JP6162521B2 - 液体吐出ヘッド、記録装置、および液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、記録装置、および液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

従来から、液体吐出ヘッドとしては、例えば、液滴を記録媒体上に吐出することによって各種の印画を行うインクジェットヘッドが知られている。このような液体吐出ヘッドは、流路部材および加圧部を備えている。流路部材は、吐出孔面に設けられた複数の吐出孔と、当該複数の吐出孔のそれぞれに対して個別に連結された複数の加圧室を有する。このような液体吐出ヘッドでは、加圧部によって加圧室を加圧することで、当該加圧室内に位置する液体を吐出孔から吐出することができる（例えば、特許文献１参照）。

ここで、吐出孔面上には、例えば、吐出孔面を保護する目的で、保護部材が設けられる。保護部材には、当該保護部材から吐出孔面の一部が露出するように開口部が設けられている。複数の吐出孔は、開口部において保護部材から露出している（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１１−１２１１８６号公報 特開２００１−２７７４９０号公報

ところで、上記従来の液体吐出ヘッドは、例えば、液滴の吐出後において吐出孔面上に残留した液体を除去する目的で、開口部から露出した吐出孔面をワイパーによって拭き取る場合がある。このような場合、ワイパーの進行方向に吐出孔面と保護部材とがなす段差が存在すると、当該段差において液体の一部が拭き残ってしまう可能性があった。このため、拭き残った液体が吐出孔の周縁に残留することにより、その後の液滴の吐出精度が低下してしまう可能性があった。

そこで、液体の一部が拭き残ってしまう可能性を低減するためには、開口部に代えて切欠部を設ける必要がある。すなわち、ワイパーの進行方向において、保護部材の外縁の一部が凹むように切欠部を設ける必要がある。このように、開口部に代えて切欠部を設けると、ワイパーの進行方向に吐出孔面と保護部材とがなす段差が存在しないため、液体の一部が拭き残ってしまう可能性を低減することができる。しかしながら、このような構成にしてしまうと、保護部材の外縁に凹凸が生じるため、保護部材が流路部材から剥がれてしまう可能性があった。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体の吐出精度が低下してしまう可能性を低減しつつ、保護部材が流路部材から剥がれてしまう可能性を低減することができる液体吐出ヘッド、記録装置、および液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

本発明の液体吐出ヘッドにおける一態様は、主面および該主面に隣接した側面を含み、前記主面に設けられており且つ液体を吐出するための複数の吐出孔を有した流路部材と、前記主面上に位置する第１部位、および、前記側面に対向する第２部位を有した保護部材
と、を備え、前記保護部材は、前記第１部位から複数の前記吐出孔が露出するように設けられた開口部を有しており、前記開口部は、前記第１部位から前記第２部に亘って設けられている。

本発明の記録装置における一態様は、本発明に係る液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対して記録媒体を搬送する搬送部と、を備える。

本発明の液体吐出ヘッドの製造方法における一態様は、主面および該主面に隣接した側面を含み、前記主面に設けられており且つ液体を吐出するための複数の吐出孔を有した流路部材と、前記主面上に位置する第１部位、および、前記側面に対向する第２部位を有した保護部材と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、開口部を有した保護部材を準備する工程と、前記開口部から複数の吐出孔が露出するように、前記保護部材を前記流路部材の前記主面上に設ける工程と、前記開口部が前記主面と前記側面とがなす角部を跨いで位置するように、前記保護部材の端部を前記角部よりも外側に配置する工程と、前記角部に沿って前記保護部材の前記端部を前記流路部材の前記側面側に折り曲げる工程と、を有する。

本発明の液体吐出ヘッド、記録装置、および液体吐出ヘッドの製造方法は、液体の吐出精度が低下してしまう可能性を低減しつつ、保護部材が流路部材から剥がれてしまう可能性を低減することができる、という効果を奏する。

本実施形態に係るプリンタの概略構成図である。 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略構成を示す斜視図である。 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの長手方向における断面図である。 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの短手方向における断面図である。 （ａ）は、本実施形態に係るヘッド本体の概略構成を示す図であって、加圧室面側から見た平面図である。（ｂ）は、本実施形態に係る流路部材の概略構成を示す図であって、加圧室面側から見た平面図である。 図５中に示した１点鎖線で囲んだ領域Ａ１を拡大した図であり、説明の便宜上、一部の記載を省略した図である。 図５中に示した１点鎖線で囲んだ領域Ａ１を拡大した図であり、説明の便宜上、一部の記載を省略した図である。 図６中に示したＩ−Ｉ線断面図である。 本実施形態に係る流路部材および保護部材の概略構成を示す図であって、（ａ）は、吐出孔面側から見た平面図である。（ｂ）は、第１側面側からみた平面図である。（ｃ）は、第２側面側から見た平面図である。（ｄ）は、（ａ）に示したＩＩ−ＩＩ線断面図である。 本実施形態の係る保護部材の概略構成を示す斜視図である。 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法を示す図であって、（ａ）は、本実施形態に係る流路部材を吐出孔面側から見た平面図である。（ｂ）は、本実施形態に係る板状部材の平面図である。 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法を示す図であって、本実施形態に係る流路部材および板状部材の平面図である。 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法を示す図であって、（ａ）は、図１２に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。（ｂ）は、本実施形態に係る流路部材および板状部材の平面図であって、板状部材の端部を折り曲げた図である。 変形例１に係る流路部材および保護部材の概略構成を示す図であって、（ａ）は、吐出孔面側から見た平面図である。（ｂ）は、第１側面側からみた平面図である。（ｃ）は、第２側面側から見た平面図である。（ｄ）は、（ａ）に示したＩＶ−ＩＶ線断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。

但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、本発明の一実施形態の構成部材のうち、本発明を説明するために必要な主要部材を簡略化して示したものである。したがって、本発明に係る液体吐出ヘッド、および記録装置は、本明細書が参照する各図に示されていない任意の構成部材を備え得る。

