KR102582732B1 - Scribing apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재를 포함하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛; 휠 홀더를 파지하여 휠 홀더 지지 부재에 장착하거나 휠 홀더 지지 부재로부터 분리하는 휠 홀더 교체 유닛; 및 휠 홀더 교체 유닛이 휠 홀더를 휠 홀더 지지 부재에 장착할 때 휠 홀더에 대한 휠 홀더 지지 부재의 변위를 측정하는 변위 측정 유닛을 포함할 수 있다.A scribing device according to an embodiment of the present invention includes a scribing unit including a scribing head including a wheel holder support member into which a wheel holder holding a scribing wheel is fitted; a wheel holder replacement unit that grips the wheel holder and mounts it on the wheel holder support member or removes it from the wheel holder support member; and a displacement measurement unit that measures the displacement of the wheel holder support member relative to the wheel holder when the wheel holder replacement unit mounts the wheel holder to the wheel holder support member.

Figure R1020170120638
Figure R1020170120638

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}Scribing device {SCRIBING APPARATUS}

본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing device for forming scribing lines on a substrate.

일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.In general, liquid crystal display panels, organic electroluminescent display panels, inorganic electroluminescent display panels, transmissive projector substrates, reflective projector substrates, etc. used in flat panel displays are made of brittle mother glass panels such as glass (hereinafter referred to as 'substrates'). ) A unit glass panel (hereinafter referred to as a 'unit substrate') cut to a predetermined size is used.

기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 절단하여 단위 기판을 얻는 브레이킹 공정을 포함한다.The process of cutting a substrate involves forming a scribing line by moving a scribing wheel made of a diamond-like material while pressing it along the cutting line where the substrate is to be cut, and cutting the substrate along the scribing line. It includes a breaking process of cutting the substrate by applying pressure to obtain a unit substrate.

스크라이빙 공정에서는, 기판의 이송 방향을 기준으로 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부가 지지된 상태에서, 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부 사이의 영역 내에서 스크라이빙 휠이 이동하면서 기판에 스크라이빙 라인을 형성하게 된다.In the scribing process, with the front and rear ends of the substrate supported based on the transfer direction of the substrate, the scribing wheel moves within the area between the front and rear ends of the substrate to cut the substrate. A scribing line is formed.

한편, 다수의 기판에 다수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 스크라이빙 휠이 마모되므로, 스크라이빙 라인을 형성하는 공정을 원활하게 수행하기 위해, 마모된 스크라이빙 휠을 새로운 스크라이빙 휠로 교체할 필요가 있다.Meanwhile, in the process of forming multiple scribing lines on multiple substrates, the scribing wheel is worn, so in order to smoothly perform the process of forming the scribing line, the worn scribing wheel must be replaced with a new scribing wheel. It is necessary to replace it with a cribbing wheel.

그러나, 종래에는 스크라이빙 휠을 작업자가 수동으로 교체하였으므로, 스크라이빙 휠을 교체하는 데에 장시간이 요구되며, 스크라이빙 휠의 교체 후, 스크라이빙 휠의 위치를 조절하는 별도의 과정이 요구되는 문제점이 있다.However, in the past, workers replaced the scribing wheel manually, so a long time was required to replace the scribing wheel, and a separate process to adjust the position of the scribing wheel was required after replacing the scribing wheel. There is a problem that requires this.

대한민국공개특허 제10-2007-0070824호(2007.07.04)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2007-0070824 (2007.07.04)

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 스크라이빙 휠을 자동으로 교체할 수 있도록 하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 데에 있다.The present invention is intended to solve the problems of the prior art described above. The purpose of the present invention is to reduce the time required for the scribing process and improve operator convenience by automatically replacing the scribing wheel. The purpose is to provide a scribing device.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재를 포함하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛; 휠 홀더를 파지하여 휠 홀더 지지 부재에 장착하거나 휠 홀더 지지 부재로부터 분리하는 휠 홀더 교체 유닛; 및 휠 홀더 교체 유닛이 휠 홀더를 휠 홀더 지지 부재에 장착할 때 휠 홀더에 대한 휠 홀더 지지 부재의 변위를 측정하는 변위 측정 유닛을 포함할 수 있다.A scribing device according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a scribing unit including a scribing head including a wheel holder support member into which a wheel holder holding a scribing wheel is inserted. ; a wheel holder replacement unit that grips the wheel holder and mounts it on the wheel holder support member or removes it from the wheel holder support member; and a displacement measurement unit that measures the displacement of the wheel holder support member relative to the wheel holder when the wheel holder replacement unit mounts the wheel holder to the wheel holder support member.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 변위 측정 유닛에 의해 측정된 휠 홀더 지지 부재의 변위가 기 설정 변위의 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.The scribing device according to an embodiment of the present invention may further include a control unit that determines whether the displacement of the wheel holder support member measured by the displacement measurement unit is outside a preset displacement range.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재를 포함하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛; 휠 홀더를 파지하여 휠 홀더 지지 부재에 장착하거나 휠 홀더 지지 부재로부터 분리하는 휠 홀더 교체 유닛; 및 휠 홀더 교체 유닛이 휠 홀더를 휠 홀더 지지 부재에 장착할 때 휠 홀더에 의해 휠 홀더 지지 부재에 가해지는 하중을 측정하는 하중 측정 유닛을 포함할 수 있다.In addition, a scribing device according to an embodiment of the present invention includes a scribing unit including a scribing head including a wheel holder support member into which a wheel holder holding a scribing wheel is inserted; a wheel holder replacement unit that grips the wheel holder and mounts it on the wheel holder support member or removes it from the wheel holder support member; and a load measurement unit that measures the load applied by the wheel holder to the wheel holder support member when the wheel holder replacement unit mounts the wheel holder to the wheel holder support member.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 하중 측정 유닛에 의해 측정된 휠 홀더 지지 부재에 가해지는 하중이 기 설정 하중의 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.The scribing device according to an embodiment of the present invention may further include a control unit that determines whether the load applied to the wheel holder support member measured by the load measurement unit is outside the range of the preset load.

휠 홀더 교체 유닛은 둘레 방향으로 복수의 휠 홀더 수용홈을 가지며, 복수의 휠 홀더 수용홈 중 하나가 휠 홀더 지지 부재에 대향하도록 회전될 수 있다.The wheel holder replacement unit has a plurality of wheel holder receiving grooves in the circumferential direction, and one of the plurality of wheel holder receiving grooves can be rotated to face the wheel holder support member.

휠 홀더 수용 모듈은, 서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 스크라이빙 헤드 중 어느 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 복수의 휠 홀더 수용홈을 갖는 제1 휠 홀더 수용 부재와, 다른 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 복수의 휠 홀더 수용홈을 갖는 제2 휠 홀더 수용 부재를 포함할 수 있다.The wheel holder accommodating module includes a first wheel holder accommodating member corresponding to one scribing head of a pair of scribing heads arranged opposite to each other and having a plurality of wheel holder accommodating grooves, and the other scribing head. It may include a second wheel holder accommodating member corresponding to the bing head and having a plurality of wheel holder accommodating grooves.

휠 홀더 교체 유닛은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재 사이에 설치되어 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상대 회전시키는 회전 모듈을 더 포함할 수 있다.The wheel holder replacement unit may further include a rotation module installed between the first and second wheel holder accommodating members to relatively rotate the first and second wheel holder accommodating members.

회전 모듈은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 동일한 방향 또는 상이한 방향으로 회전시킬 수 있다.The rotation module can rotate the first and second wheel holder receiving members in the same direction or in different directions.

회전 모듈은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 각도로 회전시킬 수 있다.The rotation module can rotate the first and second wheel holder receiving members at different angles.

