KR101569067B1

KR101569067B1 - Scribing wheel, scribing apparatus, and method for manufacturing scribing wheel

Info

Publication number: KR101569067B1
Application number: KR1020130004768A
Authority: KR
Inventors: 토모키 나카가키
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2012-02-27
Filing date: 2013-01-16
Publication date: 2015-11-13
Also published as: TWI490178B; JP2013173653A; KR20130098200A; CN103288343B; TW201335084A; JP5753504B2; CN103288343A

Abstract

(과제) 취성 재료 기판을 분단할 때에, 크랙의 침투성의 저하나 크랙의 깊이의 불균일에 의한 분단 불량이 발생하기 어려운 스크라이빙 휠, 스크라이브 장치 및 스크라이빙 휠의 제조 방법을 제공한다.
(해결 수단) 스크라이빙 휠(40)의 경사면(42a)의 각각에, 홈(44)에 연결되는 패임부(46)를 형성해 둔다. 이에 따라 컬릿이나 이물이 홈(44)에 인입해 왔다고 해도, 패임부(46)를 통하여 스크라이빙 휠(40)의 밖으로 배출되기 때문에, 크랙의 침투성의 저하나 크랙의 깊이의 불균일에 의한 분단 불량을 방지할 수 있다. Disclosed is a scribing wheel, a scribing device, and a manufacturing method of a scribing wheel which are less prone to separation failure due to uneven permeability of cracks and uneven depth of cracks when the brittle material substrate is divided.
A depression 46 connected to the groove 44 is formed in each of the inclined surfaces 42a of the scribing wheel 40. [ Even if the cullet or the foreign object is drawn into the groove 44, it is discharged outside the scribing wheel 40 through the depressed portion 46. Therefore, Defects can be prevented.

Description

TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a scribing wheel, a scribing device, and a manufacturing method of a scribing wheel. [0002] SCRIBING WHEEL, SCRIBING APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING SCRIBING WHEEL [

본 발명은, 취성 재료 기판의 표면(brittle material substrate)에 스크라이브 라인(scribing line)을 형성할 때의 스크라이빙 휠, 스크라이브 장치 및 스크라이빙 휠의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 스크라이빙 휠(scribing wheel)의 능선부에 복수의 홈이 형성된 스크라이빙 휠, 이 스크라이빙 휠을 이용한 스크라이브 장치 및 이 스크라이빙 휠의 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scribing wheel, a scribing device, and a method of manufacturing a scribing wheel when a scribing line is formed on a brittle material substrate, a scribing wheel in which a plurality of grooves are formed in a ridge portion of a scribing wheel, a scribing device using the scribing wheel, and a manufacturing method of the scribing wheel.

액정 패널 등의 제조에 있어서 유리 기판을 분단(dividing)할 때에는, 일반적으로 스크라이브 장치가 이용되고, 이 스크라이브 장치의 스크라이빙 휠에 의해, 기판 평면에 대하여 직각인 방향으로 크랙이 형성된다. When a glass substrate is divided in the manufacture of a liquid crystal panel or the like, a scribing device is generally used, and a crack is formed in a direction perpendicular to the plane of the substrate by the scribing wheel of the scribing device.

이러한 스크라이빙 휠로서, 초경합금제 혹은 소결 다이아몬드제의 원판을 외주면을 따라서 양면으로부터 연마함으로써, 외주연에 단면(斷面) V자 형상이 되는 날을 형성하고, 날끝이 되는 능선이 형성된 것이 일반적으로 알려져 있다. As such a scribing wheel, it is general that a blade that is a V-shaped cross-section is formed on the outer circumference by polishing a disk made of cemented carbide or sintered diamond from both sides along the outer circumferential surface, .

한편, 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 날끝이 되는 능선에 일정 간격으로 홈을 형성함으로써, 더욱 깊은 크랙을 형성하는 것이 가능한 홈이 있는 스크라이빙 휠이 알려져 있다. On the other hand, as disclosed in Patent Document 1, there is known a scribing wheel having a groove capable of forming deeper cracks by forming grooves at regular intervals on the ridgeline as a blade edge.

이 홈이 있는 스크라이빙 휠은, 돌기 형상의 날끝 부분과 홈 부분이 기판 상에 교대로 존재함으로써, 날끝 부분이 간헐적으로 기판에 닿게 된다. 그 결과, 기판에 타점 충격을 주면서 스크라이브 라인이 형성되기 때문에, 스크라이브 라인을 따라서 신전(extension)하는 수직 크랙의 깊이가, 전술한 홈이 없는 스크라이빙 휠에 의해 형성되는 크랙의 깊이보다도 훨씬 깊어진다. 또한, 날끝 부분에 집중적으로 압접의 하중이 가해지게 되어, 이에 의해서도 크랙의 깊이가 더욱 깊어진다. 이러한 이유에 의해, 홈이 있는 스크라이빙 휠은 홈이 없는 스크라이빙 휠보다도 높은 크랙의 침투성을 구비한 것이 된다. In the scribing wheel having the grooves, the edge portions of the protrusions and the groove portions are alternately present on the substrate, so that the edge portions intermittently contact the substrate. As a result, since the scribe line is formed while impacting the substrate at a spot impact, the depth of the vertical crack extending along the scribe line is much deeper than the depth of the crack formed by the above-mentioned grooved scribing wheel Loses. Further, a load of pressure contact is intensively applied to the blade edge portion, whereby the depth of the crack is further deepened. For this reason, the grooved scribing wheel has higher crack permeability than the grooved scribing wheel.

일본특허 공보 제3074143호Japanese Patent Publication No. 3074143 국제공개 공보 WO2005/072926호International Publication No. WO2005 / 072926 국제공개 공보 WO2007/004700호International Publication No. WO2007 / 004700

최근, 휴대 전화나 스마트폰 등의 휴대형의 전자 기기나 TV 등, 표시용 패널을 구비하는 전자 기기는 더욱더 박형화(reduction in thickness)가 진행되고 있다. 이러한 박형의 전자 기기에 있어서는, 당연히 액정 패널 등의 표시용 패널도 박형화가 진행되고 있고, 표시용 패널을 구성하는 유리 기판 등의 취성 재료 기판은 매우 얇아지고 있다. 또한, 휴대형 전자 기기 전용의 표시용 패널로서, 높은 단면 강도가 요구되고 있다. 그리고, 이러한 얇은 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하고, 단면 강도를 높이기 위해, 특허문헌 2 및 특허문헌 3에 기재되어 있는 스크라이빙 휠과 같이, 홈의 미세화도 진행되고 있다. 2. Description of the Related Art In recent years, portable electronic apparatuses such as mobile phones and smart phones, and electronic apparatuses including display panels such as TVs have been further reduced in thickness. In such thin electronic apparatuses, display panels such as liquid crystal panels are naturally thinned, and brittle material substrates such as glass substrates constituting display panels are becoming very thin. Further, as a display panel dedicated to a portable electronic device, a high section strength is required. Further, in order to form a scribe line on such a thin brittle material substrate and to increase the strength of the cross section, as in the case of the scribing wheel disclosed in Patent Document 2 and Patent Document 3, the groove is being made finer.

