KR20200115181A - Cutter holder attachment unit and scribe apparatus - Google Patents

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KR20200115181A
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요시타카 니시오
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention relates to a cutter holder attachment unit, wherein high precision of scribe formation is maintained while the high exchange operability of a scribing wheel is maintained. The cutter holder attachment unit (1) is used for a scribe device (101) forming a scribe line on a brittle material substrate (W). The cutter holder attachment unit (1) comprises: a cutter holder (2); a holder joint (3); and a pressurization mechanism (21). The cutter holder (2) comprises: a cutter mechanism (4); and a holder body (5) made of a magnetic body and holding the cutter mechanism. The holder joint (3) comprises: a chuck (14) having a plurality of claws (15a to 15c) extending in an axial direction for fixing the cutter holder (2); and a magnet (16) arranged inside the chuck (14). The pressurization mechanism (21) performs pressurization in such a manner that the plurality of claws (15a to 15c) are made close to each other, thereby clamping the holder body (5) with the plurality of claws (15a to 15c).

Description

커터 홀더 부착 유닛 및 스크라이브 장치{CUTTER HOLDER ATTACHMENT UNIT AND SCRIBE APPARATUS}Cutter holder attachment unit and scribe device {CUTTER HOLDER ATTACHMENT UNIT AND SCRIBE APPARATUS}

본 발명은, 커터 홀더 부착 유닛 및 스크라이브 장치, 특히, 커터 홀더와, 홀더 조인트를 갖는 커터 홀더 부착 유닛 및 이것을 이용한 스크라이브 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cutter holder mounting unit and a scribe device, in particular, a cutter holder, a cutter holder mounting unit having a holder joint, and a scribe device using the cutter holder.

유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단에는, 통상 스크라이빙 휠이 이용되고 있다. 구체적으로는, 이 스크라이빙 휠을 유리 기판 상에 압접 롤링시켜서 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하고, 이것에 의해서 기판 표면으로부터 수직방향으로 균열을 일으키고(스크라이브 공정), 이어서 기판에 응력을 가해서 그 수직 균열을 기판의 이면까지 성장시키고(브레이크 공정), 취성 재료 기판의 분단이 행해지고 있다.A scribing wheel is usually used for dividing a brittle material substrate such as a glass substrate. Specifically, this scribing wheel is rolled by pressure on a glass substrate to form a scribe line on the substrate surface, thereby causing a crack in the vertical direction from the substrate surface (scribe step), and then applying a stress to the substrate to Vertical cracks are grown to the back surface of the substrate (brake step), and the brittle material substrate is divided.

기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하면, 점차로 스크라이빙 휠의 칼끝이 마모된다. 칼끝이 마모되면, 스크라이빙 휠의 교환이 필요하게 된다. 그러나, 스크라이빙 휠은 외경이 1.0 내지 5.0㎜ 정도로 소형인 것이기 때문에, 스크라이빙 휠의 교환 작업성이 매우 나쁘다.When a scribe line is formed on the surface of the substrate, the tip of the scribe wheel is gradually worn. When the tip of the knife is worn, the scribing wheel needs to be replaced. However, since the scribing wheel has a small outer diameter of about 1.0 to 5.0 mm, the replacement workability of the scribing wheel is very poor.

그래서, 스크라이빙 휠의 교환 작업성을 개선한 휠 유닛으로서, 팁 홀더가 알려져 있다(특허문헌 1 참조).Therefore, a tip holder is known as a wheel unit with improved scribing wheel replacement workability (see Patent Document 1).

JPJP 2011-2135922011-213592 AA

팁 홀더는, 홀더 본체와 스크라이빙 휠과 핀을 구비하고 있다. 보다 구체적으로는, 팁 홀더는, 홀더 본체의 홈에 있어서, 스크라이빙 휠을 핀으로 회전 가능하게 유지하고 있다.The tip holder includes a holder body, a scribing wheel, and a pin. More specifically, the tip holder holds the scribing wheel rotatable with a pin in the groove of the holder body.

한편, 팁 홀더는, 마그넷이 매설된 홀더 조인트에 대해서 간단히 착탈할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠의 교환 작업성이 매우 양호하다.On the other hand, the tip holder can be easily attached and detached from the holder joint in which the magnet is embedded. Therefore, the scribing wheel replacement workability is very good.

그러나, 팁 홀더는, 직선뿐만 아니라, 곡선 등의 이형(異形) 분단에도 이용된다. 그 경우에는, 분단 시에 생기는 가로방향의 부하에 의해서, 홀더 본체와 홀더 조인트의 접촉 부분에 마모나 파손이 생겨버리고, 그 때문에 스크라이브 형성의 정밀도가 저하되는 문제가 있다.However, the tip holder is used not only for straight lines but also for deformed divisions such as curves. In this case, there is a problem that abrasion or breakage occurs in the contact portion between the holder body and the holder joint due to a transverse load generated at the time of division, and thus the accuracy of scribe formation is lowered.

본 발명의 목적은, 커터 홀더 부착 유닛에 있어서, 스크라이빙 휠의 교환 작업성에 부가해서, 스크라이브 형성의 정밀도도 높게 유지하는 것에 있다.An object of the present invention is to maintain high accuracy of scribing formation in addition to the workability of replacing the scribing wheel in a unit with a cutter holder.

