JP5934050B2 - Holder, holder unit and scribing device - Google Patents
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Description
本発明は、ガラス基板、セラミックス基板、シリコン基板等の脆性材料基板にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールを保持するためのホルダー、スクライビングホイールを備えたホルダーユニット及びこのホルダーユニットを備えたスクライブ装置に関する。 The present invention relates to a holder for holding a scribing wheel for forming a scribe line on a brittle material substrate such as a glass substrate, a ceramic substrate, or a silicon substrate, a holder unit including the scribing wheel, and a scribing device including the holder unit. About.
従来、液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス(EL)パネル等のフラットディスプレイパネル、太陽電池等の製造工程では、マザーガラス基板等の脆性材料基板の分断工程が設けられている。これらの分断工程では、カッターホイールに脆性基板の材質や厚み等の諸条件に見合った荷重を負荷しながら、カッターホイールを脆性基板の表面上を転動させてスクライブラインを形成し、脆性基板に所定の力を負荷することにより脆性基板をスクライブラインに沿って分断し、個々のパネルや各種基板を製造している。 Conventionally, in the manufacturing process of flat display panels such as liquid crystal display panels and organic electroluminescence (EL) panels, solar cells, etc., a step of dividing a brittle material substrate such as a mother glass substrate is provided. In these cutting processes, the cutter wheel is rolled on the surface of the brittle substrate while a load corresponding to various conditions such as the material and thickness of the brittle substrate is applied to the cutter wheel to form a scribe line. By applying a predetermined force, the brittle substrate is divided along the scribe line to manufacture individual panels and various substrates.
ここで、下記特許文献1に開示されているカッターホイールを備えるホルダーユニットを図13及び図14を用いて説明する。なお、図13は下記特許文献1に開示されているホルダーユニットの正面図であり、図14は図13のXIV−XIV線に沿った部分断面図である。 Here, a holder unit including a cutter wheel disclosed in Patent Document 1 below will be described with reference to FIGS. 13 and 14. 13 is a front view of a holder unit disclosed in Patent Document 1 below, and FIG. 14 is a partial cross-sectional view taken along the line XIV-XIV in FIG.
ホルダーユニット250はホルダー251とスクライビングホイール252とを有しており、ホルダー251の下端側にスクライビングホイール252が回転自在に保持されている。ホルダー251は、下方が三角形状に形成された直方体状の部材であり、上部にホルダー251を固定するための貫通孔253を有している。ホルダー251の下方にはホルダー溝254(図14参照)がホルダー251の三角形状の下方を開放するように形成され、ホルダー溝254を挟むこの三角形状の部分で支持部255、256を形成している。ホルダー251の支持部255、256の相対向する面はほぼ平行に形成され、ホルダー溝254の間隔はスクライビングホイール252の幅よりわずかに大きくなるようにされている。例えば幅dが0.65mmのスクライビングホイール252を保持するためのホルダー251のホルダー溝254の幅wは例えば約0.67mmである。
The
左右の支持部255、256の下端側には支持部255、256を各々貫通するピン孔257、258が同軸に形成されている。ピン孔257、258は、ホルダー溝254と垂直に交差しており、スクライビングホイール252のピン259を保持する円形の貫通孔である。これらのピン孔257、258の上部には支持部255側で内径がホルダー溝254側で小さく、外側で大きい間隔調整孔260が形成され、支持部255側にはこれと同軸のねじ溝が形成されており、この間隔調整孔260には間隔調整ネジ261が取り付けられている。間隔調整ネジ261はホルダー溝254の間隔wを微調整するものである。なお、図14においては、構成が理解し易くなるようにするため、ピン259及び間隔調整ネジ261を断面ではなく輪郭で示してある。
また、支持部255の間隔調整孔260の右側方には軸押さえカバー262が固定ネジ263によって取り付けられており、同じく支持部256の間隔調整孔260の左側方には軸押さえカバー264が固定ネジ265によって取り付けられている。軸押さえカバー262、264は、ピン259が脱落しないように、ピン259をピン孔257、258中に保持するものである。軸押さえカバー262、264は、図13に示したように、一端が突出したワッシャ形状を有している。
Further, a
スクライビングホイール252は、例えば超硬合金等の金属ないし焼結ダイヤモンドで形成された、例えば厚さdが約0.65mmのディスク状の部材であって、中心に貫通孔を有している。また、スクライビングホイール252は、例えば下記特許文献2に示されているように、外周部に沿って稜線を形成する、垂直断面がV字形の刃を有している。稜線の両側の傾斜面は、通常、90〜165°の角度で互いに交差して稜線を形成している。ピン259は、例えば、超硬合金等の金属、焼結ダイヤモンドで形成された円柱形の部材であって、一端が尖頭形状を有している。
The scribing
このホルダーユニット250の組立は次のようにして行われる。まず、図14に示すように、間隔調整孔260より間隔調整ネジ261を挿入し、間隔調整孔260のねじ溝と噛合させる。この時点では間隔調整ネジ261は締め込まないでおく。次に、支持部255側より軸押さえカバー262を固定ネジ263によって取付け、ピン孔257の一端を閉じる。次いで、スクライビングホイール252をホルダー溝254内に挿入して保持し、ピン259を尖頭形状の部分からピン孔258、スクライビングホイール252の貫通孔及びピン孔257に挿通する。ピン259の尖頭形状の部分が、ピン孔257の一方の開口付近にある軸押さえカバー262と接するところまでピン259を挿入し、図14に示すように、軸押さえカバー264を固定ネジ265でねじ止めしてピン孔258の左端を閉じる。これにより、ピン259はピン孔257、258から脱落することはなく、スクライビングホイール252はピン259に回転自在に保持される。
The assembly of the
このとき、ホルダーユニット250のホルダー溝254とスクライビングホイール252とは、クリアランスにばらつきが生じていることがあるため、間隔調整孔260に挿入した間隔調整ネジ261によってその間隔を調整する。間隔調整ネジ261の調整については、例えば、スクライブしつつ間隔調整ネジ261を徐々に締め付けていき、回転抵抗が増加し始める直前に設定することができる。また、あらかじめ製品状態のホルダー溝の幅w及びスクライビングホイール252の厚さdを測定しておき、所望の幅となるように平面にホルダーユニット250をおいて上部よりネジで締め付け、所定寸法となるように設定することも行われる。また、スクライビングホイール252を取付けた状態で間隔調整ネジ261の締め付けが最大限可能な位置まで締め付け、所定角度又は所定回転数戻すことによって所望のクリアランスを設定するようにすることもできる。
At this time, since the clearance between the
こうしてクリアランスを最適値、例えば2μmの間隔とすることができる。この状態のホルダーユニット250を用いてガラス基板等の脆性基板をスクライブすれば、スクライビングホイール252はホルダー溝254内での位置が安定するので、スクライビングホイール252の進行方向に対する左右のぶれがほとんどなくなる。これによりスクライブしたときのスクライブラインの直線性を向上させることができるようになる。
Thus, the clearance can be set to an optimum value, for example, an interval of 2 μm. If the brittle substrate such as a glass substrate is scribed using the
上記特許文献1に開示されているホルダーユニット250によれば、スクライビングホイール252の保持位置を安定化させ高速かつ高精度にガラス板等の脆性材料基板にスクライブラインを形成することができるという優れた効果を奏する。しかしながら、このホルダーユニット250においては、ホルダー溝254内におけるスクライビングホイール252の側壁面とホルダー251の支持部255、256の接触面積が大きくなっているため、例えばガラス基板のスクライブ時に発生したカレットがスクライビングホイール252の側壁面とホルダー251の支持部255、256との間に巻き込まれ、この巻き込まれたカレットによってスクライビングホイール252の回転不良を起こす傾向がある。
According to the
また、スクライビングホイール252の側壁面とホルダー251の支持部255、256との間に巻き込まれたカレットが多量になると、スクライビングホイール252の回転性がより悪化し、スクライブ時に刃先がガラス基板の表面を滑るため、刃先寿命が短くなることが懸念される。加えて、ホルダー251の支持部255、256とピン259との接触面積が大きいために摩擦抵抗が大きく、スクライブ中にピン259が回転したり、回転しなかったりすることがあり、これによってガラスへの切断荷重が不均一となって、ガラス端面強度の低下やガラス破断強度のバラツキの要因となることがある。
In addition, when the amount of cullet caught between the side wall surface of the
本発明は、上述した従来技術の問題点を解決すべくなされたものであり、スクライビングホイールの側壁面とホルダーの支持部との間の接触面積が小さくなるようにして、物理的にスクライビングホイールの側壁面とホルダーの支持部との間にカレットが巻き込まれ難くすると共に、スクライビングホイールのホルダー溝内での位置の安定性、スクライビングホイールの進行方向に対する左右のぶれを抑制及びスクライブしたときのスクライブラインの直線性に対する悪影響の抑制されたホルダー及びホルダーユニットを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems of the prior art, and it is possible to physically reduce the contact area between the side wall surface of the scribing wheel and the support portion of the holder so that the scribing wheel is physically removed. A scribe line that makes it difficult for the cullet to be caught between the side wall surface and the support portion of the holder, stabilizes the position in the holder groove of the scribing wheel, and suppresses and scribes the left and right shakes in the traveling direction of the scribing wheel. An object of the present invention is to provide a holder and a holder unit in which adverse effects on the linearity of the sheet are suppressed.
