JP5440809B2 - Tip holder - Google Patents

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Description

本発明は、脆性材料基板を分断するためのスクライブラインを形成するスクライブ装置のチップホルダに関する。   The present invention relates to a chip holder for a scribing device that forms a scribe line for dividing a brittle material substrate.

脆性材料基板を所望の寸法にスクライブするためのスクライブ装置がある。スクライブ装置は、脆性材料基板と対向するスクライブヘッドにホルダユニットを備えており、ホルダユニットにはスクライビングホイールを有するチップホルダが取り付けられている。図1は、従来のチップホルダの構成を示す図である。図1(a)は正面図、図1(b)は側面図、図1(c)は下面を表す図である。チップホルダ100は、ホルダ101、スクライビングホイール102、及びピン103を有している。   There are scribing devices for scribing brittle material substrates to the desired dimensions. The scribing device includes a holder unit on a scribing head facing the brittle material substrate, and a chip holder having a scribing wheel is attached to the holder unit. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a conventional chip holder. FIG. 1A is a front view, FIG. 1B is a side view, and FIG. The chip holder 100 has a holder 101, a scribing wheel 102, and a pin 103.

図1に示すようにチップホルダ100の下部には、ホルダ溝104及びピン孔105が形成されている。スクライビングホイール102は円板状の部材であり、2つの円形の側面の中心を貫通する貫通孔、及びスクライビングホイール102の外周部に沿ったV字形の刃を有するものである。V字形の刃先は、スクライビングホイール102の外周に沿った稜線を形成している。稜線の両側の傾斜面(外周辺部)は、通常、90〜160°の角度(収束角)で相互に交差し稜線を形成する。ピン103は円柱形の部材であり、スクライビングホイール102の貫通孔及びホルダ101のピン孔105に挿入されて、スクライビングホイール102を回転自在に保持するものである。   As shown in FIG. 1, a holder groove 104 and a pin hole 105 are formed in the lower part of the chip holder 100. The scribing wheel 102 is a disk-shaped member, and has a through-hole penetrating the center of two circular side surfaces and a V-shaped blade along the outer peripheral portion of the scribing wheel 102. The V-shaped cutting edge forms a ridge line along the outer periphery of the scribing wheel 102. The inclined surfaces (outer peripheral portions) on both sides of the ridge line usually intersect with each other at an angle (convergence angle) of 90 to 160 ° to form a ridge line. The pin 103 is a cylindrical member, and is inserted into the through hole of the scribing wheel 102 and the pin hole 105 of the holder 101 to hold the scribing wheel 102 rotatably.

チップホルダ100は、スクライビングホイール102をホルダ溝104内で保持し、ピン103をピン孔105、及びスクライビングホイール102の貫通孔に挿入して固定している。このようなチップホルダを備えるスクライブ装置として、特許文献1に示すものがある。   The chip holder 100 holds the scribing wheel 102 in the holder groove 104 and inserts and fixes the pin 103 into the pin hole 105 and the through hole of the scribing wheel 102. There exists a thing shown in patent document 1 as a scribe apparatus provided with such a chip holder.

国際特許公開 WO2007/063979号公報International Patent Publication No. WO2007 / 063979

スクライビングホイールの厚みは例えば0.65mm程である。ホルダ溝の幅はスクライビングホイールの厚みよりも例えば0.02mm程広く、スクライビングホイールとホルダ溝との間にはクリアランスが確保されている。このクリアランスによりスクライビングホイールは、ホルダ溝内でピンに沿って0.02mm程度移動することができる。しかしクリアランスが設けられているため、スクライブラインの形成位置が安定せず所望の位置からずれる原因となっていた。   The thickness of the scribing wheel is, for example, about 0.65 mm. The width of the holder groove is, for example, about 0.02 mm wider than the thickness of the scribing wheel, and a clearance is secured between the scribing wheel and the holder groove. This clearance allows the scribing wheel to move about 0.02 mm along the pin within the holder groove. However, since the clearance is provided, the formation position of the scribe line is not stable and causes a deviation from a desired position.

本発明は、このような従来のスクライブ装置において、スクライブラインの形成位置がずれるという問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブラインの形成位置を安定させ、所望の位置からのずれが生じないようにすることを目的とする。   The present invention has been made in view of the problem that the scribe line formation position shifts in such a conventional scribing apparatus, which stabilizes the scribe line formation position and causes a deviation from a desired position. The purpose is to avoid.

この課題を解決するために、本発明のチップホルダは、下部にスクライビングホイールを挿入するためのホルダ溝、前記ホルダ溝によって隔てられたホルダ溝の形成部、前記ホルダ溝の形成部を直線状に同軸に貫通する円形のピン孔を有するホルダであって、
前記ホルダ溝はチップホルダの下面に対して垂直に設けられており、前記ピン孔の軸が前記ホルダ溝に対して垂直から傾けて形成されたものである。
In order to solve this problem, a chip holder according to the present invention includes a holder groove for inserting a scribing wheel in a lower part, a holder groove forming part separated by the holder groove , and a holder groove forming part in a straight line. A holder having a circular pin hole penetrating coaxially,
The holder groove is provided perpendicular to the lower surface of the tip holder, in which the axis of the pin holes are formed inclined from the vertical with respect to the holder groove.

この課題を解決するために、本発明のチップホルダは、下部にスクライビングホイールを挿入するためのホルダ溝、前記ホルダ溝によって隔てられたホルダ溝の形成部、前記ホルダ溝の形成部を直線状に同軸に貫通する円形のピン孔を有するホルダであって、
前記ホルダ溝はチップホルダの下面に対して垂直に設けられており、前記ピン孔の軸が前記ホルダ溝の一方の側面に移動させ当接させるものである。
In order to solve this problem, a chip holder according to the present invention includes a holder groove for inserting a scribing wheel in a lower part, a holder groove forming part separated by the holder groove, and a holder groove forming part in a straight line. A holder having a circular pin hole penetrating coaxially,
The holder groove is provided perpendicular to the lower surface of the tip holder, the axis of the pin holes is intended to abut moved to one side of the holder groove.

このような特徴を有する本発明によれば、脆性材料基板上のスクライブラインの形成位置を安定させることができ、スクライブラインの形成精度のばらつきを解消することができる。   According to the present invention having such characteristics, the formation position of the scribe line on the brittle material substrate can be stabilized, and variations in the formation accuracy of the scribe line can be eliminated.

