KR101550125B1 - 세라믹 배선기판, 다수개 취득 세라믹 배선기판, 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

기판 본체의 측면의 노치부 부근에서 버가 적고 또한 상기 노치부의 내벽면에 설치한 도체층의 땜납 실장성이 우수한 세라믹 배선기판, 상기 기판을 복수개 얻기 위한 다수개 취득 세라믹 배선기판, 및 상기 배선기판을 확실하게 얻기 위한 제조방법을 제공한다. 평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형인 표면(3) 및 이면(4)과, 상기 표면(3)과 이면(4)의 사이에 위치하며 또한 표면(3)측의 홈 형성면(8a) 및 이면(4)측의 파단면(7)을 가지는 측면(5)을 구비한 기판 본체(2a)와, 상기 측면(5)의 적어도 하나에, 상기 표면(3)과 이면(4)의 사이에 있어서의 평면측에서 보았을 때의 형상이 오목 형상인 노치부(6)를 구비한 세라믹 배선기판(1a)으로서, 상기 노치부(6)를 가지는 측면(5)에 있어서, 상기 홈 형성면(8a)과 파단면(7)의 경계선(11)은, 측면측에서 보았을 때 기판 본체(2a)의 표면 (3)측으로 볼록하게 되는 만곡부(11r)를 노치부(6)의 양측에 가지는 세라믹 배선기판(1a)이다.

Description

세라믹 배선기판, 다수개 취득 세라믹 배선기판, 및 그 제조방법{CERAMIC WIRING BOARD, MULTI-PATTERN CERAMIC WIRING BOARD, AND METHOD FOR PRODUCING SAME}

본 발명은 기판 본체의 측면의 노치(notch)부 부근에서 버(burr)가 적고 또한 상기 노치부의 내벽면에 설치한 도체층의 땜납 실장성이 우수한 세라믹 배선기판, 상기 기판을 복수개 얻기 위한 다수개 취득 세라믹 배선기판, 및 상기 다수개 취득 배선기판의 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 세라믹 배선기판은 다수개 취득 세라믹 배선기판을 그 표면이나 이면에 설치한 분할홈을 따라서 개개의 세라믹 배선기판으로 분할하여 개편화(個片化)하는 것에 의해 제작되고 있다. 이와 같은 분할시에서는, 분할홈의 부근에 위치하는 금속층 등의 조각(chip)이나 버를 발생하기 어렵게 하기 위해, 소정 범위의 날끝각인 칼날을 그린시트 적층체의 절단 예정면을 따라서 삽입하는 것에 의해, 소요의 분할홈을 형성하는 것을 가능하게 한 다수개 취득 배선기판의 제조방법이 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

그러나 특허문헌 1의 제조방법의 칼날에 의한 홈 형성을 그린시트에 시행한 경우, 형성해야 할 분할홈이 직경방향에서 교차하는 관통구멍의 내벽면에서는 파단면(균열의 진행)이 사행(蛇行)하기 때문에, 요철이나 버가 발생하기 쉬워진다. 특히, 관통구멍의 내벽면에 도체층이 형성되어 있는 경우는, 상기 도체층의 금속을 파손하는 것에 의한 버가 발생하기 쉬워져, 분할 후에 도금 피막 처리가 시행되어 있지 않은 도체층의 절단면(切斷面)이 노출되기 때문에, 상기 도체층을 납땜하여 실장할 때의 신뢰성이 저하될 우려도 있었다.

상기 그린시트의 관통구멍에 있어서의 내벽면에서의 파단면(균열의 진행)의 사행에 수반하는 버나 크랙(crack)을 방지하기 위해, 동일 칼등(칼날)에 대해 칼끝의 높이(폭)가 다른 칼날을 이용함으로써, 분할홈의 깊이가 불연속으로 다른 부분을 형성하는 것을 가능하게 한 다수개 취득 배선기판도 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).

그러나 특허문헌 2의 다수개 취득 배선기판에서는 분할홈과 교차하는 임의의 위치에 관통구멍을 형성해야 할 위치가 변경될 때마다, 그린시트의 표면 부근과 관통구멍 부근의 쌍방에 대응한 칼끝의 높이(폭) 및 길이가 여러 가지 다른 특수한 칼날을 많이 준비할 필요가 있다. 그로 인해, 많은 종류의 특수한 칼날이 필요하게 되어 제조비용이 현저하게 불어남과 아울러, 생산성이 저하된다고 하는 문제가 있었다.

특허문헌 1: 일본국 특개2009-218319호 공보(제 1∼11페이지, 도 1∼8) 특허문헌 2: 일본국 특개2009-266992호 공보(제 1∼11페이지, 도 1∼8)

본 발명은 배경기술에서 설명한 문제점을 해결하고, 기판 본체 측면의 노치부 부근에서 버가 적고 또한 상기 노치부의 내벽면에 설치한 도체층의 땜납 실장성이 우수한 세라믹 배선기판, 상기 기판을 복수개 얻기 위한 다수개 취득 세라믹 배선기판, 및 상기 배선기판을 확실하게 얻기 위한 제조방법을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 다수개 취득 배선기판에 형성해야 할 분할홈의 바닥부를 관통구멍 부근에서 두께방향을 따라서 상기 관통구멍의 안쪽으로 만곡시켜 깊게 하는 것에 착상하여 이루어지는 것이다.

즉, 본 발명에 의한 제 1 세라믹 배선기판(청구항 1)은, 평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형인 표면 및 이면과, 상기 표면과 이면의 사이에 위치하며 또한 표면측의 홈 형성면 및 이면측의 파단면을 가지는 측면을 구비한 기판 본체와, 상기 측면의 적어도 하나에, 상기 표면과 이면의 사이에 있어서의 평면측에서 보았을 때의 형상이 오목 형상인 노치부를 구비한 세라믹 배선기판으로서, 상기 노치부를 가지는 측면에 있어서, 상기 홈 형성면과 파단면의 경계선은, 측면측에서 보았을 때 상기 기판 본체의 표면측으로 볼록하게 되는 만곡부를 상기 노치부의 양측에 가지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 의한 제 2 세라믹 배선기판(청구항 2)은, 평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형인 표면 및 이면과, 상기 표면과 이면의 사이에 위치하며 또한 표면측의 홈 형성면 및 이면측의 파단면을 가지는 측면을 구비한 기판 본체와, 인접하는 1조의 측면 사이의 코너부에 형성되고, 또한 상기 표면과 이면의 사이에 있어서의 평면측에서 보았을 때의 형상이 ¼ 원호 형상인 노치부를 구비한 세라믹 배선기판으로서, 상기 노치부의 양측에 위치하는 1쌍의 측면에 있어서, 상기 홈 형성면과 파단면의 경계선은, 측면측에서 보았을 때 상기 기판 본체의 표면측으로 볼록하게 되는 만곡부를 상기 노치부의 양측에 가지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 기판 본체는 단층의 세라믹층으로 이루어지던지, 복수의 세라믹 층을 일체로 적층한 것이다. 상기 세라믹은 알루미나나 멀라이트 등의 고온소성세라믹, 혹은, 저온소성세라믹의 일종인 유리-세라믹 등으로 이루어진다.

상기 배선기판은, 4변의 측면마다의 중간에 상기 노치부를 가지는 형태, 혹은, 인접하는 1쌍의 측면 사이에 위치하는 4개의 코너부마다에 상기 노치부를 가지는 형태, 또한, 이와 같은 2종류의 노치부가 병존하고 있는 형태의 어느 것인가 하나이다.

상기 홈 형성면은, 다수개 취득 배선기판이 되는 대판(大判)의 그린시트 또는 그린시트 적층체의 표면에 대해, 후술하는 레이저가공에 의해 형성한 단면 V자형상 혹은 U자 형상 등의 분할홈을 따라서 각 배선기판마다로 개편했을 때에, 개개의 배선기판의 측면으로 노출되는 상기 분할홈의 일측의 내벽면이다. 그로 인해, 상기 홈 형성면은 상대적으로 세라믹 자체의 파단면보다도 평활하다.

상기 제 1 세라믹 배선기판에 있어서의 평면측에서 보았을 때의 형상이 오목 형상인 노치부는, 평면측에서 보았을 때 반원형 형상 혹은 장방형 등의 직사각형 형상인 단면을 포함하고 있다.

또한, 본 발명에는, 상기 파단면은 표면측의 홈 형성면과 이면측의 홈 형성면의 사이에 끼워져 있는 세라믹 배선기판(청구항 3)도 포함된다.

