KR101147571B1 - Ｆｅ 기재의 연자성 합금, 비정질 합금 박대, 및 자성 부품 - Google Patents

Ｆｅ 기재의 연자성 합금, 비정질 합금 박대, 및 자성 부품 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 각종 변압기, 각종 초크 코일, 노이즈 대책, 전원 부품, 레이저 전원, 가속기용 펄스 파워 자성 부품, 각종 모터, 각종 발전기, 자기 차폐, 안테나, 센서 등에 사용되는 Fe 기재의 연자성 합금 및 그것을 제조하기 위한 비정질 합금 박대, 상기 자성 합금을 사용한 자성 부품을 제공한다. 상기 자성 합금은, 원자%로, Cu량 x가 0.1≤x≤3, B량 y가 10≤y≤20, 나머지가 Fe 및 불순물로 이루어지고, 불순물로서 질량%로, Al: 0.01% 이하, S: 0.001～0.05%, Mn: 0.01～0.5%, N: 0.001～0.1%, O: 0.1% 이하를 함유하고, 조직 중 적어도 일부가 결정입자 직경 60nm 이하(0은 불포함)의 결정상을 포함한다.
연자성 합금, 비정질 합금 박대, 자속밀도, 보자력, 나노 결정입자상

Description

Ｆｅ 기재의 연자성 합금, 비정질 합금 박대, 및 자성 부품{IRON-BASED SOFT MAGNETIC ALLOY, THIN RIBBON OF AMORPHOUS ALLOY, AND MAGNETIC PART}
본 발명은, 각종 변압기, 각종 초크 코일, 노이즈 대책, 전원 부품, 레이저 전원, 가속기용 펄스 파워 자성 부품, 각종 모터, 각종 발전기, 자기 차폐, 안테나, 센서 등에 사용되는 Fe 기재(iron-based)의 연자성(軟磁性) 합금 및 상기 자성 합금을 제조하기 위한 비정질 합금 박대와, 상기 자성 합금을 사용한 자성 부품에 관한 것이다.
각종 변압기, 각종 초크 코일, 노이즈 대책, 전원 부품, 레이저 전원, 가속기용 펄스 파워 자성 부품, 각종 모터, 각종 발전기, 자기 차폐, 안테나, 센서 등에 사용되는 연자성 재료로서는 규소강, 퍼멀로이(permalloy), 페라이트, 비정질 합금이나 Fe 기재의 나노 결정 합금 재료 등이 알려져 있다.
규소 강판은, 재료가 염가이고 자속밀도가 높지만, 고주파의 용도로는 자심 손실이 크다는 문제가 있다. 제조 방법상, 비정질의 박대 수준으로 얇게 가공하는 것은 매우 어렵고, 와전류 손실이 크기 때문에, 고주파 영역에서 사용하는 경우 이에 따른 손실이 커서 불리하다. 상용 주파수에 있어서도 히스테리시스 손실이나 와전류 손실이 비정질 합금 등과 비교하여 크고, 상용 주파수를 포함하는 저주파 영역에서도 철 손실이 크다는 문제가 있다. 또한, 페라이트 재료는 전기 저항률이 높고 고주파 특성이 우수하지만, 포화 자속밀도가 낮고 온도 특성이 부량하다고 하는 문제가 있어서, 동작 자속밀도가 큰 하이파워의 용도에는 페라이트가 자기적으로 포화되기 쉬워서 적합하지 않다.
또한, Co 기재의 비정질 합금은, 포화 자속밀도가 실용적인 재료에서는 1T 이하로 낮고, 열적으로 불안정한 문제가 있다. 그러므로, 하이파워의 용도에 사용한 경우, 부품이 커지게 되는 문제나 경시 변화 때문에 자심 손실이 증가하는 문제가 있다.
또한, 특허 문헌 1에 기재되어 있는 것과 같은 Fe 기재의 비정질 연자성 합금은, 저보자력을 가지며, 규소강 등과 비교하면 우수한 연자기 특성을 나타내지만, 자석 불균일이 크기 때문에 Co 기재의 비정질 합금 수준의 고투자율은 얻을 수 없고, 응력에 의해 특성이 열화되는 문제와, 가청 주파수대의 전류가 중첩되는 용도에서는 소음이 크다는 문제가 있다.
