KR102329139B1 - Stage apparatus for supporting foldable display device and inspection equipment thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비에 적용되어서 검사되어야 할 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치에 관한 것이다. The present invention is applied to inspection equipment for inspecting a foldable display element and relates to a stage device for supporting a display element to be inspected.
디스플레이 장치는 화면을 통해 사용자에게 뉴스, 사진 또는 영상과 같은 각종의 시각적 컨텐츠를 제공한다. 이러한, 디스플레이 장치로는 TV, 모니터, 스마트폰, 테블릿PC, 스마트 워치, 자동차용 디스플레이 장치 등이 고려될 수 있다. The display device provides various types of visual content, such as news, photos, or images, to a user through a screen. As such a display device, a TV, a monitor, a smart phone, a tablet PC, a smart watch, a display device for automobiles, etc. may be considered.
최근, 디스플레이 장치를 구성하는 화면 즉, 디스플레이 분야는 더 선명하고 더 큰 광폭 화면으로 시각적 컨텐츠를 감상할 수 있는 방향으로 발전하고 있으며, 이러한 연구들 중 하나로 유연하게 휘어지거나 접힐 수 있는 디스플레이(예컨대, foldable display)가 제시된 바 있다. Recently, the screen constituting the display device, that is, the display field is developing in the direction of viewing visual contents on a clearer and larger wide screen, and one of these studies is a display that can be flexibly bent or folded (eg, foldable display) has been proposed.
이러한 폴더블 디스플레이소자는 형태 변형을 통해 공간 활용성을 높일 수 있는데, 대표적으로, 초박막 글라스(Ultra Thin Glass; UTG)와 투명폴리이미드(Colorless Polyimide; CPI)가 있다. 이 중 초박막 글라스는 얇은 두께로 구부리기 용이하면서도 유리 본연의 강도와 투명함을 그대로 지니는데, 유리라는 특성상 접혔다 폈을 경우 주름이 남지 않고 보다 선명한 화면을 제공할 수 있으며, 최근 출시된 폴더블 스마트폰의 커버 윈도우(Cover Window)로 적용된 바 있다. Such a foldable display device can increase space utilization through shape transformation, and representative examples include Ultra Thin Glass (UTG) and Colorless Polyimide (CPI). Among them, ultra-thin glass is thin and easy to bend, yet retains the original strength and transparency of glass. It has been applied as a cover window of
한편, 디스플레이소자들은 표면의 이물이나 스크래치 또는 찍힘 등을 검사하기 위한 표면 검사가 수행되어야만 이들로 구성되는 디스플레이 장치가 최종적으로 양호한 상태의 완제품으로 생산될 수 있다. On the other hand, the display device can be finally produced as a finished product in a good state only when the surface inspection for inspecting the surface of the display elements, such as scratches or dents.
이때, 디스플레이소자를 검사하기 위한 일반적인 검사장비는 라인스캔카메라가 스테이지장치에 적재된 디스플레이소자의 평면을 스캔하고, 카메라에 의해 촬영된 이미지 분석을 통해 검사하고자 하는 디스플레이소자의 양부를 판단하게 된다. 즉, 스테이지장치는 라인스캔카메라에 의해 디스플레이가 적절히 스캔될 수 있도록 적재된 디스플레이를 바르게 떠받칠 수 있는 구성으로 마련되어야 한다.At this time, in general inspection equipment for inspecting the display device, a line scan camera scans the plane of the display device loaded on the stage device, and determines the quality of the display device to be inspected through image analysis taken by the camera. That is, the stage device must be provided in a configuration that can properly support the loaded display so that the display can be properly scanned by the line scan camera.
그러나, 종래의 스테이지장치는 검사되어야 할 검사대상체 즉, 디스플레이소자의 양단을 흡착하거나, 파지한 뒤 일정 간격을 벌려서 적재된 디스플레이소자를 평평하게 펴도록 마련되는데, 폴더블 디스플레이소자의 경우, 화면 크기가 가변될 수 있도록 제작됨에 따라 종래 디스플레이소자 대비 인치(inch)가 커지다보니, 검사대상체의 양단만을 흡착 또는 파지하여 적재된 검사대상체의 평탄도가 유지되도록 지지하는데 한계가 존재하고, 검사대상체의 양단간 간격이 넓어 중간지점에서 중력과 장력에 의한 처짐이 발생할 수 있다.However, the conventional stage device is provided to flatten the loaded display element by adsorbing or holding both ends of the object to be inspected, that is, the display element, and then spreading the stacked display element at a predetermined interval. In the case of a foldable display element, the screen size Since the inches are increased compared to the conventional display device as the display device is manufactured to be variable, there is a limit in supporting so that the flatness of the loaded inspection object is maintained by adsorbing or holding only both ends of the object to be inspected, and between both ends of the object to be inspected. Since the gap is wide, deflection due to gravity and tension can occur at the midpoint.
