JP2013173653A - Scribing wheel, scribe device, and method for manufacturing scribing wheel - Google Patents

Scribing wheel, scribe device, and method for manufacturing scribing wheel Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scribing wheel, a scribe device, and a method for manufacturing scribing wheel in which defective dividing can hardly occurs due to the deterioration of permeability of cracks and the fluctuation of depths of the cracks even though cullets or foreign matters enter the grooves of the scribing wheel when dividing a brittle material substrate.SOLUTION: A scribing wheel is constituted so as to be able to discharge cullets and foreign matters having entered grooves 44 outside of the scribing wheel 40 through concave parts 46 by forming the concave parts 46 in communication with grooves 44 in respective oblique faces 42a of the scribing wheel 40.

Description

本発明は、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成する際のスクライビングホイール、スクライブ装置及びスクライビングホイールの製造方法に関し、特にスクライビングホイールの稜線部に複数の溝が形成されたスクライビングホイール、このスクライビングホイールを用いたスクライブ装置及びこのスクライビングホイールの製造方法に関する。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a scribing wheel, a scribing device, and a scribing wheel manufacturing method for forming a scribe line on the surface of a brittle material substrate, and in particular, a scribing wheel in which a plurality of grooves are formed in a ridge line portion of the scribing wheel, and the scribing wheel. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a scribing device using the above and a method for manufacturing the scribing wheel.

液晶パネル等の製造においてガラス基板を分断する際には、一般的にスクライブ装置が用いられ、このスクライブ装置のスクライビングホイールによって、基板平面に対して直角な方向にクラックが形成される。
このようなスクライビングホイールとして、超硬合金製或いは焼結ダイヤモンド製の円板を外周面に沿って両面から研磨することで、外周縁に断面Ｖ字状となる刃を形成し、刃先となる稜線が形成されたものが一般的に知られている。 When a glass substrate is divided in manufacturing a liquid crystal panel or the like, a scribing device is generally used, and a crack is formed in a direction perpendicular to the substrate plane by a scribing wheel of the scribing device.
As such a scribing wheel, by grinding a disc made of cemented carbide or sintered diamond from both sides along the outer peripheral surface, a blade having a V-shaped cross section is formed on the outer peripheral edge, and a ridge line serving as a cutting edge It is generally known that is formed.

一方、特許文献１に記載されているように、刃先となる稜線に一定間隔で溝を形成することで、より深いクラックを形成することが可能な溝付きのスクライビングホイールが知られている。
この溝付きのスクライビングホイールは、突起状の刃先部分と溝部分とが基板上に交互に存在することにより、刃先部分が間欠的に基板に当たるようになる。その結果、基板に打点衝撃を与えつつスクライブラインが形成されるので、スクライブラインに沿って伸展する垂直クラックの深さが上述した溝のないスクライビングホイールにより形成されるクラックの深さよりもはるかに深くなる。また、刃先部分に集中的に圧接の荷重が加わるようになり、これによってもクラックの深さがより深くなる。このような理由によって、溝付きのスクライビングホイールは溝のないスクライビングホイールよりも高いクラックの浸透性を備えたものとなる。 On the other hand, as described in Patent Document 1, there is known a grooved scribing wheel capable of forming deeper cracks by forming grooves at regular intervals on a ridge line serving as a cutting edge.
In the grooved scribing wheel, the cutting edge portion and the groove portion alternately exist on the substrate, so that the cutting edge portion intermittently hits the substrate. As a result, since the scribe line is formed while hitting the substrate with a hitting impact, the depth of the vertical crack extending along the scribe line is much deeper than the depth of the crack formed by the grooveless scribing wheel described above. Become. In addition, the pressure load is applied to the cutting edge portion intensively, which also increases the depth of the crack. For these reasons, a grooved scribing wheel has a higher crack penetration than a grooved scribing wheel.

特許第３０７４１４３号公報Japanese Patent No. 3074143 国際公開ＷＯ２００５／０７２９２６号パンフレットInternational Publication WO2005 / 072926 Pamphlet 国際公開ＷＯ２００７／００４７００号パンフレットInternational Publication WO2007 / 004700 Pamphlet

近年、携帯電話やスマートフォン等の携帯型の電子機器やＴＶ等、表示用パネルを備える電子機器はますます薄型化が進んでいる。このような薄型の電子機器においては、当然ながら液晶パネル等の表示用パネルも薄型化が進んでおり、表示用パネルを構成するガラス基板等の脆性材料基板は非常に薄くなってきている。さらに、携帯型電子機器向けの表示用パネルとして、高い端面強度が求められるようになってきている。そして、このような薄い脆性材料基板にスクライブラインを形成し、端面強度を高めるために、特許文献２及び特許文献３に記載されているスクライビングホイールのように、溝の微細化も進んでいる。   2. Description of the Related Art In recent years, portable electronic devices such as mobile phones and smartphones, and electronic devices equipped with display panels such as TVs are becoming thinner and thinner. In such thin electronic devices, naturally, display panels such as liquid crystal panels are becoming thinner, and brittle material substrates such as glass substrates constituting the display panels are becoming very thin. Furthermore, high end surface strength has been demanded as a display panel for portable electronic devices. And in order to form a scribe line in such a thin brittle material substrate and to raise end surface strength, refinement | miniaturization of a groove | channel is also progressing like the scribing wheel described in patent document 2 and patent document 3. FIG.

しかしながら、溝が微細になってくると、スクライビング時に生じるカレットが溝に入り込んで溜まりやすくなり、溝による打点衝撃を低下させ、安定した切断性や高い浸透力等のスクライブ性能を得られなくなってしまうという問題がある。
また、液晶パネル等の表示用パネルには、ガラス基板表面に透明導電膜や絶縁膜等の様々な材料が成膜されている。したがって、ガラス基板のスクライビング時には成膜材料等からなる微細な異物も生じており、これらの異物が溝に入り込むことによって溝に溜まってしまい、クラックの浸透性をより低下させてしまうという問題がある。
また、カレットや異物はスクライビングホイールに形成されている溝に均一に入り込むものではないため、溝毎に溜まったカレットや異物の量が変わってしまい、脆性材料基板に形成されるクラックの深さにばらつきが生じてしまうという問題がある。 However, when the groove becomes finer, the cullet generated during scribing easily enters and accumulates in the groove, reducing the impact at impact by the groove, and it becomes impossible to obtain a scribing performance such as stable cutting performance and high penetrating power. There is a problem.
Further, in display panels such as liquid crystal panels, various materials such as a transparent conductive film and an insulating film are formed on the surface of a glass substrate. Therefore, when the glass substrate is scribed, fine foreign substances made of a film forming material are also generated, and these foreign substances enter the groove and accumulate in the groove, which causes a problem of further reducing crack penetration. .
In addition, cullet and foreign matter do not uniformly enter the groove formed in the scribing wheel, so the amount of cullet and foreign matter accumulated in each groove changes, and the depth of cracks formed on the brittle material substrate There is a problem that variations occur.

