KR101827313B1 - AOI In-line stage with transport device capable of θ-axis alignment - Google Patents

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KR101827313B1 KR1020170120209A KR20170120209A KR101827313B1 KR 101827313 B1 KR101827313 B1 KR 101827313B1 KR 1020170120209 A KR1020170120209 A KR 1020170120209A KR 20170120209 A KR20170120209 A KR 20170120209A KR 101827313 B1 KR101827313 B1 KR 101827313B1
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김동민
황규천
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주식회사 에이치비테크놀러지
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Abstract

The present invention relates to an in-line stage with a transport device capable of adjusting AOI theta-axis alignment. An in-line stage transport device according to the present invention comprises: a transport plate part (110); a conveyer part (120); first and second crossbars (130, 131); and first and second elevating driving parts (140, 141). The transport plate part (110) is capable of reciprocating and transferring an in-line stage (10) while an inspection object is placed thereon and adjusting the theta-axis alignment. The conveyer part (120) uploads or unloads the inspection subject on an upper part of the transport plate part (110) by elevating. The first and second crossbars (130, 131) are vertically provided in the longitudinal direction to support the conveyer part (120) and disposed on one side and the other side of the in-line stage (10), respectively. The first and second elevating driving parts (140, 141) elevate the first and second crossbars (130, 131), and are mounted on both ends of the first and second crossbars (130, 131), respectively.

Description

AOI θ축 얼라인 조정이 가능한 이송장치를 갖는 인라인 스테이지{AOI In-line stage with transport device capable of θ-axis alignment} AOI In-line stage having a transport device capable of aligning θ-axis alignment (AOI In-line stage with a transportable device capable of θ-axis alignment)

본 발명은 디스플레이 패널 이송장치를 갖는 인라인 검사장비에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 AOI θ축 얼라인 조정이 가능하며, 디스플레이 패널을 진공 흡착하여 이송시켜 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안전하게 이송시킬 수 있는 AOI θ축 얼라인 조정이 가능한 이송장치를 갖는 인라인 스테이지에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to an in-line inspection apparatus having a display panel transfer device, and more particularly, to an AOI &thetas; axis alignment control device capable of aligning the AOI &thetas; axis and transferring the display panel by vacuum suction, The present invention relates to an inline stage having a transfer device capable of adjusting an axial alignment.

일반적으로, 인라인 검사장비는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널의 패턴결함이나 이물질 등을 검사하는 장비이다.In general, the in-line inspection equipment is a device for inspecting pattern defects and foreign substances on a display panel such as a TFT LCD panel, a PDP, and a color filter.

이러한 인라인 스테이지(in-line stage) 검사장비는 검사 대상 패널을 이송시키도록 컨베이어(conveyor)와, 컨베이어를 승/하강 시키는 승/하강 장치(up/down module)가 구비되며, 검사 대상 패널이 놓이는 스테이지 구동축과 동일한 기저면에 구성된다.Such an in-line stage inspection apparatus includes a conveyor for conveying a panel to be inspected and an up / down module for moving up and down the conveyor, And is configured on the same base surface as the stage drive shaft.

한편, 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, Stand Alone AOI 검사 설비의 경우 스테이지를 이송하는 스테이지 메인 베이스 하부에 θ축 얼라인(theta align axis)이 구성된다.Meanwhile, as shown in FIGS. 1 and 2, in the case of the stand Alone AOI inspection system, a theta align axis is formed below the stage main base for transferring the stage.

또한, 스테이지에는 각도를 보정할 수 있도록 동력을 전달하는 서보모터(servo motor)와 정밀 회전이 가능하도록 크로스 롤러 베어링(cross roller bearing)이 구비된다.In addition, the stage is provided with a servomotor for transmitting power to correct the angle and a cross roller bearing for precise rotation.

따라서 상기 컨베이어를 승/하강 시키는 승/하강 장치와 스테이지 구동축이 동일한 기저면에 구성되기 때문에 기존 스테이지 인라이 컨베이어 구조에 각도 보정을 위한 θ축 얼라인 모듈 적용 시 θ축 얼라인 모듈이 컨베이어 승/하강 장치와 간섭이 발생하는 문제가 있다. Therefore, since the up / down device for raising and lowering the conveyor and the stage driving shaft are formed on the same basal plane, when the θ-axis alignment module for angle correction is applied to the conventional row conveyor structure, the θ- There is a problem that interference occurs with the apparatus.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 검사 대상 패널의 θ축 얼라인 보정을 위한 θ축 얼라인 모듈과 컨베이어 승/하강 장치가 간섭이 발생하지 않도록 승/하강 장치를 인라인 스테이지의 외측에 구성함으로서 AOI θ축 얼라인 조정이 가능한 이송장치를 갖는 인라인 스테이지를 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for aligning a &thetas; axis of a panel to be inspected and a conveyor elevating / The present invention aims at providing an inline stage having a transfer device capable of adjusting the AOI? -Axis alignment.

