JP5447994B2 - Holder joint, scribing head and scribing device - Google Patents
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Description
本発明は脆性材料基板にスクライブラインを形成するために用いられるホルダジョイント、スクライブヘッド及びスクライブ装置に関するものである。 The present invention relates to a holder joint, a scribe head, and a scribe device used for forming a scribe line on a brittle material substrate.
従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルに成るように分断される。このマザーガラス基板等の脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。 Conventionally, in a flat panel display such as a liquid crystal display panel or a liquid crystal projector substrate, a mother glass substrate is bonded together in a manufacturing process and then divided into a single panel having a predetermined size. The cutting of the brittle material substrate such as the mother glass substrate includes a scribe process and a break process, and a scribe device is used in the scribe process.
図1は特許文献1に示されているスクライブ装置を示す斜視図である。このスクライブ装置100は、移動台101が一対の案内レール102a、102bに沿って、y軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ103は移動台101と螺合している。ボールネジ103はモータ104の駆動により回転し、移動台101を案内レール102a,102bに沿ってy軸方向に移動させる。移動台101の上面にはモータ105が設けられている。モータ105はテーブル106をxy平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板107はこのテーブル106上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置1の上部には、脆性材料基板107のアライメントマークを撮像する2台のCCDカメラ108が設けられている。
FIG. 1 is a perspective view showing a scribing device shown in
スクライブ装置100には、移動台101とその上部のテーブル106をまたぐようにブリッジ110がx軸方向に沿って支柱111a,111bにより架設されている。スクライブヘッド112はブリッジ110に設けられたガイド113に沿ってx軸方向に移動可能となっている。モータ114はスクライブヘッド112をx軸方向に沿って移動させるものである。
In the
スクライブ装置のスクライブヘッド112には、ホルダジョイント120を介してチップホルダ130が取付けられる。図2は特許文献1によるチップホルダを示す図であり、図3はその斜視図である。これらの図に示すように、チップホルダ130は略円筒形の部材であって、その一端には略正方形状の平坦部131a,131bがいずれも中心軸に平行に設けられる。チップホルダ130はこの平坦部の間に中心軸に沿った切欠き132を有しており、平坦部131a,131bの下端にはその面に垂直な方向のピン溝133を有している。スクライビングホイール(「カッターホイール」ともいう)134は例えばホイール径が2.5mm、厚さ0.5mm程度の円板状の形状を有し、円周部分の断面が円錐形に形成され、中心に貫通孔を有するカッターであり、単にチップとも呼ばれる。スクライビングホイール134は、ピン溝133に挿入されたピン135を中心の貫通孔に貫通させることによって、回転自在に保持される。ピン135をピン溝133に挿入しスクライビングホイール134を保持した後は、スクライビングホイールの交換を要する場合にもスクライビングホイールを取り外さず、チップホルダと共に交換される。一方チップホルダ130の他端には位置決め用の取付部136が設けられている。取付部136はチップホルダ130を切欠いて形成され、傾斜部136a及び平坦部136bを有する。平坦部136bはチップホルダの軸と平行であり、且つ下方の平坦部131a,131bとは垂直となっている。チップホルダ130はその上部の取付部136が磁性体金属で構成されている。
A
スクライブヘッド112はその内部に、チップホルダ130の昇降動作を可能とする昇降部、例えば空気圧制御を用いるエアーシリンダーやリニアモータによる電動昇降部などが設けられている。スクライブ装置は昇降部によりスクライビングホイール134を脆性材料基板の表面上を適切な荷重にて圧接し転動していき、スクライブラインを形成する。
The
次にホルダジョイント120について説明する。図4は従来のホルダジョイント120を示す図であり、図5はこのホルダジョイント120にチップホルダ130を挿入する状態を示す斜視図である。これらの図に示すようにホルダジョイント120は上部にベアリング121a,121bを有しており、下方がチップホルダ130を保持する保持部122となっている。ホルダジョイント120の保持部122には、図示のように円形の開口123が形成されており、その内側に磁石124が埋設されている。又この開口123の内部には中心軸から隔てた位置に中心軸と垂直な平行ピン125が設けられる。平行ピン125は円柱の部材であって、チップホルダ130の傾斜部136aに接してチップホルダ130を位置決めするものである。
Next, the
このチップホルダ130をホルダジョイント120に取付ける際には、図5に示すようにホルダジョイントの開口123にチップホルダ130をその取付部136から挿入する。そうすればチップホルダ130の先端部が磁石124によって吸引され、更に傾斜部136aが平行ピン125に接触して位置決め固定される。図6は取付けられた状態を示す部分断面図、図7はホルダジョイント120が取付けられたスクライブヘッド112の一部を示す図である。チップホルダ130は磁石124によって吸引されているだけであるため、取付けが極めて容易であり、所定の位置に固定される。取り替える場合にはチップホルダ130を引っ張って取り外している。
When the