이때, 검사대상체가 스테이지장치에 쳐지거나 휘어진 상태로 적재될 경우에는 검사 결과의 신뢰성이 낮아지게 되므로, 검사 중 검사대상체의 처짐을 개선하며 검사대상체의 평탄도를 유지시킬 수 있는 스테이지장치가 요구되는 실정이다.At this time, when the test object is loaded in a sagging or bent state on the stage device, the reliability of the test result is lowered. the current situation.
그러나, 폴더블 디스플레이소자에 적합한 스테이지장치에 관한 선행기술은 전무한 상태이며, 검사되어야 할 검사대상체를 평평한 상태로 교정 및 유지하는데 있어서, 검사대상체의 양단만을 흡착 또는 파지하던 종래 스테이지장치가 그대로 적용되기에는 곤란하다.However, there is no prior art on a stage device suitable for a foldable display device, and in calibrating and maintaining an inspection target to be inspected in a flat state, the conventional stage device that sucks or holds only both ends of the inspection object is applied as it is. is difficult
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 적재된 폴더블 디스플레이소자가 전 면적에 걸쳐서 평평한 상태로 교정 및 유지되도록 지지하는 폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치 및 이를 적용한 검사장비를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, and to provide a stage device for supporting a foldable display device supporting the loaded foldable display device to be corrected and maintained in a flat state over the entire area, and inspection equipment to which the same is applied. There is a purpose.
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치는 베이스프레임; 상기 베이스프레임 상단에 결합되어, 적어도 하나 이상의 접힘 구간을 구비하는 폴더블 디스플레이소자(foldable display device)의 일 측을 흡착 지지하는 제1 지지기; 상기 제1 지지기와 일정 간격 이격되어서 상기 폴더블 디스플레이소자의 타 측을 흡착 지지하되, 상기 제1 지지기와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스프레임 상단에 결합되는 제2 지지기; 상기 제1 지지기와 제2 지지기 사이에 배치되어, 상기 폴더블 디스플레이소자의 하면을 받치기 위한 받침부재; 및 상기 제2 지지기를 이동시키는 이동기;를 포함하고, 상기 받침부재는 상기 폴더블 디스플레이의 접힘 구간에 배치될 수 있다.In order to achieve this object, a stage device for supporting a foldable display device according to an embodiment of the present invention includes a base frame; a first supporter coupled to the upper end of the base frame and adsorbing and supporting one side of a foldable display device having at least one folding section; a second supporter that is spaced apart from the first supporter by a predetermined distance to adsorb and support the other side of the foldable display device, and is coupled to the upper end of the base frame so as to be movable in a direction closer to or away from the first supporter; a support member disposed between the first supporter and the second supporter to support a lower surface of the foldable display device; and a mover for moving the second supporter, wherein the support member may be disposed in a folding section of the foldable display.
여기서, 상기 폴더블 디스플레이소자는 초박막 글라스(Ultra Thin Glass; UTG)로 마련될 수 있다.Here, the foldable display device may be made of ultra-thin glass (UTG).
그리고, 상기 받침부재는, 소정의 두께를 가지는 선(線) 형상으로 구비되고, 상기 받침부재는, 합성섬유(synthetic fiber), 섬유강화복합재료(Fiber reinforced materials), 슈퍼섬유(super fiber), 강선(steel wire) 중 어느 하나로 마련될 수 있다.And, the support member is provided in the shape of a line having a predetermined thickness, and the support member is a synthetic fiber, a fiber reinforced composite material, a super fiber, It may be provided with any one of a steel wire (steel wire).
또한, 상기 스테이지장치는 상기 베이스프레임 상단에 결합되어, 상기 받침부재의 양단을 각각 고정하기 위한 고정기; 를 더 포함할 수 있다.In addition, the stage device is coupled to the upper end of the base frame, the fixing device for fixing both ends of the support member, respectively; may further include.
그리고, 상기 제1 지지기는, 상기 폴더블 디스플레이소자를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공 구멍들이 형성되어 있는 제1 흡착 플레이트; 및 상기 제1 흡착 플레이트를 지지하는 제1 지지프레임; 을 구비할 수 있다.In addition, the first support unit may include: a first suction plate having vacuum holes formed thereon for adsorbing and supporting the foldable display device by a vacuum suction force; and a first support frame supporting the first adsorption plate; can be provided.
또한, 상기 베이스프레임은, 상기 제2 지지기의 이동을 안내하기 위한 가이드부재; 를 구비하고, 상기 가이드 부재는 외측 방향으로 돌출 형성된 가이드돌기를 포함할 수 있다.In addition, the base frame, a guide member for guiding the movement of the second supporter; And, the guide member may include a guide projection formed to protrude outward.
