JP2004082517A - 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導電性の振動板2と圧電素子12とを接着層26を介して接合し、圧電素子12の+電極側の端面には個別側外部電極24を設けない部分12aを形成し、個別側外部電極24と振動板2との間を離間させることで、個別側外部電極24と振動板2との電気的ショートが防止されて、個別電極間や共通電極と個別電極間のショートが防止される。
【選択図】 図3
Description
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置(画像形成装置)として用いるインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通するインク流路(吐出室、圧力室、加圧液室、加圧室、液室等とも称される。)と、このインク流路内のインクを加圧する圧力発生手段(圧力変換手段、アクチュエータ手段、駆動手段などとも称される。)とを備えた液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドを搭載したものである。なお、液滴吐出ヘッドとしては例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、DNAの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどもあるが、以下ではインクジェットヘッドを中心に説明する。
【0003】
インクジェットヘッドとしては、液室内のインクを加圧する圧力を発生するための圧力発生手段として圧電体、特に圧電層と内部電極を交互に積層した積層型圧電素子を用いて、積層型圧電素子のd33方向の変位で液室の壁面を形成する弾性変形可能な振動板を変形させ、液室内容積/圧力を変化させてインク滴を吐出させるいわゆるピエゾ型のものが知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、積層型圧電素子をd33方向で使用するヘッドにおいて、金属製振動板などの導電性を有する振動板、特に平板状振動板を用いた場合に、不安定な吐出や吐出不良が生じることが顕在化してきた。
【0005】
そこで、その原因を究明したところ、圧電素子の端面電極と金属製振動板との間には接着層が介在するものの、接着層が薄膜であることから圧電素子の端面電極と金属製振動板との間が電気的に接続され、個別端面電極間でのショートや個別端面電極と共通端面電極との間でのショートが生じることに起因していることが判明した。
【0006】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、安定した噴射特性が得られる液滴吐出ヘッド及びそれを用いて高画質記録を行うことができるインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、圧電素子の少なくとも一方の端面には圧電素子の振動板接合面側の一部に端面電極が設けられていない部分を有する構成としたものである。
【0008】
ここで、端面電極が駆動波形が印加される電極であることが好ましい。また、端面電極が設けられていない部分が圧電素子の最上層に対応していることが好ましい。さらに、端面電極が設けられていない部分は端面電極を形成するメッキが施されていないことが好ましい。
【0009】
また、圧電素子の少なくとも一方の端面には振動板接合面側に段差部が設けられていることをが好ましい。さらに、圧電素子の少なくとも一方の端面には振動板接合面側が斜めにカットされた面取り部が形成されていることが好ましい。
【0010】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載したものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。本発明の液滴吐出ヘッドの第1実施形態に係るインクジェットヘッドについて図1乃至図3を参照して説明する。なお、図1は同ヘッドの分解斜視説明図、図2は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図、図3は同ヘッドの圧電素子部分の拡大説明図である。
【0012】
このインクジェットヘッドは、単結晶シリコン基板で形成した流路基板(液室基板)1と、この流路基板1の下面に接合した平板状振動板2と、流路基板1の上面に接合したノズル板3とを有し、これらによってインク滴を吐出するノズル4がインク連通路5を介して連通する流路(インク液室)である加圧液室6、加圧液室6にインクを供給するための共通液室8に振動板2に形成したインク供給口9を介して連通する流体抵抗部となるインク供給路7を形成している。
【0013】
ここで、流路基板1は、結晶面方位(110)の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液(KOH)などのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングすることで、インク連通路5となる貫通孔、各加圧液室6、インク供給路7となる凹部をそれぞれ形成している。
【0014】
振動板2は例えばニッケルの金属プレートから形成したものであるが、この他、樹脂部材(液室側面)と金属部材(液室側と反対側の面)の積層部材などで形成することもできる。
【0015】
ノズル板3は各加圧液室6に対応して直径10〜30μmのノズル4を形成し、流路基板1に接着剤接合している。このノズル板3としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、金属とポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂との組み合せ、、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面(吐出方向の表面:吐出面)には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【0016】
そして、振動板2の面外側(液室6と反対面側)に接着層を介して各加圧液室6に対応して駆動手段としての積層型圧電素子12を接合している。これらの振動板2と積層型圧電素子12によって可動部分である振動板2を変形させる圧電型アクチュエータを構成している。この積層型圧電素子12は振動板2との接合面との反対側の面はベース(基台)13に接着剤で接合して固定し、一端面には積層型圧電素子12に駆動波形を与えるためのFPCケーブル16を接続している。
【0017】
さらに、振動板2の周囲にはフレーム部材17を接着剤で接合している。そして、このフレーム部材17には、共通液室8及びこの共通液室8に外部からインクを供給するためのインク供給口18を形成している。
【0018】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、圧電素子12に対して選択的に20〜50Vの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子12が伸び方向に変位して(d33方向の変位により)振動板2をノズル4方向に変形させ、加圧液室6の容積/体積変化によって加圧液室6内のインクが加圧され、ノズル4からインク滴が吐出(噴射)される。
【0019】
そして、インク滴の吐出に伴って加圧液室6内の液圧力が低下し、このときのインク流れの慣性によって加圧液室6内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電素子12への電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板2が元の位置に戻って加圧液室6が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、共通液室8、インク供給路7を経て加圧液室6内にインクが充填される。そこで、ノズル4のインクメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次のインク滴吐出のために圧電素子12にパルス電圧を印加しインク滴を吐出させる。