그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to the above-mentioned object, and another object which is not mentioned can be understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 부품의 결함을 광학적으로 검출하기 위한 광학 검출기가 구성되고, 검사 대상체를 소정 간격으로 이동시키는 이송장치를 구비하여 검사를 실시하기 위한 인라인 스테이지에 있어서, 상기 이송장치는 상기 검사 대상체가 놓여지고, 인라인 스테이지(10)의 바텀(bottom) 플레이트(12)를 왕복이송하며, θ축 얼라인 조정이 가능한 이송 플레이트부(110);와, 승/하강하여 상기 이송 플레이트부(110) 상부에 검사 대상체를 로딩 시키거나 언로딩 시키는 컨베이어부(120);와, 상기 컨베이어부(120)를 지지하도록 길이방향에 수직하게 구비되어 상기 인라인 스테이지(10)의 일측 및 타측에 각각 배치되는 제1 및 제2크로스바(130,131);와, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131)를 승/하강시키며, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131) 각각의 양단에 결합된 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141);를 포함하여 이루어진다.In order to achieve the above object, there is provided an in-line stage in which an optical detector for optically detecting a defect of a component according to the present invention is constituted, and a transfer device for moving the inspection object at a predetermined interval is provided, The conveying device includes a conveying plate portion 110 on which the inspection object is placed and which is capable of reciprocating the bottom plate 12 of the inline stage 10 and capable of adjusting the θ axis alignment, A conveyor part 120 for loading or unloading the inspection object on the transfer plate part 110 and a conveyor part 120 provided perpendicularly to the conveyor part 120 for supporting the conveyor part 120, The first and second crossbars 130 and 131 disposed on the other side of the first and second crossbars 130 and 131 and the first and second crossbars 130 and 131, And first and second up / down driving units 140 and 141 coupled to the first and second driving units.

또한, 상기 컨베이어부(120)는 상기 검사 대상체의 이송방향으로 일정간격을 두고 나란하게 다수개 배치되며, 양단이 상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)의 상부에 놓이는 지지프레임(121)과, 상기 지지프레임(121)에 다수개 설치되며 회전하는 컨베이어 롤러(122)와, 상기 컨베이어 롤러(122)를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 롤러 구동부(123)를 포함하여 이루어진다.The conveyor part 120 includes a support frame 121 having a plurality of conveyor parts 120 arranged at regular intervals in the conveying direction of the inspection object and having both ends on the first and second crossbars 130 and 131, A plurality of conveyor rollers 122 provided on the support frame 121 and rotating and a roller driving unit 123 for providing power for rotationally driving the conveyor rollers 122.

그리고 상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)에 상기 지지프레임(121)이 받쳐져 구비됨으로써 상기 컨베이어부(120)와 상기 바텀(bottom) 플레이트(12) 사이에는 공간(13)이 형성되며, 상기 공간(13)으로 상기 이송플레이트부(110)가 왕복 이송된다. The support frame 121 is supported by the first and second crossbars 130 and 131 so that a space 13 is formed between the conveyor part 120 and the bottom plate 12, The transfer plate unit 110 is reciprocally transferred to the space 13.

또한, 상기 이송 플레이트부(110)는 상기 바텀(bottom) 플레이트(12)의 상부에 길이방향으로 다수개 배치되어 동작하는 LM 가이드(111)와, 상기 LM 가이드(111) 상부에 배치되어 결합되고, 상기 LM 가이드(111)의 동작에 의해 길이방향으로 이송되는 베이스 플레이트(112)와, 상기 베이스 플레이트(112)의 상부에 배치되어 결합되고, 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인 보정을 위해 회전하는 θ축 조정 플레이트(113)를 포함하여 이루어진다.The transfer plate unit 110 includes an LM guide 111 which is disposed at an upper portion of the bottom plate 12 in a longitudinal direction and an LM guide 111 which is disposed above the LM guide 111 , A base plate 112 which is conveyed in the longitudinal direction by the operation of the LM guide 111, and a lower plate 112 which is coupled to the upper part of the base plate 112 and rotates for correcting the θ axis of the test object and a? -axis adjusting plate 113.

또한, 상기 베이스 플레이트(112)의 상부에는 서보모터(M2)와, 상기 베이스 플레이트(112)의 중심에 대해서 원호를 이루도록 연속 형성된 가이드블록(GB)이 구비된다.A servo motor M2 and a guide block GB are formed on the upper portion of the base plate 112 to continuously form an arc with respect to the center of the base plate 112. [

그리고 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 하부에는 상기 가이드 블록(GB) 측으로 돌출된 가이드레일(GL)이 형성됨에 따라 상기 서보모터(M2)의 구동에 의해 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 가이드레일(GL)이 상기 베이스 플레이트(112)의 가이드 블록(GB)을 따라 이송된다.A guide rail GL projecting toward the guide block GB is formed on the lower portion of the θ-axis adjusting plate 113 so that the guide of the θ-axis adjusting plate 113 is guided by the servo motor M2, The rail GL is transported along the guide block GB of the base plate 112. [

또한, 상기 이송 플레이트부(110)는 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 복수개 배열되면서 일정간격을 두고 나란하게 배치된 수직판프레임(114)과, 상기 수직판프레임(114)과 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 다수개 배열되면서 상기 검사대상체를 상부면에 흡착 고정시키도록 흡착에어를 형성하는 흡착공(H)이 형성된 수평진공판(115)을 더 포함하여 이루어진다. The transfer plate unit 110 includes a vertical plate frame 114 arranged at a predetermined interval on the upper end of the? -Axis adjusting plate 113 in a plurality of directions in the conveying direction of the inspection object, (114) and a horizontal vacuum plate (115) having a plurality of suction holes (H) arranged at the upper end in the conveying direction of the inspection target body to form an adsorption air for adsorbing and fixing the inspection top body on the upper surface .