그러나, 홈이 미세해지면, 스크라이빙시에 발생하는 컬릿(cullet)이 홈에 인입하여 쌓이기 쉬워지고, 홈에 의한 타점 충격을 저하시켜, 안정된 절단성이나 높은 침투력 등의 스크라이브 성능을 얻을 수 없게 되어 버린다는 문제가 있다. However, if the grooves become finer, the cullet generated at the time of scribing tends to be drawn into the grooves to be accumulated, and the impact of the rubbing by grooves is reduced, so that scribing performance such as stable cutability or high penetration ability can not be obtained There is a problem of discarding.

또한, 액정 패널 등의 표시용 패널에는, 유리 기판 표면에 투명 도전막이나 절연막 등의 여러 가지 재료가 성막되어 있다. 따라서, 유리 기판의 스크라이빙시에는 성막 재료 등으로 이루어지는 미세한 이물도 발생하고 있어, 이들 이물이 홈에 인입함으로써 홈에 쌓여 버려, 크랙의 침투성을 더욱 저하시켜 버린다는 문제가 있다. In addition, on a display panel such as a liquid crystal panel, various materials such as a transparent conductive film and an insulating film are formed on the surface of the glass substrate. Therefore, during scribing of the glass substrate, microscopic foreign substances such as a film forming material are generated, and these foreign substances are piled up in the grooves by being drawn into the grooves, which further lowers the permeability of the cracks.

또한, 컬릿이나 이물은 스크라이빙 휠에 형성되어 있는 홈에 균일하게 인입하는 것은 아니기 때문에, 홈마다 쌓인 컬릿이나 이물의 양이 변해버려, 취성 재료 기판에 형성되는 크랙의 깊이에 불균일이 발생해 버린다는 문제가 있다. Further, since the cullet or foreign matter does not uniformly enter the groove formed in the scribing wheel, the amount of cullet or foreign matter accumulated in each groove changes, and the depth of the crack formed on the brittle material substrate is uneven There is a problem of discarding.

그래서, 본 발명자는, 이들 문제를 해소하기 위해 여러 가지 검토를 거듭한 결과, 원판의 원주부를 따라서 V자 형상의 능선을 이루는 날과, 이 날에 형성된 복수의 홈을 갖는 스크라이빙 휠에 있어서, 이 날의 경사면에, 홈에 연결되는 패임부를 형성함으로써, 이 문제를 해소할 수 있는 것에 생각이 도달하여, 본 발명을 완성하기에 이른 것이다. To solve these problems, the inventors of the present invention have conducted various investigations. As a result, the inventors of the present invention have found that a blade having a V-shaped ridgeline along the circumference of the disk and a scribing wheel having a plurality of grooves Thus, it is thought that this problem can be solved by forming the depression portion connected to the groove on the inclined surface of this blade, and the present invention has been completed.

즉, 본 발명은, 상기 문제를 해결하는 것을 과제로 하고, 취성 재료 기판을 분단할 때에, 타점 충격의 저하에 수반하는 크랙의 침투성의 저하나 크랙의 깊이의 불균일에 의한 분단 불량이 발생하기 어려운 스크라이빙 휠, 스크라이브 장치 및 스크라이빙 휠의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. That is, it is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a brittle material substrate which is capable of preventing breakage failure due to unevenness in crack penetration, It is an object of the present invention to provide a scribing wheel, a scribing device, and a manufacturing method of the scribing wheel.

　상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제1 실시형태는 원판의 원주부를 따라서, 능선과, 상기 능선의 양측의 경사면으로 이루어지는 날과, 상기 능선에 형성된 복수의 홈을 갖는 스크라이빙 휠로서, 상기 날의 경사면에는, 상기 홈에 연결되는 패임부가 형성되고 있는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, according to a first aspect of the present invention, there is provided a scribing wheel having a ridge line, a blade made of slopes on both sides of the ridge line, and a plurality of grooves formed on the ridge line, And an inclined face connected to the groove is formed on an inclined surface of the blade.

본 발명의 제1 실시형태에 의하면, 날의 경사면에, 홈에 연결되는 패임부가 형성되어 있기 때문에, 취성 재료 기판을 분단할 때에 발생한 컬릿이나 이물은, 홈에 인입되었다고 해도, 홈에 그대로 쌓여 버리는 일 없이, 패임부를 통하여 스크라이빙 휠의 밖으로 배출되게 된다. 따라서, 크랙의 침투성의 저하나 크랙의 깊이의 불균일에 의한 분단 불량이 발생하기 어려운 스크라이빙 휠을 제공할 수 있다. According to the first embodiment of the present invention, since the indentation portion connected to the groove is formed on the inclined surface of the blade, even if the cullet or foreign matter generated when the brittle material substrate is divided is entrained in the groove, And is discharged to the outside of the scribing wheel through the depression without any work. Therefore, it is possible to provide a scribing wheel which is less susceptible to separation failure due to uneven permeability of cracks and uneven depth of cracks.

또한, 본 발명의 제2 실시형태는, 제1 실시형태에 따른 스크라이빙 휠로서, 상기 패임부는 상기 홈으로부터 멀어짐에 따라 폭이 넓어지고 있는 것을 특징으로 한다. A second aspect of the present invention is the scribing wheel according to the first aspect, wherein the depressed portion is widened as it moves away from the groove.

본 발명의 제2 실시형태에 의하면, 홈에 인입한 컬릿이나 이물이 패임부로부터 더욱 배출되기 쉬워진다. According to the second embodiment of the present invention, the cullet or the foreign object introduced into the groove can be more easily discharged from the depressed portion.

또한, 본 발명의 제3 실시형태는, 제1 실시형태에 따른 스크라이빙 휠로서, 상기 패임부는 상기 홈으로부터 멀어짐에 따라 깊이가 얕아지고 있는 것을 특징으로 한다. According to a third aspect of the present invention, there is provided a scribing wheel according to the first aspect, wherein the recess is shallower as the distance from the groove is increased.

본 발명의 제3 실시형태에 의하면, 홈에 인입한 컬릿이나 이물이 패임부로부터 더욱 배출되기 쉬워진다. According to the third embodiment of the present invention, the cullet or the foreign object introduced into the groove can be more easily discharged from the depressed portion.

또한, 본 발명의 제4 실시형태는, 제1에서 3 중 어느 것의 실시형태에 따른 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 지지(hoiding)하는 홀더와, 상기 홀더가 부착된 스크라이브 헤드를 갖는 스크라이브 장치인 것을 특징으로 한다. A fourth embodiment of the present invention is a scribing apparatus having a holder for hobbling a scribing wheel in accordance with any one of the first to third embodiments in a freely rotatable manner and a scribe head having the holder attached thereto .

본 발명의 제4 실시형태에 의하면, 크랙의 침투성의 저하나 크랙의 깊이의 불균일에 의한 분단 불량이 발생하기 어려운 스크라이브 장치를 제공할 수 있다. According to the fourth embodiment of the present invention, it is possible to provide a scribe device which is less susceptible to separation failure due to unevenness in crack penetration and uneven depth of cracks.

또한, 본 발명의 제5 실시형태는, 원판의 원주부를 따라서, 능선과, 상기 능선의 양측의 경사면으로 이루어지는 날과, 상기 능선에 형성된 복수의 홈을 갖는 스크라이빙 휠의 제조 방법으로서, 상기 날의 능선에 상기 홈을 형성하는 공정과, 상기 원판의 능선 정면측으로부터 상기 홈의 저부(底部)의 단(端)에 대하여 레이저광을 조사하고, 상기 날의 경사면에 상기 홈과 연결되는 패임부를 형성하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다. According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a scribing wheel having a ridge, a blade comprising slopes on both sides of the ridge, and a plurality of grooves formed on the ridge, along a circumference of the disk, A step of forming the groove on the ridgeline of the blade and a step of irradiating a laser beam to the end of the bottom of the groove from the front side of the ridgeline of the original plate, And a step of forming the depressed portion.