더불어서, 본 발명에는 상기 노치부의 내벽면에 있어서의 일부 또는 전체면에 원호 형상인 도체층이 형성되고, 상기 도체층의 절단면은 상기 홈 형성면의 일부를 이루고 있는 세라믹 배선기판(청구항 4)도 포함된다.

한편, 본 발명에 의한 다수개 취득 세라믹 배선기판(청구항 5)은, 평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형인 표면 및 이면을 가지는 복수의 배선기판부를 가로 세로로 인접하여 병유(倂有)하는 제품영역과, 상기 제품영역의 주위에 위치하며, 평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형 프레임 형상인 표면 및 이면을 가지는 에지(edge)부와, 인접하는 상기 배선기판부끼리의 사이 및 상기 제품영역과 에지부의 사이를 따라서 적어도 제품영역의 표면측에 평면측에서 보았을 때 격자 형상으로 형성된 분할홈과, 평면측에서 보았을 때 상기 분할홈이 직경방향을 따라서 교차하며 또한 상기 표면과 이면의 사이를 관통하는 단면 원형 형상인 관통구멍을 구비한 다수개 취득 세라믹 배선기판으로서, 상기 분할홈의 바닥부는 측면측에서 보았을 때 표면측이 볼록하게 되는 만곡부를 가짐과 아울러, 상기 관통구멍의 내벽면에 있어서 직경방향으로 대칭인 위치에 단부(端部)가 노출되는 1쌍의 분할홈의 바닥부에 있어서의 상기 만곡부는, 상기 단부 이외의 바닥부보다도 이면측에 위치하는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에는, 상기 관통구멍은 상기 분할홈이 평면측에서 보았을 때 직경방향을 따라서 가로 세로로 교차하는 위치에 형성되고, 상기 관통구멍의 내벽면에 있어서의 원주방향으로 90도 위치마다에 단부가 노출되는 2쌍의 분할홈의 바닥부에 있어서의 상기 만곡부는, 상기 단부 이외의 바닥부보다도 이면측에 위치하는 다수개 취득 세라믹 배선기판(청구항 6)도 포함된다.

또한, 본 발명에는, 상기 분할홈은 적어도 상기 제품영역의 이면에도 평면측에서 보았을 때 격자 형상으로 형성되고, 상기 이면측의 분할홈의 바닥부에 있어서의 만곡부는, 표면측의 만곡부와 선대칭인 다수개 취득 세라믹 배선기판(청구항 7)도 포함된다.

그리고 본 발명에 의한 다수개 취득 세라믹 배선기판의 제조방법(청구항 8)은, 상기한 청구항 5에 기재된 다수개 취득 세라믹 배선기판의 제조방법으로서, 평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형인 표면 및 이면을 가지는 그린시트에 있어서의 소정의 위치에 복수의 관통구멍을 형성하는 공정과, 상기 그린시트의 적어도 표면 및 이면의 일측에 있어서, 평면측에서 보았을 때 상기 관통구멍과 직경방향으로 교차하며 또한 배선기판부의 주위 및 제품영역과 에지부를 구획하도록 레이저를 연속하여 조사하면서 주사함으로써, 복수의 분할홈을 평면측에서 보았을 때 격자 형상으로 형성하는 공정을 포함하며, 상기 분할홈을 형성하는 레이저의 초점을 상기 그린시트의 두께방향에 있어서 일정한 위치에 유지하고, 상기 분할홈을 형성하는 레이저는 상기 관통구멍의 내측과 상기 그린시트의 표면 및 이면의 일측에 대해서 동일 조건으로 연속하여 조사하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 다수개 취득 세라믹 배선기판의 제조방법에 있어서, 상기 분할홈을 형성하는 레이저는, 관통구멍의 내측과 그린시트의 표·이면에 대해, 동일 조건으로 연속하여 조사하는 것이 바람직하다. 또, 상기 레이저의 초점은, 상기 그린시트의 두께방향에 있어서, 거의 일정한 레벨(위치)로 유지하면서 상기 레이저가공을 실시하는 것이 바람직하다.

청구항 1의 제 1 세라믹 배선기판 및 청구항 2의 제 2 세라믹 배선기판에 따르면, 상기 홈 형성면과 파단면의 경계선이, 측면측에서 보았을 때 상기 기판 본체의 표면측으로 볼록하게 되는 만곡부를 상기 노치부마다의 양측에 가지므로, 홈 형성면의 바닥부의 단부와 노치부의 내벽면과 상기 만곡부의 사이에는, 이들에 둘러싸인 상기 홈 형성면의 안쪽으로 좁은 연장부가 연장 설치되어 있다. 그로 인해, 제 1 및 제 2 세라믹 배선기판의 기판 본체에 있어서의 측면의 중간, 혹은 인접하는 1쌍의 측면 사이의 코너부에 위치하는 상기 노치부의 부근에는, 비교적 거친 표면의 상기 파단면이 위치하고 있지 않으므로, 세라믹의 버나 후술하는 도체층의 파손이 없던지, 조금 억제되어 있다. 게다가, 노치부의 내벽면에 형성된 도체층의 단면 중, 상기 홈 형성면의 연장부에 인접하며 또한 외부로 노출되어 있는 절단면(끝면)에도, 도금막이 피복되어 있기 때문에, 본 세라믹 배선기판을 마더보드 등에 땜납 실장할 때의 신뢰성을 높일 수 있다.

청구항 3의 세라믹 배선기판에 따르면, 상기 기판 본체의 동일 측면에 있어서의 표면측 및 이면측에 선대칭으로 위치하는 1쌍의 홈 형성면에 있어서의 바닥부의 단부마다에, 상기 노치부의 양측에 상기 홈 형성면마다의 연장부가 위치하고 있다. 그로 인해, 버나 차술(次述)하는 도체층의 파손이 한층 억제되어 있다. 또한, 노치부의 내벽면에 형성된 도체층 중, 표면 및 이면측의 홈 형성면마다의 연장부에 인접하며 또한 외부로 노출되어 있는 절단면에도, 도금막이 피복되어 있으므로, 상기 땜납 실장할 때의 신뢰성이 한층 높아진다.

청구항 4의 세라믹 배선기판에 따르면, 상기 도체층 중, 표면 및 이면측의 적어도 일측의 홈 형성면의 연장부에 인접하며 또한 외부로 노출되어 있는 절단면(끝면)에도, 도금막이 확실하게 피복되어 있으므로, 상기 땜납 실장할 때의 신뢰성을 확실하게 얻을 수 있다.

청구항 5의 다수개 취득 세라믹 배선기판에 따르면, 상기 제품영역의 표면측에 평면측에서 보았을 때 격자 형상으로 형성된 분할홈의 바닥부 중, 상기 분할홈이 교차하는 관통구멍의 내벽면 부근의 단부에는, 측면측에서 보았을 때 표면측이 볼록하게 되며 또한 상기 바닥부보다도 이면측에 위치하는 만곡부가 형성되어 있다. 그로 인해, 상기 제품영역을 분할홈을 따라서 접어 구부려 가공하여 배선기판부를 개편화했을 때에, 상기 관통구멍이 인접하는 세라믹 배선기판의 측면에 있어서의 평면측에서 보았을 때의 형상이 오목 형상인 노치부가 되고, 또한 상기 분할홈의 내벽면의 일측이 배선기판의 홈 형성면이 되지만, 상기 홈 형성면의 바닥부이며 또한 상기 노치부의 양측 부근에는, 상기 버나 파손이 발생하기 어렵고, 또한 상기 만곡부를 포함하는 연장부가 형성된다. 게다가, 개개의 세라믹 배선기판에 있어서의 노치부의 내벽면에 형성된 도체층 중, 상기 연장부에 인접하여 노출되는 절단면에는, 개편 전에 시행한 도금막(예를 들면, Ni도금막 및 Au도금막)이 피복되어 있으므로, 땜납 실장성의 신뢰성도 높일 수 있다.