그리고, 상기 제2 지지기는, 상기 폴더블 디스플레이소자를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공 구멍들이 형성되어 있는 제2 흡착 플레이트; 상기 제2 흡착 플레이트를 지지하는 제2 지지프레임; 및 상단이 상기 제2 지지프레임의 하단과 마주 접하며, 그 하단이 상기 베이스프레임과 이동 가능하게 결합되는 이동프레임; 을 포함하며, 상기 이동프레임은, 상기 가이드부재에 의해 이동이 안내되도록 상기 가이드돌기가 인입되는 가이드레일; 을 구비할 수 있다.The second support unit may include: a second adsorption plate having vacuum holes for adsorbing and supporting the foldable display device by a vacuum adsorption force; a second support frame for supporting the second adsorption plate; and a moving frame having an upper end in contact with the lower end of the second support frame, the lower end of which is movably coupled to the base frame; It includes, wherein the moving frame includes: a guide rail through which the guide protrusion is introduced so that the movement is guided by the guide member; can be provided.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장는 상기한 스테이지장치를 적용함으로써 쉽게 구현될 수 있다.Meanwhile, an inspection site for inspecting a foldable display device according to an embodiment of the present invention can be easily implemented by applying the above-described stage device.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 다음과 같은 효과가 있다.As described above, according to the present invention, there are the following effects.
첫째, 화면 크기가 가변될 수 있도록 마련되는 폴더블 디스플레이소자의 경우, 그 인치가 커지다보니 폴더블 디스플레이소자의 양단만을 흡착 또는 파지한 뒤 양단간 간격을 벌려 평평해지도록 펼칠 경우에 중간지점에서 중력과 장력에 의한 처짐이 발생할 수 있어 검사 중 폴더블 디스플레이소자의 평탄도가 유지되도록 지지하는데 한계가 존재하였으나, 본 발명이 제시하는 스테이지장치는 폴더블 디스플레이소자의 접힘 구간에 배치되어, 이를 추가적으로 지지하기 위한 받침부재를 구비함으로써, 해당 한계를 극복할 수 있다.First, in the case of a foldable display device that is provided so that the screen size can be changed, since the inch increases, only both ends of the foldable display device are adsorbed or gripped and then spread out to be flat by widening the distance between the ends. Although sagging due to tension may occur, there is a limit in supporting the foldable display device so that flatness is maintained during inspection. By providing a support member for the, it is possible to overcome the limitation.
둘째, 복수개의 지지기 및 받침부재를 구비함에 따라 본 발명이 제시하는 스테이지장치는 적재된 폴더블 디스플레이소자가 전 면적에 걸쳐서 평평한 상태로 교정 및 유지되도록 지지할 수 있다. Second, by having a plurality of supporters and support members, the stage device proposed by the present invention can support the stacked foldable display device to be corrected and maintained in a flat state over the entire area.
셋째, 폴더블 디스플레이소자의 검사 공정이 이루어지는 동안 평평한 상태를 지속적으로 유지함에 따라 본 발명의 스테이지장치가 적용된 검사장비에서 그 검사의 신뢰성이 담보될 수 있다.Third, since the flat state is continuously maintained during the inspection process of the foldable display device, reliability of the inspection can be guaranteed in the inspection equipment to which the stage device of the present invention is applied.
도1은 디스플레이소자를 검사하기 위한 일반적인 검사장비를 개략적으로 도시한 것이다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치(이하, ‘스테이지장치’라 칭함)가 적용된 검사장비를 도시한 것이다.
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지장치를 도시한 사시도이다.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지장치를 도시한 단면도이다.
도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지장치에서 고정기를 설명하기 위해 예시한 예시도이다.
도6 은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지장치에서 이동기에 의한 제2 지지기의 이동을 설명하기 위해 도시한 것이다.1 schematically shows a general inspection equipment for inspecting a display device.
2 is a diagram illustrating inspection equipment to which a stage device (hereinafter, referred to as a 'stage device') for supporting a foldable display device according to an embodiment of the present invention is applied.
3 is a perspective view illustrating a stage device according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view showing a stage device according to an embodiment of the present invention.
5 is an exemplary view illustrating a fixture in the stage device according to an embodiment of the present invention.
6 is a view for explaining the movement of the second support by the mover in the stage device according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명하되, 이미 주지되어진 기술적 부분에 대해서는 설명의 간결함을 위해 생략하거나 압축하기로 한다.A preferred embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings, but already known technical parts will be omitted or compressed for the sake of brevity of description.
<폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비에 대한 개략적인 설명><A brief description of the inspection equipment for inspecting the foldable display element>
도1은 디스플레이소자를 검사하기 위한 일반적인 검사장비를 개략적으로 도시한 것이고, 도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치(이하, ‘스테이지장치’라 칭함)가 적용된 검사장비를 도시한 것이다.1 schematically shows a general inspection equipment for inspecting a display device, and FIG. 2 is a stage device for supporting a foldable display device according to an embodiment of the present invention (hereinafter, referred to as a 'stage device'). Shows the inspection equipment to which is applied.
