JP5988132B2 - 板状部材の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、板状部材を製造する製造方法、該製造方法によって製造された板状部材を共通液室形成板状部材として用いた液滴吐出ヘッドを製造する製造方法、及び該液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置を製造する方法に関するものである。

一般に、プリンタ、ファックス、複写機、プロッタ、或いはこれらの内の複数の機能を複合した画像形成装置としては、例えばインクの液滴を吐出する液体吐出ヘッドを備え、媒体を搬送しながらインク滴を用紙に付着させて画像形成を行うインクジェット記録装置がある。ここでの媒体は「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。また、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。そして、画像形成とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与する（単に液滴を吐出する）ことも意味する。また、インクとは、所謂インクに限るものではなく、吐出されるときに液体となるものであれば特に限定されるものではなく、例えばＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料なども含まれる液体の総称として用いる。

上記液滴吐出ヘッドは、ノズル板状部材、個別液室形成板状部材、共通液室形成板状部材などの複数の板状部材を積層して構成されている。そして、これらの板状部材を積層して形成された個別液室を構成する壁部の一部に振動板を設け、この振動板を変形変位させる圧電素子を備えている。圧電素子は、共通電極、圧電体及び個別電極が積層したものからなる。この圧電素子における共通電極及び個別電極には、個別液室形成板状部材に成膜されている電極接続用の内部配線がそれぞれ電気的に接続されている。その各内部配線は、接続端子を介して外部配線と電気的に接続されている。この外部配線は、共通液室形成板状部材の一部に設けられている切欠きを通って外部に引き出されている。外部に引き出された外部配線は個別電極に印加する駆動電圧を供給する駆動電圧供給手段に電気的に接続される。

これらの板状部材を製造する方法として、基板に多数の板状部材を面付けして切削線に沿って切り出して多数の板状部材を製造する方法が一般的である。そして、一辺に切欠きを有する板状部材を基板から多数切り出すためには、基板に板状部材を多数面付けして各板状部材毎に切欠きに相当する開口部を加工する。その後板状部材の外形を切削線に沿って切削して個片に切り分ける。このような一辺に切欠きを有する板状部材の製造方法として、特許文献１に記載のものが知られている。

この特許文献１の板状部材の製造方法では、一辺に切欠きを有する複数の板状部材を基板上にマトリクス状に面付けしている。図７は特許文献１における一辺に切欠きを有する板状部材の面付けの様子を示す平面図である。図８は図７の面付けで切り出された板状部材を示す平面図である。図７及び図８を用いて上記特許文献１における板状部材の面付けについて以下に説明する。基板上に複数の板状部材をマトリクス状に面付けした後、図７の（ａ）に示すように板状部材３０１の切欠きに相当する開口形状が略長方形である開口部３０２を加工する枠である開口線３０３の一辺を図７中の破線で示す切削線３０４に一致させて面付けする。開口線３０３や切削線３０４は、基板や加工部材上に実際に引かれた線、や実際には引かれていない仮想線を含む。そして、切削線３０４に沿って各板状部材３０１を基板から個片に切り分けると図８の（ａ）に示すような一辺に切欠き３０５を有する板状部材３０１が得られる。ところが、例えば図７の（ｂ）に示すように開口線３０３の一辺が切削線３０４から離れた位置にずれてしまうと、図８の（ｂ）に示すように梁が残って閉じた切欠き、つまり開口部３０６が形成されてしまうことなる。あるいは、図７の（ｃ）に示すように開口線３０３が切削線３０４を含む位置までずれると、図８の（ｃ）に示すように本来必要な切欠き３０５が一辺に形成されるものの不要な切欠き３０７も他辺に形成されてしまう。上記特許文献１の板状部材の製造方法では、図９の（ａ）に示すように、一辺に切欠きを有する２つの板状部材３０１の各切欠きを形成する一辺同士を向い合わせて面付けしている。そして、各切欠きを形成する一辺が向い合っている部分には、隣接する各板状部材３０１の切削線３０４が互いに離間する位置にそれぞれ付されている。そして、各切欠きとなる開口部３０２を含み、かつ各切欠きとなる開口部３０２より大きい開口部となる開口線３０８が面付されている。そして、図９の（ｂ）に示すように、大きな開口線３０８に沿って加工する。その後、図９の（ｃ）、（ｄ）に示すように、各切欠きを形成する一辺が向い合っている部分に付されている各切削線３０４及び各板状部材の周りに付されている切削線に沿って各板状部材３０１を切り出す。このようにして一辺に切欠きを有する複数の板状部材を製造している。

