KR101139371B1 - Panel display clamping apparatus and transfering and inspecting apparatuses having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 일측을 기계적인 고정과 진공에 의해 흡착으로 고정하여 이송하기 위한 기판 클램핑 장치와 이송장치 및 그 검사장치에 관한 것으로서, 이를 위하여, 기판 클램핑 장치에서 상부척과, 상기 상부척에 이격되어 구비되며, 상기 상부척과의 사이에 기판을 파지할 수 있도록 이동 가능한 하부척을 포함하고, 상기 상부척과 하부척의 마주보는 대향면의 적어도 어느 하나에는 상기 기판을 흡착하여 고정하기 위한 진공노즐이 마련되는 구성으로, 기판 클램핑 장치에 의해 고정된 기판이 이송중에 이탈 되거나, 접촉면에 크랙이 발생되는 것을 방지할 수 있는 특징이 있다.The present invention relates to a substrate clamping device, a conveying device and an inspection device for mechanically fixing and transporting one side of the substrate by suction by vacuum, for this purpose, spaced apart from the upper chuck and the upper chuck in the substrate clamping device. And a lower chuck movable to hold a substrate between the upper chuck and a vacuum nozzle for adsorbing and fixing the substrate on at least one of opposing surfaces of the upper chuck and the lower chuck. In this configuration, the substrate fixed by the substrate clamping device may be prevented from being separated during transfer or cracking on the contact surface.

기판, 반송테이블, 진공노즐, 충격흡수부재 Substrate, Transfer Table, Vacuum Nozzle, Shock Absorbing Member

Description

기판 클램핑 장치, 이송장치 및 그 검사장치{PANEL DISPLAY CLAMPING APPARATUS AND TRANSFERING AND INSPECTING APPARATUSES HAVING THE SAME}Substrate clamping device, transfer device and inspection device {PANEL DISPLAY CLAMPING APPARATUS AND TRANSFERING AND INSPECTING APPARATUSES HAVING THE SAME}

도 1은 기판 클램핑 장치가 마련된 기판 이송장치를 도시한 평면도.1 is a plan view showing a substrate transfer device provided with a substrate clamping device.

도 2는 본 발명에 따른 기판 클램핑 장치의 측면도.2 is a side view of a substrate clamping device according to the present invention;

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 기판 클램핑 장치에 진공노즐이 형성되는 사시도.3A and 3B are perspective views in which a vacuum nozzle is formed in a substrate clamping device according to the present invention.

도 4a는 본 발명에 따른 기판 클램핑 장치에 진공노즐이 마련된 구성도.Figure 4a is a block diagram provided with a vacuum nozzle in the substrate clamping device according to the present invention.

도 4b는 본 발명의 변형예에 따른 기판 클램핑 장치에 진공노즐이 마련된 구성도.Figure 4b is a configuration diagram provided with a vacuum nozzle on the substrate clamping device according to a modification of the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 기판 클램핑 장치의 진공노즐에 의해 기판이 고정된 설치 상태도.5 is an installation state in which the substrate is fixed by the vacuum nozzle of the substrate clamping device according to the present invention.

도 6는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 클램핑 장치에 진공노즐이 형성된 구성도.6 is a configuration diagram in which a vacuum nozzle is formed on a substrate clamping device according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호설명><Code Description of Main Parts of Drawing>

100...고정부 100a...상부척100 ... Government 100a ... Upper

100b...하부척 110...진공노즐100b ... lower chuck 110 ... vacuum nozzle

120...에어유로 130...에어흡입부 120 Air flow 130 Air suction

140...충격흡수부재 150...관통공140 ... shock absorbing member 150 ... through hole

200...수직이송부 300...수평이송부 200 ... Vertical Transfer Unit 300 ... Horizontal Transfer Unit

400...이송플레이트 500...기판400 ... Transfer Plate 500 ... Substrate

600(700)...클램핑 장치 800...반송테이블600 (700) ... Clamping device 800 ... Conveying table

본 발명은 기판 클램핑 장치와 이송장치 및 그 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 이송을 위한 기판 고정력을 증대함으로서 기판이 이탈되거나 고정된 위치가 변하는 것을 방지하기 위한 기판 클램핑 장치와 기판 이송장치 및 기판 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate clamping device, a transfer device, and an inspection device thereof, and more particularly, a substrate clamping device and a substrate transfer device for preventing a substrate from being separated or changed from being fixed by increasing a substrate holding force for transferring the substrate. It relates to a device and a substrate inspection device.

