JP4560615B2

JP4560615B2 - Glass plate transfer roller inspection device

Info

Publication number: JP4560615B2
Application number: JP2008230209A
Authority: JP
Inventors: イータイチン
Original assignee: Avanstrate Inc
Current assignee: Avanstrate Inc
Priority date: 2008-09-08
Filing date: 2008-09-08
Publication date: 2010-10-13
Anticipated expiration: 2028-09-08
Also published as: TW201010919A; TWI461343B; JP2010064807A

Description

本発明は、ガラス板搬送用ローラの検査装置に関する。 The present invention relates to a glass plate conveying roller inspection apparatus.

フラットパネルディスプレイ用のガラス基板の製造工程には、例えば、基板用ガラス板を水平搬送しながら当該ガラス板の外観を検査する工程が含まれる。図７に示すように、所定方向Ａへの水平搬送は、樹脂製のローラ１０１が装着されたレール１０３にガラス板１０５を載せ、ローラ１０１を回転させることによって行われる。ガラス板１０５の表面を正確に検査するためには、ガラス板１０５を所定方向Ａに正確に直進させる必要がある。 The manufacturing process of the glass substrate for flat panel displays includes, for example, a process of inspecting the appearance of the glass plate while horizontally conveying the glass plate for the substrate. As shown in FIG. 7, horizontal conveyance in the predetermined direction A is performed by placing a glass plate 105 on a rail 103 on which a resin roller 101 is mounted and rotating the roller 101. In order to accurately inspect the surface of the glass plate 105, it is necessary to accurately advance the glass plate 105 in a predetermined direction A.

しかし、ローラ１０１にキズや凹凸があったり、ガラスカレットやガラス切り屑などの異物がローラ１０１に付着していたりすると、ガラス板１０５が直進しなくなる。さらに、ローラ１０１のキズやローラ１０１に付着した異物がガラス板１０５のキズの原因となる。そのため、例えば特許文献１に記載されているように、不具合があるローラを速やかに特定し、交換する必要がある。
特開２００６−０１６１６２号公報 However, if the roller 101 has scratches or irregularities, or if foreign matter such as glass cullet or glass chips adheres to the roller 101, the glass plate 105 does not advance straight. Further, scratches on the roller 101 and foreign matters attached to the roller 101 cause scratches on the glass plate 105. Therefore, for example, as described in Patent Document 1, it is necessary to quickly identify and replace a defective roller.
JP 2006-016162 A

ローラの不具合の有無は、ローラの外周面を顕微鏡で観察することに基づいて判断する。同じ列に属する全てのローラについてこの検査を行うため、多大な時間が費やされる。しかし、この検査を怠ると、ガラス板の歩留まり低下につながる。ローラは高価なので、同じ列に属する全てのローラを交換するとコストの高騰を招く。 The presence or absence of a failure of the roller is determined based on observation of the outer peripheral surface of the roller with a microscope. Since this inspection is performed for all rollers belonging to the same row, a great deal of time is spent. However, neglecting this inspection leads to a decrease in the yield of the glass plate. Since the rollers are expensive, exchanging all the rollers belonging to the same row causes a cost increase.

本発明の目的は、不具合があるローラを迅速に特定するのに役立つ新規な検査装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a novel inspection device that helps to quickly identify a defective roller.

すなわち、本発明は、
第１ベースと、
ガラス板の搬送に使用されるローラを回転可能に支持するために、前記ローラの回転軸に垂直かつ前記ローラの外周面を通過する仮想的な平面が前記第１ベースの所定の幅方向に平行となるように前記第１ベースに取り付けられたホルダと、
前記ローラの前記外周面を観察するための視野を妨げない位置に前記第１ベースと向かい合って配置された第２ベースと、
前記仮想的な平面上において前記幅方向に平行に定められた仮想的な直線を回転軸として前記第１ベースが回転することに基づき、前記第２ベースに対する前記第１ベースの姿勢が変化するように、前記第１ベースと第２ベースとを連結している連結部と、
を備えた、ガラス板搬送用ローラの検査装置を提供する。 That is, the present invention
A first base;
In order to rotatably support the roller used for transporting the glass plate, a virtual plane perpendicular to the rotation axis of the roller and passing through the outer peripheral surface of the roller is parallel to a predetermined width direction of the first base. A holder attached to the first base so that
A second base disposed facing the first base at a position that does not interfere with the visual field for observing the outer peripheral surface of the roller;
The attitude of the first base with respect to the second base changes based on the rotation of the first base around a virtual straight line defined parallel to the width direction on the virtual plane. And a connecting portion connecting the first base and the second base;
The inspection apparatus of the roller for glass plate conveyance provided with is provided.

