KR101381055B1 - Holder, Holder Unit, and Scribe Device - Google Patents
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Abstract
본 발명의 과제는, 스크라이빙 휠용 홀더에 있어서, 보유 지지 홈의 내벽과 스크라이빙 휠 사이로의 이물질 진입에 의한 스크라이빙 휠의 회전 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있는 스크라이빙 휠용 홀더 및 스크라이브 장치를 제공하는 것이다.
스크라이빙 휠(50)을 보유 지지하는 보유 지지 홈(42)을 구비한 홀더(40a)에 있어서, 보유 지지 홈(42)의 내벽에 홈(46)을 형성해 둔다. 이에 의해, 진입해 온 이물질이 홈(46)을 통해 배출되기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 방지할 수 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is a holder for a scribing wheel, in which the rotation of the scribing wheel can be prevented from occurring due to foreign matter entering between the inner wall of the holding groove and the scribing wheel. And a scribe device.
In the holder 40a provided with the holding groove 42 for holding the scribing wheel 50, the groove 46 is formed in the inner wall of the holding groove 42. Thereby, since the foreign matter which has entered is discharged | emitted through the groove | channel 46, the rotation defect of the scribing wheel 50 can be prevented.
Description
본 발명은, 글래스 기판, 세라믹스 기판, 실리콘 기판 등의 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠을 보유 지지하기 위한 홀더, 스크라이빙 휠을 구비한 홀더 유닛 및 이 홀더 유닛을 구비한 스크라이브 장치에 관한 것이다.The present invention provides a holder for holding a scribing wheel for forming a scribe line on a brittle material substrate such as a glass substrate, a ceramic substrate, a silicon substrate, a holder unit having a scribing wheel, and the holder unit. It relates to a scribe device.
종래, 액정 표시 패널이나 유기 일렉트로 루미네센스(EL) 패널 등의 플랫 디스플레이 패널, 태양 전지 등의 제조 공정에서는, 머더 글래스 기판 등의 취성 재료 기판의 분단 공정이 마련되어 있다. 이 분단 공정에서는, 통상 스크라이브 장치가 사용되고 있다. 그리고 분단 공정에서는, 이 스크라이브 장치에 구비된 스크라이빙 휠에 취성 재료 기판의 재질이나 두께 등의 여러 조건에 적합한 하중을 부하하면서, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판의 표면 상을 구름 이동시켜 스크라이브 라인을 형성하고, 취성 재료 기판에 소정의 힘을 부하함으로써 취성 재료 기판을 스크라이브 라인을 따라 분단하여, 개개의 패널이나 각종 기판을 제조하고 있다.Conventionally, in the manufacturing processes of flat display panels, such as a liquid crystal display panel and an organic electroluminescent (EL) panel, a solar cell, etc., the division | segmentation process of brittle material substrates, such as a mother glass substrate, is provided. In this dividing step, a scribing apparatus is usually used. In the dividing step, the scribing wheel is rolled on the surface of the brittle material substrate while scribing the scribing wheel included in the scribing apparatus while loading a load suitable for various conditions such as the material and thickness of the brittle material substrate. By forming a line and loading a predetermined force on the brittle material substrate, the brittle material substrate is divided along the scribe line to manufacture individual panels and various substrates.
이 스크라이브 장치로서는, 예를 들어 하기 특허문헌 1에 개시되어 있는 것이 알려져 있다. 특허문헌 1에 기재되어 있는 스크라이브 장치는, 취성 재료 기판이 적재되는 테이블을 걸치도록 가설된 브리지에, 이동 가능한 스크라이브 헤드가 장착되어 있고, 이 스크라이브 헤드에 스크라이빙 휠을 보유 지지하고 있는 홀더가 장착되어 있다.As this scribe apparatus, what is disclosed by following patent document 1 is known, for example. In the scribe device described in Patent Document 1, a movable scribe head is attached to a bridge that is arranged to span a table on which a brittle material substrate is mounted, and a holder holding a scribing wheel on the scribe head is provided. It is installed.
그리고, 이 스크라이빙 휠용의 홀더는, 선단에 2개의 지지부를 갖고, 이 2개의 지지부 사이의 보유 지지 홈에 스크라이빙 휠을 회전 가능하게 보유 지지하는 구성으로 되어 있다.The holder for the scribing wheel has two support portions at the tip, and is configured to rotatably hold the scribing wheel in the holding groove between the two support portions.
이 보유 지지 홈에 보유 지지된 스크라이빙 휠과 보유 지지 홈의 내벽 사이에, 분단 공정에서 발생한 미소한 컬릿 등의 이물질이 들어가 버려, 스크라이빙 휠과 내벽 사이에 이물질이 끼인 상태에서 스크라이빙 휠이 회전함으로써, 스크라이빙 휠의 회전 불량이 발생한다고 하는 문제가 있었다.Between the scribing wheel held in the holding groove and the inner wall of the holding groove, foreign matter such as a fine cullet generated in the dividing step enters, and the scribing wheel is stuck between the scribing wheel and the inner wall. When the ice wheel rotates, there is a problem that a rotational failure of the scribing wheel occurs.
즉, 홀더에 스크라이빙 휠이 보유 지지되어 있는 홀더 유닛에 있어서는, 보유 지지 홈 내에 있어서의 스크라이빙 휠의 측벽면과 홀더의 지지부의 접촉 면적이 크게 되어 있기 때문에, 예를 들어 글래스 기판의 스크라이브시에 발생한 컬릿이 스크라이빙 휠의 측벽면과 홀더의 지지부의 내벽 사이에 말려들어가고, 이 말려들어간 컬릿에 의해 스크라이빙 휠의 회전 불량을 일으키는 경향이 있다.That is, in the holder unit in which the scribing wheel is held in the holder, since the contact area of the side wall surface of the scribing wheel and the support of the holder in the holding groove is large, for example, The cullets generated at the time of scribing are curled between the side wall surface of the scribing wheel and the inner wall of the support of the holder, and this curled curl tends to cause a poor rotation of the scribing wheel.
또한, 스크라이빙 휠의 측벽면과 홀더의 내벽 사이에 말려들어간 컬릿이 다량이 되면, 스크라이빙 휠의 회전성이 보다 악화되어, 스크라이브시에 날끝이 글래스 기판의 표면을 미끄러지기 때문에, 날끝 수명이 짧아지는 것이 우려된다. 또한, 홀더의 지지부와 핀의 접촉 면적이 크기 때문에 마찰 저항이 커, 스크라이브 중에 핀이 회전하거나, 회전하지 않는 경우가 있고, 이에 의해 글래스에의 절단 하중이 불균일해져, 글래스 단부면 강도의 저하나 글래스 파단 강도의 편차의 요인으로 되는 경우가 있다.In addition, when a large amount of curl is curled between the side wall surface of the scribing wheel and the inner wall of the holder, the rotation of the scribing wheel is further deteriorated, and the blade tip slides the surface of the glass substrate during scribing. It is feared that the life will be shortened. In addition, since the contact area between the support portion of the holder and the pin is large, the frictional resistance is large, and the pin may or may not rotate during scribing, resulting in uneven cutting load on the glass, resulting in a decrease in the strength of the glass end face. It may become a factor of the deviation of glass breaking strength.
따라서, 본 발명자는, 이 문제를 해소하기 위해 다양한 검토를 거듭한 결과, 디스크 형상의 스크라이빙 휠을 회전 가능하게 보유 지지하는 보유 지지 홈을 구비한 스크라이빙 휠용 홀더에 있어서, 보유 지지 홈의 내벽의 스크라이빙 휠의 측면과 대향하는 위치에 오목부를 형성해 둠으로써, 이 문제를 해소할 수 있는 것에 상도하고, 본 발명을 완성하는 것에 이른 것이다.Accordingly, the inventors of the present invention have repeatedly conducted various studies to solve this problem. As a result, the present invention has a holding groove for a scribing wheel holder having a holding groove for rotatably holding a disk-shaped scribing wheel. By providing a recessed portion at a position opposite to the side surface of the scribing wheel on the inner wall of the upper surface, the problem can be solved and the present invention can be completed.
즉, 본 발명은 상기 문제를 해소하는 것을 과제로 하고, 스크라이빙 휠용 홀더에 있어서, 보유 지지 홈의 내벽과 스크라이빙 휠 사이에의 이물질 진입에 의한 스크라이빙 휠의 회전 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있는 홀더, 스크라이빙 휠을 구비한 홀더 유닛 및 이 홀더 유닛을 구비한 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.That is, this invention makes it a subject to solve the said problem, and in the holder for a scribing wheel, the rotation defect of the scribing wheel which arises by the foreign material entering between the inner wall of a holding groove and the scribing wheel arises. It is an object of the present invention to provide a holder which can prevent the damage, a holder unit having a scribing wheel, and a scribe device having the holder unit.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 형태는, 디스크 형상이며 중심에 관통 구멍이 형성된 스크라이빙 휠을, 상기 관통 구멍에 회전 가능하게 삽입되는 핀에 의해, 회전 가능하게 보유 지지하기 위한 홀더이며, 상기 홀더는, 상기 스크라이빙 휠을 보유 지지하는 보유 지지 홈과, 상기 보유 지지 홈에 의해 형성되고, 서로 대향하는 내벽을 갖는 한 쌍의 지지부와, 상기 한 쌍의 지지부에 형성되고, 상기 핀이 삽입되는 한 쌍의 핀 구멍을 갖고, 상기 지지부의 내벽의 상기 스크라이빙 휠의 측면에 대향하는 부분에, 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an aspect of the present invention is a holder for rotatably holding a scribing wheel having a disk shape and a through hole formed in the center thereof by a pin rotatably inserted into the through hole. And the holder is formed by a holding groove holding the scribing wheel, a pair of supporting portions formed by the holding grooves and having inner walls facing each other, and the pair of supporting portions, It has a pair of pin holes into which a pin is inserted, and the recessed part is formed in the part which opposes the side surface of the said scribing wheel of the inner wall of the said support part.
본 발명의 홀더에 따르면, 홀더는 지지부의 내벽의 상기 스크라이빙 휠의 측면에 대향하는 부분에 오목부가 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠을 보유 지지한 경우, 스크라이빙 휠의 측면과 지지부 사이에 공간을 확보할 수 있어, 내벽과 스크라이빙 휠의 측면 사이에 침입하는 이물질에 의한 회전 불량의 발생을 저감시킬 수 있다.According to the holder of the present invention, since the holder is formed with a recess in a portion of the inner wall of the support portion that faces the side of the scribing wheel, the side and the support of the scribing wheel are supported when the scribing wheel is held. A space can be secured in between, and the occurrence of rotation failure due to foreign matter invading between the inner wall and the side surface of the scribing wheel can be reduced.