평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)에는 제조공정에서 기판 상에 스크래치나 각종 얼룩이 형성될 수 있는데, 스크래치나 각종 얼룩 등을 검사하여 불량률을 감소하기 위한 목적으로 디스플레이 기판 검사장치가 사용된다. 예컨대, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 기판이나, PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 기판 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 비전 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 낼 수 있다. In a flat panel display (FPD), scratches or various stains may be formed on a substrate in a manufacturing process, and a display substrate inspection apparatus is used for the purpose of reducing scratch rate by inspecting scratches or various stains. For example, In-Line FPD Automatic Optical Inspection captures an image of an object to be inspected using an optical lens and a CCD camera while guiding a TFT LCD substrate, a display substrate such as a PDP, a color filter, etc. The processing algorithm can be applied to detect various defects that the user wants to find.

도 1은 기판상의 검사를 위한 기판 클램핑 장치가 마련된 기판 이송장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a substrate transfer device provided with a substrate clamping device for inspection on a substrate.

도 1에서 도시된 바와 같이, 기판(500)의 중심부를 플로팅하는 반송테이블(800)가 형성되고, 상기 반송테이블(800)의 양 대향측단부에는 상기 반송테이블(800)에 반입된 기판(500)을 이송할 수 있는 클램핑장치(700)가 마련된다. 이와 같이 양 대향측단부가 클램핑장치(700)에 의해 지지된 상태에서 기판(500)이 반송테이블(800) 상부를 지나가게 되는데, 기판의 크기가 대면적인 경우에는 기판의 자중에 의해 기판의 중심부에 처짐이 발생하여 평탄한 상태를 유지할 수 없으므로 상기 반송테이블(800) 상에는 에어갭을 형성하여 상기 기판(500)이 에어 플로팅한 상태에서 이송될 수 있도록 구성된다. 또한, 상기 반송 테이블(800)의 상부에는 이송되어 기판의 이상유무를 검사하는 CCD 카메라와 같은 비젼장치(미도시)가 설치될 수 있다.As shown in FIG. 1, a conveying table 800 is formed to float a central portion of the substrate 500, and the substrate 500 loaded into the conveying table 800 is formed at opposite ends of the conveying table 800. ) Is provided with a clamping device 700 that can transfer. As described above, the substrate 500 passes through the upper portion of the transfer table 800 while both opposing side ends are supported by the clamping device 700. When the size of the substrate is large, the center of the substrate is caused by the weight of the substrate. Since deflection occurs in the flat state, the air gap may be formed on the transfer table 800 so that the substrate 500 may be transferred in the air-floating state. In addition, a vision device (not shown), such as a CCD camera, which is transferred and inspects an abnormality of a substrate, may be installed at an upper portion of the transfer table 800.

그러나, 최근에 기판(500)의 대면적화 및 기판(500)의 고속 이송화가 급속하게 진행되면서, 종래의 클램핑 장치(700)가 실린더의 기계적 고정력에 의해 기판을 고정시키는 경우에는 기판(500)을 고정시키는 기판 고정력(chucking force)에 한계로 인하여, 기판(500)의 이송과정에서 기판이 클램핑 장치(700)의 고정된 상태로부터 이탈되는 문제가 있었다. 또한 기판(500)이 완전히 이탈되지는 않더라도 클램핑 장치(700)에 의해 고정된 위치로부터 소정 거리만큼 미끄러져서 그로 인해 기판(500) 상에 크랙이 발생되는 문제가 있었다. However, in recent years, as the large area of the substrate 500 and the high speed transfer of the substrate 500 progress rapidly, when the conventional clamping device 700 fixes the substrate by the mechanical fixing force of the cylinder, the substrate 500 is removed. Due to the limitation of the substrate holding force for fixing, there is a problem that the substrate is separated from the fixed state of the clamping device 700 during the transfer of the substrate 500. In addition, even if the substrate 500 is not completely separated, there is a problem that the sliding occurs by a predetermined distance from the position fixed by the clamping device 700, thereby causing cracks on the substrate 500.

