JP5239547B2 - Chip holder, holder unit, scribe head, and scribe device - Google Patents

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Description

本発明は脆性材料基板にスクライブラインを形成するために用いられるスクライブ装置とそのスクライブヘッド、ホルダユニット及びチップホルダに関するものである。   The present invention relates to a scribing device used for forming a scribe line on a brittle material substrate, a scribe head thereof, a holder unit, and a chip holder.

従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルに成るように分断される。このマザーガラス基板等の脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。   Conventionally, in a flat panel display such as a liquid crystal display panel or a liquid crystal projector substrate, a mother glass substrate is bonded together in a manufacturing process and then divided into a single panel having a predetermined size. The cutting of the brittle material substrate such as the mother glass substrate includes a scribe process and a break process, and a scribe device is used in the scribe process.

図１は特許文献１に示されているスクライブ装置を示す斜視図である。このスクライブ装置１００は、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置１の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。   FIG. 1 is a perspective view showing a scribing device shown in Patent Document 1. FIG. In the scribing apparatus 100, a moving base 101 is held so as to be movable in the y-axis direction along a pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed with the moving table 101. The ball screw 103 is rotated by driving the motor 104, and moves the moving base 101 in the y-axis direction along the guide rails 102a and 102b. A motor 105 is provided on the upper surface of the movable table 101. The motor 105 rotates the table 106 on the xy plane and positions it at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on the table 106 and held by a vacuum suction means (not shown). Two CCD cameras 108 that image the alignment marks of the brittle material substrate 107 are provided on the top of the scribe device 1.

スクライブ装置１００には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１１０がｘ軸方向に沿って支柱１１１ａ，１１１ｂにより架設されている。スクライブヘッド１１２はブリッジ１１０に設けられたガイド１１３に沿ってｘ軸方向に移動可能となっている。モータ１１４はスクライブヘッド１１２をｘ軸方向に沿って移動させるものである。   In the scribe device 100, a bridge 110 is installed by struts 111 a and 111 b along the x-axis direction so as to straddle the moving table 101 and the upper table 106. The scribe head 112 is movable in the x-axis direction along a guide 113 provided on the bridge 110. The motor 114 moves the scribe head 112 along the x-axis direction.

スクライブ装置のスクライブヘッド１１２には、ホルダジョイント１２０を介してチップホルダ１３０が取付けられる。図２は特許文献１によるチップホルダを示す図であり、図３はその斜視図である。これらの図に示すように、チップホルダ１３０は略円筒形の部材であって、その一端には略正方形状の平坦部１３１ａ，１３１ｂがいずれも中心軸に平行に設けられる。チップホルダ１３０はこの平坦部の間に中心軸に沿った切欠き１３２を有しており、平坦部１３１ａ，１３１ｂの下端にはその面に垂直な方向のピン溝１３３を有している。スクライビングホイール（「カッターホイール」ともいう）１３４は例えばホイール径が２．５ｍｍ、厚さ０．５ｍｍ程度の円板状の形状を有し、円周部分の断面が円錐形に形成され、中心に貫通孔を有するカッターであり、単にチップとも呼ばれる。スクライビングホイール１３４は、ピン溝１３３に挿入されたピン１３５を中心の貫通孔に貫通させることによって、回転自在に保持される。ピン１３５をピン溝１３３に挿入しスクライビングホイール１３４を保持した後は、スクライビングホイールの交換を要する場合にもスクライビングホイールを取り外さず、チップホルダと共に交換される。一方チップホルダ１３０の他端には位置決め用の取付部１３６が設けられている。取付部１３６はチップホルダ１３０を切欠いて形成され、傾斜部１３６ａ及び平坦部１３６ｂを有する。平坦部１３６ｂはチップホルダの軸と平行であり、且つ下方の平坦部１３１ａ，１３１ｂとは垂直となっている。チップホルダ１３０はその上部の取付部１３６が磁性体金属で構成されている。   A chip holder 130 is attached to the scribe head 112 of the scribe device via a holder joint 120. FIG. 2 is a view showing a chip holder according to Patent Document 1, and FIG. 3 is a perspective view thereof. As shown in these drawings, the chip holder 130 is a substantially cylindrical member, and substantially square flat portions 131a and 131b are provided at one end thereof in parallel with the central axis. The chip holder 130 has a notch 132 along the central axis between the flat portions, and a pin groove 133 in a direction perpendicular to the surface of the flat portions 131a and 131b. The scribing wheel (also referred to as “cutter wheel”) 134 has, for example, a disc shape with a wheel diameter of 2.5 mm and a thickness of about 0.5 mm, and the circumferential section is formed in a conical shape with a center. It is a cutter having a through hole, and is simply called a chip. The scribing wheel 134 is rotatably held by passing a pin 135 inserted into the pin groove 133 through a central through hole. After the pin 135 is inserted into the pin groove 133 and the scribing wheel 134 is held, even when the scribing wheel needs to be replaced, the scribing wheel is not removed and replaced with the chip holder. On the other hand, an attachment portion 136 for positioning is provided at the other end of the chip holder 130. The attachment portion 136 is formed by cutting out the chip holder 130 and has an inclined portion 136a and a flat portion 136b. The flat part 136b is parallel to the axis of the chip holder and is perpendicular to the lower flat parts 131a and 131b. The chip holder 130 has an upper mounting portion 136 made of a magnetic metal.