そこで、本発明者は、これらの問題を解消すべく種々検討を重ねた結果、円板の円周部に沿ってＶ字状の稜線をなす刃と、この刃に形成された複数の溝と、を有するスクライビングホイールにおいて、この刃の傾斜面に、溝につながる窪み部を形成することにより、この問題を解消し得ることに想到し、本発明を完成するに至ったものである。   Therefore, the present inventor has conducted various studies to solve these problems, and as a result, a blade that forms a V-shaped ridge line along the circumferential portion of the disk, and a plurality of grooves formed on the blade. In the scribing wheel having the above, the inventors have conceived that this problem can be solved by forming a recessed portion connected to the groove on the inclined surface of the blade, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明は、上記問題を解決することを課題とし、脆性材料基板を分断する際に、打点衝撃の低下に伴うクラックの浸透性の低下やクラックの深さのばらつきによる分断不良が生じ難いスクライビングホイール、スクライブ装置及びスクライビングホイールの製造方法を提供することを目的とする。   That is, the present invention has an object to solve the above-described problem, and when dividing a brittle material substrate, it is difficult to cause a failure of division due to a decrease in crack permeability due to a drop in impact at impact and a variation in crack depth. It aims at providing the manufacturing method of a scribing wheel, a scribing device, and a scribing wheel.

上記目的を達成するため、本発明の第１の態様は円板の円周部に沿って、稜線と、前記稜線の両側の傾斜面からなる刃と、前記稜線に形成された複数の溝と、を有するスクライビングホイールであって、前記刃の傾斜面には、前記溝につながる窪み部が形成されていることを特徴とする。   To achieve the above object, according to a first aspect of the present invention, there is provided a ridgeline, a blade formed of inclined surfaces on both sides of the ridgeline, and a plurality of grooves formed in the ridgeline along the circumferential portion of the disk. , Wherein a concave portion connected to the groove is formed on the inclined surface of the blade.

本発明の第１の態様によれば、刃の傾斜面に、溝につながる窪み部が形成されているので、脆性材料基板を分断する際に生じたカレットや異物は、溝に入り込んできたとしても、溝にそのまま溜まってしまうことなく、窪み部を介してスクライビングホイールの外へ排出されることになる。したがって、クラックの浸透性の低下やクラックの深さのばらつきによる分断不良が生じ難いスクライビングホイールが提供できる。   According to the first aspect of the present invention, since the recess portion connected to the groove is formed on the inclined surface of the blade, it is assumed that the cullet or foreign matter generated when the brittle material substrate is cut has entered the groove. However, it is discharged out of the scribing wheel through the recess without being accumulated in the groove. Therefore, it is possible to provide a scribing wheel that is less prone to breakage due to a decrease in crack permeability and variation in crack depth.

また、本発明の第２の態様は、第１の態様にかかるスクライビングホイールであって、前記窪み部は前記溝から離れるにしたがって幅が広くなっていることを特徴とする。   Moreover, the 2nd aspect of this invention is the scribing wheel concerning a 1st aspect, Comprising: The said hollow part becomes wide as it leaves | separates from the said groove | channel, It is characterized by the above-mentioned.

本発明の第２の態様によれば、溝に入り込んできたカレットや異物が窪み部からより排出されやすくなる。   According to the 2nd aspect of this invention, the cullet and foreign material which have entered the groove are more easily discharged from the recess.

また、本発明の第３の態様は、第１の態様にかかるスクライビングホイールであって、前記窪み部は前記溝から離れるにしたがって深さが浅くなっていることを特徴とする。   Moreover, the 3rd aspect of this invention is the scribing wheel concerning a 1st aspect, Comprising: The said recessed part becomes shallow as it leaves | separates from the said groove | channel, It is characterized by the above-mentioned.

本発明の第３の態様によれば、溝に入り込んできたカレットや異物が窪み部からより排出されやすくなる。   According to the third aspect of the present invention, cullet and foreign matter that have entered the groove are more easily discharged from the recess.

また、本発明の第４の態様は、第１から３の何れかの態様にかかるスクライビングホイールを回転自在に保持するホルダーと、前記ホルダーが取り付けられたスクライブヘッドと、を有するスクライブ装置であることを特徴とする。   The fourth aspect of the present invention is a scribing apparatus having a holder that rotatably holds the scribing wheel according to any one of the first to third aspects, and a scribe head to which the holder is attached. It is characterized by.

本発明の第４の態様によれば、クラックの浸透性の低下やクラックの深さのばらつきによる分断不良が生じ難いスクライブ装置が提供できる。   According to the fourth aspect of the present invention, it is possible to provide a scribing device that is less prone to breakage due to a decrease in crack permeability and variation in crack depth.

また、本発明の第５の態様は、円板の円周部に沿って、稜線と、前記稜線の両側の傾斜面からなる刃と、前記稜線に形成された複数の溝と、を有するスクライビングホイールの製造方法であって、前記刃の稜線に前記溝を形成する工程と、前記円板の稜線正面側から前記溝の底部の端に対してレーザー光を照射し、前記刃の傾斜面に前記溝とつながる窪み部を形成する工程と、を有することを特徴とする。   A fifth aspect of the present invention is a scribing comprising a ridgeline, a blade comprising inclined surfaces on both sides of the ridgeline, and a plurality of grooves formed in the ridgeline along the circumferential portion of the disk. A method of manufacturing a wheel, the step of forming the groove on the ridge line of the blade, and irradiating a laser beam from the front side of the ridge line of the disc to the end of the bottom of the groove, on the inclined surface of the blade And a step of forming a recess connected to the groove.

本発明の第５の態様によれば、クラックの浸透性の低下やクラックの深さのばらつきによる分断不良が生じ難いスクライビングホイールが製造できる。   According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to manufacture a scribing wheel that is less prone to breakage due to a decrease in crack permeability and variation in crack depth.

