KR20190118025A - AOI inspection equipment that can adjust θ axis alignment of side dual gripper drive system - Google Patents

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Abstract

An objective of the present invention is to provide automated optical inspection (AOI) inspection equipment which remedies conventional false detection problems. The AOI inspection equipment comprises: a transport device to move an inspection target in a longitudinal direction of an inspection stage; and a detector to detect a defect of the inspection target. The transport device (10) includes: a rail part (100) arranged in the longitudinal direction of the inspection stage (11); a sliding unit (200) to slide and move along the rail part (100); a gripper part (500) arranged on an upper portion of the sliding unit (200), on which the inspection target is mounted; and a first rotary unit (300) arranged between the gripper part (500) and the sliding unit (200) to rotate the gripper part (500) to adjust θ-axis alignment of the inspection target.

Description

사이드 듀얼 그립퍼 구동방식의 θ축 얼라인 조정이 가능한 AOI 검사 장비{AOI inspection equipment that can adjust θ axis alignment of side dual gripper drive system}AOI inspection equipment that can adjust θ axis alignment of side dual gripper drive system}

본 발명은 AOI 검사 장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 사이드 듀얼 그립퍼(side dual gripper) 구조에서 터치 스크린 패널 검사 시 장주기 패턴의 비교를 위하여 θ축 얼라인(theta align) 조정을 위한 AOI 검사 장비에 관한 것이다. The present invention relates to an AOI inspection device, and more particularly, to an AOI inspection device for adjusting theta align for the comparison of a long period pattern during a touch screen panel inspection in a side dual gripper structure. It is about.

도 1에 도시된 바와 같이 종래의 사이드 듀얼 그립퍼 구조의 AOI 검사 장비는 X축 방향을 따라 서로 마주보면서 배치된 한 쌍의 레일과 상기 한 쌍의 레일에 각각 구비되어 레일을 따라 이동하는 이동체 및 상기 이동체에 구비되어 검사 대상체의 양단과 결합된 그립퍼를 포함하여 이루어진 이송장치가 구비된다. As shown in FIG. 1, a conventional AOI inspection apparatus having a side dual gripper structure includes a pair of rails disposed to face each other along an X-axis direction, and a movable body provided on the pair of rails and moving along the rails, respectively. The transfer apparatus is provided on the movable body and includes a gripper coupled to both ends of the test object.

이러한 종래의 AOI 검사 장비의 이송장치는 θ축 얼라인 보정 없이 이송되는 방식으로, 상기 그립퍼에 장착된 검사 대상체가 틀어진 상태로 이송되기 때문에 검출기와 검사 대상체 간의 직각도가 떨어지게 된다.The conventional AOI inspection apparatus is transported without a θ-axis alignment correction, and thus the perpendicularity between the detector and the inspected object is lowered because the inspected object mounted on the gripper is conveyed in a twisted state.

따라서 장주기 패턴 비교 시 검사 대상체와 검출기 간 직각도가 떨어지게 되어 False Defect가 발생되는 문제가 있다. Therefore, when comparing the long-period pattern, there is a problem that a false defect occurs because the perpendicularity between the test object and the detector decreases.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 사이드 듀얼 그립퍼 구동 방식에서 터치 스크린 패널의 장주기 패턴 비교 검사 시 터치 스크린 패널의 θ축 얼라인 조정을 통해 종래의 False Defect 발생 문제를 보완하는 AOI 검사 장비를 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, AOI inspection equipment to compensate for the conventional problem of false defects by adjusting the θ axis alignment of the touch screen panel when comparing the long period pattern of the touch screen panel in the side dual gripper driving method The purpose is to provide.

그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to the above-mentioned object, another object that is not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 검사 대상체를 검사 스테이션의 길이방향을 따라 이동시키는 이송장치와, 상기 검사 대상체의 결함을 검출하는 검출기를 구비한 AOI(Automated Optical Inspection) 검사 장비에 있어서, 상기 이송장치(10)는, 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향을 따라 배치된 레일부(100)와, 상기 레일부(100)를 따라 슬라이딩 이동되는 슬라이딩 유닛(200)과, 상기 슬라이딩 유닛(200)의 상부에 구비되어 상기 검사 대상체가 장착되는 그립퍼부(500)를 포함하여 이루어진다.In order to achieve the above object, the present invention provides an AOI (Automated Optical Inspection) inspection equipment having a transfer device for moving the inspection object along the longitudinal direction of the inspection station, and a detector for detecting a defect of the inspection object. The conveying apparatus 10 includes a rail unit 100 disposed along the longitudinal direction of the inspection station 11, a sliding unit 200 sliding along the rail unit 100, and the sliding unit 200. It is provided on the upper portion of the gripper 500 is mounted to the test object is made.

그리고 상기 그립퍼부(500)와 슬라이딩 유닛(200) 사이에는 상기 그립퍼부(500)를 회전시켜 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정하는 제1 로터리 유닛(300)이 더 구비된다.The first rotary unit 300 is further provided between the gripper 500 and the sliding unit 200 to adjust the θ-axis alignment of the test object by rotating the gripper 500.

따라서 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정한 후 이송시킴으로써 상기 검사 대상체가 정 위치에 구비된 상태에서 이동하는 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비가 제공된다. Therefore, the AOI inspection equipment is provided, which moves in a state where the inspection object is provided at a fixed position by adjusting and transporting the θ axis alignment of the inspection object.

또한, 상기 슬라이딩 유닛(200)은 소정의 구동수단에 의하여 상기 레일부(100)를 따라 이동하는 X축 무빙 플레이트(210)가 구비된다.In addition, the sliding unit 200 is provided with an X-axis moving plate 210 to move along the rail portion 100 by a predetermined driving means.

그리고 상기 제1 로터리 유닛(300)은, 상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상부에 구비된 제1 θ축 구동부(310)와, 상기 제1 θ축 구동부(310)의 상부에 구비되어 제1 θ축 구동부(310)의 구동에 의해 회전하는 제1 θ축 회전 플레이트(320)를 포함하여 이루어진다. The first rotary unit 300 may include a first θ-axis driver 310 provided on the X-axis moving plate 210 and an upper portion of the first θ-axis driver 310. and a first θ-axis rotating plate 320 that is rotated by the θ-axis driving unit 310.

이때, 상기 제1 θ축 구동부(310)는 상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상면에 결합되어 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)를 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 구동시키는 제1 구동부(311)와, 상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상면에 결합되고, 일정 곡률 반경을 갖으면서 상기 제1 구동부(311)의 양측에 대칭으로 구비된 제1 R 가이드 레일(312)과, 상기 제1 θ축 회전 플레이(320)의 하면에 결합되어 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 이동에 의해 상기 제1 R 가이드 레일(312)을 따라 이동하는 제1 가이드 블록(313)과, 상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상면에 결합되어 하중을 지지하는 하나 이상의 크로스 베어링(314)을 포함하여 이루어진다. In this case, the first θ-axis driver 310 is coupled to the upper surface of the X-axis moving plate 210 to drive the first θ-axis rotating plate 320 in the longitudinal direction of the inspection station 11 A first R guide rail 312 coupled to a driving unit 311 and an upper surface of the X-axis moving plate 210 and symmetrically provided at both sides of the first driving unit 311 while having a predetermined radius of curvature; A first guide block 313 coupled to a lower surface of the first θ-axis rotation play 320 and moving along the first R guide rail 312 by the movement of the first θ-axis rotation plate 320; It comprises one or more cross bearings 314 coupled to the upper surface of the X-axis moving plate 210 to support the load.

