KR101164457B1 - Tip holder - Google Patents

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KR101164457B1 KR1020110077236A KR20110077236A KR101164457B1 KR 101164457 B1 KR101164457 B1 KR 101164457B1 KR 1020110077236 A KR1020110077236 A KR 1020110077236A KR 20110077236 A KR20110077236 A KR 20110077236A KR 101164457 B1 KR101164457 B1 KR 101164457B1
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마사오 야마모토
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 홀더 조인트에 팁 홀더를 정확하게 위치 결정함과 아울러, 팁 홀더의 분리를 용이하게 하는 것이다.
(해결 수단) 홀더 조인트(20)에 개구(23)를 형성하고, 그 측방에 절결(25a, 25b)을 형성한다. 팁 홀더(10)에는 부착부(16)의 측방으로 돌출하는 돌기부(16a, 16b)를 형성한다. 홀더 조인트(20)의 개구(23)에 팁 홀더(10)를 삽입하고, 그 돌기부(16a, 16b)를 홀더 조인트의 절결(25a, 25b)에 접촉시켜 홀더 유닛(30)으로 한다. 이에 따라 팁 홀더를 정확하게 위치 결정할 수 있어, 착탈이 자유로운 홀더 유닛 및 스크라이브 헤드를 실현할 수 있다.(Problem) The tip holder is accurately positioned on the holder joint and the tip holder is easily removed.
(Resolution) The opening 23 is formed in the holder joint 20, and notches 25a and 25b are formed in the side. The tip holder 10 is provided with protrusions 16a and 16b that protrude laterally from the attachment portion 16. The tip holder 10 is inserted into the opening 23 of the holder joint 20, and the projections 16a and 16b are brought into contact with the notches 25a and 25b of the holder joint to form the holder unit 30. As a result, the tip holder can be accurately positioned, and a detachable holder unit and a scribe head can be realized.

Description

팁 홀더{TIP HOLDER}Tip Holder {TIP HOLDER}

본 발명은 취성 재료(brittle material) 기판에 스크라이브 라인(scribe line)을 형성하기 위해 이용되는 스크라이브 장치와 그 스크라이브 헤드, 홀더 유닛 및 팁 홀더에 관한 것이다.FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to scribe devices and scribe heads, holder units and tip holders used to form scribe lines on a brittle material substrate.

종래, 액정 표시 패널이나 액정 프로젝터 기판 등의 플랫 패널 디스플레이 등에서는, 제조 과정에 있어서 마더 유리 기판(mother glass substrate)이 접합된 후에 소정의 크기의 단개(單個)의 패널이 되도록 분단(分斷)된다. 이 마더 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단에는 스크라이브 공정과 브레이크 공정이 있고, 스크라이브 공정에서는 스크라이브 장치가 이용된다.Conventionally, in flat panel displays, such as a liquid crystal display panel and a liquid crystal projector substrate, in a manufacturing process, after a mother glass substrate is bonded, it divides so that it may become a single panel of predetermined size. do. The division of brittle material substrates, such as a mother glass substrate, has a scribe process and a brake process, and a scribe apparatus is used in a scribe process.

도 1은 특허문헌 1에 나타나 있는 스크라이브 장치를 나타내는 사시도이다. 이 스크라이브 장치(100)는, 이동대(101)가 한 쌍의 안내 레일(102a, 102b)을 따라, y축 방향으로 이동이 자유롭게 지지되어 있다. 볼나사(103)는 이동대(101)와 나사결합하고 있다. 볼나사(103)는 모터(104)의 구동에 의해 회전하여, 이동대(101)를 안내 레일(102a, 102b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(101)의 상면에는 모터(105)가 형성되어 있다. 모터(105)는 테이블(106)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 취성 재료 기판(107)은 이 테이블(106) 상에 올려 놓여지고, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 지지된다. 스크라이브 장치(100)의 상부에는, 취성 재료 기판(107)의 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(108)가 형성되어 있다.1 is a perspective view illustrating a scribe device shown in Patent Document 1. FIG. In this scribe apparatus 100, the movable base 101 is supported freely in the y-axis direction along a pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed into the movable base 101. The ball screw 103 is rotated by the drive of the motor 104 to move the movable base 101 along the guide rails 102a and 102b in the y-axis direction. The motor 105 is formed on the upper surface of the movable table 101. The motor 105 rotates the table 106 in the xy plane to position at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on this table 106 and supported by vacuum suction means or the like not shown. On top of the scribing apparatus 100, two CCD cameras 108 for imaging an alignment mark of the brittle material substrate 107 are formed.

