KR20190048472A - Substrate inspecting apparatus - Google Patents

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KR20190048472A KR1020170143448A KR20170143448A KR20190048472A KR 20190048472 A KR20190048472 A KR 20190048472A KR 1020170143448 A KR1020170143448 A KR 1020170143448A KR 20170143448 A KR20170143448 A KR 20170143448A KR 20190048472 A KR20190048472 A KR 20190048472A
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Abstract

Disclosed is a substrate inspecting apparatus. The substrate inspecting apparatus includes: a pair of floating panels extended in parallel with each other and spraying air onto the lower surface of a substrate to float the substrate; an aligning module provided between the floating panels and aligning the substrate floating on the floating panels at a predetermined position; and an inspecting module provided on an upper portion of the floating panels and inspecting the aligned substrate by the aligning module. The aligning module includes: a vacuum chuck for vacuum-absorbing the lower surface of the substrate; a vertical driving unit for moving the vacuum chuck in a vertical direction; and a horizontal driving unit moving the vacuum chuck in a horizontal direction to align the substrate.

Description

기판 검사 장치{Substrate inspecting apparatus}[0001] Substrate inspecting apparatus [0002]

본 발명의 실시예들은 기판 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 제조 공정에서 기판 상에 형성된 패턴들의 결함을 검사하기 위한 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a substrate inspection apparatus. More particularly, the present invention relates to an apparatus for inspecting defects of patterns formed on a substrate in a display manufacturing process.

액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 디스플레이 장치의 제조 공정에서 기판 상에 형성된 패턴들의 결함은 기판 검사 장치에 의해 검사될 수 있다.Defects of patterns formed on a substrate in a manufacturing process of a display device such as a liquid crystal display device, a plasma display device, an OLED (Organic Light Emitting Diode) display device and the like can be inspected by a substrate inspecting device.

상기 기판 검사 장치는 기판의 상부면 이미지를 획득하기 위한 이미지 획득 유닛을 포함할 수 있으며, 상기 기판은 상기 이미지 획득 유닛의 하부에서 수평 방향으로 이동될 수 있다. 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-1544285호에는 에어 분사를 통해 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈 상의 기판을 검사하기 위한 검사 모듈과, 상기 에어 부상 모듈 상에서 부상된 기판을 정렬하기 위한 복수의 정렬 유닛들을 포함하는 기판 검사 장치가 개시되어 있다.The substrate inspection apparatus may include an image acquiring unit for acquiring an image of an upper surface of the substrate, and the substrate may be moved in a horizontal direction in a lower portion of the image acquiring unit. For example, in Korean Patent Registration No. 10-1544285, there are disclosed an air floating module for floating a substrate through air injection, an inspection module for inspecting a substrate on the air floating module, A substrate inspection apparatus comprising a plurality of alignment units for alignment is disclosed.

상기 기판 검사 장치는 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송되는 기판을 지지하기 위한 복수의 서포트 롤러들을 구비할 수 있으며, 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판은 에어 분사에 의해 상기 에어 부상 모듈 상에서 부상될 수 있다. 상기 정렬 유닛들은 상기 부상된 기판 주위에 배치될 수 있으며 상기 기판의 가장자리 부위들을 상기 기판의 중심을 향하여 밀어서 정렬할 수 있다.The substrate inspection apparatus may include a plurality of support rollers for supporting a substrate transferred onto the air floating module, and a substrate transferred onto the air floating module may be floated on the air floating module by air jetting have. The alignment units may be arranged around the floating substrate and may be arranged by pushing the edge portions of the substrate towards the center of the substrate.

그러나, 상기 디스플레이 제조 공정에서 상기 기판은 이송 롤러들에 의해 각 단위 공정들 사이에서 이송될 수 있으며 이에 따라 상기 이송 롤러들에 의한 상기 기판의 하부 손상이 발생될 수 있다. 아울러, 상기 에어 부상 모듈 상에서 상기 정렬 유닛들과 접촉되는 상기 기판의 가장자리 부위들이 손상되는 문제점이 발생될 수 있다.However, in the display manufacturing process, the substrate can be transported between the unit processes by the transport rollers, thereby causing the substrate to be damaged by the transport rollers. Furthermore, edge portions of the substrate contacting the alignment units on the air floating module may be damaged.

대한민국 등록특허공보 제10-1544285호 (등록일자 2015년 08월 06일)Korean Registered Patent No. 10-1544285 (registered on Aug. 06, 2015)

본 발명의 실시예들은 기판의 손상을 감소시킬 수 있는 기판 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Embodiments of the present invention are directed to a substrate inspection apparatus capable of reducing damage to a substrate.