従来のチップホルダは、ホルダジョイントに取付けてホルダユニット140が構成される。ホルダユニット140をスクライブヘッド112に取付けてスクライブする場合には、スクライビングホイールを脆性材料基板に押圧しつつ移動させる。このときスクライブラインが湾曲していれば、チップホルダを保持するホルダジョイントにもねじれの力が加わる。このため一旦湾曲したスクライブラインを形成した後では、直線スクライブをする場合であってもスクライブラインの位置精度が低下するという欠点があった。またチップホルダがホルダジョイントの開口123の内側にくい込むため、取り外すことが難しくなる。特にロボット等の自動ツールチェンジャーを用いてチップホルダを交換する場合には、チップホルダの取り外しが難しくなるという欠点があった。
A conventional chip holder is attached to a holder joint to form a holder unit 140. When the holder unit 140 is attached to the
本発明はこのような問題点に着目してなされたものであって、ホルダジョイントに確実に保持でき、スクライブラインの位置精度を向上させると共に、容易に着脱できるようにしたホルダジョイント、スクライブヘッド及びスクライブ装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made paying attention to such problems, and can be securely held by the holder joint, improve the position accuracy of the scribe line, and can be easily attached and detached, a scribe head, and An object is to provide a scribing device.
この課題を解決するために、本発明のホルダジョイントは、スクライブライン形成用のスクライビングホイールを備えるためのチップホルダを取付けるためのホルダジョイントであって、前記チップホルダは前記チップホルダの側面より前記スクライビングホイールの回転軸に垂直に少なくとも1本の突起を突出させたものであり、前記ホルダジョイントは、一端に設けられた開口と、前記開口の内側に埋設された磁石と、前記開口の側方に設けられ、前記突起が挿入される単数又は複数の切欠きと、を有するものである。
In order to solve this problem, a holder joint of the present invention is a holder joint for attaching a chip holder for providing a scribing wheel for forming a scribe line, and the chip holder is scribed from a side surface of the chip holder. At least one protrusion is projected perpendicularly to the rotation axis of the wheel, and the holder joint includes an opening provided at one end, a magnet embedded inside the opening, and a side of the opening. And one or more notches into which the protrusions are inserted .
ここで前記切欠きは、その内側の先端をV字形に形成するようにしてもよい。 Here, the notch may be formed to have a V-shaped inner tip.
この課題を解決するために、本発明のスクライブヘッドは、スクライブ装置に用いられるスクライブヘッドであって、前述に記載のホルダジョイントを上下動自在に保持する昇降部を有するものである。 In order to solve this problem, a scribe head of the present invention is a scribe head used in a scribe device, and has an elevating part that holds the holder joint described above in a vertically movable manner.
この課題を解決するために、本発明のスクライブ装置は、脆性材料基板のスクライブに用いられるスクライブ装置であって、前述に記載のスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドを脆性材料基板と脆性材料基板の平面方向において相対的に移動する相対移動部と、を有するものである。 In order to solve this problem, a scribing apparatus of the present invention is a scribing apparatus used for scribing a brittle material substrate, the scribing head described above, and the scribing head as a plane of the brittle material substrate and the brittle material substrate. And a relative movement unit that relatively moves in the direction.
このような特徴を有する本発明によれば、ホルダジョイントはチップホルダをその突起によって安定して保持できるので、スクライブラインを形成するときの精度を向上させることができる。又ホルダジョイントからチップホルダを容易に取付けたり取り外すことができる。従ってロボットや自動ツールチェンジャーを用いてチップホルダの着脱が自在になるという効果が得られる。 According to the present invention having such a feature, since the holder joint can stably hold the chip holder by its protrusion, the accuracy when forming the scribe line can be improved. Further, the chip holder can be easily attached and detached from the holder joint. Therefore, the effect that the tip holder can be freely attached and detached using a robot or an automatic tool changer can be obtained.