청구항 6의 다수개 취득 세라믹 배선기판에 따르면, 서로 직교하는 2쌍의 분할홈이 교차하는 관통구멍의 내벽면 부근의 단부에는, 측면측에서 보았을 때 표면측이 볼록하게 되며 또한 상기 바닥부보다도 이면측에 위치하는 만곡부가 형성되어 있다. 그로 인해, 상기 제품영역을 분할홈을 따라서 접어 구부려 가공하여 배선기판부를 개편화했을 때에, 상기 관통구멍이, 인접하는 세라믹 배선기판에 있어서 인접하는 측면 사이의 코너부에 있어서의 평면측에서 보았을 때의 형상이 ¼ 원호 형상인 노치부가 되고, 또한 상기 분할홈에 있어서의 일측의 내벽면이, 배선기판마다의 홈 형성면이 되지만, 상기 홈 형성면의 바닥부이며 또한 상기 노치부의 양측 부근에는, 상기 버나 파손이 발생하기 어렵고, 또한 상기 만곡부를 포함하는 연장부가 형성된다. 게다가, 노치부의 내벽면에 형성된 도체층은, 상기와 마찬가지로 땜납 실장성의 신뢰성을 높이는 것도 가능하게 된다.

청구항 7의 다수개 취득 세라믹 배선기판에 따르면, 상기 제품영역의 표면 및 이면의 각 분할홈이 교차하는 관통구멍의 내벽면 부근의 단부마다에는, 측면측에서 보았을 때 표면측 또는 이면측이 볼록하게 되며 또한 상기 각 분할홈의 바닥부보다도 이면측 또는 표면측에 위치하는 1쌍의 만곡부가 선대칭으로 형성되어 있다. 그로 인해, 분할홈을 따라서 개편화했을 때에 얻어지는 개개의 세라믹 배선기판의 측면에 있어서의 노치부의 부근에는, 세라믹의 버나 도체층의 파손이 한층 억제되어 있음과 아울러, 노치부의 내벽면에 위치하는 도체층에 의한 땜납 실장성의 신뢰성을 한층 높이 안정시키는 것이 가능하게 된다.

청구항 8의 다수개 취득 세라믹 배선기판의 제조방법에 따르면, 상기 제품영역의 표면 및 이면의 적어도 일측의 분할홈이 교차하는 관통구멍의 내벽면 부근의 단부마다에, 측면측에서 보았을 때 제품영역의 표면측 또는 이면측이 볼록하게 되며 또한 상기 각 분할홈의 바닥부보다도 이면측 또는 표면측에 위치하는 1쌍의 만곡부가 선대칭으로 형성되어 있는 다수개 취득 세라믹 배선기판을 효율적으로 확실하게 제조하는 것이 가능하게 된다. 게다가, 만곡부를 포함하는 분할홈은 레이저가공에 의해 형성하므로, 특수한 형상의 칼날을 사용하지 않아도 해결되어 제조비용을 억제할 수 있으며 또한 홈 형성 공정의 관리도 용이하게 된다.

도 1은 본 발명에 의한 제 1 세라믹 배선기판을 비스듬히 상측에서 나타내는 사시도.
도 2는 상기 세라믹 배선기판의 응용 형태를 나타내는 사시도.
도 3은 본 발명에 의한 제 2 세라믹 배선기판을 상기와 마찬가지로 나타내는 사시도.
도 4는 상기 세라믹 배선기판의 응용 형태를 나타내는 사시도.
도 5는 제 1과 제 2 응용 형태의 세라믹 배선기판을 상기와 마찬가지로 나타내는 사시도.
도 6은 본 발명에 의한 일형태의 다수개 취득 세라믹 배선기판을 나타내는 평면도.
도 7은 상기 배선기판의 표면에 있어서의 관통구멍의 개구부 부근의 부분 확대 사시도.
도 8은 도 6 중의 X-X선의 화살표를 따른 부분 수직 단면도.
도 9는 다른 형태의 다수개 취득 세라믹 배선기판을 나타내는 평면도.
도 10은 도 9 중의 Y-Y선의 화살표를 따른 부분 수직 단면도.
도 11은 도 6∼도 8에 나타낸 다수개 취득 배선기판의 하나의 제조공정을 나타내는 개략도.
도 12는 도 11에 계속되는 제조공정을 나타내는 개략도.
도 13은 도 12에 계속되는 제조공정을 나타내는 개략도.
도 14는 도 13에 계속되는 제조공정을 나타내는 개략도.

이하에 있어서, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 설명한다.

도 1은 본 발명에 의한 제 1 세라믹 배선기판{(이하, 단지 배선기판이라 한다)(1a)}을 비스듬히 상측에서 내려다 본 자세로 나타내는 사시도이다.

제 1 배선기판(1a)은 도 1에 나타내는 바와 같이, 평면측에서 보았을 때의 형상(이하, 간단히 "평면시(平面視)"라고도 한다)이 정방형(직사각형)인 표면(3) 및 이면(4)과, 상기 표면(3)과 이면(4)의 사이에 위치하는 4변의 측면(5)을 가지는 기판 본체(2a)와, 각 측면(5)의 수평방향에 있어서의 중간에 형성되고, 평면시가 반원호(오목) 형상인 노치부(6)와, 상기 노치부(6)를 제외한 각 측면(5)에 있어서의 표면(3)측의 홈 형성면(8a) 및 이면(4)측의 파단면(7)을 구비하고 있다. 또한, 기판 본체(2a)는 복수층의 세라믹층(도시생략)을 적층한 것이며, 상기 세라믹은 예를 들면 알루미나이다.

상기 홈 형성면(8a)은 후술하는 레이저가공에 의해 형성된 분할홈에 있어서의 일측의 내벽면이며, 알루미나의 파단면인 상기 파단면(7)에 비해, 비교적 평활하다. 또, 측면(5)마다의 노치부(6) 중, 표면(3)측의 내벽면(6a)을 제외한 이면(4)측의 내벽면에는, 원호 형상인 도체층(10)이 형성되어 있다. 상기 도체층(10)은 W (텅스텐) 또는 Mo(몰리브덴)으로 이루어지고, 상단의 외주에는 홈 형성면(8a)으로 진입하는 반원형 형상인 플랜지부(10a)가 돌출되고, 하단의 외주에는 이면(4)상으로 연재(延在)하는 반원형 형상인 플랜지부(10b)가 돌출되어 있다. 또한, 상기 플랜지부(10a)는 내부배선(도시생략)과 도통하는 것을 가능하게 하고, 상기 플랜지부(10b)는 외부접속단자용의 패드로 해도 좋다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 수평방향의 중앙부에 노치부(6)를 가지는 측면 (5)마다에 있어서, 기판 본체(2a)의 표면(3)측에 위치하는 띠 형상의 홈 형성면 (8a)과, 기판 본체(2a)의 이면(4)측에 위치하는 띠 형상의 파단면(7)의 경계선(11)은, 측면측에서 보았을 때 기판 본체(2a)의 표면(3)측으로 볼록하게 되는 만곡부(11r)를 상기 측면(5)의 길이방향을 따른 노치부(6)의 양측에 대칭으로 가지고 있다. 즉, 노치부 (6)의 양측에 위치하는 각 홈 형성면(8a)은, 상기 홈 형성면(8a)의 바닥부의 단부와 노치부(6)의 내벽면과 상기 만곡부(11r)의 사이에 있어서, 이들에 둘러싸인 상기 홈 형성면(8a)에서 안쪽(표면(3)과 이면(4)의 중간)으로 향하여 좁아지는 연장부(9)를 각각 연장 설치하고 있다. 상기 연장부(9)는 홈 형성면(8a)과 마찬가지로, 파단면(7)에 대해 상대적으로 평활하고, 또한 후술하는 레이저가공에 의해 형성되어 있으므로, 그 만곡부(11r) 부근에는 사행이나 버를 거의 가지고 있지 않다.

또한, 노치부(6)의 내벽면에 형성된 도체층(10)에 있어서, 만곡부(11r)보다도 상측에 위치하는 플랜지부(10a), 내주면, 및 절단면{(끝면)(12)}에는, W 등의 메탈라이즈(metalize)의 표면에 도시하지 않는 Ni도금막 및 Au도금막(이하, 단지 도금막이라고 한다)이 피복되어 있다. 한편, 상기 도체층(10)에 있어서, 만곡부 (11r)보다도 하측에 위치하는 플랜지부(10b)와 절단면(13)에는, 상기 도금막이 피복되어 있지 않다. 상기 도금막은 다수개 취득 세라믹 배선기판에 있어서, 레이저가공에 의해 형성된 분할홈의 내측에서 노출된 부분에 전해 도금을 시행시킨 것에 의거한다. 도체층(10)의 상기 절단면(12)은 홈 형성면(8a)의 일부를 이루고 있다.

