JP2005315798A - Inspection apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To perform accurate and quick inspection. <P>SOLUTION: The display panel inspection apparatus comprises an inspection stage which receives a rectangular display panel to inspect it and keeps it in an inclined state at the time of inspection and at least two probe units individually adapted to at least two sides of the display panel. The display panel is kept at an inclination angle of no less than 70° and no more than 85°, preferably of 80°. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、矩形の表示用パネルを検査する装置に関する。   The present invention relates to an apparatus for inspecting a rectangular display panel.

液晶表示パネルの点灯検査装置のように、表示用パネルを検査する装置の1つとしては、矩形の表示用パネルを検査ステージに受け、受けた表示用パネルを水平面に対し傾斜させた状態で検査を行うものがある(例えば、特許文献1)。   One device for inspecting a display panel, such as a liquid crystal display panel lighting inspection device, receives a rectangular display panel on an inspection stage and inspects the received display panel in a state inclined with respect to a horizontal plane. (For example, Patent Document 1).

表示用パネルを傾斜させた状態で検査すると、表示用パネルを略垂直又は水平の状態で検査する場合に比べ、検査、特に目視検査が容易になり、検査を迅速に行うことができる。   If the display panel is inspected in an inclined state, the inspection, particularly the visual inspection, becomes easier and the inspection can be performed quickly compared to the case where the display panel is inspected in a substantially vertical or horizontal state.

しかし、表示用パネルは、その製作技術の向上に伴って、大型化されている。そのような大型の表示用パネルを略垂直又は水平の状態若しくは傾斜させた状態に維持すると、表示用パネルは自重により大きな撓みを生じる。   However, the size of the display panel has been increased with the improvement of the manufacturing technique. When such a large display panel is maintained in a substantially vertical or horizontal state or in an inclined state, the display panel is largely bent due to its own weight.

作業者は、大きく撓んだ表示用パネルを点灯検査するために、表示用パネルを作動させても、表示用パネルにムラなどが生じ、正確な検査を迅速に行うことができない。   Even if the operator operates the display panel to inspect the lighting of the display panel that is greatly bent, unevenness occurs in the display panel, and accurate inspection cannot be performed quickly.

特開2002−14047号公報JP 2002-14047 A

本発明の目的は、正確かつ迅速な検査を可能にすることにある。   An object of the present invention is to enable an accurate and quick inspection.

本発明者等は、大型の表示用パネルを特許文献1のように傾斜させたとき、水平線に対する表示用パネルの傾斜角度と表示用パネルの撓みの度合いについて種々検討を行った結果、水平線に対する表示用パネルの傾斜角度が所定の値であるとき、表示用パネルの撓みの度合いが著しく小さくなることを見出し、本発明を完成した。   As a result of various studies on the inclination angle of the display panel with respect to the horizontal line and the degree of deflection of the display panel when the large display panel is inclined as in Patent Document 1, the present inventors have made a display with respect to the horizontal line. The present inventors have found that when the inclination angle of the display panel is a predetermined value, the degree of bending of the display panel is remarkably reduced, and the present invention has been completed.

本発明に係る検査装置は、矩形の表示用パネルを受けて検査する検査ステージであって検査時に前記表示用パネルを傾斜した状態に維持する検査ステージと、前記表示用パネルの少なくとも2つの辺に個々に対応された少なくとも2つのプローブユニットとを含む。前記表示用パネルは、検査時に70°以上85°以下の傾斜角度に維持される。   The inspection apparatus according to the present invention is an inspection stage that receives and inspects a rectangular display panel, and maintains the display panel in an inclined state during inspection, and at least two sides of the display panel And at least two probe units individually associated with each other. The display panel is maintained at an inclination angle of 70 ° to 85 ° during inspection.

前記傾斜角度を80°にしてもよい。   The inclination angle may be 80 °.

表示用パネルは、検査時に水平線に対して70°以上85°以下、好ましくは、80°の傾斜角度に維持されるから、表示用パネルの撓み量が少なくなり、その結果表示用パネルが傾斜されていることと相まって、正確かつ迅速な検査を行うことができる。   Since the display panel is maintained at an inclination angle of 70 ° or more and 85 ° or less, and preferably 80 ° with respect to the horizontal line at the time of inspection, the amount of bending of the display panel is reduced, and as a result, the display panel is inclined. Combined with this, accurate and quick inspection can be performed.

検査装置は、さらに、未検査の前記表示用パネル又は検査済みの前記表示用パネルを受ける受渡しステージと、前記未検査の前記表示用パネルを前記検査時と同じ傾斜角度に維持した状態で前記受渡しステージから前記検査ステージに移送すると共に、前記検査済みの前記表示用パネルを前記検査時と同じ傾斜角度に維持した状態で前記検査ステージから前記受渡しステージに移送するキャリア装置とを含むようにしてもよい。そのようにすれば、撓み量の少ない状態で表示用パネルをキャリア装置で移送することができ、したがって従来のキャリア装置を用いることができる。   The inspection apparatus further includes a delivery stage for receiving the uninspected display panel or the inspected display panel, and the delivery in a state where the uninspected display panel is maintained at the same inclination angle as in the inspection. A carrier device may be included that transports the inspected display panel from the inspection stage to the delivery stage in a state where the display panel is inspected at the same inclination angle as that during the inspection, while being transferred from the stage to the inspection stage. By doing so, the display panel can be transferred by the carrier device with a small amount of deflection, and thus a conventional carrier device can be used.

前記キャリア装置は、前記表示用パネルの対向する辺を保持するパネル保持機構を有する保持機と、前記保持機を前記検査ステージと前記受渡しステージとに選択的に移動する移動機構とを含むようにしてもよい。   The carrier device may include a holder having a panel holding mechanism that holds opposite sides of the display panel, and a moving mechanism that selectively moves the holder to the inspection stage and the delivery stage. Good.

