JP5906148B2

JP5906148B2 - Chip holder housing

Info

Publication number: JP5906148B2
Application number: JP2012147970A
Authority: JP
Inventors: 生芳高松; 善孝三浦; 圭介富永
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2012-06-29
Filing date: 2012-06-29
Publication date: 2016-04-20
Anticipated expiration: 2032-06-29
Also published as: KR20140002484A; KR101493597B1; JP2014008713A; CN103507167A; TW201404741A

Description

本発明は、テーブル上に載置した基板の表面に、円周稜線にＶ字型の刃先が形成されたホイールチップ（カッターホイール、またはスクライビングホイールともいう）を押しつけながらスクライブすることにより、前記基板に分断用のスクライブラインを加工したり、分断（ブレイク）したりする基板加工装置に用いられるチップホルダの収納体に関する。 According to the present invention, the substrate is scribed by pressing a wheel chip (also referred to as a cutter wheel or a scribing wheel) having a V-shaped cutting edge formed on a circumferential ridge line on the surface of the substrate placed on a table. The present invention relates to a chip holder storage body used in a substrate processing apparatus for processing a dividing scribe line or dividing (breaking).

従来から、ガラス、シリコン、セラミック、半導体などの脆性材料からなる基板や貼り合わせ基板（以下単に「基板」という）の表面に、ホイールチップでスクライブ予定ラインに沿ったスクライブライン（分断用の溝）を形成したり、あるいは、分断予定ラインから完全分断したりする基板加工装置が知られている（例えば特許文献１、特許文献２参照）。 Conventionally, a scribe line (groove for cutting) along a planned scribe line with a wheel chip on the surface of a substrate made of a brittle material such as glass, silicon, ceramic, semiconductor or a bonded substrate (hereinafter simply referred to as “substrate”). There is known a substrate processing apparatus that forms a line or completely cuts off from a line to be cut (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).

図１６は、上記特許文献などに開示されている、従来の基板加工装置の一例を示す概略的な斜視図である。この基板加工装置Ｂは、加工対象となる基板Ｗを載置して保持する水平なテーブル３１を備えている。テーブル３１は、モータを内蔵する回転駆動部３２により水平面内で回動できるようになっており、かつ、水平なレール３３に沿ってＹ方向に移動できるように構成されている。このＹ方向の移動は、モータ３４によって回転するネジ軸３５により行われる。 FIG. 16 is a schematic perspective view showing an example of a conventional substrate processing apparatus disclosed in the above-mentioned patent documents. The substrate processing apparatus B includes a horizontal table 31 that places and holds a substrate W to be processed. The table 31 can be rotated in a horizontal plane by a rotation drive unit 32 incorporating a motor, and can be moved in the Y direction along a horizontal rail 33. The movement in the Y direction is performed by a screw shaft 35 that is rotated by a motor 34.

基板加工装置Ｂには、一対の支柱３６、３６と、これら支柱３６、３６をつなぐようにＸ方向に水平に延びるガイドバー３７とを備えたブリッジ３８が、テーブル３１を跨ぐようにして設けられている。ガイドバー３７には、Ｘ方向に水平に延びるガイド３９が設けられ、スクライブヘッド４０がガイド３９に沿ってＸ方向に移動できるように配置されている。スクライブヘッド４０のＸ方向への移動はモータ４１の駆動によって行われる。スクライブヘッド４０にはホイールチップ４２ｅを備えたチップホルダ４２がホルダジョイント４３を介して着脱可能に取り付けられる。スクライブヘッド４０の内部には、ホルダジョイント４３の昇降を可能とする昇降機構が組み込まれている。 In the substrate processing apparatus B, a bridge 38 including a pair of support columns 36 and 36 and a guide bar 37 extending horizontally in the X direction so as to connect the support columns 36 and 36 is provided so as to straddle the table 31. ing. The guide bar 37 is provided with a guide 39 extending horizontally in the X direction, and the scribe head 40 is arranged so as to be movable along the guide 39 in the X direction. The scribing head 40 is moved in the X direction by driving a motor 41. A tip holder 42 having a wheel tip 42e is detachably attached to the scribe head 40 via a holder joint 43. An elevating mechanism that allows the holder joint 43 to elevate is incorporated in the scribe head 40.

このような構成のもとで、テーブル３１上に載置した基板Ｗにホイールチップ４２ｅを押しつけながらホイールチップ４２ｅとテーブル３１の一方または双方を移動させることにより、基板ＷをＸ−Ｙ方向にスクライブしてスクライブ溝を形成したり分断したりすることができるようになっている。 Under such a configuration, one or both of the wheel chip 42e and the table 31 are moved while pressing the wheel chip 42e against the substrate W placed on the table 31, thereby scribing the substrate W in the XY direction. Thus, the scribe groove can be formed or divided.

図１７並びに図１８は、従来のチップホルダ４２及びホルダジョイント４３の構成を示すものである。チップホルダ４２は略円柱状の胴部４２ａと、胴部４２ａの一端（下端）で胴部４２ａの軸心に対して平行かつ互いに対称に形成された一対の平坦面４２ｂ、４２ｂとを備え、さらに、これら一対の平坦面４２ｂ、４２ｂの間に、該平坦面４２ｂと平行に形成された切り欠き溝４２ｃが胴部４２ａの軸心に沿って形成されている。この切り欠き溝４２ｃに、胴部４２ａの軸心に対して直交するホイール軸４２ｄを介してホイールチップ４２ｅが回転自在に取り付けられている。一対の平坦面４２ｂの一方には、このチップホルダ４２に取り付けられているホイールチップ４２ｅの直径や種類、ホイールチップを取り付ける際の設定情報などの管理上有用な固有のデータを記録したコード４２ｉが印字されている。 17 and 18 show the configuration of a conventional chip holder 42 and holder joint 43. FIG. The chip holder 42 includes a substantially cylindrical body 42a, and a pair of flat surfaces 42b and 42b formed at one end (lower end) of the body 42a in parallel to and symmetrical to the axis of the body 42a. Further, a notch groove 42c formed in parallel with the flat surface 42b is formed between the pair of flat surfaces 42b and 42b along the axial center of the body portion 42a. A wheel chip 42e is rotatably attached to the notch groove 42c via a wheel shaft 42d orthogonal to the axial center of the body portion 42a. On one of the pair of flat surfaces 42b, there is a code 42i that records unique data useful for management, such as the diameter and type of the wheel tip 42e attached to the tip holder 42, and setting information for attaching the wheel tip. Printed.

また、胴部４２ａの他端（上端）には、ホルダジョイント４３に取り付ける際の位置決め用の取付部４２ｆが設けられている。取付部４２ｆは、胴部４２ａを切り欠いて形成された平面部４２ｇと傾斜面４２ｈとを備えている。平面部４２ｇは胴部４２ａの軸心とは平行であり、下方にある一対の平坦面４２ｂとは直交している。また、胴部４２ａは鉄などの磁性体金属で構成されている。 Further, an attachment portion 42f for positioning when attaching to the holder joint 43 is provided at the other end (upper end) of the body portion 42a. The attachment portion 42f includes a flat surface portion 42g and an inclined surface 42h formed by cutting out the body portion 42a. The flat part 42g is parallel to the axial center of the body part 42a, and is orthogonal to the pair of flat surfaces 42b below. Moreover, the trunk | drum 42a is comprised with magnetic body metals, such as iron.

ホルダジョイント４３は、上部にベアリング４３ａを備えており、下部がチップホルダ４２を保持する保持部４３ｂとなっている。保持部４３ｂには、下方に向かって開口する断面略円形の開口部４３ｃが設けられており、その内奥部に磁石４３ｊが取り付けられている。さらに、開口部４３ｃの内部には、開口部の軸心とは離れた箇所で該軸心と垂直な方向に延びる位置決め用の平行ピン４３ｄが設けられている。この平行ピン４３ｄは、チップホルダ４２が開口部４３ｃに挿入されたときに、チップホルダ４２の傾斜面４２ｈに接触してチップホルダ４２の方向や姿勢が一定になるように位置決めするものである。 The holder joint 43 includes a bearing 43 a at the upper part, and the lower part serves as a holding part 43 b that holds the chip holder 42. The holding portion 43b is provided with an opening 43c having a substantially circular cross section that opens downward, and a magnet 43j is attached to the inner back thereof. Furthermore, a positioning parallel pin 43d extending in a direction perpendicular to the axial center is provided inside the opening 43c at a location away from the axial center of the opening. The parallel pins 43d are positioned so that when the chip holder 42 is inserted into the opening 43c, the chip holder 42 comes into contact with the inclined surface 42h so that the direction and posture of the chip holder 42 are constant.