또한, 본 발명의 홀더의 형태는, 상기 오목부는, 상기 지지부의 내벽에 상기 핀 구멍에 접하지 않도록 형성된 홈인 것을 특징으로 한다.Moreover, the form of the holder of this invention is characterized in that the said recessed part is a groove | channel formed in the inner wall of the said support part so that it may not contact the said pinhole.
본 발명의 홀더에 따르면, 홀더는, 지지부의 내벽에 핀 구멍에 접하지 않도록 홈이 형성되어 있기 때문에, 내벽과 스크라이빙 휠 사이에 컬릿 등의 이물질이 침입하였다고 해도, 홈에 이물질이 쌓이므로, 스크라이빙 휠의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.According to the holder of the present invention, since the groove is formed in the inner wall of the support so as not to contact the pin hole, even if foreign matter such as a cullet enters between the inner wall and the scribing wheel, the foreign matter accumulates in the groove. The rotation failure of the scribing wheel can be reduced.
또한, 본 발명의 홀더의 형태는, 상기 보유 지지 홈이, 상기 스크라이빙 휠의 일부가 삽입되는 협폭부와, 상기 협폭부보다도 폭이 넓은 광폭부로 이루어지고, 상기 오목부는, 상기 광폭부이고, 상기 한 쌍의 핀 구멍은, 상기 보유 지지 홈의 상기 광폭부에 대응하는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In the form of the holder of the present invention, the holding groove includes a narrow portion into which a part of the scribing wheel is inserted, and a wide portion wider than the narrow portion, and the concave portion is the wide portion. And the pair of pin holes are formed at positions corresponding to the wide portions of the holding grooves.
본 발명의 홀더에 따르면, 보유 지지 홈의 광폭부에서는 스크라이빙 휠의 측벽면은 홀더의 지지부와 접촉하는 일이 없다. 그로 인해, 보유 지지 홈의 협폭부 내에 삽입되어 있는 스크라이빙 휠의 측벽면과 홀더의 지지부 사이의 접촉 면적이 종래의 홀더의 경우보다도 작게 되어 있으므로, 스크라이빙 휠과 홀더의 지지부 사이의 마찰 저항이 작아져, 스크라이빙 휠이 회전하기 쉬워진다. 또한, 본 발명의 홀더에 따르면, 스크라이브시에 스크라이빙 휠 및 핀의 회전성이 양호해지므로, 스크라이브시에 스크라이빙 휠의 날끝이 피(被)스크라이브 기판의 표면을 미끄러지는 현상이 발생하기 어렵지 않게 되어, 날끝 수명이 길어지는 동시에 스크라이브 후의 피스크라이브 기판의 단부면 강도의 저하나 파단 강도의 편차가 억제된다.According to the holder of the present invention, in the wide portion of the holding groove, the side wall surface of the scribing wheel does not come into contact with the holder of the holder. Therefore, since the contact area between the side wall surface of the scribing wheel inserted into the narrow part of the holding groove and the support of the holder is smaller than that of the conventional holder, the friction between the scribing wheel and the support of the holder is reduced. The resistance becomes small, and the scribing wheel is easy to rotate. In addition, according to the holder of the present invention, the rotation of the scribing wheel and the pin is improved at the time of scribing, so that the edge of the scribing wheel slides the surface of the scribed substrate during scribing. It becomes difficult to do so, and a blade edge life becomes long, and the fall of the end surface strength of a scribed board | substrate after scribing, and the variation of a breaking strength are suppressed.
또한, 본 발명의 홀더에 따르면, 한 쌍의 지지부에 각각 형성된 한 쌍의 핀 구멍은 보유 지지 홈의 광폭부에 대응하는 위치에 형성되어 있기 때문에, 보유 지지 홈의 광폭부에 있어서 핀의 주위에 공간이 생기므로, 예를 들어 스크라이브시에 컬릿이 발생하고, 이 컬릿이 홀더 홈의 협폭부로 진입해도 용이하게 배출된다.Further, according to the holder of the present invention, since the pair of pin holes respectively formed in the pair of support portions are formed at positions corresponding to the wide portions of the holding grooves, the pins are arranged around the fins in the wide portions of the holding grooves. Since a space is generated, for example, a cullet is generated during scribing, and the cullet is easily discharged even when entering the narrow portion of the holder groove.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 형태는, 상기 형태에 기재된 홀더와, 디스크 형상이며, 원주부를 따라 경사면과 능선으로 이루어지는 날을 갖고, 중심에 관통 구멍이 형성된 스크라이빙 휠과, 상기 관통 구멍에 회전 가능하게 삽입되는 핀을 구비하고, 상기 홀더의 보유 지지 홈에 상기 스크라이빙 휠이 보유 지지되고, 상기 핀이 상기 관통 구멍과 상기 핀 구멍에 삽입되어 상기 지지부에 있어서 보유 지지되는 것을 특징으로 하는 홀더 유닛이다.Moreover, in order to achieve the said objective, the aspect of this invention is the holder described in the said aspect, the disk shape, the scribing wheel which has the blade which consists of the inclined surface and ridgeline along the circumference, and the through-hole was formed in the center, And a pin that is rotatably inserted into the through hole, wherein the scribing wheel is held in the holding groove of the holder, and the pin is inserted into the through hole and the pin hole and held in the support part. It is a holder unit, characterized in that supported.
본 발명의 홀더 유닛에 따르면, 홀더는 지지부의 내벽의 상기 스크라이빙 휠의 측면에 대향하는 부분에 오목부가 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠의 측면과 지지부 사이에 공간을 확보할 수 있어, 내벽과 스크라이빙 휠의 측면 사이에 침입하는 이물질에 의한 회전 불량의 발생을 저감시킬 수 있다.According to the holder unit of the present invention, since the recess is formed in a portion of the holder that faces the side of the scribing wheel on the inner wall of the support, a space can be secured between the side of the scribing wheel and the support, It is possible to reduce the occurrence of rotational failure caused by foreign matter invading between the inner wall and the side surface of the scribing wheel.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 형태는, 상기 형태에 기재된 홀더 유닛과, 상기 홀더 유닛이 장착된 스크라이브 헤드를 구비하는 스크라이브 장치이다.Moreover, in order to achieve the said objective, the aspect of this invention is a scribe apparatus provided with the holder unit as described in the said aspect, and the scribe head in which the said holder unit was attached.
본 발명의 스크라이브 장치에 따르면, 홀더는 지지부의 내벽에 오목부가 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠의 측면과 지지부 사이에 공간을 확보할 수 있어, 내벽과 스크라이빙 휠의 측면 사이에 침입하는 이물질에 의한 회전 불량의 발생을 저감시킬 수 있다.According to the scribing apparatus of the present invention, since the holder has a recess formed in the inner wall of the support portion, a space can be secured between the side surface of the scribing wheel and the support portion, so that the holder penetrates between the inner wall and the side surface of the scribing wheel. It is possible to reduce the occurrence of rotation failure due to foreign matter.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 형태는, 상기 형태의 스크라이브 장치이며, 스크라이브 헤드는, 상기 홀더 유닛을 착탈 가능한 홀더 조인트를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.Moreover, in order to achieve the said objective, the aspect of this invention is a scribe apparatus of the said aspect, A scribe head is provided with the holder joint which can attach / detach the said holder unit, It is characterized by the above-mentioned.
본 발명의 스크라이브 장치에 따르면, 스크라이브 장치는, 홀더 유닛을 착탈 가능한 홀더 조인트를 구비하고 있기 때문에, 스크라이빙 휠을 교환할 때에, 홀더 유닛째 교환할 수 있으므로, 교환 작업을 용이하게 행할 수 있다.According to the scribing apparatus of the present invention, since the scribing apparatus includes a holder joint detachable from the holder unit, the holder unit can be replaced when the scribing wheel is replaced, so that the replacement operation can be easily performed. .
도 1은 제1 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치의 개략도.
도 2는 제1 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛이 장착된 홀더 조인트의 정면도.
도 3은 제1 실시 형태에 있어서의 홀더 유닛의 사시도.
도 4는 제1 실시예의 홀더 유닛의 단면도.
도 5는 제2 실시예의 홀더 유닛의 단면도.
도 6은 제3 실시예의 홀더 유닛의 단면도.
도 7은 제4 실시예의 홀더 유닛의 단면도.
도 8은 제5 실시예의 홀더 유닛의 사시도.
도 9는 제5 실시예의 홀더 유닛의 단면도.
도 10은 제6 실시예의 홀더 유닛의 사시도와 단면도.
도 11은 제7 실시예의 홀더 유닛의 사시도와 단면도.
도 12는 제8 실시예의 홀더 유닛의 사시도와 단면도.
도 13은 제2 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도.
도 14는 제3 실시 형태의 홀더 유닛의 정면도.
도 15는 제4 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도.
도 16은 제4 실시 형태의 홀더 유닛의 정면도와 확대도.
도 17은 제5 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도.
도 18은 제5 실시 형태의 홀더 유닛의 정면도와 확대도.
도 19는 제6 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도.
도 20은 제6 실시 형태의 홀더 유닛의 정면도와 확대도.1 is a schematic diagram of a scribing apparatus according to a first embodiment.
2 is a front view of a holder joint to which the holder unit in the first embodiment is mounted.
3 is a perspective view of a holder unit in the first embodiment;
4 is a cross-sectional view of the holder unit of the first embodiment.
Fig. 5 is a sectional view of the holder unit of the second embodiment.
Fig. 6 is a sectional view of the holder unit of the third embodiment.
Fig. 7 is a sectional view of the holder unit of the fourth embodiment.
8 is a perspective view of a holder unit of the fifth embodiment;
9 is a sectional view of the holder unit of the fifth embodiment.
10 is a perspective view and a sectional view of the holder unit of the sixth embodiment;
11 is a perspective view and a sectional view of the holder unit of the seventh embodiment;
12 is a perspective view and a sectional view of the holder unit of the eighth embodiment;
The perspective view of the holder unit of 2nd Embodiment.
14 is a front view of the holder unit of the third embodiment.
15 is a perspective view of a holder unit of a fourth embodiment.
The front view and enlarged view of the holder unit of 4th Embodiment.
The perspective view of the holder unit of 5th Embodiment.
The front view and enlarged view of the holder unit of 5th Embodiment.
19 is a perspective view of a holder unit of a sixth embodiment;
The front view and enlarged view of the holder unit of 6th Embodiment.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 사용하여 설명한다. 단, 이하에 나타내는 실시 형태는, 본 발명의 기술 사상을 구체화하기 위한 스크라이브 장치, 홀더 유닛 및 홀더의 일례를 나타내는 것이며, 본 발명을 이 스크라이브 장치, 홀더 유닛 및 홀더에 특정하는 것을 의도하는 것은 아니고, 본 발명은 특허청구범위에 포함되는 그 밖의 실시 형태의 것에도 적용할 수 있는 것이다. 또한, 홀더에 핀에 의해 스크라이빙 휠이 보유 지지된 것을 홀더 유닛으로서 설명을 행한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, embodiment shown below shows an example of a scribing apparatus, a holder unit, and a holder for incorporating the technical idea of this invention, and does not intend to specify this invention to this scribing apparatus, a holder unit, and a holder. The present invention is also applicable to other embodiments included in the claims. In addition, the holder unit holds the scribing wheel held by the pins in the holder.
