JP5826643B2

JP5826643B2 - Scribing wheel holder and scribing device

Info

Publication number: JP5826643B2
Application number: JP2012011060A
Authority: JP
Inventors: 智貴中垣
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2012-01-23
Filing date: 2012-01-23
Publication date: 2015-12-02
Anticipated expiration: 2032-01-23
Also published as: JP2013146998A

Description

本発明は、ガラス基板、セラミックス基板、シリコン基板等の脆性材料基板にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールを保持するスクライビングホイール用ホルダー及びスクライブ装置に関する。 The present invention relates to a scribing wheel holder and a scribing device for holding a scribing wheel for forming a scribing line on a brittle material substrate such as a glass substrate, a ceramic substrate, or a silicon substrate.

従来、液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）パネル等のフラットディスプレイパネル、太陽電池等の製造工程では、マザーガラス基板等の脆性材料基板の分断工程が設けられている。この分断工程では、通常スクライブ装置が用いられている。そして、分断工程では、このスクライブ装置に備えられたスクライビングホイールに脆性材料基板の材質や厚み等の諸条件に見合った荷重を負荷しながら、スクライビングホイールを脆性材料基板の表面上を転動させてスクライブラインを形成し、脆性材料基板に所定の力を負荷することにより脆性材料基板をスクライブラインに沿って分断し、個々のパネルや各種基板を製造している。 Conventionally, in the manufacturing process of flat display panels such as liquid crystal display panels and organic electroluminescence (EL) panels, solar cells, etc., a step of dividing a brittle material substrate such as a mother glass substrate is provided. In this dividing step, a scribing device is usually used. In the dividing step, the scribing wheel provided on the scribing device is rolled on the surface of the brittle material substrate while applying a load corresponding to various conditions such as the material and thickness of the brittle material substrate. By forming a scribe line and applying a predetermined force to the brittle material substrate, the brittle material substrate is divided along the scribe line to manufacture individual panels and various substrates.

このスクライブ装置としては、例えば下記特許文献１に示されているものが知られている。特許文献１に記載されているスクライブ装置は、脆性材料基板が載置されるテーブルを跨ぐように架設されたブリッジに、移動可能なスクライブヘッドが取り付けられており、このスクライブヘッドにスクライビングホイールを保持しているホルダーが取り付けられている。 As this scribing device, for example, the one disclosed in Patent Document 1 below is known. The scribing device described in Patent Document 1 has a movable scribing head attached to a bridge laid so as to straddle a table on which a brittle material substrate is placed, and holds a scribing wheel on the scribing head. The holder is attached.

そして、このスクライビングホイール用のホルダーは、先端に二つの平坦部を有し、この二つの平坦部の間の保持溝にスクライビングホイールを回転自在に保持する構成となっている。 The scribing wheel holder has two flat portions at the tip, and is configured to rotatably hold the scribing wheel in a holding groove between the two flat portions.

国際公開ＷＯ２００７／０６３９７９号公報International Publication WO2007 / 063979

この保持溝で保持されたスクライビングホイールと保持溝の内壁との間に、分断工程で生じた微小なカレット等の異物が入り込んでしまい、スクライビングホイールと内壁との間に異物が挟まったままスクライビングホイールが回転することで、スクライビングホイールの回転不良が発生するという問題があった。 Scribing wheel with foreign matter such as minute cullet generated in the cutting process entering between the scribing wheel held by the holding groove and the inner wall of the holding groove, and with the foreign matter sandwiched between the scribing wheel and the inner wall There was a problem that the rotation of the scribing wheel occurred due to the rotation of.

そこで、本発明者は、この問題を解消すべく種々検討を重ねた結果、ディスク状のスクライビングホイールを回転自在に保持する保持溝を備えたスクライビングホイール用ホルダーにおいて、保持溝の内壁のスクライビングホイールの側面と対向する位置に、溝を形成しておくことで、この問題を解消し得ることに想到し、本発明を完成するに至ったものである。 Therefore, as a result of various studies to solve this problem, the inventor of the present invention has made a scribing wheel holder having a holding groove for rotatably holding a disc-shaped scribing wheel. The inventors have conceived that this problem can be solved by forming a groove at a position facing the side surface, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は上記問題を解消することを課題とし、スクライビングホイール用ホルダーにおいて、保持溝の内壁とスクライビングホイールとの間への異物進入によるスクライビングホイールの回転不良が発生することを防止できるスクライビングホイール用ホルダー及びスクライブ装置を提供することを目的とする。 That is, the present invention has an object to solve the above-mentioned problems, and in a scribing wheel holder, a scribing wheel that can prevent a rotation failure of the scribing wheel due to foreign matter entering between the inner wall of the holding groove and the scribing wheel can be prevented. It is an object to provide a holder and a scribing device.

上記目的を達成するため、本発明の第１の態様は、ディスク状のスクライビングホイールを回転自在に保持する保持溝と、前記スクライビングホイールを固定するためのピン孔を備えたスクライビングホイール用ホルダーであって、前記保持溝の内壁の前記スクライビングホイールの側面と対向する位置に、円弧状の溝が形成されており、前記円弧状の溝はピン孔よりも上方に形成され、前記保持溝の端まで延設されていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention is a scribing wheel holder comprising a holding groove for rotatably holding a disc-shaped scribing wheel and a pin hole for fixing the scribing wheel. An arc-shaped groove is formed at a position facing the side surface of the scribing wheel on the inner wall of the holding groove, and the arc-shaped groove is formed above the pin hole and extends to the end of the holding groove. It is characterized by being extended .

また、本発明の第２の態様は、第１の態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーであって、前記溝は、前記スクライビングホイールの側面と対向しない位置まで延設されていることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided the scribing wheel holder according to the first aspect, wherein the groove extends to a position not facing the side surface of the scribing wheel.

また、本発明の第３の態様は、第２の態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーであって、前記溝は、前記スクライビングホイールの側面と対向する位置においては最も溝の深さが深く、前記スクライビングホールの側面と対向しない位置から保持溝の端部へと近づくにつれて溝の深さを浅くされていることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, there is provided the scribing wheel holder according to the second aspect, wherein the groove is deepest at a position facing the side surface of the scribing wheel. The depth of the groove is reduced as it approaches the end of the holding groove from a position not facing the side surface of the hole .

