KR20150076736A - Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an apparatus for inspecting a substrate, comprising: an air floating module floating a substrate by spraying air to a lower surface of the substrate; a plurality of support rollers formed to vertically move through first openings formed on the air floating module and supporting the substrate transferred to the air floating module; a vertical driving unit vertically lowering the support rollers to position on an upper side of the substrate positioned on the support rollers to an upper side of the air floating module; a substrate transfer module horizontally moving the substrate positioned on the air floating module from the upper side of the air floating module; an inspection module arranged on an upper part of the air floating module and detecting a defect of the substrate moved by the substrate transfer module; and a plurality of arrangement units arranging the substrate so that the substrate is positioned at a predetermined position by pushing side portions of the substrate while the substrate is lowered by the vertical driving module.

Description

기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치{Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus,

본 발명의 실시예들은 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 제조 공정에서 기판을 이송하는 장치와 상기 기판 이송 장치에 의해 이송되는 기판의 결함을 검출하기 위한 기판 검사 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a substrate transfer apparatus and a substrate inspection apparatus including the same. More particularly, the present invention relates to an apparatus for transferring a substrate in a display manufacturing process and a substrate inspection apparatus for detecting defects in a substrate transferred by the substrate transfer apparatus.

일반적으로, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 디스플레이 장치의 제조 공정에서 기판 상에 형성된 패턴들의 결함을 검사하기 위한 검사 공정이 수행될 수 있다.In general, an inspection process for inspecting defects of patterns formed on a substrate in a manufacturing process of a display device such as a liquid crystal display device, a plasma display device, and the like can be performed.

상기 검사 공정에서는 상기 기판의 상부면 이미지를 획득하기 위한 이미지 획득 유닛이 사용될 수 있으며 상기 기판은 상기 이미지 획득 유닛의 아래에서 수평 방향으로 이송될 수 있다. 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-0765124호에는 제1 및 제2 부상 플레이트들과, 상기 제1 및 제2 부상 플레이트들 사이에 배치되어 글라스의 양측 단부들을 각각 파지하는 그리퍼들 및 상기 그리퍼들을 이동시키는 구동부를 포함하는 글라스 반송 장치가 개시되어 있다.In the inspecting step, an image obtaining unit for obtaining the image of the top surface of the substrate may be used, and the substrate may be transported in the horizontal direction under the image obtaining unit. For example, in Korean Patent Registration No. 10-0765124, there are disclosed first and second float plates, grippers disposed between the first and second float plates to grip both side ends of the glass, And a driving unit for moving the glass substrate.

상기와 같은 글라스 반송 장치에서 상기 그리퍼들은 스테이지 상에 일체로 형성된 지지플레이트의 일측면 및 타측면에 장착되며 상기 글라스의 중심 부분 일단 및 타단을 진공 흡착하도록 구성되고 있다.In the above-described glass transfer apparatus, the grippers are mounted on one side and the other side of a support plate integrally formed on a stage, and vacuum suction is performed at one end and the other end of the center of the glass.

한편, 상기 글라스 반송 장치 상으로 이송된 기판은 상기 검사 공정을 수행하기 이전에 기 설정된 위치에 정렬될 필요가 있다. 그러나, 상기 기판을 정렬하는 단계를 수행하는 경우 별도의 정렬 시간이 추가적으로 소요되므로 상기 기판 검사 공정을 수행하는데 소요되는 시간이 증가될 수 있다.On the other hand, the substrate transferred onto the glass transfer device needs to be aligned at a predetermined position before performing the inspection process. However, when the step of aligning the substrate is performed, a separate alignment time is additionally required, so that the time required for performing the substrate inspection process may be increased.

본 발명의 실시예들은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로 기판의 정렬에 소요되는 시간을 감소시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 제1 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of reducing the time required for alignment of a substrate.

본 발명의 실시예들은 상술한 바와 같은 기판 이송 장치를 포함하는 기판 검사 장치를 제공하는데 제2 목적이 있다.Embodiments of the present invention have a second object to provide a substrate inspection apparatus including the substrate transfer apparatus as described above.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 기판 이송 장치는, 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 형성된 제1 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하며 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판을 지지하는 복수의 서포트 롤러들과, 상기 서포트 롤러들 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부와, 상기 에어 부상 모듈 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에서 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 수직 구동부에 의해 상기 기판이 하강되는 동안 상기 기판의 측면 부위들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판이 위치되도록 정렬하는 복수의 정렬 유닛들을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus including: an air floating module for blowing air to a bottom surface of a substrate to float the substrate; A plurality of support rollers which are movable and which support the substrate transferred onto the air floating module; and a plurality of support rollers for lowering the support rollers vertically in order to position the substrate positioned on the support rollers on the air floating module A substrate transfer module for horizontally moving a substrate positioned on the air floating module on the air floating module, and a vertical driving part for sliding the side parts of the substrate while the substrate is being lowered by the vertical driving part, A plurality of alignment units arranged to position the substrate in position Can.