図8は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドを用いたスクライブ装置を示す斜視図である。このスクライブ装置において、前述した従来例と同一部分は同一符号を付している。本実施の形態によるスクライブ装置1は、移動台101が一対の案内レール102a、102bに沿って、y軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ103は移動台101と螺合している。ボールネジ103はモータ104の駆動により回転し、移動台101を案内レール102a,102bに沿ってy軸方向に移動させる。移動台101の上面にはモータ105が設けられている。モータ105はテーブル106をxy平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板107はこのテーブル106上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置1の上部には、脆性材料基板107のアライメントマークを撮像する2台のCCDカメラ108が設けられている。
FIG. 8 is a perspective view showing a scribing apparatus using the scribing head according to the embodiment of the present invention. In this scribing apparatus, the same parts as those in the conventional example described above are denoted by the same reference numerals. In the
スクライブ装置1には、移動台101とその上部のテーブル106をまたぐようにブリッジ110がx軸方向に沿って支柱111a,111bにより架設されている。スクライブヘッド112はブリッジ110に設けられたガイド113に沿ってx軸方向に移動可能となっている。モータ114はスクライブヘッド112をx軸方向に沿って移動させるものである。スクライブヘッド112の先端部には、後述するチップホルダ10がホルダジョイント20を介して取付けられている。ここでモータ104と案内レール102a,102b、ボールネジ103はテーブルをy軸方向に移動させる移動部であり、ブリッジ110、支柱111a,111b、ガイド113はスクライブヘッドをx軸方向に移動させる移動部であり、モータ105はテーブルを回転させる回転部であって、これらが相対移動部を構成している。
In the
次にスクライブヘッドに取付けられるホルダユニットの構成について説明する。ホルダユニット30はホルダジョイント20とチップホルダ10によって構成される。チップホルダは図9に示すように円柱形の部材であって、その一端には略正方形状の平坦部11a,11bがいずれも中心軸に平行に設けられる。チップホルダ10はこの平坦部の間に中心軸に沿った切欠き12を有しており、平坦部11a,11bの下端にはその面に垂直な方向のピン溝13を有している。スクライビングホイール14は例えばホイール径が2.5mm、厚さ0.5mm程度の円板状の形状を有し、円周部分の断面が円錐形に形成され、中心に貫通孔を有するカッターであり、単にチップとも呼ばれる。スクライビングホイール14は、ピン溝13に挿入されたピン15を中心の貫通孔に貫通させることによって、回転自在に保持される。ピン15をピン溝13に挿入しスクライビングホイール14を保持した後は、スクライビングホイールの交換を要する場合にもスクライビングホイールを取り外さず、チップホルダと共に交換される。一方チップホルダ10の他端の円周部分は取付部16であり、少なくとも取付部16が磁性体金属で構成されている。更にこの実施の形態では円筒形のチップホルダの側面に対称に突出する円柱形の突起16a,16bを設けている。この突起16a,16bはチップホルダの軸より垂直に突出させることが好ましい。従って突起16a,16bはチップホルダ10の取付部16の側壁に突起部材を植設したものであってもよく、又チップホルダ10に貫通孔を設けて1本のピンを通し、左右に突出させたものであってもよい。
Next, the structure of the holder unit attached to the scribe head will be described. The
次に本実施の形態のホルダジョイント20について説明する。図10はホルダジョイント20を示す図である。図10に示すように、ホルダジョイント20は上部にベアリング21a,21bを有しており、下方がチップホルダを保持する保持部22となっている。ホルダジョイント20の保持部22には、図示のように下方より円形の開口23が中心軸より少しずらせて形成されており、その内側に磁石24が埋設されている。ホルダジョイント20の保持部22には、開口23の側方に下方より左右一対の切欠き25a,25bが設けられている。切欠き25a,25bは開口の中心に対称に設けるものとする。又その最も内側部分はV字状にしておくことが好ましい。切欠き25a,25bにはチップホルダ10の突起16a,16bを挿入することによりチップホルダ10を位置決めするものである。
Next, the
このようにホルダジョイント20を構成した後、前述したチップホルダ10をホルダジョイント20に取付ける。取付け時には、図11Aに示すようにホルダジョイントの開口23にチップホルダ10をその突起16a,16bを切欠き25a,25bに合わせるように挿入する。挿入していくと切欠き25a,25bのV字形の溝に入り込んで位置決めされ、図11Bに示すように磁石24によってチップホルダ10を固定することができる。チップホルダ10は磁石24によって吸引されているだけであるため、取付けが極めて容易であり、所定の位置に固定される。
After configuring the holder joint 20 in this way, the above-described
図12は、スクライブヘッド112の斜視図である。スクライブヘッド112のサーボモータ41は、回転軸を下側に突出させた倒立状態で載置板42を介して取付板43に取り付けられている。サーボモータ41の回転軸には、円筒カム44が回転軸と一体的に回転するように取り付けられている。円筒カム44の下面は、水平状態に対して傾斜状態になったカム面44aになっている。
FIG. 12 is a perspective view of the
また、スクライブヘッド112は、下部にリニアベアリング45を有しており、このリニアベアリング45に、ホルダ部材46が、上下方向にスライド可能に保持されている。リニアベアリング45には、円筒カム44のカム面44aに当接するカムフォロア47が、ホルダ部材46と一体的に設けられている。カムフォロア47は、回転可能になったローラ形状になっている。ホルダ部材46と取付板43との間には、ホルダ部材46を取付板43に対して上方に向かって付勢する弾性体、例えばコイルスプリング48が設けられている。コイルスプリング48はホルダ部材46を上方に付勢することによって、カムフォロワ47をカム面44aに圧接している。ここでサーボモータ41、円筒カム44、リニアベアリング45、ホルダ部材46、カムフォロア47、コイルスプリング48はホルダユニット30を昇降させる昇降部を構成している。