【0020】
なお、上記の説明ではノズルは上向きで図示しているが、画像を形成する部材、例えば紙などに向けてインクを噴射する場合は、インクを噴射する向きは鉛直下向きである場合が多く、画像形成時、即ちインク噴射時には水平に搬送される画像形成部材(紙など)の鉛直方向上から、インク滴が画像形成部材に向かって飛翔する。
【0021】
ここで、積層型圧電素子12の詳細について図3をも参照して説明する。
この積層型圧電素子12は、圧電層21と内部電極22及び内部電極23とを交互に積層し、一方の端面に内部電極22を接続した個別側(+側)外部電極(端面電極)24を、他方の端面に内部電極23を接続したと共通側(−側)外部電極(端面電極)25とを形成している。そして、最上層21aを振動板2と薄層の接着層26を介して接合する。
【0022】
この圧電素子12においては、一方の端面(個別外部電極24を形成する端面)には振動板2との接合面側に個別側外部電極24を形成しない部分、すなわち端面電極を形成しない部分12aを設けている。この端面電極を形成しない部分12aを設けるには、成膜工程で外部電極24を形成するためのメッキを施さないことで形成する。これにより、二次加工を必要とせずに端面電極を形成しない部分12を設けることができる。
【0023】
この端面電極を形成しない部分12aを設けることで、個別側外部電極24の上端(振動板接合面側端部)と金属製振動板2との間が離間するので、個別側外部電極24に駆動波形(駆動電圧)を印加した場合に、個別側外部電極24と金属製振動板2とが電気的に接続された状態になることを防止でき、振動板2を介する個別側外部電極間のショートや個別側外部電極と共通側外部電極間のショートが生じないので、安定した吐出を行うことができる。
【0024】
次に、圧電素子の振動板接合面側に端面電極を設けない部分を設ける他の異なる例について図4及び図5を参照して説明する。
図4に示す例は、圧電素子12の両端面に外部電極24、25を形成した後に、外部電極24を形成した端面の最上層21aに対応する部分を切削加工して段差12bを設けることで、端面電極を設けない部分12aを形成したものである。
【0025】
このようにすれば、切削加工は必要になるが、外部電極24、25の形成プロセスが簡単になり生産性が向上する。
【0026】
図5に示す例は、圧電素子12の両端面に外部電極24、25を形成した後に、外部電極24を形成した端面の振動板接合面側にC面取り加工を施して斜めにカットすることで、端面電極を設けない部分12aを形成したものである。
【0027】
このようにすれば、圧電素子12の層間剥離を防止することができるとともに、外部電極24の上端にバリ等が発生することを防止できる。
【0028】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図6及び図7を参照して説明する。なお、図6は同記録装置の斜視説明図、図7は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【0029】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体111の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部112等を収納し、装置本体111の下方部には前方側から多数枚の用紙113を積載可能な給紙カセット(或いは給紙トレイでもよい。)114を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙113を手差しで給紙するための手差しトレイ115を開倒することができ、給紙カセット114或いは手差しトレイ115から給送される用紙113を取り込み、印字機構部112によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ116に排紙する。
【0030】
印字機構部112は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド12と従ガイドロッド122とでキャリッジ123を主走査方向(図7で紙面垂直方向)に摺動自在に保持し、このキャリッジ123にはイエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(Bk)の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなるヘッド124を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ123にはヘッド124に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ125を交換可能に装着している。
【0031】
インクカートリッジ125は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【0032】
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド124を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。
【0033】
ここで、キャリッジ123は後方側(用紙搬送方向下流側)を主ガイドロッド121に摺動自在に嵌装し、前方側(用紙搬送方向上流側)を従ガイドロッド122に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ123を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ127で回転駆動される駆動プーリ128と従動プーリ129との間にタイミングベルト130を張装し、このタイミングベルト130をキャリッジ123に固定しており、主走査モーター127の正逆回転によりキャリッジ123が往復駆動される。
【0034】
一方、給紙カセット114にセットした用紙113をヘッド124の下方側に搬送するために、給紙カセット114から用紙113を分離給装する給紙ローラ131及びフリクションパッド132と、用紙113を案内するガイド部材133と、給紙された用紙113を反転させて搬送する搬送ローラ134と、この搬送ローラ134の周面に押し付けられる搬送コロ135及び搬送ローラ134からの用紙113の送り出し角度を規定する先端コロ136とを設けている。搬送ローラ134は副走査モータ137によってギヤ列を介して回転駆動される。
【0035】
そして、キャリッジ123の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ134から送り出された用紙113を記録ヘッド124の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材139を設けている。この印写受け部材139の用紙搬送方向下流側には、用紙113を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ141、拍車142を設け、さらに用紙113を排紙トレイ116に送り出す排紙ローラ143及び拍車144と、排紙経路を形成するガイド部材145,146とを配設している。
【0036】