스크라이브 장치(100)에는, 이동대(101)와 그 상부의 테이블(106)을 걸치도록 브릿지(110)가 x축 방향을 따라 지주(支柱; 111a, 111b)에 의해 가설(架設)되어 있다. 스크라이브 헤드(112)는 브릿지(110)에 형성된 가이드(113)를 따라 x축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 모터(114)는 스크라이브 헤드(112)를 x축 방향을 따라 이동시키는 것이다.In the scribe device 100, the bridge 110 is hypothesized by struts 111a and 111b along the x-axis direction so as to span the movable table 101 and the table 106 above. The scribe head 112 is movable in the x-axis direction along the guide 113 formed in the bridge 110. The motor 114 moves the scribe head 112 along the x-axis direction.

스크라이브 장치의 스크라이브 헤드(112)에는, 홀더 조인트(120)를 통하여 팁 홀더(130)가 부착된다. 도 2는 특허문헌 1에 따른 팁 홀더를 나타내는 도면이며, 도 3은 그 사시도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이, 팁 홀더(130)는 대략 원통형의 부재로서, 그 일단에는 대략 정방형상의 평탄부(131a, 131b)가 모두 중심축에 평행하게 형성된다. 팁 홀더(130)는 이 평탄부의 사이에 중심축을 따른 절결(切欠; cut-out)(132)을 갖고 있고, 평탄부(131a, 131b)의 하단에는 그 면에 수직인 방향의 핀홈(133)을 갖고 있다. 스크라이빙 휠(「커터 휠」이라고도 함)(134)은 예를 들면 휠지름이 2.5mm, 두께 0.5mm 정도의 원판상의 형상을 갖고, 원주 부분의 단면이 원추형으로 형성되어, 중심에 관통구멍을 갖는 커터로서, 단순히 팁(tip)이라고도 불린다. 스크라이빙 휠(134)은, 핀홈(133)에 삽입된 핀(135)을 중심의 관통구멍에 관통시킴으로써, 회전이 자유롭게 지지된다. 핀(135)을 핀홈(133)에 삽입하여 스크라이빙 휠(134)을 지지한 후는, 스크라이빙 휠의 교환을 요할 경우에도 스크라이빙 휠을 분리하지 않고, 팁 홀더와 함께 교환된다. 한편 팁 홀더(130)의 타단(他端)에는 위치 결정용의 부착부(136)가 형성되어 있다. 부착부(136)는 팁 홀더(130)를 절결하여 형성되고, 경사부(136a) 및 평탄부(136b)를 갖는다. 평탄부(136b)는 팁 홀더의 축과 평행하며, 그리고 하방의 평탄부(131a, 131b)와는 수직으로 되어 있다. 팁 홀더(130)는 그 상부의 부착부(136)가 자성체 금속으로 구성되어 있다.The tip holder 130 is attached to the scribe head 112 of the scribe device via the holder joint 120. It is a figure which shows the tip holder which concerns on patent document 1, and FIG. 3 is its perspective view. As shown in these figures, the tip holder 130 is a substantially cylindrical member, and at one end thereof, substantially square flat portions 131a and 131b are formed parallel to the central axis. The tip holder 130 has a cut-out 132 along the central axis between the flat portions, and at the lower ends of the flat portions 131a and 131b, pin grooves 133 perpendicular to the surface thereof. Have The scribing wheel (also referred to as a "cutter wheel") 134 has a disk shape having a wheel diameter of 2.5 mm and a thickness of about 0.5 mm, for example, and a cross section of the circumferential portion is formed in a conical shape, and has a through hole in the center thereof. As a cutter, it is also called simply a tip. The scribing wheel 134 allows the pin 135 inserted in the pin groove 133 to pass through the center through hole so that rotation is freely supported. After the pin 135 is inserted into the pin groove 133 to support the scribing wheel 134, even when the scribing wheel needs to be replaced, the pin 135 is replaced with the tip holder without removing the scribing wheel. . On the other hand, at the other end of the tip holder 130, an attachment portion 136 for positioning is formed. The attachment portion 136 is formed by cutting the tip holder 130, and has an inclined portion 136a and a flat portion 136b. The flat portion 136b is parallel to the axis of the tip holder and is perpendicular to the lower flat portions 131a and 131b. The tip holder 130 has an attachment portion 136 formed thereon of magnetic metal.

