KR20160068414A - A Moving Stage for X-ray Inspection and An Apparatus with the Same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 엑스레이 검사를 위한 이동 스테이지 및 이를 가진 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 피검사 대상이 고정된 검사 트레이를 검사 영역으로 이동시키는 엑스레이 검사를 위한 이동 스테이지 및 이를 가진 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a moving stage for X-ray inspection and an X-ray inspection apparatus having the same, and more particularly to a moving stage for X- .
엑스레이 검사는 의료 분야를 비롯한 다양한 산업 분야에 적용되고 있고 각각의 적용 분야에서 제품 유형에 따른 다양한 형태의 검사 장치가 공지되어 있다. 예를 들어 제품의 결함을 검사하기 위한 인쇄회로기판의 결함 검사, 모바일 기기의 결함 검사, 식품 용기의 결함 검사 또는 의약품 또는 음식물에 포함된 이물질 검출을 위하여 엑스레이 검사 장치가 적용될 수 있다. 일반적으로 엑스레이 검사 장치에서 피검사 대상은 컨베이어와 같은 이송 수단에 의하여 연속적으로 공급이 되거나 또는 개별적으로 트레이에 적재되어 공급될 수 있다. 그리고 컨베이어 또는 트레이에 대하여 수직방향으로 피검사 대상에 대하여 엑스레이가 조사되어 이미지가 얻어질 수 있다. 그러나 피검사 대상의 구조에 따라 엑스레이가 수직으로 조사되는 경우 필요한 검사 이미지가 얻어지기 어려울 수 있다. X-ray inspection is applied to various industrial fields including medical field, and various types of inspection devices according to product types are known in each application field. For example, an x-ray inspection apparatus may be applied to defect inspection of a printed circuit board for inspecting defects of a product, defect inspection of a mobile device, defect inspection of a food container, or foreign matter contained in medicine or food. Generally, in an X-ray inspection apparatus, objects to be inspected can be supplied continuously by a conveying means such as a conveyor or individually loaded on a tray. Then, an image can be obtained by irradiating the object to be inspected with the X-ray in the vertical direction with respect to the conveyor or the tray. However, depending on the structure of the object to be inspected, it may be difficult to obtain a necessary inspection image when the X-rays are vertically irradiated.
엑스레이 검사와 관련된 선행기술로 특허등록번호 제0978054호 배터리 엑스레이 검사장치가 있다. 상기 선행기술은 피검사 대상이 XYZ-축을 비롯하여 회전이 되어 다양한 각도에서 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이러한 목적을 위하여 상기 선행기술은 케이스 전면 부분에 슬라이딩 도어가 형성되고, 상기 슬라이딩 도어의 측면에 센서가 설치되고, 상기 엑스레이 튜브와 디텍터 사이에 모터에 의하여 회전 가능하도록 가이드를 가진 고정 테이블과, 하부에 상기 고정 테이블의 가이드를 따라 y축 수평 이동 가능하도록 결합구가 배치되고, 상부에 모터에 의하여 회전 가능하도록 가이드를 가진 Y축 이동 테이블이 배치되고, 상부에 모터에 의하여 회전 가능하도록 가이드가 구성되는 X축 이동 테이블과, 상기 X-축 이동 테이블을 따라 Y축 수평 이동 가능하도록 결합구가 배치되고, 상부의 양측 부분에 안착 유닛이 형성되어 상기 안착 유닛 사이에 피검사 대상이 위치되는 안착 프레임을 가진 트레이가 배치된 테이블을 가진 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다. Prior art relating to x-ray inspection is Patent No. 0978054, a battery x-ray inspection device. The prior art aims to provide an X-ray inspection apparatus capable of rotating an object to be inspected, including an XYZ-axis, at various angles. For this purpose, the prior art includes a fixed table having a sliding door formed on a front surface of the case, a sensor provided on a side surface of the sliding door, a guide between the x-ray tube and the detector to be rotatable by a motor, A Y-axis moving table having a guide rotatable by a motor is disposed at an upper portion thereof, a guide is provided at an upper portion of the Y-axis moving table so as to be rotatable by a motor, An X-axis moving table for moving the X-axis moving table in the Y-axis direction, a coupling opening for moving the Y-axis horizontally along the X-axis moving table, a seating unit formed on both sides of the upper portion, Ray inspection apparatus having a table on which a tray having a plurality of trays is disposed.