チップホルダ４２をホルダジョイント４３に取り付ける際は、図１８に示すように、ホルダジョイント４３の開口部４３ｃにチップホルダ４２を、その取付部４２ｆから挿入して行う。取付部４２ｆがホルダジョイント４３の開口部４３ｃに挿入されると、チップホルダ４２の傾斜面４２ｈに平行ピン４３ｄが接触して位置決めされると共に、チップホルダ４２の上端部が磁石４３ｊに磁着されて保持される。これにより、チップホルダ４２の姿勢が一定方向に向いた状態で簡単にホルダジョイント４３に取り付けることができる。ホイールチップ４２ｅを取り替えるときは、ホルダジョイント４３の開口部４３ｃからチップホルダ４２を磁石の磁力に抗して引き抜いてチップホルダごと交換する。新たに取り付けられるチップホルダ４２は、平坦面４２ｂに印字されているチップ固有のデータを記録したコード４２ｉを別途に設置したリーダで読み取ることにより選択される。 When the tip holder 42 is attached to the holder joint 43, as shown in FIG. 18, the tip holder 42 is inserted into the opening 43c of the holder joint 43 from the attachment portion 42f. When the mounting portion 42f is inserted into the opening 43c of the holder joint 43, the parallel pin 43d comes into contact with the inclined surface 42h of the chip holder 42, and the upper end portion of the chip holder 42 is magnetically attached to the magnet 43j. Held. As a result, the tip holder 42 can be easily attached to the holder joint 43 in a state where the orientation of the tip holder 42 is in a certain direction. When replacing the wheel chip 42e, the chip holder 42 is pulled out from the opening 43c of the holder joint 43 against the magnetic force of the magnet, and the entire chip holder is replaced. The chip holder 42 to be newly attached is selected by reading a code 42i in which data specific to the chip printed on the flat surface 42b is recorded by a reader installed separately.

国際公開番号ＷＯ２００７／０６３９７９公報International Publication Number WO2007 / 063979 特開２０１１−２１８８１５号公報JP2011-218815A

ホイールチップが所定の走行距離を走って交換時期に達したときや、別仕様のホイールチップを必要とするときは、基板加工装置Ｂを停止させた後、チップホルダの交換が行われる。具体的には、チップホルダをスクライブヘッドのホルダジョイントから取り外した後、保管してあるチップホルダの中からリーダでコードを読み取ることにより所望のチップホルダを選択し、この選択されたチップホルダをホルダジョイントに取り付ける。このような交換作業はオペレータが手作業で行うと手間がかかるので、ロボットで自動的に行うのが好都合である。 When the wheel tip runs a predetermined distance and reaches the replacement time, or when a wheel tip with a different specification is required, the substrate holder B is stopped and then the tip holder is replaced. Specifically, after removing the chip holder from the holder joint of the scribe head, a desired chip holder is selected by reading a code with a reader from among the stored chip holders, and the selected chip holder is held in the holder. Attach to the joint. Since such an exchange operation is troublesome if the operator performs it manually, it is convenient to perform it automatically by a robot.

ロボットで交換作業を行う場合、複数のチップホルダから希望するチップホルダを選ぶのに、コードを備えたチップホルダの平坦面をリーダで読み取りやすいように、かつ、ロボットで引き出しやすいように配置する必要がある。この場合、チップホルダは直径約２〜３ｍｍの小さなホイールチップを備えているので、コード面を露出させた状態でホイールチップが傷つかないように、例えば載置台などに安定的に載置することが要求される。また、ロボットでチップホルダを選択して掴み、そのままスクライブヘッドのホルダジョイントまで運んで装着するためには、載置台とロボットとの相関的な組み付けに配慮しなければならない。
しかし、従来は、このようなロボットによるチップホルダの自動交換に好適なシステム構成は開示されておらず、未解決のままであった。 When exchanging with a robot, in order to select the desired chip holder from multiple chip holders, it is necessary to arrange the flat surface of the chip holder with a cord so that it can be easily read by a reader and pulled out by a robot. There is. In this case, since the tip holder is provided with a small wheel tip having a diameter of about 2 to 3 mm, it can be stably placed on a mounting table, for example, so that the wheel tip is not damaged with the cord surface exposed. Required. In addition, in order to select and hold the chip holder by the robot and carry it to the holder joint of the scribe head as it is, it is necessary to consider the relative assembly of the mounting table and the robot.
However, conventionally, a system configuration suitable for automatic replacement of a chip holder by such a robot has not been disclosed, and has remained unsolved.

そこで本発明は、上記課題に鑑み、ロボットによる自動交換に好適な機能を備えたチップホルダ収納体を提供することを目的とする。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a chip holder housing having a function suitable for automatic replacement by a robot.

上記課題を解決するために、本発明では次のような技術的手段を講じた。即ち、本発明のチップホルダ収納体は、チップホルダを収納する収納穴を有する本体と、該収納穴の前開口部をカバーする着脱可能な前部キャップとを備え、該前部キャップは、前記本体に設けられた貫通孔から前記収納穴に向かって挿通される弾性ストッパを有し、該弾性ストッパは、前記貫通孔に挿通されたときに、その頭部の一部が前記収納穴から突出して、前記収納穴に収納されたチップホルダの前進移動を規制するものであり、該前部キャップの前記弾性ストッパの近傍には、前記弾性ストッパを切り離すことが可能な切取線が設けられている構成とした。 In order to solve the above problems, the present invention takes the following technical means. That is, the chip holder storage body of the present invention includes a main body having a storage hole for storing the chip holder, and a detachable front cap that covers the front opening of the storage hole, The elastic stopper has an elastic stopper that is inserted from a through hole provided in the main body toward the storage hole, and the elastic stopper has a part of its head protruding from the storage hole when inserted into the through hole. The tip holder accommodated in the accommodation hole is controlled to move forward, and a cutting line is provided in the vicinity of the elastic stopper of the front cap so that the elastic stopper can be separated. It was.

本発明によれば、チップホルダをチップホルダ収納体に収納して格納したり搬送したりするときに、前部キャップによってチップホルダのホイールチップが保護されて刃先が損傷するのを防止できるとともに、前部キャップを取り外す場合には、切取線から切り離すことにより、弾性ストッパのみをチップホルダ収納体の本体に残して、チップホルダの前進移動を規制するストッパとして機能させることができる。 According to the present invention, when storing and transporting the chip holder in the chip holder storage body, the wheel tip of the chip holder can be protected by the front cap and the blade edge can be prevented from being damaged, When removing the front cap, it can be made to function as a stopper for restricting the forward movement of the chip holder, leaving only the elastic stopper in the main body of the chip holder housing by separating from the tear line.

本発明において、前記チップホルダは、基板加工装置のスクライブヘッドに取り付けられる胴部と、該胴部の一端に該胴部の軸心に平行に形成された一対の平坦面と、該一対の平坦面の間に該一対の平坦面と平行に形成された切り欠き溝と、該切り欠き溝に取り付けられたホイールチップと、前記一対の平坦面のいずれかに設けられたコードとを備え、該チップホルダが前記弾性ストッパによりその前進移動を規制されて停止したときには、前記コードが設けられた平坦部が前記収納穴から露出する構成とするのがよい。
これにより、次工程でのコードの読み取りやチップホルダの取り出しが容易となる。 In the present invention, the chip holder includes a body portion attached to a scribe head of a substrate processing apparatus, a pair of flat surfaces formed at one end of the body portion in parallel to the axis of the body portion, and the pair of flat surfaces. A notch groove formed in parallel with the pair of flat surfaces between the surfaces, a wheel chip attached to the notch groove, and a cord provided on one of the pair of flat surfaces, When the tip holder is restrained and stopped by the elastic stopper, the flat portion provided with the cord is preferably exposed from the storage hole.
This facilitates reading of the code and taking out of the chip holder in the next process.

