KR20180135580A - Turnover type display cell test equipment and controlling method for the same - Google Patents

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KR20180135580A
KR20180135580A KR1020170073755A KR20170073755A KR20180135580A KR 20180135580 A KR20180135580 A KR 20180135580A KR 1020170073755 A KR1020170073755 A KR 1020170073755A KR 20170073755 A KR20170073755 A KR 20170073755A KR 20180135580 A KR20180135580 A KR 20180135580A
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Abstract

The present invention relates to turnover type display cell test equipment in which a panel is inverted to test the image quality and electrical characteristics of a cell after a sealing process and a control method thereof. According to one embodiment of the present invention, the turnover type display cell test equipment comprises: a frame; an index robot arm carrying a panel in which a plurality of display cells are arranged in a horizontal state; a turnover module adsorbing and fixing a substrate carried from the index robot arm by being provided in the frame and rotating the substrate so that upper and lower surfaces are overturned; and a stage unit provided in the frame so that the stage unit is horizontally, vertically, and rotationally moved and adsorbing and fixing an inverted panel to move the inverted panel in a turnover mechanism.

Description

턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법{TURNOVER TYPE DISPLAY CELL TEST EQUIPMENT AND CONTROLLING METHOD FOR THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a display cell inspection apparatus and a control method thereof,

본 발명은 디스플레이 셀의 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 봉지공정 후에 셀의 화질 및 전기적 특성을 검사하기 위해 패널을 반전시켜 검사하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an inspection apparatus for a display cell, and more particularly, to a display cell inspection apparatus and a control method thereof for a turn-over system in which a panel is inverted for inspecting image quality and electrical characteristics of a cell after an encapsulating process .

근래에 들어 액정 디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display)패널이나, 유기발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diode)방식의 디스플레이패널 등 평판 디스플레이가 널리 사용되고 있으며, 수용의 증가에 따라 그 제작 수량도 늘어나고 있다.In recent years, flat panel displays such as liquid crystal display (LCD) panels and organic light-emitting diode (OLED) display panels have been widely used.

이때 상기와 같은 평판 디스플레이 패널은 제조 과정에서 불량 유무를 검사하여 후속 공정을 진행하는데, 그 중 OLED 방식의 디스플레이 패널은 봉지 공정(Encapsulation) 전에 점등 검사과정을 수행하게 된다.At this time, the flat panel display panel as described above is inspected for defects during the manufacturing process, and a subsequent process is performed. Among them, the OLED display panel performs a lighting inspection process before encapsulation.

종래에는 유기재료를 보호하기 위한 봉지층의 소재로 유리나 박막필름이 사용되나 현재에는 소재소요량을 절감할 수 있는 인쇄공정(Screen Printing) 가 이용된다.Conventionally, a glass or a thin film is used as a material of a sealing layer for protecting an organic material, but a printing process (Screen Printing) which can reduce a material requirement is used.

일반적으로 OLED 디스플레이 패널과 같은 평판 표시 패널에 대한 검사에서는, OLED 디스플레이 패널의 단자들에 전기 신호를 인가한다. 이때 그 전기 신호는 단자들과 접촉하는 프로브(Probe)를 통해서 OLED 패널에 인가된다.In general, inspection for a flat panel display panel, such as an OLED display panel, applies an electrical signal to the terminals of the OLED display panel. At this time, the electric signal is applied to the OLED panel through a probe which is in contact with the terminals.

또한 단자들은 OLED 디스플레이 패널에 위치된 각각의 셀 가장자리에 배치되는 것이 일반적이다. 이에 따라 각각의 셀에 배치된 단자들과 정확하게 접촉하여, 피검체인 셀들의 전기적 특성을 정확하게 파악할 수 있는 검사장치가 요구되어 왔다.It is also common for the terminals to be disposed at the edge of each cell located in the OLED display panel. Accordingly, there has been a demand for an inspection apparatus that can accurately contact the terminals disposed in each cell and accurately grasp the electrical characteristics of the cells under test.

더불어, 최근에는 봉지 공정 전에 점등검사를 수행하는것 이외 봉지공정 이후에도 점등검사하는 기술이 필요해지고 있다.In addition, recently, there has been a need for techniques for lighting inspection after the sealing process, other than performing the lighting inspection before the sealing process.

봉지공전 전 종래 검사장치의 경우, 디스플레이 패널의 증착면이 하단에 위치한 페이스 다운(Face Down)방식의 검사가 이루어지나 봉지공정 이후에는 증착면이 상단에 위치한 페이스 업(Face Up)방식의 검사방법이 필요하게 되는데, 종래의 검사장치는 이러한 페이스 업 방식의 검사는 수행할 수 없어 이를 해결할 새로운 검사장치가 요구된다.In the conventional inspection apparatus before sealing, a face-down type inspection in which the deposition surface of the display panel is located at the lower end is performed. After the sealing process, a face-up inspection method in which the deposition surface is located at the top A conventional inspecting apparatus can not perform such a face-up inspecting method, and a new inspecting apparatus for solving this problem is required.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로서, 페이스 업 방식의 검사를 수행할 수 있는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이 과제이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a turn-over type display cell inspection apparatus and a control method thereof that can perform a face-up type inspection.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 형태에 따르면, 프레임, 복수개의 디스플레이 셀이 배열되어 있는 패널을 수평상태로 반입하는 인덱스 로봇암, 상기 프레임 내에 구비되며 상기 인덱스 로봇암으로부터 반입된 기판을 흡착고정하고, 상면과 하면이 뒤집히도록 회전시키는 턴오버 모듈, 상기 프레임에 구비되어 수평 수직 및 회전이동하며, 상기 턴오버 기구에서 뒤집힌 상태의 패널을 흡착고정하여, 이동시키는 스테이지유닛을 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치가 개시된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an information processing apparatus including an index robot arm for carrying a frame, a panel having a plurality of display cells arranged in a horizontal state, And a stage unit provided on the frame to move horizontally and vertically and to move and fix the panel in an inverted state in the turnover mechanism A display cell inspection apparatus of a turn-over type is disclosed.

상기 턴오버 모듈은, 서로 마주보게 배치된 한 쌍의 기둥, 앙 단이 상기 한 쌍의 기둥에 각각 회전 가능하게 배치된 축, 상기 축에 결합되며, 글래스 기판이 안착되어 정렬되는 얼라인 플레이트, 상기 얼라인 플레이트와의 사이에 상기 인덱스 로봇암 및 인덱스 로봇암에 얹힌 패널이 반입되도록, 상기 얼라인 플레이트의 일면과 이격되어 마주보도록 배치되며, 반입된 패널을 흡착고정하는 흡착 포크, 상기 축을 회전시키는 모터를 포함할 수 있다.The turnover module may include a pair of columns disposed opposite to each other, a shaft rotatably disposed on the pair of columns, an alignment plate coupled to the shaft and aligned with the glass substrate, A suction fork arranged to be opposite to the one surface of the alignment plate so that the panel mounted on the index robot arm and the index robot arm is carried between the alignment plate and the indexing robot arm so as to face each other, And a motor for driving the motor.

상기 흡착포크는, 서로 마주보도록 배치되며, 흡착홀이 형성된 적어도 한 쌍의 흡착바아, 상기 흡착바아와 상기 얼라인 플레이트와의 간격을 조절하며, 상기 흡착 바아를 상기 얼라인 플레이트에 고정시키는 업다운 유닛; 상기 흡착바아 간의 수평 간격을 조절하는 흡착바아 간격조절유닛을 포함할 수 있다.Wherein the adsorbing cloth comprises at least a pair of adsorption bars disposed opposite to each other and having adsorption holes formed therein, an up-down unit for adjusting an interval between the adsorption bar and the aline plate, and fixing the adsorption bar to the aline plate; And an adsorption bar gap adjusting unit for adjusting a horizontal interval between the adsorption bars.