図1は従来のチップホルダの構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a conventional chip holder. 図2は本発明の第1の参考例によるスクライブヘッドの構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a scribe head according to a first reference example of the present invention. 図3は本発明の第1の参考例によるホルダユニットの構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the holder unit according to the first reference example of the present invention. 図4は本発明の第1の参考例によるホルダジョイントにチップホルダを挿入するときの状態を示す図である。FIG. 4 is a view showing a state when the chip holder is inserted into the holder joint according to the first reference example of the present invention. 図5は本発明の第1の参考例によるチップホルダの構成を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing the configuration of the tip holder according to the first reference example of the present invention. 図6はチップホルダに用いられるピンを示す図である。FIG. 6 is a view showing pins used for the chip holder. 図7は本発明の第1の参考例によるチップホルダのスクライビングホイールの移動を示す図である。FIG. 7 is a view showing the movement of the scribing wheel of the chip holder according to the first reference example of the present invention. 図8は本発明の第2の参考例によるチップホルダの構成を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a chip holder according to a second reference example of the present invention. 図9はチップホルダに用いられるピンを示す図である。FIG. 9 is a diagram showing pins used for the chip holder. 図10は本発明の第2の参考例によるチップホルダのスクライビングホイールの移動を示す図である。FIG. 10 is a view showing the movement of the scribing wheel of the chip holder according to the second reference example of the present invention. 図11は本発明の実施の形態によるチップホルダの構成を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing the configuration of the chip holder according to the embodiment of the present invention. 図12はチップホルダに用いられるピンを示す図である。FIG. 12 is a diagram showing pins used for the chip holder. 図13は本発明の実施の形態によるチップホルダのスクライビングホイールの移動を示す図である。FIG. 13 is a view showing the movement of the scribing wheel of the chip holder according to the embodiment of the present invention. 図14は本発明の第3の参考例によるチップホルダの構成を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a configuration of a chip holder according to a third reference example of the present invention. 図15は本発明の第3の参考例によるスクライビングホイール12Cの断面を拡大して示す図である。FIG. 15 is an enlarged view showing a cross section of a scribing wheel 12C according to a third reference example of the present invention. 図16は本発明の第3の参考例によるチップホルダのスクライビングホイールの移動を示す図である。FIG. 16 is a view showing movement of the scribing wheel of the chip holder according to the third reference example of the present invention. 図17は本発明の第3の参考例の第1の変形例によるスクライビングホイール12D及びその断面を拡大して示す図である。FIG. 17 is an enlarged view showing a scribing wheel 12D according to a first modification of the third reference example of the present invention and its cross section. 図18は本発明の第3の参考例の第2の変形例によるスクライビングホイール12E及びその断面を拡大して示す図である。FIG. 18 is an enlarged view showing a scribing wheel 12E according to a second modification of the third reference example of the present invention and its cross section.

(第1の参考例)
本発明のチップホルダ及びホルダユニットの第1の参考例について図2〜図7を用いて説明する。図2は、本実施の形態のスクライブヘッド及びホルダユニットの構成を示す図である。スクライブヘッド1の下部には、チップホルダ10A及びホルダジョイント20からなるホルダユニットが取り付けられている。
(First reference example)
A first reference example of the chip holder and the holder unit of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the scribe head and the holder unit of the present embodiment. A holder unit including a chip holder 10 </ b> A and a holder joint 20 is attached to the lower part of the scribe head 1.

図3及び図4は、チップホルダ及びホルダジョイントを示す図である。図3に示すようにチップホルダ10Aは、ホルダ11Aの上部を切り欠いてできた取付部、及びホルダ11Aの下部にスクライビングホイール12Aを有している。   3 and 4 are views showing the chip holder and the holder joint. As shown in FIG. 3, the chip holder 10A has a mounting portion formed by cutting out the upper portion of the holder 11A and a scribing wheel 12A at the lower portion of the holder 11A.

次にホルダジョイント20は、図3及び図4に示すように、上部にベアリング21a、21bを有しており、下部がチップホルダを保持する保持部22となっている。ホルダジョイント20の保持部22には、図示のように円形の開口23が形成されており、その内側にマグネット24が埋設されている。又開口23の内部には中心軸から隔てた位置に中心軸と垂直な平行ピン25が設けられる。平行ピン25は円柱の部材であって、図示のようにホルダ11Aの取付部に接してチップホルダ10Aを位置決めするものである。   Next, as shown in FIGS. 3 and 4, the holder joint 20 has bearings 21 a and 21 b in the upper portion, and the lower portion serves as a holding portion 22 that holds the chip holder. A circular opening 23 is formed in the holding portion 22 of the holder joint 20 as shown in the figure, and a magnet 24 is embedded therein. A parallel pin 25 perpendicular to the central axis is provided in the opening 23 at a position separated from the central axis. The parallel pin 25 is a cylindrical member that contacts the mounting portion of the holder 11A and positions the chip holder 10A as shown.

このチップホルダ10Aをホルダジョイント20に取付ける際には、図4に示すようにホルダジョイント20の開口23にチップホルダ10Aをその取付部から挿入する。そうすればチップホルダ10Aの先端部がマグネット24によって吸引され、更に取付部が平行ピン25に接触して位置決め固定される。   When the chip holder 10A is attached to the holder joint 20, the chip holder 10A is inserted into the opening 23 of the holder joint 20 from the attachment portion as shown in FIG. If it does so, the front-end | tip part of 10 A of chip | tip holders will be attracted | sucked by the magnet 24, and also an attaching part will contact the parallel pin 25, and will be positioned and fixed.

このようにホルダジョイント20に固定されたチップホルダ10Aは、ベアリング21a、21bの中心軸周りに保持部22とともに回転自在となる。通常、チップホルダ10Aのスクライビングホイール12Aの中心は、ベアリング21a、21bの中心軸から一定距離を隔てた位置にオフセットして配置される。このオフセットによって保持部22は、スクライブ中にスクライブの方向が変化しても、スクライビングホイール12Aが常にホルダジョイント20の移動方向に向かってベアリング21a、21bの中心軸の後方に位置するように、ベアリング21a、21bによって回転する。よって、スクライブ中のスクライビングホイール12Aは、一定の方向に回転する。   Thus, the chip holder 10A fixed to the holder joint 20 is rotatable together with the holding portion 22 around the central axes of the bearings 21a and 21b. Usually, the center of the scribing wheel 12A of the chip holder 10A is arranged offset at a position spaced apart from the central axis of the bearings 21a and 21b. Even if the scribing direction changes during scribing due to this offset, the holding portion 22 has a bearing so that the scribing wheel 12A is always located behind the central axes of the bearings 21a and 21b in the moving direction of the holder joint 20. It is rotated by 21a and 21b. Therefore, the scribing wheel 12A that is being scribed rotates in a certain direction.

