JP2014008715A - Placing table of tip holder storage body - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、テーブル上に載置した基板の表面に、円周稜線にV字型の刃先が形成されたホイールチップ(カッターホイール、またはスクライビングホイールともいう)を押しつけながらスクライブすることにより、前記基板に分断用のスクライブラインを加工したり、分断(ブレイク)したりする基板加工装置に用いられるチップホルダを収納したチップホルダ収納体の載置台に関する。特に本発明は、データ記録コードを有する平坦部を備えたチップホルダを、複数並べて載置するための載置台に関する。 According to the present invention, the substrate is scribed by pressing a wheel chip (also called a cutter wheel or a scribing wheel) having a V-shaped cutting edge formed on a circumferential ridge line on the surface of the substrate placed on a table. The present invention relates to a mounting table for a chip holder storage body that stores a chip holder used in a substrate processing apparatus that processes or divides (breaks) a scribe line for cutting. In particular, the present invention relates to a mounting table for mounting a plurality of chip holders each having a flat portion having a data recording code.
従来から、ガラス、シリコン、セラミック、半導体などの脆性材料からなる基板や貼り合わせ基板(以下単に「基板」という)の表面に、ホイールチップでスクライブ予定ラインに沿ったスクライブライン(分断用の溝)を形成したり、あるいは、分断予定ラインから完全分断したりする基板加工装置が知られている(例えば特許文献1、特許文献2参照)。
Conventionally, a scribe line (groove for cutting) along a planned scribe line with a wheel chip on the surface of a substrate made of a brittle material such as glass, silicon, ceramic, semiconductor or a bonded substrate (hereinafter simply referred to as “substrate”). There is known a substrate processing apparatus that forms a line or completely cuts off from a line to be cut (see, for example,
図16は、上記特許文献などに開示されている、従来の基板加工装置の一例を示す概略的な斜視図である。この基板加工装置Bは、加工対象となる基板Wを載置して保持する水平なテーブル31を備えている。テーブル31は、モータを内蔵する回転駆動部32により水平面内で回動できるようになっており、かつ、水平なレール33に沿ってY方向に移動できるように構成されている。このY方向の移動は、モータ34によって回転するネジ軸35により行われる。
FIG. 16 is a schematic perspective view showing an example of a conventional substrate processing apparatus disclosed in the above-mentioned patent documents. The substrate processing apparatus B includes a horizontal table 31 that places and holds a substrate W to be processed. The table 31 can be rotated in a horizontal plane by a
基板加工装置Bには、一対の支柱36、36と、これら支柱36、36をつなぐようにX方向に水平に延びるガイドバー37とを備えたブリッジ38が、テーブル31を跨ぐようにして設けられている。ガイドバー37には、X方向に水平に延びるガイド39が設けられ、スクライブヘッド40がガイド39に沿ってX方向に移動できるように配置されている。スクライブヘッド40のX方向への移動はモータ41の駆動によって行われる。スクライブヘッド40にはホイールチップ42eを備えたチップホルダ42がホルダジョイント43を介して着脱可能に取り付けられる。スクライブヘッド40の内部には、ホルダジョイント43の昇降を可能とする昇降機構が組み込まれている。
In the substrate processing apparatus B, a
このような構成のもとで、テーブル31上に載置した基板Wにホイールチップ42eを押しつけながらホイールチップ42eとテーブル31の一方または双方を移動させることにより、基板WをX−Y方向にスクライブしてスクライブ溝を形成したり分断したりすることができるようになっている。 Under such a configuration, one or both of the wheel chip 42e and the table 31 are moved while pressing the wheel chip 42e against the substrate W placed on the table 31, thereby scribing the substrate W in the XY direction. Thus, the scribe groove can be formed or divided.
図17並びに図18は、従来のチップホルダ42及びホルダジョイント43の構成を示すものである。チップホルダ42は略円柱状の胴部42aと、胴部42aの一端(下端)で胴部42aの軸心に対して平行かつ互いに対称に形成された一対の平坦部42b、42bとを備え、さらに、これら一対の平坦部42b、42bの間に、該平坦部42bと平行に形成された切り欠き溝42cが胴部42aの軸心に沿って形成されている。この切り欠き溝42cに、胴部42aの軸心に対して直交するホイール軸42dを介してホイールチップ42eが回転自在に取り付けられている。一対の平坦部42bの一方には、このチップホルダ42に取り付けられているホイールチップ42eの直径や種類、ホイールチップを取り付ける際の設定情報などの管理上有用な固有のデータを記録したコード42iが印字されている。
17 and 18 show the configuration of a
また、胴部42aの他端(上端)には、ホルダジョイント43に取り付ける際の位置決め用の取付部42fが設けられている。取付部42fは、胴部42aを切り欠いて形成された平面部42gと傾斜面42hとを備えている。平面部42gは胴部42aの軸心とは平行であり、下方にある一対の平坦部42bとは直交している。また、胴部42aは鉄などの磁性体金属で構成されている。 Further, an attachment portion 42f for positioning when attaching to the holder joint 43 is provided at the other end (upper end) of the body portion 42a. The attachment portion 42f includes a flat surface portion 42g and an inclined surface 42h formed by cutting out the body portion 42a. The flat part 42g is parallel to the axial center of the body part 42a, and is orthogonal to the pair of flat parts 42b below. Moreover, the trunk | drum 42a is comprised with magnetic body metals, such as iron.
