KR20160052192A - Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same - Google Patents

Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same Download PDF

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KR20160052192A
KR20160052192A KR1020140152136A KR20140152136A KR20160052192A KR 20160052192 A KR20160052192 A KR 20160052192A KR 1020140152136 A KR1020140152136 A KR 1020140152136A KR 20140152136 A KR20140152136 A KR 20140152136A KR 20160052192 A KR20160052192 A KR 20160052192A
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Abstract

A substrate inspecting device comprises: an air floating table, a conveyer unit, a vertical driving unit, a substrate transferring module, an inspecting module, and a displacement sensor. The air floating table floats a substrate by spraying air to a lower side of the substrate. The conveyer unit is vertically moved through opening units formed on the air floating table, and includes a plurality of transferring rollers to transfer the substrate on the air floating table. The vertical driving unit vertically descends the conveyer unit by positioning the substrate from a transfer roller to the air floating table. The substrate transferring module horizontally moves the substrate floated by the air floating table. The inspecting module is arranged on the upper part of the air floating table, and detects the malfunction of the substrate moved by the substrate transferring module. The displacement sensor is installed in the conveyer unit to be vertically moved with the conveyer unit in the lower part of the air floating table. The height of the transferring rollers is calculated by using the distance between the lower side of the air floating table to the displacement sensor.

Description

기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치{Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus,

본 발명의 실시예들은 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 제조 공정에서 기판을 이송하는 장치와 상기 기판 이송 장치에 의해 이송되는 기판의 결함을 검출하기 위한 기판 검사 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a substrate transfer apparatus and a substrate inspection apparatus including the same. More particularly, the present invention relates to an apparatus for transferring a substrate in a display manufacturing process and a substrate inspection apparatus for detecting defects in a substrate transferred by the substrate transfer apparatus.

일반적으로, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 디스플레이 장치의 제조 공정에서 기판 상에 형성된 패턴들의 결함을 검사하기 위한 검사 공정이 수행될 수 있다.In general, an inspection process for inspecting defects of patterns formed on a substrate in a manufacturing process of a display device such as a liquid crystal display device, a plasma display device, and the like can be performed.

상기 검사 공정에서는 상기 기판의 상부면 이미지를 획득하기 위한 이미지 획득 유닛이 사용될 수 있으며 상기 기판은 상기 이미지 획득 유닛의 아래에서 수평 방향으로 이송될 수 있다. 일 예로서, 상기 기판은 에어 부상 테이블 상에서 수평 방향으로 이송될 수 있으며 상기 에어 부상 테이블의 상부에는 상기 기판의 이미지를 획득하기 위한 카메라 등이 배치될 수 있다.In the inspecting step, an image obtaining unit for obtaining the image of the top surface of the substrate may be used, and the substrate may be transported in the horizontal direction under the image obtaining unit. In one example, the substrate may be transported in a horizontal direction on an air floating table, and a camera or the like may be disposed on the air floating table to obtain an image of the substrate.

한편, 상기 에어 부상 테이블에는 복수의 개구들이 구비될 수 있으며, 상기 기판을 이송하기 위한 이송 롤러들이 상기 개구를 통해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 이송 롤러들은 상기 기판을 상기 에어 부상 테이블 상으로 이동시키고, 또한 상기 검사 공정이 종료된 후 상기 기판을 언로드하기 위하여 사용될 수 있다.Meanwhile, the air floating table may have a plurality of openings, and transport rollers for transporting the substrate may be configured to be vertically movable through the openings. The transfer rollers may be used to move the substrate onto the air floating table and also to unload the substrate after the inspection process is finished.

상기 기판이 상기 이송 롤러들에 의해 상기 에어 부상 테이블 상으로 이송된 후 상기 이송 롤러들이 하강함으로써 상기 에어 부상 테이블 상에 위치될 수 있다. 한편, 상기 이송 롤러들의 높이가 기 설정된 범위를 벗어나는 경우 즉 너무 높거나 낮은 경우 상기 기판의 이송 과정에서 상기 기판의 손상이 발생되는 문제점이 있다.The substrate can be positioned on the air floating table by the transport rollers descending after the substrate is transported onto the air floating table by the transporting rollers. On the other hand, when the height of the conveying rollers deviates from a predetermined range, that is, when the conveying rollers are too high or low, the substrate may be damaged during the conveyance of the substrate.