また、本発明において、前記チップホルダ収納体は、収納されたチップホルダの脱落を防止する着脱可能な後部キャップ若しくは弾性爪を収納穴の後開口部に設けるのがよい。
これにより、チップホルダが収納穴の後開口部から脱落するのを防止することができる。 In the present invention, the chip holder storage body may be provided with a detachable rear cap or elastic claw for preventing the stored chip holder from falling off at the rear opening of the storage hole.
Thereby, it is possible to prevent the chip holder from dropping from the rear opening of the storage hole.

本発明に係るチップホルダを備えた基板加工装置の一例を示す斜視図。The perspective view which shows an example of the board | substrate processing apparatus provided with the chip holder which concerns on this invention. 本発明に係るチップホルダの一例を示す図。The figure which shows an example of the chip holder which concerns on this invention. 本発明に係るチップホルダと、これを取り付けるホルダジョイントを示す斜視図。The perspective view which shows the chip | tip holder which concerns on this invention, and the holder joint which attaches this. 本発明に係るチップホルダとホルダジョイントを示す一部断面正面図。The partial cross section front view which shows the chip | tip holder and holder joint which concern on this invention. チップホルダ収納体の一例を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows an example of a chip | tip holder storage body. チップホルダ収納体にチップホルダを収納した状態の断面図。Sectional drawing of the state which accommodated the chip holder in the chip holder accommodating body. 図５に示すチップホルダ収納体における弾性ストッパの動作を示す説明図。Explanatory drawing which shows operation | movement of the elastic stopper in the chip | tip holder storage body shown in FIG. チップホルダ収納体の別の実施例を示す断面図。Sectional drawing which shows another Example of a chip holder accommodating body. チップホルダ収納体のさらに別の実施例を示す断面図。Sectional drawing which shows another Example of a chip holder accommodating body. 図１に示す基板加工装置におけるロボットと載置棚を示す斜視図。The perspective view which shows the robot and mounting shelf in the board | substrate processing apparatus shown in FIG. 載置棚の別実施例を示す斜視図。The perspective view which shows another Example of a mounting shelf. 載置棚のさらに別の実施例を示す斜視図。The perspective view which shows another Example of a mounting shelf. 図１に示す基板加工装置において、ＣＣＤカメラでアライメントマークを撮像した状態を示す説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state in which an alignment mark is imaged with a CCD camera in the substrate processing apparatus shown in FIG. 1. 図１に示す基板加工装置の制御系の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the control system of the board | substrate processing apparatus shown in FIG. 外切り、内切りのスクライブ方法の説明図。Explanatory drawing of the scribing method of outer cutting and inner cutting. 従来の基板加工装置の一例を示す斜視図。The perspective view which shows an example of the conventional board | substrate processing apparatus. 従来のチップホルダを示す斜視図。The perspective view which shows the conventional chip holder. 従来のチップホルダとホルダジョイントを示す一部断面正面図。The partial cross section front view which shows the conventional chip holder and holder joint.

以下において、本発明の詳細をその実施の形態を示す図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係るチップホルダを備えた基板加工装置の一例を示す概略的な斜視図である。この基板加工装置Ａは、加工対象となる基板Ｗを載置して保持する水平なテーブル１を備えている。テーブル１は、モータを内蔵する回転駆動部２により水平面内で回動できるようになっており、かつ、水平なレール３に沿ってＹ方向に移動できるように構成されている。このＹ方向の移動は、モータ４によって回転するネジ軸５より行われる。 The details of the present invention will be described below with reference to the drawings showing embodiments thereof.
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a substrate processing apparatus provided with a chip holder according to the present invention. The substrate processing apparatus A includes a horizontal table 1 that places and holds a substrate W to be processed. The table 1 can be rotated in a horizontal plane by a rotary drive unit 2 incorporating a motor, and can be moved in the Y direction along a horizontal rail 3. This movement in the Y direction is performed by a screw shaft 5 that is rotated by a motor 4.

基板加工装置Ａには、一対の支柱６、６と、これら支柱６、６をつなぐようにＸ方向に水平に延びるガイドバー７とを備えたブリッジ８が、テーブル１を跨ぐようにして設けられている。ガイドバー７には、Ｘ方向に水平に延びるガイド９が設けられ、スクライブヘッド１０がガイド９に沿ってＸ方向に移動できるように配置されている。スクライブヘッド１０のＸ方向への移動はモータ１１の駆動によって行われる。スクライブヘッド１０にはホイールチップ１２ｅを備えたチップホルダ１２がホルダジョイント１３を介して着脱可能に取り付けられる。スクライブヘッド１０の内部には、チップホルダ１２の昇降を可能とする昇降機構が組み込まれている。また、ブリッジ８の上部には、基板Ｗのアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１８、１８が設けられている。 In the substrate processing apparatus A, a bridge 8 including a pair of support columns 6 and 6 and a guide bar 7 extending horizontally in the X direction so as to connect the support columns 6 and 6 is provided so as to straddle the table 1. ing. The guide bar 7 is provided with a guide 9 extending horizontally in the X direction, and the scribe head 10 is arranged so as to be movable along the guide 9 in the X direction. The scribing head 10 is moved in the X direction by driving the motor 11. A tip holder 12 having a wheel tip 12e is detachably attached to the scribe head 10 via a holder joint 13. An elevating mechanism that allows the chip holder 12 to be raised and lowered is incorporated in the scribe head 10. Two CCD cameras 18 and 18 for imaging the alignment mark of the substrate W are provided on the bridge 8.

このような構成のもとで、テーブル１上に載置した基板Ｗにホイールチップ１２ｅを押しつけながらホイールチップ１２ｅとテーブル１の一方または双方を移動させることにより、基板ＷをＸ−Ｙ方向にスクライブしてスクライブ溝を形成したり分断したりすることができるようになっている。 Under such a configuration, one or both of the wheel chip 12e and the table 1 are moved while pressing the wheel chip 12e against the substrate W placed on the table 1, thereby scribing the substrate W in the XY direction. Thus, the scribe groove can be formed or divided.

さらに、基板加工装置Ａのテーブル１の近傍に、チップホルダ１２を収納する複数のチップホルダ収納体１５を載置する載置棚１６と、チップホルダ１２をチップホルダ収納体１５から抜き出してスクライブヘッド１０のホルダジョイント１３に取り付けたり、あるいは、ホルダジョイント１３からチップホルダ１２を取り外したりするロボット１７とが設置されている。 Further, in the vicinity of the table 1 of the substrate processing apparatus A, a mounting shelf 16 on which a plurality of chip holder storage bodies 15 for storing the chip holders 12 are mounted, and the chip holder 12 is extracted from the chip holder storage body 15 and a scribe head. A robot 17 that is attached to 10 holder joints 13 or removes the chip holder 12 from the holder joint 13 is installed.

図２は、チップホルダ１２の一例を示すものであって、図２（ａ）は正面図であり、図２（ｂ）は側面縦断面図であり、図２（ｃ）は斜視図である。チップホルダ１２は略円柱状の胴部１２ａと、胴部１２ａの一端（下端）で胴部１２ａの軸心に対して平行かつ互いに対称に形成された一対の平坦面１２ｂ、１２ｂとを備え、さらに、これら一対の平坦面１２ｂ、１２ｂの間に、該平坦面１２ｂと平行に形成された切り欠き溝１２ｃが胴部１２ａの軸心に沿って形成されている。この切り欠き溝１２ｃに、胴部１２ａの軸心に対して直交するホイール軸１２ｄを介してホイールチップ１２ｅが、その一部を胴部１２ａの下端面から露出させた状態で回転自在に取り付けられている。平坦面１２ｂの一方には、後述するように、このチップホルダ１２に取り付けられているホイールチップ１２ｅの直径や種類などの、管理上有用なチップ固有のデータを記録したコード１２ｉが印字されている。 2 shows an example of the chip holder 12, FIG. 2 (a) is a front view, FIG. 2 (b) is a side longitudinal sectional view, and FIG. 2 (c) is a perspective view. . The chip holder 12 includes a substantially cylindrical body portion 12a, and a pair of flat surfaces 12b and 12b formed at one end (lower end) of the body portion 12a in parallel to and symmetrical to the axis of the body portion 12a. Further, a notch groove 12c formed in parallel with the flat surface 12b is formed between the pair of flat surfaces 12b and 12b along the axial center of the body portion 12a. A wheel chip 12e is rotatably attached to the notch groove 12c through a wheel shaft 12d orthogonal to the axis of the trunk portion 12a with a part thereof exposed from the lower end surface of the trunk portion 12a. ing. On one side of the flat surface 12b, as will be described later, a code 12i is recorded which records chip-specific data useful for management, such as the diameter and type of the wheel chip 12e attached to the chip holder 12. .

