JP5440809B2 - Tip holder - Google Patents
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Description
本発明は、脆性材料基板を分断するためのスクライブラインを形成するスクライブ装置のチップホルダに関する。 The present invention relates to a chip holder for a scribing device that forms a scribe line for dividing a brittle material substrate.
脆性材料基板を所望の寸法にスクライブするためのスクライブ装置がある。スクライブ装置は、脆性材料基板と対向するスクライブヘッドにホルダユニットを備えており、ホルダユニットにはスクライビングホイールを有するチップホルダが取り付けられている。図1は、従来のチップホルダの構成を示す図である。図1(a)は正面図、図1(b)は側面図、図1(c)は下面を表す図である。チップホルダ100は、ホルダ101、スクライビングホイール102、及びピン103を有している。
There are scribing devices for scribing brittle material substrates to the desired dimensions. The scribing device includes a holder unit on a scribing head facing the brittle material substrate, and a chip holder having a scribing wheel is attached to the holder unit. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a conventional chip holder. FIG. 1A is a front view, FIG. 1B is a side view, and FIG. The
図1に示すようにチップホルダ100の下部には、ホルダ溝104及びピン孔105が形成されている。スクライビングホイール102は円板状の部材であり、2つの円形の側面の中心を貫通する貫通孔、及びスクライビングホイール102の外周部に沿ったV字形の刃を有するものである。V字形の刃先は、スクライビングホイール102の外周に沿った稜線を形成している。稜線の両側の傾斜面(外周辺部)は、通常、90〜160°の角度(収束角)で相互に交差し稜線を形成する。ピン103は円柱形の部材であり、スクライビングホイール102の貫通孔及びホルダ101のピン孔105に挿入されて、スクライビングホイール102を回転自在に保持するものである。
As shown in FIG. 1, a
チップホルダ100は、スクライビングホイール102をホルダ溝104内で保持し、ピン103をピン孔105、及びスクライビングホイール102の貫通孔に挿入して固定している。このようなチップホルダを備えるスクライブ装置として、特許文献1に示すものがある。
The
スクライビングホイールの厚みは例えば0.65mm程である。ホルダ溝の幅はスクライビングホイールの厚みよりも例えば0.02mm程広く、スクライビングホイールとホルダ溝との間にはクリアランスが確保されている。このクリアランスによりスクライビングホイールは、ホルダ溝内でピンに沿って0.02mm程度移動することができる。しかしクリアランスが設けられているため、スクライブラインの形成位置が安定せず所望の位置からずれる原因となっていた。 The thickness of the scribing wheel is, for example, about 0.65 mm. The width of the holder groove is, for example, about 0.02 mm wider than the thickness of the scribing wheel, and a clearance is secured between the scribing wheel and the holder groove. This clearance allows the scribing wheel to move about 0.02 mm along the pin within the holder groove. However, since the clearance is provided, the formation position of the scribe line is not stable and causes a deviation from a desired position.
本発明は、このような従来のスクライブ装置において、スクライブラインの形成位置がずれるという問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブラインの形成位置を安定させ、所望の位置からのずれが生じないようにすることを目的とする。 The present invention has been made in view of the problem that the scribe line formation position shifts in such a conventional scribing apparatus, which stabilizes the scribe line formation position and causes a deviation from a desired position. The purpose is to avoid.
この課題を解決するために、本発明のチップホルダは、下部にスクライビングホイールを挿入するためのホルダ溝、前記ホルダ溝によって隔てられたホルダ溝の形成部、前記ホルダ溝の形成部を直線状に同軸に貫通する円形のピン孔を有するホルダであって、
前記ホルダ溝はチップホルダの下面に対して垂直に設けられており、前記ピン孔の軸が前記ホルダ溝に対して垂直から傾けて形成されたものである。
In order to solve this problem, a chip holder according to the present invention includes a holder groove for inserting a scribing wheel in a lower part, a holder groove forming part separated by the holder groove , and a holder groove forming part in a straight line. A holder having a circular pin hole penetrating coaxially,
The holder groove is provided perpendicular to the lower surface of the tip holder, in which the axis of the pin holes are formed inclined from the vertical with respect to the holder groove.