スクライブヘッド１１２はその内部に、チップホルダ１３０の昇降動作を可能とする昇降部、例えば空気圧制御を用いるエアーシリンダーやリニアモータによる電動昇降部などが設けられている。スクライブ装置は昇降部によりスクライビングホイール１３４を脆性材料基板の表面上を適切な荷重にて圧接し転動していき、スクライブラインを形成する。   The scribe head 112 is provided therein with an elevating unit that allows the chip holder 130 to be moved up and down, for example, an air cylinder using air pressure control, an electric elevating unit using a linear motor, and the like. The scribing device presses and rolls the scribing wheel 134 on the surface of the brittle material substrate with an appropriate load by the elevating unit to form a scribe line.

次にホルダジョイント１２０について説明する。図４は従来のホルダジョイント１２０を示す図であり、図５はこのホルダジョイント１２０にチップホルダ１３０を挿入する状態を示す斜視図である。これらの図に示すようにホルダジョイント１２０は上部にベアリング１２１ａ，１２１ｂを有しており、下方がチップホルダ１３０を保持する保持部１２２となっている。ホルダジョイント１２０の保持部１２２には、図示のように円形の開口１２３が形成されており、その内側に磁石１２４が埋設されている。又この開口１２３の内部には中心軸から隔てた位置に中心軸と垂直な平行ピン１２５が設けられる。平行ピン１２５は円柱の部材であって、チップホルダ１３０の傾斜部１３６ａに接してチップホルダ１３０を位置決めするものである。   Next, the holder joint 120 will be described. FIG. 4 is a view showing a conventional holder joint 120, and FIG. 5 is a perspective view showing a state in which a chip holder 130 is inserted into the holder joint 120. As shown in these drawings, the holder joint 120 has bearings 121a and 121b in the upper part, and a lower part is a holding part 122 that holds the chip holder 130. As shown in the figure, a circular opening 123 is formed in the holding portion 122 of the holder joint 120, and a magnet 124 is embedded therein. A parallel pin 125 perpendicular to the central axis is provided in the opening 123 at a position separated from the central axis. The parallel pin 125 is a cylindrical member that positions the chip holder 130 in contact with the inclined portion 136 a of the chip holder 130.

このチップホルダ１３０をホルダジョイント１２０に取付ける際には、図５に示すようにホルダジョイントの開口１２３にチップホルダ１３０をその取付部１３６から挿入する。そうすればチップホルダ１３０の先端部が磁石１２４によって吸引され、更に傾斜部１３６ａが平行ピン１２５に接触して位置決め固定される。図６は取付けられた状態を示す部分断面図、図７はホルダジョイント１２０が取付けられたスクライブヘッド１１２の一部を示す図である。チップホルダ１３０は磁石１２４によって吸引されているだけであるため、取付けが極めて容易であり、所定の位置に固定される。取り替える場合にはチップホルダ１３０を引っ張って取り外している。
特許国際公開ＷＯ２００７／０６３９７９ When the tip holder 130 is attached to the holder joint 120, the tip holder 130 is inserted into the opening 123 of the holder joint from the attachment portion 136 as shown in FIG. If it does so, the front-end | tip part of the chip | tip holder 130 will be attracted | sucked by the magnet 124, and also the inclination part 136a will contact the parallel pin 125, and will be positioned and fixed. FIG. 6 is a partial sectional view showing the attached state, and FIG. 7 is a view showing a part of the scribe head 112 to which the holder joint 120 is attached. Since the chip holder 130 is only attracted by the magnet 124, it is very easy to mount and is fixed at a predetermined position. When replacing, the chip holder 130 is pulled and removed.
Patent International Publication WO2007 / 063979