본 발명의 제5 실시형태에 의하면, 크랙의 침투성의 저하나 크랙의 깊이의 불균일에 의한 분단 불량이 발생하기 어려운 스크라이빙 휠을 제조할 수 있다. According to the fifth embodiment of the present invention, it is possible to manufacture a scribing wheel which is less susceptible to separation failure due to unevenness in crack penetration and uneven depth of cracks.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치가 갖는 홀더 조인트의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 스크라이빙 휠의 측면도 및 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 스크라이빙 휠의 부분 확대 측면도 및 부분 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태의 변형예에 따른 스크라이빙 휠의 정면 확대도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 형태의 또 다른 변형예에 따른 스크라이빙 휠의 정면 확대도이다. 1 is a schematic view of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view of a holder joint of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view and a front view of a scribing wheel according to an embodiment of the present invention.
4 is a partially enlarged side view and partially enlarged cross-sectional view of a scribing wheel according to an embodiment of the present invention.
5 is a front enlarged view of a scribing wheel according to a modification of the embodiment of the present invention.
6 is a front view enlarged view of a scraping wheel according to still another modification of the embodiment of the present invention.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 이용하여 설명한다. 단, 이하에 나타내는 실시 형태는, 본 발명의 기술 사상을 구체화하기 위한 스크라이빙 휠, 스크라이브 장치 및 스크라이빙 휠의 제조 방법의 일 예를 나타내는 것으로서, 본 발명을 이 스크라이빙 휠, 스크라이브 장치 및 스크라이빙 휠의 제조법으로 특정하는 것을 의도하는 것은 아니며, 본 발명은 특허 청구의 범위에 포함되는 그 외의 실시 형태인 것에도 적용할 수 있는 것이다. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. It is to be noted that the embodiments described below show an example of a scribing wheel, a scribing device, and a manufacturing method of a scribing wheel for embodying the technical idea of the present invention. The present invention is applied to a scribing wheel, It is not intended to specify the method of manufacturing the device and the scribing wheel, and the present invention may be applied to other embodiments included in the claims.

본 발명의 일 실시 형태에 따른 스크라이브 장치(10)의 개략도를 도 1에 나타낸다. 스크라이브 장치(10)는, 이동대(11)가 한 쌍의 안내 레일(12a, 12b)을 따라서, y축 방향으로 이동이 자유롭게 지지 되어 있는 구성으로 되어 있다. 그리고, 이 이동대(11)는 볼 나사(13)와 나사결합하고 있다. 이 볼 나사(13)는, 모터(14)의 구동에 의해 회전하고, 이동대(11)를 안내 레일(12a, 12b)을 따라서, y축 방향으로 이동시킨다. A schematic diagram of a scribe apparatus 10 according to an embodiment of the present invention is shown in Fig. The scribing apparatus 10 is configured such that the moving table 11 is supported so as to be movable in the y-axis direction along the pair of guide rails 12a and 12b. The movable base 11 is screwed to the ball screw 13. [ The ball screw 13 is rotated by the driving of the motor 14 to move the moving table 11 in the y axis direction along the guide rails 12a and 12b.

이동대(11)의 상면에는, 모터(15)가 설치되어 있다. 모터(15)는, 테이블(16)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치결정하는 것이다. 취성 재료 기판(17)은, 이 테이블(16) 상에 얹어놓아, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 지지된다. 이 취성 재료 기판(17)은, 유리 기판, 세라믹 기판, 사파이어 기판, 실리콘 기판 등의 취성 재료로 이루어지는 기판이다. On the upper surface of the movable base 11, a motor 15 is provided. The motor 15 rotates the table 16 in the xy plane and positions the table 16 at a predetermined angle. The brittle material substrate 17 is placed on the table 16 and supported by vacuum suction means or the like (not shown). The brittle material substrate 17 is a substrate made of a brittle material such as a glass substrate, a ceramic substrate, a sapphire substrate, or a silicon substrate.

스크라이브 장치(10)의 상부에는, 취성 재료 기판(17)의 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(18)가 설치되어 있다. 그리고, 스크라이브 장치(10)에는, 이동대(11)와 그의 상부의 테이블(16)에 걸치도록 브리지(19)가 x축 방향을 따라서 지주(20a, 20b)에 의해 가설되어 있다. At the top of the scribe device 10, there are provided two CCD cameras 18 for picking up an alignment mark of the brittle material substrate 17. The scribe device 10 has a bridge 19 straddled by pillars 20a and 20b along the x-axis direction so as to extend over the moving table 11 and the table 16 above the table.

브리지(19)에는, 가이드(22)가 부착되어 있고, 스크라이브 헤드(21)는 가이드(22)에 따라서 x축 방향을 따라서 이동 가능해져 있다. 그리고, 이 스크라이브 장치(10)의 스크라이브 헤드(21)에는, 홀더 조인트(23)를 통하여, 스크라이빙 휠(40)을 회전이 자유롭게 지지하고 있는 홀더(24)가 부착되어 있다. A guide 22 is attached to the bridge 19 and the scribe head 21 is movable along the guide 22 along the x-axis direction. A holder 24 is attached to the scribe head 21 of the scribe apparatus 10 via a holder joint 23 to support the scribing wheel 40 in a freely rotatable manner.

도 2에는, 이 홀더 조인트(23)의 정면도가 나타나 있다. 홀더 조인트(23)는 대략 원기둥 형상을 하고 있고, 회전축부(23a)와, 조인트부(23b)로 구성되어 있다. Fig. 2 shows a front view of the holder joint 23. Fig. The holder joint 23 has a substantially cylindrical shape, and is composed of a rotary shaft portion 23a and a joint portion 23b.

그리고, 스크라이브 헤드(21)에 홀더 조인트(23)가 장착된 상태에 있어서, 이 회전축부(23a)에는, 홀더 조인트(23)를 회전이동이 자유롭게 지지하기 위한 2개의 베어링(25a, 25b)이 원통형의 스페이서(25c)를 통하여 부착된 상태가 되어 있다. 또한, 도 2에는, 홀더 조인트(23)의 정면도가 나타남과 함께, 회전축부(23a)에 부착된 베어링(25a, 25b)과 스페이서(25c)의 단면도가 아울러 나타나 있다. When the holder joint 23 is mounted on the scribe head 21, two bearings 25a and 25b for rotatably supporting the holder joint 23 are rotatably supported on the rotary shaft portion 23a And is attached through a cylindrical spacer 25c. 2 shows a front view of the holder joint 23 and a sectional view of the bearings 25a and 25b and the spacer 25c attached to the rotary shaft portion 23a.

원기둥형의 조인트부(23b)에는, 하단측에 원형의 개구(26)가 형성되어 있다. 또한, 이 개구(26)의 상부에는 마그넷(27)이 매설되어 있다. 그리고, 이 개구(26)에는, 홀더(24)가 착탈이 자유롭게 부착되어 있다. A circular opening 26 is formed in the lower end of the cylindrical joint portion 23b. A magnet 27 is embedded in the upper portion of the opening 26. In the opening 26, a holder 24 is detachably attached.

