KR20180085110A - Scribing apparatus - Google Patents

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KR20180085110A KR1020170008128A KR20170008128A KR20180085110A KR 20180085110 A KR20180085110 A KR 20180085110A KR 1020170008128 A KR1020170008128 A KR 1020170008128A KR 20170008128 A KR20170008128 A KR 20170008128A KR 20180085110 A KR20180085110 A KR 20180085110A
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Abstract

An embodiment of the present invention provides a scribing apparatus, which can automatically exchange scribing wheels to reduce time consumed in a scribing process, and to enhance worker convenience. The scribing apparatus comprises: a scribing unit including a wheel holder which maintains the scribing wheel, a wheel holder support member into which the wheel holder is inserted, and a scribing head to which the wheel holder support member is connected; and a wheel holder exchange device including a wheel holder holding unit which has a plurality of wheel holder holding recesses in a circumferential direction and rotates so that one among the plurality of wheel holder holding recesses is matched with the wheel holder support member.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}[0001] SCRIBING APPARATUS [0002]

본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing device for forming a scribing line on a substrate.

일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.In general, a liquid crystal display panel, an organic electroluminescent display panel, an inorganic electroluminescent display panel, a transmissive projector substrate, a reflective projector substrate, and the like used in a flat panel display is a brittle mother glass panel (Hereinafter referred to as "unit substrate") is cut from the substrate 1 to a predetermined size.

기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 절단하여 단위 기판을 얻는 브레이킹 공정을 포함한다.The step of cutting the substrate includes a scribing step of moving a scribing wheel made of a material such as diamond along a line along which the substrate is to be cut to press and moving the scribing line to form a scribing line, And a breaking step of cutting the substrate to obtain a unit substrate.

스크라이빙 공정에서는, 기판의 이송 방향을 기준으로 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부가 지지된 상태에서, 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부 사이의 영역에서 스크라이빙 휠이 이동하면서 기판에 스크라이빙 라인을 형성하게 된다.In the scribing process, in a state in which the front side end portion and the rear side end portion of the substrate are supported with respect to the transfer direction of the substrate, the scribing wheel moves in the region between the front side end portion and the rear side end portion of the substrate Thereby forming a scribing line.

한편, 다수의 기판에 다수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 스크라이빙 휠이 마모되므로, 스크라이빙 라인을 형성하는 공정을 원활하게 수행하기 위해, 마모된 스크라이빙 휠을 새로운 스크라이빙 휠로 교체할 필요가 있다.On the other hand, in the process of forming a plurality of scribing lines on a large number of substrates, since the scribing wheels are worn, in order to smoothly perform the process of forming the scribing lines, You need to replace it with a cribbing wheel.

그러나, 종래에는 스크라이빙 휠을 작업자가 수동으로 교체하였으므로, 스크라이빙 휠을 교체하는 데에 장시간이 요구되며, 스크라이빙 휠의 교체 후, 스크라이빙 휠의 위치를 조절하는 별도의 과정이 요구되는 문제점이 있다.However, in the past, since the operator manually changed the scribing wheel, a long time is required to replace the scribing wheel, and after the replacement of the scribing wheel, a separate process of adjusting the position of the scribing wheel There is a problem that is required.

대한민국공개특허 제10-2007-0070824호(2007.07.04)Korean Patent Publication No. 10-2007-0070824 (2007.07.04)

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 스크라이빙 휠을 자동으로 교체할 수 있도록 하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide an automatic scribing device, which can automatically replace a scribing wheel to reduce the time required for a scribing process, To provide a scribing device having an integrated circuit.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더와, 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재와, 휠 홀더 지지 부재가 연결되는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛; 및 둘레 방향으로 복수의 휠 홀더 수용홈을 가지며 복수의 휠 홀더 수용홈 중 하나가 휠 홀더 지지 부재에 대응하도록 회전되는 휠 홀더 수용 유닛을 포함하는 휠 홀더 교체 장치를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a scriber device including a wheel holder for holding a scriber wheel, a wheel holder support member for holding the wheel holder, A scribing unit including a crybing head; And a wheel holder replacement unit having a plurality of wheel holder receiving grooves in the circumferential direction and rotated so that one of the plurality of wheel holder receiving grooves corresponds to the wheel holder supporting member.

휠 홀더 수용 유닛은, 서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 스크라이빙 헤드 중 어느 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 휠 홀더 수용홈을 갖는 제1 휠 홀더 수용 부재와, 다른 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 휠 홀더 수용홈을 갖는 제2 휠 홀더 수용 부재를 포함할 수 있다.The wheel holder receiving unit includes a first wheel holder receiving member corresponding to any one of the pair of scribing heads disposed opposite to each other and having a wheel holder receiving groove, And a second wheel holder receiving member corresponding to the wheel holder receiving groove.

제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재 사이에 설치되어 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상대 회전시키는 회전 유닛을 더 포함할 수 있다.And a rotating unit installed between the first and second wheel holder receiving members for relatively rotating the first and second wheel holder receiving members.

회전 유닛은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 방향으로 회전시킬 수 있다.The rotating unit can rotate the first and second wheel holder receiving members in different directions.

회전 유닛은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 각도로 회전시킬 수 있다.The rotating unit can rotate the first and second wheel holder receiving members at different angles.

