KR101424017B1

KR101424017B1 - Substrate inspection apparatus

Info

Publication number: KR101424017B1
Application number: KR1020070091423A
Authority: KR
Inventors: 히로시 후지모리
Original assignee: 올림푸스 가부시키가이샤
Priority date: 2006-09-11
Filing date: 2007-09-10
Publication date: 2014-07-28
Also published as: JP5265099B2; JP2008063130A; KR20080023647A; CN101144920A; TW200819734A; CN101144920B; TWI416095B

Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing a semiconductor device, which comprises a floating stage (1A, 2A, 3A) for carrying a substrate (4) of a thin plate which is an object to be inspected, 6 and 7 for holding the end of the substrate 4 and pressing the conveying force to the substrate 4. The substrate 4 is conveyed in order between the adsorption and conveying sections, To a substrate inspection apparatus.

According to the substrate inspection apparatus of the present invention, the substrate can be transported with good accuracy without deforming the substrate even if the transport path is elongated.

A transfer stage, a one-side transfer section, a floating stage, a substrate transfer area, a substrate transfer section,

Description

SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS

본 발명은 기판 검사 장치에 관한 것이다. 예를 들면, 액정 유리 기판 등과 같은 박판(薄板) 형의 기판을 수평 반송하여 표면 결함을 검사하는 기판 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate inspection apparatus. To a substrate inspection apparatus for inspecting surface defects by horizontally transporting a thin plate substrate such as a liquid crystal glass substrate or the like.

본 명세서는, 2006년 9월 11일에 출원된 일본국 특허 출원 제2006-245739호에 대해 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.This application claims priority to Japanese Patent Application No. 2006-245739, filed on September 11, 2006, the contents of which are incorporated herein by reference.

최근, 액정 디스플레이의 대형화에 따라, 액정 유리 기판도 대형화하고 있다. 그러므로, 이와 같은 박판 형의 기판의 표면 결함을 검사하는 기판 검사 장치는, 제조 공정에 있는 기판을 가스 부상 스테이지 등의 반송 스테이지에 이재(移載)하고, 기판의 단부를, 예를 들면 흡착 유지하는 등으로 하여 검사부에 반송하고, 검사부에서 기판을 수평 이동함으로써 기판 표면의 검사를 행하는 것이 많다. 이로써, 기판 이동을 위한 시간, 에너지 손실, 및 반송에 의한 기판에의 데미지 등을 저감하고 있다.In recent years, as liquid crystal displays have become larger in size, liquid crystal glass substrates have also become larger. Therefore, a substrate inspection apparatus for inspecting surface defects of such a thin plate-like substrate is characterized in that a substrate in a manufacturing process is transferred to a transfer stage such as a gas floating stage, and the end portion of the substrate is, for example, The substrate is inspected on the surface of the substrate by horizontally moving the substrate in the inspection unit. This reduces the time for substrate movement, energy loss, damage to the substrate due to transportation, and the like.

예를 들면, 일본국 특개 2004-279335호 공보에는, 에어를 불어 올려 기판을 부상시키는 부상 블록과, 부상 블록 상에 부상된 기판의 양단을 흡착 유지하여 한 쪽 방향으로 기판을 반송하는 기판 반송부를 구비하는 기판 반송 장치가 기재되어 있다(일본국 특개 2004-279335호 공보, 도 1 참조).For example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-279335 discloses a flotation block including a flotation block for blowing air to float the substrate and a substrate transfer section for holding the both ends of the flotation substrate on the floating block to carry the substrate in one direction (Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-279335, see Fig. 1).

또, 일본국 특개 2000-9661호 공보에는, 반송부의 편측(片側)에 반송 방향을 따라 Y 테이블이 설치되어 기판의 편측을 파지 기구에 의해 두께 방향으로 파지하여 반송하는 플랫 패널 검사 장치가 기재되어 있다(일본국 특개 2000-9661호 공보, 도 1 내지 도 3 참조).Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-9661 discloses a flat panel inspection apparatus in which a Y table is provided along one direction on a conveying direction on one side of a conveying section and one side of the substrate is gripped and held in the thickness direction by a holding mechanism (See Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-9661, Figs. 1 to 3).

그러나, 상기와 같은 종래의 기판 검사 장치에는, 이하와 같은 문제가 있었다.However, the above-described conventional substrate inspection apparatus has the following problems.

상기 일본국 특개 2004-279335호 공보에 기재된 기술에서는, 기판 반송로의 양측을 따라 평행으로 배치된 기판 반송부에 의해, 기판의 양단을 흡착 유지하여 반송하고 있다. 따라서, 한 쌍의 기판 반송부에 의해 기판의 양측이 구속되므로, 기판 반송부의 평행도의 이상(異常) 등에 의해 기판상의 유리 기판이 양측으로부터 가압되어 변형이 쉽게 되고, 기판이 비뚤어지므로 검사 고정밀도에 영향을 준다.In the technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-279335, both ends of a substrate are held by suction by a substrate carrying section arranged in parallel along both sides of the substrate carrying path. Therefore, since both sides of the substrate are confined by the pair of substrate transfer sections, the glass substrate on the substrate is pressed from both sides by the abnormality of the parallelism of the substrate transfer section and the like to be easily deformed and the substrate is skewed, affect.

또, 일본국 특개 2004-279335호 공보에 기재된 기판 검사 장치에서는, 부상 블록에 대해서, 공통의 기판 반송부를 설치하고 있다. 그러나, 플랫 패널의 제조 라인에서는, 반송로의 레이아웃이나 검사부의 수 등에 따라서는 복수개의 부상 블록을 배열해 장대한 반송로가 형성된다. 상기 반송로 중에는 복수개의 제조 장치나 검사 장치를 배치한다, 이와 같은 경우, 복수개의 부상 블록과 각 장치에 공통되 는 양단 유지의 기판 반송부를 설치하는데에는, 서로의 배치 정밀도를 고정밀도로 할 필요가 있으므로, 기판 검사 장치의 설치의 수고나 조립 비용이 증대해 버린다. 특히 기판 검사 장치는, 외부로부터의 진동을 차단하기 위해 제진대(除振臺)에 탑재되어 있다. 이와 같이 제진대에 탑재된 장치의 경우, 기판의 이동에 따라 제진대에 탑재된 부상 블록의 상면이 기울거나, 외부로부터의 진동에 의해 복잡한 움직임을 행하기 때문에, 공통의 기판 반송부를 설치할 수 없다.In the substrate inspection apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-279335, a common substrate transfer section is provided for the floating block. However, in the production line of a flat panel, a plurality of float blocks are arranged according to the layout of the transport path, the number of inspection sections, etc., and a grand transport path is formed. In this case, in order to provide a plurality of floating blocks and a substrate transfer section of both end holding which is common to each of the apparatuses, it is necessary to arrange each of the substrates at a high accuracy Therefore, the labor and installation cost of the substrate inspection apparatus are increased. Particularly, the substrate inspecting apparatus is mounted on a vibration extinguishing stand to block external vibrations. In the case of the apparatus mounted on the anti-vibration base, since the upper face of the float block mounted on the anti-vibration base is inclined according to the movement of the substrate or complicated movement is performed due to vibration from the outside, a common substrate transfer unit can not be provided .

후자의 문제를 회피하기 위해, 기판 반송부를 부상 블록마다 분할하여 설치하는 것도 고려되지만, 상류측 기판 반송부로부터 하류측 기판 반송부로 바꾸어 탑재하기 위한 반송 로봇 등이 필요해지므로, 장치 구성이 복잡해져 버린다.In order to avoid the latter problem, it is also considered that the substrate transfer section is divided for each floating block. However, a transfer robot or the like for transferring from the upstream substrate transfer section to the downstream substrate transfer section is required, and the device configuration becomes complicated.

또, 일본국 특개 2000-9661호 공보에 기재된 기술에서는, 기판을 하류 측의 반송부에 인도하는 경우에 기판을 일단 떼어 놓을 필요가 있다. 이때, 기판은 수평 방향의 구속이 없어지므로, 기준 위치에 얼라인먼트 된 기판의 위치 결정 상태가 나빠지고 만다. 그러므로, 기판을 인도한 후에 재차 얼라인먼트 조정을 행하지 않으면 안 되는 문제가 있다.Further, in the technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-9661, it is necessary to separate the substrate once when the substrate is led to the downstream transporting portion. At this time, since the substrate is not constrained in the horizontal direction, the alignment state of the substrate aligned at the reference position is deteriorated. Therefore, there is a problem that the alignment adjustment must be performed again after the substrate is guided.

본 발명은, 상기와 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 반송로가 길어져도 기판이 변형되지 않고, 또한 양호한 정밀도로 기판을 반송할 수 있는 기판 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a substrate inspection apparatus capable of transporting a substrate with good accuracy without deforming the substrate even when the transport path becomes long.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 기판 검사 장치는, 피검사대상 물체인 박판 형의 기판을 반송하기 위한 반송 스테이지와, 상기 반송 스테이지의 반 송 방향에 직교하는 방향 중 어느 측방에 배치되고, 기판의 단부를 유지하여 기판에 반송력을 가압하는 복수개의 편측(片側) 반송부를 구비하고, 상기 복수개의 편측 반송부 사이에서 기판을 차례로 인도함으로써 기판의 반송을 행하도록 하고 있다.In order to solve the above problems, a substrate inspection apparatus according to the present invention comprises: a transport stage for transporting a thin plate-like substrate which is an object to be inspected; and a transporting stage arranged on either side of a direction orthogonal to the transport direction of the transport stage And a plurality of one-side-side transfer sections for holding the end portion of the substrate and pressing the transfer force on the substrate, and the substrate is transferred by sequentially transferring the substrates between the plurality of one-side transfer sections.

본 발명의 기판 검사 장치에 의하면, 복수개의 편측 반송부 사이에서 기판을 안도하여 반송하므로, 반송 길이가 길어져도 기판이 변형되지 않고, 또한 양호한 정밀도로 기판을 반송할 수 있다.According to the substrate inspection apparatus of the present invention, since the substrate is reliably transported between a plurality of one-side transport sections, the substrate can be transported with good accuracy without deforming the substrate even when the transport length is long.

