KR101184333B1

KR101184333B1 - 가공장치

Info

Publication number: KR101184333B1
Application number: KR1020060010383A
Authority: KR
Inventors: 세이시 사토
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2005-02-04
Filing date: 2006-02-03
Publication date: 2012-09-19
Also published as: CN1820893B; KR20060089655A; US7258601B2; TWI371820B; IL173505A; TW200703539A; JP2006212748A; CN1820893A; US20060178098A1; JP4913346B2; IL173505A0

Abstract

본 발명은 회전구동되는 장착부재, 장착부재에 장착되는 공구지지부재, 및 장착부재에 고정되어 공구지지부재를 상기 장착부재에 고정시키는 고정부재를 구비하는 가공장치에 관한 것이다. 장착부재는 대략 원통형상인 장착외주면을 가지고, 공구지지부재에는 원통형상의 관통장착구멍이 형성되어 있어, 장착부재의 장착외주면에 공구지지부재의 장착구멍을 끼움으로써 장착부재에 공구지지부재가 장착된다. 장착부재의 장착외주면은 중심축선 방향으로 차례로 배열된 안내영역, 지지영역 및 탈출영역을 가지며, 지지영역은 외경이 D1인 원통형상이고, 안내영역의 외경 D2는 지지영역을 향하여 D1까지 증대되며, 탈출영역의 외경 D3은 지지영역으로부터 멀어짐에 따라 D1로부터 점차 감소한다. 공구지지부재의 장착구멍은 내경이 D4이며, D4는 D1보다 크다(D4>D1). 장착외주면의 지지영역의 중심축선방향 길이는 W1이며, W1은

이하이다(W1≤

).

절삭가공

Description

가공장치{Machining Apparatus}

도 1은 본 발명에 따라 구성된 가공장치의 바람직한 실시예에서의 절삭 블레이드의 장착에 관련된 구성요소를 나타내는 분해사시도이다.

도 2는 도 1에 나타내는 구성요소의 조립단면도이다.

도 3은 도 1에 나타내는 구성요소의 일부를 확대하여 나타내는 확대단면도이다.

도 4는 도 1에 나타내는 구성요소중의 장착외주면과 장착구멍 사이에서 끌림이 발생하는 것을 방지하는 원리를 설명하기 위한 모식도이다.

도 5는 도 1에 나타내는 구성요소에 있어서, 장착부재에 공구지지부재를 장착할 때의 공구지지부재의 거동을 나타내는 단면도이다.

도 6은 도 5의 일부를 확대하여 나타내는 확대단면도이다.

도 7은 본 발명에 따라 구성된 가공장치의 변형 실시예에서의 절삭 블레이드의 장착에 관련한 구성요소를 나타내는 분해사시도이다.

도 8은 도 7에 나타내는 구성요소의 조립단면도이다.

본 발명은 가공공구로서 얇은 고리모양의 절삭 블레이드를 구비한 절삭장치와 같은 가공장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 회전구동되는 장착부재, 이 장착부재에 장착되는 공구지지부재, 및 장착부재에 고정되고 공구지지부재를 장착부재에 고정시키는 고정부재를 구비한 가공장치에 관한 것이다.

회전구동되는 가공공구를 구비한 정밀가공장치의 전형적인 예로서, 반도체 웨이퍼의 절삭에 적용되는 다이서라고도 불리는 절삭장치를 들 수 있다. 이러한 절삭장치는 일본특허공개 2002-219648호 공보 및 일본특허공개 2003-165036호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 회전자유롭게 장착된 회전축, 및 이 회전축에 탈착가능하게 고정된 장착부재를 구비하고 있다. 장착부재에는 공구지지부재가 장착되며, 또한 공구지지부재를 장착부재에 고정시키기 위한 고정부재가 고정된다. 더욱 구체적으로 설명하면, 장착부재는 원통형상의 장착외주면을 가지고, 한편 공구지지부재에는 원통형상의 관통장착구멍이 형성되어 있으며, 관통장착구멍을 장착외주면에 끼움으로써 공구지지부재가 장착부재에 장착된다. 고정부재에는 암나사선이 형성되어 있는 관통구멍이 형성되어 있으며, 한편 장착부재에는 장착외주면의 앞쪽에 위치하는 숫나사선이 형성되어 있어, 숫나사선에 암나사선을 나사결합함으로써 고정부재가 장착부재에 고정된다. 장착부재에는 장착외주면의 뒷쪽에 위치하는 고리모양의 플랜지(flange)면도 형성되어 있어, 장착부재에 고정부재가 고정되면, 장착부재의 고리모양의 플랜지면과 고정부재의 뒷면 사이에 공구지지부재가 끼워져, 이에 의해 공구지지부재가 장착부재에 견고히 고정된다. 얇은 고리모양의 절삭 블레이드는 공구지지부재에 고정되거나, 혹은 공구지지부재와 장착부재의 사이에 끼워진다.