ホルダジョイント43は、上部にベアリング43aを備えており、下部がチップホルダ42を保持する保持部43bとなっている。保持部43bには、下方に向かって開口する断面略円形の開口部43cが設けられており、その内奥部に磁石43jが取り付けられている。さらに、開口部43cの内部には、開口部の軸心とは離れた箇所で該軸心と垂直な方向に延びる位置決め用の平行ピン43dが設けられている。この平行ピン43dは、チップホルダ42が開口部43cに挿入されたときに、チップホルダ42の傾斜面42hに接触してチップホルダ42の方向や姿勢が一定になるように位置決めするものである。
The holder joint 43 includes a bearing 43 a at the upper part, and the lower part serves as a holding part 43 b that holds the
チップホルダ42をホルダジョイント43に取り付ける際は、図18に示すように、ホルダジョイント43の開口部43cにチップホルダ42を、その取付部42fから挿入して行う。取付部42fがホルダジョイント43の開口部43cに挿入されると、チップホルダ42の傾斜面42hに平行ピン43dが接触して位置決めされると共に、チップホルダ42の上端部が磁石43jに磁着されて保持される。これにより、チップホルダ42の姿勢が一定方向に向いた状態で簡単にホルダジョイント43に取り付けることができる。ホイールチップ42eを取り替えるときは、ホルダジョイント43の開口部43cからチップホルダ42を磁石の磁力に抗して引き抜いてチップホルダごと交換する。新たに取り付けられるチップホルダ42は、平坦部42bに印字されているチップ固有のデータを記録したコード42iを別途に設置したリーダで読み取ることにより選択される。
When the
ホイールチップが所定の走行距離を走って交換時期に達したときや、別仕様のホイールチップを必要とするときは、基板加工装置Bを停止させた後、チップホルダの交換が行われる。具体的には、チップホルダをスクライブヘッドのホルダジョイントから取り外した後、保管してあるチップホルダの中からリーダでコードを読み取ることにより所望のチップホルダを選択し、この選択されたチップホルダをホルダジョイントに取り付ける。このような交換作業はオペレータが手作業で行うと手間がかかるので、ロボットで自動的に行うのが好都合である。 When the wheel tip runs a predetermined distance and reaches the replacement time, or when a wheel tip with a different specification is required, the substrate holder B is stopped and then the tip holder is replaced. Specifically, after removing the chip holder from the holder joint of the scribe head, a desired chip holder is selected by reading a code with a reader from among the stored chip holders, and the selected chip holder is held in the holder. Attach to the joint. Since such an exchange operation is troublesome if the operator performs it manually, it is convenient to perform it automatically by a robot.
ロボットで交換作業を行う場合、複数のチップホルダから希望するチップホルダを選ぶのに、コードを備えたチップホルダの平坦部をリーダで読み取りやすいように、かつ、ロボットで引き出しやすいように配置する必要がある。この場合、チップホルダは直径約2〜3mmの小さなホイールチップを備えているので、コード面を露出させた状態でホイールチップが傷つかないように、例えば載置台などに安定的に載置することが要求される。また、ロボットでチップホルダを選択して掴み、そのままスクライブヘッドのホルダジョイントまで運んで装着するためには、載置台とロボットとの相関的な組み付けに配慮しなければならない。
しかし、従来は、このようなロボットによるチップホルダの自動交換に好適なシステム構成は開示されておらず、未解決のままであった。
When exchanging with a robot, in order to select the desired chip holder from multiple chip holders, the flat part of the chip holder with the code must be arranged so that it can be easily read by the reader and pulled out by the robot. There is. In this case, since the tip holder is provided with a small wheel tip having a diameter of about 2 to 3 mm, it can be stably placed on a mounting table, for example, so that the wheel tip is not damaged with the cord surface exposed. Required. In addition, in order to select and hold the chip holder by the robot and carry it to the holder joint of the scribe head as it is, it is necessary to consider the relative assembly of the mounting table and the robot.
However, conventionally, a system configuration suitable for automatic replacement of a chip holder by such a robot has not been disclosed, and has remained unsolved.
そこで本発明は、上記課題に鑑み、ロボットによる自動交換に好適な機能を備えたチップホルダ収納体を載置する載置台を提供することを目的とする。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a mounting table on which a chip holder storage body having a function suitable for automatic replacement by a robot is mounted.