또한, 상기 수평진공판(115)은 서로 인접하는 컨베이어부(120)의 지지프레임(121) 및 롤러(122)와 간섭되지 않도록 일정 간격을 두고 배치되어 상기 수평진공판(115)사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 일정 공간에 상기 컨베이어부(120)의 컨베이어 롤러(122)가 구비된다.The horizontal vacuum plate 115 is spaced apart from the support frame 121 and the roller 122 of the adjacent conveyor part 120 by a predetermined distance, And a conveyor roller 122 of the conveyor part 120 is provided in the predetermined space.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to that, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best explain its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르면, 승/하강 구동부를 인라인 스테이지의 외측에 구성함으로서 이송 플레이트부와 승/하강 구동부의 간섭을 방지하여 θ축 얼라인 조정이 가능하여 검사 대상체의 위치가 틀어지는 문제점을 개선하여 검사결과의 정확도를 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, by configuring the up / down driving unit on the outside of the inline stage, it is possible to prevent the interference between the transfer plate unit and the up / down driving unit, It is possible to improve the accuracy of the inspection result.

또한, 검사 대상체를 진공 흡착하여 이송시켜 디스플레이 패널을 흔들림 없이 안전하게 이송시켜 결함 검출의 균일성 및 안정성을 확보하고, 검사 대상체의 평탄도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, there is an effect that the uniformity and stability of defect detection can be ensured by conveying the inspection target object by vacuum suction and conveying the display panel safely without shaking, and the flatness of the inspection target object can be improved.

도 1은 종래의 일반적인 인라인 스테이지의 사시도,
도 2는 종래의 일반적인 Stand Alone AOI을 타나낸 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 컨베이어부가 구비된 인라인 스테이지의 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 인라인 스테이지의 평면도,
도 5는 본 발명에 따른 이송 플레이트부의 분해 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 컨베이어부가 분해된 상태의 인라인 스테이지의 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 컨베이어부 및 승/하강 구동부의 결합상태를 개략적으로 나타낸 확대도이다.1 is a perspective view of a conventional inline stage,
FIG. 2 is a diagram showing a conventional stand Alone AOI,
3 is a perspective view of an inline stage having a conveyor unit according to the present invention,
4 is a plan view of an inline stage according to the present invention,
5 is an exploded perspective view of the transfer plate portion according to the present invention,
6 is a perspective view of an in-line stage in which a conveyor portion according to the present invention is disassembled,
FIG. 7 is an enlarged view schematically showing a combined state of the conveyor part and the up / down driving part according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.In addition, the terms described below are defined in consideration of the functions of the present invention, which may vary depending on the intention or custom of the user, the operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout this specification.

아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.In addition, the following embodiments are not intended to limit the scope of the present invention, but merely as exemplifications of the constituent elements set forth in the claims of the present invention, and are included in technical ideas throughout the specification of the present invention, Embodiments that include components replaceable as equivalents in the elements may be included within the scope of the present invention.

첨부된 도 2는 본 발명에 따른 인라인 스테이지의 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 컨베이어부가 구비된 인라인 스테이지의 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 인라인 스테이지의 정면도, 도 5는 본 발명에 따른 이송 플레이트부의 분해 사시도, 도 6은 본 발명에 따른 컨베이어부가 분해된 상태의 인라인 스테이지의 사시도, 도 7은 본 발명에 따른 컨베이어부 및 승/하강 구동부의 결합상태를 개략적으로 나타낸 확대도이다.FIG. 3 is a perspective view of an inline stage with a conveyor according to the present invention, FIG. 4 is a front view of an inline stage according to the present invention, and FIG. 5 is a front view of the inline stage according to the present invention. Fig. 6 is an exploded perspective view of the conveyance plate portion according to the present invention, and Fig. 7 is an enlarged view schematically showing the engagement state of the conveyor portion and the up / down driving portion according to the present invention.

도 3이하에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 인라인 스테이지(10)는 부품의 결함을 광학적으로 검출하기 위한 광학 검출기(11)가 구성되고, 검사 대상체(미도시)를 소정 간격으로 이동시키는 이송장치가 구비된다.3, the in-line stage 10 according to the present invention includes an optical detector 11 for optically detecting a defect in a component, and is provided with a feed (not shown) Device.

이때, 상기 이송장치는 플레이트부(110)와 컨베이어부(120)와 제1 및 제2크로스바(130,131)와 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)를 포함하여 이루어진다.The conveying device includes a plate portion 110, a conveyor portion 120, first and second crossbars 130 and 131, and first and second up / down driving portions 140 and 141.