그리고 상기 제1 구동부(311)는 동력원인 제1모터와, 상기 제1모터의 동력을 직선운동으로 변환시키는 제1직선운동부(311a)와, 상기 제1 R 가이드 레일(312)과 함께 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 하면에 구속되어 상기 제1직선운동부(311a)에 의해 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 이동하는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)가 회전할 수 있도록 직선운동을 회전운동으로 변환시키는 제1회전운동부(311c)와, 상기 제1직선운동부(311a)와 제1회전운동부(311c) 사이에는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 직선운동이 회전운동으로 변환될 때 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 회전을 원활하게 하는 제1매개운동부(311b)를 포함하여 이루어진다. The first driving unit 311 includes a first motor as a power source, a first linear movement unit 311a for converting power of the first motor into linear motion, and the first R guide rail 312 together with the first motor. The first θ-axis rotation plate 320 is constrained to the lower surface of the 1 θ-axis rotation plate 320 to move in the longitudinal direction of the inspection station 11 by the first linear motion portion 311a. The linear motion of the first θ-axis rotation plate 320 is rotated between the first rotational motion part 311c and the first linear motion part 311a and the first rotational motion part 311c to convert the linear motion into the rotational motion. It includes a first mediated movement portion (311b) for smoothly rotating the first θ-axis rotation plate 320 when converted to motion.

또한, 상기 제1직선운동부(311a)는 상기 제1모터에 결합되어 모터 구동에 의해 회전하는 제1볼 스크류와, 상기 제1볼 스크류에 결합되어 제1볼 스크류의 회전에 의해 이동하는 제1볼 스크류 너트와, 상기 제1볼 스크류의 축방향과 평행하도록 양측에 대칭으로 배치된 제1 LM 가이드를 포함하여 이루어진다.In addition, the first linear motion portion 311a is coupled to the first motor and the first ball screw to rotate by the motor drive, the first ball screw coupled to the first ball screw to move by the rotation of the And a ball screw nut and a first LM guide disposed symmetrically on both sides so as to be parallel to the axial direction of the first ball screw.

또한, 상기 제1매개운동부(311b)는 상기 제1볼 스크류 너트 및 제1 LM 가이드 상부에 결합된 제1매개결합판과, 상기 제1매개결합판의 상부에 결합되며, 상기 제1볼 스크류의 축방향과 직각 방향으로 배치된 제1 크로스 LM 가이드를 포함하여 이루어진다. In addition, the first intermediary movement portion (311b) is coupled to the first of the first ball screw nut and the first LM guide plate, the upper coupling of the first medium coupling plate, the first ball screw It comprises a first cross LM guide disposed in the direction perpendicular to the axial direction of.

또한, 상기 제1회전운동부(311c)는 상기 제1 크로스 LM 가이드의 상부에 결합된 제1회전결합판과, 상기 제1회전결합판의 상부에 결합되면서 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 하면에 결합되어 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)가 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 이동될 때, 회전하는 제1회전원판을 포함하여 이루어진다.In addition, the first rotary motion part (311c) is the first rotary coupling plate coupled to the upper portion of the first cross LM guide and the first θ-axis rotary plate 320 while being coupled to the upper portion of the first rotary coupling plate It is coupled to the lower surface of the first θ-axis rotation plate 320 is made to include a first rotating disc that rotates when moved in the longitudinal direction of the inspection station (11).

한편, 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)에는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 중심부를 기준으로 일측과 타측이 높낮이가 다른 단턱부(321)가 형성된다.On the other hand, the first θ-axis rotation plate 320 is formed with a stepped portion 321 having a different height from one side and the other side with respect to the center of the first θ-axis rotation plate 320.

그리고 상기 단턱부(321)의 하부측인 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320) 일측의 상부하면(323)에는 제2 로터리 유닛(400)이 구비된다. In addition, a second rotary unit 400 is provided on an upper surface 323 of one side of the first θ-axis rotating plate 320, which is a lower side of the stepped part 321.

이때, 상기 제2 로터리 유닛(400)은 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부하면(323) 상부에 구비된 제2 θ축 구동부(410)와, 상기 제2 θ축 구동부(410)의 상부에 구비되어 제2 θ축 구동부(410)의 구동에 의해 회전하는 제2 θ축 회전 플레이트(420)를 포함하여 이루어진다. In this case, the second rotary unit 400 includes a second θ-axis driver 410 provided on an upper surface 323 of the first θ-axis rotating plate 320, and the second θ-axis driver 410. And a second θ-axis rotation plate 420 provided at an upper portion thereof to rotate by driving of the second θ-axis driver 410.

또한, 상기 제2 θ축 구동부(410)는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부하면(323)에 결합되어 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)를 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 구동시키는 제2 구동부(411)와, 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부하면(323)에 결합되고, 일정 곡률 반경을 갖으면서 상기 제2 구동부(411)의 양측에 대칭으로 구비된 제2 R 가이드 레일(412)과, 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 하면에 결합되어 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 이동에 의해 상기 제2 R 가이드 레일(412)을 따라 이동하는 제2 가이드 블록(413)을 포함하여 이루어진다. In addition, the second θ-axis driver 410 is coupled to the upper surface 323 of the first θ-axis rotation plate 320 to extend the second θ-axis rotation plate 420 of the inspection station 11. It is coupled to the second drive unit 411 for driving in the direction, and the upper surface 323 of the first θ-axis rotation plate 320, and having a predetermined radius of curvature symmetrically on both sides of the second drive unit 411 The second R guide rail 412 is coupled to a lower surface of the second θ-axis rotation plate 420 and moves by the second θ-axis rotation plate 420 to move the second R guide rail 412. It comprises a second guide block 413 moving along.

그리고 상기 제2 구동부(411)는 동력원인 제2모터와, 상기 제2모터의 동력을 직선운동으로 변환시키는 제2직선운동부(411a)와, 상기 제2 R 가이드 레일(412)과 함께 상기 제2 θ축 회전 플레이(420)의 하면에 구속되어 상기 제2직선운동부(411a)에 의해 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 이동하는 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)가 회전할 수 있도록 직선운동을 회전운동으로 변환시키는 제2회전운동부(411c)와, 상기 제2직선운동부(411a)와 제2회전운동부(411c) 사이에는 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 직선운동이 회전운동으로 변환될 때 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 회전을 원활하게 하는 제2매개운동부(411b)를 포함하여 이루어진다. The second driving unit 411 may include a second motor as a power source, a second linear movement unit 411a for converting power of the second motor into linear motion, and the second R guide rail 412. The second θ-axis rotation plate 420, which is constrained to the lower surface of the 2 θ-axis rotation play 420 and moves in the longitudinal direction of the inspection station 11 by the second linear motion portion 411a, may rotate. The linear motion of the second θ-axis rotating plate 420 rotates between the second rotary motion part 411c for converting the linear motion into the rotary motion, and between the second linear motion part 411a and the second rotary motion part 411c. And a second mediated movement part 411b for smoothly rotating the second θ-axis rotation plate 420 when converted to motion.

또한, 상기 제2직선운동부(411a)는 상기 제2모터에 결합되어 모터 구동에 의해 회전하는 제2볼 스크류와, 상기 제2볼 스크류에 결합되어 제2볼 스크류의 회전에 의해 이동하는 제2볼 스크류 너트와, 상기 제2볼 스크류의 축방향과 평행하도록 양측에 대칭으로 배치된 제2 LM 가이드를 포함하여 이루어진다. In addition, the second linear motion portion 411a is coupled to the second motor and rotated by a motor drive, and a second ball screw coupled to the second ball screw and moved by the rotation of the second ball screw. And a ball screw nut and a second LM guide disposed symmetrically on both sides so as to be parallel to the axial direction of the second ball screw.

