KR101278578B1

KR101278578B1 - 액적 토출 헤드, 화상 형성 장치, 및 성막 장치

Info

Publication number: KR101278578B1
Application number: KR1020070024985A
Authority: KR
Inventors: 하야토 다카하시
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2006-03-17
Filing date: 2007-03-14
Publication date: 2013-06-25
Also published as: US20070216263A1; JP4640649B2; CN103144435A; US7804225B2; KR20070094485A; CN101037045A; CN101037045B; CN103144435B; JP2007245661A

Abstract

본 발명에 따른 액적 토출 헤드, 화상 형성 장치, 및 성막 장치는 압전(壓電) 소자 형상의 균일성을 향상시키고, 액체 재료의 토출 정밀도를 향상시키는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 액적 토출 헤드는 진동판과 고정판과 압전 소자를 갖는다. 상기 압전 소자는 제 1 전극과, 제 2 전극과, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 삽입된 압전체층을 포함한다. 상기 압전 소자의 제 1 단면(端面) 중 적어도 일부가 상기 진동판에 접하고, 상기 제 1 단면이 상기 제 2 전극의 제 1 단부(端部)와 상기 압전체층의 제 1 단부를 포함한다. 상기 압전 소자의 제 2 단면 중 적어도 일부가 상기 고정판에 접하고, 상기 제 2 단면이 상기 제 2 전극의 제 2 단부와 상기 압전체층의 제 2 단부를 포함한다. 상기 진동판과 상기 제 2 전극의 제 1 단부가 접하고, 상기 고정판과 상기 제 2 전극의 제 2 단부 사이에 상기 압전체층의 제 2 단부 중 적어도 일부가 개재(介在)된다.

액적 토출 헤드, 진동판, 고정판, 압전 소자, 노즐 플레이트

Description

액적 토출 헤드, 화상 형성 장치, 및 성막 장치{DROPLET DISCHARGING HEAD, IMAGE FORMING APPARATUS, AND FILM FORMING APPARATUS}

도 1은 제 1 실시예에 따른 액적 토출 헤드의 모식 단면도.

도 2는 액적 토출 헤드에 사용되는 압전 소자의 일례를 나타내는 모식 단면도.

도 3은 진동판, 고정판, 압전 소자의 상호 위치 관계에 대해서 나타내는 부분적인 모식 단면도.

도 4는 압전 소자의 배치에 따라 제 1 불활성층의 두께와 제 2 불활성층의 두께가 상이한 것을 나타내는 모식 단면도.

도 5는 액적 토출 장치의 일 형태인 성막 장치를 나타내는 개략 사시도.

도 6은 액적 토출 장치의 일 형태인 화상 형성 장치를 나타내는 개략 사시도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 액적 토출 헤드 10 : 진동판

11 : 고정판 12 : 압전(壓電) 소자

13 : 유로(流路) 기판 14 : 노즐 플레이트

16 : 기체(基體) 17 : 프레임

18 : 제 1 전극 19 : 제 2 전극

20 : 공통 액실(液室) 21 : 유로

22 : 압력실 23 : 노즐 구멍

24 : 압전체층 25 : 압전체층의 제 1 단부(端部)

26 : 압전체층의 제 2 단부 27 : 활성층

28 : 제 1 불활성층 29 : 제 2 불활성층

30 : 제 1 내부 전극 31 : 제 2 내부 전극

32 : 제 1 전극의 제 1 단부 33 : 제 1 전극의 제 2 단부

34 : 제 2 전극의 제 1 단부 35 : 제 2 전극의 제 2 단부

36 : 압전 소자의 제 1 단면(端面) 37 : 압전 소자의 제 2 단면

본 발명은 액적 토출 헤드, 화상 형성 장치, 및 성막(成膜) 장치에 관한 것이다.

잉크젯 기술의 공업 응용화가 진행됨에 따라, 예를 들어 보다 미세한 배선 등을 형성하기 위해, 보다 미소한 액적을 토출 가능한 액적 토출 헤드가 요구되고 있다. 토출되는 액적의 미소(微小)화를 실현하기 위해서는, 고주파 신호로 구동할 수 있고, 또한 필요 충분한 변위(變位)량을 확보할 수 있는 액추에이터(actuator)를 이용할 필요가 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 이러한 요망을 달성하려면, 예를 들어 압전(壓電) 소자의 d33 방향의 변위를 이용하는 것이 효과적이다.

[특허문헌 1] 일본국 공개특허 제2003-92437호 공보

특허문헌 1에서는, 개별 전극의 고정판과의 접합 측 부분에 노치부를 설치함으로써, 고정판 측의 쇼트를 방지하고 있지만, 도전성(導電性)을 갖는 진동판을 사용한 경우에는, 진동판 측에서 쇼트가 발생하게 된다. 또한, 압전 소자의 일부에 노치부를 설치하면, 전왜(電歪)(electrostriction) 작용이 발생했을 때의 형상이 불균일하게 될 우려가 있다.