[제1 실시 형태][First Embodiment]
본 발명의 제1 실시 형태에 관한 스크라이브 장치(10)의 개략도를 도 1에 도시한다. 스크라이브 장치(10)는, 이동대(11)가 한 쌍의 안내 레일(12a, 12b)을 따라 y축 방향으로 이동 가능하게 보유 지지되어 있다. 이동대(11)는 볼 나사(13)와 나사 결합되어 있다. 이 볼 나사(13)는 모터(14)의 구동에 의해 회전하고, 이동대(11)를 안내 레일(12a, 12b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다.A schematic diagram of a
이동대(11)의 상면에는 모터(15)가 설치되어 있다. 모터(15)는 테이블(16)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 취성 재료 기판(17)은 이 테이블(16) 상에 적재되고, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 보유 지지된다. 스크라이브 장치(10)의 상부에는, 취성 재료 기판(17)의 얼라인먼트 마크를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(18)가 설치되어 있다. 그리고, 스크라이브 장치(10)에는, 이동대(11)와 그 상부의 테이블(16)을 걸치도록 브리지(19)가 x축 방향을 따라 지지 기둥(20a, 20b)에 의해 가설되어 있다.The
브리지(19)에는 가이드(22)가 장착되어 있고, 스크라이브 헤드(21)는 가이드(22)를 따라 x축 방향을 따라 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 이 스크라이브 장치(10)의 스크라이브 헤드(21)에는, 홀더 조인트(23)를 통해, 스크라이빙 휠(50)(도 2 참조)을 회전 가능하게 보유 지지되어 있는 제1 실시 형태의 홀더(40)로 이루어지는 홀더 유닛이 장착되어 있다.A
다음에, 홀더(40)를 구비하는 홀더 유닛이 장착된 홀더 조인트(23)와, 이 홀더(40)에 대해, 도 2 및 도 3을 사용하여 설명한다. 도 2는 홀더(40)를 구비하는 홀더 유닛이 장착된 홀더 조인트(23)의 정면도이다. 도 3은 홀더(40a)를 구비하는 홀더 유닛을 확대한 사시도이다.Next, the holder joint 23 in which the holder unit provided with the
홀더 조인트(23)는, 대략 원기둥 형상을 하고 있고, 회전축부(24)와, 조인트부(25)로 구성되어 있다.The holder joint 23 has a substantially cylindrical shape, and is composed of a
그리고, 스크라이브 헤드(21)에 홀더 조인트(23)가 장착된 상태에 있어서는, 이 회전축부(24)에는, 홀더 조인트(23)를 회전 가능하게 보유 지지하기 위한 2개의 베어링(26a, 26b)이 원통형의 스페이서(27)를 통해 장착된 상태로 되어 있다. 또한, 도 2에는 홀더 조인트(23)의 정면도를 도시하는 동시에, 회전축부(24)에 장착된 베어링(26a, 26b)과 스페이서(27)의 단면도를 도시하고 있다.In the state where the holder joint 23 is attached to the
원기둥형의 조인트부(25)에는, 하단부측에 원형의 개구(28)가 형성되어 있고, 이 개구의 상부에는 자석(29)이 매설되어 있다. 그리고, 이 개구(28)에는, 홀더(40)가 착탈 가능하게 장착되어 있다.In the cylindrical
이 홀더(40)는 대략 원기둥형의 금속 또는 수지로 이루어지고, 그 하단부측에는 지지부(41a, 41b)가 설치되어 있다. 또한, 도 2에서 홀더(40)의 하단부측을 확대하고 있는 도면은, 화살표 A로 나타내는 횡방향으로부터 관찰한 경우의 확대도를 도시하고 있다.The
이 지지부(41a)와 지지부(41b) 사이에, 스크라이빙 휠(50)을 보유 지지하기 위한 보유 지지 홈(42)이 형성되어 있다. 또한, 지지부(41a, 41b)에는, 스크라이빙 휠(50)을 고정하기 위해 구멍 형상의 핀 구멍(43a)이 각각 형성되어 있다. 이 핀 구멍(43a)에 핀(44)이 관통되고, 스크라이빙 휠(50)이 회전 가능하게 장착되어 있다. 이때, 지지부(41a)와 지지부(41b)의 각각의 내벽(45a, 45b)이, 스크라이빙 휠(50)의 원형 측면(52a, 52b)과 각각 대향하고 있다.A holding
이 스크라이빙 휠(50)은, 예를 들어 소결 다이아몬드로 형성되고, 휠 직경이 2.5㎜, 두께 d가 0.65㎜ 정도인 디스크형의 형상을 갖고, 원주부를 따라 경사면과 능선으로 이루어지는 수직 단면 형상 V자형의 날(51)이 형성되어 있다. 그리고, 스크라이빙 휠(50)의 2개의 원형 측면(52a, 52b)의 중심에 관통 구멍(53)이 형성되어 있다. 이 관통 구멍(53)에 앞서 서술한 핀 구멍(43a)을 관통하는 핀(44)이 관통함으로써, 보유 지지 홈(42)에 있어서 스크라이빙 휠(50)이 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 또한, 스크라이빙 휠(50)의 두께에 대해, 보유 지지 홈(42)의 간격[내벽(45a)과 내벽(45b)의 거리]은 약간 크게 되어 있고, 예를 들어 스크라이빙 휠(50)의 두께 d가 0.65㎜인 경우, 보유 지지 홈(42)의 간격은 약 0.67㎜로 되어 있다.The
홀더(40)의 상단부측에는 위치 결정용의 장착부(46)가 설치되어 있다. 이 장착부(46)는 홀더(40)를 절결하여 형성되어 있고, 경사부(46a)와 지지부(46b)를 갖고 있다. 또한, 홀더(40)의 상단부측의 적어도 일부분은 자성체 금속으로 구성되어 있다.On the upper end side of the
이 스크라이빙 휠(50)과 홀더(40)를 구비하는 홀더 유닛은, 홀더 조인트(23)의 개구(28)로, 홀더(40)의 장착부(46)측으로부터 삽입된다. 그때, 홀더(40)의 상단부측의 자성체 금속이 자석(29)에 의해 끌어 당겨지고, 장착부(46)의 경사부(46a)가, 개구(28)의 내부를 통과하는 평행 핀(30)에 접촉하여 위치 결정이 행해지고, 홀더 유닛은 홀더 조인트(23)에 고정된다. 반대로, 홀더 조인트(23)로부터 홀더 유닛을 제거할 때에는, 홀더 유닛을 하방으로 당겨 빼냄으로써 용이하게 제거할 수 있다.The holder unit including the
여기서, 스크라이빙 휠(50)은 소모품이기 때문에 정기적인 교환이 필요해진다. 본 실시 형태에 있어서는, 홀더 조인트(23)를 통해 홀더 유닛이 스크라이브 헤드(21)에 장착되어 있으므로, 홀더 유닛의 착탈을 용이하게 행할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(50)을 홀더(40)로부터 제거하거나 하는 일이 없이, 스크라이빙 휠(50)과 홀더(40)를 일체로서 취급하여, 홀더 유닛 자체를 교환하면 되기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 교환 작업을 용이하게 행할 수 있다.Here, since the
다음에, 상술한 바와 같이, 홀더(40)의 보유 지지 홈(42)에 보유 지지되어 있는 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과, 보유 지지 홈(42)의 내벽(45a, 45b) 사이에, 분단 공정에서 발생한 미소한 컬릿 등의 이물질이 들어가 버릴 우려가 있다. 따라서, 본 실시 형태에 있어서는, 보유 지지 홈(42)의 내벽(45a, 45b)에 오목부를 형성하고 있다. 이 오목부는 구체적으로는 후술하는 홈이나 광폭부 등으로 이루어지는 것이다. 따라서, 내벽(45a, 45b)과 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b) 사이에, 이물질이 들어왔다고 해도, 측면(52a, 52b)과 내벽(45a, 45b)의 접촉 면적이 작아지기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량의 발생을 저감시키고 있다. 이 보유 지지 홈(42)의 내벽(45a, 45b)에 형성되어 있는 오목부의 구체예에 대해 도면을 사용하여 설명을 행한다.Next, as described above, the side surfaces 52a and 52b of the
[제1 실시예][First Embodiment]
제1 실시예의 홀더(40a)의 단면도를 도 4에 도시한다. 또한, 도 4의 (a)는 도 3의 Ⅳa-Ⅳa선을 따른 단면도이고, 도 4의 (b)는 도 3의 Ⅳb-Ⅳb선을 따른 단면도이다. 또한, 스크라이빙 휠(50)에 대해서는 파선으로 나타내고 있다.4 is a cross-sectional view of the
홀더(40a)의 내벽(45a, 45b)에는, 오목부의 일례인 원호 형상의 홈(46)이 각각 형성되어 있다. 이 홈(46)은 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과 대향하는 위치에 형성되어 있다. 따라서, 컬릿 등의 이물질이 내벽(45a, 45b)과 측면(52a, 52b) 사이에 들어왔다고 해도, 이물질은 홈(46)에 쌓이기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 회전에 미치는 영향을 저감시킬 수 있다. 또한, 홈(46)은 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과 대향하지 않는 위치까지 연장되어 있기 때문에, 홈(46)에 쌓인 이물질은 스크라이빙 휠(50)의 회전과 함께, 측면(52a, 52b)과 대향하지 않는 위치까지 배출되어, 한층 더 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.The
그리고, 이 홈(46)은 보유 지지 홈(42)의 단부까지 연장되어 있기 때문에, 이물질을 홀더(40a) 밖으로 배출하는 것이 가능해진다. 또한, 이 홈(46)은 연직 방향 G를 향해 서서히 홈의 폭을 넓히면서 신장되어 있기 때문에, 이물질이 하방으로 향하기 쉽게 되어 있어, 보다 이물질을 배출하기 쉽게 되어 있다. 본 실시예에 있어서는, 홈(46)의 깊이는 일정하지만, 장소에 따라 홈의 깊이를 다르게 해도 된다. 예를 들어, 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과 대향하는 위치에 있어서는 가장 홈의 깊이가 깊고, 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과 대향하지 않는 위치로부터 보유 지지 홈(42)의 단부로 근접함에 따라 홈의 깊이를 얕게 함으로써, 홀더(40a)는 홈에 쌓인 이물질을 보다 배출하기 쉽게 할 수 있다.Since the
[제2 실시예][Second Embodiment]
제2 실시예의 홀더(40b)의 구성을 도 5에 도시한다. 또한, 도 5의 (a)는 도 3의 Ⅳa-Ⅳa선을 따른 단면도이고, 도 5의 (b)가 도 3의 Ⅳb-Ⅳb선을 따른 단면도이다. 또한, 스크라이빙 휠(50)에 대해서는 파선으로 나타내고 있다.The configuration of the
홀더(40b)의 내벽(45a, 45b)에는, 3개의 홈(47a, 47b, 47c)이 각각 형성되어 있다. 이 홈(47a, 47b, 47c)은 제1 실시예의 홈(46)과 마찬가지로, 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a, 52b)과 대향하는 위치로부터 대향하지 않는 위치까지 연장되어 있다. 또한, 연직 방향 G를 향해 보유 지지 홈(42)의 단부까지 연장되어 있다. 따라서, 컬릿 등의 이물질이 내벽(45a, 45b)과 측면(52a, 52b) 사이로 들어왔다고 해도, 홈(47a, 47b, 47c)을 통해 이물질을 배출할 수 있어, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.Three
또한, 이 3개의 홈(47a, 47b, 47c)은 스크라이빙 휠(50)의 곡률보다도 작은 곡선으로 되어 있고, 또한 각각의 곡률이 다르다. 이와 같이 사이즈가 다른 복수의 홈을 형성해 둠으로써, 스크라이빙 휠(50)을 다른 사이즈의 스크라이빙 휠로 변경하였다고 해도, 각 사이즈의 스크라이빙 휠(50)에 대해 적합한 위치에 홈이 위치하게 되기 때문에, 홀더(40b)는 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다. 또한, 홀더(40b)는, 홈이 복수 형성되어 있기 때문에, 이물질이 홈에 쌓일 확률이 보다 높아져, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.In addition, these three
[제3 실시예]Third Embodiment
제3 실시예의 홀더(40c)의 구성을 도 6에 도시한다. 또한, 도 6은 도 3의 Ⅳa-Ⅳa선을 따른 단면도이고, 스크라이빙 휠(50)에 대해서는 파선으로 나타내고 있다.The configuration of the