엑스레이 검사 장치와 관련된 다른 선행기술로 특허등록번호 제1133048호 배터리 검사 장치가 있다. 상기 선행기술은 배터리의 검사 과정에서 엑스레이가 차단이 되도록 배터리를 로딩 및 언-로딩을 하는 제1 스테이지로부터 배터리를 검사하는 제2 스테이지를 차폐하는 격벽과, 외부로부터 제2 스테이지를 차폐하는 외벽을 구비하는 챔버; 상기 제1 스테이지로 상기 배터리를 이송하는 로딩 유닛, 상기 제1 스테이지에서 상기 챔버의 외부로 상기 배터리를 이송하는 언-로딩 유닛 및 상기 배터리의 검사를 위하여 상기 로딩 유닛으로부터 전달받은 상기 배터리를 상기 제2 스테이지로 이송하고, 상기 배터리의 검사가 종료되면 상기 배터리를 상기 언-로딩 유닛으로 전달하기 위하여 다시 상기 제1 스테이지로 이송하는 이송 유닛을 포함하고, 상기 이송 유닛은 상기 격벽에 형성되는 통공 부분을 통해 상기 제1 및 2 스테이지 사이에 상기 배터리의 검사를 위한 경로를 형성하는 이송 경로 부분 및 상기 배터리가 각각 세팅이 될 수 있으며, 상기 경로를 따라 개별적으로 이동 가능하게 상기 이송 경로 부분에 상기 제1 스테이지에서 상기 제2 스테이지를 향하는 방향으로 순차적으로 배치되는 제1 및 제2 이송 지그를 포함하는 배터리 검사 장치에 대하여 개시한다. Another prior art related to x-ray inspection apparatus is patent registration number 1133048 battery inspection apparatus. The prior art includes a partition wall for shielding a second stage for inspecting a battery from a first stage for loading and unloading the battery so that the x-ray is interrupted during the inspection of the battery, and an outer wall for shielding the second stage from the outside A chamber; A loading unit for transferring the battery to the first stage, an unloading unit for transferring the battery to the outside of the chamber in the first stage, and an unloading unit for transferring the battery received from the loading unit, And a transfer unit for transferring the battery to the first stage and the transfer unit for transferring the battery to the first stage and the second stage for transferring the battery to the unloading unit when the inspection of the battery is completed, A transfer path portion for forming a path for inspecting the battery between the first and second stages via the first and second stages and the battery may be set respectively, A first stage arranged in a direction from the first stage toward the second stage, And a second conveying jig.
엑스레이 검사 장치에서 피검사 대상이 적재되는 검사 트레이 또는 검사 스테이지는 피검사 대상을 검사 위치로 이동시키기 위한 다양한 이송 수단을 가질 수 있다. 이와 동시에 검사 트레이는 피검사 대상을 고정할 수 있는 적절한 형상을 가질 수 있다. 이로 인하여 피검사 대상의 종류에 따라 다양한 구조를 가지는 이송 구조 또는 트레이 구조가 만들어질 필요가 있다. 또한 검사 스테이지 또는 검사 트레이의 이동을 위하여 케이블 배선이 적절하게 배치되어야 한다. 그러나 이와 같은 다양한 이동 구조 및 그에 따라 케이블 배선은 검사 장치를 복잡하게 만들면서 검사 장치의 유지 및 보수가 어렵게 한다. 선행기술은 이러한 문제를 해결하기 위한 방법을 제시하지 않는다. The inspection tray or the inspection stage on which an object to be inspected is loaded in the X-ray inspection apparatus may have various transporting means for moving the object to be inspected to the inspection position. At the same time, the inspection tray can have a proper shape to fix the object to be inspected. Therefore, a transfer structure or a tray structure having various structures needs to be formed depending on the type of object to be inspected. In addition, the cable routing shall be properly arranged for movement of the inspection stage or inspection tray. However, such a variety of moving structures, and thus cable wiring, complicate the testing apparatus and make it difficult to maintain and repair the testing apparatus. The prior art does not provide a way to solve this problem.
본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다. The present invention has been made to solve the problems of the prior art and has the following purpose.
본 발명의 목적은 피검사 대상이 고정된 검사 트레이를 검사 영역으로 이동시켜 임의의 방향으로 검사가 가능하도록 하는 엑스레이 검사를 위한 검사 스테이지 및 이를 가진 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide an inspection stage for an X-ray inspection and an X-ray inspection apparatus having the inspection stage for moving an inspection tray to which an object to be inspected is fixed to an inspection area so that the inspection can be performed in an arbitrary direction.