또한, 상기 제2매개운동부(411b)는 상기 제2볼 스크류 너트 및 제2 LM 가이드 상부에 결합된 제2매개결합판과, 상기 제2매개결합판의 상부에 결합되며, 상기 제2볼 스크류의 축방향과 직각 방향으로 배치된 제2 크로스 LM 가이드를 포함하여 이루어진다. In addition, the second mediation movement part 411b is coupled to the second mediation plate coupled to the second ball screw nut and the upper part of the second LM guide, the second mediation plate, the second ball screw It comprises a second cross LM guide disposed in the direction perpendicular to the axial direction of.

또한, 상기 제2회전운동부(411c)는 상기 제2 크로스 LM 가이드의 상부에 결합된 제2회전결합판과, 상기 제2회전결합판의 상부에 결합되면서 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 하면에 결합되어 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)가 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 이동될 때, 회전하는 제2회전원판을 포함하여 이루어진다.In addition, the second rotary motion part 411c is coupled to an upper part of the second rotary coupling plate coupled to the upper part of the second cross LM guide, and the second θ-axis rotary plate 420. When coupled to the lower surface of the second θ-axis rotation plate 420 is moved in the longitudinal direction of the inspection station 11, it comprises a second rotating disk to rotate.

한편, 상기 그립퍼부(500)는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320) 타측의 상부상면(322)에 구비된 제1그립퍼부(510)와, 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 상부에 구비된 제2그립퍼부(520)를 포함하여 이루어진다.Meanwhile, the gripper part 500 includes a first gripper part 510 provided on the upper upper surface 322 of the other side of the first θ axis rotating plate 320 and an upper portion of the second θ axis rotating plate 420. It comprises a second gripper portion 520 provided in.

따라서 상기 제1그립퍼부(510)에 구비된 검사 대상체 또는 상기 제1,2그립퍼부(510,520)에 함께 구비된 검사 대상체는 상기 제1 로터리 유닛(300)을 구동시켜 θ축 얼라인 조정된다.Therefore, the test object provided in the first gripper part 510 or the test object provided in the first and second gripper parts 510 and 520 may be aligned with the θ-axis by driving the first rotary unit 300.

그리고 상기 제1 및 제2 그립퍼부(510,520) 각각에 구비된 제1 및 제2 검사 대상체는, 상기 제1 로터리 유닛(300)을 구동시켜 상기 제1 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정한 후, 상기 제2 로터리 유닛(400)을 구동시켜 상기 제2 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정하여 이동시킴으로써 상기 2개의 검사 대상체가 정 위치에 구비된 상태에서 이동된다. The first and second test objects provided in the first and second gripper parts 510 and 520 respectively adjust the θ-axis alignment of the first test object by driving the first rotary unit 300. In addition, by driving the second rotary unit 400 to adjust and move the θ axis alignment of the second test object, the two test objects are moved in a state provided in the correct position.

또한, 상기 제1,2 그립퍼부(510,520)는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부상면(322) 및 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 상면에 결합되며 상기 검사 대상체를 진공 흡착하는 진공판(VP)이 구비된다.In addition, the first and second gripper parts 510 and 520 may be coupled to an upper surface 322 of the first θ-axis rotation plate 320 and an upper surface of the second θ-axis rotation plate 420 to vacuum the test object. A vacuum plate VP for adsorption is provided.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms or words used in this specification and claims are not to be interpreted in a conventional and dictionary sense, and the inventors may appropriately define the concept of terms in order to best explain their invention in the best way possible. Based on the principle that the present invention should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르면, 사이드 듀얼 그립퍼 구동 방식에서 터치 스크린 패널의 장주기 패턴 비교 검사 시 터치 스크린 패널의 θ축 얼라인 조정을 통해 종래의 False Defect 발생 문제를 보완함으로써 효율적인 생산관리로 인한 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the side dual gripper driving method compensates the conventional problem of false defects by adjusting the θ axis alignment of the touch screen panel when comparing the long period pattern of the touch screen panel. There is an effect that can improve the productivity.

도 1은 종래의 사이드 듀얼 그립퍼 구조의 AOI 검사 장비의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 한 개의 검사 대상체가 장착된 AOI 검사 장비의 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 두 개의 검사 대상체가 장착된 AOI 검사 장비의 평면도,
도 4는 본 발명에 따른 AOI 검사 장비에 구비된 이송장치의 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 AOI 검사 장비에 구비된 이송장치의 분해도,
도 6은 본 발명에 따른 로터리 유닛에 구비된 구동부의 분해도,
도 7은 본 발명에 따른 제1 θ축 구동부를 개략적으로 나타낸 평면도,
도 8은 본 발명에 따른 제2 θ축 구동부를 개략적으로 나타낸 평면도이다.1 is a perspective view of an AOI inspection equipment of a conventional side dual gripper structure,
2 is a plan view of the AOI inspection equipment equipped with one test object according to the present invention;
3 is a plan view of the AOI test equipment equipped with two test objects according to the present invention;
4 is a perspective view of a transport apparatus provided in the AOI inspection equipment according to the present invention;
5 is an exploded view of a transfer device provided in the AOI inspection equipment according to the present invention,
6 is an exploded view of a driving unit provided in the rotary unit according to the present invention;
7 is a plan view schematically showing a first θ-axis drive unit according to the present invention;
8 is a plan view schematically illustrating a second θ-axis driver according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of the lines or the size of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.In addition, terms to be described below are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or convention of a user or an operator. Therefore, the definitions of these terms should be made based on the contents throughout the specification.

아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.In addition, the following examples are not intended to limit the scope of the present invention but merely illustrative of the components set forth in the claims of the present invention, which are included in the technical spirit throughout the specification of the present invention and constitute the claims Embodiments that include a substitutable component as an equivalent in the element may be included in the scope of the present invention.

첨부된 도 2는 본 발명에 따른 한 개의 검사 대상체가 장착된 AOI 검사 장비의 평면도, 도 3은 본 발명에 따른 두 개의 검사 대상체가 장착된 AOI 검사 장비의 평면도, 도 4는 본 발명에 따른 AOI 검사 장비에 구비된 이송장치의 사시도, 도 5는 본 발명에 따른 AOI 검사 장비에 구비된 이송장치의 분해도, 도 6은 본 발명에 따른 로터리 유닛에 구비된 구동부의 분해도, 도 7은 본 발명에 따른 제1 θ축 구동부를 개략적으로 나타낸 평면도, 도 8은 본 발명에 따른 제2 θ축 구동부를 개략적으로 나타낸 평면도이다.2 is a plan view of an AOI test equipment equipped with one test object according to the present invention, FIG. 3 is a plan view of an AOI test equipment equipped with two test objects according to the present invention, and FIG. 4 is an AOI test device according to the present invention. 5 is an exploded view of a transport apparatus provided in the AOI inspection equipment according to the present invention, FIG. 6 is an exploded view of a drive unit provided in the rotary unit according to the present invention, and FIG. 8 is a plan view schematically illustrating a first θ axis driver according to the present invention, and FIG. 8 is a plan view schematically illustrating a second θ axis driver according to the present invention.

본 발명은 AOI(Automated Optical Inspection)장비에서 터치 스크린 패널 분판 검사 장비로써 사이드 듀얼 그립퍼 구조에 θ축 조정을 위한 구성을 구비함으로써 검사 대상체를 정 위치에 구비하여 결합을 측정하는 검사 장비 및 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to an inspection apparatus and a system for measuring a coupling by providing a test object in a fixed position by providing a side dual gripper structure as a touch screen panel separation inspection device in an AOI (Automated Optical Inspection) device to adjust the θ axis. will be.

