JP6424652B2 - Holder, holder unit and scribing device - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス基板等の脆性材料基板の分断において、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成する際に用いるホルダ、ホルダユニット及びスクライブ装置に関する。   The present invention relates to a holder, a holder unit, and a scribing apparatus which are used when forming a scribe line on the surface of a brittle material substrate in dividing a brittle material substrate such as a glass substrate.

ガラス基板等の脆性材料基板を所望の寸法に分断する際、一般的にスクライブ装置が用いられる。このスクライブ装置は、スクライビングホイールを保持するためのホルダにスクライビングホイールを取り付けて使用される。また、このスクライビングホイールは、ホルダの保持部に形成されたピン孔と、スクライビングホイールの側面に形成された貫通孔とに、円柱状のピン軸を挿入することで、保持部間（保持溝）に保持される。   When dividing a brittle material substrate such as a glass substrate into desired dimensions, a scribing apparatus is generally used. The scribing device is used by attaching the scribing wheel to a holder for holding the scribing wheel. In addition, the scribing wheel is configured by inserting a cylindrical pin shaft into a pin hole formed in the holding portion of the holder and a through hole formed in the side surface of the scribing wheel, thereby maintaining the space between the holding portions (holding groove) Will be held by

そして、ホルダに取り付けられたスクライビングホイールは、回転自在に保持されており、脆性材料基板の表面を回転しながら進むことで、脆性材料基板にスクライブラインを形成する。なお、このようなスクライブ装置として、例えば、特許文献１に記載されているようなスクライブ装置がある。   The scribing wheel attached to the holder is rotatably held, and advances while rotating the surface of the brittle material substrate to form a scribe line on the brittle material substrate. In addition, as such a scribing apparatus, there exists a scribing apparatus which is described in patent document 1, for example.

国際特許公開 ＷＯ２００７／０６３９７９号公報International Patent Publication WO 2007/063979

ホルダに取り付けられたスクライビングホイールは、上述のようにスクライブラインを形成するために保持溝で回転する必要がある。したがって、保持溝の幅はスクライビングホイールの厚みより若干広くなっており、スクライビングホイールと保持部との間にはクリアランスが確保されている。具体的には、スクライビングホイールの厚みが０．６５ｍｍの場合には、保持溝の幅は０．０２ｍｍ程度広くなっている。このように、スクライビングホイールと保持部との間にクリアランスが存在することによって、スクライビングホイールは、回転自在に保持される。   The scribing wheel attached to the holder needs to be rotated in the holding groove to form the scribing line as described above. Therefore, the width of the holding groove is slightly larger than the thickness of the scribing wheel, and a clearance is secured between the scribing wheel and the holding portion. Specifically, when the thickness of the scribing wheel is 0.65 mm, the width of the holding groove is as wide as about 0.02 mm. Thus, the clearance between the scribing wheel and the holding portion allows the scribing wheel to be rotatably held.

一方で、このクリアランスによって、スクライビングホイールは、ホルダ溝内でピン軸に沿って０．０２ｍｍ程度移動できることになってしまう。したがって、スクライブラインを形成する際に、スクライビングホイールがピン軸方向に移動してしまうことで、スクライブラインの形成位置が安定しなくなり、従来のスクライブ装置では、スクライブラインが所望の位置からずれるということが問題となっていた。   On the other hand, due to this clearance, the scribing wheel can move about 0.02 mm along the pin axis in the holder groove. Therefore, when the scribing line is formed, the scribing wheel moves in the direction of the pin axis, so that the forming position of the scribing line becomes unstable, and the scribing line is deviated from the desired position in the conventional scribing apparatus. Was a problem.

本発明は、上述したスクライビングホイールがピン軸方向に移動することによりスクライブラインの形成位置がずれるという問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブイラインの形成位置を安定させ、所望の位置からのずれが生じないようにするホルダ、ホルダユニット及びスクライブ装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the problem that the forming position of the scribe line is shifted by the movement of the scribing wheel described above in the direction of the pin axis, and the forming position of the scribe line is stabilized and a desired position is obtained. It is an object of the present invention to provide a holder, a holder unit, and a scribing device which prevent the occurrence of a deviation from the above.

上記目的を達成するため、本発明のホルダは、本体部と、前記本体部の下方側に形成された一対の保持部と、同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されたピン孔と、を備え、スクライビングホイールの貫通孔に貫通されるとともに前記ピン孔に挿通されるピン軸により、前記保持部間に前記スクライビングホイールを回転自在に保持するためのホルダであって、一対の前記保持部の一方は磁性体材料からなり、他方は非磁性体材料からなることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the holder of the present invention comprises a main body portion, a pair of holding portions formed on the lower side of the main body portion, and pin holes located coaxially and respectively formed in the holding portions. A holder for rotatably holding the scribing wheel between the holding portions by means of a pin shaft which is inserted into the through hole of the scribing wheel and is inserted into the pin hole, and the pair of holding portions One is made of a magnetic material, and the other is made of a nonmagnetic material.

本発明のホルダによれば、磁性体材料からなる一方の保持部を磁化することで、スクライビングホイールが一方の保持部側へ引き寄せられる。これにより、スクライビングホイールと保持部との間のクリアランスによってスクライビングホイールがピン軸方向へ移動することが規制される。したがって、ホルダは、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。   According to the holder of the present invention, the scribing wheel is drawn toward the one holding portion by magnetizing the one holding portion made of the magnetic material. Thus, the clearance between the scribing wheel and the holding portion restricts the movement of the scribing wheel in the pin axial direction. Therefore, the holder can stabilize the formation position of the scribe line.

また、本発明のホルダは、前記本体部が、前記磁性体材料からなる一方のホルダ基材と、前記非磁性体材料からなる他方のホルダ基材とがネジ固定されたものであることを特徴とする。   Further, in the holder of the present invention, the main body portion is characterized in that one holder base made of the magnetic material and the other holder base made of the nonmagnetic material are screwed to each other. I assume.