본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 정렬 유닛은 상기 기판의 측면에 밀착되며 하방으로 점차 직경이 감소하는 정렬 롤러를 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, each alignment unit may include an alignment roller which is in close contact with the side surface of the substrate and whose diameter gradually decreases downward.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 각각의 정렬 유닛은 상기 정렬 롤러가 회전 가능하게 장착되는 정렬축과, 상기 정렬축이 수직 방향으로 이동 가능하게 삽입되는 가이드 홀이 구비된 프레임과, 상기 정렬 롤러와 상기 프레임 사이에 배치되며 상기 정렬 롤러가 수직 방향으로 이동 가능하도록 지지하는 탄성 부재를 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention, each of the aligning units includes a frame having an aligning shaft on which the aligning roller is rotatably mounted, a guide hole into which the aligning shaft is movably inserted in the vertical direction, And an elastic member disposed between the roller and the frame and supporting the aligning roller movably in the vertical direction.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가이드 홀에는 부싱이 삽입되며 상기 정렬축은 상기 부싱에 삽입될 수 있다.According to embodiments of the present invention, a bushing may be inserted into the guide hole, and the alignment axis may be inserted into the bushing.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 탄성 부재로는 상기 정렬축을 감싸도록 배치된 코일 스프링이 사용될 수 있다.According to embodiments of the present invention, a coil spring arranged to surround the alignment axis may be used as the elastic member.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 각각의 정렬 유닛은 상기 프레임과 연결되어 상기 정렬 롤러를 수직 및 수평 방향으로 이동시키기 위한 정렬 구동부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, each of the alignment units may further include an alignment driver connected to the frame to move the alignment roller in the vertical and horizontal directions.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 부상 모듈에는 상기 정렬 유닛들 중 일부가 통과되는 복수의 제2 개구들이 구비될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the air floating module may be provided with a plurality of second openings through which some of the alignment units are passed.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송 모듈은 이송 패널과, 상기 이송 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척과, 상기 이송 패널을 수평 이동시키는 수평 구동부를 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the substrate transfer module comprises a transfer panel, at least one vacuum chuck disposed on the transfer panel and holding a bottom surface of the substrate floating by the air floating module, And a horizontal driving unit for moving the horizontal driving unit.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 부상 모듈은 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들을 포함할 수 있으며, 상기 이송 패널은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들 사이에서 길게 연장할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the air floating module may include first and second air floating panels extending parallel to each other, wherein the transfer panel is elongated You can extend it.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 기판 검사 장치는 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 형성된 제1 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되며 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판을 지지하는 복수의 서포트 롤러들과, 상기 서포트 롤러들 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부와, 상기 에어 부상 모듈 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에서 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈과, 상기 수직 구동부에 의해 상기 기판이 하강되는 동안 상기 기판의 측면 부위들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판이 위치되도록 정렬하는 복수의 정렬 유닛들을 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a substrate, comprising: an air floating module for blowing air to a bottom surface of a substrate to float the substrate; A plurality of support rollers configured to support a substrate transferred onto the air floating module and configured to lower the support rollers vertically in order to position a substrate positioned on the support rollers on the air floating module A substrate transfer module for moving a substrate positioned on the air floating module in a horizontal direction on the air floating module, a substrate transfer module disposed on the air floating module and moved by the substrate transfer module, An inspection module for detecting a defect, And a plurality of alignment units for aligning the substrate so that the substrate is positioned at a predetermined position by pushing the side portions of the substrate while the substrate is being lowered.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 서포트 롤러들이 에어 부상 모듈의 제1 개구를 통해 상방으로 돌출된 상태에서 기판이 상기 서포트 롤러들 상으로 이동될 수 있으며, 이어서 수직 구동부에 의해 상기 서포트 롤러들이 하강함에 따라 상기 기판이 상기 에어 부상 모듈 상에 위치될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the substrate can be moved onto the support rollers in a state in which the support rollers protrude upward through the first opening of the air floating module, As the support rollers descend, the substrate may be positioned on the air floating module.

특히, 상기 기판이 상기 에어 부상 모듈 상으로 하강되는 동안 정렬 유닛들은 상기 기판의 측면들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판을 정렬시킬 수 있다. 한편, 상기 정렬 유닛들의 정렬 롤러들이 상기 기판의 측면들에 모두 밀착되지 않는 경우라도 상기 정렬 롤러들이 하방으로 점차 감소되는 직경을 가지므로 상기 기판과 상기 정렬 롤러들 사이에서 마찰 저항이 발생되지 않으며, 이에 따라 상기 기판의 안정적이 하강 및 정렬이 가능하다.In particular, while the substrate is lowered onto the air floating module, the alignment units can slide the sides of the substrate to align the substrate in a predetermined position. On the other hand, even if the alignment rollers of the alignment units are not in contact with all the side surfaces of the substrate, the alignment rollers have a downwardly decreasing diameter, so that no frictional resistance is generated between the substrate and the alignment rollers, Thus, the substrate can be stably lowered and aligned.