しかしながら、上記特許文献１の板状部材の製造方法では、各切欠きを形成する一辺が向い合っている部分に各切欠きとなる開口部より大きい開口部を加工する枠を示す開口線が付されている。そして、図９の（ａ）に示す２本の切削線３０４に沿った切削と大きな開口部の開口線３０８に沿った加工とを行ったとき、図９の（ｃ）〜（ｄ）に示すように開口部用の切削部材以外に無駄な切削部材３０９等が生じる。あるいは、開口部や切削部材をエッチングで溶かしたり、サンドブラストで削ったりする加工の場合においても当該加工のための無駄なスペースが生じている。これらのため、基板１枚あたりから切り出せる板状部材の個数が少なくなり、板状部材のコストが高くなるという問題がある。

本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、基板から板状部材を切り出す際の無駄な部分を減らして板状部材の低コスト化を図ることができる板状部材の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置の製造方法を提供することである。

上記目的を達成するために、請求項１の発明は、一辺に切欠きを有する四角形の板状部材を基板上に複数面付けし、該基板に面付けされた前記板状部材を前記基板から個片に切り分ける板状部材の製造方法において、前記切欠きを形成する一辺が重なるように互いに向い合わせて前記板状部材が配置され、かつ、前記基板の面上における前記切欠きを形成する一辺を向かい合わせた方向を列方向とし、該列方向に対して直交する方向を行方向としたとき、前記切欠きが形成される前記板状部材に対して前記行方向から隣り合っている前記板状部材については、前記切欠きが形成される前記板状部材の前記切欠きから前記行方向に延びた仮想線上に前記切欠きが形成されないように、前記基板への前記板状部材の面付けを行い、前記板状部材を個片に切り分ける切削線を付し、前記板状部材の前記切欠きを形成する一辺に沿って付された前記切削線の一部を含む部分に、前記切欠きを形成する開口線を付し、前記基板の前記開口線に囲まれた部分を加工して前記切欠きを形成し、前記切削線に沿って前記板状部材を前記基板から個片に切り分けることを特徴とするものである。

請求項１の発明によれば、一辺に切欠きを有する四角形の板状部材を基板上に複数面付けし、該基板に面付けされた板状部材を基板から個片に切り分ける板状部材の製造方法において、切欠きを形成する一辺が重なるように互いに向い合わせて板状部材が配置され、かつ、基板の面上における切欠きを形成する一辺を向かい合わせた方向を列方向とし、該列方向に対して直交する方向を行方向としたとき、切欠きが形成される板状部材に対して行方向から隣り合っている板状部材については、切欠きが形成される板状部材の切欠きから行方向に延びた仮想線上に切欠きが形成されないように、基板への板状部材の面付けを行い、板状部材を個片に切り分ける切削線を付し、板状部材の切欠きを形成する一辺に沿って付された切削線の一部を含む部分に、切欠きを形成する開口線を付し、基板の開口線に囲まれた部分を加工して切欠きを形成し、切削線に沿って板状部材を基板から個片に切り分ける。それにより、切欠きが形成される板状部材の切欠きから行方向に延びた仮想線上に切欠きが形成された基板に比べて、切欠きのない基板の部分を増やせて強度が高められ、割れ難くなる。よって、板状部材のコストを下げることができる。

