JP3933506B2 - インクジェット記録ヘッド、及び該インクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェットプリンタ並びに液滴吐出装置及び画像形成装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット記録ヘッド、及び該インクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェットプリンタ、液滴吐出装置及び画像形成装置に関し、特にインクジェット記録ヘッドの振動板に対する圧力変換器の取り付け位置ずれが生じても、インク吐き出し特性の変動を軽減することができるインクジェット記録ヘッド、及び該インクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェットプリンタ、液滴吐出装置及び画像形成装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
インクジェット記録ヘッドにおいて、圧力変換器の取り付け位置のずれによる特性変動に対する対策を開示している従来例には、次のようなものがある。
特開平9−99553号公報(インクジェットヘッド)に記載されたものは、振動板(加圧板)の片面に凹部を形成し、これに圧力変換器を当接させることによって位置精度を上げるというものである。
また、特開2001−187448号公報(圧電型アクチュエータの製造方法およびそれによって得られた圧電型アクチュエータならびにそれを用いたインクジェット式記録ヘッド)に記載されたものは、圧力変換器の形成を、振動板に圧電材料の分散液を印刷することによって行い、これにより振動板、液室のゆがみに圧力変換器が追従して形成され、位置ずれを生じさせないというものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
微小なインク滴を吐出し、紙などの被記録媒体に付着させて文字を含む画像情報を形成するインクジェット記録装置は、複数のインク加圧液室と、該加圧液室に連通してインク滴を吐出するためのノズルと、各加圧液室に対応して設けた電気機械変換素子や電気熱変換体などのアクチュエータとを備えたインクジェットヘッドを用いて、記録信号に応じて該加圧液室内部の圧力を変化させてノズルからインク滴を吐出することによって、高速、高密度、高品質の記録を行うものである。
このアクチュエータとして、加圧液室の一部である弾性変形可能な振動板に当接した圧電素子を用いるものはよく知られている。これは、圧電素子を充放電することで変形させ、圧電素子に当接した振動板を変位させる。振動板が加圧液室の容積を収縮するように変位すると加圧液室内部の圧力が上昇し、インク滴をノズルから吐出させるものである。インク滴を吐出した後は、加圧液室の容積を膨張させるように振動板に変位を与えるべく圧電素子を変形させる。
【0004】
図13は、圧電アクチュエータを用いたインクジェットヘッドを模式的に示す図で、図13(A)は加圧液室の長手方向断面図、図13(B)は短手方向断面図である。
ノズル3に連通した加圧液室4の一部を形成する振動板6と、ベース基板2に設けた圧電素子7が接合されている。振動板6は、圧電素子7の変形に伴い弾性変形するが、圧電素子7の変位を効率よく加圧液室4の容積変化にするために、振動板6は、通常加圧液室4を構成する他の面よりも剛性を小さく(=コンプライアンスを大きく)している。共通液室9と加圧液室4には、インクが充填されている。共通液室9は図示しないインクタンクに接続されている。
【0005】
圧電素子7に図示しない駆動回路から電圧を加えることで、圧電素子7は変形を生じ、振動板6を加圧液室4の容積が増加または減少するように変形させる。加圧液室4の容積を増加させた場合は加圧液室4の内部圧力は減少するので、共通液室9から連通部10を通ってインクが加圧液室4に補充される。その後加圧液室4の内部圧力を増加させるような駆動を行う。すなわち、加圧液室4の容積を減少させるように圧電素子7を駆動させた場合は加圧液室4の内部圧力が増加するので、ノズル3からインクが押し出されてインク滴12となって飛翔し、図示しない紙などの記録媒体にインク滴が付着することで記録を行う。
すなわち、インクジェットヘッドのインク滴の形成は、振動板の変位がその源であり、さらにその駆動源である圧電素子との接合部分の構成は、インクジェットヘッドの特性を左右する重要な要素であるといえる。
【0006】
しかし、加工精度の問題から、圧電素子と振動板の接合は、どうしても取り付け位置にずれが生じる。この位置ずれは、その発生量(ずれ量)にばらつきが生じるが、これにより、圧電素子によって発生する変位力が、設計通り振動板に伝わらないことになる。この結果、液室に発生する変位力による振動板等の構造変形に液室間で差が生じ、これが噴射特性ばらつきとなって印字品質を落とす要因となる。