대한민국 등록특허공보 제10-1125751호 (등록일자: 2012년 03월 05일)Korean Registered Patent No. 10-1125751 (Registration date: March 05, 2012) 대한민국 등록특허공보 제10-1311852호 (등록일자: 2013년 09월 17일)Korean Registered Patent No. 10-1311852 (registered on September 17, 2013)

본 발명의 실시예들은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 기판 이송을 위한 이송 롤러들의 높이를 정확하게 측정할 수 있는 기판 이송 장치와 이를 포함하는 기판 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of accurately measuring the height of transfer rollers for transferring a substrate and a substrate inspection apparatus including the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 기판 이송 장치는, 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 테이블과, 상기 에어 부상 테이블에 형성된 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하며 상기 에어 부상 테이블 상으로 상기 기판을 이송하기 위한 복수의 이송 롤러들을 포함하는 컨베이어 유닛과, 상기 기판을 상기 이송 롤러들로부터 상기 에어 부상 테이블 상에 위치시키기 위하여 상기 컨베이어 유닛을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부와, 상기 에어 부상 테이블에 의해 부상된 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 에어 부상 테이블의 하부에서 상기 컨베이어 유닛과 함께 수직 방향으로 이동 가능하도록 상기 컨베이어 유닛에 장착된 변위 센서를 포함할 수 있으며, 상기 에어 부상 테이블의 하부면으로부터 상기 변위 센서까지의 거리를 이용하여 상기 이송 롤러들의 높이가 산출될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus comprising: an air floating table for spraying air onto a bottom surface of a substrate to float the substrate; A conveying unit including a plurality of conveying rollers for conveying the substrate onto the air floating table, and a conveying unit for lowering the conveying unit in a vertical direction to place the substrate on the air floating table from the conveying rollers A substrate transfer module for horizontally moving the substrate lifted by the air floating table, and a transfer unit for transferring the substrate held by the air floating table to the conveyor unit so as to be vertically movable together with the conveyor unit at a lower portion of the air floating table. A displacement sensor, Group it is the height of the conveying rollers by the distance from the displacement sensor can be calculated from the lower surface portion of the air table.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 컨베이어 유닛의 일측에 배치된 제2 컨베이어 유닛과 상기 제2 컨베이어 유닛에 장착된 제2 변위 센서를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the substrate transfer apparatus may further include a second conveyor unit disposed on one side of the conveyor unit and a second displacement sensor mounted on the second conveyor unit.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 컨베이어 유닛은 상기 이송 롤러들이 각각 장착되는 복수의 회전축들과 상기 회전축들이 장착되는 프레임을 더 포함할 수 있으며, 상기 변위 센서는 상기 프레임에 연결될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the conveyor unit may further include a plurality of rotation shafts on which the transport rollers are mounted, and a frame on which the rotation shafts are mounted, and the displacement sensor may be connected to the frame.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 컨베이어 유닛은 상기 이송 롤러들을 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the conveyor unit may further include a rotation driving unit for rotating the conveying rollers.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 기판 검사 장치는, 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 테이블과, 상기 에어 부상 테이블에 형성된 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하며 상기 에어 부상 테이블 상으로 상기 기판을 이송하기 위한 복수의 이송 롤러들을 포함하는 컨베이어 유닛과, 상기 기판을 상기 이송 롤러들로부터 상기 에어 부상 테이블 상에 위치시키기 위하여 상기 컨베이어 유닛을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부와, 상기 에어 부상 테이블에 의해 부상된 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 에어 부상 테이블의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 상기 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈과, 상기 에어 부상 테이블의 하부에서 상기 컨베이어 유닛과 함께 수직 방향으로 이동 가능하도록 상기 컨베이어 유닛에 장착된 변위 센서를 포함할 수 있으며, 상기 에어 부상 테이블의 하부면으로부터 상기 변위 센서까지의 거리를 이용하여 상기 이송 롤러들의 높이가 산출될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a substrate, comprising: an air floating table for spraying air onto a bottom surface of the substrate to float the substrate; A conveying unit including a plurality of conveying rollers for conveying the substrate onto the air floating table, and a conveying unit for lowering the conveying unit in a vertical direction to place the substrate on the air floating table from the conveying rollers A substrate transfer module for horizontally moving the substrate lifted by the air floating table, and a controller for controlling the substrate moving module to detect defects of the substrate moved by the substrate transfer module, An air lift table And a displacement sensor mounted on the conveyor unit so as to be movable in a vertical direction together with the conveyor unit at a lower portion thereof. The distance between the lower surface of the air floating table and the displacement sensor is used to adjust the height Can be calculated.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 에어 부상 테이블의 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하게 설치된 이송 롤러들의 높이는 상기 이송 롤러들이 장착되는 프레임에 설치된 변위 센서에 의해 측정된 값을 이용하여 조절될 수 있다. 특히, 상기 변위 센서는 상기 에어 부상 테이블의 하부면을 기준으로 상기 변위 센서의 상대 거리를 측정할 수 있으며, 상기 이송 롤러들의 높이는 상기 변위 센서에 의해 측정된 값에 기초하여 조절될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the height of the conveyance rollers installed vertically movably through the openings of the air floating table is determined by using a value measured by a displacement sensor provided on a frame on which the conveyance rollers are mounted Lt; / RTI > In particular, the displacement sensor can measure the relative distance of the displacement sensor with respect to the lower surface of the air floating table, and the height of the transporting rollers can be adjusted based on the value measured by the displacement sensor.