또한, 특허 문헌 2에 기재되어 있는 바와 같은, 나노 결정 연자성 합금 재료가 개발되어 있다. 나노 결정 연자성 재료는, 비교적 높은 포화 자속밀도와 우수한 연자기 특성을 얻을 수 있어, 초크 코일이나 고주파 변압기용 철심 재료로서 실용화가 진행되어 있다.
특허 문헌 1: 일본 특허출원 공개번호 평5-140703호 공보
특허 문헌 2: 일본 특허출원 공개번호 소64-79342호 공보
발명의 개시
발명이 해결하려고 하는 과제
상기의 나노 결정 연자성 재료는, 비정질 합금 박대를 출발재료로 하고 이것을 열처리하여 결정화함으로써 제조되지만, 나노 결정 연자성 재료용의 공업 원료를 사용하여 제조되는 비정질 합금 박대는, 비정질 자성 재료로서 사용되는 비정질 합금 박대보다 제조가 어렵다는 문제가 있다. 또한, 나노 결정 연자성 재료의 제조에 사용되는 광폭의 장척 비정질 합금 박대는, 공업 원료를 사용하여 제조한 경우 제조가 어렵고, 박대 제조의 수율이나 가공 수율이 나쁘기 때문에, 가격이 상승되는 문제가 있다. 또한, 이와 같은 광폭 비정질 합금 박대로부터 제조된 나노 결정 연자성 합금은, 자기 특성의 불균일이 크다는 문제도 있다.
본 발명의 목적은, Fe 기재의 나노 결정 연자성 재료에 있어서 양산에 적절한 광폭 합금 박대 제조나 합금 박대의 가공이 용이하며 연자기 특성이 우수한 Fe 기재의 연자성 합금, 및 그 Fe 기재의 연자성 합금을 만들기 위한 비정질 합금 박대, 및 그 Fe 기재의 연자성 합금을 사용한 자성 부품을 제공하는 것이다.
과제를 해결하기 위한 수단
본 발명자들은 열심히 검토한 결과, 원자%로, Cu량 x가 0.1≤x≤3, B량 y가 10≤y≤20, 나머지가 Fe 및 불순물로 이루어지고, 불순물로서, 질량%로, Al: 0.01% 이하, S: 0.001～0.05%, Mn: 0.01～0.5%, N: 0.001～0.1%, O: 0.1% 이하를 함유하고, 조직 중 적어도 일부가 결정입자 직경 60nm 이하(0은 불포함)의 결정상을 포함하는 Fe 기재의 연자성 합금이, 폭이 넓고 길이가 긴 비정질 합금 박대를 제조하기에 용이하며, 이 합금 박대로부터 제조한 나노 결정 합금이 우수한 연자기 특성을 나타내고, 자기 특성의 불규칙도 작고, 양산성이 우수하다는 것을 발견하고 본 발명에 이르렀다.
본 발명에 있어서, Cu량 x는 0.1≤x≤3인 것이 필요하다. Cu량 x가 0.1% 미만이면, 연자기 특성이 열화되어 바람직하지 않다. 또 Cu량 x가 3%를 넘으면 합금이 현저하게 취화(脆化)되어 연속적인 박대의 제조가 곤란해지므로 바람직하지 않다. 바람직한 Cu량 x는 1＜x≤2이며, 이 범위에서 특히 우수한 연자성을 얻을 수 있다. B량 y는 10≤y≤20인 것이 필요하다. 그 이유는, B량 y가 10원자% 미만이면 급랭하여 박대를 제조했을 때 비정질상 형성이 곤란하고, 열처리를 행해도 연자성을 얻지 못하고, B량 y가 20원자%를 넘으면 포화 자속밀도가 급격하게 저하될 뿐 아니라, 연자기 특성도 열화되기 때문이다. 공업 원료에는 불순물이 포함되지만, 이들 불순물은 제조성이나 자기 특성에 영향을 미치는 것이 있으므로, 그 함유량을 소정의 범위로 할 필요가 있다는 것을 알았다. 불순물을 조정하기 위하여, 원료의 선정 및 용탕의 정련을 행하고 불순물을 조정함으로써, 제조를 용이하게 하여, 자기 특성의 불균일을 작게 할 수 있다는 것을 알았다.