또한, 상기 플레이트부(110)는 상기 검사 대상체가 놓여지고, 인라인 스테이지(10)의 바텀(bottom) 플레이트(12) 상부를 왕복이송하며, θ축 얼라인 조정이 작동이 가능하다.In addition, the plate portion 110 is placed on the inspection object, and the upper portion of the bottom plate 12 of the inline stage 10 is reciprocally moved, and θ-axis alignment adjustment is operable.

또한, 상기 컨베이어부(120)는 승/하강하여 상기 이송 플레이트부(110) 상부에 검사 대상체를 로딩 시키거나 언로딩 시킨다.In addition, the conveyor unit 120 moves up or down to load or unload the test object on the transfer plate unit 110.

또한, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131)는 상기 컨베이어부(120)를 지지하도록 길이방향에 수직하게 구비되어 상기 인라인 스테이지(10)의 일측 및 타측에 각각 배치된다.The first and second crossbars 130 and 131 are disposed perpendicularly to the longitudinal direction so as to support the conveyor part 120 and are disposed on one side and the other side of the inline stage 10, respectively.

또한, 상기 컨베이어부(120)는 상기 검사 대상체의 이송방향으로 일정간격을 두고 나란하게 다수개 배치되며, 양단이 상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)의 상부에 놓이는 지지프레임(121)과, 상기 지지프레임(121)에 다수개 설치되며 회전하는 컨베이어 롤러(122)와, 상기 컨베이어 롤러(122)를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 롤러 구동부(123)를 포함하여 이루어진다.The conveyor part 120 includes a support frame 121 having a plurality of conveyor parts 120 arranged at regular intervals in the conveying direction of the inspection object and having both ends on the first and second crossbars 130 and 131, A plurality of conveyor rollers 122 provided on the support frame 121 and rotating and a roller driving unit 123 for providing power for rotationally driving the conveyor rollers 122.

즉, 상기 컨베이어부(120)는 길이방향에 대해 양쪽을 지지할 수 있도록 상기 제1 및 제2크로스바(130,131)의 상부에 설치되는 지지프레임(121)과, 상기 지지프레임(121)에 다수개 설치되는 컨베이어 롤러(122)를 포함한다.That is, the conveyor part 120 includes a support frame 121 installed on the upper part of the first and second crossbars 130 and 131 so as to support both sides of the conveyor part 120 in the longitudinal direction, And a conveyor roller 122 installed.

그리고 상기 지지프레임(121)이 짝수개(4개 이상) 구비될 때, 외측(최외측)에 구비되는 지지프레임(121)을 제외한 지지프레임(121)이 2개씩 연결되도록 일측 및 타측에서 각각 결합된 연결부를 더 포함한다.When the support frames 121 are provided in an even number (four or more), the support frames 121 except for the support frames 121 provided on the outer side (outermost side) As shown in Fig.

또한, 상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)에 상기 지지프레임(121)이 받쳐져 구비됨으로써 상기 컨베이어부(120)와 상기 바텀(bottom) 플레이트(12) 사이에는 공간(13)이 형성되며, 상기 공간(13)으로 상기 이송플레이트부(110)가 왕복 이송된다. The support frame 121 is supported by the first and second crossbars 130 and 131 so that a space 13 is formed between the conveyor part 120 and the bottom plate 12, And the transfer plate unit 110 is reciprocally transferred to the space 13.

또한, 상기 이송 플레이트부(110)는 상기 바텀(bottom) 플레이트(12)의 상부에 길이방향으로 다수개 배치되어 동작하는 LM 가이드(111)와, 상기 LM 가이드(111) 상부에 배치되어 결합되고, 상기 LM 가이드(111)의 동작에 의해 길이방향으로 이송되는 베이스 플레이트(112)와, 상기 베이스 플레이트(112)의 상부에 배치되어 결합되고, 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인 보정을 위해 회전하는 θ축 조정 플레이트(113)를 포함하여 이루어진다.The transfer plate unit 110 includes an LM guide 111 which is disposed at an upper portion of the bottom plate 12 in a longitudinal direction and an LM guide 111 which is disposed above the LM guide 111 , A base plate 112 which is conveyed in the longitudinal direction by the operation of the LM guide 111, and a lower plate 112 which is coupled to the upper part of the base plate 112 and rotates for correcting the θ axis of the test object and a? -axis adjusting plate 113.

이때, 상기 LM 가이드(111)는 레일 위에 블록이 길이방향으로 움직이는 구조로써 구동모터(리니어 모터)에 의해 블록이 레일 위에서 움직이도록 하는 것으로, 이에 대해 공지된 사항이므로 구조 및 작동원리에 대해서 상세한 설명은 생략한다.In this case, the LM guide 111 is a structure in which the block moves in the longitudinal direction on the rail, and the block moves on the rail by the drive motor (linear motor). Is omitted.