図１は、本実施形態に係るプリンタ１の概略構成図である。なお、本実施形態では、プリンタ１は、カラーインクジェットプリンタであるが、これに限らず、モノクロインクジェットプリンタ等の記録装置であってもよい。

プリンタ１は、制御部１００、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０、液体吐出ヘッド２、および紙受け部１１６を有する。ここで、プリンタ１における液体吐出ヘッド２および搬送ユニット１２０は、本発明に係る記録装置の一実施形態となる。

制御部１００は、上記の各部材における動作を制御する役割を有する。なお、制御部１００の配置については、特に限定されない。

給紙ユニット１１４は、用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。用紙収容ケース１１５は、記録媒体を収容する役割を有する。本実施形態では、用紙収容ケース１１５には、記録媒体としての印刷用紙Ｐが複数枚積層された状態で収容されている。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に収容された印刷用紙Ｐを、搬送ユニット１２０に向けて１枚ずつ送り出す役割を有する。

なお、本実施形態では、給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、上記の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂによってガイドされて、搬送ユニット１２０へと送り出される。

搬送ユニット１２０は、搬送ベルト１１１、ベルトローラ１０６および１０７、搬送モータ１７４、ならびに、ニップローラ１３８および１３９を有している。

搬送ベルト１１１は、用紙収容ケースから送り出された印刷用紙Ｐを、液体吐出ヘッド２に対して搬送する役割を有する。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７の共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。なお、液体吐出ヘッド２は、当該２つの平面のうち、一方側の平面に対向して配置される。このため、搬送ベルト１１１のうち液体吐出ヘッド２に対向する面は、印刷用紙Ｐを搬送するための搬送面１２７となる。

搬送モータ１７４は、搬送ベルト１１１を移動させる役割を有する。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６に接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送ベルト１１１は、搬送モータ１７４によってベルトローラ１０６を回転させることで、矢印Ａの方向に沿って移動することができ
る。

ニップローラ１３８および１３９は、搬送面１２７上に印刷用紙Ｐを固着する役割を有する。ニップローラ１３８および１３９は、搬送面１２７を挟み込んで、互いに対向して配置されている。ニップローラ１３８および１３９は、搬送ベルト１１１の移動に連動して回転する。ここで、給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、ニップローラ１３８と搬送面１２７との間に挟み込まれる。このため、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に押し付けられことで、搬送面１２７上に固着する。そして、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の移動に従って、液体吐出ヘッド２に対して搬送される。

液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐに対して液体を吐出する役割を有する。液体吐出ヘッド２は、搬送面１２７に対向して配置されている。具体的には、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを有している。ヘッド本体２ａは、搬送面１２７に近い側に位置している。なお、液体吐出ヘッド２の詳細な構成については、後述する。

ここで、本実施形態では、ヘッド本体２ａからは、４色の液滴（インク）が吐出される。当該４色としては、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）を採用することができる。給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との隙間を通過する。その際に、ヘッド本体２ａから印刷用紙Ｐに向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Ｐには、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。また、当該画像が形成された印刷用紙Ｐは、紙受け部１１６へと送り出される。

なお、本実施形態では、搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０、二対の送りローラ１２１ａおよび１２１ｂ、ならびに、１２２ａおよび１２２ｂが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ〜１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。

紙受け部１１６は、搬送ユニット１２０から送り出された印刷用紙Ｐを収容する役割を有する。紙受け部１１６は、搬送ユニット１２０から送り出された印刷用紙Ｐの搬送方向に配置されている。

なお、本実施形態では、液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間において、紙面センサ１３３が配置されている。紙面センサ１３３は、搬送面１２７上に搬送された印刷用紙Ｐの位置情報を検出する役割を有する。紙面センサ１３３は、例えば、発光素子および受光素子を有する。ここで、紙面センサ１３３によって検出された印刷用紙Ｐの位置情報は、制御部１００に送信される。制御部１００は、紙面センサ１３３から受信した検出結果に基づき、液体吐出ヘッド２あるいは搬送モータ１７４等を制御する。これによって印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とを同期させることができる。

次に、図２〜図４を参照しながら、液体吐出ヘッド２の構成について説明する。図２は、液体吐出ヘッド２の概略構成を示す斜視図である。図３は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２の長手方向（図２にてＸ方向）における断面図である。図４は、液体吐出ヘッド２の短手方向（図２にてＹ方向）における断面図である。なお、図３および図４では、説明の便宜上、流路部材４およびリザーバ４０における流路の記載は省略する。

図２〜図４に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ、保護部材３０、リザ
ーバ４０、筺体９０、配線基板９４、コネクタ９５、信号伝達部９２、ドライバＩＣ５５、押圧板９６、および断熱性弾性部材９７を備えている。

ヘッド本体２ａは、流路部材４、および当該流路部材４の加圧室面４−２上に設けられた圧電アクチュエータ基板２１を有する。ヘッド本体２ａは、圧電アクチュエータ基板２１の変位に応じて流路部材４の吐出孔面４−１から液滴を吐出することで、記録媒体に対して所定の印画を行う役割を有する。リザーバ４０は、ヘッド本体２ａの流路部材４に対して、液体を供給する役割を有する。リザーバ４０は、ヘッド本体２ａ上に設けられている。

ここで、図２〜図４に加えて、図５〜図８を参照しつつ、ヘッド本体２ａについて、詳細に説明する。

図５の（ａ）は、ヘッド本体２ａの概略構成を示す図であって、加圧室面４−２側から見た平面図である。図５の（ｂ）は、流路部材４の概略構成を示す図であって、加圧室面４−２側から見た平面図である。図５の（ｂ）では、圧電アクチュエータ基板２１が位置する領域を２点鎖線で示している。図６は、図５中に示した１点鎖線で囲んだ領域Ａ１を拡大した図である。なお、図６において示される各部材は、説明の便宜上実線で記載している。図７は、図５中に示した１点鎖線で囲んだ領域Ａ１を拡大した図である。なお、図７において示される各部材は、説明の便宜上実線で記載している。図８は、図６中に示したＩ−Ｉ線断面図である。