본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 검사 장치는, 서로 평행하게 연장하며 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 한 쌍의 부상 패널들과, 상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들 상에서 부상된 기판을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈과, 상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈에 의해 정렬된 기판을 검사하기 위한 검사 모듈을 포함할 수 있다. 이때, 상기 정렬 모듈은, 상기 기판의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척과, 상기 진공척을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와, 상기 기판을 정렬하기 위하여 상기 진공척을 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부를 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, a substrate inspection apparatus includes: a pair of floating panels extending parallel to each other and injecting air to a bottom surface of the substrate to float the substrate; An alignment module for aligning the substrates lifted on the panels to a predetermined position and an inspection module for inspecting the substrates disposed on the floating panels and aligned by the alignment module. The aligning module may include a vacuum chuck for vacuum-sucking the lower surface of the substrate, a vertical driving part for moving the vacuum chuck in a vertical direction, and a vertical driving part for moving the vacuum chuck in the horizontal direction And may include a horizontal driving unit.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 정렬 모듈은 상기 기판의 배치 각도를 조절하기 위하여 상기 진공척을 회전시키는 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the alignment module may further include a rotation driving unit for rotating the vacuum chuck to adjust an arrangement angle of the substrate.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 수평 구동부 상에 상기 회전 구동부가 배치되며 상기 회전 구동부 상에 상기 수직 구동부가 배치될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the rotation driving unit may be disposed on the horizontal driving unit, and the vertical driving unit may be disposed on the rotation driving unit.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 수직 구동부는, 소정의 경사도를 갖는 상부면을 가지며 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된 쐐기 부재와, 상기 쐐기 부재를 수평 방향으로 이동시키는 구동 유닛을 포함하고, 상기 진공척은 상기 쐐기 부재 상에 배치되며 상기 쐐기 부재의 수평 방향 이동에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the vertical driving unit includes a wedge member having an upper surface having a predetermined inclination and configured to be movable in a horizontal direction, and a driving unit for moving the wedge member in a horizontal direction, The vacuum chuck may be arranged on the wedge member and movable in the vertical direction by the horizontal movement of the wedge member.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송 장치는, 상기 부상 패널들 상에서 상기 부상된 기판을 상기 부상 패널들의 연장 방향으로 이동시키기 위한 이송 모듈을 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the substrate transfer apparatus may further include a transfer module for moving the floating substrate on the floating panels in the extending direction of the floating panels.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 모듈은, 상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들의 연장 방향과 평행하게 연장하는 이송 패널과, 상기 이송 패널의 양측 단부들 상에 각각 배치되며 상기 기판의 하부면을 파지하기 위한 그리퍼들과, 상기 이송 패널을 상기 연장 방향으로 이동시키기 위한 이송 유닛을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the conveying module comprises: a conveying panel disposed between the float panels and extending parallel to the extending direction of the float panels; and a conveyor panel disposed on both side ends of the conveyor panel, Grippers for gripping the lower surface of the substrate, and a transfer unit for moving the transfer panel in the extending direction.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 정렬 모듈은 상기 부상 패널들 사이의 중앙 부위에 배치되고 상기 수직 구동부를 지지하는 갠트리 부재를 더 포함하며, 상기 이송 패널은 상기 갠트리 부재 아래를 통해 연장하고, 상기 수평 구동부는 상기 갠트리 부재를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.According to embodiments of the present invention, the alignment module further includes a gantry member disposed at a central portion between the floating panels and supporting the vertical driving portion, wherein the transfer panel extends under the gantry member, The horizontal driving unit may move the gantry member in a horizontal direction.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 그리퍼들은 진공압을 이용하여 상기 기판의 하부면을 진공 흡착하고, 상기 기판의 흡착 상태를 해제하기 위하여 상기 기판의 하부면으로 에어를 분사할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the grippers may vacuum adsorb the lower surface of the substrate using vacuum pressure and inject air onto the lower surface of the substrate to release the adsorption of the substrate.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 검사 모듈은, 상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 카메라와, 상기 검사 카메라가 장착되며 상기 부상 패널들의 연장 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 배치되는 갠트리 구조물을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the inspection module may include: an inspection camera disposed on the floating panels to detect defects of the substrate; and an inspection camera mounted on the inspection cameras and perpendicular to the extending direction of the floating panels And a gantry structure disposed in a second direction.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 검사 카메라는 상기 갠트리 구조물 상에서 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the inspection camera can be configured to be movable in the second direction on the gantry structure.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 검사 장치는, 서로 평행하게 연장하며 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 한 쌍의 부상 패널들과, 상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들 상에서 부상된 기판을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈과, 상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈에 의해 정렬된 기판을 검사하기 위한 검사 모듈을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention as described above, the apparatus for inspecting a substrate includes a pair of floating panels extending in parallel to each other and injecting air into the lower surface of the substrate to float the substrate, And an inspection module for inspecting the substrate arranged on the floating panels and aligned by the alignment module. The inspection module may include an inspection module for detecting the substrate placed on the floating panels.