この課題を解決するために、本発明のチップホルダは、下部にスクライビングホイールを挿入するためのホルダ溝、前記ホルダ溝によって隔てられたホルダ溝の形成部、前記ホルダ溝の形成部を直線状に同軸に貫通する円形のピン孔を有するホルダであって、
前記ホルダ溝はチップホルダの下面に対して垂直に設けられており、前記ピン孔の軸が前記ホルダ溝の一方の側面に移動させ当接させるものである。
In order to solve this problem, a chip holder according to the present invention includes a holder groove for inserting a scribing wheel in a lower part, a holder groove forming part separated by the holder groove, and a holder groove forming part in a straight line. A holder having a circular pin hole penetrating coaxially,
The holder groove is provided perpendicular to the lower surface of the tip holder, the axis of the pin holes is intended to abut moved to one side of the holder groove.
このような特徴を有する本発明によれば、脆性材料基板上のスクライブラインの形成位置を安定させることができ、スクライブラインの形成精度のばらつきを解消することができる。 According to the present invention having such characteristics, the formation position of the scribe line on the brittle material substrate can be stabilized, and variations in the formation accuracy of the scribe line can be eliminated.
(第1の参考例)
本発明のチップホルダ及びホルダユニットの第1の参考例について図2〜図7を用いて説明する。図2は、本実施の形態のスクライブヘッド及びホルダユニットの構成を示す図である。スクライブヘッド1の下部には、チップホルダ10A及びホルダジョイント20からなるホルダユニットが取り付けられている。
(First reference example)
A first reference example of the chip holder and the holder unit of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the scribe head and the holder unit of the present embodiment. A holder unit including a chip holder 10 </ b> A and a
図3及び図4は、チップホルダ及びホルダジョイントを示す図である。図3に示すようにチップホルダ10Aは、ホルダ11Aの上部を切り欠いてできた取付部、及びホルダ11Aの下部にスクライビングホイール12Aを有している。
3 and 4 are views showing the chip holder and the holder joint. As shown in FIG. 3, the
次にホルダジョイント20は、図3及び図4に示すように、上部にベアリング21a、21bを有しており、下部がチップホルダを保持する保持部22となっている。ホルダジョイント20の保持部22には、図示のように円形の開口23が形成されており、その内側にマグネット24が埋設されている。又開口23の内部には中心軸から隔てた位置に中心軸と垂直な平行ピン25が設けられる。平行ピン25は円柱の部材であって、図示のようにホルダ11Aの取付部に接してチップホルダ10Aを位置決めするものである。
Next, as shown in FIGS. 3 and 4, the
このチップホルダ10Aをホルダジョイント20に取付ける際には、図4に示すようにホルダジョイント20の開口23にチップホルダ10Aをその取付部から挿入する。そうすればチップホルダ10Aの先端部がマグネット24によって吸引され、更に取付部が平行ピン25に接触して位置決め固定される。
When the
このようにホルダジョイント20に固定されたチップホルダ10Aは、ベアリング21a、21bの中心軸周りに保持部22とともに回転自在となる。通常、チップホルダ10Aのスクライビングホイール12Aの中心は、ベアリング21a、21bの中心軸から一定距離を隔てた位置にオフセットして配置される。このオフセットによって保持部22は、スクライブ中にスクライブの方向が変化しても、スクライビングホイール12Aが常にホルダジョイント20の移動方向に向かってベアリング21a、21bの中心軸の後方に位置するように、ベアリング21a、21bによって回転する。よって、スクライブ中のスクライビングホイール12Aは、一定の方向に回転する。
Thus, the