本発明の一実施形態におけるスクライブ装置の概略図である。It is the schematic of the scribing apparatus in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態におけるスクライブ装置が有するホルダージョイントの正面図である。It is a front view of the holder joint which the scribe device in one embodiment of the present invention has. 本発明の一実施形態におけるスクライビングホールの側面図及び正面図である。It is the side view and front view of a scribing hole in one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態におけるスクライビングホイールの部分拡大側面図及び部分拡大断面図である。It is the partial expanded side view and partial expanded sectional view of the scribing wheel in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態の変形例に係るスクライビングホイールの正面拡大図である。It is a front enlarged view of the scribing wheel which concerns on the modification of one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態のさらに別の変形例に係るスクライビングホイールの正面拡大図である。It is a front enlarged view of the scribing wheel which concerns on another modification of one Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するためのスクライビングホイール、スクライブ装置及びスクライビングホイールの製造方法の一例を示すものであって、本発明をこのスクライビングホイール、スクライブ装置及びスクライビングホイールの製造法に特定することを意図するものではなく、本発明は特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態のものにも適応し得るものである。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the embodiment described below shows an example of a scribing wheel, a scribing device, and a scribing wheel manufacturing method for embodying the technical idea of the present invention. The scribing wheel, scribing device, and It is not intended to be specific to the method of manufacturing the scribing wheel, and the invention is applicable to other embodiments within the scope of the claims.

本発明の一実施形態に係るスクライブ装置１０の概略図を図１に示す。スクライブ装置１０は、移動台１１が一対の案内レール１２ａ，１２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている構成となっている。そして、この移動台１１はボールネジ１３と螺合している。このボールネジ１３は、モータ１４の駆動により回転し、移動台１１を案内レール１２ａ，１２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動させる。   A schematic diagram of a scribing apparatus 10 according to an embodiment of the present invention is shown in FIG. The scribing device 10 has a configuration in which a movable table 11 is held so as to be movable in the y-axis direction along a pair of guide rails 12a and 12b. The moving table 11 is screwed with the ball screw 13. The ball screw 13 is rotated by driving the motor 14 and moves the movable table 11 in the y-axis direction along the guide rails 12a and 12b.

移動台１１の上面には、モータ１５が設けられている。モータ１５は、テーブル１６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１７は、このテーブル１６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。この脆性材料基板１７は、ガラス基板、セラミック基板、サファイア基板、シリコン基板等の脆性材料からなる基板である。   A motor 15 is provided on the upper surface of the movable table 11. The motor 15 rotates the table 16 on the xy plane and positions it at a predetermined angle. The brittle material substrate 17 is placed on the table 16 and held by a vacuum suction means (not shown). The brittle material substrate 17 is a substrate made of a brittle material such as a glass substrate, a ceramic substrate, a sapphire substrate, or a silicon substrate.

スクライブ装置１０の上部には、脆性材料基板１７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１８が設けられている。そして、スクライブ装置１０には、移動台１１とその上部のテーブル１６を跨ぐようにブリッジ１９がｘ軸方向に沿って支柱２０ａ，２０ｂにより架設されている。   Two CCD cameras 18 that image the alignment marks of the brittle material substrate 17 are provided on the top of the scribe device 10. The scribing device 10 is provided with a bridge 19 extending along the x-axis direction by struts 20a and 20b so as to straddle the movable table 11 and the upper table 16.

ブリッジ１９には、ガイド２２が取り付けられており、スクライブヘッド２１はガイド２２に沿ってｘ軸方向に沿って移動可能となっている。そして、このスクライブ装置１０のスクライブヘッド２１には、ホルダージョイント２３を介して、スクライビングホイール４０を回転自在に保持しているホルダー２４が取り付けられている。   A guide 22 is attached to the bridge 19, and the scribe head 21 is movable along the x-axis direction along the guide 22. A holder 24 that rotatably holds the scribing wheel 40 is attached to the scribe head 21 of the scribe device 10 via a holder joint 23.

図２には、このホルダージョイント２３の正面図が示されている。ホルダージョイント２３は略円柱状をしており、回転軸部２３ａと、ジョイント部２３ｂで構成されている。   FIG. 2 shows a front view of the holder joint 23. The holder joint 23 has a substantially cylindrical shape, and includes a rotation shaft portion 23a and a joint portion 23b.

そして、スクライブヘッド２１にホルダージョイント２３が装着された状態においては、この回転軸部２３ａには、ホルダージョイント２３を回動自在に保持するための二つのベアリング２５ａ，２５ｂが円筒形のスペーサ２５ｃを介して取り付けられた状態になっている。なお、図２には、ホルダージョイント２３の正面図が示されるとともに、回転軸部２３ａに取り付けられたベアリング２５ａ，２５ｂとスペーサ２５ｃの断面図が併せて示されている。   When the holder joint 23 is attached to the scribe head 21, two bearings 25a and 25b for holding the holder joint 23 rotatably on the rotating shaft portion 23a have a cylindrical spacer 25c. It is in the state attached via. 2 shows a front view of the holder joint 23 and also shows a sectional view of the bearings 25a and 25b and the spacer 25c attached to the rotary shaft portion 23a.

円柱形のジョイント部２３ｂには、下端側に円形の開口２６が形成されている。また、この開口２６の上部にはマグネット２７が埋設されている。そして、この開口２６には、ホルダー２４が着脱自在に取り付けられている。   A circular opening 26 is formed on the lower end side of the cylindrical joint portion 23b. A magnet 27 is embedded in the upper portion of the opening 26. A holder 24 is detachably attached to the opening 26.

このホルダー２４は略円柱形の金属等からなり、その下端側には平坦部２９ａ，２９ｂが設けられている。なお、図２でホルダー２４の下端側を拡大している図は矢印Ａで示す横方向から観察した場合の拡大図を示している。   The holder 24 is made of a substantially cylindrical metal or the like, and flat portions 29a and 29b are provided on the lower end side thereof. In addition, the figure which expanded the lower end side of the holder 24 in FIG. 2 has shown the enlarged view at the time of observing from the horizontal direction shown by the arrow A. FIG.

この平坦部２９ａと平坦部２９ｂとの間に、スクライビングホイール４０を保持するための保持溝３０が形成されている。また、平坦部２９ａ，２９ｂには、スクライビングホイール４０を固定するために孔状のピン孔３１がそれぞれ形成されている。このピン孔３１にピン３２が貫通され、スクライビングホイール４０が回転自在に取り付けられている。   A holding groove 30 for holding the scribing wheel 40 is formed between the flat portion 29a and the flat portion 29b. Further, hole-shaped pin holes 31 are formed in the flat portions 29a and 29b in order to fix the scribing wheel 40, respectively. A pin 32 is passed through the pin hole 31 and a scribing wheel 40 is rotatably attached.

