JP4678511B2 - 液体吐出ヘッド及びその製造方法並びにこれを備えた画像形成装置 - Google Patents
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Description
精度化を実現しようとしたものが知られている(例えば、特許文献4等参照)。
配線(エレキ柱)の製造プロセスとの融合、圧力室部材との接合容易性、及び柱状の電気配線と圧電体の液体に対するシール性の確保を図り、高密度化及び駆動の高速化を達成する液体吐出ヘッド及びその製造方法並びにこれを備えた画像形成装置を提供することを目的とする。
これを備えた画像形成装置について詳細に説明する。
ト物とを選別してそれぞれの排出部26A、26Bへと送るために排紙経路を切り換える選別手段(図示省略)が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター(第2のカッター)48によってテスト印字の部分を切り離す。カッター48は、排紙部26の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター48の構造は前述した第1のカッター28と同様であり、固定刃48Aと丸刃48Bとから構成されている。
おいて導電性フィラー入り接着剤74によって接合されている。
ものがあり、導電性粒子としてはポリスチレン球の周りにNi−Au無電界メッキをしたものが知られている。またこの他、異方性導電膜(ACF)を用いて行ってもよい。これらはいずれも、加圧した方向にのみ電気的に接続し、それ以外の方向には絶縁性を有するように接合するものである。
Claims (10)
- 液体を吐出するノズルと連通する圧力室の一部を形成する振動板と、該振動板を変形する圧電体を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
シリコン基板の少なくとも一部を除去し、前記シリコン基板の除去された部分に、前記圧電体を駆動するための駆動信号を供給する電気配線を形成する電気配線形成工程と、
前記電気配線形成工程で少なくとも除去されない前記シリコン基板の部分の上に前記圧電体を形成する圧電体形成工程と、
前記圧電体に関し、前記シリコン基板とは反対側に前記振動板を形成する振動板形成工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、さらに、前記電気配線形成工程、前記圧電体形成工程及び前記振動板形成工程によって形成された前記電気配線、前記圧電体及び前記振動板を有する前記シリコン基板に対し、別途形成された圧力室とノズルを有するノズルプレートを接合する圧力室接合工程を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
- 請求項2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記電気配線形成工程において、前記電気配線は前記シリコン基板に垂直に形成されるとともに、さらに、前記圧力室接合工程の後、前記電気配線の外周部を被覆するシリコンを残して、前記電気配線間のシリコン基板を除去し、前記各圧力室に液体を供給する共通液室となる開口部を形成する共通液室形成工程を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記共通液室形成工程における前記シリコン基板の除去は、異方性エッチングまたはドライエッチングによって行うことを特徴とする請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記圧電体形成工程を行った後、前記振動板形成工程の前に前記圧電体に対する熱処理工程を行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記振動板形成工程を行った後、前記電気配線と前記振動板を用いて前記圧電体の分極を行う分極工程を行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記電気配線形成工程における前記シリコン基板の除去は、異方性エッチングまたはドライエッチングによって行うとともに、前記電気配線はメッキで形成することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 液体を吐出するノズルと連通する圧力室の一部を形成する振動板上に配置された圧電体に関して前記圧力室とは反対側に形成された、前記圧力室に液体を供給する共通液室と、
前記圧電体に垂直に、前記共通液室内に立設された、前記圧電体を駆動する駆動信号を供給する電気配線と、
前記電気配線の外周部を被覆するシリコンのコーティングと、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記共通液室内に、前記電気配線とは別に、シリコンの柱が前記圧電体に対して垂直に立設されたことを特徴とする請求項8に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項8または9に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
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