휠 홀더 교체 유닛은 휠 홀더 수용홈에 구비되어 휠 홀더 수용홈에 삽입된 휠 홀더를 고정시키는 잠금 모듈을 더 포함할 수 있다.The wheel holder replacement unit may further include a locking module provided in the wheel holder receiving groove to secure the wheel holder inserted into the wheel holder receiving groove.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 휠 홀더를 자동으로 교체하는 휠 홀더 교체 유닛을 구비하므로, 스크라이빙 휠을 신속하게 교체하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있다.The scribing device according to an embodiment of the present invention is equipped with a wheel holder replacement unit that automatically replaces the wheel holder, thereby quickly replacing the scribing wheel, reducing the time required for the scribing process and increasing operator convenience. It can be improved.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 스크라이빙 유닛의 일부분이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 휠 홀더 교체 유닛의 일부분이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 5 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 동작이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 요부가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 14 및 도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 요부가 개략적으로 도시된 도면이다.1 is a plan view schematically showing a scribing device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a side view schematically showing a scribing device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a diagram schematically showing a portion of a scribing unit of a scribing device according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a diagram schematically showing a portion of a wheel holder replacement unit of a scribing device according to an embodiment of the present invention.
5 to 11 are diagrams schematically showing the operation of a scribing device according to an embodiment of the present invention.
12 and 13 are diagrams schematically showing main parts of a scribing device according to another embodiment of the present invention.
14 and 15 are diagrams schematically showing main parts of a scribing device according to another embodiment of the present invention.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.A scribing device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the attached drawings.

이하, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.Hereinafter, the direction in which the substrate S in which the scribing process is to be performed is transferred is defined as the Y-axis direction, and the direction perpendicular to the direction in which the substrate S is transferred (Y-axis direction) is defined as the X-axis direction. And, the direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate S is placed is defined as the Z-axis direction.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스테이지(10)와, 스크라이빙 휠(21)을 유지하는 휠 홀더(22)를 지지하는 휠 홀더 지지 부재(26)를 포함하는 스크라이빙 헤드(23)를 포함하는 스크라이빙 유닛(20)과, 기판(S)을 파지하여 스크라이빙 유닛(20)으로 이송하는 기판 이송 장치(30)와, 휠 홀더(22)를 교체하도록 구성되는 휠 홀더 교체 유닛(40)을 포함할 수 있다.As shown in Figures 1 and 2, the scribing device according to an embodiment of the present invention includes a stage 10 and a wheel holder supporting a wheel holder 22 holding the scribing wheel 21. A scribing unit 20 including a scribing head 23 including a support member 26, and a substrate transfer device 30 that grips the substrate S and transfers it to the scribing unit 20. and a wheel holder replacement unit 40 configured to replace the wheel holder 22.

스테이지는 Y축 방향으로 소정의 간격으로 이격되게 배치되는 로딩 스테이지(11) 및 언로딩 스테이지(12)를 포함한다. 로딩 스테이지(11)는 기판(S)이 스크라이빙 장치로 로딩되는 영역을 제공하며, 언로딩 스테이지(12)는 스크라이빙 공정을 통하여 스크라이빙 라인이 형성된 기판(S)이 스크라이빙 장치로부터 언로딩되는 영역을 제공한다.The stage includes a loading stage 11 and an unloading stage 12 spaced apart from each other at a predetermined interval in the Y-axis direction. The loading stage 11 provides an area where the substrate S is loaded with a scribing device, and the unloading stage 12 provides a scribing area for the substrate S on which a scribing line is formed through a scribing process. Provides an area for unloading from the device.

로딩 스테이지(11) 및 언로딩 스테이지(12)는 각각 복수의 벨트(13)를 포함할 수 있다. 복수의 벨트(13)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(13)는 복수의 롤러(14)에 의해 지지되며, 복수의 롤러(14) 중 적어도 하나는 벨트(13)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 롤러일 수 있다.The loading stage 11 and the unloading stage 12 may each include a plurality of belts 13. The plurality of belts 13 may be spaced apart from each other in the X-axis direction. Each belt 13 is supported by a plurality of rollers 14, and at least one of the plurality of rollers 14 may be a driving roller that provides driving force to rotate the belt 13.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 유닛(20)은 스크라이빙 헤드(23)가 장착되는 헤드 지지대(24)와, 헤드 지지대(24)가 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 프레임(25)을 포함한다.As shown in Figures 2 and 3, the scribing unit 20 includes a head support 24 on which the scribing head 23 is mounted, and the head support 24 is installed to be movable in the X-axis direction. It includes a frame (25) that is

복수의 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 구비될 수 있다. 예를 들면, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 배치됨에 따라, 한 쌍의 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)의 일면(상면) 및 타면(하면)에 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 따라서, 한 쌍의 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)의 일면 및 타면을 가압한 상태에서, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)에 대한 기판(S)의 상대 이동 및/또는 기판(S)에 대한 한 쌍의 스크라이빙 헤드(23)의 상대 이동에 의하여, 기판(S)의 일면 및 타면에는 각각 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.A plurality of scribing heads 23 may be provided to face each other and be spaced apart from each other in the Z-axis direction. For example, as a pair of scribing heads 23 are arranged to face each other and spaced apart from each other in the Z-axis direction, a pair of scribing wheels 21 are positioned on one side (upper surface) and the other side of the substrate S. They may be arranged to face each other on the other side (lower surface). Therefore, with the pair of scribing wheels 21 pressing one side and the other side of the substrate S, the relative movement of the substrate S with respect to the pair of scribing heads 23 and/or the substrate By relative movement of the pair of scribing heads 23 with respect to (S), scribing lines may be formed on one side and the other side of the substrate (S), respectively.

스크라이빙 헤드(23)는 헤드 지지대(24)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 스크라이빙 헤드(23) 및 헤드 지지대(24) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)는 직선 이동 기구에 의해 헤드 지지대(24)에 대하여 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)에 지지된 휠 홀더(22)도 Z축 방향으로 이동될 수 있다.The scribing head 23 is installed to be movable in the Z-axis direction with respect to the head support 24. A linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism may be provided between the scribing head 23 and the head support 24. Accordingly, the scribing head 23 can be moved in the Z-axis direction with respect to the head support 24 by a linear movement mechanism, and accordingly, the wheel holder 22 supported on the scribing head 23 can also be moved in the Z-axis direction.

헤드 지지대(24)와 프레임(25) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 헤드 지지대(24)는 직선 이동 기구에 의해 프레임(24)을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 헤드(23)가 X축 방향으로 이동될 수 있다.A linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism may be provided between the head support 24 and the frame 25. Accordingly, the head support 24 can be moved in the X-axis direction along the frame 24 by a linear movement mechanism, and thus the scribing head 23 can be moved in the X-axis direction.

예를 들면, 프레임(25)에는 X축 방향으로 소정의 간격으로 복수의 스크라이빙 헤드(23)가 구비될 수 있다.For example, the frame 25 may be provided with a plurality of scribing heads 23 at predetermined intervals in the X-axis direction.

스크라이빙 헤드(23)에는 휠 홀더(22)를 지지하는 휠 홀더 지지 부재(26)가 장착될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 삽입될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 Z축 방향과 평행한 축을 중심으로 회전 가능하게 장착될 수 있다. 이를 위해, 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 연결되는 부분에는 베어링(미도시)이 장착될 수 있다.The scribing head 23 may be equipped with a wheel holder support member 26 that supports the wheel holder 22. The wheel holder support member 26 can be inserted into the scribing head 23. The wheel holder support member 26 may be rotatably mounted on the scribing head 23 about an axis parallel to the Z-axis direction. To this end, a bearing (not shown) may be mounted on the portion where the wheel holder support member 26 is connected to the scribing head 23.

이와 같이 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 회전 가능하게 장착되므로, 스크라이빙 휠(21)이 기판(S)에 가압된 상태에서 스크라이빙 헤드(23) 및/또는 기판(S)이 이동하면, 스크라이빙 휠(21)의 날의 방향이 스크라이빙 휠(21)이 이동하는 방향과 일치되도록 휠 홀더 지지 부재(26)가 회전될 수 있다. 이와 같은 휠 홀더 지지 부재(26)의 회전에 의해, 스크라이빙 휠(21) 및 휠 홀더(22)의 방향이 결정될 수 있다.In this way, the wheel holder support member 26 is rotatably mounted on the scribing head 23, so that while the scribing wheel 21 is pressed against the substrate S, the scribing head 23 and/ Alternatively, when the substrate S moves, the wheel holder support member 26 may be rotated so that the direction of the blade of the scribing wheel 21 matches the direction in which the scribing wheel 21 moves. By rotating the wheel holder support member 26, the directions of the scribing wheel 21 and the wheel holder 22 can be determined.