また、胴部１２ａの他端（上端）には、ホルダジョイント１３に取り付ける際の位置決め用の取付部１２ｆが設けられている。取付部１２ｆは、胴部１２ａを切り欠いて形成された平面部１２ｇと傾斜面１２ｈとを備えている。平面部１２ｇは胴部１２ａの軸心とは平行であり、下方にある一対の平坦面１２ｂとは直交している。また、取付部１２ｆは鉄などの磁性体金属で構成されている。 Further, an attachment portion 12f for positioning when attaching to the holder joint 13 is provided at the other end (upper end) of the body portion 12a. The attachment portion 12f includes a flat surface portion 12g and an inclined surface 12h formed by cutting out the body portion 12a. The flat surface portion 12g is parallel to the axial center of the body portion 12a and is orthogonal to the pair of flat surfaces 12b below. The attachment portion 12f is made of a magnetic metal such as iron.

さらに、一対の平坦面１２ｂ、１２ｂの下端部分には、平坦面１２ｂから突出する一本のピン１２ｊがそれぞれ設けられている。このピン１２ｊは平坦面１２ｂ、１２ｂにおいて回転対称位置あるいは左右対称位置に配置されているのが好ましい。ピン１２ｊは、後述するように、ロボット１７でチップホルダ１２をチップホルダ収納体１５から抜き出すときの掛かりとして作用する。なお、ピン１２ｊはそれぞれの平坦面において一本ずつ設けられているが、複数本設けてもよい。また、いずれか一方の平坦面１２ｂのピン１２ｊを省略することも可能である。なお、チップホルダ１２をチップホルダ収納体１５に収納したものを「チップホルダ収納セット」という。 Furthermore, one pin 12j protruding from the flat surface 12b is provided at the lower end portion of the pair of flat surfaces 12b and 12b. The pin 12j is preferably disposed at a rotationally symmetric position or a laterally symmetric position on the flat surfaces 12b and 12b. As will be described later, the pin 12j acts as a hook when the chip holder 12 is extracted from the chip holder housing 15 by the robot 17. One pin 12j is provided on each flat surface, but a plurality of pins 12j may be provided. It is also possible to omit the pin 12j on either one of the flat surfaces 12b. The chip holder 12 stored in the chip holder storage body 15 is referred to as a “chip holder storage set”.

胴部１２ａの外周面で取付部１２ｆの反対側には、胴部１２ａの軸心方向に延びるスライド溝１２ｋが設けられている。このスライド溝１２ｋは、後述するチップホルダ収納体１５の収納穴内面に形成された凸条１５ｓに嵌合するようになっている。このスライド溝１２ｋの一端は、切り欠き溝１２ｃに連なっている。 A slide groove 12k extending in the axial direction of the trunk portion 12a is provided on the outer peripheral surface of the trunk portion 12a on the opposite side of the attachment portion 12f. The slide groove 12k is adapted to be fitted to a convex strip 15s formed on the inner surface of a storage hole of a chip holder storage body 15 to be described later. One end of the slide groove 12k is continuous with the notch groove 12c.

スクライブヘッド１０に取り付けられたホルダジョイント１３は、図３及び図４に示すように、上部にベアリング１３ａを備えており、下部がチップホルダ１２を保持する保持部１３ｂとなっている。保持部１３ｂには、下方に向かって開口する断面略円形の開口部１３ｃが設けられており、その内奥部に磁石１３ｅが取り付けられている。さらに、開口部１３ｃの内部には、開口部１３ｃの軸心とは離れた箇所で該軸心と垂直な方向に延びる位置決め用の平行ピン１３ｄが設けられている。この平行ピン１３ｄは、チップホルダ１２が開口部１３ｃに挿入されたときに、チップホルダ１２の傾斜面１２ｈ（図２参照）に接触してチップホルダ１２の姿勢を一定方向に位置決めするものである。本発明の場合、ホイールチップ１２ｅの回転走行方向がスクライブ方向と一致するように位置決めされている。 As shown in FIGS. 3 and 4, the holder joint 13 attached to the scribe head 10 includes a bearing 13 a at the upper portion, and the lower portion serves as a holding portion 13 b that holds the chip holder 12. The holding portion 13b is provided with an opening 13c having a substantially circular cross section that opens downward, and a magnet 13e is attached to the inner back thereof. Furthermore, a positioning parallel pin 13d extending in a direction perpendicular to the axis is provided inside the opening 13c at a location away from the axis of the opening 13c. The parallel pins 13d contact the inclined surface 12h (see FIG. 2) of the chip holder 12 to position the chip holder 12 in a certain direction when the chip holder 12 is inserted into the opening 13c. . In the case of the present invention, the wheel chip 12e is positioned so that the rotational traveling direction of the wheel chip 12e coincides with the scribe direction.

チップホルダ１２をホルダジョイント１３に取り付ける際は、図３に示すように、ホルダジョイント１３の開口部１３ｃにチップホルダ１２を、その取付部１２ｆから挿入して行う。取付部１２ｆがホルダジョイント１３の開口部１３ｃに挿入されると、チップホルダ１２の傾斜面１２ｈに接触して位置決めされると共に、チップホルダ１２の上端部が磁石１３ｅに磁着されて保持される。これにより、チップホルダ１２の姿勢が一定方向に向いた状態で簡単にホルダジョイント１３に取り付けることができる。ホイールチップ１２ｅを取り替えるときは、チップホルダ１２を磁石１３ｅの磁力に抗して引き抜き、チップホルダごと交換する。 When attaching the chip holder 12 to the holder joint 13, as shown in FIG. 3, the chip holder 12 is inserted into the opening 13c of the holder joint 13 from the attachment part 12f. When the mounting portion 12f is inserted into the opening 13c of the holder joint 13, it is positioned in contact with the inclined surface 12h of the chip holder 12, and the upper end portion of the chip holder 12 is magnetized and held on the magnet 13e. . As a result, the tip holder 12 can be easily attached to the holder joint 13 in a state in which the orientation of the chip holder 12 is in a certain direction. When replacing the wheel chip 12e, the chip holder 12 is pulled out against the magnetic force of the magnet 13e, and the whole chip holder is replaced.

図５は、チップホルダ１２を収納するチップホルダ収納体１５の一例を示す分解斜視図であり、図６はチップホルダ１２を収納した状態の断面図である。チップホルダ収納体１５は、前後に貫通する断面略円形の収納穴１５ａを備え、かつ、平らな底面１５ｙを有するドーム状本体１５ｂと、収納穴１５ａの前開口部を閉じる前部キャップ１５ｃと、後開口部を閉じる後部キャップ１５ｄとからなる。収納穴１５ａは、その軸心が底面１５ｙと平行に形成されている。ドーム状本体１５ｂには、収納穴１５ａの前開口部の下縁に連なって前方に延びる平らな顎部１５ｅが設けられている。 FIG. 5 is an exploded perspective view showing an example of the chip holder housing 15 that houses the chip holder 12, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the chip holder 12 in a state where the chip holder 12 is housed. The chip holder housing 15 includes a housing hole 15a having a substantially circular cross section penetrating in the front-rear direction and having a flat bottom surface 15y, a front cap 15c for closing a front opening of the housing hole 15a, The rear cap 15d closes the rear opening. The storage hole 15a has an axis formed in parallel with the bottom surface 15y. The dome-shaped main body 15b is provided with a flat jaw portion 15e that extends forward and continues to the lower edge of the front opening of the storage hole 15a.