스크라이브 헤드(112)는 그 내부에, 팁 홀더(130)의 승강 동작을 가능하게 하는 승강부, 예를 들면 공기압 제어를 이용하는 에어 실린더나 리니어 모터에 의한 전동 승강부 등이 형성되어 있다. 스크라이브 장치는 승강부에 의해 스크라이빙 휠(134)을 취성 재료 기판의 표면 상을 적절한 하중으로 압접하여 전동(轉動)해 가서, 스크라이브 라인을 형성한다.The scribe head 112 is provided with a lifting part that enables the lifting operation of the tip holder 130, for example, an air cylinder using pneumatic control, an electric lifting part by a linear motor, and the like. The scribing apparatus presses and drives the scribing wheel 134 onto the surface of the brittle material substrate by an appropriate load by a lifting unit to form a scribe line.

다음으로 홀더 조인트(120)에 대하여 설명한다. 도 4는 종래의 홀더 조인트(120)를 나타내는 도면이며, 도 5는 이 홀더 조인트(120)에 팁 홀더(130)를 삽입하는 상태를 나타내는 사시도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트(120)는 상부에 베어링(121a, 121b)을 갖고 있고, 하방이 팁 홀더(130)를 지지하는 지지부(122)로 되어 있다. 홀더 조인트(120)의 지지부(122)에는, 도시와 같이 원형의 개구(123)가 형성되어 있고, 그 내측에 자석(124)이 매설되어 있다. 또한 이 개구(123)의 내부에는 중심축으로부터 거리를 둔 위치에 중심축과 수직인 평행핀(125)이 형성된다. 평행핀(125)은 원기둥의 부재로서, 팁 홀더(130)의 경사부(136a)에 접하여 팁 홀더(130)를 위치 결정하는 것이다.Next, the holder joint 120 is demonstrated. 4 is a view showing a conventional holder joint 120, Figure 5 is a perspective view showing a state in which the tip holder 130 is inserted into the holder joint 120. As shown in these drawings, the holder joint 120 has bearings 121a and 121b at the upper portion thereof, and the supporter 122 supports the tip holder 130 at the lower side thereof. A circular opening 123 is formed in the support part 122 of the holder joint 120, and the magnet 124 is embedded inside. In addition, inside the opening 123, parallel pins 125 perpendicular to the central axis are formed at positions spaced from the central axis. The parallel pin 125 is a member of a cylinder, which positions the tip holder 130 in contact with the inclined portion 136a of the tip holder 130.

이 팁 홀더(130)를 홀더 조인트(120)에 부착할 때에는, 도 5에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트의 개구(123)에 팁 홀더(130)를 그 부착부(136)로부터 삽입한다. 그렇게 하면 팁 홀더(130)의 선단부가 자석(124)에 의해 흡인되고, 그리고 경사부(136a)가 평행핀(125)에 접촉하여 위치 결정 고정된다. 도 6은 홀더 조인트(120)에 팁 홀더(130)가 부착된 상태를 나타내는 부분 단면도이며, 도 7은 홀더 조인트(120)가 부착된 스크라이브 헤드(112)의 일부를 나타내는 도면이다. 팁 홀더(130)는 자석(124)에 의해 흡인되어 있을 뿐이기 때문에, 부착이 매우 용이하며, 소정의 위치에 고정된다. 교환할 경우에는 팁 홀더(130)를 당겨 분리하고 있다.When attaching this tip holder 130 to the holder joint 120, the tip holder 130 is inserted into the opening 123 of a holder joint from the attachment part 136, as shown in FIG. The tip of the tip holder 130 is then attracted by the magnet 124, and the inclined portion 136a is in contact with the parallel pin 125 for positioning fixing. 6 is a partial cross-sectional view illustrating a state in which the tip holder 130 is attached to the holder joint 120, and FIG. 7 is a view illustrating a part of the scribe head 112 to which the holder joint 120 is attached. Since the tip holder 130 is only sucked by the magnet 124, it is very easy to attach and is fixed to a predetermined position. When replacing, pull out the tip holder 130.