상기한 바와 같이 상기 기판의 정렬이 상기 에어 부상 모듈 상으로 상기 기판이 로드되는 동안에 수행될 수 있으므로 상기 기판의 정렬을 위한 별도의 시간이 요구되지 않는다. 따라서, 상기 기판에 대한 검사 공정에 소요되는 시간이 전체적으로 크게 감소될 수 있다.As described above, since the alignment of the substrate can be performed while the substrate is loaded on the air floating module, no additional time is required for alignment of the substrate. Therefore, the time required for the inspection process on the substrate can be largely reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈을 포함하는 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 정렬 유닛들을 이용하여 기판을 정렬하는 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 6은 도 3에 도시된 정렬 유닛들을 이용하여 기판을 정렬하는 방법의 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic block diagram illustrating a substrate inspection apparatus including a substrate transfer module according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic structural view illustrating the substrate transfer module shown in FIG.
3 is a schematic structural view for explaining the alignment unit shown in Fig.
FIGS. 4 and 5 are schematic diagrams for explaining a method of aligning a substrate using the alignment units shown in FIG.
Fig. 6 is a schematic view for explaining another example of a method of aligning a substrate using the alignment units shown in Fig. 3;

이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention will be described in more detail below with reference to the accompanying drawings showing embodiments of the invention. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below, but may be embodied in various other forms. The following examples are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention, rather than being provided so as to enable the present invention to be fully completed.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.When an element is described as being placed on or connected to another element or layer, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements or layers may be placed therebetween It is possible. Alternatively, if one element is described as being placed directly on or connected to another element, there can be no other element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms .

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Furthermore, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as will be understood by those skilled in the art having ordinary skill in the art, unless otherwise specified. These terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and the description of the present invention, and are to be interpreted as being ideally or externally grossly intuitive It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the present invention. Thus, changes from the shapes of the illustrations, e.g., changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be reasonably expected. Accordingly, the embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shapes of the areas illustrated in the drawings, but include deviations in the shapes, the areas described in the drawings being entirely schematic and their shapes Is not intended to illustrate the exact shape of the area and is not intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈을 포함하는 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic block diagram illustrating a substrate inspection apparatus including a substrate transfer module according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치(100)는 디스플레이 제조 공정에서 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위하여 사용될 수 있다.Referring to FIG. 1, an inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may be used to detect defects on a substrate 10 in a display manufacturing process.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 검사 장치(100)는 상기 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판(10)을 부상시키는 에어 부상 모듈(110)과, 상기 에어 부상 모듈(110)에 의해 부상된 기판(10)을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈(120) 및 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 이동되는 상기 기판(10)의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈(190)을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the inspection apparatus 100 includes an air floating module 110 for moving the substrate 10 by blowing air to the lower surface of the substrate 10, A substrate transfer module 120 for moving the substrate 10 lifted by the substrate transfer module 120 and an inspection module 190 for detecting defects of the substrate 10 moved by the substrate transfer module 120 .

상기 에어 부상 모듈(110)은 베이스 플레이트(102) 상에 배치될 수 있으며 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)을 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 각각은 상기 기판(10)의 이송 방향(도 1에 도시된 화살표 방향)으로 연장하는 대략 직사각 형태를 가질 수 있으며, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)의 상부면에는 상기 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하기 위한 복수의 에어 분사구들이 구비될 수 있다.The air floating module 110 may include first and second air floating panels 112 and 114 that may be disposed on the base plate 102 and extend parallel to each other. Each of the first and second air floating panels 112 and 114 may have a substantially rectangular shape extending in the conveying direction of the substrate 10 (the arrow direction shown in FIG. 1) 2 air float panels 112 and 114 may be provided with a plurality of air ejection openings for ejecting air to the lower surface of the substrate 10. [

상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 베이스 플레이트(102) 상에서 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 사이에 배치될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 상에서 부상된 기판(10)을 상기 이송 방향으로 이동시킬 수 있다.The substrate transfer module 120 may be disposed on the base plate 102 between the first and second air floating panels 112 and 114 and the first and second air floating panels 112, 114 to move the substrate 10 lifted in the transport direction.

도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.2 is a schematic structural view illustrating the substrate transfer module shown in FIG.

도 2를 참조하면, 상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 사이에서 상기 기판(10)의 이송 방향으로 연장하는 이송 패널(122)과, 상기 이송 패널(122) 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈(110)에 의해 부상된 기판(10)의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척(124, 126)과, 상기 이송 패널(122)을 상기 기판 이송 방향으로 수평 이동시키는 수평 구동부(128)를 포함할 수 있다.2, the substrate transfer module 120 includes a transfer panel 122 extending in the transfer direction of the substrate 10 between the first and second air floating panels 112 and 114, At least one vacuum chuck 124 and 126 disposed on the transfer panel 122 for holding the lower surface of the substrate 10 lifted by the air floating module 110, And a horizontal driving unit 128 which horizontally moves in the conveying direction.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 패널(122)은 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 길게 연장하는 직사각 형태를 가질 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 수평 구동부(128)는 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 연장하는 선형 가이드 레일과, 상기 선형 가이드 레일에 이동 가능하게 결합되는 가동 블록과, 회전력을 제공하는 모터와, 상기 모터에 결합된 볼 스크루 및 상기 볼 스크루의 회전에 의해 수평 방향으로 이동되는 볼 너트 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 이송 패널(122)은 상기 가동 블록 상에 장착되어 상기 선형 가이드 레일을 따라 안내되고 상기 볼 너트와 결합될 수 있다. 그러나, 상기와 같은 수평 구동부(128)의 세부 구성은 다양하게 변경 가능하므로 상기 수평 구동부(128)의 세부 구성에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.According to an embodiment of the present invention, the transfer panel 122 may have a rectangular shape extending long along the conveying direction of the substrate 10. Although not shown in detail, the horizontal driving unit 128 includes a linear guide rail extending along the conveying direction of the substrate 10, a movable block movably coupled to the linear guide rail, a motor A ball screw coupled to the motor, and a ball nut that is moved in a horizontal direction by rotation of the ball screw. The transfer panel 122 may be mounted on the movable block, And can be engaged with the ball nut. However, since the detailed configuration of the horizontal driving unit 128 may be variously changed, the scope of the present invention is not limited by the detailed configuration of the horizontal driving unit 128.