특히, 상기 정렬 모듈은, 상기 기판의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척과, 상기 진공척을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와, 상기 기판을 정렬하기 위하여 상기 진공척을 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부를 포함할 수 있다. 아울러, 상기 정렬 모듈은 상기 기판의 배치 각도를 조절하기 위하여 상기 진공척을 회전시키는 회전 구동부를 포함할 수 있다. 따라서, 종래 기술에서의 이송 롤러들에 의한 기판 하부면 손상과 정렬 유닛들에 의한 기판 가장자리 부위 손상이 충분히 방지될 수 있다.In particular, the alignment module may include a vacuum chuck for vacuum adsorbing a lower surface of the substrate, a vertical driver for moving the vacuum chuck in a vertical direction, and a vertical driver for moving the vacuum chuck in a horizontal direction And may include a horizontal driving unit. In addition, the alignment module may include a rotation driving unit for rotating the vacuum chuck to adjust an arrangement angle of the substrate. Therefore, damage to the lower surface of the substrate by the conveying rollers in the prior art and damage of the edge of the substrate by the aligning units can be sufficiently prevented.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 정렬 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 수직 구동부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 부상 패널들 상으로 기판을 로드하는 방법과 상기 부상 패널들로부터 상기 기판을 언로드하는 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.1 is a schematic plan view for explaining a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic side view for illustrating the alignment module shown in Fig.
3 is a perspective view illustrating the vertical driving unit shown in FIG.
Fig. 4 is a schematic structural view for explaining a conveyance module shown in Fig. 1. Fig.
5 and 6 are schematic diagrams illustrating a method of loading a substrate onto the floating panels shown in FIG. 1 and a method of unloading the substrate from the floating panels.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below, but may be embodied in various other forms. The following examples are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention, rather than being provided so as to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being placed on or connected to another element, the element may be disposed or connected directly to the other element, . Alternatively, if one element is described as being placed directly on another element or connected, there can be no other element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms .

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is used for the purpose of describing specific embodiments only, and is not intended to be limiting of the present invention. Furthermore, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as will be understood by those skilled in the art having ordinary skill in the art, unless otherwise specified. These terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and the description of the present invention, and are to be interpreted as being ideally or externally grossly intuitive It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the present invention. Thus, changes from the shapes of the illustrations, e.g., changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be reasonably expected. Accordingly, the embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shapes of the regions described in the drawings, but include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the exact shape of the elements and is not intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 정렬 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 수직 구동부를 설명하기 위한 사시도이다.FIG. 1 is a schematic plan view for explaining a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic side view for explaining the alignment module shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross- And FIG. 6 is a perspective view for explaining the vertical driving unit.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치(100)는 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위하여 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 검사 장치(100)는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 디스플레이 기판 상에 형성된 패턴들의 결함을 검출하기 위해 사용될 수 있다.Referring to FIGS. 1 to 3, a substrate inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention can be used to detect defects on the substrate 10. For example, the substrate inspection apparatus 100 may be used to detect defects in the patterns formed on the display substrate in the manufacturing process of the display device.

상기 기판 검사 장치(100)는 상기 기판(10)의 하부면으로 에어를 분사하여 상기 기판(10)을 부상시키기 위한 부상 패널들(110)과, 상기 부상 패널들(110) 상에서 부상된 기판(10)을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈(120)과, 상기 부상 패널들(110)의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈(120)에 의해 정렬된 기판(10)을 검사하기 위한 검사 모듈(150)을 포함할 수 있다.The substrate inspection apparatus 100 includes floating panels 110 for floating the substrate 10 by spraying air onto the lower surface of the substrate 10 and a substrate 100 mounted on the floating panels 110. [ An inspection module for inspecting the substrate 10 arranged on the float panels 110 and aligned by the alignment module 120; 150).

상기 부상 패널들(110)은 정반(102) 상에 배치될 수 있으며 상기 기판(10)의 이송 방향으로 서로 평행하게 연장할 수 있다. 특히, 도시되지는 않았으나, 상기 부상 패널들(110)의 일측에는 상기 기판(10)을 상기 부상 패널들(110) 상으로 로드하기 위한 기판 로더가 배치될 수 있으며, 상기 부상 패널들(110)의 타측에는 상기 부상 패널들(110)로부터 상기 기판(10)을 언로드하기 위한 기판 언로더가 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 부상 패널들(110)은 제1 수평 방향, 도시된 바에 의하면, X축 방향으로 서로 평행하게 연장하는 직사각 형태를 가질 수 있으며, 상기 기판(10)의 하부면으로 에어를 분사하기 위한 에어 분사구들을 구비할 수 있다.The float panels 110 may be disposed on the base 102 and may extend parallel to each other in the direction of transport of the substrate 10. Particularly, although not shown, a substrate loader for loading the substrate 10 onto the float panels 110 may be disposed on one side of the float panels 110, A substrate unloader for unloading the substrate 10 from the floating panels 110 may be disposed on the other side of the substrate loading / For example, the floating panels 110 may have a rectangular shape extending in parallel to each other in the first horizontal direction, that is, the X-axis direction, Air blow holes for blowing air.