チップホルダ１２をチップホルダ収納体１５の収納穴１５ａに収納する際は、収納穴１５ａの後開口部からホイールチップ１２ｅを先頭にして挿入する。この挿入の際、チップホルダ１２のコード１２ｉを設けた平坦面１２ｂがドーム状本体１５ｂの底面１５ｙと平行で常に上向きの姿勢となるように、チップホルダ１２のスライド溝１２ｋが嵌合する凸条１５ｓが収納穴１５ａの内面に形成されている。チップホルダ１２のスライド溝１２ｋの一端は、切り欠き溝１２ｃに連なって形成されているので、チップホルダ１２を収納穴１５ａに挿入する際、切り欠き溝１２ｃがガイドとなって凸条１５ｓに嵌め込むことができ、挿入操作が容易となる。また、チップホルダ１２を収納穴１５ａに手で挿入する場合は、取付部１２ｆの平面部１２ｇを上に向けた状態で、平面部１２ｇに親指を添え、１８０°反対側のスライド溝１２ｋの近傍に人差し指を添え、両の指で挟むようにチップホルダ１２をつまんで収納穴１５ａに挿入すると、作業効率が向上する。 When the chip holder 12 is stored in the storage hole 15a of the chip holder storage body 15, the wheel chip 12e is inserted from the rear opening of the storage hole 15a. At the time of this insertion, a convex strip on which the slide groove 12k of the chip holder 12 is fitted so that the flat surface 12b provided with the cord 12i of the chip holder 12 is parallel to the bottom surface 15y of the dome-shaped main body 15b and always has an upward posture. 15s is formed in the inner surface of the storage hole 15a. Since one end of the slide groove 12k of the chip holder 12 is formed continuously to the notch groove 12c, when the chip holder 12 is inserted into the storage hole 15a, the notch groove 12c serves as a guide and is fitted to the ridge 15s. The insertion operation becomes easy. Further, when the chip holder 12 is manually inserted into the storage hole 15a, with the flat surface portion 12g of the mounting portion 12f facing upward, a thumb is attached to the flat surface portion 12g, and the vicinity of the slide groove 12k on the opposite side of 180 ° If the index finger is attached to the tip holder 12 and the tip holder 12 is pinched so as to be sandwiched between the fingers, the work efficiency is improved.

前部キャップ１５ｃは、弾性のある合成樹脂材で一体成形され、ドーム状本体１５ｂの底面１５ｙに面接する平らな板状部１５ｆと、ドーム状本体１５ｂの頂部周面に面接する円弧状上カバー１５ｇとを備えており、板状部１５ｆと円弧状上カバー１５ｇとは前壁１５ｈで連結されている。板状部１５ｆの上面には、傘状頭部１５ｋを有する弾性ストッパ１５ｉが上方に向かって突出して設けられており、ドーム状本体１５ｂの前開口部の近傍には、弾性ストッパ１５ｉを底面１５ｙから挿通させるための貫通孔１５ｊが形成されている。 The front cap 15c is integrally formed of an elastic synthetic resin material, and has a flat plate-like portion 15f that contacts the bottom surface 15y of the dome-shaped main body 15b, and an arc-shaped upper cover that contacts the top peripheral surface of the dome-shaped main body 15b. 15g, and the plate-like portion 15f and the arcuate upper cover 15g are connected by a front wall 15h. An elastic stopper 15i having an umbrella-shaped head portion 15k is provided on the upper surface of the plate-like portion 15f so as to protrude upward, and the elastic stopper 15i is provided on the bottom surface 15y in the vicinity of the front opening of the dome-shaped main body 15b. A through hole 15j is formed for insertion through the through hole 15j.

弾性ストッパ１５ｉを貫通孔１５ｊに挿通するときは、まず図７（ａ）に示すように傘状頭部１５ｋが圧縮されて進入し、貫通孔１５ｊを抜けると図７（ｂ）に示すように傘状頭部１５ｋが原形に復元して拡大し、貫通孔１５ｊから抜け出ないようになっている。この姿勢において、弾性ストッパ１５ｉの傘状頭部１５ｋは、ドーム状本体１５ｂの収納穴１５ａの内周面から内側に少し突き出るようにその寸法が予め設定されている。さらに、弾性ストッパ１５ｉを貫通孔１５ｊに挿通した後、この弾性ストッパ１５ｉを残して前部キャップ１５ｃを除去することができるように、弾性ストッパ１５ｉ近傍の板状部１５ｆに脆弱な切取線１５ｎが設けられている。また、円弧状上カバー１５ｇの下面にはドーム状本体１５ｂの上周面に設けられた係合溝１５ｐに弾性係合する突起１５ｑ（図６参照）が形成されており、突起１５ｑの反対側、即ち、円弧状上カバー１５ｇの上面には、突起１５ｑの係合を解除するためのつまみ片１５ｒが設けられている。 When the elastic stopper 15i is inserted into the through hole 15j, the umbrella-shaped head 15k is first compressed as shown in FIG. 7A and enters the through hole 15j as shown in FIG. 7B. The umbrella-shaped head 15k is restored to its original shape and enlarged so that it does not come out of the through hole 15j. In this posture, the size of the umbrella-shaped head 15k of the elastic stopper 15i is set in advance so as to slightly protrude inward from the inner peripheral surface of the storage hole 15a of the dome-shaped main body 15b. Further, a fragile cut line 15n is provided on the plate-like portion 15f in the vicinity of the elastic stopper 15i so that the front cap 15c can be removed leaving the elastic stopper 15i after the elastic stopper 15i is inserted into the through hole 15j. It has been. Further, a protrusion 15q (see FIG. 6) that elastically engages with an engagement groove 15p provided on the upper peripheral surface of the dome-shaped main body 15b is formed on the lower surface of the arc-shaped upper cover 15g, and is opposite to the protrusion 15q. That is, a knob piece 15r for releasing the engagement of the protrusion 15q is provided on the upper surface of the arcuate upper cover 15g.

切取線１５ｎから切り取られてドーム状本体１５ｂに残された弾性ストッパ１５ｉは、図６に示すように、収納穴１５ａに収納されたチップホルダ１２の平坦面１２ｂが収納穴１５ａの前開口部から露出した位置で、チップホルダ１２の前進を一時的に制止するストッパとして機能する。即ち、チップホルダ１２の平坦面１２ｂに隣接する肩部１２ｍが弾性ストッパ１５ｉの傘状頭部１５ｋに当接して弾性ストッパ１５ｉの弾性変形の範囲内で前進が制止される。そして、図７（ｄ）に示すように、弾性ストッパ１５ｉの弾性力に抗してチップホルダ１２を前開口部から引き出し方向に強く引っ張ると、弾性ストッパ１５ｉは傾倒してチップホルダ１２の進行を許すように形成されている。この場合、弾性ストッパ１５ｉが傾倒できるように、貫通孔１５ｊは余裕を持たせて形成する。なお、肩部１２ｍは、図に示すような傾斜面や円弧が好ましいが、傘状頭部１５ｋを弾力に抗して乗り越えることができれば、略直角なエッジであってもよい。 As shown in FIG. 6, the elastic stopper 15i cut off from the cut line 15n and left on the dome-shaped main body 15b has the flat surface 12b of the chip holder 12 accommodated in the accommodation hole 15a exposed from the front opening of the accommodation hole 15a. At this position, the tip holder 12 functions as a stopper for temporarily stopping the advancement. That is, the shoulder 12m adjacent to the flat surface 12b of the chip holder 12 abuts against the umbrella-shaped head 15k of the elastic stopper 15i, and the forward movement is restricted within the range of elastic deformation of the elastic stopper 15i. As shown in FIG. 7D, when the tip holder 12 is pulled strongly from the front opening in the pulling direction against the elastic force of the elastic stopper 15i, the elastic stopper 15i tilts and the tip holder 12 advances. Shaped to forgive. In this case, the through hole 15j is formed with a margin so that the elastic stopper 15i can be tilted. The shoulder 12m is preferably an inclined surface or an arc as shown in the figure, but may be a substantially right-angled edge as long as it can get over the umbrella-shaped head 15k against elasticity.