本発明のホルダによれば、一方のピン孔等が摩耗したように場合にネジを外して分解することで一方のホルダ基材だけを簡単に交換することができる。   According to the holder of the present invention, when one pin hole or the like is worn, only one holder base material can be easily replaced by removing and disassembling the screw.

また、本発明のホルダユニットは、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、本体部と、前記本体部の下方側に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、を備えたホルダユニットであって、一対の前記保持部の一方は磁性体材料からなり、他方は非磁性体材料からなることを特徴とする。   In the holder unit according to the present invention, a pair of holding portions formed on the lower side of the main body and the main body, and the main body, and the pin shaft penetrating the through hole of the scribing wheel, the scribing wheel And a holder having a pin located coaxially and formed in the holding portion and having a pin hole through which the pin shaft is inserted, wherein one of the pair of holding portions is magnetic It is characterized in that it is made of a body material and the other is made of a nonmagnetic material.

本発明のホルダユニットによれば、磁性体材料からなる一方の保持部を磁化することで、スクライビングホイールが一方の保持部側へ引き寄せられるため、スクライビングホイールと保持部との間のクリアランスによってスクライビングホイールがピン軸方向へ移動することが規制される。したがって、ホルダユニットは、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。   According to the holder unit of the present invention, the scribing wheel is drawn toward the one holding portion by magnetizing one of the holding portions made of the magnetic material, so that the scribing wheel is scribed by the clearance between the scribing wheel and the holding portion. Is restricted from moving in the pin axial direction. Therefore, the holder unit can stabilize the formation position of the scribe line.

また、本発明のホルダユニットは、前記本体部が、前記磁性体材料からなる一方のホルダ基材と、前記非磁性体材料からなる他方のホルダ基材とがネジ固定されたものであることを特徴とする。   Further, in the holder unit according to the present invention, the main body portion may be screw-fixed to one holder base made of the magnetic material and the other holder base made of the nonmagnetic material. It features.

本発明のホルダユニットによれば、一方のピン孔等が摩耗したように場合にネジを外して分解することで一方のホルダ基材だけを交換することができ、また、スクライビングホイール等が摩耗したように場合に簡単に交換を行うことができる。   According to the holder unit of the present invention, when one of the pin holes and the like is worn, only one holder base material can be replaced by disassembling and disassembling the screw, and the scribing wheel and the like are worn. So you can easily replace it.

また、本発明のホルダユニットは、前記磁性体材料の表面に磁石が取り付けられていることを特徴とする。   In the holder unit of the present invention, a magnet is attached to the surface of the magnetic material.

本発明のホルダユニットによれば、一方の保持部を磁化した際に安定した磁力によりスクライビングホイールを引き寄せておくことができる。   According to the holder unit of the present invention, the scribing wheel can be attracted by the stable magnetic force when the one holding portion is magnetized.

また、本発明のスクライブ装置は、上記のホルダユニットを備えることを特徴とする。   Further, a scribing apparatus according to the present invention is characterized by comprising the holder unit described above.

本発明のスクライブ装置によれば、スクライビングホイールと保持部との間のクリアランスによってスクライビングホイールがピン軸方向へ移動することが規制される。このため、スクライブ装置は、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。   According to the scribing device of the present invention, the clearance between the scribing wheel and the holding portion restricts the movement of the scribing wheel in the pin axial direction. For this reason, the scribing apparatus can stabilize the formation position of the scribing line.

実施形態１のスクライブ装置の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of a scribing device of Embodiment 1. 図２（Ａ）は実施形態１のホルダユニットの正面図であり、図２（Ｂ）はホルダユニットの側面図である。FIG. 2A is a front view of the holder unit of Embodiment 1, and FIG. 2B is a side view of the holder unit. 図３は図２（Ａ）の領域IIIの拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of area III of FIG. 2 (A). 図４（Ａ）は実施形態２のホルダユニットの正面図であり、図４（Ｂ）はホルダユニットの側面図である。FIG. 4A is a front view of the holder unit of Embodiment 2, and FIG. 4B is a side view of the holder unit. 実施形態３のホルダユニットの正面図である。FIG. 18 is a front view of the holder unit of the third embodiment.

以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための一例を示すものであり、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではない。本発明は、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態にも適応できるものである。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the embodiment shown below shows an example for embodying the technical idea of the present invention, and it is not intended to specify the present invention in this embodiment. The invention is also applicable to other embodiments within the scope of the claims.

［実施形態１］
図１は、本発明の実施形態に係るスクライブ装置１の概略図である。スクライブ装置１は、移動台１０を備えている。移動台１０は、ボールネジ１１と螺合されており、モータの駆動によりこのボールネジ１１が回転することで、一対の案内レール１２に沿ってｙ軸方向に移動可能となっている。 Embodiment 1
FIG. 1 is a schematic view of a scribing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. The scribing apparatus 1 is provided with a moving table 10. The moving table 10 is screwed with the ball screw 11 and can be moved in the y-axis direction along the pair of guide rails 12 by the rotation of the ball screw 11 by the drive of the motor.

移動台１０の上面には、モータ１３が設置されている。モータ１３は、上部に位置するテーブル１４をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ１３により水平回転可能なテーブル１４は、図示しない真空吸着手段を備えており、テーブル１４上に載置された脆性材料基板１５をこの真空吸着手段によって保持する。   A motor 13 is installed on the upper surface of the moving table 10. The motor 13 rotates the table 14 located at the top in the xy plane to position the table 14 at a predetermined angle. The table 14, which can be horizontally rotated by the motor 13, is provided with a vacuum suction unit (not shown), and the brittle material substrate 15 placed on the table 14 is held by the vacuum suction unit.