휠 홀더 수용홈에 구비되어 휠 홀더 수용홈에 삽입된 휠 홀더를 고정시키는 잠금 유닛을 더 포함할 수 있다.And a lock unit provided in the wheel holder receiving groove for fixing the wheel holder inserted into the wheel holder receiving groove.

잠금 유닛은 휠 홀더 수용홈 내에 삽입된 휠 홀더의 일면을 가압하는 가압 부재와, 가압 부재를 이동시키는 구동 장치를 포함할 수 있다.The locking unit may include a pressing member for pressing one surface of the wheel holder inserted in the wheel holder receiving groove and a driving device for moving the pressing member.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 휠 홀더를 자동으로 교체하는 휠 홀더 교체 장치를 구비하므로, 스크라이빙 휠을 신속하게 교체하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있다.Since the scraping device according to the embodiment of the present invention includes the wheel holder replacing device for automatically replacing the wheel holder, it is possible to quickly replace the scraping wheel, thereby reducing the time required for the scraping process, Can be improved.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 스크라이빙 유닛의 일부분의 개략적인 확대도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 휠 홀더 교체 장치의 일부분의 개략적인 확대도이다.
도 5 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 동작이 개략적으로 도시된 측면도이다.1 is a plan view schematically showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view schematically illustrating a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic enlarged view of a portion of a scribing unit of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a schematic enlarged view of a portion of a wheel holder replacement device of a scriber device according to an embodiment of the present invention.
5 to 11 are side views schematically showing the operation of the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

이하, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 교차하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.Hereinafter, the direction in which the substrate S to be scribed is conveyed is defined as the Y-axis direction, and the direction intersecting the direction in which the substrate S is conveyed (Y-axis direction) is defined as the X-axis direction. A direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate S is placed is defined as a Z-axis direction.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스테이지(10)와, 스크라이빙 휠(21)을 유지하는 휠 홀더(22) 및 휠 홀더(22)를 지지하는 스크라이빙 헤드(23)를 포함하는 스크라이빙 유닛(20)과, 기판(S)을 파지하여 스크라이빙 유닛(20)으로 이송하는 기판 이송 장치(30)와, 휠 홀더(22)를 교체하도록 구성되는 휠 홀더 교체 장치(40)를 포함할 수 있다.1 and 2, the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention includes a stage 10, a wheel holder 22 for holding the scribing wheel 21, and a wheel holder 22 , A substrate transfer device (30) for holding the substrate (S) and transferring the substrate (S) to the scribing unit (20), and a scraping unit And a wheel holder replacement device 40 configured to replace the wheel holder replacement device 22.

스테이지는 Y축 방향으로 소정의 간격으로 이격되게 배치되는 로딩 스테이지(11) 및 언로딩 스테이지(12)를 포함한다. 로딩 스테이지(11)는 기판(S)이 스크라이빙 장치로 로딩되는 영역을 제공하며, 언로딩 스테이지(12)는 스크라이빙 공정을 통하여 스크라이빙 라인이 형성된 기판(S)이 스크라이빙 장치로부터 언로딩되는 영역을 제공한다.The stage includes a loading stage (11) and an unloading stage (12) arranged so as to be spaced apart from each other by a predetermined distance in the Y axis direction. The loading stage 11 provides a region where the substrate S is loaded into the scriber device and the unloading stage 12 is a stage in which the substrate S on which the scribing line is formed through the scribing process is scribed And provides an area unloaded from the device.

로딩 스테이지(11) 및 언로딩 스테이지(12)는 각각 복수의 벨트(13)를 포함할 수 있다. 복수의 벨트(13)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(13)는 복수의 롤러(14)에 의해 지지되며, 복수의 롤러(14) 중 적어도 하나는 벨트(13)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 롤러일 수 있다.The loading stage 11 and the unloading stage 12 may each include a plurality of belts 13. The plurality of belts 13 may be spaced from each other in the X-axis direction. Each belt 13 is supported by a plurality of rollers 14 and at least one of the plurality of rollers 14 may be a drive roller that provides a driving force for rotating the belt 13. [

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 유닛(20)은 스크라이빙 헤드(23)가 장착되는 헤드 지지대(24)와, 헤드 지지대(24)가 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 프레임(25)을 포함한다.2 and 3, the scribing unit 20 includes a head support 24 on which the scribing head 23 is mounted, and a head support 24 on which the head support 24 is installed so as to be movable in the X- And a frame 25 which is made of a resin.

복수의 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 구비될 수 있다. 예를 들면, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 배치됨에 따라, 한 쌍의 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)의 일면(상면) 및 타면(하면)에 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 따라서, 한 쌍의 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)의 일면 및 타면을 가압한 상태에서, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)에 대한 기판(S)의 상대 이동 및/또는 기판(S)에 대한 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)의 상대 이동에 의하여, 기판(S)의 일면 및 타면에는 각각 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.A plurality of scribing heads 23 may be provided so as to be opposed to each other in the Z-axis direction. For example, a pair of scribing wheels 21 are arranged on one surface (upper surface) of the substrate S and the other surface And can be arranged so as to face each other on the other surface (lower surface). Therefore, the relative movement of the substrate S to the pair of scribing heads 23 and / or the relative movement of the substrate S to the pair of scribing heads 23, with the pair of scribing wheels 21 pressing the one surface and the other surface of the substrate S, A scribing line may be formed on one surface and the other surface of the substrate S by the relative movement of the pair of scribing heads 23 with respect to the substrate S. [