さらに、本発明は、追加的に、ピンとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗が小さく、ピンが回転し易い構成のホルダー及びホルダーユニットを提供することを目的とする。 Another object of the present invention is to provide a holder and a holder unit having a configuration in which the frictional resistance between the pin and the support portion of the holder is small and the pin is easy to rotate.
上記目的を達成するため、本発明のホルダーは、ディスク状であって、中心に貫通孔が形成され、外周部に沿って垂直断面形状がV字形の刃が形成されたスクライビングホイールを、前記スクライビングホイールの貫通孔に回転自在に挿入されるピンにより、回転自在に保持するためのホルダーにおいて、前記ホルダーは、前記スクライビングホイールを内部で回転自在に保持するホルダー溝と、前記ホルダー溝によって形成された一対の支持部と、前記一対の支持部にそれぞれ同軸に形成され、前記ピンが挿入される一対のピン孔と、を有し、前記ホルダー溝は、前記スクライビングホイールの一部が挿入される狭幅部と、前記ホルダーの切断端側に形成された前記狭幅部よりも幅広の広幅部とからなり、前記一対のピン孔は前記ホルダー溝の前記広幅部に対応する位置に形成されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a holder according to the present invention is a disc-shaped scribing wheel in which a through-hole is formed at the center and a blade having a V-shaped vertical cross section is formed along the outer periphery. In a holder for rotatably holding by a pin rotatably inserted into a through hole of the wheel, the holder is formed by a holder groove that holds the scribing wheel rotatably inside, and the holder groove A pair of support portions, and a pair of pin holes formed coaxially with each of the pair of support portions, into which the pins are inserted, and the holder groove is a narrow portion into which a part of the scribing wheel is inserted The pair of pin holes are formed of a width portion and a wide width portion wider than the narrow width portion formed on the cut end side of the holder. Wherein the of being formed at positions corresponding to the wide portion.
本発明のホルダーでは、ピンの切断端側に形成されているホルダー溝の広幅部ではスクライビングホイールの側壁面はホルダーの支持部と接触することがない。そのため、本発明のホルダーによれば、ホルダー溝の狭幅部内に挿入されているスクライビングホイールの側壁面とホルダーの支持部との間の接触面積が従来のホルダーの場合よりも小さくなっているので、スクライビングホイールとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗が小さくなり、スクライビングホイールが回転し易くなる。 In the holder of the present invention, the side wall surface of the scribing wheel does not contact the support portion of the holder in the wide portion of the holder groove formed on the cut end side of the pin. Therefore, according to the holder of the present invention, the contact area between the side wall surface of the scribing wheel inserted into the narrow portion of the holder groove and the support portion of the holder is smaller than in the case of the conventional holder. The frictional resistance between the scribing wheel and the support portion of the holder is reduced, and the scribing wheel is easily rotated.
また、通常、一対の支持部に形成された一対のピン孔は少なくとも一方が支持部を貫通するように形成されるが、本発明のホルダーではピンは両端部側でのみ支持部のピン孔内に支持されている。そのため、本発明のホルダーにおいては、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の接触面積も従来のホルダーユニットの場合よりも小さくなるので、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗も小さくなり、ピンの回転性も良好となる。加えて、本発明のホルダーにおいては、一対の支持部にそれぞれ形成された一対のピン孔はホルダー溝の広幅部に対応する位置に形成されているので、ホルダー溝の広幅部においてピンの周囲に空間が生じるため、たとえスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝の狭幅部へ進入しても、容易に排出される。 In addition, normally, at least one of the pair of pin holes formed in the pair of support portions is formed so as to penetrate the support portion. However, in the holder of the present invention, the pins are inside the pin holes of the support portions only at both ends. It is supported by. Therefore, in the holder of the present invention, the contact area between the pin and the support portion of the holder in the pin hole is also smaller than in the case of the conventional holder unit. The frictional resistance is also reduced, and the pin rotation is improved. In addition, in the holder of the present invention, the pair of pin holes respectively formed in the pair of support parts are formed at positions corresponding to the wide part of the holder groove, so that the pin groove is formed around the pin in the wide part of the holder groove. Since a space is created, cullet is generated at the time of scribing, and even if this cullet enters the narrow part of the holder groove, it is easily discharged.
そのため、本発明のホルダーによれば、スクライブ時にスクライビングホイール及びピンの回転性が良好となるので、スクライブ時にスクライビングホイールの刃先が被スクライブ基板の表面を滑る現象が生じ難くなくなり、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制される。 For this reason, according to the holder of the present invention, the scribing wheel and the pin can be rotated at the time of scribing. Therefore, the scribing wheel blade tip does not easily slide on the surface of the scribe substrate during scribing, and the blade tip life is increased. At the same time, a decrease in end face strength of the scribe substrate after scribing and variations in breaking strength are suppressed.
また、本発明のホルダーにおいては、前記一対の支持部は、前記ホルダー溝の前記狭幅部と前記広幅部との間が段差状に形成されていることが好ましい。 In the holder of the present invention, it is preferable that the pair of support portions are formed in a stepped shape between the narrow portion and the wide portion of the holder groove.
ホルダー溝が段差状に形成されていると、ホルダーの支持部の対向する内面を互いに平行とし易いためにスクライブ時の直線性が良好となる。 If the holder groove is formed in a stepped shape, the opposing inner surfaces of the support portions of the holder are easily parallel to each other, so that the linearity during scribing is good.
また、本発明のホルダーにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側とは反対側に形成されているものとしてもよい。 In the holder of the present invention, the narrow portion of the holder groove may be formed on the side opposite to the cut end side with respect to the axis of the pin.
本発明のホルダーでは、ピンの軸に対して、スクライビングホイールの切断端側とは反対側がホルダー溝の狭幅部内に位置している。そのため、本発明のホルダーによれば、ホルダーの切断端側のホルダー溝の広幅部においてピンの周囲に空間が生じるため、スクライブ時にカレットが進入し難く、さらにスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝の狭幅部へ進入しても、容易に排出される。 In the holder of the present invention, the side opposite to the cutting end side of the scribing wheel with respect to the pin shaft is located in the narrow portion of the holder groove. Therefore, according to the holder of the present invention, since a space is generated around the pin in the wide portion of the holder groove on the cut end side of the holder, the cullet is difficult to enter during scribing, and the cullet is generated during scribing. Even if it enters the narrow part of the holder groove, it is easily discharged.
また、本発明のホルダーにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側とは反対側と、左右の一方とに形成されているものとしてもよい。 In the holder of the present invention, the narrow portion of the holder groove may be formed on the side opposite to the cut end side and one of the left and right sides with respect to the axis of the pin.
本発明のホルダーでは、ピンの軸に対して、スクライビングホイールの切断端側とは反対側と、左右の一方のいずれかがホルダー溝の狭幅部内に位置しており、切断端側の左右の少なくとも一方はホルダー溝の広幅部に位置している。そのため、本発明のホルダーによれば、単にホルダー溝の幅を広げてカレットの排出を容易にする場合とは異なり、スクライビングホイールの刃先の振れが少なく、スクライブラインの形成時に蛇行することが抑制される。 In the holder of the present invention, one of the left and right sides opposite to the cutting end side of the scribing wheel with respect to the pin axis is located in the narrow portion of the holder groove, At least one is located in the wide part of the holder groove. Therefore, according to the holder of the present invention, unlike the case where the width of the holder groove is simply widened to facilitate the discharge of the cullet, the scribing wheel blade tip is less shaken and the meandering during the formation of the scribe line is suppressed. The
また、本発明のホルダーにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側に形成されているものとしてもよい。 In the holder of the present invention, the narrow portion of the holder groove may be formed on the cut end side with respect to the axis of the pin.