결과적으로, 상기 에어 부상 테이블에 대한 상기 이송 롤러의 상대적인 높이가 보다 정밀하게 조절될 수 있으며, 이에 의해 상기 기판의 로드 및 언로드 과정에서 상기 기판의 손상이 충분히 방지될 수 있다.As a result, the relative height of the conveying roller to the air floating table can be adjusted more precisely, whereby the damage of the substrate during the loading and unloading of the substrate can be sufficiently prevented.

또한, 상기 컨베이어 유닛과 제2 컨베이어 유닛의 이송 롤러들이 상기 변위 센서와 제2 변위 센서에 의해 측정된 거리값들에 기초하여 각각 조절될 수 있으므로 상기 컨베이어 유닛의 이송 롤러들과 상기 제2 컨베이어 유닛의 이송 롤러들 사이의 높이 차이가 충분히 제거될 수 있으며, 이를 통해 상기 기판을 보다 안정적으로 이송할 수 있다.In addition, since the conveying rollers of the conveyor unit and the second conveyor unit can be respectively adjusted based on the distance values measured by the displacement sensor and the second displacement sensor, the conveying rollers of the conveyor unit and the second conveyor unit The difference in height between the transport rollers of the substrate can be sufficiently removed, thereby making it possible to more stably transport the substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치와 이를 포함하는 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 기판 이송 롤러들과 변위 센서를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic block diagram illustrating a substrate transfer apparatus and a substrate inspection apparatus including the same according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic structural view illustrating the substrate transfer module shown in FIG.
3 is a schematic diagram for explaining the substrate transfer rollers and the displacement sensor shown in FIG.

이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention will be described in more detail below with reference to the accompanying drawings showing embodiments of the invention. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below, but may be embodied in various other forms. The following examples are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention, rather than being provided so as to enable the present invention to be fully completed.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.When an element is described as being placed on or connected to another element or layer, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements or layers may be placed therebetween It is possible. Alternatively, if one element is described as being placed directly on or connected to another element, there can be no other element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms .

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Furthermore, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as will be understood by those skilled in the art having ordinary skill in the art, unless otherwise specified. These terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and the description of the present invention, and are to be interpreted as being ideally or externally grossly intuitive It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the present invention. Thus, changes from the shapes of the illustrations, e.g., changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be reasonably expected. Accordingly, the embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shapes of the areas illustrated in the drawings, but include deviations in shapes, the areas described in the drawings being entirely schematic and their shapes Is not intended to illustrate the exact shape of the area and is not intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치와 이를 포함하는 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다. 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 3은 도 1에 도시된 기판 이송 롤러들과 변위 센서를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic block diagram illustrating a substrate transfer apparatus and a substrate inspection apparatus including the same according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic structural view for explaining the substrate transferring module shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic configuration diagram for explaining the substrate transferring rollers and the displacement sensor shown in FIG.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)와 이를 포함하는 기판 검사 장치(200)는 디스플레이 제조 공정에서 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위하여 사용될 수 있다.1 to 3, a substrate transfer apparatus 100 and a substrate inspection apparatus 200 including the substrate transfer apparatus 100 according to an embodiment of the present invention can be used to detect defects on the substrate 10 in a display manufacturing process have.