또한, 기판 본체(2a)의 표면(3)에는, 도시하지 않는 내부배선과 접속된 복수의 패드(16)가 형성되고, 기판 본체(2a)의 이면(4)에는 도시하지 않는 복수의 외부접속단자가 형성되어 있다. 또한, 측면(5)마다의 파단면(7)에는, 후술하는 다수개 취득 세라믹 배선기판의 도금공정에서 이용하는 도금용 결선(結線)의 끝면이 노출되어 있다.

이상과 같은 제 1 배선기판(1a)에 따르면, 상기 홈 형성면(8a)과 파단면(7)의 경계선(11)이, 측면측에서 보았을 때 상기 기판 본체(2a)의 표면(3)측으로 볼록하게 되는 만곡부(11r)를 상기 노치부(6)마다의 양측에 가지므로, 홈 형성면(8a)의 바닥부의 단부와 노치부(6)의 내벽면과 만곡부(11r)의 사이에는, 이들에 둘러싸인 상기 홈 형성면(8a)의 안쪽으로 좁은 연장부(9)가 연장 설치되어 있다. 그로 인해, 기판 본체 (2a)에 있어서의 각 측면(5)의 중간에 위치하는 상기 노치부(6)의 부근에는, 비교적 거친 표면의 상기 파단면(7)이 위치하고 있지 않으므로, 세라믹의 버나 도체층 (10)의 파손이 없던지, 조금 억제되어 있다.

게다가, 노치부(6)의 내벽면에 형성된 도체층(10)의 단면 중, 상기 홈 형성면(8a)의 연장부(9)에 인접하며 또한 외부로 노출되어 있는 절단면(12)에도 도금막이 피복되어 있으므로, 본 배선기판(1a)을 마더보드 등에 땜납 실장할 때의 신뢰성을 높일 수 있다.

도 2는 상기 배선기판(1a)의 응용 형태인 배선기판(1b)을 나타내는 상기와 마찬가지의 사시도이다. 이와 같은 배선기판(1b)은 도 2에 나타내는 바와 같이, 상기와 마찬가지의 세라믹으로 이루어지고, 표면(3), 이면(4), 및 측면(5)을 가지는 기판 본체(2b)와, 측면(5)마다에 상기와 마찬가지로 형성된 노치부(6)와, 상기 노치부(6)를 제외한 측면(5)마다의 표면(3)측 및 이면(4)측을 따라서 띠 형상으로 형성된 1쌍의 평행한 홈 형성면(8a, 8b)과, 이들 사이에 끼워져 위치하는 파단면(7)을 구비하고 있다.

상기 배선기판(1b)이 상기 배선기판(1a)에 대해서 다른 것은, 측면(5)마다의 이면(4)측에도 상기 홈 형성면(8b)을 더 가지며, 또한 홈 형성면(8a, 8b)과 파단면 (7)의 상하 2개의 경계선(11)에는, 표면(3)측으로 볼록하게 되고, 또는 이면(4)측으로 볼록하게 되는 1쌍의 만곡부(11r)를 상하 대칭으로 가지며, 이들에 대응하여 홈 형성면(8a, 8b)에 연장 설치하는 1쌍의 연장부(9)도 상하 대칭으로 형성되어 있다. 상기와 마찬가지로 하여, 상기 연장부(9)의 만곡부(11r) 부근에는 세라믹의 버를 거의 가지고 있지 않다.

또한, 노치부(6)의 내벽면에 형성된 도체층(10)에 있어서, 표면(3)측의 만곡부(11r)의 상측과 이면(4)측의 만곡부(11r)의 하측에 위치하는 플랜지부(10a, 10 b), 내주면, 및 절단면(12)에는, W 등의 베이스부의 표면에 도시하지 않는 도금이 피복되어 있다. 한편, 상기 도체층(10)에 있어서, 상하 1쌍의 만곡부(11r)에 끼워진 중간의 원호(arc) 형상인 절단면(13)에는 상기 도금막이 피복되어 있지 않다.

이상과 같은 배선기판(1b)에 따르면, 기판 본체(2b)에 있어서의 측면(5)마다의 노치부(6)의 부근에는, 비교적 거친 표면의 상기 파단면(7)이 위치하고 있지 않으므로, 세라믹의 버나 도체층(10)의 파손이 한층 억제되어 있다. 게다가, 노치부(6)의 내벽면에 형성된 도체층(10)의 대부분의 단면{(끝면)(12)}에도 도금막이 피복되어 있으므로, 땜납 실장할 때의 신뢰성을 한층 높일 수 있다.

또한, 상기 배선기판(1a, 1b)에 있어서, 측면(5)마다에 2개 이상의 노치부 (6)를 설치하고, 이것에 대응하여 동일 수의 도체층(10)과, 노치부(6)마다의 양측에 상기와 마찬가지의 만곡부(11r) 및 연장부(9)를 가지도록 한 형태로 해도 좋다.

도 3은 본 발명에 의한 제 2 배선기판(1c)을 나타내는 상기와 마찬가지의 사시도이다.

제 2 배선기판(1c)은 도 3에 나타내는 바와 같이, 상기와 마찬가지의 세라믹으로 이루어지고, 표면(3), 이면(4), 및 측면(5)을 가지는 기판 본체(2c)와, 인접하는 1쌍의 측면(5, 5) 사이의 코너부마다에 형성되며, 또한 표면(3)과 이면(4)의 사이에 있어서의 평면시가 ¼ 원호 형상인 노치부(14)와, 각 측면(5)에 있어서의 표면(3)측의 홈 형성면(8a) 및 이면(4)측의 파단면(7)을 구비하고 있다.

상기 노치부(14) 중, 표면(3)측의 내벽면(14a)을 제외한 이면(4)측의 내벽면에는, 원호 형상인 도체층(15)이 형성되어 있다. 상기 도체층(15)도 W 등으로 이루어지고, 상단의 외주에는 홈 형성면(8a)으로 진입하는 ¼ 원호 형상인 플랜지부 (15a)가 돌출되며, 하단의 외주에는 이면(4)상으로 연재하는 상기와 마찬가지의 플랜지부(15b)가 돌출되어 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 측면(5)마다에 있어서, 기판 본체(2c)의 표면 (3)측에 위치하는 띠 형상의 홈 형성면(8a)과 이면(4)측에 위치하는 띠 형상의 파단면(7)의 경계선(11)은, 측면측에서 보았을 때 기판 본체(2c)의 표면(3)측으로 볼록하게 되는 만곡부(11r)를 노치부(14)의 양측에 있어서 대칭으로 가지고 있다. 즉, 노치부(14)의 양측에 위치하는 각 홈 형성면(8a)은, 상기 홈 형성면(8a)의 바닥부의 단부와 노치부(14)의 내벽면과 상기 만곡부(11r)의 사이에 있어서, 이들에 둘러싸이며 또한 상기 홈 형성면(8a)으로부터 안쪽으로 좁게 연장되는 연장부(9)를 각각 대칭으로 연장 설치하고 있다. 상기 연장부(9)의 만곡부(11r) 부근에는 버가 거의 없다.

또한, 노치부(14)의 내벽면에 형성된 도체층(15)에 있어서, 상기와 같은 이유에 의해, 만곡부(11r)보다도 상측에 위치하는 플랜지부(15a), 내주면, 및 절단면 {(끝면)(17)}에는 상기와 마찬가지의 도금막이 피복되고, 만곡부(11r)보다도 하측에 위치하는 플랜지부(15b)와 절단면(18)에는 도금막이 피복되어 있지 않다.

또한, 도체층(15)의 상기 절단면(17)은 홈 형성면(8a)의 일부를 이루는 것이기도 하다. 또, 기판 본체(2c)의 표면(3)에는 도시하지 않는 내부배선과 접속된 복수의 패드(19)가 형성되고, 기판 본체(2c)의 이면(4)에는 도시하지 않는 복수의 외부접속단자가 형성되어 있다. 또한, 측면(5)마다의 파단면(7)에는 상기와 마찬가지의 도금용 결선의 끝면이 노출되어 있다.