図1から図6を参照するに、検査装置10は、長方形をした表示用パネル12の点灯検査装置とされている。図示の例では、表示用パネル12は、矩形の3つの辺(対向する2つの短辺と1つの長辺)のそれぞれに複数の電極を備えている。各辺に設けられた電極は、その辺の方向(すなわち、辺の長手方向)に間隔をおいており、またその辺と直交する方向へ伸びている。   Referring to FIGS. 1 to 6, the inspection device 10 is a lighting inspection device for a display panel 12 having a rectangular shape. In the illustrated example, the display panel 12 includes a plurality of electrodes on each of three rectangular sides (two opposing short sides and one long side). The electrodes provided on each side are spaced in the direction of the side (that is, the longitudinal direction of the side) and extend in a direction perpendicular to the side.

検査装置10は、複数の長尺部材と複数の板部材とにより製作された筐体14内に、点灯検査のための各種の機器を収容している。筐体14には、X方向へ伸びる一対の本体ベース18が斜めの方向に間隔をおいて支持されている。   The inspection apparatus 10 accommodates various devices for lighting inspection in a housing 14 made of a plurality of long members and a plurality of plate members. A pair of main body bases 18 extending in the X direction are supported on the housing 14 at an interval in an oblique direction.

検査装置10の前面上部は、上部ほど後方側に後退する傾斜面16とされている(図2参照)。傾斜面16の角度θは、水平面に対して70°以上85°以下、特に、80°の傾斜角度とされる。   The upper part of the front surface of the inspection apparatus 10 is an inclined surface 16 that recedes toward the rear side as the upper part (see FIG. 2). The angle θ of the inclined surface 16 is 70 ° or more and 85 ° or less, particularly 80 ° with respect to the horizontal plane.

図示の例では、検査装置10に受けられた表示用パネル12と平行な面内において、図1における左右方向がX方向であり、このX方向に直角の図1において上下方向がY方向である。Z方向は、検査装置10に受けられた表示用パネル12に垂直の方向である。   In the illustrated example, the horizontal direction in FIG. 1 is the X direction in a plane parallel to the display panel 12 received by the inspection apparatus 10, and the vertical direction in FIG. 1 perpendicular to the X direction is the Y direction. . The Z direction is a direction perpendicular to the display panel 12 received by the inspection apparatus 10.

検査装置10は、検査装置10に対する表示用パネル12の受け渡しをするパネルセット部と、表示用パネル12の検査をする検査部とを含む。一方の本体ベース18には、表示用パネル12より大きい矩形の開口20及び22がそれぞれパネルセット部及び検査部に対応する箇所に形成されている。   The inspection device 10 includes a panel setting unit that delivers the display panel 12 to the inspection device 10 and an inspection unit that inspects the display panel 12. One main body base 18 has rectangular openings 20 and 22 larger than the display panel 12 at locations corresponding to the panel setting portion and the inspection portion, respectively.

パネルセット部には、表示用パネル12を斜めに受ける受渡しステージ24と、受けた表示用パネル12のプリアライメントをする2組のプッシャー26とが配置されている。これに対し、検査部には、表示用パネル12を斜めに受ける検査ステージ28(図3を参照)と、電気的接続装置として作用するプローブ装置30とが配置されている。   In the panel set portion, a delivery stage 24 that receives the display panel 12 obliquely and two sets of pushers 26 that pre-align the received display panel 12 are arranged. On the other hand, an inspection stage 28 (see FIG. 3) that receives the display panel 12 at an angle and a probe device 30 that acts as an electrical connection device are disposed in the inspection section.

受渡しステージ24は、表示用パネル12を水平に受けるように複数の長尺部材により形成されたパネル受け32と、受けた表示用パネル12を表示用パネル12をZ方向に移動させるようにパネル受け32を支持するZステージ34と、Zステージ34を支持する回転ステージ35とを含む。   The delivery stage 24 has a panel receiver 32 formed of a plurality of long members so as to receive the display panel 12 horizontally, and a panel receiver for moving the received display panel 12 in the Z direction. A Z stage 34 that supports the Z stage 34, and a rotary stage 35 that supports the Z stage 34.

回転ステージ35は、X方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に支持台37に支持されている。回転ステージ35を角度的に回転させる駆動機構は、回転ステージ35に配置してもよいし、支持台37に配置してもよい。   The rotary stage 35 is supported by a support base 37 so as to be angularly rotatable around an axis extending in the X direction. A drive mechanism for rotating the rotary stage 35 in an angle may be arranged on the rotary stage 35 or on the support base 37.

Zステージ34及びパネル受け32は、回転ステージ35の角度的回転により、受けた表示用パネル12が水平となる位置と、その表示用パネルが水平面に対し傾斜する位置とに選択的に変位される。この変位は、後に説明する搬送装置36への表示用パネルの受け渡しのたびに行われる。   The Z stage 34 and the panel receiver 32 are selectively displaced by the angular rotation of the rotary stage 35 into a position where the received display panel 12 is horizontal and a position where the display panel is inclined with respect to the horizontal plane. . This displacement is performed every time the display panel is delivered to the transport device 36 described later.

受渡しステージ24は、未検査の表示用パネルをパネル受け32に受けるときと、検査済みの表示用パネルをパネル受け32から除去するときとに、パネル受け32に受けている表示用パネルが水平となる状態に維持される。   In the delivery stage 24, when the panel receiver 32 receives an uninspected display panel and when the inspected display panel is removed from the panel receiver 32, the display panel received by the panel receiver 32 is horizontal. Is maintained.

これに対し、受渡しステージ24は、未検査の表示用パネルを搬送装置36に渡してプッシャー26によりプリアライメントをするときと、検査済みの表示用パネルを搬送装置36から受けるときとに、パネル受け32に受けている表示用パネルが水平面に対し角度θに傾斜した状態に維持される。   On the other hand, the delivery stage 24 receives the uninspected display panel to the transport device 36 and performs pre-alignment by the pusher 26, and receives the inspected display panel from the transport device 36. The display panel received at 32 is maintained in an inclined state at an angle θ with respect to the horizontal plane.