ヘッド本体２ａは、流路部材４および圧電アクチュエータ基板２１を有している。なお、本実施形態では、ヘッド本体２ａは、平面視して略矩形状であるが、これに限らず、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜変更することができる。

流路部材４は、ヘッド本体２ａと同様に、平面視して略矩形状である。流路部材４は、図８に示すように、複数のプレートが積層された積層構造を有している。具体的には、流路部材４は、キャビティプレート４ａ、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート４ｅ〜ｇ、カバープレート４ｈおよびノズルプレート４ｉが順次積層して構成されている。

ここで、ノズルプレート４ｉの下面は、吐出孔８が設けられる吐出孔面４−１である。吐出孔面４−１には、図示しない撥水膜が設けられている。また、キャビティプレート４ａの上面は、圧電アクチュエータ基板２１が配置される加圧室面４−２である。すなわち、加圧室面４−２は、吐出孔面４−１の反対側に位置している。吐出孔面４−１に隣接する面は、流路部材４の側面４−３である。具体的には、側面４−３は、吐出孔面４−１と加圧室面４−２との間に位置している。本実施形態では、側面４−３は、各プレート４ａ〜ｉのそれぞれが有する端面によって構成される。側面４−３は、第１側面４−３ａおよび第２側面４−３ｂを含んでいる。第１側面４−３ａおよび第２側面４−３ｂは、Ｘ方向における流路部材４の両端に位置する側面４−３である。すなわち、第１側面４−３ａは、第２側面４−３ｂの反対側に位置している。本実施形態では、吐出孔面４−１と第１側面４−３ａとがなす角を角部Ｃ１と称する。また、吐出孔面４−１と第２側面４−３ｂとがなす角を角部Ｃ２と称する。

各プレート４ａ〜ｉの構成材料としては、例えば、金属材料、ステンレス、シリコンが挙げられる。特に、ノズルプレート４ｉの構成材料としては、例えば、ステンレス、ニッケル、ポリイミド、シリコン等が挙げられる。流路部材４は、例えば、各プレート４ａ〜ｉが８０〜１５０℃の温度条件下で硬化させた接着材を介して互いに接着されることで形成される。また、各プレート４ａ〜ｉの厚みは、例えば、１０〜３００μｍとすることが
できる。

ここで、各プレート４ａ〜ｉには、多数の孔が形成されている。本実施形態では、当該孔が互いに連通して、マニホールド５、個別流路１２、および吐出孔８を構成する。なお、当該孔は、例えば、各プレート４ａ〜ｉの所定箇所にエッチングを施すことによって形成される。

マニホールド５は、個別流路１２に対して液体を供給する役割を有する。マニホールド５は、マニホールドプレート４ｅ〜ｇに形成された複数の孔によって主に構成される。本実施形態では、Ｘ方向に沿って延びている４つのマニホールド５が、略平行に配置されている。なお、流路部材４の加圧室面４−２は、図５（ａ）に示すように、流路部材４のＸ方向における両端部において流入孔５ａを有する。流入孔５ａは、加圧室面４−２のうちリザーバ４０が載置される領域である領域Ｅ１に位置している。当該流入孔５ａは、マニホールド５に連通している。

個別流路１２は、マニホールド５から供給された液体を吐出孔８へと導く流路である。具体的には、個別流路１２は、マニホールド５から、個別供給路１４、しぼり６、加圧室１０を介して、吐出孔８へと連通する流路を指す。

個別供給路１４は、サプライプレート４ｄに形成された孔によって構成される。個別供給路１４は、複数設けられている。複数の個別供給路１４は、それぞれ、マニホールド５と連通している。このため、マニホールド５に収容された液体は、複数の個別供給路１４を介して、複数の吐出孔８へと個別に供給される。

しぼり６は、加圧室１０が加圧された場合に、当該加圧室１０内に収容された液体が、マニホールド５へと逆流する可能性を低減する役割を有する。このため、しぼり６における流路の断面積は、加圧室１０と吐出孔８とを連通する流路の断面積よりも小さい。しぼり６は、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃに形成された孔によって構成される。しぼり６は、個別供給路１４と連通している。このため、しぼり６は、複数の個別供給路１４のそれぞれに対応して、複数設けられている。

加圧室１０は、圧電アクチュエータ基板２１によって加圧されることによって、当該加圧室１０内に収容された液体を吐出孔８へと供給する役割を有する。加圧室１０は、キャビティプレート４ａに形成された孔によって構成される。加圧室１０は、ベースプレート４ｂに形成された孔を介して、しぼり６と連通している。このため、加圧室１０は、複数のしぼり６のそれぞれに対応して、複数設けられている。

加圧室１０は、図６および図７に示すように、平面視して角部にアールが施された略菱形状をなしている。複数の加圧室１０は、千鳥状に配置されている。また、複数の加圧室１０は、Ｘ方向に沿って列状に配置されている。本実施形態では、列状に配置された複数の加圧室１０を、加圧室列１１と称する。加圧室列１１は、マニホールド５の両側に２列ずつ設けられている。ここで、マニホールド５は、４つ設けられている。このため、加圧室列１１は、合計１６列設けられている。なお、本実施形態では、各加圧室列１１に含まれた互いに隣り合う加圧室１０同士の間隔は、略同じである。また、各加圧室列１１の端に位置する加圧室１０は、マニホールド５と連通していないダミーとなっている。このため、端から１つ内側の加圧室１０の周囲の構造（剛性）が他の加圧室１０の構造（剛性）と近くなり、液体吐出特性の差を小さくすることができる。