図5は、チップホルダ10Aの構成を簡便に示す図である。図5(a)は正面図、図5(b)は側面図、図5(c)は下面を示す図である。図中矢印で示すX軸方向は紙面水平方向を示し、Y軸方向は紙面上下方向を示す。図5(a)及び(b)のチップホルダ10Aは、上面及び下面がX軸方向と平行になるように描かれている。チップホルダ10Aは、ホルダ11A、スクライビングホイール12A、及びピン13Aを有している。   FIG. 5 is a diagram simply showing the configuration of the chip holder 10A. FIG. 5A is a front view, FIG. 5B is a side view, and FIG. 5C is a view showing a lower surface. The X-axis direction indicated by an arrow in the figure indicates the horizontal direction of the paper surface, and the Y-axis direction indicates the vertical direction of the paper surface. The chip holder 10A shown in FIGS. 5A and 5B is drawn so that the upper and lower surfaces are parallel to the X-axis direction. The chip holder 10A has a holder 11A, a scribing wheel 12A, and a pin 13A.

ホルダ11Aは、例えば金属で形成された円柱形の部材であって、図5(b)に示すように、上部の一部が切り欠かれてできた取付部を有している。図5(a)に示すように、ホルダ11Aはホルダ溝14を有している。ホルダ溝14は例えば幅約0.67mmであって、Y軸方向に平行に形成されている。さらにホルダ11Aはピン孔15Aを有している。ピン孔15Aは円形の貫通孔であって、X軸方向に平行にホルダ11Aを貫通してホルダ溝14と垂直に交差している。さらにピン孔15Aは、図5(a)の右端の開口付近に段部を有している。この段部によって、一方の開口は他方の開口よりも口径が小さくなっている。   The holder 11A is a cylindrical member made of, for example, metal, and has a mounting portion formed by cutting out a part of the upper portion as shown in FIG. As shown in FIG. 5A, the holder 11 </ b> A has a holder groove 14. The holder groove 14 has a width of about 0.67 mm, for example, and is formed parallel to the Y-axis direction. Furthermore, the holder 11A has a pin hole 15A. The pin hole 15A is a circular through hole that passes through the holder 11A parallel to the X-axis direction and intersects the holder groove 14 perpendicularly. Further, the pin hole 15A has a step portion in the vicinity of the opening at the right end of FIG. Due to this stepped portion, one opening has a smaller diameter than the other opening.

スクライビングホイール12Aは、例えば焼結ダイヤモンドで形成された、例えば厚さ約0.65mmの円板状の部材であって、中心に貫通孔を有している。またスクライビングホイール12Aは、外周部に沿ってV字形の刃を有するものであり、V字形の刃先はスクライビングホイール12Aの外周に沿った稜線を形成し、スクライビングホイール12Aの厚さ方向の真中に位置している。稜線の両側の傾斜面(外周辺部)は、通常、90〜160°の角度(収束角)で相互に交差し稜線を形成する。   The scribing wheel 12A is a disk-shaped member made of, for example, sintered diamond and having a thickness of about 0.65 mm, for example, and has a through hole at the center. The scribing wheel 12A has a V-shaped blade along the outer periphery, and the V-shaped cutting edge forms a ridge line along the outer periphery of the scribing wheel 12A, and is positioned in the middle in the thickness direction of the scribing wheel 12A. doing. The inclined surfaces (outer peripheral portions) on both sides of the ridge line usually intersect with each other at an angle (convergence angle) of 90 to 160 ° to form a ridge line.

図6は、ピン13Aを示す図である。ピン13Aは、例えば、超硬合金等の金属、焼結ダイヤモンドで形成された円柱形の部材であって、一端が尖頭形状を有している。またピン13Aの表面には、螺旋状の溝が刻まれている。螺旋状の溝の溝幅及び溝の深さは、ともに例えば数μmとする。   FIG. 6 shows the pin 13A. The pin 13A is, for example, a cylindrical member formed of a metal such as cemented carbide or sintered diamond, and one end has a pointed shape. A spiral groove is cut on the surface of the pin 13A. Both the groove width and the groove depth of the spiral groove are, for example, several μm.

スクライビングホイール12Aをホルダ溝14内に挿入して保持し、ピン13Aを尖頭形状の部分からピン孔15A、及びスクライビングホイール12Aの貫通孔に挿入する。ピン13Aの尖頭形状の部分が、ピン孔15Aの一方の開口付近にある段部と接するところでピン13Aをピン孔15Aに固定する。これによってスクライビングホイール12Aはピン13Aに回転自在に保持され、図5に示すチップホルダ10Aが得られる。   The scribing wheel 12A is inserted and held in the holder groove 14, and the pin 13A is inserted into the pin hole 15A and the through hole of the scribing wheel 12A from the pointed portion. The pin 13A is fixed to the pin hole 15A where the pointed portion of the pin 13A is in contact with a step portion near one opening of the pin hole 15A. As a result, the scribing wheel 12A is rotatably held by the pin 13A, and the chip holder 10A shown in FIG. 5 is obtained.

このチップホルダ10Aをホルダジョイントに取り付け、更にスクライブヘッドに固定して、スクライビングホイール12Aを脆性材料基板に当接させながらチップホルダ10Aを脆性材料基板と相対移動させると、スクライビングホイール12Aはチップホルダ10Aの移動にしたがって回転ながら脆性材料基板上を相対移動することとなり、脆性材料基板上にスクライブラインが形成される。このとき回転するスクライビングホイール12Aとピン13Aとの間で摺動摩擦力が発生し、この摺動摩擦力がピン13A表面のスパイラル溝から受ける影響によって、スクライビングホイール12Aはピン13Aに沿って図5(a)の右方向に移動する。移動したスクライビングホイール12Aは、図7に示すようにホルダ溝14の側面と接するところまで移動して、スクライブラインを形成し続ける。   When the chip holder 10A is attached to the holder joint, fixed to the scribe head, and the tip holder 10A is moved relative to the brittle material substrate while the scribing wheel 12A is in contact with the brittle material substrate, the scribing wheel 12A is moved to the chip holder 10A. Accordingly, the substrate moves relative to the brittle material substrate while rotating in accordance with the movement, and a scribe line is formed on the brittle material substrate. At this time, a sliding frictional force is generated between the rotating scribing wheel 12A and the pin 13A, and the scribing wheel 12A is moved along the pin 13A as shown in FIG. ) Move to the right. The moved scribing wheel 12A moves to a position in contact with the side surface of the holder groove 14 as shown in FIG. 7, and continues to form a scribe line.