스크라이빙 헤드(23)는 헤드 지지대(24)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 스크라이빙 헤드(23) 및 헤드 지지대(24) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)는 직선 이동 기구에 의해 헤드 지지대(24)에 대하여 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)에 지지된 휠 홀더(22)도 Z축 방향으로 이동될 수 있다.The scribing head 23 is installed movably in the Z-axis direction with respect to the head support 24. Between the scribing head 23 and the head support 24, there can be provided a linear motion mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism. Accordingly, the scribing head 23 can be moved in the Z-axis direction with respect to the head support 24 by the linear movement mechanism, whereby the wheel holder 22 supported by the scribing head 23 Can also be moved in the Z-axis direction.

헤드 지지대(24)와 프레임(25) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 헤드 지지대(24)는 직선 이동 기구에 의해 프레임(24)을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)가 X축 방향으로 이동될 수 있다.Between the head support 24 and the frame 25, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear motion mechanism such as a ball screw mechanism may be provided. Thus, the head support 24 can be moved in the X-axis direction along the frame 24 by the linear movement mechanism, whereby the scribing head 23 can be moved in the X-axis direction.

예를 들면, 프레임(25)에는 X축 방향으로 소정의 간격으로 복수의 스크라이빙 헤드(23)가 구비될 수 있다.For example, the frame 25 may be provided with a plurality of scribing heads 23 at predetermined intervals in the X-axis direction.

스크라이빙 헤드(23)에는 휠 홀더(22)를 지지하는 휠 홀더 지지 부재(26)가 장착될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 삽입될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 Z축 방향과 평행한 축을 중심으로 회전 가능하게 장착될 수 있다. 이를 위해, 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 연결되는 부분에는 베어링(미도시)이 장착될 수 있다.The scribing head 23 may be equipped with a wheel holder supporting member 26 for supporting the wheel holder 22. The wheel holder supporting member 26 can be inserted into the scribing head 23. The wheel holder supporting member 26 can be rotatably mounted on the scribing head 23 about an axis parallel to the Z-axis direction. To this end, a bearing (not shown) may be mounted on the portion of the wheel holder supporting member 26 connected to the scraping head 23.

이와 같이 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 회전 가능하게 장착되므로, 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)에 가압된 상태에서 스크라이빙 헤드(23) 및/또는 기판(S)이 이동하면, 스크라이빙 휠(21)의 날의 방향이 스크라이빙 휠(21)이 이동하는 방향과 일치되도록 휠 홀더 지지 부재(26)가 회전될 수 있다. 이와 같은 휠 홀더 지지 부재(26)의 회전에 의해, 스크라이빙 휠(21) 및 휠 홀더(22)의 방향이 결정될 수 있다.The wheel holder supporting member 26 is rotatably mounted on the scribing head 23 so that the scribing head 23 and / Or when the substrate S moves, the wheel holder supporting member 26 can be rotated so that the direction of the blade of the scraping wheel 21 coincides with the direction in which the scraping wheel 21 moves. By such rotation of the wheel holder supporting member 26, the directions of the scraping wheel 21 and the wheel holder 22 can be determined.

휠 홀더 지지 부재(26)에는 휠 홀더(22)가 삽입되는 삽입홈(261)이 형성될 수 있다. 삽입홈(261) 내에는 자석(262)이 설치될 수 있으며, 삽입홈(261)에 삽입되는 휠 홀더(22)의 부분은 자석(262)에 부착되는 재료로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 휠 홀더(22)가 삽입홈(261)에 삽입되면, 휠 홀더(22)가 자석(262)에 부착되면서, 휠 홀더(22)가 고정될 수 있다. 또한, 휠 홀더(22)를 자석(262)으로부터 잡아당기는 것에 의해, 휠 홀더(22)가 삽입홈(261)으로부터 용이하게 분리될 수 있다.The wheel holder supporting member 26 may be formed with an insertion groove 261 into which the wheel holder 22 is inserted. A magnet 262 may be installed in the insertion groove 261 and a portion of the wheel holder 22 inserted into the insertion groove 261 may be made of a material attached to the magnet 262. Thus, when the wheel holder 22 is inserted into the insertion groove 261, the wheel holder 22 can be fixed while the wheel holder 22 is attached to the magnet 262. [ Further, by pulling the wheel holder 22 from the magnet 262, the wheel holder 22 can be easily separated from the insertion groove 261.