上記本発明の検査装置によると、ホルダにローラが装着されたとき、ローラの回転軸に垂直かつローラの外周面を通過する仮想的な平面が第１ベースの所定の幅方向に平行になる。そして、その仮想的な平面上において幅方向に平行に定められた仮想的な直線を回転軸として第１ベースが回転することに基づき、第２ベースに対する第１ベースの姿勢が変化する。そのため、第１ベースを回転させたとき、ある一定の観察視野におけるローラの位置の変化を非常に小さくすることが可能で、主としてローラの姿勢（傾き）が変化する。つまり、ローラの姿勢を変化させてもローラが撮像装置の視野から外れない。したがって、撮像装置の視野に対するローラの位置をいちいち調節しなくても、ローラの外周面全体を検査できる。結果として、検査時間を大幅に短縮できる。 According to the inspection apparatus of the present invention, when a roller is mounted on the holder, a virtual plane that is perpendicular to the rotation axis of the roller and passes through the outer peripheral surface of the roller is parallel to the predetermined width direction of the first base. Then, the attitude of the first base with respect to the second base changes based on the rotation of the first base around a virtual straight line defined parallel to the width direction on the virtual plane. Therefore, when the first base is rotated, the change in the position of the roller in a certain observation field of view can be made extremely small, and the posture (tilt) of the roller mainly changes. That is, even if the posture of the roller is changed, the roller does not deviate from the field of view of the imaging device. Therefore, the entire outer peripheral surface of the roller can be inspected without adjusting the position of the roller with respect to the field of view of the imaging device. As a result, the inspection time can be greatly shortened.

ローラの頂面だけを検査するのであれば、検査中にローラの姿勢を変化させる必要がない。しかし、図８に示すように、ガラスカレット等の異物１０７は、しばしば、ローラ１０１の頂面から少し外れた面（斜面）に付着している。さらに、異物は、ローラに埋まっていることがあり、洗浄で容易に除去できないことがある。こうした異物を見つけて取り除いておかないと、ガラス板のキズの原因となる。したがって、ローラの姿勢を変えながら斜面も検査しなければならない。本発明によれば、ローラをホルダから取り外さず、かつ、撮像装置の視野の調節を行なわずに、ローラの外周面全体を観察できる。そのため、頂面だけでなく斜面に付着した異物も迅速に発見できる。 If only the top surface of the roller is inspected, it is not necessary to change the posture of the roller during the inspection. However, as shown in FIG. 8, the foreign material 107 such as glass cullet often adheres to a surface (slope) slightly deviated from the top surface of the roller 101. Furthermore, the foreign matter may be embedded in the roller and may not be easily removed by cleaning. If these foreign objects are not found and removed, it will cause scratches on the glass plate. Therefore, it is necessary to inspect the slope while changing the posture of the roller. According to the present invention, the entire outer peripheral surface of the roller can be observed without removing the roller from the holder and without adjusting the field of view of the imaging device. For this reason, not only the top surface but also foreign matter adhering to the slope can be quickly found.

図１は、本発明の実施形態にかかるガラス板搬送用ローラの検査装置の斜視図である。図２は、その検査装置の側面図である。図３は、ローラをホルダから外した状態を示す側面図である。 FIG. 1 is a perspective view of a glass plate transport roller inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the inspection apparatus. FIG. 3 is a side view showing a state in which the roller is removed from the holder.

図１〜３に示すように、検査装置１０は、第１ベース１２（上板）、ホルダ２６、第２ベース１４（下板）および連結部３６を備えている。ホルダ２６は、ガラス板の搬送に使用されるローラ３０を回転可能に支持する部品である。ホルダ２６は、ローラ３０の回転軸Ｏに垂直かつローラ３０の外周面を通過する仮想的な平面Ｈ₁が第１ベース１２の所定の幅方向ＷＬに平行となるように第１ベース１２に取り付けられている。第２ベース１４は、ローラ３０の外周面を観察するための視野を妨げない位置に第１ベース１２と向かい合って配置されている。 As shown in FIGS. 1 to 3, the inspection apparatus 10 includes a first base 12 (upper plate), a holder 26, a second base 14 (lower plate), and a connecting portion 36. The holder 26 is a component that rotatably supports the roller 30 used for conveying the glass plate. The holder 26 is attached to the first base 12 so that a virtual plane H _{1 that} is perpendicular to the rotation axis O of the roller 30 and passes through the outer peripheral surface of the roller 30 is parallel to a predetermined width direction WL of the first base 12. It has been. The second base 14 is disposed to face the first base 12 at a position that does not obstruct the field of view for observing the outer peripheral surface of the roller 30.