홀더(40c)의 내벽(45a)에는 3개의 홈(48a, 48b, 48c)이 각각 형성되어 있다. 이 홈(48a, 48b, 48c)은 제1 실시예의 홈(46)과 마찬가지로, 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a)과 대향하는 위치에 형성되고, 연직 방향 G를 향해 보유 지지 홈(42)의 단부까지 연장되어 있다. 따라서, 홀더(40c)는, 컬릿 등의 이물질이 내벽(45a, 45b)과 측면(52a, 52b) 사이에 들어왔다고 해도, 홈(48a, 48b, 48c)을 통해 이물질을 배출할 수 있어, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.Three
또한, 홈(48a, 48b, 48c)은 제2 실시예의 홈(46)과 마찬가지로, 복수개 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠(50)을 다른 사이즈의 스크라이빙 휠로 변경하였다고 해도, 각 사이즈의 스크라이빙 휠(50)에 대해 적합한 위치에 홈이 위치하게 되기 때문에, 홀더(40c)는 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있고, 또한 홈이 복수 형성되어 있기 때문에, 이물질이 홈에 쌓일 확률이 보다 높아져, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다. 또한, 이 홈(48a, 48b, 48c)은 스크라이빙 휠(50)의 곡률보다도 큰 곡선으로 되어 있다. 따라서, 홈에 쌓인 이물질은 연직 방향 G를 따라 보다 낙하하기 쉽게 되어 있다.In addition, since the
[제4 실시예][Fourth Embodiment]
제4 실시예의 홀더(40d)의 구성을 도 7에 도시한다. 또한, 도 7은 도 3의 Ⅳa-Ⅳa선을 따른 단면도이고, 스크라이빙 휠(50)에 대해서는 파선으로 나타내고 있다.The structure of the
홀더(40d)의 내벽(45a)에는, 2개의 홈(49a, 49b)이 각각 형성되어 있다. 홈(49a)은 제1 실시예의 홈(46)과 마찬가지로, 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a)과 대향하는 위치에 형성되고, 연직 방향 G를 향해 보유 지지 홈(42)의 단부까지 연장되어 있다. 따라서, 컬릿 등의 이물질이 내벽(45a)과 측면(52a) 사이에 들어왔다고 해도, 홈(49a)을 통해 이물질을 배출할 수 있어, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.Two
또한, 홈(49a)은 핀(44)에 대해 직교하고, 연직 방향 G로 신장되는 축에 대해 비대칭으로 형성된 홈이며, 홀더(40a)의 진행 방향 B에 있어서의 전방측에서는, 스크라이빙 휠(50)의 곡률보다도 큰 곡선으로 되어 있고, 홀더(40d)의 진행 방향 B에 있어서의 후방측에서는, 스크라이빙 휠(50)의 곡률보다도 작은 곡선으로 되어 있다. 따라서, 홀더(40d)는, 홈(49a)의 전방측에서는 홈에 쌓인 이물질을 낙하하기 쉽게 하고, 홈(49a)의 후방측에서는 홈에 쌓인 이물질을 스크라이빙 휠(50)의 외측으로 낙하하도록 하고 있다.Moreover, the
또한, 홈(49b)은 스크라이빙 휠(50)의 측면(52a)과 대향하지 않은 위치에 형성된 홈이다. 이와 같이, 스크라이빙 휠(50)의 측면과는 대향하지 않는 위치에 홈이 형성되어 있어도, 보유 지지 홈(42)에 진입해 온 이물질을, 홈(49b)을 통해 보유 지지 홈(42)의 외측으로 배출할 수 있기 때문에, 홀더(40d)는, 내벽(45a)과 측면(52a) 사이에 들어오려고 하는 이물질을 삭감할 수 있어, 스크라이빙 휠(50)의 회전 불량을 저감시킬 수 있다.In addition, the
다음에, 홀더(40a 내지 40d)와는 다른 구성의 홀더(40e 내지 40g)에 대해 설명한다. 또한, 홀더(40e 내지 40g)는, 홀더(40a 내지 40d)와 마찬가지로, 스크라이빙 휠(50)을 보유 지지한 홀더 유닛으로서, 홀더 조인트(23)에 장착할 수 있다.Next, the
[제5 실시예][Fifth Embodiment]
제5 실시예의 홀더(40e)와 스크라이빙 휠(50)로 이루어지는 홀더 유닛의 구성을 도 8, 도 9에 도시한다. 또한, 도 8의 (a)는 상방측으로부터의 홀더(40e)의 사시도이고, 도 8의 (b)는 하방측으로부터의 홀더(40e)의 사시도이다. 또한, 도 9의 (a)는 도 8의 Ⅸa-Ⅸa선을 따른 단면도이고, 도 9의 (b)는 도 8의 Ⅸb-Ⅸb선을 따른 단면도이다.The structure of the holder unit which consists of the
제5 실시예의 홀더 유닛도, 홀더(40e)의 하단부에 스크라이빙 휠(50)이 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 또한, 홀더(40e)는 상술한 바와 같이, 스크라이빙 휠(50)을 취성 재료 기판인 피스크라이빙 부재에 접촉시켜 스크라이브 라인을 형성하기 위해 사용되는 것이므로, 이하에 있어서는 홀더(40e)의 피스크라이빙 부재에 접촉시키는 측(절단 단부측)을「하측」이라 하고, 그 반대측을「상측」이라 한다.In the holder unit of the fifth embodiment, the
홀더(40e)의 하방에는, 보유 지지 홈(42)이 형성되어 있다. 그리고, 보유 지지 홈(42)은, 스크라이빙 휠(50)의 상방의 일부분이 삽입되는 협폭부(42a)와, 이 협폭부(42a)보다도 광폭으로 형성된 오목부의 일례인 광폭부(42b)로 이루어져 있다. 그로 인해, 한 쌍의 지지부(65, 66)는, 각각 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)에 대향하는 광폭부(65a, 66a)와, 보유 지지 홈(42)의 광폭부(42b)에 대향하는 협폭부(65b, 66b)를 구비하고 있다. 또한, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)에 있어서의 광폭부(65a, 66a)와 협폭부(65b, 66b) 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.The holding
또한, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(65b, 66b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)에 있어서의 협폭부(65b, 66b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(43a)이 동축에 각각 형성되어 있다. 핀 구멍(43a)은, 보유 지지 홈(42)과 수직으로 교차하고 있고, 스크라이빙 휠(50)의 핀(44)을 보유 지지하는 원형의 관통 구멍이다.In addition, the inner walls of the
그리고, 제5 실시예의 홀더 유닛에서는, 핀(44)은, 스크라이빙 휠(50)의 관통 구멍(53) 및 핀 구멍(43a)에, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 하측과 핀(44) 사이에는 간극(67)이 형성되어 있다. 또한, 핀(44)은, 예를 들어, 초경합금 등의 금속, 소결 다이아몬드로 형성된 원기둥형의 부재이며, 일단부가 끝이 뾰족한 형상을 갖고 있다.In the holder unit of the fifth embodiment, the
보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)의 간격은 스크라이빙 휠(50)의 폭보다 약간 크게 되도록 되어 있다. 스크라이빙 휠(50)의 폭은 예를 들어 약 0.65㎜이고, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)의 간격은 예를 들어 약 0.67㎜이다. 또한, 보유 지지 홈(42)의 광폭부(42b)의 간격은, 협폭부(42a)의 간격보다 넓으면 임의이다. 그러나, 핀 구멍(43a) 내에 있어서의 핀(44)의 회전시의 마찰이 작아지도록 하기 위해서는, 핀(44)을 양단부만으로 지지하여, 핀(44)이 핀 구멍(43a) 내에 위치하고 있는 부분의 길이가 짧아지도록 할 필요가 있다. 따라서, 광폭부(42b)의 간격은, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)의 간격의 2배 이상으로 하는 것이 바람직하다.The space | interval of the
한편, 지나치게 광폭부(42b)의 간격을 크게 하면, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 협폭부(65b, 66b)의 폭이 가늘어지기 때문에, 스크라이브시에 인가되는 하중에 의해, 협폭부(65b, 66b)가 휠 우려가 있는 것, 및 핀(44)이 양단부측에서 지지되게 되어, 핀(44) 자체도 휘어 버릴 우려가 발생하기 때문에, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 협폭부(65b, 66b)의 폭이 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 1/3 정도로 되도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 하측과 핀(44) 사이에 형성된 간극(67)의 간격은 임의이지만, 홀더 유닛을 소형화하기 위해서는 작은 쪽이 좋다.On the other hand, if the interval between the
이 상태의 홀더 유닛을 사용하여 글래스 기판 등의 취성 기판(17)을 스크라이브하면, 스크라이빙 휠(50)은 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 내에서 위치가 안정되기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 진행 방향에 대한 좌우의 요동이 거의 없어져, 스크라이브하였을 때의 스크라이브 라인의 직선성을 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 가령 스크라이브시에 컬릿이 발생하고, 이 컬릿이 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)와 스크라이빙 휠(50) 사이에 침입해도, 홀더(40e)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 하측과 핀(44) 사이에 형성되어 있는 간극(67) 및 핀(44)과 취성 기판(17) 사이에 형성되는 공간의 존재로 인해 용이하게 배출되기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 회전성이 손상되는 것이 억제된다.When scribing
그로 인해, 제5 실시예의 홀더 유닛에 따르면, 스크라이브시에 스크라이빙 휠(50) 및 핀(44)의 회전성이 양호해지기 때문에, 스크라이브시에 스크라이빙 휠(50)의 날끝이 피스크라이브 기판의 표면을 미끄러지는 현상이 발생하기 어렵지 않게 되어, 날끝 수명이 길어지는 동시에 스크라이브 후의 피스크라이브 기판의 단부면 강도의 저하나 파단 강도의 편차가 억제된다고 하는 우수한 효과를 발휘하게 된다.Therefore, according to the holder unit of the fifth embodiment, since the rotational properties of the
또한, 제5 실시예의 홀더 유닛에 있어서는, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)가, 스크라이빙 휠(50)의 상방의 일부분에 형성된 예를 나타냈지만, 도면에 있어서 좌우측의 일부분이 삽입되도록 형성해도 되는 것은 당연하다. 그리고, 어느 경우에 있어서도, 스크라이브시에 발생한 컬릿이 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 내에 침입하기 어려워, 스크라이빙 휠(50) 및 핀(44)의 회전성이 양호해진다.Moreover, in the holder unit of 5th Example, although the
또한, 제5 실시예의 홀더(40e)에 있어서는, 홀더(40b)의 지지부(65, 66)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(65b, 66b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있지만, 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면이 평행하게 형성되어 있으면, 협폭부(65b, 66b)의 서로 대향하는 면은 평행하지 않아도 된다. 적어도 스크라이빙 휠(50)이 접촉하는 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면이 평행하면, 스크라이빙 휠(50)이 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 내에서 위치를 안정시킬 수 있기 때문이다.In the