도 2 이하에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 AOI 검사 장비는 검사 대상체를 검사 스테이션의 길이방향을 따라 이동시키는 이송장치와, 상기 검사 대상체의 결함을 검출하는 검출기(미도시)를 구비한다.As shown below in FIG. 2, the AOI inspection apparatus according to the present invention includes a transfer device for moving an inspection object along a longitudinal direction of the inspection station, and a detector (not shown) for detecting a defect of the inspection object.

이때, 상기 이송장치(10)는, 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향을 따라 배치된 레일부(100)와, 상기 레일부(100)를 따라 슬라이딩 이동되는 슬라이딩 유닛(200)과, 상기 슬라이딩 유닛(200)의 상부에 구비되어 상기 검사 대상체가 장착되는 그립퍼부(500)를 포함하여 이루어진다.At this time, the transfer device 10, the rail unit 100 disposed along the longitudinal direction of the inspection station 11, the sliding unit 200 which is slidingly moved along the rail unit 100, and the sliding It is provided on the upper portion of the unit 200 is made to include a gripper 500 to which the test object is mounted.

그리고 상기 그립퍼부(500)와 슬라이딩 유닛(200) 사이에는 상기 그립퍼부(500)를 회전시켜 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정하는 제1 로터리 유닛(300)이 더 구비된다.The first rotary unit 300 is further provided between the gripper 500 and the sliding unit 200 to adjust the θ-axis alignment of the test object by rotating the gripper 500.

따라서 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정한 후 이송시킴으로써 상기 검사 대상체가 정 위치에 구비된 상태에서 이동하는 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비가 제공된다. Therefore, the AOI inspection equipment is provided, which moves in a state where the inspection object is provided at a fixed position by adjusting and transporting the θ axis alignment of the inspection object.

한편, 상기 레일부(100)는 상기 검사 스테이션(11) 상부 외곽측을 따라 서로 마주보면서 배치된 한 쌍의 레일이 구비된다.On the other hand, the rail unit 100 is provided with a pair of rails facing each other along the upper outer side of the inspection station (11).

또한, 상기 슬라이딩 유닛(200)은 소정의 구동수단(미도시)에 의하여 상기 레일부(100)를 따라 이동하는 X축 무빙 플레이트(210)가 구비된다.In addition, the sliding unit 200 is provided with an X-axis moving plate 210 to move along the rail unit 100 by a predetermined driving means (not shown).

그리고 상기 제1 로터리 유닛(300)은, 상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상부에 구비된 제1 θ축 구동부(310)와, 상기 제1 θ축 구동부(310)의 상부에 구비되어 제1 θ축 구동부(310)의 구동에 의해 회전하는 제1 θ축 회전 플레이트(320)를 포함하여 이루어진다. The first rotary unit 300 may include a first θ-axis driver 310 provided on the X-axis moving plate 210 and an upper portion of the first θ-axis driver 310. and a first θ-axis rotating plate 320 that is rotated by the θ-axis driving unit 310.

또한, 상기 제1 θ축 구동부(310)는 제1 구동부(311), 제1 R 가이드 레일(312), 제1 가이드 블록(313) 및 크로스 베어링(314)을 포함하여 이루어진다.In addition, the first θ-axis driver 310 includes a first driver 311, a first R guide rail 312, a first guide block 313, and a cross bearing 314.

또한, 상기 제1 구동부(311)는 상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상면에 결합되어 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)를 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 구동시킨다.In addition, the first driving unit 311 is coupled to the upper surface of the X-axis moving plate 210 to drive the first θ-axis rotating plate 320 in the longitudinal direction of the inspection station (11).

또한, 상기 제1 R 가이드 레일(312)은 상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상면에 결합되고, 일정 곡률 반경(R1)을 갖으면서 상기 제1 구동부(311)의 양측에 대칭으로 구비된다. In addition, the first R guide rail 312 is coupled to an upper surface of the X-axis moving plate 210 and is provided symmetrically on both sides of the first driver 311 while having a predetermined radius of curvature R1.

또한, 상기 제1 가이드 블록(313)은 상기 제1 θ축 회전 플레이(320)의 하면에 결합되어 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 이동에 의해 상기 제1 R 가이드 레일(312)을 따라 이동된다. In addition, the first guide block 313 is coupled to a lower surface of the first θ-axis rotation play 320 to move the first R guide rail 312 by the movement of the first θ-axis rotation plate 320. Is moved along.

또한, 상기 크로스 베어링(314)은 상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상면에 결합되어 제1 구동부(311)의 상부에 배치된 장치들의 하중을 지지하며, 하나 이상 구비되는 것이 바람직하다. In addition, the cross bearing 314 is coupled to the upper surface of the X-axis moving plate 210 to support the load of the devices disposed on the upper portion of the first drive 311, it is preferably provided with one or more.

그리고 상기 제1 구동부(311)는 동력원인 제1모터와, 제1직선운동부(311a)와, 제1매개운동부(311b) 및 제1회전운동부(311c)를 포함하여 이루어진다. The first driving unit 311 includes a first motor as a power source, a first linear movement unit 311a, a first mediated movement unit 311b, and a first rotational movement unit 311c.

또한, 상기 제1직선운동부(311a)는 상기 제1모터의 동력을 직선운동으로 변환시킨다. In addition, the first linear motion unit 311a converts the power of the first motor into a linear motion.

또한, 상기 제1회전운동부(311c)는 상기 제1 R 가이드 레일(312)과 함께 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 하면에 구속되어 상기 제1직선운동부(311a)에 의해 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 이동하는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)가 회전할 수 있도록 직선운동을 회전운동으로 변환시킨다. In addition, the first rotary motion part 311c is constrained to the lower surface of the first θ-axis rotary plate 320 together with the first R guide rail 312 so that the inspection station is moved by the first linear motion part 311a. A linear motion is converted into a rotational motion so that the first θ-axis rotation plate 320 moving in the longitudinal direction of (11) can rotate.

또한, 상기 제1매개운동부(311b)는 상기 제1직선운동부(311a)와 제1회전운동부(311c) 사이에는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 직선운동이 회전운동으로 변환될 때 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 회전을 원활하게 한다. In addition, the first intermediate movement part 311b is the linear movement of the first θ-axis rotation plate 320 between the first linear movement portion 311a and the first rotational movement portion 311c when the linear motion is converted into rotational movements. Smooth rotation of the first θ-axis rotating plate 320.

이때, 상기 제1직선운동부(311a)는 상기 제1모터(M)에 결합되어 모터 구동에 의해 회전하는 제1볼 스크류(BS)와, 상기 제1볼 스크류(BS)에 결합되어 제1볼 스크류(BS)의 회전에 의해 이동하는 제1볼 스크류 너트(BSN)와, 상기 제1볼 스크류(BS)의 축방향과 평행하도록 양측에 대칭으로 배치된 제1 LM 가이드(LM1)를 포함하여 이루어진다.At this time, the first linear motion part 311a is coupled to the first motor M and rotates by a motor drive, and is coupled to the first ball screw BS and the first ball screw BS. Including a first ball screw nut (BSN) moving by the rotation of the screw (BS), and the first LM guide (LM1) disposed symmetrically on both sides parallel to the axial direction of the first ball screw (BS) Is done.