本発明のホルダーでは、ピンの軸に対して、ホルダーの切断端側にホルダー溝の狭幅部及び支持部の広幅部が設けられ、切断端側と反対側にホルダー溝の広幅部が設けられている。そのため、本発明のホルダーによれば、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗が小さくなり、ピンの回転性も良好となる。加えて、スクライビングホイールの交換時には、支持部の広幅部においてスクライビングホイールを保持しながらスクライビングホイールの交換を行うことができ、ホイールの交換が容易になる。 In the holder of the present invention, the narrow part of the holder groove and the wide part of the support part are provided on the cutting end side of the holder with respect to the pin shaft, and the wide part of the holder groove is provided on the side opposite to the cutting end side. ing. Therefore, according to the holder of the present invention, the frictional resistance between the pin in the pin hole and the support portion of the holder is reduced, and the pin rotation is also improved. In addition, when exchanging the scribing wheel, the scribing wheel can be exchanged while holding the scribing wheel in the wide portion of the support portion, and the exchanging of the wheel becomes easy.
また、本発明のホルダーにおいては、前記一対の支持部の前記一対のピン孔の少なくとも一方が支持部を貫通している場合、ピン孔が貫通した支持部のホルダー溝と対向する側の外面には、貫通したピン孔を閉塞する押さえカバーが配置され、前記押さえカバーは、それぞれ前記ホルダーの切断端側とは反対側の位置において調整ネジによって前記ホルダーに固定されているものとしてもよい。 Further, in the holder of the present invention, when at least one of the pair of pin holes of the pair of support portions passes through the support portion, the outer surface on the side facing the holder groove of the support portion through which the pin hole passes is provided. The presser cover which closes the pin hole which penetrated is arranged, and the presser cover may be fixed to the holder by an adjusting screw at a position opposite to the cut end side of the holder.
本発明のホルダーによれば、簡単な構成によってピンをピン孔から抜け難くすることができる。 According to the holder of the present invention, it is possible to make it difficult to remove the pin from the pin hole with a simple configuration.
また、上記目的を達成するため、本発明のホルダーユニットは、ディスク状であって、中心に貫通孔が形成され、外周部に沿って垂直断面形状がV字形の刃が形成されたスクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に保持するためのホルダーとを具備し、前記ホルダーは、ホルダー溝によって形成された一対の支持部と、前記一対の支持部にそれぞれ同軸に形成された一対のピン孔と、前記一対のピン孔及び前記スクライビングホイールの貫通孔に回転自在に挿入され、前記ホルダー溝内で前記スクライビングホイールを回転自在に保持するピンと、を有し、前記ホルダー溝は、前記スクライビングホイールの一部が挿入される狭幅部と、前記ホルダーの切断端側に形成された前記狭幅部よりも幅広の広幅部とからなり、前記一対のピン孔は前記ホルダー溝の前記広幅部に対応する位置に形成されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the holder unit of the present invention is a disc-shaped scribing wheel having a through hole formed in the center and a blade having a V-shaped vertical cross section along the outer periphery. A holder for rotatably holding the scribing wheel, and the holder includes a pair of support portions formed by holder grooves, and a pair of pin holes formed coaxially with the pair of support portions, respectively. And a pin that is rotatably inserted into the pair of pin holes and the through hole of the scribing wheel, and that rotatably holds the scribing wheel in the holder groove, and the holder groove of the scribing wheel A narrow part into which a part is inserted and a wide part wider than the narrow part formed on the cut end side of the holder. , The pair of pin holes is characterized in that it is formed at a position corresponding to the wide portion of the holder groove.
本発明のホルダーユニットでは、ピンの切断端側に形成されているホルダー溝の広幅部ではスクライビングホイールの側壁面はホルダーの支持部と接触することがない。そのため、本発明のホルダーユニットによれば、ホルダー溝の狭幅部内に挿入されているスクライビングホイールの側壁面とホルダーの支持部との間の接触面積が従来のホルダーユニットの場合よりも小さくなっているので、スクライビングホイールとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗が小さくなり、スクライビングホイールが回転し易くなる。 In the holder unit of the present invention, the side wall surface of the scribing wheel does not contact the support portion of the holder at the wide portion of the holder groove formed on the cut end side of the pin. Therefore, according to the holder unit of the present invention, the contact area between the side wall surface of the scribing wheel inserted into the narrow portion of the holder groove and the support portion of the holder is smaller than in the case of the conventional holder unit. Therefore, the frictional resistance between the scribing wheel and the support portion of the holder is reduced, and the scribing wheel is easily rotated.
また、本発明のホルダーユニットでは、通常、一対の支持部に形成された一対のピン孔は、少なくとも一方が支持部を貫通するように形成されるが、ピンは両端部側でのみ支持部のピン孔内に支持されている。そのため、本発明のホルダーユニットにおいては、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の接触面積も従来のホルダーユニットの場合よりも小さくなるので、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗も小さくなり、ピンの回転性も良好となる。加えて、本発明のホルダーユニットにおいては、一対の支持部にそれぞれ形成された一対のピン孔はホルダー溝の広幅部に対応する位置に形成されているので、ホルダー溝の広幅部においてピンの周囲に空間が生じるため、たとえスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝の狭幅部へ進入しても、容易に排出される。 In the holder unit of the present invention, the pair of pin holes formed in the pair of support portions are usually formed so that at least one of the pin holes penetrates the support portion. It is supported in the pin hole. Therefore, in the holder unit of the present invention, the contact area between the pin and the support portion of the holder in the pin hole is also smaller than in the case of the conventional holder unit. The frictional resistance of the pin is also reduced, and the pin rotation is improved. In addition, in the holder unit of the present invention, the pair of pin holes respectively formed in the pair of support parts are formed at positions corresponding to the wide part of the holder groove, so that the periphery of the pin in the wide part of the holder groove Therefore, even if cullet is generated at the time of scribing and this cullet enters the narrow part of the holder groove, it is easily discharged.
そのため、本発明のホルダーユニットによれば、スクライブ時にスクライビングホイール及びピンの回転性が良好となるので、スクライブ時にスクライビングホイールの刃先が被スクライブ基板の表面を滑る現象が生じ難くなくなり、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制される。 For this reason, according to the holder unit of the present invention, the scribing wheel and the pin have excellent rotational performance during scribing, so that it is difficult for the scribing wheel blade tip to slide on the surface of the scribe substrate during scribing, and the blade tip life is increased. In addition, a decrease in end face strength of the scribe substrate after scribing and variations in breaking strength are suppressed.
なお、本発明のホルダーユニットにおいては、スクライビングホイールとして、ディスク状ホイールの円周部に沿った全周にわたり垂直断面形状V字形の刃が形成されているものであっても、或いは、ディスク状ホイールの円周部に沿って垂直断面形状V字形の刃が形成されていると共にこのV字形の刃に交差する方向に一定ピッチで一定深さの溝ないし一定高さの突起が形成されているもの(上記特許文献2参照)であってもよい。 In the holder unit of the present invention, the scribing wheel may have a V-shaped blade having a vertical cross-sectional shape over the entire circumference along the circumference of the disc-shaped wheel, or the disc-shaped wheel. A V-shaped blade having a vertical cross-sectional shape is formed along the circumference of the groove, and a groove or a protrusion having a certain depth is formed at a constant pitch in a direction intersecting the V-shaped blade. (See Patent Document 2 above).
また、本発明のホルダーユニットにおいては、前記一対の支持部は、前記ホルダー溝の前記狭幅部と前記広幅部との間が段差状に形成されていることが好ましい。 In the holder unit of the present invention, it is preferable that the pair of support portions are formed in a step shape between the narrow portion and the wide portion of the holder groove.
ホルダー溝が段差状に形成されていると、ホルダーの支持部の対向する内面を互いに平行とし易いためにスクライブ時の直線性が良好となり、また、ピンの周囲に形成される空間の体積を小さくできるので、ホルダーユニットを小型化し易くなる。 When the holder groove is formed in a stepped shape, the opposing inner surfaces of the support portions of the holder are easily parallel to each other, so that the linearity during scribing is good and the volume of the space formed around the pin is reduced. This makes it easier to miniaturize the holder unit.
また、本発明のホルダーユニットにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側とは反対側に形成されているものとしてもよい。 In the holder unit of the present invention, the narrow portion of the holder groove may be formed on the side opposite to the cut end side with respect to the axis of the pin.