記録時には、キャリッジ123を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド124を駆動することにより、停止している用紙113にインクを吐出して1行分を記録し、用紙113を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙113の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙113を排紙する。この場合、ヘッド124を構成する本発明に係るインクジェットヘッドは気泡排出性が高く、加圧液室への十分な流量を確保でき、共通液室を伝搬する圧力波を低減できるので、高効率の噴射特性を長期間安定して得ることができる。
【0037】
また、キャリッジ123の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド124の吐出不良を回復するための回復装置147を配置している。回復装置147はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ123は印字待機中にはこの回復装置147側に移動されてキャッピング手段でヘッド124をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【0038】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド124の吐出口を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜(不図示)に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【0039】
このようにこのインクジェット記録装置においては、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを備えているので、安定した噴射特性が得られるので、高画質記録を行うことができる。
【0040】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、DNAの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、上記実施形態においては、本発明を振動板変位方向と液滴吐出方向が同じになるサイドシュータ方式のヘッドに適用したが、振動板変位方向とインク滴吐出方向とが直交するエッジシュータ方式のヘッドにも同様に適用することができる。
【0041】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、圧電素子の少なくとも一方の端面には圧電素子の振動板接合面側の一部に端面電極が設けられていない部分を有する構成としたので、振動板を介した端面電極間のショートを防止できて安定した噴射を行うことができる。
【0042】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載したので、安定した噴射特性が得られて高品質画像を向上できるとともに信頼性も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図2】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図3】同ヘッドの圧電素子部分の拡大断面説明図
【図4】同ヘッドの圧電素子の他の例を示す拡大断面説明図
【図5】同ヘッドの圧電素子の更に他の例を示す拡大断面説明図
【図6】本発明に係るインクジェット記録装置の一例を示す斜視説明図
【図7】同記録装置の側面説明図
【符号の説明】
1…流路形成基板、2…振動板、3…ノズル板、4…ノズル、6…加圧液室、7…インク供給路、8…共通液室、12…圧電素子、12a…端面電極を設けない部分、13…支持基板、17…フレーム部材、24、25…端面電極(外部電極)。
Claims (7)
- 液滴を吐出するノズルが連通する加圧液室の少なくとも1つの壁面を構成する導電性の振動板と、この振動板に接合された積層型の圧電素子とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子の少なくとも一方の端面には圧電素子の振動板接合面側の一部に端面電極が設けられていない部分を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記端面電極が駆動波形が印加される電極であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記端面電極が設けられていない部分が前記圧電素子の最上層に対応していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記端面電極が設けられていない部分は前記端面電極を形成するメッキが施されていないことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子の少なくとも一方の端面には前記振動板接合面側に段差部が設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子の少なくとも一方の端面には前記振動板接合面側が斜めにカットされた面取り部が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- インク滴を吐出インクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項1ないし6のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
Priority Applications (1)
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JP2002246679A JP2004082517A (ja) | 2002-08-27 | 2002-08-27 | 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004082517A true JP2004082517A (ja) | 2004-03-18 |
Family
ID=32054511
Family Applications (1)
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004082517A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2008007656A1 (fr) * | 2006-07-14 | 2008-01-17 | Alps Electric Co., Ltd. | Dispositif de déplacement de tête |
JP2009101543A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-05-14 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
US7804225B2 (en) | 2006-03-17 | 2010-09-28 | Seiko Epson Corporation | Droplet discharging head, image forming apparatus, and film forming apparatus |
-
2002
- 2002-08-27 JP JP2002246679A patent/JP2004082517A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7804225B2 (en) | 2006-03-17 | 2010-09-28 | Seiko Epson Corporation | Droplet discharging head, image forming apparatus, and film forming apparatus |
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