그래서, 본 발명에 따른 액적 토출 헤드, 화상 형성 장치, 및 성막 장치는 압전 소자 형상의 균일성을 향상시키고, 액체 재료의 토출 정밀도를 향상시키는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 액적 토출 헤드는, 진동판과, 고정판과, 압전 소자를 가지며, 상기 압전 소자가 제 1 전극과, 제 2 전극과, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 삽입된 압전체층과, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 상기 제 1 전극으로부터 연장되는 제 1 내부 전극과, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 상기 제 2 전극으로부터 연장되는 제 2 내부 전극을 포함하며, 상기 압전 소자의 제 1 단면(端面) 중 적어도 일부가 상기 진동판에 접하고, 상기 제 1 단면이 상기 제 1 전극의 제 1 단부(端部)와 상기 제 2 전극의 제 1 단부와 상기 압전체층의 제 1 단부를 포함하고, 상기 압전 소자의 제 2 단면 중 적어도 일부가 상기 고정판에 접하고, 상기 제 2 단면이 상기 제 1 전극의 제 2 단부와 상기 압전체층의 제 2 단부를 포함하고, 상기 진동판과 상기 제 2 전극의 제 1 단부 사이에 상기 압전체층의 제 1 단부 중 적어도 일부가 개재(介在)되고, 상기 고정판과 상기 제 2 전극의 제 2 단부 사이에 상기 압전체층의 제 2 단부 중 적어도 일부가 개재되고, 상기 압전체층이 상기 제 1 내부 전극과 상기 제 2 내부 전극에 중첩되는 활성층과, 상기 제 1 내부 전극에만 중첩되는 제 1 불활성층과, 상기 제 2 내부 전극에만 중첩되는 제 2 불활성층을 가지며, 상기 제 1 불활성층의 상기 제 1 전극과 상기 활성층 사이의 두께보다 상기 제 2 불활성층의 상기 제 2 전극과 상기 활성층 사이의 두께가 두꺼운 것을 특징으로 한다. 이것에 의해 압전 소자의 신축(伸縮) 시의 형상의 균등성이 향상되고, 그것에 따라 액체 재료의 토출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 액적 토출 헤드는, 진동판과, 고정판과, 압전 소자를 가지며, 상기 압전 소자가 제 1 전극과, 제 2 전극과, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 삽입된 압전체층을 포함하고, 상기 압전 소자의 제 1 단면 중 적어도 일부가 상기 진동판에 접하고, 상기 제 1 단면이 상기 제 2 전극의 제 1 단부와 상기 압전체층의 제 1 단부를 포함하고, 상기 압전 소자의 제 2 단면 중 적어도 일부가 상기 고정판에 접하고, 상기 제 2 단면이 상기 제 2 전극의 제 2 단부와 상기 압전체층의 제 2 단부를 포함하고, 상기 진동판과 상기 제 2 전극의 제 1 단부가 접하고, 상기 고정판과 상기 제 2 전극의 제 2 단부 사이에 상기 압전체층의 제 2 단부 중 적어도 일부가 개재되는 것을 특징으로 하는 것일 수도 있다. 이것에 의해 압전 소자의 신축 시의 형상의 균등성이 향상되고, 그것에 따라 액체 재료의 토출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 액적 토출 헤드는, 진동판과, 고정판과, 압전 소자를 가지며, 상기 압전 소자가 제 1 전극과, 제 2 전극과, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 삽입된 압전체층을 포함하고, 상기 압전 소자의 제 1 단면 중 적어도 일부가 상기 진동판에 접하고, 상기 제 1 단면이 상기 제 1 전극의 제 1 단부와 상기 압전체층의 제 1 단부를 포함하고, 상기 압전 소자의 제 2 단면 중 적어도 일부가 상기 고정판에 접하고, 상기 제 2 단면이 상기 압전체층의 제 2 단부를 포함하고, 상기 진동판과 상기 제 1 전극의 제 1 단부 사이에 상기 압전체층의 제 1 단부 중 적어도 일부가 개재되는 것을 특징으로 하는 것일 수도 있다. 이것에 의해 압전 소자의 신축 시의 형상의 균등성이 향상되고, 그것에 따라 액체 재료의 토출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 액적 토출 헤드는, 진동판과, 고정판과, 압전 소자를 가지며, 상기 압전 소자가 제 1 전극과, 제 2 전극과, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 삽입된 압전체층을 포함하고, 상기 압전 소자의 제 1 단면 중 적어도 일부가 상기 진동판에 접하고, 상기 제 1 단면이 상기 제 2 전극의 제 1 단부와 상기 압전체층의 제 1 단부를 포함하고, 상기 압전 소자의 제 2 단면 중 적어도 일부가 상기 고정판에 접하고, 상기 제 2 단면이 상기 압전체층의 제 2 단부를 포함하고, 상기 진동판과 상기 제 2 전극의 제 1 단부 사이에 상기 압전체층의 제 1 단부 중 적어도 일부가 개재되는 것을 특징으로 하는 것일 수도 있다. 이것에 의해 압전 소자의 신축 시의 형상의 균등성이 향상되고, 그것에 따라 액체 재료의 토출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