도1을 참조하면, 검사장비(TE)는 스테이지장치(100), 이동장치(MA), 로딩장치(LA), 언로딩장치(UA), 라인스캔카메라(LC) 및 판단장치(EA)를 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 1, the inspection equipment TE includes a
스테이지장치(100)는 폴더블 디스플레이소자(FD)를 적재할 수 있으며, 후술할 이동장치(MA)에 의해 이동 가능하게 마련된다. The
이동장치(MA)는 스테이지장치(100)를 로딩위치(LP)와 언로딩위치(UP)간을 왕복 이동시킨다. The moving device MA reciprocates the
로딩장치(LA)는 로딩위치(LP)에 있는 스테이지장치(100)에 검사되어야 할 디스플레이(DD)를 적재하고, 언로딩장치(UA)는 언로딩위치(UP)에 있는 스테이지장치(100)로부터 검사가 완료된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 언로딩시킨다.The loading apparatus LA loads the display DD to be inspected on the
라인스캔카메라(LC)는 이동장치(MA)에 의해 테스트위치(TP)로 이동되어진 스테이지장치(100)에 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)의 평면을 라인스캔한다. 이때, 라인스캔카메라(LC)는 이동장치(MA)에 의해 스테이지장치(100)가 이동됨에 따라 함께 이동되는 폴더블 디스플레이소자(FD)의 평면을 스캔하거나, 스테이지장치(100)가 정지되어 있는 경우에, 라인스캔카메라(LA)가 이동하며 스테이지장치(100)에 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)의 평면을 스캔도록 구성될 수 있다.The line scan camera LC lines-scans the plane of the foldable display device FD mounted on the
판단장치(EA)는 라인스캔카메라(LC)에 의해 촬영된 이미지를 통해 폴더블 디스플레이소자(FD)의 양부(良否)를 판단한다. 이때, 양품으로 판정된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 적용함으로써, 이를 포함한 디스플레이 장치가 최종적으로 생산될 수 있는 것이다. The determination device EA determines whether the foldable display device FD is good or bad through the image captured by the line scan camera LC. In this case, by applying the foldable display device FD determined to be a good product, a display device including the same can be finally produced.
이때, 도2에 도시된 본 발명에 따른 폴더블 디스플레이소자(FD)를 검사하기 위한 검사장비(10)는 위와 같은 기본 구성을 가지는 검사장비(TE)에 후술할 스테이지장치(100)를 적용함으로써 쉽게 구현될 수 있는 것이다. At this time, the inspection equipment 10 for inspecting the foldable display device FD according to the present invention shown in FIG. 2 is obtained by applying the
이하에서는, 본 발명에서 제안하는 스테이지장치(100)에 관하여 구체적으로 설명하고자 한다. Hereinafter, the
<폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치에 관한 설명><Description of the stage device for supporting the foldable display device>
도3 내지 도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지장치를 도시한 것이고, 도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지장치에서 고정기를 설명하기 위해 예시한 것이며, 도6은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지장치에서 이동기에 의한 제2 지지기의 이동을 설명하기 위해 도시한 것이다.3 to 4 show a stage device according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is an illustration for explaining a fixture in the stage device according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a view of the present invention It is shown to explain the movement of the second supporter by the mover in the stage device according to an embodiment.
참고로, 스테이지장치(100)에 관한 구체적인 설명에 앞서, 본 발명에서 제시하는 스테이지장치(100)는 초박막 글라스(UTG)로 마련된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 지지하기 위하여 고안되었으나, 본 발명이 제시하는 기술적 특징은 이에 한정되지 않고 투명폴리이미드(CPI)등으로 구현된 폴더블 디스플레이소자(FD)에도 적용될 수 있음은 물론이다.For reference, prior to the detailed description of the
도2 내지 도6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지장치(100)는, 베이스프레임(110), 제1 지지기(120), 제2 지지기(130), 받침부재(140), 고정기(150) 및 이동기(160)를 포함하여 구성된다.2 to 6 , the
베이스프레임(110)은, 상면에 후술할 제1 지지기(120), 제2 지지기(130)가 결합되는 판 형상의 부재이다. 이때, 베이스프레임(120)은 중앙부가 개방되어 있으며, 후술할 제1 지지기(120) 및 제2 지지기(130)가 일정간격 이격되어 양단부에 각각 배치될 수 있다. 이때, 베이스프레임(110)의 형상은 제1 지지기(120) 및 제2 지지기(130)에 의해 흡착 지지되는 폴더블 디스플레이소자(FD)가 라인스캔카메라에 의해 스캔될 때, 검사영역 상에 폴더블 디스플레이소자(FD)만이 위치되기 위함이다.The
그리고, 베이스프레임(110)은 후술할 제2 지지기(130)의 이동을 안내하기 위한 가이드부재(111)를 구비할 수 있다. 이때, 가이드부재(111)는 외측 방향으로 돌출 형성된 가이드돌기(GB)를 포함할 수 있다. 이에 관한 구체적인 설명은 제2 지지기(130)의 구성과 함께 후술하고자 한다.In addition, the