図5は、チップホルダ10Aの構成を簡便に示す図である。図5(a)は正面図、図5(b)は側面図、図5(c)は下面を示す図である。図中矢印で示すX軸方向は紙面水平方向を示し、Y軸方向は紙面上下方向を示す。図5(a)及び(b)のチップホルダ10Aは、上面及び下面がX軸方向と平行になるように描かれている。チップホルダ10Aは、ホルダ11A、スクライビングホイール12A、及びピン13Aを有している。
FIG. 5 is a diagram simply showing the configuration of the
ホルダ11Aは、例えば金属で形成された円柱形の部材であって、図5(b)に示すように、上部の一部が切り欠かれてできた取付部を有している。図5(a)に示すように、ホルダ11Aはホルダ溝14を有している。ホルダ溝14は例えば幅約0.67mmであって、Y軸方向に平行に形成されている。さらにホルダ11Aはピン孔15Aを有している。ピン孔15Aは円形の貫通孔であって、X軸方向に平行にホルダ11Aを貫通してホルダ溝14と垂直に交差している。さらにピン孔15Aは、図5(a)の右端の開口付近に段部を有している。この段部によって、一方の開口は他方の開口よりも口径が小さくなっている。
The
スクライビングホイール12Aは、例えば焼結ダイヤモンドで形成された、例えば厚さ約0.65mmの円板状の部材であって、中心に貫通孔を有している。またスクライビングホイール12Aは、外周部に沿ってV字形の刃を有するものであり、V字形の刃先はスクライビングホイール12Aの外周に沿った稜線を形成し、スクライビングホイール12Aの厚さ方向の真中に位置している。稜線の両側の傾斜面(外周辺部)は、通常、90〜160°の角度(収束角)で相互に交差し稜線を形成する。
The
図6は、ピン13Aを示す図である。ピン13Aは、例えば、超硬合金等の金属、焼結ダイヤモンドで形成された円柱形の部材であって、一端が尖頭形状を有している。またピン13Aの表面には、螺旋状の溝が刻まれている。螺旋状の溝の溝幅及び溝の深さは、ともに例えば数μmとする。
FIG. 6 shows the
スクライビングホイール12Aをホルダ溝14内に挿入して保持し、ピン13Aを尖頭形状の部分からピン孔15A、及びスクライビングホイール12Aの貫通孔に挿入する。ピン13Aの尖頭形状の部分が、ピン孔15Aの一方の開口付近にある段部と接するところでピン13Aをピン孔15Aに固定する。これによってスクライビングホイール12Aはピン13Aに回転自在に保持され、図5に示すチップホルダ10Aが得られる。
The
このチップホルダ10Aをホルダジョイントに取り付け、更にスクライブヘッドに固定して、スクライビングホイール12Aを脆性材料基板に当接させながらチップホルダ10Aを脆性材料基板と相対移動させると、スクライビングホイール12Aはチップホルダ10Aの移動にしたがって回転ながら脆性材料基板上を相対移動することとなり、脆性材料基板上にスクライブラインが形成される。このとき回転するスクライビングホイール12Aとピン13Aとの間で摺動摩擦力が発生し、この摺動摩擦力がピン13A表面のスパイラル溝から受ける影響によって、スクライビングホイール12Aはピン13Aに沿って図5(a)の右方向に移動する。移動したスクライビングホイール12Aは、図7に示すようにホルダ溝14の側面と接するところまで移動して、スクライブラインを形成し続ける。
When the
この例では、スクライビングホイール12Aがホルダ溝14の側面と接すると、接していない側面との間に約0.02mmの隙間が生じるが、スクライビングホイール12Aが回転している間は、この状態が維持される。よってスクライビングホイール12Aのホルダ溝14内での位置が安定するので、スクライビングホイール12Aの進行方向に対する左右のぶれがなくなり、形成されるスクライブラインの位置が安定する。
In this example, when the
なお、スクライビングホイール12Aの貫通孔の内壁に、ピン13Aのような螺旋状の溝を刻んでもよい。スクライビングホイール12Aの回転方向を考慮して螺旋状の溝を刻む方向を決定すれば、より確実にスクライビングホイール12Aをホルダ溝14の側面と接する位置まで移動させ保持することができる。
A spiral groove such as the
また、スクライビングホイール12Aの貫通孔の内壁に螺旋状の溝を刻み、かつピン13Aの表面を平滑な状態にしてチップホルダ10Aを構成しても、この参考例と同じ効果を得ることができる。
Further, the same effect as in this reference example can be obtained even if the
(第2の参考例)
本発明の第2の参考例によるチップホルダについて図8〜図10を用いて説明する。本実施の形態によるスクライブヘッドの構成は、第1の参考例と同じである。図8は、本実施の形態によるチップホルダ10Bの構成を示す正面図である。チップホルダ10Bは、ホルダ11B、スクライビングホイール12A、及びピン13Bを有している。第1の参考例で用いられた構成要素と同じのものについては同一の符号を付している。
(Second reference example)
A chip holder according to a second reference example of the present invention will be described with reference to FIGS. The configuration of the scribe head according to the present embodiment is the same as that of the first reference example. FIG. 8 is a front view showing the configuration of the