본 발명의 목적은 전술된 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판 클램핑 장치로부터 기판이 이탈되거나 유동되는 것을 방지할 수 있도록 기판을 밀착 고정시키기 위한 기판 클램핑 장치와 이송장치 및 그 검사장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and provides a substrate clamping device, a transfer device, and an inspection device for tightly fixing a substrate to prevent the substrate from being separated or flowed from the substrate clamping device. It is.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 기판 클램핑 장치에 있어서, 상부척과, 상기 상부척에 이격되어 구비되며, 상기 상부척과의 사이에 기판을 파지할 수 있도록 이동 가능한 하부척을 포함하고, 상기 상부척과 하부척의 마주보는 대향면의 적어도 어느 하나에는 상기 기판을 흡착하여 고정하기 위한 진공노즐이 적어도 하나의 열로 배열되어 형성된다.In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate clamping apparatus comprising: an upper chuck and a lower chuck spaced apart from the upper chuck and movable to grip a substrate between the upper chuck and the upper chuck; At least one of the opposite facing surfaces of the lower chuck is formed by arranging vacuum nozzles for adsorbing and fixing the substrate in at least one row.

이때, 상기 상부척과 하부척의 마주보는 적어도 어느 하나에는 관통공이 형성되고, 상기 진공노즐은 상기 관통공 내에 설치될 수 있고, 상기 진공노즐은 상기 대향면에 적어도 하나의 열로 배열될 수 있으며, 상기 대향면의 적어도 어느 하나에는 PEEK, 고분자 폴리에틸렌, 불소수지 화합물 중 어느 하나를 포함하는 충격흡수부재가 마련되어 기판의 접촉에 의한 손상이 방지되도록 구성될 수 있다.At this time, at least one of the upper chuck and the lower chuck facing through hole is formed, the vacuum nozzle may be installed in the through hole, the vacuum nozzle may be arranged in at least one row on the opposite surface, the opposite At least one of the cotton may be provided with a shock absorbing member including any one of PEEK, polymer polyethylene, fluorine resin compound to prevent damage due to contact of the substrate.

본 발명은 기판 이송장치에 있어서, 상부척과 상기 상부척과의 사이에 기판을 개재하여 이를 파지하기 위한 하부척을 포함하고 상기 상부척과 하부척의 마주보는 대향면의 적어도 어느 하나에는 상기 기판을 흡착하여 고정하기 위한 진공노즐이 형성되는 기판 클램핑 장치와, 상기 기판 클램핑 장치가 일측 또는 양측에 마 련되어 상기 기판을 공압으로 지지하는 반송테이블을 포함한다.The present invention provides a substrate transfer apparatus, comprising a lower chuck for holding a substrate between an upper chuck and the upper chuck and adsorbing the substrate on at least one of opposite surfaces of the upper chuck and the lower chuck. The substrate clamping device is formed with a vacuum nozzle for the purpose, and the substrate clamping device is provided on one side or both sides and a conveying table for supporting the substrate by pneumatic.

본 발명은 기판 검사장치에 있어서, 상기 기판 클램핑 장치가 마련되는 기판 이송장치와, 이송되는 기판의 이상 유무를 검사하기 위한 카메라검사부를 포함한다.The present invention includes a substrate inspection apparatus, comprising a substrate transfer device provided with the substrate clamping device, and a camera inspection unit for inspecting an abnormality of the substrate to be transferred.

첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

종래기술에서 참조한 기판 이송장치를 도시한 도 1을 다시 참조하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판(500)의 중심부를 플로팅하는 반송테이블(800)과, 상기 반송테이블(800)의 일측부 또는 양 대향측단부에 설치되어 상부척과 하부척의 마주보는 적어도 어느 하나의 대향면에서 형성되는 진공노즐이 마련되는 클램핑장치(600)를 포함한다.Referring back to FIG. 1, which shows a substrate transfer apparatus referred to in the related art, a substrate transfer apparatus according to the present invention includes a transfer table 800 that floats a central portion of a substrate 500, and one side of the transfer table 800. Or a clamping device 600 provided at both opposite side ends and provided with a vacuum nozzle formed on at least one opposing surface facing the upper chuck and the lower chuck.

본 발명에 따른 기판 검사장치는 기판(500)의 중심부를 플로팅하는 반송테이블(800)과, 상기 반송테이블(800)의 일측부 또는 양 대향측단부에 설치되는 클램핑장치(600)와, 이송되는 기판의 이상 유무를 검사하기 위한 카메라검사부(도시되지 않음)을 포함한다.The substrate inspection apparatus according to the present invention includes a conveying table 800 that floats the center of the substrate 500, a clamping device 600 installed at one side or opposite side ends of the conveying table 800, It includes a camera inspection unit (not shown) for inspecting the abnormality of the substrate.

도 2는 기판 이송장치에 마련되는 기판 클램핑 장치의 측면을 도시한 도면이다.2 is a view showing the side of the substrate clamping device provided in the substrate transfer device.