상기 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판(10)을 부상시키는 에어 부상 테이블(110)과, 상기 에어 부상 테이블(110)에 형성된 개구들(116)을 통해 수직 방향으로 이동 가능하며 상기 에어 부상 테이블(110) 상으로 상기 기판(10)을 이송하기 위한 복수의 이송 롤러들(122)을 포함하는 컨베이어 유닛(120)과, 상기 기판(10)을 상기 이송 롤러들(122)로부터 상기 에어 부상 테이블(110) 상에 위치시키기 위하여 상기 컨베이어 유닛(120)을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부(128)와, 상기 에어 부상 테이블(110)에 의해 부상된 상기 기판(10)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈(140)을 포함할 수 있다.The substrate transfer apparatus 100 includes an air floating table 110 for floating air on the lower surface of the substrate 10 to float the substrate 10 and openings 116 formed in the air floating table 110, A conveyor unit 120 including a plurality of conveying rollers 122 that are vertically movable through a plurality of conveying rollers 122 for conveying the substrate 10 onto the air floating table 110, A vertical driving unit 128 for lowering the conveyor unit 120 in a vertical direction to position the conveying unit 120 on the air floating table 110 from the conveying rollers 122, And a substrate transfer module 140 for moving the substrate 10 in a horizontal direction.

상기 컨베이어 유닛(120)은 상기 에어 부상 테이블(110) 상으로 상기 기판(10)을 로드하고 또한 검사 공정이 완료된 후 상기 에어 부상 테이블(110)로부터 언로드하기 위하여 사용될 수 있다. 특히, 상기 이송 롤러들(122)이 상기 개구들(116)을 통해 상승된 후 상기 기판(10)이 상기 이송 롤러들(122)에 의해 상기 에어 부상 테이블(110) 상으로 이동될 수 있다. 이어서, 상기 이송 롤러들(122)은 상기 수직 구동부(128)에 의해 하강될 수 있으며, 이에 의해 상기 기판(10)이 상기 에어 부상 테이블(110) 상에서 상기 에어 분사에 의해 부상될 수 있다.The conveyor unit 120 may be used to load the substrate 10 onto the air floating table 110 and to unload the air floating table 110 after the inspection process is completed. In particular, after the transfer rollers 122 are raised through the openings 116, the substrate 10 may be moved onto the air floating table 110 by the transfer rollers 122. The transfer rollers 122 can then be lowered by the vertical driving unit 128 so that the substrate 10 can be lifted by the air jet on the air floating table 110.

상기 기판 이송 모듈(140)은 상기 에어 부상 테이블(110) 상에서 부상된 기판(10)을 파지하고 수평 방향으로 상기 기판(10)을 이동시킬 수 있으며, 상기 기판 이송 모듈(140)에 의해 이동되는 동안 상기 기판(10)에 대한 검사 공정이 수행될 수 있다.The substrate transfer module 140 can move the substrate 10 in the horizontal direction by holding the substrate 10 floating on the air floating table 110 and moving the substrate 10 by the substrate transfer module 140 The inspection process for the substrate 10 may be performed.

상기 검사 공정이 종료된 후 상기 이송 롤러들(122)은 상기 수직 구동부(128)에 의해 상승될 수 있다. 이에 의해 상기 기판(10)이 상기 이송 롤러들(122) 상에 지지될 수 있으며, 이어서 상기 이송 롤러들(122)에 의해 상기 에어 부상 테이블(110)로부터 언로드될 수 있다.After the inspecting process is completed, the transport rollers 122 may be lifted by the vertical driving unit 128. Whereby the substrate 10 can be supported on the conveying rollers 122 and then unloaded from the air floating table 110 by the conveying rollers 122.

상기 기판 검사 장치(200)는 상술한 바와 같은 기판 이송 장치(100)와 상기 기판 이송 장치(100)에 의해 이송되는 기판(10)의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈(150)을 포함할 수 있다. 상기 검사 모듈(150)은 상기 기판 이송 장치(100)에 의해 이송되는 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위한 적어도 하나의 스캔 카메라(152)를 포함할 수 있다. 도시된 바에 의하면, 3개의 스캔 카메라(152)가 구비되고 있으나 상기 스캔 카메라(152)의 개수는 다양하게 변경될 수 있으며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.The substrate inspection apparatus 200 may include a substrate transfer apparatus 100 as described above and an inspection module 150 for detecting defects in the substrate 10 transferred by the substrate transfer apparatus 100 . The inspection module 150 may include at least one scan camera 152 for detecting defects on the substrate 10 transported by the substrate transport apparatus 100. Although the three scan cameras 152 are provided, the number of the scan cameras 152 may be variously changed, and thus the scope of the present invention is not limited thereto.