上記課題を解決するために、本発明では次のような技術的手段を講じた。即ち、本発明のチップホルダ収納体用載置台は、コードが設けられた平坦部を有するチップホルダを該平坦部を露出させた状態で収納したチップホルダ収納体を載置するための載置台であって、前記載置台は、前記チップホルダの平坦部を上向きにした姿勢で前記チップホルダ収納体を載置する複数の棚板を備え、該複数の棚板は、それぞれの棚板に前記チップホルダ収納体を載置した状態で、前記平坦部を上方から見たとき、および、前記平坦部を側方から見たときに、前記平坦部同士が互いに重畳しないように配置されている構成とした。 In order to solve the above problems, the present invention takes the following technical means. That is, the mounting table for chip holder storage body of the present invention is a mounting table for mounting a chip holder storage body that stores a chip holder having a flat part provided with a cord in a state where the flat part is exposed. The mounting table includes a plurality of shelf plates on which the chip holder storage body is placed in a posture in which the flat portion of the chip holder faces upward, and the plurality of shelf plates are arranged on each shelf plate. A configuration in which the flat portions are arranged so as not to overlap each other when the flat portion is viewed from above with the holder storage body placed and when the flat portion is viewed from the side. did.
係る構成は、前記複数の棚板を階段状に配置したり、同一平面上でそれぞれの端縁をずらして配置したりすることによって達成できる。 Such a configuration can be achieved by arranging the plurality of shelves in a staircase pattern, or by arranging the respective end edges on the same plane.
本発明によれば、チップホルダの平坦部を上方から見たとき、および側方から見たときに平坦部同士が互いに重畳しないように各棚板が配置されているので、目的のチップホルダを掴んで引き出すときに、他のチップホルダに邪魔されることなく容易に引き出すことができる。加えて、各チップホルダのコードを有する平坦部が平面視で重ならないので、上方からリーダで各チップホルダのコードを正確に読み取ることができ、確実に目的のチップホルダを選択することができるといった効果がある。 According to the present invention, when the flat part of the chip holder is viewed from above and when viewed from the side, the shelf boards are arranged so that the flat parts do not overlap each other. When grasping and pulling out, it can be easily pulled out without being disturbed by other chip holders. In addition, since the flat portion having the code of each chip holder does not overlap in plan view, the code of each chip holder can be read accurately with a reader from above, and the target chip holder can be selected reliably. effective.
本発明において、前記複数の棚板を、その後端縁よりも前端縁が下方となるように傾斜して配置してもよい。
これにより、チップホルダを掴んでチップホルダ収納体から引き抜く際に、自重による滑り効果で軽く引き出すことができる。
In the present invention, the plurality of shelf boards may be arranged so as to be inclined so that the front end edge is lower than the rear end edge.
As a result, when the chip holder is grasped and pulled out from the chip holder housing, it can be pulled out lightly by the sliding effect due to its own weight.
以下において、本発明の詳細をその実施の形態を示す図面に基づいて説明する。
図1は、本発明に係るチップホルダを備えた基板加工装置の一例を示す概略的な斜視図である。この基板加工装置Aは、加工対象となる基板Wを載置して保持する水平なテーブル1を備えている。テーブル1は、モータを内蔵する回転駆動部2により水平面内で回動できるようになっており、かつ、水平なレール3に沿ってY方向に移動できるように構成されている。このY方向の移動は、モータ4によって回転するネジ軸5より行われる。
The details of the present invention will be described below with reference to the drawings showing embodiments thereof.
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a substrate processing apparatus provided with a chip holder according to the present invention. The substrate processing apparatus A includes a horizontal table 1 that places and holds a substrate W to be processed. The table 1 can be rotated in a horizontal plane by a
基板加工装置Aには、一対の支柱6、6と、これら支柱6、6をつなぐようにX方向に水平に延びるガイドバー7とを備えたブリッジ8が、テーブル1を跨ぐようにして設けられている。ガイドバー7には、X方向に水平に延びるガイド9が設けられ、スクライブヘッド10がガイド9に沿ってX方向に移動できるように配置されている。スクライブヘッド10のX方向への移動はモータ11の駆動によって行われる。スクライブヘッド10にはホイールチップ12eを備えたチップホルダ12がホルダジョイント13を介して着脱可能に取り付けられる。スクライブヘッド10の内部には、チップホルダ12の昇降を可能とする昇降機構が組み込まれている。また、ブリッジ8の上部には、基板Wのアライメントマークを撮像する2台のCCDカメラ18、18が設けられている。
In the substrate processing apparatus A, a
このような構成のもとで、テーブル1上に載置した基板Wにホイールチップ12eを押しつけながらホイールチップ12eとテーブル1の一方または双方を移動させることにより、基板WをX−Y方向にスクライブしてスクライブ溝を形成したり分断したりすることができるようになっている。 Under such a configuration, one or both of the wheel chip 12e and the table 1 are moved while pressing the wheel chip 12e against the substrate W placed on the table 1, thereby scribing the substrate W in the XY direction. Thus, the scribe groove can be formed or divided.