이상과 같은 제 2 배선기판(1c)에 따르면, 상기 홈 형성면(8a)과 파단면(7)의 경계선(11)이, 측면측에서 보았을 때 기판 본체(2c)의 표면(3)측으로 볼록하게 되는 만곡부 (11r)를 노치부(14)마다의 양측에 가지므로, 홈 형성면(8a)의 바닥부의 단부와 노치부(14)의 내벽면과 만곡부(11r)의 사이에는, 이들에 둘러싸인 상기 홈 형성면 (8a)의 안쪽으로 좁은 연장부(9)가 연장 설치되어 있다. 그로 인해, 기판 본체(2c)에 있어서 인접하는 1쌍의 측면(5) 사이의 코너부에 위치하는 노치부(14)의 부근에는, 비교적 거친 표면의 파단면(7)이 위치하고 있지 않으므로, 상기 버나 도체층 (15)의 파손이 없던지, 조금 억제되어 있다. 게다가, 노치부(14)의 내벽면에 형성된 도체층(15)의 단면 중, 홈 형성면(8a)의 연장부(9)에 인접하며 또한 외부로 노출되어 있는 절단면{(끝면)(17)}에도 도금막이 피복되어 있으므로, 땜납 실장할 때의 신뢰성을 높이는 것도 가능하게 된다.

도 4는 상기 배선기판(1c)의 응용 형태인 배선기판(1d)을 나타내는 사시도이다.

배선기판(1d)은 도 4에 나타내는 바와 같이, 상기와 마찬가지의 세라믹으로 이루어지고, 표면(3), 이면(4), 및 측면(5)을 가지는 기판 본체(2d)와, 인접하는 측면(5, 5) 사이에 상기와 마찬가지로 형성된 노치부(14)와, 측면(5)마다의 표면 (3)측 및 이면(4)측을 따라서 띠 형상으로 형성된 1쌍의 평행한 홈 형성면(8a, 8b)과, 이들 사이에 끼워져 위치하는 파단면(7)을 구비하고 있다.

상기 배선기판(1d)이 상기 배선기판(1c)에 대해서 다른 것은, 측면(5)마다의 이면(4)측에도 상기 홈 형성면(8b)을 가지며, 또한 홈 형성면(8a, 8b)과 파단면(7)의 상하 2개의 경계선(11)에는, 표면(3)측으로 볼록하게 되고, 혹은 이면(4)측으로 볼록하게 되는 1쌍의 만곡부(11r)를 상하 대칭으로 가지며, 이들에 대응하여 홈 형성면(8a, 8b)으로부터 연장 설치하는 1쌍의 연장부(9)도 상하 대칭으로 배치되어 있다. 상기와 마찬가지로 하여 상기 연장부(9)의 만곡부(11r) 부근에는 세라믹의 버를 거의 가지고 있지 않다.

또한, 노치부(14)의 내벽면에 형성된 도체층(15)에 있어서, 표면(3)측의 만곡부(11r)보다도 상측과, 이면(4)측의 만곡부(11r)보다도 하측에 위치하는 플랜지부(15a, 15b), 내주면, 및 절단면(17)에는 W 등의 베이스부의 표면에 도금이 피복되어 있지만, 상기 도체층(15)에서, 상하 1쌍의 만곡부(11r)에 끼워진 중간의 작은 원호(arc) 형상인 절단면(18)에는 상기 도금막이 피복되어 있지 않다.

이상과 같은 배선기판(1d)에 따르면, 기판 본체(2d)에 있어서의 측면(5, 5) 사이의 노치부(14)의 부근에는, 비교적 거친 표면의 상기 파단면(7)이 위치하고 있지 않으므로, 세라믹의 버나 도체층(15)의 파손이 한층 억제되어 있다. 게다가, 노치부(14)의 내벽면에 형성된 도체층(15)의 대부분의 단면(17)에도 도금막이 피복되어 있으므로, 땜납 실장할 때의 신뢰성을 한층 높일 수 있다.

도 5는 상기 제 1 배선기판(1a)의 형태와 제 2 배선기판(1c)의 형태를 병유하는 복합 형태의 배선기판(1e)을 나타내는 사시도이다.

배선기판(1e)은 도 5에 나타내는 바와 같이, 상기와 마찬가지의 세라믹으로 이루어지고, 표면(3), 이면(4), 및 측면(5)을 가지는 기판 본체(2e)와, 측면(5)마다 중앙부에 상기와 마찬가지로 형성된 노치부(6)와, 인접하는 측면(5, 5) 사이에 상기와 마찬가지로 형성된 노치부(14)와, 각 측면(5)에 있어서의 표면(3)측의 홈 형성면(8a) 및 이면(4)측의 파단면(7)을 구비하고 있다.

상기 노치부(6, 14) 중, 표면(3)측의 내벽면(6a, 14a)을 제외한 이면(4)측의 내벽면에는, 상기와 마찬가지의 도체층(10, 15)이 형성되고, 상기 도체층(10, 15)마다의 상단의 외주에는 홈 형성면(8a)으로 진입하는 반원형 형상인 플랜지부(15a)가 돌출되며, 하단의 외주에는 이면(4)상으로 연재하는 반원형 형상인 플랜지부 (15b)가 돌출되어 있다.

또한, 상기 노치부(6, 14)의 양측에는, 홈 형성면(8a)과 파단면(7)의 경계선 (11)의 단부의 만곡부(11r) 및 연장부(9)가 위치하고, 노치부(6, 14)의 내벽면마다에 형성된 도체층(10, 15)에 있어서, 상기와 마찬가지로, 만곡부(11r)보다도 상측에 위치하는 플랜지부(10a, 15a), 내주면, 및 절단면(12, 17)에는 상기와 마찬가지의 도금막이 피복되어 있고, 만곡부(11r)보다도 하측에 위치하는 플랜지부(10b, 15b)와 절단면(13, 18)에는 상기 도금막이 피복되어 있지 않다.

이상의 배선기판(1e)에 따르면, 기판 본체(2e)에 있어서의 측면(5)의 중앙부와 측면(5, 5) 사이의 노치부(6, 14)의 부근에는, 비교적 거친 표면의 상기 파단면 (7)이 위치하고 있지 않으므로, 상기 버나 도체층(10, 15)의 파손이 한층 억제되어 있다. 또한, 노치부(6, 14)의 내벽면에 형성된 도체층(10, 15)의 대부분의 절단면(12, 17)에도 도금막이 피복되어 있으므로, 땜납 실장시의 신뢰성이 한층 높아진다.

또한, 상기 배선기판(1e)에 있어서, 측면(5)마다의 이면(4)측에도 홈 형성면 (8b)을 표면(3)측의 홈 형성면(8a)과 대칭으로 하여 설치하며, 또한 상기 홈 형성면(8b)과 파단면(7)의 경계선(11)의 양단부에도 만곡부(11r)와 연장부(9)를 표면 (3)측과 대칭으로 더 설치한 형태의 배선기판으로 해도 좋다.

도 6은 본 발명에 의한 일형태의 다수개 취득 세라믹 배선기판{(이하, 단지 다수개 취득 배선기판으로 한다)(20a)}을 나타내는 평면도, 도 7은 상기 다수개 취득 배선기판(20a)의 표면(21)에 있어서의 관통구멍(27)의 개구부 부근을 나타내는 부분 확대 사시도, 도 8은 도 6 중의 X-X선의 화살표를 따른 부분 수직 단면도이다.

이와 같은 다수개 취득 배선기판(20a)은 도 6, 도 8에 나타내는 바와 같이, 평면시가 정방형(직사각형)인 표면(21) 및 이면(22)을 가지는 복수의 배선기판부 {(1n)(1a)}를 가로 세로로 인접하여 병유하는 제품영역(25)과, 상기 제품영역(25)의 주위에 위치하며 또한 평면시가 장방형(직사각형) 프레임 형상인 표면(21) 및 이면(22)을 가지는 에지부(26)와, 인접하는 배선기판부(1n, 1n) 사이, 및 제품영역 (25)과 에지부(26)의 사이를 따라서, 제품영역(25)의 표면(21)측에 평면측에서 보았을 때 격자 형상으로 하여 형성된 분할홈(23)을 구비하고 있다. 이와 같은 분할홈(23)의 단면은 대략 V자 형상 내지 U자 형상이다.

또한, 상기 제품영역(25) 및 에지부(26)도, 상기 배선기판(1a) 등과 마찬가지로, 복수의 세라믹(알루미나)층(S)을 일체로 적층한 것이다. 또, 표면(21)과 이면(22)은 제품영역(25) 및 에지부(26)에 공통하여 이용한다. 또한, 배선기판부(1n, 1n) 사이, 및 제품영역(25)과 에지부(26)의 경계면에는, 이들의 내부배선끼리를 도통하기 위한 도금용 결선(도시생략)이 교차하고 있다. 더불어서, 상기 에지부(26)에 있어서의 1쌍의 장변에는, 복수개씩의 도금용 전극(도시생략)이 형성되어 있다.