また、本発明の第４の態様は、第１から３の何れかの態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーであって、前記溝は、複数設けられていることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a scribing wheel holder according to any one of the first to third aspects, wherein a plurality of the grooves are provided.

また、本発明の第５の態様は、第４の態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーであって、前記複数の溝は、それぞれの曲率が異なっていることを特徴とする。

According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the scribing wheel holder according to the fourth aspect, wherein the plurality of grooves have different curvatures .

また、本発明の第６の態様は、第１から５の何れかの態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーが取り付けられたスクライブヘッドを備えたスクライブ装置であることを特徴とする。 According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a scribing apparatus including a scribing head to which a scribing wheel holder according to any one of the first to fifth aspects is attached.

また、本発明の第７の態様は、第６の態様にかかるスクライブ装置であって、前記スクライビングホイール用ホルダーが着脱可能なホルダージョイントを備えていることを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a scribing apparatus according to the sixth aspect, wherein the scribing wheel holder includes a detachable holder joint.

本発明の第１の態様によれば、スクライビングホイール用ホルダーは、保持溝の内壁のスクライビングホイールの側面と対向する位置に、溝が形成されているので、保持溝の内壁とスクライビングホイールとの間にカレット等の異物が進入したとしても、溝に異物が溜まるので、スクライビングホイールの回転不良を低減することができる。 According to the first aspect of the present invention, since the groove for the scribing wheel is formed at a position facing the side surface of the scribing wheel on the inner wall of the holding groove, the holder between the inner wall of the holding groove and the scribing wheel is provided. Even if foreign matter such as cullet enters, the foreign matter accumulates in the groove, so that the rotation failure of the scribing wheel can be reduced.

本発明の第２の態様によれば、スクライビングホイール用ホルダーは、溝がスクライビングホイールの側面と対向しない位置まで延設されているので、異物をスクライビングホイールの側面と対向しない位置へ排出することができ、スクライビングホイールの回転不良をより低減することができる。 According to the second aspect of the present invention, since the groove for the scribing wheel is extended to a position where the groove does not face the side surface of the scribing wheel, foreign matter can be discharged to a position not facing the side surface of the scribing wheel. It is possible to reduce the rotation failure of the scribing wheel.

本発明の第３の態様によれば、スクライビングホイール用ホルダーは、溝が保持溝の端まで延設されているので、異物をスクライビングホイール用ホルダーから排出することができ、スクライビングホイールの回転不良をより低減することができる。 According to the third aspect of the present invention, since the groove for the scribing wheel has the groove extending to the end of the holding groove, the foreign matter can be discharged from the holder for the scribing wheel, and the rotation failure of the scribing wheel can be prevented. It can be further reduced.

本発明の第４の態様によれば、スクライビングホイール用ホルダーは、溝が複数設けられているので、サイズの異なるスクライビングホイールであっても対応できる。また、異物が溝に溜まる確率が高まるので、スクライビングホイールの回転不良をより低減することができる。 According to the fourth aspect of the present invention, the scribing wheel holder is provided with a plurality of grooves, so that even a scribing wheel having a different size can be used. Moreover, since the probability that foreign matter accumulates in the groove is increased, it is possible to further reduce the rotation failure of the scribing wheel.

本発明の第５の態様によれば、スクライビングホイール用ホルダーは、溝が鉛直方向に向かって伸びているので、カレット等の異物がより排出し易くなっているため、スクライビングホイールの回転不良をより低減することができる。 According to the fifth aspect of the present invention, since the groove for the scribing wheel extends in the vertical direction, foreign matter such as cullet is more easily discharged, and thus the rotation failure of the scribing wheel is further reduced. Can be reduced.

本発明の第６の態様によれば、スクライブ装置は、第１から５の何れかの態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーが取り付けられたスクライブヘッドを備えているので、第１から５の態様にかかる効果を奏するスクライブ装置を提供することができる。 According to the sixth aspect of the present invention, the scribing apparatus includes the scribing head to which the scribing wheel holder according to any one of the first to fifth aspects is attached. A scribing device that exhibits the effect can be provided.

本発明の第７の態様によれば、スクライブ装置は、スクライビングホイール用ホルダーが着脱可能なホルダージョイントを備えているので、スクライビングホールを交換する際に、スクライビングホイール用ホルダーごと交換することができるので、交換作業を容易に行うことができる。 According to the seventh aspect of the present invention, since the scribing device includes the holder joint to which the holder for the scribing wheel can be attached and detached, when exchanging the scribing hole, the entire scribing wheel holder can be replaced. The replacement work can be easily performed.

実施形態１におけるスクライブ装置の概略図である。1 is a schematic view of a scribing device in Embodiment 1. FIG. 実施形態１におけるホルダーが取り付けられたホルダージョイントの正面図である。It is a front view of the holder joint with which the holder in Embodiment 1 was attached. 実施形態１におけるホルダーの斜視図である。3 is a perspective view of a holder in Embodiment 1. FIG. ホルダーの内壁に形成された溝の実施例を示した図である。It is the figure which showed the Example of the groove | channel formed in the inner wall of a holder. ホルダーの内壁に形成された溝の他の実施例を示した図である。It is the figure which showed the other Example of the groove | channel formed in the inner wall of a holder. ホルダーの内壁に形成された溝の他の実施例を示した図である。It is the figure which showed the other Example of the groove | channel formed in the inner wall of a holder. ホルダーの内壁に形成された溝の他の実施例を示した図である。It is the figure which showed the other Example of the groove | channel formed in the inner wall of a holder. 実施形態２におけるホルダーの斜視図である。10 is a perspective view of a holder in Embodiment 2. FIG. 実施形態３におけるホルダーの正面図である。It is a front view of the holder in Embodiment 3.

以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するためのスクライブ装置及びスクライビングホイール用ホルダーの一例を示すものであって、本発明をこのスクライブ装置及びスクライビングホイール用ホルダーに特定することを意図するものではなく、本発明は特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態のものにも適応し得るものである。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the embodiment described below shows an example of a scribing device and a scribing wheel holder for embodying the technical idea of the present invention, and the present invention is specified as the scribing device and scribing wheel holder. It is not intended that the invention be applicable to other embodiments falling within the scope of the claims.