後部キャップ１５ｄは、弾性のある合成樹脂材で一体成形され、キャップ内面の上下に形成された突起１５ｔが、ドーム状本体１５ｂの外周面の上下に設けられた係合溝１５ｕに弾性的に係合して着脱自在に取り付けられている。 The rear cap 15d is integrally formed of an elastic synthetic resin material, and protrusions 15t formed on the upper and lower surfaces of the cap inner surface are elastically engaged with engagement grooves 15u provided on the upper and lower outer surfaces of the dome-shaped main body 15b. They are attached detachably.

前部キャップ１５ｃは、チップホルダ収納体１５にチップホルダ１２を収納したときに、前開口部からのチップホルダ１２の脱落を防止するとともに、ホイールチップ１２ｅの刃先を保護するためのものであり、前壁１５ｈの内面にはホイールチップ１２ｅの刃先が嵌まり込む凹部が形成されている（図６参照）。また、後部キャップ１５ｄは、チップホルダ１２が収納穴１５ａの後開口部から脱落するのを防止するためのものである。 The front cap 15c is for preventing the tip holder 12 from falling off from the front opening when the tip holder 12 is housed in the tip holder housing 15 and protecting the cutting edge of the wheel tip 12e. The inner surface of the front wall 15h is formed with a recess into which the blade tip of the wheel chip 12e is fitted (see FIG. 6). The rear cap 15d is for preventing the chip holder 12 from dropping from the rear opening of the storage hole 15a.

なお、上記の後部キャップ１５ｄに代えて、図８に示すような弾性爪１５ｘを用いることもできる。弾性爪１５ｘは、バネ１５ｚで押し上げ方向に弾力を受けた状態でチップホルダ収納体１５のドーム状本体１５ｂに取り付けられている。弾性爪１５ｘの先端は、チップホルダ１２を挿入しやすく、かつ抜け難いように、後開口部に斜面を向けた傾斜面で形成されているが、円弧であってもよい。 Note that an elastic claw 15x as shown in FIG. 8 can be used instead of the rear cap 15d. The elastic claw 15x is attached to the dome-shaped main body 15b of the chip holder housing 15 in a state in which the elastic claw 15x receives elasticity in the push-up direction by the spring 15z. The tip of the elastic claw 15x is formed with an inclined surface with an inclined surface facing the rear opening so that the chip holder 12 can be easily inserted and removed, but it may be an arc.

上記した実施例においては、各チップホルダ収納体１５に１個のチップホルダ１２を収納した例を示したが、図９に示すように、複数個、例えば５〜１０個のチップホルダ１２を収納することもできる。この場合、先行のチップホルダ１２の尾部に後続のチップホルダ１２のホイールチップ１２ｅが当って刃先が破損するのを防止するために、チップホルダ１２の尾部（図２における上端面）に刃先が嵌まり込む凹部１２ｐを設けるのがよい。 In the above-described embodiment, an example in which one chip holder 12 is stored in each chip holder storage body 15 is shown. However, as shown in FIG. 9, a plurality of, for example, 5 to 10 chip holders 12 are stored. You can also In this case, in order to prevent the tip of the tip holder 12 from hitting the wheel tip 12e of the subsequent tip holder 12 and damaging the blade tip, the tip of the tip holder 12 is fitted to the tail portion (upper end surface in FIG. 2). It is good to provide the recessed part 12p which gets stuck.

上記チップホルダ収納体１５は複数個用意され、種類の異なるホイールチップ１２ｅを備えたチップホルダ１２を種類ごとに区分けしてそれぞれのチップホルダ収納体１５に収納し、工場内などで保管される。そして使用時に、前部キャップ１５ｃを取り外した状態で基板加工装置Ａの載置棚１６に整列して配置する。 A plurality of the chip holder storage bodies 15 are prepared, and the chip holders 12 having wheel chips 12e of different types are classified according to the types, stored in the respective chip holder storage bodies 15, and stored in a factory or the like. In use, the front cap 15c is removed and aligned with the mounting shelf 16 of the substrate processing apparatus A.

図１０は、複数の、例えば３個のチップホルダ収納体１５を整列して載置する載置棚１６と、該載置棚の近傍に設置されたロボット１７とを示す斜視図である。
この実施例において、載置棚１６は、チップホルダ収納体１５の平らな底面１５ｙを載置面として載置する３枚の棚板１６ａを備えている。各棚板１６ａには、チップホルダ収納体１５に収納されたチップホルダ１２の平坦面１２ｂが、棚板１６ａの前端縁１６ｂから突き出た状態で保持されるように、棚板周縁部に囲枠１６ｃが設けられている。また、各棚板１６ａは、前端縁１６ｂ側から見て階段状に組まれている。 FIG. 10 is a perspective view showing a mounting shelf 16 on which a plurality of, for example, three chip holder housings 15 are aligned and mounted, and a robot 17 installed in the vicinity of the mounting shelf.
In this embodiment, the mounting shelf 16 includes three shelf boards 16a that are mounted with the flat bottom surface 15y of the chip holder storage body 15 as a mounting surface. Each shelf plate 16a is surrounded by a peripheral edge of the shelf plate so that the flat surface 12b of the chip holder 12 accommodated in the chip holder housing 15 is held in a state of protruding from the front edge 16b of the shelf plate 16a. 16c is provided. Moreover, each shelf board 16a is assembled in step shape seeing from the front end edge 16b side.

ロボット１７は、先端に挟着爪１７ｂを有するロボットアーム１７ａと、このロボットアーム１７ａに取り付けられてチップホルダ１２の平坦面１２ｂに設けられたコード１２ｉを読み取るリーダ１７ｃとを備えている。ロボットアーム１７ａは、その先端の挟着爪１７ｂが、チップホルダ収納体１５から露出したチップホルダ１２の一対の平坦面１２ｂ、１２ｂを横から挟んで引き出すことができるように構成されている。この際、各棚板１６ａは階段状に組まれているので、他のチップホルダ１２に邪魔されることなく、目的のチップホルダ１２を掴んで引き出すことができるとともに、各チップホルダ１２のコード１２ｉが平面上で重なることがないので、上方からリーダ１７ｃで各チップホルダ１２のコード１２ｉを容易かつ正確に読み取ることができる。
また、挟着爪１７ｂで一対の平坦面１２ｂ、１２ｂを横から挟んで引き出す際に、各平坦面１２ｂのピン１２ｊ、１２ｊが引き抜き方向に対する挟着爪１７ｂへの掛かりとなって、確実かつ滑らかに引き出すことができる。この際、ピン１２ｊが各平坦面１２ｂ、１２ｂに配置されているので、挟着爪１７ｂを引き出し方向に対してバランスよく引っかけることができ、滑らかにチップホルダ１２を引き出すことができる。また、スクライブヘッドのホルダジョイント１３（図３参照）から抜き出す場合も同様である。 The robot 17 includes a robot arm 17 a having a clamping claw 17 b at the tip, and a reader 17 c that is attached to the robot arm 17 a and reads a code 12 i provided on the flat surface 12 b of the chip holder 12. The robot arm 17a is configured such that a pinching claw 17b at the tip thereof can be pulled out by sandwiching a pair of flat surfaces 12b and 12b of the chip holder 12 exposed from the chip holder housing 15 from the side. At this time, since each shelf plate 16a is assembled in a step shape, the target chip holder 12 can be grasped and pulled out without being obstructed by other chip holders 12, and the cords 12i of each chip holder 12 can be pulled out. Do not overlap on the plane, the code 12i of each chip holder 12 can be easily and accurately read from above by the reader 17c.
Further, when the pair of flat surfaces 12b and 12b are pulled out from the side by the clamping claws 17b, the pins 12j and 12j of the flat surfaces 12b are hooked to the clamping claws 17b in the pulling direction, and are surely smooth. Can be pulled out. At this time, since the pins 12j are arranged on the flat surfaces 12b and 12b, the clamping claws 17b can be hooked in a balanced manner with respect to the pulling direction, and the chip holder 12 can be pulled out smoothly. The same applies to the case of extraction from the holder joint 13 (see FIG. 3) of the scribe head.