この脆性材料基板１５は、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、脆性材料基板１５は、基板の表面又は内部に薄膜或いは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。また、脆性材料基板１５は、その表面に脆性材料に該当しない薄膜等が付着されていても構わない。   The brittle material substrate 15 is a glass substrate, a ceramic substrate made of low temperature fired ceramic or high temperature fired ceramic, a silicon substrate, a compound semiconductor substrate, a sapphire substrate, a quartz substrate or the like. The brittle material substrate 15 may be a thin film or a semiconductor material attached to or contained in the surface or inside of the substrate. In addition, the brittle material substrate 15 may have a thin film or the like that does not correspond to the brittle material attached to the surface thereof.

スクライブ装置１は、テーブル１４に載置された脆性材料基板１５の上方に、この脆性材料基板１５の表面に形成されたアライメントマークを撮像する二台のＣＣＤカメラ１６を備えている。移動台１０とその上部のテーブル１４とを跨ぐように、ブリッジ１７が支柱１８ａ、１８ｂに架設されている。   The scribing apparatus 1 includes two CCD cameras 16 for imaging the alignment marks formed on the surface of the brittle material substrate 15 above the brittle material substrate 15 placed on the table 14. A bridge 17 is bridged between columns 18a and 18b so as to straddle the moving table 10 and the table 14 above it.

ブリッジ１７にはガイド１９が取り付けられており、スクライブヘッド２０はこのガイド１９に案内されてｘ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２０の下端には、ホルダ６０にスクライビングホイール４０が保持されているホルダユニット３０がホルダジョイント２１を介して取り付けられている。   A guide 19 is attached to the bridge 17, and the scribing head 20 is installed so as to move in the x-axis direction while being guided by the guide 19. A holder unit 30 in which the scribing wheel 40 is held by the holder 60 is attached to the lower end of the scribing head 20 via a holder joint 21.

ここで、スクライブ装置１を用いて脆性材料基板１５へスクライブラインを形成する工程の概略を説明する。まず、スクライブヘッド２０に取り付けられたホルダ６０にスクライビングホイール４０を取り付ける。そして、スクライブ装置１は、一対のＣＣＤカメラ１６によって脆性材料基板１５の位置決めを行う。次いで、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を所定の位置に移動させ、スクライビングホイール４０に対して所定の荷重を印加して、脆性材料基板１５へ接触させる。そして、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０をＸ軸方向に移動させることにより、脆性材料基板１５の表面に所定のスクライブラインを形成する。なお、スクライブ装置１は、必要に応じてテーブル１４を回動ないしＹ軸方向に移動し、上記の場合と同様にしてスクライブラインを形成する。   Here, an outline of a process of forming a scribe line on the brittle material substrate 15 using the scribing apparatus 1 will be described. First, the scribing wheel 40 is attached to the holder 60 attached to the scribing head 20. Then, the scribing apparatus 1 positions the brittle material substrate 15 by the pair of CCD cameras 16. Next, the scribing apparatus 1 moves the scribing head 20 to a predetermined position, applies a predetermined load to the scribing wheel 40, and brings the scribing head 40 into contact with the brittle material substrate 15. Then, the scribing apparatus 1 forms a predetermined scribing line on the surface of the brittle material substrate 15 by moving the scribing head 20 in the X-axis direction. The scribing apparatus 1 rotates the table 14 in the Y-axis direction as needed, and forms a scribing line in the same manner as described above.

次に、ホルダユニット３０の詳細について図を用いて説明する。図２（Ａ）はホルダユニット３０の正面図であり、図２（Ｂ）はホルダユニット３０の側面図である。なお、図２には、ホルダユニット３０が直接取り付けられるホルダジョイント２１が併せて図示されている。また、図３は図２（Ａ）の一点鎖線で囲った領域IIIの拡大図である。なお、図３においては、一部の構成について図示を省略している。   Next, details of the holder unit 30 will be described with reference to the drawings. 2A is a front view of the holder unit 30, and FIG. 2B is a side view of the holder unit 30. As shown in FIG. In addition, the holder joint 21 to which the holder unit 30 is directly attached is collectively shown by FIG. Further, FIG. 3 is an enlarged view of a region III surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. In addition, illustration is abbreviate | omitted about the one part structure in FIG.

ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０と、ピン軸５０と、ホルダ６０と、が一体となったものである。ホルダユニット３０は、図２に示すようにホルダジョイント２１に取付ネジ３１によって取り付けられている。   The holder unit 30 is one in which the scribing wheel 40, the pin shaft 50, and the holder 60 are integrated. The holder unit 30 is attached to the holder joint 21 by a mounting screw 31 as shown in FIG.

ここで、ホルダジョイント２１は、垂直壁２２ａと水平壁２２ｂからなり断面形状が逆Ｌ字状の取付部２２と、取付部２２の水平壁２２ｂの天面側から鉛直方向に伸びた回転軸２３と、回転軸２３が挿通された二つのベアリング２４ａ、２４ｂと、で構成されている。   Here, the holder joint 21 is composed of a vertical wall 22a and a horizontal wall 22b, and has a mounting portion 22 having an inverted L-shaped cross section, and a rotary shaft 23 extending vertically from the top surface side of the horizontal wall 22b of the mounting portion 22. And two bearings 24a and 24b in which the rotating shaft 23 is inserted.

ホルダジョイント２１に取り付けられたホルダユニット３０は、ホルダユニット３０の側面が取付部２２の垂直壁２２ａと接触し、ホルダユニット３０の上面が水平壁２２ｂと接触する。また、垂直壁２２ａには、図２（Ａ）に示すように取付ネジ３１が挿入されるネジ孔２５が形成されている。   In the holder unit 30 attached to the holder joint 21, the side surface of the holder unit 30 contacts the vertical wall 22a of the mounting portion 22, and the upper surface of the holder unit 30 contacts the horizontal wall 22b. Further, as shown in FIG. 2A, screw holes 25 into which the mounting screws 31 are inserted are formed in the vertical wall 22a.