기판 이송 장치(30)는 기판(S)을 파지하는 파지 유닛(31)과, 파지 유닛(31)을 지지하는 지지바(32)와, 지지바(32)의 양단에 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(33)을 포함할 수 있다. 지지바(32)의 양단과 가이드 레일(33) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 기판(S)은 파지 유닛(31)에 의해 파지된 상태로 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이송될 수 있다.The substrate transfer device 30 includes a gripping unit 31 for gripping the substrate S, a support bar 32 for supporting the gripping unit 31, And may include an extended guide rail 33. Between both ends of the support bar 32 and the guide rail 33, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided. Accordingly, the substrate S can be transferred in the Y-axis direction by the linear movement mechanism in a state held by the gripping unit 31. [

지지바(32)에는 복수의 파지 유닛(31)이 구비될 수 있다. 이 경우, 복수의 파지 유닛(31)은 기판(S)을 함께 파지할 수 있다. 파지 유닛(31)은 지지바(32)에 X축 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 예를 들면, 파지 유닛(31)과 지지바(32) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 유닛(31)는 직선 이동 기구에 의해 지지바(32)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다.The support bar 32 may be provided with a plurality of gripping units 31. In this case, the plurality of gripping units 31 can hold the substrate S together. The grip unit 31 may be provided on the support bar 32 so as to be movable in the X-axis direction. For example, between the gripping unit 31 and the support bar 32, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided have. Therefore, the gripping unit 31 can be moved in the X-axis direction along the support bar 32 by the linear movement mechanism.

도 2에 도시된 바와 같이, 파지 유닛(31)은, 기판(S)을 파지하도록 구성되는 한 쌍의 파지 부재(311)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 일반적인 클램프와 같이, 한 쌍의 파지 부재(311)는 유압 또는 공압에 의해 서로 이격되거나 인접하게 이동되도록 구성될 수 있다. 한 쌍의 파지 부재(311)는 서로 인접하게 이동되어 기판(S)을 물리적으로 가압하여 유지할 수 있고, 서로 이격되게 이동되어 기판(S)을 해제할 수 있다.2, the holding unit 31 may include a pair of holding members 311 configured to hold the substrate S. For example, as in a general clamp, the pair of gripping members 311 can be configured to be moved away from each other or adjacent to each other by hydraulic pressure or air pressure. The pair of gripping members 311 can be moved adjacent to each other to physically pressurize and hold the substrate S and can be moved apart from each other to release the substrate S. [

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 휠 홀더 교체 장치(40)는 교체될 또는 교체된 휠 홀더(22)를 수용하는 휠 홀더 수용 유닛(44)과, 휠 홀더 수용 유닛(44)을 Z축 방향과 평행한 축을 중심으로 회전시키는 회전 유닛(45)과, 휠 홀더 수용 유닛(44)에 설치되어 휠 홀더 수용 유닛(44)에 수용되는 휠 홀더(22)을 선택적으로 잠그고 잠금 해제하는 잠금 유닛(46)과, 휠 홀더 수용 유닛(44)을 Z축 방향으로 이동시키는 승강 유닛(47)과, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 X축 방향으로 이동 가능하게 지지되는 지지대(48)와, 지지대(48)의 양단에 연결되어 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(49)을 포함할 수 있다.4 and 5, the wheel holder replacing device 40 includes a wheel holder accommodating unit 44 for accommodating a wheel holder 22 to be replaced or replaced, a wheel holder accommodating unit 44 for accommodating the wheel holder accommodating unit 44 in a Z A lock unit 45 for selectively locking and unlocking the wheel holder 22 installed in the wheel holder accommodating unit 44 and provided in the wheel holder accommodating unit 44; A lifting unit 47 for moving the wheel holder receiving unit 44 in the Z axis direction, a support base 48 for supporting the wheel holder receiving unit 44 movably in the X axis direction, And guide rails 49 connected to both ends of the support base 48 and extending in the Y axis direction.

휠 홀더 수용 유닛(44)은 스크라이빙 유닛(20)의 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더 지지 부재(26)로 접근 가능하게 구성될 수 있다. 휠 홀더 수용 유닛(44)는 스테이지(10) 상부에 X축 방향으로 연장되는 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다. 이를 위하여, 휠 홀더 수용 유닛(44)과 지지대(48) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구(481)가 구비될 수 있다.The wheel holder receiving unit 44 can be configured to be accessible to the wheel holder supporting member 26 of the scribing head 23 of the scribing unit 20. [ The wheel holder receiving unit 44 can be moved in the X-axis direction along the support base 48 extending in the X-axis direction on the stage 10. To this end, a linear movement mechanism 481, such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism, is provided between the wheel holder receiving unit 44 and the support stand 48 .

휠 홀더 수용 유닛(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 X축 방향으로 이동되어 스크라이빙 헤드(23)로 접근할 수 있다. 또한, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동되어 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판 이송 장치(30)에 의해 이송되는 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어날 수 있다. 따라서, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 기판 이송 장치(30) 또는 기판(S)과 간섭하는 것이 방지될 수 있다.The wheel holder accommodating unit 44 can be moved in the X-axis direction by the linear movement mechanism 481 to approach the scribing head 23. The wheel holder accommodating unit 44 is moved in the X axis direction along the support table 48 by the linear movement mechanism 481 to move the moving path of the grip unit 31 of the substrate transfer device 30 and the movement direction of the substrate transfer device 30). ≪ / RTI > Therefore, the wheel holder receiving unit 44 can be prevented from interfering with the substrate transfer device 30 or the substrate S. [

지지대(48)에는 하나의 휠 홀더 수용 유닛(44)이 설치되는 것으로 도시되지만, 복수의 휠 홀더 수용 유닛(44)이 지지대(48)에 서로 이격되게 설치될 수 있다. 지지대(48)는 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들면, 지지대(48)과 가이드 레일(49) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 지지대(48)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동하는 것에 의해, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 Y축 방향으로 이동될 수 있다.A plurality of wheel holder accommodating units 44 may be provided on the supporter 48 so as to be spaced apart from each other. The support rods 48 can be moved along the guide rails 49 in the Y-axis direction. For example, an actuator that is actuated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear motion mechanism such as a ballscrew mechanism may be provided between the support table 48 and the guide rail 49 . Therefore, by moving the support table 48 in the Y-axis direction by the linear movement mechanism, the wheel holder accommodating unit 44 can be moved in the Y-axis direction.