X方向に間隔をおいたプッシャー26は、X方向へ伸びる長尺部材に相寄り相離れる方向(X方向)へ移動可能に配置されて、図示しない移動機構によりX方向へ移動される。これに対し、Y方向に間隔をおいたプッシャー26は、Y方向へ伸びる長尺部材に相寄り相離れる方向(Y方向)へ移動可能に配置されて、図示しない移動機構によりY方向へ移動される。   The pushers 26 spaced in the X direction are arranged on a long member extending in the X direction so as to be movable away from each other (X direction), and are moved in the X direction by a moving mechanism (not shown). On the other hand, the pushers 26 spaced in the Y direction are arranged on a long member extending in the Y direction so as to be movable away from each other (Y direction), and are moved in the Y direction by a moving mechanism (not shown). The

表示用パネル12は、プッシャー26が互いに離間されている状態で、それらのプッシャー26の間に人手又は着脱ロボットにより配置される。配置された表示用パネル12は、各組のプッシャー26が相寄る方向へ移動されることにより、受渡しステージ24に対し移動されて、検査装置10に対するプリアライメントをされる。   The display panel 12 is disposed between the pushers 26 by hand or a detachable robot with the pushers 26 being separated from each other. The arranged display panel 12 is moved with respect to the delivery stage 24 by moving each pair of pushers 26 in the direction in which the pushers 26 approach each other, and is pre-aligned with the inspection apparatus 10.

未検査の表示用パネル12は、水平状態に待機しているパネル受け32に配置され、受渡しステージ24においてプッシャー26によりプリアライメントをされ、回転ステージ35により水平面に対しθの傾斜角度に傾斜される。その後、その表示用パネル12は、搬送装置36(図1を参照)により検査ステージ28に搬送されて、検査部において点灯検査をされる。   The uninspected display panel 12 is arranged on a panel receiver 32 waiting in a horizontal state, pre-aligned by a pusher 26 in a delivery stage 24, and tilted at an inclination angle of θ with respect to a horizontal plane by a rotary stage 35. . Thereafter, the display panel 12 is transported to the inspection stage 28 by the transport device 36 (see FIG. 1), and is inspected for lighting in the inspection unit.

傾斜角度θは、点灯検査を行う傾斜角度と同じとされ、具体的には70°以上85°以下、好ましくは80°とされる。   The tilt angle θ is the same as the tilt angle at which the lighting inspection is performed. Specifically, the tilt angle θ is 70 ° or more and 85 ° or less, and preferably 80 °.

点灯検査は、図示の例では作業者の目視による目視点灯検査であるが、図示しないビデオカメラや画像処理装置等を用いる自動点灯検査であってもよい。傾斜角度θは、具体的には70°以上85°以下、好ましくは80°とされる。   In the illustrated example, the lighting inspection is a visual lighting inspection by an operator's visual observation, but may be an automatic lighting inspection using a video camera, an image processing apparatus, or the like (not shown). The inclination angle θ is specifically 70 ° or more and 85 ° or less, preferably 80 °.

検査済みの表示用パネル12は、搬送装置36により検査ステージ28から受渡しステージ24に搬送され、その後人手又は着脱ロボットにより受渡しステージ24から外されて、収納用カセットに収納される。   The inspected display panel 12 is transported from the inspection stage 28 to the delivery stage 24 by the transport device 36, and then removed from the delivery stage 24 by a hand or a detachable robot and stored in a storage cassette.

検査ステージ28は、表示用パネル12をチャックトップ38のパネル吸着面に斜め上向きに受けるように、パネル吸着面を開口22に対向させている。   The inspection stage 28 has the panel suction surface facing the opening 22 so that the display panel 12 is received obliquely upward by the panel suction surface of the chuck top 38.

チャックトップ38は、表示用パネル12を真空的に吸着する複数の吸着溝をパネル吸着面に有している共に、表示用パネル12をこれの背面から照明するバックライトユニットを内部に備えている。   The chuck top 38 has a plurality of suction grooves for vacuum-sucking the display panel 12 on the panel suction surface, and includes a backlight unit for illuminating the display panel 12 from the back side. .

検査ステージ28は、斜め上向きに受けた表示用パネル12を、これと平行のX及びYの2方向と、受けた表示用パネル12に垂直のZ方向とに移動させる三次元(X,Y及びZ)ステージ40,42及び44を有していると共に、Z方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させるθステージ46を備えている。   The inspection stage 28 moves the display panel 12 received obliquely upward in two directions X and Y parallel to the display panel 12 and the Z direction perpendicular to the received display panel 12 (X, Y, and X). Z) It has stages 40, 42 and 44, and a θ stage 46 which rotates angularly around an axis extending in the Z direction.

検査ステージ28は、Zステージ44によりチャックトップ38をプローブ装置30に対し後退(下降)させた状態で、表示用パネル12を搬送装置36から受け、X及びYステージ40及び42により二次元的に移動させると共にθステージ46により角度的に回転させて受けた表示用パネル12の精密アライメントをし、表示用パネル12の検査時にZステージ44によりチャックトップ38をプローブ装置30に対し前進(上昇)させる。   The inspection stage 28 receives the display panel 12 from the transport device 36 with the chuck top 38 retracted (lowered) from the probe device 30 by the Z stage 44, and two-dimensionally by the X and Y stages 40 and 42. The display panel 12 that is moved and angularly rotated by the θ stage 46 is precisely aligned, and when the display panel 12 is inspected, the chuck top 38 is advanced (raised) relative to the probe device 30 by the Z stage 44. .

検査ステージ28は、また、検査済みの表示用パネル12を搬送装置36に渡した後、チャックトップ38を後退させた状態で待機する。   The inspection stage 28 waits with the chuck top 38 retracted after the inspected display panel 12 is transferred to the transport device 36.

プローブ装置30は、仮想的な矩形の辺に個々に対応された4つのベース部材48と、3つのベース部材48に個々に配置された3つのプローブユニット50と、プローブユニット50の位置合わせのために3つのベース部材48をこれに対応する辺に沿って(すなわち、辺の長手方向に)個々に移動させる移動機構(図示せず)とを含む。   The probe device 30 includes four base members 48 individually corresponding to the sides of the virtual rectangle, three probe units 50 individually disposed on the three base members 48, and alignment of the probe units 50. And a moving mechanism (not shown) for individually moving the three base members 48 along the corresponding sides (that is, in the longitudinal direction of the sides).