従来のチップホルダは、ホルダジョイントに取付けてホルダユニット１４０が構成される。ホルダユニット１４０をスクライブヘッド１１２に取付けてスクライブする場合には、スクライビングホイールを脆性材料基板に押圧しつつ移動させる。このときスクライブラインが湾曲していれば、チップホルダを保持するホルダジョイントにもねじれの力が加わる。このため一旦湾曲したスクライブラインを形成した後では、直線スクライブをする場合であってもスクライブラインの位置精度が低下するという欠点があった。またチップホルダがホルダジョイントの開口１２３の内側にくい込むため、取り外すことが難しくなる。特にロボット等の自動ツールチェンジャーを用いてチップホルダを交換する場合には、チップホルダの取り外しが難しくなるという欠点があった。   A conventional chip holder is attached to a holder joint to form a holder unit 140. When the holder unit 140 is attached to the scribe head 112 for scribing, the scribing wheel is moved while being pressed against the brittle material substrate. At this time, if the scribe line is curved, a twisting force is also applied to the holder joint that holds the chip holder. For this reason, once the curved scribe line is formed, there is a drawback that the position accuracy of the scribe line is lowered even when the straight scribe is performed. Further, the chip holder is difficult to remove because it is difficult to get inside the opening 123 of the holder joint. In particular, when exchanging the chip holder using an automatic tool changer such as a robot, there is a drawback that it is difficult to remove the chip holder.

本発明はこのような問題点に着目してなされたものであって、ホルダジョイントに確実に保持でき、スクライブラインの位置精度を向上させると共に、容易に着脱できるようにしたチップホルダ、及びこれとホルダジョイントを含むホルダユニットやスクライブヘッドを提供することを目的とする。   The present invention has been made paying attention to such problems, a chip holder that can be securely held by a holder joint, improves the position accuracy of the scribe line, and can be easily attached and detached, and An object is to provide a holder unit and a scribe head including a holder joint.

この課題を解決するために、本発明のチップホルダは、一端に脆性材料基板をスクライブするためのスクライビングホイールを回転自在に保持するチップホルダであって、前記チップホルダの側面より前記スクライビングホイールの回転軸に垂直に少なくとも１本の突起を突出させたものである。 In order to solve this problem, the chip holder of the present invention is a chip holder that rotatably holds a scribing wheel for scribing a brittle material substrate at one end, and the rotation of the scribing wheel from a side surface of the chip holder. At least one protrusion is protruded perpendicular to the axis .

この課題を解決するために、本発明のホルダユニットは、ホルダジョイントと、前記ホルダジョイントに取付けられたスクライブライン形成用のスクライビングホイールを備えたチップホルダと、を具備するホルダユニットであって、前記ホルダジョイントは、一端に設けられた開口と、前記開口の内側に埋設された磁石と、前記開口の側方に設けられた単数又は複数の切欠きと、を有するものであり、前記チップホルダは、磁性体金属で構成され、前記ホルダジョイントの切欠き数以下の数の突起を有する取付部と、一端に回動自在に設けられたスクライブライン形成用のスクライビングホイールと、を有し、前記突起は前記スクライビングホイールの回転軸に垂直に設けられており、前記チップホルダの突起を前記ホルダジョイントの切欠きに挿入することにより位置決めされて前記ホルダジョイントに取付けられたものである。 In order to solve this problem, the holder unit of the present invention is a holder unit comprising a holder joint and a tip holder provided with a scribing wheel for forming a scribe line attached to the holder joint, The holder joint has an opening provided at one end, a magnet embedded inside the opening, and one or a plurality of notches provided on the sides of the opening. , formed of a magnetic metal, comprises a mounting portion having a number of projections notch number following the holder joint, and scribing wheel for rotatably provided scribe line formation at one end, the said projection is provided perpendicular to the axis of rotation of the scribing wheel, the protrusion of the tip holder switching of the holder joint Those attached to the holder joint is positioned by inserting the can.