そして、ホルダジョイント２１は、取付部２２に取り付けられたホルダユニット３０をスクライブヘッド２０から露出するようにして、スクライブヘッド２０の内部へと固定される。この時、ホルダジョイント２１に固定されたホルダユニット３０は、回転軸２３を中心として回転自在となっている。また、スクライブ装置１を用い脆性材料基板１５の表面にスクライブラインを形成する際、スクライビングホイール４０は図２（Ｂ）の矢印Ｒの方向に進むように回転する。なお、スクライブ装置１は、ホルダジョイント２１を用いないで、ホルダユニット３０自身が回転軸２３やベアリング２４ａ、２４ｂを備える構成でも構わない。   The holder joint 21 is fixed to the inside of the scribing head 20 such that the holder unit 30 attached to the mounting portion 22 is exposed from the scribing head 20. At this time, the holder unit 30 fixed to the holder joint 21 is rotatable around the rotation shaft 23. When a scribing line is formed on the surface of the brittle material substrate 15 using the scribing apparatus 1, the scribing wheel 40 rotates so as to advance in the direction of arrow R in FIG. 2 (B). The scribing device 1 may be configured so that the holder unit 30 itself includes the rotating shaft 23 and the bearings 24 a and 24 b without using the holder joint 21.

スクライビングホイール４０は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円板状の部材である。そして、スクライビングホイール４０は磁性体に引き付けられる性質を備えている。具体的には、スクライビングホイール４０は、焼結ダイヤモンドや超硬合金の結合材として含まれているコバルト等の強磁性体材料により、スクライビングホイール４０自身が磁性体に引き寄せられるものとなっている。   The scribing wheel 40 is a disk-shaped member formed of, for example, sintered diamond or cemented carbide. And the scribing wheel 40 has the property of being attracted to the magnetic material. Specifically, the scribing wheel 40 itself is attracted to the magnetic material by a ferromagnetic material such as cobalt contained as a binder of sintered diamond or cemented carbide.

また、スクライビングホイール４０にはピン軸５０が貫通するための貫通孔４１が円板の両側面４２ａ、４２ｂの中心に形成されている。また、スクライビングホイール４０には稜線を形成するＶ字状の刃が外周部に形成されている。また、本実施形態のスクライビングホイール４０は、厚さが約０．６５ｍｍであり、外径が約２．０ｍｍ、貫通孔４１の径が約０．８ｍｍ、刃の刃先角が約１３０°である。   Further, in the scribing wheel 40, a through hole 41 for the pin shaft 50 to penetrate is formed at the center of both side surfaces 42a and 42b of the disc. Further, a V-shaped blade for forming a ridge line is formed on the outer peripheral portion of the scribing wheel 40. The scribing wheel 40 according to this embodiment has a thickness of about 0.65 mm, an outer diameter of about 2.0 mm, a diameter of the through hole 41 of about 0.8 mm, and an edge angle of the blade of about 130 °. .

なお、スクライビングホイール４０には、焼結ダイヤモンドや超硬合金で形成されたものの他に、単結晶ダイヤモンドや多結晶ダイヤモンドで形成されたものがある。単結晶ダイヤモンドや多結晶ダイヤモンドで形成されたスクライビングホイール４０であれば、例えば円板側面４２ａ、４２ｂに強磁性体材料からなる層を成膜することで、スクライビングホイール４０が磁性体に引き付けられる性質を備えている構成であっても構わない。   The scribing wheel 40 may be formed of single crystal diamond or polycrystalline diamond, in addition to one formed of sintered diamond or cemented carbide. In the case of a scribing wheel 40 formed of single crystal diamond or polycrystalline diamond, for example, the property that the scribing wheel 40 can be attracted to the magnetic material by forming a layer made of a ferromagnetic material on the disc side surfaces 42a and 42b. It may be configured to have

ピン軸５０は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円柱状の部材であり、図２（Ａ）に示すように一端が尖頭形状の尖頭部５１になっている。また、本実施形態のピン軸５０の径は約０．８ｍｍとなっている。   The pin shaft 50 is a cylindrical member formed of, for example, sintered diamond, cemented carbide or the like, and as shown in FIG. 2A, one end is a pointed head 51 having a pointed shape. Further, the diameter of the pin shaft 50 in the present embodiment is about 0.8 mm.

ホルダ６０は、同形状の一対のホルダ基材６１ａ、６１ｂを用い、ホルダ基材６１ａ、６１ｂの側面同士を接触させてネジ止めにより固定した本体部６１からなる。   The holder 60 is composed of a main body portion 61 fixed by screwing the side surfaces of the holder base materials 61a and 61b by using a pair of holder base materials 61a and 61b having the same shape.

ホルダ基材６１ａ、６１ｂは、図２（Ｂ）に示すように下方側が側面視において下端に向かって幅が狭くなる台形状となっている。また、ホルダ基材６１ａ、６１ｂの台形状部分には、それぞれ保持部６２ａ、６２ｂが形成されており、ホルダ基材６１ａ、６１ｂを組み立てた状態で、保持部６２ａ、６２ｂとの間に保持溝６３が形成される。   The holder base materials 61a and 61b have a trapezoidal shape in which the lower side is narrower toward the lower end in the side view as shown in FIG. 2 (B). Further, holding portions 62a and 62b are respectively formed on trapezoidal portions of the holder base members 61a and 61b, and in a state where the holder base members 61a and 61b are assembled, a holding groove is formed between the holding portions 62a and 62b. 63 are formed.

保持部６２ａ、６２ｂには、ピン軸５０が挿通されるピン孔６４ａ、６４ｂが同軸位置に形成されている。したがって、スクライビングホイール４０の側面４２ａは保持部６２ａと対向し、側面４２ｂは保持部６２ｂと対向する。側面４２ａと対向する保持部６２ａの対向面は保持壁６５ａとなり、側面４２ｂと対向する保持部６２ｂの対向面は保持壁６５ｂとなる。   In the holding portions 62a and 62b, pin holes 64a and 64b through which the pin shaft 50 is inserted are formed at coaxial positions. Therefore, the side surface 42a of the scribing wheel 40 faces the holding portion 62a, and the side surface 42b faces the holding portion 62b. The facing surface of the holding portion 62a facing the side surface 42a is a holding wall 65a, and the facing surface of the holding portion 62b facing the side surface 42b is a holding wall 65b.