본 발명의 다른 목적은 인라인 검사 및 수동 검사가 모두 가능하도록 하는 엑스레이 검사를 위한 검사 스테이지 및 이를 가진 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것이다. It is another object of the present invention to provide an inspection stage for an X-ray inspection and an X-ray inspection apparatus having the inspection stage for enabling both in-line inspection and manual inspection.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 검사를 위한 검사 스테이지는 피검사 대상이 적재되는 수용 플레이트; 수용 플레이트에 배치되어 피검사 대상을 정렬시키는 한 쌍의 정렬 블록; 수용 플레이트에 배치되어 피검사 대상의 이동을 제한하는 스토퍼; 및 수용 플레이트를 임의의 각으로 회전시키는 회전 전환 유닛을 포함한다. According to a preferred embodiment of the present invention, the inspection stage for x-ray inspection comprises: a receiving plate on which an object to be inspected is loaded; A pair of alignment blocks arranged on the receiving plate to align the subject to be inspected; A stopper disposed on the receiving plate for restricting movement of the object to be inspected; And a rotation switching unit for rotating the receiving plate at an arbitrary angle.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 한 쌍의 정렬 블록의 하나는 고정 홈(125)에 결합되고, 다른 하나는 탄성 유닛에 의하여 지지된다. According to another preferred embodiment of the present invention, one of the pair of alignment blocks is coupled to the
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 수용 플레이트에 형성된 이동 홈에 결합되는 인라인 이송 유닛을 더 포함한다. According to another preferred embodiment of the present invention, the apparatus further comprises an inline transport unit coupled to the moving groove formed in the receiving plate.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 스토퍼는 상하 이동이 가능하다. According to another preferred embodiment of the present invention, the stopper is movable up and down.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 검사 장치는 제1 방향으로 연장되는 이송 컨베이어; 이송 컨베이어를 따라 이송되는 피검사 대상을 수용하여 정렬시키는 검사 스테이지; 검사 스테이지를 제1 방향으로 이동시켜 검사 영역으로 유도하고 이송 컨베이어에 연결된 제1 방향 가이드; 상기 검사 영역에 설치되는 엑스레이 튜브 및 디텍터; 및 이송 컨베이어에 설치되는 적어도 하나의 셔터를 포함하고, 상기 검사 스테이지는 피검사 대상의 임의의 각으로 회전을 시키는 회전 전환 유닛을 가진다. According to another preferred embodiment of the present invention, the x-ray inspection apparatus comprises a conveying conveyor extending in a first direction; An inspection stage for receiving and aligning the objects to be inspected conveyed along the conveyance conveyor; A first direction guide moving the inspection stage in a first direction to guide it to the inspection area and connected to the conveying conveyor; An X-ray tube and a detector installed in the inspection area; And at least one shutter installed on the conveying conveyor, wherein the inspection stage has a rotation switching unit for rotating at an arbitrary angle of the object to be inspected.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 피검사 대상은 이송 컨베이어로 이동되어 인라인으로 공급되거나 또는 도어의 개폐에 의하여 공급된다. According to another preferred embodiment of the present invention, the object to be inspected is moved to the conveying conveyor and supplied in-line or by opening and closing the door.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 엑스레이 튜브 및 디텍터는 제1 방향 가이드의 연장 방향에 대하여 경사진 방향으로 회전이 가능한 C형 암에 결합된다. According to another preferred embodiment of the present invention, the x-ray tube and the detector are coupled to a C-arm which is rotatable in an inclined direction with respect to the extending direction of the first direction guide.
본 발명에 따른 검사 스테이지는 이동을 위한 복잡한 케이블 배선이 사용되지 않는 것에 의하여 구조가 간단하면서 유지 및 보수에 따른 노력이 감소되도록 한다. 또한 본 발명에 따른 검사 스테이지는 검사가 완료된 이후 최초 위치로 되돌아가 다시 위치 결정 과정이 실행되어야 하는 이동 과정의 복잡함이 제거되도록 한다. 추가로 본 발명에 따른 검사 장치는 전환 이송 유닛을 가지는 것에 의하여 단독으로 또는 인라인 설비에 연결되어 사용될 수 있도록 한다. The inspection stage according to the present invention is simple in structure and reduces maintenance and maintenance efforts by not using complicated cable wiring for movement. Also, the inspection stage according to the present invention returns to the initial position after the inspection is completed, thereby eliminating the complexity of the movement process in which the positioning process should be performed again. Further, the inspection apparatus according to the present invention can be used alone or in connection with an inline facility by having a conversion transfer unit.
도 1은 본 발명에 따른 검사 스테이지의 이송 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 검사 스테이지의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용되는 C축 회전 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 검사 장치에서 검사가 진행되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다. 1 shows an embodiment of a transfer structure of an inspection stage according to the present invention.
Figures 2a and 2b show an embodiment of the inspection stage according to the invention.
3 shows an embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.
4A and 4B show an embodiment of a C-axis rotation structure applied to an inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 5 shows an example of a process of inspecting the inspection apparatus according to the present invention.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so that they will not be described repeatedly unless necessary for an understanding of the invention, and the known components will be briefly described or omitted. However, It should not be understood as being excluded from the embodiment of Fig.