이하에, 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 양상을 설명한다. 이들 양상은, 필요에 따라서 임의로 조합시킬 수 있다.Hereinafter, a plurality of aspects will be described as a means for solving the problem. These aspects can be arbitrarily combined as needed.

본 발명의 일 견지에 따른 커터 홀더 부착 유닛은, 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 이용되는 것이며, 커터 홀더와, 홀더 조인트와, 가압 기구를 구비하고 있다.The cutter holder attachment unit according to an aspect of the present invention is used in a scribe device for forming a scribe line on a brittle material substrate, and includes a cutter holder, a holder joint, and a pressing mechanism.

커터 홀더는, 커터 기구와, 자성체로 이루어져 커터 기구를 유지하는 홀더 본체를 구비한다.The cutter holder includes a cutter mechanism and a holder body made of a magnetic material to hold the cutter mechanism.

홀더 조인트는, 커터 홀더를 고정시키기 위해서 축방향으로 뻗는 복수의 손톱형상부, 즉, 클릭을 구비하는 척(chuck)과, 척의 내측에 배치된 자석을 구비한다.The holder joint includes a plurality of nail-shaped portions extending in the axial direction in order to fix the cutter holder, i.e., a chuck having a click, and a magnet disposed inside the chuck.

가압 기구는, 복수의 클릭을 서로 접근하도록 가압함으로써, 복수의 클릭에 의해서 홀더 본체를 사이에 끼워 부착한다.The pressing mechanism presses a plurality of clicks so as to approach each other, so that the holder body is sandwiched between the plurality of clicks.

이 유닛에서는, 커터 홀더를 홀더 조인트 내에 삽입하면, 자석의 힘에 의해서 커터 홀더가 홀더 조인트 내에 유지된다.In this unit, when the cutter holder is inserted into the holder joint, the cutter holder is held in the holder joint by the force of the magnet.

또한, 복수의 클릭이 가압 기구에 의해서 홀더 본체를 끼워 부착하고 있으므로, 예를 들면 커터 기구가 곡선형상의 스크라이브 라인을 형성해서 커터 기구의 진행 방향에 대해서 횡방향의 힘이 홀더 본체에 가해진 경우에도, 홀더 본체가 홀더 조인트에 확실히 접촉한 상태를 유지할 수 있다. 따라서, 곡선의 스크라이브 가공 중에 커터 기구가 횡방향으로 어긋나거나, 위치가 이동하거나 하는 일이 없어져, 깨끗한 스크라이브 라인을 정밀도 양호하게 형성할 수 있다.In addition, since a plurality of clicks are attached to the holder body by the pressing mechanism, for example, even when the cutter mechanism forms a curved scribe line and a force in the transverse direction with respect to the traveling direction of the cutter mechanism is applied to the holder body. , The holder body can keep in contact with the holder joint. Therefore, the cutter mechanism does not shift in the transverse direction or the position moves during the curved scribe processing, and a clean scribe line can be formed with high precision.

가압 기구는, 탄성적으로 가압력을 발생시키는 가압력 발생부재를 구비하고 있어도 된다. 이 유닛에서는, 간단한 구조로, 복수의 클릭이 홀더 본체를 끼워 부착할 수 있다.The pressing mechanism may include a pressing force generating member that elastically generates a pressing force. In this unit, with a simple structure, a plurality of clicks can be attached by sandwiching the holder body.

가압 기구는, 복수의 클릭의 각각의 외주측에 배치된 압압부재와, 압압부재에 접촉하는 접촉부재를 더 구비하고 있어도 된다.The pressing mechanism may further include a pressing member disposed on the outer circumferential side of each of the plurality of clicks, and a contact member contacting the pressing member.

압압부재는 구(球)이어도 된다.The pressing member may be spherical.

접촉부재는, 가압력 발생부재로부터의 하중을 축방향에 받는 받이면과, 구에 접촉해서 축방향의 하중의 일부를 클릭 측에의 하중으로 변환시키는 경사면을 구비하고 있어도 된다.The contact member may have a receiving surface that receives a load from the pressing force generating member in the axial direction, and an inclined surface that contacts the sphere and converts a part of the load in the axial direction into a load on the click side.

이 유닛에서는, 가압부재, 접촉부재 및 압압부재에 의해서, 간단한 구조로, 복수의 클릭이 홀더 본체를 끼워 부착할 수 있다.In this unit, by means of a pressing member, a contact member, and a pressing member, a plurality of clicks can be attached by sandwiching the holder body with a simple structure.

홀더 본체는, 접촉면을 외주측에 구비하고 있어도 된다.The holder body may have a contact surface on the outer circumferential side.

커터 홀더 부착 유닛은, 척의 내측에 고정되어, 접촉면에 접촉함으로써 홀더 본체를 척에 회전 방지시키는 회전 방지 부재를 더 포함하고 있어도 된다.The cutter holder attachment unit may further include a rotation preventing member that is fixed to the inside of the chuck and prevents rotation of the holder body to the chuck by contacting the contact surface.

이 유닛에서는, 커터 홀더를 홀더 조인트 내에 삽입하면, 홀더 본체의 접촉면이 회전 방지 부재에 접촉해서, 장착 완료된다.In this unit, when the cutter holder is inserted into the holder joint, the contact surface of the holder body comes into contact with the rotation preventing member, and the mounting is completed.

