KR101381055B1 - Holder, Holder Unit, and Scribe Device - Google Patents

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KR101381055B1
KR101381055B1 KR1020120113432A KR20120113432A KR101381055B1 KR 101381055 B1 KR101381055 B1 KR 101381055B1 KR 1020120113432 A KR1020120113432 A KR 1020120113432A KR 20120113432 A KR20120113432 A KR 20120113432A KR 101381055 B1 KR101381055 B1 KR 101381055B1
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scribing wheel
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groove
scribing
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기요후미 미야카와
준이치 츠지
도모키 나카가키
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 과제는, 스크라이빙 휠용 홀더에 있어서, 보유 지지 홈의 내벽과 스크라이빙 휠 사이로의 이물질 진입에 의한 스크라이빙 휠의 회전 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있는 스크라이빙 휠용 홀더 및 스크라이브 장치를 제공하는 것이다.
스크라이빙 휠(50)을 보유 지지하는 보유 지지 홈(42)을 구비한 홀더(40a)에 있어서, 보유 지지 홈(42)의 내벽에 홈(46)을 형성해 둔다. 이에 의해, 진입해 온 이물질이 홈(46)을 통해 배출되기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 방지할 수 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is a holder for a scribing wheel, in which the rotation of the scribing wheel can be prevented from occurring due to foreign matter entering between the inner wall of the holding groove and the scribing wheel. And a scribe device.
In the holder 40a provided with the holding groove 42 for holding the scribing wheel 50, the groove 46 is formed in the inner wall of the holding groove 42. Thereby, since the foreign matter which has entered is discharged | emitted through the groove | channel 46, the rotation defect of the scribing wheel 50 can be prevented.

Description

홀더, 홀더 유닛 및 스크라이브 장치{Holder, Holder Unit, and Scribe Device}Holder, Holder Unit, and Scribe Device

본 발명은, 글래스 기판, 세라믹스 기판, 실리콘 기판 등의 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠을 보유 지지하기 위한 홀더, 스크라이빙 휠을 구비한 홀더 유닛 및 이 홀더 유닛을 구비한 스크라이브 장치에 관한 것이다.The present invention provides a holder for holding a scribing wheel for forming a scribe line on a brittle material substrate such as a glass substrate, a ceramic substrate, a silicon substrate, a holder unit having a scribing wheel, and the holder unit. It relates to a scribe device.

종래, 액정 표시 패널이나 유기 일렉트로 루미네센스(EL) 패널 등의 플랫 디스플레이 패널, 태양 전지 등의 제조 공정에서는, 머더 글래스 기판 등의 취성 재료 기판의 분단 공정이 마련되어 있다. 이 분단 공정에서는, 통상 스크라이브 장치가 사용되고 있다. 그리고 분단 공정에서는, 이 스크라이브 장치에 구비된 스크라이빙 휠에 취성 재료 기판의 재질이나 두께 등의 여러 조건에 적합한 하중을 부하하면서, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판의 표면 상을 구름 이동시켜 스크라이브 라인을 형성하고, 취성 재료 기판에 소정의 힘을 부하함으로써 취성 재료 기판을 스크라이브 라인을 따라 분단하여, 개개의 패널이나 각종 기판을 제조하고 있다.Conventionally, in the manufacturing processes of flat display panels, such as a liquid crystal display panel and an organic electroluminescent (EL) panel, a solar cell, etc., the division | segmentation process of brittle material substrates, such as a mother glass substrate, is provided. In this dividing step, a scribing apparatus is usually used. In the dividing step, the scribing wheel is rolled on the surface of the brittle material substrate while scribing the scribing wheel included in the scribing apparatus while loading a load suitable for various conditions such as the material and thickness of the brittle material substrate. By forming a line and loading a predetermined force on the brittle material substrate, the brittle material substrate is divided along the scribe line to manufacture individual panels and various substrates.

이 스크라이브 장치로서는, 예를 들어 하기 특허문헌 1에 개시되어 있는 것이 알려져 있다. 특허문헌 1에 기재되어 있는 스크라이브 장치는, 취성 재료 기판이 적재되는 테이블을 걸치도록 가설된 브리지에, 이동 가능한 스크라이브 헤드가 장착되어 있고, 이 스크라이브 헤드에 스크라이빙 휠을 보유 지지하고 있는 홀더가 장착되어 있다.As this scribe apparatus, what is disclosed by following patent document 1 is known, for example. In the scribe device described in Patent Document 1, a movable scribe head is attached to a bridge that is arranged to span a table on which a brittle material substrate is mounted, and a holder holding a scribing wheel on the scribe head is provided. It is installed.

그리고, 이 스크라이빙 휠용의 홀더는, 선단에 2개의 지지부를 갖고, 이 2개의 지지부 사이의 보유 지지 홈에 스크라이빙 휠을 회전 가능하게 보유 지지하는 구성으로 되어 있다.The holder for the scribing wheel has two support portions at the tip, and is configured to rotatably hold the scribing wheel in the holding groove between the two support portions.

국제 공개 WO2007/063979호 공보International Publication WO2007 / 063979

이 보유 지지 홈에 보유 지지된 스크라이빙 휠과 보유 지지 홈의 내벽 사이에, 분단 공정에서 발생한 미소한 컬릿 등의 이물질이 들어가 버려, 스크라이빙 휠과 내벽 사이에 이물질이 끼인 상태에서 스크라이빙 휠이 회전함으로써, 스크라이빙 휠의 회전 불량이 발생한다고 하는 문제가 있었다.Between the scribing wheel held in the holding groove and the inner wall of the holding groove, foreign matter such as a fine cullet generated in the dividing step enters, and the scribing wheel is stuck between the scribing wheel and the inner wall. When the ice wheel rotates, there is a problem that a rotational failure of the scribing wheel occurs.

즉, 홀더에 스크라이빙 휠이 보유 지지되어 있는 홀더 유닛에 있어서는, 보유 지지 홈 내에 있어서의 스크라이빙 휠의 측벽면과 홀더의 지지부의 접촉 면적이 크게 되어 있기 때문에, 예를 들어 글래스 기판의 스크라이브시에 발생한 컬릿이 스크라이빙 휠의 측벽면과 홀더의 지지부의 내벽 사이에 말려들어가고, 이 말려들어간 컬릿에 의해 스크라이빙 휠의 회전 불량을 일으키는 경향이 있다.That is, in the holder unit in which the scribing wheel is held in the holder, since the contact area of the side wall surface of the scribing wheel and the support of the holder in the holding groove is large, for example, The cullets generated at the time of scribing are curled between the side wall surface of the scribing wheel and the inner wall of the support of the holder, and this curled curl tends to cause a poor rotation of the scribing wheel.

또한, 스크라이빙 휠의 측벽면과 홀더의 내벽 사이에 말려들어간 컬릿이 다량이 되면, 스크라이빙 휠의 회전성이 보다 악화되어, 스크라이브시에 날끝이 글래스 기판의 표면을 미끄러지기 때문에, 날끝 수명이 짧아지는 것이 우려된다. 또한, 홀더의 지지부와 핀의 접촉 면적이 크기 때문에 마찰 저항이 커, 스크라이브 중에 핀이 회전하거나, 회전하지 않는 경우가 있고, 이에 의해 글래스에의 절단 하중이 불균일해져, 글래스 단부면 강도의 저하나 글래스 파단 강도의 편차의 요인으로 되는 경우가 있다.In addition, when a large amount of curl is curled between the side wall surface of the scribing wheel and the inner wall of the holder, the rotation of the scribing wheel is further deteriorated, and the blade tip slides the surface of the glass substrate during scribing. It is feared that the life will be shortened. In addition, since the contact area between the support portion of the holder and the pin is large, the frictional resistance is large, and the pin may or may not rotate during scribing, resulting in uneven cutting load on the glass, resulting in a decrease in the strength of the glass end face. It may become a factor of the deviation of glass breaking strength.

따라서, 본 발명자는, 이 문제를 해소하기 위해 다양한 검토를 거듭한 결과, 디스크 형상의 스크라이빙 휠을 회전 가능하게 보유 지지하는 보유 지지 홈을 구비한 스크라이빙 휠용 홀더에 있어서, 보유 지지 홈의 내벽의 스크라이빙 휠의 측면과 대향하는 위치에 오목부를 형성해 둠으로써, 이 문제를 해소할 수 있는 것에 상도하고, 본 발명을 완성하는 것에 이른 것이다.Accordingly, the inventors of the present invention have repeatedly conducted various studies to solve this problem. As a result, the present invention has a holding groove for a scribing wheel holder having a holding groove for rotatably holding a disk-shaped scribing wheel. By providing a recessed portion at a position opposite to the side surface of the scribing wheel on the inner wall of the upper surface, the problem can be solved and the present invention can be completed.

즉, 본 발명은 상기 문제를 해소하는 것을 과제로 하고, 스크라이빙 휠용 홀더에 있어서, 보유 지지 홈의 내벽과 스크라이빙 휠 사이에의 이물질 진입에 의한 스크라이빙 휠의 회전 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있는 홀더, 스크라이빙 휠을 구비한 홀더 유닛 및 이 홀더 유닛을 구비한 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.That is, this invention makes it a subject to solve the said problem, and in the holder for a scribing wheel, the rotation defect of the scribing wheel which arises by the foreign material entering between the inner wall of a holding groove and the scribing wheel arises. It is an object of the present invention to provide a holder which can prevent the damage, a holder unit having a scribing wheel, and a scribe device having the holder unit.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 형태는, 디스크 형상이며 중심에 관통 구멍이 형성된 스크라이빙 휠을, 상기 관통 구멍에 회전 가능하게 삽입되는 핀에 의해, 회전 가능하게 보유 지지하기 위한 홀더이며, 상기 홀더는, 상기 스크라이빙 휠을 보유 지지하는 보유 지지 홈과, 상기 보유 지지 홈에 의해 형성되고, 서로 대향하는 내벽을 갖는 한 쌍의 지지부와, 상기 한 쌍의 지지부에 형성되고, 상기 핀이 삽입되는 한 쌍의 핀 구멍을 갖고, 상기 지지부의 내벽의 상기 스크라이빙 휠의 측면에 대향하는 부분에, 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an aspect of the present invention is a holder for rotatably holding a scribing wheel having a disk shape and a through hole formed in the center thereof by a pin rotatably inserted into the through hole. And the holder is formed by a holding groove holding the scribing wheel, a pair of supporting portions formed by the holding grooves and having inner walls facing each other, and the pair of supporting portions, It has a pair of pin holes into which a pin is inserted, and the recessed part is formed in the part which opposes the side surface of the said scribing wheel of the inner wall of the said support part.

본 발명의 홀더에 따르면, 홀더는 지지부의 내벽의 상기 스크라이빙 휠의 측면에 대향하는 부분에 오목부가 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠을 보유 지지한 경우, 스크라이빙 휠의 측면과 지지부 사이에 공간을 확보할 수 있어, 내벽과 스크라이빙 휠의 측면 사이에 침입하는 이물질에 의한 회전 불량의 발생을 저감시킬 수 있다.According to the holder of the present invention, since the holder is formed with a recess in a portion of the inner wall of the support portion that faces the side of the scribing wheel, the side and the support of the scribing wheel are supported when the scribing wheel is held. A space can be secured in between, and the occurrence of rotation failure due to foreign matter invading between the inner wall and the side surface of the scribing wheel can be reduced.

또한, 본 발명의 홀더의 형태는, 상기 오목부는, 상기 지지부의 내벽에 상기 핀 구멍에 접하지 않도록 형성된 홈인 것을 특징으로 한다.Moreover, the form of the holder of this invention is characterized in that the said recessed part is a groove | channel formed in the inner wall of the said support part so that it may not contact the said pinhole.

본 발명의 홀더에 따르면, 홀더는, 지지부의 내벽에 핀 구멍에 접하지 않도록 홈이 형성되어 있기 때문에, 내벽과 스크라이빙 휠 사이에 컬릿 등의 이물질이 침입하였다고 해도, 홈에 이물질이 쌓이므로, 스크라이빙 휠의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.According to the holder of the present invention, since the groove is formed in the inner wall of the support so as not to contact the pin hole, even if foreign matter such as a cullet enters between the inner wall and the scribing wheel, the foreign matter accumulates in the groove. The rotation failure of the scribing wheel can be reduced.

또한, 본 발명의 홀더의 형태는, 상기 보유 지지 홈이, 상기 스크라이빙 휠의 일부가 삽입되는 협폭부와, 상기 협폭부보다도 폭이 넓은 광폭부로 이루어지고, 상기 오목부는, 상기 광폭부이고, 상기 한 쌍의 핀 구멍은, 상기 보유 지지 홈의 상기 광폭부에 대응하는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In the form of the holder of the present invention, the holding groove includes a narrow portion into which a part of the scribing wheel is inserted, and a wide portion wider than the narrow portion, and the concave portion is the wide portion. And the pair of pin holes are formed at positions corresponding to the wide portions of the holding grooves.

본 발명의 홀더에 따르면, 보유 지지 홈의 광폭부에서는 스크라이빙 휠의 측벽면은 홀더의 지지부와 접촉하는 일이 없다. 그로 인해, 보유 지지 홈의 협폭부 내에 삽입되어 있는 스크라이빙 휠의 측벽면과 홀더의 지지부 사이의 접촉 면적이 종래의 홀더의 경우보다도 작게 되어 있으므로, 스크라이빙 휠과 홀더의 지지부 사이의 마찰 저항이 작아져, 스크라이빙 휠이 회전하기 쉬워진다. 또한, 본 발명의 홀더에 따르면, 스크라이브시에 스크라이빙 휠 및 핀의 회전성이 양호해지므로, 스크라이브시에 스크라이빙 휠의 날끝이 피(被)스크라이브 기판의 표면을 미끄러지는 현상이 발생하기 어렵지 않게 되어, 날끝 수명이 길어지는 동시에 스크라이브 후의 피스크라이브 기판의 단부면 강도의 저하나 파단 강도의 편차가 억제된다.According to the holder of the present invention, in the wide portion of the holding groove, the side wall surface of the scribing wheel does not come into contact with the holder of the holder. Therefore, since the contact area between the side wall surface of the scribing wheel inserted into the narrow part of the holding groove and the support of the holder is smaller than that of the conventional holder, the friction between the scribing wheel and the support of the holder is reduced. The resistance becomes small, and the scribing wheel is easy to rotate. In addition, according to the holder of the present invention, the rotation of the scribing wheel and the pin is improved at the time of scribing, so that the edge of the scribing wheel slides the surface of the scribed substrate during scribing. It becomes difficult to do so, and a blade edge life becomes long, and the fall of the end surface strength of a scribed board | substrate after scribing, and the variation of a breaking strength are suppressed.

또한, 본 발명의 홀더에 따르면, 한 쌍의 지지부에 각각 형성된 한 쌍의 핀 구멍은 보유 지지 홈의 광폭부에 대응하는 위치에 형성되어 있기 때문에, 보유 지지 홈의 광폭부에 있어서 핀의 주위에 공간이 생기므로, 예를 들어 스크라이브시에 컬릿이 발생하고, 이 컬릿이 홀더 홈의 협폭부로 진입해도 용이하게 배출된다.Further, according to the holder of the present invention, since the pair of pin holes respectively formed in the pair of support portions are formed at positions corresponding to the wide portions of the holding grooves, the pins are arranged around the fins in the wide portions of the holding grooves. Since a space is generated, for example, a cullet is generated during scribing, and the cullet is easily discharged even when entering the narrow portion of the holder groove.

또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 형태는, 상기 형태에 기재된 홀더와, 디스크 형상이며, 원주부를 따라 경사면과 능선으로 이루어지는 날을 갖고, 중심에 관통 구멍이 형성된 스크라이빙 휠과, 상기 관통 구멍에 회전 가능하게 삽입되는 핀을 구비하고, 상기 홀더의 보유 지지 홈에 상기 스크라이빙 휠이 보유 지지되고, 상기 핀이 상기 관통 구멍과 상기 핀 구멍에 삽입되어 상기 지지부에 있어서 보유 지지되는 것을 특징으로 하는 홀더 유닛이다.Moreover, in order to achieve the said objective, the aspect of this invention is the holder described in the said aspect, the disk shape, the scribing wheel which has the blade which consists of the inclined surface and ridgeline along the circumference, and the through-hole was formed in the center, And a pin that is rotatably inserted into the through hole, wherein the scribing wheel is held in the holding groove of the holder, and the pin is inserted into the through hole and the pin hole and held in the support part. It is a holder unit, characterized in that supported.