［実施形態１］
本発明の実施形態１に係るスクライブ装置１０の概略図を図１に示す。スクライブ装置１０は、移動台１１が一対の案内レール１２ａ，１２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。移動台１１はボールネジ１３と螺合している。このボールネジ１３はモータ１４の駆動により回転し、移動台１１を案内レール１２ａ，１２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動させる。 [Embodiment 1]
A schematic diagram of a scribing apparatus 10 according to Embodiment 1 of the present invention is shown in FIG. The scribing device 10 includes a movable table 11 that is movable along a pair of guide rails 12a and 12b in the y-axis direction. The movable table 11 is screwed with the ball screw 13. The ball screw 13 is rotated by driving the motor 14 to move the movable table 11 in the y-axis direction along the guide rails 12a and 12b.

移動台１１の上面にはモータ１５が設けられている。モータ１５はテーブル１６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１７はこのテーブル１６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。
スクライブ装置１０の上部には、脆性材料基板１７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１８が設けられている。そして、スクライブ装置１０には、移動台１１とその上部のテーブル１６を跨ぐようにブリッジ１９がｘ軸方向に沿って支柱２０ａ，２０ｂにより架設されている。 A motor 15 is provided on the upper surface of the movable table 11. The motor 15 rotates the table 16 on the xy plane and positions it at a predetermined angle. The brittle material substrate 17 is placed on the table 16 and held by a vacuum suction means (not shown).
Two CCD cameras 18 that image the alignment marks of the brittle material substrate 17 are provided on the top of the scribe device 10. The scribing device 10 is provided with a bridge 19 extending along the x-axis direction by struts 20a and 20b so as to straddle the movable table 11 and the upper table 16.

ブリッジ１９にはガイド２２が取り付けられており、スクライブヘッド２１はガイド２２に沿ってｘ軸方向に沿って移動可能となっている。そして、このスクライブ装置１０のスクライブヘッド２１には、ホルダージョイント２３を介して、スクライビングホイール５０（図２参照）を回転自在に保持している実施形態１のホルダー４０ａが取り付けられている。 A guide 22 is attached to the bridge 19, and the scribe head 21 can move along the guide 22 along the x-axis direction. The scribe head 21 of the scribe device 10 is attached with the holder 40a according to the first embodiment that holds the scribing wheel 50 (see FIG. 2) rotatably via the holder joint 23.

次に、ホルダー４０ａが取り付けられたホルダージョイント２３と、このホルダー４０ａについて、図２及び図３を用いて説明する。図２はホルダー４０ａが取り付けられたホルダージョイント２３の正面図である。図３はホルダー４０ａを拡大した斜視図である。 Next, the holder joint 23 to which the holder 40a is attached and the holder 40a will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a front view of the holder joint 23 to which the holder 40a is attached. FIG. 3 is an enlarged perspective view of the holder 40a.

ホルダージョイント２３は、略円柱状をしており、回転軸部２４と、ジョイント部２５で構成されている。 The holder joint 23 has a substantially cylindrical shape, and includes a rotating shaft portion 24 and a joint portion 25.

そして、スクライブヘッド２１にホルダージョイント２３が装着された状態においては、この回転軸部２４には、ホルダージョイント２３を回動自在に保持するための二つのベアリング２６ａ，２６ｂが円筒形のスペーサ２７を介して取り付けられた状態になっている。なお、図２にはホルダージョイント２３の正面図を示すとともに、回転軸部２４に取り付けられたベアリンク２６ａ，２６ｂとスペーサ２７の断面図を示している。 When the holder joint 23 is attached to the scribe head 21, two bearings 26a and 26b for holding the holder joint 23 rotatably on the rotating shaft portion 24 are provided with a cylindrical spacer 27. It is in the state attached via. FIG. 2 shows a front view of the holder joint 23 and a cross-sectional view of the bare links 26 a and 26 b and the spacer 27 attached to the rotating shaft portion 24.

円柱形のジョイント部２５には、下端側に円形の開口２８が形成されており、この開口の上部にはマグネット２９が埋設されている。そして、この開口２８には、ホルダー４０ａが着脱自在に取り付けられている。 The cylindrical joint portion 25 has a circular opening 28 formed on the lower end side, and a magnet 29 is embedded in the upper portion of the opening. A holder 40a is detachably attached to the opening 28.

このホルダー４０ａは略円柱形の金属または樹脂からなり、その下端側には平坦部４１ａ，４１ｂが設けられている。なお、図２でホルダー４０ａの下端側を拡大している図は、矢印Ａで示す横方向から観察した場合の拡大図を示している。 The holder 40a is made of a substantially cylindrical metal or resin, and flat portions 41a and 41b are provided on the lower end side thereof. In addition, the figure which expanded the lower end side of the holder 40a in FIG. 2 has shown the enlarged view at the time of observing from the horizontal direction shown by the arrow A. FIG.

この平坦部４１ａと平坦部４１ｂとの間に、スクライビングホイール５０を保持するための保持溝４２が形成されている。また、平坦部４１ａ，４１ｂには、スクライビングホイール５０を固定するために孔状のピン孔４３ａがそれぞれ形成されている。このピン孔４３ａにピン４４が貫通され、スクライビングホイール５０が回転自在に取り付けられている。この時、平坦部４１ａと平坦部４１ｂのそれぞれの内壁４５ａ，４５ｂが、スクライビングホイール５０の円形側面５２ａ，５２ｂとそれぞれ対向している。 A holding groove 42 for holding the scribing wheel 50 is formed between the flat portion 41a and the flat portion 41b. Further, in the flat portions 41a and 41b, hole-like pin holes 43a are formed for fixing the scribing wheel 50, respectively. A pin 44 is passed through the pin hole 43a, and a scribing wheel 50 is rotatably attached. At this time, the respective inner walls 45a and 45b of the flat portion 41a and the flat portion 41b are opposed to the circular side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50, respectively.