さらに、基板加工装置Aのテーブル1の近傍に、チップホルダ12を収納する複数のチップホルダ収納体15を載置する載置棚16と、チップホルダ12をチップホルダ収納体15から抜き出してスクライブヘッド10のホルダジョイント13に取り付けたり、あるいは、ホルダジョイント13からチップホルダ12を取り外したりするロボット17とが設置されている。
Further, in the vicinity of the table 1 of the substrate processing apparatus A, a mounting
図2は、チップホルダ12の一例を示すものであって、図2(a)は正面図であり、図2(b)は側面縦断面図であり、図2(c)は斜視図である。チップホルダ12は略円柱状の胴部12aと、胴部12aの一端(下端)で胴部12aの軸心に対して平行かつ互いに対称に形成された一対の平坦部12b、12bとを備え、さらに、これら一対の平坦部12b、12bの間に、該平坦部12bと平行に形成された切り欠き溝12cが胴部12aの軸心に沿って形成されている。この切り欠き溝12cに、胴部12aの軸心に対して直交するホイール軸12dを介してホイールチップ12eが、その一部を胴部12aの下端面から露出させた状態で回転自在に取り付けられている。平坦部12bの一方には、後述するように、このチップホルダ12に取り付けられているホイールチップ12eの直径や種類などの、管理上有用なチップ固有のデータを記録したコード12iが印字されている。
2 shows an example of the
また、胴部12aの他端(上端)には、ホルダジョイント13に取り付ける際の位置決め用の取付部12fが設けられている。取付部12fは、胴部12aを切り欠いて形成された平面部12gと傾斜面12hとを備えている。平面部12gは胴部12aの軸心とは平行であり、下方にある一対の平坦部12bとは直交している。また、取付部12fは鉄などの磁性体金属で構成されている。
Further, an attachment portion 12f for positioning when attaching to the holder joint 13 is provided at the other end (upper end) of the body portion 12a. The attachment portion 12f includes a flat surface portion 12g and an
さらに、一対の平坦部12b、12bの下端部分には、平坦部12bから突出する一本のピン12jがそれぞれ設けられている。このピン12jは平坦部12b、12bにおいて回転対称位置あるいは左右対称位置に配置されているのが好ましい。ピン12jは、後述するように、ロボット17でチップホルダ12をチップホルダ収納体15から抜き出すときの掛かりとして作用する。なお、ピン12jはそれぞれの平坦部において一本ずつ設けられているが、複数本設けてもよい。また、いずれか一方の平坦部12bのピン12jを省略することも可能である。なお、チップホルダ12をチップホルダ収納体15に収納したものを「チップホルダ収納セット」という。
Furthermore, one pin 12j protruding from the flat portion 12b is provided at the lower end portion of the pair of flat portions 12b and 12b. The pins 12j are preferably arranged at rotationally symmetric positions or left-right symmetric positions in the flat portions 12b and 12b. As will be described later, the pin 12j acts as a hook when the
胴部12aの外周面で取付部12fの反対側には、胴部12aの軸心方向に延びるスライド溝12kが設けられている。このスライド溝12kは、後述するチップホルダ収納体15の収納穴内面に形成された凸条15sに嵌合するようになっている。このスライド溝12kの一端は、切り欠き溝12cに連なっている。
A slide groove 12k extending in the axial direction of the trunk portion 12a is provided on the outer peripheral surface of the trunk portion 12a on the opposite side of the attachment portion 12f. The slide groove 12k is adapted to be fitted to a convex strip 15s formed on the inner surface of a storage hole of a chip
スクライブヘッド10に取り付けられたホルダジョイント13は、図3及び図4に示すように、上部にベアリング13aを備えており、下部がチップホルダ12を保持する保持部13bとなっている。保持部13bには、下方に向かって開口する断面略円形の開口部13cが設けられており、その内奥部に磁石13eが取り付けられている。さらに、開口部13cの内部には、開口部13cの軸心とは離れた箇所で該軸心と垂直な方向に延びる位置決め用の平行ピン13dが設けられている。この平行ピン13dは、チップホルダ12が開口部13cに挿入されたときに、チップホルダ12の傾斜面12h(図2参照)に接触してチップホルダ12の姿勢を一定方向に位置決めするものである。本発明の場合、ホイールチップ12eの回転走行方向がスクライブ方向と一致するように位置決めされている。
As shown in FIGS. 3 and 4, the holder joint 13 attached to the
チップホルダ12をホルダジョイント13に取り付ける際は、図3に示すように、ホルダジョイント13の開口部13cにチップホルダ12を、その取付部12fから挿入して行う。取付部12fがホルダジョイント13の開口部13cに挿入されると、チップホルダ12の傾斜面12hに接触して位置決めされると共に、チップホルダ12の上端部が磁石13eに磁着されて保持される。これにより、チップホルダ12の姿勢が一定方向に向いた状態で簡単にホルダジョイント13に取り付けることができる。ホイールチップ12eを取り替えるときは、チップホルダ12を磁石13eの磁力に抗して引き抜き、チップホルダごと交換する。
When attaching the
図5は、チップホルダ12を収納するチップホルダ収納体15の一例を示す分解斜視図であり、図6はチップホルダ12を収納した状態の断面図である。チップホルダ収納体15は、前後に貫通する断面略円形の収納穴15aを備え、かつ、平らな底面15yを有するドーム状本体15bと、収納穴15aの前開口部を閉じる前部キャップ15cと、後開口部を閉じる後部キャップ15dとからなる。収納穴15aは、その軸心が底面15yと平行に形成されている。ドーム状本体15bには、収納穴15aの前開口部の下縁に連なって前方に延びる平らな顎部15eが設けられている。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing an example of the