상기 흡착바아의 최대 이격간격은 상기 패널의 폭보다 크도록 구비될 수 있다.The maximum spacing distance of the adsorption bars may be greater than the width of the panel.

상기 턴오버 모듈은, 상기 프레임과 기둥 사이에 구비되며, 상기 기둥을 승강시켜 높이를 조절하는 높이조절유닛을 더 포함할 수 있다.The turn-over module may further include a height adjusting unit provided between the frame and the column, the height adjusting unit elevating and lowering the column.

상기 인덱스 로봇암이 반입되는 측의 상기 얼라인 플레이트와 흡착포크 사이가 개구되도록, 상기업다운 유닛 및 흡착바아 간격조절유닛은 상기 인덱스 로봇암이 진입되는 측의 반대측에 구비될 수 있다.The up-down unit and the adsorption-bar interval adjusting unit may be provided on the opposite side of the index robot arm from which the index robot arm is inserted, so that the indexing robot arm is opened between the alignment plate and the adsorption fork.

상기 얼라인 플레이트에 안착된 패널의 대각선으로 서로 마주보는 모서리 부위에 대응되는 얼라인 플레이트의 적어도 2개소에 구비되며, 안착된 패널을 정렬하는 패널 센터링 유닛을 더 포함할 수 있다.And a panel centering unit provided at at least two positions of the alignment plates corresponding to the corner portions facing each other diagonally with respect to the panel mounted on the alignment plate, the panel centering unit aligning the mounted panels.

상기 패널 센터링 유닛은, 상기 얼라인 플레이트의 중심점을 향하여 수평방향으로 신축 가능하게 구비되는 피스톤, 상기 피스톤에 구비되며, 사이에 패널의 모서리가 위치되며, 상기 모서리의 각 변에 접촉되도록 이격되게 구비되는 한 쌍의 롤러를 포함할 수 있다.Wherein the panel centering unit comprises: a piston provided to extend and retract horizontally toward a center point of the aligning plate; a piston provided on the piston, the corner of the panel being positioned between the piston and the piston; And a pair of rollers.

한편, 상기 인덱스 로봇암의 반입방향이 상기 축의 길이방향과 평행한 방향으로 배치되고, 상기 인덱스 로봇암의 진입공간을 확보하도록 상기 기둥의 일부에, 상기 인덱스 로봇암 및 인덱스 로봇암에 얹힌 패널이 진입되는 개구부가 형성될 수도 있다.On the other hand, a panel mounted on the index robot arm and the index robot arm is disposed on a part of the column so as to secure the entry space of the index robot arm, the direction in which the index robot arm is carried is parallel to the longitudinal direction of the axis An opening to be introduced may be formed.

한편, 본 발명의 다른 형태에 따르면, 패널이 얹힌 인덱스 로봇암이 수평이동하여 턴오버 모듈의 얼라인 플레이트와 흡착포크의 사이로 진입하는 반입단계, 상기 턴오버 모듈의 흡착포크에 반입된 패널이 안착되어 흡착고정되는 제1안착단계, 축이 회전되어 상기 얼라인 플레이트와 흡착포크 및 안착된 패널의 상면과 하면이 반전되는 회전단계, 스테이지 유닛이 흡착위치로 이동하는 흡착위치 이동단계, 상기 흡착바아가 얼라인 유닛측으로 이동하도록 상기 흡착포크의 업다운 유닛이 작동되어 상기 패널이 얼라인 플레이트에 안착되는 안착단계, 상기 흡착포크의 흡착이 중지되며, 상기 흡착바아 간격조절유닛이 작동되어 상기 흡착바아의 수평간격이 이격되며, 상기 흡착바아의 업다운 유닛이 작동되어 상기 흡착바아가 얼라인 플레이트로부터 이격되는 이격단계, 패널 센터링 장치를 통해 얼라인 플레이트에 안착된 패널이 정렬되는 얼라인 단계, 상기 얼라인 플레이트에 안착된 패널이 상기 스테이지 유닛에 밀착되도록 높이조절유닛이 작동되는 밀착되어 상기 스테이지 유닛에 패널이 흡착고정되는 밀착단계, 상기 높이조절유닛이 작동되어 상기 얼라인 플레이트 및 흡착포크가 하강하는 이탈단계, 패널이 흡착고정된 스테이지 유닛이 검사위치로 이동되는 검사위치 이동단계, 검사위치로 이동된 스테이지 유닛이 하강되어 프로브 유닛과 패널의 전극패턴이 접촉되는 접촉단계를 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치의 제어방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a plasma display panel, comprising: a loading step in which an index robot arm on which a panel is mounted horizontally moves into a space between an alignment plate and a suction fork of a turnover module; A rotating stage in which the shaft is rotated to invert the top and bottom surfaces of the alignment plate and the adsorption fork and the mounted panel, an adsorption position moving step in which the stage unit moves to the adsorption position, Wherein the adsorption fork is adsorbed on the adsorbing fork and the adsorbing fork is adsorbed on the adsorption fork so that the adsorbing fork is adsorbed on the adsorbing fork, The horizontal spacing is spaced apart and the up-down unit of the adsorption bar is actuated such that the adsorption bar is spaced from the lined plate An aligning step of aligning the panel mounted on the alignment plate through the panel centering device, an aligning step of aligning the panel, which is seated on the alignment plate, with the alignment unit, A step of moving the stage unit in which the panel is suction-fixed to the inspection position, a step of moving to the inspection position, a step of moving the inspection unit to the inspection position, And a contact step in which the stage unit is lowered to contact the electrode pattern of the probe unit and the panel.

상기한 본 발명의 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법에 따르면, 페이스 업 방식의 검사를 수행할 수 있어 봉지공정 이후에 점등검사를 수행할 수 있는 효과가 있다.According to the turn-over display cell inspection apparatus and control method of the present invention, the face-up type inspection can be performed, and the lighting inspection can be performed after the sealing process.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

아래에서 설명하는 본 출원의 바람직한 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 바람직한 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치를 도시한 도면;
도 2는 도 1의 턴오버 모듈을 도시한 사시도;
도 3은 패널의 일 실시예를 도시한 도면
도 4는 도 1의 스테이지 유닛을 도시한 도면;
도 5는 도 1의 턴오버 모듈의 평면도;
도 6은 도 1의 턴오버 모듈의 측면도;
도 7은 패널이 안착된 상태의 얼라인 플레이트를 도시한 사시도;
도 8은 턴오버 모듈의 다른 변형예를 도시한 사시도;
도 9는 도 8의 턴오버 모듈이 적용된 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치의 평면도;
도 10은 도 1의 턴오버 모듈의 작동을 도시한 도면이다.The foregoing summary, as well as the detailed description of the preferred embodiments of the present application set forth below, may be better understood when read in conjunction with the appended drawings. For the purpose of illustrating the invention, there are shown preferred embodiments in the figures. It should be understood, however, that this application is not limited to the precise arrangements and instrumentalities shown.
FIG. 1 illustrates a display cell inspection apparatus of a turn-over type according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 2 is a perspective view of the turn-over module of FIG. 1; FIG.
Figure 3 is an illustration of one embodiment of a panel
Figure 4 shows the stage unit of Figure 1;
5 is a plan view of the turn-over module of FIG. 1;
Figure 6 is a side view of the turn-over module of Figure 1;
7 is a perspective view showing an alignment plate in a state where the panel is seated;
8 is a perspective view showing another modification of the turn-over module;
FIG. 9 is a plan view of a turn-over display cell inspection apparatus to which the turn-over module of FIG. 8 is applied; FIG.
10 is a diagram illustrating the operation of the turn-over module of FIG.