본 발명의 홀더 유닛에 따르면, 홀더는 지지부의 내벽의 상기 스크라이빙 휠의 측면에 대향하는 부분에 오목부가 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠의 측면과 지지부 사이에 공간을 확보할 수 있어, 내벽과 스크라이빙 휠의 측면 사이에 침입하는 이물질에 의한 회전 불량의 발생을 저감시킬 수 있다.According to the holder unit of the present invention, since the recess is formed in a portion of the holder that faces the side of the scribing wheel on the inner wall of the support, a space can be secured between the side of the scribing wheel and the support, It is possible to reduce the occurrence of rotational failure caused by foreign matter invading between the inner wall and the side surface of the scribing wheel.

또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 형태는, 상기 형태에 기재된 홀더 유닛과, 상기 홀더 유닛이 장착된 스크라이브 헤드를 구비하는 스크라이브 장치이다.Moreover, in order to achieve the said objective, the aspect of this invention is a scribe apparatus provided with the holder unit as described in the said aspect, and the scribe head in which the said holder unit was attached.

본 발명의 스크라이브 장치에 따르면, 홀더는 지지부의 내벽에 오목부가 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠의 측면과 지지부 사이에 공간을 확보할 수 있어, 내벽과 스크라이빙 휠의 측면 사이에 침입하는 이물질에 의한 회전 불량의 발생을 저감시킬 수 있다.According to the scribing apparatus of the present invention, since the holder has a recess formed in the inner wall of the support portion, a space can be secured between the side surface of the scribing wheel and the support portion, so that the holder penetrates between the inner wall and the side surface of the scribing wheel. It is possible to reduce the occurrence of rotation failure due to foreign matter.

또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 형태는, 상기 형태의 스크라이브 장치이며, 스크라이브 헤드는, 상기 홀더 유닛을 착탈 가능한 홀더 조인트를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.Moreover, in order to achieve the said objective, the aspect of this invention is a scribe apparatus of the said aspect, A scribe head is provided with the holder joint which can attach / detach the said holder unit, It is characterized by the above-mentioned.

본 발명의 스크라이브 장치에 따르면, 스크라이브 장치는, 홀더 유닛을 착탈 가능한 홀더 조인트를 구비하고 있기 때문에, 스크라이빙 휠을 교환할 때에, 홀더 유닛째 교환할 수 있으므로, 교환 작업을 용이하게 행할 수 있다.According to the scribing apparatus of the present invention, since the scribing apparatus includes a holder joint detachable from the holder unit, the holder unit can be replaced when the scribing wheel is replaced, so that the replacement operation can be easily performed. .

도 1은 제1 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치의 개략도.
도 2는 제1 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛이 장착된 홀더 조인트의 정면도.
도 3은 제1 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛의 사시도.
도 4는 제1 실시예의 홀더 유닛의 단면도.
도 5는 제2 실시예의 홀더 유닛의 단면도.
도 6은 제3 실시예의 홀더 유닛의 단면도.
도 7은 제4 실시예의 홀더 유닛의 단면도.
도 8은 제5 실시예의 홀더 유닛의 사시도.
도 9는 제5 실시예의 홀더 유닛의 단면도.
도 10은 제6 실시예의 홀더 유닛의 사시도와 단면도.
도 11은 제7 실시예의 홀더 유닛의 사시도와 단면도.
도 12는 제8 실시예의 홀더 유닛의 사시도와 단면도.
도 13은 제2 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도.
도 14는 제3 실시 형태의 홀더 유닛의 정면도.
도 15는 제4 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도.
도 16은 제4 실시 형태의 홀더 유닛의 정면도와 확대도.
도 17은 제5 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도.
도 18은 제5 실시 형태의 홀더 유닛의 정면도와 확대도.
도 19는 제6 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도.
도 20은 제6 실시 형태의 홀더 유닛의 정면도와 확대도.
1 is a schematic diagram of a scribing apparatus according to a first embodiment.
2 is a front view of a holder joint to which the holder unit in the first embodiment is mounted.
3 is a perspective view of a holder unit in the first embodiment;
4 is a cross-sectional view of the holder unit of the first embodiment.
Fig. 5 is a sectional view of the holder unit of the second embodiment.
Fig. 6 is a sectional view of the holder unit of the third embodiment.
Fig. 7 is a sectional view of the holder unit of the fourth embodiment.
8 is a perspective view of a holder unit of the fifth embodiment;
9 is a sectional view of the holder unit of the fifth embodiment.
10 is a perspective view and a sectional view of the holder unit of the sixth embodiment;
11 is a perspective view and a sectional view of the holder unit of the seventh embodiment;
12 is a perspective view and a sectional view of the holder unit of the eighth embodiment;
The perspective view of the holder unit of 2nd Embodiment.
14 is a front view of the holder unit of the third embodiment.
15 is a perspective view of a holder unit of a fourth embodiment.
The front view and enlarged view of the holder unit of 4th Embodiment.
The perspective view of the holder unit of 5th Embodiment.
The front view and enlarged view of the holder unit of 5th Embodiment.
19 is a perspective view of a holder unit of a sixth embodiment;
The front view and enlarged view of the holder unit of 6th Embodiment.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 사용하여 설명한다. 단, 이하에 나타내는 실시 형태는, 본 발명의 기술 사상을 구체화하기 위한 스크라이브 장치, 홀더 유닛 및 홀더의 일례를 나타내는 것이며, 본 발명을 이 스크라이브 장치, 홀더 유닛 및 홀더에 특정하는 것을 의도하는 것은 아니고, 본 발명은 특허청구범위에 포함되는 그 밖의 실시 형태의 것에도 적용할 수 있는 것이다. 또한, 홀더에 핀에 의해 스크라이빙 휠이 보유 지지된 것을 홀더 유닛으로서 설명을 행한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, embodiment shown below shows an example of a scribing apparatus, a holder unit, and a holder for incorporating the technical idea of this invention, and does not intend to specify this invention to this scribing apparatus, a holder unit, and a holder. The present invention is also applicable to other embodiments included in the claims. In addition, the holder unit holds the scribing wheel held by the pins in the holder.

[제1 실시 형태][First Embodiment]

본 발명의 제1 실시 형태에 관한 스크라이브 장치(10)의 개략도를 도 1에 도시한다. 스크라이브 장치(10)는, 이동대(11)가 한 쌍의 안내 레일(12a, 12b)을 따라 y축 방향으로 이동 가능하게 보유 지지되어 있다. 이동대(11)는 볼 나사(13)와 나사 결합되어 있다. 이 볼 나사(13)는 모터(14)의 구동에 의해 회전하고, 이동대(11)를 안내 레일(12a, 12b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다.A schematic diagram of a scribe device 10 according to a first embodiment of the present invention is shown in FIG. 1. In the scribe device 10, the movable table 11 is held to be movable in the y-axis direction along a pair of guide rails 12a and 12b. The movable table 11 is screwed with the ball screw 13. This ball screw 13 rotates by the drive of the motor 14, and moves the movable stand 11 along the guide rails 12a and 12b in the y-axis direction.

이동대(11)의 상면에는 모터(15)가 설치되어 있다. 모터(15)는 테이블(16)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 취성 재료 기판(17)은 이 테이블(16) 상에 적재되고, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 보유 지지된다. 스크라이브 장치(10)의 상부에는, 취성 재료 기판(17)의 얼라인먼트 마크를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(18)가 설치되어 있다. 그리고, 스크라이브 장치(10)에는, 이동대(11)와 그 상부의 테이블(16)을 걸치도록 브리지(19)가 x축 방향을 따라 지지 기둥(20a, 20b)에 의해 가설되어 있다.The motor 15 is provided on the upper surface of the movable table 11. The motor 15 rotates the table 16 in the xy plane and positions it at a predetermined angle. The brittle material substrate 17 is mounted on this table 16 and held by vacuum suction means or the like not shown. In the upper part of the scribe apparatus 10, two CCD cameras 18 which image the alignment mark of the brittle material board | substrate 17 are provided. And the bridge | bridging 19 is constructed by the support pillar 20a, 20b along the x-axis direction so that the scribing apparatus 10 may apply the movable base 11 and the table 16 of the upper part.

브리지(19)에는 가이드(22)가 장착되어 있고, 스크라이브 헤드(21)는 가이드(22)를 따라 x축 방향을 따라 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 이 스크라이브 장치(10)의 스크라이브 헤드(21)에는, 홀더 조인트(23)를 통해, 스크라이빙 휠(50)(도 2 참조)을 회전 가능하게 보유 지지되어 있는 제1 실시 형태의 홀더(40)로 이루어지는 홀더 유닛이 장착되어 있다.A guide 22 is attached to the bridge 19, and the scribe head 21 is movable along the guide 22 along the x-axis direction. The holder of the first embodiment, in which the scribing wheel 50 (see FIG. 2) is rotatably held by the scribe head 21 of the scribing apparatus 10 via the holder joint 23. The holder unit which consists of 40 is attached.

다음에, 홀더(40)를 구비하는 홀더 유닛이 장착된 홀더 조인트(23)와, 이 홀더(40)에 대해, 도 2 및 도 3을 사용하여 설명한다. 도 2는 홀더(40)를 구비하는 홀더 유닛이 장착된 홀더 조인트(23)의 정면도이다. 도 3은 홀더(40a)를 구비하는 홀더 유닛을 확대한 사시도이다.Next, the holder joint 23 in which the holder unit provided with the holder 40 is mounted, and this holder 40 are demonstrated using FIG. 2 and FIG. 2 is a front view of a holder joint 23 to which a holder unit having a holder 40 is mounted. 3 is an enlarged perspective view of a holder unit having a holder 40a.

홀더 조인트(23)는, 대략 원기둥 형상을 하고 있고, 회전축부(24)와, 조인트부(25)로 구성되어 있다.The holder joint 23 has a substantially cylindrical shape, and is composed of a rotation shaft portion 24 and a joint portion 25.

그리고, 스크라이브 헤드(21)에 홀더 조인트(23)가 장착된 상태에 있어서는, 이 회전축부(24)에는, 홀더 조인트(23)를 회전 가능하게 보유 지지하기 위한 2개의 베어링(26a, 26b)이 원통형의 스페이서(27)를 통해 장착된 상태로 되어 있다. 또한, 도 2에는 홀더 조인트(23)의 정면도를 도시하는 동시에, 회전축부(24)에 장착된 베어링(26a, 26b)과 스페이서(27)의 단면도를 도시하고 있다.In the state where the holder joint 23 is attached to the scribe head 21, two bearings 26a and 26b are rotatably held in the rotary shaft portion 24 for holding the holder joint 23 in a rotatable manner. It is in the state mounted via the cylindrical spacer 27. As shown in FIG. In addition, in FIG. 2, the front view of the holder joint 23 is shown, and sectional drawing of the bearing 26a, 26b and spacer 27 which were attached to the rotating shaft part 24 is shown.

원기둥형의 조인트부(25)에는, 하단부측에 원형의 개구(28)가 형성되어 있고, 이 개구의 상부에는 자석(29)이 매설되어 있다. 그리고, 이 개구(28)에는, 홀더(40)가 착탈 가능하게 장착되어 있다.In the cylindrical joint portion 25, a circular opening 28 is formed on the lower end side, and a magnet 29 is embedded in the upper portion of the opening. The holder 40 is detachably attached to the opening 28.

이 홀더(40)는 대략 원기둥형의 금속 또는 수지로 이루어지고, 그 하단부측에는 지지부(41a, 41b)가 설치되어 있다. 또한, 도 2에서 홀더(40)의 하단부측을 확대하고 있는 도면은, 화살표 A로 나타내는 횡방향으로부터 관찰한 경우의 확대도를 도시하고 있다.The holder 40 is made of a substantially cylindrical metal or resin, and supporting portions 41a and 41b are provided on the lower end side thereof. In addition, the figure which expanded the lower end part side of the holder 40 in FIG. 2 has shown the enlarged view at the time of observing from the horizontal direction shown by arrow A. As shown in FIG.

이 지지부(41a)와 지지부(41b) 사이에, 스크라이빙 휠(50)을 보유 지지하기 위한 보유 지지 홈(42)이 형성되어 있다. 또한, 지지부(41a, 41b)에는, 스크라이빙 휠(50)을 고정하기 위해 구멍 형상의 핀 구멍(43a)이 각각 형성되어 있다. 이 핀 구멍(43a)에 핀(44)이 관통되고, 스크라이빙 휠(50)이 회전 가능하게 장착되어 있다. 이때, 지지부(41a)와 지지부(41b)의 각각의 내벽(45a, 45b)이, 스크라이빙 휠(50)의 원형 측면(52a, 52b)과 각각 대향하고 있다.A holding groove 42 for holding the scribing wheel 50 is formed between the supporting portion 41a and the supporting portion 41b. Further, in the support portions 41a and 41b, hole-shaped pin holes 43a are formed in order to fix the scribing wheel 50, respectively. The pin 44 penetrates through this pin hole 43a, and the scribing wheel 50 is rotatably mounted. At this time, the inner walls 45a and 45b of the support part 41a and the support part 41b face the circular side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50, respectively.

이 스크라이빙 휠(50)은, 예를 들어 소결 다이아몬드로 형성되고, 휠 직경이 2.5㎜, 두께 d가 0.65㎜ 정도인 디스크형의 형상을 갖고, 원주부를 따라 경사면과 능선으로 이루어지는 수직 단면 형상 V자형의 날(51)이 형성되어 있다. 그리고, 스크라이빙 휠(50)의 2개의 원형 측면(52a, 52b)의 중심에 관통 구멍(53)이 형성되어 있다. 이 관통 구멍(53)에 앞서 서술한 핀 구멍(43a)을 관통하는 핀(44)이 관통함으로써, 보유 지지 홈(42)에 있어서 스크라이빙 휠(50)이 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 또한, 스크라이빙 휠(50)의 두께에 대해, 보유 지지 홈(42)의 간격[내벽(45a)과 내벽(45b)의 거리]은 약간 크게 되어 있고, 예를 들어 스크라이빙 휠(50)의 두께 d가 0.65㎜인 경우, 보유 지지 홈(42)의 간격은 약 0.67㎜로 되어 있다.The scribing wheel 50 is formed of, for example, a sintered diamond, and has a disk-shaped shape having a wheel diameter of 2.5 mm and a thickness d of about 0.65 mm, and a vertical cross section formed of inclined surfaces and ridges along the circumference. A V-shaped blade 51 is formed. And the through hole 53 is formed in the center of the two circular side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50. As shown in FIG. As the pin 44 penetrating the pin hole 43a described above penetrates the through hole 53, the scribing wheel 50 is rotatably held in the holding groove 42. Moreover, with respect to the thickness of the scribing wheel 50, the space | interval (distance of the inner wall 45a and the inner wall 45b) of the holding | maintenance groove | channel 42 becomes slightly large, for example, the scribing wheel 50 In the case where the thickness d is 0.65 mm, the interval between the holding grooves 42 is about 0.67 mm.

홀더(40)의 상단부측에는 위치 결정용의 장착부(46)가 설치되어 있다. 이 장착부(46)는 홀더(40)를 절결하여 형성되어 있고, 경사부(46a)와 지지부(46b)를 갖고 있다. 또한, 홀더(40)의 상단부측의 적어도 일부분은 자성체 금속으로 구성되어 있다.On the upper end side of the holder 40, a mounting portion 46 for positioning is provided. The mounting portion 46 is formed by cutting the holder 40 and has an inclined portion 46a and a supporting portion 46b. At least a portion of the upper end side of the holder 40 is made of a magnetic metal.

이 스크라이빙 휠(50)과 홀더(40)를 구비하는 홀더 유닛은, 홀더 조인트(23)의 개구(28)로, 홀더(40)의 장착부(46)측으로부터 삽입된다. 그때, 홀더(40)의 상단부측의 자성체 금속이 자석(29)에 의해 끌어 당겨지고, 장착부(46)의 경사부(46a)가, 개구(28)의 내부를 통과하는 평행 핀(30)에 접촉하여 위치 결정이 행해지고, 홀더 유닛은 홀더 조인트(23)에 고정된다. 반대로, 홀더 조인트(23)로부터 홀더 유닛을 제거할 때에는, 홀더 유닛을 하방으로 당겨 빼냄으로써 용이하게 제거할 수 있다.The holder unit including the scribing wheel 50 and the holder 40 is inserted into the opening 28 of the holder joint 23 from the mounting portion 46 side of the holder 40. At that time, the magnetic metal on the upper end side of the holder 40 is attracted by the magnet 29, and the inclined portion 46a of the mounting portion 46 passes through the inside of the opening 28 to the parallel pin 30. Positioning is performed by contact, and the holder unit is fixed to the holder joint 23. On the contrary, when removing a holder unit from the holder joint 23, it can remove easily by pulling a holder unit downward.