本発明によれば、板状部材の低コスト化を図ることができるという特有な効果が得られる。

本インクジェット記録装置の構成例を示す概略斜視図である。 本インクジェット記録装置のインクジェットヘッドの積層構造を示す分解斜視図である。 本実施形態における共通液室形成板状部材の面付けと切り出した共通液室形成板状部材を示す平面図である。 本実施形態における共通液室形成板状部材を基板上に面付けする方法の一例を示す平面図である。 本実施形態における共通液室形成板状部材を基板上に面付けする方法の別の変形例を示す平面図である。 本実施形態における共通液室形成板状部材を基板上に面付けする方法の別の変形例を示す平面図である。 特許文献１における一辺に切欠きを有する板状部材の面付けの様子を示す平面図である。 図７の面付けで切り出された板状部材を示す平面図である。 特許文献１における一辺に切欠きを有する板状部材の別の面付けの様子と切り出された板状部材を示す平面図である。

以下、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドを備える画像形成装置の一例としてのインクジェット記録装置の構成例について説明する。
図１は本インクジェット記録装置の構成例を示す概略斜視図である。本インクジェット記録装置１００の内部にはキャリッジ１０１が設けられ、キャリッジ１０１がガイドロッド１０２に沿って左右に移動可能に構成されている。キャリッジ１０１はベルト１０３と繋がっており、ベルト１０３はモータ１０４に繋がっている。モータ１０４が回転することによりベルト１０３が左右に動き、同時にキャリッジ１０１を左右に移動させる。キャリッジ１０１には図示しないノズルが多数、複数列に渡って備わっているインクジェットヘッド１０５が具備されており、このインクジェットヘッド１０５に本実施形態が適用され、小型化及び低コスト化が成されている。インクジェットヘッド１０５はキャリッジ１０１の移動と共に左右に移動する。更に、本インクジェット記録装置１００には記録媒体１０６を支えるプラテン１０７と紙送りローラ１０８が設けられている。プラテン１０７で記録媒体１０６を支えられながら、モータ１０９により紙送りローラ１０８を動かすことで記録媒体１０６を搬送方向に搬送する。キャリッジ１０１を左に移動させながらインクジェットヘッド１０５からインク滴を記録媒体１０６に対して、図示しない制御装置から送られて来る画像データに従って吐出させる。記録媒体１０６を前方に所望の距離だけ移動させた後、キャリッジ１０１を今度は右に移動させる。そして、インクジェットヘッド１０５からインク滴を記録媒体１０６に対して、図示しない制御装置から送られて来る画像データに従って吐出される。これらの動作を繰り返すことにより記録媒体上の一面に所望の画像を形成することができる。キャリッジ１０１は、画像形成を行わない際にはメンテナンス装置１１０の上で待機している。ここではインクジェットヘッド１０５からインクを吸引して吐出しなくなったノズルを回復させたり、インクジェットヘッド１０５をキャップしてノズルを封止してインクが乾燥してノズルから吐出しなくなるのを防いだりすることが可能となっている。このように、本実施形態に係るインクジェット記録装置は、後述する本実施形態の低コストなインクジェットヘッドを備えているので、安価なインクジェット記録装置を提供することができる。

図２は本インクジェット記録装置のインクジェットヘッドの積層構造を示す分解斜視図である。ノズル板状部材２０１では、ノズル孔２０２が複数形成されている。個別液室形成板状部材２０３では、当該部材がノズル板状部材２０１上に積層し、かつ後述する共通液室形成板状部材２０４が上部に積層されることで、ノズル孔２０２と連通する個別液室２０５と、該個別液室２０５と連通するインク供給口２０６とが形成される。また、個別液室形成板状部材２０３には、図示しない上位装置から送られてくる印字データに従って駆動する圧電素子などの電気機械変換素子を選択する駆動ＩＣ２０７が実装されている。更に、駆動ＩＣ２０７の出力端子と電気的に接続する長手方向の一端に接続端子２０８が設けられている。共通液室形成板状部材２０４では、後述するフレーム部材２１０が上方から積層されることでインク供給口２０６と連通する共通液室２０９が形成される。フレーム部材２１０には図示しないインクタンクからインクを共通液室２０９に供給するインク供給口２１１が設けられている。ノズル板状部材２０１、個別液室形成板状部材２０３及び共通液室形成板状部材２０４を当該順番で積層し、更に共通液室形成板状部材２０４上にフレーム部材２１０を接合する。これにより、インク供給口２１１からノズル孔２０２までのインクの流路が形成される。