ここで前記ホルダジョイントの切欠きは、その内側の先端をＶ字形に形成したものとしてもよい。   Here, the notch of the holder joint may have a V-shaped inner tip.

この課題を解決するために、本発明のスクライブヘッドは、スクライブ装置に用いられるスクライブヘッドであって、前述のホルダユニットを上下動自在に保持する昇降部を有するものである。   In order to solve this problem, a scribe head of the present invention is a scribe head used in a scribe device, and has an elevating part that holds the above-mentioned holder unit so as to be movable up and down.

この課題を解決するために、本発明のスクライブ装置は、脆性材料基板のスクライブに用いられるスクライブ装置であって、前記スクライブヘッドと、前記スクライブヘッドを脆性材料基板と脆性材料基板の平面方向において相対的に移動する相対移動部と、を有するものである。   In order to solve this problem, a scribing apparatus of the present invention is a scribing apparatus used for scribing a brittle material substrate. And a relative movement unit that moves in a moving manner.

このような特徴を有する本発明によれば、ホルダジョイントはチップホルダをその突起によって安定して保持できるので、スクライブラインを形成するときの精度を向上させることができる。又ホルダジョイントからチップホルダを容易に取付けたり取り外すことができる。従ってロボットや自動ツールチェンジャーを用いてチップホルダの着脱が自在になるという効果が得られる。   According to the present invention having such a feature, since the holder joint can stably hold the chip holder by its protrusion, the accuracy when forming the scribe line can be improved. Further, the chip holder can be easily attached and detached from the holder joint. Therefore, the effect that the tip holder can be freely attached and detached using a robot or an automatic tool changer can be obtained.

図８は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドを用いたスクライブ装置を示す斜視図である。このスクライブ装置において、前述した従来例と同一部分は同一符号を付している。本実施の形態によるスクライブ装置１は、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置１の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。   FIG. 8 is a perspective view showing a scribing apparatus using the scribing head according to the embodiment of the present invention. In this scribing apparatus, the same parts as those in the conventional example described above are denoted by the same reference numerals. In the scribing apparatus 1 according to the present embodiment, a movable table 101 is held so as to be movable in the y-axis direction along a pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed with the moving table 101. The ball screw 103 is rotated by driving the motor 104, and moves the moving base 101 in the y-axis direction along the guide rails 102a and 102b. A motor 105 is provided on the upper surface of the movable table 101. The motor 105 rotates the table 106 on the xy plane and positions it at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on the table 106 and held by a vacuum suction means (not shown). Two CCD cameras 108 that image the alignment marks of the brittle material substrate 107 are provided on the top of the scribe device 1.

スクライブ装置１には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１１０がｘ軸方向に沿って支柱１１１ａ，１１１ｂにより架設されている。スクライブヘッド１１２はブリッジ１１０に設けられたガイド１１３に沿ってｘ軸方向に移動可能となっている。モータ１１４はスクライブヘッド１１２をｘ軸方向に沿って移動させるものである。スクライブヘッド１１２の先端部には、後述するチップホルダ１０がホルダジョイント２０を介して取付けられている。ここでモータ１０４と案内レール１０２ａ，１０２ｂ、ボールネジ１０３はテーブルをｙ軸方向に移動させる移動部であり、ブリッジ１１０、支柱１１１ａ，１１１ｂ、ガイド１１３はスクライブヘッドをｘ軸方向に移動させる移動部であり、モータ１０５はテーブルを回転させる回転部であって、これらが相対移動部を構成している。   In the scribing apparatus 1, a bridge 110 is installed by struts 111 a and 111 b along the x-axis direction so as to straddle the moving table 101 and the upper table 106. The scribe head 112 is movable in the x-axis direction along a guide 113 provided on the bridge 110. The motor 114 moves the scribe head 112 along the x-axis direction. A tip holder 10 to be described later is attached to the tip of the scribe head 112 via a holder joint 20. Here, the motor 104, the guide rails 102a and 102b, and the ball screw 103 are moving units that move the table in the y-axis direction, and the bridge 110, the columns 111a and 111b, and the guide 113 are moving units that move the scribe head in the x-axis direction. The motor 105 is a rotating unit that rotates the table, and these constitute a relative moving unit.