[제6 실시예][Sixth Embodiment]
제6 실시예의 홀더(40f)와 스크라이빙 휠(50)로 이루어지는 홀더 유닛의 구성을 도 10에 도시한다. 또한, 도 10의 (a)는 하방측으로부터의 홀더(40f)의 사시도이고, 도 10의 (b)는 반대측으로부터의 홀더(40f)의 사시도이고, 도 10의 (c)는 (a)의 X-X선을 따른 단면도이다.The structure of the holder unit which consists of the
제6 실시예의 홀더(40f) 및 홀더 유닛이 제5 실시예의 홀더(40e) 및 홀더 유닛과 구성이 다른 점은, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 및 광폭부(42b)의 구성과, 그것에 수반되는 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a) 및 협폭부(65b, 66b)의 구성이다. 즉, 제6 실시예의 홀더(40f)에서는, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)는, 스크라이빙 휠(50)의 상방의 일부분과, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 우측의 일부분이 삽입되도록 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)가, 스크라이빙 휠(50)의 상방과, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 우측에 형성되어 있다.The configuration of the
그리고, 보유 지지 홈(42)의 광폭부(42b)는, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 좌측에 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(65, 66)의 협폭부(65b, 66b)가, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 좌측에 형성되어 있다. 또한, 홀더(40c)의 지지부(65, 66)에 있어서의 광폭부(65a, 66a)와 협폭부(65b, 66b) 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.And the
이 경우에 있어서도, 홀더(40f)의 지지부(65, 66)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(65b, 66b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(40f)의 지지부(65, 66)에 있어서의 협폭부(65b, 66b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(43a)이 동축에 형성되어 있고, 핀(44)은 홀더(40f)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(40f)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 하측과 핀(44) 사이에는 간극(67)이 형성되어 있다.Also in this case, the inner walls of the
이러한 구성의 제6 실시예의 홀더(40f) 및 홀더 유닛에 따르면, 제5 실시예의 홀더(40e) 및 홀더 유닛에 비하면, 약간 스크라이빙 휠(50)과 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a) 사이의 접촉 면적이 크게 되어 있기 때문에, 약간 마찰 저항이 커지지만, 그 점을 제외하면 실질적으로 동등한 작용 효과를 발휘할 수 있는 것 외에, 스크라이빙 휠(50)의 날끝의 요동이 보다 적어지기 때문에, 스크라이브 라인의 형성시에 사행(蛇行)하는 것이 억제되게 된다.According to the
또한, 제6 실시예의 홀더 유닛에 있어서는, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)가, 스크라이빙 휠(50)의 상방의 일부분뿐만 아니라, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 우측의 일부분이 삽입되도록 형성된 예를 나타냈지만, 도 10의 (c)에 있어서 스크라이빙 휠(50)의 좌측의 일부분이 삽입되도록 형성해도 되는 것은 당연하다. 그리고, 어느 경우에 있어서도, 제6 실시예의 홀더(40f)를 구비하는 홀더 유닛을 사용하여 스크라이브 라인을 형성할 때에는, 홀더(40f)를 이동시키면, 스크라이브시에 발생한 컬릿이 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 내에 침입하기 어려워지기 때문에, 날끝 수명이 길어지는 동시에 스크라이브 후의 피스크라이브 기판의 단부면 강도의 저하나 파단 강도의 편차가 억제된다고 하는 우수한 효과를 발휘할 수 있게 된다.In the holder unit of the sixth embodiment, the
[제7 실시예][Seventh Embodiment]
제7 실시예의 홀더(40g)와 스크라이빙 휠(50)로 이루어지는 홀더 유닛의 구성을 도 11에 도시한다. 또한, 도 11의 (a)는 하방측으로부터의 홀더(40g)의 사시도이고, 도 11의 (b)는 (a)의 XI-XI선을 따른 단면도이다.The structure of the holder unit which consists of the
제7 실시예의 홀더(40g) 및 홀더 유닛이 제5 실시예의 홀더(40e) 및 홀더 유닛과 구성이 다른 점은, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 및 광폭부(42b)와, 그것에 수반되는 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a) 및 협폭부(65b, 66b)의 배치가 상하 반대로 되어 있는 점이다. 즉, 제7 실시예의 홀더(40g) 및 홀더 유닛에서는, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)는 스크라이빙 휠(50)의 하방에, 광폭부(42b)가 스크라이빙 휠(50)의 상방에 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)가 스크라이빙 휠(50)의 하방에, 협폭부(65b, 66b)가 스크라이빙 휠(50)의 상방에 형성되어 있다. 또한, 홀더(40g)의 지지부(65, 66)에 있어서의 광폭부(65a, 66a)와 협폭부(65b, 66b) 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.The
이 경우에 있어서도, 홀더(40g)의 지지부(65, 66)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(65a, 66a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(65b, 66b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(40g)의 지지부(65, 66)에 있어서의 협폭부(65b, 66b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(43a)이 동축에 형성되어 있고, 핀(44)은 홀더(40g)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(40g)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 상측과 핀(44)의 상측 사이에는 간극(67)이 형성되어 있다.Also in this case, the inner walls of the
이러한 구성의 제7 실시예의 홀더(40g) 및 홀더 유닛에 따르면, 제5 실시예의 홀더(40e) 및 홀더 유닛에 비하면, 스크라이빙 휠(50)과 지지부(65, 66) 사이의 접촉 면적이 적어진다고 하는 효과도 발휘되게 된다.According to the
따라서, 스크라이브시에 컬릿이 발생하고, 이 컬릿이 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)와 스크라이빙 휠(50) 사이에 침입해도, 홀더(40g)의 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 상측과 핀(44) 사이에 형성되어 있는 간극(67) 및 핀(44)과 보유 지지 홈(42)의 광폭부(42b) 사이에 형성되는 공간의 존재로 인해 용이하게 배출되기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 회전성이 손상되는 것이 억제된다.Therefore, even if a cullet is generated at the time of scribing and this cullet penetrates between the
[제8 실시예][Eighth Embodiment]
제8 실시예의 홀더(40h)와 스크라이빙 휠(50)로 이루어지는 홀더 유닛의 구성을 도 12에 도시한다. 또한, 도 12의 (a)는 하방측으로부터의 홀더(40h)의 사시도이고, 도 12의 (b)는 (a)의 XIIb-XIIb선을 따른 단면도이고, 도 12의 (c)는 (a)의 XIIc-XIIc선을 따른 단면도이다. 또한, 도 12의 (b), (c)에 있어서는, 핀(44)을 도시하고 있지 않다.The structure of the holder unit which consists of the
제8 실시예의 홀더(40h) 및 홀더 유닛이 제5 실시예의 홀더(40e) 및 홀더 유닛과 구성이 다른 점은, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a) 및 광폭부(42b)의 구성과, 그것에 수반되는 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a) 및 협폭부(65b, 66b)의 구성이다. 구체적으로는, 제8 실시예의 홀더(40h)에서는, 보유 지지 홈(42)의 협폭부(42a)의 하단부가, 핀(44)과 겹쳐지는 위치까지 형성되어 있다. 즉, 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)의 하단부가, 핀(44)과 접촉하는 위치에 형성되어 있다. 또한, 제8 실시예에서는, 도 12의 (b)에 도시하는 바와 같이, 핀(44)의 정가운데보다도 약간 상측에서, 지지부(65)의 광폭부(65a)가 핀(44)과 접촉한다. 즉, 홀더(40h)는, 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)와 협폭부(65b, 66b) 사이의 단차 위치에 핀 구멍(43a)을 형성하여 구성되어 있다.The configuration of the
이러한 구성의 제8 실시예에 따르면, 홀더(40h) 및 홀더 유닛은, 보유 지지 홈(42)에 광폭부(42b)를 구비하고 있기 때문에, 스크라이빙 휠(50)과 지지부(65, 66) 사이의 접촉 면적이 적어진다고 하는 효과를 발휘하게 된다. 또한, 홀더(40h) 및 홀더 유닛은, 지지부(65, 66)의 광폭부(65a, 66a)와 협폭부(65b, 66b) 사이의 단차 위치에 핀 구멍(43a)이 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠(50)의 날끝의 요동도 적어지고, 스크라이브 라인의 형성시에 사행하는 것을 억제하는 효과도 높아진다.According to the eighth embodiment of this configuration, since the
[제2 실시 형태][Second Embodiment]
다음에, 제1 실시 형태의 홀더(40a 내지 40h)와 다른 구성의 제2 실시 형태의 홀더(40i)에 대해, 도 13을 사용하여 설명한다. 또한, 도 13은 홀더(40i)를 확대한 사시도이다. 또한, 홀더(40a 내지 40h)와 마찬가지의 구성에 대해서는, 동일한 부호를 사용하여 설명하고, 그 상세한 설명은 생략한다. 제2 실시 형태의 홀더(40i)는, 스크라이빙 휠(50)을 보유 지지한 홀더 유닛으로서, 제1 실시 형태의 홀더(40)와 마찬가지로, 스크라이브 장치(10)의 스크라이브 헤드(21)에 있어서, 홀더 조인트(23)의 개구(28)로 삽입되어, 장착되어 있다.Next, the
이 홀더(40i)는 대략 원기둥형의 금속 또는 수지로 이루어지고, 그 하단부측에는 지지부(41a, 41b)가 설치되어 있다. 그리고, 이 지지부(41a)와 지지부(41b) 사이에, 스크라이빙 휠(50)을 보유 지지하기 위한 보유 지지 홈(42)이 형성되어 있다. 또한, 지지부(41a, 41b)의 하단부에는, 스크라이빙 휠(50)을 고정하기 위해 절결하여 형성된 핀 구멍(43b)이 각각 형성되어 있다. 그리고, 이 핀 구멍(43b)에 핀(44)이 관통되고, 스크라이빙 휠(50)이 회전 가능하게 홀더(40i)에 장착되어 있다. 이 홀더(40i)의 상단부측에는, 홀더(40)와 마찬가지로 경사부(46a)와 지지부(46b)로 이루어지는 장착부(46)가 형성되어 있다.The