また、駆動ＩＣ２０７のＩ／Ｏ、電源、駆動電源入力などから接続端子２０８までの内部配線２１２が配されている。そして、接続端子２０８には、ＦＰＣ（Flexible printed circuits）やＦＦＣ（Flexible flat cable）などの外部配線２１３と電気的に接続されて、図示しない上位装置との接続を行う。外部配線２１３は、接続端子２０８に電気的に接続してから個別液室形成板状部材２０３の長手方向に引き出され、緩やかに曲げられている。そして、長手方向に直交する方向に向けて延びて共通液室形成板状部材２０４に設けられた開口部２１４を通り、フレーム部材２１０に設けられた引き出し口２１５から外部へ引き出される。もしくは、外部配線２１３は、接続端子２０８から個別液室形成板状部材２０３の長手方向へまっすぐに引き出される。インクジェットヘッドの内部配線２１２は個別液室形成板状部材２０３の一面に平面的に配されており、接続端子２０８は個別液室形成板状部材２０３の長手方向の一端部に平面的に配置されている。個別液室形成板状部材２０３に共通液室形成板状部材２０４を積層したときに、個別液室形成板状部材２０３の一端部の接続端子２０８が隠れないように共通液室形成板状部材２０４の長手方向の一端には切欠き２１４が設けられている。そして、外部配線２１３から駆動ＩＣ２０７に駆動電源が供給され、駆動ＩＣ２０７から選択した電気機械変換素子へ駆動電圧を印加することで電気機械変換素子を駆動する。そして、駆動された電気機械変換素子が個別液室２０５の圧力変化を生み出すことで、ノズル孔２０２からインク滴が吐出される。個別液室形成板状部材２０３の材質をシリコンとし、個別液室などの構造体はドライエッチングや異方性ウェットエッチングなどの工法により加工することで、精度の高い加工を行うことが可能である。以上のような構成により、共通液室形成板状部材２０４の厚みが薄い等の理由により強度が弱い場合でも、共通液室形成板状部材２０４に設ける切欠き２１４は必要最低限の大きさの切欠き形状である。このため、個別液室形成板状部材２０３と共通液室形成板状部材２０４とを積層した際に、共通液室形成板状部材２０４によって個別液室形成板状部材２０３の接続端子２０８の強度を保つことができる。

図３は本実施形態における共通液室形成板状部材を切り取る様子を示す平面図である。隣接する共通液室形成板状部材３０１の間の切削線３０３を開口部３０２の中心位置と一致させて開口部３０２を開ける。具体的には、図３の（ａ）に示すように、基板上に、共通液室形成板状部材３０１の切欠きと、その共通液室形成板状部材と隣り合う共通液室形成板状部材３０１の切欠きとが向い合うように面付けされる。その後、各切欠きに相当する箇所である開口部３０２を基板上に加工し、図３中に破線で示す切削線３０３で切削して共通液室形成板状部材３０１をそれぞれ切り出す。このように切り出された共通液室形成板状部材３０１は、図３の（ｂ）に示すように、共通液室形成板状部材の一端のみに切欠き３０４が形成されることになる。この際、面付けされた隣接する共通液室形成板状部材では、互いの切欠きの間にダイシングライン程度の隙間しか設けないで面付けしてあり、開口部の略中央の切削線に一回だけダイシングブレードで切削するだけでよい。ダイシングブレードを用いてダイシングを行う切削方法の替わりに、レーザやエッチングによる加工方法を採用してもよい。