この例では、スクライビングホイール12Aがホルダ溝14の側面と接すると、接していない側面との間に約0.02mmの隙間が生じるが、スクライビングホイール12Aが回転している間は、この状態が維持される。よってスクライビングホイール12Aのホルダ溝14内での位置が安定するので、スクライビングホイール12Aの進行方向に対する左右のぶれがなくなり、形成されるスクライブラインの位置が安定する。   In this example, when the scribing wheel 12A is in contact with the side surface of the holder groove 14, a gap of about 0.02 mm is formed between the scribing wheel 12A and the side surface that is not in contact, but this state is maintained while the scribing wheel 12A is rotating. Is done. Therefore, since the position of the scribing wheel 12A in the holder groove 14 is stabilized, there is no left-right shake with respect to the traveling direction of the scribing wheel 12A, and the position of the formed scribe line is stabilized.

なお、スクライビングホイール12Aの貫通孔の内壁に、ピン13Aのような螺旋状の溝を刻んでもよい。スクライビングホイール12Aの回転方向を考慮して螺旋状の溝を刻む方向を決定すれば、より確実にスクライビングホイール12Aをホルダ溝14の側面と接する位置まで移動させ保持することができる。   A spiral groove such as the pin 13A may be cut on the inner wall of the through hole of the scribing wheel 12A. If the direction in which the spiral groove is engraved is determined in consideration of the rotational direction of the scribing wheel 12A, the scribing wheel 12A can be moved and held to a position in contact with the side surface of the holder groove 14 more reliably.

また、スクライビングホイール12Aの貫通孔の内壁に螺旋状の溝を刻み、かつピン13Aの表面を平滑な状態にしてチップホルダ10Aを構成しても、この参考例と同じ効果を得ることができる。   Further, the same effect as in this reference example can be obtained even if the chip holder 10A is configured by making a spiral groove on the inner wall of the through hole of the scribing wheel 12A and making the surface of the pin 13A smooth.

(第2の参考例)
本発明の第2の参考例によるチップホルダについて図8〜図10を用いて説明する。本実施の形態によるスクライブヘッドの構成は、第1の参考例と同じである。図8は、本実施の形態によるチップホルダ10Bの構成を示す正面図である。チップホルダ10Bは、ホルダ11B、スクライビングホイール12A、及びピン13Bを有している。第1の参考例で用いられた構成要素と同じのものについては同一の符号を付している。
(Second reference example)
A chip holder according to a second reference example of the present invention will be described with reference to FIGS. The configuration of the scribe head according to the present embodiment is the same as that of the first reference example. FIG. 8 is a front view showing the configuration of the chip holder 10B according to the present embodiment. The chip holder 10B has a holder 11B, a scribing wheel 12A, and a pin 13B. The same components as those used in the first reference example are denoted by the same reference numerals.

ホルダ11Bの構成は、第1の参考例のホルダ11Aとほぼ同じであり、ホルダ溝14及びピン孔15Bを有している。ピン孔15Bは、第1の参考例のピン孔15Aと同様にX軸方向に平行にホルダ11Bを貫通してホルダ溝14と垂直に交差するが、形状は第1の参考例のピン孔15Aとは異なっており、図8に示すようにテーパー状になっている。ホルダ11を貫通するピン孔15Bは、第1の参考例のピン孔15Aと同様に図8の右端の開口付近に段部を有している。   The structure of the holder 11B is substantially the same as the holder 11A of the first reference example, and has a holder groove 14 and a pin hole 15B. Similar to the pin hole 15A of the first reference example, the pin hole 15B passes through the holder 11B parallel to the X-axis direction and intersects the holder groove 14 perpendicularly, but the shape is the pin hole 15A of the first reference example. And has a tapered shape as shown in FIG. The pin hole 15B penetrating the holder 11 has a step portion in the vicinity of the opening at the right end of FIG. 8 like the pin hole 15A of the first reference example.

図9は、ピン13Bを示す図である。ピン13Bは、例えば、超硬合金等の金属製、焼結ダイヤモンド製等のテーパー状に形成された部材であって、径の小さな右端は尖頭形状である。ピン孔15Bの内径とピン13Bの外径とは、ピン13Bをピン孔15Bに隙間なく挿入することができる大きさとなっている。   FIG. 9 shows the pin 13B. The pin 13B is a member formed in a taper shape such as a metal such as cemented carbide or a sintered diamond, and the right end having a small diameter has a pointed shape. The inner diameter of the pin hole 15B and the outer diameter of the pin 13B are large enough to allow the pin 13B to be inserted into the pin hole 15B without any gap.

これらホルダ11B、スクライビングホイール12A、及びピン13Bを用いてチップホルダ10Bを構成する。スクライビングホイール12Aをホルダ溝14内に挿入して保持し、ピン13Bをその尖頭形状の部分からピン孔15B、及びスクライビングホイール12Aの貫通孔に挿入する。ピン13Bの尖頭形状の部分が、ピン孔15Bの開口付近にある段部と接するところでピン13Bをピン孔15Bに固定する。これによってスクライビングホイール12Aはピン13Bに回転自在に保持され、図8に示すチップホルダ10Bが構成される。   The chip holder 10B is configured using the holder 11B, the scribing wheel 12A, and the pin 13B. The scribing wheel 12A is inserted and held in the holder groove 14, and the pin 13B is inserted into the pin hole 15B and the through hole of the scribing wheel 12A from the pointed portion. The pin 13B is fixed to the pin hole 15B where the pointed portion of the pin 13B comes into contact with a step near the opening of the pin hole 15B. As a result, the scribing wheel 12A is rotatably held by the pin 13B, and the chip holder 10B shown in FIG. 8 is configured.