이하에서는, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 모든 도면에 있어서, 실시예가 상이한 경우라도, 동일 또는 이에 상당한 부재(部材)에는 동일한 부호를 부여하고, 공통되는 설명은 생략한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In all drawings, even when the embodiments are different, the same or equivalent members are denoted by the same reference numerals, and a common description is omitted.

[제1 실시예] [First Embodiment]

본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치에 대하여 설명한다.A substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described.

도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다. 도 2a는, 도 1의 A부의 부분 확대도이다. 도 2b는, 도 2a의 B를 본 정면도이다.1 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention. 2A is a partially enlarged view of part A of Fig. FIG. 2B is a front view of FIG. 2A.

본 실시예는, 예를 들면 액정 유리 기판 등으로 이루어지는 박판 형의 기판(4)을 피검사대상 물체로 하고, 기판(4)을 수평 방향으로 부상시키면서 반송하여, 기판(4)의 표면을 검사하는 기판 검사 장치(100)에 적용한 것이다.In the present embodiment, a thin plate-shaped substrate 4 made of, for example, a liquid crystal glass substrate is used as an object to be inspected, and the substrate 4 is transported while lifting the substrate 4 in the horizontal direction, The present invention is not limited thereto.

기판 검사 장치(100)의 개략 구성은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 반입부(1), 검사부(2), 및 기판 반출부(3)가, 기판(4)의 반송 방향을 따라 이 순서로 배치되어 이루어진다.1, the substrate inserting section 1, the inspecting section 2, and the substrate carry-out section 3 are arranged in this order along the carrying direction of the substrate 4 Respectively.

기판(4)을 평면에서 볼 때 형상은, 반송 방향의 길이가 L, 반송 방향에 직교하는 방향(이하, 반송 폭 방향으로 칭한다)의 폭이 W의 직사각형인 것으로 하여 설명한다.When the substrate 4 is seen in a plane, the length is L, and the width of the direction orthogonal to the carrying direction (hereinafter referred to as the carrying width direction) is W.

기판 반입부(1)는, 장치 외부로부터, 예를 들면 반송 로봇 등에 의해 반송된 기판(4)을 복수개의 리프트 핀을 구비한 리프터에 의해 수취하여, 부상 스테이지(1A)에 탑재하고, 부상 스테이지(1A) 상에 부상한 기판(4)을, 수평면 내에서 반송 방향 및 반송 폭 방향으로 위치 결정하는 기준 핀(8a, 8a, 8b)과 가압 핀(8c, 8c)으로 이루어지는 기판 위치 결정 기구를 구비하고, 또한, 부상 스테이지(1A) 및 흡착 반송부(5)(편측 반송부)를 구비한다.The substrate carrying section 1 receives the substrate 4 conveyed from the outside of the apparatus by, for example, a carrier robot or the like by a lifter having a plurality of lift pins, mounts the substrate 4 on the floating stage 1A, A substrate positioning mechanism composed of reference pins 8a, 8a, 8b and pressing pins 8c, 8c for positioning the substrate 4 floating on the substrate 1A in the horizontal direction in the carrying direction and the carrying width direction, And is provided with a floating stage 1A and an adsorption conveying section 5 (one-side conveying section).

부상 스테이지(1A)는, 기판(4)을 수평 방향으로 탑재하여 수평 방향으로 이동가능하게 하고, 기판(4)을 저하중(低荷重)으로 일정 방향으로 반송하기 위한 반송 스테이지이다. 본 실시예에서는, 에어 분사구멍 N이 스테이지 표면에 다수 설치되고, 상기 에어 분사구멍 N으로부터 에어를 분사함으로써, 기판(4)을 부상 지지하는 가스 부상 스테이지에 의해 구성되어 있다.The floating stage 1A is a carrying stage for carrying the substrate 4 in a horizontal direction so as to be movable in the horizontal direction and for transporting the substrate 4 in a predetermined direction under a low load (low load). In this embodiment, a plurality of air injection holes N are provided on the surface of the stage, and a gas floating stage for floating and supporting the substrate 4 by injecting air from the air injection holes N is constituted.

부상 스테이지(1A)의 크기는, 반송 방향의 길이가 기판(4)의 반송 방향 길이 L보다 길게, 반송 폭 방향의 폭이 기판(4)의 폭 W보다 조금 좁게 설정된다.The size of the floating stage 1A is set such that the length in the carrying direction is longer than the length L in the carrying direction of the substrate 4 and the width in the carrying width direction is slightly smaller than the width W of the substrate 4. [

기준 핀(8a, 8a)은, 기판(4)의 반송 폭 방향 측의 단부에 맞닿는 것으로, 반 송 폭 방향의 위치 결정을 행하기 위한 걸림 부재이며, 부상 스테이지(1A)의 반송 방향을 향해 우측(도 1의 아래쪽, 이하, 반송 방향 우측으로 대략 칭한다)에 고정 배치하여, 기판(4)의 탑재 면에 대해서 상하 방향으로 출몰(出沒) 가능하게 형성되어 있다.The reference pins 8a and 8a are engagement members for positioning in the transport width direction by abutting on the end on the conveying width direction side of the substrate 4, (Hereinafter referred to roughly as the lower side of Fig. 1, hereinafter referred to as the right side in the carrying direction) so as to protrude and retreat in the vertical direction with respect to the mounting surface of the substrate 4. [

기준 핀(8b)은, 기판(4)의 반송 방향 측의 단부에 맞닿는 것으로, 반송 방향의 위치 결정을 행하기 위한 걸림 부재이며, 부상 스테이지(1A)의 반송 방향 하류측에서, 기판(4)의 탑재 면에 대해서 상하 방향으로 출몰 가능하게 형성되어 있다.The reference pin 8b is an engaging member for positioning in the carrying direction by abutting against the end on the transfer direction side of the substrate 4 and is provided on the substrate 4 on the downstream side in the carrying direction of the floating stage 1A. In the up-and-down direction with respect to the mounting surface of the main body.

그리고, 도 l은 모식도이기 때문에 크기 등이 과장되어 있는 결과, 기준 핀(8b)이 슬라이드 가이드(9)와 간섭하는 것과 같은 위치 관계로 되어 있다. 그러나, 기준 핀(8b)은, 슬라이드 가이드(9)로부터 조금 떨어진 위치에 설치되고, 또한 슬라이더(10)와 간섭하지 않도록 기판(4)의 위치 결정 후에 하강하여 후술하는 흡착 반송부(5)와 간섭하지 않는 위치에 퇴피할 수 있도록 구성된다.1 is a schematic view, the positional relationship is such that the reference pin 8b interferes with the slide guide 9 as a result of exaggerating the size or the like. However, the reference pin 8b is provided at a position slightly away from the slide guide 9 and descends after positioning of the substrate 4 so as not to interfere with the slider 10, So that it can be retreated to a position where it does not interfere.

가압 핀(8c)은, 기판(4)을 가압하여 기준 위치에 설치된 기준 핀(8a, 8a, 8b) 측으로 가압하기 위한 가압 부재이며, 부상 스테이지(1A)의 반송 방향을 향해 좌측(도 1의 위쪽, 이하, 반송 방향 좌측으로 대략 칭한다)과 부상 스테이지(1A)의 반송 방향 상류측에서, 기판(4)을 향해 이동 가능하게 형성되어 있다.The pressing pin 8c is a pressing member for pressing the substrate 4 toward the reference pins 8a, 8a and 8b provided at the reference position, (Hereinafter, referred to roughly as the upper side and the lower side in the carrying direction) and on the upstream side in the carrying direction of the floating stage 1A.

그리고, 기준 핀(8a, 8b) 및 가압 핀(8c)은, 기판(4)의 단부를 손상시키지 않고 맞닿을 수 있는 걸림 부재이면, 핀형 부재에 한정되지 않고, 예를 들면 블록 형의 부재여도 된다. 또, 가압 부재는 표면이 완충재 등에 덮여 있어도 된다.The reference pins 8a and 8b and the pressing pin 8c are not limited to the pin member as long as they can be brought into contact with each other without damaging the end portion of the substrate 4, do. The surface of the pressing member may be covered with a cushioning material or the like.

흡착 반송부(5)는, 부상 스테이지(1A)의 반송 방향 우측을 따라 배치되고, 부상 스테이지(1A) 상에 부상 지지된 기판(4)의 반송 방향 우측의 이면 측을 흡착 유지하고, 반송 방향으로 반송력을 가압하는 것이다.The adsorption conveying section 5 adsorbs and holds the back side of the substrate 4 on the right side in the conveying direction which is disposed along the right side of the lifting stage 1A in the conveying direction and supported on the lifting stage 1A, Thereby pressing the conveying force.

흡착 반송부(5)의 개략 구성은, 도 2a, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 슬라이드 가이드(9), 슬라이더(10), 승강 기구(11), 승강 베이스(12), 흡착 베이스(13), 및 흡착 블록(14)으로 이루어진다.2A and 2B, the schematic configuration of the adsorption conveying section 5 includes a slide guide 9, a slider 10, a lifting mechanism 11, a lifting base 12, a suction base 13, And a suction block (14).

슬라이드 가이드(9) 및 슬라이더(10)는, 슬라이드 가이드(9)를 가이드 부재로서, 슬라이더(10)를 일정한 직선상에서 왕복 이동하게 하는 리니어 모터로 이루어지는 이동 기구이다. 본 실시예에서는, 이동 기구로서 리니어 모터를 채용하고 있지만, 볼 나사 등을 사용한 1축 구동 기구를 채용할 수도 있다.The slide guide 9 and the slider 10 are a moving mechanism composed of a linear motor that reciprocates the slider 10 on a predetermined straight line using the slide guide 9 as a guide member. In this embodiment, a linear motor is used as the moving mechanism, but a single-shaft driving mechanism using a ball screw or the like may be employed.