このスクライビングホイール５０は、例えば焼結ダイヤモンドで形成され、ホイール径が２．５ｍｍ、厚さｄが０．６５ｍｍ程度のディスク状の形状を有し、円周部に沿って垂直断面形状Ｖ字形の刃５１が形成されている。そして、スクライビングホイール５０の二つの円形側面５２ａ，５２ｂの中心に貫通孔５３が形成されている。この貫通孔５３に先ほど述べたピン孔４３ａを貫通するピン４４が貫通することで、保持溝４２においてスクライビングホイール５０が回転自在に保持されている。なお、スクライビングホイール５０の厚さに対して、保持溝４２の間隔（内壁４５ａと内壁４５ｂの距離）はわずかに大きくなっており、例えばスクライビングホイール５０の厚さｄが０．６５ｍｍの場合、保持溝４２の間隔は約０．６７ｍｍとなっている。 The scribing wheel 50 is made of, for example, sintered diamond, has a disk shape with a wheel diameter of 2.5 mm, and a thickness d of about 0.65 mm, and has a V-shaped vertical cross section along the circumference. A blade 51 is formed. A through hole 53 is formed at the center of the two circular side surfaces 52 a and 52 b of the scribing wheel 50. The scribing wheel 50 is rotatably held in the holding groove 42 by the pin 44 penetrating the pin hole 43a described above passing through the through hole 53. Note that the distance between the holding grooves 42 (the distance between the inner wall 45a and the inner wall 45b) is slightly larger than the thickness of the scribing wheel 50. For example, when the thickness d of the scribing wheel 50 is 0.65 mm, the holding groove 42 holds. The interval between the grooves 42 is about 0.67 mm.

ホルダー４０ａの上端側には位置決め用の取付部４６が設けられている。この取付部４６はホルダー４０ａを切り欠いて形成されており、傾斜部４６ａと平坦部４６ｂを有している。また、ホルダー４０ａの上端側の少なくとも一部分は磁性体金属で構成されている。 A positioning attachment 46 is provided on the upper end side of the holder 40a. The attachment portion 46 is formed by cutting out the holder 40a, and has an inclined portion 46a and a flat portion 46b. Further, at least a part of the upper end side of the holder 40a is made of a magnetic metal.

このホルダー４０ａは、ホルダージョイント２３の開口２８へ、ホルダー４０ａの取付部４６側から挿入される。その際、ホルダー４０ａの上端側の磁性体金属がマグネット２９によって引き寄せられ、取付部４６の傾斜部４６ａが、開口２８の内部を通る平行ピン３０に接触し位置決めが行われ、ホルダー４０ａはホルダージョイント２３に固定される。反対に、ホルダージョイント２３からホルダー４０ａを取り外す際には、ホルダー４０ａを下方へ引く抜くことで、容易に取り外すことができる。 The holder 40a is inserted into the opening 28 of the holder joint 23 from the mounting portion 46 side of the holder 40a. At that time, the magnetic metal on the upper end side of the holder 40a is attracted by the magnet 29, and the inclined portion 46a of the mounting portion 46 comes into contact with the parallel pin 30 passing through the inside of the opening 28, and positioning is performed. 23. On the other hand, when removing the holder 40a from the holder joint 23, the holder 40a can be easily removed by pulling it downward.

ここで、スクライビングホイール５０は消耗品であるため定期的な交換が必要となる。本実施形態においては、ホルダージョイント２３を介してホルダー４０ａがスクライブヘッド２１に装着されているので、ホルダー４０ａの着脱が容易に行える。したがって、スクライビングホイール５０をホルダー４０ａから取り外したりすることなく、スクライビングホイール５０とホルダー４０ａを一体として扱い、ホルダー４０ａそのものを交換すればよいので、スクライビングホイール５０の交換作業を容易に行うことができる。 Here, since the scribing wheel 50 is a consumable item, it must be periodically replaced. In this embodiment, since the holder 40a is attached to the scribe head 21 via the holder joint 23, the holder 40a can be easily attached and detached. Therefore, the scribing wheel 50 and the holder 40a can be handled as one body and the holder 40a itself can be replaced without removing the scribing wheel 50 from the holder 40a, so that the scribing wheel 50 can be easily replaced.

次に、先にも述べたように、ホルダー４０ａの保持溝４２で保持されているスクライビングホイール５０の側面５２ａ，５２ｂと、保持溝４２の内壁４５ａ，４５ｂとの間に、分断工程で生じた微小なカレット等の異物が入り込んでしまうおそれがある。そこで、本実施形態においては、保持溝４２の内壁４５ａ，４５ｂに溝を形成している。したがって、内壁４５ａ，４５ｂとスクライビングホイール５０の側面５２ａ，５２ｂとの間に、異物が入り込んできたとしても、この溝に異物が入るため、スクライビングホイール５０の回転不良の発生を低減している。
この保持溝４２の内壁４５ａ，４５ｂに形成されている溝の具体例について図面を用いて説明を行う。 Next, as described above, the separation process occurred between the side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50 held by the holding groove 42 of the holder 40a and the inner walls 45a and 45b of the holding groove 42. There is a possibility that foreign matter such as a minute cullet may enter. Therefore, in the present embodiment, grooves are formed in the inner walls 45a and 45b of the holding groove 42. Therefore, even if foreign matter enters between the inner walls 45a and 45b and the side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50, the foreign matter enters this groove, thereby reducing the occurrence of rotation failure of the scribing wheel 50.
Specific examples of the grooves formed in the inner walls 45a and 45b of the holding groove 42 will be described with reference to the drawings.

［実施例１］
実施例１のホルダー４０ａの断面図を図４に示す。なお、図４（ａ）は図３のIVａ−IVａ線に沿った断面図であり、図４（ｂ）は図３のIVｂ−IVｂ線に沿った断面図である。また、スクライビングホイール５０については破線で示している。 [Example 1]
A cross-sectional view of the holder 40a of the first embodiment is shown in FIG. 4A is a cross-sectional view taken along line IVa-IVa in FIG. 3, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line IVb-IVb in FIG. The scribing wheel 50 is indicated by a broken line.