이 홀더(24)는 대략 원기둥형의 금속 등으로 이루어지고, 그의 하단측에는 평탄부(29a, 29b)가 설치되어 있다. 또한, 도 2에서 홀더(24)의 하단측을 확대하고 있는 도면은 화살표 A로 나타내는 가로 방향으로부터 관찰한 경우의 확대도를 나타내고 있다. The holder 24 is made of a substantially cylindrical metal or the like, and flat portions 29a and 29b are provided on the lower end side thereof. The enlarged view of the lower end of the holder 24 in Fig. 2 shows an enlarged view when viewed from the lateral direction indicated by the arrow A in Fig.

이 평탄부(29a)와 평탄부(29b)와의 사이에, 스크라이빙 휠(40)을 지지하기 위한 지지 홈(30)이 형성되어 있다. 또한, 평탄부(29a, 29b)에는, 스크라이빙 휠(40)을 고정하기 위해 구멍 형상의 핀구멍(31)이 각각 형성되어 있다. 이 핀구멍(31)에 핀(32)이 관통되어, 스크라이빙 휠(40)이 회전이 자유롭게 부착되어 있다. A support groove 30 for supporting the scribing wheel 40 is formed between the flat portion 29a and the flat portion 29b. The flat portions 29a and 29b are formed with hole-shaped pin holes 31 for fixing the scribing wheel 40, respectively. The pin 32 is passed through the pin hole 31, and the scribing wheel 40 is rotatably attached.

홀더(24)의 상단측에는 위치결정용의 부착부(33)가 설치되어 있다. 이 부착부(33)는, 홀더(24)를 절결(cut-away)하여 형성되어 있고, 경사부(33a)와 평탄부(33b)를 갖고 있다. On the upper end side of the holder 24, a positioning attachment portion 33 is provided. The attaching portion 33 is formed by cutting away the holder 24 and has an inclined portion 33a and a flat portion 33b.

그리고, 이 홀더(24)는 개구(26)로, 홀더(24)의 부착부(33)측으로부터 삽입된다. 그때, 홀더(24)의 상단측의 금속 부분이 마그넷(27)에 의해 끌어당겨져, 부착부(33)의 경사부(33a)가 개구(26)의 내부를 지나는 평행핀(28)과 접촉하여, 위치결정이 행해지며, 홀더(24)는 홀더 조인트(23)에 고정된다. 반대로, 홀더 조인트(23)로부터 홀더(24)를 떼어낼 때에는, 홀더(24)를 하방으로 당겨뽑음으로써, 홀더(24)는 용이하게 떼어낼 수 있다. The holder 24 is inserted into the opening 26 from the attachment portion 33 side of the holder 24. The metal portion on the upper end side of the holder 24 is pulled by the magnet 27 and the inclined portion 33a of the attaching portion 33 comes into contact with the parallel pin 28 passing through the inside of the opening 26 , Positioning is performed, and the holder 24 is fixed to the holder joint 23. Conversely, when the holder 24 is removed from the holder joint 23, the holder 24 can be easily removed by pulling the holder 24 downward.

또한, 스크라이빙 휠(40)은 소모품이기 때문에 정기적인 교환이 필요하다. 본 실시 형태에 있어서는, 홀더 조인트(23)를 통하여 홀더(24)가 스크라이브 헤드(21)에 장착되어 있기 때문에, 홀더(24)의 착탈이 용이하게 행해진다. 따라서, 스크라이빙 휠(40)을 홀더(24)로부터 떼어내거나 하는 일 없이, 스크라이빙 휠(40)과 홀더(24)를 일체로서 취급하여, 홀더(24) 그 자체를 교환하는 것도 가능하기 때문에, 스크라이빙 휠(40)의 교환 작업이 용이하게 행해진다. Also, since the scribing wheel 40 is a consumable item, regular replacement is required. In this embodiment, since the holder 24 is attached to the scribe head 21 via the holder joint 23, the holder 24 can be easily attached and detached. It is also possible to handle the scribing wheel 40 and the holder 24 integrally and replace the holder 24 itself without removing the scribing wheel 40 from the holder 24 Therefore, the scribing wheel 40 can be easily replaced.

도 3(a), (b)에는, 홀더(24)의 선단에 부착되어 있는 스크라이빙 휠(40)의 측면도, 정면도가 나타나 있다. 또한, 도 4(a), (b)에는, 도 3(a)에 나타난 홀더(24)의 원 B 부분의 확대 측면도와, 도 3(b)에 나타난 Ⅳb-Ⅳb의 확대 단면도가 나타나 있다. 3 (a) and 3 (b) show a side view and a front view of the scribing wheel 40 attached to the tip of the holder 24. 4 (a) and 4 (b) show an enlarged side view of the circle B portion of the holder 24 shown in Fig. 3 (a) and enlarged cross-sectional views of IVb-IVb shown in Fig. 3 (b).

이 스크라이빙 휠(40)은, 주로 본체부(41)와, 날(42)과, 날끝(43)과, 홈(44)과, 패임부(46)를 갖고 있다. The scribing wheel 40 mainly has a main body 41, a blade 42, a blade tip 43, a groove 44, and a depression 46.

본체부(41)는 원판 형상을 하고 있다. 본체부(41)의 중심 부근에는, 회전축을 따라서 본체부(41)를 관통하는 관통구멍(45)이 설치되어 있다. 이 관통구멍(45)에 핀(32)이 삽입되어 있고, 스크라이빙 휠(40)은 이 핀(32)을 통하여 홀더(24)에 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 그리고, 이 본체부(41)의 외주에는, 원환(圓環) 형상의 날(42)이 형성되어 있다. The body portion 41 has a disk shape. In the vicinity of the center of the main body portion 41, a through hole 45 penetrating the main body portion 41 along the rotation axis is provided. A pin 32 is inserted into the through hole 45 and the scribing wheel 40 is rotatably supported by the holder 24 via the pin 32. [ A ring-shaped blade 42 is formed on the outer periphery of the main body portion 41.

날(42)은 회전축을 중심으로 한 동심원 형상의 내주 및 외주에 의해 형성되는 원환 형상체이다. 또한, 날(42)은 정면에서 보았을 때 대략 V자 형상으로 되어 있고, 회전축을 따른 날(42)의 두께는 능선부가 되는 날끝(43)을 향함에 따라 서서히 작아지고 있다. The blade 42 is a toric body formed by a concentric inner circumference and an outer circumference about the rotation axis. The blade 42 has a substantially V-shape when viewed from the front, and the thickness of the blade 42 along the rotation axis gradually decreases toward the blade 43 at the ridge portion.

날끝(43)은, 날(42)의 최외주부를 따라서 설치되어 있다. 그리고 날(42)의 최외주부에는, 날끝(43)과 교대로 홈(44)이 형성되어 있다. The blade edge 43 is provided along the outermost peripheral portion of the blade 42. At the outermost peripheral portion of the blade 42, a groove 44 is formed alternately with the blade tip 43.