ホルダー２４の上端側には位置決め用の取付部３３が設けられている。この取付部３３は、ホルダー２４を切り欠いて形成されており、傾斜部３３ａと平坦部３３ｂを有している。   A mounting portion 33 for positioning is provided on the upper end side of the holder 24. The attachment portion 33 is formed by cutting out the holder 24, and has an inclined portion 33a and a flat portion 33b.

そして、このホルダー２４は開口２６へ、ホルダー２４の取付部３３側から挿入される。その際、ホルダー２４の上端側の金属部分がマグネット２７によって引き寄せられ、取付部３３の傾斜部３３ａが開口２６の内部を通る平行ピン２８と接触し、位置決めが行われ、ホルダー２４はホルダージョイント２３に固定される。反対に、ホルダージョイント２３からホルダー２４を取り外す際には、ホルダー２４を下方へ引く抜くことで、ホルダー２４は容易に取り外すことができる。   The holder 24 is inserted into the opening 26 from the attachment portion 33 side of the holder 24. At that time, the metal portion on the upper end side of the holder 24 is attracted by the magnet 27, the inclined portion 33 a of the mounting portion 33 comes into contact with the parallel pin 28 passing through the inside of the opening 26, and positioning is performed. Fixed to. On the contrary, when removing the holder 24 from the holder joint 23, the holder 24 can be easily removed by pulling the holder 24 downward.

なお、スクライビングホイール４０は消耗品であるため定期的な交換が必要となる。本実施形態においては、ホルダージョイント２３を介してホルダー２４がスクライブヘッド２１に装着されているので、ホルダー２４の着脱が容易に行える。したがって、スクライビングホイール４０をホルダー２４から取り外したりすることなく、スクライビングホイール４０とホルダー２４を一体として扱い、ホルダー２４そのものを交換することも可能なので、スクライビングホイール４０の交換作業が容易に行える。   Since the scribing wheel 40 is a consumable item, it needs to be replaced periodically. In the present embodiment, since the holder 24 is attached to the scribe head 21 via the holder joint 23, the holder 24 can be easily attached and detached. Therefore, since the scribing wheel 40 and the holder 24 can be handled as one body and the holder 24 itself can be exchanged without removing the scribing wheel 40 from the holder 24, the exchanging operation of the scribing wheel 40 can be easily performed.

図３（ａ），（ｂ）には、ホルダー２４の先端に取り付けられているスクライビングホイール４０の側面図、正面図が示されている。また、図４（ａ），（ｂ）には、図３（ａ）に示されたホルダー２４の円Ｂ部分の拡大側面図と、図３（ｂ）に示されたIVｂ−IVｂの拡大断面図が示されている。
このスクライビングホイール４０は、主として本体部４１と、刃４２と、刃先４３と、溝４４と、窪み部４６を有している。 3A and 3B show a side view and a front view of the scribing wheel 40 attached to the tip of the holder 24. FIG. 4 (a) and 4 (b) show an enlarged side view of the circle B portion of the holder 24 shown in FIG. 3 (a) and an enlarged cross section of IVb-IVb shown in FIG. 3 (b). The figure is shown.
The scribing wheel 40 mainly includes a main body portion 41, a blade 42, a blade edge 43, a groove 44, and a hollow portion 46.

本体部４１は円板状をしている。本体部４１の中心付近には、回転軸に沿って本体部４１を貫通する貫通孔４５が設けられている。この貫通孔４５にピン３２が挿入されており、スクライビングホイール４０はこのピン３２を介してホルダー２４に回転自在に保持されている。そして、この本体部４１の外周には、円環状の刃４２が形成されている。   The main body 41 has a disk shape. In the vicinity of the center of the main body 41, a through hole 45 that penetrates the main body 41 along the rotation axis is provided. A pin 32 is inserted into the through hole 45, and the scribing wheel 40 is rotatably held by the holder 24 via the pin 32. An annular blade 42 is formed on the outer periphery of the main body 41.

刃４２は回転軸を中心とした同心円状の内周及び外周により形成される円環状体である。また、刃４２は正面視で略Ｖ字状となっており、回転軸に沿った刃４２の厚さは稜線部となる刃先４３に向かうに従って徐々に小さくなっている。   The blade 42 is an annular body formed by concentric inner and outer peripheries around the rotation axis. The blade 42 is substantially V-shaped when viewed from the front, and the thickness of the blade 42 along the rotation axis is gradually reduced toward the blade edge 43 serving as the ridge line portion.

刃先４３は、刃４２の最外周部に沿って設けられている。そして刃４２の最外周部には、刃先４３と交互に溝４４が形成されている。   The blade edge 43 is provided along the outermost peripheral portion of the blade 42. Grooves 44 are formed alternately on the outermost peripheral portion of the blade 42 with the blade tip 43.

溝４４は深さＨ、幅Ｌ（稜線の延在方向における長さ）の大きさがあり、稜線の延在方向においてＵ字状をしている。なお、溝４４の深さＨは破線で示す仮想の稜線から最も深い溝４４の底部４４ａまでの距離である。また、溝４４の幅Ｌは仮想の稜線の長さのことである。そして、刃先４３と溝４４とが交互に脆性材料基板１７上を転動した際、刃先４３は脆性材料基板１７に食い込むとともに、溝４４が刃先４３の食い込みを制限する抵抗として働き、刃先４３が脆性材料基板１７に深く食い込み過ぎないようになる。また、刃先４３が間欠的に脆性材料基板１７に当たるようになるため、脆性材料基板に対して打点衝撃を与えつつスクライブラインが形成されていく。   The groove 44 has a depth H and a width L (length in the extending direction of the ridge line), and is U-shaped in the extending direction of the ridge line. The depth H of the groove 44 is a distance from a virtual ridge line indicated by a broken line to the bottom 44a of the deepest groove 44. The width L of the groove 44 is the length of the virtual ridgeline. When the blade edge 43 and the groove 44 alternately roll on the brittle material substrate 17, the blade edge 43 bites into the brittle material substrate 17, and the groove 44 acts as a resistance to limit the bite of the blade edge 43. The brittle material substrate 17 is prevented from excessively deeply biting. Further, since the blade edge 43 comes into contact with the brittle material substrate 17 intermittently, a scribe line is formed while giving a hitting impact to the brittle material substrate.