휠 홀더 지지 부재(26)에는 휠 홀더(22)가 삽입되는 삽입홈(261)이 형성될 수 있다. 삽입홈(261) 내에는 자석(262)이 설치될 수 있으며, 삽입홈(261)에 삽입되는 휠 홀더(22)의 부분은 자석(262)에 부착되는 재료로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 휠 홀더(22)가 삽입홈(261)에 삽입되면, 휠 홀더(22)가 자석(262)에 부착되면서, 휠 홀더(22)가 고정될 수 있다. 또한, 휠 홀더(22)를 자석(262)으로부터 잡아당기는 것에 의해, 휠 홀더(22)가 삽입홈(261)으로부터 용이하게 분리될 수 있다.An insertion groove 261 into which the wheel holder 22 is inserted may be formed in the wheel holder support member 26. A magnet 262 may be installed in the insertion groove 261, and the portion of the wheel holder 22 inserted into the insertion groove 261 may be made of a material attached to the magnet 262. Accordingly, when the wheel holder 22 is inserted into the insertion groove 261, the wheel holder 22 is attached to the magnet 262 and the wheel holder 22 can be fixed. Additionally, by pulling the wheel holder 22 from the magnet 262, the wheel holder 22 can be easily separated from the insertion groove 261.

기판 이송 장치(30)는 기판(S)을 파지하는 파지 유닛(31)과, 파지 유닛(31)을 지지하는 지지바(32)와, 지지바(32)의 양단에 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(33)을 포함할 수 있다. 지지바(32)의 양단과 가이드 레일(33) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 기판(S)은 파지 유닛(31)에 의해 파지된 상태로 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이송될 수 있다.The substrate transfer device 30 includes a holding unit 31 that holds the substrate S, a support bar 32 that supports the holding unit 31, and is connected to both ends of the support bar 32 and moves in the Y-axis direction. It may include an extending guide rail 33. A linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism may be provided between both ends of the support bar 32 and the guide rail 33. Accordingly, the substrate S can be transferred in the Y-axis direction by a linear movement mechanism while being held by the holding unit 31.

지지바(32)에는 복수의 파지 유닛(31)이 구비될 수 있다. 이 경우, 복수의 파지 유닛(31)은 기판(S)을 함께 파지할 수 있다. 파지 유닛(31)은 지지바(32)에 X축 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 예를 들면, 파지 유닛(31)과 지지바(32) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 유닛(31)는 직선 이동 기구에 의해 지지바(32)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다.The support bar 32 may be provided with a plurality of gripping units 31. In this case, the plurality of gripping units 31 may grip the substrate S together. The gripping unit 31 may be provided on the support bar 32 to be movable in the X-axis direction. For example, a linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism may be provided between the gripping unit 31 and the support bar 32. there is. Accordingly, the gripping unit 31 can be moved in the X-axis direction along the support bar 32 by a linear movement mechanism.

도 2에 도시된 바와 같이, 파지 유닛(31)은, 기판(S)을 파지하도록 구성되는 한 쌍의 파지 부재(311)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 일반적인 클램프와 같이, 한 쌍의 파지 부재(311)는 유압 또는 공압에 의해 서로 이격되거나 인접하게 이동되도록 구성될 수 있다. 한 쌍의 파지 부재(311)는 서로 인접하게 이동되어 기판(S)을 물리적으로 가압하여 유지할 수 있고, 서로 이격되게 이동되어 기판(S)을 해제할 수 있다.As shown in FIG. 2 , the gripping unit 31 may include a pair of gripping members 311 configured to grip the substrate S. For example, like a general clamp, a pair of gripping members 311 may be configured to be moved apart from or adjacent to each other by hydraulic or pneumatic pressure. The pair of holding members 311 can be moved adjacent to each other to physically press and hold the substrate S, and can be moved apart from each other to release the substrate S.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 휠 홀더 교체 유닛(40)은 교체될 또는 교체된 휠 홀더(22)를 수용하는 휠 홀더 수용 모듈(44)과, 휠 홀더 수용 모듈(44)을 Z축 방향과 평행한 축을 중심으로 회전시키는 회전 모듈(45)과, 휠 홀더 수용 모듈(44)에 설치되어 휠 홀더 수용 모듈(44)에 수용되는 휠 홀더(22)을 선택적으로 잠그고 잠금 해제하는 잠금 모듈(46)과, 휠 홀더 수용 모듈(44)을 Z축 방향으로 이동시키는 승강 모듈(47)과, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 X축 방향으로 이동 가능하게 지지되는 지지대(48)와, 지지대(48)의 양단에 연결되어 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(49)을 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 4 and 5, the wheel holder replacement unit 40 includes a wheel holder accommodating module 44 that accommodates a wheel holder 22 to be replaced or a replacement wheel holder accommodating module 44. A lock that selectively locks and unlocks the rotation module 45 that rotates about an axis parallel to the axial direction and the wheel holder 22 installed in the wheel holder accommodating module 44 and accommodated in the wheel holder accommodating module 44. A module 46, an elevating module 47 that moves the wheel holder accommodating module 44 in the Z-axis direction, a support 48 on which the wheel holder accommodating module 44 is movably supported in the X-axis direction, It may include a guide rail 49 connected to both ends of the support 48 and extending in the Y-axis direction.

휠 홀더 수용 모듈(44)은 스크라이빙 유닛(20)의 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더 지지 부재(26)로 접근 가능하게 구성될 수 있다. 휠 홀더 수용 모듈(44)은 스테이지(10) 상부에 X축 방향으로 연장되는 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다. 이를 위하여, 휠 홀더 수용 모듈(44)과 지지대(48) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구(481)가 구비될 수 있다.The wheel holder receiving module 44 may be configured to be accessible to the wheel holder support member 26 of the scribing head 23 of the scribing unit 20. The wheel holder accommodation module 44 may be moved in the X-axis direction along the support 48 extending in the X-axis direction on the upper part of the stage 10. To this end, between the wheel holder accommodation module 44 and the support 48, a linear movement mechanism 481 such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism is provided. It can be provided.

휠 홀더 수용 모듈(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 X축 방향으로 이동되어 스크라이빙 헤드(23)로 접근할 수 있다. 또한, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동되어 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판 이송 장치(30)에 의해 이송되는 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어날 수 있다. 따라서, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 기판 이송 장치(30) 또는 기판(S)과 간섭하는 것이 방지될 수 있다.The wheel holder accommodating module 44 can be moved in the X-axis direction by the linear movement mechanism 481 to approach the scribing head 23. In addition, the wheel holder receiving module 44 is moved in the The substrate (S) transported by 30) may deviate from the transport path. Accordingly, the wheel holder accommodating module 44 can be prevented from interfering with the substrate transfer device 30 or the substrate S.

지지대(48)에는 하나의 휠 홀더 수용 모듈(44)이 설치되는 것으로 도시되지만, 복수의 휠 홀더 수용 모듈(44)이 지지대(48)에 서로 이격되게 설치될 수 있다. 지지대(48)는 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들면, 지지대(48)과 가이드 레일(49) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 지지대(48)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동하는 것에 의해, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 Y축 방향으로 이동될 수 있다.Although one wheel holder accommodating module 44 is shown to be installed on the support 48, a plurality of wheel holder accommodating modules 44 may be installed on the support 48 to be spaced apart from each other. The support 48 can be moved in the Y-axis direction along the guide rail 49. For example, a linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism may be provided between the support 48 and the guide rail 49. . Accordingly, the wheel holder accommodating module 44 can be moved in the Y-axis direction by the support 48 moving in the Y-axis direction by the linear movement mechanism.

승강 모듈(47)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.The lifting module 47 may be comprised of a linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism.

휠 홀더 수용 모듈(44)은 승강 모듈(47)에 의해 Z축 방향으로 이동되면서, 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)로부터 분리시킬 수 있고, 휠 홀더 수용 모듈(44)에 수용된 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착시킬 수 있다. 또한, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 승강 모듈(47)에 의해 Z축 방향으로 이동되어 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어날 수 있다. 따라서, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 기판 이송 장치(30) 또는 기판(S)과 간섭하는 것이 방지될 수 있다.The wheel holder accommodating module 44 can be moved in the Z-axis direction by the elevating module 47, separating the wheel holder 22 from the wheel holder support member 26, and the wheel holder accommodating module 44 is accommodated in the wheel holder accommodating module 44. The wheel holder 22 can be mounted on the wheel holder support member 26. In addition, the wheel holder receiving module 44 is moved in the Z-axis direction by the lifting module 47 and can deviate from the movement path of the gripping unit 31 of the substrate transfer device 30 and the transfer path of the substrate S. . Accordingly, the wheel holder accommodating module 44 can be prevented from interfering with the substrate transfer device 30 or the substrate S.