홈(44)은 깊이 H, 폭 L(능선의 연재(extending) 방향에 있어서의 길이)의 크기가 있고, 능선의 연재 방향에 있어서 U자 형상을 하고 있다. 또한, 홈(44)의 깊이 H는 파선으로 나타내는 가상의 능선으로부터 가장 깊은 홈(44)의 저부(44a)까지의 거리이다. 또한, 홈(44)의 폭 L은 가상의 능선의 길이인 것이다. 그리고, 날끝(43)과 홈(44)이 교대로 취성 재료 기판(17) 상을 전동(rolling)했을 때, 날끝(43)은 취성 재료 기판(17)에 파고듦과 함께, 홈(44)이 날끝(43)의 파고듦을 제한하는 저항으로서 작용하여, 날끝(43)이 취성 재료 기판(17)에 너무 깊게 파고들지 않게 된다. 또한, 날끝(43)이 간헐적으로 취성 재료 기판(17)에 닿게 되기 때문에, 취성 재료 기판에 대하여 타점 충격을 주면서 스크라이브 라인이 형성되어 간다. The groove 44 has a depth H and a width L (length in the extending direction of the ridgeline), and has a U-shape in the extending direction of the ridgeline. The depth H of the groove 44 is the distance from the imaginary ridge shown by the broken line to the bottom 44a of the deepest groove 44. The width L of the groove 44 is the length of the imaginary ridge line. When the blade tip 43 and the groove 44 alternately roll on the brittle material substrate 17, the blade tip 43 fits into the brittle material substrate 17 and the groove 44 is formed, Acts as a resistor for restricting the fringing of the nose portion 43 so that the nose portion 43 does not penetrate the brittle material substrate 17 too deeply. In addition, since the blade edge 43 intermittently contacts the brittle material substrate 17, a scribe line is formed while impacting the brittle material substrate at other points.

패임부(46)는 날(42)을 구성하는 2개의 경사면(42a)의 각각에 있어서, 홈(44)에 연결되도록 형성되어 있다. 즉, 패임부(46)는 홈(44)의 저부(44a)로부터, 경사면(42a)을 따라서 관통구멍(45)의 방향을 향하여 늘어나고 있다. 이 패임부(46)에 의해, 스크라이빙시에 발생한 컬릿이나 이물이 홈(44)에 쌓이는 일 없이 배출된다. The depression 46 is formed to be connected to the groove 44 in each of the two inclined surfaces 42a constituting the blade 42. [ That is, the recess 46 extends from the bottom 44a of the groove 44 toward the direction of the through hole 45 along the inclined surface 42a. Culls and foreign matter generated during scribing are discharged without being accumulated in the grooves 44 by the recessed portions 46.

다음으로, 스크라이빙 휠(40)의 제조 방법에 관하여 설명한다. 스크라이빙 휠(40)은 초경합금이나 소결 다이아몬드로 형성된다. 또는 초경합금 등의 기재(base material)에 다이아몬드 등의 경질 재료의 막을 코팅한 것을 이용해도 좋다. 예를 들면, 소결 다이아몬드제의 스크라이빙 휠(40)은 주로 다이아몬드 입자와, 잔부의 첨가제 및 결합재로 이루어지는 결합상(相)으로 만들어져 있다. Next, a manufacturing method of the scribing wheel 40 will be described. The scribing wheel 40 is formed of cemented carbide or sintered diamond. Or a base material such as cemented carbide coated with a film of a hard material such as diamond may be used. For example, the scribing wheel 40 made of sintered diamond is mainly made of a diamond phase and a bonding phase composed of an additive and a binder.

이 다이아몬드 입자의 평균 입자 지름은 1.5㎛ 이하인 것이 이용되고 있다. 그리고, 소결 다이아몬드 중에 있어서의 다이아몬드의 함유량은 75.0∼90.0vol％의 범위이다. The average particle diameter of the diamond particles is 1.5 mu m or less. The content of diamond in the sintered diamond is in the range of 75.0 to 90.0 vol%.

첨가제로서는, 예를 들면, 텅스텐, 티탄, 니오브, 탄탈로부터 선택되는 적어도 1종 이상의 원소의 초미립자 탄화물이 적합하게 사용된다. 소결 다이아몬드 중에 있어서의 초미립자 탄화물의 함유량은 3.0∼10.0vol％의 범위이고, 이 초미립자 탄화물은 1.0∼4.0vol％의 탄화 티탄과, 잔부의 탄화 텅스텐을 포함한다. As the additive, ultrafine carbide carbide of at least one element selected from among tungsten, titanium, niobium and tantalum is suitably used. The content of super-fine carbide in the sintered diamond is in the range of 3.0 to 10.0 vol%, and the super-fine carbide contains 1.0 to 4.0 vol% of titanium carbide and the remainder of tungsten carbide.

결합재로서는, 통상, 철족 원소가 적합하게 사용된다. 철족 원소로서는, 예를 들면 코발트, 니켈, 철 등을 들 수 있고, 이 중에서도 코발트가 적합하다. 또한, 소결 다이아몬드 중에 있어서의 결합재의 함유량은 바람직하게는 다이아몬드 및 초미립자 탄화물의 잔부이며, 더욱 바람직하게는 20.0∼20.5vol％의 범위이다.As the binder, an iron family element is suitably used. As the iron family element, for example, cobalt, nickel, iron and the like can be given, and among them, cobalt is suitable. The content of the binder in the sintered diamond is preferably the remainder of the diamond and ultrafine carbide, more preferably 20.0 to 20.5 vol%.

그리고, 우선, 전술의 다이아몬드 입자, 첨가제, 결합재를 혼합하고, 다이아몬드가 열역학적으로 안정되는 고온 및 초고압하에 있어서, 이들 혼합물을 소결 시킨다. 이에 따라 소결 다이아몬드가 제조된다. 이 소결시에 있어서, 초고압 발생 장치의 금형 내의 압력은 5.0∼8.0GPa의 범위이며, 금형 내의 온도는 1500∼1900℃의 범위이다. First, the above-mentioned diamond particles, additives and binders are mixed, and the mixture is sintered at a high temperature and an ultra-high pressure where the diamond is thermodynamically stable. Whereby a sintered diamond is produced. In this sintering, the pressure in the mold of the ultra-high pressure generator is in the range of 5.0 to 8.0 GPa, and the temperature in the mold is in the range of 1500 to 1900 ° C.

다음으로, 제조된 소결 다이아몬드로부터 소망하는 반경이 되는 원판이 절취된다. 그리고, 이 원판의 주연부에 있어서, 양면측 각각을 깎음으로써 2개의 경사면(42a)으로 형성된 단면 대략 V자 형상의 날(42)을 갖는 스크라이빙 휠(40)이 생긴다. Next, a disk having a desired radius is cut out from the produced sintered diamond. By scraping both sides of the periphery of the disk, a scribing wheel 40 having a substantially V-shaped blade 42 formed of two inclined surfaces 42a is formed.

그리고, 이 스크라이빙 휠(40)의 능선이 되는 날끝(43)에 대하여, 직교하도록 하여 원판 형상의 숫돌을 맞닿게 함으로써, 날끝(43)에 도 4(a)에 나타나는 바와 같은 U자 형상의 홈(44)이 형성된다. 이때, 이 홈(44)의 저부(44a)는 도 4(b)에 나타내는 바와 같이 폭 W가 되어 있다. 또한, 1개의 홈(44)을 형성할 때마다, 숫돌은 퇴피시킨다. 4 (a) as shown in Fig. 4 (a) is formed on the blade tip 43 by abutting the disc-shaped grindstone with the blade edge 43, which is the ridge of the scribing wheel 40, Grooves 44 are formed. At this time, the bottom portion 44a of the groove 44 has a width W as shown in Fig. 4 (b). Further, each time the one groove 44 is formed, the grindstone is retracted.