상술한 바와 같은 절삭장치에 있어서 정밀한 절삭을 위해서는 회전축에 대한 절삭 블레이드의 편심(偏心), 즉 장착부재에 대한 공구지지부재의 편심을 가급적 피하는 것이 중요하다. 이를 위해, 장착부재의 장착외주면의 외경(外徑)(D1)과 공구지지부재의 장착구멍의 내경(內徑)(D4)의 차이(D4-D1)를 5 내지 20㎛ 정도의 충분히 작은 값으로 설정하고 있다.

본 발명자 등의 경험에 따르면, 상술한 바와 같은 종래의 절삭장치는 다음과 같은 문제를 가진다. 장착부재의 장착외주면에 공구지지부재의 장착구멍을 끼울 때, 장착외주면의 중심축선과 장착구멍의 중심축선을 완전히 합치시켜 장착부재에 대하여 공구지지부재를 중심축선방향으로 이동시키는 것은 실질적으로 불가능하며, 장착외주면의 중심축선에 대하여 장착구멍의 중심축선을 어느 정도 경사지게 한 상태에서 장착부재에 대하여 공구지지부재를 이동시켜 버린다. 그리고, 장착구멍의 끝가장자리를 장착외주면에 밀어붙여 이동시켜버려, 즉 소위 끌림(drag)을 발생시켜 버리는 경향이 있다. 끌림이 발생하면, 장착외주면에 대한 장착구멍의 원활한 끼움이 저해되며, 또한 장착외주면 및/또는 장착구멍의 끝가장자리를 손상시켜 버린다.

따라서, 본 발명의 주된 목적은 가공공구로서 얇은 고리모양의 절삭 블레이드를 구비한 절삭장치와 같은 가공장치를 개선하여, 장착부재의 장착외주면에 공구지지부재의 장착구멍을 끼울 때 끌림이 발생하는 것을 방지하도록 하는 것이다.

본 발명자는 세밀한 연구 결과, 장착부재의 장착외주면을 독특한 형상으로 함으로써, 상기 주된 목적을 달성할 수 있는 것을 발견하였다.

즉, 본 발명에 따르면, 상기 주된 목적을 달성하는 가공장치로서, 회전구동되는 장착부재, 상기 장착부재에 장착되는 공구지지부재, 및 상기 장착부재에 고정되어 상기 공구지지부재를 상기 장착부재에 고정시키는 고정부재를 구비하며, 상기 장착부재는 대략 원통형상인 장착외주면을 가지고, 상기 공구지지부재에는 원통형상의 관통장착구멍이 형성되어 있으며, 상기 장착부재의 상기 장착외주면에 상기 공구지지부재의 상기 장착구멍을 끼움으로써 상기 장착부재에 상기 공구지지부재가 장착되는 가공장치에 있어서,

상기 장착부재의 상기 장착외주면은 중심축선 방향으로 차례로 배열된 안내영역, 지지영역, 및 탈출영역을 가지고, 상기 지지영역은 외경이 D1인 원통형상이고, 상기 안내영역의 외경 D2는 상기 지지영역을 향하여 D1까지 증대되며, 상기 탈출영역의 외경 D3은 상기 지지영역으로부터 멀어짐에 따라 D1로부터 점차 감소하고, 상기 공구지지부재의 상기 장착구멍은 내경이 D4이며, D4는 D1보다 크고(D4>D1), 상기 장착외주면의 상기 지지영역의 중심축선방향 길이는 W1이며, W1은

이하인(W1≤

) 것을 특징으로 하는 가공장치가 제공된다.