한편, 스크라이빙 헤드(23)가 Z축 방향으로 서로 이격되어 서로 대향하도록 배치되어, 상부에 배치되는 제1 스크라이빙 헤드(23)와 하부에 배치되는 제2 스크라이빙 헤드(23)를 포함하는 경우, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착된 휠 홀더(22)를 모두 교체하도록 구성될 수 있다.Meanwhile, the scribing heads 23 are arranged to face each other and spaced apart from each other in the Z-axis direction, with the first scribing head 23 disposed at the top and the second scribing head 23 disposed at the bottom. When included, the wheel holder receiving module 44 may be configured to replace all of the wheel holders 22 mounted on the wheel holder support members 26 of the first and second scribing heads 23.

이를 위하여, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 제1 스크라이빙 헤드(23)에 대응하도록 배치되는 제1 휠 홀더 수용 부재(41)와, 제2 스크라이빙 헤드(23)에 대응하도록 배치되는 제2 휠 홀더 수용 부재(42)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)는 원형의 판 형상으로 형성될 수 있다. 이와 같이, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 포함하므로, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 순차적으로 또는 동시에 신속하게 수행할 수 있다.To this end, the wheel holder accommodating module 44 includes a first wheel holder accommodating member 41 disposed to correspond to the first scribing head 23, and a second scribing head 23. It may include a second wheel holder receiving member 42. The first and second wheel holder receiving members 41 and 42 may be formed in a circular plate shape. In this way, since the wheel holder accommodating module 44 includes the first and second wheel holder accommodating members 41 and 42, it is possible to replace the wheel holders 22 of the first and second scribing heads 23. Operations can be performed quickly, sequentially or simultaneously.

그리고, 회전 모듈(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42) 사이에 설치될 수 있다. 회전 모듈(45)은 연결 로드(451)을 통하여 승강 모듈(47)에 연결될 수 있다. 회전 모듈(45)은 정방향 및 역방향으로 회전할 수 있는 일반적인 회전 모터로 구성될 수 있다. 회전 모듈(45)은 회전 모터와 연결되는 복수의 기어 및/또는 링크를 포함할 수 있으며, 이에 따라, 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 다양한 방식으로 상대 회전시킬 수 있다.And, the rotation module 45 may be installed between the first and second wheel holder receiving members 41 and 42. The rotation module 45 may be connected to the lifting module 47 through a connecting rod 451. The rotation module 45 may be configured as a general rotation motor that can rotate in the forward and reverse directions. The rotation module 45 may include a plurality of gears and/or links connected to the rotation motor, and thus the first and second wheel holder accommodation members 41 and 42 may be relatively rotated in various ways. .

예를 들면, 회전 모듈(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 서로 동일한 방향 및/또는 상이한 방향으로 회전시킬 수 있다. 또한, 회전 모듈(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)를 상이한 각도로 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 회전되면서 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 회전 방향과 반대 방향으로 회전될 수 있거나 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 회전 각도와 다른 각도로 회전될 수 있다. 따라서, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)(특히, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)에 수용된 휠 홀더(22))가 다른 부품과 간섭하지 않도록 회전될 수 있다.For example, the rotation module 45 may rotate the first and second wheel holder receiving members 41 and 42 in the same direction and/or in different directions. Additionally, the rotation module 45 can rotate the first and second wheel holder receiving members 41 and 42 at different angles. For example, while the first wheel holder receiving member 41 is rotated, the wheel holder 22 is mounted on the first scribing head 23 or the wheel holder 22 is removed from the first scribing head 23. In the process of separation, the second wheel holder accommodating member 42 may be rotated in a direction opposite to the rotation direction of the first wheel holder accommodating member 41 or at an angle different from the rotation angle of the first wheel holder accommodating member 41. can be rotated. Therefore, in the process of mounting the wheel holder 22 to the first scribing head 23 or separating the wheel holder 22 from the first scribing head 23, the second wheel holder receiving member 42 (In particular, the wheel holder 22 accommodated in the second wheel holder receiving member 42) can be rotated so as not to interfere with other parts.

또한, 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)가 상이한 방향 또는 상이한 각도로 회전되면서, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)로부터 동시에 휠 홀더(22)를 분리시키거나 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(23)에 동시에 휠 홀더(22)를 장착할 수 있다.In addition, the first and second wheel holder receiving members 41 and 42 are rotated in different directions or at different angles to simultaneously separate or remove the wheel holder 22 from the first and second scribing heads 23. The wheel holder 22 can be mounted on the first and second scribing heads 23 at the same time.

또한, 회전 모듈(45)은 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42) 중 어느 하나만을 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 정지된 상태에서 제1 휠 홀더 수용 부재(41)만이 회전될 수 있다. 따라서, 제1 스크라이빙 헤드(23)에 휠 홀더(22)를 장착하거나 제1 스크라이빙 헤드(23)로부터 휠 홀더(22)를 분리하는 과정에서 제2 휠 홀더 수용 부재(42)가 정지된 상태에 있을 수 있으므로, 제2 휠 홀더 수용 부재(42)에 수용된 휠 홀더(22)가 주변 구성 부품과 간섭하는 것을 방지할 수 있다.Additionally, the rotation module 45 can rotate only one of the first and second wheel holder accommodating members 41 and 42. For example, in the process of mounting the wheel holder 22 to the first scribing head 23 or separating the wheel holder 22 from the first scribing head 23, the second wheel holder receiving member ( In a state where 42) is stopped, only the first wheel holder receiving member 41 can be rotated. Therefore, in the process of mounting the wheel holder 22 to the first scribing head 23 or separating the wheel holder 22 from the first scribing head 23, the second wheel holder receiving member 42 is Since it can be in a stationary state, the wheel holder 22 accommodated in the second wheel holder accommodating member 42 can be prevented from interfering with surrounding components.

제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재(41, 42)는 각각 회전 모듈(45)의 회전 중심 주위로 둘레 방향으로 배치되는 복수의 휠 홀더 수용홈(441)을 포함할 수 있다. 복수의 휠 홀더 수용홈(441)에는 휠 홀더(22)가 삽입될 수 있다. 휠 홀더 수용홈(441)은 스크라이빙 휠(21)이 장착된 휠 홀더(22)의 형상에 대응하는 형상을 가질 수 있다.The first and second wheel holder receiving members 41 and 42 may each include a plurality of wheel holder receiving grooves 441 disposed in a circumferential direction around the rotation center of the rotation module 45. Wheel holders 22 may be inserted into the plurality of wheel holder receiving grooves 441. The wheel holder receiving groove 441 may have a shape corresponding to the shape of the wheel holder 22 on which the scribing wheel 21 is mounted.

잠금 모듈(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치되어 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)를 선택적으로 잠그고 잠금 해제하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 잠금 모듈(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된 휠 홀더(22)의 일면을 가압하는 가압 부재(461)와, 가압 부재(461)를 이동시키는 구동 장치(462)를 포함할 수 있다. 복수의 잠금 모듈(46)이 하나의 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치될 수 있다. 복수의 가압 부재(461)가 휠 홀더(22)의 측면에 균일한 압력을 가하면서 휠 홀더(22)를 고정시킬 수 있다.The locking module 46 may be installed in the wheel holder receiving groove 441 and configured to selectively lock and unlock the wheel holder 22 inserted into the wheel holder receiving groove 441. For example, the locking module 46 includes a pressing member 461 that presses one surface of the wheel holder 22 inserted into the wheel holder receiving groove 441, and a driving device 462 that moves the pressing member 461. may include. A plurality of locking modules 46 may be installed in one wheel holder receiving groove 441. A plurality of pressing members 461 may fix the wheel holder 22 while applying uniform pressure to the side surface of the wheel holder 22.

다른 예로서, 잠금 모듈(46)은 휠 홀더 수용홈(441) 내에 설치되어 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)을 흡착하도록 구성될 수 있다. 이와 같이, 휠 홀더 수용홈(441)에 삽입된 휠 홀더(22)를 고정시킬 수 있다면, 잠금 모듈(46)의 구성은 한정되지 않는다.As another example, the locking module 46 may be installed in the wheel holder receiving groove 441 and configured to adsorb the wheel holder 22 inserted into the wheel holder receiving groove 441. In this way, as long as the wheel holder 22 inserted into the wheel holder receiving groove 441 can be fixed, the configuration of the locking module 46 is not limited.