그리고, 이 홀더(40i)의 보유 지지 홈(42)의 내벽에도, 제1 실시 형태의 제1 실시예 내지 제8 실시예에 나타낸 것과 마찬가지의 구성의 오목부(도시 생략)가 형성되어 있다. 이 제2 실시 형태의 홀더(40i)는, 핀 구멍(43b)을 고정밀도로 형성하는 것을 비교적 용이하게 할 수 있지만, 핀 구멍(43b)이 절결된 상태로 되어 있기 때문에, 제1 실시 형태의 홀더(40)의 경우보다도 보유 지지 홈(42) 내에 컬릿 등의 이물질이 침입하기 쉬워진다. 그러나, 제2 실시 형태의 홀더(40i)에 있어서는, 보유 지지 홈(42)의 내벽에 오목부가 형성되어 있음으로써, 제1 실시 형태의 제1 실시예 내지 제8 실시예와 마찬가지의 작용ㆍ효과를 발휘할 수 있다.And the recessed part (not shown) of the structure similar to what was shown to the 1st Example-8th Example of 1st Embodiment is formed also in the inner wall of the holding
[제3 실시 형태][Third embodiment]
다음에, 제1 실시 형태에 나타낸 홀더(40a 내지 40h)나 제2 실시 형태에 나타낸 홀더(40i)와는 다른 구성의 제3 실시 형태의 홀더(140)에 대해, 도 14를 사용하여 설명한다. 또한, 도 14는 제3 실시 형태의 홀더(140)의 정면도이다. 또한, 홀더(140)에 핀에 의해 스크라이빙 휠(150)이 보유 지지된 것을 홀더 유닛으로서 설명을 행한다.Next, the
제3 실시 형태의 홀더(140)를 구비하는 홀더 유닛은, 스크라이브 장치(10)의 스크라이브 헤드(21)에, 홀더 조인트를 통하지 않고, 직접 장착되어 있는 것이다. 홀더(140)는 대략 원기둥 형상을 하고 있고, 회전축부(141)와, 휠 보유 지지부(142)로 구성되어 있다. 그리고, 스크라이브 헤드(21)에 홀더(140)가 장착된 상태에 있어서는, 이 회전축부(141)에는, 홀더(140)를 회전 가능하게 보유 지지하기 위한 2개의 베어링(126a, 126b)이 원통형의 스페이서(127)를 통해 장착된 상태로 되어 있다. 또한, 도 14에는 홀더(140)의 정면도를 도시하는 동시에, 회전축부(141)에 장착된 베어링(126a, 126b)과 스페이서(127)의 단면도를 도시하고 있다.The holder unit including the
휠 보유 지지부(142)는 직육면체 형상을 이루는 동시에, 하단부측이 삼각 형상으로 되어 있고, 이 삼각 형상의 선단에는 스크라이빙 휠(150)을 삽입하기 위해, 지지부(143a)와 지지부(143b) 사이에, 스크라이빙 휠(150)을 보유 지지하기 위한 보유 지지 홈(144)이 형성되어 있다. 또한, 도 14에서 홀더(140)의 하단부측을 확대하고 있는 도면은, 화살표 C로 나타내는 횡방향으로부터 관찰한 경우의 확대도를 도시하고 있다.The
지지부(143a, 143b)에는 스크라이빙 휠(150)을 고정하기 위해 구멍 형상의 핀 구멍(145)이 각각 형성되어 있고, 이 핀 구멍(145)에 핀(146)이 관통되고, 스크라이빙 휠(150)은 홀더(140)에 회전 가능하게 장착되어 있다. 이때, 지지부(143a)와 지지부(143b)의 각각의 내벽(147a, 147b)이 스크라이빙 휠(150)의 원형 측면(151a, 151b)과 각각 대향하고 있다. 그리고, 지지부(143a, 143b)의 외측에는, 핀 구멍(145)을 외측으로부터 덮기 위한 핀 압박부(148a, 148b)가 나사(149)에 의해 각각 나사 고정되어 있다.In the
또한, 이 경우에 있어서도, 스크라이빙 휠(150)은 소모품이며, 정기적인 교환이 필요해지기 때문에, 홀더(140)를 구비하는 홀더 유닛에 있어서, 스크라이빙 휠(150)을 교환할 때에는, 우선, 스크라이브 헤드(21)로부터 홀더 유닛을 제거하고, 다음에, 홀더(140)로부터 핀 압박부(148a, 148b)를 제거한 후, 핀(146)을 취출하여 스크라이빙 휠(150)의 교환이 행해진다.Also in this case, since the
그리고, 홀더(140)의 내벽(147a, 147b)에는, 제1 실시 형태의 제1 실시예 내지 제8 실시예에 나타낸 것과 마찬가지의 구성의 오목부(도시 생략)가 형성되어 있다. 그로 인해, 내벽(147a, 147b)과 스크라이빙 휠(150)의 측면(151a, 151b) 사이에, 컬릿 등의 이물질이 들어왔다고 해도, 이 오목부에 의해, 스크라이빙 휠(150)의 회전 불량의 발생을 저감시킬 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 핀 구멍(145)은 구멍 형상으로 되어 있지만, 제2 실시 형태와 마찬가지로 지지부(143a)와 지지부(143b)의 하단부를 절결하여 형성해도 된다.In the
[제4 실시 형태][Fourth Embodiment]
본 발명의 제4 실시 형태에 관한 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)을 도 15 및 도 16을 사용하여 설명한다. 또한, 도 15는 제4 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도이고, 도 16의 (a)는 도 15의 홀더 유닛의 정면도이고, 도 16의 (b)는 도 16의 (a)의 XⅥB 부분의 확대도이다.The
제4 실시 형태에 관한 홀더 유닛(210)은, 홀더(211)와 스크라이빙 휠(212)을 갖고 있고, 홀더(211)의 하단부에 스크라이빙 휠(212)이 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 홀더(211)는, 하방이 삼각 형상으로 형성된 직육면체 형상의 부재이며, 상부에 홀더(211)를 고정하기 위한 관통 구멍(213)을 갖고 있다. 또한, 이 홀더(211)는 스크라이빙 휠(212)을 피스크라이빙 부재에 접촉시켜 스크라이브 라인을 형성하기 위해 사용되는 것이기 때문에, 이하에 있어서는 홀더(211)의 피스크라이빙 부재에 접촉시키는 측(절단 단부측)을「하측」이라 하고, 그 반대측을 「상측」이라 한다.The
스크라이빙 휠(212)은, 예를 들어 소결 다이아몬드로 형성된 두께 d가 약 0.65㎜인 디스크 형상의 부재이며, 중심에 관통 구멍을 갖고 있다. 또한, 스크라이빙 휠(212)은, 외주부를 따라 능선을 형성하는 V자형의 날을 갖고 있다. 능선의 양측의 경사면은, 통상 90 내지 165°의 각도로 서로 교차하고 있고, 이들 경사면에 의해 능선이 형성되어 있다.The
이 홀더(211)의 하방에는, 보유 지지 홈(214)이 홀더(211)의 삼각 형상의 하방을 개방하도록 형성되고, 보유 지지 홈(214)을 사이에 두는 이 삼각 형상의 부분에서 지지부(215, 216)를 형성하고 있다. 그리고, 보유 지지 홈(214)은, 스크라이빙 휠(212)의 상방의 일부분이 삽입되는 협폭부(214a)와, 이 협폭부(214a)보다도 광폭으로 형성된 광폭부(214b)로 이루어져 있다. 그로 인해, 한 쌍의 지지부(215, 216)는, 각각 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)에 대향하는 광폭부(215a, 216a)와, 보유 지지 홈(214)의 광폭부(214b)에 대향하는 협폭부(215b, 216b)를 구비하고 있다. 또한, 홀더(211)의 지지부(215, 216)에 있어서의 광폭부(215a, 216a)와 협폭부(215b, 216b)의 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.Under the
또한, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(215b, 216b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(211)의 지지부(215, 216)에 있어서의 협폭부(215b, 216b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(217, 218)이 동축에 형성되어 있다. 핀 구멍(217, 218)은, 보유 지지 홈(214)과 수직으로 교차하고 있고, 스크라이빙 휠(212)의 핀(219)을 보유 지지하는 원형의 관통 구멍이다.In addition, the inner walls of the
그리고, 본 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)에서는, 핀(219)은, 스크라이빙 휠(212)의 관통 구멍 및 핀 구멍(217, 218)에, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 하측과 핀(219) 사이에는 간극(220)이 형성되어 있다. 또한, 핀(219)은, 예를 들어 초경합금 등의 금속, 소결 다이아몬드로 형성된 원기둥형의 부재이며, 일단부가 끝이 뾰족한 형상을 갖고 있다.In the
보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)의 간격 w1은 스크라이빙 휠(212)의 폭보다 약간 크게 되도록 되어 있다. 스크라이빙 휠(212)의 폭 d는 예를 들어 약 0.65㎜이고, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)의 간격 w1은 예를 들어 약 0.67㎜이다. 또한, 보유 지지 홈(214)의 광폭부(214b)의 간격 w2는, 협폭부(214)의 간격 w1의 간격보다 넓으면 임의이지만, 지지부(215, 216)의 협폭부(215b, 216b)에 형성된 핀 구멍(217, 218) 내에 있어서의 핀(219)의 회전시의 마찰이 작아지도록 하기 위해서는, 핀(219)을 양단부만으로 지지하고, 핀(219)이 핀 구멍(217, 218) 내에 위치하고 있는 부분의 길이가 짧아지도록 할 필요가 있어, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)의 간격 w1의 2배 이상으로 하는 것이 바람직하다.The interval w1 of the
그러나, 지나치게 w2를 크게 하면, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 협폭부(215b, 216b)의 폭이 가늘어지기 때문에, 스크라이브시에 인가되는 하중에 의해, 협폭부(215b, 216b)가 휠 우려가 있는 것, 및 핀(219)이 양단부측에서 지지되게 되어, 핀(219) 자체도 휘어 버릴 우려가 발생하기 때문에, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 협폭부(215b, 216b)의 폭이 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 1/3 정도로 되도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 하측과 핀(219) 사이에 형성된 간극(220)의 간격은 임의이지만, 홀더 유닛(210)을 소형화하기 위해서는 작은 쪽이 좋다.However, if w2 is made too large, the widths of the
또한, 본 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)에서는, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)에 형성된 핀 구멍(217, 218)의 양단부는, 각각 압박 커버(222, 223)에 의해 폐색되어 있다. 이들 압박 커버(222, 223)는, 예를 들어 도 15에 도시하는 바와 같이, 일단부가 돌출된 와셔 형상을 갖고 있고, 각각이 홀더(211)의 상방에 있어서 조정 나사(224, 225)에 의해 홀더(211)의 외측면에 고정되어 있다.In the
이 홀더 유닛(210)의 조립은 다음과 같이 하여 행해진다. 우선, 지지부(215)측으로부터 압박 커버(222)를 조정 나사(224)에 의해 장착하고, 핀 구멍(217)의 외부측을 폐색한다. 계속해서, 스크라이빙 휠(212)의 일부를 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 내에 삽입하여 보유 지지하고, 핀(219)을 끝이 뾰족한 형상의 부분으로부터 핀 구멍(218), 스크라이빙 휠(212)의 관통 구멍 및 핀 구멍(217)에 삽입 관통한다. 핀(219)의 끝이 뾰족한 형상의 부분이, 핀 구멍(217)의 한쪽의 개구 부근에 있는 압박 커버(222)와 접하는 부분까지 핀(219)을 삽입하고, 이어서 지지부(216)측으로부터 압박 커버(223)를 조정 나사(225)로 나사 고정하여 핀 구멍(218)의 외부측을 폐쇄한다. 이에 의해, 핀(219)은 핀 구멍(217, 218)으로부터 탈락하는 일은 없어지고, 또한 스크라이빙 휠(212)은 핀(219)에 회전 가능하게 보유 지지된다.Assembly of this