그리고, 스크라이빙 휠(40)을 소정의 피치에 상당하는 회전각만큼 회전시킨 후, 또한 숫돌을 맞닿음시킴으로써, 다음의 홈(44)이 형성된다. 이와 같이 하여 스크라이빙 휠(40)의 날(42)의 선단에는, 날끝(43)과 홈(44)이 교대로 등(等) 피치로 형성된다. 또한, 홈(44)은 U자 형상으로 되어 있기 때문에 저부(44a)는 선 형상(스크라이빙 휠(40)의 두께(Th) 방향으로 신장하는 선 형상)으로 되어 있지만, 저부(44a)가 면 형상이 되도록 홈(44)이 직사각형 형상이라도 상관없다. 또한, 홈의 저부(44a)는 스크라이빙 휠의 회전축에 대하여 평행이 되어 있지만, 회전축에 대하여 기울어져 있어도 상관없다. Then, the next groove 44 is formed by rotating the scribing wheel 40 by a rotation angle corresponding to a predetermined pitch, and further abutting the grinding wheel. In this way, the blade tip 43 and the groove 44 are alternately formed at the tip of the blade 42 of the scribing wheel 40 at an equal pitch. Since the groove 44 is U-shaped, the bottom portion 44a is linear (linear shape extending in the thickness Th direction of the scribing wheel 40), but the bottom portion 44a The grooves 44 may have a rectangular shape so as to have a planar shape. Further, although the bottom portion 44a of the groove is parallel to the rotation axis of the scribing wheel, it may be inclined with respect to the rotation axis.

다음으로, 이 홈(44)이 형성된 스크라이빙 휠(40)에 대하여, 날끝(43)의 정면 방향인 도 4(b)의 화살표 C의 방향으로부터, 홈(44)의 저부(44a)의 양단부의 각각에 레이저광을 조사하여, 저부(44a)의 주변으로부터 날(42)의 일부를 깎음으로써, 패임부(46)가 형성된다. 4 (b), which is the front direction of the blade tip 43, with respect to the scribing wheel 40 in which the groove 44 is formed, The depressions 46 are formed by irradiating laser light to each of both ends and cutting off a part of the blade 42 from the periphery of the bottom 44a.

이때, 형성된 패임부(46)는 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 저부(44a)로부터 관통구멍(45)이 있는 중심측을 향함에 따라, 그 폭 KL이 서서히 넓어지도록 형성되어 있다. 또한, 패임부(46)의 형상은 저부(44a)로부터 관통구멍(45)이 있는 중심측을 향함에 따라, 오목 깊이 KW가 서서히 줄어들어 가, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 최종적으로 패임부(46)는 날(42)의 경사면(42a)과 같아지게 된다. 이와 같이, 패임부(46)의 형상이 중심측을 향함에 따라, 서서히 폭 KL이 넓어지고, 오목 깊이 KW가 얕아짐으로써, 컬릿이나 이물이 더욱 홈(44)으로부터 배출되기 쉬워져 있다. 또한, 패임부(46)를 레이저 가공에 의해 형성함으로써, 레이저의 초점의 설정이나 레이저의 확산을 이용함으로써, 전술과 같은 패임부(46)의 형상을 비교적 간단하게 형성하는 것이 가능해진다. At this time, as shown in Fig. 4 (a), the formed depressed portion 46 is formed so that the width KL gradually increases from the bottom portion 44a toward the center side where the through hole 45 is located. 4 (b), the concave depth KW gradually decreases as the shape of the recess portion 46 goes from the bottom portion 44a toward the center side where the through hole 45 is located, The female portion 46 becomes equal to the inclined surface 42a of the blade 42. [ As described above, as the shape of the depressed portion 46 is toward the center side, the width KL becomes gradually wider and the concave depth KW becomes shallower, so that the cullet and foreign matter are more easily discharged from the groove 44. Further, by forming the recessed portion 46 by laser machining, the shape of the recess 46 as described above can be relatively easily formed by using the setting of the laser focus and the diffusion of the laser.

또한, 본 실시 형태에 있어서 패임부(46)는 날(42)의 경사면(42a)의 날끝(43)측에만 설치되어 있지만, 경사면(42a)의 전면(全面)에 걸쳐 설치되어 있어도 좋다. 스크라이브시에 소정의 하중을 받은 상태에서 유리에 접하는 부분을 초과하여 패임부가 설치되어 있으면, 컬릿이나 이물을 배출하는 효과가 더욱 높아진다. In the present embodiment, the recessed portion 46 is provided only on the blade edge 43 side of the inclined surface 42a of the blade 42, but may be provided over the entire surface of the inclined surface 42a. If the dent portion is provided beyond the portion in contact with the glass under a predetermined load during scribing, the effect of discharging the cullet or foreign object is further enhanced.

다음으로, 이 스크라이빙 휠(40)의 치수에 대해서 설명한다. 스크라이빙 휠(40)의 외경(Dm)은 1.0∼5.0㎜, 바람직하게는 1.0∼3.0㎜의 범위이다. 스크라이빙 휠(40)의 외경(Dm)이 1.0㎜보다 작은 경우에는, 스크라이빙 휠(40)의 취급성이 저하된다. 한편, 스크라이빙 휠(40)의 외경(Dm)이 5.0㎜보다 큰 경우에는, 스크라이브시의 수직 크랙이 취성 재료 기판(17)에 대하여 깊게 형성되지 않는 경우가 있다. Next, the dimensions of the scribing wheel 40 will be described. The outer diameter Dm of the scribing wheel 40 is in the range of 1.0 to 5.0 mm, preferably 1.0 to 3.0 mm. When the outer diameter Dm of the scribing wheel 40 is smaller than 1.0 mm, the handling property of the scribing wheel 40 is reduced. On the other hand, when the outer diameter Dm of the scribing wheel 40 is larger than 5.0 mm, the vertical crack at the time of scribing may not be formed deeply with respect to the brittle material substrate 17.

또한, 스크라이빙 휠(40)의 두께(Th)는, 0.4∼1.2㎜, 바람직하게는 0.4∼1.1㎜의 범위이다. 스크라이빙 휠(40)의 두께(Th)가 0.4㎜보다 작은 경우에는, 가공성 및 취급성이 저하되는 경우가 있다. 한편, 스크라이빙 휠(40)의 두께 (Th)가 1.2㎜보다 큰 경우에는, 스크라이빙 휠(40)의 재료 및 제조를 위한 비용이 높아진다. The thickness Th of the scribing wheel 40 is in the range of 0.4 to 1.2 mm, preferably 0.4 to 1.1 mm. When the thickness Th of the scribing wheel 40 is smaller than 0.4 mm, the workability and handleability may be lowered. On the other hand, when the thickness Th of the scribing wheel 40 is larger than 1.2 mm, the cost for the material and manufacturing of the scribing wheel 40 is increased.