흡착 반송부(5)의 슬라이드 가이드(9)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 부상 스테이지(1A)의 반송 방향 우측을 따라 배치되고, 부상 스테이지(1A)에서의 기준 위치 결정 영역 P₁의 중간부로부터, 부상 스테이지(2A)의 상류측의 기판 인도 영역 P₂의 중간부까지 연장되어 있다.1, the slide guide 9 of the adsorption conveying section 5 is disposed along the right side in the carrying direction of the lifting stage 1A, and the intermediate position of the reference positioning region P ₁ in the lifting stage 1A To the middle portion of the substrate transfer area P ₂ on the upstream side of the floating stage 2A.

승강 기구(11)는, 슬라이더(l0) 상에 고정되고, 기판(4)을 반송할 때에 흡착 베이스(13)를 상승시켜, 기판(4)을 인도하고 원래의 위치에 돌아올 때에 흡착 베이스(13)를 기판(4)에 간섭하지 않도록 하강시키는 것이다.The elevating mechanism 11 is fixed on the slider 10 and elevates the adsorption base 13 when conveying the substrate 4 to guide the substrate 4 and return to the original position when the adsorption base 13 ) So as not to interfere with the substrate (4).

승강 베이스(12)는, 승강 기구(11)의 상단면에 설치된 흡착 베이스(13)를 유지하는 유지 부재이다.The lifting base (12) is a holding member for holding the suction base (13) provided on the upper end surface of the lifting mechanism (11).

흡착 베이스(13)는, 복수개의 흡착 블록(14)을 상면 측에 고정하기 위해 설 치된, 기판(4)의 반송 방향 길이 L보다 조금 짧은 길이의 직사각형의 지지 부재이다. 상기 흡착 베이스(13)는, 길이 방향이 부상 스테이지(1A)의 단면에 평행하게 되는 상태에서 승강 베이스(12) 상에 고정되어 있다.The adsorption base 13 is a rectangular support member having a length slightly shorter than the length L of the substrate 4 in the conveying direction, which is provided for fixing the plurality of adsorption blocks 14 to the upper surface side. The adsorption base 13 is fixed on the lifting base 12 in a state in which the longitudinal direction thereof is parallel to the end face of the lifting stage 1A.

흡착 블록(14)은, 그 상단면에서, 기판(4)의 반송 방향 우측의 단부를 이면 측으로부터 흡착하기 위한 흡착 패드이며, 각 상단면이 평면상으로 정렬한 상태에서, 흡착 베이스(13) 상에 적당히 간격을 두고 복수개 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 흡착 블록(14)은 기판(4)의 반송 방향 폭 방향의 단부의 전체 길이 L를 등(等) 분할하는 위치에 6개 설치되고, 기판(4)의 편측 단부가 흡착 블록(l4)에 의해 전체적으로 흡착되어 있다.The adsorption block 14 is an adsorption pad for adsorbing the end portion on the right side in the transport direction of the substrate 4 from the back side on the upper end face of the adsorption block 14, And a plurality of these are formed at appropriate intervals on the surface. In this embodiment, six suction block 14 are provided at positions that divide the entire length L of the end portion in the widthwise direction of the substrate 4 in the carrying direction, and the one- (14).

흡착 블록(14)의 구성으로서는, 예를 들면, 평면에서 볼때 직사각형의 흡착면에 오목부(14a)와, 상기 오목부(14a)의 중앙에, 흡인원에 의해 진공 흡인을 행하는 흡인 구멍(14b)이 설치된 구성을 채용할 수 있다.As the structure of the suction block 14, for example, there are a recess 14a on a rectangular adsorption face and a suction hole 14b for vacuum suction by a suction source in the center of the recess 14a ) Can be employed.

검사부(2)는, 기판 반입부(1)로부터 반송된 기판(4)을 검사하고, 기판 반출부(3)에 인도하는 것이다.The inspection section 2 inspects the substrate 4 carried from the substrate carry-in section 1 and delivers it to the substrate carry-out section 3. [

검사부(2)는, 도시하지 않은 베이스 상에 고정된 문형(門型)의 갠트리(gantry)(2a)와, 상기 갠트리(2a)의 수평 암에 이동할 수 있게 설치된 현미경 등의 검사 헤드(2b)와, 부상 스테이지(2A) 및 흡착 반송부(6)로 이루어진다. 검사부(2)는, 검사시에 외부 진동의 영향을 받지 않도록, 제진대 상에 설치되는 것이 바람직하다.The inspection unit 2 includes a gate type gantry 2a fixed on a base not shown and an inspection head 2b such as a microscope mounted movably in a horizontal arm of the gantry 2a. A float stage 2A, and an adsorption / conveying unit 6. As shown in Fig. It is preferable that the inspection unit 2 is provided on the anti-vibration table so as not to be influenced by external vibration at the time of inspection.

부상 스테이지(2A)는, 기판(4)을 수평 방향으로 탑재하여 일정 방향으로 반 송하기 위한 반송 스테이지이며, 본 실시예에서는, 부상 스테이지(1A)와 마찬가지의 가스 부상 스테이지를 채용하고 있다. 단, 검사부(2)의 부상 스테이지(2A)의 크기는, 반송 폭 방향의 폭은 부상 스테이지(1A)와 같은 폭으로 하고 있지만, 반송 방향의 길이는 2·L 이상으로 설정하고 있다. 그러므로, 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P₂의 하류측에, 검사 영역 P₃를 설치하는 경우, 부상 스테이지(2A) 상의 기판 인도 영역 P₂에서 기판(4)을 흡착 반송부(5)로부터 흡착 반송부(6)에 인도한 상태에서, 검사 헤드(2a)에 의해 기판(4)의 전체면을 검사할 수 있도록 기판(4)을 검사 헤드(2a)의 검사 라인에 대해서 반송 방향의 선단으로부터 후단까지 이동시킬 수 있는 길이가 확보되어 있으면 된다.The floating stage 2A is a carrying stage for horizontally mounting the substrate 4 and transferring the substrate 4 in a predetermined direction. In this embodiment, a gas floating stage similar to that of the floating stage 1A is employed. However, the length of the lifting stage 2A of the inspection unit 2 is set to be equal to or greater than 2 · L, although the width in the transporting width direction is the same as that of the lifting stage 1A. Therefore, when the inspection region P ₃ is provided on the downstream side of the substrate delivery region P ₂ of the float stage 2A, the substrate 4 is transported from the substrate transport region P ₂ on the floatation stage 2A to the adsorption / To the inspection line of the inspection head 2a so that the entire surface of the substrate 4 can be inspected by the inspection head 2a in the conveying direction It is sufficient that a length capable of moving from the front end to the rear end is secured.

검사부(2)는, 기판(4)을 기판 반입부(1)로부터 반입할 때, 제진대를 록(lock)하여 부상 스테이지(2A)를 부상 스테이지(1A)와 같은 높이로 하는 것이 바람직하다.It is preferable that the inspection section 2 locks the vibration damping stage to bring the flotation stage 2A to the same height as the flotation stage 1A when the substrate 4 is carried in from the substrate carry-

흡착 반송부(6)는, 도 2b에 나타낸 흡착 반송부(5)의 구성과 동일한 구성을 구비한다. 흡착 반송부(6)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 흡착 반송부(5)와 반대측의 부상 스테이지(2A)의 반송 방향 좌측을 따라 배치되고, 기판 반입부(1)에서 위치 결정된 기판(4)을, 흡착 반송부(5)로부터 받아 부상 반송시키는 것이다.The adsorption conveying section 6 has the same configuration as that of the adsorption conveying section 5 shown in FIG. 2B. As shown in Fig. 1, the adsorption conveying section 6 is disposed along the left side in the conveying direction of the lifting stage 2A on the opposite side of the adsorption conveying section 5, ) From the adsorbing and conveying section (5).

흡착 반송부(6)는, 복수개의 흡착 블록(14)에 의해, 기판(4)의 반송 방향 좌측의 이면을 흡착하고, 기판(4)에 반송력을 가압할 수 있도록 되어 있다.The adsorption conveying section 6 is capable of adsorbing the rear surface of the substrate 4 on the left side in the conveying direction by the plurality of adsorption blocks 14 and pressing the conveying force on the substrate 4. [

검사부(2)의 슬라이드 가이드(9)는, 도 1에 나타낸 바와 같이 부상 스테이 지(2A)의 반송 방향 좌측을 따라 배치되고, 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P₂의 중간부로부터 기판 인도 영역(검사 영역) P₃의 중간부까지 연장되어 있다.A slide guide of the inspection section (2) 9 is also disposed along the conveying direction in which the left of the floating stay support (2A) as shown in Fig. 1, the substrate out of the substrate intermediate portion of the delivery area P ₂ in levitation stage (2A) India region (inspection region) extends to the middle portion of P _3.

상기 슬라이드 가이드(9)의 길이는, 인접하는 2개의 기판 인도 영역 P₂, P₃에서 슬라이더(10)가 부상 스테이지(2A)의 반송 방향 길이의 범위를 왕복 이동할 수 있는 길이이면 되고, 부상 스테이지(2A)의 반송 방향 길이와 대략 같은 길이여도 된다.The length of the slide guide 9 may be such that the slider 10 can be reciprocated in the range of the length of the lifting stage 2A in the transport direction in the two adjacent substrate delivering regions P ₂ and P ₃ , May be substantially the same length as the conveying direction length of the sheet 2A.

따라서, 평면에서 볼 때에, 흡착 반송부(5)의 슬라이드 가이드(9)와, 흡착 반송부(6)의 슬라이드 가이드(9)가 부상 스테이지(2A)를 협지하여 서로 평행으로 대향하고 있다. 대향 배치된 흡착 반송부(5, 6)는, 기판 인도 영역 P₂에서 기판(4)을 인도할 수 있으면 슬라이더(10)가 반드시 기판 인도 영역 P₂의 중간(L/2)이 아니어도 되지만, 위치 결정된 기판을 정확하고 안정적으로 반송하기 위해서는 각각의 슬라이더(10)를 기판 인도 영역 P₂의 중간(L/2)으로 이동시키는 것이 바람직하다.Therefore, when viewed in plan, the slide guide 9 of the adsorption carrying section 5 and the slide guide 9 of the adsorption carrying section 6 are sandwiched between the lifting stage 2A and opposed to each other in parallel. Oppositely disposed absorptive transfer unit (5, 6), if it can be delivered to the substrate 4 from the substrate delivery area P _2, but even if the slider 10 is not necessarily in the middle (L / 2) of the substrate delivery area P ₂ , It is desirable to move each slider 10 to the middle (L / 2) of the substrate delivery area P ₂ in order to accurately and stably transport the positioned substrate.