도 2에서 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 클램핑 장치(600)에는 플레이트 형상의 상부척(100a)과, 상기 상부척(100a)과의 사이로 삽입된 기판(500)을 파지하기 위한 하부척(100b)이 구비되는데, 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)의 마주보는 대향면에는 기판(500)을 흡착 고정하기 위한 진공노즐(110)이 형성된다.As shown in FIG. 2, the substrate clamping device 600 according to the present invention includes a plate-shaped upper chuck 100a and a lower chuck for holding a substrate 500 inserted between the upper chuck 100a. 100b is provided, and a vacuum nozzle 110 for adsorbing and fixing the substrate 500 is formed on the opposite surface of the upper chuck 100a and the lower chuck 100b.

먼저, 상기 진공노즐(110)이 마련되는 상부척(100a)과 하부척(100b)을 포함하는 기판 클램핑 장치에 대하여 설명한다. First, a substrate clamping apparatus including an upper chuck 100a and a lower chuck 100b on which the vacuum nozzle 110 is provided will be described.

본 실시예에 따른 기판 클램핑 장치는 기판(500)의 일측을 기계적인 압착과 진공에 의한 흡착으로 고정하기 위해 상부척(100a)과 하부척(100b)으로 이루어지는 고정부(100)와, 상기 고정부(100)를 상하 방향으로 이동시키기 위한 수직이송부(200)와, 기판(500)의 크기에 따라 기판(500)을 향하거나 그로 부터 멀어지는 방향 방향(이하에서는 이를 기판의 폭방향이라 정함)으로 상기 고정부(100)를 이동시키기 위한 수평이송부(300)와, 상기 고정부(100)를 기판(500)이 이송되는 방향으로 진행시키기 위한 이송플레이트(400)를 포함한다.The substrate clamping device according to the present embodiment includes a fixing part 100 including an upper chuck 100a and a lower chuck 100b to fix one side of the substrate 500 by mechanical compression and suction by vacuum. Vertical transfer part 200 for moving the government unit 100 in the vertical direction, and a direction toward or away from the substrate 500 according to the size of the substrate 500 (hereinafter referred to as the width direction of the substrate) It includes a horizontal transfer unit 300 for moving the fixing unit 100 and the transfer plate 400 for advancing the fixing unit 100 in the direction in which the substrate 500 is transferred.

예컨대, 기판(500)의 일측 또는 양측을 파지하기 위한 고정부(100)는 상부척(100a)과, 상기 상부척(100a)에 일정 간격 이격되어 상,하 이동가능한 하부척(100b)으로 구성된다. 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)의 마주보는 대향면에는 기판(500)을 진공에 의해 흡착하기 위한 진공노즐(110)이 마련되는데, 이에 대한 상세한 설명은 후술한다. 상기 하부척(100b)은 상기 상부척(100a)의 일측에 접촉되며, 상기 기판(500)이 상부척(100a)과 하부척(100b)의 사이로 진입시 상기 상부척(100a)의 접촉면을 따라 상승하여 기판(500)이 고정되도록 구성된다. 이때, 상기 기판(500)은 0.7mm 정도의 얇은 두께를 가지므로 상기 상부척(100a)과 하부척(100b) 간의 간격은 상기 하부척(100b)의 미세한 승강 조정에 의해 조절 가능하다. For example, the fixing part 100 for holding one side or both sides of the substrate 500 is composed of an upper chuck 100a and a lower chuck 100b movable up and down spaced apart from the upper chuck 100a by a predetermined interval. do. The opposite surface of the upper chuck (100a) and the lower chuck (100b) is provided with a vacuum nozzle 110 for adsorbing the substrate 500 by a vacuum, a detailed description thereof will be described later. The lower chuck 100b is in contact with one side of the upper chuck 100a, and the substrate 500 rises along the contact surface of the upper chuck 100a when the substrate 500 enters between the upper chuck 100a and the lower chuck 100b. The substrate 500 is configured to be fixed. At this time, since the substrate 500 has a thin thickness of about 0.7mm, the distance between the upper chuck 100a and the lower chuck 100b can be adjusted by fine lifting adjustment of the lower chuck 100b.

상기 고정부(100)를 승강시키기 위한 수직이동부는 상기 고정부(100)를 상하 방향으로 이동시킴으로써 기판(500)의 크기나 처리 공정에 따라 그에 대응되는 높 이로 기판(500)을 위치시키며, 통상의 공압 실린더로 구성되는 수직이송수단을 통해 상기 고정부(100)와 연결된다. The vertical moving part for elevating the fixing part 100 moves the fixing part 100 in the vertical direction to position the substrate 500 at a height corresponding thereto according to the size or processing process of the substrate 500. It is connected to the fixed part 100 through a vertical transfer means consisting of a conventional pneumatic cylinder.