여기서, 스크라이빙 휠(50)은 소모품이기 때문에 정기적인 교환이 필요해진다. 본 실시 형태에 있어서는, 홀더 조인트(23)를 통해 홀더 유닛이 스크라이브 헤드(21)에 장착되어 있으므로, 홀더 유닛의 착탈을 용이하게 행할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(50)을 홀더(40)로부터 제거하거나 하는 일이 없이, 스크라이빙 휠(50)과 홀더(40)를 일체로서 취급하여, 홀더 유닛 자체를 교환하면 되기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 교환 작업을 용이하게 행할 수 있다.Here, since the scribing wheel 50 is a consumable, periodic replacement is necessary. In this embodiment, since the holder unit is attached to the scribe head 21 via the holder joint 23, the holder unit can be attached and detached easily. Therefore, without removing the scribing wheel 50 from the holder 40, the scribing wheel 50 and the holder 40 may be handled integrally and the holder unit itself may be replaced. The replacement operation of the scribe wheel 50 can be performed easily.

다음에, 상술한 바와 같이, 홀더(40)의 보유 지지 홈(42)에 보유 지지되어 있는 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과, 보유 지지 홈(42)의 내벽(45a, 45b) 사이에, 분단 공정에서 발생한 미소한 컬릿 등의 이물질이 들어가 버릴 우려가 있다. 따라서, 본 실시 형태에 있어서는, 보유 지지 홈(42)의 내벽(45a, 45b)에 오목부를 형성하고 있다. 이 오목부는 구체적으로는 후술하는 홈이나 광폭부 등으로 이루어지는 것이다. 따라서, 내벽(45a, 45b)과 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b) 사이에, 이물질이 들어왔다고 해도, 측면(52a, 52b)과 내벽(45a, 45b)의 접촉 면적이 작아지기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량의 발생을 저감시키고 있다. 이 보유 지지 홈(42)의 내벽(45a, 45b)에 형성되어 있는 오목부의 구체예에 대해 도면을 사용하여 설명을 행한다.Next, as described above, the side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50 held in the holding groove 42 of the holder 40 and the inner wall 45a of the holding groove 42. And 45b), there is a possibility that foreign substances such as minute cullets generated in the dividing step may enter. Therefore, in this embodiment, the recessed part is formed in the inner wall 45a, 45b of the holding groove 42. As shown in FIG. This recessed part consists of a groove | channel, a wide part, etc. which are mentioned later specifically. Therefore, even if foreign matter enters between the inner walls 45a and 45b and the side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50, the contact area between the side surfaces 52a and 52b and the inner walls 45a and 45b is small. Since it loses, the generation of the rotation defect of the scribing wheel 50 is reduced. The specific example of the recessed part formed in the inner wall 45a, 45b of this holding | maintenance groove | channel 42 is demonstrated using drawing.

[제1 실시예][First Embodiment]

제1 실시예의 홀더(40a)의 단면도를 도 4에 도시한다. 또한, 도 4의 (a)는 도 3의 Ⅳa-Ⅳa선을 따른 단면도이고, 도 4의 (b)는 도 3의 Ⅳb-Ⅳb선을 따른 단면도이다. 또한, 스크라이빙 휠(50)에 대해서는 파선으로 나타내고 있다.4 is a cross-sectional view of the holder 40a of the first embodiment. 4A is a cross-sectional view taken along line IVa-IVa of FIG. 3, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line IVb-IVb of FIG. 3. In addition, the scribing wheel 50 is shown with the broken line.

홀더(40a)의 내벽(45a, 45b)에는, 오목부의 일례인 원호 형상의 홈(46)이 각각 형성되어 있다. 이 홈(46)은 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과 대향하는 위치에 형성되어 있다. 따라서, 컬릿 등의 이물질이 내벽(45a, 45b)과 측면(52a, 52b) 사이에 들어왔다고 해도, 이물질은 홈(46)에 쌓이기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 회전에 미치는 영향을 저감시킬 수 있다. 또한, 홈(46)은 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과 대향하지 않는 위치까지 연장되어 있기 때문에, 홈(46)에 쌓인 이물질은 스크라이빙 휠(50)의 회전과 함께, 측면(52a, 52b)과 대향하지 않는 위치까지 배출되어, 한층 더 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.The inner wall 45a, 45b of the holder 40a is formed with the arc-shaped groove 46 which is an example of a recessed part, respectively. The groove 46 is formed at a position facing the side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50. Therefore, even if foreign matter such as a cullet enters between the inner walls 45a and 45b and the side surfaces 52a and 52b, since the foreign matter accumulates in the grooves 46, the influence on the rotation of the scribing wheel 50 is reduced. You can. In addition, since the groove 46 extends to a position not facing the side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50, foreign matter accumulated in the groove 46 may be caused by the rotation of the scribing wheel 50. At the same time, it is discharged to a position not facing the side surfaces 52a and 52b, and the rotation failure of the scribing wheel 50 can be further reduced.

그리고, 이 홈(46)은 보유 지지 홈(42)의 단부까지 연장되어 있기 때문에, 이물질을 홀더(40a) 밖으로 배출하는 것이 가능해진다. 또한, 이 홈(46)은 연직 방향 G를 향해 서서히 홈의 폭을 넓히면서 신장되어 있기 때문에, 이물질이 하방으로 향하기 쉽게 되어 있어, 보다 이물질을 배출하기 쉽게 되어 있다. 본 실시예에 있어서는, 홈(46)의 깊이는 일정하지만, 장소에 따라 홈의 깊이를 다르게 해도 된다. 예를 들어, 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과 대향하는 위치에 있어서는 가장 홈의 깊이가 깊고, 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과 대향하지 않는 위치로부터 보유 지지 홈(42)의 단부로 근접함에 따라 홈의 깊이를 얕게 함으로써, 홀더(40a)는 홈에 쌓인 이물질을 보다 배출하기 쉽게 할 수 있다.Since the groove 46 extends to the end of the holding groove 42, foreign matter can be discharged out of the holder 40a. Moreover, since this groove 46 extends while gradually widening the width of the groove toward the vertical direction G, foreign matters tend to be downward, and foreign matters are more easily discharged. In the present embodiment, the depth of the groove 46 is constant, but the depth of the groove may vary depending on the place. For example, in the position facing the side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50, the depth of the groove is deepest and does not face the side surfaces 52a and 52b of the scribing wheel 50. By making the depth of the groove shallow as it approaches from the end of the holding groove 42 to the end of the holding groove 42, the holder 40a can make it easier to discharge the foreign matter accumulated in the groove.

[제2 실시예][Second Embodiment]

제2 실시예의 홀더(40b)의 구성을 도 5에 도시한다. 또한, 도 5의 (a)는 도 3의 Ⅳa-Ⅳa선을 따른 단면도이고, 도 5의 (b)가 도 3의 Ⅳb-Ⅳb선을 따른 단면도이다. 또한, 스크라이빙 휠(50)에 대해서는 파선으로 나타내고 있다.The configuration of the holder 40b of the second embodiment is shown in FIG. 5A is a cross-sectional view taken along line IVa-IVa of FIG. 3, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line IVb-IVb of FIG. 3. In addition, the scribing wheel 50 is shown with the broken line.

홀더(40b)의 내벽(45a, 45b)에는, 3개의 홈(47a, 47b, 47c)이 각각 형성되어 있다. 이 홈(47a, 47b, 47c)은 제1 실시예의 홈(46)과 마찬가지로, 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과 대향하는 위치로부터 대향하지 않는 위치까지 연장되어 있다. 또한, 연직 방향 G를 향해 보유 지지 홈(42)의 단부까지 연장되어 있다. 따라서, 컬릿 등의 이물질이 내벽(45a, 45b)과 측면(52a, 52b) 사이로 들어왔다고 해도, 홈(47a, 47b, 47c)을 통해 이물질을 배출할 수 있어, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.Three grooves 47a, 47b, 47c are formed in the inner walls 45a, 45b of the holder 40b, respectively. The grooves 47a, 47b, 47c extend from the position facing the side surfaces 52a, 52b of the scribing wheel 50 to the position not facing, similar to the groove 46 of the first embodiment. Moreover, it extends to the edge part of the holding | maintenance groove 42 toward the vertical direction G. As shown in FIG. Therefore, even if foreign matter such as a cullet enters between the inner walls 45a and 45b and the side surfaces 52a and 52b, the foreign matter can be discharged through the grooves 47a, 47b and 47c, so that the scribing wheel 50 Rotation defect can be reduced.

또한, 이 3개의 홈(47a, 47b, 47c)은 스크라이빙 휠(50)의 곡률보다도 작은 곡선으로 되어 있고, 또한 각각의 곡률이 다르다. 이와 같이 사이즈가 다른 복수의 홈을 형성해 둠으로써, 스크라이빙 휠(50)을 다른 사이즈의 스크라이빙 휠로 변경하였다고 해도, 각 사이즈의 스크라이빙 휠(50)에 대해 적합한 위치에 홈이 위치하게 되기 때문에, 홀더(40b)는 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다. 또한, 홀더(40b)는, 홈이 복수 형성되어 있기 때문에, 이물질이 홈에 쌓일 확률이 보다 높아져, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.In addition, these three grooves 47a, 47b, 47c have a curve smaller than the curvature of the scribing wheel 50, and each curvature is different. By forming a plurality of grooves of different sizes in this way, even if the scribing wheel 50 is changed to a scribing wheel of a different size, the groove is positioned at a suitable position with respect to the scribing wheel 50 of each size. Since the holder 40b can reduce the rotational failure of the scribing wheel 50. Moreover, since the holder 40b is provided with two or more grooves, the probability that a foreign material accumulates in a groove becomes higher, and the rotation failure of the scribing wheel 50 can be reduced.

[제3 실시예]Third Embodiment

제3 실시예의 홀더(40c)의 구성을 도 6에 도시한다. 또한, 도 6은 도 3의 Ⅳa-Ⅳa선을 따른 단면도이고, 스크라이빙 휠(50)에 대해서는 파선으로 나타내고 있다.The configuration of the holder 40c of the third embodiment is shown in FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line IVa-IVa in FIG. 3, and the scribing wheel 50 is indicated by a broken line.

홀더(40c)의 내벽(45a)에는 3개의 홈(48a, 48b, 48c)이 각각 형성되어 있다. 이 홈(48a, 48b, 48c)은 제1 실시예의 홈(46)과 마찬가지로, 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a)과 대향하는 위치에 형성되고, 연직 방향 G를 향해 보유 지지 홈(42)의 단부까지 연장되어 있다. 따라서, 홀더(40c)는, 컬릿 등의 이물질이 내벽(45a, 45b)과 측면(52a, 52b) 사이에 들어왔다고 해도, 홈(48a, 48b, 48c)을 통해 이물질을 배출할 수 있어, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.Three grooves 48a, 48b, and 48c are formed in the inner wall 45a of the holder 40c, respectively. These grooves 48a, 48b, 48c are formed at positions opposite to the side surfaces 52a of the scribing wheel 50, similarly to the grooves 46 of the first embodiment, and are held in the vertical direction G toward the holding grooves ( Extends to the end of 42). Therefore, the holder 40c can discharge the foreign matter through the grooves 48a, 48b, and 48c even if foreign matter such as a cullet enters between the inner walls 45a and 45b and the side surfaces 52a and 52b. Rotational failure of the scribe wheel 50 can be reduced.

또한, 홈(48a, 48b, 48c)은 제2 실시예의 홈(46)과 마찬가지로, 복수개 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠(50)을 다른 사이즈의 스크라이빙 휠로 변경하였다고 해도, 각 사이즈의 스크라이빙 휠(50)에 대해 적합한 위치에 홈이 위치하게 되기 때문에, 홀더(40c)는 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있고, 또한 홈이 복수 형성되어 있기 때문에, 이물질이 홈에 쌓일 확률이 보다 높아져, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다. 또한, 이 홈(48a, 48b, 48c)은 스크라이빙 휠(50)의 곡률보다도 큰 곡선으로 되어 있다. 따라서, 홈에 쌓인 이물질은 연직 방향 G를 따라 보다 낙하하기 쉽게 되어 있다.In addition, since the grooves 48a, 48b, and 48c are formed in plural as in the grooves 46 of the second embodiment, even if the scribing wheel 50 is changed to a scribing wheel of a different size, Since the groove is located at a suitable position with respect to the scribing wheel 50, the holder 40c can reduce the poor rotation of the scribing wheel 50, and since a plurality of grooves are formed, foreign matter The probability of accumulating in this groove becomes higher, and the rotation failure of the scribing wheel 50 can be reduced. The grooves 48a, 48b, and 48c have a curve larger than the curvature of the scribing wheel 50. Therefore, foreign matter accumulated in the grooves is more likely to fall along the vertical direction G.

[제4 실시예][Fourth Embodiment]

제4 실시예의 홀더(40d)의 구성을 도 7에 도시한다. 또한, 도 7은 도 3의 Ⅳa-Ⅳa선을 따른 단면도이고, 스크라이빙 휠(50)에 대해서는 파선으로 나타내고 있다.The structure of the holder 40d of 4th Example is shown in FIG. 7 is sectional drawing along the IVa-IVa line of FIG. 3, and the scribing wheel 50 is shown with the broken line.

홀더(40d)의 내벽(45a)에는, 2개의 홈(49a, 49b)이 각각 형성되어 있다. 홈(49a)은 제1 실시예의 홈(46)과 마찬가지로, 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a)과 대향하는 위치에 형성되고, 연직 방향 G를 향해 보유 지지 홈(42)의 단부까지 연장되어 있다. 따라서, 컬릿 등의 이물질이 내벽(45a)과 측면(52a) 사이에 들어왔다고 해도, 홈(49a)을 통해 이물질을 배출할 수 있어, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.Two grooves 49a and 49b are formed in the inner wall 45a of the holder 40d, respectively. The groove 49a is formed at a position opposite to the side surface 52a of the scribing wheel 50, similar to the groove 46 of the first embodiment, and to the end of the holding groove 42 toward the vertical direction G. It is extended. Therefore, even if foreign matter such as a cullet enters between the inner wall 45a and the side surface 52a, the foreign matter can be discharged through the groove 49a, and the rotation failure of the scribing wheel 50 can be reduced. .

또한, 홈(49a)은 핀(44)에 대해 직교하고, 연직 방향 G로 신장되는 축에 대해 비대칭으로 형성된 홈이며, 홀더(40a)의 진행 방향 B에 있어서의 전방측에서는, 스크라이빙 휠(50)의 곡률보다도 큰 곡선으로 되어 있고, 홀더(40d)의 진행 방향 B에 있어서의 후방측에서는, 스크라이빙 휠(50)의 곡률보다도 작은 곡선으로 되어 있다. 따라서, 홀더(40d)는, 홈(49a)의 전방측에서는 홈에 쌓인 이물질을 낙하하기 쉽게 하고, 홈(49a)의 후방측에서는 홈에 쌓인 이물질을 스크라이빙 휠(50)의 외측으로 낙하하도록 하고 있다.Moreover, the groove 49a is a groove which is orthogonal to the pin 44 and formed asymmetrically with respect to the axis extending in the vertical direction G, and on the front side in the traveling direction B of the holder 40a, the scribing wheel ( The curve is larger than the curvature of 50, and the curve is smaller than the curvature of the scribing wheel 50 on the rear side in the traveling direction B of the holder 40d. Accordingly, the holder 40d makes it easy to drop foreign matters accumulated in the grooves at the front side of the groove 49a, and to drop foreign matters accumulated in the grooves to the outside of the scribing wheel 50 at the rear side of the groove 49a. have.

또한, 홈(49b)은 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a)과 대향하지 않은 위치에 형성된 홈이다. 이와 같이, 스크라이빙 휠(50)의 측면과는 대향하지 않는 위치에 홈이 형성되어 있어도, 보유 지지 홈(42)에 진입해 온 이물질을, 홈(49b)을 통해 보유 지지 홈(42)의 외측으로 배출할 수 있기 때문에, 홀더(40d)는, 내벽(45a)과 측면(52a) 사이에 들어오려고 하는 이물질을 삭감할 수 있어, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.In addition, the groove 49b is a groove formed at a position not facing the side surface 52a of the scribing wheel 50. Thus, even if the groove is formed at a position not facing the side surface of the scribing wheel 50, the foreign matter that has entered the holding groove 42 is held by the holding groove 42 through the groove 49b. Since it can be discharged to the outside of the holder, the holder 40d can reduce the foreign matter that is about to enter between the inner wall 45a and the side surface 52a, and can reduce the poor rotation of the scribing wheel 50. have.