このチップホルダ10Bをホルダジョイントに取り付け、更にスクライブヘッドに固定して、チップホルダ10Bのスクライビングホイール12Aを脆性材料基板に当接させながらチップホルダ10Bを脆性材料基板と相対移動させると、スクライビングホイール12Aはチップホルダ10Bの移動にしたがって回転ながら脆性材料基板上を相対移動することとなり、脆性材料基板上にスクライブラインが形成される。このとき回転するスクライビングホイール12Aは、図中右方向のピン13Bの径が小さな方向へ移動する。移動したスクライビングホイール12Aは、図10に示すようにホルダ溝14の側面と接するところまで移動して、スクライブラインを形成し続ける。   When the chip holder 10B is attached to the holder joint, and further fixed to the scribe head, the chip holder 10B is moved relative to the brittle material substrate while the scribing wheel 12A of the chip holder 10B is brought into contact with the brittle material substrate. Moves relative to the brittle material substrate while rotating in accordance with the movement of the chip holder 10B, and a scribe line is formed on the brittle material substrate. At this time, the rotating scribing wheel 12A moves in the direction in which the diameter of the pin 13B in the right direction in the drawing is small. The moved scribing wheel 12A moves to a position in contact with the side surface of the holder groove 14 as shown in FIG. 10, and continues to form a scribe line.

この例においてもスクライビングホイール12Aのホルダ溝14内での位置が安定するので、スクライビングホイール12Aの進行方向に対する左右のぶれがなくなり、形成されるスクライブラインの位置が安定する。   Also in this example, since the position of the scribing wheel 12A in the holder groove 14 is stabilized, there is no left-right shaking with respect to the traveling direction of the scribing wheel 12A, and the position of the formed scribe line is stabilized.

(実施の形態)
本発明の実施の形態によるチップホルダについて図11〜図13を用いて説明する。本実施の形態によるスクライブヘッドの構成は、第1の参考例と同じである。図11は、本実施の形態によるチップホルダ10Cの構成を示す正面図である。チップホルダ10Cは、ホルダ11C、スクライビングホイール12B、及びピン13Cを有している。第1の参考例で用いられた構成要素と同じのものについては同一の符号を付している。
(Embodiment)
A chip holder according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The configuration of the scribe head according to the present embodiment is the same as that of the first reference example. FIG. 11 is a front view showing the configuration of the tip holder 10C according to the present embodiment. The chip holder 10C includes a holder 11C, a scribing wheel 12B, and a pin 13C. The same components as those used in the first reference example are denoted by the same reference numerals.

ホルダ11Cの構成は、第1の参考例のホルダ11Aとほぼ同じであり、ホルダ溝14及びピン孔15Cを有している。ピン孔15Cは、第1の参考例のピン孔15Aと同様の円形の貫通孔であるが、図面左側から右側に向かってY軸方向上側に変位している。その結果ホルダ11Cの表面にある2つの開口のうち、図面右側の開口は図面左側の開口に比べてY軸方向上側に変位している。なお、ピン孔15Cは、第1の参考例のピン孔15Aと同様に2つの開口のうちの1つの開口付近に段部を有している。   The structure of the holder 11C is substantially the same as the holder 11A of the first reference example, and has a holder groove 14 and a pin hole 15C. The pin hole 15C is a circular through hole similar to the pin hole 15A of the first reference example, but is displaced upward in the Y-axis direction from the left side to the right side in the drawing. As a result, of the two openings on the surface of the holder 11C, the opening on the right side of the drawing is displaced upward in the Y-axis direction compared to the opening on the left side of the drawing. The pin hole 15C has a step portion in the vicinity of one of the two openings, like the pin hole 15A of the first reference example.

ピン13Cは第1の参考例のピン13Aと同様の形状を有するものであるが、表面は螺旋状のスパイラル溝を有しておらず、図12に示すように平滑である。   The pin 13C has the same shape as the pin 13A of the first reference example, but the surface does not have a spiral groove and is smooth as shown in FIG.

スクライビングホイール12Bは、第1の参考例のスクライビングホイール12Aと同様の構成を有するものであるが、スクライビングホイール12Aの貫通孔よりも直径の大きい貫通孔を有している。この貫通孔によってスクライビングホイール12Bは、X軸方向に対して傾斜して配置されるピン13Cを貫通孔に通しても、スクライビングホイールを回転自在に保持することができる。   The scribing wheel 12B has the same configuration as the scribing wheel 12A of the first reference example, but has a through hole having a diameter larger than that of the scribing wheel 12A. With this through hole, the scribing wheel 12B can hold the scribing wheel in a rotatable manner even when the pin 13C, which is inclined with respect to the X-axis direction, passes through the through hole.

これらホルダ11C、スクライビングホイール12B、及びピン13Cを用いてチップホルダ10Cを構成する。スクライビングホイール12Bをホルダ溝14内で保持し、ピン13Cを尖頭形状を有する部分からピン孔15C、及びスクライビングホイール12Bの貫通孔に挿入する。ピン13Cの尖頭部分が、ピン孔15Cの開口付近にある段部と接するところでピン13Cをピン孔15Cに固定する。これによってスクライビングホイール12Bはピン13Cに回転自在に保持され、図11に示すチップホルダ10Cが構成される。   A chip holder 10C is configured using the holder 11C, the scribing wheel 12B, and the pin 13C. The scribing wheel 12B is held in the holder groove 14, and the pin 13C is inserted into the pin hole 15C and the through hole of the scribing wheel 12B from a portion having a pointed shape. The pin 13C is fixed to the pin hole 15C where the pointed portion of the pin 13C is in contact with the step near the opening of the pin hole 15C. Thus, the scribing wheel 12B is rotatably held by the pin 13C, and the chip holder 10C shown in FIG. 11 is configured.

このチップホルダ10Cをホルダジョイントに取り付け、更にスクライブヘッドに固定して、チップホルダ10Cのスクライビングホイール12Bを脆性材料基板に当接させながらチップホルダ10Cを脆性材料基板と相対移動させると、スクライビングホイール12Bはチップホルダ10Cの移動にしたがって回転しながら脆性材料基板上を相対移動することとなり、脆性材料基板上にスクライブラインが形成される。このとき回転するスクライビングホイール12Bは、ピン13Cに沿ってY軸方向上側へ移動する。移動したスクライビングホイール12Bは、図13に示すようにホルダ溝14の側面と接するところまで図中右方向へ移動して、スクライブラインを形成し続ける。   When the tip holder 10C is attached to the holder joint, fixed to the scribe head, and the tip holder 10C is moved relative to the brittle material substrate while the scribing wheel 12B of the tip holder 10C is brought into contact with the brittle material substrate, the scribing wheel 12B is obtained. Moves relative to the brittle material substrate while rotating in accordance with the movement of the chip holder 10C, and a scribe line is formed on the brittle material substrate. At this time, the rotating scribing wheel 12B moves upward in the Y-axis direction along the pin 13C. The moved scribing wheel 12B moves to the right in the drawing until it comes into contact with the side surface of the holder groove 14 as shown in FIG. 13, and continues to form a scribe line.