도 1은 본 발명에 따른 검사 스테이지(12)의 이송 구조의 실시 예를 도시한 것이다. Fig. 1 shows an embodiment of the transfer structure of the
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 검사 스테이지(12)는 피검사 대상이 적재되는 수용 플레이트(122); 수용 플레이트(122)에 배치되어 피검사 대상을 정렬시키는 한 쌍의 정렬 블록(123a, 123a); 수용 플레이트(122)에 배치되어 피검사 대상의 이동을 제한하는 스토퍼(124); 및 수용 플레이트(122)를 임의의 각으로 회전시키는 회전 전환 유닛을 포함한다. Referring to FIG. 1, an
본 발명에 따른 검사 스테이지(12)는 전자부품 또는 배터리를 비롯하여 임의의 산업 제품의 불량 검사에 적용될 수 있다. 불량은 피검사 대상의 내부 또는 외부에 존재할 수 있고 본 발명의 따른 검사 장치는 피검사 대상에 존재하는 모든 불량 요소의 검사에 적용될 수 있다. 예를 들어 본 발명에 따른 검사 스테이지(12) 및 검사 장치는 전기적 연결 불량, 접합 불량 또는 이물질의 존재 검출에 적용될 수 있다. 그러므로 본 발명에 따른 검사 스테이지(12) 또는 검사 장치는 피검사 대상의 종류 또는 검출되어야 하는 불량의 종류에 의하여 제한되지 않는다. 본 발명에 따른 검사 스테이지(12)는 엑스레이 검사 장치에 적용될 수 있다. The
검사 스테이지(12)에 피검사 대상이 적재될 수 있고 피검사 대상은 직접 또는 검사 트레이에 수용되어 검사 스테이지(12)에 적재될 수 있다. 피검사 대상 또는 검사 트레이는 수용 플레이트(122)에 수동으로 또는 자동으로 적재될 수 있고 한 쌍의 정렬 블록(123a, 123b)에 의하여 정렬될 수 있다. 구체적으로 피검사 대상은 인라인 방식으로 연속적으로 공급되거나 또는 도어 개방에 의하여 수동으로 검사 스테이지에 공급될 수 있다. 한 쌍의 정렬 블록(123a, 123b)은 서로 마주보도록 배치된 이동 정렬 블록(123b) 및 고정 정렬 블록(123a)으로 이루어질 수 있고 그리고 이동 정렬 블록(123b)은 예를 들어 스프링과 같은 탄성 유닛에 의하여 지지될 수 있다. 또한 피검사 대상 또는 검사 트레이는 스토퍼(124)에 의하여 이동을 제한되어 정해진 위치에 고정될 수 있다. 구체적으로 한 쌍의 정렬 블록(123a, 123b)은 제1 방향으로 배치될 수 있고, 스토퍼(124)는 제1 방향의 한쪽에 배치될 수 있다. 그리고 한 쌍의 정렬 블록(123a, 123b) 사이에 피검사 대상 또는 검사 트레이가 배치되어 스토퍼(124)에 의하여 제2 방향으로 정해진 위치에 고정되고 그리고 한 쌍의 정렬 블록(123a, 123b)에 의하여 제2 방향으로 정렬될 수 있다. 그리고 검사 스테이지(12)는 제1 방향 가이드(112)를 따라 이동되어 고정 유닛(113)에 고정될 수 있다. 이후 고정 유닛(113)의 양쪽에 배치된 엑스레이 튜브 및 디텍터에 의하여 피검사 대상이 검사될 수 있다. The object to be inspected can be loaded on the
검사 과정에서 피검사 대상은 엑스레이 튜브 및 디텍터에 대하여 다양한 각도로 위치될 필요가 있다. 이를 위하여 수용 플레이트(122)가 다양한 각도로 회전될 수 있어야 한다. 수용 플레이트(122)의 아래쪽에 회전 전환 유닛이 설치될 수 있고 회전 전환 유닛은 고정 프레임(121)에 설치되어 모터와 같은 구동 장치에 의하여 회전될 수 있다. 그리고 회전 전환 유닛에 의하여 수용 플레이트(122)가 회전되고 이에 따라 피검사 대상 또는 검사 트레이가 임의의 각으로 회전될 수 있다. During the inspection, the subject to be inspected needs to be positioned at various angles with respect to the x-ray tube and the detector. To this end, the
검사 영역에서 피검사 대상의 제1 방향에 따른 위치는 엑스레이 튜브 및 디텍터의 이동에 의하여 조절되거나 또는 제2 방향 가이드(116a, 116b)에 의하여 조절될 수 있다. 제1 방향 가이드(112)는 제2 방향 가이드(116a, 116b)를 따라 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 추가로 제2 방향 가이드(116a, 116b)는 제1 방향 가이드(112)를 따라 이동되는 검사 스테이지(12)의 위치를 결정할 수 있다. 구체적으로 제1 방향 가이드(112)는 제2 방향 가이드(116a, 116b)를 따라 이동될 수 있고 그리고 제2 방향 가이드(116a, 116b)를 따라 이동되어 인라인 방식으로 컨베이어를 따라 이동되는 피검사 대상을 수용하거나 엑스레이 튜브 또는 디텍터에 대한 상대 위치가 결정되도록 할 수 있다. In the inspection area, the position of the subject to be inspected along the first direction can be adjusted by the movement of the x-ray tube and the detector or by the