吐出孔８は、加圧室１０から供給された液体を外部に吐出する役割を有する。吐出孔８は、ノズルプレート４ｉに形成された孔が、吐出孔面４−１において開口することで構成
される。吐出孔８は、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート４ｅ〜ｇ、カバープレート４ｈおよびノズルプレート４ｉに形成された複数の孔を介して、加圧室１０と連通している。このため、吐出孔８は、複数の加圧室１０のそれぞれに対応して、複数設けられている。

複数の吐出孔８は、Ｘ方向に沿って列状に配置されている。本実施形態では、列状に配置された複数の吐出孔８を、吐出孔列９と称する。吐出孔列９は、加圧室列１１に対応して、１６列設けられている。具体的には、加圧室１０と吐出孔８とを連通する個別流路１２は、Ｙ方向に沿って、加圧室１０の角部から遠ざかるように設けられている。このため、吐出孔列９は、Ｙ方向において、加圧室列１１と並んで位置している。また、吐出孔列９に含まれた互いに隣り合う吐出孔８同士の間隔は、加圧室列１１に含まれた互いに隣り合う加圧室１０同士の間隔と略同一である。

ここで、１列の吐出孔列９に含まれた互いに隣り合う吐出孔８のうち、一方の吐出孔８からＹ方向に引いた仮想線を線Ｘ１とする。また、他方の吐出孔８からＹ方向に引いた仮想線を線Ｘ２とする。本実施形態では、吐出孔列９は、合計１６列設けられており、線Ｘ１と線Ｘ２との間には、前記の一方の吐出孔８と他方の吐出孔８とを含めると、合計１７個の吐出孔８が存在する。

また、Ｘ方向に延びる投影仮想線に対して、当該１７個の吐出孔８をＹ方向に移動させることにより投影すると、プロット仮想線に投影された各点は、互いに等間隔に配置されている。すなわち、本実施形態では、液体吐出ヘッド２は、線Ｘ１と線Ｘ２との間隔をＲｄｐｉ（dot per inch）とするとき、１６Ｒｄｐｉの解像度で画像を形成することができる。なお、本実施形態では、６００ｄｐｉの解像度で画像を形成することができる液体吐出ヘッド２について説明したが、本発明は、これに限定されない。本発明は、例えば、３００ｄｐｉ、１２００ｄｐｉといった解像度で画像を形成することができる液体吐出ヘッドにも適用可能である。

なお、複数の加圧室１０および複数の吐出孔８の配置位置あるいは個数については、上記に限らず、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜変更することができる。このため、複数の吐出孔８は、列状に設けられていなくともよい。

圧電アクチュエータ基板２１は、ヘッド本体２ａと同様に、平面視して略矩形状である。圧電アクチュエータ基板２１の平面視における面積は、流路部材４の加圧室面４−２の平面視における面積よりも小さい。具体的には、圧電アクチュエータ基板２１は、流路部材４における流入孔５ａが露出するように、当該流路部材４の加圧室面４−２上に設けられている。圧電アクチュエータ基板２１は、圧電セラミック層２１ａ，２１ｂ、共通電極２４、個別電極２５、接続電極２６、ダミー接続電極２７、および共通電極用表面電極２８を有する。

圧電セラミック層２１ａは、振動板としての役割を有する。圧電セラミック層２１ａは、加圧室面４−２上において、キャビティプレート４ａに形成された複数の孔を覆っている。圧電セラミック層２１ａに覆われた複数の孔は、加圧室１０を構成する孔である。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａの略全面上に設けられている。圧電セラミック層２１ｂは、共通電極２４の略全面上に設けられている。個別電極２５は、圧電セラミック層２１ｂ上において、加圧室１０に対応して複数設けられている。具体的には、個別電極２５は、平面視して加圧室１０と重なるように配置された個別電極本体２５ａ、および、加圧室１０と重ならないように配置された引き出し電極２５ｂを有している。ここで、共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂ上に設けられた共通電極用表面電極２８を介して、信号伝達部９２に電気的に接続されている。また、個別電極本体２５ａは、引き出し電
極２５ｂ上に設けられた接続電極２６を介して、信号伝達部９２に電気的に接続されている。なお、本実施形態では、圧電セラミック層２１ｂ上にダミー電極２７が設けられている。このため、信号伝達部９２と、共通電極用表面電極２８および接続電極２６との電気的接続信頼性を向上することができる。

圧電アクチュエータ基板２１では、信号伝達部９２から共通電極２４および個別電極２５へと送出された駆動信号に応じて、圧電セラミック層２１ｂが変位する。そして、圧電セラミック層２１ａは、圧電セラミック層２１ｂの変位に応じて加圧室１０側へと湾曲することで、当該加圧室１０に所定の圧力を加える。これにより、加圧室１０に収容された液体が、吐出孔８へと供給される。

圧電セラミック層２１ａ,２１ｂの構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛
またはチタン酸バリウムが挙げられる。共通電極２４、個別電極２５、接続電極２６、ダミー接続電極２７、および共通電極用表面電極２８の構成材料としては、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｇ―Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｃｕが挙げられる。圧電アクチュエータ基板２１の形成方法としては、例えば、以下の方法が挙げられる。すなわち、ロールコータ法、スリットコーター法等のテープ成形法により、圧電性セラミック粉末および有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。次に、グリーンシートの表面に、共通電極２４となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、グリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を充填する。その後、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後、積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成する。そして、焼成後の積層体に個別電極２５および接続電極２６となる電極ペーストを印刷法等により形成し、焼成する。これにより、圧電アクチュエータ基板２１が形成される。