【0007】
圧電素子の取り付け位置がずれた場合に起こる具体的な問題点を図14〜図16を用いて説明する。
図14〜図16は、圧電素子即ち圧力変換手段の加圧液室に対する取り付け位置と加圧液室の変形の関係を示す模式図である。
図14に示す取り付け位置では、圧電素子7即ち圧力変換手段が振動板6の規定位置に取り付けられており、圧力変換手段の変位により、加圧液室4の振動板6が押し上げられ、加圧液室4の圧力を上昇させる。
図15に示す取り付け位置は、圧力変換手段が規定位置より若干隔壁20側へずれて取り付けられた場合であるが、圧力発生手段が隔壁20へ近づくことにより、振動板の変位力の一部が隔壁20を傾ける方向に力が働く。このため、加圧液室4は変形し、圧力変動、ノズルプレート変位といった問題が起こる。
図16は、更に圧力変換手段が隔壁20へ近づいて取り付けられた場合であるが、この場合は圧力変換手段が直接隔壁20を押し上げるようになり、更に大きな加圧液室4の変形をもたらす。
【0008】
そこで、この位置ずれによる影響を減らす方法として、特開平9−99553号公報にみられる方法が挙げられる。これは、振動板に凹部を形成し、この凹部に圧電素子を突き当てることにより、圧電素子のずれを凹部で吸収し、変位力の伝達にばらつきを生じさせないようにするものである。しかし、この場合、凹部の幅に収まる範囲のずれにしか対応できず、適用できる範囲は限られる。また、溝加工を行う必要があるため、工程が複雑になるという問題もある。
他方、特開2001−187448号公報にみられる方法は、振動板のずれに合わせて圧電素子を形成することにより、位置ずれ自体の発生を抑えるものである。しかし、この場合、適用できる液室構造、圧電素子構造、及び製造方法が限定されたものとなる。特に液室構造に関しては、Siプロセスによって形成することが出来ず、高精度・高密度に多チャンネル化を図ることが難しくなるといった問題がある。
【0009】
本発明は上記問題点に鑑み、振動板に圧電素子を接続させる際に、位置ずれが生じても特性変動が起こりにくく、これによってインクジェット記録ヘッドの噴射特性を安定させることを目的とする。
また、噴射特性が安定したインクジェット記録ヘッドを用いることにより、均一な印字特性のインクジェットプリンタ、液滴吐出装置及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、請求項1のインクジェット記録ヘッドは、加圧液室と、該加圧液室の一部を構成する振動板と、一方の面が前記振動板に連接され前記加圧液室内部の圧力を変化させる圧力変換手段と、該圧力変換手段の他方の面が接合される支持基板とを備え、前記加圧液室は長手方向端部において長手方向隔壁を介して2つの加圧液室が対向配置され、かつ該2つの加圧液室に対応して接続されたそれぞれの圧力変換手段間には、前記長手方向隔壁と前記支持基板を接続する部材は存在せず、前記圧力変換手段は前記長手方向隔壁と離隔して設けられ、前記加圧液室の短手方向にて隣接する前記加圧液室を分離している短手方向隔壁に対応する位置に、前記支持基板と前記短手方向隔壁間に振動板を支持する支持部材を有することを特徴とする。
【0012】
請求項2のインクジェット記録ヘッドは、請求項1のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記振動板は薄肉部と厚肉部を有し、前記圧力変換手段が当接する前記厚肉部によって前記薄肉部の領域が分離されており、前記厚肉部は前記振動板の長手方向全体に渡って形成されていることを特徴とする。
【0013】
請求項3のインクジェット記録ヘッドは、請求項1または2のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記圧力変換手段は電極層と圧電素子の層が交互に積層された積層圧電型駆動体であり、長手方向端部には電界が生じない不活性領域を有することを特徴とする。
【0014】
請求項4のインクジェット記録ヘッドは、請求項1〜3のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記長手方向隔壁と前記圧力変換手段との間の距離は100μm以上であることを特徴とする。
【0015】
請求項5のインクジェット記録ヘッドは、請求項3のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記長手方向隔壁と前記積層圧電型駆動体の活性層間の距離は300μm以上であることを特徴とする。
【0016】