ホルダ基材６１ａ、６１ｂの上部には、取付ネジ３１が挿入されるネジ孔６６ａ、６６ｂが形成されている。また、ホルダ基材６１ａ、６１ｂには、ネジ孔６６ａ、６６ｂの両側にそれぞれ図示しない固定用のネジ孔が形成されている。そして、対応する固定用のネジ孔に対して固定ネジ６７を用いてホルダ基材６１ａとホルダ基材６１ｂとを固定することで、ホルダ６０の本体部６１は形成されている。一方、固定ネジ６７を取り外すことでホルダ基材６１ａとホルダ基材６１ｂとに分解できるため、ホルダユニット３０は、摩耗したスクライビングホイール４０やピン軸５０を簡単に交換することができる。また、例えば、ピン孔６４ａ、６４ｂ内部の一方が摩耗したような場合に、ホルダユニット３０は、摩耗した側のホルダ基材６１ａ、６１ｂだけを交換することもできる。   Screw holes 66a, 66b into which the mounting screws 31 are inserted are formed in the upper portions of the holder base materials 61a, 61b. Further, in the holder base materials 61a and 61b, screw holes for fixation (not shown) are formed on both sides of the screw holes 66a and 66b. Then, the main body portion 61 of the holder 60 is formed by fixing the holder base material 61a and the holder base material 61b using the fixing screw 67 to the corresponding fixing screw holes. On the other hand, since the holder base 61a and the holder base 61b can be disassembled by removing the fixing screw 67, the holder unit 30 can easily replace the worn scribing wheel 40 and the pin shaft 50. Further, for example, when one of the pin holes 64a and 64b is worn, the holder unit 30 can replace only the worn holder base material 61a or 61b.

また、ホルダ基材６１ａ側には止め金６８ａがネジ６９ａで取り付けられており、ホルダ基材６１ｂ側には止め金６８ｂがネジ６９ｂで取り付けられている。この止め金６８ａ、６８ｂは、ピン孔６４ａ、６４ｂを閉塞するためのものである。なお、止め金６８ａ、６８ｂとネジ６９ａ、６９ｂは、図３において図示していない。   Further, a clasp 68a is attached to the holder base 61a with a screw 69a, and a clasp 68b is attached to the holder base 61b with a screw 69b. The stoppers 68a, 68b are for closing the pin holes 64a, 64b. The clasps 68a, 68b and the screws 69a, 69b are not shown in FIG.

以上のようなホルダ６０において、ホルダ基材６１ａとホルダ基材６１ｂとは互いに異なる材料で形成されている。具体的には、ホルダ基材６１ａは磁性体材料からなり、炭素工具鋼や、磁性のあるフェライト系のステンレス等が用いられる。一方、ホルダ基材６１ｂは非磁性体材料からなり、オーステナイト系のステンレス等が用いられる。   In the holder 60 as described above, the holder base 61a and the holder base 61b are formed of different materials. Specifically, the holder base material 61a is made of a magnetic material, and carbon tool steel, ferritic stainless steel having magnetic properties, or the like is used. On the other hand, the holder base material 61b is made of a nonmagnetic material, and austenitic stainless steel or the like is used.

そして、ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０と、スクライビングホイール４０の貫通孔４１に貫通されたピン軸５０と、本体部６１の下方側の保持部６２ａ、６２ｂに設けられたピン孔６４ａ、６４ｂにピン軸５０が挿通されたホルダ６０と、を備えて形成されている。   The holder unit 30 is provided to the scribing wheel 40, the pin shaft 50 which is penetrated through the through hole 41 of the scribing wheel 40, and the pin holes 64a and 64b provided in the lower holding portions 62a and 62b of the main body 61. And a holder 60 through which the pin shaft 50 is inserted.

このホルダユニット３０は、ホルダ６０のネジ孔６６ａとネジ孔６６ｂと、ホルダジョイント２１の垂直壁２２ａのネジ孔２５とに取付ネジ３１を挿入し螺合することでホルダジョイント２１に固定される。   The holder unit 30 is fixed to the holder joint 21 by inserting and screwing mounting screws 31 into the screw holes 66 a and 66 b of the holder 60 and the screw holes 25 of the vertical wall 22 a of the holder joint 21.

また、ホルダユニット３０は、ホルダ６０の本体部６１を一対のホルダ基材６１ａ、６１ｂで形成し、一方のホルダ基材６１ａを磁性体材料で、他方のホルダ基材６１ｂを非磁性体材料で形成している。   Further, in the holder unit 30, the main body portion 61 of the holder 60 is formed of a pair of holder base materials 61a and 61b, one holder base material 61a is made of a magnetic material and the other holder base 61b is made of a nonmagnetic material. It is formed.

したがって、ホルダ基材６１ａを磁化することで、ホルダユニット３０は、磁性体に引き付けられる性質を備えるスクライビングホイール４０をホルダ基材６１ａ側に引き付けることができる。   Therefore, by magnetizing the holder base material 61a, the holder unit 30 can draw the scribing wheel 40 having the property of being attracted to the magnetic body toward the holder base material 61a.

具体的には、図３に示すように、スクライビングホイール４０は磁性体材料からなるホルダ基材６１ａ側に引き付けられることになり、スクライビングホイール４０の側面４２ａと保持壁６５ａとが接触する。   Specifically, as shown in FIG. 3, the scribing wheel 40 is attracted to the side of the holder base 61 a made of a magnetic material, and the side surface 42 a of the scribing wheel 40 contacts the holding wall 65 a.