이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiment, the same designations and the same reference numerals are used for the same components, and further description thereof will be omitted.

본 실시예에 따른 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(101), 인덱스 로봇암(110), 턴오버 모듈(130), 스테이지 유닛(120), 및 프로브 유닛(150)을 포함할 수 있다.1, the display cell inspection apparatus according to the present embodiment includes a frame 101, an index robot arm 110, a turnover module 130, a stage unit 120, (150).

상기 프레임(101)은 후술하는 구성요소들이 설치되는 골조를 형성하며, 상기 골조 중에는 상측에 일방향으로 배치된 주행레일(103)을 포함할 수 있다.The frame 101 forms a frame to which the following components are installed, and the frame may include a running rail 103 arranged in one direction on the upper side.

상기 인덱스 로봇암(110)은 외부에서 패널(10)을 반입하는 구성요소로서, 도 2에 도시된 바와 같이, 패널(10)을 얹거나 흡착하여 이동시킬 수 있도록 서로 이격된 한 쌍의 반입포크(112) 및 상기 반입포크(112)를 연결하도록 상기 반입포크(112)의 단부에 형성된 연결부(114)를 포함하여 이루어져, 수평이동이 가능하게 구비될 수 있다.As shown in FIG. 2, the index robot arm 110 is a component for carrying the panel 10 from the outside. The index robot arm 110 includes a pair of receiving forks (not shown) spaced apart from each other And a connecting portion 114 formed at an end of the loading fork 112 to connect the loading fork 112 and the loading fork 112 to each other.

상기 패널(10)은 도 3에 도시된 바와 같이, 복수개의 디스플레이 셀(12)이 형성되어 있는 디스플레이의 원판으로서 복수 개의 디스플레이 셀(12)이 행렬을 맞춰 배열되도록 마련될 수 있다. 이 때, 상기 각 디스플레이 셀(12)은 전기적 신호가 입/출력되도록 일측면에 전극패턴(14)이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3, the panel 10 may be provided so that a plurality of display cells 12 are arranged in line with each other as an original plate of a display in which a plurality of display cells 12 are formed. At this time, the electrode patterns 14 may be formed on one side of each of the display cells 12 so that an electric signal is inputted / outputted.

상기 턴오버 모듈(130)은 상기 인덱스 로봇암(110)으로부터 패널(10)을 반입받아 이를 흡착고정한 상태에서 상기 패널(10)의 상면과 하면이 뒤집혀 반전되도록 회전시키는 구성요소이다.The turnover module 130 is a component that rotates the panel 10 so that the top and bottom surfaces of the panel 10 are turned upside down while the panel 10 is received from the index robot arm 110 by suction.

상기 스테이지 유닛(120)은 상기 프레임(101)의 주행레일(103)에 메달려 이동되며, 상기 턴오버 모듈(130)에서 반전된 패널(10)을 흡착고정하여 상기 패널(10)을 반입위치(105)에서 검사위치(106)로 이동시키는 구성요소이다.The stage unit 120 is moved to the running rail 103 of the frame 101 and the inverted panel 10 is sucked and fixed by the turnover module 130 to move the panel 10 to the loading position 105 to the inspection location 106. [

여기서, 상기 반입위치(105)란, 상기 패널(10)이 인덱스 로봇암(110)에 의해 상기 턴오버 모듈(130)로 반입되는 수평위치를 뜻한다. 그리고, 상기 검사위치(106)란 상기 스테이지 유닛(120)에 의해 이동되는 패널(10)이 상기 프로브 유닛(150) 등의 검사장비에 의해 검사가 이루어지는 수평위치를 뜻한다.Here, the carry-in position 105 means a horizontal position in which the panel 10 is brought into the turn-over module 130 by the index robot arm 110. The inspection position 106 refers to a horizontal position where the panel 10 moved by the stage unit 120 is inspected by an inspection device such as the probe unit 150.

이때, 상기 스테이지 유닛(120)은, 상기 패널(10)을 흡착고정하면서, 상기 패널(10)을 흡착고정하는 부분이 상기 주행레일(103)을 따라 수평이동되며, 또한, 상기 주행레일(103)과 직교하는 방향으로도 수평이동, 상하방향으로 수직이동 및 가상의 수직축을 기준으로 설치면과 수평하게 각도조절이 가능하도록 구비될 수 있다.At this time, the stage unit 120 moves horizontally along the running rail 103 while the panel 10 is being attracted and fixed while the panel 10 is attracted and fixed, and the moving rail 103 Vertical movement in the vertical direction, and horizontal adjustment of the installation surface with respect to the virtual vertical axis.

상기 프로브 유닛(150)은 상기 프레임(101)의 검사위치(106)에 설치되며, 상기 스테이지 유닛(120)에 흡착고정되어 이동된 패널(10)의 전극패턴(14)과 전기적으로 접촉되어 전기 및 전기적 신호를 인가하여 상기 디스플레이 셀(12)을 점등시킨 상태에서 전기적 특성을 검사하는 구성요소이다.The probe unit 150 is installed at the inspection position 106 of the frame 101 and is electrically contacted with the electrode pattern 14 of the panel 10 moved and fixed by the stage unit 120, And an electrical signal is applied to the display cell 12 to illuminate the display cell 12 to check electrical characteristics.

한편, 상기 검사위치(106)는 상기 프로브 유닛(150)등의 검사장비 등에 의해 검사가 이루어지는 위치를 뜻하는데, 본 실시예에서는 제1검사위치(107)와 제2검사위치(108)가 형성되는 것을 에로 들어 설명하기로 한다. 물론, 본 발명은 이에 한정된 것은 아니며, 상기 제1검사위치(107)와 제2검사위치(108) 외에 추가적인 검사위치가 형성될 수도 있으며, 제1검사위치(107) 단독으로 형성될 수도 있다.The inspection position 106 refers to a position where the inspection is performed by the inspection equipment such as the probe unit 150. In this embodiment, the first inspection position 107 and the second inspection position 108 are formed I will explain it with Eto. Of course, the present invention is not limited thereto, and additional inspection positions may be formed in addition to the first inspection position 107 and the second inspection position 108, or may be formed solely at the first inspection position 107.

상기 제1검사위치(107)에는 상기 프로브 유닛(150) 등이 설치되며, 상기 제1검사위치(107)의 일측에 형성된 제2검사위치(108)에는 현미경 유닛(170) 등이 설치될 수 있다.The probe unit 150 and the like may be installed in the first inspection position 107 and the microscope unit 170 may be installed in the second inspection position 108 formed on one side of the first inspection position 107 have.

또한, 상기 프로브 유닛(150)은 제1검사위치(107)에 고정설치되어, 상기 주행레일(103)을 따라 이동된 스테이지 유닛(120)이 하강함에 따라 상기 패널(10)의 전극패턴(14)과 전기적 접촉을 이룰 수 있다.The probe unit 150 is fixed to the first inspection position 107 and the stage unit 120 moved along the traveling rail 103 is lowered so that the electrode pattern 14 of the panel 10 ). ≪ / RTI >

상기 현미경 유닛(170)은 상기 패널(10)의 일부분을 확대관찰하여 정밀검사를 수행하는 구성요소이다.The microscope unit 170 is a component for magnifying and observing a part of the panel 10 to perform close inspection.