チップホルダ12をチップホルダ収納体15の収納穴15aに収納する際は、収納穴15aの後開口部からホイールチップ12eを先頭にして挿入する。この挿入の際、チップホルダ12のコード12iを設けた平坦部12bがドーム状本体15bの底面15yと平行で常に上向きの姿勢となるように、チップホルダ12のスライド溝12kが嵌合する凸条15sが収納穴15aの内面に形成されている。チップホルダ12のスライド溝12kの一端は、切り欠き溝12cに連なって形成されているので、チップホルダ12を収納穴15aに挿入する際、切り欠き溝12cがガイドとなって凸条15sに嵌め込むことができ、挿入操作が容易となる。また、チップホルダ12を収納穴15aに手で挿入する場合は、取付部12fの平面部12gを上に向けた状態で、平面部12gに親指を添え、180°反対側のスライド溝12kの近傍に人差し指を添え、両の指で挟むようにチップホルダ12をつまんで収納穴15aに挿入すると、作業効率が向上する。
When the
前部キャップ15cは、弾性のある合成樹脂材で一体成形され、ドーム状本体15bの底面15yに面接する平らな板状部15fと、ドーム状本体15bの頂部周面に面接する円弧状上カバー15gとを備えており、板状部15fと円弧状上カバー15gとは前壁15hで連結されている。板状部15fの上面には、傘状頭部15kを有する弾性ストッパ15iが上方に向かって突出して設けられており、ドーム状本体15bの前開口部の近傍には、弾性ストッパ15iを底面15yから挿通させるための貫通孔15jが形成されている。 The front cap 15c is integrally formed of an elastic synthetic resin material, and has a flat plate-like portion 15f that contacts the bottom surface 15y of the dome-shaped main body 15b, and an arc-shaped upper cover that contacts the top peripheral surface of the dome-shaped main body 15b. 15g, and the plate-like portion 15f and the arcuate upper cover 15g are connected by a front wall 15h. An elastic stopper 15i having an umbrella-shaped head portion 15k is provided on the upper surface of the plate-like portion 15f so as to protrude upward, and the elastic stopper 15i is provided on the bottom surface 15y in the vicinity of the front opening of the dome-shaped main body 15b. A through hole 15j is formed for insertion through the through hole 15j.
弾性ストッパ15iを貫通孔15jに挿通するときは、まず図7(a)に示すように傘状頭部15kが圧縮されて進入し、貫通孔15jを抜けると図7(b)に示すように傘状頭部15kが原形に復元して拡大し、貫通孔15jから抜け出ないようになっている。この姿勢において、弾性ストッパ15iの傘状頭部15kは、ドーム状本体15bの収納穴15aの内周面から内側に少し突き出るようにその寸法が予め設定されている。さらに、弾性ストッパ15iを貫通孔15jに挿通した後、この弾性ストッパ15iを残して前部キャップ15cを除去することができるように、弾性ストッパ15i近傍の板状部15fに脆弱な切取線15nが設けられている。また、円弧状上カバー15gの下面にはドーム状本体15bの上周面に設けられた係合溝15pに弾性係合する突起15q(図6参照)が形成されており、突起15qの反対側、即ち、円弧状上カバー15gの上面には、突起15qの係合を解除するためのつまみ片15rが設けられている。
When the elastic stopper 15i is inserted into the through hole 15j, the umbrella-shaped head 15k is first compressed as shown in FIG. 7A and enters the through hole 15j as shown in FIG. 7B. The umbrella-shaped head 15k is restored to its original shape and enlarged so that it does not come out of the through hole 15j. In this posture, the size of the umbrella-shaped head 15k of the elastic stopper 15i is set in advance so as to slightly protrude inward from the inner peripheral surface of the storage hole 15a of the dome-shaped main body 15b. Further, a fragile cut line 15n is provided on the plate-like portion 15f in the vicinity of the elastic stopper 15i so that the front cap 15c can be removed leaving the elastic stopper 15i after the elastic stopper 15i is inserted into the through hole 15j. It has been. Further, a
切取線15nから切り取られてドーム状本体15bに残された弾性ストッパ15iは、図6に示すように、収納穴15aに収納されたチップホルダ12の平坦部12bが収納穴15aの前開口部から露出した位置で、チップホルダ12の前進を一時的に制止するストッパとして機能する。即ち、チップホルダ12の平坦部12bに隣接する肩部12mが弾性ストッパ15iの傘状頭部15kに当接して弾性ストッパ15iの弾性変形の範囲内で前進が制止される。そして、図7(d)に示すように、弾性ストッパ15iの弾性力に抗してチップホルダ12を前開口部から引き出し方向に強く引っ張ると、弾性ストッパ15iは傾倒してチップホルダ12の進行を許すように形成されている。この場合、弾性ストッパ15iが傾倒できるように、貫通孔15jは余裕を持たせて形成する。なお、肩部12mは、図に示すような傾斜面や円弧が好ましいが、傘状頭部15kを弾力に抗して乗り越えることができれば、略直角なエッジであってもよい。
As shown in FIG. 6, the elastic stopper 15i cut off from the cut line 15n and left in the dome-shaped main body 15b has the flat portion 12b of the