窪み部４６は刃４２を構成する二つの傾斜面４２ａのそれぞれにおいて、溝４４につながるように形成されている。つまり、窪み部４６は溝４４の底部４４ａから、傾斜面４２ａに沿って貫通孔４５の方向に向かって伸びている。この窪み部４６によって、スクライビングの際に生じたカレットや異物が溝４４に溜まることなく排出される。   The recess 46 is formed so as to be connected to the groove 44 in each of the two inclined surfaces 42 a constituting the blade 42. That is, the recess 46 extends from the bottom 44 a of the groove 44 toward the through hole 45 along the inclined surface 42 a. By this recess 46, cullet and foreign matter generated during scribing are discharged without accumulating in the groove 44.

次に、スクライビングホイール４０の製造方法に関して説明する。スクライビングホイール４０は超硬合金や焼結ダイヤモンドから形成される。又は超硬合金等の基材にダイヤモンド等の硬質材料の膜をコーティングしたものを用いても良い。例えば、焼結ダイヤモンド製のスクライビングホイール４０は主としてダイヤモンド粒子と、残部の添加剤及び結合材からなる結合相と、から作られている。   Next, a method for manufacturing the scribing wheel 40 will be described. The scribing wheel 40 is made of cemented carbide or sintered diamond. Alternatively, a substrate made of a hard material such as diamond may be used on a base material such as cemented carbide. For example, the scribing wheel 40 made of sintered diamond is mainly made of diamond particles and a binder phase composed of the remaining additive and binder.

このダイヤモンド粒子の平均粒子径は１．５μｍ以下のものが用いられている。そして、焼結ダイヤモンド中におけるダイヤモンドの含有量は７５．０〜９０．０ｖｏｌ％の範囲である。   The diamond particles having an average particle size of 1.5 μm or less are used. And the diamond content in the sintered diamond is in the range of 75.0-90.0 vol%.

添加剤としては、例えば、タングステン、チタン、ニオブ、タンタルより選ばれる少なくとも１種以上の元素の超微粒子炭化物が好適に使用される。焼結ダイヤモンド中における超微粒子炭化物の含有量は３．０〜１０．０ｖｏｌ％の範囲であり、この超微粒子炭化物は１．０〜４．０ｖｏｌ％の炭化チタンと、残部の炭化タングステンと、を含む。   As the additive, for example, ultrafine carbide of at least one element selected from tungsten, titanium, niobium, and tantalum is preferably used. The content of ultrafine carbide in the sintered diamond is in the range of 3.0 to 10.0 vol%, and the ultrafine carbide comprises 1.0 to 4.0 vol% titanium carbide and the balance tungsten carbide. Including.

結合材としては、通常、鉄族元素が好適に使用される。鉄族元素としては、例えばコバルト、ニッケル、鉄等が挙げられ、この中でもコバルトが好適である。また、焼結ダイヤモンド中における結合材の含有量は好ましくはダイヤモンド及び超微粒子炭化物の残部であり、更に好ましくは２０．０〜２０．５ｖｏｌ％の範囲である。   As the binder, an iron group element is usually preferably used. Examples of the iron group element include cobalt, nickel, iron and the like, and among these, cobalt is preferable. Further, the content of the binder in the sintered diamond is preferably the balance of diamond and ultrafine carbide, and more preferably in the range of 20.0 to 20.5 vol%.

そして、まず、上述のダイヤモンド粒子、添加剤、結合材を混合し、ダイヤモンドが熱力学的に安定となる高温及び超高圧下において、これら混合物を焼結させる。これにより焼結ダイヤモンドが製造される。この焼結時において、超高圧発生装置の金型内の圧力は５．０〜８．０ＧＰａの範囲であり、金型内の温度は１５００〜１９００℃の範囲である。   First, the above-described diamond particles, additives, and binder are mixed, and the mixture is sintered at a high temperature and ultrahigh pressure at which diamond is thermodynamically stable. As a result, sintered diamond is produced. During this sintering, the pressure in the mold of the ultrahigh pressure generator is in the range of 5.0 to 8.0 GPa, and the temperature in the mold is in the range of 1500 to 1900 ° C.

次に、製造された焼結ダイヤモンドから所望の半径となる円板が切り取られる。そして、この円板の周縁部において、両面側それぞれを削ることで二つの傾斜面４２ａで形成された断面略Ｖ字状の刃４２を有するスクライビングホイール４０ができる。   Next, a disk having a desired radius is cut from the manufactured sintered diamond. A scribing wheel 40 having a substantially V-shaped blade 42 formed by two inclined surfaces 42a can be obtained by scraping both sides of the peripheral edge of the disc.

そして、このスクライビングホイール４０の稜線となる刃先４３に対し、直交するようにして円板状の砥石を当接させることで、刃先４３に図４（ａ）に示すようなＵ字状の溝４４が形成される。この時、この溝４４の底部４４ａは図４（ｂ）に示すように幅Ｗとなっている。また、一つの溝４４を形成するごとに、砥石は退避させる。   A U-shaped groove 44 as shown in FIG. 4 (a) is brought into contact with the cutting edge 43 by bringing a disc-shaped grindstone into contact with the cutting edge 43 serving as the ridge line of the scribing wheel 40. Is formed. At this time, the bottom 44a of the groove 44 has a width W as shown in FIG. Each time one groove 44 is formed, the grindstone is retracted.

そして、スクライビングホイール４０を所定のピッチに相当する回転角だけ回転させた後、また砥石を当接させることで、次の溝４４が形成される。このようにしてスクライビングホイール４０の刃４２の先端には、刃先４３と溝４４とが交互に等ピッチで設けられる。なお、溝４４はＵ字状となっているため底部４４ａは線状（スクライビングホイール４０の厚さＴｈ方向へ伸びる線状）となっているが、底部４４ａが面状となるように溝４４が矩形状でも構わない。さらに、溝の底部４４ａはスクライビングホイールの回転軸に対して平行となっているが、回転軸に対して傾いていても構わない。   Then, after the scribing wheel 40 is rotated by a rotation angle corresponding to a predetermined pitch, the next groove 44 is formed by contacting the grindstone again. In this manner, the cutting edge 43 and the groove 44 are alternately provided at the same pitch at the tip of the blade 42 of the scribing wheel 40. Since the groove 44 is U-shaped, the bottom 44a is linear (a linear shape extending in the direction of the thickness Th of the scribing wheel 40), but the groove 44 is formed so that the bottom 44a is planar. It may be rectangular. Further, the bottom 44a of the groove is parallel to the rotation axis of the scribing wheel, but may be inclined with respect to the rotation axis.