このようなホルダユニット３０によって、スクライビングホイール４０の側面４２ａと保持壁６５ａとのクリアランスはゼロになる。したがって、スクライビングホイール４０は、スクライブラインを形成する際に、ピン軸５０に沿った移動を規制されることになる。このため、スクライブ装置１はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。また、磁性体材料からなるホルダ基材６１ａを磁化しておくだけでよいので、ホルダユニット３０は、ホルダ４０への複雑な加工等を施さなくても、簡単にスクライビングホイール４０の移動を規制することができる。   By such a holder unit 30, the clearance between the side surface 42a of the scribing wheel 40 and the holding wall 65a becomes zero. Therefore, the scribing wheel 40 is restricted in movement along the pin axis 50 when forming the scribe line. Therefore, the scribing apparatus 1 stabilizes the formation position of the scribing line, and can form the scribing line to a desired position. Further, since it is sufficient to magnetize the holder base material 61a made of a magnetic material, the holder unit 30 easily restricts the movement of the scribing wheel 40 without performing complicated processing or the like on the holder 40. be able to.

なお、本実施形態において、ホルダ基材６１ａは、スクライブ装置１によるスクライブラインを形成する作業工程以外の時にホルダ基材６１ａに直接磁石を付け、スクライブラインを形成する作業工程ではその磁石を外すことにより磁化させた。このような方法であっても、ホルダ基材６１ａにスクライビングホイール４０を引き付けておくのに十分な磁力を得ることができた。   In the present embodiment, the holder base material 61a applies a magnet directly to the holder base material 61a at the time other than the work process of forming the scribe line by the scribing apparatus 1, and removes the magnet in the work process of forming the scribe line. Magnetize. Even with such a method, sufficient magnetic force could be obtained to attract the scribing wheel 40 to the holder base 61a.

［実施形態２］
次に他の実施形態のホルダユニット１３０について図を用いて説明する。図４（Ａ）は実施形態２のホルダユニット１３０の正面図であり、図４（Ｂ）はホルダユニット１３０の側面図である。 Second Embodiment
Next, a holder unit 130 according to another embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 4A is a front view of the holder unit 130 of the second embodiment, and FIG. 4B is a side view of the holder unit 130.

ホルダユニット１３０は、実施形態１のホルダユニット３０とはホルダ１６０を構成するホルダ基材１６１ａ、１６１ｂの形状が異なっている。なお、スクライビングホイール１４０とピン軸１５０とは、実施形態１のスクライビングホイール４０とピン軸５０と同様な構成となっており、その説明を省略する。   The holder unit 130 is different from the holder unit 30 of the first embodiment in the shape of the holder base materials 161 a and 161 b constituting the holder 160. The scribing wheel 140 and the pin shaft 150 have the same configuration as the scribing wheel 40 and the pin shaft 50 of the first embodiment, and the description thereof will be omitted.

実施形態１のホルダユニット３０のホルダ６０は、同形状の一対のホルダ基材６１ａ、６１ｂを用い、ホルダ基材６１ａ、６１ｂの側面同士を接触させてネジ止めにより固定した本体部６１からなるものであった。   The holder 60 of the holder unit 30 according to the first embodiment includes the main body 61 fixed by screwing the side surfaces of the holder base members 61a and 61b into contact with each other using the pair of holder base members 61a and 61b having the same shape. Met.

一方、ホルダユニット１３０のホルダ１６０は、本体部１６１の形状は本体部６１と同様であるが、保持部１６２ａが形成されたホルダ基材１６１ａと、保持部１６２ｂとともにホルダジョイント２１の垂直壁２２ａに取付ネジ（図示せず）で螺合するためのネジ孔１６６が形成されたホルダ基材１６１ｂと、で形成されている。   On the other hand, in the holder 160 of the holder unit 130, the shape of the main body portion 161 is the same as that of the main body portion 61, but on the vertical wall 22a of the holder joint 21 together with the holder base 161a on which the holding portion 162a is formed and the holding portion 162b. It is formed by the holder base material 161b in which the screw hole 166 for screwing by an attachment screw (not shown) was formed.

その他の構成に関してホルダ基材１６１ａ、１６１ｂは、実施形態１のホルダ基材６１ａ、６１ｂと同様の構成となっている。具体的には、ホルダ基材１６１ａ、１６１ｂには、図示しない固定用のネジ孔がそれぞれ二つ形成され、対応する固定用のネジ孔に対して固定ネジ１６７を用いてホルダ基材１６１ａとホルダ基材１６１ｂとを固定することで、ホルダ１６０の本体部１６１は形成されている。   The holder base materials 161a and 161b have the same configuration as the holder base materials 61a and 61b of the first embodiment regarding the other configuration. Specifically, two screw holes for fixation (not shown) are respectively formed in the holder base materials 161a and 161b, and the holder base material 161a and the holder are fixed using the fixing screws 167 with respect to the corresponding screw holes for fixation. The main body portion 161 of the holder 160 is formed by fixing the base member 161 b.

また、保持部１６２ａ、１６２ｂとの間には保持溝１６３が形成されている。保持部１６２ａ、１６２ｂには、ピン軸１５０が挿通されるピン孔１６４ａ、１６４ｂが同軸位置に形成されている。そして、スクライビングホイール１４０の側面１４２ａは保持部１６２ａと対向し、側面１４２ｂは保持部１６２ｂと対向する。側面１４２ａと対向する保持部１６２ａの対向面は保持壁１６５ａとなり、側面１４２ｂと対向する保持部１６２ｂの対向面は保持壁１６５ｂとなる。   Further, a holding groove 163 is formed between the holding portions 162a and 162b. Pin holes 164a and 164b through which the pin shaft 150 is inserted are formed in the holding portions 162a and 162b at coaxial positions. The side surface 142a of the scribing wheel 140 faces the holding portion 162a, and the side surface 142b faces the holding portion 162b. The facing surface of the holding portion 162a facing the side surface 142a is a holding wall 165a, and the facing surface of the holding portion 162b facing the side surface 142b is a holding wall 165b.