請求項6のプリンタ、請求項7の液滴吐出装置及び請求項8の画像形成装置は、請求項1〜5のいずれかのインクジェット記録ヘッドを搭載することを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図1〜図10を参照して説明する。
図1は、本発明の実施例のインクジェットヘッドを示す分解斜視図である。
複数の加圧液室4を形成した加圧液室基板1と、ノズルプレート8と、振動板6とを積層する。ノズルプレート8には、加圧液室4に対応して連通したノズル3が設けられている。振動板6には圧力変換器である圧電素子7の一方の面が接合され、圧電素子7には、ドライバIC18を接合したFPCケーブル17が電気的な接続を伴って接合されている。
図示しない画像形成信号に基づいてドライバIC18から駆動信号がFPCケーブル17を介して圧電素子7に供給され、圧電素子7が伸縮し、その変位が振動板6に伝えられ、それぞれ必要とする加圧液室4の内部圧力を適切に制御することで、ノズル3からインク滴を吐出する。圧電素子7の他方の面はベース基板2と接合されており、ベース基板2はさらに図示しないフレームと接合されている。インクジェットプリンタ本体へは、図示しないキャリッジにフレームを接合して搭載し、図示しない電気回路にFPCケーブル18を接続し、さらにインクカートリッジからインクを加圧液室4に供給するがここでは図示していない。
【0018】
図2は、本発明の実施例によるインクジェットヘッドの加圧液室長手方向(ノズル列に対して直交方向)の断面図である。
2つの加圧液室4が隔壁20によって加圧液室の長手方向に分離され、対向配置された構成となっている。ベース基板2と同様に、加圧液室基板1もフレーム19に接合されている。フレーム19は、図2の例では2つの部品に分かれているが、1つの部品で構成しても構わない。また、1つのベース基板2に二つの圧電素子7が形成されているが、ベース基板2は2つに分割されている場合もあり得る。
【0019】
図3は、図2に示すインクジェットヘッドにおける部分を拡大して示す図で、図3(A)はベース基板と圧電素子、支持部材との関係を示す拡大斜視図、図3(B)はインクジェットヘッドの加圧液室の短手方向(ノズル列方向)の拡大断面図である。
ここで、圧電素子7の間には、支持部材11が取り付けられた構成となっているが、この支持部材11は存在しない場合もあり得る。振動板6は、厚肉部15と薄肉部16から構成され、厚肉部15によって圧電素子7に接続され、実際に加圧液室4に圧力を発生させる振動板部位が分離されている。支持部材11は、振動板6の厚肉部15を介して隔壁5に接続されている。振動板6とベース基板2は、圧電素子7と支持部材11の両方で接合されており、上部の加圧液室4の剛性を保つとともに、圧電素子7の変形による振動板6の厚肉部15の変位効率を向上させている。
【0020】
ここで、振動板形状について説明する。
図4は、図1〜図3にて説明した一つの加圧液室4を、その短手方向で切断した断面を振動板6を上にして示す斜視図、図5は、図4に示す振動板と異なる構成の振動板を用いた同様の斜視図である。ただし、図5は振動板に接続される圧電素子7についても示している。
図4において図示していない圧電素子は、振動板6の凹部13の薄肉部16で周囲を隔離された厚肉部15である島状凸部14に接合される。
一方、図5に示した形状は、振動板6が厚肉部15と薄肉部16から構成されているが、図4と異なり、厚肉部151の周囲を薄肉部16で囲まれてはおらず、逆に、厚肉部151で薄肉部16の領域を分離している。厚肉部151は加圧液室長手方向に沿って設けられており、薄肉部16は中央の厚肉部151に対して対称な位置に、加圧液室4の長手方向に沿って細長く設けられている。厚肉部152は加圧液室4を1つずつ区画している周辺肉厚部であり、図示しない支持部材を介して図示しないベース基板に接続されている。図5の振動板形状は、図4の振動板形状に比べ、振動板に接続される島状凸部14の長さが長いため、より効率良く振動板を駆動できる。このため、同じ液室圧力を発生させるのであれば、より低い駆動電圧ですむというメリットがある一方、前記した位置ずれに対する問題では脆弱な構造となっている。即ち、図4の振動板形状であれば、図15に示したずれによる影響は、凹部によって振動板が分断されているために発生しにくいのに対し、図5の形状では、図15に示した問題が起こる。
なお、両者とも、図16に示した取り付け位置ずれによる問題は発生する。
【0021】
図6は、本発明の特徴を説明するための図で、加圧液室長手方向断面を模式的に示す断面図である。