또한 일 예로서, 상기 이송 패널(122) 상에는 상기 부상된 기판(10)의 전방측 하면 부위를 파지하는 제1 진공척(124)과 상기 부상된 기판(10)의 후방측 하면 부위를 파지하는 제2 진공척(126)이 배치될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 및 제2 진공척들(124, 126)은 진공 펌프 등을 포함하는 진공 모듈(미도시)과 연결될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 진공척들(124, 126)의 상부에는 상기 기판(10)을 진공 흡착하기 위한 복수의 진공홀들이 구비될 수 있다.In an exemplary embodiment, the transfer panel 122 may include a first vacuum chuck 124 for gripping a front lower surface of the floating substrate 10, and a second vacuum chuck 124 for holding a rear lower surface of the floating substrate 10 A second vacuum chuck 126 may be disposed. Although not shown in detail, the first and second vacuum chucks 124 and 126 may be connected to a vacuum module (not shown) including a vacuum pump, and the first and second vacuum chucks 124 and 126 126 may be provided with a plurality of vacuum holes for vacuum adsorption of the substrate 10.

다시 도 1을 참조하면, 상기 검사 모듈(190)은 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 이송되는 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위한 적어도 하나의 스캔 카메라(192)를 포함할 수 있다. 도시된 바에 의하면, 3개의 스캔 카메라(192)가 구비되고 있으나 상기 스캔 카메라(192)의 개수는 다양하게 변경될 수 있으며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.Referring again to FIG. 1, the inspection module 190 may include at least one scan camera 192 for detecting defects on the substrate 10 transported by the substrate transport module 120. Although there are three scan cameras 192, the number of the scan cameras 192 may be variously changed, so that the scope of the present invention is not limited thereto.

상기 스캔 카메라(192)는 상기 에어 부상 모듈(110)의 상부에서 상기 기판(10)의 이송 방향에 대하여 수직 방향으로 연장하는 브리지 구조물(194)에 장착될 수 있으며, 상기 브리지 구조물(194)의 길이 방향 즉 상기 기판(10)의 이송 방향에 직교하는 제2 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 기판(10)은 상기 검사 공정을 수행하는 동안 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 왕복 이동될 수 있으며, 상기 스캔 카메라(192)는 상기 브리지 구조물(194) 상에서 그 위치가 조절될 수 있다.The scan camera 192 may be mounted on a bridge structure 194 extending vertically with respect to the direction of transport of the substrate 10 at an upper portion of the air floating module 110, In the longitudinal direction, that is, in the second horizontal direction orthogonal to the transport direction of the substrate 10. [ The substrate 10 may be reciprocated along the transport direction of the substrate 10 during the inspection process and the scan camera 192 may be adjusted in position on the bridge structure 194 .

한편, 도시되지는 않았으나, 상기 기판(10)은 상기 기판(10)의 이송 방향으로 상기 기판 검사 장치(100)와 인접하게 배치되는 기판 이송 롤러들(미도시)에 의해 상기 에어 부상 모듈(110) 상으로 이송될 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)에는 제1 개구들(116)이 구비될 수 있으며, 상기 제1 개구들(116) 내에는 상기 기판 이송 롤러들에 의해 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)의 상부로 이송되는 기판(10)을 지지하기 위한 복수의 서포트 롤러들(130)이 배치될 수 있다.Although not shown, the substrate 10 is supported by substrate transfer rollers (not shown) disposed adjacent to the substrate inspection apparatus 100 in the transfer direction of the substrate 10, ). ≪ / RTI > At this time, the first and second air floating panels 112 and 114 may be provided with first openings 116, and the first openings 116 may be formed by the substrate transfer rollers, A plurality of support rollers 130 may be disposed to support the substrate 10 transported to the upper portions of the first and second air floating panels 112 and 114.

또한, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 서포트 롤러들(130)은 상기 제1 개구들(116) 내에서 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 검사 장치(100)는 상기 서포트 롤러들(130) 상에 지지된 기판(10)을 상기 에어 부상 모듈(110) 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들(130)을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부(132; 도 3 참조)를 포함할 수 있다.Also, although not shown in detail, the support rollers 130 may be configured to be movable in the vertical direction within the first openings 116. [ According to an embodiment of the present invention, the apparatus for inspecting a substrate 100 may include a support roller 130 for supporting a substrate 10 supported on the support rollers 130 on the air floating module 110, 130) vertically downward in the vertical direction (see FIG. 3).