척은, 2개의 고강성 클릭과, 1개의 저강성 클릭을 구비하고 있어도 된다.The chuck may be provided with two high-rigidity clicks and one low-rigidity click.

회전 방지 부재는 2개의 고강성 클릭에 고정되어 있어도 된다.The rotation preventing member may be fixed to two high rigidity clicks.

이 유닛에서는, 회전 방지 부재가 2개의 고강성 클릭에 고정되어 있으므로, 클릭이 파손되거나 하기 어렵다.In this unit, since the rotation preventing member is fixed to the two high rigidity clicks, it is difficult to break the click.

본 발명의 다른 견지에 따른 스크라이브 장치는, 커터 홀더 부착 유닛을 이용한다. 커터 홀더 부착 유닛은, 커터 홀더와, 홀더 조인트와, 가압 기구를 구비하고 있다.A scribing device according to another aspect of the present invention uses a cutter holder attachment unit. The cutter holder mounting unit is provided with a cutter holder, a holder joint, and a pressing mechanism.

커터 홀더는, 커터 기구와, 자성체로 이루어져 커터 기구를 유지하는 홀더 본체를 구비한다.The cutter holder includes a cutter mechanism and a holder body made of a magnetic material to hold the cutter mechanism.

홀더 조인트는, 커터 홀더를 고정시키기 위해서 축방향으로 뻗는 복수의 클릭을 구비하는 척과, 척의 내측에 배치된 자석을 구비한다.The holder joint includes a chuck having a plurality of clicks extending in the axial direction for fixing the cutter holder, and a magnet disposed inside the chuck.

가압 기구는, 복수의 클릭을 서로 접근하도록 가압함으로써 복수의 클릭에 의해 홀더 본체를 끼워 부착한다.The pressing mechanism presses a plurality of clicks so as to approach each other, thereby fitting and attaching the holder body by a plurality of clicks.

이 스크라이브 장치에서는, 상기 커터 홀더 부착 유닛과 같은 효과가 얻어진다.In this scribe device, the same effect as the cutter holder attachment unit is obtained.

본 발명에 따른 커터 홀더 부착 유닛 및 스크라이브 장치에서는, 커터 기구의 높은 교환 작업성을 유지하면서, 스크라이브 형성 정밀도를 높게 유지할 수 있다.In the cutter holder mounting unit and the scribing apparatus according to the present invention, it is possible to maintain high scribing precision while maintaining high exchangeability of the cutter mechanism.

도 1은 스크라이브 장치의 개략 사시도.
도 2는 커터 홀더 부착 유닛의 정면도.
도 3은 커터 홀더 부착 유닛의 단면도.
도 4는 커터 홀더 부착 유닛의 분해 사시도.
도 5는 커터 홀더 부착 유닛의 분해 사시도.
도 6은 커터 홀더의 사시도.
도 7은 커터 홀더 부착 유닛의 정면도.
도 8은 커터 홀더 부착 유닛의 부분 사시도.1 is a schematic perspective view of a scribe device.
2 is a front view of the cutter holder attachment unit.
3 is a cross-sectional view of a cutter holder attachment unit.
4 is an exploded perspective view of a cutter holder attachment unit.
5 is an exploded perspective view of a cutter holder attachment unit.
6 is a perspective view of the cutter holder.
7 is a front view of the cutter holder attachment unit.
8 is a partial perspective view of a cutter holder attachment unit.

1. 제1 실시형태1. First embodiment

(1) 스크라이브 장치(1) scribe device

도 1을 이용해서, 스크라이브 장치(101)를 설명한다. 도 1은 스크라이브 장치의 개략 사시도이다. 스크라이브 장치(101)는, 취성 재료 기판(W)(이하, "기판(W)"이라 칭함)을 스크라이브 가공하는 장치이다. 기판(W)은, 예를 들어, 유리 기판, 세라믹 기판, 사파이어 기판, 실리콘 기판 등이다.The scribe device 101 will be described using FIG. 1. 1 is a schematic perspective view of a scribe device. The scribing apparatus 101 is an apparatus for scribe processing a brittle material substrate W (hereinafter referred to as "substrate W"). The substrate W is, for example, a glass substrate, a ceramic substrate, a sapphire substrate, or a silicon substrate.

스크라이브 장치(101)는, 기판(W)을 얹어놓는 테이블(102)을 구비하고 있다. 테이블(102)은 이동대(103)에 실려 있고, 이동대(103)는 수평한 레일(105a, 105b)을 따라서 이동할 수 있게 되어 있고, 모터(106)에 의해서 회전하는 볼나사(107)에 의해 구동된다.The scribe device 101 is provided with a table 102 on which a substrate W is placed. The table 102 is mounted on a moving table 103, and the moving table 103 is capable of moving along horizontal rails 105a and 105b, and is attached to a ball screw 107 that rotates by a motor 106. Driven by

또, 이하의 설명에서는, 레일(105a, 105b)이 뻗는 수평방향을 Y방향으로 하고, 이에 직교하는 수평방향을 X방향으로 한다.In the following description, the horizontal direction in which the rails 105a and 105b extend is referred to as the Y direction, and the horizontal direction orthogonal thereto is referred to as the X direction.