次にスクライブヘッドに取付けられるホルダユニットの構成について説明する。ホルダユニット３０はホルダジョイント２０とチップホルダ１０によって構成される。チップホルダは図９に示すように円柱形の部材であって、その一端には略正方形状の平坦部１１ａ，１１ｂがいずれも中心軸に平行に設けられる。チップホルダ１０はこの平坦部の間に中心軸に沿った切欠き１２を有しており、平坦部１１ａ，１１ｂの下端にはその面に垂直な方向のピン溝１３を有している。スクライビングホイール１４は例えばホイール径が２．５ｍｍ、厚さ０．５ｍｍ程度の円板状の形状を有し、円周部分の断面が円錐形に形成され、中心に貫通孔を有するカッターであり、単にチップとも呼ばれる。スクライビングホイール１４は、ピン溝１３に挿入されたピン１５を中心の貫通孔に貫通させることによって、回転自在に保持される。ピン１５をピン溝１３に挿入しスクライビングホイール１４を保持した後は、スクライビングホイールの交換を要する場合にもスクライビングホイールを取り外さず、チップホルダと共に交換される。一方チップホルダ１０の他端の円周部分は取付部１６であり、少なくとも取付部１６が磁性体金属で構成されている。更にこの実施の形態では円筒形のチップホルダの側面に対称に突出する円柱形の突起１６ａ，１６ｂを設けている。この突起１６ａ，１６ｂはチップホルダの軸より垂直に突出させることが好ましい。従って突起１６ａ，１６ｂはチップホルダ１０の取付部１６の側壁に突起部材を植設したものであってもよく、又チップホルダ１０に貫通孔を設けて１本のピンを通し、左右に突出させたものであってもよい。   Next, the structure of the holder unit attached to the scribe head will be described. The holder unit 30 includes a holder joint 20 and a chip holder 10. The tip holder is a cylindrical member as shown in FIG. 9, and is provided with substantially square flat portions 11a and 11b at one end thereof in parallel with the central axis. The chip holder 10 has a notch 12 along the central axis between the flat portions, and a pin groove 13 in a direction perpendicular to the surface at the lower ends of the flat portions 11a and 11b. The scribing wheel 14 is, for example, a cutter having a disc shape with a wheel diameter of 2.5 mm and a thickness of about 0.5 mm, a circumferential section formed in a conical shape, and a through hole in the center. Also simply called a chip. The scribing wheel 14 is rotatably held by passing a pin 15 inserted into the pin groove 13 through a central through hole. After the pin 15 is inserted into the pin groove 13 and the scribing wheel 14 is held, even when the scribing wheel needs to be replaced, the scribing wheel is not removed and is replaced together with the chip holder. On the other hand, the circumferential portion at the other end of the chip holder 10 is an attachment portion 16, and at least the attachment portion 16 is made of a magnetic metal. Furthermore, in this embodiment, cylindrical projections 16a and 16b are provided on the side surface of the cylindrical chip holder so as to project symmetrically. The protrusions 16a and 16b are preferably protruded perpendicularly from the axis of the chip holder. Therefore, the protrusions 16a and 16b may be formed by implanting a protrusion member on the side wall of the mounting portion 16 of the chip holder 10, and a through hole is provided in the chip holder 10 so that one pin is passed through and protrudes to the left and right. It may be.