ホルダー４０ａの内壁４５ａ，４５ｂには、円弧状の溝４６がそれぞれ形成されている。この溝４６はスクライビングホイール５０の側面５２ａ，５２ｂと対向する位置に設けられている。したがって、カレット等の異物が内壁４５ａ，４５ｂと側面５２ａ，５２ｂとの間に入り込んできたとしても、異物は溝４６に溜まるので、スクライビングホイール５０の回転に与える影響を低減することができる。更に、溝４６はスクライビングホール５０の側面５２ａ，５２ｂと対向しない位置まで延設されているので、溝４６に溜まった異物はスクライビングホイール５０の回転とともに、側面５２ａ，５２ｂと対向しない位置まで排出され、より一層スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。 Arc-shaped grooves 46 are formed in the inner walls 45a and 45b of the holder 40a. The groove 46 is provided at a position facing the side surfaces 52 a and 52 b of the scribing wheel 50. Therefore, even if foreign matter such as cullet enters between the inner walls 45a and 45b and the side surfaces 52a and 52b, the foreign matter is accumulated in the groove 46, so that the influence on the rotation of the scribing wheel 50 can be reduced. Further, since the groove 46 extends to a position not facing the side surfaces 52a and 52b of the scribing hole 50, the foreign matter accumulated in the groove 46 is discharged to a position not facing the side surfaces 52a and 52b as the scribing wheel 50 rotates. Further, the rotation failure of the scribing wheel 50 can be further reduced.

そして、この溝４６は保持溝４２の端部まで延設されているので、異物をホルダー４０ａの外へ排出することが可能となる。また、この溝４６は鉛直方向Ｇに向かって徐々に溝の幅を広げながら伸びているので、異物が下方へ向かいやすくなっており、より異物を排出し易くなっている。
本実施例においては、溝４６の深さは一定であるが、場所によって溝の深さを異ならせてもよい。例えば、スクライビングホイール５０の側面５２ａ，５２ｂと対向する位置においては最も溝の深さが深く、スクライビングホール５０の側面５２ａ，５２ｂと対向しない位置から保持溝４２の端部へと近づくにつれて溝の深さを浅くすることにより、溝に溜まった異物をより排出し易くすることができる。 And since this groove | channel 46 is extended to the edge part of the holding groove 42, it becomes possible to discharge | emit a foreign material out of the holder 40a. Further, since the groove 46 extends in the vertical direction G while gradually increasing the width of the groove, the foreign matter is likely to move downward, and the foreign matter is more easily discharged.
In this embodiment, the depth of the groove 46 is constant, but the depth of the groove may be varied depending on the location. For example, the depth of the groove is deepest at the position facing the side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50, and the depth of the groove increases from the position not facing the side surfaces 52a and 52b of the scribing hole 50 toward the end of the holding groove 42. By making the depth shallower, foreign substances accumulated in the groove can be more easily discharged.

［実施例２］
実施例２のホルダー４０ａの構成を図５に示す。なお、図５（ａ）は図３のIVａ−IVａ線に沿った断面図であり、図５（ｂ）が図３のIVｂ−IVｂ線に沿った断面図である。また、スクライビングホイール５０については破線で示している。 [Example 2]
The structure of the holder 40a of Example 2 is shown in FIG. 5A is a cross-sectional view taken along line IVa-IVa in FIG. 3, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line IVb-IVb in FIG. The scribing wheel 50 is indicated by a broken line.

ホルダー４０ａの内壁４５ａ，４５ｂには、３本の溝４７ａ，４７ｂ，４７ｃがそれぞれ形成されている。
この溝４７ａ，４７ｂ，４７ｃは実施例１の溝４６と同様に、スクライビングホイール５０の側面５２ａ，５２ｂと対向する位置から対向しない位置まで延設されている。また、鉛直方向Ｇに向かって保持溝４２の端部まで延設されている。したがって、カレット等の異物が内壁４５ａ，４５ｂと側面５２ａ，５２ｂとの間に入り込んできたとしても、溝４７ａ，４７ｂ，４７ｃを介して異物を排出することができ、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。 Three grooves 47a, 47b, 47c are formed in the inner walls 45a, 45b of the holder 40a, respectively.
The grooves 47a, 47b, and 47c are extended from a position facing the side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50 to a position not facing the same as the groove 46 of the first embodiment. Further, it extends in the vertical direction G to the end of the holding groove 42. Therefore, even if foreign matter such as cullet enters between the inner walls 45a and 45b and the side surfaces 52a and 52b, the foreign matter can be discharged through the grooves 47a, 47b, and 47c, and the scribing wheel 50 can rotate poorly. Can be reduced.

また、この３つの溝４７ａ，４７ｂ，４７ｃはスクライビングホイール５０の曲率よりも小さな曲線となっており、また、それぞれの曲率が異なっている。このようにサイズの異なる複数の溝を設けておくことにより、スクライビングホイール５０を異なるサイズのスクライビングホールに変更したとしても、各サイズのスクライビングホイール５０に対して適した位置に溝が位置することになるので、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。また、溝が複数形成されているので、異物が溝に溜まる確率がより高まり、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。 The three grooves 47a, 47b, 47c are curves smaller than the curvature of the scribing wheel 50, and the respective curvatures are different. By providing a plurality of grooves of different sizes in this way, even if the scribing wheel 50 is changed to a scribing hole of a different size, the grooves are positioned at suitable positions with respect to the scribing wheel 50 of each size. Therefore, the rotation failure of the scribing wheel 50 can be reduced. In addition, since a plurality of grooves are formed, the probability that foreign matter accumulates in the grooves is further increased, and poor rotation of the scribing wheel 50 can be reduced.

［実施例３］
実施例３のホルダー４０ａの構成を図６に示す。なお、図６は図３のIVａ−IVａ線に沿った断面図であり、スクライビングホイール５０については破線で示している。 [Example 3]
The structure of the holder 40a of Example 3 is shown in FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line IVa-IVa in FIG. 3, and the scribing wheel 50 is indicated by a broken line.