次に、このような共通液室形成板状部材を基板上に面付けする方法として、図４に示すように複数の共通液室形成板状部材４０２を基板４０１上にマトリクス状に面付けする。面付けされた共通液室形成板状部材４０２の列方向で隣接する共通液室形成板状部材４０２の破線で示す切削線４０３を開口部４０４の中心位置と一致させて開口部４０４を設けている。つまり、基板４０１上にマトリクス状に配列された共通液室形成板状部材４０２の切欠きと、列方向で隣接する共通液室形成板状部材４０２の切欠きが向い合うように面付けする。これにより、共通液室形成板状部材４０２が面付けされた基板の切欠きに当たる個所へ開口部４０４が加工される。図４ではこれらの複数の開口部４０４が行方向に一列に並んでいる。このように開口部を設けた場合、開口部が列方向に並んでいる部分では基板が割れやすくなってハンドリングが大変な上、歩留まりが悪く、コスト高となってしまう。列間の共通液室形成板状部材の間を離間させて開口部が連続しないように面付けすれば割れにくくハンドリングはし易くなるが、離間させた分基板１枚当たりから切り出せる共通液室形成板状部材の個数が少なくなるため、コスト高になる。

そこで、本実施形態における共通液室形成板状部材を基板上に面付けする方法の別の変形例では、図５に示すように、隣接する列間において共通液室形成板状部材１つ分だけ列方向にずらして面付けされている。このようにすることにより、開口部４０４と隣の列の開口部４０４とが隣り合わないようになる。よって、図４の面付け方法に比べて、列方向での基板が割れにくくなる。基板が割れ易いセラミックやガラスでも割れにくくハンドリングがし易いため、安価な液滴吐出ヘッドを提供できる。

このような本実施形態の板状部材の製造方法を用いて共通液室形成板状部材を製造することで、高密度に面付けを行っても切欠きを向い合わせて面付けしただけの場合に比べ、共通液室形成板状部材が面付けされた基板が割れにくくハンドリングがし易い。よって、安価な液滴吐出ヘッドを提供することができる。更に、切削個所が一直線に並ぶため、円盤状のダイシングブレードを用いた切削装置などでの切削加工が一回のセッティングで容易に可能となり、工数が削減できるという効果もある。

図６は本実施形態における共通液室形成板状部材を基板上に面付けする方法の別の変形例を説明する図である。基板４０１上にマトリクス状に配列された共通液室形成板状部材４０２の切欠きと列方向で隣接する共通液室形成板状部材４０２の切欠きが向い合うように面付けする。そして、共通液室形成板状部材４０２が面付けされた基板４０１の切欠きに当たる個所へ開口部を形成する。共通液室形成板状部材４０２と、列方向で隣接する共通液室形成板状部材４０２とが接している反対側で隣接する共通液室形成板状部材４０２は、切欠きがある辺と対辺の切欠きの無い辺同士が向い合うように面付けを行う。他の共通液室形成板状部材４０２についても同様に面付けし、一列の面付けを行った上で隣接する列間において開口部４０４と開口部４０４との間の強度が保てる所定の距離Ｄだけ、列方向にずらして面付けする。つまり、開口部４０４と、隣の列の開口部４０４とが隣り合わないようにする。最後に図８中の破線の切削線４０３に沿ってダイシングブレードを入れて共通液室形成板状部材を個片に切り出す。このような板状部材の製造方法を用いて共通液室形成板状部材を製造することで、高密度に面付けを行っても切欠きを向い合わせて面付けしただけの場合に比べ、共通液室形成板状部材が面付けされた基板が割れにくくハンドリングがし易い。よって、安価な液滴吐出ヘッドを提供することができる。

上記実施形態では、基板に貫通孔（開口部）を加工してから切り出すことで共通液室形成板状部材の長手方向の一端に切欠きを形成する部材について説明したが、基板に凹部を加工してから切出すことで外形に窪みを形成する板状部材についても適用可能である。