載置棚１６における複数の棚板１６ａは、図１１に示すように、同一平面上でロボット１７に近い側にある棚板１６ａほど、前端縁１６ｂが後退するようにそれぞれ後方にずらして形成してもよい。これにより、先の階段状に組み付けた実施例と同様に、ロボットアーム１７ａの挟着爪１７ｂでチップホルダ１２を引き出す際に、他のチップホルダ１２に邪魔されることなく、目的のチップホルダ１２を掴んで引き出すことができるとともに、上方からロボットアーム１７ａのリーダ１７ｃで各チップホルダ１２のコード１２ｉを読み取るのが容易となる。 As shown in FIG. 11, the plurality of shelf plates 16 a in the mounting shelf 16 are formed so as to be shifted backward so that the shelf plate 16 a closer to the robot 17 on the same plane is closer to the front edge 16 b. May be. Thus, similar to the embodiment assembled in the shape of the previous step, the target chip holder 12 is not obstructed by other chip holders 12 when the chip holder 12 is pulled out by the clamping claws 17b of the robot arm 17a. And the code 12i of each chip holder 12 can be easily read from above by the reader 17c of the robot arm 17a.

上記した載置棚１６の棚板１６ａは、図１２に示すように、前端縁１６ｂが下方となるように傾斜して形成するのがよい。これにより、チップホルダ収納体１５からチップホルダ１２をロボットアーム１７ａで引き抜く際に、自重による滑り効果で軽く引き出すことができる。特に、図９で示した複数のチップホルダ１２を収納するチップホルダ収納体１５を棚板１６ａに載置する場合、チップホルダ１２が自重によって前進する程度の傾斜角を棚板１６ａにつけておくのがよい。これにより、先行のチップホルダ１２が引き出されると、後続のチップホルダ１２が自重によって前進してストッパ位置で次の引き出しのために待機させることができる。 As shown in FIG. 12, the shelf plate 16a of the mounting shelf 16 is preferably formed so as to be inclined so that the front edge 16b is downward. As a result, when the chip holder 12 is pulled out from the chip holder housing 15 by the robot arm 17a, it can be pulled out lightly by the sliding effect due to its own weight. In particular, when the chip holder housing 15 for housing the plurality of chip holders 12 shown in FIG. 9 is placed on the shelf board 16a, the shelf board 16a is provided with an inclination angle such that the chip holder 12 advances by its own weight. Is good. Thereby, when the preceding tip holder 12 is pulled out, the succeeding tip holder 12 can be moved forward by its own weight and can be put on standby for the next pulling out at the stopper position.

図１の基板加工装置によりスクライブを開始するにあたっては、まず基板Ｗをテーブル１上に載置保持させる。そしてブリッジ８上に設置された２台のＣＣＤカメラ１８、１８で、図１３に示すように、基板上の左右２カ所の位置決め用アライメントマークＭ１、Ｍ２を検出する。このときのアライメントマークを結ぶ直線Ｓが、２台のＣＣＤカメラ１８、１８を結ぶ基準直線Ｌに対して傾いている場合には、テーブル１を回転駆動部２で回転させて傾き角が０になるように修正する。また、予め設定されたスクライブ開始位置に対するホイールチップ１２ｅのずれもＣＣＤカメラ１８によって検出される。もし、Ｙ方向にずれていれば、そのずれ量に相当する分だけテーブル１を移動させる。また、Ｘ方向にずれていれば、スクライブヘッド１０をそのずれ量に相当する分だけＸ方向に移動させる。このＸ−Ｙ方向のずれの補正や基板の傾き角の修正は、図１４のブロック図に示すように、付帯するコンピュータ１９の制御部２０によって行われる。
In starting scribing by the substrate processing apparatus of FIG. 1, first, the substrate W is placed and held on the table 1. Then, the two CCD cameras 18 and 18 installed on the bridge 8 detect positioning alignment marks M1 and M2 at two positions on the left and right sides as shown in FIG. When the straight line S connecting the alignment marks at this time is inclined with respect to the reference straight line L connecting the two CCD cameras 18, 18, the table 1 is rotated by the rotation driving unit 2 so that the inclination angle becomes 0. Modify to be. Further, the CCD camera 18 detects a deviation of the wheel chip 12e from a preset scribe start position. If it is shifted in the Y direction, the table 1 is moved by an amount corresponding to the shift amount. If it is displaced in the X direction, the scribe head 10 is moved in the X direction by an amount corresponding to the displacement amount. The correction of the deviation in the X-Y direction and the correction of the tilt angle of the board are performed by the control unit 20 of the computer 19 as shown in the block diagram of FIG.

図１４のブロック図において、２台のＣＣＤカメラ１８からの出力はコンピュータ１９の制御部２０に与えられる。制御部２０は、補正値に基づいてテーブル回転駆動部２を動作してテーブル１を回転し、前記傾き角が０になるように修正する。また、Ｘ−Ｙ方向のずれの補正もそれぞれの駆動部２１、２２を駆動することにより行われる。補正完了後、チップホルダ昇降駆動部２３を駆動してチップホルダ１２を下降させ、基板Ｗにホイールチップ１２ｅを押しつけながらホイールチップ１２ｅとテーブル１の一方または双方を移動させることにより、基板ＷをＸ−Ｙ方向にスクライブしてスクライブ溝を形成する。このときに使用されるホイールチップ１２ｅの走行距離はデータ保持部２４に記録され、ホイールチップ１２ｅの交換時期になればアラームなどで表示される。 In the block diagram of FIG. 14, outputs from the two CCD cameras 18 are given to the control unit 20 of the computer 19. Based on the correction value, the control unit 20 operates the table rotation driving unit 2 to rotate the table 1 and corrects the tilt angle to be zero. Further, correction of the deviation in the X-Y direction is also performed by driving the respective drive units 21 and 22. After the correction is completed, the chip holder lifting / lowering drive unit 23 is driven to lower the chip holder 12, and while the wheel chip 12e is pressed against the substrate W, one or both of the wheel chip 12e and the table 1 are moved to move the substrate W to X A scribing groove is formed by scribing in the -Y direction. The travel distance of the wheel chip 12e used at this time is recorded in the data holding unit 24, and is displayed by an alarm or the like when it is time to replace the wheel chip 12e.

チップホルダ１２のコード１２ｉには以下のデータが記録されている。このコードは１次元コード、例えばバーコードを用いてもよいが、狭い面積で多くの情報を入力できる２次元コードが好ましい。２次元コードは直接印字して形成されるが、ラベルを貼り付けるようにしてもよい。データの入力は付帯するコンピュータで行われ、個体識別用の番号、刃先の形態や直径などのホイールチップ固有の仕様に加え、以下で説明する「外切り」「内切り」などのスクライブ方式やスクライブのレシピに符合する型式番号などが記録されている。 The following data is recorded in the code 12 i of the chip holder 12. As this code, a one-dimensional code such as a barcode may be used, but a two-dimensional code capable of inputting a large amount of information in a small area is preferable. The two-dimensional code is formed by directly printing, but a label may be attached. Data input is performed by an accompanying computer. In addition to wheel-specific specifications such as individual identification numbers, blade edge shapes and diameters, scribing methods and scribing such as “outer cutting” and “inner cutting” described below The model number that matches the recipe is recorded.