ホルダー４０ａの内壁４５ａには３本の溝４８ａ，４８ｂ，４８ｃがそれぞれ形成されている。
この溝４８ａ，４８ｂ，４８ｃは実施例１の溝４６と同様に、スクライビングホイール５０の側面５２ａと対向する位置に形成され、鉛直方向Ｇに向かって保持溝４２の端部まで延設されている。したがって、カレット等の異物が内壁４５ａ，４５ｂと側面５２ａ，５２ｂとの間に入り込んできたとしても、溝４８ａ，４８ｂ，４８ｃを介して異物を排出することができ、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。 Three grooves 48a, 48b, and 48c are formed in the inner wall 45a of the holder 40a.
The grooves 48a, 48b, and 48c are formed at positions facing the side surface 52a of the scribing wheel 50 and extend to the end of the holding groove 42 in the vertical direction G, similarly to the groove 46 of the first embodiment. . Accordingly, even if foreign matter such as cullet enters between the inner walls 45a and 45b and the side surfaces 52a and 52b, the foreign matter can be discharged through the grooves 48a, 48b, and 48c, and the scribing wheel 50 may be poorly rotated. Can be reduced.

また、溝４８ａ，４８ｂ，４８ｃは実施例２の溝４６と同様に、複数本形成されているので、スクライビングホイール５０を異なるサイズのスクライビングホールに変更したとしても、各サイズのスクライビングホイール５０に対して適した位置に溝が位置することになるので、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができ、また、溝が複数形成されているので、異物が溝に溜まる確率がより高まり、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。
更に、この溝４８ａ，４８ｂ，４８ｃはスクライビングホイール５０の曲率よりも大きな曲線となっている。したがって、溝に溜まった異物は鉛直方向Ｇに沿ってより落下し易くなっている。 Also, since the grooves 48a, 48b, and 48c are formed in a plurality as in the groove 46 of the second embodiment, even if the scribing wheel 50 is changed to a different size scribing hole, the size of the scribing wheel 50 of each size is different. Since the groove is positioned at a suitable position, the rotation failure of the scribing wheel 50 can be reduced, and since a plurality of grooves are formed, the probability that foreign matter accumulates in the groove is further increased, and the scribing wheel 50 rotation failures can be reduced.
Further, the grooves 48 a, 48 b, 48 c are curves larger than the curvature of the scribing wheel 50. Accordingly, the foreign matter accumulated in the groove is more likely to fall along the vertical direction G.

［実施例４］
実施例４のホルダー４０ａの構成を図７に示す。なお、図７は図３のIVａ−IVａ線に沿った断面図であり、スクライビングホイール５０については破線で示している。 [Example 4]
The structure of the holder 40a of Example 4 is shown in FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line IVa-IVa in FIG. 3, and the scribing wheel 50 is indicated by a broken line.

ホルダー４０ａの内壁４５ａには、２本の溝４９ａ，４９ｂがそれぞれ形成されている。
溝４９ａは実施例１の溝４６と同様に、スクライビングホイール５０の側面５２ａと対向する位置に形成され、鉛直方向Ｇに向かって保持溝４２の端部まで延設されている。したがって、カレット等の異物が内壁４５ａと側面５２ａとの間に入り込んできたとしても、溝４９ａを介して異物を排出することができ、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。 Two grooves 49a and 49b are formed in the inner wall 45a of the holder 40a.
The groove 49 a is formed at a position facing the side surface 52 a of the scribing wheel 50 and extends to the end of the holding groove 42 in the vertical direction G, similarly to the groove 46 of the first embodiment. Therefore, even if foreign matter such as cullet enters between the inner wall 45a and the side surface 52a, the foreign matter can be discharged through the groove 49a, and the rotation failure of the scribing wheel 50 can be reduced.

更に、溝４９ａはピン４４に対して直交し、鉛直方向Ｇに伸びる軸に対して非対称に形成された溝であり、ホルダー４０ａの進行方向Ｂにおける前方側では、スクライビングホイール５０の曲率よりも大きな曲線となっており、ホルダー４０ａの進行方向Ｂにおける後方側では、スクライビングホイール５０の曲率よりも小さな曲線となっている。したがって、溝４９ａの前方側では溝に溜まった異物を落下し易くし、溝４９ａの後方側では溝に溜まった異物をスクライビングホイール５０の外側へ落下するようにしている。 Furthermore, the groove 49a is a groove that is orthogonal to the pin 44 and formed asymmetrically with respect to the axis extending in the vertical direction G, and is larger than the curvature of the scribing wheel 50 on the front side in the traveling direction B of the holder 40a. On the rear side in the traveling direction B of the holder 40a, the curve is smaller than the curvature of the scribing wheel 50. Accordingly, the foreign matter accumulated in the groove is easily dropped on the front side of the groove 49a, and the foreign matter accumulated in the groove is dropped on the outside of the scribing wheel 50 on the rear side of the groove 49a.

また、溝４９ｂはスクライビングホイール５０の側面５２ａと対向しない位置に形成された溝である。このように、スクライビングホイール５０の側面とは対向しない位置に溝が形成されていても、保持溝４２に進入してきた異物を、溝４９ｂを介して保持溝４２の外側へ排出することができるので、内壁４５ａと側面５２ａとの間に入り込もうとする異物を削減でき、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。 The groove 49b is a groove formed at a position that does not face the side surface 52a of the scribing wheel 50. Thus, even if a groove is formed at a position not facing the side surface of the scribing wheel 50, foreign matter that has entered the holding groove 42 can be discharged to the outside of the holding groove 42 through the groove 49b. Further, foreign matter that tends to enter between the inner wall 45a and the side surface 52a can be reduced, and defective rotation of the scribing wheel 50 can be reduced.

［実施形態２］
次に、実施形態１のホルダー４０ａと異なる構成の実施形態２のホルダー４０ｂについて、図８を用いて説明する。なお、図８はホルダー４０ｂを拡大した斜視図である。また、ホルダー４０ａと同様の構成については、同じ符号を用いて説明し、その詳細な説明は省略する。
実施形態２のホルダー４０ｂは、実施形態１のホルダー４０ａと同様に、スクライブ装置１０のスクライブヘッド２１において、ホルダージョイント２３の開口２８へ挿入され、取り付けられている。 [Embodiment 2]
Next, the holder 40b of the second embodiment having a configuration different from that of the holder 40a of the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 8 is an enlarged perspective view of the holder 40b. Moreover, about the structure similar to the holder 40a, it demonstrates using the same code | symbol and the detailed description is abbreviate | omitted.
Similar to the holder 40a of the first embodiment, the holder 40b of the second embodiment is inserted and attached to the opening 28 of the holder joint 23 in the scribe head 21 of the scribe device 10.