本発明では、図6に示す通り、加圧液室の長手方向を隔てる長手方向隔壁20に対向する振動板6のベース基板2側位置には、圧力変換手段である圧電素子7が存在しない構成、つまり圧電素子7は長手方向隔壁20と一定の距離隔てて設けられる構成とした。このとき重要となるのは、圧電素子7の取り付け位置に位置ずれが発生しても、加圧液室4の変形を生じさせないよう、十分に隔壁20と圧電素子7の間の距離を離すことである。しかし、必要以上に両者の距離を離す、即ち2つの対向した圧電素子7間の距離を離すと、駆動ユニットの寸法が大きくなってしまうという問題、及び図2に示す通り、2つの圧電素子7の間に、隔壁20とベース基板2を結ぶ支持部材を省略することにより、工法の簡易化及びヘッドの小型化を図る場合、隔壁20を支える支持部材(図3における支持部材11)が隔壁20から離れることとなり、支持力不十分で加圧液室4の振動が増大する問題もある。
そこで、最適寸法を求める検討を行った。その結果を、図7の圧電素子間の距離と振動板の変位量の関係を示すグラフに示す。
【0022】
この検討は、圧電素子の取り付け位置ずれのばらつきをみたとき、その平均ばらつき量からの差がσ以内に収まる場合を良品、はずれた場合を不良品とし、良品内で最もずれが発生したサンプルについて、ノズルプレートの変形量で加圧液室の変形度を評価したものである。パラメータとして、ここでは2つの圧電素子(PZTを使用)間の距離を取っているが、隔壁20の幅は100μmとしているので、(PZT間隔−100)/2が隔壁20と圧電素子間の距離となる。なお、全く位置ずれの発生しないサンプルのデータも併せて掲示した。
図7のグラフをみると、2つの圧電素子の間隔を100〜300μmと変えた場合、振動板の変位量は急激に減少していくが、300μmを境として、あまり変化しなくなることが判る。これから、2つの圧電素子間の距離は300μm以上、即ち隔壁20と圧力変換手段との距離は100μm以上であることが望ましい。
なお、前記した通り、振動板形状を示す図4と図5を比較した場合、図5は特にずれによる影響が高いが、本発明はこれに対しても高い効果が得られる。よって、図5に示した、より効率よく加圧液室を駆動することができる振動板形状を、位置ずれによる特性変動なく使うことができるようになる。
【0023】
図8は、図6に示すインクジェットヘッドにおいて、圧力変換手段である圧電素子7が長手方向端面に不活性層72を持つ積層圧電型駆動体である場合の、加圧液室長手方向断面を模式的に示す断面図である。
圧力変換手段の位置に関しては前述したが、圧力変換手段が図8に示したような長手方向端面に不活性層72を持つ積層圧電型駆動体の場合、その活性層71端から隔壁20までの距離が重要となる。この場合、不活性層距離を勘案し、活性層端と隔壁20との距離を300μm以上とすれば、図7における間隔300μmに相当する効果を得ることができる。
【0024】
(具体例1)
本発明の第1の具体例として、図4に示す振動板形状に対し適用した場合について説明する。
Siを壁面構成部材として高さ80μm、長手方向の長さ3000μm、短手方向の幅130μmの加圧液室に、厚さ3μmのNi振動板を配置し、これにチタン酸ジルコン酸鉛による圧電素子を取り付ける。振動板は、島状凸部が幅30μm、長手方向長さ1300μmとなっている。また、圧電素子は、銀・パラジュームによる電極を上下に挟んだ18層積層配置構造とする。各層は25μmの厚さとし、18層の上部に80μm、下部に220μmの不活性部を配置し、全体として圧電素子の高さは750μmとする。長手方向の幅は1900μm、短手方向の幅は50μmとするが、長手方向両端に200μmの不活性層を配置してあり、活性層の幅は1500μmとなる。全体の形状は図8に示すようになっているが、隔壁の幅は100μmとする。ここで、従来技術として圧電素子と隔壁の距離が0(圧電素子間の距離が100μm)のヘッドと、本発明の適用例として同距離が100μm(圧電素子間の距離が300μm)のヘッドを用意し、それぞれについて、圧電素子を、図8において右方向に0〜150μmずらした場合の、ノズルプレートの変位量を比較してみた。
図9は、この比較結果を示すグラフである。
図9のグラフから、本発明を適用すれば、圧電素子の取り付け位置がずれた場合でも、特性に変動が生じないことが判る。
【0025】
(具体例2)
本発明の第2の具体例として、図5に示す振動板形状を適用した場合について説明する。
Siを壁面構成部材として高さ80μm、長手方向の長さ3000μm、短手方向の幅130μmの加圧液室に、厚さ3μmのNi振動板を配置し、これにチタン酸ジルコン酸鉛による圧電素子を取り付ける。振動板は、凸部は幅30μmとなっており、長手方向は加圧液室長手方向全域に渡って配置されている。また、圧電素子は、銀・パラジュームによる電極を上下に挟んだ18層積層配置構造とする。各層は25μmの厚さとし、18層の上部に80μm、下部に220μmの不活性部を配置し、全体として圧電素子の高さは750μmとする。長手方向の幅は1900μm、短手方向の幅は50μmとするが、長手方向両端に200μmの不活性層を配置してあり、活性層の幅は1500μmとなる。全体の形状は図8に示すようになっているが、隔壁の幅は100μmとする。