테이블(102)은, 기판(W)을 정위치에서 유지할 수 있도록 유지 수단(도시 생략)을 구비하고 있다. 유지 수단은, 예를 들어, 테이블(102)에 개구시킨 다수의 작은 흡착 구멍(도시 생략)으로부터의 에어 흡인이다.The table 102 is provided with holding means (not shown) so that the board|substrate W can be held in a fixed position. The holding means is, for example, suction of air from a number of small suction holes (not shown) opened in the table 102.

스크라이브 장치(101)에는, 이동대(103)와 테이블(102)을 넘는 것 같이, X방향을 따라서 브리지(111)가, 지주(112a, 112b)에 의해서 가설되어 있다.In the scribing apparatus 101, a bridge 111 is provided along the X-direction by the posts 112a and 112b as if the moving table 103 and the table 102 are crossed.

브리지(111)에는, 가이드(113)가 부착되어 있고, 스크라이브 헤드(114)가 가이드(113)를 따라서 X방향을 따라서 이동 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 스크라이브 헤드(114)에는, 커터 홀더 부착 유닛(1)(후술)이 부착되어 있다.A guide 113 is attached to the bridge 111, and a scribe head 114 is provided so as to be movable along the guide 113 along the X direction. Then, a cutter holder mounting unit 1 (described later) is attached to the scribe head 114.

전술한 바와 같이 해서 스크라이브 장치(101)의 스크라이브 헤드(114)에 부착된 커터 홀더 부착 유닛(1)의 커터 휠(6)(후술)을, 테이블(102)위에 놓은 기판(W)의 표면에 강하시켜, 기판(W)의 표면에 압압하면서 상대적으로 직선 이동시킴으로써, 기판(W)의 표면에 분단용의 스크라이브 라인을 가공한다.As described above, the cutter wheel 6 (to be described later) of the cutter holder attachment unit 1 attached to the scribe head 114 of the scribe device 101 is placed on the surface of the substrate W placed on the table 102. The scribe line for division is processed on the surface of the substrate W by descending and relatively linearly moving while pressing against the surface of the substrate W.

(2) 커터 홀더 부착 유닛(2) Cutter holder attachment unit

도 2 내지 도 8을 이용해서, 커터 홀더 부착 유닛(1)을 설명한다.The cutter holder attachment unit 1 will be described using Figs. 2 to 8.

커터 홀더 부착 유닛(1)(커터 홀더 부착 유닛의 일례)은, 취성 재료 기판(W)에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치(101)에 이용되는 것이며, 커터 홀더(2)(커터 홀더의 일례)와, 홀더 조인트(3)(홀더 조인트의 일례)를 구비하고 있다.The cutter holder attachment unit 1 (an example of a cutter holder attachment unit) is used for the scribe device 101 that forms a scribe line on the brittle material substrate W, and the cutter holder 2 (an example of a cutter holder) Wow, a holder joint 3 (an example of a holder joint) is provided.

커터 홀더(2)는, 커터 기구(4)와, 커터 기구(4)를 유지하는 홀더 본체(5)를 구비한다. 커터 기구(4)는, 홀더 본체(5)의 하단부분에 홀더 본체(5)의 축심에 대해서 직교하는 휠축을 개재해서 회전 가능하게 지지된 커터 휠(6)을 구비하고 있다.The cutter holder 2 includes a cutter mechanism 4 and a holder body 5 that holds the cutter mechanism 4. The cutter mechanism 4 is provided with a cutter wheel 6 rotatably supported at the lower end of the holder body 5 via a wheel shaft orthogonal to the axial center of the holder body 5.

홀더 본체(5)는, 철 등의 자성체로 이루어지고, 대략 원기둥 형상의 몸통부를 구비하고 있다. 홀더 본체(5)의 상부에는, 홀더 조인트(3)에 부착할 때의 위치 결정용의 부착부(7)가 설치되어 있다. 부착부(7)는, 도 3 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 홀더 본체(5)의 일부를 절결시켜 형성된 평면부(7a)와 경사면(7b)을 구비하고 있다. 평면부(7a)는 홀더 본체(5)의 축심에 대해서 평행하다. 경사면(7b)도 평면이다.The holder body 5 is made of a magnetic material such as iron, and has a substantially cylindrical body portion. The upper part of the holder body 5 is provided with an attachment part 7 for positioning when attaching to the holder joint 3. The attachment portion 7 includes a flat portion 7a and an inclined surface 7b formed by cutting a part of the holder body 5 as shown in FIGS. 3 and 6. The flat portion 7a is parallel to the axial center of the holder body 5. The inclined surface 7b is also a plane.

홀더 조인트(3)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상부에 상하 방향으로 뻗는 선회축(8)을 구비하고, 이 선회축(8)이 스크라이브 장치(101)의 스크라이브 헤드(114)에, 상하 1쌍의 구슬 베어링(10, 11)을 개재해서 회동 가능하게 부착되어 있다.The holder joint 3, as shown in Fig. 3, has a pivot shaft 8 extending in the vertical direction at the top, and the pivot shaft 8 is attached to the scribe head 114 of the scribe device 101, up and down. It is attached so as to be rotatable through a pair of ball bearings (10, 11).