이하, 도 5 내지 도 11을 참조하여, 스크라이빙 장치의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the scribing device will be described with reference to FIGS. 5 to 11.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서 지지바(32)가 가이드 레일(33)을 따라 Y축 방향으로 이동되면, 기판(S)이 스크라이빙 유닛(20)으로 이송될 수 있다. 기판(S)이 기판 이송 장치(30)에 의해 단속적으로 이동되면서, 스크라이빙 유닛(20)에 의해 기판(S)에 스크라이빙 라인이 형성된다.First, as shown in FIG. 2, while the holding unit 31 of the substrate transfer device 30 holds the trailing end of the substrate S, the support bar 32 moves along the guide rail 33 along the Y-axis. When moved in this direction, the substrate S may be transferred to the scribing unit 20. As the substrate S is intermittently moved by the substrate transfer device 30, a scribing line is formed on the substrate S by the scribing unit 20.

다수의 기판(S)에 다수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 스크라이빙 휠(21)이 마모된다. 따라서, 스크라이빙 라인을 형성하는 공정을 원활하게 수행하기 위해, 마모된 스크라이빙 휠(21)을 새로운 스크라이빙 휠(21)로 교체할 필요가 있다. 이러한 스크라이빙 휠(21)의 교체는 미리 설정된 개수의 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성한 이후 또는 소정의 시간 간격으로 수행될 수 있다. 스크라이빙 휠(21)의 교체는 휠 홀더(22)를 교체하는 것을 통하여 수행될 수 있다.In the process of forming multiple scribing lines on multiple substrates S, the scribing wheel 21 is worn. Therefore, in order to smoothly perform the process of forming a scribing line, it is necessary to replace the worn scribing wheel 21 with a new scribing wheel 21. This replacement of the scribing wheel 21 may be performed after forming scribing lines on a preset number of substrates S or at predetermined time intervals. Replacement of the scribing wheel 21 can be performed by replacing the wheel holder 22.

도 5 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 휠 홀더(22)의 교체는 본 발명의 실시예에 따른 휠 홀더 교체 유닛(40)에 의해 수행될 수 있다. 이하, 휠 홀더(22)를 교체하는 과정이 도면에서 상측에 배치된 제1 스크라이빙 헤드(23)와 연관되어 설명되지만, 유사한 과정이 도면에서 하측에 배치된 스크라이빙 헤드(23)에 대해서도 수행될 수 있다.As shown in FIGS. 5 to 11, replacement of the wheel holder 22 can be performed by the wheel holder replacement unit 40 according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, the process of replacing the wheel holder 22 is described in relation to the first scribing head 23 disposed on the upper side in the drawing, but a similar process is performed on the scribing head 23 disposed on the lower side in the drawing. It can also be performed.

먼저, 도 5에 도시된 바와 같이, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 기판 이송 장치(30)의 파지 유닛(31)의 이동 경로 및 기판(S)의 이송 경로로부터 벗어난 위치로부터 스크라이빙 유닛(20)에 인접한 위치로 이동될 수 있다. 이와 같은 과정에서, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 직선 이동 기구(481)에 의해 지지대(48)를 따라 X축 방향으로 이동될 수 있고, 지지대(48)가 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라 휠 홀더 수용 모듈(44)이 Y축 방향으로 이동될 수 있으며, 휠 홀더 수용 모듈(44)은 승강 모듈(47)에 의해 Z축 방향으로 이동될 수 있다.First, as shown in FIG. 5, the wheel holder accommodating module 44 moves the scribing unit ( 20) can be moved to an adjacent location. In this process, the wheel holder accommodating module 44 may be moved in the As the wheel holder accommodation module 44 moves in the direction, the wheel holder accommodation module 44 may be moved in the Y-axis direction, and the wheel holder accommodation module 44 may be moved in the Z-axis direction by the lifting module 47.

그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 지지대(48)가 가이드 레일(49)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라 휠 홀더 수용 모듈(44)이 Y축 방향으로 스크라이빙 유닛(20)을 향하여 이동된다. 이때, 휠 홀더 수용 모듈(44)이 휠 홀더 지지 부재(26)에 끼워진 휠 홀더(22)로 용이하게 접근할 수 있도록, 스크라이빙 헤드(23)가 소정의 높이로 상승될 수 있다.And, as shown in FIG. 6, as the support 48 moves in the Y-axis direction along the guide rail 49, the wheel holder accommodation module 44 moves toward the scribing unit 20 in the Y-axis direction. It is moved. At this time, the scribing head 23 may be raised to a predetermined height so that the wheel holder accommodating module 44 can easily access the wheel holder 22 inserted into the wheel holder support member 26.

그리고, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)의 휠 홀더 수용홈(441)이 휠 홀더 지지 부재(26)에 끼워진 휠 홀더(22) 아래에 위치되면, 승강 모듈(47)에 의해 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 휠 홀더(22)를 향하여 상승되며, 이에 따라, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된다.And, as shown in FIG. 7, when the wheel holder accommodating groove 441 of the first wheel holder accommodating member 41 is located below the wheel holder 22 inserted into the wheel holder supporting member 26, the lifting module ( The first wheel holder accommodating member 41 is raised toward the wheel holder 22 by 47), and thus the wheel holder 22 is inserted into the wheel holder accommodating groove 441.

이때, 잠금 모듈(46)이 휠 홀더 수용홈(441) 내에 삽입된 휠 홀더(22)를 고정시킨다.At this time, the locking module 46 fixes the wheel holder 22 inserted into the wheel holder receiving groove 441.

그리고, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 하강하며, 이에 따라, 잠금 모듈(46)에 의해 고정된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)로부터 분리된다.And, as shown in FIG. 8, the first wheel holder receiving member 41 descends, and thus the wheel holder 22 fixed by the locking module 46 is separated from the wheel holder support member 26. do.

그리고, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 회전 모듈(45)에 의해 회전되며, 이에 따라, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)에 미리 수용된 새로운 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 아래에 위치된다.And, as shown in FIG. 9, the first wheel holder accommodating member 41 is rotated by the rotation module 45, and accordingly, the new wheel holder 22 previously accommodated in the first wheel holder accommodating member 41 ) is located below the wheel holder support member 26.

그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)가 다시 상승되며, 이에 따라, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)에 수용된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 삽입된다.And, as shown in FIG. 10, the first wheel holder accommodating member 41 is raised again, and accordingly, the wheel holder 22 accommodated in the first wheel holder accommodating member 41 is moved to the wheel holder supporting member 26. ) is inserted into the insertion groove 261.

이때, 잠금 모듈(46)이 휠 홀더(22)를 잠금 해제하면, 휠 홀더(22)는 삽입홈(261) 내에 설치된 자석(262)의 자력에 의해 삽입홈(261) 내에 유지될 수 있다.At this time, when the locking module 46 unlocks the wheel holder 22, the wheel holder 22 can be maintained in the insertion groove 261 by the magnetic force of the magnet 262 installed in the insertion groove 261.

그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 휠 홀더 수용 부재(41)는 하강한 다음, 원래의 위치로 복귀하거나, 다른 스크라이빙 헤드(23)에 장착된 휠 홀더(22)를 교체하기 위해 이동할 수 있다.And, as shown in FIG. 11, the first wheel holder receiving member 41 descends and then returns to its original position or replaces the wheel holder 22 mounted on another scribing head 23. can be moved for

지지대(48)에 복수의 휠 홀더 수용 모듈(44)이 구비되는 경우, 복수의 휠 홀더 수용 모듈(44) 중 일부는 제1 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 수행할 수 있으며, 다른 일부는 제2 스크라이빙 헤드(23)의 휠 홀더(22)를 교체하는 동작을 수행할 수 있다.When the support 48 is provided with a plurality of wheel holder accommodating modules 44, some of the plurality of wheel holder accommodating modules 44 are used to replace the wheel holder 22 of the first scribing head 23. can be performed, and others can perform an operation of replacing the wheel holder 22 of the second scribing head 23.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 휠 홀더(22)를 자동으로 교체하는 휠 홀더 교체 유닛(40)을 구비하므로, 스크라이빙 휠(21)을 신속하게 교체하여 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 줄이고 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있다.The scribing device according to an embodiment of the present invention is equipped with a wheel holder replacement unit 40 that automatically replaces the wheel holder 22, so that the scribing wheel 21 can be quickly replaced to perform the scribing process. It can reduce the time required and improve operator convenience.