국제특허공개공보 WO 2007/063979International Patent Publication WO 2007/063979

종래의 팁 홀더는, 홀더 조인트에 부착하여 홀더 유닛(140)이 구성된다. 홀더 유닛(140)을 스크라이브 헤드(112)에 부착하여 스크라이브할 경우에는, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판에 가압하면서 이동시킨다. 이때 스크라이브 라인이 만곡하여 있으면, 팁 홀더를 지지하는 홀더 조인트(120)에도 비틀림 힘이 가해진다. 이 때문에 일단 만곡한 스크라이브 라인을 형성한 후에는, 직선 스크라이브를 할 경우라도 스크라이브 라인의 위치 정밀도가 저하된다는 결점이 있었다. 또한 팁 홀더가 홀더 조인트의 개구(123)의 내측에 끼여지기 때문에 분리하는 것이 어려워진다. 특히 로봇 등의 자동 공구 교환기를 이용하여 팁 홀더를 교환할 경우에는, 팁 홀더의 분리가 어려워진다는 결점이 있었다.The conventional tip holder is attached to a holder joint and the holder unit 140 is comprised. When the holder unit 140 is attached to the scribe head 112 and scribed, the scribing wheel is moved while pressing the brittle material substrate. At this time, if the scribe line is curved, a torsional force is applied to the holder joint 120 supporting the tip holder. For this reason, once the curved scribe line is formed, there is a drawback that the positional accuracy of the scribe line is lowered even when a straight scribe is performed. In addition, since the tip holder is pinched inside the opening 123 of the holder joint, it becomes difficult to separate. In particular, when the tip holder is replaced using an automatic tool changer such as a robot, there is a disadvantage that the tip holder becomes difficult to remove.

본 발명은 이러한 문제점에 착안하여 이루어진 것으로, 홀더 조인트에 확실하게 지지할 수 있어, 스크라이브 라인의 위치 정밀도를 향상시킴과 아울러, 용이하게 착탈할 수 있도록 한 팁 홀더 및, 이와 홀더 조인트를 포함하는 홀더 유닛이나 스크라이브 헤드를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of these problems, and can be reliably supported by a holder joint, thereby improving the positioning accuracy of the scribe line, and easily detachable from the tip holder, and a holder including the holder joint. It is an object to provide a unit or a scribe head.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 팁 홀더는, 일단(一端)에 취성 재료 기판을 스크라이브하기 위한 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 지지함과 함께, 그의 측면으로부터 1개 또는 2개 이상(바람직하게는 2개 이상)의 돌기를 돌출시킨 것이다.In order to solve this problem, the tip holder of the present invention freely rotates a scribing wheel for scribing a brittle material substrate at one end, and at least one or two (preferably) Preferably two or more projections.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 홀더 조인트는 팁 홀더를 그 돌기에 의해 안정되게 지지할 수 있기 때문에, 스크라이브 라인을 형성할 때의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한 홀더 조인트로부터 팁 홀더를 용이하게 부착하거나 분리할 수 있다. 따라서 로봇이나 자동 공구 교환기를 이용하여 팁 홀더의 착탈이 자유로워진다는 효과가 얻어진다.According to the present invention having such a feature, since the holder joint can stably support the tip holder by the projections, the accuracy in forming the scribe line can be improved. It is also possible to easily attach or detach the tip holder from the holder joint. Therefore, the effect that the tip holder can be attached and detached freely using a robot or an automatic tool changer is obtained.

도 1은 종래의 스크라이브 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 종래의 팁 홀더의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 종래의 팁 홀더를 나타내는 사시도이다.
도 4는 종래의 홀더 조인트를 나타내는 도면이다.
도 5는 종래의 홀더 조인트에 팁 홀더를 삽입할 때의 사시도이다.
도 6은 종래의 팁 홀더를 삽입한 상태를 나타내는 홀더 조인트의 일부 단면도이다.
도 7은 종래의 홀더 조인트를 스크라이브 헤드에 부착한 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 스크라이브 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시 형태에 따른 팁 홀더의 구성을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시 형태의 홀더 조인트를 나타내는 도면이다.
도 11a는 본 발명의 실시 형태에 있어서 홀더 조인트에 팁 홀더를 삽입하기 직전의 상태를 나타내는 부분 단면도이다.
도 11b는 본 발명의 실시 형태에 있어서 홀더 조인트에 팁 홀더를 삽입한 상태를 나타내는 부분 단면도이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태의 스크라이브 헤드를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing the overall configuration of a conventional scribe device.
2 is a view showing the configuration of a conventional tip holder.
3 is a perspective view showing a conventional tip holder.
4 is a view showing a conventional holder joint.
5 is a perspective view when inserting a tip holder into a conventional holder joint.
6 is a partial cross-sectional view of a holder joint showing a state where a conventional tip holder is inserted.
7 is a view showing a state where a conventional holder joint is attached to a scribe head.
8 is a perspective view showing the overall configuration of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
It is a figure which shows the structure of the tip holder which concerns on embodiment of this invention.
It is a figure which shows the holder joint of embodiment of this invention.
11A is a partial cross-sectional view showing a state immediately before the tip holder is inserted into the holder joint in the embodiment of the present invention.
11B is a partial cross-sectional view showing a state where a tip holder is inserted into a holder joint in the embodiment of the present invention.
It is a perspective view which shows the scribe head of embodiment of this invention.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)Best Mode for Carrying Out the Invention [