상기 액적 토출 헤드는, 상기 압전 소자의 제 1 단면이 상기 제 1 전극의 제 1 단부를 포함하고, 상기 진동판과 상기 제 1 전극의 제 1 단부 사이에 상기 압전체층의 제 1 단부 중 적어도 일부가 개재되는 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자의 배치 자유도를 높일 수 있고, 예를 들어 헤드를 미세하게 설계하는 것도 가능하게 된다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 압전 소자의 제 1 단면이 상기 제 1 전극의 제 1 단부를 포함하고, 상기 제 1 전극의 제 1 단부가 상기 진동판에 접하는 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자의 배치 자유도를 높일 수 있고, 예를 들어 헤드를 미세하게 설계하는 것도 가능하게 된다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 압전 소자의 제 2 단면이 상기 제 1 전극의 제 2 단부를 포함하고, 상기 고정판과 상기 제 1 전극의 제 2 단부가 접하는 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자의 배치 자유도를 높일 수 있고, 예를 들어 헤드를 미세하게 설계하는 것도 가능하게 된다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 압전 소자의 제 2 단면이 상기 제 2 전극의 제 2 단부를 포함하고, 상기 고정판과 상기 제 2 전극의 제 2 단부 사이에 상기 압전체층의 제 2 단부 중 적어도 일부가 개재되는 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자의 배치 자유도를 높일 수 있고, 예를 들어 헤드를 미세하게 설계하는 것도 가능하게 된다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 압전 소자의 제 2 단면이 상기 제 2 전 극의 제 2 단부를 포함하고, 상기 진동판과 상기 제 1 전극의 제 1 단부가 접하고, 상기 진동판과 상기 제 2 전극의 제 1 단부가 접하는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자의 배치 자유도를 높일 수 있고, 예를 들어 헤드를 미세하게 설계하는 것도 가능하게 된다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 압전 소자의 제 2 단면이 상기 제 2 전극의 제 2 단부를 포함하고, 상기 고정판과 상기 제 2 전극의 제 2 단부가 접하는 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자의 배치 자유도를 높일 수 있고, 예를 들어 헤드를 미세하게 설계하는 것도 가능하게 된다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 고정판이 도전성을 갖는 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자에 전위(電位)를 부여하는 구조를 간소화할 수 있고, 예를 들어 헤드를 미세하게 설계하는 것도 가능하게 된다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 진동판이 도전성을 갖는 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자에 전위를 부여하는 구조를 간소화할 수 있고, 예를 들어 헤드를 미세하게 설계하는 것도 가능하게 된다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 제 2 전극이 프린트 기판에 접속되는 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자에 전위를 부여하는 구조를 간소화할 수 있고, 예를 들어 헤드를 미세하게 설계하는 것도 가능하게 된다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 압전 소자의 제 1 단면의 상기 적어도 일부가 상기 진동판의 볼록부에 접하는 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자의 배치 자유도를 높일 수 있고, 예를 들어 헤드를 미세하게 설계하는 것도 가능하 게 된다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 압전 소자가 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 상기 제 1 전극으로부터 연장되는 제 1 내부 전극과, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 상기 제 2 전극으로부터 연장되는 제 2 내부 전극을 가지며, 상기 압전체층이 상기 제 1 내부 전극과 상기 제 2 내부 전극에 중첩되는 활성층과, 상기 제 1 내부 전극에만 중첩되는 제 1 불활성층과, 상기 제 2 내부 전극에만 중첩되는 제 2 불활성층을 가지며, 상기 제 1 불활성층의 상기 제 1 전극과 상기 활성층 사이의 두께보다 상기 제 2 불활성층의 상기 제 2 전극과 상기 활성층 사이의 두께가 상이한 것이 바람직하다. 이것에 의해 압전 소자의 신축 시의 형상의 균등성이 향상되고, 그것에 따라 액체 재료의 토출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 진동판에 접속된 기체(基體)를 가지며, 상기 기체에 액체 재료를 유지하는 압력실과, 상기 액체 재료를 토출하는 토출구가 형성되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 액적 토출 헤드는, 상기 진동판에 접속된 유로(流路) 기판과, 상기 유로 기판에 접속된 노즐 플레이트를 가지며, 상기 유로 기판에 액체 재료를 유지하는 압력실이 형성되고, 상기 노즐 플레이트에 상기 액체 재료를 토출하는 토출구가 형성되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 화상 형성 장치는 상술한 액적 토출 헤드를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 성막(成膜) 장치는 상술한 액적 토출 헤드를 갖는 것을 특징 으로 한다.

이하, 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.

또한, 각 도면에 있어서의 각 부재는 각 도면 위에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해, 각 부재마다 축척을 다르게 하여 도시하고 있다.

(제 1 실시예)

도 1은 제 1 실시예에 따른 액적 토출 헤드의 모식 단면도이다. 도 1에 나타내는 액적 토출 헤드(1)는 진동판(10), 고정판(11), 압전 소자(12), 유로 기판(13), 노즐 플레이트(14), 프린트 기판(15), 프레임(17)을 포함하여 구성된다.

진동판(10)은, 예를 들어 니켈 등의 금속판을 이용하여 형성된다. 도시하는 바와 같이, 진동판(10)은 압전 소자(12)와 접하는 부위가 섬(island) 형상으로 분리되어 있다. 이 분리된 부위(볼록부)의 주위에는 박막(薄膜)이 설치되어 있으며, 이 박막을 통하여, 진동판(10)의 볼록부와 그 이외의 부위가 일체화되어 있다. 또한, 진동판(10)은 금속판과 수지판의 적층 기판을 이용하여 형성할 수도 있다.

고정판(11)은, 도 1의 지면(紙面)과 직교하는 방향으로 연장되는 부재이며, 예를 들어 스테인리스 등의 금속 부재, 세라믹 부재, 그 이외의 다양한 부재를 이용하여 형성되어 있다. 이 고정판(11)의 기본적인 기능은 압전 소자(12)가 고정되고, 상기 압전 소자(12)를 지지하는 것이다. 따라서, 고정판(11)은 이러한 기능을 발휘하기에 충분한 기계적 강도를 갖도록 그 구성 부재의 재료나 형상 등이 선택된다.

압전 소자(12)는 프린트 기판(플렉시블 프린트 기판)(15)을 통하여 공급되는 구동 신호에 따라 변위(變位)한다. 이 변위는 압전 소자(12)와 접한 진동판(10)에 전달된다. 도시하는 바와 같이, 압전 소자(12)는 제 1 전극(18)과, 제 2 전극(19)과, 제 1 전극(18)과 제 2 전극(19) 사이에 삽입된 압전체층(24)을 포함한다.

유로 기판(13)은 액적 토출 헤드(1)의 노즐 구멍(토출 구멍)(23)으로부터 토출되어야 할 액체를 공급하는 유로를 구성하기 위한 기판이며, 진동판(10)과 접합되어 있다. 유로 기판(13)은 공통 액실(20), 유로(21), 압력실(22)을 갖는다. 이 유로 기판(13)은, 예를 들어 결정면(結晶面) 방위(110)의 단결정 실리콘 기판에 이방성 에칭을 실시함으로써 형성된다. 공통 액실(20)에 충전된 액체가 유로(21)를 통하여 압력실(22)에 공급된다. 압력실(22)에는, 도시하는 바와 같이 진동판(10)의 섬 형상 부위가 접하고 있다. 이 섬 형상 부위를 통하여 압전 소자(12)의 변위가 압력실(22)에 부여되고, 압력실(22)의 내압(內壓)이 변화함으로써, 이 압력실(22)과 연통하는 노즐 구멍(23)으로부터 미소량의 액체(액적)가 토출된다.