한편, 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(23)에는 스크라이빙 헤드(23)의 변위를 측정하는 변위 측정 유닛(50)이 구비될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 연결되므로, 변위 측정 유닛(50)은 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위를 측정하도록 구성될 수 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 12 and 13, the scribing head 23 may be equipped with a displacement measurement unit 50 that measures the displacement of the scribing head 23. Since the wheel holder support member 26 is connected to the scribing head 23, the displacement measuring unit 50 can be configured to measure the displacement of the wheel holder support member 26.

여기에서, 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위는 수평 방향(X축 방향 및 Y축 방향)으로의 변위 및/또는 수직 방향(Z축 방향)으로의 변위일 수 있다. 본 발명의 실시예에서는, 변위 측정 유닛(50)이 휠 홀더 지지 부재(26)의 Z축 방향으로의 변위를 측정하는 구성에 대하여 설명한다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 휠 홀더 지지 부재(26)의 Z축 방향으로의 변위를 측정하는 구성이 휠 홀더 지지 부재(26)의 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로의 변위를 측정하는 구성으로서 변위 측정 유닛(50)에 적용될 수 있다.Here, the displacement of the wheel holder support member 26 may be a displacement in the horizontal direction (X-axis direction and Y-axis direction) and/or a displacement in the vertical direction (Z-axis direction). In an embodiment of the present invention, a configuration in which the displacement measurement unit 50 measures the displacement of the wheel holder support member 26 in the Z-axis direction will be described. However, the present invention is not limited to this, and the configuration for measuring the displacement of the wheel holder support member 26 in the Z-axis direction measures the displacement of the wheel holder support member 26 in the X-axis direction and/or the Y-axis direction. It can be applied to the displacement measurement unit 50 as a measuring configuration.

예를 들면, 변위 측정 유닛(50)은, 프레임(25)에 구비되는 기준 부재(51)와, 기준 부재(51)에 대향하도록 휠 홀더 지지 부재(26)에 구비되어 기준 부재(51)에 대한 상대 위치를 감지하는 감지 부재(52)를 포함할 수 있다. 다른 예로서, 기준 부재(51)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 구비될 수 있고, 감지 부재(52)가 프레임(25)에 구비될 수 있다. 이러한 변위 측정 유닛(50)은 기준 부재(51)와 감지 부재(52)의 상호 작용을 사용하여 휠 홀더 지지 부재(26)의 위치 및 변위를 측정한다.For example, the displacement measurement unit 50 is provided on the reference member 51 provided on the frame 25 and on the wheel holder support member 26 so as to face the reference member 51. It may include a sensing member 52 that senses the relative position. As another example, the reference member 51 may be provided on the wheel holder support member 26 and the sensing member 52 may be provided on the frame 25. This displacement measuring unit 50 measures the position and displacement of the wheel holder support member 26 using the interaction of the reference member 51 and the sensing member 52.

일 예로서, 기준 부재(51)는 소정의 눈금을 가지는 스케일로 구성될 수 있고, 감지 부재(52)는 스케일을 촬상하는 카메라로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 감지 부재(52)에 의하여 촬상된 스케일의 이미지를 기준으로 기준 부재(51)와 감지 부재(52) 사이의 상대 위치를 측정하고, 측정된 상대 위치를 기준으로 휠 홀더 지지 부재(26)의 위치 및 변위를 측정할 수 있다.As an example, the reference member 51 may be configured as a scale with a predetermined graduation, and the sensing member 52 may be configured as a camera that captures an image of the scale. In this case, the relative position between the reference member 51 and the sensing member 52 is measured based on the scale image captured by the sensing member 52, and the wheel holder support member 26 is measured based on the measured relative position. ) position and displacement can be measured.

다른 예로서, 기준 부재(51)는 위치에 따라 반사 각도가 달라지는 반사면으로 구성될 수 있고, 감지 부재(52)는 반사면을 향하여 광을 발광하는 발광 센서와 반사면에서 반사되는 광을 수광하는 수광 센서로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 반사면에서 반사되는 광의 반사 각도를 측정하는 것에 의해, 기준 부재(51)와 감지 부재(52) 사이의 상대 위치를 측정하고, 측정된 상대 위치를 기준으로 휠 홀더 지지 부재(26)의 위치 및 변위를 측정할 수 있다.As another example, the reference member 51 may be composed of a reflective surface whose reflection angle varies depending on the position, and the sensing member 52 may include a light emitting sensor that emits light toward the reflective surface and a light emitting sensor that receives light reflected from the reflective surface. It may be composed of a light receiving sensor. In this case, the relative position between the reference member 51 and the sensing member 52 is measured by measuring the reflection angle of the light reflected from the reflective surface, and the wheel holder support member 26 is measured based on the measured relative position. The position and displacement can be measured.

그리고, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 변위 측정 유닛(50)과 연결되어 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위가 기 설정 변위의 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛(70)을 더 포함할 수 있다.In addition, the scribing device according to an embodiment of the present invention is connected to the displacement measurement unit 50 and includes a control unit 70 that determines whether the displacement of the wheel holder support member 26 is outside the preset displacement range. It may further include.

변위 측정 유닛(50)은, 휠 홀더 교체 유닛(40)이 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착할 때, 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위를 측정할 수 있다.The displacement measurement unit 50 may measure the displacement of the wheel holder support member 26 when the wheel holder replacement unit 40 mounts the wheel holder 22 to the wheel holder support member 26 .

여기에서, 휠 홀더 교체 유닛(40)이 정상적으로 작동하여 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 정상적으로 삽입되는 경우에는 휠 홀더 지지 부재(26)가 변위하지 않거나 매우 미세하게 변위할 수 있다.Here, when the wheel holder replacement unit 40 operates normally and the wheel holder 22 is normally inserted into the insertion groove 261 of the wheel holder support member 26, the wheel holder support member 26 is not displaced or It can be very slightly displaced.

그러나, 도 13에 도시된 바와 같이, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 정상적으로 삽입되지 않고, 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41)에 수용된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌하는 경우, 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41)의 일부분이 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌하는 경우와 같이, 휠 홀더 지지 부재(26)에 비정상적인 외력이 가해지는 경우에는, 휠 홀더 지지 부재(26)가 기 설정 범위를 초과하는 거리로 변위할 수 있다.However, as shown in FIG. 13, the wheel holder 22 is not normally inserted into the insertion groove 261 of the wheel holder support member 26, and the wheel accommodated in the first or second wheel holder receiving member 41 When the holder 22 collides with the outer surface of the wheel holder support member 26, such as when a portion of the first or second wheel holder receiving member 41 collides with the outer surface of the wheel holder support member 26, When an abnormal external force is applied to the wheel holder support member 26, the wheel holder support member 26 may be displaced to a distance exceeding a preset range.

여기에서, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌할 때, 그 충격에 의해 스크라이빙 헤드(23)가 헤드 지지대(24)에 대하여 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 휠 홀더 지지 부재(26)가 Z축 방향으로 변위될 수 있다.Here, when the wheel holder 22 collides with the outer surface of the wheel holder support member 26, the scribing head 23 may be moved in the Z-axis direction with respect to the head support 24 due to the impact. , Accordingly, the wheel holder support member 26 may be displaced in the Z-axis direction.

다른 예로서, 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 이에 따라, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌할 때, 그 충격에 의해, 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 대하여 Z축 방향으로 변위될 수 있다.As another example, the wheel holder support member 26 may be configured to be movable in the Z-axis direction with respect to the scribing head 23, and accordingly, the wheel holder 22 may be configured to move in the Z-axis direction with respect to the scribing head 23. When colliding with the outer surface, the impact may cause the wheel holder support member 26 to be displaced in the Z-axis direction with respect to the scribing head 23.

이와 같은 경우, 제어 유닛(70)은 변위 측정 유닛(50)에 의해 측정된 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위가 기 설정 범위를 초과하는지 여부를 판단하고, 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위가 기 설정 범위를 초과하는 경우, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되지 않고, 휠 홀더 지지 부재(26)가 비정상적인 외력에 의해 변위하고 있음을 판단할 수 있다.In this case, the control unit 70 determines whether the displacement of the wheel holder support member 26 measured by the displacement measurement unit 50 exceeds a preset range, and determines whether the displacement of the wheel holder support member 26 If it exceeds the set range, it may be determined that the wheel holder 22 is not properly mounted on the wheel holder support member 26 and that the wheel holder support member 26 is displaced by an abnormal external force.