또한, 날(42)의 날끝각 θ1은, 통상 둔각으로, 90≤θ1≤160(deg), 바람직하게는 90≤θ1≤140(deg)의 범위이다. 또한, 날끝각 θ1의 구체적 각도는, 절단하는 취성 재료 기판(17)의 재질, 두께 등으로부터 적절히 설정된다. The blade edge angle? 1 of the blade 42 is in a range of 90?? 1? 160 (deg), preferably 90?? 1? 140 (deg), usually at an obtuse angle. In addition, the specific angle of the nose angle? 1 is appropriately set from the material, thickness, and the like of the brittle material substrate 17 to be cut.

또한, 홈(44)은, 홈의 깊이 H가 대체적으로 0.5∼20.0㎛의 범위이며, 홈의 폭 L이 대체적으로 2.0∼50.0㎛의 범위이다. 그리고, 홈(44)은 날(42)의 선단 전체 둘레에 20.0∼2000.0㎛의 피치로 형성된다. 홈의 깊이가 얕을수록, 컬릿이 홈에 막히기 쉽고, 또한 홈의 막힘에 의해 용이하게 스크라이브 성능이 저하되기 쉬워지기 때문에, 홈의 깊이 H가 0.5∼5.0㎛인 스크라이빙 휠에 있어서는 특히 패임부를 설치하는 것에 의한 효과가 커진다. In addition, the groove 44 has a depth H of the groove generally in the range of 0.5 to 20.0 m, and a width L of the groove in the range of generally 2.0 to 50.0 m. The grooves 44 are formed at a pitch of 20.0 to 2000.0 m around the entire tip of the blade 42. As the depth of the groove is shallower, the cullet tends to be clogged with the groove, and the scribing performance tends to be easily deteriorated by the clogging of the groove. Therefore, in the scribing wheel having the groove depth H of 0.5 to 5.0 m, The effect of installing a pregnant woman is increased.

이와 같이, 스크라이빙 휠(40)의 경사면(42a)의 각각에 홈(44)의 저부(44a)에 연결되는 패임부(46)를 형성해 둠으로써, 취성 재료 기판(17)을 분단할 때에 발생한 컬릿이나 이물이 홈(44)에 인입해 왔다고 해도, 홈(44)에 그대로 쌓여버리는 일 없이, 패임부(46)를 통하여 스크라이빙 휠(40)의 밖으로 배출된다. 따라서, 스크라이빙 휠(40)을 이용하면, 홈(44)에 컬릿이나 이물이 쌓여버리는 것에 의한 타점 충격의 저하나 크랙의 깊이의 불균일에 의한 분단 불량을 방지할 수 있다. 그리고, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 패임부(46)는 폭 W로 이루어지는 홈(44)의 저부(44a)의 일부를 깎을 뿐이기 때문에, 크랙의 침투성을 높여, 날끝(43)의 파고듦을 제한하는 등의 홈(44)의 기능에 대해서, 패임부(46)를 설치한 것에 의한 영향은 적다. By forming the depressions 46 connected to the bottoms 44a of the grooves 44 in each of the inclined surfaces 42a of the scribing wheel 40 as described above, when the brittle material substrate 17 is divided Even if the generated cullet or foreign matter has entered the groove 44, it is discharged to the outside of the scribing wheel 40 through the depression 46 without being accumulated in the groove 44 as it is. Therefore, when the scribing wheel 40 is used, it is possible to prevent the breakage failure due to the unevenness in the depth of the crack or the decrease in the impact of the spot impact due to the accumulation of cullet or foreign matter in the groove 44. 4 (b), since the depressed portion 46 only slits a part of the bottom portion 44a of the groove 44 made of the width W, the permeability of the crack is increased, The influence of the provision of the depression 46 on the function of the groove 44, such as restricting the depression, is small.

[변형예 1][Modified Example 1]

날(42)의 경사면(42a)에 형성된 패임부(46)의 변형예를 설명한다. 변형예 1을 나타내는 도 5에는, 스크라이빙 휠(40)의 정면 확대도가 나타나 있다. 변형예 1의 패임부(47)는, 날(42)을 구성하는 2개의 경사면(42a) 중, 한쪽의 경사면(42a)에만 형성되어 있다. 이와 같이, 한쪽의 경사면(42a)에만 패임부(47)가 형성되어 있어도, 홈(44)에 인입해 온 컬릿이나 이물은, 패임부(47)를 통하여 스크라이빙 휠(40)의 밖으로 배출되게 된다. A modified example of the depression 46 formed on the inclined surface 42a of the blade 42 will be described. Fig. 5 showing Modification 1 shows a front enlarged view of the scribing wheel 40. Fig. The recessed portion 47 of Modification Example 1 is formed only on one of the inclined surfaces 42a out of the two inclined surfaces 42a constituting the blade 42. [ Even if the depressed portion 47 is formed only on one of the inclined surfaces 42a as described above, the cullet or foreign matter that has entered the groove 44 is discharged to the outside of the scribing wheel 40 through the depressed portion 47 .

또한, 한쪽의 경사면(42a)에만 패임부(47)를 형성하면 되기 때문에, 양쪽의 경사면(42a)에 패임부(47)를 형성하는 경우에 비해, 스크라이빙 휠(40)의 제조 공정이 단축된다. The manufacturing process of the scribing wheel 40 is similar to the manufacturing process of the scribing wheel 40 in comparison with the case of forming the depressions 47 on the both inclined surfaces 42a since the depressions 47 are formed only on one of the inclined surfaces 42a .

또한, 한쪽의 경사면(42a)에만 패임부(47)가 형성되어 있기 때문에, 스크라이브시에 기판의 스크라이브 라인이 형성되는 면에 대하여 수직인 방향(통상의 수직 크랙이 신전하는 방향)으로부터 패임부(47)가 형성된 측으로 경사진 크랙이 신전하기 쉬워져, 곡선의 스크라이브 라인을 형성할 때(특히 원형의 구멍을 잘라낼 때) 등에 효과적이다. Since the depressions 47 are formed only on one inclined surface 42a, the depressions 47 are formed in the direction perpendicular to the surface on which the scribe lines of the substrate are formed (the direction in which normal vertical cracks are extended) Cracks tend to expand, and it is effective when forming a scribed line of a curved line (particularly when cutting a circular hole).

[변형예 2][Modified example 2]

변형예 2를 나타내는 도 6에는, 스크라이빙 휠(40)의 정면 확대도가 나타나 있다. 6 showing a modified example 2, a front enlarged view of the scribing wheel 40 is shown.

변형예 2의 패임부(48)는, 서로 이웃하는 홈(44)마다, 경사면(42a)을 교대로 바꾸어 형성되어 있다. 따라서, 패임부(48)는, 저부(44a)의 다른 한쪽의 가장자리와 연결되어 있다. 이와 같이, 경사면(42a)을 교대로 바꾸어 패임부(48)가 형성되어 있어도, 홈(44)에 인입해 온 컬릿이나 이물은, 패임부(48)를 통하여 스크라이빙 휠(40)의 밖으로 배출되게 된다. The recessed portion 48 of Modification Example 2 is formed by alternately changing the inclined surfaces 42a for the grooves 44 adjacent to each other. Therefore, the depression 48 is connected to the other edge of the bottom portion 44a. Even if the depressions 48 are formed by alternately changing the inclined surfaces 42a as described above, the cullet or foreign matter that has entered the grooves 44 can be removed from the scribing wheel 40 through the depressions 48 .