다음에, 홀더(40a 내지 40d)와는 다른 구성의 홀더(40e 내지 40g)에 대해 설명한다. 또한, 홀더(40e 내지 40g)는, 홀더(40a 내지 40d)와 마찬가지로, 스크라이빙 휠(50)을 보유 지지한 홀더 유닛으로서, 홀더 조인트(23)에 장착할 수 있다.Next, the holder 40e-40g of a structure different from the holder 40a-40d is demonstrated. In addition, the holder 40e-40g is a holder unit which hold | maintained the scribing wheel 50 similarly to the holder 40a-40d, and can be attached to the holder joint 23. As shown in FIG.

[제5 실시예][Fifth Embodiment]

제5 실시예의 홀더(40e)와 스크라이빙 휠(50)로 이루어지는 홀더 유닛의 구성을 도 8, 도 9에 도시한다. 또한, 도 8의 (a)는 상방측으로부터의 홀더(40e)의 사시도이고, 도 8의 (b)는 하방측으로부터의 홀더(40e)의 사시도이다. 또한, 도 9의 (a)는 도 8의 Ⅸa-Ⅸa선을 따른 단면도이고, 도 9의 (b)는 도 8의 Ⅸb-Ⅸb선을 따른 단면도이다.The structure of the holder unit which consists of the holder 40e of the 5th Example and the scribing wheel 50 is shown in FIG. 8, FIG. 8A is a perspective view of the holder 40e from the upper side, and FIG. 8B is a perspective view of the holder 40e from the lower side. 9A is a cross sectional view taken along the line VIIa-VIIa of FIG. 8, and FIG. 9B is a sectional view taken along the line VIIb-Xb of FIG. 8.

제5 실시예의 홀더 유닛도, 홀더(40e)의 하단부에 스크라이빙 휠(50)이 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 또한, 홀더(40e)는 상술한 바와 같이, 스크라이빙 휠(50)을 취성 재료 기판인 피스크라이빙 부재에 접촉시켜 스크라이브 라인을 형성하기 위해 사용되는 것이므로, 이하에 있어서는 홀더(40e)의 피스크라이빙 부재에 접촉시키는 측(절단 단부측)을「하측」이라 하고, 그 반대측을「상측」이라 한다.In the holder unit of the fifth embodiment, the scribing wheel 50 is rotatably held at the lower end of the holder 40e. In addition, since the holder 40e is used to contact the scribing wheel 50, which is a brittle material substrate, to form a scribe line as described above, the piece of the holder 40e will be described below. The side (cutting end side) which makes contact with a cruising member is called "lower side", and the opposite side is called "upper side."

홀더(40e)의 하방에는, 보유 지지 홈(42)이 형성되어 있다. 그리고, 보유 지지 홈(42)은, 스크라이빙 휠(50)의 상방의 일부분이 삽입되는 협폭부(42a)와, 이 협폭부(42a)보다도 광폭으로 형성된 오목부의 일례인 광폭부(42b)로 이루어져 있다. 그로 인해, 한 쌍의 지지부(65, 66)는, 각각 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)에 대향하는 광폭부(65a, 66a)와, 보유 지지 홈(42)의 광폭부(42b)에 대향하는 협폭부(65b, 66b)를 구비하고 있다. 또한, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)에 있어서의 광폭부(65a, 66a)와 협폭부(65b, 66b) 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.The holding groove 42 is formed below the holder 40e. The holding groove 42 is a narrow portion 42a into which a portion of the upper portion of the scribing wheel 50 is inserted, and a wide portion 42b which is an example of a concave portion formed wider than the narrow portion 42a. Consists of Therefore, the pair of support parts 65 and 66 respectively have the wide parts 65a and 66a facing the narrow part 42a of the holding groove 42 and the wide part 42b of the holding groove 42. Narrow width portions 65b and 66b facing each other are provided. Moreover, between the wide part 65a, 66a and the narrow part 65b, 66b in the support part 65, 66 of the holder 40e is formed in step shape.

또한, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(65b, 66b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)에 있어서의 협폭부(65b, 66b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(43a)이 동축에 각각 형성되어 있다. 핀 구멍(43a)은, 보유 지지 홈(42)과 수직으로 교차하고 있고, 스크라이빙 휠(50)의 핀(44)을 보유 지지하는 원형의 관통 구멍이다.In addition, the inner walls of the support portions 65 and 66 of the holder 40e, that is, the surfaces facing each other of the wide portions 65a and 66a and the surfaces facing each other of the narrow portions 65b and 66b, are all parallel. It is formed. In the narrow portions 65b and 66b of the support portions 65 and 66 of the holder 40e, pin holes 43a penetrating through the coaxial portions are respectively formed. The pin hole 43a perpendicularly intersects the holding groove 42 and is a circular through hole for holding the pin 44 of the scribing wheel 50.

그리고, 제5 실시예의 홀더 유닛에서는, 핀(44)은, 스크라이빙 휠(50)의 관통 구멍(53) 및 핀 구멍(43a)에, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 하측과 핀(44) 사이에는 간극(67)이 형성되어 있다. 또한, 핀(44)은, 예를 들어, 초경합금 등의 금속, 소결 다이아몬드로 형성된 원기둥형의 부재이며, 일단부가 끝이 뾰족한 형상을 갖고 있다.In the holder unit of the fifth embodiment, the pin 44 has a wide width of the supporting portions 65 and 66 of the holder 40e in the through hole 53 and the pin hole 43a of the scribing wheel 50. It is attached so that it may not contact with the parts 65a and 66a. Thus, a gap 67 is formed between the lower side of the wide portions 65a and 66a of the support portions 65 and 66 of the holder 40e and the pin 44. The pin 44 is, for example, a cylindrical member formed of a metal such as cemented carbide or sintered diamond, and has a pointed end portion.

보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)의 간격은 스크라이빙 휠(50)의 폭보다 약간 크게 되도록 되어 있다. 스크라이빙 휠(50)의 폭은 예를 들어 약 0.65㎜이고, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)의 간격은 예를 들어 약 0.67㎜이다. 또한, 보유 지지 홈(42)의 광폭부(42b)의 간격은, 협폭부(42a)의 간격보다 넓으면 임의이다. 그러나, 핀 구멍(43a) 내에 있어서의 핀(44)의 회전시의 마찰이 작아지도록 하기 위해서는, 핀(44)을 양단부만으로 지지하여, 핀(44)이 핀 구멍(43a) 내에 위치하고 있는 부분의 길이가 짧아지도록 할 필요가 있다. 따라서, 광폭부(42b)의 간격은, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)의 간격의 2배 이상으로 하는 것이 바람직하다.The space | interval of the narrow part 42a of the holding | maintenance groove | channel 42 is set to become slightly larger than the width of the scribing wheel 50. As shown in FIG. The width of the scribing wheel 50 is, for example, about 0.65 mm, and the spacing of the narrow portion 42a of the holding groove 42 is, for example, about 0.67 mm. In addition, if the space | interval of the wide part 42b of the holding groove 42 is wider than the space | interval of the narrow part 42a, it is arbitrary. However, in order to reduce the friction at the time of rotation of the pin 44 in the pin hole 43a, the pin 44 is supported only at both ends, so that the pin 44 is located in the pin hole 43a. It needs to be shorter. Therefore, it is preferable that the space | interval of the wide part 42b shall be 2 times or more of the space | interval of the narrow part 42a of the holding | maintenance groove | channel 42.

한편, 지나치게 광폭부(42b)의 간격을 크게 하면, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 협폭부(65b, 66b)의 폭이 가늘어지기 때문에, 스크라이브시에 인가되는 하중에 의해, 협폭부(65b, 66b)가 휠 우려가 있는 것, 및 핀(44)이 양단부측에서 지지되게 되어, 핀(44) 자체도 휘어 버릴 우려가 발생하기 때문에, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 협폭부(65b, 66b)의 폭이 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 1/3 정도로 되도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 하측과 핀(44) 사이에 형성된 간극(67)의 간격은 임의이지만, 홀더 유닛을 소형화하기 위해서는 작은 쪽이 좋다.On the other hand, if the interval between the wide portions 42b is too large, the widths of the narrow portions 65b and 66b of the support portions 65 and 66 of the holder 40e become thin, so that the width applied to the scribe is narrowed. Since the widths 65b and 66b are likely to be wheels, and the pins 44 are supported at both ends, the pins 44 themselves may bend, so that the support portions 65 and 66 of the holder 40e may be bent. It is preferable that the widths of the narrow portions 65b and 66b of the () are approximately one third of the wide portions 65a and 66a of the support portions 65 and 66 of the holder 40e. Moreover, although the space | interval of the clearance gap 67 formed between the lower side of the wide part 65a, 66a of the support part 65, 66 of the holder 40e, and the pin 44 is arbitrary, in order to make a holder unit small, good.

이 상태의 홀더 유닛을 사용하여 글래스 기판 등의 취성 기판(17)을 스크라이브하면, 스크라이빙 휠(50)은 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 내에서 위치가 안정되기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 진행 방향에 대한 좌우의 요동이 거의 없어져, 스크라이브하였을 때의 스크라이브 라인의 직선성을 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 가령 스크라이브시에 컬릿이 발생하고, 이 컬릿이 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)와 스크라이빙 휠(50) 사이에 침입해도, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 하측과 핀(44) 사이에 형성되어 있는 간극(67) 및 핀(44)과 취성 기판(17) 사이에 형성되는 공간의 존재로 인해 용이하게 배출되기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 회전성이 손상되는 것이 억제된다.When scribing brittle substrates 17, such as a glass substrate, using the holder unit in this state, since the scribing wheel 50 will stabilize a position in the narrow part 42a of the holding groove 42, Fluctuations to the left and right with respect to the advancing direction of the scribe wheel 50 are almost eliminated, so that the linearity of the scribe line at the time of scribing can be improved. Further, even if a cullet is generated during scribing, and the cullet penetrates between the narrow portion 42a of the holding groove 42 and the scribing wheel 50, the supporting portions 65 and 66 of the holder 40e are also provided. Since it is easily discharged due to the presence of the gap 67 formed between the lower side of the wide portions 65a, 66a and the fin 44 and the space formed between the fin 44 and the brittle substrate 17, Impairment of the rotationality of the scribing wheel 50 is suppressed.

그로 인해, 제5 실시예의 홀더 유닛에 따르면, 스크라이브시에 스크라이빙 휠(50) 및 핀(44)의 회전성이 양호해지기 때문에, 스크라이브시에 스크라이빙 휠(50)의 날끝이 피스크라이브 기판의 표면을 미끄러지는 현상이 발생하기 어렵지 않게 되어, 날끝 수명이 길어지는 동시에 스크라이브 후의 피스크라이브 기판의 단부면 강도의 저하나 파단 강도의 편차가 억제된다고 하는 우수한 효과를 발휘하게 된다.Therefore, according to the holder unit of the fifth embodiment, since the rotational properties of the scribing wheel 50 and the pin 44 become good at the time of scribing, the blade tip of the scribing wheel 50 at the time of scribing is fisk Sliding of the surface of the live substrate is less likely to occur, and the blade life is long, and at the same time, an excellent effect of reducing the end surface strength and the breaking strength of the scribe substrate after scribing is suppressed.

또한, 제5 실시예의 홀더 유닛에 있어서는, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)가, 스크라이빙 휠(50)의 상방의 일부분에 형성된 예를 나타냈지만, 도면에 있어서 좌우측의 일부분이 삽입되도록 형성해도 되는 것은 당연하다. 그리고, 어느 경우에 있어서도, 스크라이브시에 발생한 컬릿이 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 내에 침입하기 어려워, 스크라이빙 휠(50) 및 핀(44)의 회전성이 양호해진다.Moreover, in the holder unit of 5th Example, although the narrow part 42a of the holding | maintenance groove 42 showed the example formed in the upper part of the scribing wheel 50, in the figure, a part of the left and right sides is shown. Naturally, you may form so that it may be inserted. In any case, the cullets generated at the time of scribing are less likely to penetrate into the narrow portion 42a of the holding groove 42, so that the rotation of the scribing wheel 50 and the pin 44 is improved.

또한, 제5 실시예의 홀더(40e)에 있어서는, 홀더(40b)의 지지부(65, 66)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(65b, 66b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있지만, 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면이 평행하게 형성되어 있으면, 협폭부(65b, 66b)의 서로 대향하는 면은 평행하지 않아도 된다. 적어도 스크라이빙 휠(50)이 접촉하는 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면이 평행하면, 스크라이빙 휠(50)이 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 내에서 위치를 안정시킬 수 있기 때문이다.In the holder 40e of the fifth embodiment, the inner walls of the support portions 65, 66 of the holder 40b, that is, the surfaces and the narrow portions 65b, which face each other, of the wide portions 65a, 66a, The surfaces of the 66b) facing each other are formed in parallel, but when the surfaces of the wide portions 65a and 66a face each other in parallel, the surfaces of the narrow portions 65b and 66b are not parallel to each other. You don't have to. If at least the opposing faces of the wide portions 65a, 66a of the support portions 65, 66 with which the scribing wheel 50 is in contact with each other are parallel, the scribing wheel 50 narrows the holding groove 42. This is because the position can be stabilized in the width portion 42a.

[제6 실시예][Sixth Embodiment]

제6 실시예의 홀더(40f)와 스크라이빙 휠(50)로 이루어지는 홀더 유닛의 구성을 도 10에 도시한다. 또한, 도 10의 (a)는 하방측으로부터의 홀더(40f)의 사시도이고, 도 10의 (b)는 반대측으로부터의 홀더(40f)의 사시도이고, 도 10의 (c)는 (a)의 X-X선을 따른 단면도이다.The structure of the holder unit which consists of the holder 40f and the scribing wheel 50 of 6th Example is shown in FIG. 10A is a perspective view of the holder 40f from the lower side, FIG. 10B is a perspective view of the holder 40f from the opposite side, and FIG. 10C is a perspective view of (a). It is sectional drawing along the XX line.

제6 실시예의 홀더(40f) 및 홀더 유닛이 제5 실시예의 홀더(40e) 및 홀더 유닛과 구성이 다른 점은, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 및 광폭부(42b)의 구성과, 그것에 수반되는 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a) 및 협폭부(65b, 66b)의 구성이다. 즉, 제6 실시예의 홀더(40f)에서는, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)는, 스크라이빙 휠(50)의 상방의 일부분과, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 우측의 일부분이 삽입되도록 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)가, 스크라이빙 휠(50)의 상방과, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 우측에 형성되어 있다.The configuration of the holder 40f and the holder unit of the sixth embodiment differs from the holder 40e and the holder unit of the fifth embodiment in the configuration of the narrow portion 42a and the wide portion 42b of the holding groove 42. And the wide portions 65a and 66a and the narrow portions 65b and 66b of the support portions 65 and 66 accompanying them. That is, in the holder 40f of 6th Example, the narrow part 42a of the holding groove 42 is a part of upper part of the scribing wheel 50, and scribing in FIG.10 (c). A portion of the right side of the wheel 50 is formed so that the wide portions 65a, 66a of the support portions 65, 66 are positioned above the scribing wheel 50, and FIG. 10 (c). ) Is formed on the right side of the scribing wheel 50.

그리고, 보유 지지 홈(42)의 광폭부(42b)는, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 좌측에 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(65, 66)의 협폭부(65b, 66b)가, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 좌측에 형성되어 있다. 또한, 홀더(40c)의 지지부(65, 66)에 있어서의 광폭부(65a, 66a)와 협폭부(65b, 66b) 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.And the wide part 42b of the holding | maintenance groove | channel 42 is formed in the left side of the scribing wheel 50 in FIG.10 (c), and with it, the narrow part of the support part 65,66 65b and 66b are formed in the left side of the scribing wheel 50 in FIG.10 (c). Moreover, between the wide part 65a, 66a and the narrow part 65b, 66b in the support part 65, 66 of the holder 40c is formed in step shape.

이 경우에 있어서도, 홀더(40f)의 지지부(65, 66)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(65b, 66b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(40f)의 지지부(65, 66)에 있어서의 협폭부(65b, 66b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(43a)이 동축에 형성되어 있고, 핀(44)은 홀더(40f)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(40f)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 하측과 핀(44) 사이에는 간극(67)이 형성되어 있다.Also in this case, the inner walls of the support portions 65 and 66 of the holder 40f, that is, the surfaces of the wide portions 65a and 66a that face each other and the surfaces of the narrow portions 65b and 66b that face each other, are , All are formed in parallel. In the narrow portions 65b and 66b of the support portions 65 and 66 of the holder 40f, pin holes 43a penetrating through each of them are formed coaxially, and the pins 44 are holders 40f. It is mounted so as not to be in contact with the wide portions 65a and 66a of the supporting portions 65 and 66. For this reason, a gap 67 is formed between the lower side of the wide portions 65a and 66a of the support portions 65 and 66 of the holder 40f and the pin 44.