또한, 상기 제1매개운동부(311b)는 상기 제1볼 스크류 너트(BSN) 및 제1 LM 가이드(LM1) 상부에 결합된 제1매개결합판(GP)과, 상기 제1매개결합판(GP)의 상부에 결합되며, 상기 제1볼 스크류(BS)의 축방향과 직각 방향으로 배치된 제1 크로스 LM 가이드(LM2)를 포함하여 이루어진다. In addition, the first intermediary movement part 311b includes a first intermediary coupling plate GP coupled to the first ball screw nut BSN and the first LM guide LM1, and the first intermediary coupling plate GP. It is coupled to the upper portion of, and comprises a first cross LM guide (LM2) disposed in the direction perpendicular to the axial direction of the first ball screw (BS).

또한, 상기 제1회전운동부(311c)는 상기 제1 크로스 LM 가이드(LM2)의 상부에 결합된 제1회전결합판(RP)과, 상기 제1회전결합판(RP)의 상부에 결합되면서 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 하면에 결합되어 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)가 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 이동될 때, 회전하는 제1회전원판(TP)을 포함하여 이루어진다.The first rotary motion part 311c may be coupled to an upper portion of the first rotary coupling plate RP coupled to the upper portion of the first cross LM guide LM2 and to the upper portion of the first rotary coupled plate RP. It is coupled to the lower surface of the first θ-axis rotation plate 320 includes a first rotating disc TP that rotates when the first θ-axis rotation plate 320 is moved in the longitudinal direction of the inspection station 11 It is done by

한편, 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)에는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 중심부를 기준으로 일측과 타측이 높낮이가 다른 단턱부(321)가 형성된다.On the other hand, the first θ-axis rotation plate 320 is formed with a stepped portion 321 having a different height from one side and the other side with respect to the center of the first θ-axis rotation plate 320.

그리고 상기 단턱부(321)의 하부측인 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320) 일측의 상부하면(323)에는 제2 로터리 유닛(400)이 구비된다. In addition, a second rotary unit 400 is provided on an upper surface 323 of one side of the first θ-axis rotating plate 320, which is a lower side of the stepped part 321.

이때, 상기 제2 로터리 유닛(400)은 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부하면(323) 상부에 구비된 제2 θ축 구동부(410)와, 상기 제2 θ축 구동부(410)의 상부에 구비되어 제2 θ축 구동부(410)의 구동에 의해 회전하는 제2 θ축 회전 플레이트(420)를 포함하여 이루어진다. In this case, the second rotary unit 400 includes a second θ-axis driver 410 provided on an upper surface 323 of the first θ-axis rotating plate 320, and the second θ-axis driver 410. And a second θ-axis rotation plate 420 provided at an upper portion thereof to rotate by driving of the second θ-axis driver 410.

또한, 상기 제2 θ축 구동부(410)는 제2 구동부(411)와, 제2 R 가이드 레일(412) 및 제2 가이드 블록(413)을 포함하여 이루어진다.In addition, the second θ-axis driver 410 includes a second driver 411, a second R guide rail 412, and a second guide block 413.

또한, 상기 제2 구동부(411)는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부하면(323)에 결합되어 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)를 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 구동시킨다. In addition, the second driving unit 411 is coupled to the upper surface 323 of the first θ axis rotation plate 320 to move the second θ axis rotation plate 420 in the longitudinal direction of the inspection station 11. Drive it.

또한, 상기 제2 R 가이드 레일(412)은 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부하면(323)에 결합되고, 일정 곡률 반경(R2)을 갖으면서 상기 제2 구동부(411)의 양측에 대칭으로 구비된다.In addition, the second R guide rail 412 is coupled to the upper surface 323 of the first θ-axis rotation plate 320, both sides of the second drive unit 411 having a predetermined radius of curvature (R2). Is provided symmetrically.

또한, 상기 제2 가이드 블록(413)은 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 하면에 결합되어 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 이동에 의해 상기 제2 R 가이드 레일(412)을 따라 이동된다. In addition, the second guide block 413 is coupled to a lower surface of the second θ axis rotation plate 420 to move the second R guide rail 412 by the movement of the second θ axis rotation plate 420. Is moved along.

그리고 상기 제2 구동부(411)는 동력원인 제2모터와, 제2직선운동부(411a)와, 제2매개운동부(411b) 및 제2회전운동부(411c)를 포함하여 이루어진다. The second drive unit 411 includes a second motor as a power source, a second linear movement unit 411a, a second mediated movement unit 411b, and a second rotational movement unit 411c.

또한, 상기 제2직선운동부(411a)는 상기 제2모터의 동력을 직선운동으로 변환시킨다.In addition, the second linear motion unit 411a converts the power of the second motor into a linear motion.

또한, 상기 제2회전운동부(411c)는 상기 제2 R 가이드 레일(412)과 함께 상기 제2 θ축 회전 플레이(420)의 하면에 구속되어 상기 제2직선운동부(411a)에 의해 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 이동하는 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)가 회전할 수 있도록 직선운동을 회전운동으로 변환시킨다.In addition, the second rotary motion part 411c is constrained to the lower surface of the second θ-axis rotary play 420 together with the second R guide rail 412 so that the inspection station is moved by the second linear motion part 411a. The linear motion is converted into a rotational motion so that the second θ-axis rotation plate 420 moving in the longitudinal direction of (11) can rotate.

또한, 상기 제2매개운동부(411b)는 상기 제2직선운동부(411a)와 제2회전운동부(411c) 사이에는 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 직선운동이 회전운동으로 변환될 때 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 회전을 원활하게 하는 를 포함하여 이루어진다. In addition, the second mediated movement part 411b is configured to convert the linear motion of the second θ-axis rotation plate 420 into a rotational motion between the second linear motion part 411a and the second rotational motion part 411c. It is made to include to facilitate the rotation of the second θ-axis rotation plate 420.

이때, 상기 제2직선운동부(411a)는 상기 제2모터에 결합되어 모터 구동에 의해 회전하는 제2볼 스크류와, 상기 제2볼 스크류에 결합되어 제2볼 스크류의 회전에 의해 이동하는 제2볼 스크류 너트와, 상기 제2볼 스크류의 축방향과 평행하도록 양측에 대칭으로 배치된 제2 LM 가이드를 포함하여 이루어진다. At this time, the second linear motion portion 411a is coupled to the second motor and rotated by a motor drive, and a second ball screw coupled to the second ball screw and moved by rotation of the second ball screw. And a ball screw nut and a second LM guide disposed symmetrically on both sides so as to be parallel to the axial direction of the second ball screw.

또한, 상기 제2매개운동부(411b)는 상기 제2볼 스크류 너트 및 제2 LM 가이드 상부에 결합된 제2매개결합판과, 상기 제2매개결합판의 상부에 결합되며, 상기 제2볼 스크류의 축방향과 직각 방향으로 배치된 제2 크로스 LM 가이드를 포함하여 이루어진다. In addition, the second mediation movement part 411b is coupled to the second mediation plate coupled to the second ball screw nut and the upper part of the second LM guide, the second mediation plate, the second ball screw It comprises a second cross LM guide disposed in the direction perpendicular to the axial direction of.

또한, 상기 제2회전운동부(411c)는 상기 제2 크로스 LM 가이드의 상부에 결합된 제2회전결합판과, 상기 제2회전결합판의 상부에 결합되면서 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 하면에 결합되어 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)가 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 이동될 때, 회전하는 제2회전원판을 포함하여 이루어진다.In addition, the second rotary motion part 411c is coupled to an upper part of the second rotary coupling plate coupled to the upper part of the second cross LM guide, and the second θ-axis rotary plate 420. When coupled to the lower surface of the second θ-axis rotation plate 420 is moved in the longitudinal direction of the inspection station 11, it comprises a second rotating disk to rotate.