本発明のホルダーでは、ピンの軸に対して、スクライビングホイールの切断端側とは反対側がホルダー溝の狭幅部内に位置している。そのため、本発明のホルダーユニットによれば、ホルダーの切断端側のホルダー溝の広幅部においてピンの周囲に空間が生じるため、スクライブ時にカレットが進入し難く、さらにスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝の狭幅部へ進入しても、容易に排出される。 In the holder of the present invention, the side opposite to the cutting end side of the scribing wheel with respect to the pin shaft is located in the narrow portion of the holder groove. Therefore, according to the holder unit of the present invention, since a space is generated around the pin in the wide portion of the holder groove on the cut end side of the holder, the cullet is difficult to enter during scribing, and the cullet is generated during scribing. Even if it enters the narrow part of the holder groove, it is easily discharged.
また、本発明のホルダーユニットにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側とは反対側と、左右の一方とに形成されているものとしてもよい。 In the holder unit of the present invention, the narrow portion of the holder groove may be formed on the side opposite to the cutting end side and one of the left and right sides with respect to the axis of the pin. .
本発明のホルダーユニットでは、ピンの軸に対して、スクライビングホイールの切断端側とは反対側と、左右の一方とがホルダー溝の狭幅部内に位置しており、左右の他方はホルダー溝の広幅部に位置している。そのため、本発明のホルダーユニットによれば、スクライビングホイールの刃先の振れがより少なくなり、スクライブラインの形成時に蛇行することが抑制される。 In the holder unit of the present invention, the side opposite to the cutting end side of the scribing wheel and one of the left and right sides of the pin shaft are located within the narrow width portion of the holder groove, and the other of the left and right sides is the holder groove. Located in the wide part. Therefore, according to the holder unit of the present invention, the vibration of the cutting edge of the scribing wheel is reduced, and the meandering at the time of forming the scribe line is suppressed.
また、本発明のホルダーユニットにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側に形成されているものとしてもよい。 In the holder unit of the present invention, the narrow portion of the holder groove may be formed on the cut end side with respect to the axis of the pin.
本発明のホルダーユニットでは、ピンの軸に対して、ホルダーの切断端側にホルダー溝の狭幅部及び支持部の広幅部が設けられ、切断端側と反対側にホルダー溝の広幅部が設けられている。そのため、本発明のホルダーユニットによれば、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗が小さくなり、ピンの回転性も良好となる。加えて、スクライビングホイールの交換時には、支持部の広幅部においてスクライビングホイールを保持しながらスクライビングホイールの交換を行うことができ、ホイールの交換が容易になる。 In the holder unit of the present invention, with respect to the pin shaft, the holder groove is provided with a narrow portion of the holder groove and a wide portion of the support portion, and the holder groove is provided with a wide portion of the holder groove on the side opposite to the cut end side. It has been. Therefore, according to the holder unit of the present invention, the frictional resistance between the pin and the support portion of the holder in the pin hole is reduced, and the pin rotation is also improved. In addition, when exchanging the scribing wheel, the scribing wheel can be exchanged while holding the scribing wheel in the wide portion of the support portion, and the exchanging of the wheel becomes easy.
また、本発明のホルダーユニットにおいては、前記一対の支持部の前記ホルダー溝と対向する側の外面には、前記一対のピン孔をそれぞれ閉塞する押さえカバーが配置され、前記押さえカバーは、それぞれ前記ホルダーの切断端側とは反対側の位置において調整ネジによって前記ホルダーに固定されているものとしてもよい。 In the holder unit of the present invention, a pressing cover that closes the pair of pin holes is disposed on the outer surface of the pair of support portions on the side facing the holder groove, and the pressing covers are respectively It is good also as what is being fixed to the said holder with the adjustment screw in the position on the opposite side to the cutting | disconnection end side of a holder.
本発明のホルダーユニットによれば、簡単な構成によってピンをピン孔から抜け難くすることができると共に、調整ネジの締め付け度を変えることにより、ホルダーの支持部に微少な変形を起こさせてスクライビングホイールの側壁面と支持部の内側面との間のクリアランスを微調整することができるようになる。 According to the holder unit of the present invention, it is possible to make it difficult to remove the pin from the pin hole with a simple configuration, and to change the tightening degree of the adjusting screw, thereby causing a slight deformation in the support portion of the holder, and the scribing wheel. The clearance between the side wall surface and the inner side surface of the support portion can be finely adjusted.
また、本発明のスクライブ装置においては、上記のホルダーユニットが取り付けられたスクライブヘッドを備えているものとしてもよい。 The scribing apparatus of the present invention may include a scribing head to which the above holder unit is attached.
本発明のスクライブ装置は、上記の効果を奏するスクライブ装置を提供することができる。 The scribing apparatus of the present invention can provide a scribing apparatus that exhibits the above effects.
また、本発明のスクライブ装置においては、前記ホルダーユニットはホルダージョイントを介して着脱可能に取り付けられているものとしてもよい。 In the scribing apparatus of the present invention, the holder unit may be detachably attached via a holder joint.
本発明のスクライブ装置は、ホルダーユニットがスクライブヘッドに対してホルダージョイントを介して取り付けられているので、スクライビングホイールを交換する際に、ホルダーユニットごと交換することができるので、スクライビングホイールの交換を容易におこなうことができる。 In the scribing apparatus of the present invention, since the holder unit is attached to the scribe head via the holder joint, when replacing the scribing wheel, the entire holder unit can be replaced, so that the scribing wheel can be easily replaced. Can be done.
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するためのスクライブ装置、ホルダーユニット及びホルダーの一例を示すものであって、本発明をこのスクライブ装置、ホルダーユニット及びホルダーに特定することを意図するものではなく、本発明は特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態のものにも適応し得るものである。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the embodiment described below shows an example of a scribing device, a holder unit, and a holder for embodying the technical idea of the present invention, and the present invention is specified to the scribing device, the holder unit, and the holder. It is not intended that the invention be applicable to other embodiments falling within the scope of the claims.