또한, 상기 베이스 플레이트(112)의 상부에는 서보모터(M2)와, 상기 베이스 플레이트(112)의 중심에 대해서 원호를 이루도록 연속 형성된 가이드블록(GB)이 구비된다.A servo motor M2 and a guide block GB are formed on the upper portion of the base plate 112 to continuously form an arc with respect to the center of the base plate 112. [

그리고 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 하부에는 상기 가이드 블록(GB) 측으로 돌출된 가이드레일(GL)이 형성됨에 따라 상기 서보모터(M2)의 구동에 의해 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 가이드레일(GL)이 상기 베이스 플레이트(112)의 가이드 블록(GB)을 따라 이송된다.A guide rail GL projecting toward the guide block GB is formed on the lower portion of the θ-axis adjusting plate 113 so that the guide of the θ-axis adjusting plate 113 is guided by the servo motor M2, The rail GL is transported along the guide block GB of the base plate 112. [

이에 따라 상기 서보모터(M2)의 구동에 의해 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 가이드레일(GL)이 상기 베이스 플레이트(112)의 가이드 블록(GB)을 따라 이송됨으로써 검사 대상체의 θ축 얼라인 조정이 이루어진다.The guide rail GL of the θ-axis adjusting plate 113 is moved along the guide block GB of the base plate 112 by driving the servomotor M2 so that the θ- Adjustment is made.

즉, 상류장비에서 인라인 스테이지(10) 측으로 검사 대상체를 전달하기 위해서 신호를 보내면 인라인 스테이지(10)의 이송장치는 작동을 시작하게 되며, 이때 상기 컨베이어부(120)에 의해 상기 플레이트부(110) 상부에 검사 대상체가 놓여진다. That is, when a signal is transmitted to the inline stage 10 from the upstream equipment to transmit the inspection object, the conveying unit of the inline stage 10 starts to operate. At this time, the conveyor unit 120 moves the plate unit 110, The test object is placed on the upper part.

그리고 상기 수평진공판(115)의 상부면 상에 흡착 고정된 검사 대상체는 얼라인먼트 카메라(미도시)에 의해서 마크(mark)를 읽은 후 상기 서보모터(M2)의 구동에 의해 회전하는 θ축 조정 플레이트(113)에 의해서 검사 대상체의 θ축 얼라인 조정이 이루어진다.The inspected object to be inspected and fixed on the upper surface of the horizontal vacuum plate 115 is read by marking by an alignment camera (not shown), and is then rotated by the servo motor M2, Axis alignment of the object to be inspected is performed by the controller 113. [

또한, 상기 이송 플레이트부(110)는 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 복수개 배열되면서 일정간격을 두고 나란하게 배치된 수직판프레임(114)과, 상기 수직판프레임(114)과 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 다수개 배열되면서 상기 검사대상체를 상부면에 흡착 고정시키도록 흡착에어를 형성하는 흡착공(H)이 형성된 수평진공판(115)을 더 포함하여 이루어진다. The transfer plate unit 110 includes a vertical plate frame 114 arranged at a predetermined interval on the upper end of the? -Axis adjusting plate 113 in a plurality of directions in the conveying direction of the inspection object, (114) and a horizontal vacuum plate (115) having a plurality of suction holes (H) arranged at the upper end in the conveying direction of the inspection target body to form an adsorption air for adsorbing and fixing the inspection top body on the upper surface .

따라서 상기 수직판프레임(114)의 상부에 상기 수직판프레임(114)을 따라 상기 검사 대상체를 흡착 고정하는 수평진공판(115)이 구비됨으로써 검사 대상체를 진공 흡착하여 흔들림 없이 안전하게 이송시켜 결함 검출의 균일성 및 안정성을 확보하고, 검사 대상체의 평탄도를 향상시킬 수 있다.Accordingly, since the horizontal vacuum plate 115 for absorbing and fixing the inspection object along the vertical plate frame 114 is provided at the upper part of the vertical plate frame 114, the inspection object can be vacuum-adsorbed and transported safely without shaking, Uniformity and stability can be ensured and the flatness of the object to be inspected can be improved.

또한, 상기 수평진공판(115)은 서로 인접하는 컨베이어부(120)의 지지프레임(121) 및 롤러(122)와 간섭되지 않도록 일정 간격을 두고 배치되어 상기 수평진공판(115)사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 일정 공간에 상기 컨베이어부(120)의 컨베이어 롤러(122)가 구비된다.The horizontal vacuum plate 115 is spaced apart from the support frame 121 and the roller 122 of the adjacent conveyor part 120 by a predetermined distance, And a conveyor roller 122 of the conveyor part 120 is provided in the predetermined space.

다시 말해서, 상기 수평진공판(115)에는 흡착에어를 형성하는 흡착공(H)이 형성되어 검사 대상체를 수평진공판(115)의 상부면에 흡착 고정시키며, 대략 사각판상의 판체형상이다.In other words, the horizontal vacuum plate 115 is formed with a suction hole H for forming an adsorption air to adsorb and fix the object to be examined on the upper surface of the horizontal vacuum plate 115, and is in the shape of a plate having a substantially rectangular plate shape.