즉, 상기 제1 구동부(311)의 제1모터(M)가 구동되면 제1볼 스크류(BS)의 회전에 의해 상기 제1LM 가이드(LM1)가 직선운동을 하게 되며, 상기 제1 LM 가이드(LM1)에 결합된 제1매개결합판(GP)도 따라서 직선운동을 한다.That is, when the first motor M of the first driving unit 311 is driven, the first LM guide LM1 is linearly moved by the rotation of the first ball screw BS, and the first LM guide ( The first mediated coupling plate GP coupled to LM1 also makes a linear motion.

이때, 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)는 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 힘이 작용하면서 제1 가이드 블록(313)은 상기 제1 R 가이드 레일(312)을 따라 이동하게 된다.At this time, the first θ-axis rotation plate 320 is a force acting in the longitudinal direction of the inspection station 11, the first guide block 313 is moved along the first R guide rail 312.

또한, 상기 제1 가이드 블록(313)이 상기 제1 R 가이드 레일(312)을 따라 이동하게 되면서 상기 제1회전원판(TP)이 회전하게 되어 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)는 회전하게 된다.In addition, as the first guide block 313 moves along the first R guide rail 312, the first rotation disc TP rotates to rotate the first θ-axis rotation plate 320. do.

이와 동시에 상기 제1 크로스 LM 가이드(LM2)는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)에 작용되는 직선방향의 힘에 상호작용하여 완충작용을 하도록 상기 제1매개결합판(GP)의 진행방향의 직각방향으로 구동된다.At the same time, the first cross LM guide LM2 is in the traveling direction of the first mediated coupling plate GP to act as a shock absorber by interacting with a linear force acting on the first θ-axis rotating plate 320. Driven in a right direction.

따라서 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)는 제1 구동부(311)의 구동에 의해 회전함으로써 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정할 수 있다. Therefore, the first θ-axis rotation plate 320 may be rotated by the driving of the first driver 311 to adjust the θ-axis alignment of the inspection object.

또한, 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 작동원리도 상기에서 설명한 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 회전 구동방법과 동일하여 자세한 설명은 생략하도록 한다. In addition, the operation principle of the second θ-axis rotation plate 420 is also the same as the rotation driving method of the first θ-axis rotation plate 320 described above, so a detailed description thereof will be omitted.

한편, 상기 그립퍼부(500)는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320) 타측의 상부상면(322)에 구비된 제1그립퍼부(510)와, 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 상부에 구비된 제2그립퍼부(520)를 포함하여 이루어진다.Meanwhile, the gripper part 500 includes a first gripper part 510 provided on the upper upper surface 322 of the other side of the first θ axis rotating plate 320 and an upper portion of the second θ axis rotating plate 420. It comprises a second gripper portion 520 provided in.

또한, 상기 제1,2 그립퍼부(510,520)는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부상면(322) 및 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 상면에 결합되며 상기 검사 대상체를 진공 흡착하는 진공판(VP)이 구비된다.In addition, the first and second gripper parts 510 and 520 may be coupled to an upper surface 322 of the first θ-axis rotation plate 320 and an upper surface of the second θ-axis rotation plate 420 to vacuum the test object. A vacuum plate VP for adsorption is provided.

또한, 상기 제1그립퍼부(510)에 구비된 검사 대상체 또는 상기 제1,2그립퍼부(510,520)에 함께 구비된 검사 대상체는 상기 제1 로터리 유닛(300)을 구동시켜 θ축 얼라인 조정된다.In addition, the test object provided in the first gripper part 510 or the test object provided in the first and second gripper parts 510 and 520 may be aligned with the θ-axis by driving the first rotary unit 300. .

그리고 상기 제1 및 제2 그립퍼부(510,520) 각각에 구비된 제1 및 제2 검사 대상체는, 상기 제1 로터리 유닛(300)을 구동시켜 상기 제1 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정한 후, 상기 제2 로터리 유닛(400)을 구동시켜 상기 제2 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정하여 이동시킴으로써 상기 2개의 검사 대상체가 정 위치에 구비된 상태에서 이동된다. The first and second test objects provided in the first and second gripper parts 510 and 520 respectively adjust the θ-axis alignment of the first test object by driving the first rotary unit 300. In addition, by driving the second rotary unit 400 to adjust and move the θ axis alignment of the second test object, the two test objects are moved in a state provided in the correct position.

즉, 상기 검출부의 비전 카메라(vision camera)(미도시)에 의해 상기 제1검사대상체(M1)에 각인되어 있는 마크(mark)(미도시) 이미지를 취득하여 틀어진 만큼 제1검사 대상체(M1)의 θ축 얼라인을 조정한다.That is, the first inspection object M1 is acquired by obtaining a mark (not shown) image imprinted on the first inspection object M1 by a vision camera (not shown) of the detection unit. Adjust the θ axis alignment of.

마찬가지로 상기 제2 검사 대상체(M2)에 각인되어 있는 마크(mark)(미도시) 이미지를 취득하여 틀어진 만큼 제2검사 대상체(M1)의 θ축 얼라인을 조정하여 상기 제1,2 검사 대상체(M1,M2)를 정 위치에 위치시킨 후 이동하게 된다. Similarly, by acquiring a mark (not shown) image imprinted on the second test object M2 and adjusting the θ-axis alignment of the second test object M1 as much as it is distorted, the first and second test objects ( After moving M1, M2 to the right position, it moves.

다시 말해서 상기 제1 로터리 유닛(300)의 구동에 의해 상기 제1,2 그립퍼부(510,520)가 회전되며, 상기 제2 로터리 유닛(400)의 구동에 의해 상기 제2 그립퍼부(520)가 회전된다. In other words, the first and second gripper parts 510 and 520 are rotated by the driving of the first rotary unit 300, and the second gripper part 520 is rotated by the driving of the second rotary unit 400. do.

이에 따라 검사 대상체의 크기가 큰 경우 상기 제1,2 그립퍼(510,520)에 하나의 검사 대상체를 장착하여 상기 제1 로터리 유닛(300)을 구동시켜 θ축 얼라인을 조정할 수 있다. Accordingly, when the size of the test object is large, one test object may be mounted on the first and second grippers 510 and 520 to drive the first rotary unit 300 to adjust the θ-axis alignment.

또한, 검사 대상체의 크기가 작은 경우 상기 제1,2 그립퍼(510,520) 각각에 2개의 검사 대상체를 장착하여 상기 제1 로터리 유닛(300)을 구동시켜 제1검사 대상체(M1) θ축 얼라인 조정한 후, 상기 제2 로터리 유닛(400)을 구동시켜 제2검사 대상체(M2) θ축 얼라인 조정할 수 있다. In addition, when the size of the test object is small, two test objects are mounted on each of the first and second grippers 510 and 520 to drive the first rotary unit 300 to adjust the θ axis alignment of the first test object M1. After that, the second rotary unit 400 may be driven to adjust the θ-axis alignment of the second inspection object M2.

따라서 다양한 사이즈의 검사 대상체를 수용할 수 있다. Therefore, the test object of various sizes can be accommodated.

또한, 상기 제1 로터리 유닛(300)과 제2 로터리 유닛(400)의 각각의 구동에 대해 상기 제1,2 그립퍼(510,520)가 회전될 경우 상기 제1,2 검사 대상체(M1,M2)가 충돌할 수 있는 문제가 있다.In addition, when the first and second grippers 510 and 520 are rotated with respect to driving of the first rotary unit 300 and the second rotary unit 400, the first and second test objects M1 and M2 may be rotated. There is a problem that can conflict.