次に本実施の形態のホルダジョイント２０について説明する。図１０はホルダジョイント２０を示す図である。図１０に示すように、ホルダジョイント２０は上部にベアリング２１ａ，２１ｂを有しており、下方がチップホルダを保持する保持部２２となっている。ホルダジョイント２０の保持部２２には、図示のように下方より円形の開口２３が中心軸より少しずらせて形成されており、その内側に磁石２４が埋設されている。ホルダジョイント２０の保持部２２には、開口２３の側方に下方より左右一対の切欠き２５ａ，２５ｂが設けられている。切欠き２５ａ，２５ｂは開口の中心に対称に設けるものとする。又その最も内側部分はＶ字状にしておくことが好ましい。切欠き２５ａ，２５ｂにはチップホルダ１０の突起１６ａ，１６ｂを挿入することによりチップホルダ１０を位置決めするものである。   Next, the holder joint 20 of the present embodiment will be described. FIG. 10 is a view showing the holder joint 20. As shown in FIG. 10, the holder joint 20 has bearings 21a and 21b in the upper part, and the lower part is a holding part 22 for holding the chip holder. As shown in the figure, a circular opening 23 is formed in the holding portion 22 of the holder joint 20 so as to be slightly shifted from the center axis, and a magnet 24 is embedded therein. The holder 22 of the holder joint 20 is provided with a pair of left and right notches 25a and 25b on the side of the opening 23 from below. The notches 25a and 25b are provided symmetrically at the center of the opening. The innermost part is preferably V-shaped. The chip holder 10 is positioned by inserting the protrusions 16a and 16b of the chip holder 10 into the notches 25a and 25b.

このようにホルダジョイント２０を構成した後、前述したチップホルダ１０をホルダジョイント２０に取付ける。取付け時には、図１１Ａに示すようにホルダジョイントの開口２３にチップホルダ１０をその突起１６ａ，１６ｂを切欠き２５ａ，２５ｂに合わせるように挿入する。挿入していくと切欠き２５ａ，２５ｂのＶ字形の溝に入り込んで位置決めされ、図１１Ｂに示すように磁石２４によってチップホルダ１０を固定することができる。チップホルダ１０は磁石２４によって吸引されているだけであるため、取付けが極めて容易であり、所定の位置に固定される。   After configuring the holder joint 20 in this way, the above-described chip holder 10 is attached to the holder joint 20. At the time of attachment, as shown in FIG. 11A, the chip holder 10 is inserted into the opening 23 of the holder joint so that the protrusions 16a and 16b are aligned with the notches 25a and 25b. When inserted, the chip holder 10 can be fixed by the magnet 24 as shown in FIG. 11B as it enters the V-shaped grooves of the notches 25a and 25b. Since the chip holder 10 is only attracted by the magnet 24, it is very easy to mount and is fixed at a predetermined position.

図１２は、スクライブヘッド１１２の斜視図である。スクライブヘッド１１２のサーボモータ４１は、回転軸を下側に突出させた倒立状態で載置板４２を介して取付板４３に取り付けられている。サーボモータ４１の回転軸には、円筒カム４４が回転軸と一体的に回転するように取り付けられている。円筒カム４４の下面は、水平状態に対して傾斜状態になったカム面４４ａになっている。   FIG. 12 is a perspective view of the scribe head 112. The servo motor 41 of the scribe head 112 is attached to the attachment plate 43 via the mounting plate 42 in an inverted state with the rotating shaft protruding downward. A cylindrical cam 44 is attached to the rotation shaft of the servo motor 41 so as to rotate integrally with the rotation shaft. The lower surface of the cylindrical cam 44 is a cam surface 44a that is inclined with respect to the horizontal state.

また、スクライブヘッド１１２は、下部にリニアベアリング４５を有しており、このリニアベアリング４５に、ホルダ部材４６が、上下方向にスライド可能に保持されている。リニアベアリング４５には、円筒カム４４のカム面４４ａに当接するカムフォロア４７が、ホルダ部材４６と一体的に設けられている。カムフォロア４７は、回転可能になったローラ形状になっている。ホルダ部材４６と取付板４３との間には、ホルダ部材４６を取付板４３に対して上方に向かって付勢する弾性体、例えばコイルスプリング４８が設けられている。コイルスプリング４８はホルダ部材４６を上方に付勢することによって、カムフォロワ４７をカム面４４ａに圧接している。ここでサーボモータ４１、円筒カム４４、リニアベアリング４５、ホルダ部材４６、カムフォロア４７、コイルスプリング４８はホルダユニット３０を昇降させる昇降部を構成している。   Further, the scribe head 112 has a linear bearing 45 at a lower portion, and a holder member 46 is held on the linear bearing 45 so as to be slidable in the vertical direction. The linear bearing 45 is provided with a cam follower 47 that contacts the cam surface 44 a of the cylindrical cam 44 integrally with the holder member 46. The cam follower 47 has a roller shape that is rotatable. Between the holder member 46 and the mounting plate 43, an elastic body, for example, a coil spring 48, for biasing the holder member 46 upward with respect to the mounting plate 43 is provided. The coil spring 48 presses the holder member 46 upward to press the cam follower 47 against the cam surface 44a. Here, the servo motor 41, the cylindrical cam 44, the linear bearing 45, the holder member 46, the cam follower 47, and the coil spring 48 constitute an elevating unit that elevates and lowers the holder unit 30.