그리고, 상기 제1검사위치(107)에는 카메라 유닛(160)이 설치될 수 있다. 상기 카메라 유닛(160)은 상기 프로브 유닛(150)에 접촉되어 점등된 디스플레이 셀(12)을 촬영하여 정상적으로 점등이 이루어지는지를 검사하거나 또는, 상기 프로브 유닛(150)와 디스플레이 셀(12)의 전극패턴(14)이 정확하게 접촉하는지의 여부를 관찰하도록 구비될 수 있다.The camera unit 160 may be installed in the first inspection position 107. The camera unit 160 may be configured to detect whether the display unit 12 is normally turned on by photographing the display cell 12 that is illuminated by the probe unit 150, And whether or not the contact member 14 is in contact with the contact surface.

즉, 상기 스테이지 유닛(120)에 흡착되어 이동된 패널(10)과 상기 프로브 유닛(150)이 정확하게 접촉할 수 있도록, 상기 패널(10)에 형성된 얼라인 마크(미도시) 등의 센싱을 통해 패널(10)의 정확한 위치를 획득하고, 이를 바탕으로 프로브 유닛(150)과 전극패턴(14)을 정확하게 정렬시키기 위해 스테이지 유닛(120)의 위치를 조정하거나 또는 프로브 유닛(150)을 정렬시킬 수 있다.That is, by sensing the alignment mark (not shown) formed on the panel 10 so that the panel 10 moved by the stage unit 120 and moved to the probe unit 150 can be accurately contacted with each other The position of the stage unit 120 can be adjusted or the probe unit 150 can be aligned in order to accurately position the panel 10 and accurately align the probe unit 150 with the electrode pattern 14. [ have.

한편, 상기 프로브 유닛(150)도 정렬을 위한 소폭 이동이 가능하게 구비될 수 있으며, 본 실시예에서는 자세한 설명은 생략하기로 한다.Meanwhile, the probe unit 150 may be provided to be slightly movable for alignment, and a detailed description thereof will be omitted in the present embodiment.

상기 턴오버 모듈(130)은 전술한 바와 같이, 상기 인덱스 로봇암(110)으로부터 패널(10)을 반입받아 이를 흡착고정한 상태에서 상기 패널의 상면과 하면이 뒤집혀 반전되도록 회전시키는 구성요소로서, 도 2에 도시된 바와 같이, 기둥(132), 축(134), 얼라인 플레이트(135), 흡착포크(140) 및 모터(136)를 포함할 수 있다.As described above, the turnover module 130 is a component that rotates the panel 10 to be inverted by inverting the upper and lower surfaces of the panel in a state where the panel 10 is received from the index robot arm 110 by suction and fixing, The pillar 132, the shaft 134, the alignment plate 135, the adsorption fork 140, and the motor 136, as shown in FIGS.

상기 기둥(132)은 서로 마주보며 이격되게 배치될 수 있다. 이 때, 상기 기둥(132)이 이격되는 방향은 상기 인덱스 로봇암(110)이 반입되는 방향과 직교하는 방향일 수 있다.The pillars 132 may be spaced apart from each other. At this time, the direction in which the column 132 is separated may be perpendicular to the direction in which the index robot arm 110 is loaded.

그리고, 상기 축(134)은 양 단이 상기 각 기둥(132)에 각각 회전가능하게 결합될 수 있다.Both ends of the shaft 134 may be rotatably coupled to the pillars 132, respectively.

상기 얼라인 플레이트(135)는 상기 축(134)에 결합되어 축(134)과 함께 회전되며, 패널(10)이 안착되어 정렬되는 구성요소로서, 일반적으로 상기 패널(10)이 사각형의 형태를 가지고 잇으므로, 상기 얼라인 플레이트(135) 또한 상기 패널(10)의 형태와 유사하게 사각형태로 이루어질 수 있다. 그러나, 반드시 사각형태에 한정되는 것은 아니며, 여타 다른 형태로 이루어질 수 있다.The alignment plate 135 is a component that is coupled to the shaft 134 and rotates together with the shaft 134 so that the panel 10 is seated and aligned and generally the panel 10 has a rectangular shape The alignment plate 135 may also be formed in a rectangular shape similar to the shape of the panel 10. However, it is not necessarily limited to a square shape, but may be formed in other shapes.

그리고, 상기 흡착포크(140)는 상기 얼라인 플레이트(135)와의 사이에 상기 인덱스 로봇암(110) 및 패널(10)이 반입되도록, 상기 얼라인 플레이트(135)의 일면과 이격되어 마주보도록 배치되며, 상기 인덱스 로봇암(110)으로부터 반입된 패널(10)을 흡착고정하는 구성요소이다.The suction fork 140 is disposed so as to be spaced apart from one surface of the aligning plate 135 so that the index robot arm 110 and the panel 10 are carried between the aligning plate 135 and the aligning plate 135 And is a component for sucking and fixing the panel 10 carried in from the index robot arm 110.

상기 흡착포크(140)는 상기 얼라인 플레이트(135)에 결합되어, 상기 축(134)의 회전을 따라 상기 얼라인 플레이트(135)와 같이 움직이도록 구비될 수 있다.The adsorption fork 140 may be coupled to the alignment plate 135 and may be disposed to move along with the alignment plate 135 along the rotation of the shaft 134.

그리고, 상기 축(134)을 회전시키는 모터(136)가 구비될 수 있다. 상기 모터(136)는 정방향 또는 역방향으로 회전각도의 조절이 가능하도록 이루어질 수 있다.Further, a motor 136 for rotating the shaft 134 may be provided. The motor 136 may be configured to be able to adjust the rotation angle in a forward or reverse direction.

한편, 상기 흡착포크(140)는 도 2 및 도 5 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 흡착바아(142), 업다운 유닛(146), 흡착바아 간격조절유닛(148)을 포함할 수 있다.Meanwhile, the adsorption fork 140 may include an adsorption bar 142, an up-down unit 146, and an adsorption-bar interval adjusting unit 148, as shown in FIGS. 2 and 5 to 6.

상기 흡착바아(142)는 서로 마주보도록 수평하게 이격되어 적어도 한 쌍이 배치되며, 상기 인덱스 로봇암(110)의 진입방향과 평행한 길이방향을 가지며, 패널(10)을 흡착고정하기 위한 흡착홀(144)이 하나 이상 형성될 수 있다.At least one pair of the adsorption bars 142 are horizontally spaced apart from each other so as to face each other. The adsorption bar 142 has a longitudinal direction parallel to the entry direction of the index robot arm 110, 144 may be formed.

상기 업다운 유닛(146)은, 상기 흡착바아(142)와 상기 얼라인 플레이트(135)의 간격을 조절하는 구성요소이다. 그리고, 상기 업다운 유닛(146)은 상기 얼라인 플레이트(135)와 흡착바아(142)와의 사이에 구비되어 상기 흡착바아(142)를 상기 얼라인 플레이트(135) 측으로 근접시키거나 또는 반대로 멀어지도록 이격시킬 수 있다.The up-down unit 146 is a component for adjusting the distance between the adsorption bar 142 and the alignment plate 135. The up-down unit 146 is provided between the aligning plate 135 and the adsorption bar 142 to move the adsorption bar 142 toward or away from the aligning plate 135, .

또한, 상기 흡착바아 간격조절유닛(148)은 상기 흡착바아(142)간의 수평간격을 조절하는 구성요소로서, 상기 업다운 유닛(146)과 상기 흡착바아(142)의 사이에 구비되어 상기 흡착바아(142)를 수평이동시켜 상호 가깝게 근접시키거나 또는 멀어지도록 이격시킬 수 있다. The suction bar gap adjusting unit 148 is a component for adjusting the horizontal gap between the adsorption bars 142 and is provided between the up-down unit 146 and the adsorption bar 142, 142 may be horizontally moved so as to be close to each other or away from each other.