なお、本実施形態では、圧電アクチュエータ基板２１を用いて加圧室１０を加圧する液体吐出ヘッド２について説明したが、これに限らず、発熱素子を用いて加圧室１０を加圧するサーマル方式の液体吐出ヘッドであってもよい。すなわち、加圧室１０を加圧する手段は任意であり、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜変更することができる。

次に、図２〜図８に加えて、図９および図１０を参照しながら、保護部材３０について詳細に説明する。図９は、流路部材４および保護部材３０の概略構成を示す図であって、（ａ）は、吐出孔面４−１側から見た平面図である。（ｂ）は、第１側面４−３ａ側から見た平面図である。（ｃ）は、第２側面４−３ｂ側から見た平面図である。（ｄ）は、（ａ）に示したＩＩ−ＩＩ線断面図である。図１０は、保護部材３０の概略構成を示す斜視図である。

保護部材３０は、流路部材４を保護する役割を有する。保護部材３０は、第１部位３１および第２部位３２を有する。

第１部位３１は、流路部材４の吐出孔面４−１上に位置する部位である。第１部位３１が吐出孔面４−１上に位置すると、機械的衝撃によって吐出孔面４−１が傷付いてしまう可能性を低減することができる。また、本実施形態のように、吐出孔面４−１上に撥水膜が設けられている場合、記録媒体が撥水膜と接触することによって当該撥水膜の撥水性が低下してしまう可能性を低減することができる。

第２部位３２は、流路部材４の第１側面４−３ａおよび第２側面４−３ｂに対向する部位である。第２部位３２が流路部材４の第１側面４−３ａおよび第２側面４−３ｂと対向していると、第１側面４−３ａおよび第２側面４−３ｂに機械的衝撃が加わることによって各プレート４ａ〜ｉに剥がれが生じてしまう可能性を低減することができる。なお、本
実施形態では、第２部位３２は、第１側面４−３ａおよび第２側面４−３ｂと対向しているが、これに限らず、第１側面４−３ａまたは第２側面４−３ｂのいずれか一方と対向していてもよい。

第１部位３１および第２部位３２は、例えば、図示しない接着材料を介して流路部材４の吐出孔面４−１、第１側面４−３ａ、および第２側面４−３ｂに接着されていてもよい。また、第１部位３１および第２部位３２は、ネジ等の止め具によって吐出孔面４−１、第１側面４−３ａ、および第２側面４−３ｂ上に固定されていてもよい。

保護部材３０は、開口部３３を有している。開口部３３は、第１部位３１から複数の吐出孔８が露出するように設けられている。本実施形態では、１６列の吐出孔列９のうち、隣り合う２列の吐出孔列９が１つの開口部３３において露出するように位置している。このため、開口部３３は、Ｘ方向に沿って延びるように設けられるとともに、Ｙ方向に８つ並んで位置している。なお、開口部３３の形状、配置、および個数については、吐出孔面４−１における複数の吐出孔８の配置に応じて適宜変更することができる。

ここで、開口部３３は、第１部位３１から第２部位３２に亘って設けられている。このため、液体の吐出精度が低下してしまう可能性を低減しつつ、保護部材３０が流路部材４から剥がれてしまう可能性を低減することができる。

具体的には、従来の液体吐出ヘッドでは、保護部材は、吐出孔面上にのみ設けられていた。このため、平面視して、保護部材の開口部の全部は、流路部材の吐出孔面と側面とがなす角部よりも内側に位置していた。ところで、液体吐出ヘッドでは、例えば、液滴の吐出後において吐出孔面上に残留した液体を除去する目的で、開口部から露出した吐出孔面をワイパーによって拭き取る場合がある。このような場合、従来の液体吐出ヘッドでは、ワイパーの進行方向（本実施形態では、Ｘ方向）において、吐出孔面と保護部材とがなす段差が存在することになる。このため、当該段差において液体が拭き残ってしまう可能性があった。このため、拭き残った液体が吐出孔の周縁に残留することにより、その後の液滴の吐出精度が低下してしまう可能性があった。

ここで、液体の一部が拭き残ってしまう可能性を低減するためには、開口部に代えて切欠部を設ける必要がある。すなわち、ワイパーの進行方向（本実施形態では、Ｘ方向）において、保護部材の外縁の一部が凹むように切欠部を設ける必要がある。このように、開口部に代えて切欠部を設けると、当該切欠部において流路部材の吐出孔面と側面とがなす角部の一部が露出することになる。このため、切欠部において露出した角部側へとワイパーを進行させることで、液体が拭き残ってしまう可能性を低減することができる。しかしながら、このような構成によれば、保護部材の外縁に凹凸が生じるため、当該凹凸を起点として保護部材が流路部材から剥がれてしまう可能性があった。特に、切欠部によって保護部材が複数の部位に分断された場合、部品点数が増加してしまう上に、複数の部位のそれぞれに剥がれが生じる可能性があるため好ましくない。

そこで、本実施形態の係る液体吐出ヘッド２では、開口部３３は、第１部位３１から第２部位３２に亘って設けられている。具体的には、開口部３３の一部は、第１部位３１に設けられており、開口部３３の残部は、第２部位３２に設けられている。このため、角部Ｃ１，Ｃ２の一部は、開口部３３において保護部材３０から露出している。このため、開口部３３において露出した角部Ｃ１，Ｃ２側へとワイパーを進行させることで、液体が拭き残ってしまう可能性を低減することができる。そのため、拭き残った液体が吐出孔８の周縁に残留することにより液滴の吐出精度が低下してしまう可能性を低減することができる。また、開口部３３は、保護部材３０の一部が貫通するように設けられる部位であるため、保護部材３０の外縁に凹凸が生じる可能性を低減することができる。このため、保護
部材３０が流路部材４から剥がれてしまう可能性を低減することができる。また、開口部３３によって保護部材３０が複数の部材に分断されることがないため、部品点数が増加してしまう可能性を低減することができる。