[実施形態1]
本発明の実施形態1に係るホルダー11及びホルダーユニット10を図1及び図2を用いて説明する。なお、図1は実施形態1のホルダーユニットの斜視図であり、図2Aは図1のホルダーユニットの正面図であり、図2Bは図2AのIIB部分の拡大図である
[Embodiment 1]
A
実施形態1に係るホルダーユニット10は、図7及び図8に示した従来のスクライビングホイールの場合と同様に、ホルダー11とスクライビングホイール12とを有しており、ホルダー11の下端にスクライビングホイール12が回転自在に保持されている。ホルダー11は、下方が三角形状に形成された直方体状の部材であり、上部にホルダー11を固定するための貫通孔13を有している。なお、このホルダー11はスクライビングホイール12を被スクライビング部材に当接させてスクライブラインを形成するために用いられるものであるため、以下においてはホルダー11の被スクライビング部材に当接させる側(切断端側)を「下」といい、その反対側を「上」という。
As in the case of the conventional scribing wheel shown in FIGS. 7 and 8, the
スクライビングホイール12は、例えば焼結ダイヤモンドで形成された厚さdが約0.65mmのディスク状の部材であって、中心に貫通孔を有している。また、スクライビングホイール12は、従来例のものと同様に、外周部に沿って稜線を形成するV字形の刃を有している。稜線の両側の傾斜面は、通常、90〜165°の角度で互いに交差しており、これらの傾斜面によって稜線が形成されている。
The
このホルダー11の下方には、ホルダー溝14がホルダー11の三角形状の下方を開放するように形成され、ホルダー溝14を挟むこの三角形状の部分で支持部15、16を形成している。そして、ホルダー溝14は、スクライビングホイール12の上方の一部分が挿入される狭幅部14aと、この狭幅部14aよりも幅広に形成された広幅部14bとからなっている。そのため、一対の支持部15、16は、それぞれホルダー溝14の狭幅部14aに対向する広幅部15a、16aと、ホルダー溝14の広幅部14bに対向する狭幅部15b、16bを備えている。なお、ホルダー11の支持部15、16における広幅部15a、16aと狭幅部15b、16bとの間は段差状に形成されている。
Below the
また、ホルダー11の支持部15、16の相対向する面、すなわち、広幅部15a、16aの相対向する面及び狭幅部15b、16bの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー11の支持部15、16における狭幅部15b、16bには、各々を貫通するピン孔17、18が同軸に形成されている。ピン孔17、18は、ホルダー溝14と垂直に交差しており、スクライビングホイール12のピン19を保持する円形の貫通孔である。
The opposing surfaces of the
そして、本実施形態1のホルダーユニット10では、ピン19は、スクライビングホイール12の貫通孔及びピン孔17、18に、ホルダー11の支持部15、16の広幅部15a、16aとは接触しないように、取り付けられている。そのため、ホルダー11の支持部15、16の広幅部15a、16aの下側とピン19との間には隙間20が形成されている。なお、ピン19は、例えば、超硬合金等の金属、焼結ダイヤモンドで形成された円柱形の部材であって、一端が尖頭形状を有している。
In the
ホルダー溝14の狭幅部14aの間隔w1はスクライビングホイール12の幅よりわずかに大きくなるようにされている。スクライビングホイール12の幅dは例えば約0.65mmであり、ホルダー溝14の狭幅部14aの間隔w1は例えば約0.67mmである。また、ホルダー溝14の広幅部14bの間隔w2は、狭幅部14の間隔w1の間隔より広ければ任意であるが、支持部15、16の狭幅部15b、16bに形成されたピン孔17、18内におけるピン19の回転時の摩擦が小さくなるようにするためには、ピン19を両端部のみで支持し、ピン19がピン孔17、18内に位置している部分の長さが短くなるようにする必要があり、ホルダー溝14の狭幅部14aの間隔w1の2倍以上とすることが好ましい。
The interval w1 of the
しかしながら、あまりw2を大きくすると、ホルダー11の支持部15、16の狭幅部15b、16bの幅が細くなるために、スクライブ時に印加される荷重によって、狭幅部15b、16bが撓む虞があること、及び、ピン19が両端部側で支持されることになり、ピン19自体も撓んでしまう虞が生じるので、ホルダー11の支持部15、16の狭幅部15b、16bの幅がホルダー11の支持部15、16の広幅部15a、16aの1/3程度となるようにすることが好ましい。また、ホルダー11の支持部15、16の広幅部15a、16aの下側とピン19との間に形成された隙間20の間隔は任意であるが、ホルダーユニット10を小型化するには小さい方がよい。
However, if w2 is increased too much, the widths of the
また、本実施形態1のホルダーユニット10では、ホルダー11の支持部15、16の広幅部15a、16aに形成されたピン孔17、18の両端部は、それぞれ押さえカバー22、23によって閉塞されている。これらの押さえカバー22、23は、例えば図1に示したように、一端が突出したワッシャ形状を有しており、それぞれがホルダー11の上方において調整ネジ24、25によってホルダー11の外側面に固定されている。
Further, in the
このホルダーユニット10の組立は次のようにして行われる。まず、支持部15側より押さえカバー22を調整ネジ24によって取付け、ピン孔17の外部側を閉塞する。次いで、スクライビングホイール12の一部をホルダー溝14の狭幅部14a内に挿入して保持し、ピン19を尖頭形状の部分からピン孔18、スクライビングホイール12の貫通孔及びピン孔17に挿通する。ピン19の尖頭形状の部分が、ピン孔17の一方の開口付近にある押さえカバー22と接するところまでピン19を挿入し、次いで支持部16側から押さえカバー23を調整ネジ25でねじ止めしてピン孔18の外部側を閉じる。これにより、ピン19はピン孔17、18から脱落することはなくなり、しかも、スクライビングホイール12はピン19に回転自在に保持される。
The assembly of the
この状態のホルダーユニット10を用いてガラス基板等の脆性基板をスクライブすれば、スクライビングホイール12はホルダー溝14の狭幅部14a内で位置が安定するので、スクライビングホイール12の進行方向に対する左右のぶれがほとんどなくなり、スクライブしたときのスクライブラインの直線性を向上させることができるようになる。加えて、たとえスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝14の狭幅部14aとスクライビングホイール12との間に侵入しても、ホルダー11の支持部15、16の広幅部15a、16aの下側とピン19との間に形成されている隙間20及びピン19と脆性基板との間に形成される空間の存在のために、容易に排出されるので、スクライビングホイール12の回転性が損なわれることが抑制される。
If the
そのため、本実施形態1のホルダーユニット10によれば、スクライブ時にスクライビングホイール12及びピン19の回転性が良好となるので、スクライブ時にスクライビングホイール12の刃先が被スクライブ基板の表面を滑る現象が生じ難くなくなり、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制されるという優れた効果を奏するようになる。
For this reason, according to the
なお、実施形態1のホルダーユニット10においては、ホルダー溝14の狭幅部14aが、スクライビングホイール12の上方の一部分に形成された例を示したが、図面において左右側の一部分が挿入されるように形成してもよいことは当然である。そして、何れの場合においても、スクライブ時に発生したカレットがホルダー溝14の狭幅部14a内に侵入し難く、スクライビングホイール12及びピン19の回転性が良好となる。
In addition, in the
また、本実施形態1のホルダーにおいては、ホルダー11の支持部15、16の相対向する面、すなわち、広幅部15a、16aの相対向する面及び狭幅部15b、16bの相対向する面は、共に平行に形成されているが、広幅部15a、16aの相対向する面が平行に形成されていれば、狭幅部15b、16bの相対向する面は平行でなくてもよい。少なくともスクライビングホイール12が接触する支持部15、16の広幅部15a、16aの相対向する面が平行であれば、スクライビングホイール12がホルダー溝14の狭幅部14a内で位置を安定させることができるためである。
Further, in the holder of the first embodiment, the opposing surfaces of the
さらにまた、本実施形態1のホルダーにおいては、ホルダー11の支持部15、16における狭幅部15b、16bに各々を貫通するピン孔17、18が同軸に形成されて、ピン孔17、18の両側より押さえカバー22、23を用いてピン19を保持するようにしているが、一方のピン孔の径を支持部外周側で狭くしてピンを保持するようにしてもよい。さらに、ピン孔17、18は、同軸に形成されていれば、狭幅部15b、16bのいずれか一方を貫通するのみでも良い。この場合には、ピン孔の径が狭くされていない支持部又は貫通したピン孔が設けられた支持部の外側面にのみ押さえカバーが設けられていればよい。
Furthermore, in the holder according to the first embodiment, pin holes 17 and 18 that pass through the
[実施形態2]
次に、実施形態2のホルダー及びホルダーユニットを図3及び図4を用いて説明する。なお、図3は実施形態2のホルダーユニットの斜視図であり、図4は図3のIV−IV線に沿った断面図である。また、図3及び図4においては、実施形態1のホルダーユニット10と同一の構成部分には同一の参照符号を付与して、その詳細な説明は省略する。
[Embodiment 2]
Next, the holder and holder unit of Embodiment 2 will be described with reference to FIGS. 3 is a perspective view of the holder unit according to the second embodiment, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3 and 4, the same reference numerals are assigned to the same components as those of the
実施形態2のホルダー11A及びホルダーユニット10Aが実施形態1のホルダー11及びホルダーユニット10と構成が相違する点は、ホルダー溝14の狭幅部14a及び広幅部14bの構成と、それに伴う支持部15、16の広幅部15a、16a及び狭幅部15b、16bの構成である。すなわち、実施形態2のホルダー11A及びホルダーユニット10Aでは、ホルダー溝14の狭幅部14aは、スクライビングホイール12の上方の一部分と、図面において右側の一部分が挿入されるように形成されており、それに伴って支持部15、16の広幅部15a、16aが、スクライビングホイール12の上方と、図面において右側に形成されている。
The configuration of the