도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 스크라이브 헤드를 이용한 스크라이브 장치를 나타내는 사시도이다. 이 스크라이브 장치에 있어서, 전술한 종래예와 동일 부분은 동일 부호를 붙이고 있다. 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치(1)는, 이동대(101)가 한 쌍의 안내 레일(102a, 102b)을 따라, y축 방향으로 이동이 자유롭게 지지되어 있다. 볼나사(103)는 이동대(101)와 나사결합하고 있다. 볼나사(103)는 모터(104)의 구동에 의해 회전하여, 이동대(101)를 안내 레일(102a, 102b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(101)의 상면에는 모터(105)가 형성되어 있다. 모터(105)는 테이블(106)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 취성 재료 기판(107)은 이 테이블(106) 상에 올려 놓여지고, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 지지된다. 스크라이브 장치(1)의 상부에는, 취성 재료 기판(107)의 얼라인먼트 마크를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(108)가 형성되어 있다.8 is a perspective view showing a scribe device using a scribe head according to an embodiment of the present invention. In this scribe device, the same parts as those of the conventional example described above have the same reference numerals. In the scribing apparatus 1 which concerns on this embodiment, the movement table 101 is supported freely in the y-axis direction along a pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed into the movable base 101. The ball screw 103 is rotated by the drive of the motor 104 to move the movable base 101 along the guide rails 102a and 102b in the y-axis direction. The motor 105 is formed on the upper surface of the movable table 101. The motor 105 rotates the table 106 in the xy plane to position at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on this table 106 and supported by vacuum suction means or the like not shown. In the upper part of the scribing apparatus 1, two CCD cameras 108 which image the alignment mark of the brittle material substrate 107 are formed.

스크라이브 장치(1)에는, 이동대(101)와 그 상부의 테이블(106)을 걸치도록 브릿지(110)가 x축 방향을 따라 지주(111a, 111b)에 의해 가설되어 있다. 스크라이브 헤드(112)는 브릿지(110)에 형성된 가이드(113)를 따라 x축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 모터(114)는 스크라이브 헤드(112)를 x축 방향을 따라 이동시키는 것이다. 스크라이브 헤드(112)의 선단부에는, 후술하는 팁 홀더(10)가 홀더 조인트(20)를 통하여 부착되어 있다. 여기에서 모터(104)와 안내 레일(102a, 102b), 볼나사(103)는 테이블을 y축 방향으로 이동시키는 이동부이며, 브릿지(110), 지주(111a, 111b), 가이드(113)는 스크라이브 헤드를 x축 방향으로 이동시키는 이동부이며, 모터(105)는 테이블을 회전시키는 회전부로서, 이들이 상대 이동부를 구성하고 있다.In the scribing apparatus 1, the bridge 110 is hypothesized by the struts 111a and 111b along the x-axis direction so as to span the movable table 101 and the table 106 on the upper portion thereof. The scribe head 112 is movable in the x-axis direction along the guide 113 formed in the bridge 110. The motor 114 moves the scribe head 112 along the x-axis direction. The tip holder 10 mentioned later is attached to the front-end | tip part of the scribe head 112 via the holder joint 20. As shown in FIG. Here, the motor 104, the guide rails 102a and 102b, and the ball screw 103 are moving parts for moving the table in the y-axis direction, and the bridge 110, the struts 111a and 111b, and the guide 113 are It is a moving part which moves a scribe head to an x-axis direction, and the motor 105 is a rotating part which rotates a table, and these comprise a relative moving part.