상기 배선기판부(1n)는, 추후에 개편화되었을 때에 상기 배선기판(1a)이 되는 것이다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 평면측에서 보았을 때, 각 배선기판부(1n)의 4변을 구획하는 분할홈(23)마다의 중간 부근에는, 상기 분할홈(23)이 직경방향을 따라서 교차하며, 또한 표면(21)과 이면(22)의 사이를 관통하는 단면 원형 형상인 관통구멍(27)이 형성되어 있다.

도 7, 8에 나타내는 바와 같이, 관통구멍(27)마다의 이면(22)측의 내벽면에는, W 또는 Mo으로 이루어지는 원통 형상인 통형 도체(28)가 형성되어 있다. 또, 도 8에서 좌우방향을 따라서 세라믹(S)을 절개한 분할홈(23)의 바닥부(30)는, 교차하는 각 관통구멍(27)측의 단부에 있어서 측면측에서 보았을 때 표면(21)측으로 볼록하게 되는 만곡부(31)를 가지고 있다.

즉, 관통구멍(27)의 양측에 위치하는 각 분할홈(23)은, 상기 분할홈(23)의 바닥부(30)의 단부와 관통구멍(27)의 내벽면과 상기 만곡부(31)의 사이에 있어서, 이들에 둘러싸이며, 또한 상기 관통구멍(27)의 안쪽{표면(21)과 이면(22)의 중간}으로 향하여 깊어지는 홈 연장부(24)를 각각 연장 설치하고 있다. 상기 홈 연장부 (24)는 분할홈(23)과 마찬가지로, 후술하는 레이저가공에 의해 형성되어 있으므로, 그 만곡부(31) 부근에는 사행이나 세라믹의 버를 거의 가지고 있지 않다.

도 7, 8에 나타내는 바와 같이, 통형 도체(28)의 표면(21)측에는, 만곡부 (31)를 가지는 1쌍의 홈 연장부(24)가 직경방향을 따라서 대칭으로 관통하고 있다. 상기 홈 연장부(24)의 내벽면에는, 상기와 마찬가지의 도금막(Ni도금막 및 Au도금막)이 피복된 절단면{(끝면)(29)}이 노출되어 있다. 또한, 도 8에 나타내는 바와 같이, 좌우방향을 따른 분할홈(23)의 중간에는, 상기 분할홈(23)과 직교하는 분할홈(23)이 교차하고 있다.

이상과 같은 다수개 취득 배선기판(20a)에 따르면, 상기 분할홈(23)이 교차하는 관통구멍(27)의 내벽면 부근의 단부에는, 측면측에서 보았을 때 표면(21)측이 볼록하게 되며 또한 분할홈(23)의 바닥부(30)보다도 이면(22)측에 위치하는 만곡부(31)가 형성되어 있다. 그로 인해, 상기 제품영역(25)을 분할홈(23)을 따라서 접어 구부려 가공하여 배선기판부(1n)를 개편화해서 복수의 배선기판(1a)을 얻었을 때에, 상기 관통구멍(27)이 인접하는 1쌍의 배선기판(1a)의 측면(5)마다에 있어서의 평면시가 오목 형상인 노치부(6)가 되고, 또한 상기 분할홈(23)의 내벽면이 개별로 1쌍의 배선기판(1a)의 홈 형성면(8a)이 되지만, 상기 홈 형성면(8a)의 바닥부이며 또한 상기 노치부(6)의 양측 부근에는, 세라믹(S)의 버나 도체층(10)의 파손이 억제되어 있고, 또한 상기 만곡부(11r)를 포함하는 연장부(9)가 형성된다. 또한, 개개의 배선기판(1a)에 있어서의 노치부(6)의 내벽면에 형성된 도체층(10) 중, 상기 연장부(9)에 인접하여 노출되는 플랜지부(10a)의 단면에도, 개편 전에 시행한 도금막이 피복되어 있으므로, 땜납 실장성의 신뢰성도 높게 되어 있다.

또한, 상기 분할홈(23), 홈 연장부(24), 만곡부(31), 및 통형 도체(28)의 절단면(29)을 제품영역(25)의 이면(22)측에도 선대칭으로 형성하는 것에 의해, 배선기판부(1n)마다에 상기 배선기판(1b)이 형성되는 형태의 다수개 취득 배선기판 (20b)을 제작하는 것도 가능하다.

도 9는 다른 형태의 다수개 취득 배선기판(20d)을 나타내는 평면도, 도 10은 도 9 중의 Y-Y선의 화살표를 따른 부분 수직 단면도이다.

다수개 취득 배선기판(20d)은 도 9, 10에 나타내는 바와 같이, 상기와 마찬가지의 세라믹으로 이루어지고, 상기와 마찬가지의 표면(21) 및 이면(22)을 가지는 복수의 배선기판부{(1n)(1d)}를 가로 세로로 인접하여 병유하는 제품영역(25)과, 상기 제품영역(25)의 주위에 위치하며 또한 평면시가 정방형(직사각형) 프레임 형상인 표면(21) 및 이면(22)을 가지는 에지부(26)와, 인접하는 배선기판부(1n, 1n) 사이 및 제품영역(25)과 에지부(26)의 사이를 따라서 제품영역(25)의 표면(21) 및 이면(22)측의 쌍방으로 평면측에서 보았을 때 격자 형상이고 또한 중복하는 위치에 형성된 분할홈(23)을 구비하고 있다.

상기 배선기판부(1n)는, 추후에 개편화되었을 때에 상기 배선기판(1d)이 되는 것이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 평면측에서 보았을 때, 각 배선기판부(1n)의 4변을 구획하는 분할홈(23)이 교차하는 4개의 코너부에는, 2쌍씩의 상기 분할홈(23)이 직경방향을 따라서 직교하여 교차하며, 또한 표면(21)과 이면(22)의 사이를 관통하는 단면 원형 형상인 관통구멍(27)이 형성되어 있다.

도 10에 나타내는 바와 같이, 관통구멍(27)마다의 이면(22)측의 내벽면에는, W 또는 Mo으로 이루어지는 원통 형상인 통형 도체(28)가 형성되어 있다. 또, 도 10에서 좌우방향을 따라서 표면(21) 및 이면(22) 부근의 세라믹(S)을 절개한 상하 1쌍의 분할홈(23)의 바닥부(30)마다는, 상기 분할홈(23)이 교차하는 각 관통구멍 (27)측의 단부에, 측면측에서 보았을 때 표면(21)측으로 볼록하게 되는 만곡부(31)와, 이면(22)측으로 볼록하게 되는 만곡부(31)를 선대칭으로 가지고 있다.

그로 인해, 각 관통구멍(27)의 직경방향의 양측에 위치하는 각 분할홈(23)은, 상기 분할홈(23)의 바닥부(30)의 단부와 관통구멍(27)의 내벽면과 상기 만곡부 (31)의 사이에 있어서, 이들에 둘러싸이며 또한 상기 관통구멍(27)의 안쪽{(표면 (21)과 이면(22)의 중간}으로 향하여 깊어지는 홈 연장부(24)를 표면(21)측과 이면 (22)측의 쌍방에 각각 연장 설치하고 있다. 상기 홈 연장부(24)는 분할홈(23)과 마찬가지로, 후술하는 레이저가공에 의해 형성되어 있으므로, 그 만곡부(31) 부근에는 버를 거의 가지고 있지 않다.

도 10에 나타내는 바와 같이, 통형 도체(28)의 표면(21)측 및 이면(22)측에는, 만곡부(31)를 가지는 1쌍의 홈 연장부(24)가 직경방향을 따라서 대칭으로 관통하고 있다. 상기 홈 연장부(24)의 내벽면에는, 상기와 마찬가지의 도금막이 피복된 절단면{(끝면)(29a, 29b)이 노출되어 있다. 또한, 도 10에 나타내는 바와 같이, 좌우방향으로부터 분할홈(23)이 교차하는 통형 도체(28)의 상하 단부에는, 상기 분할홈(23)과 직교하는 전후방향을 따른 분할홈(23)의 단부{홈 연장부(24)}가 노출되어 있다.