このように構成されたスクライブ装置１において、昇降部によりスクライビングホイール１４を脆性材料基板の表面上を適切な荷重にて圧接し転動していき、スクライブラインを形成する。本実施の形態では、チップホルダ１０の突起１６ａ，１６ｂがホルダジョイント２０の切欠き２５ａ，２５ｂによって固定されており、切欠き２５ａ，２５ｂの先端がＶ字形であるため、保持位置を保つことができ、湾曲したスクライブラインを形成しても取付位置が動くことはない。   In the scribing apparatus 1 configured as described above, the scribing wheel 14 is pressed and rolled on the surface of the brittle material substrate with an appropriate load by the lifting unit to form a scribe line. In the present embodiment, since the protrusions 16a and 16b of the chip holder 10 are fixed by the notches 25a and 25b of the holder joint 20, and the tips of the notches 25a and 25b are V-shaped, the holding position can be maintained. Even if a curved scribe line is formed, the mounting position does not move.

さて所定時間スクライブした後は、チップホルダ１０を交換する必要がある。このときロボットアーム等でチップホルダ１０を図１１Ｂの状態から下向きに引き出す。このときチップホルダの突起が切欠き２５ａ，２５ｂに挿入されているだけであるため、横向きの力がスクライブ時に加わっていたとしても容易にチップホルダ１０を取り外すことができる。このためチップホルダ１０の交換は容易であり、支障なくオートチェンジャー等を用いることができる。   Now, after scribing for a predetermined time, the chip holder 10 needs to be replaced. At this time, the tip holder 10 is pulled downward from the state of FIG. 11B by a robot arm or the like. At this time, since the protrusion of the chip holder is only inserted into the notches 25a and 25b, the chip holder 10 can be easily removed even if a lateral force is applied during scribing. For this reason, the replacement of the chip holder 10 is easy, and an autochanger or the like can be used without any trouble.

尚本実施の形態では、チップホルダの突起を２本としているが、単数又は複数の任意の本数としてもよい。その場合には切欠き数は突起の数以上であれば足りるが、突起の数に合わせた数とするのが好ましい。   In the present embodiment, the number of protrusions of the chip holder is two, but it may be a single or a plurality of arbitrary numbers. In that case, the number of cutouts is sufficient if it is equal to or greater than the number of protrusions, but it is preferable to set the number to match the number of protrusions.

本発明は脆性材料基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置に用いられ、交換を容易にすることができるチップホルダ、ホルダユニットに関するものであり、チップホルダの取付位置を安定化でき、交換を自動化することができる。従ってスクライブ装置に広く利用することができる。   The present invention relates to a chip holder and a holder unit which are used in a scribing apparatus for forming a scribe line on a brittle material substrate, and can be easily replaced. The mounting position of the chip holder can be stabilized and the replacement can be automated. be able to. Therefore, it can be widely used for a scribing apparatus.