後部キャップ15dは、弾性のある合成樹脂材で一体成形され、キャップ内面の上下に形成された突起15tが、ドーム状本体15bの外周面の上下に設けられた係合溝15uに弾性的に係合して着脱自在に取り付けられている。
The rear cap 15d is integrally formed of an elastic synthetic resin material, and
前部キャップ15cは、チップホルダ収納体15にチップホルダ12を収納したときに、前開口部からのチップホルダ12の脱落を防止するとともに、ホイールチップ12eの刃先を保護するためのものであり、前壁15hの内面にはホイールチップ12eの刃先が嵌まり込む凹部が形成されている(図6参照)。また、後部キャップ15dは、チップホルダ12が収納穴15aの後開口部から脱落するのを防止するためのものである。
The front cap 15c is for preventing the
図8(a)は、ストッパの別の実施例を示す。この実施例では、前記した弾性ストッパ15iにかえて、弾性係止爪15vでチップホルダ12の前進を規制するストッパを形成している。弾性係止爪15vは、バネ15wで押し上げ方向に弾力を受けた状態でチップホルダ収納体15のドーム状本体15bに取り付けられている。弾性係止爪15vの先端は、チップホルダ12の肩部12mに斜面を向けた傾斜面で形成されているが、円弧であってもよい。この実施例における前部キャップ15c’は、先の実施例で示した前部キャップ15cから弾性ストッパ15iをなくした構造であって、互いに弾性的に嵌合する係合溝15p’並びに突起15q’により収納穴15aの前開口部に着脱自在に取り付けられている。また、前壁15hの内面には、前部キャップ15cと同様、ホイールチップ12eの刃先が嵌まり込む凹部が形成されている。また、収納穴15aの後開口部には、先の実施例と同様に後部キャップ15dが着脱自在に取り付けられている。
FIG. 8 (a) shows another embodiment of the stopper. In this embodiment, instead of the above-described elastic stopper 15i, a stopper for restricting the advance of the
また、上記の後部キャップ15dにかえて、図8(b)に示すように、弾性係止爪15vと同じ構成を有する弾性係止爪15xを収納穴15aの後開口部付近に設けて、チップホルダ12が収納穴15aの後開口部から脱落しないようにしてもよい。弾性係止爪15xの先端も、チップホルダ12を挿入しやすく、かつ抜け難いように、後開口部に斜面を向けた傾斜面で形成されているが、円弧であってもよい。
Further, in place of the rear cap 15d, as shown in FIG. 8 (b), an elastic locking claw 15x having the same configuration as the elastic locking claw 15v is provided in the vicinity of the rear opening of the storage hole 15a. The
上記した実施例においては、各チップホルダ収納体15に1個のチップホルダ12を収納した例を示したが、図9に示すように、複数個、例えば5〜10個のチップホルダ12を収納することもできる。この場合、先行のチップホルダ12の尾部に後続のチップホルダ12のホイールチップ12eが当って刃先が破損するのを防止するために、チップホルダ12の尾部(図2における上端面)に刃先が嵌まり込む凹部12pを設けるのがよい。
In the above-described embodiment, an example in which one
上記チップホルダ収納体15は複数個用意され、種類の異なるホイールチップ12eを備えたチップホルダ12を種類ごとに区分けしてそれぞれのチップホルダ収納体15に収納し、工場内などで保管される。そして使用時に、前部キャップ15cを取り外した状態で基板加工装置Aの載置棚16に整列して配置する。
A plurality of the chip
図10は、複数の、例えば3個のチップホルダ収納体15を整列して載置する載置棚16と、該載置棚の近傍に設置されたロボット17とを示す斜視図である。
この実施例において、載置棚16は、チップホルダ収納体15の平らな底面15yを載置面として載置する3枚の棚板16aを備えている。各棚板16aには、チップホルダ収納体15に収納されたチップホルダ12の平坦部12bが、棚板16aの前端縁16bから突き出た状態で保持されるように、棚板周縁部に囲枠16cが設けられている。また、各棚板16aは、前端縁16b側から見て階段状に組まれている。
FIG. 10 is a perspective view showing a mounting
In this embodiment, the mounting
ロボット17は、先端に挟着爪17bを有するロボットアーム17aと、このロボットアーム17aに取り付けられてチップホルダ12の平坦部12bに設けられたコード12iを読み取るリーダ17cとを備えている。ロボットアーム17aは、その先端の挟着爪17bが、チップホルダ収納体15から露出したチップホルダ12の一対の平坦部12b、12bを横から挟んで引き出すことができるように構成されている。この際、各棚板16aは階段状に組まれているので、他のチップホルダ12に邪魔されることなく、目的のチップホルダ12を掴んで引き出すことができるとともに、各チップホルダ12のコード12iが平面上で重なることがないので、上方からリーダ17cで各チップホルダ12のコード12iを容易かつ正確に読み取ることができる。
また、挟着爪17bで一対の平坦部12b、12bを横から挟んで引き出す際に、各平坦部12bのピン12j、12jが引き抜き方向に対する挟着爪17bへの掛かりとなって、確実かつ滑らかに引き出すことができる。この際、ピン12jが各平坦部12b、12bに配置されているので、挟着爪17bを引き出し方向に対してバランスよく引っかけることができ、滑らかにチップホルダ12を引き出すことができる。また、スクライブヘッドのホルダジョイント13(図3参照)から抜き出す場合も同様である。
The
Further, when the pair of flat portions 12b and 12b are sandwiched and pulled out from the side by the sandwiching claws 17b, the pins 12j and 12j of the respective flat portions 12b are hooked to the sandwiching claws 17b in the pulling direction, and are surely smooth. Can be pulled out. At this time, since the pins 12j are disposed on the flat portions 12b and 12b, the clamping claws 17b can be hooked in a balanced manner with respect to the pulling direction, and the