ここで、従来技術として圧電素子と隔壁の距離が0(圧電素子間の距離が100μm)のヘッドと、本発明の適用例として同距離が100μm(圧電素子間の距離が300μm)のヘッドを用意し、それぞれについて、圧電素子を、図8において右方向に0〜150μmずらした場合の、ノズルプレートの変位量を比較してみた。
図10は、この比較結果を示すグラフである。
図10のグラフから、本発明を適用すれば、圧電素子の取り付け位置がずれた場合でも、特性に変動が生じないことが判る。
【0026】
次に、以上のようなインクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェットプリンタについて説明する。以下ではインクジェットプリンタについて説明するが、液滴吐出装置や画像形成装置についても同様に適用可能である。
図11は、本発明の実施例によるインクジェット記録装置を示す斜視図、図12は、同インクジェット記録装置の機構部の側面断面図である。
本実施例のインクジェット記録装置は、記録装置本体31の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ43、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェット記録ヘッドからなる記録ヘッド44、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ45等で構成される印字機構部32等を収納し、装置本体31の下方部には前方側から多数枚の用紙33を積載可能な給紙カセット(或いは給紙トレイでもよい)34を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙33を手差しで給紙するための手差しトレイ35を開倒することができ、給紙カセット34或いは手差しトレイ35から給送される用紙33を取り込み、印字機構部32によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ36に排紙する。
【0027】
印字機構部32は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド41と従ガイドロッド42とでキャリッジ43を主走査方向(図12で紙面垂直方向)に摺動自在に保持し、このキャリッジ43にはイエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(Bk)の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド44を複数のインク吐出口(ノズル)を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ43には記録ヘッド44に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ45を交換可能に装着している。
インクカートリッジ45は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッド44としてここでは各色の記録ヘッドを用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。
【0028】
ここで、キャリッジ43は後方側(用紙搬送方向下流側)を主ガイドロッド41に摺動自在に嵌装し、前方側(用紙搬送方向上流側)を従ガイドロッド42に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ43を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ47で回転駆動される駆動プーリ48と従動プーリ49との間にタイミングベルト50を張装し、このタイミングベルト50をキャリッジ43に固定しており、主走査モータ47の正逆回転によりキャリッジ43が往復駆動される。
一方、給紙カセット34にセットした用紙33を記録ヘッド44の下方側に搬送するために、給紙カセット34から用紙33を分離給装する給紙ローラ51及びフリクションパッド52と、用紙33を案内するガイド部材53と、給紙された用紙33を反転させて搬送する搬送ローラ54と、この搬送ローラ54の周面に押し付けられる搬送コロ55及び搬送ローラ54からの用紙33の送り出し角度を規定する先端コロ56とを設けている。搬送ローラ54は副走査モータ57によってギヤ列を介して回転駆動される。
【0029】