이러한 구성의 제6 실시예의 홀더(40f) 및 홀더 유닛에 따르면, 제5 실시예의 홀더(40e) 및 홀더 유닛에 비하면, 약간 스크라이빙 휠(50)과 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a) 사이의 접촉 면적이 크게 되어 있기 때문에, 약간 마찰 저항이 커지지만, 그 점을 제외하면 실질적으로 동등한 작용 효과를 발휘할 수 있는 것 외에, 스크라이빙 휠(50)의 날끝의 요동이 보다 적어지기 때문에, 스크라이브 라인의 형성시에 사행(蛇行)하는 것이 억제되게 된다.According to the holder 40f and the holder unit of the sixth embodiment of this configuration, compared with the holder 40e and the holder unit of the fifth embodiment, the wider portion of the scribing wheel 50 and the supporting portions 65, 66 ( Since the contact areas between 65a and 66a are large, the frictional resistance is slightly increased, but except that, the friction effect of the blade tip of the scribing wheel 50 can be exerted substantially. Since it becomes smaller, meandering at the time of forming a scribe line is suppressed.

또한, 제6 실시예의 홀더 유닛에 있어서는, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)가, 스크라이빙 휠(50)의 상방의 일부분뿐만 아니라, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 우측의 일부분이 삽입되도록 형성된 예를 나타냈지만, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 좌측의 일부분이 삽입되도록 형성해도 되는 것은 당연하다. 그리고, 어느 경우에 있어서도, 제6 실시예의 홀더(40f)를 구비하는 홀더 유닛을 사용하여 스크라이브 라인을 형성할 때에는, 홀더(40f)를 이동시키면, 스크라이브시에 발생한 컬릿이 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 내에 침입하기 어려워지기 때문에, 날끝 수명이 길어지는 동시에 스크라이브 후의 피스크라이브 기판의 단부면 강도의 저하나 파단 강도의 편차가 억제된다고 하는 우수한 효과를 발휘할 수 있게 된다.In the holder unit of the sixth embodiment, the narrow portion 42a of the holding groove 42 is scribed in FIG. 10C as well as a part of the upper portion of the scribing wheel 50. Although the example in which the part of the right side of the wheel 50 was formed was shown, it is natural that it may be formed so that a part of the left side of the scribing wheel 50 may be inserted in FIG.10 (c). In any case, when the scribe line is formed by using the holder unit provided with the holder 40f of the sixth embodiment, the holder 40f is moved so that the cullet generated at the time of the scribe retains the holding groove 42. Since it is difficult to penetrate into the narrow portion 42a, the edge length of the blade can be increased, and the excellent effect of reducing the end surface strength of the scribed substrate after scribing and the variation of the breaking strength can be suppressed.

[제7 실시예][Seventh Embodiment]

제7 실시예의 홀더(40g)와 스크라이빙 휠(50)로 이루어지는 홀더 유닛의 구성을 도 11에 도시한다. 또한, 도 11의 (a)는 하방측으로부터의 홀더(40g)의 사시도이고, 도 11의 (b)는 (a)의 XI-XI선을 따른 단면도이다.The structure of the holder unit which consists of the holder 40g and the scribing wheel 50 of 7th Example is shown in FIG. 11A is a perspective view of the holder 40g from the lower side, and FIG. 11B is a sectional view along the line XI-XI of (a).

제7 실시예의 홀더(40g) 및 홀더 유닛이 제5 실시예의 홀더(40e) 및 홀더 유닛과 구성이 다른 점은, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 및 광폭부(42b)와, 그것에 수반되는 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a) 및 협폭부(65b, 66b)의 배치가 상하 반대로 되어 있는 점이다. 즉, 제7 실시예의 홀더(40g) 및 홀더 유닛에서는, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)는 스크라이빙 휠(50)의 하방에, 광폭부(42b)가 스크라이빙 휠(50)의 상방에 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)가 스크라이빙 휠(50)의 하방에, 협폭부(65b, 66b)가 스크라이빙 휠(50)의 상방에 형성되어 있다. 또한, 홀더(40g)의 지지부(65, 66)에 있어서의 광폭부(65a, 66a)와 협폭부(65b, 66b) 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.The holder 40g and the holder unit of the seventh embodiment are different from the holder 40e and the holder unit of the fifth embodiment in terms of the narrow width portion 42a and the wide portion 42b of the holding groove 42, The arrangement of the wide portions 65a and 66a and the narrow portions 65b and 66b of the support portions 65 and 66 accompanying them is inverted up and down. That is, in the holder 40g and the holder unit of the seventh embodiment, the narrow portion 42a of the holding groove 42 is below the scribing wheel 50, and the wide portion 42b is the scribing wheel ( It is formed above 50, and the wide part 65a, 66a of the support part 65, 66 is below the scribing wheel 50, and the narrow part 65b, 66b is a scribing wheel with it. It is formed above 50. Moreover, between the wide part 65a, 66a and the narrow part 65b, 66b in the support part 65, 66 of the holder 40g is formed in step shape.

이 경우에 있어서도, 홀더(40g)의 지지부(65, 66)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(65b, 66b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(40g)의 지지부(65, 66)에 있어서의 협폭부(65b, 66b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(43a)이 동축에 형성되어 있고, 핀(44)은 홀더(40g)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(40g)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 상측과 핀(44)의 상측 사이에는 간극(67)이 형성되어 있다.Also in this case, the inner walls of the support portions 65 and 66 of the holder 40g, that is, the surfaces facing each other of the wide portions 65a and 66a and the surfaces facing the narrow portions 65b and 66b, are , All are formed in parallel. In the narrow portions 65b and 66b of the support portions 65 and 66 of the holder 40g, pin holes 43a penetrating through each of them are formed coaxially, and the pin 44 is the holder 40g. It is mounted so as not to be in contact with the wide portions 65a and 66a of the supporting portions 65 and 66. Therefore, the gap 67 is formed between the upper side of the wide portions 65a and 66a of the support portions 65 and 66 of the holder 40g and the upper side of the pin 44.

이러한 구성의 제7 실시예의 홀더(40g) 및 홀더 유닛에 따르면, 제5 실시예의 홀더(40e) 및 홀더 유닛에 비하면, 스크라이빙 휠(50)과 지지부(65, 66) 사이의 접촉 면적이 적어진다고 하는 효과도 발휘되게 된다.According to the holder 40g and the holder unit of the seventh embodiment of this configuration, compared with the holder 40e and the holder unit of the fifth embodiment, the contact area between the scribing wheel 50 and the supporting portions 65, 66 is The effect of being small will also be exhibited.

따라서, 스크라이브시에 컬릿이 발생하고, 이 컬릿이 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)와 스크라이빙 휠(50) 사이에 침입해도, 홀더(40g)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 상측과 핀(44) 사이에 형성되어 있는 간극(67) 및 핀(44)과 보유 지지 홈(42)의 광폭부(42b) 사이에 형성되는 공간의 존재로 인해 용이하게 배출되기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 회전성이 손상되는 것이 억제된다.Therefore, even if a cullet is generated at the time of scribing and this cullet penetrates between the narrow portion 42a of the holding groove 42 and the scribing wheel 50, the support portions 65 and 66 of the holder 40g are not included. Due to the presence of a gap 67 formed between the upper portions of the wide portions 65a and 66a and the fin 44 and a space formed between the fin 44 and the wide portion 42b of the holding groove 42 Since it is discharged easily, it is suppressed that the rotational property of the scribing wheel 50 is impaired.

[제8 실시예][Eighth Embodiment]

제8 실시예의 홀더(40h)와 스크라이빙 휠(50)로 이루어지는 홀더 유닛의 구성을 도 12에 도시한다. 또한, 도 12의 (a)는 하방측으로부터의 홀더(40h)의 사시도이고, 도 12의 (b)는 (a)의 XIIb-XIIb선을 따른 단면도이고, 도 12의 (c)는 (a)의 XIIc-XIIc선을 따른 단면도이다. 또한, 도 12의 (b), (c)에 있어서는, 핀(44)을 도시하고 있지 않다.The structure of the holder unit which consists of the holder 40h and the scribing wheel 50 of 8th Example is shown in FIG. 12A is a perspective view of the holder 40h from the lower side, FIG. 12B is a sectional view along the line XIIb-XIIb of (a), and FIG. 12C is a (a). It is sectional drawing along the XIIc-XIIc line of (). In addition, the pin 44 is not shown in FIG.12 (b) (c).

제8 실시예의 홀더(40h) 및 홀더 유닛이 제5 실시예의 홀더(40e) 및 홀더 유닛과 구성이 다른 점은, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 및 광폭부(42b)의 구성과, 그것에 수반되는 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a) 및 협폭부(65b, 66b)의 구성이다. 구체적으로는, 제8 실시예의 홀더(40h)에서는, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)의 하단부가, 핀(44)과 겹쳐지는 위치까지 형성되어 있다. 즉, 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 하단부가, 핀(44)과 접촉하는 위치에 형성되어 있다. 또한, 제8 실시예에서는, 도 12의 (b)에 도시하는 바와 같이, 핀(44)의 정가운데보다도 약간 상측에서, 지지부(65)의 광폭부(65a)가 핀(44)과 접촉한다. 즉, 홀더(40h)는, 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)와 협폭부(65b, 66b) 사이의 단차 위치에 핀 구멍(43a)을 형성하여 구성되어 있다.The configuration of the holder 40h and the holder unit of the eighth embodiment differs from the holder 40e and the holder unit of the fifth embodiment in the configuration of the narrow portion 42a and the wide portion 42b of the holding groove 42. And the wide portions 65a and 66a and the narrow portions 65b and 66b of the support portions 65 and 66 accompanying them. Specifically, in the holder 40h of the eighth embodiment, the lower end portion of the narrow portion 42a of the holding groove 42 is formed to a position overlapping the pin 44. That is, the lower ends of the wide portions 65a and 66a of the support portions 65 and 66 are formed at positions in contact with the pins 44. In addition, in the eighth embodiment, as shown in Fig. 12B, the wide part 65a of the support part 65 is in contact with the pin 44 slightly above the center of the pin 44. . That is, the holder 40h is formed by forming the pinhole 43a at the step position between the wide portions 65a and 66a of the support portions 65 and 66 and the narrow portions 65b and 66b.

이러한 구성의 제8 실시예에 따르면, 홀더(40h) 및 홀더 유닛은, 보유 지지 홈(42)에 광폭부(42b)를 구비하고 있기 때문에, 스크라이빙 휠(50)과 지지부(65, 66) 사이의 접촉 면적이 적어진다고 하는 효과를 발휘하게 된다. 또한, 홀더(40h) 및 홀더 유닛은, 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)와 협폭부(65b, 66b) 사이의 단차 위치에 핀 구멍(43a)이 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 날끝의 요동도 적어지고, 스크라이브 라인의 형성시에 사행하는 것을 억제하는 효과도 높아진다.According to the eighth embodiment of this configuration, since the holder 40h and the holder unit are provided with the wide portion 42b in the holding groove 42, the scribing wheel 50 and the supporting portions 65, 66 The contact area between them becomes small. In addition, since the pin hole 43a is formed in the step position between the wide part 65a, 66a of the support part 65, 66, and the narrow part 65b, 66b, the holder 40h and the holder unit have a spool, The fluctuation of the blade edge of the scribe wheel 50 also decreases, and the effect of suppressing meandering at the time of forming a scribe line also increases.

[제2 실시 형태][Second Embodiment]

다음에, 제1 실시 형태의 홀더(40a 내지 40h)와 다른 구성의 제2 실시 형태의 홀더(40i)에 대해, 도 13을 사용하여 설명한다. 또한, 도 13은 홀더(40i)를 확대한 사시도이다. 또한, 홀더(40a 내지 40h)와 마찬가지의 구성에 대해서는, 동일한 부호를 사용하여 설명하고, 그 상세한 설명은 생략한다. 제2 실시 형태의 홀더(40i)는, 스크라이빙 휠(50)을 보유 지지한 홀더 유닛으로서, 제1 실시 형태의 홀더(40)와 마찬가지로, 스크라이브 장치(10)의 스크라이브 헤드(21)에 있어서, 홀더 조인트(23)의 개구(28)로 삽입되어, 장착되어 있다.Next, the holder 40i of 2nd Embodiment of a structure different from the holder 40a-40h of 1st Embodiment is demonstrated using FIG. 13 is an enlarged perspective view of the holder 40i. In addition, the structure similar to the holder 40a-40h is demonstrated using the same code | symbol, and the detailed description is abbreviate | omitted. The holder 40i of the second embodiment is a holder unit holding the scribing wheel 50, and similarly to the holder 40 of the first embodiment, the scribe head 21 of the scribing device 10. In this case, the holder 28 is inserted into the opening 28 of the holder joint 23 and is mounted thereon.

이 홀더(40i)는 대략 원기둥형의 금속 또는 수지로 이루어지고, 그 하단부측에는 지지부(41a, 41b)가 설치되어 있다. 그리고, 이 지지부(41a)와 지지부(41b) 사이에, 스크라이빙 휠(50)을 보유 지지하기 위한 보유 지지 홈(42)이 형성되어 있다. 또한, 지지부(41a, 41b)의 하단부에는, 스크라이빙 휠(50)을 고정하기 위해 절결하여 형성된 핀 구멍(43b)이 각각 형성되어 있다. 그리고, 이 핀 구멍(43b)에 핀(44)이 관통되고, 스크라이빙 휠(50)이 회전 가능하게 홀더(40i)에 장착되어 있다. 이 홀더(40i)의 상단부측에는, 홀더(40)와 마찬가지로 경사부(46a)와 지지부(46b)로 이루어지는 장착부(46)가 형성되어 있다.The holder 40i is made of a substantially cylindrical metal or resin, and supporting portions 41a and 41b are provided on the lower end side thereof. A holding groove 42 for holding the scribing wheel 50 is formed between the supporting portion 41a and the supporting portion 41b. Further, pin holes 43b formed by cutting in order to fix the scribing wheel 50 are formed at the lower ends of the support portions 41a and 41b, respectively. The pin 44 penetrates through the pin hole 43b, and the scribing wheel 50 is rotatably attached to the holder 40i. On the upper end side of the holder 40i, a mounting portion 46 made up of the inclined portion 46a and the support portion 46b is formed similarly to the holder 40.

그리고, 이 홀더(40i)의 보유 지지 홈(42)의 내벽에도, 제1 실시 형태의 제1 실시예 내지 제8 실시예에 나타낸 것과 마찬가지의 구성의 오목부(도시 생략)가 형성되어 있다. 이 제2 실시 형태의 홀더(40i)는, 핀 구멍(43b)을 고정밀도로 형성하는 것을 비교적 용이하게 할 수 있지만, 핀 구멍(43b)이 절결된 상태로 되어 있기 때문에, 제1 실시 형태의 홀더(40)의 경우보다도 보유 지지 홈(42) 내에 컬릿 등의 이물질이 침입하기 쉬워진다. 그러나, 제2 실시 형태의 홀더(40i)에 있어서는, 보유 지지 홈(42)의 내벽에 오목부가 형성되어 있음으로써, 제1 실시 형태의 제1 실시예 내지 제8 실시예와 마찬가지의 작용ㆍ효과를 발휘할 수 있다.And the recessed part (not shown) of the structure similar to what was shown to the 1st Example-8th Example of 1st Embodiment is formed also in the inner wall of the holding groove 42 of this holder 40i. Although the holder 40i of the second embodiment can relatively easily form the pinhole 43b with high accuracy, the holder of the first embodiment is in a state where the pinhole 43b is cut out. More foreign matters, such as a cullet, invade into the holding groove 42 rather than the case of 40. However, in the holder 40i of 2nd Embodiment, since the recessed part is formed in the inner wall of the holding | maintenance groove | channel 42, operation and effect similar to Example 1-8 of Example 1 of 1st Embodiment. Can exert.

[제3 실시 형태][Third embodiment]

다음에, 제1 실시 형태에 나타낸 홀더(40a 내지 40h)나 제2 실시 형태에 나타낸 홀더(40i)와는 다른 구성의 제3 실시 형태의 홀더(140)에 대해, 도 14를 사용하여 설명한다. 또한, 도 14는 제3 실시 형태의 홀더(140)의 정면도이다. 또한, 홀더(140)에 핀에 의해 스크라이빙 휠(150)이 보유 지지된 것을 홀더 유닛으로서 설명을 행한다.Next, the holder 140 of 3rd Embodiment of a structure different from the holder 40a-40h shown in 1st Embodiment and the holder 40i shown in 2nd Embodiment is demonstrated using FIG. 14 is a front view of the holder 140 of 3rd Embodiment. In addition, it demonstrates as a holder unit that the scribing wheel 150 is hold | maintained by the holder 140 by the pin.