승강 유닛(47)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.The elevating unit 47 may be constituted by an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear moving mechanism such as a ball screw mechanism.

휠 홀더 수용 유닛(44)은 승강 유닛(47)에 의해 Z축 방향으로 이동되면서, 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)로부터 분리시킬 수 있고, 휠 홀더 수용 유닛(44)에 수용된 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착시킬 수 있다. 또한, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 승강 유닛(47)에 의해 Z축 방향으로 이동되어 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어날 수 있다. 따라서, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 기판 이송 장치(30) 또는 기판(S)과 간섭하는 것이 방지될 수 있다.The wheel holder receiving unit 44 can be separated from the wheel holder supporting member 26 while the wheel holder receiving unit 44 is moved in the Z axis direction by the elevating unit 47, The wheel holder 22 can be mounted on the wheel holder supporting member 26. [ The wheel holder accommodating unit 44 can be moved in the Z axis direction by the elevating unit 47 to escape from the moving path of the holding unit 31 of the substrate feeding device 30 and the feeding path of the substrate S . Therefore, the wheel holder receiving unit 44 can be prevented from interfering with the substrate transfer device 30 or the substrate S. [

한편, 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 배치되어, 상부에 배치되는 제1 스크라이빙 헤드(23)와 하부에 배치되는 제2 스크라이빙 헤드(23)를 포함하는 경우, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착된 휠 홀더(22)를 모두 교체하도록 구성될 수 있다.The first scribing head 23 and the second scribing head 23 are arranged so that the scribing heads 23 are spaced apart from each other in the Z-axis direction so as to face each other, The wheel holder receiving unit 44 can be configured to replace all of the wheel holders 22 mounted on the wheel holder supporting members 26 of the first and second scribing heads 23.

이를 위하여, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 제1 스크라이빙 헤드(23)에 대응하도록 배치되는 제1 휠 홀더 수용 부재(41)와, 제2 스크라이빙 헤드(23)에 대응하도록 배치되는 제2 휠 홀더 수용 부재(42)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)는 원형의 판 형상으로 형성될 수 있다. 이와 같이, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 포함하므로, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 순차적으로 또는 동시에 신속하게 수행할 수 있다.The wheel holder receiving unit 44 includes a first wheel holder receiving member 41 disposed corresponding to the first scribing head 23 and a second wheel holder receiving member 41 disposed corresponding to the second scribing head 23 And a second wheel holder receiving member 42. The first and second wheel holder receiving members 41 and 42 may be formed in a circular plate shape. As described above, since the wheel holder receiving unit 44 includes the first and second wheel holder receiving members 41 and 42, the wheel holder 22 of the first and second scribing heads 23 can be replaced The operation can be performed quickly or sequentially.

그리고, 회전 유닛(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42) 사이에 설치될 수 있다. 회전 유닛(45)은 연결 로드(451)을 통하여 승강 유닛(47)에 연결될 수 있다. 회전 유닛(45)은 정방향 및 역방향으로 회전할 수 있는 일반적인 회전 모터로 구성될 수 있다. 회전 유닛(45)은 회전 모터와 연결되는 복수의 기어 및/또는 링크를 포함할 수 있으며, 이에 따라, 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 다양한 방식으로 상대 회전시킬 수 있다.The rotation unit 45 may be installed between the first and second wheel holder receiving members 41 and 42. [ The rotating unit 45 can be connected to the elevating unit 47 through the connecting rod 451. The rotary unit 45 may be constituted by a general rotary motor capable of rotating in the forward and reverse directions. The rotating unit 45 may include a plurality of gears and / or links connected to the rotating motor, thereby allowing the first and second wheelholder receiving members 41 and 42 to relatively rotate in various manners .

예를 들면, 회전 유닛(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 서로 동일한 방향 및/또는 상이한 방향으로 회전시킬 수 있다. 또한, 회전 유닛(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 상이한 각도로 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 회전되면서 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 회전 방향과 반대 방향으로 회전될 수 있거나 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 회전 각도와 다른 각도로 회전될 수 있다. 따라서, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)(특히, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)에 수용된 휠 홀더(22))가 다른 부품과 간섭하지 않도록 회전될 수 있다.For example, the rotating unit 45 can rotate the first and second wheel holder receiving members 41, 42 in the same direction and / or in different directions with respect to each other. Further, the rotation unit 45 can rotate the first and second wheel holder receiving members 41 and 42 at different angles. For example, when the wheel holder 22 is mounted on the first scribing head 23 or the wheel holder 22 is moved from the first scribing head 23 to the first scribing head 23 while the first wheel holder receiving member 41 is rotated The second wheel holder receiving member 42 can be rotated in a direction opposite to the rotating direction of the first wheel holder receiving member 41 or at an angle different from the rotating angle of the first wheel holder receiving member 41 . Therefore, in the process of attaching the wheel holder 22 to the first scribing head 23 or separating the wheel holder 22 from the first scribing head 23, the second wheel holder receiving member 42, (In particular, the wheel holder 22 housed in the second wheel holder receiving member 42) can be rotated so as not to interfere with other parts.