제2 방향 가이드(116a, 116b) 및 제1 방향 가이드(112)는 적절한 베이스(111)에 설치될 수 있고 베이스(111)는 엑스레이 튜브 및 디턱터와 함께 밀폐된 영역을 형성할 수 있다. 그리고 밀폐된 영역은 외부에 대하여 밀폐 가능한 엑스레이 검사실이 될 수 있다. 엑스레이 검사실에서 검사 스테이지(12)는 다양한 구조로 XY-평면을 따라 이동 가능하도록 배치될 수 있고 그리고 검사 스테이지(12)에서 피검사 대상이 회전 가능하도록 배치될 수 있다. 필요에 따라 밀폐된 영역에 도어가 설치될 수 있고 도어의 개방시켜 검사 스테이지(12)에 피검사 대상을 고정시킬 수 있다. 이와 같은 본 발명에 따른 검사 스테이지(12)는 인라인 방식 또는 수동 방식에 적용될 수 있고 본 발명은 적용되는 방식에 의하여 제한되지 않는다. The second direction guides 116a and 116b and the first
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 검사 스테이지(12)의 실시 예를 도시한 것이다. 2A and 2B illustrate an embodiment of the
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 검사 스테이지(12)는 배치 프레임(21) 및 배치 프레임(21)의 아래쪽에 배치된 모터와 같은 구동 장치(23)를 포함할 수 있다. 배치 프레임(21)의 한쪽에 고정 플레이트(24)가 설치되고 그리고 다른 한쪽에 고정 부재(121)가 설치될 수 있다. 고정 부재(121)에 회전 전환 유닛(211)이 설치되고 회전 브래킷(211a)에 수용 플레이트(122)가 결합될 수 있다. 그리고 회전 전환 유닛(211)에 설치된 회전 브래킷(211a)은 구동 장치(23)에 의하여 회전되고 이로 인하여 수용 플레이트(122)가 정해진 각도로 회전될 수 있다. 구동 장치(23)의 회전각이 제어 유닛에 의하여 조절될 수 있고 이에 따라 수용 플레이트(122)의 회전각이 조절될 수 있다. 2A and 2B, the
수용 플레이트(122)에 고정 홈(125)이 형성될 수 있고, 고정 홈(125)에 고정 정렬 블록(123a)이 고정될 수 있다. 그리고 고정 정렬 블록(123a)의 맞은편에 이동 정렬 블록(123b)이 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 이동 정렬 블록(123b)은 고정 정렬 블록(123a)에 대응되는 이동 블록(231) 및 이동 블록(231)을 이동 가능하도록 지지하는 조절 블록(232)으로 이루어질 수 있다. 조절 블록(232)은 예를 들어 스프링과 같은 탄성 수단에 의하여 이동 블록(231)을 이동 가능하도록 지지하거나 또는 실린더와 같은 장치에 의하여 조절 블록(232)을 이동시킬 수 있다.The holding
고정 프레임(211)에 수용 홈(212)이 형성되고, 수용 홈(212)에 고정 브래킷(244)이 결합되어 수용 플레이트(122)의 측면에 스토퍼(124)가 결합되도록 한다. 스토퍼(124)는 고정 브래킷(244)에 결합되는 결합 블록(241), 결합 블록(241)에 높이 조절이 가능하도록 배치되는 높이 조절 가이드(242) 및 높이 조절 가이드(242)에 결합되는 접촉 블록(243)으로 이루어질 수 있다. 접촉 블록(243)은 높이 조절 가이드(242)에 의하여 피검사 대상에 접촉되는 높이가 조절될 수 있다. 또한 피검사 대상이 인라인으로 공급되지 않고 수동으로 공급되고 이로 인하여 스토퍼(124)의 작동이 요구되지 않는 경우 높이 조절 가이드(242)에 의하여 접촉 블록이 아래쪽으로 하강될 수 있다. 추가로 수용 플레이트(122)의 회전이 요구되는 경우 접촉 블록(243)은 높이 조절 가이드(242)에 의하여 아래쪽으로 이동될 수 있다. A receiving
수용 플레이트(122)에 이동 홈(271a)이 형성될 수 있고 이동 홈(271a)에 인라인 이송 유닛(271)이 결합될 수 있다. 인라인 이송 유닛(271)은 컨베이어 구조를 가질 수 있고 피검사 대상(B)의 이송을 위하여 작동될 수 있다. 구체적으로 인라인 방식으로 피검사 대상(B)이 공급되는 경우 인라인 이송 유닛(271)에 의하여 피검사 대상이 수용 플레이트(122)로 이동되고 그리고 스토퍼(124) 및 정렬 블록(123a, 123b)에 의하여 정해진 위치에 고정될 수 있다. 이후 피검사 대상(B)에 대한 검사가 완료되면, 인라인 이송 유닛(271)의 작동에 의하여 피검사 대상이 수용 플레이트(122)로부터 배출될 수 있다. 피검사 대상(B)은 예를 들어 그립퍼와 같은 이송 수단에 의하여 이동될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. A moving
본 발명에 따른 검사 스테이지(12)는 엑스레이 검사실 내부에 다수 개가 배치되어 각각 피검사 대상을 검사 영역으로 이동시킬 수 있다. A plurality of inspection stages 12 according to the present invention may be disposed in an X-ray inspection room, and each of the inspection stages 12 may be moved to an inspection area.