참고로, 베이스프레임(110)은 후술할 각 구성들을 설치하기 위해 구비되는 구성으로, 이는 도2에 도시된 검사장비(10)에서 이동레일(MR)을 따라 이동될 수 있도록 마련될 수 있다.For reference, the
제1 지지기(120)는 베이스프레임(110) 상단에 결합되어, 적어도 하나 이상의 접힘 구간(FS)구간을 구비하는 폴더블 디스플레이소자(FD)의 일 측을 흡착 지지한다. 이때, 제1 지지기(120)는 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 진공 흡착력으로 지지하기 위한 진공 구멍(VH)들이 형성되어 있는 제1 흡착 플레이트(121) 및 제1 흡착 플레이트(121)를 지지하는 제1 지지프레임(122)을 포함할 수 있다. The
제2 지지기(130)는 제1 지지기(120)와 일정 간격 이격되어서 폴더블 디스플레이소자(FD)의 타 측을 흡착 지지하되, 제1 지지기(120)와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능하도록 베이스프레임(110) 상단에 결합된다.The
여기서, 제2 지지기(130)는 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 진공 흡착력으로 지지하기 위한 진공 구멍(VH)들이 형성되어 있는 제2 흡착 플레이트(131), 제2 흡착 플레이트를 지지하는 제2 지지프레임(132) 및 상단이 제2 지지프레임(132)의 하단과 마주 접하며, 그 하단이 베이스프레임(110)과 이동 가능하게 결합되는 이동프레임(133)을 포함할 수 있다.Here, the
참고로, 제1 지지기(120)에 구비된 제1 흡착 플레이트(121)와 제2 지지기(130)에 구비된 제2 흡착 플레이트(131)가 동일 수평 상에 위치될 수 있도록 제1 지지프레임(122)의 높이는 제2 지지프레임(132) 높이와 이동프레임(MF)의 높이가 합쳐진 길이에 대응되는 길이를 가질 수 있다.For reference, the first support so that the
그리고, 이동프레임(133)은 베이스프레임(110)에 구비된 가이드부재(111)에 의해 이동이 안내되도록 가이드부재(111)에 구비된 가이드돌기(GB)가 인입되는 가이드레일(GR)을 구비할 수 있다.In addition, the moving
도6을 참조하여 제2 지지기(130)의 이동을 좀더 구체적으로 설명하면, 베이스프레임(110)의 상단에 구비된 가이드부재(111)는 이동프레임(133)의 하단에 배치된 가이드레일(GR)와 결합되어, 제2 지지기(130)의 수평 이동을 안내할 수 있다. 여기서, 가이드부재(111)는 외측 방향으로 돌출 형성된 적어도 하나 이상의 가이드돌기(GB)를 구비하고, 이러한 가이드돌기(GB)는 길이방향을 따라 내측 방향으로 함몰 형성된 가이드레일(GR)의 홈(미도시)에 인입되어 결과적으로, 가이드부재(111)는 가이드레일(GR)의 홈을 따라 이동하게 된다.When the movement of the
이때, 본 발명의 스테이지장치(100)에는 제2 지지기(130)의 이동 시 제2 흡착 플레이트(131)에 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)가 탈락되지 않도록 제2 지지기(130)의 이동 거리를 제한하기 위한 이동제한부재(MLP)가 구비될 수 있다.At this time, in the
참고로, 도3에 도시된 바와 같이, 제1 지지기(120) 및 제2 지지기(130)에는 복수개의 흡착 플레이트가 각각 구비되고, 제1 지지기(120)에 구비된 흡착 플레이트들과 제2 지지기(130)에 구비된 흡착 플레이트들이 대칭되도록 배치되어 있는데, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 경우, 구현되기에 따라 그 면적이 종래 디스플레이소자와 동일하거나 더 넓게 마련될 수 있어, 동일한 경우에는 제1 지지기(120) 및 제2 지지기(130)에 각각 구비된 하나의 흡착 플레이트에 그 양단이 지지될 수 있고, 더 넓게 마련된 경우에는 제1 지지기(120) 및 제2 지지기(130)에 각각 구비된 복수의 흡착 플레이트에 의해 그 양단이 지지될 수 있다. For reference, as shown in FIG. 3 , the
받침부재(140)는 제1 지지기(120)와 제2 지지기(130) 사이에 배치되어, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 하면을 받치기 위한 구성이다. 이때, 받침부재(140)는 소정의 두께를 가지는 선(線) 형상으로 구비되는데, 얇고 긴 선 형상의 받침부재(140)가 제1 지지기(120) 및 제2 지지기(130)에서 각각 길이 방향으로 일렬 배치된 흡착 플레이트들(121a, 121b, 131a, 131b)의 배치 방향과 평행을 이루며 배치될 수 있다.The
이때, 받침부재(140)는 라인스캔카메라를 통한 폴더블 디스플레이소자(FD)의 검사 시 그 양부 판정에 영향을 미치지 않도록 폴더블 디스플레이소자(FD)의 접힘 구간(FS)에 위치되는 것이 바람직 할 수 있다. 참고로, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 검사를 위한 카메라 스펙에 따라 알고리즘을 적용하여 촬영 이미지에 받침부재(140)가 가시되지 않도록 함으로써, 그 양부 판정이 이루어지도록 구현할 수도 있는데, 이 경우에는 받침부재(140)가 폴더블 디스플레이소자(FD)의 접힘 구간(FS)이 아닌 타 구간에 배치될 수 있음은 물론이다.At this time, the
여기서, 받침부재(140)는 그 두께를 최소화하면서도, 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 지지하기 위한 강도를 제공할 수 있도록 합성섬유(synthetic fiber), 섬유강화복합재료(Fiber reinforced materials), 슈퍼섬유(super fiber), 강선(steel wire) 중 어느 하나로 마련될 수 있다.Here, the
이러한 받침부재(140)는 베이스프레임(110) 상단에 결합된 고정기(150)에 의해 그 양단이 각각 고정될 수 있다.Both ends of the
도5를 참조하면, 고정기(150)는 받침부재(140)를 고정하는 고정블록(151), 고정블록(151)의 하단부터 양 측면을 감싸도록 고정블록(151)과 마주 접한 면으로부터 그 양 단부가 상측 방향으로 소정 길이 연장된 형상으로 마련되어 고정블록(151)을 지지하는 제1 몸체(152) 및 제1 몸체(152)의 하단부에 위치되며, 제1 몸체(152)가 길이 방향으로 이동 가능하게 결합되는 제2 몸체(153)을 포함하여 구성될 수 있다.5, the fixing