상기 고정부(100)를 기판(500)의 폭 방향으로 이동시키기 위한 수평이송부(300)는 상기 수직이송부(200)의 일측으로 수평이송수단을 통해 연결된다. 상기 수평이송수단은 수평방향으로 이동이 가능한 통상의 유압, 공압 실린더가 사용될 수 있다. 여기서, 상기 수평이송부(300)는 기판(500)의 반입이나 반출 과정에서는 기판(500)과의 간섭을 방지하기 위해서 상기 고정부(100)를 기판에서 멀어지게 후퇴시킨 후 기판(500)이 반입된 후에는 기판(500)을 향하는 방향으로 전진시켜 기판(500)을 고정시킬 수 있는 위치까지 이동시킨다.The horizontal transfer part 300 for moving the fixing part 100 in the width direction of the substrate 500 is connected to one side of the vertical transfer part 200 through a horizontal transfer means. The horizontal transfer means may be used a conventional hydraulic, pneumatic cylinder that can move in the horizontal direction. In this case, the horizontal transfer part 300 retracts the fixing part 100 away from the substrate in order to prevent interference with the substrate 500 during the loading or unloading of the substrate 500. After carrying in, the substrate 500 is moved in a direction toward the substrate 500 to move to a position where the substrate 500 can be fixed.

반송테이블을 따라 상기 고정부(100)를 이송하기 위한 이송플레이트(400)는 상기 고정부(100)와 수직이송부(200) 및 수평이송부(300)를 저부에서 지지하며 상기 반송테이블의 일측 또는 양측에 그 길이 방향을 따라 형성된 이송경로를 통해 슬라이딩 이동가능한 구성으로 이루어진다. The transport plate 400 for transporting the fixed part 100 along a transport table supports the fixed part 100, the vertical transport part 200, and the horizontal transport part 300 at a bottom thereof, and on one side of the transport table. Or it consists of a configuration which is slidable through the conveyance path formed along the longitudinal direction on both sides.

이하, 기판을 진공에 의해 흡착가능한 상부척과 하부척에 대하여 자세히 설명한다.Hereinafter, the upper chuck and the lower chuck which can adsorb | suck a board | substrate by a vacuum are demonstrated in detail.

도 3a 및 도 3b는 기판 클램핑 장치에 마련된 진공노즐을 나타낸 도면이고, 도 4a 및 4b는 기판 클램핑 장치에 진공노즐이 마련된 구성과 그 변형예를 나타낸 도면이며, 도 5는 기판 클램핑 장치의 진공노즐에 의해 기판이 고정된 설치 상태를 나타낸 도면이다.3A and 3B are views illustrating a vacuum nozzle provided in a substrate clamping device, and FIGS. 4A and 4B are views illustrating a configuration in which a vacuum nozzle is provided in a substrate clamping device and variations thereof, and FIG. 5 is a vacuum nozzle of the substrate clamping device. It is a figure which shows the installation state in which the board | substrate was fixed by this.

도 3a 내지 도 5에서 도시된 바와 같이, 기판을 고정하기 위한 고정부(100)는 상부척(100a)과 하부척(100b)으로 구성되는데, 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)의 마주보는 대향면의 적어도 어느 하나에는 상기 기판(500)을 흡착하여 고정하기 위한 진공노즐(110)이 형성된다. 즉, 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)의 마주보는 적어도 어느 하나에는 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)을 관통하는 관통공(150)이 형성되고, 상기 진공노즐(110)은 상기 관통공(150) 내에 설치된다. 이때, 상기 진공노즐(110)은 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)의 대향면의 어느 하나에 형성될 수 있고, 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)의 양대향면에 형성될 수도 있다. 상기 대향면 모두에 상기 진공노즐(110)이 형성되는 경우에는 동일 지점을 상기 기판(500)의 일측면과 타측면에서 동시에 흡착할 수 있도록 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)의 마주보는 동일축선 상에 진공노즐(110)을 각각 형성하는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 상기 관통공(150) 내에 진공노즐이 마련되는 구성으로 설명하였으나, 변형예로, 상기 관통공(150) 자체에 에어흡입부(130)가 연결되어 상기 관통공(150)을 통하여 기판(500)을 흡착할 수도 있다.As shown in Figures 3a to 5, the fixing part 100 for fixing the substrate is composed of an upper chuck (100a) and a lower chuck (100b), of the upper chuck (100a) and lower chuck (100b) At least one of the opposing surfaces is provided with a vacuum nozzle 110 for adsorbing and fixing the substrate 500. That is, at least one of the upper chuck 100a and the lower chuck 100b facing each other has a through hole 150 penetrating through the upper chuck 100a and the lower chuck 100b and the vacuum nozzle 110. ) Is installed in the through hole 150. In this case, the vacuum nozzle 110 may be formed on any one of the opposing surfaces of the upper chuck (100a) and the lower chuck (100b), formed on both opposing surfaces of the upper chuck (100a) and lower chuck (100b). May be When the vacuum nozzles 110 are formed on all of the opposing surfaces, the upper chuck 100a and the lower chuck 100b face each other so as to simultaneously adsorb the same point on one side and the other side of the substrate 500. Preferably, the vacuum nozzles 110 are formed on the same axis as the beams. In the present embodiment, the vacuum nozzle is provided in the through hole 150, but as a modification, the air inlet 130 is connected to the through hole 150 and the through hole 150. The substrate 500 may also be adsorbed.