そして、キャリッジ43の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ54から送り出された用紙33を記録ヘッド44の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材59を設けている。この印写受け部材59の用紙搬送方向下流側には、用紙33を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ61、拍車62を設け、さらに用紙33を排紙トレイ36に送り出す排紙ローラ63及び拍車64と、排紙経路を形成するガイド部材65,66とを配設している。
記録時には、キャリッジ43を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド44を駆動することにより、停止している用紙33にインクを吐出して1行分を記録し、用紙33を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙33の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙33を排紙する。
【0030】
また、キャリッジ43の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド44の吐出不良を回復するための回復装置67を配置している。回復装置67はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ43は印字待機中にはこの回復装置67側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド44をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド44の吐出口(ノズル)を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された図示しない廃インク溜に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
このように、このインクジェット記録装置においては本発明を実施したインクジェットヘッドを搭載しているので、気泡溜まりによるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。
【0031】
【発明の効果】
請求項1に対する作用効果
隔壁と圧力変換手段を離して配置することによって、圧力変換手段が取り付け時の位置ずれによって隔壁に接近した場合でも、隔壁を変形させる力が伝わることを防止することができる。したがって、圧力変換手段の位置ずれによって加圧液室の変形の変化や発生圧力の変化を抑止することができ、噴射特性のばらつきを抑えることができる。
さらに、支持基板を圧電素子の間に挟んで加圧液室を支えることにより、加圧液室の変形をより有効に抑えることができる。
【0033】
請求項2に対する作用効果
圧電変換手段と振動板との接続部の長さをより長くすることができるので、効率よく加圧液室を加圧することができる。
【0034】
請求項3に対する作用効果
圧力発生手段として積層圧電型駆動体を用いることにより、高速・低電圧駆動が可能となる。
【0035】
請求項4に対する作用効果
隔壁と圧力発生手段の距離を100μm以上離すことにより、位置ずれが起きても特性変動をほぼ完全に抑えることができる。
【0036】
請求項5に対する作用効果
隔壁と圧電型駆動体の活性層との距離を300μm以上離すことにより、位置ずれが起きても特性変動をほぼ完全に抑えることができる。
【0037】
請求項6、7あるいは8に対する作用効果
請求項1〜5記載のいずれかの記録ヘッドを適用することにより、印字特性にばらつきが生じにくくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例のインクジェットヘッドを示す分解斜視図である。
【図2】 本発明の実施例によるインクジェットヘッドの加圧液室長手方向(ノズル列に対して直交方向)の断面図である。
【図3】 図2に示すインクジェットヘッドにおける部分を拡大して示す図で、図3(A)はベース基板と圧電素子、支持部材との関係を示す拡大斜視図、図3(B)はインクジェットヘッドのノズル列方向の拡大断面図である。
【図4】 図1〜図3に示す加圧液室を短手方向で切断した断面を振動板を上にして示す斜視図である。
【図5】 図4に示す振動板と異なる構成の振動板を用いた図4と同様の斜視図である。
【図6】 本発明の特徴部分を説明するための図で、インクジェットヘッドの加圧液室長手方向断面を模式的に示す断面図である。