そして、ホルダー溝14の広幅部14bは、スクライビングホイール12の図面において左側に形成されており、それに伴って支持部15、16の狭幅部15b、16bが、スクライビングホイール12の図面において左側に形成されている。また、ホルダー11Aの支持部15、16における広幅部15a、16aと狭幅部15b、16bとの間は段差状に形成されている。
The
この場合においても、ホルダー11Aの支持部15、16の相対向する面、すなわち、広幅部15a、16aの相対向する面及び狭幅部15b、16bの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー11Aの支持部15、16における狭幅部15b、16bには、各々を貫通するピン孔(図示省略)が同軸に形成されており、ピン19はホルダー11Aの支持部15、16の広幅部15a、16aとは接触しないように取り付けられている。そのため、ホルダー11Aの支持部15、16の広幅部15a、16aの下側とピン19との間には隙間20が形成されている。
Also in this case, the opposing surfaces of the
このような構成の実施形態2のホルダー11A及びホルダーユニット10Aによれば、実施形態1のホルダー11及びホルダーユニット10に比すると、僅かにスクライビングホイール12と支持部15、16の広幅部15a、16aとの間の接触面積が大きくなるため、僅かに摩擦抵抗が大きくなるが、その点を除けば実質的に同等の作用効果を奏することができる外、スクライビングホイール12の刃先の振れがより少なくなるので、スクライブラインの形成時に蛇行することが抑制されるようになる。
According to the
なお、実施形態2のホルダーユニット10Aにおいては、ホルダー溝14の狭幅部14aが、スクライビングホイール12の上方の一部分だけでなく、図面において右側の一部分が挿入されるように形成された例を示したが、図面において左側の一部分が挿入されるように形成してもよいことは当然である。そして、何れの場合においても、実施形態2のホルダーユニット10Aを用いてスクライブラインを形成する際には、ホルダーユニット10Aを図面において左右のいずれかに形成された狭幅部側に移動させれば、スクライブ時に発生したカレットがホルダー溝14の狭幅部14a内に侵入し難くなるので、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制されるという優れた効果を奏することができるようになる。
In the
[実施形態3]
次に、実施形態3のホルダー及びホルダーユニットを図5及び図6を用いて説明する。なお、図5は実施形態3のホルダーユニットの斜視図であり、図6Aは図5のホルダーユニットの正面図であり、図6Bは図6AのVIB部分の拡大図である。また、図5及び図6においては、実施形態1のホルダーユニット10と同一の構成部分には同一の参照符号を付与して、その詳細な説明は省略する。
[Embodiment 3]
Next, the holder and holder unit of Embodiment 3 will be described with reference to FIGS. 5 is a perspective view of the holder unit of the third embodiment, FIG. 6A is a front view of the holder unit of FIG. 5, and FIG. 6B is an enlarged view of the VIB portion of FIG. 6A. 5 and 6, the same reference numerals are given to the same components as those of the
実施形態3のホルダー11B及びホルダーユニット10Bが実施形態1のホルダー11及びホルダーユニット10と構成が相違する点は、ホルダー溝14の狭幅部14a及び広幅部14bと、それに伴う支持部15、16の広幅部15a、16a及び狭幅部15b、16bの配置が上下逆になっている点である。すなわち、実施形態3のホルダー11B及びホルダーユニット10Bでは、ホルダー溝14の狭幅部14aはスクライビングホイール12の下方に、広幅部14bがスクライビングホイール12の上方に形成されており、それに伴って支持部15、16の広幅部15a、16aがスクライビングホイール12の下方に、狭幅部15b、16bがスクライビングホイール12の上方に形成されている。なお、ホルダー11Bの支持部15、16における広幅部15a、16aと狭幅部15b、16bとの間は段差状に形成されている。
The configuration of the
この場合においても、ホルダー11Bの支持部15、16の相対向する面、すなわち、広幅部15a、16aの相対向する面及び狭幅部15b、16bの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー11Bの支持部15、16における狭幅部15b、16bには、各々を貫通するピン孔17、18が同軸に形成されており、ピン19はホルダー11Bの支持部15、16の広幅部15a、16aとは接触しないように取り付けられている。そのため、ホルダー11Bの支持部15、16の広幅部15a、16aの上側とピン19の上側との間には隙間20が形成されている。
Also in this case, the opposing surfaces of the
このような構成の実施形態3のホルダー11B及びホルダーユニット10Bによれば、実施形態1のホルダー11及びホルダーユニット10に比すると、スクライビングホイール12と支持部15、16との間の接触面積が少なくなり、かつスクライビングホイール12の取付が容易となるという効果も奏されるようになる。
According to the
すなわち、スクライビングホイール12の取付時には、ホルダー溝14の狭幅部14aにスクライビングホイール12の一部を差し込み、ピン19を支持部16の貫通孔18、スクライビングホイール12の貫通孔、支持部15の貫通孔17に順に通すこととなる。しかしながら、実施形態1のホルダー11及びホルダーユニット10では、狭幅部14aがホルダー11の内部にあるためスクライビングホイール12を固定し難く、スクライビングホイール12の外径が小さくなるとその取付が難しくなる。それに対し、実施形態3のホルダー11B及びホルダーユニット10Bによれば、切断端側にホルダー溝14の狭幅部14aが形成されているので、スクライビングホイール12の取付時にホルダー11Bの下端に位置する狭幅部14aでスクライビングホイール12を保持してピン19を挿入することができるため、スクライビングホイール12の取り付け及び交換が容易になる。
That is, when the
加えて、たとえスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝14の狭幅部14aとスクライビングホイール12との間に侵入しても、ホルダー11Bの支持部15、16の広幅部15a、16aの上側とピン19との間に形成されている隙間20及びピン19とホルダー溝14の広幅部14bの間に形成される空間の存在のために、容易に排出されるので、スクライビングホイール12の回転性が損なわれることが抑制される。
In addition, even if cullet is generated during scribing and this cullet enters between the
以上のような実施形態1〜3に示したホルダーユニットは、脆性材料基板を手で切るための脆性材料切断用カッターに取り付けることができる。また、実施形態1〜3のホルダーユニットは、スクライブ装置に備わっているスクライブヘッドに取り付けられることにより、脆性材料基板に対してスクライブラインを形成することもできる。このスクライブ装置に関して図面を用いて説明する。 The holder units shown in Embodiments 1 to 3 as described above can be attached to a brittle material cutting cutter for manually cutting a brittle material substrate. Moreover, the holder unit of Embodiments 1 to 3 can also form a scribe line with respect to the brittle material substrate by being attached to a scribe head provided in the scribe device. The scribing apparatus will be described with reference to the drawings.
図7はスクライブ装置100の概略図を示している。スクライブ装置100は、移動台111が一対の案内レール112a、112bに沿って、y軸方向に移動自在に保持されている。移動台111はボールネジ113と螺合している。このボールネジ113はモータ114の駆動により回転し、移動台111を案内レール112a、112bに沿って、y軸方向に移動させる。
FIG. 7 shows a schematic diagram of the
移動台111の上面にはモータ115が設けられている。モータ115はテーブル116をxy平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板117はこのテーブル116上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置110の上部には、脆性材料基板117のアライメントマークを撮像する2台のCCDカメラ118が設けられている。そして、スクライブ装置110には、移動台111とその上部のテーブル116を跨ぐようにブリッジ119がx軸方向に沿って支柱120a、120bにより架設されている。
A
ブリッジ119にはガイド122が取り付けられており、スクライブヘッド121はガイド122に沿ってx軸方向に沿って移動可能となっている。そして、このスクライブ装置100のスクライブヘッド121には、ホルダージョイント123を介して、スクライビングホイール150を回転自在に保持しているホルダー140aからなるホルダーユニット110が取り付けられている。
次に、このホルダージョイント123について図8を用いて説明する。図8はホルダー40aを具備するホルダーユニット110が取り付けられたホルダージョイント123の正面図である。ホルダージョイント123は、略円柱状をしており、回転軸部124と、ジョイント部125で構成されている。
A
Next, the holder joint 123 will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a front view of the holder joint 123 to which the
そして、スクライブヘッド121にホルダージョイント123が装着された状態においては、この回転軸部124には、ホルダージョイント123を回動自在に保持するための二つのベアリング126a、126bが円筒形のスペーサ127を介して取り付けられた状態になっている。なお、図8にはホルダージョイント123の正面図を示すとともに、回転軸部124に取り付けられたベアリング126a、126bとスペーサ127の断面図を示している。
In a state where the holder joint 123 is attached to the scribe head 121, two
円柱形のジョイント部125には、下端側に円形の開口128が形成されており、この開口の上部にはマグネット129が埋設されている。そして、この開口128には、ホルダー140aを具備するホルダーユニット110が着脱自在に取り付けられている。なお、図9に示すように、ホルダー140aの上端側には位置決め用の取付部146が設けられている。この取付部146はホルダー140aを切り欠いて形成されており、傾斜部146aと支持部146bを有している。また、ホルダー140aの上端側の少なくとも一部分は磁性体金属で構成されている。
The cylindrical