다음으로 스크라이브 헤드에 부착되는 홀더 유닛의 구성에 대하여 설명한다. 홀더 유닛(30)은 홀더 조인트(20)와 팁 홀더(10)에 의해 구성된다. 팁 홀더는, 도 9에 나타내는 바와 같이 원기둥형의 부재로서, 그 일단에는 대략 정방형상의 평탄부(11a, 11b)가 모두 중심축에 평행하게 형성된다. 팁 홀더(10)는 그 평탄부의 사이에 중심축을 따른 절결(12)을 갖고 있고, 평탄부(11a, 11b)의 하단에는 그 면에 수직인 방향의 핀홈(13)을 갖고 있다. 스크라이빙 휠(14)은 예를 들면 휠지름이 2.5mm, 두께 0.5mm 정도의 원판상의 형상을 갖고, 원주 부분의 단면이 원추형으로 형성되어, 중심에 관통구멍을 갖는 커터로서, 단순히 팁으로도 불린다. 스크라이빙 휠(14)은, 핀홈(13)에 삽입된 핀(15)을 중심의 관통구멍에 관통시킴으로써, 회전이 자유롭게 지지된다. 핀(15)을 핀홈(13)에 삽입하여 스크라이빙 휠(14)을 지지한 후는, 스크라이빙 휠의 교환을 요할 경우에도 스크라이빙 휠을 분리하지 않고, 팁 홀더와 함께 교환된다. 한편 팁 홀더(10)의 타단의 원주 부분은 부착부(16)로서, 적어도 부착부(16)가 자성체 금속으로 구성되어 있다. 또한 이 실시 형태에서는 원통형의 팁 홀더의 측면에 대칭으로 돌출하는 원기둥형의 돌기(16a, 16b)를 형성하고 있다. 이 돌기(16a, 16b)는 팁 홀더의 축으로부터 수직으로 돌출시키는 것이 바람직하다. 따라서 돌기(16a, 16b)는 팁 홀더(10)의 부착부(16)의 측벽에 돌기 부재를 심어두어도 좋고, 또한 팁 홀더(10)에 관통구멍을 형성하여 1개의 핀을 통과시켜, 좌우로 돌출시킨 것이어도 좋다.Next, the structure of the holder unit attached to a scribe head is demonstrated. The holder unit 30 is constituted by a holder joint 20 and a tip holder 10. As shown in Fig. 9, the tip holder is a cylindrical member, and at one end thereof, substantially square flat portions 11a and 11b are formed parallel to the central axis. The tip holder 10 has the notch 12 along the center axis between the flat parts, and has the pin groove 13 in the direction perpendicular to the surface at the lower ends of the flat parts 11a and 11b. The scribing wheel 14 is a cutter having a disk shape having a wheel diameter of 2.5 mm and a thickness of about 0.5 mm, for example, and having a conical section in the cross section of the circumference, and having a through-hole at the center. It is also called. The scribing wheel 14 allows the pin 15 inserted in the pin groove 13 to pass through the center through hole so that rotation is freely supported. After the pin 15 is inserted into the pin groove 13 to support the scribing wheel 14, even when the scribing wheel needs to be replaced, the pin 15 is replaced with the tip holder without removing the scribing wheel. . On the other hand, the circumferential portion at the other end of the tip holder 10 is the attachment portion 16, and at least the attachment portion 16 is made of a magnetic metal. In this embodiment, cylindrical projections 16a and 16b are formed to protrude symmetrically to the side surfaces of the cylindrical tip holders. It is preferable that these projections 16a and 16b protrude perpendicularly from the axis of the tip holder. Therefore, the projections 16a and 16b may be provided with a projection member on the side wall of the attachment portion 16 of the tip holder 10, and also form a through hole in the tip holder 10 to pass through one pin to the left and right. It may be protruded.

다음으로 본 실시 형태의 홀더 조인트(20)에 대하여 설명한다. 도 10은 홀더 조인트(20)를 나타내는 도면이다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 홀더 조인트(20)는 상부에 베어링(21a, 21b)을 갖고 있고, 하방이 팁 홀더를 지지하는 지지부(22)로 되어 있다. 홀더 조인트(20)의 지지부(22)에는, 도시와 같이 하방으로부터 원형의 개구(23)가 중심축으로부터 조금 어긋나게 하여 형성되어 있고, 그 내측에 자석(24)이 매설되어 있다. 홀더 조인트(20)의 지지부(22)에는, 개구(23)의 측방에 하방으로부터 좌우 한 쌍의 절결(25a, 25b)이 형성되어 있다. 절결(25a, 25b)은 개구의 중심에 대칭으로 형성하는 것으로 한다. 또한 그 가장 내측 부분은 V자 형상으로 해 두는 것이 바람직하다. 절결(25a, 25b)에는 팁 홀더(10)의 돌기(16a, 16b)를 삽입함으로써 팁 홀더(10)를 위치 결정하는 것이다.Next, the holder joint 20 of this embodiment is demonstrated. 10 is a view showing the holder joint 20. As shown in FIG. 10, the holder joint 20 has bearing 21a, 21b in the upper part, and becomes the support part 22 which supports the tip holder below. In the support part 22 of the holder joint 20, as shown in the figure, the circular opening 23 is formed to shift a little from the central axis, and the magnet 24 is embedded in the inside. In the support part 22 of the holder joint 20, a pair of notches 25a and 25b left and right are formed in the side of the opening 23 from below. The notches 25a and 25b shall be formed symmetrically in the center of the opening. Moreover, it is preferable to make the innermost part into V shape. The tip holder 10 is positioned by inserting the projections 16a and 16b of the tip holder 10 into the notches 25a and 25b.