이때, 제1 몸체(152)의 내측면과 이와 맞닿는 고정블록(151)의 양 측면에는 고정블록(151)을 승/하강시키기 위한 수직이동부재(VMP)가 구비되어 있을 수 있으며, 제2 몸체(153)의 상부와 이와 맞닿는 제1 몸체(152)의 하부에는 제1 몸체(152)를 길이방향으로 이동시키기 위한 수평이동부재(HNP)가 구비되어 있을 수 있다. At this time, a vertical moving member (VMP) for elevating/lowering the fixed
여기서, 고정기(150)가 수직이동부재(VMP)와 수평이동부재(HMP)를 구비함에 따라, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 형상에 맞게 받침부재(140)의 배치 위치가 가변될 수 있다. 이때, 수직이동부재(VMP)를 통해 받침부재(140)가 제1 흡착 플레이트(121) 및 제2 흡착 플레이트(122)의 상면과 동일 수평선상에 위치되도록 미세 조정됨에 따라 스테이지장치(100)에 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)가 평평하게 펴지며 그 중심부의 처짐이 방지될 수 있다. Here, as the fixing
이때, 수직이동부재(VMP)와 수평이동부재(HMP)는 이동레일(VMP_R, HMP_R)과 돌기(VMP_B, HMP_B)를 포함하여 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 고정블록(151) 및 제1 몸체(152)의 이동이 가능하도록 마련된다면 그 어떠한 구성도 적용 가능하다. 참고로, 수직이동부재(VMP)와 수평이동부재(HMP)를 통한 받침부재(140)의 배치 위치 변경은 스테이지장치(100)를 구성하는 각 구성을 제어하기 위한 제어부(미도시)에 의해 그 위치가 조정될 수 있다. At this time, the vertical moving member (VMP) and the horizontal moving member (HMP) may be configured to include the moving rails (VMP_R, HMP_R) and the projections (VMP_B, HMP_B), but is not limited thereto, and the fixed
그리고, 본 발명이 제시하는 스테이지장치(100)에서 고정기(150)는 받침부재(140)의 배치 위치를 제한하기 위한 구성으로, 단순히 받침부재(140)의 양단을 고정하는 기능만을 수행하도록 마련될 수도 있다. 즉, 도5에 도시된 고정기(150)는 하나의 실시예이므로, 실시하기에 따라 그 구성이 가변될 수 있음은 물론이다.And, in the
참고로, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 경우, 제작되기에 따라 그 접힘 구간(FS)이 하나 혹은 그 이상이 구비될 수 있는데, 받침부재(140)는 검사하고자 하는 폴더블 디스플레이소자(FD)에 구비된 접힘 구간(FS)과 대응되는 수로 구비되어야 한다. 이에, 본 발명의 스테이지장치(100)는 고정기(150) 구성 중 제2 몸체(153)를 제외한 제1 몸체(152) 및 고정블록(151)이 제2 몸체(153)에 탈착 가능하도록 마련되어, 요구되는 받침부재(140)의 수와 대응되도록 고정블록(151) 및 제1 몸체(152)를 제2 몸체(153)에 결합시키거나 제거할 수 있도록 고려될 수 있다. 그리고, 하나의 제2 몸체(153)에 고정블록(151) 및 제1 몸체(152)의 수가 각기 다르게 구비된 적어도 하나 이상의 고정기(150)를 준비하여, 검사하고자 하는 폴더블 디스플레이소자(FD)에 따라 베이스프레임(110)에서 고정기(150) 자체를 변경 결합시키는 것 또한 고려될 수 있다. For reference, in the case of the foldable display device FD, one or more folding sections FS may be provided as it is manufactured. It should be provided in the number corresponding to the folding section (FS) provided in the . Accordingly, the
이동기(160)는 제2 지지기(130)를 이동시키는 구성이다. 이때, 이동기(160)는 제2 지지기(130)를 좌우 방향으로 이동시킬 수 있는 모터나 실린더 등으로 마련될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 제2 지지기(130)를 길이 방향으로 이동 시킬 수 있는 구성이면 그 어떠한 것도 적용 가능하다.The
상술한 구성에 의해 본 발명의 스테이지장치(100)는 먼저, 제2 지지기(130)가 제1 지지기(120) 측으로 이동되어진 상태에서 스테이지장치(100)에 폴더블 디스플레이소자(FD)가 로딩되면, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 양 단이 각각 흡착 플레이트(121, 131)의 진공구멍(VH)을 통해 발생하는 진공압에 의해 흡착 지지된다. 이 후, 제2 지지기(130)는 기 설정된 이동 거리만큼 우측방향 즉, 제1 지지기(120)에서 멀어지는 방향으로 이동하게 되고, 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)는 평평하게 펼쳐지게 되는데, 이때, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 하면이 받침부재(140)에 추가적으로 지지되면서 그 중심부가 하방으로 처지게 되는 것을 방지할 수 있다.According to the above-described configuration, in the
즉, 본 발명의 스테이지장치(100)는 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)가 전 면적에 걸쳐서 평평한 상태로 교정 및 유지되도록 지지할 수 있다.That is, the
참고로, 본 발명이 제안하는 스테이지장치(100)의 기술적 특징은 검사구간에 적용되는 스테이지장치(100)뿐 아니라, 검사대상체인 폴더블 디스플레이소자(FD)를 로딩위치(LP)로 이송시키기 위한 이송장치(미도시)에도 적용될 수 있다.For reference, the technical feature of the
좀더 구체적으로, 종래 로딩구간에 구비된 이송장치는 에어플로팅(air floating) 기술을 적용하여 이송장치에 적재된 검사대상체의 하부에 에어를 제공하여 검사대상체를 로딩위치(LP)로 이송 시 그 중심부가 하방으로 쳐지는 것을 방지하였으나, 이러한 이송장치에 에이플로팅을 위한 구성을 대체하여 본 발명의 받침부재(140) 및 고정기(150)를 적용하여 이송 중 검사대상체의 하면을 지지할 수 있음은 물론이다.More specifically, the transfer device provided in the conventional loading section applies air floating technology to provide air to the lower part of the test object loaded in the transfer device to transport the test object to the loading position LP, the center of the was prevented from sagging downward, but the