본 실시예에서는, 흡착 반송부(5)에서 흡착 반송된 기판(4)을 부상 스테이지(2A) 상의 기판 인도 영역 P₂에서 흡착 반송부(6)에 인도할 수 있도록 설정한다. 도 2a 및 도 2b에 나타낸 바와 같이 기판(4)의 반송 폭 방향의 단부 전체를, 흡착 반송부(5)의 각 흡착 블록(14), 흡착 반송부(6)의 각 흡착 블록(14)에 의해 흡착 유지할 수 있도록 하고 있다. 흡착 반송부(5)의 슬라이더(10)의 이동 범위는 흡착 반송부(5, 6)의 이동 중심이 기판(4)의 길이 L의 거의 중앙이 되므로, 기판(4)의 길이와 동일한 기준 위치 결정 영역 P₁과 기판 인도 영역 P₂의 각각의 중간 위치에 설정되어 있다.In the present embodiment, the substrate 4 sucked and conveyed by the adsorption conveying section 5 is set so as to be delivered to the adsorption conveying section 6 from the substrate delivering area P ₂ on the floatation stage 2A. The entire end portion of the substrate 4 in the conveying width direction is conveyed to each of the suction blocks 14 of the suction conveyance unit 5 and each suction block 14 of the suction conveyance unit 6 as shown in Figs. So that it can be adsorbed and held. The moving range of the slider 10 of the adsorption carrying section 5 is set such that the moving centers of the adsorption carrying sections 5 and 6 are substantially at the center of the length L of the substrate 4, And is set at an intermediate position between each of the crystal region P ₁ and the substrate delivery region P ₂ .

마찬가지로, 흡착 반송부(6)의 슬라이더(10)의 이동 범위는, 기판 인도 영역 P₂, P₃의 각각의 중간 위치에 설정되어 있다.Likewise, the range of movement of the slider 10 of the suction conveyance section 6 is set at an intermediate position of each of the substrate delivery areas P ₂ and P ₃ .

기판 반출부(3)는, 검사부(2)에서의 검사가 종료한 기판(4)을, 예를 들면 반송 로봇에 의해 장치 외부로 반출하기 위한 것이며, 부상 스테이지(3A)와 흡착 반송부(7)를 구비한다.The substrate carrying-out part 3 is for carrying out the inspection of the substrate 4 which has been inspected by the inspection part 2 to the outside of the apparatus by means of a conveying robot, for example. The lifting stage 3A and the suction conveying part 7 .

부상 스테이지(3A), 흡착 반송부(7)는, 각각, 부상 스테이지(1A), 흡착 반송부(5)와 같은 구성을 구비한다. 흡착 반송부(7)는, 흡착 반송부(6)와 반대측의 부상 스테이지(3A)의 반송 방향 우측을 따라 배치되어 있다. 상기 흡착 반송부(7)의 슬라이드 가이드(9)는, 부상 스테이지(2A)의 하류측의 기판 인도 영역 P₃의 중간부로부터 부상 스테이지(3A)의 기판 반출 영역 P₄의 중간부까지 연장되어 있다.The lifting stage 3A and the adsorption conveying section 7 have the same configurations as the lifting stage 1A and the adsorption conveying section 5, respectively. The adsorption conveying section 7 is disposed along the right side in the conveying direction of the lifting stage 3A on the opposite side of the adsorption conveying section 6. The slide guide (9) of the suction conveyance unit 7 has, extending from the intermediate portion of the downstream-side substrate delivery area P ₃ of the levitation stage (2A) to the middle portion of the substrate carry-out area P ₄ of the levitation stage (3A) have.

흡착 반송부(6)의 슬라이드 가이드(9)와, 흡착 반송부(7)의 슬라이드 가이드(9)는, 각각의 일부가 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P₃를 협지하여 서로 평행으로 대향하고 있다. 따라서, 흡착 반송부(6)에서 흡착 반송된 기판(4)은, 부상 스테이지(2A)의 상류측의 부상 스테이지(3A)에 인접하는 기판 인도 영역 P₃에서 대치하는 흡착 반송부(7)에 인도할 수 있도록 되어 있다.The slide guides 9 of the suction conveying section 6 and the slide guides 9 of the suction conveying section 7 are arranged such that a part of each slide guide 9 is sandwiched by the substrate delivering region P ₃ of the lifting stage 2A, . The substrate 4 sucked and conveyed by the adsorption conveying section 6 is conveyed to the adsorbing and conveying section 7 opposed to the substrate conveying region P ₃ adjacent to the lifting stage 3A on the upstream side of the lifting stage 2A It can be delivered.

이와 같이, 본 실시예의 기판 검사 장치(100)에서는, 부상 스테이지(1A, 2A, 3A)가, 반송 방향으로 차례로 인접하여 연장되고, 그 반송 방향의 양측에, 흡착 반송부(5, 6, 7)가 지그재그 모양으로 교대로 배치된다. 따라서, 기판 인도 영역 P₂, P₃에서 위치 결정된 기판(4)을 흡착 반송부(5)로부터 흡착 반송부(6)에, 또는, 흡착 반송부(6)로부터 흡착 반송부(7)에 각각 차례로 인도하여 반송할 수 있는 구성으로 되어 있다.As described above, in the substrate inspection apparatus 100 of this embodiment, the floatation stages 1A, 2A, and 3A are extended in succession in the transport direction, and adsorption and transport units 5, 6, 7 Are alternately arranged in a zigzag shape. The substrate 4 positioned in the substrate transfer areas P ₂ and P ₃ is transferred from the adsorption carrying section 5 to the adsorption transfer section 6 or from the adsorption transfer section 6 to the adsorption transfer section 7 So that they can be delivered and conveyed in order.

다음에, 본 실시예의 기판 검사 장치(100)의 동작에 대하여, 기판(4)의 반송 동작을 중심으로 설명한다.Next, the operation of the substrate inspection apparatus 100 of the present embodiment will be described focusing on the transport operation of the substrate 4. Fig.

도 3, 도 4는, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치의 동작에 대하여 설명하는 평면도이다.Figs. 3 and 4 are plan views for explaining the operation of the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention. Fig.

먼저, 도 1의 좌측단 측에 도시된 바와 같이, 흡착 반송부(5)의 슬라이더(10)를 반송 개시 측이 되는 기준 위치 결정 영역 P₁의 중심 위치까지 이동시킨다. 이때, 승강 기구(11)의 높이를 조정하고, 흡착 블록(14)의 상단면이, 기판(4)의 이면의 부상 높이보다 낮은 상태로 하여 둔다.First, as shown in the left end side of Fig. 1, the slider 10 of the suction conveyance section 5 is moved to the center position of the reference positioning area P ₁ which is the transport start side. At this time, the height of the lifting mechanism (11) is adjusted so that the upper end surface of the adsorption block (14) is lower than the floating height of the back surface of the substrate (4).

그리고, 도시하지 않은 반송 로봇 등에 의해 반입된 기판(4)을 부상 스테이지(1A) 상으로부터 돌출된 리프터의 각 리프트 핀 상에 이재(移載)한다. 리프터는, 반송 로봇으로부터 기판(4)을 받은 후, 하강하여 기판(4)을 부상 스테이지(1A) 상에 탑재한다. 부상 스테이지(1A) 상에 이재된 기판(4)은 부상 스테이지(1A)로부터 위쪽으로 분사되는 에어에 의해 소정 높이로 부상된다.Then, the substrate 4 carried by a transporting robot or the like (not shown) is transferred onto the lift pins of the lifter protruded from the lifting stage 1A. The lifter receives the substrate 4 from the conveying robot and then descends to mount the substrate 4 on the lifting stage 1A. The substrate 4 transferred on the floating stage 1A is lifted to a predetermined height by the air injected upward from the floating stage 1A.

기판(4)은, 부상 스테이지(1A) 상에 부상되어 있으므로, 평면 방향의 이동이 자유롭게 되어 있고, 기판(4)의 사이즈가 커도 아주 작은 부하로 이동할 수 있다. 다음에, 가압 핀(8c, 8c)을 이동하여, 부상 상태의 기판(4)을 기준 핀(8a, 8a, 8b)에 가압하여 기준 위치에 위치 결정을 행한다.Since the substrate 4 is floated on the floating stage 1A, the substrate 4 is allowed to move in the planar direction and can move to a very small load even if the size of the substrate 4 is large. Next, the pressing pins 8c and 8c are moved to press the substrate 4 in the floating state against the reference pins 8a, 8a and 8b to perform positioning at the reference position.

이들 동작에 의해, 부상 스테이지(lA) 상에 부상된 기판(4)의 2변이 기준 핀(8a, 8a, 8b)에 가압되어, 평면에서 볼 때의 위치가 반송 폭 방향, 반송 방향의 기준 위치에 대하여 각각 위치 결정된다. By these operations, the two sides of the substrate 4 floating on the floating stage IA are pressed against the reference pins 8a, 8a, 8b so that the position viewed in the plane is the reference position in the carrying width direction, Respectively.

이 상태에서, 승강 기구(11)를 구동하여, 흡착 블록(14)을 기판(4)의 이면의 높이까지 상승시켜, 기준 위치에 위치 결정된 기판(4)을 진공 흡착한다. In this state, the lifting mechanism 11 is driven to raise the suction block 14 to the height of the back surface of the substrate 4, and the substrate 4 positioned at the reference position is vacuum-absorbed.