이와 같이 홀더 조인트(20)를 구성한 후, 전술한 팁 홀더(10)를 홀더 조인트(20)에 부착한다. 부착시에는, 도 11a에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트의 개구(23)에 팁 홀더(10)의 돌기(16a, 16b)를 절결(25a, 25b)에 맞추도록 삽입한다. 삽입해 가면 절결(25a, 25b)의 V자형의 홈에 들어가 위치 결정되어, 도 11b에 나타내는 바와 같이 자석(24)에 의해 팁 홀더(10)를 고정할 수 있다. 팁 홀더(10)는 자석(24)에 의해 흡인되어 있을 뿐이기 때문에, 부착이 매우 용이하며, 소정의 위치에 고정된다.After configuring the holder joint 20 in this manner, the tip holder 10 described above is attached to the holder joint 20. At the time of attachment, as shown to FIG. 11A, the projection 16a, 16b of the tip holder 10 is inserted in the opening 23 of a holder joint so that the notches 25a, 25b may be matched. When inserted, the tip holder 10 can be fixed by the magnet 24 as shown in FIG. 11B by entering the V-shaped grooves of the notches 25a and 25b. Since the tip holder 10 is only sucked by the magnet 24, it is very easy to attach and is fixed to a predetermined position.

도 12는 스크라이브 헤드(112)의 사시도이다. 스크라이브 헤드(112)의 서보 모터(41)는, 회전축을 하측으로 돌출시킨 도립(倒立) 상태로 재치판(載置板; 42)을 통하여 부착판(43)에 부착되어 있다. 서보 모터(41)의 회전축에는, 원통캠(44)이 회전축과 일체적으로 회전하도록 부착되어 있다. 원통캠(44)의 하면은, 수평 상태에 대하여 경사 상태가 된 캠면(44a)으로 되어 있다.12 is a perspective view of the scribe head 112. The servo motor 41 of the scribe head 112 is attached to the attachment plate 43 via a mounting plate 42 in an inverted state in which the rotating shaft protrudes downward. The cylindrical cam 44 is attached to the rotating shaft of the servo motor 41 so that it may rotate integrally with the rotating shaft. The lower surface of the cylindrical cam 44 is a cam surface 44a inclined with respect to the horizontal state.

또한, 스크라이브 헤드(112)는, 하부에 리니어 베어링(45)을 갖고 있고, 이 리니어 베어링(45)에, 홀더 부재(46)가, 상하 방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 리니어 베어링(45)에는, 원통캠(44)의 캠면(44a)에 맞닿는 캠팔로워(cam follower; 47)가, 홀더 부재(46)와 일체적으로 형성되어 있다. 캠팔로워(47)는, 회전 가능한 롤러 형상으로 되어 있다. 홀더 부재(46)와 부착판(43)과의 사이에는, 홀더 부재(46)를 부착판(43)에 대하여 상방을 향하여 탄성 지지하는 탄성체, 예를 들면 코일 스프링(48)이 형성되어 있다. 코일 스프링(48)은 홀더 부재(46)를 상방으로 탄성 지지함으로써, 캠팔로워(47)를 캠면(44a)에 압접하고 있다. 여기에서 서보 모터(41), 원통캠(44), 리니어 베어링(45), 홀더 부재(46), 캠팔로워(47), 코일 스프링(48)은 홀더 유닛(30)을 승강시키는 승강부를 구성하고 있다.Moreover, the scribe head 112 has the linear bearing 45 in the lower part, The holder member 46 is supported by this linear bearing 45 so that it can slide to an up-down direction. In the linear bearing 45, a cam follower 47 which abuts on the cam surface 44a of the cylindrical cam 44 is formed integrally with the holder member 46. As shown in FIG. The cam follower 47 has a rotatable roller shape. Between the holder member 46 and the attachment plate 43, an elastic body, for example, a coil spring 48, which elastically supports the holder member 46 upward with respect to the attachment plate 43 is formed. The coil spring 48 presses the cam follower 47 to the cam surface 44a by elastically supporting the holder member 46 upward. Here, the servo motor 41, the cylindrical cam 44, the linear bearing 45, the holder member 46, the cam follower 47, and the coil spring 48 constitute an elevating portion for elevating the holder unit 30. have.