各ベース部材48は、これに対応する辺の長手方向に長い板の形状を有しており、また本体ベース18の裏側に支持されて、一部を開口22に露出されている。隣り合うベース部材48は、当接しないように間隔をおいている。   Each base member 48 has a plate shape elongated in the longitudinal direction of the corresponding side, and is supported on the back side of the main body base 18 so that a part thereof is exposed to the opening 22. Adjacent base members 48 are spaced so as not to abut.

プローブユニット50は、対向する一対のベース部材48と、それらのベース部材48と隣り合う1つのベース部材48とに配置されている。これに対し、移動機構は、対向する他の一対のベース部材48と、それらのベース部材48と隣り合う1つのベース部材48とに設けられている。   The probe unit 50 is disposed on a pair of opposing base members 48 and one base member 48 adjacent to the base members 48. On the other hand, the moving mechanism is provided on another pair of opposing base members 48 and one base member 48 adjacent to those base members 48.

移動機構に連結されていないベース部材48は、スペーサ(図示せず)と、ボルトのような複数の止め具(図示せず)とにより、本体ベース18に移動不能に取り付けられて支持されている。   The base member 48 not connected to the moving mechanism is supported and supported on the main body base 18 by a spacer (not shown) and a plurality of stoppers (not shown) such as bolts. .

残りの各ベース部材48は、リニアガイドのようなガイド機構(図示せず)により、対応する辺の長手方向へ移動可能に、本体ベース18に取り付けられて支持されている。   Each remaining base member 48 is attached to and supported by the main body base 18 so as to be movable in the longitudinal direction of the corresponding side by a guide mechanism (not shown) such as a linear guide.

各プローブユニット50は、対応するベース部材48にこれの長手方向へ伸びる状態に取り付けられた長板状のプローブベース52と、プローブベース52に配置された複数のプローブブロック54と、各プローブブロック54に配置された複数のプローブ56とを備えている。   Each probe unit 50 includes a long plate-like probe base 52 attached to a corresponding base member 48 so as to extend in the longitudinal direction thereof, a plurality of probe blocks 54 disposed on the probe base 52, and each probe block 54. And a plurality of probes 56 arranged on the surface.

プローブベース52は、ベース部材48の幅方向における縁部のうち、矩形の中心側(すなわち、先端側)となる縁部の外側に複数のねじ部材(図示せず)により堅固に取り付けられている。   The probe base 52 is firmly attached by a plurality of screw members (not shown) to the outer side of the edge that is the central side (that is, the tip side) of the rectangle among the edges in the width direction of the base member 48. .

各プローブブロック54は、プローブベース52の幅方向における先端側の縁部の外側に複数のねじ部材(図示せず)により堅固に取り付けられている。各プローブ56は、先端側を前方に突出させた状態にプローブブロック54の先端部下面に適宜な手段を用いて取り付けられている。   Each probe block 54 is firmly attached by a plurality of screw members (not shown) to the outside of the edge portion on the distal end side in the width direction of the probe base 52. Each probe 56 is attached to the lower surface of the distal end portion of the probe block 54 with appropriate means with the distal end side protruding forward.

ベース部材48用の各移動機構は、本体ベース18に取り付けられたモータとこのモータにより回転されるリードスクリューと、リードスクリューに螺合されたリードナットとを含む一般的な機構を用いることができる。   As each moving mechanism for the base member 48, a general mechanism including a motor attached to the main body base 18, a lead screw rotated by the motor, and a lead nut screwed to the lead screw can be used. .

各プローブ56は、検査ステージ28に搬送された表示用パネル12の検査時に、チャックトップ38が上昇されることにより表示用パネル12の電極に押圧される。その状態において、表示用パネル12にその電極を介して通電される。このとき、表示用パネル12は、水平線に対して70°以上85°以下、好ましくは、80°の傾斜角度に維持されているから、表示用パネルの撓み量が少なくなり、検査もより正確に及びより迅速に行える。   Each probe 56 is pressed against the electrode of the display panel 12 by raising the chuck top 38 when the display panel 12 conveyed to the inspection stage 28 is inspected. In this state, the display panel 12 is energized through the electrodes. At this time, since the display panel 12 is maintained at an inclination angle of 70 ° to 85 °, preferably 80 ° with respect to the horizontal line, the amount of bending of the display panel is reduced, and the inspection is more accurately performed. And more quickly.

搬送装置36は、X方向へ移動可能に及びZA方向に間隔をおいた状態に一対の本体ベース18に配置された一対のキャリア62,64と、キャリア62,64をX方向へ個々に移動させる一対のキャリア移動機構66,68とを備えている。   The transport device 36 is individually movable in the X direction and the pair of carriers 62 and 64 disposed on the pair of main body bases 18 so as to be movable in the X direction and spaced in the ZA direction. A pair of carrier moving mechanisms 66 and 68 are provided.

各本体ベース18には、2つのガイドレール72,74が、これらがZ方向に間隔をおいてX方向へ伸びる状態に、取り付けられている。移動可能に嵌合は、それぞれ、ガイドレール72及び74に移動可能に嵌合されている。   Two guide rails 72 and 74 are attached to each main body base 18 so as to extend in the X direction with an interval in the Z direction. The movable fitting is movably fitted to the guide rails 72 and 74, respectively.

ガイド76及び78は、それぞれ、キャリア62及び64の両端部に取り付けられている。このため、キャリア62はガイドレール72及びガイド76を介して本体ベース18に移動可能に支持されており、キャリア64はガイドレール74及びガイド78を介して本体ベース18に移動可能に支持されている。   Guides 76 and 78 are attached to both ends of carriers 62 and 64, respectively. Therefore, the carrier 62 is movably supported on the main body base 18 via the guide rails 72 and 76, and the carrier 64 is supported on the main body base 18 via the guide rails 74 and guides 78. .

キャリア62及び64のそれぞれは、Y方向に間隔をおいてX方向へ伸びる一対の支持アーム82を矩形のキャリアベース80に一対のガイドレール84及び4つのガイド86によりY方向へ移動可能に配置している。   Each of the carriers 62 and 64 has a pair of support arms 82 extending in the X direction with an interval in the Y direction arranged on a rectangular carrier base 80 so as to be movable in the Y direction by a pair of guide rails 84 and four guides 86. ing.