次に、この溝４４が形成されたスクライビングホイール４０に対して、刃先４３の正面方向である図４（ｂ）の矢印Ｃの方向から、溝４４の底部４４ａの両端部のそれぞれにレーザー光を照射し、底部４４ａの周辺から刃４２の一部を削ることにより、窪み部４６が形成される。   Next, laser light is applied to both ends of the bottom 44a of the groove 44 from the direction of the arrow C in FIG. Irradiation is performed, and a portion of the blade 42 is cut away from the periphery of the bottom portion 44a, whereby a recess 46 is formed.

この時、形成された窪み部４６は図４（ａ）に示すように、底部４４ａから貫通孔４５のある中心側に向かうにつれて、その幅ＫＬが徐々に広がるように形成されている。また、窪み部４６の形状は底部４４ａから貫通孔４５のある中心側に向かうにつれて、凹み深さＫＷが徐々に減っていき、図４（ｂ）に示すように、最終的に窪み部４６は刃４２の傾斜面４２ａと同化する。このように、窪み部４６の形状が中心側に向かうにつれて、徐々に幅ＫＬが広くなり、凹み深さＫＷが浅くなることで、カレットや異物がより溝４４から排出され易くなっている。また、窪み部４６をレーザー加工により形成することにより、レーザーの焦点の設定やレーザーの拡散を利用することで、上述のような窪み部４６の形状を比較的簡単に形成することが可能となる。
なお、本実施形態において窪み部４６は刃４２の傾斜面４２ａの刃先４３側にのみ設けられているが、傾斜面４２ａの全面に渡って設けられていてもよい。スクライブの際に所定の荷重を受けた状態でガラスに接する部分を越えて窪み部が設けられていれば、カレットや異物を排出する効果がより高くなる。 At this time, as shown in FIG. 4A, the formed recess 46 is formed such that its width KL gradually increases from the bottom 44a toward the center side where the through hole 45 is located. In addition, as for the shape of the recess 46, the recess depth KW gradually decreases from the bottom 44 a toward the center of the through hole 45, and as shown in FIG. It is assimilated with the inclined surface 42a of the blade 42. Thus, the width KL gradually increases and the dent depth KW becomes shallower as the shape of the recessed portion 46 moves toward the center side, so that cullet and foreign matter are more easily discharged from the groove 44. Further, by forming the recess 46 by laser processing, the shape of the recess 46 as described above can be formed relatively easily by utilizing the setting of the laser focus and the laser diffusion. .
In addition, in this embodiment, although the hollow part 46 is provided only in the blade edge | tip 43 side of the inclined surface 42a of the blade 42, you may provide over the whole surface of the inclined surface 42a. If the dent is provided beyond the portion in contact with the glass in a state where a predetermined load is applied during scribing, the effect of discharging the cullet and foreign matter becomes higher.

次に、このスクライビングホイール４０の寸法について説明する。スクライビングホイール４０の外径Ｄｍは１．０〜５．０ｍｍ、好ましくは１．０〜３．０ｍｍの範囲である。スクライビングホイール４０の外径Ｄｍが１．０ｍｍより小さい場合には、スクライビングホイール４０の取り扱い性が低下する。一方、スクライビングホイール４０の外径Ｄｍが５．０ｍｍより大きい場合には、スクライブ時の垂直クラックが脆性材料基板１７に対して深く形成されないことがある。   Next, the dimensions of the scribing wheel 40 will be described. The outer diameter Dm of the scribing wheel 40 is 1.0 to 5.0 mm, preferably 1.0 to 3.0 mm. When the outer diameter Dm of the scribing wheel 40 is smaller than 1.0 mm, the handleability of the scribing wheel 40 is lowered. On the other hand, when the outer diameter Dm of the scribing wheel 40 is larger than 5.0 mm, the vertical crack at the time of scribing may not be formed deeply with respect to the brittle material substrate 17.

また、スクライビングホイール４０の厚さＴｈは、０．４〜１．２ｍｍ、好ましくは０．４〜１．１ｍｍの範囲である。スクライビングホイール４０の厚さＴｈが０．４ｍｍより小さい場合には、加工性及び取り扱い性が低下することがある。一方、スクライビングホイール４０の厚さＴｈが１．２ｍｍより大きい場合には、スクライビングホイール４０の材料及び製造のためのコストが高くなる。   Moreover, the thickness Th of the scribing wheel 40 is 0.4 to 1.2 mm, preferably 0.4 to 1.1 mm. When the thickness Th of the scribing wheel 40 is smaller than 0.4 mm, workability and handleability may be deteriorated. On the other hand, when the thickness Th of the scribing wheel 40 is larger than 1.2 mm, the material for the scribing wheel 40 and the cost for manufacturing increase.

また、刃４２の刃先角θ１は、通常鈍角であり、９０≦θ１≦１６０（ｄｅｇ）、好ましくは９０≦θ１≦１４０（ｄｅｇ）の範囲である。なお、刃先角θ１の具体的角度は、切断する脆性材料基板１７の材質、厚さ等から適宜設定される。   The blade edge angle θ1 of the blade 42 is usually an obtuse angle, and is in the range of 90 ≦ θ1 ≦ 160 (deg), preferably 90 ≦ θ1 ≦ 140 (deg). The specific angle of the blade edge angle θ1 is appropriately set based on the material, thickness, etc. of the brittle material substrate 17 to be cut.

また、溝４４は、溝の深さＨが大体０．５〜２０．０μｍの範囲であり、溝の幅Ｌが大体２．０〜５０．０μｍの範囲である。そして、溝４４は刃４２の先端全周に２０．０〜２０００．０μｍのピッチで形成される。溝の深さが浅いほど、カレットが溝に詰まりやすく、また溝の詰まりにより容易にスクライブ性能が低下しやすくなるため、溝の深さHが０．５〜５．０μmのスクライビングホイールにおいては特に窪み部を設けることによる効果が大きくなる。   The groove 44 has a groove depth H in the range of about 0.5 to 20.0 μm and a groove width L in the range of about 2.0 to 50.0 μm. The grooves 44 are formed at a pitch of 20.0 to 2000.0 μm on the entire circumference of the tip of the blade 42. The shallower the groove, the easier it is for the cullet to clog the groove, and the scribe performance easily decreases due to the clogging of the groove. Especially in the scribing wheel having a groove depth H of 0.5 to 5.0 μm. The effect by providing a hollow part becomes large.