제3 실시 형태의 홀더(140)를 구비하는 홀더 유닛은, 스크라이브 장치(10)의 스크라이브 헤드(21)에, 홀더 조인트를 통하지 않고, 직접 장착되어 있는 것이다. 홀더(140)는 대략 원기둥 형상을 하고 있고, 회전축부(141)와, 휠 보유 지지부(142)로 구성되어 있다. 그리고, 스크라이브 헤드(21)에 홀더(140)가 장착된 상태에 있어서는, 이 회전축부(141)에는, 홀더(140)를 회전 가능하게 보유 지지하기 위한 2개의 베어링(126a, 126b)이 원통형의 스페이서(127)를 통해 장착된 상태로 되어 있다. 또한, 도 14에는 홀더(140)의 정면도를 도시하는 동시에, 회전축부(141)에 장착된 베어링(126a, 126b)과 스페이서(127)의 단면도를 도시하고 있다.The holder unit including the holder 140 of the third embodiment is directly attached to the scribe head 21 of the scribe device 10 without passing through the holder joint. The holder 140 has a substantially cylindrical shape, and is composed of a rotation shaft portion 141 and a wheel holding portion 142. In the state where the holder 140 is attached to the scribe head 21, two bearings 126a and 126b for holding the holder 140 rotatably are formed in the rotary shaft portion 141. It is in the state mounted via the spacer 127. In addition, the front view of the holder 140 is shown in FIG. 14, and the sectional view of the bearing 126a, 126b and the spacer 127 attached to the rotating shaft part 141 is shown.

휠 보유 지지부(142)는 직육면체 형상을 이루는 동시에, 하단부측이 삼각 형상으로 되어 있고, 이 삼각 형상의 선단에는 스크라이빙 휠(150)을 삽입하기 위해, 지지부(143a)와 지지부(143b) 사이에, 스크라이빙 휠(150)을 보유 지지하기 위한 보유 지지 홈(144)이 형성되어 있다. 또한, 도 14에서 홀더(140)의 하단부측을 확대하고 있는 도면은, 화살표 C로 나타내는 횡방향으로부터 관찰한 경우의 확대도를 도시하고 있다.The wheel holding portion 142 forms a rectangular parallelepiped shape and has a triangular shape at the lower end side thereof. Between the supporting portion 143a and the supporting portion 143b for inserting the scribing wheel 150 into the triangular tip. The holding groove 144 for holding the scribing wheel 150 is formed in the groove. In addition, the figure which expanded the lower end part side of the holder 140 in FIG. 14 has shown the enlarged view when it observes from the horizontal direction shown by the arrow C. As shown in FIG.

지지부(143a, 143b)에는 스크라이빙 휠(150)을 고정하기 위해 구멍 형상의 핀 구멍(145)이 각각 형성되어 있고, 이 핀 구멍(145)에 핀(146)이 관통되고, 스크라이빙 휠(150)은 홀더(140)에 회전 가능하게 장착되어 있다. 이때, 지지부(143a)와 지지부(143b)의 각각의 내벽(147a, 147b)이 스크라이빙 휠(150)의 원형 측면(151a, 151b)과 각각 대향하고 있다. 그리고, 지지부(143a, 143b)의 외측에는, 핀 구멍(145)을 외측으로부터 덮기 위한 핀 압박부(148a, 148b)가 나사(149)에 의해 각각 나사 고정되어 있다.In the support portions 143a and 143b, hole-shaped pin holes 145 are formed to fix the scribing wheel 150, respectively, and the pins 146 pass through the pin holes 145, and scribing is performed. The wheel 150 is rotatably mounted to the holder 140. At this time, the inner walls 147a and 147b of the support portion 143a and the support portion 143b respectively face the circular side surfaces 151a and 151b of the scribing wheel 150. And the pin press part 148a, 148b for covering the pinhole 145 from the outer side is screwed by the screw 149 in the outer side of the support part 143a, 143b, respectively.

또한, 이 경우에 있어서도, 스크라이빙 휠(150)은 소모품이며, 정기적인 교환이 필요해지기 때문에, 홀더(140)를 구비하는 홀더 유닛에 있어서, 스크라이빙 휠(150)을 교환할 때에는, 우선, 스크라이브 헤드(21)로부터 홀더 유닛을 제거하고, 다음에, 홀더(140)로부터 핀 압박부(148a, 148b)를 제거한 후, 핀(146)을 취출하여 스크라이빙 휠(150)의 교환이 행해진다.Also in this case, since the scribing wheel 150 is a consumable and needs regular replacement, when replacing the scribing wheel 150 in the holder unit provided with the holder 140, First, the holder unit is removed from the scribe head 21, and then the pin pressing portions 148a and 148b are removed from the holder 140, and then the pin 146 is taken out to replace the scribing wheel 150. This is done.

그리고, 홀더(140)의 내벽(147a, 147b)에는, 제1 실시 형태의 제1 실시예 내지 제8 실시예에 나타낸 것과 마찬가지의 구성의 오목부(도시 생략)가 형성되어 있다. 그로 인해, 내벽(147a, 147b)과 스크라이빙 휠(150)의 측면(151a, 151b) 사이에, 컬릿 등의 이물질이 들어왔다고 해도, 이 오목부에 의해, 스크라이빙 휠(150)의 회전 불량의 발생을 저감시킬 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 핀 구멍(145)은 구멍 형상으로 되어 있지만, 제2 실시 형태와 마찬가지로 지지부(143a)와 지지부(143b)의 하단부를 절결하여 형성해도 된다.In the inner walls 147a and 147b of the holder 140, recesses (not shown) having the same configuration as those shown in the first to eighth examples of the first embodiment are formed. Therefore, even if foreign matter such as a cullet enters between the inner walls 147a and 147b and the side surfaces 151a and 151b of the scribing wheel 150, the recessed portion of the scribing wheel 150 The occurrence of rotation failure can be reduced. In addition, although the pin hole 145 of this embodiment is a hole shape, you may cut and form the lower end part of the support part 143a and the support part 143b similarly to 2nd Embodiment.

[제4 실시 형태][Fourth Embodiment]

본 발명의 제4 실시 형태에 관한 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)을 도 15 및 도 16을 사용하여 설명한다. 또한, 도 15는 제4 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도이고, 도 16의 (a)는 도 15의 홀더 유닛의 정면도이고, 도 16의 (b)는 도 16의 (a)의 XⅥB 부분의 확대도이다.The holder 211 and the holder unit 210 according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 15 and 16. 15 is a perspective view of the holder unit of 4th Embodiment, FIG. 16A is a front view of the holder unit of FIG. 15, FIG. 16B is an enlargement of the XVIB part of FIG. 16A. It is also.

제4 실시 형태에 관한 홀더 유닛(210)은, 홀더(211)와 스크라이빙 휠(212)을 갖고 있고, 홀더(211)의 하단부에 스크라이빙 휠(212)이 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 홀더(211)는, 하방이 삼각 형상으로 형성된 직육면체 형상의 부재이며, 상부에 홀더(211)를 고정하기 위한 관통 구멍(213)을 갖고 있다. 또한, 이 홀더(211)는 스크라이빙 휠(212)을 피스크라이빙 부재에 접촉시켜 스크라이브 라인을 형성하기 위해 사용되는 것이기 때문에, 이하에 있어서는 홀더(211)의 피스크라이빙 부재에 접촉시키는 측(절단 단부측)을「하측」이라 하고, 그 반대측을 「상측」이라 한다.The holder unit 210 according to the fourth embodiment has a holder 211 and a scribing wheel 212, and a scribing wheel 212 is rotatably held at the lower end of the holder 211. have. The holder 211 is a rectangular parallelepiped member formed below in a triangular shape, and has a through hole 213 for fixing the holder 211 to the top. In addition, since the holder 211 is used to form the scribe line by bringing the scribing wheel 212 into contact with the scribe member, the side which contacts the scribe member of the holder 211 will be described below. (Cutting end side) is called "lower side", and the opposite side is called "upper side".

스크라이빙 휠(212)은, 예를 들어 소결 다이아몬드로 형성된 두께 d가 약 0.65㎜인 디스크 형상의 부재이며, 중심에 관통 구멍을 갖고 있다. 또한, 스크라이빙 휠(212)은, 외주부를 따라 능선을 형성하는 V자형의 날을 갖고 있다. 능선의 양측의 경사면은, 통상 90 내지 165°의 각도로 서로 교차하고 있고, 이들 경사면에 의해 능선이 형성되어 있다.The scribing wheel 212 is a disk-shaped member whose thickness d formed, for example, of sintered diamond is about 0.65 mm, and has a through hole in the center. In addition, the scribing wheel 212 has a V-shaped blade which forms a ridgeline along the outer circumference. The inclined surfaces on both sides of the ridge line normally cross each other at an angle of 90 to 165 degrees, and the ridge lines are formed by these inclined surfaces.

이 홀더(211)의 하방에는, 보유 지지 홈(214)이 홀더(211)의 삼각 형상의 하방을 개방하도록 형성되고, 보유 지지 홈(214)을 사이에 두는 이 삼각 형상의 부분에서 지지부(215, 216)를 형성하고 있다. 그리고, 보유 지지 홈(214)은, 스크라이빙 휠(212)의 상방의 일부분이 삽입되는 협폭부(214a)와, 이 협폭부(214a)보다도 광폭으로 형성된 광폭부(214b)로 이루어져 있다. 그로 인해, 한 쌍의 지지부(215, 216)는, 각각 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)에 대향하는 광폭부(215a, 216a)와, 보유 지지 홈(214)의 광폭부(214b)에 대향하는 협폭부(215b, 216b)를 구비하고 있다. 또한, 홀더(211)의 지지부(215, 216)에 있어서의 광폭부(215a, 216a)와 협폭부(215b, 216b)의 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.Under the holder 211, the holding groove 214 is formed so as to open the lower side of the triangular shape of the holder 211, and the supporting portion 215 at this triangular portion having the holding groove 214 therebetween. , 216). The holding groove 214 includes a narrow portion 214a into which a portion of the upper portion of the scribing wheel 212 is inserted, and a wider portion 214b formed wider than the narrow portion 214a. Therefore, the pair of support portions 215 and 216 respectively have the wide portions 215a and 216a facing the narrow portions 214a of the holding grooves 214 and the wide portions 214b of the holding grooves 214. Narrow width portions 215b and 216b facing each other are provided. Moreover, between the wide part 215a, 216a and narrow part 215b, 216b in the support part 215, 216 of the holder 211 is formed in step shape.

또한, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(215b, 216b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(211)의 지지부(215, 216)에 있어서의 협폭부(215b, 216b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(217, 218)이 동축에 형성되어 있다. 핀 구멍(217, 218)은, 보유 지지 홈(214)과 수직으로 교차하고 있고, 스크라이빙 휠(212)의 핀(219)을 보유 지지하는 원형의 관통 구멍이다.In addition, the inner walls of the support portions 215 and 216 of the holder 211, that is, the surfaces facing each other of the wide portions 215a and 216a and the surfaces facing each other of the narrow portions 215b and 216b are all parallel. It is formed. In the narrow portions 215b and 216b of the support portions 215 and 216 of the holder 211, pin holes 217 and 218 which penetrate each are formed coaxially. The pin holes 217 and 218 vertically intersect the holding grooves 214 and are circular through holes that hold the pins 219 of the scribing wheel 212.

그리고, 본 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)에서는, 핀(219)은, 스크라이빙 휠(212)의 관통 구멍 및 핀 구멍(217, 218)에, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 하측과 핀(219) 사이에는 간극(220)이 형성되어 있다. 또한, 핀(219)은, 예를 들어 초경합금 등의 금속, 소결 다이아몬드로 형성된 원기둥형의 부재이며, 일단부가 끝이 뾰족한 형상을 갖고 있다.In the holder unit 210 of the fourth embodiment, the pin 219 is provided with the support portion 215 of the holder 211 in the through hole and the pin holes 217 and 218 of the scribing wheel 212. It is attached so that it may not contact with wide part 215a, 216a of 216. Therefore, the clearance gap 220 is formed between the lower side of the wide part 215a, 216a of the support part 215, 216 of the holder 211, and the pin 219. As shown in FIG. In addition, the pin 219 is a cylindrical member formed of metal, such as cemented carbide, and sintered diamond, for example, and has the shape where one end is pointed.

보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)의 간격 w1은 스크라이빙 휠(212)의 폭보다 약간 크게 되도록 되어 있다. 스크라이빙 휠(212)의 폭 d는 예를 들어 약 0.65㎜이고, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)의 간격 w1은 예를 들어 약 0.67㎜이다. 또한, 보유 지지 홈(214)의 광폭부(214b)의 간격 w2는, 협폭부(214)의 간격 w1의 간격보다 넓으면 임의이지만, 지지부(215, 216)의 협폭부(215b, 216b)에 형성된 핀 구멍(217, 218) 내에 있어서의 핀(219)의 회전시의 마찰이 작아지도록 하기 위해서는, 핀(219)을 양단부만으로 지지하고, 핀(219)이 핀 구멍(217, 218) 내에 위치하고 있는 부분의 길이가 짧아지도록 할 필요가 있어, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)의 간격 w1의 2배 이상으로 하는 것이 바람직하다.The interval w1 of the narrow portion 214a of the holding groove 214 is set to be slightly larger than the width of the scribing wheel 212. The width d of the scribing wheel 212 is, for example, about 0.65 mm, and the spacing w1 of the narrow width portion 214a of the holding groove 214 is, for example, about 0.67 mm. In addition, although the spacing w2 of the wide part 214b of the holding | maintenance groove 214 is arbitrary if it is wider than the space | interval of the space w1 of the narrow part 214, it is to the narrow part 215b, 216b of the support part 215, 216. In order to reduce the friction at the time of rotation of the pin 219 in the formed pin holes 217 and 218, the pin 219 is supported only at both ends, and the pin 219 is positioned in the pin holes 217 and 218. It is necessary to make the length of the part which is present short, and it is preferable to set it as 2 times or more of the space | interval w1 of the narrow part 214a of the holding groove 214.

그러나, 지나치게 w2를 크게 하면, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 협폭부(215b, 216b)의 폭이 가늘어지기 때문에, 스크라이브시에 인가되는 하중에 의해, 협폭부(215b, 216b)가 휠 우려가 있는 것, 및 핀(219)이 양단부측에서 지지되게 되어, 핀(219) 자체도 휘어 버릴 우려가 발생하기 때문에, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 협폭부(215b, 216b)의 폭이 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 1/3 정도로 되도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 하측과 핀(219) 사이에 형성된 간극(220)의 간격은 임의이지만, 홀더 유닛(210)을 소형화하기 위해서는 작은 쪽이 좋다.However, if w2 is made too large, the widths of the narrow portions 215b and 216b of the support portions 215 and 216 of the holder 211 become thin, so that the narrow portions 215b and 216b are formed by a load applied at the time of scribing. There is a possibility that the wheel may be damaged, and the pin 219 is supported on both end sides, and the pin 219 itself may be bent, so that the narrow portion 215b of the support portions 215 and 216 of the holder 211 is generated. , 216b is preferably about 1/3 of the widths 215a and 216a of the support portions 215 and 216 of the holder 211. In addition, although the space | interval of the clearance gap 220 formed between the lower side of the wide part 215a, 216a of the support part 215, 216 of the holder 211, and the pin 219 is arbitrary, in order to miniaturize the holder unit 210, The smaller one is better.

또한, 본 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)에서는, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)에 형성된 핀 구멍(217, 218)의 양단부는, 각각 압박 커버(222, 223)에 의해 폐색되어 있다. 이들 압박 커버(222, 223)는, 예를 들어 도 15에 도시하는 바와 같이, 일단부가 돌출된 와셔 형상을 갖고 있고, 각각이 홀더(211)의 상방에 있어서 조정 나사(224, 225)에 의해 홀더(211)의 외측면에 고정되어 있다.In the holder unit 210 of the fourth embodiment, both ends of the pin holes 217 and 218 formed in the wide portions 215a and 216a of the support portions 215 and 216 of the holder 211 are pressed cover respectively. It is occluded by (222, 223). These press covers 222 and 223 have the washer shape which one end part protruded, for example, as shown in FIG. 15, and each is adjusted by the adjustment screw 224 and 225 above the holder 211. As shown in FIG. It is fixed to the outer surface of the holder 211.