노즐 플레이트(14)는, 도 1의 지면과 직교하는 방향으로 배열된 복수의 노즐 구멍(23)을 가지고 있으며, 유로 기판(13)과 접합되어 있다. 각 노즐 구멍(23)은, 예를 들어 직경 수 ㎛정도의 구멍이며, 유로 기판(13)의 압력실(22)에 대응하여 배치된다. 이 노즐 플레이트(14)는, 예를 들어 유리 기판을 에칭 가공함으로써 형성된다. 노즐 플레이트(14)와 유로 기판(13)을 포함하여 기체(16)가 구성된다.

프레임(17)은 도 1의 지면과 직교하는 방향으로 연장되는 부재이며, 예를 들어 스테인리스 등의 금속 부재, 세라믹 부재, 그 이외의 다양한 부재를 이용하여 형성되어 있다. 이 프레임(17)의 기본적인 기능은 진동판(10), 고정판(11), 기 체(16)(유로 기판(13), 노즐 플레이트(14))를 지지하고, 이들을 일체화시키는 것이다. 따라서, 프레임(17)은 상기 기능을 발휘하기에 충분한 기계적 강도를 갖도록 그 구성 부재의 재료나 형상 등이 선택된다.

도 2는 상술한 액적 토출 헤드에 사용되는 압전 소자의 일례를 나타내는 모식 단면도이다. 본 실시예에서는 d33 방향으로 전왜 작용이 발생하는 압전 소자가 사용된다. 여기서, d는 압전체에 전압을 가했을 때의 변형의 용이성을 나타내는 계수(압전 계수)이다. 그리고, d33 방향은 전극면에 수직한 방향(압전체층(24)의 두께 방향)에 전계(電界)를 부여했을 때에, 같은 방향(압전체층(24)의 두께 방향)으로 변형이 생기는 것을 나타낸다. 도시하는 바와 같이, 압전 소자(12)는 상기의 제 1 전극(18)과 제 2 전극(19) 사이에 제 1 전극(18)으로부터 연장되는 복수의 제 1 내부 전극(30)과, 제 1 전극(18)과 제 2 전극(19) 사이에 제 2 전극(19)으로부터 연장되는 복수의 제 2 내부 전극(31)을 포함한다. 복수의 제 1 내부 전극(30)은 압전체층(24)의 내부에 서로 간격을 두고 빗살(comb) 형상으로 배치되어 있다. 마찬가지로, 복수의 제 2 내부 전극(31)은 압전체층(24)의 내부에 서로 간격을 두고 빗살 형상으로 배치되어 있다. 그리고, 각 제 1 내부 전극(30)과 각 제 2 내부 전극(31)은, 도시하는 바와 같이 1개씩 번갈아서 배치되어 있다. 이것에 의해, 제 1 전극(18)과 제 2 전극(19) 사이에 전압을 인가함으로써, 각 제 1 내부 전극(30)과 각 제 2 내부 전극(31)의 배열 방향(도시의 상하 방향)에 평행한 전계를 발생시킬 수 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 압전체층(24)은 제 1 내부 전극(30)과 제 2 내부 전극(31)에 중첩되는 활성층(27)과, 제 1 내부 전극(30)에만 중첩되는 제 1 불활성층(28)과, 제 2 내부 전극(31)에만 중첩되는 제 2 불활성층(29)을 갖는다. 또한, 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32)와, 압전체층(24)의 제 1 단부(25)와, 제 2 전극(19)의 제 1 단부(34)는 동일면에 나란하게 배치되어 있다. 이 면이 압전 소자(12)의 제 1 단면(36)으로 된다. 마찬가지로, 제 1 전극(18)의 제 2 단부(33)와, 압전체층(24)의 제 2 단부(26)와, 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35)는 동일면에 나란하게 배치되어 있다. 이 면이 압전 소자(12)의 제 2 단면(37)으로 된다.

다음으로, 진동판(10), 고정판(11), 압전 소자(12)의 상호 위치 관계에 대해서, 도 3에 나타내는 부분적인 모식 단면도를 참조하면서 설명한다.

도 3의 (a)는 고정판이 절연체이고, 또한 진동판이 도전체일 경우에 있어서의 진동판, 고정판 및 압전 소자에 대한 모식 단면도이다. 이 예에서는, 압전 소자(12)의 제 1 단면(36) 중 적어도 일부가 진동판(10)과 접하고 있다. 구체적으로는, 제 1 단면(36) 중, 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32)와, 압전체층(24)의 제 1 단부(25)가 진동판(10)과 접하고 있으며, 제 2 전극(19)의 제 1 단부(34)는 진동판(10)과 접하고 있지 않다. 도시한 예에서는, 진동판(10)과 제 2 전극(19)의 제 1 단부(34) 사이에 압전체층(24)의 제 1 단부(25)의 일부가 개재되도록, 진동판(10)과 압전 소자(12)가 상대적으로 배치되어 있다. 또한, 제 2 전극(19)과 진동판(10)이 접촉하지 않는 한, 압전체층(24)의 제 1 단부(25)의 거의 전부가 진동판(10)과 접하여 있을 수도 있다. 고정판은 절연체이며, 제 1 전극(18)과 제 2 전극(19)을 단락(短絡)시킬 우려가 없다.