본 발명에 있어서, 불순물로서의 Al은 질량%로 0.01% 이하인 것이 필요하다. 0.01%를 넘으면 박대 표면에 큰 결정입자가 형성되기 쉬워져, 연자기 특성이 열화되기 때문이다. S는 박대 표면의 큰 결정입자 형성을 억제하는 효과가 있지만, 질량%로 0.001%～0.05%의 범위인 것이 필요하다. 0.001% 미만이면 표면의 결정의 입경의 조대화를 억제하는 효과가 없고, 0.05%를 넘으면 박대가 취약해지므로 바람직하지 않다. Mn은 열적 안정성을 향상시키는 효과가 있어서, Mn량은 중량%로 0.01%～0.5%의 범위인 것이 필요하다. Mn량이 0.01% 미만이면 효과가 없고, 0.5%를 넘으면 박대의 제조 시에 용탕과 내화물이 반응하기 쉬워져서 내화물의 수명이 짧아지므로 바람직하지 않다. n은 적정 열처리 조건을 넓히는 효과를 가지지만 N이 중량%로 0.001% 미만이면 효과가 없고, 0.1%를 넘으면 연자기 특성이 열화되므로 바람직하지 않다. O는, 개재물이나 표면 변질 등의 원인이 되어, 자기 특성에 영향을 주므로 그 함유량은 중량%로 0.1% 이하인 것이 필요하다. 후술하는 다른 조성의 본 발명에 있어서도, 이 불순물의 한정 이유는 동일하다.
또한, 본 발명의 제2 측면은, 원자%로, Cu량 x가 0.1≤x≤3, B량 y가 4≤y≤20, X량 z가 0＜z≤20, 10≤y＋z≤30, 나머지가 Fe 및 불순물로 이루어지고(단, X는 Si, C, Ge, Ga, Be, P로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소), 불순물로서 질량%로, Al: 0.01% 이하, S: 0.001～0.05%, Mn: 0.01～0.5%, N: 0.001～0.1%, O: 0.1% 이하를 함유하고, 조직 중 적어도 일부가 결정입자 직경 60nm 이하(0은 불포함)의 결정상을 포함하는 Fe 기재의 연자성 합금에 관한 것이다
본 발명의 제2 측면에 있어서, Cu량 x는 0.1≤x≤3인 것이 필요하다. Cu량 x가 0.1% 미만이면, 연자기 특성이 열화되어 바람직하지 않다. 또 Cu량 x가 3%를 넘으면 합금이 현저하게 취약해져서 연속적인 박대의 제조가 곤란해지므로 바람직하지 않다. 바람직한 Cu량 x는 1＜x≤2이며, 이 범위에서 특히 우수한 연자기 특성을 얻을 수 있다. B량 y는 4≤y≤20인 것이 필요하다. 또한, X는 Si, C, Ge, Ga, Be, P로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소이며, 박대 형성을 용이하게하거나, 자기 특성을 조정하는 효과가 있다. X량 z는 0＜z≤20인 것이 필요하다. 또한, B량과 X량의 총계는 10≤y＋z≤30인 것이 필요하다. 그 이유는, B량 y가 4원자% 미만, 또는 B량과 X량의 총계가 10원자% 미만이면, 급랭하여 박대를 제조했을 때, 비정질상 형성이 곤란하고, 열처리를 행해도 연자성을 얻지 못하고, B량 y가 20원자%를 초과하거나 또는 B량과 X량의 총계가 30원자%를 넘으면, 포화 자속밀도가 급격하게 저하될 뿐아니라, 연자기 특성도 열화되어 바람직하지 않기 때문이다.