第１ベース１２と第２ベース１４とは、仮想的な平面Ｈ₁上において幅方向ＷＬに平行に定められた仮想的な直線Ｐを回転軸として第１ベース１２が回転することに基づき、第２ベース１４に対する第１ベース１２の姿勢が変化するように、連結部３６によって互いに連結されている。 The first base 12 and the second base 14 are based on the fact that the first base 12 rotates about a virtual straight line P defined in parallel with the width direction WL on the virtual plane H ₁ as a rotation axis. The two bases 14 are connected to each other by a connecting part 36 so that the posture of the first base 12 changes.

仮想的な平面Ｈ₁は、ホルダ２６に装着したローラ３０を回したときにローラ３０の最も径大の位置にある任意の点が描く軌跡を含む面である。仮想的な平面Ｈ₁は、また、ローラ３０の外周面を回転軸Ｏに沿って２等分する面である。 The virtual plane H ₁ is a plane including a locus drawn by an arbitrary point at the largest diameter position of the roller 30 when the roller 30 attached to the holder 26 is rotated. The virtual plane H ₁ is a plane that bisects the outer peripheral surface of the roller 30 along the rotation axis O.

ローラ３０の外周面を観察するための撮像装置５０のレンズは、図２に示すように、ホルダ２６に装着されたローラ３０の真上（所定位置）に配置される。撮像装置５０は、典型的には、光学顕微鏡または電子顕微鏡である。検査装置１０と撮像装置５０とは、ローラの検査システムを構成する。 As shown in FIG. 2, the lens of the imaging device 50 for observing the outer peripheral surface of the roller 30 is disposed directly above (predetermined position) the roller 30 attached to the holder 26. The imaging device 50 is typically an optical microscope or an electron microscope. The inspection device 10 and the imaging device 50 constitute a roller inspection system.

第１ベース１２を動かすと、撮像装置５０のレンズに対するローラ３０の姿勢が変化する。しかし、ローラ３０は水平方向には殆ど移動しない。したがって、ローラ３０と撮像装置５０のレンズとの位置合わせを行なわなくても、ローラ３０の外周面全体を容易に観察できる。図１等に示すように、ローラ３０の外周面が外向きに凸の曲面である場合に、本検査装置１０が特に有効である。 When the first base 12 is moved, the posture of the roller 30 with respect to the lens of the imaging device 50 changes. However, the roller 30 hardly moves in the horizontal direction. Therefore, the entire outer peripheral surface of the roller 30 can be easily observed without positioning the roller 30 and the lens of the imaging device 50. As shown in FIG. 1 and the like, the inspection apparatus 10 is particularly effective when the outer peripheral surface of the roller 30 is a curved surface that protrudes outward.

本実施形態において、第１ベース１２および第２ベース１４は、それぞれ、矩形かつ板状の部材でできている。ガラス板、金属板および合成樹脂板を第１ベース１２および第２ベース１４の材料として用いることができる。第１ベース１２の寸法と第２ベース１４の寸法は、同一であってもよいし、異なっていてもよい。本実施形態では、両者の縦横の寸法が同一である。 In the present embodiment, the first base 12 and the second base 14 are each made of a rectangular and plate-like member. Glass plates, metal plates, and synthetic resin plates can be used as materials for the first base 12 and the second base 14. The dimensions of the first base 12 and the second base 14 may be the same or different. In the present embodiment, both the vertical and horizontal dimensions are the same.