이 홀더 유닛(210)의 조립은 다음과 같이 하여 행해진다. 우선, 지지부(215)측으로부터 압박 커버(222)를 조정 나사(224)에 의해 장착하고, 핀 구멍(217)의 외부측을 폐색한다. 계속해서, 스크라이빙 휠(212)의 일부를 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 내에 삽입하여 보유 지지하고, 핀(219)을 끝이 뾰족한 형상의 부분으로부터 핀 구멍(218), 스크라이빙 휠(212)의 관통 구멍 및 핀 구멍(217)에 삽입 관통한다. 핀(219)의 끝이 뾰족한 형상의 부분이, 핀 구멍(217)의 한쪽의 개구 부근에 있는 압박 커버(222)와 접하는 부분까지 핀(219)을 삽입하고, 이어서 지지부(216)측으로부터 압박 커버(223)를 조정 나사(225)로 나사 고정하여 핀 구멍(218)의 외부측을 폐쇄한다. 이에 의해, 핀(219)은 핀 구멍(217, 218)으로부터 탈락하는 일은 없어지고, 또한 스크라이빙 휠(212)은 핀(219)에 회전 가능하게 보유 지지된다.Assembly of this holder unit 210 is performed as follows. First, the press cover 222 is attached by the adjusting screw 224 from the support part 215 side, and the outer side of the pin hole 217 is closed. Subsequently, a portion of the scribing wheel 212 is inserted into and held in the narrow portion 214a of the holding groove 214, and the pin 219 is pinned from the pointed portion of the pin hole 218. It penetrates into the through hole and the pin hole 217 of the scribing wheel 212. The pin 219 inserts the pin 219 to a portion where the end of the pin 219 is in contact with the pressing cover 222 near one of the openings of the pin hole 217, and then presses it from the support 216 side. The cover 223 is screwed with the adjustment screw 225 to close the outer side of the pin hole 218. As a result, the pin 219 does not fall off from the pin holes 217 and 218, and the scribing wheel 212 is rotatably held by the pin 219.

이 상태의 홀더 유닛(210)을 사용하여 글래스 기판 등의 취성 기판을 스크라이브하면, 스크라이빙 휠(212)은 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 내에서 위치가 안정되기 때문에, 스크라이빙 휠(212)의 진행 방향에 대한 좌우의 요동이 거의 없어져, 스크라이브하였을 때의 스크라이브 라인의 직선성을 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 가령 스크라이브시에 컬릿이 발생하고, 이 컬릿이 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)와 스크라이빙 휠(212) 사이에 침입해도, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 하측과 핀(219) 사이에 형성되어 있는 간극(220) 및 핀(219)과 취성 기판 사이에 형성되는 공간의 존재로 인해 용이하게 배출되기 때문에, 스크라이빙 휠(212)의 회전성이 손상되는 것이 억제된다.When the brittle substrate such as a glass substrate is scribed using the holder unit 210 in this state, the scribing wheel 212 is stabilized in the narrow portion 214a of the holding groove 214. The left and right fluctuations with respect to the advancing direction of the scribe wheel 212 are hardly eliminated, and the linearity of the scribe line at the time of scribing can be improved. In addition, even if a cullet is generated during scribing, and the cullet penetrates between the narrow portion 214a of the holding groove 214 and the scribing wheel 212, the supporting portions 215 and 216 of the holder 211 are provided. Since the gap 220 formed between the lower side of the wide portions 215a and 216a and the fin 219 and the space formed between the fin 219 and the brittle substrate are easily discharged, scribing Impairment of the rotationality of the wheel 212 is suppressed.

그로 인해, 본 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)에 따르면, 스크라이브시에 스크라이빙 휠(212) 및 핀(219)의 회전성이 양호해지기 때문에, 스크라이브시에 스크라이빙 휠(212)의 날끝이 피스크라이브 기판의 표면을 미끄러지는 현상이 발생하기 어렵지 않게 되어, 날끝 수명이 길어지는 동시에 스크라이브 후의 피스크라이브 기판의 단부면 강도의 저하나 파단 강도의 편차가 억제된다고 하는 우수한 효과를 발휘하게 된다.Therefore, according to the holder unit 210 of this 4th Embodiment, since the rotational property of the scribing wheel 212 and the pin 219 at the time of scribing becomes favorable, the scribing wheel 212 at the time of scribing It is not difficult for the tip of the blade to slide on the surface of the scribe substrate, so that the edge life of the blade is long, and the decrease in the end surface strength and the variation in the breaking strength of the scribe substrate after scribing are suppressed. Done.

또한, 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)에 있어서는, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)가, 스크라이빙 휠(212)의 상방의 일부분에 형성된 예를 나타냈지만, 도면에 있어서 좌우측의 일부분이 삽입되도록 형성해도 되는 것은 당연하다. 그리고, 어느 경우에 있어서도, 스크라이브시에 발생한 컬릿이 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 내에 침입하기 어려워, 스크라이빙 휠(212) 및 핀(219)의 회전성이 양호해진다.In addition, in the holder unit 210 of 4th Embodiment, although the narrow part 214a of the holding groove 214 showed the example formed in the upper part of the scribing wheel 212, in the figure, Naturally, you may form so that a part of left and right sides may be inserted. In any case, the cullets generated at the time of scribing are difficult to penetrate into the narrow portion 214a of the holding groove 214, and the rotation of the scribing wheel 212 and the pin 219 becomes good.

또한, 본 제4 실시 형태의 홀더에 있어서는, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(215b, 216b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있지만, 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면이 평행하게 형성되어 있으면, 협폭부(215b, 216b)의 서로 대향하는 면은 평행하지 않아도 된다. 적어도 스크라이빙 휠(212)이 접촉하는 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면이 평행하면, 스크라이빙 휠(212)이 홀더 홈(214)의 협폭부(214a) 내에서 위치를 안정시킬 수 있기 때문이다.In the holder of the fourth embodiment, the inner walls of the support portions 215 and 216 of the holder 211, that is, the surfaces and the narrow portions 215b and 216b of the wide portions 215a and 216a, which face each other, are opposed to each other. Are mutually opposite surfaces, but if the opposing surfaces of the wide portions 215a and 216a are formed in parallel, the opposing surfaces of the narrow portions 215b and 216b are not parallel. do. If at least the opposing faces of the wide portions 215a, 216a of the support portions 215, 216 with which the scribing wheels 212 are in contact are parallel, the scribing wheel 212 is the narrow portion of the holder groove 214. This is because the position can be stabilized within 214a.

또한, 본 제4 실시 형태의 홀더에 있어서는, 홀더(211)의 지지부(215, 216)에 있어서의 협폭부(215b, 216b)에 각각을 관통하는 핀 구멍(217, 218)이 동축에 형성되고, 핀 구멍(217, 218)의 양측으로부터 압박 커버(222, 223)를 사용하여 핀(219)을 보유 지지하도록 하고 있지만, 한쪽의 핀 구멍의 직경을 지지부 외주측에서 좁게 하여 핀을 보유 지지하도록 해도 된다. 또한, 핀 구멍(217, 218)은, 동축에 형성되어 있으면, 협폭부(215b, 216b) 중 어느 한쪽을 관통하는 것만으로도 좋다. 이 경우에는, 핀 구멍의 직경이 좁게 되어 있지 않은 지지부 또는 관통한 핀 구멍이 형성된 지지부의 외측면에만 압박 커버가 설치되어 있으면 된다.In the holder of the fourth embodiment, pin holes 217 and 218 penetrating through the narrow portions 215b and 216b in the supporting portions 215 and 216 of the holder 211 are formed coaxially. Although the pins 219 are held by the pressing covers 222 and 223 from both sides of the pin holes 217 and 218, the pin hole diameter is narrowed on the outer peripheral side of the support to hold the pins. You may also In addition, as long as the pinholes 217 and 218 are formed coaxially, you may just penetrate either one of narrow part 215b, 216b. In this case, the press cover only needs to be provided in the outer surface of the support part in which the diameter of a pin hole is not narrowed, or the support part in which the penetrated pin hole was formed.

[제5 실시 형태][Fifth Embodiment]

다음에, 제5 실시 형태의 홀더 및 홀더 유닛을 도 17 및 도 18을 사용하여 설명한다. 또한, 도 17은 제5 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도이고, 도 18은 도 17의 XⅧ-XⅧ선을 따른 단면도이다. 또한, 도 17 및 도 18에 있어서는, 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)과 동일한 구성 부분에는 동일한 참조 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.Next, the holder and the holder unit of the fifth embodiment will be described with reference to FIGS. 17 and 18. 17 is a perspective view of the holder unit of 5th Embodiment, and FIG. 18 is sectional drawing along the X'-X 'line | wire of FIG. In addition, in FIG. 17 and FIG. 18, the same code | symbol is attached | subjected to the component same as the holder unit 210 of 4th Embodiment, and the detailed description is abbreviate | omitted.

제5 실시 형태의 홀더(211A) 및 홀더 유닛(210A)이 제4 실시 형태의 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)과 구성이 다른 점은, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 및 광폭부(214b)의 구성과, 그것에 수반되는 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a) 및 협폭부(215b, 216b)의 구성이다. 즉, 제5 실시 형태의 홀더(211A) 및 홀더 유닛(210A)에서는, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)는, 스크라이빙 휠(212)의 상방의 일부분과, 도면에 있어서 우측의 일부분이 삽입되도록 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)가, 스크라이빙 휠(212)의 상방과, 도면에 있어서 우측에 형성되어 있다.The holder 211A and the holder unit 210A of the fifth embodiment are different from the holder 211 and the holder unit 210 of the fourth embodiment in the narrow portion 214a of the holding groove 214. And the configuration of the wide portions 214b and the wide portions 215a and 216a of the support portions 215 and 216 and the narrow portions 215b and 216b. That is, in the holder 211A and the holder unit 210A of the fifth embodiment, the narrow portion 214a of the holding groove 214 is a part of the upper portion of the scribing wheel 212 and the right side in the drawing. A part of is formed so as to be inserted, and with it, the wide part 215a, 216a of the support part 215, 216 is formed above the scribing wheel 212, and in the figure at the right side.

그리고, 보유 지지 홈(214)의 광폭부(214b)는, 스크라이빙 휠(212)의 도면에 있어서 좌측에 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(215, 216)의 협폭부(215b, 216b)가, 스크라이빙 휠(212)의 도면에 있어서 좌측에 형성되어 있다. 또한, 홀더(211A)의 지지부(215, 216)에 있어서의 광폭부(215a, 216a)와 협폭부(215b, 216b) 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.And the wide part 214b of the holding | maintenance groove 214 is formed in the left side of the figure of the scribing wheel 212, and the narrow part 215b, 216b of the support part 215, 216 with it. Is formed on the left side in the drawing of the scribing wheel 212. Moreover, between the wide part 215a, 216a and narrow part 215b, 216b in the support part 215, 216 of the holder 211A is formed in step shape.

이 경우에 있어서도, 홀더(211A)의 지지부(215, 216)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(215b, 216b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(211A)의 지지부(215, 216)에 있어서의 협폭부(215b, 216b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(도시 생략)이 동축에 형성되어 있고, 핀(219)은 홀더(211A)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(211A)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 하측과 핀(219) 사이에는 간극(220)이 형성되어 있다.Also in this case, the inner walls of the support portions 215 and 216 of the holder 211A, that is, the surfaces facing each other of the wide portions 215a and 216a and the surfaces facing the narrow portions 215b and 216b, are , All are formed in parallel. In the narrow portions 215b and 216b of the support portions 215 and 216 of the holder 211A, pin holes (not shown) that penetrate each are formed coaxially, and the pin 219 is formed of the holder 211A. Is mounted so as not to be in contact with the wide portions 215a and 216a of the support portions 215 and 216. Therefore, the clearance gap 220 is formed between the lower side of the wide part 215a, 216a of the support part 215, 216 of the holder 211A, and the pin 219. As shown in FIG.

이러한 구성의 제5 실시 형태의 홀더(211A) 및 홀더 유닛(210A)에 따르면, 제4 실시 형태의 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)에 비하면, 약간 스크라이빙 휠(212)과 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a) 사이의 접촉 면적이 크게 되어 있기 때문에, 약간 마찰 저항이 커지지만, 그 점을 제외하면 실질적으로 동등한 작용 효과를 발휘할 수 있는 것 외에, 스크라이빙 휠(212)의 날끝의 요동이 보다 적어지기 때문에, 스크라이브 라인의 형성시에 사행하는 것이 억제되게 된다.According to the holder 211A and the holder unit 210A of the fifth embodiment having such a configuration, compared to the holder 211 and the holder unit 210 of the fourth embodiment, the scribing wheel 212 and the support portion ( Since the contact areas between the wide portions 215a and 216a of the 215 and 216 are large, the frictional resistance is slightly increased, except that, the scribing wheel can exhibit substantially the same effect. Since the fluctuation of the blade edge of (212) becomes smaller, meandering at the time of forming a scribe line is suppressed.

또한, 제5 실시 형태의 홀더 유닛(210A)에 있어서는, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)가, 스크라이빙 휠(212)의 상방의 일부분뿐만 아니라, 도면에 있어서 우측의 일부분이 삽입되도록 형성된 예를 나타냈지만, 도면에 있어서 좌측의 일부분이 삽입되도록 형성해도 되는 것은 당연하다. 그리고, 어느 경우에 있어서도, 제5 실시 형태의 홀더 유닛(210A)을 사용하여 스크라이브 라인을 형성할 때에는, 홀더 유닛(210A)을 도면에 있어서 좌우의 어느 하나에 형성된 협폭부측으로 이동시키면, 스크라이브시에 발생한 컬릿이 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 내에 침입하기 어려워지기 때문에, 날끝 수명이 길어지는 동시에 스크라이브 후의 피스크라이브 기판의 단부면 강도의 저하나 파단 강도의 편차가 억제된다고 하는 우수한 효과를 발휘할 수 있게 된다.In the holder unit 210A of the fifth embodiment, the narrow width portion 214a of the holding groove 214 is not only a portion of the upper portion of the scribing wheel 212 but also a portion of the right side in the drawing. Although the example formed so that insertion may be shown, it is natural that you may form so that a part of the left side may be inserted in drawing. In any case, when the scribe line is formed using the holder unit 210A of the fifth embodiment, when the holder unit 210A is moved to the narrow width portion formed on either of the left and right sides in the drawing, The cullets generated at the end face are less likely to penetrate into the narrow portion 214a of the holding groove 214, so that the edge life of the blade is long and the lowering of the end surface strength of the scribe substrate after scribing and the variation of the breaking strength are suppressed. It can be effective.

[제6 실시 형태][Sixth Embodiment]

다음에, 제6 실시 형태의 홀더 및 홀더 유닛을 도 19 및 도 20을 사용하여 설명한다. 또한, 도 19는 제6 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도이고, 도 20의 (a)는 도 19의 홀더 유닛의 정면도이고, 도 20의 (b)는 도 20의 (a)의 XⅨB 부분의 확대도이다. 또한, 도 19 및 도 20에 있어서는, 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)과 동일한 구성 부분에는 동일한 참조 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.Next, the holder and the holder unit of the sixth embodiment will be described with reference to FIGS. 19 and 20. 19 is a perspective view of the holder unit of 6th Embodiment, FIG. 20 (a) is a front view of the holder unit of FIG. 19, and FIG. 20 (b) is an enlargement of the X'B part of FIG. 20 (a). It is also. In addition, in FIG. 19 and FIG. 20, the same code | symbol is attached | subjected to the same component part as the holder unit 210 of 4th Embodiment, and the detailed description is abbreviate | omitted.

제6 실시 형태의 홀더(211B) 및 홀더 유닛(210B)이 제4 실시 형태의 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)과 구성이 다른 점은, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 및 광폭부(214b)와, 그것에 수반되는 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a) 및 협폭부(215b, 216b)의 배치가 상하 반대로 되어 있는 점이다. 즉, 제6 실시 형태의 홀더(211B) 및 홀더 유닛(210B)에서는, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)는 스크라이빙 휠(212)의 하방에, 광폭부(214b)가 스크라이빙 휠(212)의 상방에 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)가 스크라이빙 휠(212)의 하방에, 협폭부(215b, 216b)가 스크라이빙 휠(212)의 상방에 형성되어 있다. 또한, 홀더(211B)의 지지부(215, 216)에 있어서의 광폭부(215a, 216a)와 협폭부(215b, 216b) 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.The holder 211B and the holder unit 210B of the sixth embodiment are different from the holder 211 and the holder unit 210 of the fourth embodiment in the narrow width portion 214a of the holding groove 214. And the arrangement of the wide portions 214b, the wide portions 215a and 216a and the narrow portions 215b and 216b of the support portions 215 and 216 accompanying them. That is, in the holder 211B and the holder unit 210B of the sixth embodiment, the narrow portion 214a of the holding groove 214 has a wide portion 214b under the scribing wheel 212. It is formed above the scribing wheel 212, and the wide part 215a, 216a of the support part 215, 216 has the narrow part 215b, 216b below the scribing wheel 212 with it. It is formed above the scribing wheel 212. Moreover, between the wide part 215a, 216a and narrow part 215b, 216b in the support part 215, 216 of the holder 211B is formed in step shape.