또한, 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)가 상이한 방향 또는 상이한 각도로 회전되면서, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)로부터 동시에 휠 홀더(22)를 분리시키거나 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)에 동시에 휠 홀더(22)를 장착할 수 있다.It is also possible to separate the wheel holder 22 from the first and second scribing heads 23 simultaneously while rotating the first and second wheel holder receiving members 41 and 42 in different directions or at different angles, 1 and the second scribing head 23 at the same time.

또한, 회전 유닛(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42) 중 어느 하나만을 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 정지된 상태에서 제1 휠 홀더 수용 부재(41)만이 회전될 수 있다. 따라서, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 정지된 상태에 있을 수 있으므로, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)에 수용된 휠 홀더(22)가 주변 구성 부품과 간섭하는 것을 방지할 수 있다.Further, the rotating unit 45 can rotate only one of the first and second wheel holder receiving members 41 and 42. [ For example, in the process of mounting the wheel holder 22 to the first scribing head 23 or separating the wheel holder 22 from the first scribing head 23, the second wheel holder receiving member Only the first wheel holder receiving member 41 can be rotated in a state where the first wheel holder receiving member 41 is stopped. Therefore, in the process of mounting the wheel holder 22 to the first scraping head 23 or separating the wheel holder 22 from the first scraping head 23, the second wheel holder receiving member 42 The wheel holder 22 housed in the second wheel holder receiving member 42 can be prevented from interfering with peripheral components.

제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)는 각각 회전 유닛(45)의 회전 중심 주위로 둘레 방향으로 배치되는 복수의 휠 홀더 수용홈(441)을 포함할 수 있다. 복수의 휠 홀더 수용홈(441)에는 휠 홀더(22)가 삽입될 수 있다. 휠 홀더 수용홈(441)은 스크라이빙 휠(21)이 장착된 휠 홀더(22)의 형상에 대응하는 형상을 가질 수 있다.Each of the first and second wheel holder receiving members 41 and 42 may include a plurality of wheel holder receiving grooves 441 disposed circumferentially around the rotational center of the rotating unit 45, respectively. The wheel holder 22 can be inserted into the plurality of wheel holder receiving grooves 441. The wheel holder receiving groove 441 may have a shape corresponding to the shape of the wheel holder 22 on which the scribing wheel 21 is mounted.

잠금 유닛(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치되어 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)를 선택적으로 잠그고 잠금 해제하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 잠금 유닛(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된 휠 홀더(22)의 일면을 가압하는 가압 부재(461)와, 가압 부재(461)를 이동시키는 구동 장치(462)를 포함할 수 있다. 복수의 잠금 유닛(46)이 하나의 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치될 수 있다. 복수의 가압 부재(461)가 휠 홀더(22)의 측면에 균일한 압력을 가하면서 휠 홀더(22)를 고정시킬 수 있다.The lock unit 46 may be configured to selectively lock and unlock the wheel holder 22 installed in the wheel holder receiving groove 441 and inserted into the wheel holder receiving groove 441. The lock unit 46 includes a pressing member 461 for pressing one surface of the wheel holder 22 inserted into the wheel holder receiving groove 441 and a driving device 462 for moving the pressing member 461, . ≪ / RTI > A plurality of lock units 46 can be installed in one wheel holder receiving groove 441. [ The wheel holder 22 can be fixed while applying a uniform pressure to the side surfaces of the wheel holder 22 by the plurality of pressing members 461. [

다른 예로서, 잠금 유닛(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치되어 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)을 흡착하도록 구성될 수 있다. 이와 같이, 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)를 고정시킬 수 있다면, 잠금 유닛(46)의 구성은 한정되지 않는다.As another example, the lock unit 46 may be configured to be installed in the wheel holder receiving groove 441 and to attract the wheel holder 22 inserted into the wheel holder receiving groove 441. [ The configuration of the lock unit 46 is not limited as long as the wheel holder 22 inserted in the wheel holder receiving groove 441 can be fixed.

이하, 도 5 내지 도 11을 참조하여, 스크라이빙 장치의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the scribing apparatus will be described with reference to Figs. 5 to 11. Fig.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서 지지바(32)가 가이드 레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동되면, 기판(S)이 스크라이빙 유닛(20)으로 이송될 수 있다. 기판(S)이 기판 이송 장치(30)에 의해 단속적으로 이동되면서, 스크라이빙 유닛(20)에 의해 기판(S)에 스크라이빙 라인이 형성된다.2, when the holding unit 31 of the substrate transfer device 30 grasps the rear end of the substrate S, the supporting bar 32 is moved along the guide rail 33 to the Y axis The substrate S can be transported to the scribing unit 20. In this case, A scribing line is formed on the substrate S by the scribing unit 20 while the substrate S is intermittently moved by the substrate transfer device 30. [