【図7】 圧電素子間の距離と振動板の変位量の関係を示すグラフである。
【図8】 図6に示すインクジェットヘッドにおいて、圧力変換手段が長手方向端面に不活性層を持つ積層圧電型駆動体の場合の、図6と同様の断面図である。
【図9】 本発明の具体例1の比較結果を示すグラフである。
【図10】 本発明の具体例2の比較結果を示すグラフである。
【図11】 本発明の実施例によるインクジェット記録装置を示す斜視図である。
【図12】 図11のインクジェット記録装置の機構部の側面断面図である。
【図13】 圧電アクチュエータを用いたインクジェットヘッドを模式的に示す図で、図13(A)は加圧液室の長手方向断面図、図13(B)は短手方向断面図である。
【図14】 圧電素子が加圧液室に対し規定位置に取り付けられた様子を示す模式図である。
【図15】 圧電素子が加圧液室に対し隔壁寄りに取り付けられた様子を示す模式図である。
【図16】 圧電素子が加圧液室に対し隔壁に接して取り付けられた様子を示す模式図である。
【符号の説明】
1…加圧液室基板、2…ベース基板、3…ノズル、4…加圧液室、6…振動板、7…圧電素子、8…ノズルプレート、9…共通液室、10…連通部、11…支持部材、13…凹部、14…島状凸部、15…厚肉部、16…薄肉部、17…FPCケーブル、18…ドライバIC、19…フレーム、20…隔壁、31…記録装置本体、32…印字機構部、33…用紙、34…給紙カセット、36…排紙トレイ、43…キャリッジ、44…記録ヘッド、45…インクカートリッジ、51…給紙ローラ、52…フリクションパッド、54…搬送ローラ、55…搬送コロ、56…先端コロ、63…排紙ローラ、64…拍車。
Claims (8)
- 加圧液室と、該加圧液室の一部を構成する振動板と、一方の面が前記振動板に連接され前記加圧液室内部の圧力を変化させる圧力変換手段と、該圧力変換手段の他方の面が接合される支持基板とを備え、前記加圧液室は長手方向端部において長手方向隔壁を介して2つの加圧液室が対向配置され、かつ該2つの加圧液室に対応して接続されたそれぞれの圧力変換手段間には、前記長手方向隔壁と前記支持基板を接続する部材は存在せず、前記圧力変換手段は前記長手方向隔壁と離隔して設けられ、前記加圧液室の短手方向にて隣接する前記加圧液室を分離している短手方向隔壁に対応する位置に、前記支持基板と前記短手方向隔壁間に振動板を支持する支持部材を有する
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 請求項1記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記振動板は薄肉部と厚肉部を有し、前記圧力変換手段が当接する前記厚肉部によって前記薄肉部の領域が分離されており、前記厚肉部は前記振動板の長手方向全体に渡って形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
- 請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記圧力変換手段は電極層と圧電素子の層が交互に積層された積層圧電型駆動体であり、長手方向端部には電界が生じない不活性領域を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
- 請求項1乃至請求項3いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記長手方向隔壁と前記圧力変換手段との間の距離は100μm以上であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
- 請求項3記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記長手方向隔壁と前記積層圧電型駆動体の活性層間の距離は300μm以上であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
- 請求項1乃至請求項5いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェットプリンタ。
- 請求項1乃至請求項5いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載したことを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1乃至請求項5いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載したことを特徴とする画像形成装置。
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