즉, 본 발명이 제안하는 기술적 특징은 폴더블 디스플레이소자(FD)의 검사 공정뿐 아니라, 제조 공정 등에서 폴더블 디스플레이소자(FD)의 이송 및 취급을 위해 요구되는 폴더블 디스플레이소자(FD)를 지지하기 위한 장치들에 적용될 수 있다. That is, the technical feature proposed by the present invention supports the foldable display device FD required for transport and handling of the foldable display device FD in the manufacturing process as well as the inspection process of the foldable display device FD. It can be applied to devices for
위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 균등개념으로 이해되어져야 할 것이다.As described above, the detailed description of the present invention has been made by the embodiments with reference to the accompanying drawings, but since the above-described embodiments have only been described with preferred examples of the present invention, the present invention is limited only to the above embodiments It should not be understood as being, and the scope of the present invention should be understood as the following claims and their equivalents.
100 : 스테이지장치
110 : 베이스프레임
111 : 가이드부재
GB : 가이드돌기
120 : 제1 지지기
121 : 제1 흡착 플레이트
122 : 제1 지지프레임
130 : 제2 지지기
131 : 제2 흡착 플레이트
132 : 제2 지지프레임
133 : 이동프레임
GR : 가이드레일
MLP : 이동제한부재
140 : 받침부재
150 : 고정기
151 : 고정블록
152 : 제1 몸체
153 : 제2 몸체
VMP : 수직이동부재
HMP : 수평이동부재
160 : 이동기
FD : 폴더블 디스플레이소자
MR : 이동레일100: stage device
110: base frame
111: guide member
GB: guide projection
120: first support group
121: first adsorption plate
122: first support frame
130: second support group
131: second adsorption plate
132: second support frame
133: moving frame
GR : guide rail
MLP: Movement restriction member
140: support member
150: fixture
151: fixed block
152: first body
153: second body
VMP : Vertical moving member
HMP : Horizontal moving member
160: mover
FD: foldable display device
MR : moving rail
Claims (8)
베이스프레임;
상기 베이스프레임 상단에 결합되어, 적어도 하나 이상의 접힘 구간을 구비하는 폴더블 디스플레이소자(foldable display device)의 일 측을 흡착 지지하는 제1 지지기;
상기 제1 지지기와 일정 간격 이격되어서 상기 폴더블 디스플레이소자의 타 측을 흡착 지지하되, 상기 제1 지지기와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스프레임 상단에 결합되는 제2 지지기;
상기 제1 지지기와 제2 지지기 사이에 배치되어, 상기 폴더블 디스플레이소자의 하면을 받치기 위한 받침부재 ― 상기 받침부재는, 소정의 두께를 가지는 선(線) 형상으로 구비됨 ―;
상기 베이스프레임 상단에 결합되어, 상기 받침부재의 양단을 각각 고정하기 위한 고정기; 및
상기 제2 지지기를 이동시키는 이동기;
를 포함하고,
상기 받침부재는 상기 폴더블 디스플레이의 접힘 구간에 배치되며,
상기 고정기는:
상기 받침부재를 고정하는 고정블록;
상기 고정블록을 지지하는 제1 몸체; 및
상기 제1 몸체의 하단에 위치하여 상기 제1 몸체가 길이 방향으로 이동가능하게 결합되는 제2 몸체
를 포함하고,
상기 제1 몸체에는 상기 고정블록을 승하강시키기 위한 수직이동부재가 마련되고,
상기 제2 몸체에는 상기 제1 몸체를 상기 제2 몸체의 길이방향으로 이동시키기 위한 수평이동부재가 마련되는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
A stage device for supporting a foldable display device, comprising:
base frame;
a first supporter coupled to the upper end of the base frame and adsorbing and supporting one side of a foldable display device having at least one folding section;
a second supporter that is spaced apart from the first supporter by a predetermined distance to adsorb and support the other side of the foldable display device, and is coupled to the upper end of the base frame so as to be movable in a direction closer to or away from the first supporter;
a support member disposed between the first supporter and the second supporter to support a lower surface of the foldable display device, wherein the support member is provided in a line shape having a predetermined thickness;
a fixing device coupled to the upper end of the base frame to fix both ends of the support member; and
a mover for moving the second supporter;