なお、本実施形態のように、開口部３３は、第１側面４−３ａに対向する第２部位３２から、第１部位３１を介して、第２側面４−３ｂに対向する第２部位３２に亘って設けられていることが好ましい。このような構成によれば、１つの開口部３３によって、角部Ｃ１，Ｃ２が露出することになる。このため、開口部３３から露出した吐出孔面４−１をワイパーによって拭き取る場合に、開口部３３から露出した角部Ｃ１から角部Ｃ２に亘ってワイパーを進行させることができる。このため、開口部３３から露出した吐出孔面４−１において液体の一部が拭き残ってしまう可能性をより低減することができる。なお、開口部３３は、第１側面４−３ａに対向する第２部位３２から第１部位３１亘ってのみ設けられていてもよい。また、第２側面４−３ｂに対向する第２部位３２から第１部位３１に亘ってのみ設けられていてもよい。

また、本実施形態のように、断面視して、第１部位３１に位置する開口部３３の幅は、流路部材４の吐出孔面４−１に近づくにつれて小さくなっていることが好ましい。具体的には、本実施形態では、図９の（ｄ）に示すように、領域Ｅ２に位置する開口部３３の断面視幅は、流路部材４の吐出孔面４−１に近づくにつれて小さくなっている。換言すれば、開口部３３に隣接するとともに領域Ｅ１に位置する保護部材３０の縁部は、吐出孔８に近づくにつれて厚みが小さくなっている。このような構成によれば、吐出孔面４−１と保護部材３０の縁部とがなす角の角度を相対的に大きくすることができる。このため、液体が拭き残ってしまう可能性をより低減することができる。

ここで、図１１〜図１３を参照しながら、液体吐出ヘッド２の製造方法について説明する。図１１の（ａ）は、流路部材４を吐出孔面４−１側から見た平面図である。図１１の（ｂ）は、板状部材２００の平面図である。図１２は、流路部材４および板状部材２００を示した図であって、吐出孔面４−１側から見た平面図である。図１３の（ａ）は、図１２に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。図１３の（ｂ）は、流路部材４および板状部材２００の断面図であって、板状部材２００の端部２２０を折り曲げた図である。

まず、図１１の（ａ）において、流路部材４を吐出孔面４−１側から見た平面図を示す。本実施形態では、流路部材４は、上述のとおり、エッチング法等によって複数の孔を形成した各プレート４ａ〜ｉを積層することによって作成される。次に、図１１の（ｂ）において、板状部材２００の平面図を示す。板状部材２００は、液体吐出ヘッド２が備える保護部材３０の前駆体である。板状部材２００は、流路部材４よりもＸ方向における長さが長い略矩形状の部材である。ここで、板状部材２００には、複数の開口部２１０が形成される。当該複数の開口部２１０を形成する方法としては、例えば、エッチング法等が挙げられる。

複数の開口部２１０が形成された板状部材２００は、図１２および図１３の（ａ）に示すように、流路部材４の吐出孔面４−１上に設けられる。この際、複数の吐出孔８は、開口部２１０において板状部材２００から露出するように配置される。また、板状部材２００の端部２２０は、吐出孔面４−１と第１側面４−３ａとがなす角部Ｃ１、および、吐出孔面４−１と第２側面４−３ｂとがなす角部Ｃ２よりも外側に配置される。この際、開口部２１０は、角部Ｃ１，Ｃ２を跨いで位置するように配置される。なお、板状部材２００を流路部材４の吐出孔面４−１上に設ける工程と、開口部２１０を角部Ｃ１，Ｃ２を跨いで位置するように配置する工程とは、同時に行ってもよい。

そして、図１３の（ｂ）に示すように、板状部材２００の一方側の端部２２０は、角部
Ｃ１に沿って第１側面４−３ａ側に折り曲げられる。また、板状部材２００の他方側の端部２２０は、角部Ｃ２に沿って第２側面４−３ｂ側に折り曲げられる。この際、開口部２１０が角部Ｃ１，Ｃ２を跨いで位置していることから、開口部２１０の一部は、第１側面４−３ａと対向する領域、および第２側面４−３ｂと対向する領域に延在することとなる。このため、板状部材２００の端部２２０を折り曲げることによって、保護部材３０が形成される。

このように、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２の製造方法では、開口部２１０を形成した板状部材２００の端部２２０を折り曲げることによって、保護部材３０を形成することができる。このため、比較的簡易な製造工程によって本実施形態に係る液体吐出ヘッド２を製造することができる。

なお、本実施形態のように、角部Ｃ１，Ｃ２に対応して板状部材２００に凹部２３０を設けることが好ましい。具体的には、図１１の（ｂ）に示すように、板状部材２００には、流路部材４の吐出孔面４−１に対向する側に凹部２３０が設けられている。凹部２３０は、Ｙ方向に沿って設けられている。凹部２３０は、例えば、板状部材２００の所定箇所において、吐出孔面４−１に対向する側からハーフエッチングを施すことで形成される。ここで、図１２に示すように、板状部材２００を流路部材４の吐出孔面４−１上に設けた場合、凹部２３０は、角部Ｃ１，Ｃ２と重なって位置している。すなわち、図１３の（ａ）に示すように、板状部材２００が吐出孔面４−１上に設けられた場合、角部Ｃ１，Ｃ２は、板状部材２００とは接していない状態である。このような状態で、図１３の（ｂ）に示すように板状部材２００の端部２２０を凹部２３０に沿って折り曲げると、角部Ｃ１，Ｃ２が傷付く可能性を低減することができる。また、板状部材２００が略直角となるように端部２２０を折り曲げることができるため、流路部材４と保護部材３０との密着力を向上することができる。