일 예로서, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 수직 구동부(132)로는 공압 실린더가 사용될 수 있다. 그러나, 상기 수직 구동부(132)의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.As an example, although not shown in detail, a pneumatic cylinder may be used as the vertical driving part 132. [ However, since the configuration of the vertical driver 132 may be variously modified, the scope of the present invention is not limited thereto.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수직 구동부(132)에 의해 상기 서포트 롤러들(130) 상에 지지된 기판(10)이 하강되는 동안 상기 기판(10)을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 복수의 정렬 유닛들(140)이 구비될 수 있다. 상기 정렬 유닛들(140)은 상기 기판(10)이 하강되는 동안 상기 기판(10)의 중심을 향하여 상기 기판(10)의 측면들을 밀어주는 기능을 수행할 수 있으며, 이에 의해 상기 기판(10)이 상기 기 설정된 위치에 정렬될 수 있다.Particularly, according to an embodiment of the present invention, while the substrate 10 supported on the support rollers 130 is lowered by the vertical driving part 132, the substrate 10 is aligned in a predetermined position A plurality of alignment units 140 may be provided. The alignment units 140 may function to push the sides of the substrate 10 toward the center of the substrate 10 while the substrate 10 is lowered, May be aligned at the predetermined position.

상기와 같은 기판(10)의 정렬 단계는 상기 기판(10)이 상기 에어 부상 모듈(110) 상에 위치되는 과정에서 수행되므로 상기 기판(10)의 정렬을 위한 별도의 시간이 요구되지 않는다. 따라서, 상기 기판(10)의 검사에 소요되는 전체 시간이 크게 단축될 수 있다.Since the alignment of the substrate 10 is performed in the process of positioning the substrate 10 on the air floating module 110, a separate time for alignment of the substrate 10 is not required. Therefore, the total time required for inspecting the substrate 10 can be significantly shortened.

도 3은 도 1에 도시된 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.3 is a schematic structural view for explaining the alignment unit shown in Fig.

도 3을 참조하면, 상기 각각의 정렬 유닛(140)은 상기 기판(10)의 측면에 밀착되며 하방으로 점차 직경이 감소하는 정렬 롤러(142)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 각각의 정렬 유닛들(140)은 상기 정렬 롤러(142)가 회전 가능하게 장착되는 정렬축(144)과, 상기 정렬축(144)이 수직 방향으로 이동 가능하게 삽입되는 가이드 홀이 구비된 프레임(146)과, 상기 정렬 롤러(142)와 프레임(146) 사이에 배치되며 상기 정렬 롤러(142)가 상기 프레임(146)에 대하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 지지하는 탄성 부재(148)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, each of the alignment units 140 may include an alignment roller 142 which is in close contact with a side surface of the substrate 10 and whose diameter gradually decreases downward. Each alignment unit 140 includes an alignment shaft 144 on which the aligning roller 142 is rotatably mounted and a guide hole through which the aligning shaft 144 is vertically movably inserted And an elastic member 148 disposed between the alignment roller 142 and the frame 146 and supporting the alignment roller 142 so as to be movable in the vertical direction with respect to the frame 146, .

예를 들면, 상기 정렬 롤러(142)의 하부 직경은 상기 정렬 롤러(142)의 상부 직경보다 수 mm 정도 작게 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 정렬 롤러(142)의 하부 직경은 상기 정렬 롤러(142)의 상부 직경보다 약 1 mm 정도 작게 구성될 수 있다.For example, the lower diameter of the aligning roller 142 may be configured to be several millimeters smaller than the upper diameter of the aligning roller 142. For example, the lower diameter of the aligning roller 142 may be about 1 mm smaller than the upper diameter of the aligning roller 142.

또한, 상기 정렬 롤러(142)는 베어링(150)을 통하여 상기 정렬축(144)에 회전 가능하게 장착될 수 있으며, 상기 프레임(146)의 가이드 홀에는 상기 정렬축(144)을 수직 방향으로 안내하는 부싱(152)이 삽입될 수 있다. 상기 부싱(152)에 삽입된 정렬축(144)은 상기 부싱(152) 내에서 수직 방향으로 이동될 수 있다. 특히, 상기 부싱(152)은 상기 정렬축(144)의 수직 방향 이동만을 허용하고 수평 방향으로의 흔들림 등을 방지하기 위하여 사용될 수 있다.The aligning roller 142 may be rotatably mounted on the aligning shaft 144 through a bearing 150 and the aligning shaft 144 may be vertically guided in the guide hole of the frame 146. [ A bushing 152 may be inserted. The alignment shaft 144 inserted in the bushing 152 can be moved in the vertical direction within the bushing 152. In particular, the bushing 152 may be used to allow only the vertical movement of the alignment shaft 144 and to prevent shaking in the horizontal direction.

상기 탄성 부재(148)로는 상기 정렬축(144)을 감싸도록 배치된 코일 스프링이 사용될 수 있으며, 상기 정렬축(144)의 하단부에는 상기 탄성 부재(148)의 탄성 복원력에 의한 상기 정렬축(144)의 상승을 제한하기 위한 스토퍼(154)가 결합될 수 있다.A coil spring arranged to surround the alignment shaft 144 may be used as the elastic member 148 and the alignment shaft 144 due to the elastic restoring force of the elastic member 148 may be provided at the lower end of the alignment shaft 144. [ A stopper 154 for restricting the upward movement of the stopper 154 may be coupled.