이 상태의 홀더 유닛(210)을 사용하여 글래스 기판 등의 취성 기판을 스크라이브하면, 스크라이빙 휠(212)은 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 내에서 위치가 안정되기 때문에, 스크라이빙 휠(212)의 진행 방향에 대한 좌우의 요동이 거의 없어져, 스크라이브하였을 때의 스크라이브 라인의 직선성을 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 가령 스크라이브시에 컬릿이 발생하고, 이 컬릿이 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)와 스크라이빙 휠(212) 사이에 침입해도, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 하측과 핀(219) 사이에 형성되어 있는 간극(220) 및 핀(219)과 취성 기판 사이에 형성되는 공간의 존재로 인해 용이하게 배출되기 때문에, 스크라이빙 휠(212)의 회전성이 손상되는 것이 억제된다.When the brittle substrate such as a glass substrate is scribed using the
그로 인해, 본 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)에 따르면, 스크라이브시에 스크라이빙 휠(212) 및 핀(219)의 회전성이 양호해지기 때문에, 스크라이브시에 스크라이빙 휠(212)의 날끝이 피스크라이브 기판의 표면을 미끄러지는 현상이 발생하기 어렵지 않게 되어, 날끝 수명이 길어지는 동시에 스크라이브 후의 피스크라이브 기판의 단부면 강도의 저하나 파단 강도의 편차가 억제된다고 하는 우수한 효과를 발휘하게 된다.Therefore, according to the
또한, 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)에 있어서는, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)가, 스크라이빙 휠(212)의 상방의 일부분에 형성된 예를 나타냈지만, 도면에 있어서 좌우측의 일부분이 삽입되도록 형성해도 되는 것은 당연하다. 그리고, 어느 경우에 있어서도, 스크라이브시에 발생한 컬릿이 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 내에 침입하기 어려워, 스크라이빙 휠(212) 및 핀(219)의 회전성이 양호해진다.In addition, in the
또한, 본 제4 실시 형태의 홀더에 있어서는, 홀더(211)의 지지부(215, 216)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(215b, 216b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있지만, 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면이 평행하게 형성되어 있으면, 협폭부(215b, 216b)의 서로 대향하는 면은 평행하지 않아도 된다. 적어도 스크라이빙 휠(212)이 접촉하는 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면이 평행하면, 스크라이빙 휠(212)이 홀더 홈(214)의 협폭부(214a) 내에서 위치를 안정시킬 수 있기 때문이다.In the holder of the fourth embodiment, the inner walls of the
또한, 본 제4 실시 형태의 홀더에 있어서는, 홀더(211)의 지지부(215, 216)에 있어서의 협폭부(215b, 216b)에 각각을 관통하는 핀 구멍(217, 218)이 동축에 형성되고, 핀 구멍(217, 218)의 양측으로부터 압박 커버(222, 223)를 사용하여 핀(219)을 보유 지지하도록 하고 있지만, 한쪽의 핀 구멍의 직경을 지지부 외주측에서 좁게 하여 핀을 보유 지지하도록 해도 된다. 또한, 핀 구멍(217, 218)은, 동축에 형성되어 있으면, 협폭부(215b, 216b) 중 어느 한쪽을 관통하는 것만으로도 좋다. 이 경우에는, 핀 구멍의 직경이 좁게 되어 있지 않은 지지부 또는 관통한 핀 구멍이 형성된 지지부의 외측면에만 압박 커버가 설치되어 있으면 된다.In the holder of the fourth embodiment, pin holes 217 and 218 penetrating through the
[제5 실시 형태][Fifth Embodiment]
다음에, 제5 실시 형태의 홀더 및 홀더 유닛을 도 17 및 도 18을 사용하여 설명한다. 또한, 도 17은 제5 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도이고, 도 18은 도 17의 XⅧ-XⅧ선을 따른 단면도이다. 또한, 도 17 및 도 18에 있어서는, 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)과 동일한 구성 부분에는 동일한 참조 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.Next, the holder and the holder unit of the fifth embodiment will be described with reference to FIGS. 17 and 18. 17 is a perspective view of the holder unit of 5th Embodiment, and FIG. 18 is sectional drawing along the X'-X 'line | wire of FIG. In addition, in FIG. 17 and FIG. 18, the same code | symbol is attached | subjected to the component same as the
제5 실시 형태의 홀더(211A) 및 홀더 유닛(210A)이 제4 실시 형태의 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)과 구성이 다른 점은, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 및 광폭부(214b)의 구성과, 그것에 수반되는 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a) 및 협폭부(215b, 216b)의 구성이다. 즉, 제5 실시 형태의 홀더(211A) 및 홀더 유닛(210A)에서는, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)는, 스크라이빙 휠(212)의 상방의 일부분과, 도면에 있어서 우측의 일부분이 삽입되도록 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)가, 스크라이빙 휠(212)의 상방과, 도면에 있어서 우측에 형성되어 있다.The
그리고, 보유 지지 홈(214)의 광폭부(214b)는, 스크라이빙 휠(212)의 도면에 있어서 좌측에 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(215, 216)의 협폭부(215b, 216b)가, 스크라이빙 휠(212)의 도면에 있어서 좌측에 형성되어 있다. 또한, 홀더(211A)의 지지부(215, 216)에 있어서의 광폭부(215a, 216a)와 협폭부(215b, 216b) 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.And the
이 경우에 있어서도, 홀더(211A)의 지지부(215, 216)의 서로 대향하는 내벽, 즉, 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(215b, 216b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(211A)의 지지부(215, 216)에 있어서의 협폭부(215b, 216b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(도시 생략)이 동축에 형성되어 있고, 핀(219)은 홀더(211A)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(211A)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 하측과 핀(219) 사이에는 간극(220)이 형성되어 있다.Also in this case, the inner walls of the
이러한 구성의 제5 실시 형태의 홀더(211A) 및 홀더 유닛(210A)에 따르면, 제4 실시 형태의 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)에 비하면, 약간 스크라이빙 휠(212)과 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a) 사이의 접촉 면적이 크게 되어 있기 때문에, 약간 마찰 저항이 커지지만, 그 점을 제외하면 실질적으로 동등한 작용 효과를 발휘할 수 있는 것 외에, 스크라이빙 휠(212)의 날끝의 요동이 보다 적어지기 때문에, 스크라이브 라인의 형성시에 사행하는 것이 억제되게 된다.According to the
또한, 제5 실시 형태의 홀더 유닛(210A)에 있어서는, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)가, 스크라이빙 휠(212)의 상방의 일부분뿐만 아니라, 도면에 있어서 우측의 일부분이 삽입되도록 형성된 예를 나타냈지만, 도면에 있어서 좌측의 일부분이 삽입되도록 형성해도 되는 것은 당연하다. 그리고, 어느 경우에 있어서도, 제5 실시 형태의 홀더 유닛(210A)을 사용하여 스크라이브 라인을 형성할 때에는, 홀더 유닛(210A)을 도면에 있어서 좌우의 어느 하나에 형성된 협폭부측으로 이동시키면, 스크라이브시에 발생한 컬릿이 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 내에 침입하기 어려워지기 때문에, 날끝 수명이 길어지는 동시에 스크라이브 후의 피스크라이브 기판의 단부면 강도의 저하나 파단 강도의 편차가 억제된다고 하는 우수한 효과를 발휘할 수 있게 된다.In the
[제6 실시 형태][Sixth Embodiment]
다음에, 제6 실시 형태의 홀더 및 홀더 유닛을 도 19 및 도 20을 사용하여 설명한다. 또한, 도 19는 제6 실시 형태의 홀더 유닛의 사시도이고, 도 20의 (a)는 도 19의 홀더 유닛의 정면도이고, 도 20의 (b)는 도 20의 (a)의 XⅨB 부분의 확대도이다. 또한, 도 19 및 도 20에 있어서는, 제4 실시 형태의 홀더 유닛(210)과 동일한 구성 부분에는 동일한 참조 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.Next, the holder and the holder unit of the sixth embodiment will be described with reference to FIGS. 19 and 20. 19 is a perspective view of the holder unit of 6th Embodiment, FIG. 20 (a) is a front view of the holder unit of FIG. 19, and FIG. 20 (b) is an enlargement of the X'B part of FIG. 20 (a). It is also. In addition, in FIG. 19 and FIG. 20, the same code | symbol is attached | subjected to the same component part as the
제6 실시 형태의 홀더(211B) 및 홀더 유닛(210B)이 제4 실시 형태의 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)과 구성이 다른 점은, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a) 및 광폭부(214b)와, 그것에 수반되는 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a) 및 협폭부(215b, 216b)의 배치가 상하 반대로 되어 있는 점이다. 즉, 제6 실시 형태의 홀더(211B) 및 홀더 유닛(210B)에서는, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)는 스크라이빙 휠(212)의 하방에, 광폭부(214b)가 스크라이빙 휠(212)의 상방에 형성되어 있고, 그것에 수반하여 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)가 스크라이빙 휠(212)의 하방에, 협폭부(215b, 216b)가 스크라이빙 휠(212)의 상방에 형성되어 있다. 또한, 홀더(211B)의 지지부(215, 216)에 있어서의 광폭부(215a, 216a)와 협폭부(215b, 216b) 사이는 단차 형상으로 형성되어 있다.The