載置棚16における複数の棚板16aは、図11に示すように、同一平面上でロボット17に近い側にある棚板16aほど、前端縁16bが後退するようにそれぞれ後方にずらして形成してもよい。これにより、先の階段状に組み付けた実施例と同様に、ロボットアーム17aの挟着爪17bでチップホルダ12を引き出す際に、他のチップホルダ12に邪魔されることなく、目的のチップホルダ12を掴んで引き出すことができるとともに、上方からロボットアーム17aのリーダ17cで各チップホルダ12のコード12iを読み取るのが容易となる。
As shown in FIG. 11, the plurality of shelf plates 16 a in the mounting
上記した載置棚16の棚板16aは、図12に示すように、前端縁16bが下方となるように傾斜して形成するのがよい。これにより、チップホルダ収納体15からチップホルダ12をロボットアーム17aで引き抜く際に、自重による滑り効果で軽く引き出すことができる。特に、図9で示した複数のチップホルダ12を収納するチップホルダ収納体15を棚板16aに載置する場合、チップホルダ12が自重によって前進する程度の傾斜角を棚板16aにつけておくのがよい。これにより、先行のチップホルダ12が引き出されると、後続のチップホルダ12が自重によって前進してストッパ位置で次の引き出しのために待機させることができる。
As shown in FIG. 12, the shelf plate 16a of the mounting
図1の基板加工装置によりスクライブを開始するにあたっては、まず基板Wをテーブル1上に載置保持させる。そしてブリッジ8上に設置された2台のCCDカメラ18、18で、図13に示すように、基板上の左右2カ所の位置決め用アライメントマークM1、M2を検出する。このときのアライメントマークを結ぶ直線Sが、2台のCCDカメラ18、18を結ぶ基準直線Lに対して傾いている場合には、テーブル1を回転駆動部2で回転させて傾き角が0になるように修正する。また、予め設定されたスクライブ開始位置に対するホイールチップ12eのずれもCCDカメラ18によって検出される。もし、Y方向にずれていれば、そのずれ量に相当する分だけテーブル1を移動させる。また、X方向にずれていれば、スクライブヘッド10をそのずれ量に相当する分だけX方向に移動させる。このX−Y方向のずれの補正や基板の傾き角の修正は、図14のブロック図に示すように、付帯するコンピュータ19の制御部20によって行われる。
In starting scribing by the substrate processing apparatus of FIG. 1, first, the substrate W is placed and held on the table 1. Then, the two
図14のブロック図において、2台のCCDカメラ18からの出力はコンピュータ19の制御部20に与えられる。制御部20は、補正値に基づいてテーブル回転駆動部2を動作してテーブル1を回転し、前記傾き角が0になるように修正する。また、X−Y方向のずれの補正もそれぞれの駆動部21、22を駆動することにより行われる。補正完了後、チップホルダ昇降駆動部23を駆動してチップホルダ12を下降させ、基板Wにホイールチップ12eを押しつけながらホイールチップ12eとテーブル1の一方または双方を移動させることにより、基板WをX−Y方向にスクライブしてスクライブ溝を形成する。このときに使用されるホイールチップ12eの走行距離はデータ保持部24に記録され、ホイールチップ12eの交換時期になればアラームなどで表示される。
In the block diagram of FIG. 14, outputs from the two
チップホルダ12のコード12iには以下のデータが記録されている。このコードは1次元コード、例えばバーコードを用いてもよいが、狭い面積で多くの情報を入力できる2次元コードが好ましい。2次元コードは直接印字して形成されるが、ラベルを貼り付けるようにしてもよい。データの入力は付帯するコンピュータで行われ、個体識別用の番号、刃先の形態や直径などのホイールチップ固有の仕様に加え、以下で説明する「外切り」「内切り」などのスクライブ方式やスクライブのレシピに符合する型式番号などが記録されている。
The following data is recorded in the code 12 i of the
基板Wをホイールチップでスクライブする方法には、「外切り」と「内切り」とがあり、基板の種類や用途によって選択的に使い分けられている。「外切り」は、図15(a)に示すように、ホイールチップ12eの最下端を基板Wの表面(上面)より僅かに下方まで降下させた状態で、基板Wの端縁の外側位置(スクライブ開始位置)にセットする。そしてセットした位置から水平移動させ、基板端部に衝突させて乗り上げ、さらに所定のスクライブ圧で押圧しながら水平移動させてスクライブを行う。一方「内切り」は、図15(b)に示すように、基板の端縁から内側(スクライブ開始位置)にてホイールチップ12eを上方から下降させて基板に所定のスクライブ圧で当接させ、押圧しながら水平移動させてスクライブを行う。この「外切り」の際の基板端縁からスクライブ開始位置までの距離を「+」値とし、「内切り」の際の基板端縁からスクライブ開始位置までの距離を「−」値とし、これら数値を段階的に分けた「外切り」「内切り」の各種スクライブレシピがコンピュータ19に予め入力設定され、レシピ選択ボタン25で選択できるようにしてある。例えば「外切り」で「+」値が2mmの場合は(A1)のボタンを、「内切り」で「−」値が2mmの場合は(A5)のボタンといったように、複数の選択肢からレシピを選ぶことができるようにしてある。
The method of scribing the substrate W with a wheel chip includes “outer cutting” and “inner cutting”, which are selectively used depending on the type and application of the substrate. As shown in FIG. 15A, the “outer cutting” is a state in which the lower end of the wheel tip 12e is lowered slightly below the surface (upper surface) of the substrate W, and the outer position ( Set to the scribe start position. Then, it is moved horizontally from the set position, made to collide with the end of the substrate, and then moved horizontally while being pressed with a predetermined scribe pressure to perform scribing. On the other hand, as shown in FIG. 15 (b), “inner cutting” is performed by lowering the wheel chip 12e from above on