또한, 상기 수직판프레임(114)은 일정간격을 두고 나란하게 배치되며, 상기 수평진공판(115)은 검사 대상체의 이송방향으로 배열되면서 서로 인접하는 컨베이어 롤러(122)와 간섭되지 않도록 배치된다.Also, the vertical plate frames 114 are arranged at regular intervals and the horizontal vacuum plates 115 are arranged in the conveying direction of the inspection target so as not to interfere with the adjacent conveyor rollers 122.

또한, 상기 수직판프레임(114)은 상기 수평진공판(115)을 지지하며, 상기 수평진공판(115)은 일정 간격을 두고 배치되어 상기 수평진공판(115) 사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 일정 공간에 상기 컨베이어부(120)의 컨베이어 롤러(122)가 구비된다.The vertical plate 114 supports the horizontal vacuum plate 115. The horizontal vacuum plate 115 is spaced apart from the horizontal vacuum plate 115 to form a predetermined space between the horizontal vacuum plates 115, The conveyor roller 122 of the conveyor part 120 is provided in the predetermined space.

즉, 좌우양측 외측에 배치된 수직판프레임을 제외하고, 하나의 수평진공판이 두개의 수직판프레임 상부면에 접촉되도록 배치되어 상기 수평 진공판이 일정 간격을 두고 배치되며 수평진공판(115) 사이마다 일정 공간이 형성된다.That is, except for the vertical plate disposed on both sides of the left and right sides, one horizontal vacuum plate is disposed to be in contact with the upper surface of the two vertical plates, so that the horizontal vacuum plates are spaced apart from each other, A certain space is formed.

이때, 상기 하나의 수평진공판과 접촉된 두개의 수직판프레임에 다른 하나의 수평진공판이 겹쳐져 접촉되지 않도록 형성된다. At this time, the two vertical plates, which are in contact with the one horizontal vacuum plate, are formed so that one horizontal vacuum plate overlaps and is not in contact with the other.

한편, 상기 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)는 상기 인라인 스테이지(10)의 상부 모서리 측에 각각 고정 설치된 리니어모터(M1) 및 상기 각각의 리니어모터(M1)에 결합되어 상기 리니어모터(M1) 작동에 의해 수직하게 상하로 동작되는 업다운 포스트(post)(P)를 포함한다.The first and second driving units 140 and 141 include a linear motor M1 fixed to the upper edge of the inline stage 10 and a linear motor M1 coupled to the respective linear motors M1, And an up-down post (P) that is vertically operated up and down by the operation of the motor M1.

또한, 상기 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)는 상기 제1 및 제2크로스바(130,131)를 승/하강시키며, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131) 각각의 양단에 결합된다.The first and second driving units 140 and 141 raise and lower the first and second crossbars 130 and 131 and are coupled to both ends of the first and second crossbars 130 and 131, respectively.

이때, 상기 LM 가이드(111)는 상기 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)보다 상기 라인 스테이지(10)의 내측에 배치된다.Here, the LM guide 111 is disposed inside the line stage 10 more than the first and second driving units 140 and 141.

즉, 상기 LM 가이드(111)는 상기 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141)의 업다운 포스트(P) 사이에 배치된다. That is, the LM guide 111 is disposed between the up-down posts P of the first and second lift driving units 140 and 141.

따라서 상기 승/하강 구동부(140,141)를 인라인 스테이지(10)의 외측에 구성함으로서 이송 플레이트부(110)와 승/하강 구동부(140,141)의 간섭을 방지할 수 있다.Therefore, by configuring the up / down driving units 140 and 141 on the outside of the inline stage 10, interference between the transfer plate unit 110 and the up / down driving units 140 and 141 can be prevented.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the present invention. It is obvious that the modification or improvement is possible.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.It is intended that the present invention cover the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.

10 : 인라인 스테이지 110 : 이송 플레이트부
111 : LM 가이드 112 : 베이스 플레이트
113 : θ축 조정 플레이트 114 : 수직판프레임
115 : 수평진공판 120 : 컨베이어부
121 : 지지프레임 122 : 컨베이어 롤러
123 : 연결부 130,131 : 제1 및 제2크로스바
140,141 : 제1 및 제2 승/하강 구동부
GB : 가이드 블록 GL : 가이드 레일 10: Inline stage 110: Feed plate part
111: LM Guide 112: Base plate
113:? Axis adjustment plate 114: vertical plate frame
115: Horizontal vacuum plate 120: Conveyor part
121: Support frame 122: Conveyor roller
123: connection 130, 131: first and second crossbar
140, 141: First and second w /
GB: Guide block GL: Guide rail

Claims (6)