リザーバ４０は、ヘッド本体２ａ上に配置されている。具体的には、リザーバ４０は、流路部材４の加圧室面４−２上に配置されている。具体的には、リザーバ４０は、加圧室面４−２のうちＸ方向における両端部に位置する領域Ｅ１上に配置されている。本実施形態では、リザーバ４０は、領域Ｅ１において、図示しない接着材料を介して流路部材４の加圧室面４−２と接着されている。また、リザーバ４０は、圧電アクチュエータ基板２１と空間Ｓ１を介して離間して配置されている。

リザーバ４０には、当該リザーバ４０に対して液体を供給するために、図示しない液体供給孔が設けられている。また、リザーバ４０の内部には、流路部材４に対して液体を供給するために、図示しない流路が設けられている。当該流路は、液体供給孔と連通するとともに、領域Ｅ１に位置する流入孔５ａに対しても連通している。このようにして、リザーバ４０は、流路部材４に対して液体を供給することができる。なお、リザーバ４０が有する流路は、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜設計変更することができる。また、流入孔５ａの一部は、マニホールド５から液体を流出させる役割を担っていてもよい。

リザーバ４０は、例えば、流路部材４と同様に、複数のプレートが積層された積層構造を有している。複数のプレートの構成材料としては、例えば、金属材料、樹脂材料、あるいはセラミック材料等が挙げられる。また、リザーバ内の流路は、例えば、複数のプレートの所定箇所にエッチングを施すことによって形成される。

筺体９０は、液体吐出ヘッド２が備える各部材を収容する役割を有する。筺体９０は、少なくとも流路部材４の吐出孔面４−１の一部が露出するように、液体吐出ヘッド２が備える各部材を収容している。本実施形態では、筺体９０は、リザーバ４０上に設けられている。筺体９０の構成材料としては、例えば、金属材料あるいは樹脂材料等が挙げられる
。

配線基板９４は、液体吐出ヘッド２がプリンタ１に組み込まれた場合に、制御部１００から送信された駆動信号を受信する役割を有する。配線基板９４は、リザーバ４０上に設けられている。また、配線基板９４には、コネクタ９５が実装されている。配線基板９４としては、例えば、樹脂基板上あるいはセラミック基板上に各種の電子部品を備えたものを用いることができる。

ここで、圧電アクチュエータ基板２１は、信号伝達部９２を介して、コネクタ９５に接続されている。信号伝達部９２には、ドライバＩＣ５５が実装されている。信号伝達部９２としては、例えば、従来周知のフレキシブルプリント配線基板を用いることができる。

液体吐出ヘッド２では、配線基板９４は、制御部１００から受信した駆動信号を信号伝達部９２に送信する。次に、信号伝達部９２に実装されたドライバＩＣ５５は、当該駆動信号に所定の処理を施し、処理後の駆動信号を圧電アクチュエータ基板２１に対して送信する。そして、圧電アクチュエータ基板２１は、当該処理後の駆動信号に応じて変位することで、吐出孔面４−１に設けられた複数の吐出孔８から液滴を吐出させる。このように、複数の吐出孔８から吐出した液滴によって、記録媒体に対して所定の印画を行うことができる。

なお、配線基板９４およびドライバＩＣ５５の搭載個数については、特に限定されず、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜変更することができる。また、配線基板９４はなくともよく、例えば、制御部１００と信号伝達部９２とが、直接電気的に接続されていてもよい。

押圧板９６は、ドライバＩＣ５５を筺体９０に対して押し当てる役割を有する。押圧板９６は、リザーバ本体４１上に設けられている。押圧板９６には、断熱性弾性部材９７が取り付けられている。ここで、押圧板９６は、断熱性弾性部材９７および信号伝達部９２を介してドライバＩＣ５５を筺体９０に押し当てている。このため、ドライバＩＣ５５において発生した熱を、筺体９０へと伝達することができる。そのため、当該熱を液体吐出ヘッド２の外側へと放熱することができる。

なお、当該熱を液体吐出ヘッド２の外側へと効率的に放熱するために、筺体９０の構成材料は、熱伝導率が相対的に大きい材料であることが好ましい。具体的には、筺体９０の構成材料は、例えば、金属材料であることが好ましい。

また、本実施形態では、信号伝達部９２は、筺体９０内において湾曲して配置されている。このため、信号伝達部９２には、湾曲状態から定常状態へと戻ろうとする力が働く。ここで、ドライバＩＣ５５は、当該力によって、筺体９０により強く押し当てられることになる。そのため、ドライバＩＣ５５において発生した熱を、筺体９０により伝達しやすくなる。

なお、上述した実施形態は、本発明の実施形態の一具体例を示したものであり、種々の変形が可能である。以下、主な変形例を示す。

［変形例１］
変形例１では、液体吐出ヘッド３００について、図１４を参照しながら説明する。図１４は、変形例１に係る流路部材４および保護部材３３０の概略構成を示す図であって、（ａ）は、吐出孔面４−１側から見た平面図である。（ｂ）は、第１側面４−３ａ側からみた平面図である。（ｃ）は、第２側面４−３ｂ側から見た平面図である。（ｄ）は、（ａ
）に示したＩＶ−ＩＶ線断面図である。なお、図１４において、図９と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明は省略する。

図１４に示すように、液体吐出ヘッド３００は、液体吐出ヘッド２が備える保護部材３０に代えて、保護部材３３０を備えている。

保護部材３３０は、保護部材３０と同様の役割を有する。保護部材３３０は、第１部位３３１および第２部位３３２を有する。第１部位３３１は、流路部材４の吐出孔面４−１上に位置する部位である。第２部位３３２は、流路部材４の第１側面４−３ａおよび第２側面４−３ｂに対向する部位である。また、保護部材３３０は、開口部３３３をさらに有している。開口部３３３は、第１部位３３１から複数の吐出孔８が露出するように設けられている。開口部３３３は、第１部位３３１から第２部位３３２に亘って設けられている。