상기 정렬 모듈(120)은 상기 부상 패널들(110) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 정렬 모듈(120)은 상기 부상 패널들(110) 사이의 중앙 부위에 배치될 수 있으며, 상기 기판(10)의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척(122)과, 상기 진공척(122)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(124)와, 상기 기판(10)을 정렬하기 위하여 상기 진공척(122)을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부(134)를 포함할 수 있다.The alignment module 120 may be disposed between the float panels 110. For example, as shown, the alignment module 120 may be disposed at a central portion between the floating panels 110, and may include a vacuum chuck 122 for vacuum-adsorbing the lower surface of the substrate 10, A vertical driving unit 124 for moving the vacuum chuck 122 in a vertical direction and a horizontal driving unit 134 for horizontally moving the vacuum chuck 122 to align the substrate 10 can do.

또한, 상기 정렬 모듈(120)은 상기 기판(10)의 배치 각도를 조절하기 위하여 상기 진공척(122)을 회전시키는 회전 구동부(130)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 정렬 모듈(120)은 상기 기판(10)의 중심이 상기 부상 패널들(110) 사이의 중심과 일치하도록 상기 기판(10)의 위치를 조절할 수 있으며, 아울러 상기 기판(10)의 측면 부위들이 상기 부상 패널들(110)과 평행하게 위치되도록 상기 기판(10)의 배치 각도를 조절할 수 있다.The alignment module 120 may include a rotation driving unit 130 for rotating the vacuum chuck 122 to adjust the angle of the substrate 10. For example, the alignment module 120 may adjust the position of the substrate 10 so that the center of the substrate 10 coincides with the center between the floating panels 110, The position of the substrate 10 can be adjusted so that the side portions of the substrate 10 are positioned in parallel with the floating panels 110.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 구동부(134) 상에 상기 회전 구동부(130)가 배치될 수 있으며, 상기 회전 구동부(130) 상에 상기 수직 구동부(124)가 배치될 수 있다. 특히, 상기 수직 구동부(124)는, 소정의 경사도를 갖는 상부면을 가지며 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된 쐐기 부재(126)와, 상기 쐐기 부재(126)를 수평 방향으로 이동시키는 구동 유닛(128)을 포함할 수 있으며, 상기 진공척(122)은 상기 쐐기 부재(126) 상에 배치되며 상기 쐐기 부재(126)의 수평 방향 이동에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the rotation driving unit 130 may be disposed on the horizontal driving unit 134, and the vertical driving unit 124 may be disposed on the rotation driving unit 130. In particular, the vertical driving unit 124 includes a wedge member 126 having a top surface having a predetermined inclination and configured to be movable in a horizontal direction, a driving unit 128 for moving the wedge member 126 in a horizontal direction, And the vacuum chuck 122 may be disposed on the wedge member 126 and movable in the vertical direction by the horizontal movement of the wedge member 126. [

상세히 도시되지는 않았으나, 상기 구동 유닛(128)은 모터와 볼 스크루 및 볼 너트 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 아울러, 상기 쐐기 부재(126)와 상기 진공척(122)은, 일 예로서, 리니어 모션 가이드 기구를 이용하여 수평 및 수직 방향으로 각각 안내될 수 있다.The wedge member 126 and the vacuum chuck 122 may be formed of, for example, a motor, a ball screw, a ball nut, or the like, although the driving unit 128 is not shown in detail. And can be respectively guided in the horizontal and vertical directions using the linear motion guide mechanism.

상기 회전 구동부(130)는, 일 예로서, 도시된 바와 같이 회전 가능하게 구성된 회전판(132)을 포함할 수 있으며, 상기 수직 구동부(124)는 상기 회전판(132) 상에 배치될 수 있다. 상기 회전 구동부(130)는 도시된 바와 같이 상기 회전판(132)의 가장자리 부위를 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 진공척(122)을 회전시킬 수 있으며, 이를 통해 상기 기판(10)의 각도를 조절할 수 있다.The rotation driving unit 130 may include a rotating plate 132 configured to be rotatable as shown in FIG. 1, and the vertical driving unit 124 may be disposed on the rotating plate 132. The rotation driving unit 130 can rotate the vacuum chuck 122 by moving the edge portion of the rotation plate 132 in the horizontal direction as shown in the figure, thereby adjusting the angle of the substrate 10 .

다시 도 1을 참조하면, 상기 기판 검사 장치(100)는 상기 부상 패널들(110) 상에서 상기 기판(10)을 상기 부상 패널들(110)의 연장 방향 즉 상기 X축 방향으로 이동시키기 위한 이송 모듈(140)을 포함할 수 있다.1, the substrate inspection apparatus 100 includes a conveying module 110 for moving the substrate 10 in the extending direction of the float panels 110, that is, in the X-axis direction, on the float panels 110, (140).