また、本実施形態では、第１ベース１２の回転軸Ｏとしての仮想的な直線Ｐが、第１ベース１２を貫く位置に定められている。したがって、第１ベース１２は、直線Ｐを支持軸として第２ベース１４に対してシーソー運動する。このような構成によると、第２ベース１４に対する第１ベース１２の姿勢を変化させたときにホルダ２６に装着されたローラ３０が水平方向に殆ど移動しないため、ローラ３０が撮像装置５０の視野から外れるのを確実に防げる。 In the present embodiment, a virtual straight line P as the rotation axis O of the first base 12 is determined at a position that penetrates the first base 12. Accordingly, the first base 12 performs a seesaw motion with respect to the second base 14 using the straight line P as a support shaft. According to such a configuration, the roller 30 mounted on the holder 26 hardly moves in the horizontal direction when the posture of the first base 12 is changed with respect to the second base 14. It can be surely prevented from coming off.

第１ベース１２の上面１２ｐには、仮想的な平面Ｈ₁が上面１２ｐに垂直になるようにホルダ２６が取り付けられている。ホルダ２６が取り付けられている側（上面側）とは反対側（下面側）において第１ベース１２に向かい合うように第２ベース１４が配置されている。このような構成によれば、第１ベース１２を安定して動かすことが可能であるとともに、ローラ３０の外周面を観察するための視野を広く確保できる。 On the upper surface 12p of the first base 12, a virtual plane H ₁ is the holder 26 is mounted so as to be perpendicular to the top surface 12p. The second base 14 is disposed so as to face the first base 12 on the side (lower surface side) opposite to the side (upper surface side) to which the holder 26 is attached. According to such a configuration, the first base 12 can be stably moved, and a wide field of view for observing the outer peripheral surface of the roller 30 can be secured.

ホルダ２６は、ブラケット１６、ホイール１８、Ｏリング２４およびボルト２０で構成されている。ホイール１８は、ローラ３０を着脱するための部品であり、ボルト２０を介してブラケット１６に回転可能に取り付けられている。ホイール１８の外径はローラ３０の内径よりも僅かに小さい。ブラケット１６は、ネジ等の締結部材によって第１ベース１２に固定されている。ブラケット１６およびボルト２０によって、第１ベース１２に対するホイール１８の位置が定められている。つまり、ホイール１８と第１ベース１２との位置関係は一定である。Ｏリング２４は、ホイール１８に装着されたローラ３０がその回転軸Ｏに平行な方向に移動するのを妨げる拘束具であり、典型的にはエラストマーでできている。このような構成により、ホルダ２６に装着したローラ３０の姿勢を安定させることができる。 The holder 26 includes a bracket 16, a wheel 18, an O-ring 24, and a bolt 20. The wheel 18 is a part for attaching and detaching the roller 30, and is rotatably attached to the bracket 16 via a bolt 20. The outer diameter of the wheel 18 is slightly smaller than the inner diameter of the roller 30. The bracket 16 is fixed to the first base 12 by a fastening member such as a screw. The position of the wheel 18 relative to the first base 12 is determined by the bracket 16 and the bolt 20. That is, the positional relationship between the wheel 18 and the first base 12 is constant. The O-ring 24 is a restraint that prevents the roller 30 attached to the wheel 18 from moving in a direction parallel to the rotation axis O, and is typically made of an elastomer. With such a configuration, the posture of the roller 30 attached to the holder 26 can be stabilized.

図３に示すように、検査すべきローラ３０の交換は、Ｏリング２４をホイール１８から外すことによって簡単に行なえる。ローラ３０の装着時にはＯリング２４がホイール１８にしっかり嵌め込まれているので、Ｏリング２４を軽く回すことにより、ローラ３０がホイール１８に連れ回りする。つまり、ローラ３０に直接触れることなく、ローラ３０を回すことができる。 As shown in FIG. 3, the roller 30 to be inspected can be easily replaced by removing the O-ring 24 from the wheel 18. Since the O-ring 24 is firmly fitted into the wheel 18 when the roller 30 is mounted, the roller 30 is rotated with the wheel 18 by slightly turning the O-ring 24. That is, the roller 30 can be rotated without touching the roller 30 directly.