홀더 조인트(3)는, 척(14)(척의 일례)을 구비하고 있다. 척(14)은, 홀더 조인트(3)에 커터 홀더(2)를 용이하게 착탈 가능하게 하는 것이다. 척(14)은, 복수의 체결편(15a 내지 15c)(클릭의 일례)을 구비한다. 체결편(15a 내지 15c)은, 커터 홀더(2)를 고정시키기 위해서 축방향으로 뻗는 체결편(15a 내지 15c)에 의해서, 커터 홀더(2)를 받아들이는 단면이 대략 원형의 개구부가 아래쪽을 향해서 개구되어 형성되어 있다. 구체적으로는, 체결편(15a 내지 15c)은, 등각 간격으로 배치된, 평면에서 보아서 원호 형상의 부재이다. 체결편(15a 내지 15c)은, 각각 100 내지 110도 정도의 각도를 갖고 있다. 또, 체결편(15a 내지 15c)이 커터 홀더(2)를 체결한 상태에서, 커터 홀더(2)의 축심이, 척(14)의 중심에 합쳐진다.The holder joint 3 is provided with a chuck 14 (an example of a chuck). The chuck 14 makes it possible to easily attach and detach the cutter holder 2 to the holder joint 3. The chuck 14 includes a plurality of fastening pieces 15a to 15c (an example of a click). The fastening pieces 15a to 15c are formed by fastening pieces 15a to 15c extending in the axial direction in order to fix the cutter holder 2, so that the cross-section for receiving the cutter holder 2 is substantially circular with the opening facing downward. It is formed by opening. Specifically, the fastening pieces 15a to 15c are members of an arc shape in plan view arranged at equiangular intervals. The fastening pieces 15a to 15c each have an angle of about 100 to 110 degrees. Further, with the fastening pieces 15a to 15c fastening the cutter holder 2, the axial center of the cutter holder 2 is joined to the center of the chuck 14.

또, 체결편(15a 내지 15c)은, 2개의 고강성의 체결편(15a, 15b)과, 1개의 저강성의 체결편(15c)을 구비하고 있다. 구체적으로는, 저강성 체결편(15c)은 다른 2개에 비해서 반경방향의 두께가 작다.Moreover, the fastening pieces 15a to 15c are provided with two fastening pieces 15a and 15b of high rigidity and one fastening piece 15c of low rigidity. Specifically, the low-rigidity fastening piece 15c has a smaller thickness in the radial direction than the other two.

척(14)의 내부에는, 척(14)의 축심과는 떨어진 개소에서 해당 축심과 직교하는 방향으로 뻗는 위치 결정용의 평행 핀(16)(회전 방지 부재의 일례)이 설치되어 있다. 이것에 의해, 커터 홀더(2)가 척(14)에 삽입되었을 때에, 평행 핀(16)이 커터 홀더(2)의 홀더 본체(5)의 경사면(7b)에 접촉하고, 경사면(7b)의 배면측의 둘레면을 체결편(15c)의 내면에 압압하여, 커터 홀더(2)의 방향이나 자세가 일정해지도록 위치 결정한다.Inside the chuck 14, a positioning parallel pin 16 (an example of a rotation preventing member) extending in a direction orthogonal to the axis center of the chuck 14 is provided at a location away from the axis center of the chuck 14. Thus, when the cutter holder 2 is inserted into the chuck 14, the parallel pin 16 contacts the inclined surface 7b of the holder body 5 of the cutter holder 2, and the inclined surface 7b is The circumferential surface on the rear side is pressed against the inner surface of the fastening piece 15c, and the position of the cutter holder 2 is positioned so that the direction or posture is constant.

또한, 이 때에, 도 3에 나타낸 바와 같이, 커터 휠(6)의 접지점이 선회축(8)의 축심에 대해서 커터 휠(6)의 주행 방향 후측에 L1만큼 어긋나도록 위치 결정된다. 이 어긋남은, 커터 휠(6)의 주행 시에 항상 진행 방향으로 되돌아가려고 하는 소위 "캐스터 효과"를 발휘해서 커터 휠(6)의 직진성을 조장하기 위한 것이다.In addition, at this time, as shown in FIG. 3, the ground point of the cutter wheel 6 is positioned so as to be shifted by L1 to the rear side in the traveling direction of the cutter wheel 6 with respect to the axial center of the pivot shaft 8. This shift is intended to promote the straightness of the cutter wheel 6 by exerting a so-called "caster effect" that always tries to return to the traveling direction when the cutter wheel 6 runs.

또, 평행 핀(16)은, 2개의 고강성 체결편(15a, 15b)에 고정되어 있다. 따라서, 홀더 본체(5)의 경사면(7b)의 배면측의 둘레면이 압압되는 상대는, 저강성의 체결편(15c)이다. 따라서, 저강성 체결편(15c)이 충분히 휨으로써, 홀더 본체(5)와 척(14)의 밀착성이 향상된다.Moreover, the parallel pin 16 is fixed to two high rigidity fastening pieces 15a, 15b. Accordingly, the opponent to which the circumferential surface on the rear side of the inclined surface 7b of the holder body 5 is pressed is the fastening piece 15c of low rigidity. Therefore, when the low rigidity fastening piece 15c is sufficiently bent, the adhesion between the holder body 5 and the chuck 14 is improved.

홀더 조인트(3)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 척(14)의 밑면에 설치된 자석(15)을 구비하고 있다. 자석(15)은 커터 홀더(2)를 흡착 유지하기 위한 부재이다.The holder joint 3 is provided with the magnet 15 provided on the bottom surface of the chuck 14, as shown in FIG. The magnet 15 is a member for adsorbing and holding the cutter holder 2.