도 4는 도 1에 도시된 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.Fig. 4 is a schematic structural view for explaining a conveyance module shown in Fig. 1. Fig.

도 4를 참조하면, 상기 이송 모듈(140)은, 상기 부상 패널들(110) 사이에 배치되며 상기 부상 패널들(110)의 연장 방향과 평행하게 연장하는 이송 패널(142)과, 상기 이송 패널(142)의 양측 단부들 상에 각각 배치되며 상기 기판(10)의 하부면을 파지하기 위한 그리퍼들(144A, 144B)과, 상기 이송 패널(142)을 상기 연장 방향으로 이동시키기 위한 이송 유닛(146)을 포함할 수 있다.4, the conveying module 140 includes a conveying panel 142 disposed between the float panels 110 and extending parallel to the extending direction of the float panels 110, Grippers 144A and 144B for gripping the lower surface of the substrate 10 and disposed on both side ends of the conveying unit 142 for moving the conveying panel 142 in the extending direction, 146 < / RTI >

상세히 도시되지는 않았으나, 상기 그리퍼들(144A, 144B)은 진공압을 이용하여 상기 기판(10)의 하부면을 진공 흡착할 수 있으며, 또한 상기 기판(10)의 흡착 상태를 해제하기 위하여 상기 기판(10)의 하부면으로 에어를 분사할 수 있다.Although not shown in detail, the grippers 144A and 144B can vacuum adsorb the lower surface of the substrate 10 using the vacuum pressure, and can also vacuum adsorb the substrate 10, Air can be jetted to the lower surface of the body 10.

한편, 상기 정렬 모듈(120)은 상기 회전 구동부(130)와 상기 수직 구동부(124)를 지지하는 갠트리 부재(136)를 포함할 수 있다. 상기 갠트리 부재(136)는 상기 부상 패널들(110)의 연장 방향에 대하여 수직하는 제2 방향, 예를 들면, Y축 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 이송 패널(142)은 상기 갠트리 부재(136)의 아래에서 X축 방향으로 연장할 수 있다. 이때, 상기 정렬 모듈(120)의 수평 구동부(124)는 상기 갠트리 부재(136)를 수평 방향, 즉 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 이송 유닛(146)은 상기 이송 패널(142)을 X축 방향으로 이동시킬 수 있다.The alignment module 120 may include a gantry member 136 supporting the rotation driving unit 130 and the vertical driving unit 124. The gantry member 136 may extend in a second direction perpendicular to the extending direction of the float panels 110, for example, in the Y axis direction, and the transfer panel 142 may extend in the gantry member 136 In the X-axis direction. At this time, the horizontal driving unit 124 of the alignment module 120 can move the gantry member 136 in the horizontal direction, that is, in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the transfer unit 146 can move the transfer panel 142 in the X-axis direction.

상세히 도시되지는 않았으나, 상기 정렬 모듈(130)의 수평 구동부(134)와 상기 이송 모듈(140)의 이송 유닛(146)은 모터와 볼 스크루 및 볼 너트 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 아울러 상기 갠트리 부재(136)와 상기 이송 패널(142)은 리니어 모션 가이드 기구를 이용하여 안내될 수 있다.Although not shown in detail, the horizontal driving unit 134 of the alignment module 130 and the transfer unit 146 of the transfer module 140 may be constructed using a motor, a ball screw, a ball nut, or the like, The gantry member 136 and the transfer panel 142 may be guided using a linear motion guide mechanism.

다시 도 1을 참조하면, 상기 검사 모듈(150)은 상기 부상 패널들(110)의 상부에 배치되어 상기 기판(10)의 결함을 검출하기 위한 검사 카메라(152)를 포함할 수 있다. 상기 검사 카메라(152)는 상기 부상 패널들(110)의 연장 방향에 대하여 수직하는 제2 방향 즉 Y축 방향으로 배치되는 갠트리 구조물(154)에 장착될 수 있다.Referring again to FIG. 1, the inspection module 150 may include an inspection camera 152 disposed on the float panels 110 to detect a defect in the substrate 10. The inspection camera 152 may be mounted on a gantry structure 154 disposed in a second direction perpendicular to the extending direction of the float panels 110, that is, in the Y axis direction.