이와 같은 경우, 제어 유닛(70)은, 예를 들면, 디스플레이 장치, 음향 장치 등을 통하여, 휠 홀더(22)가 비정상적으로 장착되고 있음을 사용자에게 알릴 수 있다. 다른 예로서, 제어 유닛(70)은 스크라이빙 장치의 구동을 정지시킬 수 있다.In this case, the control unit 70 may inform the user that the wheel holder 22 is abnormally mounted through, for example, a display device, an audio device, etc. As another example, the control unit 70 may stop driving the scribing device.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위를 측정하고, 측정된 휠 홀더 지지 부재(26)의 변위를 기준으로 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되는지 여부를 판단하고, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되지 않는 경우, 사용자에게 이를 알리거나 스크라이빙 장치의 구동을 정지시킬 수 있다. 따라서, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 비정상적으로 장착될 때 발생할 수 있는, 휠 홀더(22), 휠 홀더 지지 부재(26), 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41) 및/또는 헤드 유닛(23)의 파손을 미연에 방지할 수 있다.In this way, according to an embodiment of the present invention, the displacement of the wheel holder support member 26 is measured, and the wheel holder 22 is adjusted to the wheel holder support member 26 based on the measured displacement of the wheel holder support member 26. ), and if the wheel holder 22 is not normally mounted on the wheel holder support member 26, the user can be notified or the operation of the scribing device can be stopped. Accordingly, the wheel holder 22, the wheel holder support member 26, and the first or second wheel holder receiving member 41 may occur when the wheel holder 22 is abnormally mounted on the wheel holder support member 26. ) and/or damage to the head unit 23 can be prevented in advance.

다른 예로서, 도 14 및 도 15에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(23)에는 휠 홀더 지지 부재(26)에 가해지는 하중을 측정하는 하중 측정 유닛(60)이 구비될 수 있다. 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 연결되므로, 하중 측정 유닛(60)은 스크라이빙 헤드(23)에 가해지는 하중을 측정하도록 구성될 수 있다.As another example, as shown in FIGS. 14 and 15, the scribing head 23 may be equipped with a load measurement unit 60 that measures the load applied to the wheel holder support member 26. Since the wheel holder support member 26 is connected to the scribing head 23, the load measuring unit 60 may be configured to measure the load applied to the scribing head 23.

여기에서, 휠 홀더 지지 부재(26)의 하중은 수평 방향(X축 방향 및 Y축 방향)으로의 하중 및/또는 수직 방향(Z축 방향)으로의 하중일 수 있다. 본 발명의 실시예에서는, 하중 측정 유닛(60)이 휠 홀더 지지 부재(26)의 Z축 방향으로의 하중을 측정하는 구성에 대하여 설명한다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 휠 홀더 지지 부재(26)의 Z축 방향으로의 하중을 측정하는 구성이 휠 홀더 지지 부재(26)의 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로의 하중을 측정하는 구성으로서 하중 측정 유닛(60)에 적용될 수 있다.Here, the load of the wheel holder support member 26 may be a load in the horizontal direction (X-axis direction and Y-axis direction) and/or a load in the vertical direction (Z-axis direction). In an embodiment of the present invention, a configuration in which the load measurement unit 60 measures the load in the Z-axis direction of the wheel holder support member 26 will be described. However, the present invention is not limited to this, and the configuration for measuring the load in the Z-axis direction of the wheel holder support member 26 measures the load in the X-axis direction and/or Y-axis direction of the wheel holder support member 26. It can be applied to the load measurement unit 60 as a measuring configuration.

예를 들면, 하중 측정 유닛(60)은, 휠 홀더 지지 부재(26)가 스크라이빙 헤드(23)에 연결되는 부분에 구비되는 하중 센서(61)를 포함할 수 있다. 하중 센서(61)로는, 예를 들면, 물리적인 하중을 전기적인 신호로 변환하는 로드 셀이 사용될 수 있다. 그리고, 휠 홀더 지지 부재(26)는 휠 홀더(22)에 의해 가해지는 힘에 의해 하중 센서(61)를 가압하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 휠 홀더 지지 부재(26)는 스크라이빙 헤드(23)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 이에 따라, 휠 홀더 지지 부재(26)는 휠 홀더(22)에 의해 가해지는 힘에 의해 하중 센서(61)를 가압할 수 있다.For example, the load measuring unit 60 may include a load sensor 61 provided at a portion where the wheel holder support member 26 is connected to the scribing head 23. As the load sensor 61, for example, a load cell that converts a physical load into an electrical signal may be used. And, the wheel holder support member 26 may be configured to press the load sensor 61 by the force applied by the wheel holder 22. For example, the wheel holder support member 26 may be configured to be movable in the Z-axis direction with respect to the scribing head 23, and accordingly, the wheel holder support member 26 is attached to the wheel holder 22. The load sensor 61 can be pressed by the force applied by the load sensor 61.

그리고, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에서는, 제어 유닛(70)이 하중 측정 유닛(60)과 연결되어 휠 홀더 지지 부재(26)의 하중이 기 설정 하중의 범위를 벗어나는지 여부를 판단할 수 있다.And, in the scribing device according to an embodiment of the present invention, the control unit 70 is connected to the load measurement unit 60 to determine whether the load of the wheel holder support member 26 is outside the range of the preset load. You can judge.

하중 측정 유닛(60)은, 휠 홀더 교체 유닛(40)이 휠 홀더(22)를 휠 홀더 지지 부재(26)에 장착할 때, 휠 홀더 지지 부재(26)에 가해지는 하중을 측정할 수 있다.The load measurement unit 60 may measure the load applied to the wheel holder support member 26 when the wheel holder replacement unit 40 mounts the wheel holder 22 to the wheel holder support member 26. .

여기에서, 휠 홀더 교체 유닛(40)이 정상적으로 작동하여 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 정상적으로 삽입되는 경우에는 휠 홀더 지지 부재(26)에는 기 설정 범위 내의 하중이 작용할 수 있다.Here, when the wheel holder replacement unit 40 operates normally and the wheel holder 22 is normally inserted into the insertion groove 261 of the wheel holder support member 26, the wheel holder support member 26 has a preset range. Internal loads may act.

그러나, 도 15에 도시된 바와 같이, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 삽입홈(261)에 정상적으로 삽입되지 않고, 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41)에 수용된 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌하는 경우, 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41)의 일부분이 휠 홀더 지지 부재(26)의 외면에 충돌하는 경우와 같이, 휠 홀더 지지 부재(26)에 비정상적인 외력이 가해지는 경우에는, 휠 홀더 지지 부재(26)에는 기 설정 범위를 초과하는 하중이 가해질 수 있다.However, as shown in FIG. 15, the wheel holder 22 is not normally inserted into the insertion groove 261 of the wheel holder support member 26, and the wheel accommodated in the first or second wheel holder receiving member 41 is not inserted properly. When the holder 22 collides with the outer surface of the wheel holder support member 26, such as when a portion of the first or second wheel holder receiving member 41 collides with the outer surface of the wheel holder support member 26, When an abnormal external force is applied to the wheel holder support member 26, a load exceeding a preset range may be applied to the wheel holder support member 26.

따라서, 제어 유닛(70)은 하중 측정 유닛(60)에 의해 측정된 휠 홀더 지지 부재(26)에 가해지는 하중이 기 설정 범위를 초과하는지 여부를 판단하고, 휠 홀더 지지 부재(26)에 가해지는 하중이 기 설정 범위를 초과하는 경우, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되지 않고, 휠 홀더 지지 부재(26)에 비정상적인 외력이 작용하고 있음을 판단할 수 있다.Accordingly, the control unit 70 determines whether the load applied to the wheel holder support member 26 measured by the load measurement unit 60 exceeds a preset range, and determines whether the load applied to the wheel holder support member 26 is If the load exceeds the preset range, it may be determined that the wheel holder 22 is not properly mounted on the wheel holder support member 26 and that an abnormal external force is acting on the wheel holder support member 26.