このように、スクライビングホイール４０の傾斜面４２ａのそれぞれに溝４４の底部４４ａにつながる窪み部４６を形成しておくことにより、脆性材料基板１７を分断する際に生じたカレットや異物が溝４４に入り込んできたとしても、溝４４にそのまま溜まってしまうことなく、窪み部４６を介してスクライビングホイール４０の外へ排出される。したがって、スクライビングホイール４０を用いれば、溝４４にカレットや異物が溜まってしまうことによる打点衝撃の低下やクラックの深さのばらつきによる分断不良を防止することができる。そして、図４（ｂ）に示すように、窪み部４６は幅Ｗからなる溝４４の底部４４ａの一部を削るだけなので、クラックの浸透性を高め、刃先４３の食い込みを制限する等の溝４４の機能について、窪み部４６を設けたことによる影響は少ない。   In this manner, by forming the recess 46 connected to the bottom 44 a of the groove 44 on each of the inclined surfaces 42 a of the scribing wheel 40, cullet and foreign matter generated when the brittle material substrate 17 is divided are formed in the groove 44. Even if it enters, it does not accumulate in the groove 44 as it is, but is discharged out of the scribing wheel 40 through the recess 46. Therefore, when the scribing wheel 40 is used, it is possible to prevent a drop in hitting impact due to accumulation of cullet and foreign matter in the groove 44 and a division failure due to variation in crack depth. And as shown in FIG.4 (b), since the hollow part 46 only scrapes a part of bottom part 44a of the groove | channel 44 which consists of width W, it is a groove | channel which improves the permeability of a crack and restricts the biting of the blade edge | tip 43, etc. Regarding the function of 44, there is little influence by having provided the hollow part 46. FIG.

［変形例１］
刃４２の傾斜面４２ａに形成された窪み部４６の変形例を説明する。変形例１を示す図５には、スクライビングホイール４０の正面拡大図が示されている。変形例１の窪み部４７は、刃４２を構成する二つの傾斜面４２ａの内、一方の傾斜面４２ａにのみ形成されている。このように、一方の傾斜面４２ａにのみ窪み部４７が形成されていても、溝４４に入り込んできたカレットや異物は、窪み部４７を介してスクライビングホイール４０の外へ排出されることになる。
また、一方の傾斜面４２ａにのみ窪み部４７を形成すればよいので、両方の傾斜面４２ａに窪み部４７を形成する場合に比べ、スクライビングホイール４０の製造工程が短縮される。
さらに、一方の傾斜面４２ａにのみ窪み部４７が形成されているため、スクライブの際に基板のスクライブラインが形成される面に対して垂直な方向（通常の垂直クラックが伸展する方向）から窪み部４７の形成された側に傾斜したクラックが伸展しやすくなり、曲線のスクライブラインを形成する際（特に円形の穴を切り抜く際）などに効果的である。 [Modification 1]
A modified example of the recess 46 formed in the inclined surface 42a of the blade 42 will be described. FIG. 5 showing Modification 1 shows an enlarged front view of the scribing wheel 40. The recess 47 of the first modification is formed only on one of the two inclined surfaces 42 a constituting the blade 42. In this way, even if the depression 47 is formed only on one inclined surface 42 a, cullet and foreign matter that have entered the groove 44 are discharged to the outside of the scribing wheel 40 through the depression 47. .
Moreover, since the recessed part 47 should just be formed only in one inclined surface 42a, the manufacturing process of the scribing wheel 40 is shortened compared with the case where the recessed part 47 is formed in both inclined surfaces 42a.
Furthermore, since the dent 47 is formed only on one inclined surface 42a, the dent is formed in a direction perpendicular to the surface on which the scribe line of the substrate is formed during scribing (a direction in which normal vertical cracks extend). Cracks inclined to the side where the portion 47 is formed are easy to extend, which is effective when a curved scribe line is formed (particularly when a circular hole is cut out).

［変形例２］
変形例２を示す図６には、スクライビングホイール４０の正面拡大図が示されている。変形例２の窪み部４８は、隣り合う溝４４毎に、傾斜面４２ａを交互に変えて形成されている。したがって、窪み部４８は、底部４４ａの片方の端とつながっている。このように、傾斜面４２ａを交互に変えて窪み部４８が形成されていても、溝４４に入り込んできたカレットや異物は、窪み部４８を介してスクライビングホイール４０の外へ排出されることになる。
また、両方の傾斜面４２ａにそれぞれ窪み部４８を形成する場合に比べ、スクライビングホイール４０の製造工程が短縮されるとともに、スクライビングホイール全体として窪み部４８の数を減らすことができるため、スクライブにおける窪み部の形成の影響をさらに小さくすることができる。 [Modification 2]
FIG. 6 showing the modification 2 shows an enlarged front view of the scribing wheel 40. The recessed part 48 of the modified example 2 is formed by alternately changing the inclined surfaces 42 a for each adjacent groove 44. Therefore, the recess 48 is connected to one end of the bottom 44a. In this way, even if the depressions 48 are formed by alternately changing the inclined surfaces 42 a, cullet and foreign matter that have entered the groove 44 are discharged to the outside of the scribing wheel 40 through the depressions 48. Become.
Further, compared to the case where the depressions 48 are formed on both the inclined surfaces 42a, the manufacturing process of the scribing wheel 40 is shortened and the number of the depressions 48 can be reduced as a whole of the scribing wheel. The influence of the formation of the part can be further reduced.

なお、本実施形態においては、スクライビングホイール４０の刃４２に溝４４を形成する方法として、円板状の砥石を使った研磨による方法について説明したが、例えばレーザー加工による方法等他の方法で溝が形成されたスクライビングホイールでも構わない。特に、レーザー加工による方法で溝を形成する場合、溝の形はＶ字状に近くなるが、Ｖ字状の溝はＵ字状や矩形状の溝と比較して溝の底部が狭くなっており、カレットが溝に詰まりやすい。しかし、本実施形態の窪み部を形成することで、溝の形がＶ字状であっても、溝に入り込んだカレットを排出することができ、溝の詰まりを防止することによりスクライブ性能の低下を防ぐことができる。   In the present embodiment, as a method for forming the groove 44 in the blade 42 of the scribing wheel 40, a method using polishing using a disk-shaped grindstone has been described. However, the groove is formed by other methods such as a laser processing method, for example. A scribing wheel in which is formed may be used. In particular, when a groove is formed by a laser processing method, the shape of the groove is close to a V shape, but the bottom of the groove of the V shape groove is narrower than that of a U shape or a rectangular shape. The cullet tends to clog the groove. However, by forming the recess of the present embodiment, even if the groove shape is V-shaped, the cullet that has entered the groove can be discharged, and the scribe performance is reduced by preventing clogging of the groove. Can be prevented.