図４に示すように、連結部３６は、幅方向ＷＬに関して第１ベース１２の両端に設けられており、第１ベース１２を支持している。各連結部３６は、Ｌ字金具３２および長ネジ３４によって構成されている。Ｌ字金具３２の一端は、ネジ等の締結部材で第２ベース１４に固定されている。第１ベース１２には、幅方向ＷＬに平行に伸びるように横孔１２ｈが設けられている。この横孔１２ｈの径は長ネジ３４の径よりもやや大きい。横孔１２ｈに先端部が入り込むように、Ｌ字金具３２の他端が長ネジ３４とナット３８で第１ベースに固定されている。結果として、仮想的な直線Ｐと、長ネジ３４の回転軸とが一致する。 As shown in FIG. 4, the connecting portions 36 are provided at both ends of the first base 12 in the width direction WL and support the first base 12. Each connecting portion 36 is configured by an L-shaped metal fitting 32 and a long screw 34. One end of the L-shaped metal fitting 32 is fixed to the second base 14 with a fastening member such as a screw. The first base 12 is provided with a lateral hole 12h so as to extend in parallel with the width direction WL. The diameter of the horizontal hole 12h is slightly larger than the diameter of the long screw 34. The other end of the L-shaped metal fitting 32 is fixed to the first base with a long screw 34 and a nut 38 so that the tip end portion enters the horizontal hole 12h. As a result, the virtual straight line P coincides with the rotation axis of the long screw 34.

第１ベース１２と第２ベース１４とがなす角度の最大値は、第１ベース１２と第２ベース１４とを平行にしたときの第１ベース１２と第２ベース１４との距離に応じて決まる。上記角度の最大値は特に限定されないが、例えば３〜３０°の範囲である。これにより、ローラ３０の外周面全体を撮像装置５０で確実に捉えることができる。 The maximum value of the angle formed by the first base 12 and the second base 14 is determined according to the distance between the first base 12 and the second base 14 when the first base 12 and the second base 14 are parallel. . Although the maximum value of the said angle is not specifically limited, For example, it is the range of 3-30 degrees. As a result, the entire outer peripheral surface of the roller 30 can be reliably captured by the imaging device 50.

検査装置１２は、さらに、第２ベース１４に対する第１ベース１２の姿勢を保持するためのロック機構を備えている。このロック機構で第１ベース１２をある一定の姿勢に保持すれば、ローラ３０を一定の角度に傾けた状態にしつつ検査を行なえる。 The inspection device 12 further includes a lock mechanism for maintaining the posture of the first base 12 with respect to the second base 14. If the first base 12 is held in a certain posture by this locking mechanism, the inspection can be performed while the roller 30 is inclined at a certain angle.

具体的に、上記ロック機構は、第２ベース１４に対する第１ベース１２の姿勢に応じて第１ベース１２の下面１２ｑから第２ベース１４の上面１４ｐへの突出長さＬ（図２参照）を変更可能なアジャスタ２８を含む。アジャスタ２８の脚部にはネジが切られている。アジャスタ２８を左右に回すことにより、突出長さＬが変化する。突出長さＬが変化すると、第１ベース１２の傾きが変化する。 Specifically, the locking mechanism has a protrusion length L (see FIG. 2) from the lower surface 12q of the first base 12 to the upper surface 14p of the second base 14 according to the attitude of the first base 12 with respect to the second base 14. A changeable adjuster 28 is included. The legs of the adjuster 28 are threaded. The protrusion length L changes by turning the adjuster 28 to the left and right. When the protrusion length L changes, the inclination of the first base 12 changes.

本実施形態において、アジャスタ２８は、仮想的な平面Ｈ₁を境界として一方の側にのみ設けられている。ただし、アジャスタ２８が仮想的な平面Ｈ₁を境界として左右両側に設けられていてもよい。さらに、アジャスタ２８は、第２ベース１４に取り付けられていてもよい、言い換えれば、第２ベース１４の上面から第１ベース１２の下面への突出長さを変更可能なものであってもよい。 In the present embodiment, the adjuster 28 is provided only on one side with the virtual plane H ₁ as a boundary. However, the adjusters 28 may be provided on both the left and right sides with the virtual plane H ₁ as a boundary. Furthermore, the adjuster 28 may be attached to the second base 14. In other words, the adjuster 28 may be capable of changing the protruding length from the upper surface of the second base 14 to the lower surface of the first base 12.

第１ベース１２の姿勢を保持するためのロック機構は、さらに、仮想的な平面Ｈ₁を境界として第１ベース１２の一端側に設けられた第１磁石４０と、第１磁石４０に向かい合うように第２ベース１４に設けられた第２磁石４２とを含む。これらの磁石４０および４２の吸引力（対向する極が異極）または反発力（対向する極が同極）を利用して、第１ベース１２の姿勢を保持できる。 The lock mechanism for holding the posture of the first base 12 further faces the first magnet 40 and the first magnet 40 provided on one end side of the first base 12 with the virtual plane H ₁ as a boundary. And a second magnet 42 provided on the second base 14. The posture of the first base 12 can be maintained by using the attractive force (the opposite poles are different from each other) or the repulsive force (the opposite poles are the same pole) of the magnets 40 and 42.