Further, the
このように構成されたスクライブ装置1において、昇降部によりスクライビングホイール14を脆性材料基板の表面上を適切な荷重にて圧接し転動していき、スクライブラインを形成する。本実施の形態では、チップホルダ10の突起16a,16bがホルダジョイント20の切欠き25a,25bによって固定されており、切欠き25a,25bの先端がV字形であるため、保持位置を保つことができ、湾曲したスクライブラインを形成しても取付位置が動くことはない。
In the
さて所定時間スクライブした後は、チップホルダ10を交換する必要がある。このときロボットアーム等でチップホルダ10を図11Bの状態から下向きに引き出す。このときチップホルダの突起が切欠き25a,25bに挿入されているだけであるため、横向きの力がスクライブ時に加わっていたとしても容易にチップホルダ10を取り外すことができる。このためチップホルダ10の交換は容易であり、支障なくオートチェンジャー等を用いることができる。
Now, after scribing for a predetermined time, the
尚本実施の形態では、チップホルダの突起を2本としているが、単数又は複数の任意の本数としてもよい。その場合には切欠き数は突起の数以上であれば足りるが、突起の数に合わせた数とするのが好ましい。 In the present embodiment, the number of protrusions of the chip holder is two, but it may be a single or a plurality of arbitrary numbers. In that case, the number of cutouts is sufficient if it is equal to or greater than the number of protrusions, but it is preferable to set the number to match the number of protrusions.
本発明は脆性材料基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置に用いられ、交換を容易にすることができるホルダジョイント、スクライブヘッドに関するものであり、チップホルダの取付位置を安定化でき、交換を自動化することができる。従ってスクライブ装置に広く利用することができる。 The present invention relates to a holder joint and a scribe head that are used in a scribing apparatus that forms a scribe line on a brittle material substrate, and can be easily replaced. The mounting position of a chip holder can be stabilized and the replacement can be automated. be able to. Therefore, it can be widely used for a scribing apparatus.
1 スクライブ装置
10 チップホルダ
11a,11b 平坦部
12 切欠き
13 ピン溝
14 スクライビングホイール
15 スクライビングホイール用ピン
16a,16b 突起
20 ホルダジョイント
21a,21b ベアリング
22 保持部
23 開口
24 磁石
25a,25b 切欠き
112 スクライブヘッド
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記チップホルダは前記チップホルダの側面より前記スクライビングホイールの回転軸に垂直に少なくとも1本の突起を突出させたものであり、
前記ホルダジョイントは、一端に設けられた開口と、
前記開口の内側に埋設された磁石と、
前記開口の側方に設けられ、前記突起が挿入される単数又は複数の切欠きと、を有するホルダジョイント。 A holder joint for attaching a chip holder for providing a scribing wheel for forming a scribe line,
The tip holder is one in which at least one protrusion is projected from the side surface of the tip holder perpendicular to the rotation axis of the scribing wheel,
The holder joint has an opening provided at one end;
A magnet embedded inside the opening;
A holder joint provided on a side of the opening and having one or more notches into which the protrusions are inserted .
請求項1又は2記載のホルダジョイントを上下動自在に保持する昇降部を有するスクライブヘッド。 A scribing head used in a scribing device,
A scribe head having an elevating part for holding the holder joint according to claim 1 to be movable up and down.
請求項3記載のスクライブヘッドと、
前記スクライブヘッドを脆性材料基板と脆性材料基板の平面方向において相対的に移動する相対移動部と、を有するスクライブ装置。 A scribing device used for scribing a brittle material substrate,
A scribing head according to claim 3;
A scribing apparatus comprising: a brittle material substrate; and a relative movement unit that relatively moves the brittle material substrate in a planar direction of the brittle material substrate.
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