상기 진공노즐(110)은 그 상부면으로 상기 기판(500)과 접촉되는 접촉면을 갖으며 그 내측으로 에어가 흡입되는 에어유로(120)가 형성되고, 상기 에어유로(120)는 에어를 흡입하기 위해 펌프 역할을 하는 에어흡입부(130)와 연결된다. 또한, 상기 진공노즐(110)은 상기 대향면에 적어도 하나의 열로 배열될 수 있는데, 예를 들어 상기 대향면으로 매트릭스 형태의 일정 패턴으로 다수개 배치될 수 있다. The vacuum nozzle 110 has a contact surface in contact with the substrate 500 as an upper surface thereof, an air passage 120 through which air is sucked is formed, and the air passage 120 sucks air. It is connected to the air suction unit 130 that serves as a pump. In addition, the vacuum nozzle 110 may be arranged in at least one row on the opposite surface, for example, a plurality of the vacuum nozzle 110 may be arranged in a predetermined pattern in the form of a matrix.

상기 상부척(100a) 및 하부척(100b)의 대향면으로는 기판(500)의 손상을 방지하기 위해 기판(500)의 강도보다 낮은 강도의 충격흡수부재(140)가 마련될 수 있다. 본 실시예에서의 충격흡수부재(140)는 고성능 열가소성 수지 중에서 폴리에테르에테르케톤(polyetheretherketone:PEEK), 에틸렌을 중합한 열가소성 수지인 고분자 폴리에틸렌, 불화탄화수소의 중합체인 불소수지 화합물등중 적어도 어느 하나를 포함하여 사용될 수 있다.The opposite surface of the upper chuck 100a and the lower chuck 100b may be provided with an impact absorbing member 140 having a lower strength than that of the substrate 500 to prevent damage to the substrate 500. The shock absorbing member 140 according to the present embodiment may include at least one of a polyetheretherketone (PEEK), a polymer polyethylene which is a thermoplastic resin polymerized with ethylene, a fluororesin compound which is a polymer of fluorohydrocarbon, and the like. It can be used, including.

도 6는 다른 실시예에 따른 기판 클램핑 장치에 진공노즐의 구성을 나타낸 도면이다.6 is a view illustrating a configuration of a vacuum nozzle in a substrate clamping device according to another embodiment.

다른 실시예로, 도 6에서 도시된 바와 같이, 상기 고정부(100')에는 상기 진공노즐 역할을 하는 진공패드(110')가 마련될 수 있다. 즉, 상기 진공패드(110')는 상기 기판(500)과 접촉시 그 접촉면 전체를 통해 흡착이 이루어지도록 미세한 홀을 갖는 흡착판 형상으로 구성될 수 있다. 또한, 상기 진공패드(110')의 저면에는 에어흡입부(130)를 통해 에어가 흡입될 수 있도록 다수의 에어유로(120')가 소정 간격 이격되어 연결될 수 있다.In another embodiment, as shown in FIG. 6, the fixing part 100 ′ may be provided with a vacuum pad 110 ′ serving as the vacuum nozzle. That is, the vacuum pad 110 ′ may be configured in the shape of an adsorption plate having minute holes so that adsorption is performed through the entire contact surface when the vacuum pad 110 ′ contacts the substrate 500. In addition, a plurality of air passages 120 ′ may be connected to a bottom of the vacuum pad 110 ′ at predetermined intervals so that air may be sucked through the air suction unit 130.

이와같은 구성으로 이루어진 본 발명의 작동을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention made of such a configuration as follows.