具体的に、本実施形態では、第１磁石４０と第２磁石４２との間に吸引力が働くように各磁石の磁極の向きが定められている。この場合において、仮想的な平面Ｈ₁を境界として、少なくとも第１磁石４０および第２磁石４２が設けられた側にアジャスタ２８を配置するとよい。このような構成によると、第１磁石４０と第２磁石４２との間に吸引力が働くので、図５（ｂ）に示すように、アジャスタ２８の突出長さＬを短くするにつれて、第１ベース１２がアジャスタ２８の設けられた側（図中右側）に傾斜する。逆に、図５（ａ）に示すように、アジャスタ２８の突出長さＬを長くするにつれて、第１ベース１２がアジャスタ２８の設けられていない側（図中左側）に傾斜する。 Specifically, in the present embodiment, the orientation of the magnetic poles of each magnet is determined so that an attractive force acts between the first magnet 40 and the second magnet 42. In this case, the adjuster 28 may be disposed at least on the side where the first magnet 40 and the second magnet 42 are provided with the virtual plane H ₁ as a boundary. According to such a configuration, since an attractive force acts between the first magnet 40 and the second magnet 42, as shown in FIG. 5B, as the protrusion length L of the adjuster 28 is shortened, the first The base 12 is inclined to the side where the adjuster 28 is provided (the right side in the figure). On the other hand, as shown in FIG. 5A, as the protrusion length L of the adjuster 28 is increased, the first base 12 is inclined to the side where the adjuster 28 is not provided (the left side in the figure).

第１ベース１２が傾斜すると、図６に示すように、撮像装置５０のレンズに対するローラ３０の姿勢も同時に変化する。したがって、ローラ３０の検査中において、アジャスタ２８を操作してローラ３０の姿勢（傾斜角度）を適宜変更できる。そして、ローラ３０の外周面の観察したい部分に撮像装置５０の焦点を合わせれば、ローラ３０と撮像装置５０との位置合わせを行うことなく、ローラ３０の外周面を隈なく観察および検査できる。 When the first base 12 is tilted, the posture of the roller 30 with respect to the lens of the imaging device 50 also changes simultaneously as shown in FIG. Therefore, during the inspection of the roller 30, the adjuster 28 can be operated to appropriately change the posture (tilt angle) of the roller 30. Then, if the imaging device 50 is focused on a portion of the outer peripheral surface of the roller 30 to be observed, the outer peripheral surface of the roller 30 can be observed and inspected without any alignment between the roller 30 and the imaging device 50.

なお、第１磁石４０と第２磁石４２との間に反発力が働くように各磁石の磁極の向きを定めてもよい。その場合、仮想的な平面Ｈ₁を境界として、少なくとも第１磁石４０および第２磁石４２が設けられていない側にアジャスタ２８を配置すればよい。 Note that the orientation of the magnetic poles of each magnet may be determined so that a repulsive force acts between the first magnet 40 and the second magnet 42. In that case, the adjuster 28 may be arranged at least on the side where the first magnet 40 and the second magnet 42 are not provided with the virtual plane H ₁ as a boundary.

さらに、本実施形態では、第１磁石４０および第２磁石４２に加えて、第１ベース１２の他端側に第３磁石４４が設けられ、第３磁石４４に向かい合うように第２ベース１２の他端側に第４磁石４６が設けられている。第１磁石４０と第２磁石４２との間に吸引力が働き、第３磁石４４と第４磁石４６との間に反発力が働くように、各磁石の磁極の向きが定められている。そして、仮想的な平面Ｈ₁を境界として、少なくとも第１磁石４０および第２磁石４２が設けられた側にアジャスタ２８が配置されている。このような構成によれば、第３磁石４４と第４磁石４６との間に反発力が働くので、アジャスタ２８の突出長さＬを長くした場合に、第１ベース１２が第２ベース１４に接触するまで自重により傾斜するのを防げる。つまり、第１ベース１２の姿勢、ひいてはローラ３０の姿勢を確実に保持できる。 Furthermore, in the present embodiment, in addition to the first magnet 40 and the second magnet 42, a third magnet 44 is provided on the other end side of the first base 12, and the second base 12 is opposed to the third magnet 44. A fourth magnet 46 is provided on the other end side. The direction of the magnetic pole of each magnet is determined so that an attractive force acts between the first magnet 40 and the second magnet 42 and a repulsive force acts between the third magnet 44 and the fourth magnet 46. The adjuster 28 is disposed at least on the side where the first magnet 40 and the second magnet 42 are provided with the virtual plane H ₁ as a boundary. According to such a configuration, since a repulsive force acts between the third magnet 44 and the fourth magnet 46, the first base 12 becomes the second base 14 when the protrusion length L of the adjuster 28 is increased. It can be prevented from tilting by its own weight until it comes into contact. That is, the posture of the first base 12 and thus the posture of the roller 30 can be reliably held.