ホルダ11Bの構成は、第1の参考例のホルダ11Aとほぼ同じであり、ホルダ溝14及びピン孔15Bを有している。ピン孔15Bは、第1の参考例のピン孔15Aと同様にX軸方向に平行にホルダ11Bを貫通してホルダ溝14と垂直に交差するが、形状は第1の参考例のピン孔15Aとは異なっており、図8に示すようにテーパー状になっている。ホルダ11を貫通するピン孔15Bは、第1の参考例のピン孔15Aと同様に図8の右端の開口付近に段部を有している。
The structure of the holder 11B is substantially the same as the
図9は、ピン13Bを示す図である。ピン13Bは、例えば、超硬合金等の金属製、焼結ダイヤモンド製等のテーパー状に形成された部材であって、径の小さな右端は尖頭形状である。ピン孔15Bの内径とピン13Bの外径とは、ピン13Bをピン孔15Bに隙間なく挿入することができる大きさとなっている。
FIG. 9 shows the
これらホルダ11B、スクライビングホイール12A、及びピン13Bを用いてチップホルダ10Bを構成する。スクライビングホイール12Aをホルダ溝14内に挿入して保持し、ピン13Bをその尖頭形状の部分からピン孔15B、及びスクライビングホイール12Aの貫通孔に挿入する。ピン13Bの尖頭形状の部分が、ピン孔15Bの開口付近にある段部と接するところでピン13Bをピン孔15Bに固定する。これによってスクライビングホイール12Aはピン13Bに回転自在に保持され、図8に示すチップホルダ10Bが構成される。
The
このチップホルダ10Bをホルダジョイントに取り付け、更にスクライブヘッドに固定して、チップホルダ10Bのスクライビングホイール12Aを脆性材料基板に当接させながらチップホルダ10Bを脆性材料基板と相対移動させると、スクライビングホイール12Aはチップホルダ10Bの移動にしたがって回転ながら脆性材料基板上を相対移動することとなり、脆性材料基板上にスクライブラインが形成される。このとき回転するスクライビングホイール12Aは、図中右方向のピン13Bの径が小さな方向へ移動する。移動したスクライビングホイール12Aは、図10に示すようにホルダ溝14の側面と接するところまで移動して、スクライブラインを形成し続ける。
When the
この例においてもスクライビングホイール12Aのホルダ溝14内での位置が安定するので、スクライビングホイール12Aの進行方向に対する左右のぶれがなくなり、形成されるスクライブラインの位置が安定する。
Also in this example, since the position of the
(実施の形態)
本発明の実施の形態によるチップホルダについて図11〜図13を用いて説明する。本実施の形態によるスクライブヘッドの構成は、第1の参考例と同じである。図11は、本実施の形態によるチップホルダ10Cの構成を示す正面図である。チップホルダ10Cは、ホルダ11C、スクライビングホイール12B、及びピン13Cを有している。第1の参考例で用いられた構成要素と同じのものについては同一の符号を付している。
(Embodiment)
A chip holder according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The configuration of the scribe head according to the present embodiment is the same as that of the first reference example. FIG. 11 is a front view showing the configuration of the
ホルダ11Cの構成は、第1の参考例のホルダ11Aとほぼ同じであり、ホルダ溝14及びピン孔15Cを有している。ピン孔15Cは、第1の参考例のピン孔15Aと同様の円形の貫通孔であるが、図面左側から右側に向かってY軸方向上側に変位している。その結果ホルダ11Cの表面にある2つの開口のうち、図面右側の開口は図面左側の開口に比べてY軸方向上側に変位している。なお、ピン孔15Cは、第1の参考例のピン孔15Aと同様に2つの開口のうちの1つの開口付近に段部を有している。
The structure of the
ピン13Cは第1の参考例のピン13Aと同様の形状を有するものであるが、表面は螺旋状のスパイラル溝を有しておらず、図12に示すように平滑である。
The
スクライビングホイール12Bは、第1の参考例のスクライビングホイール12Aと同様の構成を有するものであるが、スクライビングホイール12Aの貫通孔よりも直径の大きい貫通孔を有している。この貫通孔によってスクライビングホイール12Bは、X軸方向に対して傾斜して配置されるピン13Cを貫通孔に通しても、スクライビングホイールを回転自在に保持することができる。
The scribing wheel 12B has the same configuration as the
これらホルダ11C、スクライビングホイール12B、及びピン13Cを用いてチップホルダ10Cを構成する。スクライビングホイール12Bをホルダ溝14内で保持し、ピン13Cを尖頭形状を有する部分からピン孔15C、及びスクライビングホイール12Bの貫通孔に挿入する。ピン13Cの尖頭部分が、ピン孔15Cの開口付近にある段部と接するところでピン13Cをピン孔15Cに固定する。これによってスクライビングホイール12Bはピン13Cに回転自在に保持され、図11に示すチップホルダ10Cが構成される。