including,
The support member is disposed in a folding section of the foldable display,
The fixture is:
a fixing block for fixing the support member;
a first body supporting the fixing block; and
A second body positioned at the lower end of the first body to which the first body is movably coupled in the longitudinal direction
including,
The first body is provided with a vertical moving member for elevating the fixed block,
The second body is provided with a horizontal moving member for moving the first body in the longitudinal direction of the second body.
A stage device for supporting a foldable display device.
상기 폴더블 디스플레이소자는 초박막 글라스(Ultra Thin Glass; UTG)로 마련되는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
According to claim 1,
The foldable display device is characterized in that it is provided with ultra-thin glass (UTG)
A stage device for supporting a foldable display device.
상기 받침부재는, 합성섬유(synthetic fiber), 섬유강화복합재료(Fiber reinforced materials), 슈퍼섬유(super fiber), 강선(steel wire) 중 어느 하나로 마련되는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
According to claim 1,
The support member, characterized in that provided in any one of synthetic fibers (synthetic fiber), fiber reinforced composite material (Fiber reinforced materials), super fiber (super fiber), steel wire (steel wire)
A stage device for supporting a foldable display device.
상기 제1 지지기는,
상기 폴더블 디스플레이소자를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공 구멍들이 형성되어 있는 제1 흡착 플레이트; 및
상기 제1 흡착 플레이트를 지지하는 제1 지지프레임;을 구비하는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
According to claim 1,
The first support group,
a first adsorption plate having vacuum holes for adsorbing and supporting the foldable display device by a vacuum adsorption force; and
and a first support frame supporting the first suction plate.
A stage device for supporting a foldable display device.
상기 베이스프레임은, 상기 제2 지지기의 이동을 안내하기 위한 가이드부재;를 구비하고,
상기 가이드 부재는 외측 방향으로 돌출 형성된 가이드돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
6. The method of claim 5,
The base frame includes a guide member for guiding the movement of the second supporter;
The guide member is characterized in that it comprises a guide projection formed to protrude outward.
A stage device for supporting a foldable display device.
상기 제2 지지기는,
상기 폴더블 디스플레이소자를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공 구멍들이 형성되어 있는 제2 흡착 플레이트;
상기 제2 흡착 플레이트를 지지하는 제2 지지프레임; 및
상단이 상기 제2 지지프레임의 하단과 마주 접하며, 그 하단이 상기 베이스프레임과 이동 가능하게 결합되는 이동프레임; 을 포함하며,
상기 이동프레임은, 상기 가이드부재에 의해 이동이 안내되도록 상기 가이드돌기가 인입되는 가이드레일; 을 구비하는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
7. The method of claim 6,
The second support group,
a second adsorption plate having vacuum holes for adsorbing and supporting the foldable display device by a vacuum adsorption force;
a second support frame for supporting the second adsorption plate; and
a moving frame having an upper end in contact with a lower end of the second support frame, the lower end of which is movably coupled to the base frame; includes,
The moving frame may include: a guide rail through which the guide protrusion is introduced so that movement is guided by the guide member; characterized by having
A stage device for supporting a foldable display device.
폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비.The stage device according to any one of claims 1 to 3, or claims 5 to 7 is applied
Inspection equipment for inspecting foldable display devices.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |