JP7109061B2

JP7109061B2 - Holder unit and scribing device

Info

Publication number: JP7109061B2
Application number: JP2018116081A
Authority: JP
Inventors: 良太阪口
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2018-06-19
Filing date: 2018-06-19
Publication date: 2022-07-29
Anticipated expiration: 2038-06-19
Also published as: TWI822761B; CN110614725B; CN110614725A; JP2019217679A; KR20190143356A; TW202000614A

Description

本発明は、基板の表面にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールを備えるホルダユニット、およびそのようなホルダユニットを備えるスクライブ装置に関する。 The present invention relates to a holder unit provided with a scribing wheel for forming a scribe line on the surface of a substrate, and a scribing apparatus provided with such a holder unit.

従来、ガラス基板等の脆性材料基板の分断は、基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、形成されたスクライブラインに沿って基板の表面に所定の力を付加するブレイク工程とによって行われる。スクライブ工程では、スクライビングホイールの刃先が、基板の表面に押し付けられながら、所定のラインに沿って移動される。スクライブ装置は、スクライビングホイールを保持したホルダユニットを取り付けて使用される。 Conventionally, a brittle material substrate such as a glass substrate is divided by a scribing process for forming scribe lines on the surface of the substrate and a breaking process for applying a predetermined force to the surface of the substrate along the formed scribe lines. . In the scribing process, the cutting edge of the scribing wheel is moved along a predetermined line while being pressed against the surface of the substrate. A scribing device is used by attaching a holder unit holding a scribing wheel.

以下の特許文献１には、スクライビングホイールが基板の表面を回転しながら進むことにより、基板表面にスクライブラインを形成するホルダユニットが開示されている。このホルダユニットにおいて、ホルダは、スクライビングホイールを配置するための保持溝を形成する一対の支持部を備える。一対の支持部には、ピン孔が形成されており、ピンは、ピン孔において、ホルダとの間にクリアランスを設けて配置される。これにより、ピンは、スクライビングホイールの回転とともに、回転可能となっている。 Patent Document 1 below discloses a holder unit in which a scribing wheel advances while rotating on the surface of a substrate to form a scribe line on the surface of the substrate. In this holder unit, the holder comprises a pair of supports forming a holding groove for arranging the scribing wheel. A pin hole is formed in the pair of support portions, and the pin is arranged with a clearance provided between it and the holder in the pin hole. This allows the pin to rotate as the scribing wheel rotates.

特許第６０７６７７０号公報Japanese Patent No. 6076770

特許文献１では、一対の支持部のそれぞれに形成されているピン孔において、スクライビングホイールとは反対側の開口部付近の内壁をかしめることで爪部を形成し、ピンがピン孔から抜け落ちないように構成されている。しかし、この構成は、ピン孔のスクライビングホイールと反対側の開口部周辺や、ピン孔の内壁が少なからず変形する。これにより、ピンの姿勢が安定せず、スクライブ動作中のスクライビングホイールの回転が安定しない場合がある。 In Patent Document 1, in a pin hole formed in each of a pair of support portions, a pawl portion is formed by caulking an inner wall near an opening on the opposite side of the scribing wheel to prevent the pin from falling out of the pin hole. is configured as However, in this configuration, the periphery of the opening of the pin hole on the side opposite to the scribing wheel and the inner wall of the pin hole are considerably deformed. As a result, the orientation of the pin may not be stable, and the rotation of the scribing wheel during the scribing operation may not be stable.

かかる課題に鑑み、本発明は、スクライビングホイールが基板の表面を安定的に回転して良好なスクライブラインを形成することができるホルダユニット、およびこのようなホルダユニットを備えたスクライブ装置を提供することを目的とする。 In view of such problems, the present invention provides a holder unit in which a scribing wheel can stably rotate on the surface of a substrate to form a good scribe line, and a scribing apparatus equipped with such a holder unit. With the goal.

本発明の主たる態様は、基板の表面にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールを保持するホルダユニットに関する。この態様に係るホルダユニットは、一対の保持部と、前記一対の保持部の間に形成され、前記スクライビングホイールが挿入される保持溝と、前記保持溝を跨いで前記一対の保持部に同軸上に形成されたピン孔と、前記保持溝に挿入された前記スクライビングホイールの貫通孔と前記ピン孔とに挿入されるピン軸と、前記ピン孔の前記スクライビングホイールとは反対側の端部に嵌め込まれるストッパと、を備え、前記ストッパは、前記一対の保持部のそれぞれに形成されるそれぞれの前記ピン孔において、前記スクライビングホイールとは反対側の端部に嵌め込まれる。 A main aspect of the present invention relates to a holder unit that holds a scribing wheel for forming scribe lines on the surface of a substrate. The holder unit according to this aspect includes a pair of holding portions, a holding groove formed between the pair of holding portions and into which the scribing wheel is inserted, and a holding groove extending coaxially with the pair of holding portions across the holding groove. a through hole of the scribing wheel inserted into the holding groove and a pin shaft inserted into the pin hole; The stopper is fitted to the end opposite to the scribing wheel in each of the pin holes formed in each of the pair of holding portions .

本態様に係るホルダユニットによれば、たとえば、スクライビングホイールとは反対側のピン孔の端部をかしめる等、ピン孔が変形するような加工を施す必要がない。よって、ピン孔の形状によりピン軸に及ぼされる影響は少なく、ピン軸は安定した姿勢を維持することができる。これにより、スクライビングホイールは基板の表面を安定的に回転して、良好なスクライブラインを形成することができる。また、ピン軸の両端にストッパを配置することにより、ピン軸の両端を同じ状態に設定でき、ピン軸をより安定した状態に維持できる。これにより、スクライビングホイールはより安定的に回転し、基板の表面にスクライブラインを適正に形成することができる。
本態様に係るホルダユニットにおいて、前記ストッパは、前記ピン孔に圧入により嵌め込まれるよう構成され得る。 According to the holder unit according to this aspect, there is no need to perform processing that deforms the pin hole, such as crimping the end of the pin hole on the side opposite to the scribing wheel. Therefore, the shape of the pin hole exerts little influence on the pin shaft, and the pin shaft can maintain a stable posture. Thereby, the scribing wheel can stably rotate on the surface of the substrate to form a good scribe line . Also, by disposing stoppers at both ends of the pin shaft, both ends of the pin shaft can be set in the same state, and the pin shaft can be maintained in a more stable state. As a result, the scribing wheel rotates more stably, and a scribe line can be properly formed on the surface of the substrate.
In the holder unit according to this aspect, the stopper may be configured to be press-fitted into the pin hole.

この構成によれば、ストッパはピン孔に強固に固定される。よって、ストッパがピン孔から外れる虞はなく、ピン軸がピン孔から抜け落ちることを確実に防ぐことができる。また、圧入により、ストッパを簡単にピン孔に設けることができる。 According to this configuration, the stopper is firmly fixed to the pin hole. Therefore, there is no possibility that the stopper will come off the pin hole, and the pin shaft can be reliably prevented from falling out of the pin hole. Also, the stopper can be easily provided in the pin hole by press fitting.

本態様に係るホルダユニットにおいて、前記ピン孔は、前記端部に設けられ前記ストッパの嵌め込みを許容する径の第１の領域と、前記第１の領域に繋がり前記ストッパの嵌め込みを制限する径の第２の領域と、を有しており、ホルダユニットは、前記第１の領域に、前記ストッパが収容され、前記第２の領域に、前記ピン軸が収容されるよう構成され得る。 In the holder unit according to this aspect, the pin hole has a first region provided at the end portion and having a diameter that allows the stopper to be fitted thereinto, and a diameter connected to the first region that limits the fitting of the stopper. and a second area, and the holder unit may be configured such that the stopper is accommodated in the first area and the pin shaft is accommodated in the second area.

この構成によれば、スクライビングホイールと反対側の端部からストッパを嵌め込む場合、ストッパは第２の領域まで進入することがない。このため、第２の領域に収容されるピン軸と第１の領域に収容されるストッパとの位置関係を、適正に保つことができる。これにより、ピン軸はストッパにより不所望な制限を受けることがなく、適正な状態に維持され得る。その結果、スクライビングホイールは安定的に回転し、スクライブ動作を円滑に行うことができる。また、上記構成によれば、単にストッパを限界位置まで嵌め込むだけで、ストッパを、適正な位置に装着することができる。 According to this configuration, when the stopper is fitted from the end opposite to the scribing wheel, the stopper does not enter the second region. Therefore, the positional relationship between the pin shaft accommodated in the second area and the stopper accommodated in the first area can be properly maintained. As a result, the pin shaft is not undesirably restricted by the stopper and can be maintained in a proper state. As a result, the scribing wheel rotates stably and the scribing operation can be performed smoothly. Further, according to the above configuration, the stopper can be mounted at an appropriate position simply by fitting the stopper to the limit position.

本態様に係るホルダユニットは、前記第１の領域と前記第２の領域との間に、段部が設けられるよう構成され得る。 The holder unit according to this aspect may be configured such that a stepped portion is provided between the first region and the second region.

この構成によれば、ストッパは、段部により、それ以上ピン孔の内部に進入することはできない。よって、ストッパとピン軸との位置関係を適正に保ち得る。これにより、ピン軸はストッパにより不所望な制限を受けることがなく、適正な状態に維持され得る。その結果、スクライビングホイールは安定的に回転し、スクライブ動作を円滑に行うことができる。 According to this configuration, the stopper cannot enter the inside of the pin hole any further due to the stepped portion. Therefore, it is possible to properly maintain the positional relationship between the stopper and the pin shaft. As a result, the pin shaft is not undesirably restricted by the stopper and can be maintained in a proper state. As a result, the scribing wheel rotates stably and the scribing operation can be performed smoothly.

本態様に係るホルダユニットにおいて、前記第１の領域は、前記スクライビングホイールと反対側の端部から前記第２の領域に近付くにつれて前記第２の領域の径に近づくテーパ状に形成されるよう構成され得る。 In the holder unit according to this aspect, the first region is formed in a tapered shape that approaches the diameter of the second region as it approaches the second region from the end opposite to the scribing wheel. can be

この構成によれば、ピン孔の第１の領域は、スクライビングホイールとは反対側の端部からスクライビングホイールの方に向かって窄むように形成される。よって、第１の領域の途中で、ストッパは停止し、ストッパが第２の領域に進入することができない。よって、ストッパとピン軸との位置関係を適正に保ち得る。これにより、ピン軸はストッパにより不所望な制限を受けることがなく、適正な状態に維持され得る。その結果、スクライビングホイールは安定的に回転し、スクライブ動作を円滑に行うことができる。 According to this configuration, the first region of the pin hole is formed so as to narrow from the end opposite to the scribing wheel toward the scribing wheel. Therefore, the stopper stops in the middle of the first area and cannot enter the second area. Therefore, it is possible to properly maintain the positional relationship between the stopper and the pin shaft. As a result, the pin shaft is not undesirably restricted by the stopper and can be maintained in a proper state. As a result, the scribing wheel rotates stably and the scribing operation can be performed smoothly.

本態様に係るホルダユニットにおいて、前記ストッパは、球体で構成され得る。 In the holder unit according to this aspect, the stopper may be a sphere.

ストッパが球体であれば、ストッパを円形のピン孔に嵌め込むことにより、ピン孔をストッパで確実に塞ぐことができる。よって、ピン孔の端部からのカレット等の侵入を防ぐことができる。 If the stopper is a sphere, the pin hole can be reliably closed by the stopper by fitting the stopper into the circular pin hole. Therefore, it is possible to prevent cullet or the like from entering from the end of the pin hole.

本態様に係るホルダユニットにおいて、前記ストッパは、円柱状に構成され得る。 In the holder unit according to this aspect, the stopper may be cylindrical.

ストッパが円柱状であれば、ストッパを円形のピン孔に嵌め込むことにより、ピン孔をストッパで確実に塞ぐことができる。よって、ピン孔の端部からのカレット等の侵入を防ぐことができる。 If the stopper is cylindrical, the pin hole can be reliably closed by the stopper by fitting the stopper into the circular pin hole. Therefore, it is possible to prevent cullet or the like from entering from the end of the pin hole.

本発明の第２の態様は、基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブ装置に関する。この態様に係るスクライブ装置は、一対の保持部と、前記一対の保持部の間に形成され、スクライビングホイールが挿入される保持溝と、前記保持溝を跨いで前記一対の保持部に同軸上に形成されたピン孔と、前記保持溝に挿入された前記スクライビングホイールの貫通孔と前記ピン孔とに挿入されるピン軸と、前記ピン孔の前記スクライビングホイールとは反対側の端部に嵌め込まれるストッパと、を備えるホルダユニットと、前記基板の表面に垂直な軸の周りに回転可能に前記ホルダユニットを保持するスクライブヘッドと、を備え、前記ストッパは、前記一対の保持部のそれぞれに形成されるそれぞれの前記ピン孔において、前記スクライビングホイールとは反対側の端部に嵌め込まれる。 A second aspect of the present invention relates to a scribing apparatus for forming scribe lines on the surface of a substrate. The scribing device according to this aspect includes a pair of holding portions, a holding groove formed between the pair of holding portions and into which the scribing wheel is inserted, and a shaft extending coaxially with the pair of holding portions across the holding groove. a pin hole formed above; a through hole of the scribing wheel inserted into the holding groove; a pin shaft inserted into the pin hole; and a scribe head that holds the holder unit rotatably around an axis perpendicular to the surface of the substrate , wherein the stopper is attached to each of the pair of holding parts. In each of the formed pin holes, the end opposite to the scribing wheel is fitted .

本構成であれば、上記第１の態様と同様の効果を奏し得る。また、ピン軸の状態が安定するため、基板の表面に良好にスクライブラインを形成するスクライブ装置が構成される。 With this configuration, the same effects as those of the first aspect can be obtained. In addition, since the state of the pin shaft is stabilized, a scribing device is configured to form a good scribing line on the surface of the substrate.

以上のとおり、本発明によれば、スクライビングホイールが基板の表面を安定的に回転して良好なスクライブラインを形成することができるホルダユニット、およびこのようなホルダユニットを備えたスクライブ装置を提供することができる。 As described above, the present invention provides a holder unit in which a scribing wheel can stably rotate the surface of a substrate to form a good scribe line, and a scribing apparatus having such a holder unit. be able to.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の１つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。 The effects and significance of the present invention will become clearer from the description of the embodiments shown below. However, the embodiment shown below is merely an example of carrying out the present invention, and the present invention is not limited to the embodiments described below.

図１は、実施形態に係るホルダユニットを備えるスクライブ装置の構成を模式的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing the configuration of a scribing device provided with a holder unit according to an embodiment. 図２（ａ）は、実施形態に係るホルダユニットおよびホルダユニットが取り付けられたホルダジョイントの側面図である。図２（ｂ）は、ホルダユニットの斜視図であり、図２（ｃ）は、実施形態に係るホルダユニットの分解斜視図である。FIG. 2(a) is a side view of a holder unit and a holder joint to which the holder unit is attached according to the embodiment. FIG. 2(b) is a perspective view of the holder unit, and FIG. 2(c) is an exploded perspective view of the holder unit according to the embodiment. 図３は、実施形態に係るホルダユニットの側面の拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the side surface of the holder unit according to the embodiment. （ａ）、（ｂ）は、実施形態の変更例に係るホルダユニットの側面の拡大断面図である。(a) and (b) are enlarged cross-sectional views of a side surface of a holder unit according to a modification of the embodiment. 図５（ａ）は、実施形態の変更例に係るホルダユニットの側面の拡大断面図である。図５（ｂ）は、実施形態の変更例に係るホルダユニットの底面図である。FIG. 5(a) is an enlarged side sectional view of a holder unit according to a modification of the embodiment. FIG.5(b) is a bottom view of the holder unit which concerns on the example of a change of embodiment.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｚ軸は、スクライビングホイールの中心軸に垂直であり、鉛直方向における上方および下方を示す。以降、上方および下方は、それぞれＺ軸正側およびＺ軸負側を意味する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. For convenience, X-, Y-, and Z-axes that are orthogonal to each other are added to each drawing. The Z-axis is perpendicular to the central axis of the scribing wheel and indicates up and down in the vertical direction. Hereinafter, upward and downward mean the Z-axis positive side and the Z-axis negative side, respectively.

＜スクライブ装置＞
図１は、実施形態に係るスクライブ装置１の構成を模式的に示す図である。スクライブ装置１は、移動台１０を備えている。移動台１０は、ボールネジ１１と螺合されている。移動台１０は、一対の案内レール１２によってＹ軸方向に移動可能に支持されている。モータの駆動によりボールネジ１１が回転することで、移動台１０が、一対の案内レール１２に沿ってＹ軸方向に移動する。 <Scribing device>
FIG. 1 is a diagram schematically showing the configuration of a scribing device 1 according to an embodiment. The scribing device 1 has a moving table 10 . The moving table 10 is screwed with the ball screw 11 . The movable table 10 is supported by a pair of guide rails 12 so as to be movable in the Y-axis direction. By rotating the ball screw 11 by driving the motor, the movable table 10 moves in the Y-axis direction along the pair of guide rails 12 .

移動台１０の上面には、モータ１３が設置されている。モータ１３は、上部に位置するテーブル１４をＸＹ平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ１３により水平回転可能なテーブル１４は、図示しない真空吸着手段を備えている。テーブル１４上に載置された基板１５は、この真空吸着手段によって、テーブル１４上に保持される。 A motor 13 is installed on the upper surface of the moving table 10 . The motor 13 rotates the table 14 positioned above on the XY plane and positions it at a predetermined angle. A table 14 horizontally rotatable by a motor 13 is provided with vacuum suction means (not shown). The substrate 15 placed on the table 14 is held on the table 14 by this vacuum adsorption means.

基板１５は、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、基板１５は、基板の表面または内部に脆性材料に該当しない薄膜あるいは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。 The substrate 15 is a glass substrate, a ceramic substrate made of low-temperature fired ceramics or high-temperature fired ceramics, a silicon substrate, a compound semiconductor substrate, a sapphire substrate, a quartz substrate, or the like. Also, the substrate 15 may be one in which a thin film or a semiconductor material that does not correspond to a brittle material is adhered to or contained on the surface or inside of the substrate.

スクライブ装置１は、テーブル１４に載置された基板１５の上方に、この基板１５の表面Ｈに形成されたアライメントマークを撮像する二台のカメラ１６を備えている。また、移動台１０とその上部のテーブル１４とを跨ぐように、ブリッジ１７が支柱１８ａ、１８ｂに架設されている。 The scribing apparatus 1 is provided with two cameras 16 above the substrate 15 placed on the table 14 for capturing images of alignment marks formed on the surface H of the substrate 15 . Moreover, a bridge 17 is provided on the support columns 18a and 18b so as to straddle the movable table 10 and the table 14 thereabove.

ブリッジ１７には、ガイド１９が取り付けられている。スクライブヘッド２０は、このガイド１９に案内されてＸ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２０は、下端にホルダジョイント２１を備えている。ホルダ３１にスクライビングホイール５０が保持されているホルダユニット３０が、ホルダジョイント２１を介してスクライブヘッド２０に取り付けられている。 A guide 19 is attached to the bridge 17 . The scribing head 20 is installed so as to be guided by this guide 19 and move in the X-axis direction. The scribe head 20 has a holder joint 21 at its lower end. A holder unit 30 in which a scribing wheel 50 is held by a holder 31 is attached to the scribing head 20 via a holder joint 21 .

スクライブ装置１を用いて基板１５の表面Ｈにスクライブラインを形成する場合、まず、スクライビングホイール５０が取り付けられたホルダユニット３０がスクライブヘッド２０に取り付けられる。次に、スクライブ装置１は、一対のカメラ１６によって基板１５の位置決めを行う。そして、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を所定の位置に移動させ、スクライビングホイール５０に対して所定の荷重を印加して、基板１５へ接触させる。その後、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０をＸ軸方向に移動させることにより、基板１５の表面に所定のスクライブラインを形成する。なお、スクライブ装置１は、必要に応じてテーブル１４を回動ないしＹ軸方向に移動し、上記の場合と同様にしてスクライブラインを形成する。 When forming a scribe line on the surface H of the substrate 15 using the scribing device 1 , first, the holder unit 30 to which the scribing wheel 50 is attached is attached to the scribing head 20 . Next, the scribing device 1 positions the substrate 15 using the pair of cameras 16 . Then, the scribing apparatus 1 moves the scribing head 20 to a predetermined position and applies a predetermined load to the scribing wheel 50 to bring it into contact with the substrate 15 . After that, the scribing device 1 forms a predetermined scribe line on the surface of the substrate 15 by moving the scribing head 20 in the X-axis direction. The scribing apparatus 1 rotates or moves the table 14 in the Y-axis direction as necessary to form a scribe line in the same manner as described above.

上記の実施の形態においては、スクライブヘッド２０がＸ軸方向に移動し、テーブル１４がＹ軸方向に移動すると共に、回転するスクライブ装置について示したが、スクライブ装置はスクライブヘッドとテーブルとが相対的に移動するものであればよい。たとえば、スクライブヘッドが固定され、テーブルがＸ軸、Ｙ軸方向に移動し、かつ回転するスクライブ装置であってもよい。また、この場合、カメラ１６はスクライブヘッド２０に固定されていてもよい。 In the above embodiment, the scribing device moves in the X-axis direction and the table 14 moves in the Y-axis direction and rotates. Anything that moves to For example, a scribing device in which the scribing head is fixed and the table moves and rotates in the X-axis and Y-axis directions may be used. Also, in this case, the camera 16 may be fixed to the scribing head 20 .

＜ホルダユニット＞
次に、ホルダユニット３０について説明する。図２（ａ）は、ホルダユニット３０およびホルダユニット３０が取り付けられたホルダジョイント２１の側面図である。図２（ｂ）は、ホルダユニット３０の斜視図であり、図２（ｃ）は、ホルダユニット３０の分解斜視図である。なお、図２（ａ）は、説明の便宜上、ホルダジョイント２１の回転軸部２１１、２つのベアリング２１３ａ、２１３ｂ、スペーサ２１４を断面図で示している。 <Holder unit>
Next, the holder unit 30 will be explained. FIG. 2(a) is a side view of the holder unit 30 and the holder joint 21 to which the holder unit 30 is attached. 2B is a perspective view of the holder unit 30, and FIG. 2C is an exploded perspective view of the holder unit 30. FIG. For convenience of explanation, FIG. 2(a) shows a sectional view of the rotating shaft portion 211, two bearings 213a and 213b, and the spacer 214 of the holder joint 21. As shown in FIG.

ホルダユニット３０は、ホルダジョイント２１に保持されて、スクライブヘッド２０に装着される。また、ホルダユニット３０は、スクライビングホイール５０と、ホルダ３１と、ピン軸３２とが一体となって構成される。ホルダ３１は、磁気吸着が可能な材料（たとえば、磁性体金属）からなっている。 The holder unit 30 is held by the holder joint 21 and attached to the scribing head 20 . Further, the holder unit 30 is configured by integrating the scribing wheel 50, the holder 31, and the pin shaft 32. As shown in FIG. The holder 31 is made of a magnetically attractable material (for example, magnetic metal).

ホルダジョイント２１は、円柱状の回転軸部２１１と、円柱状のジョイント部２１２と、２つのベアリング２１３ａ、２１３ｂと、円筒形状のスペーサ２１４とを備えている。回転軸部２１１が、２つのベアリング２１３ａ、２１３ｂと、スペーサ２１４によって支持されている。これにより、回転軸部２１１とジョイント部２１２とが回転自在に支持されている。ジョイント部２１２には、下端側に円形の開口２１５を備えた穴２１６が形成されている。穴２１６の上部に、磁石２１７が設置されている。磁石２１７は、ホルダユニット３０に磁力を作用させるためのものである。 The holder joint 21 includes a cylindrical rotating shaft portion 211 , a cylindrical joint portion 212 , two bearings 213 a and 213 b and a cylindrical spacer 214 . A rotating shaft portion 211 is supported by two bearings 213 a and 213 b and a spacer 214 . Thereby, the rotating shaft portion 211 and the joint portion 212 are rotatably supported. A hole 216 having a circular opening 215 is formed in the joint portion 212 on the lower end side. A magnet 217 is installed above the hole 216 . The magnet 217 is for applying magnetic force to the holder unit 30 .

ホルダ３１の上部には位置決め用の取付部２２が設けられている。この取付部２２は、ホルダ３１の上部を切り欠いて形成されており、傾斜部２２ａと平坦部２２ｂとを備えている。 A mounting portion 22 for positioning is provided on the upper portion of the holder 31 . The mounting portion 22 is formed by notching the upper portion of the holder 31, and includes an inclined portion 22a and a flat portion 22b.

取付部２２側を上にして、ホルダユニット３０が開口２１５から穴２１６へ挿入される。その際、ホルダ３１の上面が穴２１６の上部の磁石２１７によって引き寄せられる。その途中で、取付部２２の傾斜部２２ａが穴２１６を通る平行ピン２１８と接触する。これにより、ホルダジョイント２１に対するホルダユニット３０の位置決めと固定が行われる。また、ホルダジョイント２１からホルダユニット３０を取り外す際は、磁力に抗してホルダ３１を下方へ引くことでホルダユニット３０を容易に引き抜くことができる。 The holder unit 30 is inserted into the hole 216 from the opening 215 with the mounting portion 22 facing up. At that time, the upper surface of the holder 31 is attracted by the magnet 217 above the hole 216 . Along the way, the inclined portion 22 a of the mounting portion 22 comes into contact with the parallel pin 218 passing through the hole 216 . Thereby, positioning and fixing of the holder unit 30 with respect to the holder joint 21 are performed. When removing the holder unit 30 from the holder joint 21, the holder unit 30 can be easily pulled out by pulling the holder 31 downward against the magnetic force.

なお、ホルダ３１は、必ずしも、全体が磁性体金属から形成されなくともよく、保持部３３ａ、３３ｂが位置する下部が、磁性のない材料で形成され、その他の部分が磁性体で形成されてもよい。 Note that the holder 31 does not necessarily have to be entirely made of magnetic metal. good.

スクライビングホイール５０は、たとえば、焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円板状の部材である。スクライビングホイール５０には、ピン軸３２が挿入される貫通孔５１が形成されている。貫通孔５１は、スクライビングホイール５０の両側面の中心を貫通するように形成されている。また、スクライビングホイール５０の外周部には、稜線を形成するＶ字状の刃が形成されている。スクライビングホイール５０は、たとえば、厚さが０．４～１．１ｍｍ程度、外径が１．０～５．０ｍｍ程度である。また、貫通孔５１の径は、たとえば、０．４～１．５ｍｍ程度、刃の刃先角は、９０～１５０°程度である。 The scribing wheel 50 is a disk-shaped member made of, for example, sintered diamond, cemented carbide, or the like. A through hole 51 into which the pin shaft 32 is inserted is formed in the scribing wheel 50 . The through holes 51 are formed so as to penetrate the centers of both side surfaces of the scribing wheel 50 . A V-shaped blade forming a ridge line is formed on the outer peripheral portion of the scribing wheel 50 . The scribing wheel 50 has, for example, a thickness of approximately 0.4 to 1.1 mm and an outer diameter of approximately 1.0 to 5.0 mm. Further, the diameter of the through hole 51 is, for example, about 0.4 to 1.5 mm, and the edge angle of the blade is about 90 to 150°.

ピン軸３２は、たとえば、焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された部材である。本実施形態では、ピン軸３２は円柱状の部材であり、端部３２ａ、３２ｂが平面状に形成されている。ピン軸３２の径は、スクライビングホイール５０の貫通孔５１の径よりも僅かに小さい。よって、ピン軸３２が貫通孔５１に挿入された状態では、ピン軸３２と貫通孔５１との間に隙間が生じる。 The pin shaft 32 is a member made of, for example, sintered diamond, cemented carbide, or the like. In this embodiment, the pin shaft 32 is a cylindrical member, and the end portions 32a and 32b are formed flat. The diameter of the pin shaft 32 is slightly smaller than the diameter of the through hole 51 of the scribing wheel 50 . Therefore, when the pin shaft 32 is inserted into the through hole 51 , a gap is created between the pin shaft 32 and the through hole 51 .

図２（ａ）に示すように、ホルダ３１の下部は、側面つまりＹ軸の正側から見た場合に、下端に向かって幅が狭くなる台形形状となっている。また、図２（ｂ）、（ｃ）に示すように、ホルダ３１の台形形状部分には、それぞれ保持部３３ａ、３３ｂが形成され、保持部３３ａ、３３ｂとの間に保持溝３４が形成されている。保持溝３４は、Ｘ軸正側の側面から見た場合に、上部は円弧状に、下部は矩形状にそれぞれ形成されている。保持溝３４の下部に、スクライビングホイール５０が挿入される。保持溝３４の下部の内側面３４ａ、３４ｂは、水平面（ＸＹ平面）に垂直である。 As shown in FIG. 2A, the lower portion of the holder 31 has a trapezoidal shape that narrows toward the lower end when viewed from the side, that is, from the positive side of the Y axis. As shown in FIGS. 2B and 2C, holding portions 33a and 33b are formed in the trapezoidal portions of the holder 31, respectively, and a holding groove 34 is formed between the holding portions 33a and 33b. ing. The holding groove 34 has an arc-shaped upper portion and a rectangular lower portion when viewed from the side surface on the positive side of the X-axis. A scribing wheel 50 is inserted under the holding groove 34 . Lower inner side surfaces 34a and 34b of the holding groove 34 are perpendicular to the horizontal plane (XY plane).

ホルダ３１のＸ軸正側および負側の外側面には、内方に凹んでいる凹部３５ａ、３５ｂが形成されている。この凹部３５ａ、３５ｂは、ホルダジョイント２１にホルダユニット３０を着脱する際、操作者の持ち手部分（指を掛ける部分）として機能する。 Concave portions 35a and 35b that are recessed inward are formed on the outer side surfaces of the holder 31 on the positive and negative sides of the X axis. The concave portions 35 a and 35 b function as a handle portion (a portion to put fingers on) of the operator when attaching/detaching the holder unit 30 to/from the holder joint 21 .

保持部３３ａ、３３ｂには、ピン軸３２およびストッパ６０ａ、６０ｂを収容するピン孔３６ａ、３６ｂが、保持溝３４を跨ぐように同軸上に形成されている。本実施形態では、ピン孔３６ａ、３６ｂは、中心軸がＹ軸に平行となるように設けられている。保持部３３ａ、３３ｂのＹ軸正側および負側の下部３７ａ、３７ｂの一部は切り欠かれている。ピン孔３６ａ、３６ｂのスクライビングホイール５０とは反対側の端部３９ａ、３９ｂは、この切り欠かれた面３８ａ、３８ｂに含まれる。保持部３３ａ、３３ｂの底面４０ａ、４０ｂは、ＸＹ平面に平行となるように形成されている。底面４０ａ、４０ｂと面３８ａ、３８ｂとは略直交する。保持部３３ａ、３３ｂのＸ軸正側および負側の外側面は、底面４０ａ、４０ｂにかけて円弧状に湾曲した面が形成されている。 Pin holes 36a and 36b for accommodating the pin shaft 32 and the stoppers 60a and 60b are coaxially formed in the holding portions 33a and 33b so as to straddle the holding groove . In this embodiment, the pin holes 36a and 36b are provided so that their central axes are parallel to the Y-axis. A part of the lower part 37a, 37b of the Y-axis positive side and negative side of the holding|maintenance part 33a, 33b is notched. The ends 39a, 39b of the pin holes 36a, 36b opposite the scribing wheel 50 are included in the notched surfaces 38a, 38b. Bottom surfaces 40a and 40b of the holding portions 33a and 33b are formed parallel to the XY plane. The bottom surfaces 40a, 40b and the surfaces 38a, 38b are substantially orthogonal. The outer surfaces of the holding portions 33a and 33b on the positive and negative sides of the X-axis are arcuately curved toward the bottom surfaces 40a and 40b.

ホルダ３１は、ステンレスや炭素工具鋼から形成される。なお、図２（ｂ）、（ｃ）の構成では、ホルダ３１が、１つの基材で構成されているが、たとえば、保持部３３ａ、３３ｂをそれぞれ有する２つの基材を本体部分に固定することでホルダ３１が形成されてもよい。 The holder 31 is made of stainless steel or carbon tool steel. 2(b) and 2(c), the holder 31 is made of one base material. The holder 31 may be formed in this way.

ストッパ６０ａ、６０ｂは、本実施形態では球体である。ストッパ６０ａ、６０ｂは、たとえば、ステンレス鋼等の金属、またはＡＢＳ樹脂等の合成樹脂により形成される。ストッパ６０ａ、６０ｂは、剛性の大きな金属および合成樹脂であれば、上記の材質に限定されない。 The stoppers 60a, 60b are spheres in this embodiment. The stoppers 60a and 60b are made of, for example, metal such as stainless steel or synthetic resin such as ABS resin. The stoppers 60a and 60b are not limited to the above materials as long as they are metal or synthetic resin with high rigidity.

図３は、ホルダユニット３０のＸ軸方向から見た拡大断面図である。ピン孔３６ａ、３６ｂに、ピン孔３６ａ、３６ｂの内周面の全周に亘って段部４１ａ、４１ｂが設けられる。ピン孔３６ａ、３６ｂは、この段部４１ａ、４１ｂを介して、第１の領域３６１ａ、３６１ｂと第２の領域３６２ａ、３６２ｂとに区分される。第１の領域３６１ａ、３６１ｂは、スクライビングホイール５０とは反対側の端部３９ａ、３９ｂを含む領域である。第２の領域３６２ａ、３６２ｂは、第１の領域３６１ａ、３６１ｂに繋がる領域であり、ピン軸３２が保持される。 FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the holder unit 30 viewed from the X-axis direction. Stepped portions 41a and 41b are provided in the pin holes 36a and 36b over the entire circumference of the inner peripheral surfaces of the pin holes 36a and 36b. The pin holes 36a, 36b are divided into first regions 361a, 361b and second regions 362a, 362b via the stepped portions 41a, 41b. A first region 361 a , 361 b is the region that includes the ends 39 a , 39 b opposite the scribing wheel 50 . The second regions 362a and 362b are regions connected to the first regions 361a and 361b and hold the pin shaft 32 .

第１の領域３６１ａ、３６１ｂの径、すなわち、端部３９ａ、３９ｂの径は、ストッパ６０ａ、６０ｂの径よりも僅かに小さい。第２の領域３６２ａ、３６２ｂの径は、端部３９ａ、３９ｂの径、すなわち第１の領域３６１ａ、３６１ｂの径よりもやや小さく、ピン軸３２の径よりも僅かに大きい。また、第２の領域３６２ａ、３６２ｂの径は、スクライビングホイール５０の貫通孔５１の径と略同一か僅かに小さい。 The diameter of the first regions 361a, 361b, that is, the diameter of the ends 39a, 39b is slightly smaller than the diameter of the stoppers 60a, 60b. The diameter of the second regions 362a, 362b is slightly smaller than the diameter of the end portions 39a, 39b, that is, the diameter of the first regions 361a, 361b, and slightly larger than the diameter of the pin shaft 32. Also, the diameter of the second regions 362 a and 362 b is substantially the same as or slightly smaller than the diameter of the through hole 51 of the scribing wheel 50 .

スクライビングホイール５０が保持溝３４に挿入された状態で、スクライビングホイール５０の貫通孔５１とピン孔３６ａ、３６ｂすなわち第２の領域３６２ａ、３６２ｂとにピン軸３２が挿入される。上記のように、ピン孔３６ａ、３６ｂは、中心軸がＹ軸に平行となるように保持部３３ａ、３３ｂに形成されているため、第２の領域３６２ａ、３６２ｂおよび貫通孔５１に挿入されたピン軸３２は、基板１５の表面Ｈと平行な方向（ＸＹ平面に平行な方向）に配置される。また、ピン軸３２は、貫通孔５１よりも僅かに小径である。このため、ピン軸３２が貫通孔５１および第２の領域３６２ａ、３６２ｂに挿入されると、ピン軸３２は、回転が許容される。 With the scribing wheel 50 inserted into the holding groove 34, the pin shaft 32 is inserted into the through hole 51 of the scribing wheel 50 and the pin holes 36a, 36b, that is, the second regions 362a, 362b. As described above, the pin holes 36a and 36b are formed in the holding portions 33a and 33b so that the central axis is parallel to the Y-axis. The pin shaft 32 is arranged in a direction parallel to the surface H of the substrate 15 (direction parallel to the XY plane). Also, the pin shaft 32 has a slightly smaller diameter than the through hole 51 . Therefore, when the pin shaft 32 is inserted into the through hole 51 and the second regions 362a and 362b, the pin shaft 32 is allowed to rotate.

第１の領域３６１ａ、３６１ｂにストッパ６０ａ、６０ｂを収容する場合、端部３９ａ、３９ｂからストッパ６０ａ、６０ｂを圧入により嵌め込む。このとき、ストッパ６０ａ、６０ｂは、第１の領域３６１ａ、３６１ｂをスクライビングホイール５０に向かって進入するが、段部４１ａ、４１ｂに接触することで止まる。これにより、ストッパ６０ａ、６０ｂは、第２の領域３６２ａ、３６２ｂに進入することはない。このように、ストッパ６０ａ、６０ｂを第１の領域３６１ａ、３６１ｂに収容した場合、第２の領域３６２ａ、３６２ｂに収容されているピン軸３２とストッパ６０ａ、６０ｂとの位置関係が適正に保たれ、ストッパ６０ａ、６０ｂがピン軸３２の姿勢に影響を与えることがない。 When the stoppers 60a and 60b are accommodated in the first regions 361a and 361b, the stoppers 60a and 60b are press-fitted from the ends 39a and 39b. At this time, the stoppers 60a and 60b enter the first regions 361a and 361b toward the scribing wheel 50, but stop by coming into contact with the stepped portions 41a and 41b. As a result, the stoppers 60a, 60b do not enter the second regions 362a, 362b. Thus, when the stoppers 60a and 60b are accommodated in the first areas 361a and 361b, the positional relationship between the pin shaft 32 accommodated in the second areas 362a and 362b and the stoppers 60a and 60b is properly maintained. , the stoppers 60a and 60b do not affect the posture of the pin shaft 32.

なお、図３では、ストッパ６０ａ、６０ｂの一部が端部３９ａ、３９ｂから突出した状態が図示されているが、たとえば、第１の領域３６１ａ、３６１ｂのＸ軸方向の距離が十分確保されている場合、ストッパ６０ａ、６０ｂが完全に第１の領域３６１ａ、３６１ｂ内に収容されるように段部４１ａ、４１ｂを設けてもよい。 FIG. 3 shows a state in which a portion of the stoppers 60a and 60b protrude from the end portions 39a and 39b. If so, the steps 41a, 41b may be provided so that the stoppers 60a, 60b are completely accommodated within the first regions 361a, 361b.

＜実施形態の効果＞
たとえば、ピン孔３６ａ、３６ｂの端部３９ａ、３９ｂを工具等で打ち付けて端部３９ａ、３９ｂをかしめた場合、ピン孔３６ａ、３６ｂに衝撃が加わり、その端部は少なからず変形する。これに対し、本実施形態では、図２（ａ）～（ｃ）、図３に示すように、ピン孔３６ａ、３６ｂおよびスクライビングホイール５０の貫通孔５１にピン軸３２を挿入した後、ストッパ６０ａ、６０ｂがピン軸３２の脱落を防止するように第１の領域３６１ａ、３６１ｂに設けられる。よって、ピン軸３２を保持する領域である第２の領域３６２ａ、３６２ｂの形状が変化することがない。これにより、ホルダ３１内におけるピン軸３２の姿勢に及ぼされる影響は少なく、ピン軸３２はより安定した姿勢を維持することができる。これにより、スクライビングホイール５０は安定的に回転し、基板１５の表面Ｈに良好なスクライブラインを形成することができる。 <Effects of Embodiment>
For example, when the ends 39a and 39b of the pin holes 36a and 36b are struck with a tool or the like to crimp the ends 39a and 39b, impact is applied to the pin holes 36a and 36b, and the ends are deformed to some extent. On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIGS. 2(a) to 2(c) and FIG. 3, after the pin shaft 32 is inserted into the pin holes 36a and 36b and the through hole 51 of the scribing wheel 50, the stopper 60a is , 60b are provided in the first regions 361a, 361b to prevent the pin shaft 32 from falling off. Therefore, the shape of the second regions 362a and 362b, which are regions for holding the pin shaft 32, does not change. As a result, the posture of the pin shaft 32 in the holder 31 is less affected, and the pin shaft 32 can maintain a more stable posture. As a result, the scribing wheel 50 can be stably rotated to form a good scribe line on the surface H of the substrate 15 .

図２（ａ）～（ｃ）、図３に示すように、ストッパ６０ａ、６０ｂは、第１の領域３６１ａ、３６１ｂに圧入により嵌め込まれる。このため、ストッパ６０ａ、６０ｂは第１の領域３６１ａ、３６１ｂの内側面に隙間なく密着し、強固に固定される。よって、ストッパ６０ａ、６０ｂは、第１の領域３６１ａ、３６１ｂから外れる虞はなく、ピン軸３２がピン孔３６ａ、３６ｂから抜け落ちることを確実に防止する。また、圧入により、ストッパ６０ａ、６０ｂを簡単に第１の領域３６１ａ、３６１ｂに収容することができる。 As shown in FIGS. 2(a) to (c) and FIG. 3, the stoppers 60a, 60b are press-fitted into the first regions 361a, 361b. For this reason, the stoppers 60a and 60b are tightly fixed to the inner side surfaces of the first regions 361a and 361b without gaps. Therefore, the stoppers 60a and 60b have no fear of coming off the first regions 361a and 361b, and reliably prevent the pin shaft 32 from falling out of the pin holes 36a and 36b. Further, the stoppers 60a, 60b can be easily accommodated in the first regions 361a, 361b by press fitting.

図３に示すように、ピン孔３６ａ、３６ｂの第１の領域３６１ａ、３６１ｂと第２の領域３６２ａ、３６２ｂとの境界に段部４１ａ、４１ｂが設けられている。これにより、ストッパ６０ａ、６０ｂは、段部４１ａ、４１ｂに接触することで止まる。これにより、ストッパ６０ａ、６０ｂは、それ以上ピン孔３６ａ、３６ｂの内部に進入することができず、ストッパ６０ａ、６０ｂが第２の領域３６２ａ、３６２ｂに進入することはない。よって、ストッパ６０ａ、６０ｂとピン軸３２との位置関係を適正に保つことができる。これにより、ピン軸３２はストッパ６０ａ、６０ｂに不所望な制限を受けることなく、適正な状態に維持される。これにより、ストッパ６０ａ、６０ｂがピン軸３２の姿勢に影響を与えることがなく、ピン軸３２は自由に回転することができる。その結果、スクライビングホイール５０は安定的に回転し、基板１５の表面Ｈにスクライブラインを円滑に形成することができる。 As shown in FIG. 3, stepped portions 41a, 41b are provided at boundaries between first regions 361a, 361b and second regions 362a, 362b of the pin holes 36a, 36b. As a result, the stoppers 60a and 60b are stopped by coming into contact with the stepped portions 41a and 41b. As a result, the stoppers 60a, 60b can no longer enter the pin holes 36a, 36b, and the stoppers 60a, 60b do not enter the second regions 362a, 362b. Therefore, the positional relationship between the stoppers 60a, 60b and the pin shaft 32 can be properly maintained. As a result, the pin shaft 32 is maintained in a proper state without being undesirably restricted by the stoppers 60a, 60b. As a result, the pin shaft 32 can rotate freely without the stoppers 60a and 60b affecting the posture of the pin shaft 32. As shown in FIG. As a result, the scribing wheel 50 can be stably rotated to smoothly form a scribe line on the surface H of the substrate 15 .

上記のとおり、ストッパ６０ａ、６０ｂとピン軸３２との位置関係が適正に保たれるように、ストッパ６０ａ、６０ｂは第１の領域３６１ａ、３６１ｂに収容される。しかし、スクライブ動作中、ピン軸３２は回転により、多少、第２の領域３６２ａ、３６２ｂをＹ軸方向に移動し、ピン軸３２がストッパ６０ａ、６０ｂに接触する場合がある。この点に関し、図２（ａ）、（ｂ）、図３に示すように、ピン軸３２は、円柱状の部材であり、端部３２ａ、３２ｂは、平面状に形成されている。よって、ピン軸３２がストッパ６０ａ、６０ｂに接触した場合、その接触は点接触、つまり、ピン軸３２とストッパ６０ａ、６０ｂとは１点で接触した状態である。このため、ストッパ６０ａ、６０ｂがピン軸３２の回転に及ぼす影響は最小限に抑えられる。よって、ピン軸３２は、安定した回転を継続することができる。 As described above, the stoppers 60a, 60b are accommodated in the first regions 361a, 361b so that the positional relationship between the stoppers 60a, 60b and the pin shaft 32 is properly maintained. However, during the scribing operation, the pin shaft 32 may move slightly in the Y-axis direction through the second regions 362a and 362b due to rotation, and the pin shaft 32 may come into contact with the stoppers 60a and 60b. In this regard, as shown in FIGS. 2(a), 2(b) and 3, the pin shaft 32 is a cylindrical member, and the ends 32a and 32b are formed flat. Therefore, when the pin shaft 32 contacts the stoppers 60a and 60b, the contact is point contact, that is, the pin shaft 32 and the stoppers 60a and 60b are in contact at one point. Therefore, the influence of the stoppers 60a and 60b on the rotation of the pin shaft 32 is minimized. Therefore, the pin shaft 32 can continue stable rotation.

図２（ａ）、（ｂ）、図３に示すように、ストッパ６０ａ、６０ｂは球体である。よって、ストッパ６０ａ、６０ｂを圧入により第１の領域３６１ａ、３６１ｂに収容すると、ストッパ６０ａ、６０ｂは、第１の領域３６１ａ、３６１ｂの内側面に隙間なく密着する。よって、スクライブ動作中、カレットが端部３９ａ、３９ｂから侵入することはない。よって、ピン軸３２は、安定して回転し続けることができる。その結果、スクライビングホイール５０は、安定的に回転し、基板１５の表面Ｈにスクライブラインを円滑に形成することができる。 As shown in FIGS. 2A, 2B, and 3, the stoppers 60a, 60b are spheres. Therefore, when the stoppers 60a and 60b are accommodated in the first regions 361a and 361b by press fitting, the stoppers 60a and 60b are in close contact with the inner surfaces of the first regions 361a and 361b without gaps. Therefore, the cullet does not enter from the ends 39a and 39b during the scribing operation. Therefore, the pin shaft 32 can continue to rotate stably. As a result, the scribing wheel 50 can rotate stably and smoothly form a scribe line on the surface H of the substrate 15 .

図２（ｂ）、（ｃ）に示すように、ホルダユニット３０における操作者の持ち手部分である凹部３５ａ、３５ｂは、保持部３３ａ、３３ｂにおいて、ピン軸３２と直交する方の外側面に配置される。このような位置に凹部３５ａ、３５ｂが配置されているため、操作者は指をホルダユニット３０に掛けやすい。よって、操作者は、ホルダジョイント２１にホルダユニット３０を容易に着脱することができる。 As shown in FIGS. 2(b) and 2(c), recessed portions 35a and 35b, which are grip portions of the operator in the holder unit 30, are formed on the outer surfaces of the holding portions 33a and 33b perpendicular to the pin shaft 32. placed. Since the concave portions 35 a and 35 b are arranged at such positions, the operator can easily put his/her finger on the holder unit 30 . Therefore, the operator can easily attach and detach the holder unit 30 to and from the holder joint 21 .

＜実施形態の変更例＞
次に、上記実施形態の変更例１～４について、図４（ａ）～図５（ｂ）に基づいて説明する。図４（ａ）、（ｂ）は、ホルダユニット３０のＸ軸方向から見た拡大断面図である。図５（ａ）は、ホルダユニット３０のＸ軸方向から見た拡大断面図である。図５（ｂ）は、ホルダユニット３０の底面図である。 <Modified example of embodiment>
Next, modified examples 1 to 4 of the above embodiment will be described with reference to FIGS. 4(a) to 5(b). 4A and 4B are enlarged cross-sectional views of the holder unit 30 as seen from the X-axis direction. FIG. 5A is an enlarged cross-sectional view of the holder unit 30 as seen from the X-axis direction. 5B is a bottom view of the holder unit 30. FIG.

［変更例１］
図４（ａ）に示すように、変更例１に係るホルダユニット３０は、上記実施形態において設けられていた段部４１ａ、４１ｂを設けない構成である。 [Modification 1]
As shown in FIG. 4A, the holder unit 30 according to Modification 1 does not have the steps 41a and 41b provided in the above embodiment.

変更例１に係るホルダユニット３０において、第１の領域３６１ａ、３６１ｂは、スクライビングホイール５０と反対側の端部３９ａ、３９ｂから第２の領域３６２ａ、３６２ｂに近付くにつれて第２の領域３６２ａ、３６２ｂの径に近づくテーパ状に形成される。その他の構成は、上記実施形態と同様である。 In the holder unit 30 according to Modification Example 1, the first regions 361a and 361b are arranged in the second regions 362a and 362b as they approach the second regions 362a and 362b from the ends 39a and 39b on the opposite side of the scribing wheel 50. It is formed in a tapered shape approaching the diameter. Other configurations are the same as those of the above embodiment.

上記変更例１の構成において、第１の領域３６１ａ、３６１ｂは、スクライビングホイール５０の反対側の端部３９ａ、３９ｂからスクライビングホイール５０に向かって窄むように形成されている。ストッパ６０ａ、６０ｂを第１の領域３６１ａ、３６１ｂに圧入により設ける場合、ストッパ６０ａ、６０ｂは、第１の領域３６１ａ、３６１ｂ内に進入するが、第１の領域３６１ａ、３６１ｂの途中で停止し、第２の領域３６２ａ、３６２ｂに進入することができない。よって、ストッパ６０ａ、６０ｂとピン軸３２との位置関係を適正に保つことができる。これにより、ピン軸３２はストッパ６０ａ、６０ｂに不所望な制限を受けることなく、適正な状態に維持される。その結果、スクライビングホイール５０は安定的に回転し、基板１５の表面Ｈにスクライブラインを円滑に形成することができる。 In the configuration of Modification 1, the first regions 361 a and 361 b are formed so as to narrow toward the scribing wheel 50 from opposite ends 39 a and 39 b of the scribing wheel 50 . When the stoppers 60a and 60b are press-fitted into the first regions 361a and 361b, the stoppers 60a and 60b enter the first regions 361a and 361b, but stop in the middle of the first regions 361a and 361b. It is not possible to enter the second areas 362a, 362b. Therefore, the positional relationship between the stoppers 60a, 60b and the pin shaft 32 can be properly maintained. As a result, the pin shaft 32 is maintained in a proper state without being undesirably restricted by the stoppers 60a, 60b. As a result, the scribing wheel 50 can be stably rotated to smoothly form a scribe line on the surface H of the substrate 15 .

なお、第１の領域３６１ａ、３６１ｂの側面および底面から見た場合の形状が、テーパ状であるため、たとえば、ストッパ６０ａ、６０ｂに過剰な圧力を付与すれば、第２の領域３６２ａ、３６２ｂに進入する虞がある。そのため、変更例１の構成では、第２の領域３６２ａ、３６２ｂに進入することを確実に防ぐため、ストッパ６０ａ、６０ｂに適切に圧力を付与する。これにより、ストッパ６０ａ、６０ｂは、第１の領域３６１ａ、３６１ｂの途中で止まり、第２の領域３６２ａ、３６２ｂに大きく進入することがない。 Since the first regions 361a and 361b have a tapered shape when viewed from the side and bottom surfaces, for example, if excessive pressure is applied to the stoppers 60a and 60b, the second regions 362a and 362b likely to enter. Therefore, in the configuration of Modification 1, in order to reliably prevent entry into the second regions 362a and 362b, pressure is appropriately applied to the stoppers 60a and 60b. As a result, the stoppers 60a and 60b stop in the middle of the first regions 361a and 361b and do not greatly enter the second regions 362a and 362b.

［変更例２］
変更例２に係るホルダユニット３０は、図４（ｂ）に示すように、ストッパ７０ａ、７０ｂが円柱状の部材で構成されており、ピン軸４２の端部４２ａ、４２ｂが、尖頭形状である。その他の構成は、上記実施形態と同様である。 [Modification 2]
In the holder unit 30 according to Modification Example 2, as shown in FIG. be. Other configurations are the same as those of the above embodiment.

ストッパ７０ａ、７０ｂは円柱状の部材であり、ストッパ７０ａ、７０ｂの端部７１ａ、７１ｂは、平面状に形成されている。よって、ピン軸４２がスクライブ動作中に、ピン軸４２の回転軸方向と垂直な方向に移動し、ピン軸４２がストッパ７０ａ、７０ｂに接触した場合、その接触は点接触、つまり、ピン軸３２とストッパ７０ａ、７０ｂとは１点で接触した状態である。このため、ストッパ７０ａ、７０ｂがピン軸４２の回転に及ぼす影響は最小限に抑えられる。よって、ピン軸４２は、安定した姿勢で回転を継続することができ、スクライビングホイール５０は基板１５の表面Ｈにスクライブラインを形成することができる。 The stoppers 70a and 70b are cylindrical members, and the ends 71a and 71b of the stoppers 70a and 70b are formed flat. Therefore, when the pin shaft 42 moves in the direction perpendicular to the rotation axis direction of the pin shaft 42 during the scribing operation and the pin shaft 42 contacts the stoppers 70a and 70b, the contact is point contact, that is, the pin shaft 32 and the stoppers 70a and 70b are in contact with each other at one point. Therefore, the influence of the stoppers 70a and 70b on the rotation of the pin shaft 42 is minimized. Therefore, the pin shaft 42 can continue to rotate in a stable posture, and the scribing wheel 50 can form a scribe line on the surface H of the substrate 15 .

なお、変更例２の構成は、上記の変更例１の構成にも適用可能である。すなわち、円柱状のストッパ７０ａ、７０ｂを、テーパ状に形成された第１の領域３６１ａ、３６１ｂに収容することができる。 The configuration of Modification 2 is also applicable to the configuration of Modification 1 described above. That is, the cylindrical stoppers 70a, 70b can be accommodated in the tapered first regions 361a, 361b.

また、実施形態および変更例１の構成において、ピン軸３２の端部４２ａ、４２ｂが、尖頭形状となっていてもよい。 Moreover, in the configuration of the embodiment and Modification 1, the ends 42a and 42b of the pin shaft 32 may have a pointed shape.

［変更例３］
変更例３に係るホルダユニット３０は、図５（ａ）に示すように、ピン軸４３の一方の端部４３ａは、尖頭形状であり、もう一方の端部４３ｂは、平面状に形成されている。そして、尖頭形状の端部４３ａの側が、ピン孔３６ｂの第２の領域３６２ａに収容され、平面状の端部４３ｂの側がピン孔３６ａの第２の領域３６２ｂに収容される。この場合、第２の領域３６２ａに繋がる第１の領域３６１ａには、球体のストッパ６０ａが収容され、第２の領域３６２ｂに繋がる第１の領域３６１ｂには、円柱状のストッパ７０ｂが収容される。円柱状のストッパ７０ｂの端部７１ｂは、平面状に形成されている。 [Modification 3]
In the holder unit 30 according to Modification 3, as shown in FIG. 5A, one end 43a of the pin shaft 43 is pointed and the other end 43b is flat. ing. The pointed end 43a is accommodated in the second region 362a of the pin hole 36b, and the flat end 43b is accommodated in the second region 362b of the pin hole 36a. In this case, the spherical stopper 60a is accommodated in the first area 361a connected to the second area 362a, and the cylindrical stopper 70b is accommodated in the first area 361b connected to the second area 362b. . An end portion 71b of the cylindrical stopper 70b is formed flat.

上記実施形態で説明したように、端部４３ａと球体の６０ａとは、点接触する。一方、上記変更例２で説明したように、端部４３ｂと円柱状のストッパ７０ｂとも点接触する。よって、ストッパ６０ａ、７０ｂにピン軸４２が接触した場合、ストッパ６０ａ、７０ｂがピン軸４２の回転に及ぼす影響は最小限に抑えられる。よって、ピン軸４２は、安定した姿勢で回転を継続することができ、スクライビングホイール５０は基板１５の表面Ｈにスクライブラインを形成することができる。 As described in the above embodiment, the end portion 43a and the spherical body 60a are in point contact. On the other hand, as described in Modification 2, the end portion 43b and the cylindrical stopper 70b are also in point contact. Therefore, when the pin shaft 42 contacts the stoppers 60a and 70b, the influence of the stoppers 60a and 70b on the rotation of the pin shaft 42 is minimized. Therefore, the pin shaft 42 can continue to rotate in a stable posture, and the scribing wheel 50 can form a scribe line on the surface H of the substrate 15 .

なお、変更例３の構成は、上記の変更例１の構成にも適用可能である。 The configuration of Modification 3 is also applicable to the configuration of Modification 1 described above.

［変更例４］
図５（ｂ）に示すように、変更例４に係るホルダユニット３０は、ピン孔３６ａ、３６ｂが、保持溝３４の内側面に垂直な方向に対して、少なくとも基板１５の表面Ｈに平行な方向（ＸＹ平面に平行な方向）に傾くように形成されている。その他の構成は、上記実施形態と同様である。 [Modification 4]
As shown in FIG. 5B, in the holder unit 30 according to Modification 4, the pin holes 36a and 36b are parallel to at least the surface H of the substrate 15 with respect to the direction perpendicular to the inner surface of the holding groove 34. It is formed so as to incline in a direction (a direction parallel to the XY plane). Other configurations are the same as those of the above embodiment.

スクライビングホイール５０が保持溝３４に挿入された状態で、スクライビングホイール５０の貫通孔５１とピン孔３６ａ、３６ｂとにピン軸３２が挿入される。上記のように、ピン孔３６ａ、３６ｂは、保持溝３４の内側面３４、３４ｂに垂直な方向に対して傾くように形成されているため、ピン孔３６ａ、３６ｂおよび貫通孔５１に挿入されたピン軸３２は、保持溝３４の内側面３４、３４ｂに垂直な方向に対して、少なくとも基板１５の表面Ｈに平行な方向（ＸＹ平面に平行な方向）に傾いている。 With the scribing wheel 50 inserted into the holding groove 34, the pin shaft 32 is inserted into the through hole 51 of the scribing wheel 50 and the pin holes 36a and 36b. As described above, the pin holes 36a, 36b are formed so as to be inclined with respect to the direction perpendicular to the inner side surfaces 34, 34b of the holding groove 34. The pin shaft 32 is inclined at least in a direction parallel to the surface H of the substrate 15 (direction parallel to the XY plane) with respect to a direction perpendicular to the inner side surfaces 34 and 34b of the holding groove 34 .

このようにピン孔３６ａ、３６ｂを形成した場合、スクライブ動作において、スクライビングホイール５０が基板１５の表面Ｈに押し付けられると、その反力により、スクライビングホイール５０がピン軸３２に垂直な姿勢となるように、スクライビングホイール５０に回転力が生じる。これにより、スクライビングホイール５０の両側面が、それぞれ、保持溝３４の互いに対向する内側面３４、３４ｂに押し付けられる。このため、スクライブ動作において、スクライビングホイール５０がピン軸３２に沿って移動することが抑制され、これにより、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。 When the pin holes 36 a and 36 b are formed in this way, when the scribing wheel 50 is pressed against the surface H of the substrate 15 during the scribing operation, the reaction force of the scribing wheel 50 causes the scribing wheel 50 to assume a posture perpendicular to the pin shaft 32 . , a rotational force is generated in the scribing wheel 50 . As a result, both side surfaces of the scribing wheel 50 are pressed against the inner side surfaces 34, 34b of the holding groove 34 facing each other. Therefore, in the scribing operation, the scribing wheel 50 is restrained from moving along the pin shaft 32, thereby stabilizing the formation position of the scribe line.

さらに、図示しないが、ピン孔３６ａ、３６ｂが、保持溝３４の内側面に垂直な方向に対して、基板１５の表面Ｈに垂直な方向に傾くように形成されてもよい。この場合にも、スクライブ動作において、スクライビングホイール５０が基板１５の表面Ｈに押し付けられると、その反力により、スクライビングホイール５０がピン軸３２に垂直な姿勢となるように、スクライビングホイール５０に回転力が生じる。これにより、スクライビングホイール５０の両側面が、それぞれ、保持溝３４の互いに対向する内側面３４、３４ｂに押し付けられる。このため、スクライブ動作において、スクライビングホイール５０がピン軸３２に沿って移動することが抑制され、これにより、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。 Furthermore, although not shown, the pin holes 36 a and 36 b may be formed so as to be inclined in the direction perpendicular to the surface H of the substrate 15 with respect to the direction perpendicular to the inner side surface of the holding groove 34 . In this case as well, when the scribing wheel 50 is pressed against the surface H of the substrate 15 in the scribing operation, the reaction force causes the scribing wheel 50 to take a position perpendicular to the pin shaft 32 . occurs. As a result, both side surfaces of the scribing wheel 50 are pressed against the inner side surfaces 34, 34b of the holding groove 34 facing each other. Therefore, in the scribing operation, the scribing wheel 50 is restrained from moving along the pin shaft 32, thereby stabilizing the formation position of the scribe line.

［その他の変更例］
上記した実施形態および変更例１にて説明したピン孔の形状が組み合わせられてもよい。つまり、一方のピン孔３６ａには、第１の領域３６１ａと第２の領域３６２ａの間に、段部４１ａが設けられる。他方のピン孔３６ｂは、第１の領域３６１ｂが、スクライビングホイール５０と反対側の端部３９ｂからスクライビングホイール５０に向かってテーパ状に形成される。 [Other modification examples]
The shapes of the pin holes described in the above-described embodiment and modified example 1 may be combined. That is, one pin hole 36a is provided with a step portion 41a between the first region 361a and the second region 362a. The other pin hole 36b has a first region 361b tapered from the end 39b opposite the scribing wheel 50 toward the scribing wheel 50 .

このようにピン孔３６ａ、３６ｂが形成された場合も、ピン軸３２はストッパ６０ａ、６０ｂに回転を妨げられることなく安定して回転することができる。その結果、スクライビングホイール５０は円滑に回転し、基板１５の表面Ｈにスクライブラインを形成することができる。 Even when the pin holes 36a and 36b are formed in this manner, the pin shaft 32 can stably rotate without being prevented from rotating by the stoppers 60a and 60b. As a result, the scribing wheel 50 can be smoothly rotated to form a scribe line on the surface H of the substrate 15 .

上記実施形態および変更例１～４では、ストッパ６０ａ、６０およびストッパ７０ａ、７０ｂが、圧入によりピン孔３６ａ、３６ｂに嵌め込まれたが、たとえば、接着やスポット溶接により、ピン孔３６ａ、３６ｂにストッパ６０ａ、６０およびストッパ７０ａ、７０ｂが固定されてもよい。これらの手法は、圧入を行った場合と同様に、ピン孔３６ａ、３６ｂの変形を抑制することができる。よって、ピン孔の変形によりピン軸３２に及ぼされる影響は少なく、ピン軸３２は安定した姿勢を維持することができる。これにより、スクライビングホイールは安定した姿勢で回転し、スクライブ動作を行うことができる。 In the above embodiment and modified examples 1 to 4, the stoppers 60a, 60 and the stoppers 70a, 70b are press-fitted into the pin holes 36a, 36b. 60a, 60 and stoppers 70a, 70b may be fixed. These methods can suppress deformation of the pin holes 36a and 36b, as in the case of press-fitting. Therefore, the pin shaft 32 is less affected by the deformation of the pin hole, and the pin shaft 32 can maintain a stable posture. As a result, the scribing wheel can be rotated in a stable posture and the scribing operation can be performed.

この他、ストッパは、必ずしも、球や円柱形状でなくてもよく、たとえば、楕円形状でもよい。ただし、ストッパが楕円形状の場合、ストッパと第１の領域との間に隙間が生じ、この隙間からカレットが内部に侵入することが起こり得る。よって、カレットの侵入を防ぐためには、上記実施形態や変更例２のように、ストッパが球または円柱状の部材から構成され、第１の領域がストッパで完全に塞がれる構成であることが好ましい。 In addition, the stopper does not necessarily have a spherical or cylindrical shape, and may have, for example, an elliptical shape. However, if the stopper has an elliptical shape, a gap may occur between the stopper and the first region, and the cullet may enter the interior through this gap. Therefore, in order to prevent the cullet from entering, the stopper should be composed of a spherical or columnar member and the first region should be completely closed with the stopper, as in the above-described embodiment and modification 2. preferable.

また、ピン軸の端部とストッパとの間には、必ずしも、隙間が生じていなくてもよく、ピン軸の両端とストッパとがほぼ接触した状態であってもよい。さらに、ピン軸３２、４２は、必ずしも、ピン孔３６ａ、３６ｂに対して回転しなくてもよい。 Further, there may not necessarily be a gap between the ends of the pin shaft and the stoppers, and both ends of the pin shaft and the stoppers may be substantially in contact with each other. Furthermore, the pin shafts 32, 42 do not necessarily have to rotate with respect to the pin holes 36a, 36b.

本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。 The embodiments of the present invention can be appropriately modified in various ways within the scope of the technical idea indicated in the scope of claims.

１ …スクライブ装置
１５ …基板
２０ … スクライブヘッド
３０ … ホルダユニット
３２、４２、４３ … ピン軸
３３ａ、３３ｂ … 保持部
３４ … 保持溝
３６ａ、３６ｂ … ピン孔
３６１ａ、３６１ｂ … 第１の領域
３６２ａ、３６２ｂ … 第２の領域
３９ａ、３９ｂ … ピン孔の端部
４１ａ、４１ｂ … 段部
５０ … スクライビングホイール
５１ … 貫通孔
６０ａ、６０ｂ … 球体（ストッパ）
７０ａ、７０ｂ … 円柱状の部材（ストッパ）
Ｈ … 基板の表面 Reference Signs List 1 scribing device 15 substrate 20 scribing head 30 holder unit 32, 42, 43 pin shafts 33a, 33b holding portion 34 holding grooves 36a, 36b pin holes 361a, 361b first regions 362a, 362b ... second regions 39a, 39b ... pin hole end portions 41a, 41b ... step portion 50 ... scribing wheel 51 ... through hole 60a, 60b ... sphere (stopper)
70a, 70b... Cylindrical members (stoppers)
H … the surface of the substrate

Claims

A holder unit holding a scribing wheel for forming a scribe line on the surface of a substrate,
a pair of holding parts;
a holding groove formed between the pair of holding parts and into which the scribing wheel is inserted;
a pin hole coaxially formed in the pair of holding portions across the holding groove;
a pin shaft inserted into the through hole of the scribing wheel inserted into the holding groove and the pin hole;
a stopper fitted to the end of the pin hole opposite to the scribing wheel;
with
The holder unit, wherein the stopper is fitted in an end portion of each of the pin holes formed in each of the pair of holding portions, the end portion being opposite to the scribing wheel .

In the holder unit according to claim 1,
The stopper is press-fitted into the pin hole,
A holder unit characterized by:

In the holder unit according to claim 1 or 2,
The pin hole has a first region provided at the end portion and having a diameter that allows the stopper to be fitted, and a second region that is connected to the first region and has a diameter that limits the fitting of the stopper. and
The first region accommodates the stopper,
The pin shaft is housed in the second region,
A holder unit characterized by:

In the holder unit according to claim 3,
A stepped portion is provided between the first region and the second region,
A holder unit characterized by:

In the holder unit according to claim 3,
In the pin hole, the first region is formed in a tapered shape that approaches the diameter of the second region as it approaches the second region from the end opposite to the scribing wheel.
A holder unit characterized by:

In the holder unit according to any one of claims 1 to 5 ,
The stopper is a sphere,
A holder unit characterized by:

A scribing device for forming a scribe line on the surface of a substrate,
a pair of holding parts;
a holding groove formed between the pair of holding parts and into which a scribing wheel is inserted;
a pin hole coaxially formed in the pair of holding portions across the holding groove;
a pin shaft inserted into the through hole of the scribing wheel inserted into the holding groove and the pin hole;
a stopper fitted to the end of the pin hole opposite to the scribing wheel;
a holder unit comprising
a scribing head holding the holder unit rotatably around an axis perpendicular to the surface of the substrate;
with
The scribing device according to claim 1, wherein the stopper is fitted in an end portion of each of the pin holes formed in each of the pair of holding portions, the end portion being opposite to the scribing wheel .