基板Ｗをホイールチップでスクライブする方法には、「外切り」と「内切り」とがあり、基板の種類や用途によって選択的に使い分けられている。「外切り」は、図１５（ａ）に示すように、ホイールチップ１２ｅの最下端を基板Ｗの表面（上面）より僅かに下方まで降下させた状態で、基板Ｗの端縁の外側位置（スクライブ開始位置）にセットする。そしてセットした位置から水平移動させ、基板端部に衝突させて乗り上げ、さらに所定のスクライブ圧で押圧しながら水平移動させてスクライブを行う。一方「内切り」は、図１５（ｂ）に示すように、基板の端縁から内側（スクライブ開始位置）にてホイールチップ１２ｅを上方から下降させて基板に所定のスクライブ圧で当接させ、押圧しながら水平移動させてスクライブを行う。この「外切り」の際の基板端縁からスクライブ開始位置までの距離を「＋」値とし、「内切り」の際の基板端縁からスクライブ開始位置までの距離を「−」値とし、これら数値を段階的に分けた「外切り」「内切り」の各種スクライブレシピがコンピュータ１９に予め入力設定され、レシピ選択ボタン２５で選択できるようにしてある。例えば「外切り」で「＋」値が２ｍｍの場合は（Ａ１）のボタンを、「内切り」で「−」値が２ｍｍの場合は（Ａ５）のボタンといったように、複数の選択肢からレシピを選ぶことができるようにしてある。 The method of scribing the substrate W with a wheel chip includes “outer cutting” and “inner cutting”, which are selectively used depending on the type and application of the substrate. As shown in FIG. 15A, the “outer cutting” is a state in which the lower end of the wheel tip 12e is lowered slightly below the surface (upper surface) of the substrate W, and the outer position ( Set to the scribe start position. Then, it is moved horizontally from the set position, made to collide with the end of the substrate, and then moved horizontally while being pressed with a predetermined scribe pressure to perform scribing. On the other hand, as shown in FIG. 15 (b), “inner cutting” is performed by lowering the wheel chip 12e from above on the inner side (scribing start position) from the edge of the substrate to contact the substrate with a predetermined scribe pressure, Scribing by moving horizontally while pressing. The distance from the substrate edge to the scribe start position during this “outer cut” is the “+” value, and the distance from the substrate edge to the scribe start position during the “inner cut” is the “−” value. Various scribing recipes of “outer cut” and “inner cut” in which numerical values are divided in stages are set in advance in the computer 19 and can be selected by a recipe selection button 25. For example, when the “+” value is “2 mm” for “outer cut”, the button (A1) is used. When the “−” value is “mm” and the “−” value is 2 mm, a button (A5) is used. You can choose.

ホイールチップ１２ｅが所定の走行距離を走って交換時期に達したときや別仕様のホイールチップ１２ｅに交換するときは、基板加工装置Ａが停止された後、ロボット１７によりホイールチップ１２ｅの交換が行われる。ロボット１７は交換すべきホイールチップ１２ｅを有するチップホルダ１２をホルダジョイント１３から取り外して別に用意した収納ボックスに移した後、ロボットアーム１７ａに取り付けられたリーダ１７ｃによりチップホルダ収納体１５にストックしてあるチップホルダ１２のコード１２ｉを読み取って、適正なチップホルダ１２を選択して抜き出し、ホルダジョイント１３に取り付ける。 When the wheel chip 12e has traveled a predetermined distance and the replacement time has been reached, or when the wheel chip 12e is replaced with another wheel chip 12e of a different specification, the wheel chip 12e is replaced by the robot 17 after the substrate processing apparatus A is stopped. Is called. The robot 17 removes the chip holder 12 having the wheel chip 12e to be replaced from the holder joint 13 and moves it to a separately prepared storage box, and then stocks it in the chip holder storage body 15 by the reader 17c attached to the robot arm 17a. A code 12 i of a certain chip holder 12 is read, an appropriate chip holder 12 is selected and extracted, and attached to the holder joint 13.

また、コンピュータ１９には、選択されるレシピごとに好適なホイールチップ１２ｅの型式番号が登録されているので、コンピュータ１９に予め入力設定されているレシピの選択ボタン２５を選択するだけで、レシピに適合するチップホルダ１２に取り替えることができる。即ち、選択ボタン２５でレシピを選択すると、選択されたレシピに好適なチップホルダ１２が決定され、ロボットアーム１７ａが載置棚１６に載置してあるチップホルダ収納体１５に移動してリーダ１７ｃでチップホルダ１２のコード１２ｉを読み取って好適なチップホルダ１２をチップホルダ収納体１５から抜き取る。抜き取られたチップホルダ１２は、スクライブヘッド１０のホルダジョイント１３に取り付けられ、コンピュータに予め設定されたレシピ通りに自動的にスクライブされる。従って、レシピを設定するたびにオペレータがそのレシピに好適なチップホルダ１２を選択する煩雑さを解消することができる。 In addition, since the model number of the wheel tip 12e suitable for each recipe to be selected is registered in the computer 19, simply selecting the recipe selection button 25 set in advance in the computer 19 allows the recipe to be added to the recipe. A suitable chip holder 12 can be replaced. That is, when a recipe is selected with the selection button 25, a chip holder 12 suitable for the selected recipe is determined, and the robot arm 17a moves to the chip holder housing 15 mounted on the mounting shelf 16 to move the reader 17c. Then, the code 12 i of the chip holder 12 is read, and a suitable chip holder 12 is extracted from the chip holder housing 15. The extracted chip holder 12 is attached to the holder joint 13 of the scribe head 10 and automatically scribed according to a recipe set in advance in the computer. Therefore, it is possible to eliminate the trouble of the operator selecting a chip holder 12 suitable for the recipe each time a recipe is set.

以上、本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施形態に特定されるものではなく、その目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。 As mentioned above, although the typical Example of this invention was described, this invention is not necessarily specified to said embodiment, The objective is achieved and it corrects and changes suitably within the range which does not deviate from a claim. Is possible.

本発明は、基板の表面にホイールチップを押しつけながらスクライブすることにより、基板に分断用のスクライブラインを加工したり分断したりする基板加工装置に利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used in a substrate processing apparatus that processes or divides a scribe line for cutting on a substrate by scribing while pressing a wheel chip against the surface of the substrate.

Ａ基板加工装置
Ｗ基板
１テーブル
１０スクライブヘッド
１２チップホルダ
１２ａ胴部
１２ｂ平坦面
１２ｃ切り欠き溝
１２ｄホイール軸
１２ｅホイールチップ
１２ｉコード
１３ホルダジョイント
１５チップホルダ収納体
１５ａ収納穴
１５ｂドーム状本体
１５ｃ前部キャップ
１５ｄ後部キャップ
１５ｉ弾性ストッパ
１５ｊ貫通孔
１５ｋ傘状頭部
１５ｎ切取線
１６載置棚
１７ロボット
１７ｂ挟着爪 A substrate processing apparatus W substrate 1 table 10 scribe head 12 chip holder 12a trunk 12b flat surface 12c notch groove 12d wheel shaft 12e wheel chip 12i code 13 holder joint 15 chip holder housing 15a housing hole 15b dome-shaped body 15c front Cap 15d Rear cap 15i Elastic stopper 15j Through hole 15k Umbrella head 15n Cut line 16 Mounting shelf 17 Robot 17b Claw

Claims

A chip holder housing for housing the chip holder,
The chip holder storage body includes a main body having a storage hole for storing the chip holder, and a detachable front cap that covers a front opening of the storage hole,
The front cap has an elastic stopper that is inserted from a through-hole provided in the main body toward the storage hole, and the elastic stopper is inserted into the through-hole when one of its heads is inserted. The part protrudes from the storage hole and regulates the forward movement of the chip holder stored in the storage hole;
A chip holder storage body provided with a tear line capable of separating the elastic stopper in the vicinity of the elastic stopper of the front cap.

The chip holder includes a body portion attached to a scribe head of a substrate processing apparatus, a pair of flat surfaces formed at one end of the body portion in parallel with an axis of the body portion, and the pair of flat surfaces between the pair of flat surfaces. A notch groove formed in parallel with the pair of flat surfaces, a wheel chip attached to the notch groove, and a cord provided on one of the pair of flat surfaces,
2. The chip holder storage body according to claim 1, wherein the flat portion provided with the cord is exposed from the storage hole when the chip holder is stopped by the forward movement being restricted by the elastic stopper. 3.

The chip holder storage body according to claim 1, wherein the chip holder storage body includes a detachable rear cap that covers a rear opening of the storage hole.

3. The chip holder storage body according to claim 1, wherein the chip holder storage body includes an elastic claw that prevents the stored chip holder from falling off in the vicinity of the rear opening of the storage hole.