척(14)은, 도 3 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 가압 기구(21)를 구비한다. 가압 기구(21)는, 복수의 체결편(15a 내지 15c)을 서로 접근하도록 가압함으로써 그들에 의해 홀더 본체(5)를 끼워 부착하는 기구이다.The chuck 14 includes a pressing mechanism 21 as shown in FIGS. 3 to 5. The pressing mechanism 21 is a mechanism for fitting and attaching the holder body 5 by pressing the plurality of fastening pieces 15a to 15c so as to approach each other.

가압 기구(21)는, 코일 스프링(22)(가압력 발생부재의 일례)을 구비하고 있다. 이 유닛에서는, 간단한 구조로, 복수의 체결편(15a 내지 15c)이 홀더 본체(5)를 끼워 부착할 수 있다. 또한, 코일 스프링(22)의 교환도 용이하다.The pressing mechanism 21 includes a coil spring 22 (an example of a pressing force generating member). In this unit, with a simple structure, a plurality of fastening pieces 15a to 15c can be attached by sandwiching the holder body 5. In addition, replacement of the coil spring 22 is also easy.

가압 기구(21)는, 복수의 체결편(15a 내지 15c)의 각각의 외주측에 배치된 압압부재(23)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 압압부재(23)는 구이다. 압압부재(23)는, 체결편(15a 내지 15c)에 형성된 구멍(24)의 외측 단부에 착좌되어 있다.The pressing mechanism 21 is provided with a pressing member 23 disposed on the outer circumferential side of each of the plurality of fastening pieces 15a to 15c. Specifically, the pressing member 23 is a sphere. The pressing member 23 is seated at the outer end of the hole 24 formed in the fastening pieces 15a to 15c.

가압 기구(21)는, 통 형상 부재(25)(접촉부재의 일례)를 구비하고 있다. 통 형상 부재(25)는, 압압부재(23)에 접촉하는 부재이다. 통 형상 부재(25)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 코일 스프링(22)으로부터의 하중을 축방향에 받는 받이면(25a)과, 압압부재(23)에 접촉해서 축방향의 하중의 일부를 체결편(15a 내지 15c) 측에의 하중으로 변환하는 경사면(25b)을 구비하고 있다.The pressing mechanism 21 is provided with a cylindrical member 25 (an example of a contact member). The cylindrical member 25 is a member that contacts the pressing member 23. As shown in FIG. 3, the cylindrical member 25 contacts the receiving surface 25a, which receives the load from the coil spring 22 in the axial direction, and the pressing member 23, so as to absorb a part of the load in the axial direction. It is provided with an inclined surface 25b that converts into a load on the side of the fastening pieces 15a to 15c.

구체적으로는, 통 형상 부재(25)는, 하측 단부에 있어서 반경방향 내측으로 뻗는 플랜지를 구비하고 있고, 플랜지의 위쪽이 환상의 받이면(25a)이며, 아래쪽이 환상의 경사면(25b)이다. 코일 스프링(22)은, 통 형상 부재(25)의 내측에 있어서, 홀더 조인트(3)의 일부와 통 형상 부재(25)의 플랜지의 받이면(25a) 사이에서 연장되어 있고, 장착 상태에서 압축되어 있다. 따라서, 코일 스프링(22)은, 통 형상 부재(25)를 아래쪽으로 상시 가압하고 있다. 그 결과, 3개의 압압부재(23)는 3개의 체결편(15a 내지 15c)을 각각 반경방향 내측으로 압압하고 있다.Specifically, the cylindrical member 25 includes a flange extending radially inward at the lower end thereof, and the upper side of the flange is an annular receiving surface 25a, and the lower end is an annular inclined surface 25b. The coil spring 22 extends between a part of the holder joint 3 and the receiving surface 25a of the flange of the cylindrical member 25 on the inside of the cylindrical member 25, and is compressed in the attached state. Has been. Therefore, the coil spring 22 always presses the cylindrical member 25 downward. As a result, the three pressing members 23 press each of the three fastening pieces 15a to 15c radially inward.

이와 같이, 코일 스프링(22), 통 형상 부재(25) 및 압압부재(23)에 의해서, 간단한 구조로, 복수의 체결편(15a 내지 15c)이 홀더 본체(5)를 끼워 부착할 수 있다.In this way, by means of the coil spring 22, the cylindrical member 25, and the pressing member 23, a plurality of fastening pieces 15a to 15c can be attached by sandwiching the holder body 5 with a simple structure.