本実施の形態においてもスクライビングホイール12Bのホルダ溝14内での位置が安定するので、スクライビングホイール12Bの進行方向に対する左右のぶれがなくなり、形成されるスクライブラインの位置が安定する。   Also in the present embodiment, since the position of the scribing wheel 12B in the holder groove 14 is stabilized, there is no left-right shake with respect to the traveling direction of the scribing wheel 12B, and the position of the formed scribe line is stabilized.

(第3の参考例)
本発明の第3の参考例によるチップホルダについて図14〜図16を用いて説明する。本実施の形態によるスクライブヘッドの構成は、第1の参考例と同じである。チップホルダ10Dは、ホルダ11A、スクライビングホイール12C、及びピン13Cを有している。ホルダ11A、ピン13Cなど、本実施の形態で用いられた構成要素と同じものについては同一の符号を付している。
(Third reference example)
A chip holder according to a third reference example of the present invention will be described with reference to FIGS. The configuration of the scribe head according to the present embodiment is the same as that of the first reference example. The chip holder 10D has a holder 11A, a scribing wheel 12C, and a pin 13C. The same components as those used in the present embodiment, such as the holder 11A and the pin 13C, are denoted by the same reference numerals.

スクライビングホイール12Cは、例えば超硬合金、焼結ダイヤモンドで形成された部材である。スクライビングホイール12Cは、互いに合同な底面を有し且つ高さの異なる2つの円錐台を底面で重ね合わせた形状であり、対向する2つの円形の側面12a、12bと、円錐台の側面である曲面12c、12dを有している。側面12a、12bは、中心を貫く貫通孔を有している。曲面12c、12dはV字形の刃を形成しており、曲面12c、12dの接線には刃先の稜線が形成されている。この稜線は、図14に示すようにスクライビングホイール12Cの厚さ方向の真中ではなく側面12a寄りに形成されている。   The scribing wheel 12C is a member formed of, for example, cemented carbide or sintered diamond. The scribing wheel 12C has a shape in which two truncated cones having congruent bottom surfaces and different heights are overlapped on the bottom surface, two circular side surfaces 12a and 12b facing each other, and a curved surface that is a side surface of the truncated cone. 12c and 12d. The side surfaces 12a and 12b have a through hole penetrating the center. The curved surfaces 12c and 12d form a V-shaped blade, and the ridgeline of the blade edge is formed at the tangent line of the curved surfaces 12c and 12d. As shown in FIG. 14, the ridge line is formed near the side surface 12a, not in the middle of the thickness direction of the scribing wheel 12C.

図15は、スクライビングホイール12Cを側面12a、12bの貫通孔の中心軸を通る平面で切断したときの断面を、拡大して示す断面図である。図15は、曲面12c、12d、及び貫通孔を示している。破線は紙面背後に隠れた稜線である。図15の破線は、稜線を含む平面(図示せず、以下、稜線面という)の位置と一致している。この稜線面に垂直な面、即ち図15の紙面に平行な面と曲面12cとが交わる部分にできる線の、稜線面に対する角度を角度θ1とする。また、図15の紙面に平行な面と曲面12dとが交わる部分にできる線の、稜線面に対する角度を角度θ2とする。スクライビングホイール12Cは、角度θ1と角度θ2が等しくなるように構成されている。   FIG. 15 is an enlarged cross-sectional view of the scribing wheel 12C when cut along a plane passing through the central axis of the through holes of the side surfaces 12a and 12b. FIG. 15 shows the curved surfaces 12c and 12d and the through holes. A broken line is a ridge line hidden behind the page. The broken line in FIG. 15 coincides with the position of a plane including a ridge line (not shown, hereinafter referred to as a ridge line surface). An angle with respect to the ridgeline plane of a line perpendicular to the ridgeline plane, that is, a line formed between the plane parallel to the paper surface of FIG. In addition, an angle with respect to the ridge line surface of a line formed at a portion where the surface parallel to the paper surface of FIG. The scribing wheel 12C is configured such that the angle θ1 and the angle θ2 are equal.

なお、稜線面に垂直な面と曲面12c及び12dとが交わる部分にできる線は、少なくとも稜線面との交点部分では直線状であるので、角度θ1及び角度θ2を定義することができる。   In addition, since the line | wire which can be made into the part where the surface perpendicular | vertical to a ridgeline surface and the curved surfaces 12c and 12d cross is linear at least at the intersection part with a ridgeline surface, angle (theta) 1 and angle (theta) 2 can be defined.

これらホルダ11A、スクライビングホイール12C、及びピン13Cを用いてチップホルダ10Dを構成する。スクライビングホイール12Cをホルダ溝14内に挿入して保持し、ピン13Cをその尖頭形状を有する部分からピン孔15A、及びスクライビングホイール12Cの貫通孔に挿入する。ピン13Cは、尖頭部分がピン孔15Aの開口付近にある段部と接するところでピン孔15Aに固定される。これによってスクライビングホイール12Cはピン13Cに回転自在に保持され、図14に示すチップホルダ10Dが構成される。   A chip holder 10D is configured using the holder 11A, the scribing wheel 12C, and the pin 13C. The scribing wheel 12C is inserted and held in the holder groove 14, and the pin 13C is inserted into the pin hole 15A and the through hole of the scribing wheel 12C from the portion having the pointed shape. The pin 13 </ b> C is fixed to the pin hole 15 </ b> A at a point where the peak portion contacts a step portion near the opening of the pin hole 15 </ b> A. As a result, the scribing wheel 12C is rotatably held by the pin 13C, and the chip holder 10D shown in FIG. 14 is configured.

このチップホルダ10Dをホルダジョイントに取り付け、更にスクライブヘッドに固定して、チップホルダ10Dのスクライビングホイール12Cを脆性材料基板に当接させながらチップホルダ10Dを脆性材料基板と相対移動させると、スクライビングホイール12Cはチップホルダ10Dの移動にしたがって回転ながら脆性材料基板上を相対移動することとなり、脆性材料基板上にスクライブラインが形成される。このとき回転するスクライビングホイール12Cは、刃先の稜線が厚さ方向の真中には無いため、ピン13Cに沿って稜線に近い側面の方向へ向かって移動する。移動したスクライビングホイール12Cは、図16に示すようにホルダ溝14の側面と接するところまで図中右側の側面12aの方向に移動して、スクライブラインを形成し続ける。 When the tip holder 10D is attached to the holder joint and fixed to the scribe head, and the tip holder 10D is moved relative to the brittle material substrate while the scribing wheel 12C of the tip holder 10D is brought into contact with the brittle material substrate, the scribing wheel 12C is obtained. Moves relative to the brittle material substrate while rotating in accordance with the movement of the chip holder 10D, and a scribe line is formed on the brittle material substrate. At this time, the rotating scribing wheel 12 </ b> C moves along the pin 13 </ b> C toward the side surface close to the ridge line because the edge line of the cutting edge is not in the middle of the thickness direction. As shown in FIG. 16, the moved scribing wheel 12C moves in the direction of the right side surface 12a in the drawing until it contacts the side surface of the holder groove 14, and continues to form a scribe line.