このホルダー４０ｂは略円柱形の金属また樹脂からなり、その下端側には平坦部４１ａ，４１ｂが設けられている。そして、この平坦部４１ａと平坦部４１ｂとの間に、スクライビングホイール５０を保持するための保持溝４２が形成されている。
また、平坦部４１ａ，４１ｂの下端には、スクライビングホイール５０を固定するために切り欠いて形成されたピン孔４３ｂがそれぞれ形成されている。そして、このピン孔４３ｂにピン４４が貫通され、スクライビングホイール５０が回転自在にホルダー４０ｂに取り付けられている。
このホルダー４０ｂの上端側には、ホルダー４０ａと同様に傾斜部４６ａと平坦部４６ｂからなる取付部４６が形成されている。 The holder 40b is made of a substantially cylindrical metal or resin, and flat portions 41a and 41b are provided on the lower end side thereof. A holding groove 42 for holding the scribing wheel 50 is formed between the flat portion 41a and the flat portion 41b.
In addition, pin holes 43b are formed at the lower ends of the flat portions 41a and 41b. The pin holes 43b are cut out to fix the scribing wheel 50. A pin 44 is inserted through the pin hole 43b, and the scribing wheel 50 is rotatably attached to the holder 40b.
On the upper end side of the holder 40b, an attachment portion 46 composed of an inclined portion 46a and a flat portion 46b is formed in the same manner as the holder 40a.

そして、このホルダー４０ｂの保持溝４２の内壁にも、実施形態１の実施例１から実施例４に示したのと同様の構成の溝（図示省略）が形成されている。この実施形態２のホルダー４０ｂは、ピン孔４３ｂを精度良く形成することが比較的容易にできるが、ピン孔４３ｂが切り欠かれた状態となっているので、実施形態１のホルダー４０ａの場合よりも保持溝４２内にカレット等の異物が侵入し易くなる。しかしながら、実施形態２のホルダー４０ｂにおいては、保持溝４２の内壁に溝が形成されていることにより、実施形態１の実施例１から実施例４と同様の作用・効果を奏することができる。 And the groove | channel (illustration omitted) of the structure similar to having shown in Example 1-Example 4 of Embodiment 1 is formed also in the inner wall of the holding groove 42 of this holder 40b. The holder 40b of the second embodiment can relatively easily form the pin hole 43b with high accuracy, but the pin hole 43b is notched, so that it is more than the case of the holder 40a of the first embodiment. In addition, foreign matters such as cullet are likely to enter the holding groove 42. However, in the holder 40b of the second embodiment, since the groove is formed on the inner wall of the holding groove 42, the same operations and effects as those of the first to fourth embodiments of the first embodiment can be achieved.

［実施形態３］
次に、実施形態１に示したホルダー４０ａや実施形態２に示したホルダー４０ｂとは異なる構成の実施形態３のホルダー１４０について、図９を用いて説明する。なお、図９は実施形態３のホルダー１４０の正面図である。 [Embodiment 3]
Next, the holder 140 of the third embodiment having a different configuration from the holder 40a shown in the first embodiment and the holder 40b shown in the second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a front view of the holder 140 of the third embodiment.

実施形態３のホルダー１４０は、スクライブ装置１０のスクライブヘッド２１に、ホルダージョイントを介さずに、直接取り付けられているものである。
ホルダー１４０は略円柱状をしており、回転軸部１４１と、ホイール保持部１４２で構成されている。そして、スクライブヘッド２１にホルダー１４０が装着された状態においては、この回転軸部１４１には、ホルダー１４０を回動自在に保持するための二つのベアリング１２６ａ，１２６ｂが円筒形のスペーサ１２７を介して取り付けられた状態になっている。なお、図９にはホルダー１４０の正面図を示すとともに、回転軸部１４１に取り付けられたベアリンク１２６ａ，１２６ｂとスペーサ１２７の断面図を示している。 The holder 140 of Embodiment 3 is directly attached to the scribe head 21 of the scribe device 10 without using a holder joint.
The holder 140 has a substantially cylindrical shape, and includes a rotation shaft portion 141 and a wheel holding portion 142. When the holder 140 is mounted on the scribe head 21, the rotary shaft portion 141 has two bearings 126 a and 126 b for rotatably holding the holder 140 via a cylindrical spacer 127. It is attached. FIG. 9 shows a front view of the holder 140 and a cross-sectional view of the bare links 126a and 126b and the spacer 127 attached to the rotary shaft 141.

ホイール保持部１４２は円柱状をなすとともに、下端側が三角形状になっており、この三角形状の先端にはスクライビングホイール１５０を挿入するため、平坦部１４３ａと１４３ｂとの間に、スクライビングホイール１５０を保持するための保持溝１４４が形成されている。なお、図９でホルダー１４０の下端側を拡大している図は、矢印Ｃで示す横方向から観察した場合の拡大図を示している。 The wheel holding portion 142 has a cylindrical shape and a lower end side that is triangular. The scribing wheel 150 is inserted between the flat portions 143a and 143b in order to insert the scribing wheel 150 into the triangular tip. A holding groove 144 is formed. In addition, the figure which expanded the lower end side of the holder 140 in FIG. 9 has shown the enlarged view at the time of observing from the horizontal direction shown by the arrow C.

平坦部１４３ａ，１４３ｂにはスクライビングホイール１５０を固定するために孔状のピン孔１４５がそれぞれ形成されており、このピン孔１４５にピン１４６が貫通され、スクライビングホイール１５０はホルダー１４０に回転自在に取り付けられている。この時、平坦部１４３ａと平坦部１４３ｂのそれぞれの内壁１４７ａ，１４７ｂがスクライビングホイール１５０の円形側面１５１ａ，１５１ｂとそれぞれ対向している。そして、平坦部１４３ａ，１４３ｂの外側には、ピン孔１４４を外側から覆うためのピン押さえ１４８ａ，１４８ｂがネジ１４９によってそれぞれネジ止めされている。 The flat portions 143a and 143b are respectively formed with hole-shaped pin holes 145 for fixing the scribing wheel 150. The pins 146 pass through the pin holes 145, and the scribing wheel 150 is rotatably attached to the holder 140. It has been. At this time, the inner walls 147a and 147b of the flat portion 143a and the flat portion 143b are opposed to the circular side surfaces 151a and 151b of the scribing wheel 150, respectively. And pin holders 148a and 148b for covering the pin holes 144 from the outside are screwed to the outside of the flat portions 143a and 143b by screws 149, respectively.