(3) 커터 홀더의 부착 및 제거 동작(3) Cutter holder attachment and removal operation

커터 홀더(2)를 홀더 조인트(3)에 부착할 때에는, 커터 홀더(2)의 부착부(7) 측을 홀더 조인트(3)의 척(14) 내에 끼워 부착한다. 그러면, 부착부(7)의 경사면(7b)에 평행 핀(16)이 접촉해서 위치 결정되는 동시에, 커터 홀더(2)의 상단부가 자석(15)에 흡인되어서 유지된다. 이때, 자석(15)에 의해서 커터 홀더(2)가 끌어올려지므로, 부착부(7)의 경사면(7b)이 평행 핀(16)에 압압된다. 이것에 의해, 커터 홀더(2)의 자세가 자동적으로 일정 방향을 향한 상태에서 홀더 조인트(3)에 부착된다.When attaching the cutter holder 2 to the holder joint 3, the attachment portion 7 side of the cutter holder 2 is inserted into the chuck 14 of the holder joint 3 and attached. Then, the parallel pin 16 is positioned by contacting the inclined surface 7b of the attachment portion 7 and at the same time, the upper end portion of the cutter holder 2 is sucked and held by the magnet 15. At this time, since the cutter holder 2 is pulled up by the magnet 15, the inclined surface 7b of the attachment portion 7 is pressed against the parallel pin 16. Thereby, the posture of the cutter holder 2 is attached to the holder joint 3 in a state that automatically faces a certain direction.

다음에, 코일 스프링(22) 및 통 형상 부재(25)를 홀더 조인트(3)에 끼워 넣어간다. 구체적으로는, 통 형상 부재(25)와 홀더 조인트(3) 사이에서 코일 스프링(22)을 압축한다. 그 상태를 유지한 채, 압압부재(23)를 체결편(15a 내지 15c)의 구멍(24)에 끼운다. 그러면, 통 형상 부재(25)의 경사면(25b)이 압압부재(23)를 축심방향으로 압압하고, 압압부재(23) 및 체결편(15a 내지 15c)을 반경방향 내측으로 압압한다. 이 결과, 각 체결편(15a 내지 15c)이 홀더 본체(5)를 끼워 부착한다. 그 결과, 커터 홀더(2)가 홀더 조인트(3)에 견고하게 고정된다.Next, the coil spring 22 and the cylindrical member 25 are fitted into the holder joint 3. Specifically, the coil spring 22 is compressed between the cylindrical member 25 and the holder joint 3. While maintaining that state, the pressing member 23 is inserted into the hole 24 of the fastening pieces 15a to 15c. Then, the inclined surface 25b of the cylindrical member 25 presses the pressing member 23 in the axial direction, and presses the pressing member 23 and the fastening pieces 15a to 15c radially inward. As a result, each of the fastening pieces 15a to 15c is attached by sandwiching the holder body 5. As a result, the cutter holder 2 is firmly fixed to the holder joint 3.

이와 같이 복수의 체결편(15a 내지 15c)이 가압 기구(21)에 의해서 홀더 본체(5)를 끼워 부착하고 있으므로, 예를 들면 곡선의 스크라이브 가공을 행하는 등, 커터 휠(6)의 진행 방향에 대해서 횡방향의 힘이 커터 홀더(2)에 가해진 경우에도, 홀더 본체(5)가 홀더 조인트(3)에 확실히 접촉한 상태를 유지할 수 있다. 따라서, 곡선의 스크라이브 가공 중에 커터 휠이 횡방향으로 어긋나거나, 위치가 이동하거나 하는 일이 없어져, 깨끗한 스크라이브 라인을 정밀도 양호하게 형성할 수 있다. 커터 휠(6)이 마모되어 교환할 때에는, 통 형상 부재(25)를 코일 스프링(22)의 가압력에 저항해서 위쪽으로 압압하면, 통 형상 부재(25)의 경사면(25b)이 압압부재(23)로부터 떨어지므로, 홀더 본체(5)를 끼워 부착하고 있는 복수의 체결편(15a 내지 15c)이 헐거워지고, 그 결과, 커터 홀더(2)가 홀더 조인트(3)로부터 분리 가능하게 된다. 이와 같이 커터 홀더(2)의 제거가 용이하다.In this way, since the plurality of fastening pieces 15a to 15c are attached by sandwiching the holder body 5 by the pressing mechanism 21, for example, a curved scribe process is performed, etc., in the direction of travel of the cutter wheel 6 On the other hand, even when a force in the transverse direction is applied to the cutter holder 2, the holder body 5 can maintain a state in which the holder body 5 reliably contacts the holder joint 3. Therefore, the cutter wheel does not shift in the lateral direction or the position is moved during the curved scribe processing, and a clean scribe line can be formed with high precision. When the cutter wheel 6 is worn and replaced, when the cylindrical member 25 is pressed upward against the pressing force of the coil spring 22, the inclined surface 25b of the cylindrical member 25 becomes the pressing member 23 ), the plurality of fastening pieces 15a to 15c to which the holder body 5 is fitted are loosened, and as a result, the cutter holder 2 becomes detachable from the holder joint 3. In this way, it is easy to remove the cutter holder 2.

2. 기타 실시형태2. Other embodiments

이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시형태 및 변형예는 필요에 따라서 임의로 조합 가능하다.As described above, one embodiment of the present invention has been described, but the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention. In particular, a plurality of embodiments and modifications described in the present specification can be arbitrarily combined as necessary.

본 발명은, 커터 홀더와 홀더 조인트를 갖는 커터 홀더 부착 유닛 및 스크라이브 장치에 널리 적용할 수 있다.The present invention can be widely applied to a cutter holder attachment unit and a scribe device having a cutter holder and a holder joint.