이상과 같은 다수개 취득 배선기판(20d)에 따르면, 표면(21) 및 이면(22)측의 각 분할홈(23)이 교차하는 관통구멍(27)의 내벽면 부근에는, 측면측에서 보았을 때 표면(21)측 또는 이면(22)측이 볼록하게 되며 또한 분할홈(23)의 바닥부(30)보다도 이면 (22) 또는 표면(21)측에 위치하는 1쌍의 만곡부(31)가 선대칭으로 형성되어 있다. 그로 인해, 상기 제품영역(25)을 분할홈(23)을 따라서 접어 구부려 가공하여 배선기판부(1n)를 개편화해서 복수의 배선기판(1d)을 얻었을 때에, 상기 관통구멍(27)이 인접하는 1쌍의 배선기판(1d)의 측면(5, 5)의 코너부마다에 있어서의 평면시가 ¼ 원호 형상인 노치부(14)가 되고, 또한 상기 분할홈(23)의 내벽면의 일측이 배선기판(1d)의 홈 형성면(8a, 8b)이 되지만, 상기 홈 형성면(8a, 8b)의 바닥부이며 또한 노치부(14)의 양측 부근에는, 상기 버나 파손이 억제되어 있고, 또한 상기 만곡부(11r)를 포함하는 연장부(9)가 형성된다.

또한, 개개의 배선기판(1d)에 있어서의 노치부(14)의 내벽면에 형성된 도체층(15) 중, 상기 연장부(9)에 인접하여 노출되는 절단면(17)에도, 개편 전에 시행한 도금막이 피복되어 있으므로, 땜납 실장성의 신뢰성을 높일 수 있다.

또한, 상기 분할홈(23), 홈 연장부(24), 만곡부(31), 및 통형 도체(28)의 단면(29)을 제품영역(25)의 표면(21)측에만 형성한 형태로 하는 것에 의해, 배선기판부(1n)마다에 상기 배선기판(1c)이 형성되는 형태의 다수개 취득 배선기판(20c)을 제작하는 것도 가능하다. 또한, 다수개 취득 배선기판(20a, 20d) 쌍방의 관통구멍(27) 등을 병용하는 것에 의해, 배선기판부(1n)마다에 상기 배선기판(1e)이 형성되는 형태의 다수개 취득 배선기판(20e 등)을 제작하는 것도 가능하다.

이하에 있어서, 상기 다수개 취득 배선기판(20a)의 제조방법에 대해서 설명한다.

미리, 도 11의 (a)에 나타내는 바와 같이, 주성분인 알루미나 분말에 바인더 수지나 용제를 적절하게 배합하고, 두께가 다른 그린시트(g1, g2)를 준비했다. 우선, 상기 그린시트(g1, g2)에 대해, 동일 외경의 펀치를 이용하는 펀칭 가공을 시행하여 도 11의 (b)에 나타내는 바와 같이, 동일 내경의 관통구멍(h1, h2)을 형성했다.

다음에, 도 12의 (a)에 나타내는 바와 같이, 그린시트(g2)의 관통구멍(h2)의 내벽면에 대해, W분말을 포함하는 도전성 페이스트를 감압상태에서 흡인하면서 도포하여 원통 형상인 통형 도체(28)를 형성했다. 계속해서, 그린시트(g2)의 관통구멍(h2)의 개구부에 인접하는 표면 및 이면에도, 상기와 마찬가지의 도전성 페이스트를 링 형상으로 인쇄하여 통형 도체(28)의 양단에 상·하 플랜지(f1, f2)를 형성했다.

다음에, 도 12의 (b)에 나타내는 바와 같이, 관통구멍(h1, h2)의 중심축이 일치하도록 그린시트(g1, g2)를 적층하여 표면(21) 및 이면(22)을 가지는 그린시트 적층체(gs)를 형성했다. 이때, 상호로 연통된 관통구멍(h1, h2)은 단일의 관통구멍 (27)이 되었다.

또한, 도 13의 (a)에 나타내는 바와 같이, 그린시트(g1)의 표면측으로부터 레이저(L)를 두께방향을 따라서 조사하고, 또한 상기 표면을 따라서 연속하여 주사했다. 상기 레이저(L)에는 예를 들면, UV-YAG레이저를 이용하고, 그 초점(F)을 일정한 깊이로 하며, 또한 일정한 주사속도(약 100㎜/초)로 실시했다.

또한, 형성해야 할 단면 V자 형상인 분할홈(23)의 깊이가 약 200㎛이며 또한 개구부의 폭이 약 50㎛인 경우, 상기 레이저(L)의 조건은 주파수: 약 30∼100㎐, 반복회수: 2∼5회로 했다.

도 13의 (b) 및 도 14의 (a)에 나타내는 바와 같이, 상기 레이저(L)가 관통구멍(27)의 내측{중공부(中空部)}을 직경방향을 따라서 통과했을 때에도, 상기 레이저(L)의 초점(F), 주사속도, 및 상기 각 레이저 조건을 일정하게 유지한 상태에서, 상기 관통구멍(27)의 중심부를 직경방향을 따라서 연속하여 통과시켰다. 이때, 관통구멍(27)과 통형 도체(28)의 내측(중공부)에 있어서는, 상기 레이저(L)의 가공 에너지가 일시적으로 잉여가 된다.

그 결과, 도 13의 (b) 및 도 14의 (a)에 나타내는 바와 같이, 관통구멍(27)의 양측에 형성된 1쌍의 분할홈(23)의 단부에는, 상기 분할홈(23)의 바닥부(30)가 표면측으로 볼록하게 되는 만곡부(31)가 각각 대칭으로 형성되며 또한 만곡부(31)와 관통구멍(27)의 사이에는, 각 분할홈(23)에 연통되는 홈 연장부(24)가 형성되었다. 상기 홈 연장부(24)를 포함하는 상기 분할홈(23)은, 그린시트 적층체(gs)의 표면(21)에 있어서, 평면시가 격자 형상이 되도록 하여 형성했다. 또한, 홈 연장부 (24)의 내벽면에는, 통형 도체(28)의 표면(21)측에 있어서 노출된 절단면(29)도 포함된다.

또한, 그린시트 적층체(gs)를 그린시트(g1, g2)의 연소온도로 소성했다. 그 결과, 그린시트(g1, g2)가, 일체화된 세라믹층(S1, S2)이 된 세라믹 적층체가 얻어졌다. 이때, 상기 통형 도체(28)나 각 배선기판(1n)의 내부배선 등도 동시에 소성되었다.

그리고 상기 세라믹 적층체를 소정의 전해도금욕에 순차 침지하고, 상기 도금전극 등을 활용하여 전해(Ni 및 Au) 금속 도금을 시행했다. 그 결과, 도 14의 (b)에 나타내는 바와 같이, 통형 도체(28) 중, 만곡면(31)보다도 상측에 위치하며 또한, 외부로 노출되는 내주면 등에 더불어서, 홈 연장부(24)의 내벽면으로 노출되어 있던 표면(21)측의 절단면(29)에도 Ni도금막 및 Au도금막이 피복되었다.

이상의 각 공정을 거침으로써, 다수개 취득 배선기판(20a)이 얻어졌다.

이상과 같은 다수개 취득 배선기판(20a)의 제조방법에 따르면, 상기 제품영역(25)의 표면(21)측의 분할홈(23)이 교차하는 관통구멍(27)의 내벽면측의 단부마다에, 측면측에서 보았을 때 제품영역(25)의 표면(21)측이 볼록하게 되며 또한 각 분할홈(23)의 바닥부(30)보다도 이면(22)측에 위치하는 1쌍의 만곡부(31)가 선대칭으로 형성되어 있는 다수개 취득 세라믹 배선기판(20a)을 효율적으로 확실하게 제조하는 것이 가능하게 된다.

게다가, 홈 연장부(24)를 포함하는 분할홈은, 상기 레이저(L)를 이용한 레이저가공에 의해서 정밀도 좋게 확실하게 형성할 수 있기 때문에, 특수한 형상의 칼날이 불필요하게 되어 제조비용을 억제할 수 있고 또한 홈 형성 공정의 관리도 용이하게 된다.

또한, 상기 분할홈(23), 홈 연장부(24), 만곡부(31), 및 통형 도체(28)의 절단면(29)을 제품영역(25)의 이면(22)측에도 선대칭으로 형성하는 공정을 더 추가하는 것에 의해, 배선기판부(1n)마다에 상기 배선기판(1b)이 배치 설치되는 형태의 다수개 취득 배선기판(20b)의 제조방법으로 해도 좋다.