상기 스캔 카메라(152)는 상기 에어 부상 테이블(110)의 상부에서 상기 기판(10)의 이송 방향에 대하여 수직 방향으로 연장하는 브리지 구조물(154)에 장착될 수 있으며, 상기 브리지 구조물(154)의 길이 방향 즉 상기 기판(10)의 이송 방향에 직교하는 제2 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 기판(10)은 상기 검사 공정을 수행하는 동안 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 왕복 이동될 수 있으며, 상기 스캔 카메라(152)는 상기 브리지 구조물(154) 상에서 그 위치가 조절될 수 있다.The scan camera 152 may be mounted on a bridge structure 154 extending from the upper portion of the air floating table 110 in a direction perpendicular to the transport direction of the substrate 10, In the longitudinal direction, that is, in the second horizontal direction orthogonal to the transport direction of the substrate 10. [ The substrate 10 may be reciprocated along the transport direction of the substrate 10 during the inspection process and the scan camera 152 may be adjusted in position on the bridge structure 154 .

상기 에어 부상 테이블(110)은 베이스 플레이트(102) 상에 배치될 수 있으며 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)을 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 각각은 상기 기판(10)의 이송 방향(도 1에 도시된 화살표 방향)으로 연장하는 대략 직사각 형태를 가질 수 있으며, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)의 상부면에는 상기 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하기 위한 복수의 에어 분사구들이 구비될 수 있다.The air floating table 110 may include first and second air floating panels 112 and 114 that may be disposed on the base plate 102 and extend parallel to each other. Each of the first and second air floating panels 112 and 114 may have a substantially rectangular shape extending in the conveying direction of the substrate 10 (the arrow direction shown in FIG. 1) 2 air float panels 112 and 114 may be provided with a plurality of air ejection openings for ejecting air to the lower surface of the substrate 10. [

상기 기판 이송 모듈(140)은 상기 베이스 플레이트(102) 상에서 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 사이에 배치될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 상에서 부상된 기판(10)을 상기 이송 방향으로 이동시킬 수 있다.The substrate transfer module 140 may be disposed on the base plate 102 between the first and second airborne panels 112 and 114 and the first and second airborne panels 112, 114 to move the substrate 10 lifted in the transport direction.

도 2를 참조하면, 상기 기판 이송 모듈(140)은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 사이에서 상기 기판(10)의 이송 방향으로 연장하는 이송 패널(142)과, 상기 이송 패널(142) 상에 배치되며 상기 에어 부상 테이블(110)에 의해 부상된 기판(10)의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척(144, 146)과, 상기 이송 패널(142)을 상기 기판 이송 방향으로 수평 이동시키는 수평 구동부(148)를 포함할 수 있다.2, the substrate transfer module 140 includes a transfer panel 142 extending in the transfer direction of the substrate 10 between the first and second air floating panels 112 and 114, At least one vacuum chuck 144 and 146 disposed on the transfer panel 142 and holding the lower surface of the substrate 10 lifted by the air floating table 110, And a horizontal driving unit 148 which horizontally moves in the feeding direction.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 패널(142)은 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 길게 연장하는 직사각 형태를 가질 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 수평 구동부(148)는 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 연장하는 선형 가이드 레일과, 상기 선형 가이드 레일에 이동 가능하게 결합되는 가동 블록과, 회전력을 제공하는 모터와, 상기 모터에 결합된 볼 스크루 및 상기 볼 스크루의 회전에 의해 수평 방향으로 이동되는 볼 너트 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 이송 패널(142)은 상기 가동 블록 상에 장착되어 상기 선형 가이드 레일을 따라 안내되고 상기 볼 너트와 결합될 수 있다. 그러나, 상기와 같은 수평 구동부(148)의 세부 구성은 다양하게 변경 가능하므로 상기 수평 구동부(148)의 세부 구성에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.According to an embodiment of the present invention, the transfer panel 142 may have a rectangular shape extending long along the transfer direction of the substrate 10. Although not shown in detail, the horizontal driving unit 148 includes a linear guide rail extending along the conveying direction of the substrate 10, a movable block movably coupled to the linear guide rail, a motor A ball screw coupled to the motor, and a ball nut that is moved in a horizontal direction by rotation of the ball screw. The transfer panel 142 may be mounted on the movable block, And can be engaged with the ball nut. However, since the detailed configuration of the horizontal driving unit 148 may be variously modified, the scope of the present invention is not limited by the detailed configuration of the horizontal driving unit 148.