the inner side (scribing start position) from the edge of the substrate to contact the substrate with a predetermined scribe pressure, Scribing by moving horizontally while pressing. The distance from the substrate edge to the scribe start position during this “outer cut” is the “+” value, and the distance from the substrate edge to the scribe start position during the “inner cut” is the “−” value. Various scribing recipes of “outer cut” and “inner cut” in which numerical values are divided in stages are set in advance in the
ホイールチップ12eが所定の走行距離を走って交換時期に達したときや別仕様のホイールチップ12eに交換するときは、基板加工装置Aが停止された後、ロボット17によりホイールチップ12eの交換が行われる。ロボット17は交換すべきホイールチップ12eを有するチップホルダ12をホルダジョイント13から取り外して別に用意した収納ボックスに移した後、ロボットアーム17aに取り付けられたリーダ17cによりチップホルダ収納体15にストックしてあるチップホルダ12のコード12iを読み取って、適正なチップホルダ12を選択して抜き出し、ホルダジョイント13に取り付ける。
When the wheel chip 12e has traveled a predetermined distance and the replacement time has been reached, or when the wheel chip 12e is replaced with another wheel chip 12e of a different specification, the wheel chip 12e is replaced by the
また、コンピュータ19には、選択されるレシピごとに好適なホイールチップ12eの型式番号が登録されているので、コンピュータ19に予め入力設定されているレシピの選択ボタン25を選択するだけで、レシピに適合するチップホルダ12に取り替えることができる。即ち、選択ボタン25でレシピを選択すると、選択されたレシピに好適なチップホルダ12が決定され、ロボットアーム17aが載置棚16に載置してあるチップホルダ収納体15に移動してリーダ17cでチップホルダ12のコード12iを読み取って好適なチップホルダ12をチップホルダ収納体15から抜き取る。抜き取られたチップホルダ12は、スクライブヘッド10のホルダジョイント13に取り付けられ、コンピュータに予め設定されたレシピ通りに自動的にスクライブされる。従って、レシピを設定するたびにオペレータがそのレシピに好適なチップホルダ12を選択する煩雑さを解消することができる。
In addition, since the model number of the wheel tip 12e suitable for each recipe to be selected is registered in the
以上、本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施形態に特定されるものではなく、その目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。 As mentioned above, although the typical Example of this invention was described, this invention is not necessarily specified to said embodiment, The objective is achieved and it corrects and changes suitably within the range which does not deviate from a claim. Is possible.
本発明は、基板の表面にホイールチップを押しつけながらスクライブすることにより、基板に分断用のスクライブラインを加工したり分断したりする基板加工装置に利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used in a substrate processing apparatus that processes or divides a scribe line for cutting on a substrate by scribing while pressing a wheel chip against the surface of the substrate.
A 基板加工装置
W 基板
1 テーブル
10 スクライブヘッド
12 チップホルダ
12b 平坦部
12e ホイールチップ
12i コード
15 チップホルダ収納体
16 載置台
16a 棚板
16b 前端縁
17 ロボット
17b 挟着爪
A substrate processing
Claims (4)
前記載置台は、前記チップホルダの平坦部を上向きにした姿勢で前記チップホルダ収納体を載置する複数の棚板を備え、
該複数の棚板は、それぞれの棚板に前記チップホルダ収納体を載置した状態で、前記平坦部を上方から見たとき、および、前記平坦部を側方から見たときに、前記平坦部同士が互いに重畳しないように配置されているチップホルダ収納体の載置台。 A mounting table for mounting a chip holder storage body storing a chip holder having a flat part provided with a cord in a state where the flat part is exposed,
The mounting table includes a plurality of shelf plates for mounting the chip holder storage body in a posture in which the flat portion of the chip holder faces upward,
The plurality of shelves are flat when the flat part is viewed from above with the chip holder housing placed on each shelf and when the flat part is viewed from the side. A mounting table for a chip holder storage body arranged so that the parts do not overlap each other.
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