진공 흡착이 완료된 후, 기준 핀(8b)을 하강하고, 가압 핀(8c)을 기판(4)으로부터 멀어지는 방향으로 퇴피시킨다.After the vacuum suction is completed, the reference pin 8b is lowered and the pressing pin 8c is retracted in a direction away from the substrate 4. [

그리고, 흡착 반송부(5)의 슬라이더(10)는 기판 인도 영역 P₂의 중간 위치까지 이동하고, 기판(4)을 검사부(2)의 기판 인도 영역 P₂에 반송한다.Then, the transfer slider 10 is moved to the intermediate position of the substrate delivery area P _2, and a substrate (4) of absorptive transfer unit 5 to the substrate delivery area P ₂ in the inspection section (2).

이때, 흡착 반송부(6)의 슬라이더(10)는, 승강 기구(11)를 하강시켜, 흡착 블록(14)의 상단면이, 기판(4)의 이면의 높이보다 낮게 되도록 하여, 부상 스테이지(1A)의 기판 인도 영역 P₂까지 이동하고 대기한다.At this time, the slider 10 of the adsorption conveying section 6 descends the lifting mechanism 11 so that the top surface of the adsorption block 14 is lower than the height of the back surface of the substrate 4, 1A) is moved to the substrate delivery area P ₂ in the atmosphere.

이 결과, 도 3에 나타낸 바와 같이, 부상 스테이지(2A) 상의 기판 인도 영역 P₂로 이동한 기판(4)의 하면에는, 흡착 반송부(5, 6)의 각 슬라이더(10)가, 서로 대향하는 위치에 배치된다. 이 상태에서, 흡착 반송부(6)의 흡착 블록(14)의 상단면이 기판(4)의 이면에 맞닿을 때까지 승강 기구(11)를 상승시킨다. 그리고 기판(4) 을 흡착 반송부(5)의 흡착 블록(14)에서 흡착 유지한 상태에서, 흡착 반송부(6)에 의해 진공 흡착한다. 이때, 반송 폭 방향으로 대향하는 기판(4)의 양 단부가 각각 흡착 반송부(5, 6)의 각 흡착 블록(14)에 의해 대략 전체 길이에 걸쳐서 흡착 유지되어 있다.As a result, if there, each slider 10 of the suction conveyance unit (5, 6) of, or injury stage (2A) substrate delivery area and the substrate 4 moves to P ₂ on as shown in Fig. 3 a, opposed to each other As shown in FIG. In this state, the lifting mechanism 11 is lifted until the upper end surface of the suction block 14 of the suction conveying section 6 comes into contact with the back surface of the substrate 4. [ Then, the substrate 4 is vacuum-adsorbed by the adsorbing and conveying section 6 while the adsorbing block 14 of the adsorbing and conveying section 5 adsorbs and holds it. At this time, both end portions of the substrate 4 opposed to each other in the conveying width direction are adsorbed and held by the respective suction blocks 14 of the suction conveying portions 5, 6 over substantially the whole length.

흡착 종료 후, 흡착 반송부(5)의 흡착을 해제하고, 흡착 반송부(5)의 승강 기구(11)를 하강시킨다. 흡착 반송부(5)는, 기판 반입부(1)의 기판 위치 결정 영역 P₁으로 이동되어 상기의 반송 개시 시의 상태로 복귀하고, 다음의 기판(4)의 반송을 준비한다.After the adsorption is completed, the adsorption of the adsorption / conveyance section 5 is released and the elevation mechanism 11 of the adsorption / conveyance section 5 is lowered. The adsorption conveying section 5 is moved to the substrate positioning area P ₁ of the substrate loading section 1 and returns to the state at the start of the conveyance to prepare for conveyance of the next substrate 4.

이로써, 기판 위치 결정 기구로 위치 결정된 기판(4)은, 위치 결정된 상태에서 반송 방향 우측의 흡착 반송부(5)로부터, 반송 방향 좌측의 흡착 반송부(6)에 인도된다.Thereby, the substrate 4 positioned by the substrate positioning mechanism is delivered from the adsorption / conveyance section 5 on the right side in the conveying direction to the adsorption / conveyance section 6 on the left side in the conveying direction in the state of being positioned.

이와 같이, 흡착 반송부(5)에 의해 반송된 기판(4)의 반대측을 흡착 반송부(6)에서 흡착 유지한 상태로 흡착 반송부(5)의 흡착을 해제함으로써, 기판(4)의 평면 방향의 기준 위치는 변하지 않고, 기판(4)은 기판 위치 결정 기구에 의해 기준 위치가 유지된 상태에서 대향하는 흡착 반송부(6)에 인도할 수 있다.As described above, the adsorption of the adsorption carrying section 5 is released while the opposite side of the substrate 4 carried by the adsorption carrying section 5 is sucked and held by the adsorption carrying section 6, The substrate 4 can be guided to the opposite adsorption carrying section 6 while the reference position is held by the substrate positioning mechanism.

다음에, 흡착 반송부(6)의 슬라이더(10)를 검사 영역 P₃에 이동하고, 부상 스테이지(2A) 상에서, 부상 스테이지(3A) 측을 향해 기판(4)을 반송한다(도 4 참조). 이때, 검사부(2)에서의 검사의 필요에 따라 미리 설정된 일정 속도로 반송하거나, 소정의 속도 변화를 주어 반송하거나, 또는 소정의 위치 이동을 행하여 반송한다.Returns the following, levitation stage (3A), the substrate 4 toward the side, to move the slider 10 of the suction conveying portion (6) to the inspection area, P _3, and on the levitation stage (2A) to (see Fig. 4) . At this time, the inspection unit 2 carries it at a predetermined constant speed or carries out a predetermined speed change or carries out a predetermined position movement according to the inspection needs, and carries it.

본 실시예에서는, 기판(4)상의 각 결함의 좌표 데이터에 따라, 지정된 결함이 검사 헤드(2b)의 검사 라인에 일치하도록 기판(4)을 반송하여 정지시키는 동시에, 검사 헤드(2b)의 광축이 결함에 일치하도록 검사 헤드(2b)는 갠트리(2a)를 따라 이동시킨다. 이와 같이 하여 기판(4)과 검사 헤드(2b)를 상대적으로 XY 이동시킴으로써 기판(4)의 임의의 위치를 검사할 수 있다.In this embodiment, the substrate 4 is transported and stopped so that the specified defect is aligned with the inspection line of the inspection head 2b according to the coordinate data of each defect on the substrate 4, The inspection head 2b moves along the gantry 2a so as to match the defect. By thus moving the substrate 4 and the inspection head 2b relative to each other in the XY direction, the arbitrary position of the substrate 4 can be inspected.

이때, 흡착 반송부(7)의 슬라이더(10)는, 승강 기구(ll)를 하강시켜, 흡착 블록(14)의 상단면이, 기판(4)의 이면의 높이보다 낮게 되도록 하여, 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P₃까지 이동하여 대기한다.At this time, the slider 10 of the adsorption conveying section 7 moves down the lifting mechanism 11 so that the upper end surface of the adsorption block 14 is lower than the height of the back surface of the substrate 4, moving the substrate to the delivery area P ₃ 2A) and waits.

그리고, 기판(4)이 부상 스테이지(2A)의 반송 방향의 단부로 이동되면, 기판(4)의 하면에는, 흡착 반송부(6, 7)의 슬라이더(10)가 대향하여 배치된다. 이 상태에서, 흡착 반송부(7)의 승강 기구(11)를 구동하고, 흡착 반송부(7)의 흡착 블록(14)의 상단면이 기판(4)의 이면에 맞닿을 때까지 상승시킨다. 그리고 기판(4)을 흡착 반송부(6)의 흡착 블록(14)에서 흡착 유지한 상태로 흡착 반송부(7)에 의해 진공 흡착한다. 이때, 반송 폭 방향으로 대향하는 기판(4)의 양 단부가 각각 흡착 반송부(6, 7)의 각 흡착 블록(14)에 의해 대략 전체 길이에 걸쳐서 흡착 유지되어 있다.When the substrate 4 is moved to the end of the lifting stage 2A in the carrying direction, the slider 10 of the attracting and conveying sections 6 and 7 is disposed on the lower surface of the substrate 4 so as to be opposed to each other. In this state, the elevating mechanism 11 of the adsorption conveying section 7 is driven, and the upper end surface of the adsorption block 14 of the adsorption conveying section 7 is raised until it abuts the back surface of the substrate 4. [ Then, the substrate 4 is vacuum-adsorbed by the adsorbing and conveying section 7 while being adsorbed and held by the adsorbing block 14 of the adsorbing and conveying section 6. At this time, both ends of the substrate 4 opposed to each other in the conveying width direction are adsorbed and held over substantially the entire length by the respective adsorption blocks 14 of the adsorption carrying sections 6, 7.

흡착 반송부(7)의 흡착 종료 후, 흡착 반송부(6)의 흡착을 해제하고, 흡착 반송부(6)의 승강 기구(ll)를 하강시킨다. 흡착 반송부(6)는, 기판 인도 영역 P₂로 이동되어, 상기 기판을 받을 때 상태(수취 상태)로 복귀하고, 다음의 기판(4)의 수 취를 준비한다.After completion of adsorption of the adsorption transport section 7, the adsorption of the adsorption transport section 6 is released and the lift mechanism 11 of the adsorption transport section 6 is lowered. The adsorption conveying section 6 is moved to the substrate delivering region P ₂ , returns to the state (receiving state) when receiving the substrate, and prepares to take the next substrate 4.

다음에, 흡착 반송부(7)의 슬라이더(10)를 이동하여, 기판(4)을 부상 스테이지(3A) 상에 반송한다. 그리고, 도시하지 않은 반송 로봇 등으로 기판(4)을 인도하는 동시에, 흡착 반송부(7)의 흡착을 해제하고, 다음의 기판(4)을 수취하기 위하여, 흡착 반송부(7)의 슬라이더(10)를 기판 인도 영역 P₃에 복귀시킨다.Next, the slider 10 of the suction conveyance section 7 is moved to transport the substrate 4 onto the floatation stage 3A. Then, in order to deliver the substrate 4 by a conveying robot or the like (not shown), to release the adsorption of the adsorption conveying section 7 and to receive the next substrate 4, the slider 10) to the substrate lead-in area P ₃ .