이 경우에 있어서도, 홀더(211B)의 지지부(215, 216)의 서로 대향하는 면, 즉, 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(215b, 216b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(211B)의 지지부(215, 216)에 있어서의 협폭부(215b, 216b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(217, 218)이 동축에 형성되어 있고, 핀(219)은 홀더(211B)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(211B)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 상측과 핀(219)의 상측 사이에는 간극(220)이 형성되어 있다.Also in this case, the surfaces of the support portions 215 and 216 of the holder 211B that face each other, that is, the surfaces of the wide portions 215a and 216a that face each other and the surfaces of the narrow portions 215b and 216b that face each other, are , All are formed in parallel. In the narrow portions 215b and 216b of the support portions 215 and 216 of the holder 211B, pin holes 217 and 218 are respectively formed coaxially, and the pin 219 is formed of a holder ( It is attached so that it may not contact with the wide part 215a, 216a of the support part 215, 216 of 211B. Therefore, the clearance gap 220 is formed between the upper side of the wide part 215a, 216a of the support part 215, 216 of the holder 211B, and the upper side of the fin 219.

이러한 구성의 제6 실시 형태의 홀더(211B) 및 홀더 유닛(210B)에 따르면, 제4 실시 형태의 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)에 비하면, 스크라이빙 휠(212)과 지지부(215, 216) 사이의 접촉 면적이 적어지고, 또한 스크라이빙 휠(212)의 장착이 용이해진다고 하는 효과도 발휘되게 된다.According to the holder 211B and the holder unit 210B of the sixth embodiment of such a configuration, compared to the holder 211 and the holder unit 210 of the fourth embodiment, the scribing wheel 212 and the support portion 215 And 216, the contact area between them becomes small, and the effect that attachment of the scribing wheel 212 becomes easy is also exhibited.

즉, 스크라이빙 휠(212)의 장착시에는, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)에 스크라이빙 휠(212)의 일부를 삽입하고, 핀(219)을 지지부(216)의 관통 구멍(218), 스크라이빙 휠(212)의 관통 구멍, 지지부(215)의 관통 구멍(217)에 차례로 통과시키게 된다. 그러나, 제4 실시 형태의 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)에서는, 협폭부(214a)가 홀더(211)의 내부에 있기 때문에 스크라이빙 휠(212)을 고정하기 어렵고, 스크라이빙 휠(212)의 외경이 작아지면 그 장착이 어려워진다. 그것에 반해, 제6 실시 형태의 홀더(211B) 및 홀더 유닛(210B)에 따르면, 절단 단부측에 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)가 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠(212)의 장착시에 홀더(211B)의 하단부에 위치하는 협폭부(214a)에서 스크라이빙 휠(212)을 보유 지지하여 핀(219)을 삽입할 수 있으므로, 스크라이빙 휠(212)의 장착 및 교환이 용이해진다.That is, when the scribing wheel 212 is mounted, a part of the scribing wheel 212 is inserted into the narrow portion 214a of the holding groove 214, and the pin 219 is inserted into the support portion 216. The through hole 218, the through hole of the scribing wheel 212, and the through hole 217 of the support part 215 are sequentially passed through. However, in the holder 211 and the holder unit 210 of the fourth embodiment, since the narrow portion 214a is inside the holder 211, it is difficult to fix the scribing wheel 212, and the scribing wheel If the outer diameter of 212 becomes small, the mounting becomes difficult. On the other hand, according to the holder 211B and the holder unit 210B of 6th Embodiment, since the narrow part 214a of the holding | maintenance groove 214 is formed in the cutting edge side, the scribing wheel 212 is provided. Since the pin 219 can be inserted by holding the scribing wheel 212 at the narrow portion 214a positioned at the lower end of the holder 211B, the scribing wheel 212 can be mounted. Exchange becomes easy.

또한, 가령 스크라이브시에 컬릿이 발생하고, 이 컬릿이 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)와 스크라이빙 휠(212) 사이에 침입해도, 홀더(211B)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 상측과 핀(219) 사이에 형성되어 있는 간극(220) 및 핀(219)과 보유 지지 홈(214)의 광폭부(214b)의 사이에 형성되는 공간의 존재로 인해 용이하게 배출되기 때문에, 스크라이빙 휠(212)의 회전성이 손상되는 것이 억제된다.Further, even if a cullet is generated during scribing, and the cullet penetrates between the narrow portion 214a of the holding groove 214 and the scribing wheel 212, the supporting portions 215 and 216 of the holder 211B are also provided. Presence of a gap formed between the upper portions of the wide portions 215a and 216a and the fins 219 between the fins 219 and the wide portions 214b of the holding grooves 214. Due to the easy discharge, the impairment of the rotation of the scribing wheel 212 is suppressed.

이상과 같은 제4 내지 제6 실시 형태에 나타낸 홀더 및 홀더 유닛은, 제1 내지 제3 실시 형태와 마찬가지로, 스크라이브 장치에 구비되어 있는 스크라이브 헤드에 장착됨으로써, 취성 재료 기판에 대해 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 또한, 제4 내지 제6 실시 형태에 나타낸 홀더 및 홀더 유닛은, 취성 재료 기판을 손으로 자르기 위한 취성 재료 절단용 커터에 장착할 수도 있다. 또한, 제4 내지 제6 실시 형태에 나타낸 홀더는, 지지부의 내벽에 제1 내지 제4 실시예에 나타낸 홈을 적용하는 것도 가능하다.Like the first to third embodiments, the holders and the holder units shown in the above fourth to sixth embodiments are attached to the scribe heads provided in the scribing apparatus, thereby forming a scribe line with respect to the brittle material substrate. Can be. Moreover, the holder and holder unit shown to 4th-6th embodiment can also be attached to the brittle material cutting cutter for cutting | disconnecting a brittle material board | substrate by hand. Moreover, the holder shown to 4th-6th embodiment can also apply the groove | channel shown to 1st-4th Example to the inner wall of a support part.

이와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 홀더의 내벽의 스크라이빙 휠의 측면과 대향하는 위치에 오목부를 형성해 둠으로써, 내벽과 스크라이빙 휠의 측면 사이에 진입하는 이물질에 의한 회전 불량의 발생을 저감시킬 수 있게 된다.As described above, in the present embodiment, the recess is formed at a position opposite to the side surface of the scribing wheel on the inner wall of the holder, thereby preventing the occurrence of rotation failure due to the foreign matter entering between the inner wall and the side surface of the scribing wheel. It can be reduced.

또한, 상술한 실시 형태에 있어서는, 오목부의 일례인 홈에 대해, 홈이 핀 구멍보다도 상방에 형성된 것만을 나타냈지만, 핀 구멍보다도 하방에 형성되어 있어도 마찬가지의 효과를 발휘할 수 있고, 또한 홈이 핀 구멍에 접하도록 형성되어 있어도 상관없다. 또한, 상술한 실시예에 있어서는, 홈의 형상이 원호 형상인 것만을 나타냈지만, 그 밖의 곡선이나 직선 형상이어도 상관없다.In addition, in the above-mentioned embodiment, only the groove was formed above the pin hole with respect to the groove, which is an example of the recess, but the same effect can be obtained even when the groove is formed below the pin hole, and the groove is also a pin. It may be formed in contact with the hole. In addition, in the above-mentioned embodiment, although only the shape of the groove was arc-shaped, it may be other curved or linear shape.

또한, 상술한 스크라이브 장치(10)는, 취성 재료 기판(17)의 상부에 스크라이브 헤드(21)가 위치하고 있는 것이었지만, 취성 재료 기판(17)의 하부에도 스크라이브 헤드가 위치하고 있고, 취성 재료 기판(17)의 상하 양면으로부터 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치여도 상관없다. 이와 같이 취성 재료 기판(17)의 상하 양면으로부터 스크라이빙 라인을 형성할 수 있는 구성으로 함으로써, 분단 공정의 작업 효율을 높일 수 있다.In addition, although the scribe head 21 was located in the upper part of the brittle material board | substrate 17 in the above-mentioned scribe apparatus 10, the scribe head is located also in the lower part of the brittle material board | substrate 17, and the brittle material board | substrate ( The scribing apparatus which forms a scribe line from the upper and lower surfaces of 17) may be sufficient. Thus, by setting it as the structure which can form a scribing line from the upper and lower surfaces of the brittle material board | substrate 17, the work efficiency of a dividing process can be improved.

10 : 스크라이브 장치
21 : 스크라이브 헤드
23 : 홀더 조인트
40, 40a 내지 40i, 140, 211, 211A, 211B : 홀더
42, 144, 214 : 보유 지지 홈
45a, 45b : 내벽
46, 47a, 47b, 47c, 48a, 48b, 48c, 49a, 49b : 홈
50, 150, 212 : 스크라이빙 휠
52a, 52b, 151a, 151b : 측면
210, 210A, 210B : 홀더 유닛
10: scribe device
21: scribe head
23: holder joint
Holder: 40, 40a to 40i, 140, 211, 211A, 211B
42, 144, 214: holding groove
45a, 45b: inner wall
46, 47a, 47b, 47c, 48a, 48b, 48c, 49a, 49b: home
50, 150, 212: Scribing Wheel
52a, 52b, 151a, 151b: side
210, 210A, 210B: Holder Unit

Claims (14)

디스크 형상이며 중심에 관통 구멍이 형성된 스크라이빙 휠을, 상기 관통 구멍에 회전 가능하게 삽입되는 핀에 의해, 회전 가능하게 보유 지지하기 위한 홀더이며,
상기 홀더는,
상기 스크라이빙 휠을 보유 지지하는 보유 지지 홈과,
상기 보유 지지 홈에 의해 형성되고, 서로 대향하는 내벽을 갖는 한 쌍의 지지부와,
상기 한 쌍의 지지부에 형성되고, 상기 핀이 삽입되는 한 쌍의 핀 구멍을 갖고,
상기 지지부의 내벽의 상기 스크라이빙 휠의 측면에 대향하는 위치에, 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.
A holder for rotatably holding a scribing wheel having a disk shape and a through hole formed in the center thereof by a pin inserted rotatably into the through hole,
Wherein the holder comprises:
A holding groove for holding the scribing wheel;
A pair of supporting portions formed by the holding grooves and having inner walls facing each other;
A pair of pin holes formed in the pair of supporting portions and into which the pin is inserted;
A holder, characterized in that a recess is formed at a position opposite to the side surface of the scribing wheel on the inner wall of the support.
제1항에 있어서, 상기 오목부는, 상기 지지부의 내벽에 상기 핀 구멍에 접하지 않도록 형성된 홈인 것을 특징으로 하는, 홀더.The holder according to claim 1, wherein the recess is a groove formed on the inner wall of the support so as not to contact the pin hole. 제2항에 있어서, 상기 홈은, 상기 스크라이빙 휠의 측면과 대향하지 않는 위치까지 연장되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.The holder according to claim 2, wherein the groove extends to a position not facing the side surface of the scribing wheel. 제2항에 있어서, 상기 홈은, 상기 보유 지지 홈의 단부까지 연장되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.The holder according to claim 2, wherein the groove extends to an end of the holding groove. 제2항에 있어서, 상기 홈은, 복수 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.The holder according to claim 2, wherein a plurality of the grooves are formed. 제2항에 있어서, 상기 홈은, 연직 방향을 향해 신장되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.The holder according to claim 2, wherein the groove extends in the vertical direction. 제1항에 있어서, 상기 보유 지지 홈은, 상기 스크라이빙 휠의 일부가 삽입되는 협폭부와, 상기 협폭부보다도 폭이 넓은 광폭부로 이루어지고,
상기 오목부는, 상기 광폭부이고, 상기 한 쌍의 핀 구멍은, 상기 보유 지지 홈의 상기 광폭부에 대응하는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.
The said holding groove consists of a narrow part in which one part of the scribing wheel is inserted, and the wide part which is wider than the said narrow part,
The concave portion is the wide portion, and the pair of pin holes are formed at positions corresponding to the wide portion of the holding groove.
제7항에 있어서, 상기 협폭부와 상기 광폭부 사이가 단차 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.The holder according to claim 7, wherein between the narrow portion and the wide portion is formed in a stepped shape. 제7항에 있어서, 상기 보유 지지 홈의 협폭부는, 상기 핀의 축에 대해, 상기 홀더의 절단 단부측과는 반대측에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.The holder according to claim 7, wherein the narrow width portion of the holding groove is formed on the side opposite to the cut end side of the holder with respect to the axis of the pin. 제7항에 있어서, 상기 보유 지지 홈의 협폭부는, 상기 핀의 축에 대해, 상기 홀더의 절단 단부측과는 반대측과, 좌우의 한쪽에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.The holder according to claim 7, wherein the narrow width portion of the holding groove is formed on the side opposite to the cut end side of the holder and on one of the left and right sides with respect to the axis of the pin. 제7항에 있어서, 상기 보유 지지 홈의 협폭부는, 상기 핀의 축에 대해, 상기 홀더의 절단 단부측에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.The holder according to claim 7, wherein the narrow width portion of the holding groove is formed on the cut end side of the holder with respect to the axis of the pin. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 홀더와,
디스크 형상이며, 원주부를 따라 경사면과 능선으로 이루어지는 날을 갖고, 중심에 관통 구멍이 형성된 스크라이빙 휠과,
상기 관통 구멍에 회전 가능하게 삽입되는 핀을 구비하고,
상기 홀더의 보유 지지 홈에 상기 스크라이빙 휠이 보유 지지되고, 상기 핀이 상기 관통 구멍과 상기 핀 구멍에 삽입되어 상기 지지부에 있어서 보유 지지되는 것을 특징으로 하는, 홀더 유닛.
The holder according to any one of claims 1 to 11,
A scribing wheel having a disk shape and having a blade formed of an inclined surface and a ridge along the circumference and having a through hole formed at the center thereof;
A pin rotatably inserted into the through hole,
And the scribing wheel is held in a holding groove of the holder, and the pin is inserted into the through hole and the pin hole to be held at the support portion.
제12항에 기재된 홀더 유닛과,
상기 홀더 유닛이 장착된 스크라이브 헤드를 구비하는, 스크라이브 장치.
The holder unit according to claim 12,
And a scribe head to which the holder unit is mounted.
제13항에 있어서, 상기 스크라이브 헤드는, 상기 홀더 유닛을 착탈 가능한 홀더 조인트를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.The scribing apparatus according to claim 13, wherein the scribe head includes a holder joint detachable from the holder unit.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6331701B2 (en) * 2014-05-29 2018-05-30 三星ダイヤモンド工業株式会社 Tool holder and groove processing device
JP6424652B2 (en) * 2015-02-02 2018-11-21 三星ダイヤモンド工業株式会社 Holder, holder unit and scribing device
KR102124118B1 (en) * 2018-09-05 2020-06-17 김멋진 Scribing Holder Unit
CN114590993A (en) * 2020-12-07 2022-06-07 洛阳维路智能设备有限公司 Operation method of glass slicing device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6150735U (en) * 1984-09-08 1986-04-05
JPH044028U (en) * 1990-04-24 1992-01-14
JP2008094635A (en) * 2006-10-06 2008-04-24 Citizen Seimitsu Co Ltd Cutter holder unit and scribing device equipped with the cutter holder unit
JP2010000744A (en) * 2008-06-23 2010-01-07 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd Holder joint, holder unit, scribing head, and scribing device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4948725B2 (en) * 2000-12-05 2012-06-06 三星ダイヤモンド工業株式会社 Chip holder
KR101242236B1 (en) * 2005-12-01 2013-03-11 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 Tip holder
JP5332344B2 (en) * 2008-06-30 2013-11-06 三星ダイヤモンド工業株式会社 Chip holder and holder unit
JP5504631B2 (en) * 2009-01-07 2014-05-28 三星ダイヤモンド工業株式会社 Cutter device and cutter holder
TWI435851B (en) * 2009-10-29 2014-05-01 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd Cutter wheel holder unit
JP5257323B2 (en) * 2009-10-29 2013-08-07 三星ダイヤモンド工業株式会社 Chip holder unit

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6150735U (en) * 1984-09-08 1986-04-05
JPH044028U (en) * 1990-04-24 1992-01-14
JP2008094635A (en) * 2006-10-06 2008-04-24 Citizen Seimitsu Co Ltd Cutter holder unit and scribing device equipped with the cutter holder unit
JP2010000744A (en) * 2008-06-23 2010-01-07 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd Holder joint, holder unit, scribing head, and scribing device

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