먼저, 기판(500)이 기판 이송장치에 반입되면 클램핑 장치는 상기 기판(500)의 일측 또는 양측을 실린더에 의해 기계적으로 고정한 후 에어를 흡착하여 고정하고, 상기 클램핑 장치에 의해 고정된 상기 기판(500)은 기판 이송장치의 반송테이블을 따라 이동하게 된다.First, when the substrate 500 is loaded into the substrate transfer apparatus, the clamping apparatus mechanically fixes one side or both sides of the substrate 500 by a cylinder, and then sucks and fixes air, thereby fixing the substrate ( 500 moves along the transfer table of the substrate transfer device.

예컨대, 클램핑 장치의 상부척(100a)과 하부척(100b) 사이로 기판(500)이 진입하면, 상기 하부척(100b)이 상부로 이송되며 기판(500)이 상기 상부척(100a)과 하부척(100b) 사이에 고정된다. 이때, 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)의 대향면에 마련된 충격흡수부재(140)에 의해 상기 기판(500)이 상부척(100a)과 하부척(100b)에 의해 접촉시 마찰에 의한 손상을 최대한 감소시킨다. 이를 위한 상기 충격흡수부재(140)로는 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 고분자 폴리에틸렌, 불소수지 화합물과 같은 물질이 사용될 수 있다.For example, when the substrate 500 enters between the upper chuck 100a and the lower chuck 100b of the clamping device, the lower chuck 100b is transferred upward and the substrate 500 is moved between the upper chuck 100a and the lower chuck. It is fixed between 100b. At this time, the substrate 500 is frictional upon contact by the upper chuck 100a and the lower chuck 100b by the impact absorbing member 140 provided on the opposing surfaces of the upper chuck 100a and the lower chuck 100b. Reduce damage as much as possible. As the shock absorbing member 140, a material such as polyether ether ketone (PEEK), polymer polyethylene, or fluororesin compound may be used.

계속하여, 상기 기판(500)이 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)의 기계적 힘에 의해 고정되면 상부척(100a)과 하부척(100b)의 대향면에 형성된 진공노즐(110)을 통해 기판(500)과의 접촉면에 형성된 에어를 흡입하여 다시 한번 고정함으로써 기판(500)에 대한 클램핑 장치의 고정력이 증대되도록 한다. 이때, 상기 진공노즐(110)은 상부척(100a) 및 하부척(100b)의 대향면의 어느 일면에 형성될 수도 있고, 대향면 모두에 형성될 수 있으며, 대향면 모두에 형성된 경우에는 상기 진공노즐(110)이 상부척(100a) 및 하부척(100b)에 동일축선상에 배치되도록 구성하여 기판(500)의 일측면과 타측면을 동시에 흡착하는 것이 바람직하다. 상기 기판(500)은 상기 상부척(100a)과 하부척(100b)에 의한 기계적인 고정과, 진공노즐(110)의 진공 흡착에 의해 기판(500)에 대한 클램핑 장치의 고정력이 증대된 상태에서 클램핑 장치에 의해 반송테이블을 따라 이송하게 된다. Subsequently, when the substrate 500 is fixed by the mechanical force of the upper chuck 100a and the lower chuck 100b, the vacuum nozzle 110 formed on the opposite surface of the upper chuck 100a and the lower chuck 100b is opened. By sucking the air formed on the contact surface with the substrate 500 and fixing it again, the clamping device for the substrate 500 is increased. In this case, the vacuum nozzle 110 may be formed on any one surface of the opposing surface of the upper chuck (100a) and the lower chuck (100b), may be formed on all of the opposing surface, if the vacuum nozzle is formed on all of the opposing surface It is preferable that the nozzle 110 is configured to be disposed on the same axis on the upper chuck 100a and the lower chuck 100b to simultaneously adsorb one side and the other side of the substrate 500. The substrate 500 is mechanically fixed by the upper chuck 100a and the lower chuck 100b, and the clamping device is fixed to the substrate 500 by the vacuum suction of the vacuum nozzle 110. It is conveyed along the conveying table by the clamping device.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 공압 실린더 방식에 의한 기계적인 고정 뿐만 아니라 진공노즐(110)을 통한 진공 흡착으로 기판(500)을 고정할 수 있어 기판(500)이 고속으로 이송되는 과정에서도 클램핑 장치에서 이탈되는 것을 방지하고, 기판(500)의 정위치 및 얼라인된 위치가 변하지 않아 기판(500) 이송의 신뢰성을 확보할 수 있으며, 고정된 상태인 기판(500)이 미끄러져 발생되는 크랙을 미연에 방지할 수 있다.As described above, the present invention can fix the substrate 500 by vacuum adsorption through the vacuum nozzle 110 as well as mechanical fixation by the pneumatic cylinder method, so that the clamping device can be used in the process of transferring the substrate 500 at high speed. It is possible to prevent the deviation from the, and the exact position and the aligned position of the substrate 500 does not change to ensure the reliability of the transfer of the substrate 500, and the cracks generated by sliding the substrate 500 in a fixed state It can prevent it beforehand.