D4-D1은 5 내지 20㎛인(5㎛≤D4-D1≤20㎛), 특히 5 내지 10㎛인(5㎛≤D4-D1≤10㎛)인 것이 바람직하다. 상기 장착구멍의 중심축선방향 길이는 W2이며, W2는 W1 이상인(W2≥W1) 것이 바람직하다. 상기 장착외주면의 상기 안내영역의 중심축선방향 단면형상은 원호이며, 상기 원호의 곡률반경은 D1/2 이하인 것이 바람직하다. 상기 장착부재는 회전가능하게 장착된 회전축에 탈착가능하게 고정되어 있는 것이 바람직하며, 상기 공구지지부재에는 얇은 고리모양의 절삭 블레이드가 고정되어 있거나, 혹은 상기 장착부재와 상기 공구지지부재 사이에는 얇은 고리모양의 절삭 블레이드가 끼워져 있다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따라 구성된 가공장치의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따라 구성된 가공장치의 바람직한 실시예인 절삭장치의 구성요소의 일부, 즉 얇은 고리모양 절삭 블레이드의 장착에 관련한 구성요소를 나타내고 있다. 절삭장치의 전체적인 구성은 상기 종래기술에 개시되어 있기 때문에, 이러한 개시를 본 명세서에 인용하고, 본 명세서에서는 설명을 생략한다.

도 1 및 도 2를 참조하여 설명하면, 도시한 절삭장치는 케이싱(2)을 구비하고 있고, 이 케이싱(2)에는 회전축(4)이 회전가능하게 장착되어 있다. 회전축(4)의 선단부는 케이싱(2)의 앞면을 넘어 앞쪽으로 연장되어 나가있다. 케이싱(2) 안에는 전동 모터이면 좋은 회전구동원(도시하지 않음)이 설치되어 있으며, 이 회전구동원이 힘을 받으면 회전축(4)이 고속회전한다. 회전축(4)의 선단부에는 장착부재(6)가 장착되어 있다. 상세히 설명하면, 회전축(4)의 선단부에는 선단을 향하여 외경이 점차 감소하는 원뿔대 형상의 테이퍼부(8)가 형성되며, 또한 이 테이퍼부(8)보다 선단측에 위치하는 비교적 작은 직경의 원통형상부의 외주면에는 숫나사선(10)이 형성되어 있다. 한편, 도 2에 명확하게 나타내는 바와 같이, 장착부재(6)의 중앙에는 앞쪽(도 2에서 왼쪽)을 향하여 내경이 점차 감소하는 원뿔대 형상의 테이퍼 구 멍(12)이 형성되어 있다. 회전축(4)의 테이퍼부(8)의 테이퍼 각도와 장착부재(6)의 테이퍼 구멍(12)의 테이퍼 각도는 실질적으로 동일하다. 회전축(4)의 테이퍼부(8)에 장착부재(6)의 테이퍼구멍(12)을 끼워, 회전축(4)에 장착부재(6)를 장착한다. 이어서, 회전축(4)의 숫나사선(10)에 고정수단인 너트부재(14)를 나사결합하여, 장착부재(6)를 뒷쪽(도 2에서 오른쪽)으로 강제하여, 회전축(4)의 테이퍼부(8)에 장착부재(6)의 테이퍼구멍(12)을 충분히 밀접시켜 회전축(4)에 장착부재(6)를 견고히 고정시킨다. 링 형상인 너트부재(14)에는 그 중앙부에 관통 암나사선 구멍(16)이 형성되며, 또한 둘레방향에 간격을 두고 4개의 작은 맹공(盲孔)(18)이 형성되어 있다. 너트부재(14)를 회전축(4)에 나사결합할 때에는, 조임구(도시하지 않음)를 작은 맹공(18)에 걸어맞출 수 있다. 원한다면, 회전축(4)에 별개로 형성한 장착부재(6)를 착탈가능하게 고정하는 것 대신에, 회전축(4)과 장착부재(6)를 일체로 형성할 수도 있다.

도 1 및 도 2를 참조하여 계속 설명하면, 장착부재(6)의 뒷부분(도 2에서 오른쪽 부분)에는 반경(半徑)방향으로 돌출하는 고리모양의 돌출부(20)가 형성되어 있고, 이 고리모양 돌출부(20)의 앞면(도 2에서 왼쪽면) 둘레부는 어느 정도 앞쪽으로 돌출되어 있으며, 그 앞면은 장착부재(6)의 중심축선에 대하여 실질적으로 수직인 고리모양의 맞닿음면(22)을 규정하고 있다. 장착부재(6)의 앞부분(도 2에서 왼쪽부분)에는 대략 원통형상인 장착외주면(24)이 형성되어 있다. 이 장착외주면(24)에 대해서는 뒤에서 상세히 설명한다. 장착부재(6)에서의 장착외주면(24)보다 앞쪽에 위치하는 원통형상의 외주면에는 숫나사선(26)이 형성되어 있다.