以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
（態様Ａ）
一辺に切欠き３０５を有する四角形の板状部材３０１を基板上に複数面付けし、該基板に面付けされた板状部材３０１を基板から個片に切り分ける板状部材の製造方法において、切欠き３０５を形成する一辺が重なるように互いに向い合わせて板状部材３０１が配置され、かつ、基板の面上における切欠き３０５を形成する一辺を向かい合わせた方向を列方向とし、該列方向に対して直交する方向を行方向としたとき、切欠き３０５が形成される板状部材３０１に対して行方向から隣り合っている板状部材３０１については、切欠き３０５が形成される板状部材３０１の切欠き３０５から行方向に延びた仮想線上に切欠き３０５が形成されないように、基板への板状部材３０１の面付けを行い、板状部材３０１を個片に切り分ける切削線３０４を付し、板状部材３０１の切欠き３０５を形成する一辺に沿って付された切削線３０４の一部を含む部分に、切欠き３０５を形成する開口線３０３を付し、基板の開口線３０３に囲まれた部分を加工して切欠きを形成し、切削線３０４に沿って板状部材３０１を基板から個片に切り分ける。それにより、切欠きが形成される板状部材の切欠きから行方向に延びた仮想線上に切欠きが形成された基板に比べて、切欠きのない基板の部分を増やせて強度が高められ、割れ難くなる。よって、板状部材のコストを下げることができる。
（態様Ｂ）
（態様Ａ）において、行方向において互いに隣り合う板状部材の切欠きが、列方向に所定量互いにずれるように基板への板状部材の面付けを行う。これによれば、上記実施形態の別の変形例について説明したように、板状部材の切欠きと、その板状部材に対し隣りの列の切欠きとを列方向に所定量離れさせることで、隣り合わないようになる。高密度に面付けを行っても切欠きを向い合わせて面付けしただけの場合に比べ、共通液室形成板状部材が面付けされた基板が割れにくくハンドリングがし易いため歩留まりを高くすることができ、製造コストが安価となる。
（態様Ｃ）
（態様Ａ）又は（態様Ｂ）において、基板がシリコンウェハである。これによれば、上記実施形態について説明したように、個別液室形成板状部材をシリコンとすることでドライエッチングや異方性ウェットエッチングなどの工法により精度の高い加工を行うことが可能である。
（態様Ｄ）
（態様Ａ）又は（態様Ｂ）において、基板がセラミックである。これによれば、上記実施形態について説明したように、割れ易いセラミックでも割れにくくハンドリングがし易いため、安価な液滴吐出ヘッドを提供できる。
（態様Ｅ）
（態様Ａ）又は（態様Ｂ）において、基板がガラスである。これによれば、上記実施形態について説明したように、割れ易いガラスでも割れにくくハンドリングがし易いため、安価な液滴吐出ヘッドを提供できる。
（態様Ｆ）
切欠きが一端に設けられた板状部材を含む複数の板状部材を積層した液滴吐出ヘッドの製造方法において、（態様Ａ）〜（態様Ｅ）のいずれかに記載の板状部材の製造方法で板状部材を製造する工程と、該工程により製造された前記板状部材を含む複数の板状部材を積層する工程とを有する。これによれば、上記実施形態について説明したように、基板１枚あたりから、液滴吐出ヘッドを構成する例えば共通液室形成板状部材２０４としての板状部材を複数製造し、その板状部材を含む複数の板状部材を用いて液滴吐出ヘッドを製造することで液滴吐出ヘッドのコストを下げることができる。
（態様Ｇ）
（態様Ｆ）において、前記板状部材を用いて共通液室形成板状部材を形成する工程と、個別液室形成板状部材に配された内部配線と外部配線とを接続するための接続端子を前記個別液室形成板状部材に設ける工程と、前記接続端子に接続された前記外部配線を前記個別液室形成板状部材上に積層された前記共通液室形成板状部材の一端に設けられている切欠きから引き出す工程とを有する。これによれば、上記実施形態について説明したように、一端に切欠きが形成されている共通液室形成板状部材２０４を安価に製造できるので液滴吐出ヘッドを低コストに製造することができる。
（態様Ｈ）
記録液を記録媒体上に吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッドを搭載する画像形成装置を製造する方法において、（態様Ｆ）又は（態様Ｇ）の液滴吐出ヘッドの製造方法で前記液滴吐出ヘッドを製造する工程と、該工程により製造された前記液滴吐出ヘッドを前記画像形成装置に搭載させる工程とを有する。これによれば、上記実施形態について説明したように、低コストに製造した液滴吐出ヘッドを搭載することで画像形成装置であるインクジェット記録装置を低コストに製造することができる。