このスクライビングホール150とホルダー140aを具備するホルダーユニット110は、ホルダージョイント123の開口128へ、ホルダー140aの取付部146側から挿入される。その際、ホルダー140aの上端側の磁性体金属がマグネット129によって引き寄せられ、取付部146の傾斜部146aが、開口128の内部を通る平行ピン130に接触し位置決めが行われ、ホルダーユニット110はホルダージョイント123に固定される。反対に、ホルダージョイント123からホルダーユニット110を取り外す際には、ホルダーユニット110を下方へ引く抜くことで、容易に取り外すことができる。
The
ここで、スクライビングホイール150は消耗品であるため定期的な交換が必要となる。本実施形態においては、ホルダージョイント123を介してホルダーユニット110がスクライブヘッド121に装着されているので、ホルダーユニット110の着脱が容易に行える。したがって、スクライビングホイール150をホルダー140aから取り外したりすることなく、スクライビングホイール150とホルダー140aを一体として扱い、ホルダーユニット110そのものを交換すればよいので、スクライビングホイール150の交換作業を容易に行うことができる。
Here, since the
[実施形態4]
次に、ホルダー140aを具備するホルダーユニット110の詳細について、図9、図10を用いて説明する。図9Aは上方側からのホルダーユニット110の斜視図であり、図9Bは下方側からのホルダーユニット110の斜視図である。また、図10Aは図9AのXa−Xa線に沿った断面図であり、図10Bは図9AのXb−Xb線に沿った断面図である。
[Embodiment 4]
Next, details of the
このホルダー140aは略円柱形の金属または樹脂からなり、その下端側には支持部1165,166が設けられている。この支持部165と支持部166との間に、スクライビングホイール150を保持するためのホルダー溝142が形成されている。また、支持部165、166には、スクライビングホイール150を固定するために孔状のピン孔z143aがそれぞれ形成されている。このピン孔143aにピン144が貫通され、スクライビングホイール150が回転自在に取り付けられている。
The
なお、ホルダー140aは上述したように、スクライビングホイール150を脆性材料基板である被スクライビング部材に当接させてスクライブラインを形成するために用いられるものであるため、以下においてはホルダー140aの被スクライビング部材に当接させる側(切断端側)を「下」といい、その反対側を「上」という。
As described above, the
ホルダー140aに形成されているホルダー溝142は、スクライビングホイール150の上方の一部分が挿入される狭幅部142aと、この狭幅部142aよりも幅広に形成された窪み部の一例である広幅部142bと、からなっている。そのため、一対の支持部165、166は、それぞれホルダー溝142の狭幅部142aに対向する広幅部165a、166aと、ホルダー溝142の広幅部142bに対向する狭幅部165b、166bを備えている。なお、ホルダー140aの支持部165、166における広幅部165a、166aと狭幅部165b、166bとの間は段差状に形成されている。
The
また、ホルダー140aの支持部165、166の相対向する内壁、すなわち、広幅部165a、166aの相対向する面及び狭幅部165b、166bの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー140aの支持部165、166における狭幅部165b、166bには、各々を貫通するピン孔143aが同軸にそれぞれ形成されている。ピン孔143aは、ホルダー溝142と垂直に交差しており、スクライビングホイール150のピン144を保持する円形の貫通孔である。
The opposing inner walls of the
そして、実施形態4のホルダーユニット110では、ピン144は、スクライビングホイール150の貫通孔153及びピン孔143aに、ホルダー140aの支持部165、166の広幅部165a、166aとは接触しないように、取り付けられている。そのため、ホルダー140aの支持部165、166の広幅部165a、166aの下側とピン144との間には隙間167が形成されている。なお、ピン144は、例えば、超硬合金等の金属、焼結ダイヤモンドで形成された円柱形の部材であって、一端が尖頭形状を有している。
In the
ホルダー溝142の狭幅部142aの間隔はスクライビングホイール150の幅よりわずかに大きくなるようにされている。スクライビングホイール150の幅は例えば約0.65mmであり、ホルダー溝142の狭幅部142aの間隔は例えば約0.67mmである。また、ホルダー溝142の広幅部142bの間隔は、狭幅部142aの間隔より広ければ任意である。しかしながら、ピン孔143a内におけるピン144の回転時の摩擦が小さくなるようにするためには、ピン144を両端部のみで支持し、ピン144がピン孔143a内に位置している部分の長さが短くなるようにする必要がある。したがって、広幅部142bの1間隔は、ホルダー溝142の狭幅部142aの間隔の2倍以上とすることが好ましい。
The distance between the
一方、あまり広幅部142bの間隔を大きくすると、ホルダー140aの支持部165、166の狭幅部165b、166bの幅が細くなるために、スクライブ時に印加される荷重によって、狭幅部165b、166bが撓む虞があること、及び、ピン144が両端部側で支持されることになり、ピン144自体も撓んでしまう虞が生じるので、ホルダー140aの支持部165、166の狭幅部165b、166bの幅がホルダー140aの支持部165、166の広幅部165a、166aの1/3程度となるようにすることが好ましい。また、ホルダー140aの支持部165、166の広幅部165a、166aの下側とピン144との間に形成された隙間167の間隔は任意であるが、ホルダーユニット110を小型化するには小さい方がよい。
On the other hand, if the interval between the
この状態のホルダーユニット110を用いて、スクライブ装置100によりガラス基板等の脆性基板をスクライブすれば、スクライビングホイール150はホルダー溝142の狭幅部142a内で位置が安定するので、スクライビングホイール150の進行方向に対する左右のぶれがほとんどなくなり、スクライブしたときのスクライブラインの直線性を向上させることができるようになる。加えて、たとえスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝142の狭幅部42aとスクライビングホイール150との間に侵入しても、ホルダー140aの支持部165、166の広幅部165a、166aの下側とピン144との間に形成されている隙間167及びピン144と脆性基板との間に形成される空間の存在のために、容易に排出されるので、スクライビングホイール150の回転性が損なわれることが抑制される。
If the
そのため、実施形態4のホルダーユニット110によれば、スクライブ時にスクライビングホイール150及びピン144の回転性が良好となるので、スクライブ時にスクライビングホイール150の刃先が被スクライブ基板の表面を滑る現象が生じ難くなくなり、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制されるという優れた効果を奏するようになる。
For this reason, according to the
なお、実施形態4のホルダーユニット110においては、ホルダー溝142の狭幅部142aが、スクライビングホイール150の上方の一部分に形成された例を示したが、図面において左右側の一部分が挿入されるように形成してもよいことは当然である。そして、何れの場合においても、スクライブ時に発生したカレットがホルダー溝142の狭幅部142a内に侵入し難く、スクライビングホイール150及びピン144の回転性が良好となる。
In addition, in the
また、実施形態4のホルダー140aにおいては、ホルダー140aの支持部165、166の相対向する内壁、すなわち、広幅部165a、166aの相対向する面及び狭幅部165b、166bの相対向する面は、共に平行に形成されているが、広幅部115a、116aの相対向する面が平行に形成されていれば、狭幅部165b、166bの相対向する面は平行でなくてもよい。少なくともスクライビングホイール150が接触する支持部165、166の広幅部165a、166aの相対向する面が平行であれば、スクライビングホイール150がホルダー溝142の狭幅部142a内で位置を安定させることができるためである。
In the
[実施形態5]
次に、実施形態5のホルダー140bを具備するホルダーユニット110Aについて、図11を用いて説明する。なお、図11Aは下方側からのホルダー140bの斜視図であり、図11Bは反対側からのホルダー140bの斜視図であり、図11Cは図11AのXI−XI線に沿った断面図である。
[Embodiment 5]
Next, a
実施形態5のホルダー140b及びホルダーユニット110Aが実施形態4のホルダー140a及びホルダーユニット110と構成が相違する点は、ホルダー溝142の狭幅部142a及び広幅部142bの構成と、それに伴う支持部165、166の広幅部165a、166a及び狭幅部165b、166bの構成である。すなわち、実施形態5のホルダー140bでは、ホルダー溝142の狭幅部142aは、スクライビングホイール150の上方の一部分と、図11Cにおいてスクライビングホイール150の右側の一部分が挿入されるように形成されており、それに伴って支持部165、166の広幅部165a、166aが、スクライビングホイール150の上方と、図11Cにおいてスクライビングホイール150の右側に形成されている。
The configuration of the
そして、ホルダー溝142の広幅部142bは、図11Cにおいてスクライビングホイール150の左側に形成されており、それに伴って支持部165、166の狭幅部165b、166bが、図11Cにおいてスクライビングホイール150の左側に形成されている。また、ホルダー140bの支持部165、166における広幅部165a、166aと狭幅部165b、166bとの間は段差状に形成されている。
The
この場合においても、ホルダー140bの支持部165、166の相対向する内壁、すなわち、広幅部165a、166aの相対向する面及び狭幅部165b、166bの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー140bの支持部165、166における狭幅部165b、166bには、各々を貫通するピン孔143aが同軸に形成されており、ピン144はホルダー140bの支持部165、166の広幅部165a、166aとは接触しないように取り付けられている。そのため、ホルダー140bの支持部165、166の広幅部165a、166aの下側とピン144との間には隙間167が形成されている。
Also in this case, the opposing inner walls of the
このような構成の実施形態5のホルダー140b及びホルダーユニット110Aによれば、実施形態4のホルダー140a及びホルダーユニット110に比すると、僅かにスクライビングホイール150と支持部165、166の広幅部165a、166aとの間の接触面積が大きくなるため、僅かに摩擦抵抗が大きくなるが、その点を除けば実質的に同等の作用効果を奏することができる外、スクライビングホイール150の刃先の振れがより少なくなるので、スクライブラインの形成時に蛇行することが抑制されるようになる。
According to the
なお、実施形態5のホルダーユニット110Aにおいては、ホルダー溝142の狭幅部142aが、スクライビングホイール150の上方の一部分だけでなく、図11Cにおいてスクライビングホイール150の右側の一部分が挿入されるように形成された例を示したが、図11Cにおいてスクライビングホイール150の左側の一部分が挿入されるように形成してもよいことは当然である。そして、何れの場合においても、実施形態5のホルダー40cを具備するホルダーユニット110Aを用いてスクライブ装置100でスクライブラインを形成する際には、ホルダー140bを移動させれば、スクライブ時に発生したカレットがホルダー溝142の狭幅部142a内に侵入し難くなるので、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制されるという優れた効果を奏することができるようになる。