本実施形態では、第１ベース１２の一端側に複数の第１磁石４０が設けられ、他端側に複数の第３磁石４４が設けられている。同様に、第２ベース１４の一端側に複数の第２磁石４２が設けられ、他端側に複数の第４磁石４６が設けられている。ただし、各端部に設ける磁石は１つずつであってもよい。各磁石は、接着剤や接着テープで第１ベース１２または第２ベース１４に固定されている。本実施形態のように、各ベースに設けた凹部に各磁石を嵌め込んで固定すれば、磁石同士が干渉せず、第１ベース１２の傾斜角度を稼ぐのに有利である。なお、第１ベース１２を傾斜させる力が得られる他の部材、例えばバネ等の部材を磁石４０〜４６の代わりに用いてもよい。 In the present embodiment, a plurality of first magnets 40 are provided on one end side of the first base 12, and a plurality of third magnets 44 are provided on the other end side. Similarly, a plurality of second magnets 42 are provided on one end side of the second base 14, and a plurality of fourth magnets 46 are provided on the other end side. However, one magnet may be provided at each end. Each magnet is fixed to the first base 12 or the second base 14 with an adhesive or an adhesive tape. If the respective magnets are fitted and fixed in the concave portions provided in the respective bases as in the present embodiment, the magnets do not interfere with each other, which is advantageous for increasing the inclination angle of the first base 12. In addition, you may use other members which can obtain the force which inclines the 1st base 12, for example, members, such as a spring, instead of the magnets 40-46.

また、本実施形態では、第１ベース１２の幅方向ＷＬに沿ってホルダ２６が複数個設けられている。そのため、撮像装置５０のレンズに対して本検査装置１０を幅方向ＷＬに少し移動させるだけで、ローラ３０の交換作業を挟まずに、一度に複数個（本実施形態では２個）のローラ３０の検査を行なうことが可能である。このようにすれば、より効率的にローラ３０の検査を行なえる。 In the present embodiment, a plurality of holders 26 are provided along the width direction WL of the first base 12. Therefore, a plurality (two in this embodiment) of rollers 30 at a time can be obtained by moving the inspection device 10 slightly in the width direction WL with respect to the lens of the imaging device 50 without interposing the replacement operation of the rollers 30. It is possible to perform an inspection. In this way, the roller 30 can be inspected more efficiently.

以上、本発明の検査装置によれば、不具合のあるローラを迅速かつ正確に特定することができる。したがって、ガラス板の直進搬送をトラブル無く実施できるようになる。また、ローラに起因してガラス板にキズが付くのを最小限に食い止めることができるので、ガラス板の歩留まり向上を見込める。さらに、ローラの交換の要否を適切に判断できるので、コストの低減も期待できる。 As described above, according to the inspection apparatus of the present invention, it is possible to quickly and accurately identify a defective roller. Therefore, the straight conveyance of the glass plate can be performed without any trouble. In addition, since the glass plate can be prevented from being scratched due to the roller, the yield of the glass plate can be improved. Further, since it is possible to appropriately determine whether or not the roller needs to be replaced, a reduction in cost can be expected.

