터의 외주선과 녹색 화소 영역(42G)의 외주선 혹은 청색 화소 영역(42B)의 외주선이 일치하도록 패터닝할 필요가 없기 때문에, 포토리소그래피 공정의 난이도가 저감되고 있다. 그 때문에, 본 실시 형태의 유기 EL 장치(2)는, 제조 비용의 저감이라는 효과를 얻을 수 있다.
도 10은, 도 8의 E－E'선에 있어서의 단면을 나타내는 개략 단면도이며, 유기 EL 장치(2)의 X방향에 있어서의 개략 단면도이다. 도시하는 바와 같이, 광의의 컬러 필터(90)는, 대응하는 화소 영역(42(R, G, B))을, 당해 화소 영역을 둘러싸는 환상의 영역도 포함하여 완전히 덮도록 형성되어 있다. 그리고, 화소 영역(42)과 겹치는 부분이 협의의 컬러 필터(90)로서 기능하고 있으며, 화소 영역(42)간의 차광 영역(43)과 겹치는 부분이 격벽(44)(부호는 「44(90)」)으로서 기능하고 있다. 따라서, 전술한 유기 EL 장치(1)와 동일하게 유기 EL 소자(50)가 형성된 후의 포토리소그래피 공정, 즉 유기 EL 소자(50)를 덮는 보호층(94)의 상면에 있어서의 성막 공정 및 패터닝 공정이 저감되고 있다. 그 결과, 내식성, 내열성이 낮은 유기 EL 소자(50)에 가해지는 부하가 저감되어 있어, 유기 EL 장치의 신뢰성의 향상에 기여하고 있다.
또한, 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태의 유기 EL 장치(2)는, 협의의 컬러 필터(90) 즉 화소 영역(42) 상의 컬러 필터(90)와 격벽(44)이, 연속된 투명 착색층으로 구성되어 있다. 즉, 격벽(44)만이 별도 형성되어 있지 않고, X방향으로 서로 이웃하는 화소 영역(42)간에 세밀한 패턴이 형성되어 있지 않다. 그 때문에 컬러 필터(90) 및 격벽(44)의 보호층(94)에 대한 밀착성이 향상되어 있어, 신뢰성이 향상되고 있다.
또한, 본 실시 형태의 유기 EL 장치(2)는, 녹색 화소 전극(52G)의 외연부의 차광성, 즉 녹색 화소 영역(42G)을 둘러싸는 환상의 영역에 있어서의 차광성이 문제가 된다. 전술한 바와 같이 녹색 화소 영역(42G)을 둘러싸는 환상의 영역에서는, 공진 길이의 변동에 의해 녹색광보다도 단파장측의 빛이 강조되는 경향이 있다. 그러나, 전술한 도 7에 나타내는 바와 같이 녹색 컬러 필터(90G)(녹색 착색층)는, 적색 컬러 필터(90R)에는 약간 떨어지기는 하지만 청색광에 대하여 충분한 차광성을 갖고 있다. 그 때문에 녹색 화소(46G)의 성능에는 거의 영향은 없다. 그 때문에, 본 실시 형태의 유기 EL 장치(2)는, 전술한 효과와 서로 작용하여, 충분히 저비용화와 신뢰성의 향상이 달성되고 있다.
(제3 실시 형태)
다음으로, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른, 전기 광학 장치로서의 유기 EL 장치에 대해서 설명한다. 도 11은, 제3 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(3)의 화상 표시 영역(100)(도 1 참조) 내에 있어서의 화소(46), 화소 전극(52)의 배치의 모습과 컬러 필터(90)가 형성되는 영역을 나타내는 개략 평면도이다. 본 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(3)는, 전술한 유기 EL 장치(1) 및 유기 EL 장치(2)와 유사한 구성을 갖고 있으며, (광의의) 컬러 필터(90) 및 격벽(44)의 구성만이 상이하다. 그래서, 공통되는 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 설명은 일부 생략함과 함께, 회로도 및 Y방향의 단면도는 도시를 생략한다. 또한, 본 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(3)의 X방향에 있어서의 단면도는, 도 10에 나타내는 제2 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(2)의 단면도와 대략 동일하다. 그래서, 본 실시 형태의 유기 EL 장치(3)의 설명은, 도 11의 개략 평면도만을 이용하여 행한다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 유기 EL 장치(3)는, 전술한 각 실시 형태의 유기 EL 장치와 동일하게, 화상 표시 영역(100) 내에 있어서 규칙적으로 형성된 3원색에 대응하는 3종류의 화소(46(R, G, B))를 갖고 있다. 각각의 화소(46)는, 전술한 유기 EL 장치(1)의 화소(46)와 동일하게 반사층(63)(도 4 참조)과 음극(56)(도 4 참조)과의 사이에 광공진 구조를 갖고 있으며, 화소 전극(52)의 층두께는 사출하는 빛(의 색)에 맞춰 형성되어 있다. 유기 EL 장치(3)에 있어서 발광 기능층(54)(도 10 참조) 내에서 발생하는 백색광은, 당해 광공진 구조와 컬러 필터(90)에 의해 특정의 파장 범위의 빛이 된 후에 사출된다. 각각의 화소(46)는, 화소 전극(52)과, 평면에서 보았을 때 당해 화소 전극 내에 들어가는 화소 영역(42)을 갖고 있다. 서로 이웃하는 화소 영역(42)의 간격은, X방향과 Y방향으로 동일하다. 따라서, 차광 영역(43)의 폭, 즉 X방향으로 연재되는 띠 형상의 부분의 폭과 Y방향에서 연재되는 띠 형상의 부분의 폭은 동일하게 된다.
도시하는 바와 같이, 유기 EL 장치(3)의 컬러 필터(90)는, 평면에서 보았을 때, Y방향으로 연재되는 띠 형상으로 형성되어 있다. 또한, 본 도면에 있어서의 컬러 필터(90)는 광의의 컬러 필터(90)이다. 컬러 필터(90)의 폭 즉 X방향의 치수는, 화소 전극(52)의 X방향의 피치(본 실시 형태의 유기 EL 장치(3)에서는 대략 5㎛)를 초과하고 있다. 그리고 컬러 필터(90)는, Y방향으로 연재되는 중심선이 대응하는 화소 전극(52)의 Y방향으로 연재되는 중심선과 대략 일치하도록 형성되어 있다. 따라서, 도 11에 있어서 해칭을 시행한 영역, 즉 X방향으로 서로 이웃하는 화소 전극(52)간의 영역에서는, 상이한 색의 컬러 필터(90)가 적층된다.
따라서, 유기 EL 장치(3)의 X방향의 단면도는, 절단 위치를 불문하고, 도 10에 나타내는 제2 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(2)의 단면도와 대략 동일하게 된다. 즉, 격벽(44)(도 10 참조)의 적어도 일부는, 서로 상이한 색의 2층의 컬러 필터(90)가 적층되어 형성되어 있다. 전술한 바와 같이 컬러 필터(90)는 3원색광의 어느 것인가에 상당하는 파장 범위의 빛을 투과시키고, 다른 파장 범위의 빛은 흡수하는 기능을 갖고 있다. 따라서, 상이한 색의 2층의 컬러 필터(90)가 적층되어 이루어지는 층은 넓은 파장 범위의 빛에 대하여 흡수성을 갖고 있고, 높은 차광성을 갖고 있다.
본 실시 형태의 유기 EL 장치(3)는, 컬러 필터(90)가, 화소 전극(52)의 X방향으로 피치보다도 넓은 폭을 갖는 띠 형상의 패턴의 조합으로 구성되어 있는 점에 특징이 있다. 고정세(high-precision)한 패터닝을 실시하지 않기 때문에, 패터닝 공정의 난이도가 보다 한층 저감되어 있다. 또한, 3종류(3색)의 컬러 필터(90)를 동일 형상으로 패터닝할 수 있기 때문에, 포토마스크를 3색으로 공통화할 수 있다.
그리고 전술한 바와 같이, 상이한 색에 대응하는 화소 영역(42)간을 분리시키는 격벽(44)의 적어도 일부가 2색의 컬러 필터(90)를 적층하여 형성되어 있기 때문에, 높은 차광성을 갖고 있다. 또한, 컬러 필터(90)가 Y방향으로 연재되는 띠 형상의 부분만으로 구성되어 있기 때문에, 밀착성이 보다 한층 향상되어 있다. 따라서, 본 실시 형태의 유기 EL 장치(3)는, 표시 품질 및 신뢰성을 유지하면서 한층 더 저비용화가 달성되고 있다.
(제4 실시 형태)
다음으로, 본 발명의 제4 실시 형태로서, 전기 광학 장치로서의 유기 EL 장치의 제조 방법에 대해서 설명한다. 본 실시 형태의 제조 방법의 대상은, 전술한 제1 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(1)이다. 그리고, 본 실시 형태 및, 후술하는 제5 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 제조 방법은, 컬러 필터(90)의 형성 공정에 특징이 있다. 소자층(12)을 구성하는 구동용 TFT(112)(도 4 참조) 및 유기 EL 소자(50)(도 4 참조) 등의 각 요소는, 공지의 기술로 형성된다. 그래서, 본 실시 형태 및 후술하는 제5 실시 형태에 관해서는, 보호층(94)이 형성된 단계부터 설명한다. 또한, 전술한 제1 실시 형태에 있어서 설명한 구성 요소에 대해서는, 설명의 기재를 일부 생략한다. 후술하는 제5 실시 형태에 있어서도 동일하게 한다.
도 12 및 도 13은, 제4 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 공정 단면도이다. 상기의 2도에 있어서는, 전술한 도 5와 동일하게, 소자 기판(10)의 표면으로부터 반사층(63)에 이르기까지의 각 요소가, 소자층(12)(도 4 참조)으로서 간략화하여 도시되어 있다. 또한, 전술한 유기 EL 소자(50)를 형성하는 공정이 본 실시 형태에 있어서의 제1 공정이다. 따라서, 본 실시 형태의 설명은, 제2 공정의 설명에서부터 개시한다. 또한, 제1 공정이 실시된 후, 즉 유기 EL 소자(50)의 형성 후, 당해 유기 EL 소자의 상면에 평탄화층(92)과 봉지층(93)을 적층하여 보호층(94)을 형성하는 공정이 실시되고 있다. 이하, 공정 순서대로 설명한다.
또한, 본 실시 형태 및 후술하는 제5 실시 형태의 설명에 이용하는 도면(도 12∼도 15)에 있어서, 패터닝된 후의 투명 착색층(35, 36, 37)에 대해서는, 「44(90)」 또는 「90」의 부호를 부여하고 있다.
우선 제2 공정으로서, 도 12(a)에 나타내는 바와 같이, 화상 표시 영역(100) 내를, 평면에서 보았을 때 화소 전극(52)에 포함되는 영역이며 유기 EL 소자(50)가 빛을 사출하는 영역인 화소 영역(42)과, 당해 화소 영역 이외의 영역인 차광 영역(43)으로 구획한다. 그리고 화소 영역(42)을, 당해 화소 영역으로부터 사출되는 빛의 색에 맞춰 적색 화소 영역(42R)과 녹색 화소 영역(42G)과 청색 화소 영역(42B)으로 구획한다.
다음으로 제3 공정으로서, 적색 화소 영역(42R)과 차광 영역(43)에 적색 착색층(35)을 형성한다. 우선, 도 12(b)에 나타내는 바와 같이, 보호층(94) 상의 전체면에 적색 착색층(35)을 형성한다. 적색 착색층(35)은, 적색의 안료 즉 파장이 대략 610㎚∼대략 750㎚의 범위 내의 빛을 투과시키고, 그 이외의 파장 범위의 빛을 흡수하는 재료가 분산된 네거티브형의 감광성 아크릴로 이루어지는 층이다. 다음으로, 당해 적색 착색층을 포토리소그래피법에 의해 패터닝하고, 적색 화소 영역(42R) 및 차광 영역(43)의 2개의 영역을 제외한 영역으로부터 당해 적색 착색층을 선택적으로 제거한다. 그리고, 선택적으로 남겨진 적색 착색층(35)에 포스트 베이킹 처리 즉 가열 처리를 행하여 경화시킨다. 이와 같이 하여, 도 12(c)에 나타내는 바와 같이, 전술한 2개의 영역에만 적색 착색층(35)을 잔류시킨다.
전술한 바와 같이, 패터닝된 후의 적색 착색층(35)에는, 「44(90)」 또는 「90」의 부호를 부여하고 있다. 패터닝된 후의 적색 착색층(35)은, 전술한 제1∼제3 실시 형태에 있어서의 광의의 적색 컬러 필터(90R)에 상당한다. 적색 착색층(35) 중, 적색 화소 영역(42R)에 남겨진 부분은 적색 컬러 필터(90R)로서 기능한다. 그리고, 차광 영역(43)에 남겨진 부분은, 당해 적색 착색층의 단층으로, 혹은 다른 색의 투명 착색층과 적층된 상태로 격벽(44)으로서 기능한다. 또한, 포토리소그래피법이란, 대상이 되는 박막에 노광 공정과 에칭 공정을 순서대로 실시하여 패터닝하는 방법이다. 본 실시 형태에서는 대상이 되는 박막이 감광성 아크릴이기 때문에, 현상(development) 공정이 에칭 공정을 겸하고 있다.
다음으로 제4 공정으로서, 녹색 화소 영역(42G)에 녹색 착색층(36)을 형성하고, 청색 화소 영역(42B)에 청색 착색층(37)을 형성한다. 전술한 바와 같이, 녹색 착색층(36)은 파장이 대략 500㎚∼대략 560㎚의 범위 내의 빛을 투과시키고, 그 이외의 파장 범위의 빛을 흡수하는 재료가 분산된 층이며, 청색 착색층(37)은 파장이 대략 435㎚∼대략 480㎚의 범위 내의 빛을 투과시키고, 그 이외의 파장 범위의 빛을 흡수하는 재료가 분산된 층이다.
우선, 도 13(d)에 나타내는 바와 같이, 보호층(94) 상(및 먼저 형성된 적색 컬러 필터(90R) 상)의 전체면에 녹색 착색층(36)을 형성한다. 그리고 다음으로, 당해 녹색 착색층을 포토리소그래피법에 의해 패터닝하고, 녹색 화소 영역(42G) 및 당해 녹색 화소 영역을 둘러싸는 환상의 영역의 2개의 영역을 제외한 영역으로부터 당해 녹색 착색층을 선택적으로 제거한다. 그리고, 포스트 베이킹 처리에 의해 패터닝된 후의 당해 녹색 착색층을 경화시키고, 도 13(e)에 나타내는 바와 같이 전술한 2개의 영역에 녹색 착색층(36)을 형성한다.
또한, 전술한 패터닝시에 있어서, 하층에 형성되어 있는 적색 컬러 필터(90R) 및 격벽(44)은 이미 경화되어 있기 때문에, 에칭액(즉 현상액)에 의해 손상되는 일은 없다.
여기에서 전술한 환상의 영역이란, 해당하는 화소 영역(42)으로부터 연속되고, 그리고, 서로 이웃하는 다른 화소 영역(42)에는 도달하지 않는 영역이다. 따라서, 녹색 착색층(36)은, 녹색 화소 영역(42G)을 평면에서 보았을 때 포함하는 섬 형상의 영역으로 남도록 패터닝된다. 이러한 남겨진 녹색 착색층(36) 중, 평면에서 보았을 때 녹색 화소 영역(42G)과 겹치는 부분이, 협의의 녹색 컬러 필터(90G)로서 기능한다. 그리고, 남겨진 녹색 착색층(36) 중 녹색 화소 영역(42G)을 둘러싸는 환상의 영역과 겹치는 부분이 격벽(44)으로서 기능한다. 상기 제3 공정에 있어서, 녹색 화소 영역(42G)의 주위에는, 당해 녹색 화소 영역의 외주선에 이르기까지 적색 착색층(35)이 남겨져 있다. 따라서, 전술한 환상의 영역, 즉 녹색 화소 영역(42G)을 둘러싸는 차광 영역(43)에는, 하층의 적색 착색층(35)과 상층의 녹색 착색층(36)으로 이루어지는 격벽(44)이 형성된다.
다음으로, 도 13(f)에 나타내는 바와 같이 보호층(94) 상(및 먼저 형성된 적색 컬러 필터(90R) 등의 위)의 전체면에 청색 착색층(37)을 형성한다. 그리고 도 13(g)에 나타내는 바와 같이, 당해 청색 착색층을 포토리소그래피법에 의해 패터닝하고, 청색 화소 영역(42B) 및 당해 청색 화소 영역을 둘러싸는 환상의 영역의 2개의 영역을 제외한 영역으로부터 당해 청색 착색층을 선택적으로 제거한다. 즉, 청색 화소 영역(42B) 및 당해 청색 화소 영역을 둘러싸는 환상의 영역에 청색 착색층(37)을 남긴다. 그리고, 포스트 베이킹 처리에 의해, 패터닝된 후의 청색 착색층(37)을 경화시킨다. 패터닝된 후의 청색 착색층(37) 중, 평면에서 보았을 때 청색 화소 영역(42B)과 겹치는 부분이, 협의의 청색 컬러 필터(90B)로서 기능한다. 그리고, 남겨진 청색 착색층(37) 중 청색 화소 영역(42B)을 둘러싸는 환상의 영역과 겹치는 부분이, 격벽(44)으로서 기능한다. 상기 제3 공정에 있어서, 청색 화소 영역(42B)의 주위에는 당해 청색 화소 영역의 외주선에 이르기까지 적색 착색층(35)이 남겨져 있다. 따라서, 전술한 환상의 영역 즉 청색 화소 영역(42B)을 둘러싸는 차광 영역(43)에는, 하층의 적색 착색층(35)과 상층의 청색 착색층(37)으로 이루어지는 격벽(44)이 형성된다.
이상의 공정에 의해, 각 화소 영역(42(R, G, B))에는 컬러 필터(90(R, G, B))가 형성되며, 당해 화소 영역을 둘러싸는 차광 영역에는, 1층 또는 2층의 투명 착색층(35, 36, 37)이 형성된다. 이러한 투명 착색층(35, 36, 37)이 격벽(44)으로서 기능한다. 또한, 적색 컬러 필터(90R)의 형성 후, 녹색 컬러 필터(90G)의 형성과 청색 컬러 필터(90B)의 형성은, 어느 쪽을 먼저 실시해도 상관없다.
본 실시 형태의 제조 방법에 의하면, 각각의 화소 영역(42(R, G, B))에는 컬러 필터(90(R, G, B))가 형성되며, 서로 이웃하는 화소 영역(42)간을 분리시키는, 평면에서 보았을 때 격자 형상의 차광 영역(43)에는 격벽(44)이 형성된다. 그리고 당해 격벽 중, 녹색 화소 영역(42G)을 둘러싸는 환상의 부분과 청색 화소 영역(42B)을 둘러싸는 환상의 부분은, 2층의 투명 착색층이 적층된 모습이 된다. 투명 착색층은, 특정의 파장 범위의 빛 이외의 빛을 흡수하는 층이다. 따라서, 이러한 2층의 투명 착색층이 적층된 구조는 높은 차광성, 즉 넓은 파장 범위의 빛을 흡수하는 기능을 갖고 있다.
본 실시 형태의 제조 방법이면, 이러한 높은 차광성을 갖는 격벽(44)을 차광성 재료층의 성막 공정 및, 당해 차광성 재료층의 패터닝 공정을 실시하는 일 없이 형성할 수 있다. 즉, 성막 공정 및 포토리소그래피 공정에 있어서의 가열 처리 및 습식 처리인 현상 처리 등을 실시하는 일 없이 격벽(44)을 형성할 수 있다. 따라서, 컬러 필터(90)와 소자 기판(10)과의 사이에 위치하는 유기 EL 소자(50)에 대하여 전술한 가열 처리 등이 주는 영향을 저감할 수 있고, 신뢰성이 향상된 유기 EL 장치를 제조할 수 있다. 또한, 성막 공정 등의 실시의 횟수를 저감할 수 있기 때문에, 제조 비용을 저감하면서, 이러한 신뢰성이 향상된 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
(제5 실시 형태)
다음으로, 본 발명의 제5 실시 형태에 따른 전기 광학 장치로서의 유기 EL 장치의 제조 방법에 대해서 설명한다. 도 14 및 도 15는, 제5 실시 형태에 따른 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 공정 단면도이다. 본 실시 형태의 제조 방법의 대상은, 전술한 제2 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(2)이다.
상기 2도에 있어서는, 전술한 도 12, 도 13과 동일하게, 소자 기판(10)의 표면으로부터 반사층(63)에 이르기까지의 각 요소를 소자층(12)(도 4 참조)으로서 간략화하여 도시하고 있다. 전술한 바와 같이 본 실시 형태의 제조 방법에 대해서는, 전술한 제4 실시 형태의 제조 방법의 설명과 동일하게, 유기 EL 소자(50)를 형성하는 제1 공정의 실시 후, 당해 유기 EL 소자의 상면에 보호층(94)이 형성된 단계부터 공정 순서대로 설명한다.
우선 제2 공정으로서, 도 14(a)에 나타내는 바와 같이, 화상 표시 영역(100) 내를, 화소 전극(52)에 포함되는 영역이며 유기 EL 소자(50)가 빛을 사출하는 영역인 화소 영역(42)과, 당해 화소 영역 이외의 영역인 차광 영역(43)으로 구획한다. 그리고 화소 영역(42)을, 당해 화소 영역으로부터 사출되는 빛의 색에 맞춰 적색 화소 영역(42R)과 녹색 화소 영역(42G)과 청색 화소 영역(42B)으로 구획한다.
다음으로 제3 공정으로서, 도 9(a)에 나타내는 영역, 즉 적색 화소 영역(42R) 및, 차광 영역(43) 중 적색 화소 영역(42R)에 인접하는 영역과 Y방향으로 연재되는 띠 형상의 부분(Y방향으로 서로 이웃하는 화소 영역(42)간을 분리시키는 부분)의 중앙 부분에, 적색 착색층(35)을 형성한다. 우선 도 14(b)에 나타내는 바와 같이, 보호층(94) 상의 전체면에 적색 착색층(35)을 형성한다. 그리고 당해 적색 착색층을 포토리소그래피법에 의해 패터닝하고, 도 14(c)에 나타내는 바와 같이, 전술한 영역(도 9(a)에 나타내는 영역)에 적색 착색층(35)을 남긴다. 그리고, 남겨진 적색 착색층(35)에 포스트 베이킹 처리를 행하여 경화시킨다. 이러한 경화된 적색 착색층(35) 중, 적색 화소 영역(42R)과 겹치는 부분이, (협의의) 적색 컬러 필터(90R)로서 기능한다.
다음으로 제4 공정으로서, 녹색 화소 영역(42G)과, 차광 영역(43) 중 녹색 화소 영역(42G)에 인접하는 영역에 녹색 착색층(36)을 형성한다. 우선 도 15(d)에 나타내는 바와 같이, 보호층(94) 상(및, 먼저 형성된 적색 컬러 필터(90R) 등의 위)의 전체면에 녹색 착색층(36)을 형성한다. 그리고 다음으로, 녹색 착색층(36)을 포토리소그래피법에 의해 패터닝하고, 도 15(e)에 나타내는 바와 같이, 전술한 2개의 영역에만 녹색 착색층(36)을 남긴다. 그리고, 남겨진 녹색 착색층(36)에 포스트 베이킹 처리를 행하여, 당해 녹색 착색층을 경화시킨다. 이러한 경화된 녹색 착색층(36) 중, 녹색 화소 영역(42G)과 겹치는 부분이, (협의의) 녹색 컬러 필터(90G)로서 기능한다. 그리고, 차광 영역(43)과 겹치는 부분이 격벽(44)으로서 기능한다.
녹색 착색층(36)을 형성하는 영역은, 도 9(b)에 있어서 나타내는 광의의 의미에서의 녹색 컬러 필터(90G)가 형성되어 있는 영역이다. 구체적으로는, 녹색 화소 영역(42G)과 당해 녹색 화소 영역을 둘러싸는 환상을 합친 영역이다. 당해 환상의 영역은, 외연부가 최종적으로 다른 색의 컬러 필터(90)와 겹치는 영역이다. 즉, 전술한 외연부는, 평면에서 보았을 때 청색 화소 영역(42B)과 대향하는 변에 있어서는, 후술하는 제5 공정에 있어서 형성되는 (광의의) 청색 컬러 필터(90B)와 겹치는 영역이다. 그리고 다른 3변에 있어서는, 제3 공정에서 형성되어 있는 (광의의) 적색 컬러 필터(90R)와 겹치는 영역이다. 따라서 도시하는 바와 같이, 패터닝된 후의 녹색 착색층(36)은, 적색 화소 영역(42R)과 녹색 화소 영역(42G)과의 사이의 차광 영역(43)의 중앙에 있어서, 먼저 형성되어 있던 적색 착색층(35)의 단부와 서로 겹친다.
다음으로 제5 공정으로서, 청색 화소 영역(42B)과, 차광 영역(43) 중 청색 화소 영역(42B)에 인접하는 영역에 청색 착색층(37)을 형성한다. 우선 도 15(f)에 나타내는 바와 같이, 보호층(94) 상(및, 먼저 형성된 적색 컬러 필터(90R) 등의 위)의 전체면에 청색 착색층(37)을 형성한다. 그리고 다음으로, 청색 착색층(37)을 포토리소그래피법에 의해 패터닝하고, 도 15(g)에 나타내는 바와 같이, 전술한 2개의 영역에만 청색 착색층(37)을 남긴다. 그리고, 남겨진 청색 착색층(37)에 포스트 베이킹 처리를 행하여 경화시킨다. 이러한 경화된 청색 착색층(37) 중, 청색 화소 영역(42B)과 겹치는 부분이, (협의의) 청색 컬러 필터(90B)로서 기능한다. 그리고, 차광 영역(43)과 겹치는 부분이 격벽(44)으로서 기능한다.
청색 착색층(37)을 형성하는 영역은, 도 9(c)에 있어서 나타내는 광의의 청색 컬러 필터(90B)가 형성되어 있는 영역이다. 구체적으로는, 청색 화소 영역(42B)과 당해 청색 화소 영역을 둘러싸는 환상을 합친 영역이다. 당해 환상의 영역은, 외연부가 먼저 형성되어 있는 광의의 컬러 필터(90)와 겹치는 영역이다. 즉, 전술한 외연부는, 평면에서 보았을 때 녹색 화소 영역(42G)과 대향하는 변에 있어서는, 전술한 제4 공정에 있어서 형성된 녹색 착색층(36) 즉 광의의 녹색 컬러 필터(90G)와 겹치는 영역이다. 그리고 다른 3변에 있어서는, 제3 공정에서 형성된 적색 착색층(35) 즉 광의의 적색 컬러 필터(90R)와 겹치는 영역이다. 따라서 도시하는 바와 같이, 패터닝된 후의 청색 착색층(37)은, 적색 화소 영역(42R)과 청색 화소 영역(42B)과의 사이의 차광 영역(43)의 중앙에 있어서는 먼저 형성되어 있던 적색 착색층(35)의 단부와 서로 겹친다. 그리고, 녹색 화소 영역(42G)과 청색 화소 영역(42B)과의 사이의 차광 영역(43)의 중앙에 있어서는 먼저 형성되어 있던 녹색 착색층(36)의 단부와 서로 겹친다.
이상의 공정에서, 각각의 화소 영역(42)에 당해 화소 영역이 사출하는 빛의 색에 대응하는 (협의의) 컬러 필터(90(R, G, B))가 형성된다. 그리고, 서로 이웃하는 당해 화소 영역(42)을 분리시키는 차광 영역(43)에는 격벽(44)이 형성된다.
본 실시 형태의 제조 방법이면, 격벽(44)을 차광성 재료층의 성막 공정 및, 당해 차광성 재료층의 패터닝 공정을 실시하는 일 없이 형성할 수 있다. 즉, 성막 공정 및 포토리소그래피 공정에 있어서의 가열 처리 및 습식 처리인 현상 처리 등을 실시하는 일 없이 격벽(44)을 형성할 수 있다. 따라서, 컬러 필터(90)와 소자 기판(10)과의 사이에 위치하는 유기 EL 소자(50)에 대하여 전술한 가열 처리 등이 주는 영향을 저감할 수 있고, 신뢰성이 향상된 유기 EL 장치를 제조할 수 있다. 그리고, 유기 EL 장치의 제조 비용도 저감할 수 있다.
또한 본 실시 형태의 제조 방법이면, 차광 영역(43) 내에 있어서 컬러 필터(90)의 외연부가 서로 겹친 격벽(44)을 형성할 수 있다. 이러한 구성의 격벽(44)은, 먼저 형성된 컬러 필터(90)의 외연부가 나중에 형성된 컬러 필터(90)의 외연부로 덮여 있기 때문에, 밀착성이 향상되어 있다. 따라서, 컬러 필터(90) 및 격벽(44)의 신뢰성도 향상된 유기 EL 장치를 형성할 수 있다.
(전자 기기)
도 16은, 전술한 제1 실시 형태의 유기 EL 장치(1)를 부품으로서 장착한 여러 가지의 전자 기기를 나타내는 도면이다. 또한, 전술한 유기 EL 장치(1) 외에, 제2 실시 형태의 유기 EL 장치(2) 혹은 제3 실시 형태의 유기 EL 장치(3)를 부품으로서 이용할 수도 있다.
도 16(a)는 전자 기기로서의 헤드 마운트 디스플레이(head mount display)에의 적용예를 나타내는 개략도이다. 헤드 마운트 디스플레이(260)는, 밴드(261), 광학계 수납부(262) 및 유기 EL 장치(1)를 구비하고 있다. 이와 같이 유기 EL 장치(1)는 화상 표시기로서 이용 가능하다.
도 16(b)는 리어(rear)형 프로젝터에의 적용예를 나타내는 개략도이다. 리어형 프로젝터(270)는, 케이스체(271)에, 합성 광학계(273), 미러(274), 미러(275), 스크린(276) 및, 유기 EL 장치(1)를 구비하고 있다. 이와 같이 유기 EL 장치(1)는 화상 표시기로서 이용 가능하다.
도 16(c)는 프런트(front)형 프로젝터(모바일 미니 프로젝터)에의 적용예를 나타내는 개략도이다. 프런트형 프로젝터(280)는, 케이스체(282)에 광학계(281) 및 유기 EL 장치(1)를 구비하여, 화상을 스크린(283)에 표시 가능하게 되어 있다. 또한, 모바일 미니 프로젝터로서 취급하는 경우, 스크린(283)을 대신하여 흰 벽에 비추도록 하면, 스크린(283)을 생략하는 것이 가능해져, 보다 운반하기 쉬운 모바일 미니 프로젝터를 제공하는 것이 가능해진다. 이와 같이 유기 EL 장치(1)는 화상 표시기로서 이용 가능하다.
전술한 바와 같이, 제1∼제3 실시 형태에 따른 유기 EL 장치(1∼3)는 컬러 필터(90)의 형성에 필요로 하는 포토리소그래피 공정이 저감되어 있기 때문에, 저비용화 및 신뢰성의 향상이 도모되고 있다. 따라서, 이러한 유기 EL 장치(1∼3)를 여러 가지의 전자 기기에 적용함으로써, 저가격이고 그리고 고품질인 전자 기기를 제공하는 것이 가능해진다.
본 발명의 실시 형태는, 전술한 각 실시 형태 이외에도 여러 가지 변형예를 생각할 수 있다. 이하, 변형예를 들어 설명한다.
(변형예 1)
전술한 각 실시 형태의 유기 EL 장치(1∼3)에 있어서, 반사층(63)은 화소 전극(52)마다 패터닝되어 있다. 그러나 반사층(63)을 제2 콘택트 홀(68)의 부근 이외는 패터닝하지 않고 , 제2 층간 절연막(62) 상의 대략 전체면에 형성하는 실시 형태도 가능하다. 이러한 실시 형태라면, 화소 영역(42)과 차광 영역(43)과의 사이의 단차를 저감할 수 있다. 그 결과, 컬러 필터(90)의 층두께의 균일성을 향상할 수 있어, 유기 EL 장치의 표시 품질을 향상할 수 있다.
(변형예 2)
전술한 각 실시 형태의 유기 EL 장치(1∼3)에 있어서, 유기 EL 소자(50)(구체적으로는 음극(56))과 컬러 필터(90)와의 사이에 형성되는 보호층(94)은, 유기 EL 소자(50)측에서부터 순서대로 아크릴 등의 유기 재료로 이루어지는 평탄화층(92)과 SiOn 등의 무기 재료로 이루어지는 봉지층(93)을 적층하여 형성되어 있다. 그러나 보호층(94)의 구성은, 이러한 2층의 적층체로 한정되지 않는다. 예를 들면, 평탄화층(92)과 음극(56)의 사이에 무기 재료로 이루어지는 층을 추가로 형성하는 실시 형태도 가능하다. 이러한 구성이면 봉지성 등을 향상할 수 있고, 유기 EL 장치의 신뢰성을 향상할 수 있다.
또한 봉지층(93)을, CVD 등의 진공 성막법으로 형성한 층과 웨트 성막법으로 형성한 층과의 적층체로 해도 좋다. 평탄성이 향상되기 때문에, 컬러 필터(90)의 층두께의 균일성을 향상할 수 있고 표시 품질을 향상할 수 있다.
(변형예 3)
전술한 각 실시 형태의 유기 EL 장치(1∼3)에 있어서, 화소 전극(52)과 반사층(63)은 별개로 형성되어 있다. 그러나, 화소 전극(52)으로 하여금 반사층을 겸하게 하는 구성도 가능하다. 그러한 구성이면 성막 공정 및 패터닝 공정을 적어도 1회씩은 저감할 수 있기 때문에, 제조 비용을 저감할 수 있다.
1 : 제1 실시 형태의 유기 EL 장치
2 : 제2 실시 형태의 유기 EL 장치
3 : 제3 실시 형태의 유기 EL 장치
10 : 소자 기판
11 : 대향 기판
12 : 소자층
35 : 적색 착색층
36 : 녹색 착색층
37 : 청색 착색층
42 : 화소 영역
42B : 청색 화소 영역
42G : 녹색 화소 영역
42R : 적색 화소 영역
43 : 차광 영역
44 : 격벽
46 : 화소
46B : 청색 화소
46G : 녹색 화소
46R : 적색 화소
50 : 유기 EL 소자
52 : 제1 전극으로서의 화소 전극
52B : 청색 화소 전극
52G : 녹색 화소 전극
52R : 적색 화소 전극
54 : 발광 기능층
56 : 제2 전극으로서의 음극
61 : 제1 층간 절연막
62 : 제2 층간 절연막
63 : 반사층
64 : 반사층 보호막
67 : 제1 콘택트 홀
68 : 제2 콘택트 홀
71 : 반도체층
72 : 채널 영역
73 : 소스 영역
74 : 드레인 영역
75 : 게이트 전극
77 : 소스 전극
78 : 드레인 전극
79 : 게이트 절연막
80 : 단차 영역
81 : 제1 단차 영역
82 : 제2 단차 영역
90 : 컬러 필터
90B : 청색 컬러 필터
90G : 녹색 컬러 필터
90R : 적색 컬러 필터
92 : 평탄화층
93 : 봉지층
94 : 보호층
95 : 오버코트층
96 : 충전층
100 : 화상 표시 영역
102 : 주사선
104 : 신호선
106 : 전원 공급선
108 : 스위칭용 TFT
110 : 보지 용량
112 : 구동용 TFT
120 : 주사선 구동 회로
130 : 신호선 구동 회로
140 : 동기 신호선
260 : 헤드 마운트 디스플레이
261 : 밴드
262 : 광학계 수납부
270 : 리어형 프로젝터
271 : 케이스체
273 : 합성 광학계
274 : 미러
275 : 미러
276 : 스크린
280 : 프런트형 프로젝터
281 : 광학계
282 : 케이스체
283 : 스크린

Claims (11)

  1. 기판과,
    상기 기판 상에 형성되며, 제1 전극과, 발광 기능층과, 투명 도전성을 갖는 제2 전극을 갖고 상기 제2 전극측으로 빛을 사출하는 유기 EL 소자와,
    상기 유기 EL 소자가 빛을 사출하는 영역인 화소 영역에 있어서 상기 제2 전극측에 형성된 컬러 필터와,
    상기 화소 영역 이외의 영역인 차광(light-blocking) 영역에 형성된 격벽
    을 갖는 유기 EL 장치로서,
    상기 컬러 필터는, 적색광을 투과시키는 적색 컬러 필터와 녹색광을 투과시키는 녹색 컬러 필터와 청색광을 투과시키는 청색 컬러 필터의 3색의 컬러 필터 중 어느 것이며,
    상기 3색의 컬러 필터 중 적어도 1색의 상기 컬러 필터가 상기 격벽의 적어도 일부를 구성하고,
    상기 격벽의 적어도 상기 기판측은, 상기 적색 컬러 필터로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 격벽 중 평면에서 보았을 때 상기 화소 영역과 인접하는 부분의 적어도 상기 기판측은, 각각의 상기 화소 영역에 형성되어 있는 상기 컬러 필터로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 발광 기능층은 백색광을 발광하는 발광 기능층이고,
    상기 제2 전극은 반투과 반사성 재료로 이루어지고,
    상기 기판과 상기 발광 기능층과의 사이에는 반사층이 형성되어 있고,
    상기 제2 전극과 상기 반사층과의 사이에는 광공진(光共振) 구조가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  5. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 유기 EL 소자와 상기 컬러 필터와의 사이에는 무기 재료층을 포함하는 보호층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 보호층은, 상기 유기 EL 소자측에 형성된 유기 재료로 이루어지는 평탄화층과, 상기 컬러 필터측에 형성된 무기 재료층을 포함하는 층인 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  7. 제1항 또는 제3항에 기재된 유기 EL 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 기기.
  8. 기판 상의 화상 표시 영역에, 섬(island) 형상의 제1 전극과, 발광 기능층과, 투명 도전성 재료로 이루어지는 제2 전극을 순서대로 적층하여 유기 EL 소자를 형성하는 제1 공정과,
    상기 화상 표시 영역을, 평면에서 보았을 때 상기 제1 전극에 포함되는 화소 영역과 상기 화소 영역 이외의 영역인 차광 영역으로 구획하고, 추가로 상기 화소 영역을 적색 화소 영역과 녹색 화소 영역과 청색 화소 영역의 3종류의 화소 영역으로 구획하는 제2 공정과,
    상기 적색 화소 영역과 상기 차광 영역에 적색 착색층을 형성하는 제3 공정과,
    상기 녹색 화소 영역에 녹색 착색층을 형성하고, 그리고, 상기 청색 화소 영역에 청색 착색층을 형성하는 제4 공정
    을 기재한 순서대로 실시하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제4 공정은, 상기 녹색 화소 영역과 당해 녹색 화소 영역을 둘러싸는 환상(環狀)의 영역에 상기 녹색 착색층을 형성하고, 그리고, 상기 청색 화소 영역과 당해 청색 화소 영역을 둘러싸는 환상의 영역에 상기 청색 착색층을 형성하는 공정인 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  10. 기판 상의 화상 표시 영역에, 섬 형상의 제1 전극과, 발광 기능층과, 투명 도전성 재료로 이루어지는 제2 전극을 순서대로 적층하여 유기 EL 소자를 형성하는 제1 공정과,
    상기 화상 표시 영역을, 평면에서 보았을 때 상기 제1 전극에 포함되는 화소 영역과, 상기 화소 영역 이외의 영역인 차광 영역으로 구획하고, 추가로 상기 화소 영역을 적색 화소 영역과 녹색 화소 영역과 청색 화소 영역의 3종류의 화소 영역으로 구획하는 제2 공정과,
    상기 적색 화소 영역과, 상기 차광 영역 중 상기 적색 화소 영역에 인접하는 영역에 적색 착색층을 형성하는 제3 공정과,
    상기 녹색 화소 영역과, 상기 차광 영역 중 상기 녹색 화소 영역에 인접하는 영역에 녹색 착색층을 형성하는 제4 공정과,
    상기 청색 화소 영역과, 상기 차광 영역 중 상기 청색 화소 영역에 인접하는 영역에 청색 착색층을 형성하는 제5 공정
    을 기재한 순서대로 실시하는 유기 EL 장치의 제조 방법으로서,
    상기 제3 공정은, 상기 적색 화소 영역과, 상기 차광 영역 중 상기 적색 화소 영역에 인접하는 영역 및, 상기 제4 공정에서 상기 녹색 착색층이 형성되지 않고 그리고 상기 제5 공정에서 상기 청색 착색층이 형성되지 않는 영역에 상기 적색 착색층을 형성하는 공정인 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  11. 삭제
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