예를 들면, 상기 검사 모듈(150)은 Y축 방향으로 서로 평행하게 연장하는 갠트리 구조물들(154)과, 상기 갠트리 구조물들(154)에 장착된 라인 스캔 카메라들(152)을 포함할 수 있다. 또한, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 라인 스캔 카메라들(152)은 상기 갠트리 구조물들(154) 상에서 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 추가적으로, 상기 기판 검사 장치(100)는 상기 기판(10)의 정렬을 위해 상기 기판(10) 상에 형성된 정렬 마크들을 검출하기 위한 정렬 카메라들(160)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 정렬 카메라들(160)은 상기 갠트리 구조물들(154) 중 하나에 장착될 수 있다.For example, the inspection module 150 may include gantry structures 154 extending parallel to one another in the Y-axis direction and line scan cameras 152 mounted on the gantry structures 154 . Also, although not shown in detail, the line scan cameras 152 may be configured to be movable in the Y-axis direction on the gantry structures 154. [ In addition, the substrate inspection apparatus 100 may include alignment cameras 160 for detecting alignment marks formed on the substrate 10 for alignment of the substrate 10. As an example, the alignment cameras 160 may be mounted to one of the gantry structures 154.

도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 부상 패널들 상으로 기판을 로드하는 방법과 상기 부상 패널들로부터 상기 기판을 언로드하는 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.5 and 6 are schematic diagrams illustrating a method of loading a substrate onto the floating panels shown in FIG. 1 and a method of unloading the substrate from the floating panels.

도 5를 참조하면, 상기 부상 패널들(110)의 일측에 배치된 로더로부터 상기 기판(10)의 전방 부위가 상기 부상 패널들(10) 상으로 이송된 후 상기 그리퍼들(144A, 144B) 중 후방 그리퍼(144B)가 상기 기판(10)의 하부면을 진공압을 이용하여 파지할 수 있다. 상기 후방 그리퍼(144B)에 의해 파지된 기판(10)은 상기 이송 유닛(146)에 의해 X축 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 진공척(122)이 상기 수직 구동부(124)에 의해 상승하여 상기 기판(10)의 하부면을 진공 흡착할 수 있다. 이때, 상기 기판(10)은 상기 부상 패널들(110)에 의해 부상된 상태를 유지할 수 있다.5, a front portion of the substrate 10 is transferred from the loader disposed at one side of the floating panels 110 onto the floating panels 10, and then the grippers 144A, 144B The rear gripper 144B can grasp the lower surface of the substrate 10 using vacuum pressure. The substrate 10 gripped by the rear gripper 144B can be moved in the X axis direction by the transfer unit 146 and the vacuum chuck 122 is lifted by the vertical driving unit 124, The lower surface of the substrate 10 can be vacuum-adsorbed. At this time, the substrate 10 can be kept floating by the floating panels 110.

이어서, 상기 후방 그리퍼(144B)에 의한 상기 기판(10)의 흡착 상태가 에어 분사에 의해 해제될 수 있으며, 상기 그리퍼들(144A, 144B)은 초기 위치로 후퇴할 수 있다. 상기 기판(10)의 하부에서 상기 그리퍼들(144A, 144B)이 이동되는 동안 상기 그리퍼들(144A, 144B)은 상기 기판의 하부면을 향해 에어를 분사할 수 있으며, 이에 따라 상기 그리퍼들(144A, 144B)과 상기 기판(10)의 하부면 사이에 소정의 갭이 형성될 수 있다. 또한, 상기 그리퍼들(144A, 144B)이 후퇴하는 동안 상기 기판(10)은 상기 진공척(122)에 의해 파지된 상태이므로 상기 기판(10)의 위치가 그대로 유지될 수 있다.Subsequently, the adsorption state of the substrate 10 by the rear gripper 144B can be released by air injection, and the grippers 144A and 144B can be retracted to the initial position. The grippers 144A and 144B may inject air toward the lower surface of the substrate while the grippers 144A and 144B move from the bottom of the substrate 10, And 144B and the lower surface of the substrate 10 may have a predetermined gap. Since the substrate 10 is held by the vacuum chuck 122 during the retraction of the grippers 144A and 144B, the position of the substrate 10 can be maintained.

계속해서, 상기 그리퍼들(144A, 144B)이 상기 기판(10)의 하부면을 파지할 수 있으며, 상기 진공척(122)은 상기 기판(10)의 흡착 상태를 해제하고 하강될 수 있다. 상기 이송 유닛(146)은 상기 그리퍼들(144A, 144B)에 의해 파지된 기판(10)의 중심 부위가 상기 진공척(122)의 상부에 위치되도록 상기 기판(10)을 이송할 수 있다. 상기와 같이 기판(10)의 중심 부위가 상기 진공척(122)의 상부에 위치된 후 상기 진공척(122)은 상기 기판(10)의 하부면 중심 부위를 진공 흡착할 수 있으며 상기 그리퍼들(144A, 144B)에 의한 흡착 상태는 해제될 수 있다.Subsequently, the grippers 144A and 144B can grip the lower surface of the substrate 10, and the vacuum chuck 122 can release the adsorption state of the substrate 10 and be lowered. The transfer unit 146 may transfer the substrate 10 such that a central portion of the substrate 10 gripped by the grippers 144A and 144B is located above the vacuum chuck 122. [ After the central portion of the substrate 10 is positioned above the vacuum chuck 122 as described above, the vacuum chuck 122 can vacuum adsorb the central portion of the lower surface of the substrate 10, 144A, and 144B can be released.