장착부재(6)에는 공구지지부재(28)가 장착되며, 또한 장착부재(6)에 공구지지부재(28)를 견고히 고정하기 위한 고정부재(30)가 장착된다. 도시한 실시예에서의 공구지지부재(28)는 전체적으로 링 형상이며, 그 중앙부에는 관통장착구멍(32)이 형성되어 있다. 도 1 및 도 2와 함께 도 3을 참조하여 설명하면, 장착구멍(32)의 주요부는 내경이 D4이고 중심축선방향 길이가 W2인 원통형상이다. 장착구멍(32)의 앞끝 및 뒷끝은 경사(bevel)져 있다. 공구지지부재(28)의 뒷면은 공구지지부재(28)의 중심축선에 대하여 실질적으로 수직이며, 이러한 뒷면의 바깥둘레부에는 얇은 고리모양의 절삭 블레이드(34)가 고정설치되어 있다. 절삭 블레이드(34)의 바깥둘레부는 공구지지부재(28)의 바깥둘레를 넘어 반경방향 바깥쪽으로 돌출되어 있다. 이와 같은 절삭 블레이드(34)는 당업자에게는 주지되어 있는 전주법(즉, 공구지지부재(28)의 필요면 위에 전기 도금되는 니켈과 같은 적절한 금속중에 다이아몬드 입자를 분산시키는 방법)에 의해 공구지지부재(28)의 필요 부위에 일체로 형성된 것인 것이 바람직하다. 고정부재(30)는 링형상의 너트부재로 구성되어 있으며, 그 중앙부에는 관통 암나사선 구멍(36)이 형성되고, 또한 둘레방향에 간격을 두고 4개의 작은 맹공(38)이 형성되어 있다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 공구지지부재(28)는 그 장착구멍(32)을 장착부재(6)의 장착외주면(24)에 끼움으로써 장착부재(6)에 장착된다. 이어서, 고정부재(30)의 암나사선 구멍(36)을 장착부재(6)의 숫나사선(26)에 나사결합시켜 고정부재(30)가 장착부재(6)에 장착되며, 장착부재(6)의 고리모양 맞닿음면(22)과 고정부재(30)의 사이에 공구지지부재(28)가 끼워져, 이렇게 하여 공구지지부재(28)가 장착 부재(6)에 견고히 고정된다. 고정부재(30)의 암나사선 구멍(36)을 장착부재(6)의 숫나사선(26)에 나사결합시킬 때에는, 조임구(도시하지 않음)를 작은 맹공(38)에 걸어맞출 수 있다.

도 1 및 도 2와 함께 도 3을 참조하여 계속 설명하면, 장착부재(6)에 형성되어 있는 장착외주면(24)은 차례로 배열된 안내영역(24a), 지지영역(24b), 및 탈출영역(24c)을 가지는 것이 중요하다. 지지영역(24b)은 원통형상으로, 외경(D1)과 중심축선방향 길이(W1)를 가진다. 안내영역(24a)의 외경(D2)은 지지영역(24b)을 향하여 D1까지 점차 증대된다. 도시한 실시예에서는 중심축선방향 단면도에 있어서, 안내영역(24a)의 외주면은 안내영역(24a)과 지지영역(24b)의 경계를 중심축선에 대하여 실질적으로 수직하게 연장되는 직선상에 중심을 가지는 원호이며, 그 곡률반경은 D1/2 이하인 것이 바람직하다. 탈출영역(24c)의 외경(D3)은 지지영역(24b)으로부터 멀어짐에 따라 점차 감소한다. 탈출영역(24c)의 외주면은 예를 들어, 원뿔대 형상이면 좋다.