スクライビングホイール12Cのホルダ溝14内での位置が安定するので、スクライビングホイール12Cの進行方向に対する左右のぶれがなくなり、形成されるスクライブラインの位置が安定する。   Since the position of the scribing wheel 12C in the holder groove 14 is stabilized, there is no left-right shake with respect to the traveling direction of the scribing wheel 12C, and the position of the formed scribe line is stabilized.

スクライビングホイール12Cの第1の変形例について説明する。図17(a)は、第1の変形例であるスクライビングホイール12Dを拡大して示す図である。スクライビングホイール12Dは、例えば超硬合金、焼結ダイヤモンドで形成された部材である。スクライビングホイール12Dは、互いに合同な底面を有し且つ高さの等しい2つの円錐台を底面で重ね合わせた形状であり、対向する2つの円状の側面12e、12fと、円錐台の側面である曲面12g、12hを有している。側面12e、12fは、中心に円筒状の貫通孔を有している。曲面12g、12hはV字形の刃を形成しており、曲面12g、12hの接線には刃先の稜線が形成されている。この稜線は、図17(a)に示すようにスクライビングホイール12Dの厚さ方向の真中に形成されている。   A first modification of the scribing wheel 12C will be described. FIG. 17A is an enlarged view showing the scribing wheel 12D as the first modification. The scribing wheel 12D is a member formed of, for example, cemented carbide or sintered diamond. The scribing wheel 12D has a shape in which two truncated cones having congruent bottom surfaces and equal heights are overlapped on the bottom surface, and are two opposite circular side surfaces 12e and 12f and a side surface of the truncated cone. It has curved surfaces 12g and 12h. The side surfaces 12e and 12f have a cylindrical through hole at the center. The curved surfaces 12g and 12h form a V-shaped blade, and the edge of the blade edge is formed at the tangent line of the curved surfaces 12g and 12h. This ridgeline is formed in the middle of the scribing wheel 12D in the thickness direction as shown in FIG.

図17(b)は、スクライビングホイール12Dを側面12e、12fの貫通孔の中心軸を通る平面で切断したときの断面を、拡大して示す断面図である。図17(b)は、曲面12g、12h、及び貫通孔を示している。破線は紙面背後に隠れた稜線である。図17(b)の破線は、稜線面(図示せず)の位置と一致しており、稜線面に垂直な面と曲面12g、12hとが交わる部分にできる2本の線の、稜線面に対する角度をそれぞれ角度θ3、θ4とする。スクライビングホイール12Dは、角度θ3と角度θ4が異なるように構成されている。図17(b)では、θ3<θ4となっており、角度θ3と角度θ4は、例えば角度θ3を45°〜65°(例えば、55°)とし、角度θ4を55°〜75°(例えば、65°)とすることができる。   FIG. 17B is an enlarged cross-sectional view of the scribing wheel 12D taken along a plane that passes through the central axis of the through holes of the side surfaces 12e and 12f. FIG. 17B shows the curved surfaces 12g and 12h and the through holes. A broken line is a ridge line hidden behind the page. The broken line in FIG. 17 (b) coincides with the position of the ridge line surface (not shown), and two lines formed at the intersection of the surface perpendicular to the ridge line surface and the curved surfaces 12g and 12h with respect to the ridge line surface. The angles are defined as angles θ3 and θ4, respectively. The scribing wheel 12D is configured such that the angle θ3 and the angle θ4 are different. In FIG. 17B, θ3 <θ4, and the angle θ3 and the angle θ4 are, for example, an angle θ3 of 45 ° to 65 ° (for example, 55 °) and an angle θ4 of 55 ° to 75 ° (for example, 65 °).

スクライブラインを形成する際に、スクライビングホイール12Dをスクライビングホイール12Cの代わりに用いても、スクライビングホイール12Dはピン13Cに沿って図面右側の側面12eの方向へ移動するので、スクライビングホイール12Cと同様の効果を得ることができる。   Even when the scribing wheel 12D is used in place of the scribing wheel 12C when forming the scribe line, the scribing wheel 12D moves in the direction of the side surface 12e on the right side of the drawing along the pin 13C, so the same effect as the scribing wheel 12C. Can be obtained.

スクライビングホイール12Cの第2の変形例について説明する。図18(a)は、第2の変形例であるスクライビングホイール12Eを拡大して示す図である。スクライビングホイール12Eは、例えば超硬合金、焼結ダイヤモンドで形成された部材である。スクライビングホイール12Eは、互いに合同な底面を有し且つ高さの異なる2つの円錐台を底面で重ね合わせた形状であり、対向する2つの円状の側面12i、12jと、円錐台の側面である曲面12k、12lを有している。側面12i、12jは、中心に円筒状の貫通孔を有している。曲面12k、12lはV字形の刃を形成しており、曲面12k、12lの接線には刃先の稜線が形成されている。この稜線は、図18に示すようにスクライビングホイール12Eの厚さ方向の真中ではなく側面12i寄りに形成されている。   A second modification of the scribing wheel 12C will be described. FIG. 18A is an enlarged view of a scribing wheel 12E that is a second modification. The scribing wheel 12E is a member formed of, for example, cemented carbide or sintered diamond. The scribing wheel 12E has a shape in which two truncated cones having congruent bottom surfaces and different heights are overlapped on the bottom surface, two opposing circular side surfaces 12i and 12j, and a side surface of the truncated cone. It has curved surfaces 12k and 12l. The side surfaces 12i and 12j have a cylindrical through hole at the center. The curved surfaces 12k and 12l form a V-shaped blade, and the ridgeline of the blade edge is formed at the tangent line of the curved surfaces 12k and 12l. As shown in FIG. 18, the ridge line is formed near the side surface 12i, not in the middle of the thickness direction of the scribing wheel 12E.