또한, 압전 소자(12)의 제 2 단면(37)에 포함되는 제 1 전극(18)의 제 2 단부(33), 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35), 압전체층(24)의 제 2 단부(26) 전부가 고정판(11)과 접할 수 있다. 또한, 적어도 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하도록 할 수도 있고, 압전체층(24)의 제 2 단부(26)와, 제 1 전극(18)의 제 2 단부(33)가 고정판(11)에 접하도록 할 수도 있고, 압전체층(24)의 제 2 단부(26)와, 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35)가 고정판(11)에 접하도록 할 수도 있다.

이것에 의해, 제 1 전극(18)이 도전체인 진동판(10)과 도통하고, 진동판(10)을 이용하여 전위를 부여할 수 있다. 그리고, 한쪽 제 2 전극(19)에는, 예를 들어 도 1과 같이 프린트 기판(15)을 접속함으로써 전위를 부여할 수 있다. 이 때, 구조 상, 제 2 전극(19)이 진동판(10)과 도통하지 않기 때문에, 제 1 전극(18)과의 단락을 방지할 수 있다.

특히, 압전 소자(12)를 안정적으로 고정시키기 위해서는, 제 1 전극(18)의 제 2 단부(33)가 고정판(11)에 접하여 있으며, 고정판(11)과 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35) 사이에 압전체층(24)의 제 2 단부(26)의 일부가 개재되도록, 고정판(11)과 압전 소자(12)가 상대적으로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 압전 소자(12)의 제 1 단면(36)이 진동판(10)에 접하는 면적과, 제 2 단면(37)이 고정판(11)에 접하는 면적이 거의 동일하게 되고, 또한 압전 소자(12)를 사이에 삽입하는 진동판(10) 부분과 고정판(11) 부분이 선대칭 위치에 있기 때문에, 압전 소자(12)를 안정시켜 고정할 수 있다.

도 3의 (b)는 고정판이 도전체이고, 또한 진동판이 도전체일 경우에 있어서의 진동판, 고정판 및 압전 소자에 대한 모식 단면도이다. 이 예에서는, 압전 소자(12)의 제 1 단면(36) 중 적어도 일부가 진동판(10)과 접하고 있다. 구체적으로는, 제 1 단면(36) 중, 제 2 전극(19)의 제 1 단부(34)와, 압전체층(24)의 제 1 단부(25)가 진동판(10)과 접하고 있으며, 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32)는 진동판(10)과 접하고 있지 않다. 도시한 예에서는, 진동판(10)과 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32) 사이에 압전체층(24)의 제 1 단부(25)의 일부가 개재되도록, 진동판(10)과 압전 소자(12)가 상대적으로 배치되어 있다. 또한, 도 3의 (b)에 있어서는, 압전 소자(12)의 제 2 단면(37) 중 적어도 일부가 고정판(11)과 접하고 있다. 구체적으로는, 도시한 예에서는, 제 2 단면(37)에 포함되는 제 1 전극(18)의 제 2 단부(33), 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하고 있다. 또한, 고정판(11)과 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35) 사이에 압전체층(24)의 제 2 단부(26)의 일부가 개재되도록, 고정판(11)과 압전 소자(12)가 상대적으로 배치되어 있다. 이 구성에 의하면, 제 1 전극(18)과 제 2 전극(19)이 진동판(10) 또는 고정판(11)을 통하여 단락하지 않기 때문에, 제 1 전극(18)에는 고정판(11)을 이용하여, 제 2 전극(19)에는 진동판(10)을 이용하여, 각각 전위를 부여할 수 있다.

또한, 도 3의 (b)에 나타내는 진동판(10), 고정판(11) 및 압전 소자(12)의 상호 위치 관계를 반전시킬 수도 있다. 구체적으로는, 압전 소자(12)의 제 1 단면(36)에 대해서는, 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32)와, 압전체층(24)의 제 1 단부(25)가 진동판(10)과 접하고, 제 2 전극(19)의 제 1 단부(34)는 진동판(10)과 접하지 않도록 배치한다. 그리고, 압전 소자(12)의 제 2 단면(37)에 대해서는, 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35), 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하고, 제 1 전극(18)의 제 2 단부(33)는 고정판(11)과 접하지 않도록 배치한다. 제 1 전극(18)과 제 2 전극(19)이 진동판(10) 또는 고정판(11)을 통하여 단락하지 않으면 된다.

도 3의 (c)는 고정판이 도전체이고, 또한 진동판이 도전체일 경우에 있어서의 진동판, 고정판 및 압전 소자에 대한 다른 예의 모식 단면도이다. 이 예에서는, 압전 소자(12)의 제 1 단면(36) 중, 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32)와, 압전체층(24)의 제 1 단부(25)가 진동판(10)과 접하고 있으며, 제 2 전극(19)의 제 1 단부(34)는 진동판(10)과 접하고 있지 않다. 도시한 예에서는, 진동판(10)과 제 2 전극(19)의 제 1 단부(34) 사이에 압전체층(24)의 제 1 단부(25)의 일부가 개재되도록, 진동판(10)과 압전 소자(12)가 상대적으로 배치되어 있다. 또한, 도 3의 (c)에 있어서는, 압전 소자(12)의 제 2 단면(37)에 포함되는 제 1 전극(18)의 제 2 단부(33), 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하고 있다. 또한, 고정판(11)과 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35) 사이에 압전체층(24)의 제 2 단부(26)의 일부가 개재되도록, 고정판(11)과 압전 소자(12)가 상대적으로 배치되어 있다. 이것에 의하면, 압전 소자(12)의 제 1 단면(36)이 진동판(10)에 접하는 면적과, 제 2 단면(37)이 고정판(11)에 접하는 면적이 거의 동일하게 되고, 또한, 압전 소자(12)를 사이에 삽입하는 진동판(10) 부분과 고정판(11) 부분이 선대칭의 위치에 있기 때문에, 압전 소자(12)를 안정시켜 고정할 수 있다. 또한, 고정이라는 관점에서, 적어도 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하도록 할 수도 있다.