또한 일 예로서, 상기 이송 패널(142) 상에는 상기 부상된 기판(10)의 전방측 하면 부위를 파지하는 제1 진공척(144)과 상기 부상된 기판(10)의 후방측 하면 부위를 파지하는 제2 진공척(146)이 배치될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 및 제2 진공척들(144, 146)은 진공 펌프 등을 포함하는 진공 모듈(미도시)과 연결될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 진공척들(144, 146)의 상부에는 상기 기판(10)을 진공 흡착하기 위한 복수의 진공홀들이 구비될 수 있다.A first vacuum chuck 144 for gripping a front lower surface of the floating substrate 10 and a second vacuum chuck 144 for holding a rear lower surface of the floating substrate 10, A second vacuum chuck 146 may be disposed. Although not shown in detail, the first and second vacuum chucks 144 and 146 may be connected to a vacuum module (not shown) including a vacuum pump and the like, and the first and second vacuum chucks 144, 146 may be provided with a plurality of vacuum holes for vacuum adsorption of the substrate 10.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 상기 이송 롤러들(122)의 높이를 조절하기 위한 변위 센서(126)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 변위 센서(126)는 상기 에어 부상 테이블(110)을 기준으로 상기 이송 롤러들(122)의 높이를 조절하기 위하여 사용될 수 있다.Referring to FIG. 3, the substrate transfer apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include a displacement sensor 126 for adjusting the height of the transfer rollers 122. Specifically, the displacement sensor 126 may be used to adjust the height of the transport rollers 122 with respect to the air floating table 110.

예를 들면, 상기 변위 센서(126)는 상기 에어 부상 테이블(110)의 하부에서 상기 컨베이어 유닛(120)과 함께 수직 방향으로 이동 가능하도록 상기 컨베이어 유닛(120)에 장착될 수 있으며, 상기 변위 센서(126)와 상기 에어 부상 테이블(110)의 하부면 사이의 거리는 상기 변위 센서(126)에 의해 측정될 수 있다. 상기 이송 롤러들(122)의 높이는 상기 변위 센서(126)에 의해 측정된 값에 기초하여 산출될 수 있으며, 이에 기초하여 상기 이송 롤러들(122)의 높이가 정밀하게 조절될 수 있다.For example, the displacement sensor 126 may be mounted on the conveyor unit 120 so as to be vertically movable together with the conveyor unit 120 at a lower portion of the air floating table 110, The distance between the lower surface of the air floating table 126 and the lower surface of the air floating table 110 can be measured by the displacement sensor 126. The height of the transporting rollers 122 can be calculated based on the value measured by the displacement sensor 126, and the height of the transporting rollers 122 can be precisely adjusted based on the height.

특히, 상기 변위 센서(126)에 의해 측정된 값이 상기 에어 부상 테이블(110)의 하부면에 대한 상기 변위 센서(126)의 상대 위치에 해당하는 것이므로, 이를 이용하여 상기 이송 롤러들(122)이 상기 에어 부상 테이블(110)의 상부면으로부터 상방으로 돌출되는 높이가 보다 정밀하게 조절될 수 있다. 즉, 상기 이송 롤러들(122)의 높이 조절이 상기 에어 부상 테이블(110)의 하부면을 기준으로 이루어지기 때문에 상기 에어 부상 테이블(110)에 대한 상기 이송 롤러들(122)의 상대 높이가 보다 정밀하게 조절될 수 있다.Particularly, since the value measured by the displacement sensor 126 corresponds to the relative position of the displacement sensor 126 with respect to the lower surface of the air floating table 110, the feed rollers 122, The height of the upper surface of the air floating table 110 can be adjusted more precisely. That is, since the height of the transporting rollers 122 is adjusted based on the lower surface of the air floating table 110, the relative height of the transporting rollers 122 to the air floating table 110 Can be precisely controlled.