A
このチップホルダ10Cをホルダジョイントに取り付け、更にスクライブヘッドに固定して、チップホルダ10Cのスクライビングホイール12Bを脆性材料基板に当接させながらチップホルダ10Cを脆性材料基板と相対移動させると、スクライビングホイール12Bはチップホルダ10Cの移動にしたがって回転しながら脆性材料基板上を相対移動することとなり、脆性材料基板上にスクライブラインが形成される。このとき回転するスクライビングホイール12Bは、ピン13Cに沿ってY軸方向上側へ移動する。移動したスクライビングホイール12Bは、図13に示すようにホルダ溝14の側面と接するところまで図中右方向へ移動して、スクライブラインを形成し続ける。
When the
本実施の形態においてもスクライビングホイール12Bのホルダ溝14内での位置が安定するので、スクライビングホイール12Bの進行方向に対する左右のぶれがなくなり、形成されるスクライブラインの位置が安定する。
Also in the present embodiment, since the position of the scribing wheel 12B in the
(第3の参考例)
本発明の第3の参考例によるチップホルダについて図14〜図16を用いて説明する。本実施の形態によるスクライブヘッドの構成は、第1の参考例と同じである。チップホルダ10Dは、ホルダ11A、スクライビングホイール12C、及びピン13Cを有している。ホルダ11A、ピン13Cなど、本実施の形態で用いられた構成要素と同じものについては同一の符号を付している。
(Third reference example)
A chip holder according to a third reference example of the present invention will be described with reference to FIGS. The configuration of the scribe head according to the present embodiment is the same as that of the first reference example. The
スクライビングホイール12Cは、例えば超硬合金、焼結ダイヤモンドで形成された部材である。スクライビングホイール12Cは、互いに合同な底面を有し且つ高さの異なる2つの円錐台を底面で重ね合わせた形状であり、対向する2つの円形の側面12a、12bと、円錐台の側面である曲面12c、12dを有している。側面12a、12bは、中心を貫く貫通孔を有している。曲面12c、12dはV字形の刃を形成しており、曲面12c、12dの接線には刃先の稜線が形成されている。この稜線は、図14に示すようにスクライビングホイール12Cの厚さ方向の真中ではなく側面12a寄りに形成されている。
The
図15は、スクライビングホイール12Cを側面12a、12bの貫通孔の中心軸を通る平面で切断したときの断面を、拡大して示す断面図である。図15は、曲面12c、12d、及び貫通孔を示している。破線は紙面背後に隠れた稜線である。図15の破線は、稜線を含む平面(図示せず、以下、稜線面という)の位置と一致している。この稜線面に垂直な面、即ち図15の紙面に平行な面と曲面12cとが交わる部分にできる線の、稜線面に対する角度を角度θ1とする。また、図15の紙面に平行な面と曲面12dとが交わる部分にできる線の、稜線面に対する角度を角度θ2とする。スクライビングホイール12Cは、角度θ1と角度θ2が等しくなるように構成されている。
FIG. 15 is an enlarged cross-sectional view of the
なお、稜線面に垂直な面と曲面12c及び12dとが交わる部分にできる線は、少なくとも稜線面との交点部分では直線状であるので、角度θ1及び角度θ2を定義することができる。
In addition, since the line | wire which can be made into the part where the surface perpendicular | vertical to a ridgeline surface and the
これらホルダ11A、スクライビングホイール12C、及びピン13Cを用いてチップホルダ10Dを構成する。スクライビングホイール12Cをホルダ溝14内に挿入して保持し、ピン13Cをその尖頭形状を有する部分からピン孔15A、及びスクライビングホイール12Cの貫通孔に挿入する。ピン13Cは、尖頭部分がピン孔15Aの開口付近にある段部と接するところでピン孔15Aに固定される。これによってスクライビングホイール12Cはピン13Cに回転自在に保持され、図14に示すチップホルダ10Dが構成される。
A
このチップホルダ10Dをホルダジョイントに取り付け、更にスクライブヘッドに固定して、チップホルダ10Dのスクライビングホイール12Cを脆性材料基板に当接させながらチップホルダ10Dを脆性材料基板と相対移動させると、スクライビングホイール12Cはチップホルダ10Dの移動にしたがって回転ながら脆性材料基板上を相対移動することとなり、脆性材料基板上にスクライブラインが形成される。このとき回転するスクライビングホイール12Cは、刃先の稜線が厚さ方向の真中には無いため、ピン13Cに沿って稜線に近い側面の方向へ向かって移動する。移動したスクライビングホイール12Cは、図16に示すようにホルダ溝14の側面と接するところまで図中右側の側面12aの方向に移動して、スクライブラインを形成し続ける。