장착부재(6)의 장착외주면(24)에서의 지지영역(24b)의 상기 외경(D1)은, 공구지지부재(28)의 장착구멍(32)의 내경(D4)보다 약간 작게 설정되어 있는 것이 중요하고, 바람직하게는 D4-D1은 5㎛ 내지 20㎛(5㎛≤D4-D1≤20㎛), 특히 5㎛ 내지 10㎛(5㎛≤D4-D1≤10㎛)이다. 그리고, 지지영역(24b)의 중심축선방향 길이(W1)는

이하인 (W1≤

) 것이 중요하다. 이 점에 대하여 도 4를 참조하여 설명하면, 도 4에서 2점쇄선으로 나타내는 원 X의 직경은 장착외주면(24)의 지지영역(24b)의 직경(D1)과 동일하며, 2점쇄선으로 나타내는 원 Y의 직경은 장 착구멍(32)의 내경(D4)과 실질적으로 동일하다. 2개의 직선 Z는 직경방향으로 마주본 2점에서의 원 X의 접선이다. 도 4에 있어서, 직선 Z가 원 Y와 교차하는 2점 사이에서의 직선 Z의 길이는

이다. 도 4로부터 직선 Z의 길이(즉, 장착외주면(24)의 지지영역(24b)의 중심축선방향 길이)(W1)가

이하이면, 직선 Z가 원 X의 중심을 경동(傾動) 중심으로 하여 임의의 방향으로 경동하여도(즉, 지지영역(24b)이 공구지지부재(28)에 대하여 상대적으로 임의의 방향으로 경동하여도) 직선 Z가 원 Y에 대하여 간섭하지 않는 것이 이해된다. 따라서, 장착외주면(24)에 대하여 장착구멍(32)이 상대적으로 임의의 방향으로 경동하여도, 장착구멍(32)의 내주면이 장착외주면(24)에 대하여 끌림을 발생시키지 않게 되는 것을 알 수 있다. 바꿔말하면, 장착외주면(24)의 지지영역(24b)의 중심축선방향 길이(W1)가

이하이면, 장착부재(6)의 장착외주면(24)에 공구지지부재(28)의 장착구멍(32)을 끼울 때, 공구지지부재(28)가 경동하여도 공구지지부재(28)의 장착구멍(32)의 끝가장자리가 장착외주면(24)의 지지영역(24b)에 끌리는 것이 확실하게 방지된다. 직선 Z의 길이(즉, 장착외주면(24)의 지지영역(24b)의 중심축선방향 길이(W1))가

를 넘으면, 직선 Z가 원 Y에 간섭(즉, 지지영역(24b)에 대하여 공구지지부재(28)가 경동하면 직선 Z가 원 Y에 간섭)한다. 따라서, 장착외주면(24)의 지지영역(24b)과 장착구멍(32)의 사이에 끌림이 발생할 우려가 있다.

공구지지부재(28)를 안정되게 지지하는 동시에 장착외주면(24)의 지지영역(24b)의 강도를 가급적 높이기 위해서는, 지지영역(24b)의 중심축선방향 길이(W1) 는 가급적 길 필요가 있다. 따라서, 지지영역(24b)의 중심축선방향 길이(W1)는

, 혹은 이보다 약간 작은 값으로 설정하는 것이 바람직하다. 또한, 장착구멍(32)의 중심축선방향 길이(W2)는 지지영역(24b)의 중심축선방향 길이(W1) 이상(W2≥W1)인 것이 바람직하다.

본 발명에 따라 구성된 가공장치에 있어서는, 장착부재(6)의 장착외주면(24)에 공구지지부재(28)의 장착구멍(32)을 끼울 때, 도 5의 (A) 및 도 6의 (A)에 나타내는 바와 같이, 장착외주면(24)의 중심축선에 대하여 장착구멍(32)의 중심축선이 어느 정도 경사져도, 장착외주면(24)의 지지영역(24b)의 중심축선방향 길이(W1)가

이하(W1≤

)로 설정되어 있는 경우에는 끌림이 발생하는 것이 확실하게 방지되며, 도 5의 (B)와 도 6의 (B) 그리고 도 5의 (C)와 도 6의 (C)에 나타내는 바와 같이, 공구지지부재(28)의 뒷면이 장착부재(6)의 고리모양 맞닿음면(22)에 맞닿음으로써 공구지지부재(28)의 경사가 적절하게 수정된다.