도 3은 본 발명에 따른 검사 장치(30)의 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 3 shows an embodiment of an
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 검사 장치(30)는 밀폐된 공간을 형성할 수 있고 외부로부터 공급되는 피검사 대상(B)은 인라인 방식으로 자동으로 또는 도어(D)의 개폐에 의하여 수동으로 검사 스테이지(12)에 수용될 수 있다. 그리고 피검사 대상(B)은 셔터(35a)의 개방에 의하여 컨베이어(C)의 작동에 의하여 검사 스테이지(12)로 이송되어 정렬될 수 있다. 대안으로 피검사 대상(B)이 적재된 검사 트레이가 셔터(35a)를 통하여 투입되어 검사 스테이지(12)에 정렬될 수 있다. 셔터(35a)는 검사 장치(30)를 외부에 대하여 밀폐시키는 기능을 가질 수 있고 필요에 따라 다양한 형태의 엑스레이 차폐 수단을 가질 수 있다. 피검사 대상(B)은 이송 컨베이어(C)를 따라 화살표로 표시된 방향(M)으로 이동되어 검사 스테이지(12)에 정렬될 수 있다. 검사 스테이지(12)에 피검사 대상(B)이 정렬되면, 검사 스테이지(12)는 제1 방향 가이드(112)를 따라 검사 영역으로 이동될 수 있다. 그리고 검사 영역의 양쪽으로 엑스레이 튜브(34) 및 디텍터(33)가 배치될 수 있다. 검사 스테이지(12)에 적재된 피검사 대상은 검사 영역에서 검사가 될 수 있고, 검사 과정에서 임의의 각으로 회전될 수 있다. 검사가 완료되면 다시 검사 스테이지(12)는 제1 방향 가이드(112)를 따라 이동될 수 있고 그리고 위에서 설명된 인라인 이송 유닛의 작동에 의하여 피검사 대상(B)이 다시 이송 컨베이어(C)에 적재될 수 있다. 이와 같은 과정에서 검사 스테이지(12)는 제2 방향 가이드(116a, 116b)를 따라 이동될 수 있다. 이후 피검사 대상(B)은 이송 컨베이어(C)를 따라 이동되어 셔터(35b)를 통하여 외부로 배출될 수 있다. 검사 과정에서 제2 방향 가이드(112)의 위치 또는 엑스레이 튜브(34)와 디텍터(33)의 위치가 제2 방향 가이드(116a, 116b)를 따른 이동에 의하여 조절될 수 있다. 3, the
본 발명에 따른 검사 장치에서 검사 스테이지(12)의 이동은 가이드 또는 모터와 같은 구동 장치에 의하여 이루어지고 별도로 이동을 제어하기 위한 배선 구조가 요구되지 않는다. 이로 인하여 전체 구조라 간단해질 수 있고 검사 과정이 용이해지도록 한다. 이에 따라 엑스레이 검사 효율이 향상되도록 한다. 추가로 본 발명에 따른 검사 장치에서 엑스레이 튜브(34) 및 디텍터(33)는 C-축을 따라 회전이 가능하고 이로 인하여 피검사 대상에 대하여 경사진(tilting) 방향으로 엑스레이를 조사하는 것이 가능하다. In the inspection apparatus according to the present invention, the movement of the
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용되는 C축 회전 구조의 실시 예를 도시한 것이다.4A and 4B show an embodiment of a C-axis rotation structure applied to an inspection apparatus according to the present invention.
도 4a는 본 발명에 따른 C축 회전 또는 틸팅 구조를 가진 엑스레이 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이고, 도 4b는 엑스레이 튜브(34) 및 디텍터(33)의 C축 회전을 구조의 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 4A shows an embodiment of the X-ray inspection apparatus having a C-axis rotation or tilting structure according to the present invention, and FIG. 4B shows an embodiment of the structure of the X-axis rotation of the X- It is.