이 때, 상기 흡착바아(142)의 최대이격간격은, 상기 인덱스 로봇암(110)에 의해 반입되는 패널(10)의 폭 및 상기 스테이지 유닛(120)의 수평방향 폭 보다 클 수 있다.The maximum spacing distance of the adsorption bar 142 may be greater than the width of the panel 10 carried by the index robot arm 110 and the horizontal width of the stage unit 120.

그리고, 상기 기둥(132)과 프레임(101) 사이에 구비되어, 상기 기둥(132)의 높이를 조절하는 높이조절유닛(133)이 더 구비될 수 있다. 상기 높이조절유닛(133)의 신축에 따라 상기 기둥(132), 축(134), 얼라인 플레이트(135), 흡착바아(142)의 높이가 조절될 수 있다.A height adjusting unit 133 may be further provided between the column 132 and the frame 101 to adjust the height of the column 132. The height of the column 132, the shaft 134, the aligning plate 135, and the adsorption bar 142 can be adjusted according to the expansion and contraction of the height adjusting unit 133.

이 때, 상기 인덱스 로봇암(110)이 반입되는 측의 상기 얼라인 플레이트(135)와 흡착포크(140) 사이가 개구되도록, 상기 업다운 유닛(146) 및 흡착바아 간격조절유닛(148)은 상기 인덱스 로봇암(110)이 진입되는 측의 반대측에 구비될 수 있다. At this time, the up-down unit 146 and the adsorption-bar interval adjusting unit 148 are arranged such that the up-down unit 146 and the adsorption-bar interval adjusting unit 148 are opened so that the gap between the alignment plate 135 and the adsorption fork 140 on the side where the index- And may be provided on the opposite side of the side where the index robot arm 110 enters.

따라서, 상기 인덱스 로봇암(110)이 반입되는 측은 항상 개구되어 상기 인덱스 로봇암(110)이 반입되는 공간이 확보될 수 있다.Therefore, the side where the index robot arm 110 is carried is always opened, and a space for loading the index robot arm 110 can be ensured.

한편, 상기 얼라인 플레이트(135)에는 안착된 패널(10)을 정렬하는 패널 센터링 유닛(137)이 구비될 수 있다.Meanwhile, the alignment plate 135 may be provided with a panel centering unit 137 for aligning the panels 10 mounted thereon.

상기 패널 센터링 유닛(137)은 도 7에 도시된 바와같이, 상기 패널(10)의 모서리 중 서로 대각선으로 마주보는 모서리에 대응하는 지점의 얼라인 플레이트(135)에 적어도 한 쌍이 구비되며, 각각 상기 얼라인 플레이트(135)의 중심점을 향하여 신축되도록 구비됨으로써 상기 패널(10)의 위치를 정렬할 수 있다.As shown in FIG. 7, the panel centering unit 137 includes at least one pair of alignment plates 135 corresponding to the corners opposite to each other diagonally of the corners of the panel 10, So that the panel 10 can be aligned with the center of the alignment plate 135.

상기 패널 센터링 유닛(137)은 도 7에 도시된 바와 같이 피스톤(138) 및 롤러(139)를 포함할 수 있다. The panel centering unit 137 may include a piston 138 and a roller 139 as shown in FIG.

상기 피스톤(138)은 상기 얼라인 플레이트(135)의 중심점을 향하여 수평방향으로 신축 가능하게 구비되며, 상기 롤러(139)는 상기 피스톤(138)에 구비되며, 사이에 패널(10)의 모서리가 위치되며, 상기 모서리의 각 변에 접촉되도록 이격되게 구비되는 한 쌍이 구비될 수 있다.The piston 138 is provided so as to extend and retract in the horizontal direction toward the center point of the alignment plate 135. The roller 139 is provided on the piston 138 and the edge of the panel 10 And may be provided with a pair of spaced apart portions so as to be in contact with the respective sides of the corner.

따라서, 상기 피스톤(138)이 수축함에 따라 상기 패널(10)의 모서리의 각변에 접촉된 롤러(139)가 얼라인 플레이트(135)의 중심점을 향하여 이동되어 패널(10)을 정렬할 수 있다.Accordingly, as the piston 138 contracts, the roller 139, which is in contact with the corners of the edge of the panel 10, moves toward the center point of the alignment plate 135 to align the panel 10.

한편, 설치지점의 형태 및 공간 면적 사정 또는 장비 배치형태에 따라 상기 인덱스 로봇암(110)의 진입방향이 다르게 배치될 수 있다.Meanwhile, the direction of entry of the index robot arm 110 may be different depending on the shape of the installation point, the space area, or the arrangement of the equipment.

즉, 전술한 실시예에서는 상기 인덱스 로봇암(110)의 진입방향이 상기 축(134)과 직교하도록 배치될 수 있으나, 도 8 및 도 9 에 도시된 바와 같이, 상기 인덱스 로봇암(110)이 축(134)과 평행한 방향으로 진입되도록 배치될 수 있다.That is, in the above-described embodiment, the entry direction of the index robot arm 110 may be orthogonal to the axis 134. However, as shown in FIGS. 8 and 9, And may be arranged to enter in a direction parallel to the axis 134.

이 때, 상기 인덱스 로봇암(110)의 진입공간을 확보하기 위하여, 상기 인덱스 로봇암(110)이 진입되는 측의 기둥(132)에 상기 인덱스 로봇암(110) 및 상기 인덱스 로봇암에 얹히거나 흡착된 패널(10)이 진입되는 개구부(133)가 형성될 수 있다.At this time, in order to secure the entry space of the index robot arm 110, the index robot arm 110 and the index robot arm are placed on the column 132 on the side where the index robot arm 110 enters, An opening 133 through which the adsorbed panel 10 enters can be formed.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 챔버(180)가 더 구비될 수 있다. 상기 챔버(180)는 내부에 비활성 가스가 채워지는 격리된 공간을 구획하며, 전술한 프레임(101), 턴오버 모듈(130), 스테이지 유닛(120), 프로브 유닛(150) 등이 내부에 수용될 수 있다. 또한, 상기 인덱스 로봇암(110)은 상기 챔버(180)의 외부에 구비되며, 패널을 반입할 때 챔버(180)내부로 인입될 수 있도록 일측이 개구되거나 또는 인덱스 로봇암(110)이 진입될 때 선택적으로 개방되는 도어(미도시)가 설치될 수 있다.Further, as shown in FIG. 1, a chamber 180 may further be provided. The chamber 180 defines an isolated space filled with an inert gas and includes the frame 101, the turnover module 130, the stage unit 120, the probe unit 150, . The index robot arm 110 is provided on the outside of the chamber 180 and is opened at one side so that the index robot arm 110 can be drawn into the chamber 180 when the panel is brought in, A door (not shown) that is selectively opened can be installed.

이러한 챔버(180)의 내부에는 디스플레이 셀(12)이 공기와 접촉되는 것을 방지하기 위하여 비활성 가스가 공급되어 채워지며, 상기 비활성 가스로는 여러 종류의 비활성 가스가 사용될 수 있으나 비용 측면 및 원료 수급 측면을 고려하여 비교적 구하기 쉬운 질소와 같이 반응성이 낮은 가스를 이용하여 비활성 분위기를 조성할 수도 있다.In order to prevent the display cell 12 from being in contact with air, an inert gas is supplied to fill the inside of the chamber 180, and various kinds of inert gases may be used as the inert gas. However, It is also possible to form an inert atmosphere by using a gas having a low reactivity such as nitrogen which is comparatively easy to obtain.