상기와 같이 기판(10)의 로드 단계가 완료된 후 상기 정렬 모듈(120)에 의한 상기 기판(10)의 정렬 단계가 수행될 수 있으며, 상기 기판(10)의 정렬 단계가 완료된 후 상기 기판(10)의 검사 단계가 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 모듈(140)은 상기 기판(10)을 전진 및 후진시킬 수 있으며, 그 동안 상기 검사 모듈(150)은 상기 검사 카메라들(152)을 이용하여 상기 기판(10) 상의 결함을 검출할 수 있다.After the loading step of the substrate 10 is completed as described above, the aligning step of the substrate 10 by the alignment module 120 can be performed. After the alignment step of the substrate 10 is completed, ) Can be performed. For example, the transfer module 140 may move the substrate 10 forward and backward while the inspection module 150 uses the inspection cameras 152 to detect defects on the substrate 10, Can be detected.

상기 검사 단계가 완료된 후 상기 기판(10)은 도 6에 도시된 바와 같은 방법으로 상기 부상 패널들(110)로부터 언로드될 수 있다. 상기 기판(10)의 언로드 단계는 상기 기판(10)의 로드 단계와 유사하게 상기 정렬 모듈(120)의 진공척(122)과 상기 이송 모듈(140)의 그리퍼들(144)을 번갈아 동작시킴으로써 이루어질 수 있다.After the inspection step is completed, the substrate 10 may be unloaded from the float panels 110 in a manner as shown in FIG. The unloading step of the substrate 10 is performed by alternately operating the vacuum chuck 122 of the alignment module 120 and the grippers 144 of the transfer module 140 similar to the loading step of the substrate 10 .

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 검사 장치(100)는, 서로 평행하게 연장하며 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판(10)을 부상시키는 한 쌍의 부상 패널들(110)과, 상기 부상 패널들(110) 사이에 배치되며 상기 부상 패널들(110) 상에서 부상된 기판(10)을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈(120)과, 상기 부상 패널들(110)의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈(120)에 의해 정렬된 기판(10)을 검사하기 위한 검사 모듈(150)을 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the substrate inspection apparatus 100 includes a pair of floating panels (not shown) extending in parallel to each other and injecting air to the lower surface of the substrate 10 to float the substrate 10 An alignment module 120 disposed between the floating panels 110 to align the substrate 10 on the floating panels 110 to predetermined positions, And an inspection module 150 disposed on top of the alignment module 120 and for inspecting the substrate 10 aligned by the alignment module 120.

특히, 상기 정렬 모듈(120)은, 상기 기판(10)의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척(122)과, 상기 진공척(122)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(124)와, 상기 기판(10)을 정렬하기 위하여 상기 진공척(122)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부(134)를 포함할 수 있다. 아울러, 상기 정렬 모듈(120)은 상기 기판(10)의 배치 각도를 조절하기 위하여 상기 진공척(122)을 회전시키는 회전 구동부(130)를 포함할 수 있다. 따라서, 종래 기술에서의 이송 롤러들에 의한 기판 하부면 손상과 정렬 유닛들에 의한 기판 가장자리 부위 손상이 충분히 방지될 수 있다.Particularly, the alignment module 120 includes a vacuum chuck 122 for vacuum-sucking the lower surface of the substrate 10, a vertical driving part 124 for moving the vacuum chuck 122 in a vertical direction, And a horizontal driving unit 134 for horizontally moving the vacuum chuck 122 to align the substrate 10. The alignment module 120 may include a rotation driving unit 130 for rotating the vacuum chuck 122 to adjust an arrangement angle of the substrate 10. Therefore, damage to the lower surface of the substrate by the conveying rollers in the prior art and damage of the edge of the substrate by the aligning units can be sufficiently prevented.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. It can be understood that.

10 : 기판 100 : 기판 검사 장치
110 : 부상 패널 120 : 정렬 모듈
122 : 진공척 124 : 수직 구동부
130 : 회전 구동부 134 : 수평 구동부
136 : 갠트리 부재 140 : 이송 모듈
142 : 이송 패널 144 : 그리퍼
146 : 이송 유닛 150 : 검사 모듈
152 : 검사 카메라 154 : 갠트리 구조물
160 : 정렬 카메라10: substrate 100: substrate inspection apparatus
110: floating panel 120: alignment module
122: vacuum chuck 124: vertical driving part
130: rotation driving unit 134: horizontal driving unit
136: Gantry member 140: Feed module
142: transfer panel 144: gripper
146: transfer unit 150: inspection module
152: Inspection camera 154: Gantry structure
160: Alignment camera

Claims (10)