도 4a를 참조하면, 피검사 대상은 컨베이어(C)를 따라 검사실(R)로 인라인 방식으로 공급되거나 또는 도어(D)의 개폐에 의하여 수동으로 또는 그립퍼와 같은 장치에 의하여 공급될 수 있다. 검사실(R)에 배치된 검사 스테이지(12)에 피검사 대상이 정렬되면, 검사 스테이지(12)는 제1 방향 가이드(112)를 따라 엑스레이 튜브(34) 및 디텍터(33)의 위치로 이동될 수 있다. 검사 스테이지(12)는 예를 들어 모터와 같은 구동 장치에 의하여 이동될 수 있고 다양한 방향에 대한 검사를 위하여 제1 방향 가이드(112)에 대하여 회전이 가능하다. 추가로 엑스레이를 피검사 대상에 대하여 경사진(tilting) 방향으로 조사하기 위하여 엑스레이 튜브(34) 및 디텍터(33)는 틸팅 유닛(41)에 고정될 수 있다. 4A, an object to be inspected may be supplied in-line to the inspection room R along the conveyor C, or may be supplied manually or by a device such as a gripper by opening and closing the door D. When the object to be inspected is aligned on the
도 4b를 참조하면, 엑스레이 튜브(34) 및 디텍터(33)는 C형 암(411)의 양 끝 부분에 각각 고정될 수 있고 C형 암(411)은 구동 장치(412)에 의하여 회전되는 회전 유닛(413)에 의하여 예를 들어 C형 암(411)의 중간 부분을 중심으로 회전 가능하도록 배치될 수 있다. 구동 장치(412)는 모터 또는 기어와 같은 장치를 포함할 수 있고 회전 유닛(413)은 기어 또는 스프로킷 또는 회전 롤러와 같은 장치가 될 수 있다. C형 암(411)의 회전에 의하여 엑스레이 튜브(34)로부터 조사되는 엑스레이는 경사진 방향으로 피검사 대상을 투과하여 디텍터에서 이미지를 형성할 수 있다. 이로 인하여 다양한 내부 구조를 가지는 피검사 대상에 대한 정확한 검사가 가능하도록 한다. 4B, the
엑스레이 튜브(34) 또는 디텍터(33)는 다양한 구조로 회전될 수 있고 필요에 따라 각각이 독립된 장치에 의하여 회전될 수 있다. The
본 발명에 따른 검사 장치는 다양한 방법으로 작동될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The inspection apparatus according to the present invention can be operated in various ways and the present invention is not limited to the embodiments shown.
도 5는 본 발명에 따른 검사 장치에서 검사가 진행되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 5 shows an example of a process of inspecting the inspection apparatus according to the present invention.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 검사 방법은 피검사 대상의 공급을 위하여 셔터가 열리는 단계(P51); 셔터가 개방되면 피검사 대상이 검사실 내부로 이동되는 단계(P52); 피검사 대상이 검사 스테이지에 로딩이 되는 단계(P53); 검사 스테이지가 검사 영역으로 이동되는 단계(P54); 검사 영역에서 피검사 대상이 엑스레이 튜브 및 디텍터에 의하여 검사가 되는 단계(P55); 검사 스테이지가 최초 위치로 복원이 되는 단계(P56); 및 피검사 대상이 이동되어 검사실 외부로 배출되는 단계(P57)을 포함한다. Referring to FIG. 5, an inspection method according to the present invention includes: a step P51 of opening a shutter for supplying an object to be inspected; A step (P52) of moving the subject to be inspected into the examination room when the shutter is opened; A step (P53) in which the subject to be inspected is loaded on the inspection stage; A step (P54) in which the inspection stage is moved to the inspection area; A step (P55) in which an object to be inspected is inspected by an X-ray tube and a detector in an inspection area; A step (P56) in which the inspection stage is restored to the initial position; And a step P57 in which the subject to be inspected is moved and discharged outside the examination room.
검사 스테이지는 이송 컨베이어를 따라 제1 방향으로 이동될 수 있다. 그리고 검사가 완료되면 다시 검사 스테이지는 원래의 위치로 복귀하게 되고 다시 이송 컨베이어를 따라 이동되어 검사실 외부로 배출될 수 있다. 검사 과정에서 검사 스테이지는 임의의 각도로 회전될 수 있다. 피검사 대상의 구조에 따라 피검사 대상이 수용된 검사 트레이가 이동되어 검사 스테이지에 로딩이 되고 그리고 검사 스테이지가 검사 영역으로 이동될 수 있다. 본 발명에 따른 검사 장치에서 다양한 방법으로 검사가 진행될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 위에서 설명된 검사 방법은 인라인 방식에 해당되고 본 발명에 따른 검사 장치는 수동 방식으로 작동될 수 있다. 다양한 방법으로 검사 장치가 작동될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The inspection stage can be moved in the first direction along the conveying conveyor. When the inspection is completed, the inspection stage is returned to the original position, moved again along the transfer conveyor, and discharged to the outside of the examination room. During the inspection process, the inspection stage can be rotated at an arbitrary angle. Depending on the structure of the object to be inspected, the inspection tray accommodating the object to be inspected may be moved to be loaded on the inspection stage, and the inspection stage may be moved to the inspection region. The inspection can be carried out in various ways in the inspection apparatus according to the present invention, and the present invention is not limited to the embodiments shown. The inspection method described above corresponds to the in-line method, and the inspection apparatus according to the present invention can be operated in a manual manner. The inspection apparatus can be operated in various ways and the present invention is not limited to the embodiments shown.