이상과 같이, 상기 Fe 기재의 연자성 합금은 폭이 넓고 길이가 긴 비정질 합금 박대를 제조하기에 용이하며, 이 합금 박대로부터 제조한 나노 결정 합금이 우수한 연자기 특성을 나타내고, 자기 특성의 불규칙성도 작고, 양산성이 우수하다.
또한, 본 발명의 제3 측면은, 원자%로, Cu량 x가 0.1≤x≤3, B량 y가 4≤y≤20, X량 z가 0≤z≤20, M량을 a로 한 경우, 10≤y＋z＋a≤30으로 표시되고(단, X는 Si, C, Ge, Ga, Be, P로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소, M은 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소), 불순물로서 질량%로, Al: 0.01% 이하, S: 0.001～0.05%, Mn: 0.01～0.5%, N: 0.001～0.1%, O: 0.1% 이하를 함유하고, 조직 중 적어도 일부가 결정입자 직경 60nm 이하(0은 불포함)의 결정상을 포함하는 Fe 기재의 연자성 합금에 관한 것이다
본 발명에 있어서, Cu량 x는 0.1≤x≤3인 것이 필요하다. Cu량 x가 0.1% 미만이면, 연자기 특성이 열화되어 바람직하지 않다. 또 Cu량 x가 3%를 넘으면 합금이 현저하게 취약해져서 연속적인 박대의 제조가 곤란해지므로 바람직하지 않다. 바람직한 Cu량 x는 0.4≤x≤2이며, 이 범위에서 특히 낮은 보자력과 높은 투자율을 얻을 수 있다. B량 y는 4≤y≤20인 것이 필요하다. 또한, X는 Si, C, Ge, Ga, Be, P로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소이며, 박대 형성을 용이하게 하거나, 자기 특성을 조정하는 효과가 있다. X량 z는 0≤z≤20인 것이 필요하다. M은, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소이며, 결정입자를 미세화하여 연자기 특성을 보다 향상시키는 효과가 있으므로, B량, X량과 M량의 총계는 10≤y＋z＋a≤30인 것이 필요하다. 그 이유는, B량 y가 4원자% 미만, 또는 B량, X량과 M량의 총계 y＋z＋a가 10원자% 미만이면, 액체 급랭법에 의해 박대를 제조했을 때 비정질상 형성이 곤란하고, 열처리를 행해도 연자성을 얻을 수 없고, B량 y가 20원자%를 초과하거나 또는 B량, X량과 M량의 총계 y＋z＋a가 30원자%를 넘으면 포화 자속밀도가 급격하게 저하될 뿐아니라, 연자기 특성도 열화되어 바람직하지 않기 때문이다.
상기 Fe 기재의 연자성 합금은 폭이 넓고 길이가 긴 비정질 합금 박대를 제조하기에 용이하며, 이 합금 박대로부터 제조한 나노 결정 합금이 우수한 연자기 특성을 나타내고, 자기 특성의 불규칙성도 작고, 양산성이 우수하다.
상기 X가 Si인 경우, Si를 첨가함으로써, 결정 자기 이방성이 큰 강자성 화합물상이 석출되기 시작하는 온도가 높아지고, 적정한 열처리 온도 범위가 넓어져 바람직한 결과를 얻을 수 있다. 또한, Si를 첨가함으로써 자력 왜곡을 감소하거나 연자성을 개선하는 효과가 있으므로, 보다 바람직한 결과를 얻을 수 있다.
상기 Fe 기재의 연자성 합금이 P 및 C를 포함하고 그 함유량이 중량%로, P: 0.001～0.5%, C: 0.003～2%인 경우, 자기 특성의 경시 변화가 작아지므로, 보다 바람직한 결과를 얻을 수 있다.
상기 Fe 기재의 연자성 합금은, Fe량에 대하여, 그것의 50원자% 미만의 Co, Ni로부터 선택된 1종 이상의 원소를 포함할 수 있다. Co나 Ni을 포함함으로써, 보다 큰 유도 자기 이방성을 부여할 수 있어 자화곡선의 형상을 제어하기 쉬워지지만, Co, Ni의 함유량이 Fe량에 대하여 50원자% 이상인 경우, 연자기 특성의 현저한 열화가 일어나므로 바람직하지 않다.