一対のガイドレール84,84は、X方向に間隔をおいてY方向に平行に伸びる状態に、対応する各キャリアベース80に取り付けられている。4つのガイド86は、両ガイドレール84に2つずつY方向に間隔をおいてY方向へ移動可能に嵌合されている。   The pair of guide rails 84 and 84 are attached to the corresponding carrier bases 80 so as to extend in parallel to the Y direction with an interval in the X direction. The four guides 86 are fitted to both guide rails 84 so as to be movable in the Y direction at intervals in the Y direction.

各支持アーム82は、これの両端部にガイド86を取り付けている。このため、各支持アーム82は、キャリアベース80に両端支持梁状に支持されている。   Each support arm 82 has guides 86 attached to both ends thereof. For this reason, each support arm 82 is supported by the carrier base 80 in a support beam shape at both ends.

各支持アーム82には、一対の第1のアーム88がX方向に間隔をおいて組み付けられていると共に、第2のアーム90が両第1のアーム88の間に取り付けられている。両第1のアーム88と第2のアーム90とは、対応する支持アーム82から相手側の支持アーム82に向けて伸びて、対応する支持アーム82に片持ち梁状に支持されている。   A pair of first arms 88 are assembled to each support arm 82 with an interval in the X direction, and a second arm 90 is attached between the first arms 88. Both the first arm 88 and the second arm 90 extend from the corresponding support arm 82 toward the counterpart support arm 82 and are supported by the corresponding support arm 82 in a cantilever shape.

各第1のアーム88は、ガイドレール92aとガイド92bとを含むリニアガイドのような適宜な結合手段92により、対応する支持アーム82にX方向へ移動可能に組み付けられている。各支持アーム82に組み付けられた両第1のアーム88は、相寄り相離れる方向(X方向)へ移動される。   Each first arm 88 is assembled to a corresponding support arm 82 so as to be movable in the X direction by appropriate coupling means 92 such as a linear guide including guide rails 92a and 92b. Both first arms 88 assembled to each support arm 82 are moved in a direction away from each other (X direction).

各第2のアーム90は、対応する支持アーム82に移動不能に取り付けられている。各第2のアーム90の先端側は、第2のアーム90の基部からX方向において互いに反対方向へ伸びる2つの先端部とされている。   Each second arm 90 is attached to the corresponding support arm 82 so as not to move. The distal end side of each second arm 90 is two distal ends extending in opposite directions in the X direction from the base portion of the second arm 90.

各第1のアーム88は、Xホルダ94を先端部に取り付けている。これに対し、各第2のアーム90は、Yホルダ96を両先端部にX方向に間隔をおい状態に取り付けている。両Xホルダ94及び両Yホルダ96は、それぞれ、表示用パネル12のX方向の両縁部及びY方向の1つの縁部に当接することにより、共同してその表示用パネル12を支持する。   Each first arm 88 has an X holder 94 attached to the tip. On the other hand, each second arm 90 has a Y holder 96 attached to both ends at a distance in the X direction. The two X holders 94 and the two Y holders 96 support the display panel 12 jointly by coming into contact with both edges in the X direction and one edge in the Y direction of the display panel 12.

Xホルダ94及びYホルダ96は、いずれも、表示用パネル12を対向するホルダで挟持することにより支持するものであってもよいし、表示用パネル12を係止片に係止させることにより支持するものであってもよく、さらには表示用パネル12を受け片に受けることにより支持するものであってもよい。   Both the X holder 94 and the Y holder 96 may be supported by holding the display panel 12 between opposing holders, or supported by locking the display panel 12 to a locking piece. The display panel 12 may be supported by being received by a receiving piece.

キャリア移動機構66,68の各々は、X方向へ伸びるボールねじ100を本体ベース18に回転可能に支持させ、ボールねじ100に螺合するナット(図示せず)をキャリアベース80に取り付けている。ボールねじ100は、キャリア用モータ(図示せず)により回転される。   In each of the carrier moving mechanisms 66 and 68, a ball screw 100 extending in the X direction is rotatably supported by the main body base 18, and a nut (not shown) that engages with the ball screw 100 is attached to the carrier base 80. The ball screw 100 is rotated by a carrier motor (not shown).

キャリア移動機構66のキャリア用モータ及びキャリア移動機構68のキャリア用モータは、互いに逆方向に同期して回転される。これにより、両キャリア62及び64は、受渡しステージ24から検査ステージ28に又はその逆に個々に移動される。   The carrier motor of the carrier moving mechanism 66 and the carrier motor of the carrier moving mechanism 68 are rotated in synchronization with each other in opposite directions. Thereby, both the carriers 62 and 64 are individually moved from the delivery stage 24 to the inspection stage 28 or vice versa.

キャリア移動機構66及び68による表示用パネル12の搬送時、検査済み及び未検査の表示用パネル12及び12は、水平線に対して70°以上85°以下、好ましくは、80°の傾斜角度θに維持された状態で移動される。これにより、表示用パネル12の撓み量が少なく、検査済みの表示用パネル12と未検査の表示用パネル12とがすれ違う際に必要な互いの距離を小さくすることができる。   When the display panel 12 is transported by the carrier moving mechanisms 66 and 68, the inspected and uninspected display panels 12 and 12 have an inclination angle θ of 70 ° to 85 °, preferably 80 ° with respect to the horizontal line. Moved in a maintained state. Thereby, the amount of bending of the display panel 12 is small, and the mutual distance required when the inspected display panel 12 and the uninspected display panel 12 pass each other can be reduced.

図8に示す表示用パネル(外形寸法1050mm×800mmのいわゆる51インチパネル)を例にして、以下により具体的に説明する。   The display panel shown in FIG. 8 (a so-called 51 inch panel having an outer dimension of 1050 mm × 800 mm) will be described in detail below.