また、本実施形態においては、窪み部４６の形成方法として、刃先４３である稜線の正面側から溝４４の底部４４ａの両端にレーザー光を照射する方法について説明したが、このような方法以外には砥石による研磨によって窪み部４６を形成する方法等でも構わない。   Further, in the present embodiment, as a method of forming the recess 46, the method of irradiating laser light to both ends of the bottom 44a of the groove 44 from the front side of the ridgeline that is the cutting edge 43 has been described. May be a method of forming the recess 46 by polishing with a grindstone.

また、本実施形態においては、窪み部４６は、溝４４の底部４４ａにつながっているが、必ずしも溝４４の底部４４ａにつながっていなくても、溝４４の底部４４ａの近傍につながるような窪み部４６が形成されていても構わない。   In the present embodiment, the recess 46 is connected to the bottom 44a of the groove 44. However, the recess 46 is not necessarily connected to the bottom 44a of the groove 44, but is connected to the vicinity of the bottom 44a of the groove 44. 46 may be formed.

また、本実施形態においては、窪み部４６は、貫通孔４５のある中心側に向かって伸びているが、例えば窪み部４６はスクライビングホイール４０の回転方向に向かって伸びる形状であっても構わない。このような形状であっても、窪み部４６を介してクラックや異物が排出される。   In the present embodiment, the recess 46 extends toward the center of the through hole 45, but the recess 46 may have a shape extending in the rotational direction of the scribing wheel 40, for example. . Even in such a shape, cracks and foreign matter are discharged through the recess 46.

また、本実施形態においてスクライブ装置１０は、スクライビングホイール４０を保持するホルダー２４をスクライブヘッド２１に取り付ける際に、ホルダージョイント２３を介して取り付ける構成となっている。しかしながら、スクライブ装置１０はスクライブヘッド２１に直接ホルダー２４を取り付ける構成であっても構わない。   In the present embodiment, the scribing device 10 is configured to be attached via the holder joint 23 when the holder 24 holding the scribing wheel 40 is attached to the scribe head 21. However, the scribe device 10 may be configured to attach the holder 24 directly to the scribe head 21.

また、本実施形態においては、スクライブ装置１０として、スクライブヘッド２１を移動させためのガイド２２やブリッジ１９が設けられていたり、脆性材料基板１７が載置されるテーブル１６を回転させる移動台１１が備わっていたりするものを示したが、このようなスクライブ装置１０に限定されるものではない。例えば、ホルダー２４が取り付けられたスクライブヘッド２１をユーザーが握れるようにするために、スクライブヘッド２１の一部形状が柄の形状をしており、ユーザーがこの柄を持って移動させることで脆性材料基板１７の分断を行うような、所謂手動式のスクライブ装置であっても適用可能である。   In the present embodiment, the scribing device 10 is provided with a guide 22 and a bridge 19 for moving the scribe head 21, or a moving table 11 for rotating the table 16 on which the brittle material substrate 17 is placed. Although what is provided is shown, it is not limited to such a scribing apparatus 10. For example, in order to allow the user to grip the scribe head 21 to which the holder 24 is attached, a part of the scribe head 21 has a pattern shape, and the user moves the scribe head 21 with the handle to move the brittle material. Even a so-called manual scribing apparatus that cuts the substrate 17 is applicable.

１０…スクライブ装置
２４…ホルダー
４０…スクライビングホイール
４１…本体部
４２…刃
４２ａ…傾斜面
４３…刃先
４４…溝
４４ａ…底部
４６，４７，４８…窪み部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Scribing device 24 ... Holder 40 ... Scribing wheel 41 ... Body part 42 ... Blade 42a ... Inclined surface 43 ... Blade tip 44 ... Groove 44a ... Bottom part 46, 47, 48 ... Recessed part

Claims (5)

円板の円周部に沿って、稜線と、前記稜線の両側の傾斜面からなる刃と、前記稜線に形成された複数の溝と、を有するスクライビングホイールであって、
前記刃の傾斜面には、前記溝につながる窪み部が形成されていることを特徴とするスクライビングホイール。 A scribing wheel having a ridgeline, a blade made of inclined surfaces on both sides of the ridgeline, and a plurality of grooves formed in the ridgeline, along the circumferential portion of the disk,
A scribing wheel characterized in that a concave portion connected to the groove is formed on the inclined surface of the blade. 前記窪み部は前記溝から離れるにしたがって幅が広くなっていることを特徴とする請求項１に記載のスクライビングホイール。   2. The scribing wheel according to claim 1, wherein a width of the indented portion increases with distance from the groove. 前記窪み部は前記溝から離れるにしたがって深さが浅くなっていることを特徴とする請求項１に記載のスクライビングホイール。   The scribing wheel according to claim 1, wherein the recess portion has a depth that decreases with increasing distance from the groove. 請求項１から３の何れか一項に記載のスクライビングホイールを回転自在に保持するホルダーと、
前記ホルダーが取り付けられたスクライブヘッドと、を有するスクライブ装置。 A holder for rotatably holding the scribing wheel according to any one of claims 1 to 3,
And a scribing head to which the holder is attached. 円板の円周部に沿って、稜線と、前記稜線の両側の傾斜面からなる刃と、前記稜線に形成された複数の溝と、を有するスクライビングホイールの製造方法であって、
前記刃の稜線に前記溝を形成する工程と、
前記円板の稜線正面側から前記溝の底部の端に対してレーザー光を照射し、前記刃の傾斜面に前記溝とつながる窪み部を形成する工程と、
を有することを特徴とするスクライビングホイールの製造方法。 A manufacturing method of a scribing wheel having a ridgeline, blades formed of inclined surfaces on both sides of the ridgeline, and a plurality of grooves formed in the ridgeline, along the circumferential portion of the disk,
Forming the groove in the edge line of the blade;
Irradiating a laser beam from the ridge line front side of the disc to the end of the bottom of the groove, and forming a recess connected to the groove on the inclined surface of the blade;
A scribing wheel manufacturing method comprising:
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