When the
スクライビングホイール12Cのホルダ溝14内での位置が安定するので、スクライビングホイール12Cの進行方向に対する左右のぶれがなくなり、形成されるスクライブラインの位置が安定する。
Since the position of the
スクライビングホイール12Cの第1の変形例について説明する。図17(a)は、第1の変形例であるスクライビングホイール12Dを拡大して示す図である。スクライビングホイール12Dは、例えば超硬合金、焼結ダイヤモンドで形成された部材である。スクライビングホイール12Dは、互いに合同な底面を有し且つ高さの等しい2つの円錐台を底面で重ね合わせた形状であり、対向する2つの円状の側面12e、12fと、円錐台の側面である曲面12g、12hを有している。側面12e、12fは、中心に円筒状の貫通孔を有している。曲面12g、12hはV字形の刃を形成しており、曲面12g、12hの接線には刃先の稜線が形成されている。この稜線は、図17(a)に示すようにスクライビングホイール12Dの厚さ方向の真中に形成されている。
A first modification of the
図17(b)は、スクライビングホイール12Dを側面12e、12fの貫通孔の中心軸を通る平面で切断したときの断面を、拡大して示す断面図である。図17(b)は、曲面12g、12h、及び貫通孔を示している。破線は紙面背後に隠れた稜線である。図17(b)の破線は、稜線面(図示せず)の位置と一致しており、稜線面に垂直な面と曲面12g、12hとが交わる部分にできる2本の線の、稜線面に対する角度をそれぞれ角度θ3、θ4とする。スクライビングホイール12Dは、角度θ3と角度θ4が異なるように構成されている。図17(b)では、θ3<θ4となっており、角度θ3と角度θ4は、例えば角度θ3を45°〜65°(例えば、55°)とし、角度θ4を55°〜75°(例えば、65°)とすることができる。
FIG. 17B is an enlarged cross-sectional view of the scribing wheel 12D taken along a plane that passes through the central axis of the through holes of the side surfaces 12e and 12f. FIG. 17B shows the
スクライブラインを形成する際に、スクライビングホイール12Dをスクライビングホイール12Cの代わりに用いても、スクライビングホイール12Dはピン13Cに沿って図面右側の側面12eの方向へ移動するので、スクライビングホイール12Cと同様の効果を得ることができる。
Even when the scribing wheel 12D is used in place of the
スクライビングホイール12Cの第2の変形例について説明する。図18(a)は、第2の変形例であるスクライビングホイール12Eを拡大して示す図である。スクライビングホイール12Eは、例えば超硬合金、焼結ダイヤモンドで形成された部材である。スクライビングホイール12Eは、互いに合同な底面を有し且つ高さの異なる2つの円錐台を底面で重ね合わせた形状であり、対向する2つの円状の側面12i、12jと、円錐台の側面である曲面12k、12lを有している。側面12i、12jは、中心に円筒状の貫通孔を有している。曲面12k、12lはV字形の刃を形成しており、曲面12k、12lの接線には刃先の稜線が形成されている。この稜線は、図18に示すようにスクライビングホイール12Eの厚さ方向の真中ではなく側面12i寄りに形成されている。
A second modification of the
図18(b)は、スクライビングホイール12Eを側面12i、12jの貫通孔の中心軸を通る平面で切断したときの断面を、拡大して示す断面図である。図18(b)は、曲面12k、12l、及び貫通孔を示している。破線は紙面背後に隠れた稜線である。図18(b)の破線は、稜線面(図示せず)の位置と一致しており、稜線面に垂直な面と曲面12k、12lとが交わる部分にできる2本の線の、稜線面に対する角度をそれぞれ角度θ5、θ6とする。スクライビングホイール12Eは、角度θ5と角度θ6が異なるように構成されている。図18(b)では、θ5<θ6となっている。角度θ5と角度θ6は、例えば、角度θ5を45°〜65°(例えば、55°)とし、角度θ6を55°〜75°(例えば、65°)とすることができる。
FIG. 18B is an enlarged cross-sectional view showing a cross section when the
スクライブラインを形成する際に、スクライビングホイール12Eをスクライビングホイール12Cの代わりに用いても、スクライビングホイール12Eはピン13Cに沿って図面右側の側面12iの方向へ移動するので、スクライビングホイール12Cと同様の効果を得ることができる。
Even when the
なお、スクライビングホイール12C〜12Eの貫通孔の内壁に、第1の参考例のピン13Aのような螺旋状の溝を刻んでもよい。これによって確実に、スクライビングホイール12C〜12Eをホルダ溝14の側面と接するところまで移動させることができる。
A spiral groove like the