또한 챔버(180)의 상부에는 질소 가스 또는 비활성 가스를 챔버 내부로 공급 또는 배출하기 위한 팬 또는 블로워들이 배치될 수 있으며, 도면으로 도시되지는 않았으나 챔버(180) 내부로 공급된 가스를 배출하고 순환시켜 상기 팬 또는 블로워들을 통해 챔버(180)의 내부로 재공급하는 순환 시스템이 마련될 수 있다.In addition, a fan or blowers for supplying or discharging nitrogen gas or inert gas into or out of the chamber may be disposed on the upper portion of the chamber 180. Although not shown in the drawings, To the inside of the chamber 180 through the fan or blowers.

한편, 이하에서는 전술한 실시예의 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치의 제어방법에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of controlling the display cell testing apparatus of the turn-over type will be described.

먼저, 반입단계가 수행될 수 있다. 상기 반입단계는 도 10의 (a)에도시된 바와 같이, 패널(10)이 얹힌 인덱스 로봇암(110)이 수평이동하여 상기 턴오버 모듈(130)의 얼라인 플레이트(135)와 흡착포크(140)의 사이로 패널(10)을 반입하는 단계이다.First, the import step can be performed. 10 (a), the index robot arm 110 on which the panel 10 is placed is moved horizontally to move the aligning plate 135 of the turn-over module 130 and the adsorption fork 140 of the panel 10.

그리고, 제1안착단계가 수행될 수 있다. 상기 제1안착단계서는 상기 반입단계에서 반입된 패널(10)이 상기 턴오버 모듈(130)의 흡착포크(140)에 안착되어 흡착고정될 수 있다.Then, a first seating step can be performed. In the first seating step, the panel 10 carried in the carrying-in step may be seated on the suction fork 140 of the turn-over module 130 and adsorbed and fixed.

상기 제1안착단계가 수행될 때, 상기 턴오버 모듈(130)은 상기 흡착포크(140)가 상기 얼라인 플레이트(135)의 하측면에 위치되도록 회전된 상태일 수 있으며, 상기 흡착바아(142)는 상기 인덱스 로봇암(110) 및 패널(10)의 진입공간을 확보하도록 상기 얼라인 플레이트(135)와 이격된 상태이며, 반입된 패널(10)을 흡착고정하도록 상기 흡착바아(142)의 상호 간격은 상기 패널(10)의 폭보다 좁도록 위치될 수 있다.When the first seating step is performed, the turnover module 130 may be rotated so that the adsorption fork 140 is positioned on the lower side of the aligning plate 135, and the adsorption bar 142 Is spaced apart from the alignment plate 135 so as to secure a space for entry of the index robot arm 110 and the panel 10, The mutual spacing can be positioned to be narrower than the width of the panel 10. [

또한, 상기 반입단계에서 얼라인 플레이트(135)와 흡착포크(140) 사이로 패널(10)이 반입된 상태에서 상기 높이조절유닛(133)에 의해 상기 흡착포크가 상승되어 상기 인덱스 로봇암(110)에 얹힌 패널(10)이 상기 흡착포크(140)에 옮겨 얹힐 수 있다.When the panel 10 is carried between the aligning plate 135 and the adsorption fork 140 in the carrying-in step, the adsorption fork is elevated by the height adjusting unit 133, The panel 10 mounted on the suction fork 140 can be transferred to the suction fork 140.

그리고, 회전단계가 수행될 수 있다. 상기 회전단계에서는 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 축(134)이 회전되어 상기 얼라인 플레이트(135)와 흡착포크(140) 및 안착된 패널(10)의 상면과 하면이 반전될 수 있다.Then, a rotation step can be performed. 10 (b), the shaft 134 is rotated so that the upper surface and the lower surface of the alignment plate 135, the suction fork 140, and the mounted panel 10 are reversed .

한편, 전술한 단계가 수행되는 동안 도 10의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지 유닛(120)이 상기 턴오버 모듈(130)의 상측의 흡착위치에 위치되도록 이동되는 흡착위치 이동단계가 수행될 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 10 (c), while the above-described steps are being performed, the stage for moving the adsorption position is moved so that the stage unit 120 is positioned at the adsorption position on the upper side of the turn-over module 130 .

그리고, 제2안착단계가 수행될 수 있다. 상기 제2안착단계는, 상기 흡착바아(142)가 얼라인 플레이트(135)측으로 이동하도록 상기 흡착포크(140)의 업다운 유닛(146)이 작동되어 상기 패널(10)이 얼라인 플레이트(135)에 밀착되어 안착되는 단계이다.Then, a second seating step may be performed. The second seating step activates the up-down unit 146 of the adsorption fork 140 such that the adsorption bar 142 is moved toward the alignment plate 135 so that the panel 10 is aligned with the alignment plate 135. [ So that they are in close contact with each other.

그리고, 이격단계가 수행될 수 있다. 도 10의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 이격단계는, 상기 흡착포크(140)의 흡착이 중지되어 상기 패널(10)이 얼라인 플레이트(135)측에 자중에 의해 놓여지며, 상기 흡착바아 간격조절유닛(148)이 작동되어 상기 흡착바아(142)의 수평간격이 상기 패널(10)의 폭보다 넓도록 이격되며, 상기 흡착바아(142)의 업다운 유닛(146)이 작동되어 상기 흡착바아(142)가 얼라인 플레이트(135)로부터 멀어지도록 이격되는 단계이다. 이 때, 상기 회전단계에서 턴오버 모듈(130)이 회전된 상태이므로 상기 흡착포크(140)가 얼라인 플레이트(135)의 상측에 위치된 상태이며, 상기 이격단계를 통해 상기 흡착포크(140)가 상기 얼라인 플레이트(135)의 상측으로 상승될 수 있다.Then, a separation step can be performed. 10 (d), in the separating step, adsorption of the adsorption fork 140 is stopped and the panel 10 is placed on its side of the aligning plate 135 by its own weight, The bar spacing unit 148 is operated so that the horizontal interval of the adsorption bar 142 is spaced apart from the width of the panel 10 so that the up-down unit 146 of the adsorption bar 142 is activated, So that the bar 142 is spaced apart from the alignment plate 135. At this time, since the turnover module 130 is rotated in the rotation step, the suction fork 140 is positioned above the alignment plate 135, Can be raised to the upper side of the alignment plate (135).

그리고, 얼라인 단계가 수행될 수 있다. 상기 얼라인 단계에서는 패널 센터링 유닛(137)이 작동되어 패널(10)의 위치를 정렬할 수 있다.Then, an alignment step can be performed. In the aligning step, the panel centering unit 137 may be operated to align the position of the panel 10.

그리고, 밀착단계가 수행될 수 있다. 상기 밀착단계에서는 도 10의(d)에 도시된 바와 같이, 상기 높이조절유닛(133)이 작동되어 상기 턴오버 모듈(130)을 상승시켜, 상기 얼라인 플레이트(135)에 안착된 패널(10)이 턴오버 모듈(130)의 상측에 위치된 상기 스테이지 유닛(120)에 밀착되며, 밀착된 패널(10)이 상기 스테이지 유닛(120)에 흡착고정될 수 있다.Then, the adhesion step can be performed. 10 (d), the height adjusting unit 133 is actuated to raise the turn-over module 130 so that the panel 10 (see FIG. 10 Is closely adhered to the stage unit 120 positioned on the upper side of the turnover module 130 and the adhered panel 10 can be attracted and fixed to the stage unit 120.

그리고, 이탈단계가 수행될 수 있다. 상기 이탈단계는 상기 높이조절유닛(133)이 수축되도록 작동되어 상기 얼라인 플레이트(135) 및 흡착포크(140)가 하강하여 상기 스테이지 유닛(120)에 밀착된 패널(10)로부터 이탈하는 단계이다.Then, a releasing step can be performed. The separation step is operated such that the height adjustment unit 133 is contracted so that the alignment plate 135 and the suction fork 140 are lowered and separated from the panel 10 which is in close contact with the stage unit 120 .