부품의 결함을 광학적으로 검출하기 위한 광학 검출기가 구성되고, 검사 대상체를 소정 간격으로 이동시키는 이송장치를 구비하여 검사를 실시하기 위한 인라인 스테이지에 있어서,
상기 이송장치는,
상기 검사 대상체가 놓여지고, 인라인 스테이지(10)의 바텀(bottom) 플레이트(12)를 왕복이송하며, θ축 얼라인 조정이 가능한 이송 플레이트부(110);와,
승/하강하여 상기 이송 플레이트부(110) 상부에 검사 대상체를 로딩 시키거나 언로딩 시키는 컨베이어부(120);와,
상기 컨베이어부(120)를 지지하도록 길이방향에 수직하게 구비되어 상기 인라인 스테이지(10)의 일측 및 타측에 각각 배치되는 제1 및 제2크로스바(130,131);와
상기 제1 및 제2크로스바(130,131)를 승/하강시키며, 상기 제1 및 제2크로스바(130,131) 각각의 양단에 결합된 제1 및 제2 승/하강 구동부(140,141); 를 포함하되,
상기 컨베이어부(120)는,
상기 검사 대상체의 이송방향으로 일정간격을 두고 나란하게 다수개 배치되며, 양단이 상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)의 상부에 놓이는 지지프레임(121)과,
상기 지지프레임(121)에 다수개 설치되며 회전하는 컨베이어 롤러(122)와,
상기 컨베이어 롤러(122)를 회전 구동시키는 동력을 제공하는 롤러 구동부(123)를 포함하여 이루어지되,
상기 제1 및 제2 크로스바(130,131)에 상기 지지프레임(121)이 받쳐져 구비됨으로써 상기 컨베이어부(120)와 상기 바텀(bottom) 플레이트(12) 사이에는 공간(13)이 형성되며,
상기 공간(13)으로 상기 이송플레이트부(110)가 왕복 이송되는 것을 특징으로 하는 인라인 스테이지.
An in-line stage in which an optical detector for optically detecting a defect in a component is provided and a transfer device for moving the inspection object at a predetermined interval is provided to perform inspection,
The transfer device
A transfer plate portion 110 on which the inspection object is placed and which is capable of reciprocating the bottom plate 12 of the inline stage 10 and capable of aligning the?
A conveyor unit 120 for raising or lowering the inspection object on the conveying plate unit 110,
First and second crossbars (130, 131) provided perpendicularly to the longitudinal direction to support the conveyor part (120) and disposed on one side and the other side of the inline stage (10), respectively;
First and second wiper driving units 140 and 141 coupled to both ends of the first and second crossbars 130 and 131 for raising and lowering the first and second crossbars 130 and 131; , ≪ / RTI &
The conveyor portion 120 is configured to convey
A support frame 121 disposed at a predetermined distance in the conveying direction of the inspection target and arranged at the upper portion of the first and second crossbars 130 and 131 at both ends,
A plurality of conveyor rollers 122 provided on the support frame 121,
And a roller driving unit 123 for providing power for rotationally driving the conveyor roller 122,
The support frame 121 is supported by the first and second crossbars 130 and 131 so that a space 13 is formed between the conveyor part 120 and the bottom plate 12,
And the transfer plate portion (110) is reciprocally transferred to the space (13).
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 이송 플레이트부(110)는,
상기 바텀(bottom) 플레이트(12)의 상부에 길이방향으로 다수개 배치되어 동작하는 LM 가이드(111)와,
상기 LM 가이드(111) 상부에 배치되어 결합되고, 상기 LM 가이드(111)의 동작에 의해 길이방향으로 이송되는 베이스 플레이트(112)와,
상기 베이스 플레이트(112)의 상부에 배치되어 결합되고, 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인 보정을 위해 회전하는 θ축 조정 플레이트(113)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 인라인 스테이지.
The method according to claim 1,
The transfer plate unit 110 includes:
A plurality of LM guides 111 arranged in the longitudinal direction on the bottom plate 12,
A base plate 112 disposed on the LM guide 111 and coupled to the LM guide 111 to be longitudinally transported by the operation of the LM guide 111,
Axis adjustment plate (113) disposed on and coupled to the base plate (112) and rotated to correct the θ-axis alignment of the inspection object.
제3항에 있어서,
상기 베이스 플레이트(112)의 상부에는 서보모터(M2)와, 상기 베이스 플레이트(112)의 중심에 대해서 원호를 이루도록 연속 형성된 가이드블록(GB)이 구비되되,
상기 θ축 조정 플레이트(113)의 하부에는 상기 가이드 블록(GB) 측으로 돌출된 가이드레일(GL)이 형성됨에 따라 상기 서보모터(M2)의 구동에 의해 상기 θ축 조정 플레이트(113)의 가이드레일(GL)이 상기 베이스 플레이트(112)의 가이드 블록(GB)을 따라 이송되는 것을 특징으로 하는 인라인 스테이지.
The method of claim 3,
A servo motor M2 and a guide block GB continuously formed as an arc with respect to the center of the base plate 112 are provided on the base plate 112,
Axis adjusting plate 113. The guide rail GL protrudes toward the guide block GB and is guided by the servo motor M2 so that the guide rail GL of the? (GL) is transferred along the guide block (GB) of the base plate (112).
제3항에 있어서,
상기 이송 플레이트부(110)는,
상기 θ축 조정 플레이트(113)의 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 복수개 배열되면서 일정간격을 두고 나란하게 배치된 수직판프레임(114)과,
상기 수직판프레임(114)과 상단부에 상기 검사 대상체의 이송방향으로 다수개 배열되면서 상기 검사대상체를 상부면에 흡착 고정시키도록 흡착에어를 형성하는 흡착공(H)이 형성된 수평진공판(115)을 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 인라인 스테이지.
The method of claim 3,
The transfer plate unit 110 includes:
A vertical plate frame 114 disposed at a predetermined distance from the upper end of the? -Axis adjusting plate 113 and arranged in a plurality of directions in the conveying direction of the inspection object,
A horizontal vacuum plate 115 having a plurality of suction holes H formed in the vertical plate frame 114 and an upper end of the vertical plate frame 114 in the conveying direction of the inspected object to form an adsorption air for attracting and fixing the inspection fore- And an in-line stage.
제5항에 있어서,
상기 수평진공판(115)은 서로 인접하는 컨베이어부(120)의 지지프레임(121) 및 롤러(122)와 간섭되지 않도록 일정 간격을 두고 배치되어 상기 수평진공판(115)사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 일정 공간에 상기 컨베이어부(120)의 컨베이어 롤러(122)가 구비된 것을 특징으로 하는 인라인 스테이지.6. The method of claim 5,
The horizontal vacuum plate 115 is spaced apart from the support frame 121 and the roller 122 of the adjacent conveyor part 120 so as not to interfere with each other and a predetermined space is formed between the horizontal vacuum plates 115 , And a conveyor roller (122) of the conveyor part (120) is provided in the predetermined space.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101994622B1 (en) * 2018-10-10 2019-07-02 변성경 Apparatus for transferring component
KR101994624B1 (en) * 2018-10-10 2019-10-01 변성경 Apparatus for inspection component
KR20190118025A (en) * 2018-04-09 2019-10-17 주식회사 에이치비테크놀러지 AOI inspection equipment that can adjust θ axis alignment of side dual gripper drive system
KR102095386B1 (en) * 2018-11-20 2020-03-31 주식회사 쎄믹스 Alignment apparatus for an wafer prober
KR20200114260A (en) * 2019-03-28 2020-10-07 주식회사 에이치비테크놀러지 Hybrid Display Panel Inspection Device Capable of Aligning the Theta Axis of Both the Original Plate and the Separated Plate
CN112098418A (en) * 2020-09-10 2020-12-18 安徽皓视光电科技有限公司 Angle correction mechanism and AOI detection device based on glass substrate under air floatation transmission