In the
[実施形態6]
次に、実施形態6のホルダー140cを具備するホルダーユニット110Bについて、図12を用いて説明する。なお、図12Aは下方側からのホルダー140cの斜視図であり、図12Bは図12AのXII−XII線に沿った断面図である。
[Embodiment 6]
Next, a
実施形態6のホルダー140c及びホルダーユニット110Bが実施形態4のホルダー140a及びホイールユニット110と構成が相違する点は、ホルダー溝142の狭幅部142a及び広幅部142bと、それに伴う支持部165、166の広幅部165a、166a及び狭幅部165b、166bの配置が上下逆になっている点である。すなわち、実施形態6のホルダー140c及びホルダーユニット110Bでは、ホルダー溝142の狭幅部142aはスクライビングホイール150の下方に、広幅部142cがスクライビングホイール150の上方に形成されており、それに伴って支持部165、166の広幅部165a、166aがスクライビングホイール150の下方に、狭幅部165b、166bがスクライビングホイール150の上方に形成されている。なお、ホルダー140cの支持部165、166における広幅部165a、166aと狭幅部165b、166bとの間は段差状に形成されている。
The difference between the
この場合においても、ホルダー140cの支持部165、166の相対向する内壁、すなわち、広幅部165a、166aの相対向する面及び狭幅部165b、166bの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー140cの支持部165、166における狭幅部165b、166bには、各々を貫通するピン孔143aが同軸に形成されており、ピン144はホルダー140cの支持部165、166の広幅部165a、166aとは接触しないように取り付けられている。そのため、ホルダー140cの支持部165、166の広幅部165a、166aの上側とピン144の上側との間には隙間167が形成されている。
Also in this case, the opposing inner walls of the
このような構成の実施形態6のホルダー140c及びホルダーユニット110Bによれば、実施形態4のホルダー140c及びホルダーユニット110に比すると、スクライビングホイール150と支持部165、166との間の接触面積が少なくなるという効果も奏されるようになる。
According to the
したがって、スクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝142の狭幅部142aとスクライビングホイール150との間に侵入しても、ホルダー140cの支持部165、166の広幅部165a、166aの上側とピン144との間に形成されている隙間67及びピン144とホルダー溝142の広幅部142bの間に形成される空間の存在のために、容易に排出されるので、スクライビングホイール150の回転性が損なわれることが抑制される。
Therefore, even when cullet is generated during scribing and this cullet enters between the
なお、図7に示したスクライブ装置100においては、スクライブヘッド121にホルダージョイントを介して、ホルダーユニット110を取り付ける構成のスクライブ装置について説明したいが、スクライブ装置はホルダーユニットをスクライブヘッドに直接取り付ける構成であっても構わない。
In the
10、10A、10B、110、110A、110B…ホルダーユニット
11、11A、11B、140a、140b、140c…ホルダー
12、150…スクライビングホイール
13…貫通孔
14、142…ホルダー溝
14a、142a…(ホルダー溝の)狭幅部
14b、142b…(ホルダー溝の)広幅部
15、16、165、166…支持部
15a、16a、165a、166a…(支持部の)広幅部
15b、16b、165b、166b…(支持部の)狭幅部
17、18、143a…ピン孔
19、144…ピン
20、167…隙間
22、23…押さえカバー
24、25…調整ネジ
100…スクライブ装置
123…ホルダージョイント
10, 10A, 10B, 110, 110A, 110B ...
Claims (14)
前記ホルダーは、前記スクライビングホイールを内部で回転自在に保持するホルダー溝と、前記ホルダー溝によって形成された互いに平行な対向する面を有する一対の支持部と、前記一対の支持部にそれぞれ同軸に形成され、前記ピンが挿入される一対のピン孔と、を有し、
前記ホルダー溝は、前記スクライビングホイールの一部が挿入される狭幅部と、前記狭幅部よりも幅広の広幅部とからなり、
前記一対のピン孔は前記ホルダー溝の前記広幅部に対応する位置に形成されていることを特徴とするホルダー。 A scribing wheel that is disc-shaped and has a through-hole formed at the center and a cutting edge having a V-shaped vertical cross-section along the outer periphery is inserted into a pin that is rotatably inserted into the through-hole of the scribing wheel. In a holder for holding it freely,
The holder is formed coaxially with the pair of support portions having a holder groove for holding the scribing wheel rotatably inside, a pair of support portions formed by the holder groove and facing each other in parallel, and the pair of support portions, respectively. And a pair of pin holes into which the pins are inserted,
The holder groove includes a narrow part into which a part of the scribing wheel is inserted, and a wide part wider than the narrow part,
The pair of pin holes are formed at positions corresponding to the wide portions of the holder grooves.
前記押さえカバーは、それぞれ前記ホルダーの切断端側とは反対側の位置において調整ネジによって前記ホルダーに固定されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のホルダー。 At least one of the pair of pin holes of the pair of support portions penetrates the support portion, and the through-pin holes are formed on the outer surface of the support portion through which the pin holes penetrate on the side facing the holder groove. A presser cover that closes is placed,
The holder according to any one of claims 1 to 3, wherein each of the pressing covers is fixed to the holder by an adjusting screw at a position opposite to the cut end side of the holder.
前記ホルダーは、ホルダー溝によって形成された互いに平行な対向する面を有する一対の支持部と、前記一対の支持部にそれぞれ同軸に形成された一対のピン孔と、前記一対のピン孔及び前記スクライビングホイールの貫通孔に回転自在に挿入され、前記ホルダー溝内で前記スクライビングホイールを回転自在に保持するピンと、を有し
前記ホルダー溝は、前記スクライビングホイールの一部が挿入される狭幅部と、前記狭幅部よりも幅広の広幅部とからなり、
前記一対のピン孔は前記ホルダー溝の前記広幅部に対応する位置に形成されていることを特徴とするホルダーユニット。 A scribing wheel that is disc-shaped, has a through-hole formed in the center, and has a V-shaped cutting edge formed along the outer periphery, and a holder for holding the scribing wheel rotatably. In the holder unit to
The holder includes a pair of support portions formed by holder grooves and having mutually parallel faces, a pair of pin holes formed coaxially with the pair of support portions, the pair of pin holes and the scribing A pin that is rotatably inserted into a through-hole of the wheel and rotatably holds the scribing wheel in the holder groove, and the holder groove has a narrow width part into which a part of the scribing wheel is inserted; It consists of a wide part wider than the narrow part,
The pair of pin holes are formed at positions corresponding to the wide portions of the holder grooves.
前記押さえカバーは、それぞれ前記ホルダーの切断端側とは反対側の位置において調整ネジによって前記ホルダーに固定されていることを特徴とする請求項7〜11のいずれかに記載のホルダーユニット。 At least one of the pair of pin holes of the pair of support portions penetrates the support portion, and the outer surface on the side facing the holder groove of the support portion through which the pin hole penetrates is blocked with the penetrating pin hole. A presser cover is placed,
The holder unit according to claim 7, wherein the pressing cover is fixed to the holder by an adjusting screw at a position opposite to the cut end side of the holder.
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