또한, 양쪽의 경사면(42a)에 각각 패임부(48)를 형성하는 경우에 비해, 스크라이빙 휠(40)의 제조 공정이 단축됨과 함께, 스크라이빙 휠 전체적으로 패임부(48)의 수를 줄일 수 있기 때문에, 스크라이브에 있어서의 패임부의 형성의 영향을 더욱 작게 할 수 있다. The manufacturing process of the scribing wheel 40 is shortened and the number of the depressions 48 on the entire scribing wheel is reduced compared with the case of forming the depressions 48 on the both inclined surfaces 42a It is possible to further reduce the influence of the formation of the depressions in the scribe.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 스크라이빙 휠(40)의 날(42)에 홈(44)을 형성하는 방법으로서, 원판 형상의 숫돌을 사용한 연마에 의한 방법에 대해서 설명했지만, 예를 들면 레이저 가공에 의한 방법 등 다른 방법으로 홈이 형성된 스크라이빙 휠이라도 상관없다. 특히, 레이저 가공에 의한 방법으로 홈을 형성하는 경우, 홈의 모양은 V자 형상에 가까워지지만, V자 형상의 홈은 U자 형상이나 직사각형 형상의 홈과 비교하여 홈의 저부가 좁아져 있어, 컬릿이 홈에 막히기 쉽다. 그러나, 본 실시 형태의 패임부를 형성함으로써, 홈의 모양이 V자 형상이라도, 홈에 인입한 컬릿을 배출할 수 있고, 홈의 막힘을 방지함으로써 스크라이브 성능의 저하를 막을 수 있다. In the present embodiment, as a method of forming the grooves 44 in the blade 42 of the scribing wheel 40, a method of grinding using a disc-shaped grindstone has been described. However, for example, Or a scribing wheel in which grooves are formed by other methods such as a machining method. In particular, when grooves are formed by a laser machining method, the shape of the grooves is close to the V shape, but the grooves of the V shape are narrower than the grooves of the U shape or the rectangular shape, It is easy to clog this groove. However, by forming the depressed portion according to the present embodiment, even when the groove has a V-shape, the cull drawn into the groove can be discharged, and the clogging of the groove can be prevented, whereby the scribing performance can be prevented from deteriorating.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 패임부(46)의 형성 방법으로서, 날끝(43)인 능선의 정면측으로부터 홈(44)의 저부(44a)의 양단에 레이저광을 조사하는 방법에 대해서 설명했지만, 이러한 방법 이외에는 숫돌에 의한 연마에 의해서 패임부(46)를 형성하는 방법 등이라도 상관없다. In the present embodiment, as a method for forming the depressed portion 46, a method of irradiating laser light to both ends of the bottom portion 44a of the groove 44 from the front side of the ridge line as the blade edge 43 has been described , Or a method of forming the depressed portion 46 by polishing with a grindstone other than this method.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 패임부(46)는, 홈(44)의 저부(44a)에 연결되어 있지만, 반드시 홈(44)의 저부(44a)에 연결되지 않아도, 홈(44)의 저부(44a)의 근방에 연결되는 바와 같은 패임부(46)가 형성되어 있어도 상관없다. Although the recess 46 is connected to the bottom 44a of the groove 44 in the present embodiment, the recess 46 is not necessarily connected to the bottom 44a of the groove 44, The recess 46 may be formed to be connected to the vicinity of the recess 44a.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 패임부(46)는, 관통구멍(45)이 있는 중심측을 향하여 신장하고 있지만, 예를 들면 패임부(46)는 스크라이빙 휠(40)의 회전 방향을 향하여 신장하는 형상이라도 상관없다. 이러한 형상이라도, 패임부(46)를 통하여 크랙이나 이물이 배출된다. In the present embodiment, the depressed portion 46 extends toward the center side where the through hole 45 is located. For example, the depressed portion 46 may extend in the direction of the rotation of the scribing wheel 40 It does not matter whether it is a shape that extends toward. Even in such a shape, cracks and foreign matter are discharged through the depressed portion 46.

또한, 본 실시 형태에 있어서 스크라이브 장치(10)는, 스크라이빙 휠(40)을 지지하는 홀더(24)를 스크라이브 헤드(21)에 부착할 때에, 홀더 조인트(23)를 통하여 부착하는 구성으로 되어 있다. 그러나, 스크라이브 장치(10)는 스크라이브 헤드(21)에 직접 홀더(24)를 부착하는 구성이라도 상관없다. The scribing device 10 according to the present embodiment has a structure in which the holder 24 supporting the scribing wheel 40 is attached through the holder joint 23 when the scribing wheel 40 is attached to the scribing head 21 . However, the scribe apparatus 10 may be configured such that the holder 24 is directly attached to the scribe head 21.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 스크라이브 장치(10)로서, 스크라이브 헤드(21)를 이동시키기 위한 가이드(22)나 브리지(19)가 설치되어 있거나, 취성 재료 기판(17)이 올려놓여지는 테이블(16)을 회전시키는 이동대(11)가 구비되어 있거나 하는 것을 나타냈지만, 이러한 스크라이브 장치(10)로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 홀더(24)가 부착된 스크라이브 헤드(21)를 유저가 쥘 수 있도록 하기 위해, 스크라이브 헤드(21)의 일부 형상이 손잡이의 형상을 하고 있고, 유저가 이 손잡이를 잡아 이동시킴으로써 취성 재료 기판(17)의 분단을 행하는 바와 같은, 소위 수동식의 스크라이브 장치라도 적용 가능하다. In this embodiment, the scribe device 10 is provided with a guide 22 or a bridge 19 for moving the scribe head 21, or a table (not shown) on which the brittle material substrate 17 is placed 16 is provided in the scribe device 10, but the scribe device 10 is not limited to this. For example, in order to allow the user to grasp the scribe head 21 with the holder 24, a portion of the scribe head 21 has a shape of a handle, and when the user grips the handle, It is also applicable to a so-called manual type scribe device, such as the one in which the material substrate 17 is divided.

10 : 스크라이브 장치
24 : 홀더
40 : 스크라이빙 휠
41 : 본체부
42 : 날
42a : 경사면
43 : 날끝
44 : 홈
44a : 저부
46, 47, 48 : 패임부10: scribe device
24: Holder
40: Scraping wheel
41:
42: Me
42a:
43: end point
44: Home
44a:
46, 47, 48:

Claims

delete

A scribing wheel having a ridge along a circumferential portion of a disk, a blade comprising slopes on both sides of the ridge, and a plurality of grooves formed on the ridge,
Wherein a sloped surface of the blade is formed with a depressed portion connected to the groove,
And the depressed portion is widened as it moves away from the groove.

A scribing wheel having a ridge along a circumferential portion of a disk, a blade comprising slopes on both sides of the ridge, and a plurality of grooves formed on the ridge,
Wherein a sloped surface of the blade is formed with a depressed portion connected to the groove,
And the depressions are shallower as they are away from the grooves.

A holder for rotatably holding the scraping wheel according to claim 2 or 3,
And a scribe head having the holder attached thereto.

A method for manufacturing a scribing wheel having a ridge along a circumference of a disk, a blade comprising slopes on both sides of the ridge, and a plurality of grooves formed on the ridge,
A step of forming the groove on the ridgeline of the blade,
And a step of forming a depression portion connected to the groove on an inclined surface of the blade by irradiating laser light onto an edge of a bottom portion of the groove from the front surface side of the ridge line of the original plate,
Wherein the depressions are widened as they move away from the grooves or become shallower as they move away from the grooves.