또한, 도 3의 (c)에 나타내는 진동판(10), 고정판(11) 및 압전 소자(12)의 상호 위치 관계를 반전시킬 수도 있다. 구체적으로는, 압전 소자(12)의 제 1 단면(36)에 대해서는, 제 2 전극(19)의 제 1 단부(34)와, 압전체층(24)의 제 1 단부(25)가 진동판(10)과 접하고, 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32)는 진동판(10)과 접하지 않도록 배치한다. 그리고, 압전 소자(12)의 제 2 단면(37)에 대해서는, 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35), 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하고, 제 1 전극(18)의 제 2 단부(33)는 고정판(11)과 접하지 않도록 배치한다.

도 3의 (d)는 고정판이 도전체이고, 또한 진동판이 도전체일 경우에 있어서의 진동판, 고정판 및 압전 소자에 대한 다른 예의 모식 단면도이다. 이 예에서는, 압전 소자(12)의 제 1 단면(36) 중, 압전체층(24)의 제 1 단부(25)만이 진동판(10)과 접하고 있으며, 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32) 및 제 2 전극(19)의 제 1 단부(34)는 진동판(10)과 접하고 있지 않다. 도시한 예에서는, 고정판(11)과 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35) 사이에 압전체층(24)의 제 2 단부(26)의 일부가 개재되도록, 고정판(11)과 압전 소자(12)가 상대적으로 배치되어 있다. 또한, 도 3의 (d)에 있어서는, 압전 소자(12)의 제 2 단면(37)에 포함되는 제 1 전극(18)의 제 2 단부(33), 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하고 있다. 이것에 의하면, 제 1 전극(18)에는 고정판(11)을 이용하여 전위를 부여할 수 있고, 제 2 전극(19)에는, 예를 들어 도 1에서 나타낸 프린트 기판(15)을 이용하여 전위를 부여할 수 있다.

또한, 적어도 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하도록 할 수도 있고, 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35)와 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하도록 할 수도 있다.

도 3의 (e)는 고정판이 도전체이고, 또한 진동판이 절연체일 경우에 있어서의 진동판, 고정판 및 압전 소자에 대한 모식 단면도이다. 이 예에서는, 압전 소자(12)의 제 1 단면(36) 모두, 즉, 압전체층(24)의 제 1 단부(25), 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32) 및 제 2 전극(19)의 제 1 단부(34)가 진동판(10)과 접하고 있다. 도시한 예에서는, 고정판(11)과 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35) 사이에 압전체층(24)의 제 2 단부(26)의 일부가 개재되도록, 고정판(11)과 압전 소자(12)가 상대적으로 배치되어 있다. 또한, 도 3의 (e)에 있어서는, 압전 소자(12)의 제 2 단면(37)에 포함되는 제 1 전극(18)의 제 2 단부(33), 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하고 있다. 이것에 의해, 제 1 전극(18)과 제 2 전극(19)이 고정판(11)을 통하여 단락하지 않게 된다.

또한, 진동판(10)은 절연체이기 때문에, 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32), 또는 제 2 전극(19)의 제 2 단부(34)와 접하지 않을 수도 있다. 특히, 진동판(10)과 제 1 전극(18)의 제 1 단부(32) 및 압전체층(24)의 제 1 단부(25)가 접하고, 진동판(10)과 제 2 전극(19)의 제 2 단부(34) 사이에 압전체층(24)의 제 1 단부(25)의 일부가 개재되는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 압전 소자(12)의 고정 상태를 안정시킬 수 있다. 또한, 적어도 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하도록 할 수도 있고, 제 2 전극(19)의 제 2 단부(35)와 압전체층(24)의 제 2 단부(26)가 고정판(11)과 접하도록 할 수도 있다.

도 4는 압전 소자의 배치에 따라 제 1 불활성층의 두께와 제 2 불활성층의 두께가 상이한 것을 나타내는 모식 단면도이다. 여기서, 압전 소자(12)와 진동판(10) 및 고정판(11)의 위치 관계는, 상기한 도 3의 (a)에 나타낸 형태로 되어 있지만, 다른 형태도 채용할 수 있다. 도 4의 (a)에 나타내는 비교예의 압전 소자(12)는, 압전 소자(12)의 제 1 불활성층(28)의 두께(제 1 전극(18)과 활성층(27) 사이의 두께)와 제 2 불활성층(29)의 두께(제 2 전극(19)과 활성층(27) 사이의 두께)가 동일하게 구성되어 있다. 이 경우에는, 도면 중의 우측에 나타낸 바와 같이, 압전체층(24)의 변형 상태는 균일하게 되기 어렵다. 이것에 대하여, 도 4의 (b)에 나타내는 본 실시예의 압전 소자(12)는, 압전 소자(12)의 제 1 불활성층(28)의 두께(제 1 전극(18)과 활성층(27) 사이의 두께)보다, 제 2 불활성층(29)의 두께(제 2 전극(19)과 활성층(27) 사이의 두께)가 크게 구성되어 있다. 이 경우에는, 도면 중의 우측에 나타낸 바와 같이, 압전체층(24)의 변형 상태가 균일하게 되기 쉽다.

이상의 본 실시예에 의하면, 압전 소자의 신축 시의 형상의 균등성이 향상되고, 그것에 따라 액체 재료의 토출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

(제 2 실시예)

도 5는 액적 토출 장치의 일 형태인 성막 장치를 나타내는 개략적인 사시도이다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 성막 장치(50)는 기능액을 액적으로 서 토출하여 기판(W) 위에 기능액으로 이루어지는 막을 형성하는 것이다. 그리고, 기판(W)이 탑재 배치되는 스테이지(54)와, 탑재된 기판(W)에 기능액을 액적으로서 토출하는 복수의 액적 토출 헤드를 갖는 헤드 유닛(51)을 구비하고 있다.