도 7 및 도 8은 장착부재, 공구지지부재, 및 절삭 블레이드의 변형 실시예를 나타내고 있다. 도 7 및 도 8에 나타내는 실시예에서 장착부재(106)에는 고리모양의 맞닿음면(122)과 장착외주면(124)의 사이에 위치하는 원통형상의 장착외주면(140)이 형성되어 있다. 얇은 고리모양의 절삭 블레이드(134)는 공구지지부재(128)와 별개로 형성되어 있으며, 장착부재(106)의 장착외주면(140)에 장착된다. 공구지지부재(128)에는 그 뒷면 바깥둘레부에 뒷쪽으로 돌출하는 고리모양의 돌조부(142)가 형성되어 있다. 장착부재(106)의 장착외주면(124)에 공구지지부재(128)가 필요 에 따라 장착되면, 공구지지부재(128)의 고리모양 돌출부(142)는 절삭 블레이드(134)의 앞면에 맞닿아, 절삭 블레이드(134)는 장착부재(106)의 고리모양 맞닿음면(122)과 공구지지부재(128)의 고리모양 돌출부(142)의 사이에 끼워지며, 이렇게 하여 원하는 위치에 견고히 고정된다. 절삭 블레이드(134)의 중심부에 형성되어 있는 관통구멍의 내경은 장착부재(106)의 원통형상인 장착외주면(140)의 외경보다도 5 내지 20㎛, 특히 5 내지 10㎛ 정도 크게 설정되어 있는 것이 바람직하다. 공구지지부재(128)의 고리모양 돌출부(142)의 내경은 장착부재(106)의 장착외주면(140)의 외경보다 어느 정도 크게 설정할 수 있다. 장착부재(106)의 장착외주면(124) 및 공구지지부재(128)의 장착구멍(132)은 도 1 내지 도 3에 나타내는 실시예에서의 장착외주면(24) 및 장착구멍(32)과 실질적으로 동일한 것이 바람직하다. 도 7 및 도 8에 도시하는 실시예 외의 구성은 도 1 내지 도 3에 나타내는 실시예와 실질적으로 동일하면 좋고, 이것들에 대해서는 설명의 중복을 피하기 위하여 설명을 생략한다.

본 발명에 따르면, 가공공구로서 얇은 고리모양의 절삭 블레이드를 구비한 절삭장치와 같은 가공장치를 개선하여, 장착부재의 장착외주면에 공구지지부재의 장착구멍을 끼울 때 끌림이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Claims

회전구동되는 장착부재, 상기 장착부재에 장착되는 공구지지부재, 및 상기 장착부재에 고정되어 상기 공구지지부재를 상기 장착부재에 고정시키는 고정부재를 구비하며, 상기 장착부재는 원통형상인 장착외주면을 가지고, 상기 공구지지부재에는 원통형상의 관통장착구멍이 형성되어 있어, 상기 장착부재의 상기 장착외주면에 상기 공구지지부재의 상기 장착구멍을 끼움으로써 상기 장착부재에 상기 공구지지부재가 장착되는 가공장치에 있어서,

상기 장착부재의 상기 장착외주면은 중심축선 방향으로 차례로 배열된 안내영역, 지지영역, 및 탈출영역을 가지고, 상기 지지영역은 외경이 D1인 원통형상이고, 상기 안내영역의 외경 D2는 상기 지지영역을 향하여 D1까지 증대되며, 상기 탈출영역의 외경 D3은 상기 지지영역으로부터 멀어짐에 따라 D1로부터 감소하고, 상기 공구지지부재의 상기 장착구멍은 내경이 D4이며, D4는 D1보다 크고(D4>D1), 상기 장착외주면의 상기 지지영역의 중심축선방향 길이는 W1이고, W1은
이하인(W1≤
) 것을 특징으로 하는 가공장치.
제 1 항에 있어서,

D4-D1은 5 내지 20㎛인(5㎛≤D4-D1≤20㎛) 가공장치.
제 1 항에 있어서,

상기 장착구멍의 중심축선방향 길이는 W2이며, W2는 W1 이상인(W2≥W1) 가공장치
제 1 항에 있어서,

상기 장착외주면의 상기 안내영역의 중심축선방향 단면형상은 원호인 가공장치.
제 4 항에 있어서,

상기 원호의 곡률반경은 D1/2 이하인 가공장치.
제 1 항에 있어서,

상기 장착부재는 회전가능하게 장착된 회전축에 탈착가능하게 고정되어 있는 가공장치.
제 1 항에 있어서,

상기 공구지지부재에는 고리모양의 절삭 블레이드가 고정되어 있는 가공장치.
제 1 항에 있어서,

상기 장착부재와 상기 공구지지부재 사이에는 고리모양의 절삭 블레이드가 끼워져 있는 가공장치.