이와 같이 하여, 기판(4)의 반입, 검사, 반출이 종료한다.In this manner, the carrying-in, inspecting, and carrying-out of the substrate 4 are completed.

이와 같이, 본 실시예의 기판 검사 장치(100)에 의하면, 기판(4)의 반송 폭 방향의 단부를 흡착 반송부(5, 6, 7)에 의해 교대로 유지하여, 기판(4)을 부상 스테이지(1A, 2A, 3A) 상으로 차례로 반송할 수 있다. 이와 같이 기판(4)의 편측을 유지하여 일축(一軸) 반송을 행함으로써, 흡착 반송부(5, 6, 7)에 의해 흡착 유지된 기판(4)의 다른 쪽 단부가 프리(free) 상태가 되므로, 종래와 같이 양측을 유지하여 반송하는 경우의 같은 스트레스를 기판(4)에 주지 않는다. 이와 같이 기판(4)의 편측 만을 흡착 유지함으로써 기판(4)을 수평으로 반송하는 것이 가능하게 되고, 기판(4)에 대한 검사 정밀도의 저하를 방지할 수 있다. As described above, according to the substrate inspection apparatus 100 of the present embodiment, the end portions of the substrate 4 in the conveying width direction are alternately held by the adsorption carrying sections 5, 6, and 7, (1A, 2A, 3A). By thus carrying out the uniaxial transport while holding one side of the substrate 4, the other end of the substrate 4 sucked and held by the adsorption carriers 5, 6, 7 is in a free state So that the same stress is not given to the substrate 4 when both sides are held and transported as in the conventional case. Thus, the substrate 4 can be transported horizontally by sucking and holding only one side of the substrate 4, and the inspection accuracy of the substrate 4 can be prevented from deteriorating.

또, 각 편측 반송부의 배치 정밀도를 느슨하게 하거나, 필요에 따라, 반송 방향을 반송 스테이지마다 전환하는 것이 가능해진다.In addition, it is possible to loosen the arrangement accuracy of each one-side carry section or to switch the carry direction in each carry stage as necessary.

또, 기판 인도 영역 P₂, P₃에서 흡착 반송부(5, 6), 및 흡착 반송부(6, 7)에 의해 반송 폭 방향의 양 단부를 흡착 유지함으로써, 위치 결정된 상태를 유지하면서 기판(4)을 인도하여 반송할 수 있다. 이로써, 기판을 인도할 때마다 위치 조정 등을 행하는 수고를 덜 수 있고, 기판 검사 장치(100)의 조정 기구를 간소화할 수 있는 동시에, 검사 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, by the substrate delivery area P _2, absorptive transfer unit (5, 6) from P _3, and suction for both ends of the transport widthwise direction by the suctioning transport portion (6, 7), while keeping the positioned state substrate ( 4) may be delivered and returned. This makes it possible to reduce the labor of performing position adjustment and the like each time the substrate is delivered, simplify the adjustment mechanism of the substrate inspection apparatus 100, and improve inspection efficiency.

또, 기판(4)의 위치 결정 상태를 유지하면서 기판 반출 영역 P₄까지 반송할 수 있기 때문에, 기판(4)을 반송 로봇에 정확하게 인도하는 것이 가능하다. 따라서, 반송 로봇은, 기판(4)을 카세트 내에 삽입할 때 기판(4)이 카세트의 측벽에 부딪치지 않도록 얼라이먼트를 고치는 일 없이 기판(4)을 카세트 내에 반송할 수 있다.Further, since, while maintaining the positioning state of the substrate 4 can be transported to the substrate carry-out area P _4, it is possible to guide correctly the carrying robot of the substrate (4). Therefore, the transport robot can transport the substrate 4 into the cassette without correcting the alignment so that the substrate 4 does not hit the side wall of the cassette when inserting the substrate 4 into the cassette.

다음에, 본 실시예의 변형예에 대하여 설명한다.Next, a modification of this embodiment will be described.

도 5는, 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.5 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a modification of the first embodiment of the present invention.

본 변형예의 기판 검사 장치(110)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 실시예의 기판 검사 장치(100)의 흡착 반송부(5, 7)에 대신하여, 흡착 반송부(15)(편측 반송부)를 구비한 것이다. 이하, 상기 제l 실시예와 다른 점을 중심으로 설명한다.5, the substrate inspecting apparatus 110 of the present modification example is provided with a suction conveying section 15 (one side (a side) of the substrate inspection apparatus 100 of the first embodiment, And a transport section). Hereinafter, differences from the first embodiment will be mainly described.

흡착 반송부(15)는, 흡착 반송부(5)의 슬라이드 가이드(9)를, 흡착 반송부(7)의 슬라이드 가이드(9)의 위치까지 연장한 슬라이드 가이드(16)에 대신하는 것과 동시에, 흡착 반송부(5)의 슬라이더(10)에 대신하여, 동일한 구성으로 이루어지는 2개의 슬라이더(10A, 10B)를 슬라이드 가이드(l6) 상에서 이동할 수 있도록 설치한 것이다.The suction conveying section 15 replaces the slide guide 9 of the suction conveying section 5 with the slide guide 16 extending to the position of the slide guide 9 of the suction conveying section 7, Two sliders 10A and 10B having the same configuration are provided so as to be movable on the slide guide 16 in place of the slider 10 of the adsorption carrying section 5. [

그리고, 슬라이더(10A, 10B)의 상부에는, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 승강 기구(11), 승강 베이스(12), 흡착 베이스(13), 및 흡착 블록(14)을 구비한다.2B, the lifting mechanism 11, the lifting base 12, the suction base 13, and the suction block 14 are provided on the sliders 10A and 10B.

즉, 상기 제1 실시예에 나타낸 흡착 반송부(5, 7)의 각 슬라이드 가이드(9)를 접속하여 일체로 한 구성에 상당하고 있다.That is, this configuration corresponds to a configuration in which the slide guides 9 of the adsorption / conveying units 5, 7 shown in the first embodiment are connected to one another.

본 변형예의 기판 검사 장치(110)에 의하면, 상기 제1 실시예의 흡착 반송부(5, 7)의 슬라이더(10)를, 각각 흡착 반송부(15)의 슬라이더(10A, 10B)에 대신하는 것으로, 완전히 마찬가지의 동작을 행할 수 있다. 그러므로, 상기 제1 실시예와 마찬가지의 작용 효과를 가진다.According to the substrate inspection apparatus 110 of the present modification, the slider 10 of the adsorption / conveying units 5 and 7 of the first embodiment is replaced with the sliders 10A and 10B of the adsorption / conveyance unit 15, respectively , The same operation can be performed completely. Therefore, the same effects as those of the first embodiment are obtained.

또한, 본 변형예에 의하면, 흡착 반송부(5, 7)가 흡착 반송부(15)로서 일체화되므로 부품수를 저감 할 수 있다. 또, 슬라이더(10A, 10B)가, 부상 스테이지(2A) 측의 임의의 위치로 이동할 수 있으므로, 기판(4)의 길이 L이 변한 경우라도 용이하게 대응할 수 있고, 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P₂, P₃의 위치를 용이하게 변경할 수 있는 이점이 있다.According to the present modification, the number of parts can be reduced because the adsorption carriers 5, 7 are integrated as the adsorption carrier 15. Since the sliders 10A and 10B can move to arbitrary positions on the side of the lifting stage 2A, even if the length L of the substrate 4 changes, There is an advantage that the positions of the regions P ₂ and P ₃ can be easily changed.

[제2 실시예] [Second Embodiment]

본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 검사 장치에 대하여 설명한다.A substrate inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described.

도 6은, 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.6 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.

본 제2 실시예의 기판 검사 장치(120)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 실시예의 기판 검사 장치(100)의 흡착 반송부(5, 6)에 대신하여, 흡착 반송 부(17, 19)(편측 반송부)를 구비하고, 흡착 반송부(7)를 삭제한 것이다. 이하, 상기 제1 실시예와 다른 점을 중심으로 설명한다.6, the substrate inspecting apparatus 120 of the second embodiment includes, instead of the adsorbing and conveying sections 5 and 6 of the substrate inspecting apparatus 100 of the first embodiment, the adsorbing and conveying sections 17, 19 (one-side conveying portion), and the suction conveying portion 7 is omitted. Hereinafter, differences from the first embodiment will be mainly described.

흡착 반송부(17)는, 기판 검사 장치(100)의 흡착 반송부(5)의 슬라이드 가이드(9)를 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P₃까지 연장하고, 부상 스테이지(2A)의 반송 방향의 대략 전체 길이의 범위에서, 슬라이더(10)를 이동할 수 있도록 한 슬라이드 가이드(18)로 대신한 것이다.The adsorption conveying section 17 extends the slide guide 9 of the adsorption conveying section 5 of the substrate inspecting apparatus 100 up to the substrate delivering area P ₃ of the lifting stage 2A and moves the lifting stage 2A In place of the slide guide 18 that allows the slider 10 to move in the range of the substantially entire length of the direction of the arrow.