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101174860B1 (en) 2012-02-15 2012-08-17 (주)버금시스템 Display panel test device for aligning tested object with testing board

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004196482A (en) * 2002-12-18 2004-07-15 Maruyasu Kikai Kk Roller conveyor
JP2005315798A (en) * 2004-04-30 2005-11-10 Micronics Japan Co Ltd Inspection apparatus
JP2008166348A (en) * 2006-12-27 2008-07-17 Olympus Corp Substrate transfer apparatus
TW201206803A (en) * 2010-04-14 2012-02-16 Tae Sung Eng Co Ltd Multi-gate conveyor
KR20120015172A (en) * 2010-08-11 2012-02-21 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus and method of inspecting display device
CN102514971A (en) * 2011-12-08 2012-06-27 深圳市鑫联达包装机械有限公司 Transfer system capable of continuously delivering paper and transfer method thereof
KR101329073B1 (en) * 2012-07-16 2013-11-14 주식회사 엠플러스 Secondary battery electrode stacking machine
KR101577767B1 (en) * 2015-08-19 2015-12-16 디아이티 주식회사 In-Line Moving Stage Apparatus
KR20160085740A (en) * 2016-07-07 2016-07-18 삼성디스플레이 주식회사 Improved fault detection capability in-line Stage

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101174860B1 (en) 2012-02-15 2012-08-17 (주)버금시스템 Display panel test device for aligning tested object with testing board

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190118025A (en) * 2018-04-09 2019-10-17 주식회사 에이치비테크놀러지 AOI inspection equipment that can adjust θ axis alignment of side dual gripper drive system
CN110361397A (en) * 2018-04-09 2019-10-22 Hb技术有限公司 It can carry out the axis aligned AOI detection device of θ of side double fastener holder driving method
KR102052135B1 (en) * 2018-04-09 2019-12-04 주식회사 에이치비테크놀러지 AOI inspection equipment that can adjust θ axis alignment of side dual gripper drive system
KR101994622B1 (en) * 2018-10-10 2019-07-02 변성경 Apparatus for transferring component
KR101994624B1 (en) * 2018-10-10 2019-10-01 변성경 Apparatus for inspection component
KR102095386B1 (en) * 2018-11-20 2020-03-31 주식회사 쎄믹스 Alignment apparatus for an wafer prober
KR20200114260A (en) * 2019-03-28 2020-10-07 주식회사 에이치비테크놀러지 Hybrid Display Panel Inspection Device Capable of Aligning the Theta Axis of Both the Original Plate and the Separated Plate
KR102175502B1 (en) * 2019-03-28 2020-11-06 주식회사 에이치비테크놀러지 Hybrid Display Panel Inspection Device Capable of Aligning the Theta Axis of Both the Original Plate and the Separated Plate
CN112098418A (en) * 2020-09-10 2020-12-18 安徽皓视光电科技有限公司 Angle correction mechanism and AOI detection device based on glass substrate under air floatation transmission

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