따라서 상기 제1 로터리 유닛(300)을 구동시켜 제1,2 그립퍼(510,520)를 회전시키고 제2 로터리 유닛(400)을 구동시켜 제2 그립퍼(520)를 회전시킴에 따라 상기 제1,2 검사 대상체(M1,M2)의 충돌을 방지할 수 있다. Accordingly, the first and second inspections are performed by driving the first rotary unit 300 to rotate the first and second grippers 510 and 520, and driving the second rotary unit 400 to rotate the second gripper 520. The collision of the objects M1 and M2 may be prevented.

또한, 본 발명에 따른 검사장비는 양측의 X 축 무빙 플레이트(210) 상부에 제1 θ축 구동부(310)와 제2 θ축 구동부(410)가 구비되며, 양측 중 한곳에만 상기 제1,2 구동부(311,411)가 구비된다. In addition, the inspection apparatus according to the present invention is provided with a first θ axis driver 310 and a second θ axis driver 410 on the X-axis moving plate 210 on both sides, only one of the sides of the first, second Driving units 311 and 411 are provided.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.Although the present invention has been described in detail through specific examples, it is intended to describe the present invention in detail, and the present invention is not limited thereto, and should be understood by those skilled in the art within the technical spirit of the present invention. It is obvious that modifications and improvements are possible.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.Simple modifications and variations of the present invention all fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.

10 : 이송장치 100 : 레일부
200 : 슬라이딩 유닛 210 : X 축 무빙 플레이트
300 : 제1 로터리 유닛 310 : 제1 θ축 구동부
311 : 제1 구동부 311a : 제1직선운동부
311b : 제1매개운동부 311c : 제1회전운동부
312 : 제1 R 가이드 레일 313 : 제1 가이드 블록
314 : 크로스 베어링 320 : 제1 θ축 회전 플레이트
321 : 단턱부 322 : 상부상면
323 : 상부하면 400 : 제2 로터리 유닛
410 : 제2 θ축 구동부 411 : 제2 구동부
412 : 제2 R 가이드 레일 413 : 제2 가이드 블록
420 : 제2 θ축 회전 플레이트 500 : 그립퍼부
510 : 제1 그립퍼부 520 : 제2 그립퍼부
M : 모터 GP : 매개결합판
RP : 회전결합판 TP : 회전원판
BS : 볼 스크류 VP : 진공판
BSN : 볼 스크류 너트 LM1 : LM 가이드
LM2 : 크로스 LM 가이드 10: transfer device 100: rail portion
200: sliding unit 210: X axis moving plate
300: first rotary unit 310: first θ-axis driver
311: first driving part 311a: first linear motion part
311b: first intermediate motion part 311c: first rotational motion part
312: first R guide rail 313: first guide block
314 cross bearing 320 first θ axis rotation plate
321: step 322: the upper upper surface
323: upper surface 400: second rotary unit
410: second θ axis driver 411: second driver
412: 2nd R guide rail 413: 2nd guide block
420: second θ axis rotation plate 500: gripper portion
510: first gripper portion 520: second gripper portion
M: Motor GP: Intermediate coupling plate
RP: Rotating Plate TP: Rotating Disc
BS: Ball Screw VP: Vacuum Plate
BSN: Ball Screw Nut LM1: LM Guide
LM2: Cross LM Guide

Claims (10)