また、ピン孔１６４ａ、１６４ｂを閉塞するための止め金１６８ａ、１６８ｂが、ネジ１６９ａ、１６９ｂで取り付けられている。   Further, clasps 168a, 168b for closing the pin holes 164a, 164b are attached by screws 169a, 169b.

そして、以上のようなホルダ１６０において、ホルダ基材１６１ａは磁性体材料からなり、ホルダ基材１６１ｂは非磁性体材料からなる。   Then, in the holder 160 as described above, the holder base material 161a is made of a magnetic material, and the holder base 161b is made of a nonmagnetic material.

したがって、ホルダ基材１６１ａを磁化することで、ホルダユニット１３０は、磁性体に引き付けられる性質を備えるスクライビングホイール１４０をホルダ基材１６１ａ側に引き付けることができる。このようなホルダユニット１３０によって、スクライビングホイール１４０の側面１４２ａと保持壁１６５ａとのクリアランスはゼロになるため、スクライビングホイール１４０は、スクライブラインを形成する際に、ピン軸５０に沿った移動を規制されることになる。ホルダユニット１４０を備えるスクライブ装置１はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。   Therefore, by magnetizing the holder base material 161a, the holder unit 130 can draw the scribing wheel 140 having the property of being attracted to the magnetic body toward the holder base material 161a. Since the clearance between the side surface 142a of the scribing wheel 140 and the holding wall 165a is zero by such a holder unit 130, the scribing wheel 140 is restricted from moving along the pin axis 50 when forming the scribe line. It will be The scribing apparatus 1 including the holder unit 140 stabilizes the forming position of the scribing line, and can form the scribing line to a desired position.

また、本実施形態のホルダ１６０は、少なくとも保持部１６２ａが形成されたホルダ基材１６１ａと、保持部１６２ｂとともにネジ孔１６６が形成されたホルダ基材１６１ｂと、で形成されている。したがって、磁性体材料のホルダ基材１６１ａが、非磁性体材料のホルダ基材１６１ｂに対して高額な場合、ホルダ基材１６１ａの使用量を減らすことができる。また、ホルダ基材１６１ａとホルダ基材１６１ｂの形状を逆にする構成でも構わない。   Further, the holder 160 of the present embodiment is formed of a holder base material 161a in which at least the holding portion 162a is formed, and a holder base material 161b in which the screw hole 166 is formed together with the holding portion 162b. Therefore, when the holder base material 161a of the magnetic material is expensive relative to the holder base 161b of the nonmagnetic material, the amount of use of the holder base 161a can be reduced. Further, the shapes of the holder base material 161a and the holder base material 161b may be reversed.

つまり、ホルダ１６０は、少なくとも保持部１６２ａが磁性材料で、保持部１６２ｂが非磁性材料で形成されていればよく、ホルダ基材１６１ａとホルダ基材１６１ｂの形状は異なっていても構わない。実施形態１のようにホルダ基材６１ａ、６１ｂを同一形状に限定するのではなく、本実施形態のようにホルダ基材１６１ａ、１６１ｂを異なる形状で設計できることは、コストを考慮した最適材料の選択幅を広げることができる。   That is, as long as at least the holding portion 162a of the holder 160 is a magnetic material and the holding portion 162b is a nonmagnetic material, the shapes of the holder base material 161a and the holder base material 161b may be different. As in the first embodiment, the holder base materials 61a and 61b are not limited to the same shape, and it is possible to design the holder base materials 161a and 161b in different shapes as in the present embodiment. You can widen it.

［実施形態３］
次に他の実施形態のホルダユニット２３０について図を用いて説明する。図５は実施形態３のホルダユニット２３０の正面図である。 Third Embodiment
Next, a holder unit 230 of another embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a front view of the holder unit 230 of the third embodiment.

ホルダユニット２３０は、実施形態１のホルダユニット３０とは磁性体材料からなるホルダ基材２６１ａを磁化する方法が異なっている。なお、スクライビングホイール２４０とピン軸２５０とは、実施形態１のスクライビングホイール４０とピン軸５０と同様な構成となっており、その説明を省略する。   The holder unit 230 is different from the holder unit 30 of the first embodiment in the method of magnetizing the holder base 261 a made of a magnetic material. The scribing wheel 240 and the pin shaft 250 have the same configuration as the scribing wheel 40 and the pin shaft 50 of the first embodiment, and the description thereof will be omitted.

実施形態１のホルダ基材６１は、スクライブ装置１によるスクライブラインを形成する作業工程以外の時にホルダ基材６１ａに直接磁石を付け、スクライブラインを形成する作業工程ではその磁石を外すことにより磁化させていた。   The holder base material 61 of Embodiment 1 attaches a magnet directly to the holder base material 61a at the time other than the operation process of forming the scribe line by the scribing apparatus 1, and is magnetized by removing the magnet in the operation process of forming the scribe line. It was

一方、ホルダユニット２３０のホルダ基材２６１ａは、ホルダ基材２６１ａの表面に直接磁石８０を取り付けている。具体的には、ホルダユニット２３０のホルダ基材２６１ａは、ピン孔２６４ａを閉塞する位置に実施形態１の止め金６８ａの替わりに磁石８０を配置している。   On the other hand, the holder base material 261a of the holder unit 230 directly attaches the magnet 80 to the surface of the holder base material 261a. Specifically, the holder base material 261 a of the holder unit 230 has the magnet 80 disposed at a position closing the pin hole 264 a instead of the stopper 68 a of the first embodiment.

したがって、ホルダユニット２３０は、磁石８０によってホルダ基材２６１ａを磁化しておくことができるため、安定した磁力によりスクライビングホイール２４０をホルダ基材２６１ａ側に引き付けることができる。そして、ホルダユニット２４０を備えるスクライブ装置１はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。   Therefore, since the holder unit 230 can magnetize the holder base material 261a by the magnet 80, the scribing wheel 240 can be attracted to the holder base material 261a side by a stable magnetic force. The scribing apparatus 1 including the holder unit 240 stabilizes the formation position of the scribe line, and can form the scribe line to a desired position.