이와 같은 경우, 제어 유닛(70)은, 예를 들면, 디스플레이 장치, 음향 장치 등을 통하여, 휠 홀더(22)가 비정상적으로 장착되고 있음을 사용자에게 알릴 수 있다. 다른 예로서, 제어 유닛(70)은 스크라이빙 장치의 구동을 정지시킬 수 있다.In this case, the control unit 70 may inform the user that the wheel holder 22 is abnormally mounted through, for example, a display device, an audio device, etc. As another example, the control unit 70 may stop driving the scribing device.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 휠 홀더 지지 부재(26)에 가해지는 하중을 측정하고, 측정된 하중을 기준으로 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되는지 여부를 판단하고, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 정상적으로 장착되지 않는 경우, 사용자에게 이를 알리거나 스크라이빙 장치의 구동을 정지시킬 수 있다. 따라서, 휠 홀더(22)가 휠 홀더 지지 부재(26)에 비정상적으로 장착될 때 발생할 수 있는, 휠 홀더(22), 휠 홀더 지지 부재(26), 제1 또는 제2 휠 홀더 수용 부재(41) 및/또는 헤드 유닛(23)의 파손을 미연에 방지할 수 있다.In this way, according to an embodiment of the present invention, the load applied to the wheel holder support member 26 is measured, and whether the wheel holder 22 is normally mounted on the wheel holder support member 26 based on the measured load. is determined, and if the wheel holder 22 is not properly mounted on the wheel holder support member 26, the user may be notified or the operation of the scribing device may be stopped. Accordingly, the wheel holder 22, the wheel holder support member 26, and the first or second wheel holder receiving member 41 may occur when the wheel holder 22 is abnormally mounted on the wheel holder support member 26. ) and/or damage to the head unit 23 can be prevented in advance.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to these specific embodiments and may be appropriately modified within the scope set forth in the claims.

10: 스테이지 20: 스크라이빙 유닛
30: 기판 이송 장치 40: 휠 홀더 교체 유닛
44: 휠 홀더 수용 모듈 45: 회전 모듈
46: 잠금 모듈 47: 승강 모듈
48: 지지대 49: 가이드 레일10: Stage 20: Scribing Unit
30: substrate transfer device 40: wheel holder replacement unit
44: Wheel holder accommodation module 45: Rotation module
46: locking module 47: lifting module
48: support 49: guide rail

Claims (10)

스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재를 포함하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛;
상기 휠 홀더를 파지하여 상기 휠 홀더 지지 부재에 장착하거나 상기 휠 홀더 지지 부재로부터 분리하는 휠 홀더 교체 유닛;
상기 휠 홀더 교체 유닛이 상기 휠 홀더를 상기 휠 홀더 지지 부재에 장착할 때 상기 휠 홀더에 대한 상기 휠 홀더 지지 부재의 변위를 측정하는 변위 측정 유닛; 및
상기 변위 측정 유닛에 의해 측정된 상기 휠 홀더 지지 부재의 변위가 기 설정 변위의 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 포함하고,
상기 제어 유닛은 상기 변위 측정 유닛에 의해 측정된 상기 휠 홀더 지지 부재의 변위를 기초로 상기 휠 홀더를 상기 휠 홀더 지지 부재에 끼울 때 상기 휠 홀더 지지 부재가 움직이는지 여부를 판단하여 상기 휠 홀더가 상기 휠 홀더 지지 부재에 정상적으로 장착되는지 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.A scribing unit including a scribing head including a wheel holder support member into which a wheel holder holding a scribing wheel is fitted;
a wheel holder replacement unit that grips the wheel holder and mounts it on the wheel holder support member or separates it from the wheel holder support member;
a displacement measuring unit that measures a displacement of the wheel holder support member relative to the wheel holder when the wheel holder replacement unit mounts the wheel holder to the wheel holder support member; and
A control unit that determines whether the displacement of the wheel holder support member measured by the displacement measurement unit is outside a preset displacement range,
The control unit determines whether the wheel holder support member moves when inserting the wheel holder into the wheel holder support member based on the displacement of the wheel holder support member measured by the displacement measurement unit, and determines whether the wheel holder supports the wheel holder. A scribing device characterized in that it determines whether the wheel holder support member is normally mounted. 삭제delete 스크라이빙 휠을 유지하는 휠 홀더가 끼워지는 휠 홀더 지지 부재를 포함하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛;
상기 휠 홀더를 파지하여 상기 휠 홀더 지지 부재에 장착하거나 상기 휠 홀더 지지 부재로부터 분리하는 휠 홀더 교체 유닛;
상기 휠 홀더 교체 유닛이 상기 휠 홀더를 상기 휠 홀더 지지 부재에 장착할 때 상기 휠 홀더에 의해 상기 휠 홀더 지지 부재에 가해지는 하중을 측정하는 하중 측정 유닛; 및
상기 하중 측정 유닛에 의해 측정된 상기 휠 홀더 지지 부재에 가해지는 하중이 기 설정 하중의 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 포함하고,
상기 제어 유닛은 상기 하중 측정 유닛에 의해 측정된 상기 휠 홀더 지지 부재에 가해지는 하중을 기초로 상기 휠 홀더를 상기 휠 홀더 지지 부재에 끼울 때 상기 휠 홀더가 상기 휠 홀더 지지 부재의 삽입홈에 삽입되지 않고 상기 휠 홀더 지지 부재의 외면에 충돌하는지 여부를 판단하여 상기 휠 홀더가 상기 휠 홀더 지지 부재에 정상적으로 장착되는지 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.A scribing unit including a scribing head including a wheel holder support member into which a wheel holder holding a scribing wheel is fitted;
a wheel holder replacement unit that grips the wheel holder and mounts it on the wheel holder support member or separates it from the wheel holder support member;
a load measuring unit that measures a load applied to the wheel holder support member by the wheel holder when the wheel holder replacement unit mounts the wheel holder to the wheel holder support member; and
It includes a control unit that determines whether the load applied to the wheel holder support member measured by the load measurement unit is outside the range of a preset load,
The control unit inserts the wheel holder into the insertion groove of the wheel holder support member when inserting the wheel holder into the wheel holder support member based on the load applied to the wheel holder support member measured by the load measurement unit. A scribing device characterized in that it determines whether the wheel holder is normally mounted on the wheel holder support member by determining whether the wheel holder collides with the outer surface of the wheel holder support member. 삭제delete 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
상기 휠 홀더 교체 유닛은, 둘레 방향으로 복수의 휠 홀더 수용홈을 가지며 상기 복수의 휠 홀더 수용홈 중 하나가 상기 휠 홀더 지지 부재에 대향하도록 회전되는 휠 홀더 수용 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.In claim 1 or claim 3,
The wheel holder replacement unit includes a wheel holder accommodating module having a plurality of wheel holder accommodating grooves in a circumferential direction and one of the plurality of wheel holder accommodating grooves being rotated to face the wheel holder support member. Criving device. 청구항 5에 있어서,
상기 휠 홀더 수용 모듈은,
서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 스크라이빙 헤드 중 어느 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 복수의 휠 홀더 수용홈을 갖는 제1 휠 홀더 수용 부재; 및
다른 하나의 스크라이빙 헤드에 대응하며 복수의 휠 홀더 수용홈을 갖는 제2 휠 홀더 수용 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.In claim 5,
The wheel holder accommodating module is,
a first wheel holder accommodating member corresponding to one of a pair of scribing heads disposed opposite to each other and having a plurality of wheel holder accommodating grooves; and
A scribing device comprising a second wheel holder accommodating member corresponding to another scribing head and having a plurality of wheel holder accommodating grooves. 청구항 6에 있어서,
상기 휠 홀더 교체 유닛은, 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재 사이에 설치되어 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상대 회전시키는 회전 모듈을 더 포함하는 스크라이빙 장치.In claim 6,
The wheel holder replacement unit further includes a rotation module installed between the first and second wheel holder accommodating members to relatively rotate the first and second wheel holder accommodating members. 청구항 7에 있어서,
상기 회전 모듈은 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 동일한 방향 또는 상이한 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.In claim 7,
A scribing device, characterized in that the rotation module rotates the first and second wheel holder receiving members in the same direction or different directions. 청구항 7에 있어서,
상기 회전 모듈은 상기 제1 및 제2 휠 홀더 수용 부재를 상이한 각도로 회전시키는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.In claim 7,
The scribing device is characterized in that the rotation module rotates the first and second wheel holder receiving members at different angles. 청구항 5에 있어서,
상기 휠 홀더 교체 유닛은, 상기 휠 홀더 수용홈에 구비되어 상기 휠 홀더 수용홈에 삽입된 상기 휠 홀더를 고정시키는 잠금 모듈을 더 포함하는 스크라이빙 장치.In claim 5,
The wheel holder replacement unit is a scribing device further comprising a locking module provided in the wheel holder receiving groove and fixing the wheel holder inserted into the wheel holder receiving groove.
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