본 발명에 따른 검사 스테이지는 이동을 위한 복잡한 케이블 배선이 사용되지 않는 것에 의하여 구조가 간단하면서 유지 및 보수에 따라 노력이 감소되도록 한다. 또한 본 발명에 따른 검사 스테이지는 검사가 완료된 이후 최초 위치로 되돌아가 다시 위치 결정 과정이 실행되어야 하는 이동 과정의 복잡함이 제거되도록 한다. 추가로 본 발명에 따른 검사 장치는 전환 이송 유닛을 가지는 것에 의하여 단독으로 또는 인라인 설비에 연결되어 사용될 수 있도록 한다. The inspection stage according to the present invention is simple in structure, and its efforts are reduced with maintenance and repairing by not using complicated cable wiring for movement. Also, the inspection stage according to the present invention returns to the initial position after the inspection is completed, thereby eliminating the complexity of the movement process in which the positioning process should be performed again. Further, the inspection apparatus according to the present invention can be used alone or in connection with an inline facility by having a conversion transfer unit.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention . The invention is not limited by these variations and modifications, but is limited only by the claims appended hereto.
12: 검사 스테이지 21: 배치 프레임
23: 구동 장치 24: 고정 플레이트
30: 검사 장치 35a, 35b: 셔터
33: 디텍터 34: 엑스레이 튜브
41: 틸팅 유닛
111: 베이스 112: 제1 방향 가이드
113: 고정 유닛 116a, 116b: 방향 가이드
121: 고정 부재 122: 수용 플레이트
123a, 123b: 정렬 블록 124: 스토퍼
125: 고정 홈 211: 회전 전환 유닛
212: 수용 홈 231: 이동 블록
232: 조절 블록 242: 높이 조절 가이드
243: 접촉 블록 244: 고정 브래킷
271a: 이동 홈 271: 이송 유닛
411: C형 암 12: Inspection stage 21: Batch frame
23: drive device 24: stationary plate
30:
33: Detector 34: X-ray tube
41: tilting unit
111: base 112: first direction guide
113: fixed
121: fixing member 122: receiving plate
123a, 123b: alignment block 124: stopper
125: fixing groove 211: rotation switching unit
212: receiving groove 231: moving block
232: adjusting block 242: height adjusting guide
243: Contact block 244: Fixing bracket
271a: moving groove 271: conveying unit
411: C type cancer
Claims (7)
피검사 대상이 적재되는 수용 플레이트(122);
수용 플레이트(122)에 배치되어 피검사 대상을 정렬시키는 한 쌍의 정렬 블록(123a, 123a);
수용 플레이트(122)에 배치되어 피검사 대상의 이동을 제한하는 스토퍼(124); 및
수용 플레이트(122)를 임의의 각으로 회전시키는 회전 전환 유닛(211)을 포함하는 엑스레이 검사를 위한 검사 스테이지. In an inspection stage for X-ray inspection,
A receiving plate (122) on which a subject to be inspected is loaded;
A pair of alignment blocks (123a, 123a) arranged on the receiving plate (122) to align the subject to be inspected;
A stopper (124) disposed on the receiving plate (122) for restricting movement of the subject to be inspected; And
And a rotation switching unit (211) for rotating the receiving plate (122) at an arbitrary angle.
이송 컨베이어(C)를 따라 이송되는 피검사 대상을 수용하여 정렬시키는 검사 스테이지(12);
검사 스테이지(12)를 제1 방향으로 이동시켜 검사 영역으로 유도하고 이송 컨베이어(C)에 연결된 제1 방향 가이드(112);
상기 검사 영역에 설치되는 엑스레이 튜브(34) 및 디텍터(33); 및
이송 컨베이어(C)에 설치되는 적어도 하나의 셔터(35a, 35b)를 포함하고,
상기 검사 스테이지(12)는 피검사 대상의 임의의 각으로 회전을 시키는 회전 전환 유닛(211)을 가지는 엑스레이 검사 장치. A conveying conveyor (C) extending in a first direction;
An inspection stage (12) for receiving and aligning the objects to be inspected conveyed along the conveying conveyor (C);
A first direction guide (112) connected to the conveying conveyor (C) by moving the inspection stage (12) in the first direction to the inspection area;
An X-ray tube 34 and a detector 33 installed in the inspection area; And
And at least one shutter (35a, 35b) provided in the conveying conveyor (C)
Wherein the inspection stage (12) has a rotation switching unit (211) for rotating at an arbitrary angle of the subject to be inspected.
The X-ray detector according to claim 5, wherein the X-ray tube (34) and the detector (33) are coupled to a C-arm (411) rotatable in an inclined direction with respect to the extending direction of the first direction guide Inspection device.
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