図8(A)に示すように、表示用パネル12を水平線に対して90°の角度に維持した場合、その表示用パネル12は、そのY方向における一方の部分がZ方向における一方に撓み、Y方向における他方の部分がZ方向における他方に撓む、いわゆるS字状となる。図8(A)の例では、Z方向の一方及び他方へそれぞれ0.009μm及び0.016μm撓んでいる。   As shown in FIG. 8A, when the display panel 12 is maintained at an angle of 90 ° with respect to the horizontal line, the display panel 12 has one portion in the Y direction bent to one in the Z direction, The other part in the Y direction is a so-called S-shape that bends in the other direction in the Z direction. In the example of FIG. 8 (A), it is bent by 0.009 μm and 0.016 μm to one and the other in the Z direction, respectively.

図8(B)に示すように、表示用パネル12を水平線に対して90°未満の傾斜角度に維持した場合には、表示用パネル12は、その全体がZ方向における一方に撓んでいる。図8(B)の例では、傾斜角度が85°のとき、498.119μm撓み、傾斜角度が80°のとき、101.168μm撓み、傾斜角度が75°のとき、1479.230μm撓み、傾斜角度が70°のとき、1954.760μm撓んでいる。   As shown in FIG. 8B, when the display panel 12 is maintained at an inclination angle of less than 90 ° with respect to the horizontal line, the entire display panel 12 is bent in one direction in the Z direction. In the example of FIG. 8B, when the tilt angle is 85 °, the deflection is 498.119 μm, when the tilt angle is 80 °, the deflection is 101.168 μm, when the tilt angle is 75 °, the deflection is 1479.230 μm, and the tilt angle. When the angle is 70 °, it is deflected 1954.760 μm.

したがって、キャリア移動機構66及び68は、表示用パネル12を水平線に対して70°以上85°以下、好ましくは、80°の傾斜角度に維持することにより、検査済み及び未検査の表示用パネル12に、それらの撓み量が少ない状態で、すれ違いをさせることができる。   Accordingly, the carrier moving mechanisms 66 and 68 maintain the display panel 12 at an inclination angle of 70 ° to 85 °, preferably 80 °, with respect to the horizontal line, so that the inspected and uninspected display panels 12 are maintained. In addition, it is possible to make them pass each other with a small amount of deflection.

各アームにおいて、先ず第2のアーム90及び90がY移動機構108及び108により同期してY方向に移動される。次いで、第1のアーム88及び88が、それぞれ、X移動機構106及び106により、X方向に同期して移動される。   In each arm, first, the second arms 90 and 90 are moved in the Y direction in synchronization by the Y moving mechanisms 108 and 108. Next, the first arms 88 and 88 are moved in synchronization with the X direction by the X moving mechanisms 106 and 106, respectively.

各X移動機構106は、電動モータのように逆転可能のX駆動源110と、X駆動源110により回転される第1のプーリ112と、第1のプーリ112からX方向に間隔をおいた第2のプーリ114と、第1及び第2のプーリ112及び114に掛けられた無端ベルト116とを含む。   Each X movement mechanism 106 includes an X drive source 110 that can be rotated reversely like an electric motor, a first pulley 112 that is rotated by the X drive source 110, and a first pulley 112 that is spaced from the first pulley 112 in the X direction. Two pulleys 114 and an endless belt 116 hung on the first and second pulleys 112 and 114.

上側の第1のアーム88は無端ベルト116の上側の箇所に取り付けられており、下側の第1のアーム88は無端ベルト116の下側の箇所に取り付けられている。このため、両第1のアーム88及び88は、X駆動源110が一方向に回転されると、相よる方向へ移動され、他方へ回転されると相離れる方向へ移動される。これにより、両第1のアーム88及び88は、表示用パネル12の把持とその解除とを行う。   The upper first arm 88 is attached to an upper portion of the endless belt 116, and the lower first arm 88 is attached to a lower portion of the endless belt 116. For this reason, both the first arms 88 and 88 are moved in the opposite direction when the X drive source 110 is rotated in one direction, and are moved away from each other when the X drive source 110 is rotated in the other direction. Thereby, both the first arms 88 and 88 hold and release the display panel 12.

Y移動機構108は、電動モータのように逆転可能のY駆動源120と、Y駆動源120によりX方向へ伸びる軸線の周りに回転されるシャフト122と、シャフト122の両端に相対的回転不能に組み付けられた第1のプーリ122a,122aと、第1のプーリ122aからY方向に間隔をおいた第2のプーリ122b,122bと、第1及び第2のプーリ122a及び122bに掛けられた無端ベルト122c,122cとを含む。   The Y moving mechanism 108 includes a Y drive source 120 that can be rotated reversely like an electric motor, a shaft 122 that is rotated around an axis extending in the X direction by the Y drive source 120, and a shaft 122 that is relatively unrotatable at both ends of the shaft 122. The assembled first pulleys 122a and 122a, second pulleys 122b and 122b spaced from the first pulley 122a in the Y direction, and endless belts hung on the first and second pulleys 122a and 122b 122c, 122c.

ガイドレール72,74,84及びガイド76,78及び78,86として、リニアガイドを用いることができる。   Linear guides can be used as the guide rails 72, 74, 84 and the guides 76, 78 and 78, 86.

図示の例では、上側の支持アーム82は無端ベルト122cの上側の箇所に取り付けられており、下側の支持アーム82は無端ベルト122cの下側の箇所に取り付けられている。このため、両支持アーム82及び82は、Y駆動源120が一方向に回転されると、相よる方向へ移動され、他方へ回転されると相離れる方向へ移動される。これにより、両支持アーム82及び82は、表示用パネル12の把持とその解除とを行う。   In the illustrated example, the upper support arm 82 is attached to an upper portion of the endless belt 122c, and the lower support arm 82 is attached to a lower portion of the endless belt 122c. For this reason, both the support arms 82 and 82 are moved in the opposite direction when the Y drive source 120 is rotated in one direction, and are moved away from each other when the Y drive source 120 is rotated in the other direction. As a result, the support arms 82 and 82 hold the display panel 12 and release it.