또한, 성막 장치(50)는 헤드 유닛(51)을 부(副)주사 방향(X방향)으로 구동하기 위한 X방향 가이드 축(52)과, X방향 가이드 축(52)을 회전시키는 X방향 구동 모터(53)를 구비하고 있다. 또한, 스테이지(54)를 주(主)주사 방향(Y방향)으로 가이드하기 위한 Y방향 가이드 축(55)과, Y방향 가이드 축(55)에 걸어 맞추어 회전하는 Y방향 구동 모터(56)를 구비하고 있다. 그리고, X방향 가이드 축(52)과 Y방향 가이드 축(55)이 상부(上部)에 배설(配設)된 베이스(base)(57)를 구비하고, 그 베이스(57)의 하부(下部)에는 제어 장치(58)를 구비하고 있다.

또한, 헤드 유닛(51)의 복수의 액적 토출 헤드를 클리닝(회복 처리)하기 위한 클리닝 기구(59) 및 토출된 기능액을 가열하고 용매를 증발·건조시키기 위한 히터(66)를 구비하고 있다. 또한, 클리닝 기구(59)에도 Y방향 구동 모터(61)가 구비되어 있다.

헤드 유닛(51)은 기능액을 노즐(토출구)로부터 토출하여 기판(W)에 도포하는 복수의 액적 토출 헤드를 구비하고 있다. 그리고, 이들 복수의 액적 토출 헤드에 의해, 제어 장치(58)로부터 공급되는 토출 전압에 따라 개별적으로 기능액을 토출할 수 있도록 되어 있다.

X방향 구동 모터(53)는 이것에 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 스테핑 모터 등이며, 제어 장치(58)로부터 X축 방향의 구동 펄스 신호가 공급되면, X방향 가이드 축(52)을 회전시키고, X방향 가이드 축(52)에 걸어 맞춘 헤드 유닛(51)을 X방향으로 이동시킨다.

마찬가지로, Y방향 구동 모터(56, 61)는 이것에 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 스테핑 모터 등이며, 제어 장치(58)로부터 Y축 방향의 구동 펄스 신호가 공급되면, Y방향 가이드 축(55)에 걸어 맞추어 회전하고, Y방향 구동 모터(56, 61)를 구비한 스테이지(54) 및 클리닝 기구(59)를 Y축 방향으로 이동시킨다.

클리닝 기구(59)는 액적 토출 헤드를 클리닝할 때에는, 헤드 유닛(51)을 접하는 위치로 이동하고, 액적 토출 헤드의 노즐면에 밀착하여 불필요한 기능액을 흡인하는 캐핑(capping), 기능액 등이 부착된 노즐면을 청소하는 와이핑, 액적 토출 헤드의 전(全)노즐로부터 기능액의 토출을 행하는 예비 토출 또는 불필요하게 된 기능액을 받아 배출시키는 처리를 행한다.

히터(66)는 이것에 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 램프 어닐링에 의해 기판(W)을 열처리하는 수단이며, 기판(W) 위에 토출된 기능액의 증발·건조를 행하는 동시에, 막으로 변환하기 위한 열처리를 행하도록 되어 있다. 이 히터(66)의 전원 투입 및 차단도 제어 장치(58)에 의해 제어된다.

액적 토출 장치(50)의 도포 동작은 제어 장치(58)로부터 소정의 구동 펄스 신호를 X방향 구동 모터(53) 및 Y방향 구동 모터(56)에 송출하고, 헤드 유닛(51)을 부주사 방향(X방향)으로, 스테이지(54)를 주주사 방향(Y방향)으로 상대 이동시킨다. 그리고, 이 상대 이동하는 동안에 제어 장치(58)로부터 토출 전압을 공급하고, 헤드 유닛(51)으로부터 기판(W)의 소정의 영역에 기능액을 액적으로서 토출하 고 도포를 행한다.

헤드 유닛(51)으로부터 토출되는 액적 토출량은 제어 장치(58)로부터 공급되는 토출 전압의 크기에 따라 조정할 수 있다.

또한, 본 발명의 액적 토출 장치는 여기서 예를 든 성막 장치 이외에, 예를 들어 잉크젯 프린터 등의 화상 형성 장치일 수도 있다.

도 6은 액적 토출 장치의 일 형태인 화상 형성 장치를 나타내는 개략 사시도이다. 특히, 본 발명의 화상 형성 장치를 종이 등에 인쇄하는 일반적인 프린터에 적용했을 경우의 개략 구성도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 도 6의 Z방향 상측(上側)을 「상부」, Z방향 하측(下側)을 「하부」라고 한다.

잉크젯 프린터(80)는 장치 본체(82)를 구비한 것으로, 상부 후방에 기록 용지를 설치하는 트레이(821)를 가지고, 하부 전방에 기록 용지를 배출하는 배출구(822)를 갖고 있으며, 상부면에는 조작 패널(87)을 갖고 있다.

장치 본체(82)의 내부에는 주로 왕복동(往復動)하는 헤드 유닛(83)을 구비한 인쇄 장치(84)와, 기록 용지를 1매씩 인쇄 장치(84)에 이송하는 급지(給紙) 장치(85)와, 인쇄 장치(84) 및 급지 장치(85)를 제어하는 제어부(86)가 설치되어 있다.

제어부(86)의 제어에 의해, 급지 장치(85)는 기록 용지를 1매씩 간헐적으로 이송하도록 되어 있다. 간헐적으로 이송되는 기록 용지는 헤드 유닛(83)의 하부 근방을 통과한다. 이 때, 헤드 유닛(83)이 기록 용지의 이송하는 방향과 거의 직교하는 방향으로 왕복 이동하고, 기록 용지로의 인쇄를 행하도록 되어 있다. 즉, 헤드 유닛(83)의 왕복동과, 기록 용지의 간헐적인 이송이, 인쇄에 있어서의 주주사 및 부주사로 되고, 잉크젯 방식의 인쇄가 행해지도록 되어 있다.