검사 대상체를 검사 스테이션의 길이방향을 따라 이동시키는 이송장치와, 상기 검사 대상체의 결함을 검출하는 검출기를 구비한 AOI(Automated Optical Inspection) 검사 장비에 있어서,
상기 이송장치(10)는,
상기 검사 스테이션(11)의 길이방향을 따라 배치된 레일부(100)와,
상기 레일부(100)를 따라 슬라이딩 이동되는 슬라이딩 유닛(200)과,
상기 슬라이딩 유닛(200)의 상부에 구비되어 상기 검사 대상체가 장착되는 그립퍼부(500)를 포함하여 이루어지되,
상기 그립퍼부(500)와 슬라이딩 유닛(200) 사이에는 상기 그립퍼부(500)를 회전시켜 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정하는 제1 로터리 유닛(300)이 더 구비되어 상기 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정한 후 이송시킴으로써 상기 검사 대상체가 정 위치에 구비된 상태에서 이동하는 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비.
In the AOI (Automated Optical Inspection) inspection equipment having a transfer device for moving the inspection object along the longitudinal direction of the inspection station, and a detector for detecting a defect of the inspection object,
The transfer device 10,
A rail unit 100 disposed along the longitudinal direction of the inspection station 11,
A sliding unit 200 which is slid and moved along the rail unit 100,
Is provided on top of the sliding unit 200 is made to include a gripper 500 is mounted to the test object,
Between the gripper part 500 and the sliding unit 200, a first rotary unit 300 is further provided to rotate the gripper part 500 to adjust the θ-axis alignment of the test object. AOI inspection equipment, characterized in that for moving after adjusting the axis alignment in the state that the test object is provided in the correct position.
제1항에 있어서,
상기 슬라이딩 유닛(200)은 소정의 구동수단에 의하여 상기 레일부(100)를 따라 이동하는 X축 무빙 플레이트(210)가 구비되되,
상기 제1 로터리 유닛(300)은, 상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상부에 구비된 제1 θ축 구동부(310)와,
상기 제1 θ축 구동부(310)의 상부에 구비되어 제1 θ축 구동부(310)의 구동에 의해 회전하는 제1 θ축 회전 플레이트(320)를 포함하는 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비.
The method of claim 1,
The sliding unit 200 is provided with an X-axis moving plate 210 to move along the rail unit 100 by a predetermined driving means,
The first rotary unit 300, the first θ axis driving unit 310 provided on the X-axis moving plate 210,
AOI inspection equipment, characterized in that it comprises a first θ-axis rotation plate 320 is provided on the first θ-axis driver 310 to rotate by the drive of the first θ-axis driver (310).
제2항에 있어서, 상기 제1 θ축 구동부(310)는,
상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상면에 결합되어 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)를 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 구동시키는 제1 구동부(311)와,
상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상면에 결합되고, 일정 곡률 반경을 갖으면서 상기 제1 구동부(311)의 양측에 대칭으로 구비된 제1 R 가이드 레일(312)과,
상기 제1 θ축 회전 플레이(320)의 하면에 결합되어 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 이동에 의해 상기 제1 R 가이드 레일(312)을 따라 이동하는 제1 가이드 블록(313)과,
상기 X축 무빙 플레이트(210)의 상면에 결합되어 하중을 지지하는 하나 이상의 크로스 베어링(314)을 포함하는 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비.
The method of claim 2, wherein the first θ-axis driver 310 is
A first driver 311 coupled to an upper surface of the X-axis moving plate 210 to drive the first θ-axis rotating plate 320 in the longitudinal direction of the inspection station 11;
A first R guide rail 312 coupled to an upper surface of the X-axis moving plate 210 and symmetrically provided at both sides of the first driving unit 311 while having a predetermined radius of curvature;
A first guide block 313 coupled to a lower surface of the first θ-axis rotation play 320 and moving along the first R guide rail 312 by the movement of the first θ-axis rotation plate 320; ,
AOI inspection equipment, characterized in that it comprises one or more cross bearings (314) coupled to the upper surface of the X-axis moving plate 210 to support the load.
제3항에 있어서, 상기 제1 구동부(311)는,
동력원인 제1모터와,
상기 제1모터의 동력을 직선운동으로 변환시키는 제1직선운동부(311a)와,
상기 제1 R 가이드 레일(312)과 함께 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 하면에 구속되어 상기 제1직선운동부(311a)에 의해 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 이동하는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)가 회전할 수 있도록 직선운동을 회전운동으로 변환시키는 제1회전운동부(311c)와,
상기 제1직선운동부(311a)와 제1회전운동부(311c) 사이에는 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 직선운동이 회전운동으로 변환될 때 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 회전을 원활하게 하는 제1매개운동부(311b)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비.
The method of claim 3, wherein the first driving unit 311,
The first motor as the power source,
A first linear movement part 311a for converting the power of the first motor into a linear motion;
The first R guide rail 312 is coupled to the lower surface of the first θ-axis rotation plate 320 is moved by the first linear motion portion 311a in the longitudinal direction of the inspection station 11 A first rotational motion part 311c for converting the linear motion into a rotational motion so that the 1 θ-axis rotational plate 320 can rotate,
Rotation of the first θ-axis rotation plate 320 when the linear movement of the first θ-axis rotation plate 320 is converted into a rotational movement between the first linear motion portion 311a and the first rotational movement portion 311c. AOI inspection equipment, characterized in that it comprises a first mediated movement unit (311b) to smooth.
제4항에 있어서, 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)에는,
상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 중심부를 기준으로 일측과 타측이 높낮이가 다른 단턱부(321)가 형성되되,
상기 단턱부(321)의 하부측인 상기 제1 θ축 회전 플레이트(320) 일측의 상부하면(323)에는 제2 로터리 유닛(400)이 구비된 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비.
The method of claim 4, wherein the first θ-axis rotation plate 320,
One step portion 321 having different heights from one side and the other side is formed based on the center of the first θ-axis rotation plate 320,
AOI inspection equipment, characterized in that the second rotary unit 400 is provided on the upper surface (323) of one side of the first θ-axis rotation plate 320, which is the lower side of the step portion (321).
제5항에 있어서, 상기 제2 로터리 유닛(400)은,
상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부하면(323) 상부에 구비된 제2 θ축 구동부(410)와,
상기 제2 θ축 구동부(410)의 상부에 구비되어 제2 θ축 구동부(410)의 구동에 의해 회전하는 제2 θ축 회전 플레이트(420)를 포함하는 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비.
The method of claim 5, wherein the second rotary unit 400,
A second θ axis driver 410 provided on an upper surface 323 of the first θ axis rotating plate 320,
AOI inspection equipment, characterized in that it comprises a second θ-axis rotation plate 420 which is provided on the second θ-axis driver 410 and rotated by the driving of the second θ-axis driver (410).
제6항에 있어서, 상기 제2 θ축 구동부(410)는,
상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부하면(323)에 결합되어 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)를 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 구동시키는 제2 구동부(411)와,
상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부하면(323)에 결합되고, 일정 곡률 반경을 갖으면서 상기 제2 구동부(411)의 양측에 대칭으로 구비된 제2 R 가이드 레일(412)과,
상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 하면에 결합되어 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 이동에 의해 상기 제2 R 가이드 레일(412)을 따라 이동하는 제2 가이드 블록(413)을 포함하는 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비.
The method of claim 6, wherein the second θ axis driver 410 is
A second driving unit 411 coupled to the upper surface 323 of the first θ axis rotating plate 320 to drive the second θ axis rotating plate 420 in the longitudinal direction of the inspection station 11;
A second R guide rail 412 coupled to an upper surface 323 of the first θ axis rotating plate 320 and symmetrically provided at both sides of the second driving unit 411 with a predetermined radius of curvature,
The second guide block 413 coupled to the lower surface of the second θ axis rotating plate 420 and moving along the second R guide rail 412 by the movement of the second θ axis rotating plate 420. AOI inspection equipment, characterized in that it comprises.
제7항에 있어서, 상기 제2 구동부(411)는,
동력원인 제2모터와,
상기 제2모터의 동력을 직선운동으로 변환시키는 제2직선운동부(411a)와,
상기 제2 R 가이드 레일(412)과 함께 상기 제2 θ축 회전 플레이(420)의 하면에 구속되어 상기 제2직선운동부(411a)에 의해 상기 검사 스테이션(11)의 길이방향으로 이동하는 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)가 회전할 수 있도록 직선운동을 회전운동으로 변환시키는 제2회전운동부(411c)와,
상기 제2직선운동부(411a)와 제2회전운동부(411c) 사이에는 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 직선운동이 회전운동으로 변환될 때 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 회전을 원활하게 하는 제2매개운동부(411b)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비.
The method of claim 7, wherein the second drive unit 411,
A second motor as a power source,
A second linear motion part 411a for converting the power of the second motor into a linear motion;
The first and the second R guide rail 412 is constrained to the lower surface of the second θ-axis rotation play 420 is moved in the longitudinal direction of the inspection station 11 by the second linear motion portion 411a A second rotary motion part 411c for converting the linear motion into a rotary motion so that the 2 θ-axis rotation plate 420 rotates,
Rotation of the second θ-axis rotation plate 420 when the linear movement of the second θ-axis rotation plate 420 is converted into rotational movement between the second linear movement portion 411a and the second rotational movement portion 411c. AOI inspection equipment, characterized in that it comprises a second mediated movement unit (411b) to smooth.
제8항에 있어서, 상기 그립퍼부(500)는,
상기 제1 θ축 회전 플레이트(320) 타측의 상부상면(322)에 구비된 제1그립퍼부(510)와,
상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 상부에 구비된 제2그립퍼부(520)를 포함하여 이루어지며,
상기 제1그립퍼부(510)에 구비된 검사 대상체 또는 상기 제1,2그립퍼부(510,520)에 함께 구비된 검사 대상체는 상기 제1 로터리 유닛(300)을 구동시켜 θ축 얼라인 조정하되,
상기 제1 및 제2 그립퍼부(510,520) 각각에 구비된 제1 및 제2 검사 대상체는, 상기 제1 로터리 유닛(300)을 구동시켜 상기 제1 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정한 후, 상기 제2 로터리 유닛(400)을 구동시켜 상기 제2 검사 대상체의 θ축 얼라인을 조정하여 이동시킴으로써 상기 2개의 검사 대상체가 정 위치에 구비된 상태에서 이동하는 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비.
The gripper unit 500 of claim 8,
A first gripper part 510 provided on the upper upper surface 322 of the other side of the first θ-axis rotating plate 320;
It comprises a second gripper portion 520 provided on the second θ-axis rotation plate 420,
The test object provided in the first gripper part 510 or the test object provided in the first and second gripper parts 510 and 520 may be aligned with the θ-axis by driving the first rotary unit 300.
The first and second test objects provided in the first and second gripper parts 510 and 520 respectively drive the first rotary unit 300 to adjust the θ axis alignment of the first test object. And driving the second rotary unit (400) to adjust and move the θ-axis alignment of the second test object to move in a state where the two test objects are provided at the correct positions.
제9항에 있어서, 상기 제1,2 그립퍼부(510,520)는,
상기 제1 θ축 회전 플레이트(320)의 상부상면(322) 및 상기 제2 θ축 회전 플레이트(420)의 상면에 결합되며 상기 검사 대상체를 진공 흡착하는 진공판(VP)이 구비된 것을 특징으로 하는 AOI 검사 장비. The method of claim 9, wherein the first and second gripper parts (510, 520),
A vacuum plate VP coupled to an upper top surface 322 of the first θ-axis rotating plate 320 and an upper surface of the second θ-axis rotating plate 420 is provided to vacuum-adsorb the test object. AOI inspection equipment.
KR1020180041130A 2018-04-09 2018-04-09 AOI inspection equipment that can adjust θ axis alignment of side dual gripper drive system KR102052135B1 (en)

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