本発明の実施形態にかかる検査装置の斜視図The perspective view of the inspection device concerning the embodiment of the present invention. 図１に示す検査装置の側面図Side view of the inspection apparatus shown in FIG. ローラをホルダから外した状態を示す図２と同様の側面図Side view similar to FIG. 2 showing the roller removed from the holder 第１ベースの平面図Plan view of the first base 図１に示す検査装置の動作説明図Operation explanatory diagram of the inspection apparatus shown in FIG. 撮像装置の焦点とローラの姿勢変化との関係を示す模式図Schematic diagram showing the relationship between the focus of the imaging device and the posture change of the roller ガラス板の水平搬送を示す模式図Schematic diagram showing horizontal conveyance of glass plate ローラに異物が付着した状態を示す模式図Schematic diagram showing a foreign object attached to the roller

Explanation of symbols

１０検査装置
１２第１ベース
１４第２ベース
１６ブラケット
１８ホイール
２０ボルト
２４Ｏリング
２６ホルダ
２８アジャスタ
３０ローラ
３２Ｌ字金具
３４取付ネジ
３６連結部
４０，４２，４４，４６磁石
５０撮像装置
Ｐ第１ベースの回転軸としての仮想的な直線
Ｈ₁ 仮想的な平面
Ｏローラ（およびホイール）の回転軸 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection apparatus 12 1st base 14 2nd base 16 Bracket 18 Wheel 20 Bolt 24 O-ring 26 Holder 28 Adjuster 30 Roller 32 L-shaped metal fitting 34 Mounting screw 36 Connection part 40,42,44,46 Magnet 50 Imaging device P 1st Virtual straight line H ₁ virtual plane O as the rotational axis of the base O Roller (and wheel) rotational axis

Claims

A first base;
In order to rotatably support the roller used for transporting the glass plate, a virtual plane perpendicular to the rotation axis of the roller and passing through the outer peripheral surface of the roller is parallel to a predetermined width direction of the first base. A holder attached to the first base so that
A second base disposed facing the first base at a position that does not interfere with the visual field for observing the outer peripheral surface of the roller;
The attitude of the first base with respect to the second base changes based on the rotation of the first base around a virtual straight line defined in parallel to the width direction on the virtual plane. And a connecting portion connecting the first base and the second base;
The inspection apparatus of the roller for glass plate conveyance provided with.

The inspection apparatus according to claim 1, wherein the virtual straight line as the rotation axis of the first base is defined at a position penetrating the first base itself.

The inspection apparatus according to claim 1, further comprising a lock mechanism for maintaining a posture of the first base with respect to the second base.

The second base is arranged to face the first base on the side opposite to the side on which the holder is mounted;
The locking mechanism has a protruding length from the lower surface of the first base to the upper surface of the second base according to the posture of the first base with respect to the second base, or the first length from the upper surface of the second base. The inspection apparatus according to claim 3, comprising an adjuster capable of changing a protruding length to the lower surface of the base.

The lock mechanism further includes a first magnet provided on one end side of the first base with the virtual plane as a boundary, and a second magnet provided on the second base so as to face the first magnet. The inspection apparatus according to claim 4, comprising a magnet.

The direction of the magnetic pole of each magnet is determined so that an attractive force acts between the first magnet and the second magnet,
The inspection apparatus according to claim 5, wherein the adjuster is disposed at least on a side where the first magnet and the second magnet are provided with the virtual plane as a boundary.

The direction of the magnetic pole of each magnet is determined so that a repulsive force acts between the first magnet and the second magnet,
The inspection apparatus according to claim 5, wherein the adjuster is disposed at least on a side where the first magnet and the second magnet are not provided with the virtual plane as a boundary.

The lock mechanism further includes a first magnet provided on the one end side of the first base with the virtual plane as a boundary, and a second magnet provided on the second base so as to face the first magnet. Two magnets, a third magnet provided on the other end of the first base, and a fourth magnet provided on the second base so as to face the third magnet,
The direction of the magnetic pole of each magnet is determined so that an attractive force acts between the first magnet and the second magnet, and a repulsive force acts between the third magnet and the fourth magnet,
The inspection apparatus according to claim 4, wherein the adjuster is disposed at least on a side where the first magnet and the second magnet are provided with the virtual plane as a boundary.

The first base and the second base are each made of a plate-shaped member,
The inspection apparatus according to claim 1, wherein the holder is attached to the first base such that the virtual plane is perpendicular to the upper surface of the first base.

The holder is interposed between the wheel for attaching and detaching the roller, the restraining tool that prevents the roller attached to the wheel from moving in a direction parallel to the rotation axis thereof, and the wheel and the first base. The inspection device according to claim 1, further comprising a bracket that defines a position of the wheel with respect to the first base.

The inspection apparatus according to claim 1, wherein a plurality of the holders are provided along the width direction of the first base.

The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 11,
An imaging device disposed at a predetermined position for observing the outer peripheral surface of the roller mounted on the inspection device;
An inspection system for a roller for conveying a glass plate.