흡착 반송부(19)는, 흡착 반송부(6)의 슬라이드 가이드(9)를 부상 스테이지(3A)의 기판 반출 영역 P₄까지 연장하고, 기판(4)을 부상 스테이지(2A)와 부상 스테이지(3A)의 사이에 이동할 수 있도록 한 것이다.The adsorption conveying section 19 extends the slide guide 9 of the suction conveying section 6 to the substrate carry-out region P4 of the lifting stage 3A and moves the substrate ₄ between the lifting stage 2A and the lifting stage 3A). &Lt; / RTI >

이와 같은 구성에 의해, 흡착 반송부(17)에 의해 기판 반입부(1)와 검사부(2)의 범위에서, 또한, 흡착 반송부(19)에 의해 검사부(2)와 기판 반출부(3)의 범위에서, 각각 기판(4)을 반송할 수 있다. 그리고, 흡착 반송부(17, 19)의 반송 범위가 공유되는 부상 스테이지(2A) 상의 임의의 위치에서, 기판(4)을 흡착 반송부(17)로부터 흡착 반송부(19)에 인도할 수 있다. 즉, 부상 스테이지(2A) 상의 인도 위치는, 부상 스테이지(2A)의 부상 스테이지(1A) 측, 부상 스테이지(3A) 측, 또는, 그들의 중간 위치 등 임의의 위치에, 필요에 따라 선택할 수 있다.With this arrangement, the inspection section 2 and the substrate carry-out section 3 are moved by the suction transport section 17 within the range of the substrate carry-in section 1 and the inspection section 2, The substrate 4 can be transported in the range of. The substrate 4 can be delivered from the adsorption carrying section 17 to the adsorption carrying section 19 at any position on the floating stage 2A where the carrying range of the adsorption carrying sections 17 and 19 is shared . That is, the delivery position on the lifting stage 2A can be selected as needed at any position such as the side of the lifting stage 1A of the lifting stage 2A, the side of the lifting stage 3A, or an intermediate position thereof.

이와 같이, 본 제2 실시예는, 3개의 반송 스테이지에 대해서, 2개의 편측 반송부를 배치함으로써, 각 편측 반송부 사이에서 기판을 인도하여 반송하는 구성을 실현한 예로 되어 있다. 이것은, 본 발명에 있어서, 3개의 반송 스테이지에 대해서 최소한의 편측 반송부를 구비하는 구성예이다.As described above, the second embodiment is an example of realizing a configuration in which two one-side transfer sections are arranged for three transfer stages, thereby transferring the substrates between the one-side transfer sections. This is a configuration example in which, in the present invention, at least one unidirectional transport section is provided for three transport stages.

본 제2 실시예에 의하면, 편측 반송부의 수를 제1 실시예에 비하여 저감 할 수 있다.According to the second embodiment, the number of the one-side transporting portions can be reduced as compared with the first embodiment.

또, 본 제2 실시예에서는, 흡착 반송부(17, 19)가, 부상 스테이지(2A)의 반송 방향의 대략 전체 길이의 반송 범위를 공유하고 있으므로, 검사부(2) 내에서, 흡착 유지하는 단부를 좌우 교대시킬 수가 있다. 그러므로, 예를 들면, 흡착 블록(14)이 검사의 장애로 되는 검사, 예를 들면, 도 1에 나타낸 바와 같이 검사 헤드(2b)를 기판(4)의 반송 폭 방향으로 주사하는 경우이어도, 검사 헤드(2b)가 기판(4)을 흡착 유지하고 있는 측의 흡착 블록(14)과 간섭하는 경우에는, 반대측의 흡착 블록(14)에 의해 기판(4)을 바꿔 듦으로써, 각각의 단부에서의 검사가 가능해진다.In the second embodiment, since the adsorption carriers 17 and 19 share the conveying range of the substantially entire length of the float stage 2A in the conveying direction, Can be alternated left and right. Therefore, even in the case where, for example, the suction block 14 becomes an obstacle to the inspection, for example, in the case of scanning the inspection head 2b in the conveyance width direction of the substrate 4 as shown in Fig. 1, When the head 2b interferes with the suction block 14 on the side where the substrate 4 is held by suction, the substrate 4 is switched by the suction block 14 on the opposite side, Inspection becomes possible.

[제3 실시예][Third Embodiment]

본 발명의 제3 실시예에 관한 기판 검사 장치에 대하여 설명한다.A substrate inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described.

도 7은, 본 발명의 제3 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.7 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention.

본 제3 실시예의 기판 검사 장치(l30)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 실시예의 기판 검사 장치(100)의 검사부(2)에 대신하여, 검사부(2a, 2b)를 복수개 구비하고, 거기에 따라 흡착 반송부(6)에 대신하여 흡착 반송부(6a, 6b)(편측 반송부)를 복수개 구비하고 있다. 또한 각 검사부(2a, 2b) 사이에 흡착 반송부(70)(편측 반송부)를 추가한 것이다. 이하, 상기 제1 실시예와 다른 점을 중심 으로 설명한다.The substrate inspection apparatus 130 of the third embodiment has a plurality of inspection units 2a and 2b instead of the inspection unit 2 of the substrate inspection apparatus 100 of the first embodiment as shown in Fig. , And a plurality of suction conveying sections 6a and 6b (one-side conveying sections) are provided instead of the suction conveying section 6 therefor. And a suction conveying section 70 (one-side conveying section) is added between the inspection sections 2a and 2b. Hereinafter, differences from the first embodiment will be mainly described.

검사부(2a, 2b)는, 패턴 검사, 리뷰 검사, 매크로 검사 등의 검사를 행하기 위한 것이며, 특히 도시하지 않지만, 각각의 검사에 따라 상이한 검사 부분을 구비한다. 검사부(2a)는, 부상 스테이지(2A)와 흡착 반송부(6a)를 구비하고, 검사부(2b)는, 부상 스테이지(2A)와 흡착 반송부(6b)를 구비한다.The inspection units 2a and 2b are for performing inspections such as pattern inspection, review inspection, and macro inspection. Although not shown, different inspection units are provided for each inspection. The inspection section 2a has a float stage 2A and an adsorption conveyance section 6a and the inspection section 2b has a float stage 2A and a suction conveyance section 6b.

그리고, 기판 반입부(1)와 검사부(2a) 사이에서는, 제1 실시예와 마찬가지의 위치 관계에 흡착 반송부(5)가 배치되어 있다.Between the substrate carrying-in part 1 and the inspection part 2a, the suction conveying part 5 is arranged in the same positional relationship as in the first embodiment.

또, 흡착 반송부(70)의 슬라이드 가이드(90)는, 검사부(2a, 2b)의 인접하는 검사 영역 P₃와 기판 인도 영역 P₂의 각각의 중간부까지 연장되어 있다. 흡착 반송부(70)의 구성은, 슬라이드 가이드(90)의 길이가 상이할 뿐, 다른 구성은 흡착 반송부(7)와 같다.The slide guide 90 of the adsorption conveying section 70 extends to the middle of each of the inspection region P ₃ and the substrate delivery region P ₂ adjacent to the inspection sections 2a and 2b. The structure of the adsorption transport section 70 is the same as that of the adsorption transport section 7 except that the length of the slide guide 90 is different.

또, 검사부(2b)와 기판 반출부(3) 사이에서는, 제1 실시예와 마찬가지의 위치 관계에 흡착 반송부(7)가 배치되어 있다.Between the inspection section 2b and the substrate carry-out section 3, the suction conveying section 7 is disposed in the same positional relationship as that in the first embodiment.

이와 같은 구성에 의해, 제1 실시예와 마찬가지로 하여, 기판 반입부(1)에서 위치 결정된 기판(4)을 흡착 반송부(6a)에 인도할 수 있다. 그리고, 검사부(2a) 에서의 검사 후, 흡착 반송부(6a)와 흡착 반송부(70) 사이에서 반송 범위가 공유된 부상 스테이지(2A)의 검사 영역 P₃에서, 기판(4)을 흡착 반송부(70)에 인도할 수 있다.With this configuration, the substrate 4 positioned in the substrate carry-in section 1 can be delivered to the suction conveyance section 6a in the same manner as in the first embodiment. After the inspection in the inspection section 2a, the substrate 4 is sucked and transported in the inspection region P ₃ of the float stage 2A in which the transport range is shared between the absorption transport section 6a and the absorption transport section 70 (70).

흡착 반송부(70)에 흡착 유지된 기판(4)은, 마찬가지로 하여, 인접한 검사 부(2b)의 기판 인도 영역 P₂까지 반송되고, 흡착 반송부(6b)에 기판을 인도할 수 있다. The substrate 4 adsorbed and held by the adsorption conveying section 70 is likewise conveyed to the substrate delivering area P ₂ of the adjacent inspection section 2b and can guide the substrate to the adsorption conveying section 6b.

그리고, 검사부(2b)에서 검사 종료한 기판(4)은, 흡착 반송부(6a)에 의해, 하류측의 기판 인도 영역 P₃에 반송되고, 상기 기판 인도 영역 P₃에서, 기판(4)을 흡착 반송부(7)에 인도하고, 기판 반출부(3)의 흡착 반송부(7)에 의해 기판 반출 영역 P₄까지 반송하여 도시하지 않은 반송 로봇에 의해 장치 외부로 반송할 수 있다.Then, the inspection section (2b) the inspection end a substrate 4, the substrate 4, and is conveyed to the substrate delivery area P ₃ on the downstream side, in the substrate delivery area P ₃ by the suctioning transport portion (6a) from Is delivered to the suction conveying section 7 and is conveyed to the substrate carry-out area P ₄ by the suction conveying section 7 of the substrate carry-out section 3 and can be transported to the outside of the apparatus by a conveying robot not shown.

본 제3 실시예는, 검사부를 복수개 설치한 경우의 예로 되어 있다. 이와 같이, 본 발명에서는, 기판 반입부(1)와 기판 반출부(3) 사이에, 복수개의 검사부(2)를 증설할 수 있다.The third embodiment is an example in which a plurality of inspection units are provided. As described above, in the present invention, a plurality of inspection sections 2 can be additionally provided between the substrate carry-in section 1 and the substrate carry-out section 3. [

따라서, 각각의 반송 스테이지, 편측 반송부의 반송 거리가 짧아도, 이들을 인접하여 배열함으로써, 전체의 반송 거리를 늘릴 수가 있다.Therefore, even if the conveying distances of the respective conveying stages and the one-side conveying sections are short, by arranging them adjacent to each other, the entire conveying distance can be increased.

[제4 실시예][Fourth Embodiment]

본 발명의 제4 실시예에 관한 기판 검사 장치에 대하여 설명한다.A substrate inspection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention will be described.