また、平滑な表面のピン13Cの代わりに、第1の参考例のピン13Aを用いてもよい。これによって確実に、スクライビングホイール12C〜12Eをホルダ溝14の側面と接するところまで移動させることができる。
Further, the
ここで例示したスクライビングホイールの厚み及びホルダ溝の幅は、この例示に限らず任意に選択できるものであることは言うまでもない。 It goes without saying that the thickness of the scribing wheel and the width of the holder groove exemplified here are not limited to this example and can be arbitrarily selected.
チップホルダは、自動的に脆性材料基板をスクライブする自動スクライブ装置に限らず、脆性材料基板を手切りする脆性材料切断用カッターに取り付けて用いることもできる。 The chip holder is not limited to an automatic scribing device that automatically scribes the brittle material substrate, but can also be used by being attached to a brittle material cutting cutter that manually cuts the brittle material substrate.
本発明は、スクライブ中のスクライビングホイールの位置を安定させることができるので、スクライブを自動で行うスクライブ装置や、脆性材料基板を手切りする脆性材料切断用カッターに用いることができる。 Since the position of the scribing wheel during scribing can be stabilized, the present invention can be used for a scribing device that automatically performs scribing and a brittle material cutting cutter that manually cuts a brittle material substrate.
1 スクライブヘッド
10A〜10D チップホルダ
11A〜11C ホルダ
12a、12b、12e、12f、12i、12j 側面
12c、12d、12g、12h、12k、12l 曲面
12A〜12E スクライビングホイール
13A〜13C ピン
14 ホルダ溝
15A〜15C ピン孔
20 ホルダジョイント
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記ホルダ溝はチップホルダの下面に対して垂直に設けられており、前記ピン孔の軸が前記ホルダ溝に対して垂直から傾けて形成されたチップホルダ。 A holder groove for inserting a scribing wheel in a lower part, a holder groove forming part separated by the holder groove , and a holder having a circular pin hole linearly and coaxially passing through the holder groove forming part ,
The holder groove is provided perpendicular to the lower surface of the tip holder, the tip holder formed inclined from the vertical axis of the pin holes with respect to the holder groove.
前記ホルダ溝はチップホルダの下面に対して垂直に設けられており、前記ピン孔の軸が前記ホルダ溝に対して垂直から傾けて形成され、前記スクライビングホイールの回転によって前記スクライビングホイールをホルダ溝の一方の側面に移動させ当接させるチップホルダ。
A holder groove for inserting a scribing wheel in a lower part, a holder groove forming part separated by the holder groove , and a holder having a circular pin hole linearly and coaxially passing through the holder groove forming part ,
The holder groove is provided perpendicular to the lower surface of the chip holder, the shaft of the pin holes are formed inclined from the vertical with respect to the holder groove, the scribing wheel holder groove by rotation of the scribing wheel A tip holder that moves and contacts one side.
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