ここで、図１４に示すように、開口部３３３は、第１開口部３３３ａおよび第２開口部３３３ｂを有する。第１開口部３３３ａおよび第２開口部３３３ｂは、厚み方向において開口部３３３を２分割した場合における各部位を指す。具体的には、第１開口部３３３ａは、２分割した開口部３３３のうち、吐出孔面４−１側に位置する部位である。また、第２開口部３３３ｂは、第１開口部３３３ａよりも吐出孔面４−１から遠い側に位置する部位である。

液体吐出ヘッド３００では、第１開口部３３３ａの断面視幅は、吐出孔面４−１に近づくにつれて大きくなっている。第２開口部３３３ｂの断面視幅は、吐出孔面４−１に近づくにつれて小さくなっている。また、第１開口部３３３ａの厚みは、第２開口部３３３ｂの厚みよりも小さい。換言すれば、吐出孔面４−１から第１開口部３３３ａと第２開口部３３３ｂとの境界点Ｄ１までの最短離間距離は、保護部材３００の厚みの１／２以下である。このような構成によれば、開口部３３３から露出した吐出孔面４−１をワイパーによって拭き取る場合に、当該吐出孔面４−１上に液体が残留してしまったとしても、第２開口部３３３ｂの隅に位置する領域Ｅ３において当該液体を保持することができる。このため、吐出孔面４−１上に残留した液体が吐出孔８側へ流れることによって吐出精度が低下してしまう可能性を低減することができる。

なお、第１開口部３３３ａは、例えば、保護部材３３０の一方の面からエッチング処理を施すことによって形成される。第２開口部３３３ｂは、例えば、保護部材３３０の他方の面（一方の面とは反対側に位置する面）からエッチング処理を施すことによって形成される。また、第１開口部３３３ａを形成する際のエッチング条件と第２開口部３３３ｂを形成する際のエッチング条件を異なるものとすることで、第１開口部３３３ａの厚みを第２開口部３３３ｂの厚みよりも小さくすることができる。

［変形例２］
なお、本明細書は、上記の実施形態および変形例１について個別具体的に説明したが、これに限らず、上記の実施形態および変形例１に個別に記載された事項を適宜組み合わせた例についても記載されているものである。すなわち、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体吐出ヘッド２，３００に限定されるものではなく、上記の実施形態および変形例１に個別に記載された事項を適宜組み合わせた液体吐出ヘッドも含む。

また、本実施形態では、液体吐出ヘッド２を備えたプリンタ１について説明したが、本発明に係る記録装置は、これに限定されない。本発明に係る記録装置は、液体吐出ヘッド２に代えて、液体吐出ヘッド３００を備えていてもよい。

Ｃ１，Ｃ２ 角部
１ プリンタ（記録装置）
２，３００ 液体吐出ヘッド
４ 流路部材
４−１ 吐出孔面（流路部材の主面）
４−２ 加圧室面
４−３ 側面（流路部材の側面）
４−３ａ 第１側面
４−３ｂ 第２側面
８ 吐出孔
９ 吐出孔列
３０，３３０ 保護部材
３１，３３１ 第１部位
３２，３３２ 第２部位
３３，３３３ 開口部
３３３ａ 第１開口部
３３３ｂ 第２開口部
１２０ 搬送ユニット（搬送部）
２００ 板状部材
２１０ 開口部
２２０ 端部
２３０ 凹部

Claims (7)

1. 主面および該主面に隣接した側面を含み、前記主面に設けられており且つ液体を吐出するための複数の吐出孔を有した流路部材と、
   前記主面上に位置する第１部位、および、前記側面に対向する第２部位を有した保護部材と、を備え、
   前記保護部材は、前記第１部位から複数の前記吐出孔が露出するように設けられた開口部を有しており、
   前記開口部は、前記第１部位から前記第２部位に亘って設けられており、
   前記第１部位に位置する前記開口部を前記第１部位の厚み方向において２分割した場合に、前記流路部材の前記主面側に位置する部位を第１開口部とし、該第１開口部よりも前記流路部材の前記主面から遠い側に位置する部位を第２開口部とするとき、
   断面視して、
   前記第１開口部の幅は、前記流路部材の前記主面に近づくにつれて大きくなっており、
   前記第２開口部の幅は、前記流路部材の前記主面に近づくにつれて小さくなっており、
   前記第１開口部の厚みは、前記第２開口部の厚みよりも小さい、液体吐出ヘッド。
2. 前記側面は、第１側面および該第１側面の反対側に位置する第２側面を含み、
   前記開口部は、前記第１側面側に位置する前記第２部位、前記第１部位、および前記第２側面側に位置する第２部位に亘って設けられている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 第１方向に沿って略列状に配置された複数の前記吐出孔を吐出孔列とするとき、
   前記開口部は、前記第１部位から前記吐出孔列が露出するように前記第１方向に沿って設けられている、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記流路部材の前記主面上に設けられた撥水膜をさらに備えた、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッドに対して記録媒体を搬送する搬送部と、を備えた記録装置。
6. 主面および該主面に隣接した側面を含み、前記主面に設けられており且つ液体を吐出するための複数の吐出孔を有した流路部材と、
   前記主面上に位置する第１部位、および、前記側面に対向する第２部位を有した保護部材と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
   開口部を有した保護部材を準備する工程と、
   前記開口部から複数の吐出孔が露出するように、前記保護部材を前記流路部材の前記主面上に設ける工程と、
   前記開口部が前記主面と前記側面とがなす角部を跨いで位置するように、前記保護部材の端部を前記角部よりも外側に配置する工程と、
   前記角部に沿って前記保護部材の前記端部を前記流路部材の前記側面側に折り曲げる工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法。
7. 前記角部に対応して前記保護部材に凹部を設ける工程をさらに有し、
   前記保護部材の前記端部は、前記凹部に沿って前記流路部材の前記側面側に折り曲げられる、請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

Images