도 8은, 본 발명의 제4 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.8 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

본 제4 실시예의 기판 검사 장치(140)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 실시예의 기판 검사 장치(100)의 부상 스테이지(1A, 2A, 3A)에 대신하여, 롤러 스테이지(1B, 2B, 3B)(반송 스테이지)를 구비한 것이다. 이하, 상기 제1 실시예와 다른 점을 중심으로 설명한다.8, the substrate inspection apparatus 140 of the fourth embodiment is similar to the substrate inspection apparatus 100 of the first embodiment except that the roller stages 1B, 2B, and 3B (transport stages). Hereinafter, differences from the first embodiment will be mainly described.

롤러 스테이지(1B, 2B, 3B)는, 평면에서 볼 때 각각 부상 스테이지(1A, 2A, 3A)와 마찬가지 크기의 직사각형의 스테이지 면 상에, 일정 높이로 기판(4)을 수평 방향으로 반송하는 반송 롤러(30)가 적당한 간격으로 다수 배열된 것이다.The roller stages 1B, 2B and 3B are provided on a rectangular stage surface of the same size as that of the floating stages 1A, 2A and 3A when seen from the plane, A plurality of rollers 30 are arranged at appropriate intervals.

반송 롤러(30)로서는, 예를 들면, 롤러 스테이지(1B, 2B, 3B)의 수평면 내에서 360˚방향으로 회전 가능하게 지지된 원통 롤러나, 구형의 롤러 등을 채용할 수 있다.As the conveying roller 30, for example, a cylindrical roller, a spherical roller, or the like, which is rotatably supported in the 360 占 direction within the horizontal plane of the roller stages 1B, 2B and 3B, may be employed.

이와 같은 구성에 의하면, 기판(4)이, 반송 롤러(30) 상에서 롤러 반송되는 점을 제외하고, 상기 제1 실시예와 마찬가지의 동작을 행할 수 있으므로, 상기 제1 실시예와 마찬가지의 작용 효과를 가진다.According to such a configuration, the same operation as that of the first embodiment can be performed, except that the substrate 4 is roller-conveyed on the conveying roller 30. Therefore, .

그리고, 상기의 설명에서는, 반송 스테이지가 복수개 인접하여 배치된 경우의 예를 설명하였으나, 1개의 반송 스테이지가 반송 방향으로 연장 형성되어, 복수개의 편측 반송부가, 반송 방향에 직교하는 방향 중 어느 측방에 배치되고, 이들 복수개의 편측 반송부 사이에서, 기판을 인도하여 반송하는 구성으로 해도 된다. 예를 들면, 각각의 상기 실시예, 변형예에 있어서, 부상 스테이지(1A, 2A, 3A)나, 롤러 스테이지(1B, 2B, 3B) 등을 각각 일체의 반송 스테이지로 하도록 변형한 구성으로 해도 된다.In the above description, an example in which a plurality of conveyance stages are disposed adjacent to each other has been described. However, one conveyance stage may be extended in the conveying direction so that a plurality of one-side conveying sections are provided on either side of the direction orthogonal to the conveying direction And the substrate may be guided and conveyed between the plurality of one-side transfer sections. For example, in each of the above embodiments and modifications, a configuration may be adopted in which the floating stages 1A, 2A, and 3A, and the roller stages 1B, 2B, and 3B, .

이 경우, 기판 반송 정밀도를 결정하는 편측 반송부를 반송 방향에 걸쳐 복수개로 나누는 것이 가능하므로, 예를 들면, 반송 정밀도가 필요한 1개의 검사 부분마다 편측 반송부를 분할함으로써, 반송로 전체 길이에 걸쳐서 고정밀의 반송을 행하는 편측 반송부를 1개 설치하는 경우에 비해, 간소하고 염가의 구성으로 할 수 있다.In this case, since it is possible to divide the one-side carrying section for determining the substrate carrying accuracy into a plurality of sections over the carrying direction, for example, by dividing the one-side carry section for each inspection section requiring conveying accuracy, It is possible to provide a simple and inexpensive structure as compared with a case where one unidirectional transport section for carrying is provided.

또, 상기의 설명에서는, 반송 스테이지가 복수개로 분할되어 있는 경우에 있어서, 기판의 인도 위치가, 인접하는 반송 스테이지의 한쪽의 단부 측에 위치하는 경우의 예를 설명하였다. 그러나, 반송 스테이지의 단차가 충분히 작은 경우에는, 도 5, 도 6에 나타낸 바와 같이, 기판이 인접하는 반송 스테이지의 양쪽에 걸치는 위치에서, 기판의 인도를 행하는 구성으로 해도 된다.In the above description, the example in which the delivery position of the substrate is located on one end side of the adjacent transfer stage in the case where the transfer stage is divided into a plurality of parts has been described. However, when the step of the transfer stage is sufficiently small, the substrate may be delivered at a position where the substrate extends on both sides of the adjacent transfer stage, as shown in Fig. 5 and Fig.

또, 상기의 설명에서는, 복수개의 편측 반송부가, 기판의 인도 위치에서 반송 스테이지를 협지하여 대향할 수 있는 위치에 설치된 예를 설명하였다. 그러나, 기판을 인도하는 것이 가능하면, 복수개의 편측 반송부를, 반송 스테이지의 같은 방향 측의 측방에서, 반송 방향에 직교하는 방향으로 대향 할 수 있는 위치에 설치해도 된다.In the above description, the example in which the plurality of one-side carrying sections are disposed at positions where the carrying stages can be opposed to each other at the delivery position of the substrate has been described. However, if it is possible to deliver the substrate, the plurality of one-side conveying units may be provided at positions that can be opposed to each other in the direction orthogonal to the conveying direction, from the side in the same direction of the conveying stage.

또, 상기의 설명에서는, 검사부(2)가 제진대에 유지되는 것이 바람직하다고 하였지만, 필요에 따라, 어느 하나 이상의 반송 스테이지, 편측 반송부를 제진대 상에 배치하여도 된다. 본 발명에 의하면, 이와 같은 제진대는, 반송 스테이지마다, 편측 반송부마다 개별적으로 설치할 수 있으므로, 장치의 설치가 용이하게 되는 이점이 있다.In the above description, it is preferable that the inspection unit 2 be held on the anti-vibration table. However, if necessary, one or more of the carrying stages and the one-side carrying unit may be disposed on the anti-vibration table. According to the present invention, such vibration dampers can be provided individually for each one of the one-side transporting sections, thereby facilitating the installation of the apparatus.

또, 상기에 설명한 각 실시예, 변형예의 각 구성 요소는, 기술적으로 가능하면, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 적당히 조합시켜 실시하여도 된다.It is to be noted that the constituent elements of each of the above-described embodiments and modifications may be suitably combined within the technical scope of the present invention if technically possible.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 이들 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서, 구성의 부가, 생략, 치환, 및 그 외의 변경이 가능하다. 본 발명은 전술한 설명에 따라서 한정되지 않고, 첨부의 특허청구범위에 의해서만 한정된다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments. Additions, omissions, substitutions, and other modifications are possible within the scope of the present invention. The present invention is not limited by the foregoing description, but is only limited by the appended claims.

도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.1 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 2a는, 도 1의 A부의 부분 확대도이다.2A is a partially enlarged view of part A of Fig.

도 2b는, 도 2a의 B를 본 정면도이다.FIG. 2B is a front view of FIG. 2A.

도 3은, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치의 동작에 대하여 설명하는 평면도이다.3 is a plan view for explaining the operation of the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 4는, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치의 동작에 대하여 설명하는 평면도이다.4 is a plan view for explaining the operation of the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.

Claims

1. A substrate inspection apparatus for carrying and inspecting a thin rectangular substrate into an inspection area of an inspection section,

A conveyance stage for conveying the spherical substrate horizontally,

And a control unit that is disposed so as to be capable of reciprocating along one side of the transfer stage between a reference positioning area located on the upstream side of the inspection unit and a substrate delivery area located on the upstream side of the inspection unit, A first one-side-side transfer section for transferring the wafer to the inspection section,

Wherein the inspection unit is provided so as to be capable of reciprocating along the other side of the transporting stage between the substrate delivery area of the inspection unit and the inspection area located on the downstream side of the inspection unit, And a second one-side transfer section

And,

The first one-side carry section moves to the substrate lead-in region by holding one of the one side end portions of the spherical substrate whose position is determined as the reference position in the reference positioning region,

And the second one-side transfer section holds the other one-side end portion of the spherical substrate transferred by the first one-side transfer section in the substrate transfer area, and the second one- After the spherical substrate is released, the spherical substrate is held at the second one-side carry section at a speed corresponding to the inspection,

And the inspection unit inspects the spherical substrate carried at a speed corresponding to the inspection by the second one-side transfer unit.

The method according to claim 1,

Wherein the substrate holding part is provided so as to be capable of reciprocating along one side of the carrying stage between the inspection area of the inspection part and the substrate removal area located downstream of the inspection part, Further comprising a third one-side transfer section that transfers the first one-

The third one-side transfer section holds one side end of the spherical substrate carried by the second one-side transfer section in the inspection region after the inspection by the inspection section is completed, and the second one- The holding of the spherical substrate by the holding member is released, and after the spherical substrate is received, moved to the substrate carrying-out region.

The method according to claim 1,

Wherein the first unilateral conveyance portion is extended so as to be movable to the inspection region of the inspection portion,

Wherein when the inspection is interrupted in a state in which the other one side end portion of the spherical substrate is held by the second one-side carrying portion, the first one- And one side end portion thereof is held to receive the spherical substrate from the second one-side carrying portion and alternate.

The method according to claim 1,

Wherein the transfer stage comprises a floating stage for floating the spherical substrate.

5. The method of claim 4,

Wherein the inspection unit is disposed in a plurality of the transporting stages and is movable along the one side of the floating stage between the inspection area of the inspection unit adjacent to the substrate delivery area and the one side end of the rectangular substrate And a fourth one-side transfer section for transferring from the inspection section on the upstream side to the inspection section on the downstream side among the adjacent inspection sections.

The method according to claim 1,

Wherein the conveyance stage comprises a roller stage on which a plurality of rollers are arranged to horizontally support the spherical substrate at a constant height.