이 경우에 있어서도, 홀더(211B)의 지지부(215, 216)의 서로 대향하는 면, 즉, 광폭부(215a, 216a)의 서로 대향하는 면 및 협폭부(215b, 216b)의 서로 대향하는 면은, 모두 평행하게 형성되어 있다. 그리고, 홀더(211B)의 지지부(215, 216)에 있어서의 협폭부(215b, 216b)에는, 각각을 관통하는 핀 구멍(217, 218)이 동축에 형성되어 있고, 핀(219)은 홀더(211B)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)와는 접촉하지 않도록 장착되어 있다. 그로 인해, 홀더(211B)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 상측과 핀(219)의 상측 사이에는 간극(220)이 형성되어 있다.Also in this case, the surfaces of the
이러한 구성의 제6 실시 형태의 홀더(211B) 및 홀더 유닛(210B)에 따르면, 제4 실시 형태의 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)에 비하면, 스크라이빙 휠(212)과 지지부(215, 216) 사이의 접촉 면적이 적어지고, 또한 스크라이빙 휠(212)의 장착이 용이해진다고 하는 효과도 발휘되게 된다.According to the
즉, 스크라이빙 휠(212)의 장착시에는, 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)에 스크라이빙 휠(212)의 일부를 삽입하고, 핀(219)을 지지부(216)의 관통 구멍(218), 스크라이빙 휠(212)의 관통 구멍, 지지부(215)의 관통 구멍(217)에 차례로 통과시키게 된다. 그러나, 제4 실시 형태의 홀더(211) 및 홀더 유닛(210)에서는, 협폭부(214a)가 홀더(211)의 내부에 있기 때문에 스크라이빙 휠(212)을 고정하기 어렵고, 스크라이빙 휠(212)의 외경이 작아지면 그 장착이 어려워진다. 그것에 반해, 제6 실시 형태의 홀더(211B) 및 홀더 유닛(210B)에 따르면, 절단 단부측에 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)가 형성되어 있기 때문에, 스크라이빙 휠(212)의 장착시에 홀더(211B)의 하단부에 위치하는 협폭부(214a)에서 스크라이빙 휠(212)을 보유 지지하여 핀(219)을 삽입할 수 있으므로, 스크라이빙 휠(212)의 장착 및 교환이 용이해진다.That is, when the
또한, 가령 스크라이브시에 컬릿이 발생하고, 이 컬릿이 보유 지지 홈(214)의 협폭부(214a)와 스크라이빙 휠(212) 사이에 침입해도, 홀더(211B)의 지지부(215, 216)의 광폭부(215a, 216a)의 상측과 핀(219) 사이에 형성되어 있는 간극(220) 및 핀(219)과 보유 지지 홈(214)의 광폭부(214b)의 사이에 형성되는 공간의 존재로 인해 용이하게 배출되기 때문에, 스크라이빙 휠(212)의 회전성이 손상되는 것이 억제된다.Further, even if a cullet is generated during scribing, and the cullet penetrates between the
이상과 같은 제4 내지 제6 실시 형태에 나타낸 홀더 및 홀더 유닛은, 제1 내지 제3 실시 형태와 마찬가지로, 스크라이브 장치에 구비되어 있는 스크라이브 헤드에 장착됨으로써, 취성 재료 기판에 대해 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 또한, 제4 내지 제6 실시 형태에 나타낸 홀더 및 홀더 유닛은, 취성 재료 기판을 손으로 자르기 위한 취성 재료 절단용 커터에 장착할 수도 있다. 또한, 제4 내지 제6 실시 형태에 나타낸 홀더는, 지지부의 내벽에 제1 내지 제4 실시예에 나타낸 홈을 적용하는 것도 가능하다.Like the first to third embodiments, the holders and the holder units shown in the above fourth to sixth embodiments are attached to the scribe heads provided in the scribing apparatus, thereby forming a scribe line with respect to the brittle material substrate. Can be. Moreover, the holder and holder unit shown to 4th-6th embodiment can also be attached to the brittle material cutting cutter for cutting | disconnecting a brittle material board | substrate by hand. Moreover, the holder shown to 4th-6th embodiment can also apply the groove | channel shown to 1st-4th Example to the inner wall of a support part.
이와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 홀더의 내벽의 스크라이빙 휠의 측면과 대향하는 위치에 오목부를 형성해 둠으로써, 내벽과 스크라이빙 휠의 측면 사이에 진입하는 이물질에 의한 회전 불량의 발생을 저감시킬 수 있게 된다.As described above, in the present embodiment, the recess is formed at a position opposite to the side surface of the scribing wheel on the inner wall of the holder, thereby preventing the occurrence of rotation failure due to the foreign matter entering between the inner wall and the side surface of the scribing wheel. It can be reduced.
또한, 상술한 실시 형태에 있어서는, 오목부의 일례인 홈에 대해, 홈이 핀 구멍보다도 상방에 형성된 것만을 나타냈지만, 핀 구멍보다도 하방에 형성되어 있어도 마찬가지의 효과를 발휘할 수 있고, 또한 홈이 핀 구멍에 접하도록 형성되어 있어도 상관없다. 또한, 상술한 실시예에 있어서는, 홈의 형상이 원호 형상인 것만을 나타냈지만, 그 밖의 곡선이나 직선 형상이어도 상관없다.In addition, in the above-mentioned embodiment, only the groove was formed above the pin hole with respect to the groove, which is an example of the recess, but the same effect can be obtained even when the groove is formed below the pin hole, and the groove is also a pin. It may be formed in contact with the hole. In addition, in the above-mentioned embodiment, although only the shape of the groove was arc-shaped, it may be other curved or linear shape.
또한, 상술한 스크라이브 장치(10)는, 취성 재료 기판(17)의 상부에 스크라이브 헤드(21)가 위치하고 있는 것이었지만, 취성 재료 기판(17)의 하부에도 스크라이브 헤드가 위치하고 있고, 취성 재료 기판(17)의 상하 양면으로부터 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치여도 상관없다. 이와 같이 취성 재료 기판(17)의 상하 양면으로부터 스크라이빙 라인을 형성할 수 있는 구성으로 함으로써, 분단 공정의 작업 효율을 높일 수 있다.In addition, although the
10 : 스크라이브 장치
21 : 스크라이브 헤드
23 : 홀더 조인트
40, 40a 내지 40i, 140, 211, 211A, 211B : 홀더
42, 144, 214 : 보유 지지 홈
45a, 45b : 내벽
46, 47a, 47b, 47c, 48a, 48b, 48c, 49a, 49b : 홈
50, 150, 212 : 스크라이빙 휠
52a, 52b, 151a, 151b : 측면
210, 210A, 210B : 홀더 유닛10: scribe device
21: scribe head
23: holder joint
Holder: 40, 40a to 40i, 140, 211, 211A, 211B
42, 144, 214: holding groove
45a, 45b: inner wall
46, 47a, 47b, 47c, 48a, 48b, 48c, 49a, 49b: home
50, 150, 212: Scribing Wheel
52a, 52b, 151a, 151b: side
210, 210A, 210B: Holder Unit
Claims (14)
상기 홀더는,
상기 스크라이빙 휠을 보유 지지하는 보유 지지 홈과,
상기 보유 지지 홈에 의해 형성되고, 서로 대향하는 내벽을 갖는 한 쌍의 지지부와,
상기 한 쌍의 지지부에 형성되고, 상기 핀이 삽입되는 한 쌍의 핀 구멍을 갖고,
상기 지지부의 내벽의 상기 스크라이빙 휠의 측면에 대향하는 위치에, 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.A holder for rotatably holding a scribing wheel having a disk shape and a through hole formed in the center thereof by a pin inserted rotatably into the through hole,
Wherein the holder comprises:
A holding groove for holding the scribing wheel;
A pair of supporting portions formed by the holding grooves and having inner walls facing each other;
A pair of pin holes formed in the pair of supporting portions and into which the pin is inserted;
A holder, characterized in that a recess is formed at a position opposite to the side surface of the scribing wheel on the inner wall of the support.
상기 오목부는, 상기 광폭부이고, 상기 한 쌍의 핀 구멍은, 상기 보유 지지 홈의 상기 광폭부에 대응하는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 홀더.The said holding groove consists of a narrow part in which one part of the scribing wheel is inserted, and the wide part which is wider than the said narrow part,
The concave portion is the wide portion, and the pair of pin holes are formed at positions corresponding to the wide portion of the holding groove.
디스크 형상이며, 원주부를 따라 경사면과 능선으로 이루어지는 날을 갖고, 중심에 관통 구멍이 형성된 스크라이빙 휠과,
상기 관통 구멍에 회전 가능하게 삽입되는 핀을 구비하고,
상기 홀더의 보유 지지 홈에 상기 스크라이빙 휠이 보유 지지되고, 상기 핀이 상기 관통 구멍과 상기 핀 구멍에 삽입되어 상기 지지부에 있어서 보유 지지되는 것을 특징으로 하는, 홀더 유닛.The holder according to any one of claims 1 to 11,
A scribing wheel having a disk shape and having a blade formed of an inclined surface and a ridge along the circumference and having a through hole formed at the center thereof;
A pin rotatably inserted into the through hole,
And the scribing wheel is held in a holding groove of the holder, and the pin is inserted into the through hole and the pin hole to be held at the support portion.
상기 홀더 유닛이 장착된 스크라이브 헤드를 구비하는, 스크라이브 장치.The holder unit according to claim 12,
And a scribe head to which the holder unit is mounted.
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