일 예로서, 상기 컨베이어 유닛(120)은 상기 이송 롤러들(122)이 각각 장착되는 복수의 회전축들과, 상기 회전축들이 장착되는 프레임(124)을 포함할 수 있으며, 상기 변위 센서(126)는 브래킷을 통해 상기 프레임(124)에 장착될 수 있다. 한편, 도시되지는 않았으나, 상기 기판 이송 장치(100)는 상기 이송 롤러들(122)을 회전시키기 위한 회전 구동부(미도시)를 더 포함할 수 있다.As an example, the conveyor unit 120 may include a plurality of rotation shafts on which the conveying rollers 122 are mounted, respectively, and a frame 124 on which the rotation shafts are mounted, And may be mounted to the frame 124 via brackets. Meanwhile, although not shown, the substrate transfer apparatus 100 may further include a rotation driving unit (not shown) for rotating the transfer rollers 122.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 컨베이어 유닛(120)의 일측에는 이송 롤러들(132)을 포함하는 제2 컨베이어 유닛(130)과 상기 제2 컨베이어 유닛(130)에 장착된 제2 변위 센서(136)를 더 포함할 수 있다. 상기 제2 컨베이어 유닛(130)은 제2 수직 구동부(138)에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 상기 제2 변위 센서(136)는 상기 제2 컨베이어 유닛(130)의 제2 프레임(134)에 설치될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a conveyor unit 130 including conveying rollers 132 is disposed at one side of the conveyor unit 120, and a second conveyor unit 130, And may further include a displacement sensor 136. The second conveyor unit 130 may be configured to be vertically movable by a second vertical drive unit 138 and the second displacement sensor 136 may be configured to be movable in a vertical direction by a second vertical drive unit 138, (Not shown).

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 에어 부상 테이블(110)의 개구들(116)을 통해 수직 방향으로 이동 가능하게 설치된 이송 롤러들(122)의 높이는 상기 이송 롤러들(122)이 장착되는 프레임(124)에 설치된 변위 센서(126)에 의해 측정된 값을 이용하여 조절될 수 있다. 특히, 상기 변위 센서(126)는 상기 에어 부상 테이블(110)의 하부면을 기준으로 상기 변위 센서(126)의 상대 거리를 측정할 수 있으며, 상기 이송 롤러들(122)의 높이는 상기 변위 센서(126)에 의해 측정된 값에 기초하여 조절될 수 있다.The height of the transporting rollers 122 installed vertically movably through the openings 116 of the air floating table 110 is higher than that of the transporting rollers 122 Can be adjusted using the value measured by the displacement sensor 126 installed in the frame 124 to be mounted. Particularly, the displacement sensor 126 can measure the relative distance of the displacement sensor 126 based on the lower surface of the air floating table 110, and the height of the transporting rollers 122 can be measured by the displacement sensor 126). ≪ / RTI >

결과적으로, 상기 에어 부상 테이블(110)에 대한 상기 이송 롤러(122)의 상대적인 높이가 보다 정밀하게 조절될 수 있으며, 이에 의해 상기 기판(10)의 로드 및 언로드 과정에서 상기 기판(10)의 손상이 충분히 방지될 수 있다.As a result, the relative height of the conveying roller 122 relative to the air floating table 110 can be adjusted more precisely, thereby preventing damage to the substrate 10 during the loading and unloading of the substrate 10 Can be sufficiently prevented.

또한, 상기 컨베이어 유닛(120)과 제2 컨베이어 유닛(130)의 이송 롤러들(122, 132)이 상기 변위 센서(126)와 제2 변위 센서(136)에 의해 측정된 거리값들에 기초하여 각각 조절될 수 있으므로 상기 컨베이어 유닛(120)의 이송 롤러들(122)과 상기 제2 컨베이어 유닛(130)의 이송 롤러들(132) 사이의 높이 차이가 충분히 제거될 수 있으며, 이를 통해 상기 기판(10)을 보다 안정적으로 이송할 수 있다.It is also possible that the conveying rollers 122 and 132 of the conveyor unit 120 and the second conveyor unit 130 are driven based on the distance values measured by the displacement sensor 126 and the second displacement sensor 136 The height difference between the conveying rollers 122 of the conveyor unit 120 and the conveying rollers 132 of the second conveyor unit 130 can be sufficiently removed, 10 can be transported more stably.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims It can be understood that

10 : 기판 100 : 기판 이송 장치
110 : 에어 부상 테이블 120 : 컨베이어 유닛
122 : 이송 롤러 124 : 프레임
126 : 변위 센서 128 : 수직 구동부
130 : 제2 컨베이어 유닛 140 : 기판 이송 모듈
150 : 검사 모듈 200 : 기판 검사 장치10: substrate 100: substrate transfer device
110: Air floating table 120: Conveyor unit
122: feed roller 124: frame
126: displacement sensor 128: vertical drive
130: second conveyor unit 140: substrate transfer module
150: inspection module 200: substrate inspection device

Claims (5)