상기 각각의 정렬 유닛(140)은 상기 정렬 롤러(142)를 수직 및 수평 방향으로 이동시키기 위한 정렬 구동부(160)를 포함할 수 있다. 상기 정렬 구동부(160)는 도시된 바와 같이 수평 방향 및 수직 방향 각각의 구동을 위한 수평 정렬 구동부(162)와 수직 정렬 구동부(164)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 수평 및 수직 정렬 구동부들(162, 164)은 각각 공압 실린더로 이루어질 수 있으나, 상기 수평 및 수직 정렬 구동부들(162, 164)의 세부 구성은 다양하게 변경될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.Each of the aligning units 140 may include an aligning driver 160 for moving the aligning roller 142 in the vertical and horizontal directions. The alignment driver 160 may include a horizontal alignment driver 162 and a vertical alignment driver 164 for driving the pixels in the horizontal direction and the vertical direction, respectively. For example, the horizontal and vertical alignment drivers 162 and 164 may each be a pneumatic cylinder, but the detailed configuration of the horizontal and vertical alignment drivers 162 and 164 may be variously modified, The scope of the present invention is not limited thereto.

한편, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)에는 상기 정렬 유닛들(140) 중 일부가 통과되는 제2 개구들(118)이 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 개구들(118)은 상기 정렬 유닛들(140) 중에서 상기 기판(10)의 전방 측면에 대응하는 정렬 유닛들(140)을 수직 방향으로 통과시키기 위하여 사용될 수 있다.The first and second air floating panels 112 and 114 may include second openings 118 through which some of the alignment units 140 pass. In particular, the second openings 118 may be used to vertically pass alignment units 140 corresponding to the front side of the substrate 10 among the alignment units 140.

도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 정렬 유닛들을 이용하여 기판을 정렬하는 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.FIGS. 4 and 5 are schematic diagrams for explaining a method of aligning a substrate using the alignment units shown in FIG.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 기판(10)이 상기 서포트 롤러들(130) 상에 로드된 후 상기 정렬 유닛들(140)은 상기 기판(10)을 정렬하기 위하여 상기 기판(10)의 측면들을 향하여 수평 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 수직 구동부(130)는 상기 에어 부상 모듈(10) 상에 상기 기판(10)을 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들(130)을 하강시킬 수 있다.4 and 5, after the substrate 10 is loaded on the support rollers 130, the alignment units 140 may be positioned on the support rollers 130 to align the substrate 10 And the vertical driving part 130 may lower the support rollers 130 to position the substrate 10 on the air floating module 10. [

상기 정렬 유닛들(140)의 정렬 롤러들(142)은 상기 기판(10)의 측면들에 밀착될 수 있으며 도 5에 도시된 바와 같이 상기 기판(10)의 자중에 의해 상기 기판(10)과 함께 하강될 수 있다. 특히, 상기 기판(10)의 정렬 및 상기 기판(10)의 하강은 동시에 이루어질 수 있으며, 이에 따라 상기 기판(10)의 정렬에 별도의 시간이 요구되지 않는다.Alignment rollers 142 of the aligning units 140 may be in close contact with the sides of the substrate 10 and may be separated from the substrate 10 by the weight of the substrate 10, Can be lowered together. In particular, the alignment of the substrate 10 and the lowering of the substrate 10 can be done at the same time, so that no extra time is required to align the substrate 10.

상기와 같이 기판(10)의 정렬 및 하강이 완료된 후 상기 정렬 유닛들(140)은 상기 기판(10)으로부터 멀어지는 방향으로 각각 수평 이동될 수 있으며, 이어서 상기 기판(10)의 이송에 간섭되지 않도록 수직 하방으로 이동될 수 있다.After alignment and descent of the substrate 10 are completed as described above, the aligning units 140 can be horizontally moved in the direction away from the substrate 10, respectively, and are then prevented from interfering with the conveyance of the substrate 10 It can be moved vertically downward.

도 6은 도 3에 도시된 정렬 유닛들을 이용하여 기판을 정렬하는 방법의 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.Fig. 6 is a schematic view for explaining another example of a method of aligning a substrate using the alignment units shown in Fig. 3;

도 6을 참조하면, 상기 기판(10)이 상기 서포트 롤러들(130) 상으로 이동된 후 상기 정렬 유닛들(140)은 상기 기판(10)의 측면들을 향하여 수평 이동될 수 있다. 그러나, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 정렬 유닛들(140) 중 일부가 나머지 정렬 유닛들(140)보다 먼저 상기 기판(10)의 측면에 밀착될 수 있다.Referring to FIG. 6, after the substrate 10 is moved onto the support rollers 130, the alignment units 140 may be moved horizontally toward the sides of the substrate 10. However, as shown in FIG. 6, some of the alignment units 140 may be in close contact with the side surfaces of the substrate 10 before the remaining alignment units 140.

이때, 상기 정렬 유닛들(140)의 수평 이동과 대략 동시에 상기 서포트 롤러들(130)이 상기 수직 구동부(132)에 의해 하강될 수 있다. 이 경우 상기 기판(10)은 자중에 의해 하강될 수 있으나, 상기 기판(10)의 측면들이 모두 상기 정렬 롤러들(142)에 밀착된 상태가 아니므로 상기 정렬 롤러들(142)은 하강되지 않는다.At this time, the support rollers 130 can be lowered by the vertical driving unit 132 substantially simultaneously with the horizontal movement of the aligning units 140. In this case, the substrate 10 can be lowered by its own weight, but the alignment rollers 142 are not lowered since the side surfaces of the substrate 10 are not in close contact with the alignment rollers 142 .