이와 같이 구성된 스크라이브 장치(1)에 있어서, 승강부에 의해 스크라이빙 휠(14)을 취성 재료 기판의 표면 상을 적절한 하중으로 압접하여 전동해 가서, 스크라이브 라인을 형성한다. 본 실시 형태에서는, 팁 홀더(10)의 돌기(16a, 16b)가 홀더 조인트(20)의 절결(25a, 25b)에 의해 고정되어 있고, 절결(25a, 25b)의 선단이 V자형이기 때문에, 지지 위치를 유지할 수 있어, 만곡한 스크라이브 라인을 형성해도 부착 위치가 움직이는 일은 없다.In the scribing apparatus 1 comprised in this way, the scribing wheel 14 is pressed against the surface of a brittle material board | substrate by a suitable load by an elevating part, and is electrically driven, and a scribe line is formed. In the present embodiment, the projections 16a and 16b of the tip holder 10 are fixed by the notches 25a and 25b of the holder joint 20, and the tip ends of the notches 25a and 25b are V-shaped, The support position can be maintained and the attachment position does not move even if the curved scribe line is formed.

그리고 소정 시간 스크라이브한 후는, 팁 홀더(10)를 교환할 필요가 있다. 이때 로봇 아암 등으로 팁 홀더(10)를 도 11b의 상태로부터 하향으로 인출한다. 이때 팁 홀더의 돌기가 절결(25a, 25b)에 삽입되어 있을 뿐이기 때문에, 횡방향의 힘이 스크라이브시에 가해지고 있었다고 해도 용이하게 팁 홀더(10)를 분리할 수 있다. 이 때문에 팁 홀더(10)의 교환은 용이하며, 지장없이 자동 교환기 등을 이용할 수 있다.After scribing for a predetermined time, the tip holder 10 needs to be replaced. At this time, the tip holder 10 is pulled downward from the state of FIG. 11B with a robot arm or the like. At this time, since the projection of the tip holder is only inserted into the notches 25a and 25b, the tip holder 10 can be easily removed even if the lateral force is applied at the time of scribing. For this reason, the tip holder 10 can be replaced easily, and an automatic changer or the like can be used without any problem.

또한 본 실시 형태에서는, 팁 홀더의 돌기를 2개로 하고 있지만, 단수 또는 복수의 임의의 개수로 해도 좋다. 그 경우에는 절결수는 돌기의 수 이상이면 족하지만, 돌기의 수에 맞춘 수로 하는 것이 바람직하다.In addition, in this embodiment, although the protrusion of a tip holder is made into two, you may make it single or arbitrary arbitrary numbers. In that case, if the number of cutouts is more than the number of protrusions, it is preferable to set it as the number according to the number of protrusions.

본 발명은 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 이용되어, 교환을 용이하게 할 수 있는 팁 홀더, 홀더 유닛에 관한 것으로, 팁 홀더의 부착 위치를 안정화할 수 있고, 교환을 자동화할 수 있다. 따라서 스크라이브 장치에 널리 이용할 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tip holder and a holder unit which are used in a scribing apparatus for forming a scribe line on a brittle material substrate to facilitate exchange, and can stabilize the attachment position of the tip holder and automate the exchange. have. Therefore, it can be widely used for a scribe device.

1 : 스크라이브 장치
10 : 팁 홀더
11a, 11b : 평탄부
12 : 절결
13 : 핀홈
14 : 스크라이빙 휠
15 : 스크라이빙 휠용 핀
16a, 16b : 돌기
20 : 홀더 조인트
21a, 21b : 베어링
22 : 지지부
23 : 개구
24 : 자석
25a, 25b : 절결
112 : 스크라이브 헤드1: scribe device
10: tip holder
11a, 11b: flat part
12: notch
13: pin groove
14: scribing wheel
15: pin for scribing wheel
16a, 16b: projection
20: holder joint
21a, 21b: bearing
22: support
23: opening
24: magnet
25a, 25b: notch
112: scribe head

Claims (1)

홀더 조인트의 일단에 형성되는 개구에 삽입되어 부착되는 팁 홀더로서, 일단(一端)에 취성 재료 기판을 스크라이브하기 위한 스크라이빙 휠을 회전 자유롭게 지지함과 함께, 상기 개구의 측방에 형성되는 절결에 의해 위치가 고정되도록, 그의 측면으로부터 1개 이상의 돌기를 돌출시킨 팁 홀더.A tip holder inserted into and attached to an opening formed at one end of the holder joint, wherein the scribing wheel for scribing a brittle material substrate is rotatably supported at one end, and is formed at the notch formed on the side of the opening. Tip holder protruding one or more projections from the side thereof so that the position is fixed by the.
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