다수의 기판(S)에 다수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 스크라이빙 휠(21)이 마모된다. 따라서, 스크라이빙 라인을 형성하는 공정을 원활하게 수행하기 위해, 마모된 스크라이빙 휠(21)을 새로운 스크라이빙 휠(21)로 교체할 필요가 있다. 이러한 스크라이빙 휠(21)의 교체는 미리 설정된 개수의 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성한 이후 또는 소정의 시간 간격으로 수행될 수 있다. 스크라이빙 휠(21)의 교체는 휠 홀더(22)를 교체하는 것을 통하여 수행될 수 있다.In the process of forming a plurality of scribing lines on a plurality of substrates (S), the scribing wheel (21) is worn. Therefore, in order to smoothly carry out the process of forming the scribing line, it is necessary to replace the worn scribing wheel 21 with a new scribing wheel 21. The replacement of the scribing wheel 21 may be performed after forming the scribing line on the predetermined number of the substrates S or at predetermined time intervals. The replacement of the scribing wheel 21 can be performed by replacing the wheel holder 22.

도 5 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 휠 홀더(22)의 교체는 본 발명의 실시예에 따른 휠 홀더 교체 장치(40)에 의해 수행될 수 있다. 이하, 휠 홀더(22)를 교체하는 과정이 도면에서 상측에 배치된 제1 스크라이빙 헤드(23)와 연관되어 설명되지만, 유사한 과정이 도면에서 하측에 배치된 스크라이빙 헤드(23)에 대해서도 수행될 수 있다.5 to 11, the replacement of the wheel holder 22 can be performed by the wheel holder replacement device 40 according to the embodiment of the present invention. Hereinafter, although the process of replacing the wheel holder 22 will be described in connection with the first scribing head 23 disposed on the upper side in the drawing, a similar process is performed on the scribing head 23 disposed on the lower side in the drawing . ≪ / RTI >

먼저, 도 5에 도시된 바와 같이, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어난 위치로부터 스크라이빙 유닛(20)에 인접한 위치로 이동될 수 있다. 이와 같은 과정에서, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있고, 지지대(48)가 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라 휠 홀더 수용 유닛(44)이 Y축 방향으로 이동될 수 있으며, 휠 홀더 수용 유닛(44)은 승강 유닛(47)에 의해 Z축 방향으로 이동될 수 있다.5, the wheel holder receiving unit 44 is moved from a position away from the movement path of the holding unit 31 of the substrate transfer device 30 and the transfer path of the substrate S to the scribing unit 20). ≪ / RTI > The wheel holder receiving unit 44 can be moved in the X axis direction along the support base 48 by the linear movement mechanism 481 and the support base 48 can be moved along the guide rail 49 along the Y axis The wheel holder accommodating unit 44 can be moved in the Y axis direction and the wheel holder accommodating unit 44 can be moved in the Z axis direction by the elevator unit 47. [

그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 지지대(48)가 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라 휠 홀더 수용 유닛(44)이 Y축 방향으로 스크라이빙 유닛(20)을 향하여 이동된다. 이때, 휠 홀더 수용 유닛(44)이 휠 홀더 지지 부재(26)에 끼워진 휠 홀더(22)로 용이하게 접근할 수 있도록, 스크라이빙 헤드(23)가 소정의 높이로 상승될 수 있다.6, as the support table 48 is moved along the guide rail 49 in the Y axis direction, the wheel holder receiving unit 44 is moved toward the scraping unit 20 in the Y axis direction . At this time, the scribing head 23 can be raised to a predetermined height so that the wheel holder accommodating unit 44 can be easily accessed by the wheel holder 22 fitted in the wheel holder supporting member 26. [

그리고, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 휠 홀더 수용홈(441)이 휠 홀더 지지 부재(26)에 끼워진 휠 홀더(22) 아래에 위치되면, 승강 유닛(47)에 의해 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 휠 홀더(22)를 향하여 상승되며, 이에 따라, 휠 홀더(41)가 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된다.7, when the wheel holder receiving groove 441 of the first wheel holder receiving member 41 is positioned below the wheel holder 22 fitted to the wheel holder supporting member 26, The first wheel holder receiving member 41 is lifted toward the wheel holder 22 by the first and second wheel holder receiving grooves 441 and 47 so that the wheel holder 41 is inserted into the wheel holder receiving groove 441.

이때, 잠금 유닛(46)이 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된 휠 홀더(22)를 고정시킨다.At this time, the lock unit 46 fixes the wheel holder 22 inserted in the wheel holder receiving groove 441.

그리고, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 하강하며, 이에 따라, 잠금 유닛(46)에 의해 고정된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)로부터 분리된다.8, the first wheel holder receiving member 41 is lowered so that the wheel holder 22 fixed by the lock unit 46 is separated from the wheel holder supporting member 26 do.

그리고, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 회전 유닛(45)에 의해 회전되며, 이에 따라, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)에 미리 수용된 새로운 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 아래에 위치된다.9, the first wheel holder receiving member 41 is rotated by the rotation unit 45, whereby a new wheel holder 22 (see Fig. 9) previously accommodated in the first wheel holder receiving member 41 Is located under the wheel holder supporting member 26. [0050]

그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 다시 상승되며, 이에 따라, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)에 수용된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 삽입된다.10, the first wheel holder receiving member 41 is raised again so that the wheel holder 22 housed in the first wheel holder receiving member 41 is rotated by the wheel holder supporting member 26 As shown in Fig.