また、ホルダユニット２３０は、直接磁石８０を部品として用いることで、他の分品の使用を削減することができる。なお、実施形態１の止め金６８ａを磁石８０で形成する構成でも構わない。   In addition, the holder unit 230 can reduce the use of other parts by directly using the magnet 80 as a part. In addition, the structure which forms the detent 68a of Embodiment 1 by the magnet 80 may be used.

１…スクライブ装置
１０…移動台
１１…ボールネジ
１２…案内レール
１３…モータ
１４…テーブル
１５…脆性材料基板
１６…ＣＣＤカメラ
１７…ブリッジ
１８ａ、１８ｂ…支柱
１９…ガイド
２０…スクライブヘッド
２１…ホルダジョイント
２２…取付部
２２ａ…垂直壁
２２ｂ…水平壁
２３…回転軸
２４ａ、２４ｂ…ベアリング
２５…ネジ孔
３０、１３０、２３０…ホルダユニット
３１…取付ネジ
４０、１４０、２４０…スクライビングホイール
４１…貫通孔
４２ａ、４２ｂ…側面
５０、１５０、２５０…ピン軸
５１…尖頭部
６０、１６０…ホルダ
６１、１６１…本体部
６１ａ、６１ｂ、１６１ａ、１６１ｂ、２６１ａ、２６１ｂ…ホルダ基材
６２ａ、６２ｂ、１６２ａ、１６２ｂ…保持部
６３、１６３…保持溝
６４ａ、６４ｂ、１６４ａ、１６４ｂ、２６４ａ…ピン孔
６５ａ、６５ｂ、１６５ａ、１６５ｂ…保持壁
６６ａ、６６ｂ、１６６…ネジ孔
６７、１６７…固定ネジ
６８ａ、６８ｂ、１６８ａ、１６８ｂ…止め金
６９ａ、６９ｂ、１６９ａ、１６９ｂ…ネジ
８０…磁石
Reference Signs List 1 scribing device 10 moving base 11 ball screw 12 guide rail 13 motor 14 table 15 brittle material substrate 16 CCD camera 17 bridge 18a, 18b post 19 guide 20 scribing head 21 holder joint 22 ... mounting portion 22a ... vertical wall 22b ... horizontal wall 23 ... rotating shaft 24a, 24b ... bearing 25 ... screw hole 30, 130, 230 ... holder unit 31 ... mounting screw 40, 140, 240 ... scribing wheel 41 ... through hole 42a, 42b ... Side surface 50, 150, 250 ... Pin axis 51 ... Pointed head 60, 160 ... Holder 61, 161 ... Body part 61a, 61b, 161a, 161b, 261a, 261b ... Holder base material 62a, 62b, 162a, 162b ... Holding portion 63, 163 ... holding groove 64a, 64b, 164a, 164b, 264a ... pin holes 65a, 65b, 165a, 165b ... retaining walls 66a, 66b, 166 ... screw holes 67, 167 ... fixing screws 68a, 68b, 168a, 168b ... clasps 69a, 69b, 169a, 169b: screw 80: magnet

Claims (6)

本体部と、
前記本体部の下方側に形成された一対の保持部と、
同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されたピン孔と、を備え、
スクライビングホイールの貫通孔に貫通されるとともに前記ピン孔に挿通されるピン軸により、前記保持部間に前記スクライビングホイールを回転自在に保持するためのホルダであって、
一対の前記保持部の一方は磁性体材料からなり、他方は非磁性体材料からなることを特徴とするホルダ。 Body part,
A pair of holders formed on the lower side of the main body;
And coaxially located pin holes respectively formed in the holding portion;
A holder for rotatably holding the scribing wheel between the holding portions by a pin shaft which is penetrated through the through hole of the scribing wheel and inserted through the pin hole,
One of the pair of holding parts is made of a magnetic material, and the other is made of a nonmagnetic material. 前記本体部は、前記磁性体材料からなる一方のホルダ基材と、前記非磁性体材料からなる他方のホルダ基材とがネジ固定されたものであることを特徴とする請求項１に記載のホルダ。   The said main-body part is what screw-fixed one holder base material which consists of said magnetic substance material, and the other holder base material which consists of said nonmagnetic material, It is characterized by the above-mentioned. holder. スクライビングホイールと、
前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、
本体部と、前記本体部の下方側に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、
を備えたホルダユニットであって、
一対の前記保持部の一方は磁性体材料からなり、他方は非磁性体材料からなることを特徴とするホルダユニット。 With scribing wheels,
A pin shaft penetrated through the through hole of the scribing wheel;
A main body portion, a pair of holding portions formed on the lower side of the main body portion for holding the scribing wheel, and pin holes coaxially formed and respectively formed in the holding portions and having the pin shaft inserted therein; A holder having
A holder unit provided with
One of the pair of holding parts is made of a magnetic material, and the other is made of a nonmagnetic material. 前記本体部は、前記磁性体材料からなる一方のホルダ基材と、前記非磁性体材料からなる他方のホルダ基材とがネジ固定されたものであることを特徴とする請求項３に記載のホルダユニット。   The said main-body part is what screw-fixed one holder base material which consists of said magnetic substance material, and the other holder base material which consists of said nonmagnetic material, It is characterized by the above-mentioned. Holder unit. 前記磁性体材料の表面には磁石が取り付けられていることを特徴とする請求項３または４に記載のホルダユニット。   The holder unit according to claim 3 or 4, wherein a magnet is attached to the surface of the magnetic material. 請求項３から５の何れか一項に記載のホルダユニットを備えることを特徴とするスクライブ装置。
A scribing apparatus comprising the holder unit according to any one of claims 3 to 5.
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