그리고, 검사위치 이동단계가 수행될 수 있다. 상기 이동단계에서는 패널(10)이 흡착고정된 스테이지 유닛(120)이 검사위치(106)로 이동될 수 있다. 상기 검사위치(106) 이동단계에서 스테이지 유닛(120)이 이동되는 위치는 제1검사위치(107)일 수 있다.Then, the inspection position moving step can be performed. In the moving step, the stage unit 120 to which the panel 10 is sucked and fixed can be moved to the inspection position 106. The position where the stage unit 120 is moved in the step of moving the inspection position 106 may be the first inspection position 107.

그리고, 접촉단계가 수행될 수 있다. 상기 접촉단계는 상기 제1검사위치(107)로 이동된 스테이지 유닛(120)이 하강되어 상기 프로브 유닛(150)과 패널(10)의 전극패턴(14)이 접촉될 수 있다.Then, a contact step can be performed. In the contacting step, the stage unit 120 moved to the first inspection position 107 is lowered so that the probe unit 150 and the electrode pattern 14 of the panel 10 can be in contact with each other.

그리고, 상기 접촉단계에서 상기 프로브 유닛(150)과 패널(10)의 전극패턴(14)이 전기적 접촉을 이룬 후에 상기 패널(10)의 디스플레이 셀(12)에 전력 및 전기적 신호가 공급되어 전기적 특성등의 검사가 이루어질 수 있다.Electrical and electrical signals are supplied to the display cell 12 of the panel 10 after the probe unit 150 and the electrode pattern 14 of the panel 10 make electrical contact in the contacting step, And so on.

또한 필요한 경우, 상기 스테이지 유닛(120)이 상승되어 프로브 유닛(150)과 패널(10)의 전기적 접촉을 해제한 후에 제2검사위치(108) 등으로 이동되어 필요한 여타 다른 검사를 수행할 수 있다.Also, if necessary, the stage unit 120 may be lifted to release the electrical contact between the probe unit 150 and the panel 10, and then moved to the second inspection position 108 or the like to perform other necessary tests .

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It is obvious to them. Therefore, the above-described embodiments are to be considered as illustrative rather than restrictive, and the present invention is not limited to the above description, but may be modified within the scope of the appended claims and equivalents thereof.

10: 패널 12: 디스플레이 셀
14: 전극패턴 101: 프레임
103: 주행레일 105: 반입위치
106: 검사위치 107: 제1검사위치
108: 제2검사위치 110: 인덱스 로봇암
112: 반입포크 114: 연결부
120: 스테이지 유닛 130: 턴오버 모듈
132: 기둥 134: 축
135: 얼라인 플레이트 136: 모터
137: 패널 센터링 유닛 138: 피스톤
139: 롤러 140: 흡착포크
142: 흡착바아 144: 흡착홀
146: 업다운 유닛 148: 흡착바아 간격조절유닛
150: 프로브 유닛 160: 카메라 유닛
170: 현미경 유닛10: panel 12: display cell
14: electrode pattern 101: frame
103: Running rail 105: Loading position
106: Inspection position 107: First inspection position
108: second inspection position 110: index robot arm
112: Incoming fork 114:
120: stage unit 130: turnover module
132: Column 134: Axis
135: alignment plate 136: motor
137: Panel centering unit 138: Piston
139: roller 140: adsorption fork
142: adsorption bar 144: adsorption hole
146: Up-down unit 148: Absorption bar spacing unit
150: probe unit 160: camera unit
170: Microscope unit

Claims (10)