이때, 잠금 유닛(46)이 휠 홀더(22)를 잠금 해제하면, 휠 홀더(22)는 삽입홈(261) 내에 설치된 자석(262)의 자력에 의해 삽입홈(261) 내에 유지될 수 있다.At this time, when the lock unit 46 unlocks the wheel holder 22, the wheel holder 22 can be held in the insertion groove 261 by the magnetic force of the magnet 262 installed in the insertion groove 261.

그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)는 하강한 다음, 원래의 위치로 복귀하거나, 다른 스크라이빙 헤드(23)에 장착된 휠 홀더(22)를 교체하기 위해 이동할 수 있다.11, the first wheel holder receiving member 41 is lowered and then returned to its original position, or the wheel holder 22 mounted on the other scribing head 23 is replaced Can move to.

한편, 지지대(48)에 복수의 휠 홀더 수용 유닛(44)이 구비되는 경우, 복수의 휠 홀더 수용 유닛(44) 중 일부는 제1 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 수행할 수 있으며, 다른 일부는 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 수행할 수 있다.On the other hand, when a plurality of wheel holder accommodating units 44 are provided on the support table 48, a part of the plurality of wheel holder accommodating units 44 is replaced with the wheel holder 22 of the first scriber head 23 And the other part can perform an operation of replacing the wheel holder 22 of the second scribing head 23.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 휠 홀더(22)를 자동으로 교체하는 휠 홀더 교체 장치(40)를 구비하므로, 스크라이빙 휠(21)을 신속하게 교체하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있다.The scribing device according to the embodiment of the present invention includes the wheel holder replacement device 40 for automatically replacing the wheel holder 22 so that the scribing wheel 21 is quickly replaced and the scribing process The time required can be reduced and the convenience of the operator can be improved.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to these specific embodiments, and can be appropriately changed within the scope of the claims.

10: 스테이지 20: 스크라이빙 유닛
30: 기판 이송 장치 40: 휠 홀더 교체 장치
44: 휠 홀더 수용 유닛 45: 회전 유닛
46: 잠금 유닛 47: 승강 유닛
48: 지지대 49: 가이드 레일10: stage 20: scribing unit
30: substrate transfer device 40: wheel holder replacement device
44: wheel holder receiving unit 45: rotating unit
46: Locking unit 47: Lift unit
48: support base 49: guide rail

Claims (7)

스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더와, 상기 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재와, 상기 휠 홀더 지지 부재가 연결되는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛; 및
둘레 방향으로 복수의 휠 홀더 수용홈을 가지며 상기 복수의 휠 홀더 수용홈 중 하나가 상기 휠 홀더 지지 부재에 대응하도록 회전되는 휠 홀더 수용 유닛을 포함하는 휠 홀더 교체 장치를 포함하는 스크라이빙 장치.A scribing unit including a wheel holder for holding a scribing wheel, a wheel holder supporting member for receiving the wheel holder, and a scribing head to which the wheel holder supporting member is connected; And
And a wheel holder accommodating unit having a plurality of wheel holder accommodating grooves in the circumferential direction and rotated so that one of the plurality of wheel holder accommodating grooves corresponds to the wheel holder supporting member. 청구항 1에 있어서,
상기 휠 홀더 수용 유닛은, 서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 스크라이빙 헤드 중 어느 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 상기 복수의 휠 홀더 수용홈을 갖는 제1 휠 홀더 수용 부재와, 다른 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 상기 휠 홀더 수용홈을 갖는 제2 휠 홀더 수용 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
Wherein the wheel holder receiving unit includes a first wheel holder receiving member corresponding to any one of the pair of scriber heads arranged opposite to each other and having the plurality of wheel holder receiving grooves, And a second wheel holder receiving member corresponding to the scribing head and having the wheel holder receiving groove. 청구항 2에 있어서,
상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재 사이에 설치되어 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상대 회전시키는 회전 유닛을 더 포함하는 스크라이빙 장치.The method of claim 2,
And a rotating unit installed between the first and second wheel holder receiving members for relatively rotating the first and second wheel holder receiving members. 청구항 3에 있어서,
상기 회전 유닛은 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method of claim 3,
And the rotating unit rotates the first and second wheel holder receiving members in different directions. 청구항 3에 있어서,
상기 회전 유닛은 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 각도로 회전시키는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method of claim 3,
Wherein the rotating unit rotates the first and second wheel holder receiving members at different angles. 청구항 1에 있어서,
상기 휠 홀더 수용홈에 구비되어 상기 휠 홀더 수용홈에 삽입된 상기 휠 홀더를 고정시키는 잠금 유닛을 더 포함하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
And a lock unit provided in the wheel holder receiving groove for fixing the wheel holder inserted in the wheel holder receiving groove. 청구항 6에 있어서,
상기 잠금 유닛은 상기 휠 홀더 수용홈 내에 삽입된 상기 휠 홀더의 일면을 가압하는 가압 부재와, 상기 가압 부재를 이동시키는 구동 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method of claim 6,
Wherein the lock unit includes a pressing member for pressing one surface of the wheel holder inserted in the wheel holder receiving groove and a driving device for moving the pressing member.
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