인쇄 장치(84)는 헤드 유닛(83)과, 헤드 유닛(83)의 구동원으로 되는 캐리지 모터(841)와, 캐리지 모터(841)의 회전을 받아 헤드 유닛(83)을 왕복동시키는 왕복동 기구(842)를 구비한 것이다. 헤드 유닛(83)은 그 하부에 다수의 노즐을 구비하는 잉크젯 헤드(81)와, 이 잉크젯 헤드(81)에 잉크를 공급하는 잉크 카트리지(831)와, 잉크젯 헤드(81) 및 잉크 카트리지(831)를 탑재한 캐리지(832)를 갖는 것이다.

왕복동 기구(842)는 그 양단(兩端)이 프레임(도시 생략)에 지지된 캐리지 가이드 축(844)과, 캐리지 가이드 축(844)과 평행으로 연장되어 주행 동작하는 타이밍 벨트(843)를 갖고 있다. 그리고, 캐리지(832)는 캐리지 가이드 축(844)에 왕복동하도록 지지되는 동시에, 타이밍 벨트(843)의 일부에 고정된 것이다. 캐리지 모터(841)의 작동에 의해, 풀리(pulley)를 통하여 타이밍 벨트(843)를 정역(正逆) 주행시키면, 캐리지 가이드 축(844)에 안내되어, 헤드 유닛(83)이 왕복동한다. 그리고, 이 왕복동 시에, 잉크젯 헤드(81)로부터 적절히 잉크가 토출되고, 기록 용지로의 인쇄가 행해지도록 되어 있다.

급지 장치(85)는 그 구동원으로 되는 급지 모터(851)와, 급지 모터(851)의 작동에 의해 축 주위에 회전하는 급지 롤러(852)를 갖는 것이다.

급지 롤러(852)는 기록 용지의 이송 경로를 사이에 삽입하고 상하로 대향하는 종동 롤러(852a)와, 구동 롤러(852b)로 구성된 것이며, 구동 롤러(852b)는 급지 모터(851)에 연결된 것이다. 이러한 구성에 의해, 급지 롤러(852)는 트레이(821) 에 설치한 다수매의 기록 용지를, 인쇄 장치(84)를 향하여 1매씩 이송하도록 되어 있다. 또한, 트레이(821) 대신에, 기록 용지를 수용하는 급지 카세트를 착탈 자유롭게 장착할 수 있는 구성으로 할 수도 있다.

제어부(86)는, 예를 들어 퍼스널 컴퓨터나 디지털 카메라 등의 호스트 컴퓨터로부터 입력된 인쇄 데이터에 기초하여, 인쇄 장치(84)나 급지 장치(85) 등을 구동시킴으로써 인쇄 동작의 제어를 행하는 것이다.

(그 이외의 실시예)

또한, 본 발명은 상술한 각 실시예의 내용에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지의 범위 내에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다. 예를 들어 상기 실시예의 액적 토출 헤드에서는 볼록부를 갖는 진동판을 채용하고, 압전 소자의 제 1 단면 중 적어도 일부가 진동판의 볼록부에 접하도록 하고 있지만, 볼록부를 갖지 않는 진동판을 채용할 수도 있다.

본 발명에 의하면, 액적 토출 헤드, 화상 형성 장치, 및 성막 장치는 압전 소자 형상의 균일성을 향상시키고, 액체 재료의 토출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

Claims

진동판과,

고정판과,

압전(壓電) 소자를 포함하고,

상기 진동판은 제 1 두께를 갖는 제 1 부분과, 상기 제 1 두께보다 작은 제 2 두께를 갖는 제 2 부분을 포함하고,

상기 압전 소자는 제 1 전극과, 제 2 전극과, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 삽입된 압전체와, 상기 제 1 전극으로부터 연장되는 제 1 내부 전극과, 상기 제 2 전극으로부터 연장되는 제 2 내부 전극을 포함하고,

상기 진동판, 상기 압전 소자, 및 상기 고정판은 이 순서로 제 1 방향으로 배치되고,

상기 제 1 방향에서 볼 때, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 중 한쪽은 상기 제 1 부분에 포함되고, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 중 다른 쪽은 상기 제 2 부분에 포함되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 헤드.
제 1 항에 있어서,

상기 진동판은 도전성을 갖고, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 중 한쪽과 도통하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 헤드.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 진동판의 상기 압전 소자 측의 면은 상기 제 1 부분에서 상기 압전 소자에 접해 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 헤드.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 압전체는 상기 제 1 방향에서 볼 때,

상기 제 1 내부 전극과 상기 제 2 내부 전극이 중첩되는 영역인 활성부와,

상기 활성부와 상기 제 1 전극 사이의 영역인 제 1 불활성부와,

상기 활성부와 상기 제 2 전극 사이의 영역인 제 2 불활성부를 포함하고,

상기 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향의 상기 제 1 불활성부의 길이보다, 상기 제 2 방향의 상기 제 2 불활성부의 길이가 큰 것을 특징으로 하는 액적 토출 헤드.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 고정판은 도전성을 갖고, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 중 한쪽과 도통하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 헤드.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 제 2 전극이 프린트 기판에 접속되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 헤드.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 진동판에 접속된 기체(基體)를 갖고,

상기 기체에 액체 재료를 유지하는 압력실과, 상기 액체 재료를 토출하는 토출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 헤드.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 진동판에 접속된 유로(流路) 기판과,

상기 유로 기판에 접속된 노즐 플레이트를 갖고,

상기 유로 기판에 액체 재료를 유지하는 압력실이 형성되고, 상기 노즐 플레이트에 상기 액체 재료를 토출하는 토출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 헤드.
제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 액적 토출 헤드를 갖는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 액적 토출 헤드를 갖는 것을 특징으로 하는 성막(成膜) 장치.
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