１００ インクジェット記録装置
１０１ キャリッジ
１０２ ガイドロッド
１０３ ベルト
１０４ モータ
１０５ インクジェットヘッド
１０６ 記録媒体
１０７ プラテン
１０８ 紙送りローラ
１０９ モータ
１１０ メンテナンス装置
２０１ ノズル板状部材
２０２ ノズル孔
２０３ 個別液室形成板状部材
２０４ 共通液室形成板状部材
２０５ 個別液室
２０６ インク供給口
２０７ 駆動ＩＣ
２０８ 接続端子
２０９ 共通液室
２１０ フレーム部材
２１１ インク供給口
２１２ 内部配線
２１３ 外部配線
２１４ 切欠き
２１５ 引き出し口
３０１ 共通液室形成板状部材
３０２ 開口部
３０３ 開口線
３０４ 切削線
３０５ 切欠き
３０６ 開口部
３０７ 切欠き
３０８ 開口部
３０９ 切削部材
４０１ 基板
４０２ 共通液室形成板状部材
４０３ 切削線
４０４ 開口部

特許第３５７９４６４号公報

Claims (8)

1. 一辺に切欠きを有する四角形の板状部材を基板上に複数面付けし、該基板に面付けされた前記板状部材を前記基板から個片に切り分ける板状部材の製造方法において、
   前記切欠きを形成する一辺が重なるように互いに向い合わせて前記板状部材が配置され、かつ、前記基板の面上における前記切欠きを形成する一辺を向かい合わせた方向を列方向とし、該列方向に対して直交する方向を行方向としたとき、前記切欠きが形成される前記板状部材に対して前記行方向から隣り合っている前記板状部材については、前記切欠きが形成される前記板状部材の前記切欠きから前記行方向に延びた仮想線上に前記切欠きが形成されないように、前記基板への前記板状部材の面付けを行い、
   前記板状部材を個片に切り分ける切削線を付し、
   前記板状部材の前記切欠きを形成する一辺に沿って付された前記切削線の一部を含む部分に、前記切欠きを形成する開口線を付し、
   前記基板の前記開口線に囲まれた部分を加工して前記切欠きを形成し、前記切削線に沿って前記板状部材を前記基板から個片に切り分けることを特徴とする板状部材の製造方法。
2. 請求項１記載の板状部材の製造方法において、
   前記行方向において互いに隣り合う前記板状部材の前記切欠きが、前記列方向に所定量互いにずれるように前記基板への前記板状部材の面付けを行うことを特徴とする板状部材の製造方法。
3. 請求項１又は２に記載の板状部材の製造方法において、
   前記基板がシリコンウェハであることを特徴とする板状部材の製造方法。
4. 請求項１又は２に記載の板状部材の製造方法において、
   前記基板がセラミックであることを特徴とする板状部材の製造方法。
5. 請求項１又は２に記載の板状部材の製造方法において、
   前記基板がガラスであることを特徴とする板状部材の製造方法。
6. 切欠きが一端に設けられた板状部材を含む複数の板状部材を積層した液滴吐出ヘッドの製造方法において、
   請求項１〜５のいずれかに記載の板状部材の製造方法で板状部材を製造する工程と、該工程により製造された前記板状部材を含む複数の板状部材を積層する工程とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
7. 請求項６記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、
   前記板状部材を用いて共通液室形成板状部材を形成する工程と、個別液室形成板状部材に配された内部配線と外部配線とを接続するための接続端子を前記個別液室形成板状部材に設ける工程と、前記接続端子に接続された前記外部配線を前記個別液室形成板状部材上に積層された前記共通液室形成板状部材の一端に設けられている切欠きから引き出す工程とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
8. 記録液を記録媒体上に吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッドを搭載する画像形成装置を製造する方法において、
   請求項６又は７に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法で前記液滴吐出ヘッドを製造する工程と、該工程により製造された前記液滴吐出ヘッドを前記画像形成装置に搭載させる工程とを有することを特徴とする画像形成装置の製造方法。

Images