한편, 상기와 같이 정렬 롤러들(142)이 하강되지 않는 경우라도 상기 정렬 롤러들(142)이 하방으로 점차 감소되는 직경을 가지므로 상기 기판(10)의 측면들과 상기 정렬 롤러들(142)의 외측면 사이에서 마찰 저항이 발생되지 않으며, 이에 따라 상기 기판(10)의 하강이 안정적으로 이루어질 수 있다.Even if the aligning rollers 142 are not lowered as described above, since the aligning rollers 142 have a downwardly decreasing diameter, the side surfaces of the substrate 10, No frictional resistance is generated between the outer surface of the substrate 10 and the lower surface of the substrate 10.

또한, 상기와 같이 정렬 롤러들(142)이 하강되지 않는 경우라도 상기 정렬 롤러들(142)은 상기 기판(10)의 정렬을 위하여 상기 기판(10)의 측면들을 향하여 수평 이동되는 상태이므로 상기 기판(10)이 상기 에어 부상 모듈(110) 상에 위치되는 동안 즉 상기 기판(10)이 하강되는 동안 상기 기판(10)의 정렬이 완료될 수 있다.Even if the aligning rollers 142 are not lowered as described above, the aligning rollers 142 are horizontally moved toward the side surfaces of the substrate 10 for alignment of the substrate 10, Alignment of the substrate 10 can be completed while the substrate 10 is positioned on the air floating module 110, that is, while the substrate 10 is being lowered.

상기와 같이 기판(10)이 상기 에어 부상 모듈(110) 상에 로드된 후 상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 기판(10)을 상기 기판의 이송 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 검사 모듈(190)은 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 이동되는 상기 기판(10) 상의 결함을 검출할 수 있다.After the substrate 10 is loaded on the air floating module 110 as described above, the substrate transfer module 120 can move the substrate 10 in the transfer direction of the substrate, and the inspection module 190 May detect defects on the substrate 10 that are moved by the substrate transfer module 120.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 서포트 롤러들(130)이 에어 부상 모듈(110)의 제1 개구(116)를 통해 상방으로 돌출된 상태에서 기판(10)이 상기 서포트 롤러들(130) 상으로 이동될 수 있으며, 이어서 수직 구동부(132)에 의해 상기 서포트 롤러들(130)이 하강함에 따라 상기 기판(10)이 상기 에어 부상 모듈 상에 위치될 수 있다.The support rollers 130 protrude upward through the first openings 116 of the air floating module 110 so that the substrate 10 is supported by the support rollers 130. In this case, The substrate 10 can be moved on the air lifting module 130 and the substrate 10 can be positioned on the air floating module as the support rollers 130 are lowered by the vertical driving part 132. [

특히, 상기 기판(10)이 상기 에어 부상 모듈(110) 상으로 하강되는 동안 정렬 유닛들(140)은 상기 기판(10)의 측면들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판(10)을 정렬시킬 수 있다. 한편, 상기 정렬 유닛들(140)의 정렬 롤러들(142)이 상기 기판(10)의 측면들에 모두 밀착되지 않는 경우라도 상기 정렬 롤러들(142)이 하방으로 점차 감소되는 직경을 가지므로 상기 기판(10)과 상기 정렬 롤러들(142) 사이에서 마찰 저항이 발생되지 않으며, 이에 따라 상기 기판(10)의 안정적이 하강 및 정렬이 가능하다.The alignment units 140 may align the substrate 10 at a predetermined location by pushing the sides of the substrate 10 while the substrate 10 is being lowered onto the air floating module 110 . Even if the alignment rollers 142 of the aligning units 140 are not closely contacted to the side surfaces of the substrate 10, since the aligning rollers 142 have a diameter that gradually decreases downward, Frictional resistance is not generated between the substrate 10 and the aligning rollers 142, and thus the substrate 10 can be stably lowered and aligned.

상기한 바와 같이 상기 기판(10)의 정렬이 상기 에어 부상 모듈(110) 상으로 상기 기판(10)이 로드되는 동안에 수행될 수 있으므로 상기 기판(10)의 정렬을 위한 별도의 시간이 요구되지 않는다. 따라서, 상기 기판(10)에 대한 검사 공정에 소요되는 시간이 전체적으로 크게 감소될 수 있다.As described above, since the alignment of the substrate 10 can be performed while the substrate 10 is loaded onto the air floating module 110, no extra time is required for alignment of the substrate 10 . Therefore, the time required for the inspection process for the substrate 10 can be largely reduced.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims It can be understood that

10 : 기판 100 : 검사 장치
110 : 에어 부상 모듈 112, 114 : 에어 부상 패널
116 : 제1 개구 118 : 제2 개구
120 : 기판 이송 모듈 122 : 이송 패널
124, 126 : 진공척 128 : 수평 구동부
130 : 서포트 롤러 132 : 수직 구동부
140 : 정렬 유닛 142 : 정렬 롤러
144 : 정렬축 146 : 프레임
148 : 탄성 부재 150 : 베어링
152 : 부싱 154 : 스토퍼
160 : 정렬 구동부 190 : 검사 모듈10: substrate 100: inspection device
110: air floating module 112, 114: air floating panel
116: first opening 118: second opening
120: substrate transfer module 122: transfer panel
124, 126: vacuum chuck 128: horizontal driving part
130: Support roller 132: Vertical driving part
140: alignment unit 142: alignment roller
144: alignment axis 146: frame
148: elastic member 150: bearing
152: Bushing 154: Stopper
160: alignment driver 190: inspection module