프레임;
복수개의 디스플레이 셀이 배열되어 있는 패널을 수평상태로 반입하는 인덱스 로봇암;
상기 프레임 내 구비되며, 상기 인덱스 로봇암으로부터 반입된 기판을 상면과 하면이 뒤집히도록 회전시키는 턴오버 모듈;
상기 프레임에 구비되어 수평 수직 및 회전이동하며, 상기 턴오버 기구에서 뒤집힌 상태의 패널을 흡착고정하여 이동시키는 스테이지유닛;
을 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.frame;
An index robot arm for carrying a panel in which a plurality of display cells are arranged in a horizontal state;
A turnover module provided in the frame and rotating the substrate carried from the index robot arm so that the upper surface and the lower surface are turned upside down;
A stage unit provided in the frame and horizontally, vertically, and rotationally moved to suctionly fix and move the panel in an inverted state in the turnover mechanism;
The display cell inspection apparatus comprising: 제1항에 있어서,
상기 턴오버 모듈은,
서로 마주보게 배치된 한 쌍의 기둥;
앙 단이 상기 한 쌍의 기둥에 각각 회전 가능하게 배치된 축;
상기 축에 결합되며, 패널이 안착되어 정렬되는 얼라인 플레이트;
상기 얼라인 플레이트와의 사이에 상기 인덱스 로봇암 및 인덱스 로봇암에 얹힌 패널이 반입되도록, 상기 얼라인 플레이트의 일면과 이격되어 마주보도록 배치되며, 반입된 패널을 흡착고정하는 흡착 포크;
상기 축을 회전시키는 모터;
를 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.The method according to claim 1,
The turn-
A pair of pillars facing each other;
An axle rotatably disposed on each of the pair of columns;
An alignment plate coupled to the shaft, the panel being seated and aligned;
A suction fork arranged to face a surface of the alignment plate such that the panel mounted on the index robot arm and the index robot arm are brought into contact with the alignment plate so as to face each other,
A motor for rotating the shaft;
The display cell inspection apparatus comprising: 제2항에 있어서,
상기 흡착포크는,
서로 마주보도록 수평하게 이격되어 배치되며, 흡착홀이 형성된 적어도 한 쌍의 흡착바아;
상기 흡착바아와 상기 얼라인 플레이트와의 간격을 조절하며, 상기 흡착 바아를 상기 얼라인 플레이트에 고정시키는 업다운 유닛;
상기 흡착바아 간의 수평 간격을 조절하는 흡착바아 간격조절유닛;
을 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.3. The method of claim 2,
The adsorption-
At least a pair of adsorption bars spaced horizontally from each other so as to face each other and formed with adsorption holes;
An up-down unit for adjusting an interval between the adsorption bar and the alignment plate and fixing the adsorption bar to the alignment plate;
An adsorption bar gap adjusting unit for adjusting a horizontal interval between the adsorption bars;
The display cell inspection apparatus comprising: 제3항에 있어서,
상기 흡착바아의 최대 이격간격은 상기 패널의 폭보다 크도록 구비되는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.The method of claim 3,
And the maximum spacing distance of the adsorption bars is larger than the width of the panel. 제2항에 있어서,
상기 턴오버 모듈은,
상기 프레임과 기둥 사이에 구비되며,
상기 기둥을 승강시켜 높이를 조절하는 높이조절유닛을 더 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.3. The method of claim 2,
The turn-
A frame provided between the frame and the column,
And a height adjusting unit for adjusting a height of the column by moving the column up and down. 제3항에 있어서,
상기 인덱스 로봇암이 반입되는 측의 상기 얼라인 플레이트와 흡착포크 사이가 개구되도록, 상기업다운 유닛 및 흡착바아 간격조절유닛은 상기 인덱스 로봇암이 진입되는 측의 반대측에 구비되는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.The method of claim 3,
Wherein the indexing robot arm and the indexing robot arm are arranged such that the up-down unit and the adsorption-bar spacing adjusting unit are disposed on the opposite side of the index robot arm from the turn- Inspection device. 제2항에 있어서,
상기 얼라인 플레이트에 안착된 패널의 대각선으로 서로 마주보는 모서리 부위에 대응되는 얼라인 플레이트의 적어도 2개소에 구비되며, 안착된 패널을 정렬하는 패널 센터링 유닛을 더 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.3. The method of claim 2,
And a panel centering unit arranged at at least two positions of the alignment plates corresponding to corner portions facing diagonally opposite sides of the panel mounted on the alignment plate, the panel centering unit aligning the mounted panels. Device. 제7항에 있어서,
상기 패널 센터링 유닛은,
상기 얼라인 플레이트의 중심점을 향하여 수평방향으로 신축 가능하게 구비되는 피스톤;
상기 피스톤에 구비되며, 사이에 패널의 모서리가 위치되며, 상기 모서리의 각 변에 접촉되도록 이격되게 구비되는 한 쌍의 롤러;
를 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.8. The method of claim 7,
The panel centering unit includes:
A piston elastically stretchable in a horizontal direction toward a center point of the alignment plate;
A pair of rollers provided on the piston, the pair of rollers being located between the edges of the panel and spaced apart from each other so as to be in contact with the edges of the edge;
The display cell inspection apparatus comprising: 제6항에 있어서,
상기 인덱스 로봇암의 반입방향이 상기 축의 길이방향과 평행한 방향으로 배치되고,
상기 인덱스 로봇암의 진입공간을 확보하도록 상기 기둥의 일부에, 상기 인덱스 로봇암 및 인덱스 로봇암에 얹힌 패널이 진입되는 개구부가 형성되는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.The method according to claim 6,
Wherein the index robot arm is disposed in a direction parallel to the longitudinal direction of the shaft,
Wherein an indexing robot arm and an opening through which the panel mounted on the index robot arm enters are formed in a part of the column to secure a space for entry of the index robot arm. 패널이 얹힌 인덱스 로봇암이 수평이동하여 턴오버 모듈의 얼라인 플레이트와 흡착포크의 사이로 진입하는 반입단계;
상기 턴오버 모듈의 흡착포크에 반입된 패널이 안착되어 흡착고정되는 제1안착단계:
축이 회전되어 상기 얼라인 플레이트와 흡착포크 및 안착된 패널의 상면과 하면이 반전되는 회전단계;
스테이지 유닛이 흡착위치로 이동하는 흡착위치 이동단계;
상기 흡착바아가 얼라인 플레이트측으로 이동하도록 상기 흡착포크의 업다운 유닛이 작동되어 상기 패널이 얼라인 플레이트에 안착되는 제2안착단계;
상기 흡착포크의 흡착이 중지되며, 상기 흡착바아 간격조절유닛이 작동되어 상기 흡착바아의 수평간격이 이격되며, 상기 흡착바아의 업다운 유닛이 작동되어 상기 흡착바아가 얼라인 플레이트로부터 이격되는 이격단계;
패널 센터링 유닛를 통해 얼라인 플레이트에 안착된 패널이 정렬되는 얼라인 단계;
상기 얼라인 플레이트에 안착된 패널이 상기 스테이지 유닛에 밀착되도록 높이조절유닛이 작동되며, 밀착된 패널이 상기 스테이지 유닛에 흡착고정되는 밀착단계;
상기 높이조절유닛이 작동되어 상기 얼라인 플레이트 및 흡착포크가 하강하는 이탈단계;
패널이 흡착고정된 스테이지 유닛이 검사위치로 이동되는 검사위치 이동단계;
검사위치로 이동된 스테이지 유닛이 하강되어 프로브 유닛과 패널의 전극패턴이 접촉되는 접촉단계;
를 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치의 제어방법.A loading step in which the index robot arm on which the panel is placed horizontally moves between the alignment plate of the turnover module and the adsorption fork;
A first seating step in which the panel carried by the suction fork of the turn-over module is seated and sucked and fixed;
Rotating the shaft such that the upper and lower surfaces of the alignment plate, the adsorption fork, and the mounted panel are reversed;
An adsorption position moving step in which the stage unit moves to an adsorption position;
A second seating step in which the up-down unit of the adsorption fork is operated so that the adsorption bar moves to the aligned plate side so that the panel is seated on the aligned plate;
The adsorption fork is stopped to be adsorbed, the adsorption bar spacing adjusting unit is operated to separate the horizontal interval of the adsorption bar, and the up-down unit of the adsorption bar is operated to separate the adsorption bar from the aligned plate;
An aligning step of aligning the panel seated on the alignment plate through the panel centering unit;
A tightening step in which the height adjustment unit is operated so that the panel mounted on the alignment plate is brought into close contact with the stage unit, and the tightly attached panel is sucked and fixed to the stage unit;
A releasing step in which the height adjusting unit is operated to lower the aligning plate and the adsorption fork;
An inspection position moving step in which the stage unit to which the panel is sucked and fixed is moved to the inspection position;
A contact step in which the stage unit moved to the inspection position is lowered so that the probe unit and the electrode pattern of the panel are in contact with each other;
And a control unit for controlling the display cell.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102081610B1 (en) * 2019-04-17 2020-02-26 우리마이크론(주) Mother panel transferring apparatus, display panel inspection apparatus and display panel inspection equipment
WO2020213901A1 (en) * 2019-04-17 2020-10-22 우리마이크론(주) Mother glass panel transfer device, display panel inspection device, and display panel inspection equipment
CN112924770A (en) * 2019-11-21 2021-06-08 科美仪器公司 Inspection device for display panels of different sizes
WO2021172731A1 (en) * 2020-02-25 2021-09-02 주식회사 메가센 Mother panel adsorption device
CN116313947A (en) * 2023-05-25 2023-06-23 深圳赛仕电子科技有限公司 micro-LED display panel packaging method and device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090030503A (en) * 2007-09-20 2009-03-25 아주하이텍(주) Inspecting apparatus and inspecting method
KR20130093257A (en) * 2012-02-14 2013-08-22 세메스 주식회사 Method of inspecting oled cells and apparatus for performing the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090030503A (en) * 2007-09-20 2009-03-25 아주하이텍(주) Inspecting apparatus and inspecting method
KR20130093257A (en) * 2012-02-14 2013-08-22 세메스 주식회사 Method of inspecting oled cells and apparatus for performing the same

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102081610B1 (en) * 2019-04-17 2020-02-26 우리마이크론(주) Mother panel transferring apparatus, display panel inspection apparatus and display panel inspection equipment
KR102081609B1 (en) * 2019-04-17 2020-02-26 우리마이크론(주) Mother panel transferring apparatus, display panel inspection apparatus and display panel inspection equipment
WO2020213901A1 (en) * 2019-04-17 2020-10-22 우리마이크론(주) Mother glass panel transfer device, display panel inspection device, and display panel inspection equipment
KR20200122223A (en) * 2019-04-17 2020-10-27 우리마이크론(주) Mother panel transferring apparatus, display panel inspection apparatus and display panel inspection equipment
KR20200122222A (en) * 2019-04-17 2020-10-27 우리마이크론(주) Mother panel transferring apparatus, display panel inspection apparatus and display panel inspection equipment
JP2022528975A (en) * 2019-04-17 2022-06-16 メガセン・カンパニー・リミテッド Mother glass panel transfer device, display panel inspection device and display panel inspection equipment
CN112924770A (en) * 2019-11-21 2021-06-08 科美仪器公司 Inspection device for display panels of different sizes
WO2021172731A1 (en) * 2020-02-25 2021-09-02 주식회사 메가센 Mother panel adsorption device
KR20210108200A (en) * 2020-02-25 2021-09-02 (주)메가센 Mother panel absorption apparatus
CN116313947A (en) * 2023-05-25 2023-06-23 深圳赛仕电子科技有限公司 micro-LED display panel packaging method and device
CN116313947B (en) * 2023-05-25 2023-08-08 深圳赛仕电子科技有限公司 micro-LED display panel packaging method and device

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