検査装置10においては、検査ステージ28においてパネルを検査する間に、キャリア62(又は64)による受渡しステージ24への検査済みパネルの搬送及び配置と、受渡しステージ24からの検査済みパネルの除去と、受渡しステージ24への未検査の表示用パネル12の配置と、その未検査のパネルのプリアライメントと、キャリア64(又は62)へのその未検査パネルの配置とが行われる。   In the inspection apparatus 10, while inspecting the panel at the inspection stage 28, the carrier 62 (or 64) transports and arranges the inspected panel to the delivery stage 24, and removes the inspected panel from the delivery stage 24. The placement of the untested display panel 12 on the delivery stage 24, the pre-alignment of the untested panel, and the placement of the untested panel on the carrier 64 (or 62) are performed.

検査が終了すると、受渡しステージ24側の未検査のパネルが一方のキャリア62(又は64)に保持され、検査ステージ28側の検査済みのパネルが他方のキャリア64(又は62)に保持され、それらがそれぞれ検査ステージ28及び受渡しステージ24に搬送される。   When the inspection is completed, the uninspected panel on the delivery stage 24 side is held by one carrier 62 (or 64), and the inspected panel on the inspection stage 28 side is held by the other carrier 64 (or 62). Are transferred to the inspection stage 28 and the delivery stage 24, respectively.

キャリア62及び64による未検査及び検査済みパネルの搬送は、それぞれ、キャリア移動機構66及び68を互いに逆方向に回転させることにより、行われる。   The uninspected and inspected panels are transported by the carriers 62 and 64 by rotating the carrier moving mechanisms 66 and 68 in opposite directions, respectively.

キャリア62,64による表示用パネル12の把持は、X駆動源110,110及びY駆動源120を一方向に回転させて、Xホルダ94,94及びYホルダ96,96をこれらが相よる方向へ移動させ、それによりホルダ94,94,96,96に表示用パネル12の縁部を支持させることにより行われる。   The display panel 12 is gripped by the carriers 62 and 64 by rotating the X drive sources 110 and 110 and the Y drive source 120 in one direction, and moving the X holders 94 and 94 and the Y holders 96 and 96 in the direction in which they are combined. This is done by moving the holder 94, 94, 96, 96 to support the edge of the display panel 12.

上記の結果、受渡しステージ24において、キャリア62及び64が未検査のパネルを把持することにより、その未検査のパネルはセンターリングをされて、プリアライメントをされる。   As a result, in the delivery stage 24, the carriers 62 and 64 grip the uninspected panel, whereby the uninspected panel is centered and pre-aligned.

キャリア62,64による表示用パネル12の搬送は、Xホルダ94及びYホルダ96をそれぞれX方向の各縁部のY方向に間隔をおいた複数箇所及びY方向の各縁部のX方向に間隔をおいた複数箇所に当接させて表示用パネル12を解除可能に支持した状態で行われる。このため、表示用パネル12の支持が安定する。   The display panel 12 is transported by the carriers 62 and 64 when the X holder 94 and the Y holder 96 are spaced apart in the X direction at a plurality of positions spaced in the Y direction at each edge in the X direction. The display panel 12 is supported so as to be releasable by contacting with a plurality of places where the cover is placed. For this reason, the support of the display panel 12 is stabilized.

キャリア62,64による表示用パネル12の解放は、X駆動源110,110及びY駆動源120を他方向に回転させて、Xホルダ94,94及びYホルダ96,96をこれらが離れる方向に移動させることにより行われる。   To release the display panel 12 by the carriers 62 and 64, the X drive source 110 and 110 and the Y drive source 120 are rotated in the other direction, and the X holder 94 and 94 and the Y holder 96 and 96 are moved away from each other. Is done.

受渡しステージ24及び検査ステージ28は、キャリア62,64に対するパネルの受け渡しのたびに、パネル受け32及びチャックトップをZ方向に少なくとも一回往復移動させる。   The delivery stage 24 and the inspection stage 28 reciprocate the panel receiver 32 and the chuck top at least once in the Z direction each time the panel is delivered to the carriers 62 and 64.

検査装置10のように、表示用パネル12を矩形の4つの辺に個々に対応する4つの縁部において支持すると、大型のパネルであっても、X方向中央領域におけるパネルの湾曲及びY方向中央領域におけるパネルの湾曲がY方向縁部の支持及びX方向縁部の支持により相互に防止される。その結果、大型のパネルを、損傷することなく、安定して搬送可能になる。   When the display panel 12 is supported at four edges corresponding to the four sides of the rectangle as in the inspection apparatus 10, even in the case of a large panel, the curve of the panel and the center in the Y direction can be obtained. The bending of the panel in the region is mutually prevented by the support of the Y direction edge and the support of the X direction edge. As a result, a large panel can be stably conveyed without being damaged.

図7(A),(B),(C),(D)を参照するに、ホルダ130は、L字状のホルダ片132をL字状の凹所がパネル支持側となる状態にパネル係止側となる状態に第1のアーム88又は第2のアーム90に取り付け、表示用パネル12の落下を防止する落下防止片134をホルダ片132の下端に設けられた固定枠132aのパネル係止側に設け、表示用パネル12に当接する弾性ブロック136をホルダ片132のL字状の凹所にねじのような止め部材138によって取り付けている。   7 (A), (B), (C), and (D), the holder 130 is arranged so that the L-shaped holder piece 132 is placed in a state where the L-shaped recess is on the panel support side. The first frame 88 or the second arm 90 is attached to the first arm 88 or the second arm 90 so that the display panel 12 is prevented from falling, and a locking frame 132a provided on the lower end of the holder piece 132 is locked to the panel. The elastic block 136 that is provided on the side and is in contact with the display panel 12 is attached to the L-shaped recess of the holder piece 132 by a fastening member 138 such as a screw.

落下防止片134の厚さ寸法(紙面に垂直の方向における寸法)は、それぞれ、ホルダ片132のそれより小さい。弾性ブロック136は、ウレタンゴムのようなゴム材で製作されている。図1から図6に示す実施例で用いるホルダ94,96は、ホルダ130である。   The thickness dimension (dimension in the direction perpendicular to the paper surface) of the fall prevention piece 134 is smaller than that of the holder piece 132. The elastic block 136 is made of a rubber material such as urethane rubber. The holders 94 and 96 used in the embodiment shown in FIGS.