1: 커터 홀더 부착 유닛 2: 커터 홀더
3: 홀더 조인트 4: 커터 기구
5: 홀더 본체 6: 커터 휠
7: 부착부 7a: 평면부
7b: 경사면 8: 선회축
14: 척 15: 자석
15a: 고강성 체결편 15b: 고강성 체결편
15c: 저강성 체결편 16: 평행 핀
21: 가압 기구 22: 코일 스프링
23: 압압부재 24: 구멍
25: 통 형상 부재 25a: 받이면
25b: 경사면 W: 취성 재료 기판1: Cutter holder attachment unit 2: Cutter holder
3: holder joint 4: cutter mechanism
5: holder body 6: cutter wheel
7: attachment portion 7a: flat portion
7b: slope 8: pivot
14: chuck 15: magnet
15a: high rigidity fastening piece 15b: high rigidity fastening piece
15c: low rigidity fastening piece 16: parallel pin
21: pressure mechanism 22: coil spring
23: pressure member 24: hole
25: cylindrical member 25a: receiving surface
25b: inclined surface W: brittle material substrate

Claims (6)

취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 이용되는 커터 홀더 부착 유닛으로서,
커터 기구와, 자성체로 이루어져 상기 커터 기구를 유지하는 홀더 본체를 구비하는 커터 홀더와,
상기 커터 홀더를 고정시키기 위해서 축방향으로 뻗는 복수의 클릭을 구비하는 척(chuck)과, 상기 척의 내측에 배치된 자석을 구비하는 홀더 조인트와,
상기 복수의 클릭을 서로 접근하도록 가압함으로써 상기 복수의 클릭에 의해서 상기 홀더 본체를 끼워 부착하는 가압 기구
를 포함하는, 커터 홀더 부착 유닛.A cutter holder attachment unit used in a scribe device for forming a scribe line on a brittle material substrate,
A cutter holder comprising a cutter mechanism and a holder body made of a magnetic material to hold the cutter mechanism,
A chuck having a plurality of clicks extending in the axial direction to fix the cutter holder, and a holder joint having a magnet disposed inside the chuck,
A pressing mechanism for inserting and attaching the holder body by the plurality of clicks by pressing the plurality of clicks to approach each other
Containing a cutter holder attachment unit. 제1항에 있어서, 상기 가압 기구는, 탄성적으로 가압력을 발생시키는 가압력 발생부재를 구비하고 있는, 커터 홀더 부착 유닛.The cutter holder attachment unit according to claim 1, wherein the pressing mechanism includes a pressing force generating member that elastically generates a pressing force. 제2항에 있어서, 상기 가압 기구는, 상기 복수의 클릭의 각각의 외주측에 배치된 압압부재와, 상기 압압부재에 접촉하는 접촉부재를 더 포함하고,
상기 압압부재는 구(球)이며,
상기 접촉부재는, 상기 가압력 발생부재로부터의 하중을 축방향에 받는 받이면과, 상기 구에 접촉해서 축방향의 하중의 일부를 상기 클릭측에의 하중으로 변환하는 경사면을 구비하는, 커터 홀더 부착 유닛.The pressurizing mechanism according to claim 2, wherein the pressurizing mechanism further comprises a pressurizing member disposed on an outer circumferential side of each of the plurality of clicks, and a contact member contacting the pressurizing member,
The pressing member is a sphere,
The contact member includes a receiving surface receiving a load from the pressing force generating member in the axial direction, and an inclined surface contacting the sphere and converting a part of the load in the axial direction into a load on the click side. unit. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 홀더 본체는 접촉면을 외주측에 지니고,
상기 척의 내측에 고정되어, 상기 접촉면에 접촉함으로써 상기 홀더 본체를 상기 척에 회전 방지시키는 회전 방지 부재를 더 포함하고 있는, 커터 홀더 부착 유닛.The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the holder body has a contact surface on the outer circumference side,
The cutter holder attachment unit, further comprising a rotation preventing member fixed to the inside of the chuck and preventing rotation of the holder body to the chuck by contacting the contact surface. 제4항에 있어서, 상기 척은 2개의 고강성 클릭과, 1개의 저강성 클릭을 구비하고,
상기 회전 방지 부재는 상기 2개의 고강성 클릭에 고정되어 있는, 커터 홀더 부착 유닛.The method of claim 4, wherein the chuck comprises two high-rigidity clicks and one low-rigidity click,
The rotation preventing member is fixed to the two high rigidity clicks, the cutter holder attachment unit. 스크라이브 장치로서,
커터 기구와, 자성체로 이루어져 상기 커터 기구를 유지하는 홀더 본체를 구비하는 커터 홀더와,
상기 커터 홀더를 고정시키기 위해서 축방향으로 뻗는 복수의 클릭을 구비하는 척과, 상기 척의 내측에 배치된 자석을 구비하는 홀더 조인트와,
상기 복수의 클릭을 서로 접근하도록 가압함으로써 상기 복수의 클릭에 의해서 상기 홀더 본체를 끼워 부착하는 가압 기구를 포함하는 커터 홀더 부착 유닛을 이용한, 스크라이브 장치.As a scribe device,
A cutter holder comprising a cutter mechanism and a holder body made of a magnetic material to hold the cutter mechanism,
A chuck having a plurality of clicks extending in an axial direction to fix the cutter holder, and a holder joint having a magnet disposed inside the chuck;
A scribing apparatus using a cutter holder attaching unit including a pressing mechanism for fitting and attaching the holder body by pressing the plurality of clicks to approach each other.
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