Claims (10)

기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈;
상기 에어 부상 모듈에 형성된 제1 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하며 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판을 지지하는 복수의 서포트 롤러들;
상기 서포트 롤러들 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부;
상기 에어 부상 모듈 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에서 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈; 및
상기 수직 구동부에 의해 상기 기판이 하강되는 동안 상기 기판의 측면 부위들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판이 위치되도록 정렬하는 복수의 정렬 유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.An air floating module for blowing air to the lower surface of the substrate to float the substrate;
A plurality of support rollers movable in a vertical direction through first openings formed in the air floating module and supporting a substrate transferred onto the air floating module;
A vertical driving part for lowering the support rollers in a vertical direction to position a substrate positioned on the support rollers on the air floating module;
A substrate transfer module for horizontally moving a substrate positioned on the air floating module on the air floating module; And
And a plurality of alignment units arranged to slide the side portions of the substrate while the substrate is being lowered by the vertical driving unit to align the substrate in a predetermined position. 제1항에 있어서, 각각의 정렬 유닛은 상기 기판의 측면에 밀착되며 하방으로 점차 직경이 감소하는 정렬 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.2. The substrate transporting apparatus according to claim 1, wherein each alignment unit includes an alignment roller which is in close contact with a side surface of the substrate and whose diameter gradually decreases downward. 제2항에 있어서, 상기 각각의 정렬 유닛은,
상기 정렬 롤러가 회전 가능하게 장착되는 정렬축;
상기 정렬축이 수직 방향으로 이동 가능하게 삽입되는 가이드 홀이 구비된 프레임; 및
상기 정렬 롤러와 상기 프레임 사이에 배치되며 상기 정렬 롤러가 수직 방향으로 이동 가능하도록 지지하는 탄성 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.3. The apparatus of claim 2, wherein each alignment unit comprises:
An alignment axis on which the alignment roller is rotatably mounted;
A frame having a guide hole through which the alignment axis is inserted movably in a vertical direction; And
And an elastic member disposed between the alignment roller and the frame and supporting the alignment roller so as to be movable in a vertical direction. 제3항에 있어서, 상기 가이드 홀에는 부싱이 삽입되며 상기 정렬축은 상기 부싱에 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.4. The substrate transfer apparatus according to claim 3, wherein a bushing is inserted into the guide hole and the alignment shaft is inserted into the bushing. 제3항에 있어서, 상기 탄성 부재는 상기 정렬축을 감싸도록 배치된 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The substrate feeding apparatus according to claim 3, wherein the elastic member is a coil spring arranged to surround the alignment axis. 제3항에 있어서, 상기 각각의 정렬 유닛은 상기 프레임과 연결되어 상기 정렬 롤러를 수직 및 수평 방향으로 이동시키기 위한 정렬 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.4. The substrate transporting apparatus according to claim 3, wherein each of the alignment units further includes an alignment driver connected to the frame to move the alignment roller in the vertical and horizontal directions. 제6항에 있어서, 상기 에어 부상 모듈에는 상기 정렬 유닛들 중 일부가 통과되는 복수의 제2 개구들이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.7. The substrate transfer apparatus of claim 6, wherein the air floating module is provided with a plurality of second openings through which some of the alignment units pass. 제1항에 있어서, 상기 기판 이송 모듈은,
이송 패널;
상기 이송 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척; 및
상기 이송 패널을 수평 이동시키는 수평 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.2. The apparatus of claim 1, wherein the substrate transfer module comprises:
Transfer panel;
At least one vacuum chuck disposed on the transfer panel and holding a bottom surface of the substrate floating by the air floating module; And
And a horizontal driving unit for horizontally moving the transfer panel. 제8항에 있어서, 상기 에어 부상 모듈은 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들을 포함하며, 상기 이송 패널은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들 사이에서 길게 연장하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.9. The apparatus of claim 8, wherein the air floating module comprises first and second air floating panels extending parallel to each other, the transfer panel extending long between the first and second air floating panels . 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈;
상기 에어 부상 모듈에 형성된 제1 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되며 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판을 지지하는 복수의 서포트 롤러들;
상기 서포트 롤러들 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에 위치시키기 위하여 상기 서포트 롤러들을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부;
상기 에어 부상 모듈 상에 위치된 기판을 상기 에어 부상 모듈 상에서 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈;
상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈; 및
상기 수직 구동부에 의해 상기 기판이 하강되는 동안 상기 기판의 측면 부위들을 밀어서 기 설정된 위치에 상기 기판이 위치되도록 정렬하는 복수의 정렬 유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.An air floating module for blowing air to the lower surface of the substrate to float the substrate;
A plurality of support rollers configured to be movable in a vertical direction through first openings formed in the air floating module and supporting the substrate transferred onto the air floating module;
A vertical driving part for lowering the support rollers in a vertical direction to position a substrate positioned on the support rollers on the air floating module;
A substrate transfer module for horizontally moving a substrate positioned on the air floating module on the air floating module;
An inspection module disposed on the air floating module for detecting a defect of the substrate moved by the substrate transfer module; And
And a plurality of alignment units arranged to slide the side portions of the substrate while the substrate is being lowered by the vertical driving unit to align the substrate in a predetermined position.
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