본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명 하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개량 및 변화 될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진자는 용이하게 알 수 있음을 밝혀 두고자 한다.While the invention has been shown and described with respect to specific embodiments thereof, it will be appreciated that the invention can be variously modified and varied without departing from the spirit or scope of the invention as provided by the following claims. It will be clear to those skilled in the art that they can easily know.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의하면, 기판 클램핑 장치에 파지된 기판이 고속으로 이동하는 경우 기판 클램핑 장치로부터 기판이 이탈되는 것을 방지하여 기판 이송의 신뢰성을 확보하여 그에 따른 제품의 생산성을 증대시킬 수 있는 장점이 있다. As described above, according to the present invention, when the substrate held in the substrate clamping apparatus moves at a high speed, the substrate is prevented from being separated from the substrate clamping apparatus to secure the reliability of substrate transfer, thereby increasing the productivity of the product. There is an advantage.

또한 본 발명은 얼라인된 기판의 위치가 가변되는 것을 방지하여 기판의 정위치 이송이 가능하도록 할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect that it is possible to prevent the position of the aligned substrate is changed to enable the exact position transfer of the substrate.

또한, 본 발명은 기계적인 기판 클램핑 장치의 파지에 의한 기판 표면에 스크래치 또는 크랙이 발생되는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.In addition, the present invention has the advantage that it is possible to prevent the occurrence of scratches or cracks on the surface of the substrate by the holding of the mechanical substrate clamping device.

Claims (7)

기판 클램핑 장치에 있어서, In a substrate clamping device, 상부척과, Upper Chuck, 상기 상부척에 이격되어 구비되며, 상기 상부척과의 사이에 기판을 파지할 수 있도록 이동 가능한 하부척을 포함하고,A lower chuck spaced apart from the upper chuck and movable to hold the substrate between the upper chuck and the upper chuck; 상기 상부척과 하부척의 마주보는 대향면의 적어도 어느 하나에는 상기 기판을 흡착하여 고정하기 위한 진공노즐이 적어도 하나의 열로 배열되어 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑 장치.And at least one of the opposite surfaces of the upper chuck and the lower chuck, the vacuum nozzles for adsorbing and fixing the substrate are arranged in at least one row. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 상부척과 하부척의 마주보는 적어도 어느 하나에는 관통공이 형성되고, 상기 진공노즐은 상기 관통공 내에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑 장치.At least one of the upper chuck and the lower chuck facing through hole is formed, the substrate clamping device, characterized in that the vacuum nozzle is installed in the through hole. 삭제delete 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 대향면의 적어도 어느 하나에는 At least one of the opposing surfaces 기판의 손상을 방지하기 위한 충격흡수부재가 마련되는 것을 특징으로 기판 클램핑 장치.Substrate clamping device, characterized in that the shock absorbing member for preventing damage to the substrate is provided. 청구항 4에 있어서,The method of claim 4, 상기 충격흡수부재는 PEEK, 고분자 폴리에틸렌, 불소수지 화합물 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑 장치.The shock absorbing member is a substrate clamping device comprising at least one of PEEK, high molecular polyethylene, fluorine resin compound. 기판 이송장치에 있어서,In the substrate transfer apparatus, 청구항 1 또는 청구항 2에 따른 기판 클램핑 장치와,The substrate clamping device according to claim 1 or 2, 상기 기판 클램핑 장치가 일측 또는 양측에 마련되어 상기 기판을 공압으로 지지하는 반송테이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.And a conveying table provided at one side or both sides of the substrate clamping device to pneumatically support the substrate. 기판 검사장치에 있어서,In the substrate inspection apparatus, 청구항 1 또는 청구항 2에 따른 기판 클램핑 장치가 마련되는 기판 이송장치와,A substrate transfer device provided with a substrate clamping device according to claim 1, 이송되는 기판의 이상 유무를 검사하기 위한 카메라검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.Substrate inspection apparatus comprising a camera inspection unit for inspecting the abnormality of the substrate to be transferred.
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