図18(b)は、スクライビングホイール12Eを側面12i、12jの貫通孔の中心軸を通る平面で切断したときの断面を、拡大して示す断面図である。図18(b)は、曲面12k、12l、及び貫通孔を示している。破線は紙面背後に隠れた稜線である。図18(b)の破線は、稜線面(図示せず)の位置と一致しており、稜線面に垂直な面と曲面12k、12lとが交わる部分にできる2本の線の、稜線面に対する角度をそれぞれ角度θ5、θ6とする。スクライビングホイール12Eは、角度θ5と角度θ6が異なるように構成されている。図18(b)では、θ5<θ6となっている。角度θ5と角度θ6は、例えば、角度θ5を45°〜65°(例えば、55°)とし、角度θ6を55°〜75°(例えば、65°)とすることができる。   FIG. 18B is an enlarged cross-sectional view showing a cross section when the scribing wheel 12E is cut along a plane passing through the central axis of the through holes of the side surfaces 12i and 12j. FIG. 18B shows the curved surfaces 12k and 12l and the through holes. A broken line is a ridge line hidden behind the page. The broken line in FIG. 18 (b) coincides with the position of the ridge line surface (not shown), and two lines formed at the intersection of the surface perpendicular to the ridge line surface and the curved surfaces 12k and 12l with respect to the ridge line surface. The angles are defined as angles θ5 and θ6, respectively. The scribing wheel 12E is configured such that the angle θ5 and the angle θ6 are different. In FIG. 18B, θ5 <θ6. As for the angle θ5 and the angle θ6, for example, the angle θ5 can be set to 45 ° to 65 ° (for example, 55 °), and the angle θ6 can be set to 55 ° to 75 ° (for example, 65 °).

スクライブラインを形成する際に、スクライビングホイール12Eをスクライビングホイール12Cの代わりに用いても、スクライビングホイール12Eはピン13Cに沿って図面右側の側面12iの方向へ移動するので、スクライビングホイール12Cと同様の効果を得ることができる。   Even when the scribing wheel 12E is used in place of the scribing wheel 12C when forming the scribe line, the scribing wheel 12E moves in the direction of the side surface 12i on the right side of the drawing along the pin 13C, and thus the same effect as the scribing wheel 12C. Can be obtained.

なお、スクライビングホイール12C〜12Eの貫通孔の内壁に、第1の参考例のピン13Aのような螺旋状の溝を刻んでもよい。これによって確実に、スクライビングホイール12C〜12Eをホルダ溝14の側面と接するところまで移動させることができる。   A spiral groove like the pin 13A of the first reference example may be formed on the inner walls of the through holes of the scribing wheels 12C to 12E. Accordingly, the scribing wheels 12C to 12E can be reliably moved to a position where they contact the side surface of the holder groove 14.

また、平滑な表面のピン13Cの代わりに、第1の参考例のピン13Aを用いてもよい。これによって確実に、スクライビングホイール12C〜12Eをホルダ溝14の側面と接するところまで移動させることができる。   Further, the pin 13A of the first reference example may be used instead of the pin 13C having a smooth surface. Accordingly, the scribing wheels 12C to 12E can be reliably moved to a position where they contact the side surface of the holder groove 14.

ここで例示したスクライビングホイールの厚み及びホルダ溝の幅は、この例示に限らず任意に選択できるものであることは言うまでもない。   It goes without saying that the thickness of the scribing wheel and the width of the holder groove exemplified here are not limited to this example and can be arbitrarily selected.

チップホルダは、自動的に脆性材料基板をスクライブする自動スクライブ装置に限らず、脆性材料基板を手切りする脆性材料切断用カッターに取り付けて用いることもできる。   The chip holder is not limited to an automatic scribing device that automatically scribes the brittle material substrate, but can also be used by being attached to a brittle material cutting cutter that manually cuts the brittle material substrate.

本発明は、スクライブ中のスクライビングホイールの位置を安定させることができるので、スクライブを自動で行うスクライブ装置や、脆性材料基板を手切りする脆性材料切断用カッターに用いることができる。   Since the position of the scribing wheel during scribing can be stabilized, the present invention can be used for a scribing device that automatically performs scribing and a brittle material cutting cutter that manually cuts a brittle material substrate.

1 スクライブヘッド
10A〜10D チップホルダ
11A〜11C ホルダ
12a、12b、12e、12f、12i、12j 側面
12c、12d、12g、12h、12k、12l 曲面
12A〜12E スクライビングホイール
13A〜13C ピン
14 ホルダ溝
15A〜15C ピン孔
20 ホルダジョイント
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Scribe head 10A-10D Chip holder 11A-11C Holder 12a, 12b, 12e, 12f, 12i, 12j Side surface 12c, 12d, 12g, 12h, 12k, 12l Curved surface 12A-12E Scribing wheel 13A-13C Pin 14 Holder groove 15A- 15C Pin hole 20 Holder joint

Claims (2)

下部にスクライビングホイールを挿入するためのホルダ溝、前記ホルダ溝によって隔てられたホルダ溝の形成部、前記ホルダ溝の形成部を直線状に同軸に貫通する円形のピン孔を有するホルダであって、
前記ホルダ溝はチップホルダの下面に対して垂直に設けられており、前記ピン孔の軸が前記ホルダ溝に対して垂直から傾けて形成されたチップホルダ。
A holder groove for inserting a scribing wheel in a lower part, a holder groove forming part separated by the holder groove , and a holder having a circular pin hole linearly and coaxially passing through the holder groove forming part ,
The holder groove is provided perpendicular to the lower surface of the tip holder, the tip holder formed inclined from the vertical axis of the pin holes with respect to the holder groove.
下部にスクライビングホイールを挿入するためのホルダ溝、前記ホルダ溝によって隔てられたホルダ溝の形成部、前記ホルダ溝の形成部を直線状に同軸に貫通する円形のピン孔を有するホルダであって、
前記ホルダ溝はチップホルダの下面に対して垂直に設けられており、前記ピン孔の軸が前記ホルダ溝に対して垂直から傾けて形成され、前記スクライビングホイールの回転によって前記スクライビングホイールをホルダ溝の一方の側面に移動させ当接させるチップホルダ。
A holder groove for inserting a scribing wheel in a lower part, a holder groove forming part separated by the holder groove , and a holder having a circular pin hole linearly and coaxially passing through the holder groove forming part ,
The holder groove is provided perpendicular to the lower surface of the chip holder, the shaft of the pin holes are formed inclined from the vertical with respect to the holder groove, the scribing wheel holder groove by rotation of the scribing wheel A tip holder that moves and contacts one side.
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