기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 테이블;
상기 에어 부상 테이블에 형성된 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하며 상기 에어 부상 테이블 상으로 상기 기판을 이송하기 위한 복수의 이송 롤러들을 포함하는 컨베이어 유닛;
상기 기판을 상기 이송 롤러들로부터 상기 에어 부상 테이블 상에 위치시키기 위하여 상기 컨베이어 유닛을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부;
상기 에어 부상 테이블에 의해 부상된 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈; 및
상기 에어 부상 테이블의 하부에서 상기 컨베이어 유닛과 함께 수직 방향으로 이동 가능하도록 상기 컨베이어 유닛에 장착된 변위 센서를 포함하며, 상기 에어 부상 테이블의 하부면으로부터 상기 변위 센서까지의 거리를 이용하여 상기 이송 롤러들의 높이가 산출되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.An air floating table for spraying air to the lower surface of the substrate to float the substrate;
A conveyor unit movable in a vertical direction through openings formed in the air floating table and including a plurality of conveying rollers for conveying the substrate onto the air floating table;
A vertical driving unit for lowering the conveyor unit vertically to position the substrate on the air floating table from the conveying rollers;
A substrate transfer module for horizontally moving the substrate floating by the air floating table; And
And a displacement sensor mounted on the conveyor unit so as to be movable in a vertical direction together with the conveyor unit at a lower portion of the air floating table, wherein a distance from the lower surface of the air floating table to the displacement sensor is used, And the height of the substrate is calculated. 제1항에 있어서, 상기 컨베이어 유닛의 일측에 배치된 제2 컨베이어 유닛과 상기 제2 컨베이어 유닛에 장착된 제2 변위 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The substrate transporting apparatus according to claim 1, further comprising: a second conveyor unit disposed on one side of the conveyor unit; and a second displacement sensor mounted on the second conveyor unit. 제1항에 있어서, 상기 컨베이어 유닛은 상기 이송 롤러들이 각각 장착되는 복수의 회전축들과 상기 회전축들이 장착되는 프레임을 더 포함하며, 상기 변위 센서는 상기 프레임에 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The apparatus of claim 1, wherein the conveyor unit further includes a frame on which the plurality of rotation shafts and the rotation shafts on which the conveying rollers are mounted are mounted, and the displacement sensor is connected to the frame. 제3항에 있어서, 상기 컨베이어 유닛은 상기 이송 롤러들을 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The substrate feeding apparatus according to claim 3, wherein the conveyor unit further comprises a rotation driving unit for rotating the conveying rollers. 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 테이블;
상기 에어 부상 테이블에 형성된 개구들을 통해 수직 방향으로 이동 가능하며 상기 에어 부상 테이블 상으로 상기 기판을 이송하기 위한 복수의 이송 롤러들을 포함하는 컨베이어 유닛;
상기 기판을 상기 이송 롤러들로부터 상기 에어 부상 테이블 상에 위치시키기 위하여 상기 컨베이어 유닛을 수직 방향으로 하강시키는 수직 구동부;
상기 에어 부상 테이블에 의해 부상된 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송 모듈;
상기 에어 부상 테이블의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 상기 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈; 및
상기 에어 부상 테이블의 하부에서 상기 컨베이어 유닛과 함께 수직 방향으로 이동 가능하도록 상기 컨베이어 유닛에 장착된 변위 센서를 포함하며, 상기 에어 부상 테이블의 하부면으로부터 상기 변위 센서까지의 거리를 이용하여 상기 이송 롤러들의 높이가 산출되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.An air floating table for spraying air to the lower surface of the substrate to float the substrate;
A conveyor unit movable in a vertical direction through openings formed in the air floating table and including a plurality of conveying rollers for conveying the substrate onto the air floating table;
A vertical driving unit for lowering the conveyor unit vertically to position the substrate on the air floating table from the conveying rollers;
A substrate transfer module for horizontally moving the substrate floating by the air floating table;
An inspection module disposed on the air floating table for detecting a defect of the substrate moved by the substrate transfer module; And
And a displacement sensor mounted on the conveyor unit so as to be movable in a vertical direction together with the conveyor unit at a lower portion of the air floating table, wherein a distance from the lower surface of the air floating table to the displacement sensor is used, The height of the substrate is calculated.
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US10532896B2 (en) 2017-09-26 2020-01-14 Samsung Electronics Co., Ltd. Grip apparatus and substrate inspection system including the same, and method of manufacturing semiconductor device using the substrate inspection system

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