従来のスクライブ装置の全体構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the whole structure of the conventional scribe apparatus. 従来のチップホルダの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the conventional chip holder. 従来のチップホルダを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional chip holder. 従来のホルダジョイントを示す図である。It is a figure which shows the conventional holder joint. 従来のホルダジョイントにチップホルダを挿入するときの斜視図である。It is a perspective view when inserting a chip holder in the conventional holder joint. 従来のチップホルダを挿入した状態を示すホルダジョイントの一部断面図である。It is a partial cross section figure of the holder joint which shows the state which inserted the conventional chip holder. 従来のホルダジョイントをスクライブヘッドに取付けた状態を示す図である。It is a figure which shows the state which attached the conventional holder joint to the scribe head. 本発明の実施の形態によるスクライブ装置の全体構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an overall configuration of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態によるチップホルダの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the chip | tip holder by embodiment of this invention. 本発明の実施の形態のホルダジョイントを示す図である。It is a figure which shows the holder joint of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態においてホルダジョイントにチップホルダを挿入する直前の状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing a state just before inserting a chip holder in a holder joint in an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態においてホルダジョイントにチップホルダを挿入した状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the state which inserted the chip holder in the holder joint in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態のスクライブヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the scribe head of embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ スクライブ装置
１０ チップホルダ
１１ａ，１１ｂ 平坦部
１２ 切欠き
１３ ピン溝
１４ スクライビングホイール
１５ スクライビングホイール用ピン
１６ａ，１６ｂ 突起
２０ ホルダジョイント
２１ａ，２１ｂ ベアリング
２２ 保持部
２３ 開口
２４ 磁石
２５ａ，２５ｂ 切欠き
１１２ スクライブヘッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Scribing device 10 Tip holder 11a, 11b Flat part 12 Notch 13 Pin groove 14 Scribing wheel 15 Scribing wheel pin 16a, 16b Protrusion 20 Holder joint 21a, 21b Bearing 22 Holding part 23 Opening 24 Magnet 25a, 25b Notch 112 Scribe head

Claims (5)

一端に脆性材料基板をスクライブするためのスクライビングホイールを回転自在に保持するチップホルダであって、
前記チップホルダの側面より前記スクライビングホイールの回転軸に垂直に少なくとも１本の突起を突出させたチップホルダ。 A chip holder that rotatably holds a scribing wheel for scribing a brittle material substrate at one end ,
A chip holder in which at least one protrusion is projected from a side surface of the chip holder perpendicularly to the rotation axis of the scribing wheel . ホルダジョイントと、前記ホルダジョイントに取付けられたスクライブライン形成用のスクライビングホイールを備えたチップホルダと、を具備するホルダユニットであって、
前記ホルダジョイントは、
一端に設けられた開口と、
前記開口の内側に埋設された磁石と、
前記開口の側方に設けられた単数又は複数の切欠きと、を有するものであり、
前記チップホルダは、
磁性体金属で構成され、前記ホルダジョイントの切欠き数以下の数の突起を有する取付部と、
一端に回動自在に設けられたスクライブライン形成用のスクライビングホイールと、を有し、
前記突起は前記スクライビングホイールの回転軸に垂直に設けられており、
前記チップホルダの突起を前記ホルダジョイントの切欠きに挿入することにより位置決めされて前記ホルダジョイントに取付けられたホルダユニット。 A holder unit comprising: a holder joint; and a tip holder provided with a scribing wheel for forming a scribe line attached to the holder joint,
The holder joint is
An opening provided at one end ;
A magnet embedded inside the opening;
Having one or more notches provided on the sides of the opening,
The tip holder is
A mounting portion made of a magnetic metal and having a number of protrusions equal to or less than the number of notches in the holder joint;
A scribing wheel for scribe line formation that is rotatably provided at one end,
The protrusion is provided perpendicular to the axis of rotation of the scribing wheel;
A holder unit that is positioned by inserting a protrusion of the chip holder into a notch of the holder joint and attached to the holder joint. 前記ホルダジョイントの切欠きは、その内側の先端をＶ字形に形成したものである請求項２記載のホルダユニット。   The holder unit according to claim 2, wherein the notch of the holder joint has a V-shaped inner tip. スクライブ装置に用いられるスクライブヘッドであって、
請求項２又は３記載のホルダユニットを上下動自在に保持する昇降部を有するスクライブヘッド。 A scribing head used in a scribing device,
A scribing head having an elevating part for holding the holder unit according to claim 2 movably up and down. 脆性材料基板のスクライブに用いられるスクライブ装置であって、
請求項４記載のスクライブヘッドと、
前記スクライブヘッドを脆性材料基板と脆性材料基板の平面方向において相対的に移動する相対移動部と、を有するスクライブ装置。 A scribing device used for scribing a brittle material substrate,
A scribing head according to claim 4;
A scribing apparatus comprising: a brittle material substrate; and a relative movement unit that relatively moves the brittle material substrate in a planar direction of the brittle material substrate.
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