또, 제품영역(25)의 표면(21) 및 이면(22)의 일측 또는 쌍방에 격자 형상으로 하여 형성하는 가로 세로의 분할홈(23)의 교점부근마다에 관통구멍(27)이나 통형 도체(28) 등을 형성하는 공정을 포함하는 것에 의해, 배선기판부(1n)마다에 상기 배선기판(1c, 1d, 1e)이 배치 설치되는 형태의 다수개 취득 배선기판(20c∼20e)의 제조방법으로 하는 것도 가능하다.

본 발명은, 이상에 있어서 설명한 각 형태로 한정되는 것은 아니다.

예를 들면, 상기 배선기판이나 다수개 취득 배선기판의 세라믹은, 알루미나 이외의 고온소성세라믹(예를 들면, 질화알루미늄이나 멀라이트)으로 하거나, 혹은 유리-세라믹 등의 저온소성세라믹을 이용해도 좋다. 후자의 경우, 상기 도체층(10) 등이나 통형 도체(28) 등의 도체는, 구리(Cu) 혹은 은(Ag)을 이용한다.

또, 상기 배선기판이나 다수개 취득 배선기판은, 단일의 세라믹층으로 이루어지는 형태, 혹은 3층 이상의 세라믹층의 적층체로 이루어지는 형태로 해도 좋다.

또한, 상기 기판 본체는, 평면측에서 보았을 때 장방형을 나타내는 형태라도 좋다.

또, 상기 배선기판(1a) 등은, 그들의 기판 본체(2a) 등의 표면(3)에 상기 표면으로 개구되고, 바닥면 및 측면을 가지는 캐비티(cavity)를 가지는 형태라도 좋다.

또한, 상기 노치부(6, 14)의 내벽면의 전체면에, 상기 도체층(10, 15)을 형성한 형태로 해도 좋다.

또, 상기 다수개 취득 배선기판의 제조법에 있어서의 레이저가공은, 관통구멍(27)의 내측과 그린시트(g1) 등의 표면측의 사이에 있어서, 상기 레이저의 조건이 상위하도록 적절하게 조정하는 것도 가능하다.

더불어서, 상기 다수개 취득 배선기판의 제조법에 계속해서, 개개의 배선기판으로 개편화하는 공정을 연속해서 실시해도 좋다.

본 발명은 기판 본체의 측면의 노치부 부근에서 버가 적고 또한 상기 노치부의 내벽면에 설치한 도체층의 땜납 실장성이 우수한 세라믹 배선기판, 및 상기 배선기판을 복수개 얻기 위한 다수개 취득 세라믹 배선기판을 효율적으로 확실하게 제공하는 것이 가능하게 된다.

1a∼1e: 배선기판(세라믹 배선기판) 1n: 배선기판부
2a∼2e: 기판 본체 3, 21: 표면
4, 22: 이면 5: 측면
6, 14: 노치부 7: 파단면
8a, 8b: 홈 형성면 9: 연장부
10, 15: 도체층 11: 경계선
11r: 만곡부 12, 17: 절단면
20a∼20e: 다수개 취득 배선기판(다수개 취득 세라믹 배선기판)
23: 분할홈 24: 홈 연장부
25: 제품영역 26: 에지부
27: 관통구멍 30: 분할홈의 바닥부
31: 분할홈의 만곡부 g1, g2: 그린시트
h1, h2: 관통구멍 L: 레이저
S: 세라믹

Claims (8)

1. 평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형인 표면 및 이면과, 상기 표면과 이면의 사이에 위치하며 또한 표면측의 홈 형성면 및 이면측의 파단면을 가지는 측면을 구비한 기판 본체와,
   상기 측면의 적어도 하나에, 상기 표면과 이면의 사이에 있어서의 평면측에서 보았을 때의 형상이 오목 형상인 노치부를 구비한 세라믹 배선기판으로서,
   상기 노치부를 가지는 측면에 있어서, 상기 홈 형성면과 파단면의 경계선은, 측면측에서 보았을 때 상기 기판 본체의 표면측으로 볼록하게 되는 만곡부를 상기 노치부의 양측에 가지는 것을 특징으로 하는 세라믹 배선기판.
   
2. 평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형인 표면 및 이면과, 상기 표면과 이면의 사이에 위치하며 또한 표면측의 홈 형성면 및 이면측의 파단면을 가지는 측면을 구비한 기판 본체와,
   인접하는 1조의 측면 사이의 코너부에 형성되고, 또한 상기 표면과 이면의 사이에 있어서의 평면측에서 보았을 때의 형상이 ¼ 원호 형상인 노치부를 구비한 세라믹 배선기판으로서,
   상기 노치부의 양측에 위치하는 1쌍의 측면에 있어서, 상기 홈 형성면과 파단면의 경계선은, 측면측에서 보았을 때 상기 기판 본체의 표면측으로 볼록하게 되는 만곡부를 상기 노치부의 양측에 가지는 것을 특징으로 하는 세라믹 배선기판.
   
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 파단면은 표면측의 홈 형성면과 이면측의 홈 형성면의 사이에 끼워져 있는 것을 특징으로 하는 세라믹 배선기판.
   
4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 노치부의 내벽면에 있어서의 일부 또는 전체면에 원호 형상인 도체층이 형성되고, 상기 도체층의 절단면은 상기 홈 형성면의 일부를 이루고 있는 것을 특징으로 하는 세라믹 배선기판.
   
5. 평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형인 표면 및 이면을 가지는 복수의 배선기판부를 가로 세로로 인접하여 병유하는 제품영역과,
   상기 제품영역의 주위에 위치하며, 평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형 프레임 형상인 표면 및 이면을 가지는 에지부와,
   인접하는 상기 배선기판부끼리의 사이 및 상기 제품영역과 에지부의 사이를 따라서, 적어도 제품영역의 표면측에 평면측에서 보았을 때 격자 형상으로 형성된 분할홈과,
   평면측에서 보았을 때 상기 분할홈이 직경방향을 따라서 교차하며 또한 상기 표면과 이면의 사이를 관통하는 단면 원형 형상인 관통구멍을 구비한 다수개 취득 세라믹 배선기판으로서,
   상기 분할홈의 바닥부는 측면측에서 보았을 때 표면측이 볼록하게 되는 만곡부를 가짐과 아울러,
   상기 관통구멍의 내벽면에 있어서 직경방향으로 대칭인 위치에 단부가 노출되는 1쌍의 분할홈의 바닥부에 있어서의 상기 만곡부는, 상기 단부 이외의 바닥부보다도 이면측에 위치하는 것을 특징으로 하는 다수개 취득 세라믹 배선기판.
   
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 관통구멍은 상기 분할홈이 평면측에서 보았을 때 직경방향을 따라서 가로 세로로 교차하는 위치에 형성되고, 상기 관통구멍의 내벽면에 있어서의 원주방향으로 90도 위치마다에 단부가 노출되는 2쌍의 분할홈의 바닥부에 있어서의 상기 만곡부는, 상기 단부 이외의 바닥부보다도 이면측에 위치하는 것을 특징으로 하는 다수개 취득 세라믹 배선기판.
   
7. 청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,
   상기 분할홈은 적어도 상기 제품영역의 이면에도 평면측에서 보았을 때 격자 형상으로 형성되고, 상기 이면측의 분할홈의 바닥부에 있어서의 만곡부는, 표면측의 만곡부와 선대칭인 것을 특징으로 하는 다수개 취득 세라믹 배선기판.
   
8. 청구항 5에 기재된 다수개 취득 세라믹 배선기판의 제조방법으로서,
   평면측에서 보았을 때의 형상이 직사각형인 표면 및 이면을 가지는 그린시트에 있어서의 소정의 위치에 복수의 관통구멍을 형성하는 공정과,
   상기 그린시트의 적어도 표면 및 이면의 일측에 있어서, 평면측에서 보았을 때 상기 관통구멍과 직경방향으로 교차하며 또한 배선기판부의 주위 및 제품영역과 에지부를 구획하도록 레이저를 연속하여 조사하면서 주사함으로써, 복수의 분할홈을 평면측에서 보았을 때 격자 형상으로 형성하는 공정을 포함하며,
   상기 분할홈을 형성하는 레이저의 초점을 상기 그린시트의 두께방향에 있어서 일정한 위치에 유지하고, 상기 분할홈을 형성하는 레이저는 상기 관통구멍의 내측과 상기 그린시트의 표면 및 이면의 일측에 대해서 동일 조건으로 연속하여 조사하는 것을 특징으로 하는 다수개 취득 세라믹 배선기판의 제조방법.

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