なお、この場合においても、スクライビングホール１５０は消耗品であり、定期的な交換が必要となるので、ホルダー１４０において、スクライビングホール１５０を交換する際には、まず、スクライブヘッド２１からホルダー１４０を取り外し、次に、ホルダー１４０からピン押さえ１４８ａ，１４８ｂを取り外した後、ピン１４５を取り出してスクライビングホール１５０の交換が行われる。 Even in this case, since the scribing hole 150 is a consumable item and needs to be replaced periodically, when replacing the scribing hole 150 in the holder 140, the holder 140 is first removed from the scribe head 21. Next, after removing the pin holders 148a and 148b from the holder 140, the pin 145 is taken out and the scribing hole 150 is replaced.

そして、ホルダー１４０の内壁１４７ａ，１４７ｂには、実施形態１の実施例１〜実施例４に示したのと同様の構成の溝（図示省略）が形成されている。そのため、内壁１４７ａ，１４７ｂとスクライビングホイール１５０の側面１５１ａ，１５１ｂとの間に、カレット等の異物が入り込んできたとしても、この溝に異物が入るため、スクライビングホイール１５０の回転不良の発生を低減することができる。なお、本実施形態のピン孔１４４は孔状となっているが、実施形態２と同様に平坦部１４３ａと平坦部１４３ｂの下端を切り欠いて形成してもよい。 And the groove | channel (illustration omitted) of the structure similar to having shown in Example 1-Example 4 of Embodiment 1 is formed in the inner walls 147a and 147b of the holder 140. FIG. Therefore, even if foreign matter such as cullet enters between the inner walls 147a and 147b and the side surfaces 151a and 151b of the scribing wheel 150, foreign matter enters this groove, thereby reducing the occurrence of rotation failure of the scribing wheel 150. be able to. In addition, although the pin hole 144 of this embodiment is a hole shape, you may form it by notching the lower end of the flat part 143a and the flat part 143b similarly to Embodiment 2. FIG.

このように、本実施形態においては、ホルダーの内壁のスクライビングホイールの側面と対向する位置に溝を形成しておくことで、内壁とスクライビングホイールの側面との間に進入する異物による回転不良の発生を低減することができるようになる。 As described above, in this embodiment, by forming a groove at a position facing the side surface of the scribing wheel on the inner wall of the holder, occurrence of rotation failure due to foreign matter entering between the inner wall and the side surface of the scribing wheel is generated. Can be reduced.

なお、上述した実施形態においては、溝がピン孔よりも上方に形成されたもののみを示したが、ピン孔よりも下方に形成されていても同様の効果を奏することができ、また溝がピン孔に接するように形成されていても構わない。また、上述した実施例においては、溝の形状が円弧状のもののみを示したが、直線状であっても構わない。 In the above-described embodiment, only the groove formed above the pin hole is shown, but the same effect can be obtained even if the groove is formed below the pin hole. It may be formed so as to be in contact with the pin hole. In the above-described embodiments, only the arc shape of the groove is shown, but it may be linear.

また、上述したスクライブ装置１０は、脆性材料基板１７の上部にスクライブヘッド２１が位置しているものであったが、脆性材料基板１７の下部にもスクライブヘッドが位置しており、脆性材料基板１７の上下両面からスクライブラインを形成するスクライブ装置であっても構わない。このように脆性材料基板１７の上下両面からスクライビングラインを形成できる構成とすることで、分断工程の作業効率を高めることができる。 In the scribing apparatus 10 described above, the scribe head 21 is located above the brittle material substrate 17, but the scribe head is located below the brittle material substrate 17. A scribing device that forms a scribe line from both the upper and lower surfaces may be used. Thus, by setting it as the structure which can form a scribing line from the upper and lower surfaces of the brittle material board | substrate 17, the working efficiency of a cutting process can be improved.

１０…スクライブ装置
２１…スクライブヘッド
２３…ホルダージョイント
４０ａ，４０ｂ，１４０…ホルダー
４２，１４４…保持溝
４５ａ，４５ｂ…内壁
４６，４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４９ａ，４９ｂ…溝
５０，１５０…スクライビングホイール
５２ａ，５２ｂ，１５１ａ，１５１ｂ…側面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Scribe device 21 ... Scribe head 23 ... Holder joint 40a, 40b, 140 ... Holder 42, 144 ... Holding groove 45a, 45b ... Inner wall 46, 47a, 47b, 47c, 48a, 48b, 48c, 49a, 49b ... Groove 50 , 150 ... scribing wheel 52a, 52b, 151a, 151b ... side

Claims

A holder for a scribing wheel having a holding groove for rotatably holding a disc-shaped scribing wheel and a pin hole for fixing the scribing wheel,
An arc-shaped groove is formed at a position facing the side surface of the scribing wheel on the inner wall of the holding groove, and the arc-shaped groove is formed above the pin hole and extends to the end of the holding groove. Scribing wheel holder characterized by being made .

The scriber wheel holder according to claim 1, wherein the groove extends to a position not facing the side surface of the scribe wheel.

The groove has the deepest groove depth at a position facing the side surface of the scribing wheel, and the groove depth is made shallower as it approaches the end of the holding groove from a position not facing the side surface of the scribing hole. The scribing wheel holder according to claim 2 , wherein the scribing wheel holder is provided.

The scribing wheel holder according to any one of claims 1 to 3, wherein a plurality of the grooves are provided.

The scribing wheel holder according to claim 4, wherein the plurality of grooves have different curvatures .

A scribing device comprising a scribing head to which the scribing wheel holder according to any one of claims 1 to 5 is attached.

The scribing apparatus according to claim 6, further comprising a holder joint to which the scribing wheel holder can be attached and detached.