서로 평행하게 연장하며 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 한 쌍의 부상 패널들;
상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들 상에서 부상된 기판을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈; 및
상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈에 의해 정렬된 기판을 검사하기 위한 검사 모듈을 포함하되,
상기 정렬 모듈은,
상기 기판의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척;
상기 진공척을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부; 및
상기 기판을 정렬하기 위하여 상기 진공척을 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.A pair of floating panels extending in parallel to each other and injecting air into the lower surface of the substrate to float the substrate;
An alignment module disposed between the floating panels and adapted to align a substrate floating on the floating panels to a predetermined position; And
And an inspection module disposed on top of the floating panels and for inspecting the substrate aligned by the alignment module,
The alignment module comprises:
A vacuum chuck for vacuum-adsorbing the lower surface of the substrate;
A vertical driving unit for moving the vacuum chuck in a vertical direction; And
And a horizontal driving unit for moving the vacuum chuck in a horizontal direction to align the substrate. 제1항에 있어서, 상기 정렬 모듈은 상기 기판의 배치 각도를 조절하기 위하여 상기 진공척을 회전시키는 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The apparatus of claim 1, wherein the alignment module further comprises a rotation driver for rotating the vacuum chuck to adjust an arrangement angle of the substrate. 제2항에 있어서, 상기 수평 구동부 상에 상기 회전 구동부가 배치되며 상기 회전 구동부 상에 상기 수직 구동부가 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The apparatus of claim 2, wherein the rotation driving unit is disposed on the horizontal driving unit, and the vertical driving unit is disposed on the rotation driving unit. 제1항에 있어서, 상기 수직 구동부는, 소정의 경사도를 갖는 상부면을 가지며 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된 쐐기 부재와, 상기 쐐기 부재를 수평 방향으로 이동시키는 구동 유닛을 포함하고,
상기 진공척은 상기 쐐기 부재 상에 배치되며 상기 쐐기 부재의 수평 방향 이동에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.And a driving unit for moving the wedge member in a horizontal direction, wherein the vertical driving unit includes: a wedge member having an upper surface having a predetermined inclination and configured to be movable in a horizontal direction;
Wherein the vacuum chuck is disposed on the wedge member and is movable in the vertical direction by the horizontal movement of the wedge member. 제1항에 있어서, 상기 부상 패널들 상에서 상기 부상된 기판을 상기 부상 패널들의 연장 방향으로 이동시키기 위한 이송 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The apparatus according to claim 1, further comprising a transfer module for moving the floating substrate on the floating panels in the extending direction of the floating panels. 제5항에 있어서, 상기 이송 모듈은,
상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들의 연장 방향과 평행하게 연장하는 이송 패널;
상기 이송 패널의 양측 단부들 상에 각각 배치되며 상기 기판의 하부면을 파지하기 위한 그리퍼들; 및
상기 이송 패널을 상기 연장 방향으로 이동시키기 위한 이송 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.6. The apparatus of claim 5,
A transfer panel disposed between the floating panels and extending parallel to an extending direction of the floating panels;
Grippers disposed on both side ends of the transfer panel and gripping the lower surface of the substrate; And
And a transfer unit for moving the transfer panel in the extending direction. 제6항에 있어서, 상기 정렬 모듈은 상기 부상 패널들 사이의 중앙 부위에 배치되고 상기 수직 구동부를 지지하는 갠트리 부재를 더 포함하며,
상기 이송 패널은 상기 갠트리 부재 아래를 통해 연장하고,
상기 수평 구동부는 상기 갠트리 부재를 수평 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.7. The apparatus of claim 6, wherein the alignment module further comprises a gantry member disposed at a central portion between the floating panels and supporting the vertical driving portion,
Wherein the transfer panel extends under the gantry member,
Wherein the horizontal driving unit moves the gantry member in a horizontal direction. 제6항에 있어서, 상기 그리퍼들은 진공압을 이용하여 상기 기판의 하부면을 진공 흡착하고, 상기 기판의 흡착 상태를 해제하기 위하여 상기 기판의 하부면으로 에어를 분사하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The substrate inspection apparatus according to claim 6, wherein the grippers vacuum-suck the lower surface of the substrate using vacuum pressure, and spray air onto a lower surface of the substrate to release the adsorption state of the substrate. . 제1항에 있어서, 상기 검사 모듈은,
상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 카메라; 및
상기 검사 카메라가 장착되며 상기 부상 패널들의 연장 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 배치되는 갠트리 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The apparatus of claim 1,
An inspection camera disposed on the floating panels to detect defects in the substrate; And
And a gantry structure in which the inspection camera is mounted and arranged in a second direction perpendicular to an extending direction of the floating panels. 제9항에 있어서, 상기 검사 카메라는 상기 갠트리 구조물 상에서 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.10. The apparatus according to claim 9, wherein the inspection camera is configured to be movable in the second direction on the gantry structure.
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