上記のホルダ130は、いずれも、表示用パネル12の縁部を弾性ブロック136に当接させて、表示用パネル12を弾性ブロック136に摩擦係合させることにより支持する。しかし、ホルダは、表示用パネル12を受け片に受けることにより支持するもの等、他のタイプのものを用いてもよい。   Each of the holders 130 is supported by bringing the edge of the display panel 12 into contact with the elastic block 136 and frictionally engaging the display panel 12 with the elastic block 136. However, other types of holders may be used, such as a holder that supports the display panel 12 by receiving it on the receiving piece.

搬送装置36は、1つのキャリア62又は64を用いるものであってもよい。また、検査ステージ28に対しX方向における両側に受渡しステージ24を配置した検査装置の場合、パネルを一方の受渡しステージと検査ステージとに搬送するキャリアと、他方の受渡しステージと検査ステージとに搬送するキャリアとを備えた搬送装置であってもよい。   The transport device 36 may use one carrier 62 or 64. Further, in the case of an inspection apparatus in which the delivery stage 24 is arranged on both sides in the X direction with respect to the inspection stage 28, the panel is transported to one delivery stage and the inspection stage, and to the other delivery stage and the inspection stage. The conveyance apparatus provided with the carrier may be sufficient.

本発明は、液晶表示パネルのみならず、それ用のガラス基板、有機EL等、他の表示用パネルの電気的接続装置にも適用することができる。   The present invention can be applied not only to a liquid crystal display panel but also to an electrical connection device for other display panels such as a glass substrate and an organic EL.

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。   The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

本発明に係る電気的接続装置を用いた検査装置の一実施例を示す正面図である。It is a front view which shows one Example of the test | inspection apparatus using the electrical connection apparatus which concerns on this invention. 図1に示す検査装置の右側面図であって一部内部を示した図である。FIG. 2 is a right side view of the inspection apparatus shown in FIG. 図1に示す検査装置の左側面図であって一部内部を示した図である。It is the left view of the inspection apparatus shown in FIG. 1, and the figure which showed one part inside. 図1に示す検査装置の正面図であってキャリア装置を説明するための図である。It is a front view of the inspection apparatus shown in FIG. 1, and is a figure for demonstrating a carrier apparatus. 図4における5−5線に沿って得た断面図である。It is sectional drawing obtained along the 5-5 line in FIG. 図4における6−6線に沿って得た断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line 6-6 in FIG. 搬送装置で用いるホルダの実施例を示す図である。It is a figure which shows the Example of the holder used with a conveying apparatus. 表示用パネルの撓みを説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the bending of a display panel.

符号の説明Explanation of symbols

10 検査装置
12 表示用パネル
18 本体ベース
24 受渡しステージ
28 検査ステージ
30 プローブ装置
36 搬送装置
38 チャックトップ
60 フレーム
62,64 キャリア
66,68 キャリア移動機構
72,74,84 ガイドレール
76,78,86 ガイド
80 キャリアベース
82 支持アーム
88,90 第1及び第2のアーム
98 結合手段
94 Xホルダ
96 Yホルダ
100 ボールねじ
106 X移動機構
108 Y移動機構
110 X駆動源
112,114 プーリ
116 無端ベルト
120 Y駆動源
122 シャフト
124 ナット
130,140,150 ホルダ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection apparatus 12 Display panel 18 Main body base 24 Delivery stage 28 Inspection stage 30 Probe apparatus 36 Conveyance apparatus 38 Chuck top 60 Frame 62,64 Carrier 66,68 Carrier moving mechanism 72,74,84 Guide rail 76,78,86 Guide 80 carrier base 82 support arm 88,90 first and second arm 98 coupling means 94 X holder 96 Y holder 100 ball screw 106 X moving mechanism 108 Y moving mechanism 110 X drive source 112,114 pulley 116 endless belt 120 Y drive Source 122 Shaft 124 Nut 130, 140, 150 Holder

Claims (4)

矩形の表示用パネルを受けて検査する検査ステージであって検査時に前記表示用パネルを傾斜した状態に維持する検査ステージと、
前記表示用パネルの少なくとも2つの辺に個々に対応された少なくとも2つのプローブユニットとを含み、
前記検査ステージは、検査時に前記表示用パネルを、70°以上85°以下の傾斜角度に維持する、表示用パネルの検査装置。
An inspection stage that receives and inspects a rectangular display panel, and maintains the display panel in an inclined state during inspection; and
And at least two probe units individually corresponding to at least two sides of the display panel,
The inspection stage is a display panel inspection apparatus that maintains the display panel at an inclination angle of 70 ° to 85 ° during inspection.
前記検査ステージは、検査時に前記表示用パネルを、80°の傾斜角度に維持する、請求項1に記載の表示用パネルの検査装置。   The display panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection stage maintains the display panel at an inclination angle of 80 ° during inspection. さらに、未検査の前記表示用パネル又は検査済みの前記表示用パネルを受ける受渡しステージと、
前記未検査の前記表示用パネルを前記検査時と同じ傾斜角度に維持した状態で前記受渡しステージから前記検査ステージに移送すると共に、前記検査済みの前記表示用パネルを前記検査時と同じ傾斜角度に維持した状態で前記検査ステージから前記受渡しステージに移送するキャリア装置とを含む、請求項1又は2に記載の検査装置。
Furthermore, a delivery stage for receiving the uninspected display panel or the inspected display panel;
The uninspected display panel is transferred from the delivery stage to the inspection stage while maintaining the same inclination angle as that during the inspection, and the inspected display panel is maintained at the same inclination angle as that during the inspection. The inspection apparatus according to claim 1, further comprising a carrier device that is transferred from the inspection stage to the delivery stage in a maintained state.
前記キャリア装置は、前記表示用パネルの対向する辺を保持するパネル保持機構を有する保持機と、前記保持機を前記検査ステージと前記受渡しステージとに選択的に移動させる移動機構とを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の検査装置。   The carrier device includes a holder having a panel holding mechanism that holds opposite sides of the display panel, and a moving mechanism that selectively moves the holder to the inspection stage and the delivery stage. Item 4. The inspection apparatus according to any one of Items 1 to 3.
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