상기 자성 합금은, Fe량에 대하여, 그것의 5원자% 이하의 Cr, Re, 백금족 원소, Au, Ag, Zn, In, Sn, As, Sb, Bi, Y 및 희토류 원소로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소를 포함할 수 있다. 이들 원소를 포함함으로써 내식성을 개선하거나, 열처리 온도 범위를 확대하거나, 내열성을 향상시키는 등의 효과가 있다.
본 발명의 연자성 미세결정 합금에 있어서, 균질한 미세 조직을 얻기 위해서는, 원재료를 용해한 후, 액체 급랭법에 따라 합금 박대를 제조한 시점에서 비정질상을 주상으로 하는 조직을 얻는 것이 중요하다. 본 발명에 있어서, 액체 급랭법에 따라 제조된 비정질 합금 박대 중에 나노 스케일의 미세한 결정입자가 분산된 상태로 존재할 수도 있지만, 합금 박대의 비정질 모상 중에 10nm 이하의 입경의 결정입자가 분산된 조직 또는 비정질 단상(單相)인 것이 바람직하다. 그 후, 결정화 온도 이상의 온도 범위에서 열처리를 행하고, 결정입자 직경 60nm 이하의 체심 입방 구조의 결정입자가 비정질 모상 중에 체적 분율로 30% 이상 분산된 조직으로 만든다. 나노 결정입자상이 체적 분율로 30% 이상을 차지함으로써 열처리 전보다 자석 불균일이 저감되고, 연자기 특성도 향상된다. 또한, 체적 분율로 50% 이상을 차지함으로써, 연자성을 더욱 개선시킬 수 있다.
결정입자의 체적비는, 선분법, 즉 현미경 조직 중에 임의의 직선을 상정하고 그 테스트 라인의 길이 Lt, 결정상이 차지하는 선의 길이 Lc를 측정하고, 결정입자가 차지하는 선의 길이의 비율 LL=Lc/Lt를 구함으로써 구해진다. 여기서, 결정입자의 체적비 VV=LL이다. 열처리 후의 합금 중에 존재하는 결정입자의 직경은, 60nm 이하인 것이 바람직하다. 이것은, 결정입자 직경이 60nm를 넘으면 연자기 특성의 현저한 열화가 일어나 바람직하지 않기 때문이다. 특히 바람직한 결정입자 직경은 5nm～30nm로서, 특히 우수한 연자성을 얻을 수 있다.
구체적인 제조 방법은, 상기 조성의 용탕을 단일 롤법 등의 급랭 기술에 의해 100℃/초 이상, 보다 바람직하게는 105℃/초 이상의 냉각 속도로 급랭하여, 일단 비정질상을 주상으로 하는 합금을 제조한 후, 이것을 가공하고, 열처리를 행하여 평균 입자계가 60nm 이하인 미세결정 조직을 형성함으로써 얻어진다. 열처리 전의 비정질상은 결정상을 포함할 수도 있지만, 결정입자가 존재하는 경우에는 입경이 10nm 이하인 나노 스케일의 결정입자가 분산된 구조로 되어 있는 것이 바람직하다. 단일 롤법 등의 급랭 기술에 의한 박대의 제조 및 열처리는 대기중, 또는 Ar, He, 질소, 일산화탄소, 이산화탄소의 분위기 중, 또는 감압 하에서 수행한다. 자계중 열처리에 의해, 유도 자기 이방성에 따라서 연자기 특성을 개선할 수 있다. 이 경우, 유도 자기 이방성을 부여하는 자계 중 열처리는, 열처리 중 일부의 기간 또는 전기간에 걸쳐 자계를 인가하면서 열처리를 수행한다. 인가하는 자계는, 직류, 교류, 반복의 펄스 자계 중 어느 것이라도 된다. 인가하는 자계는, 합금이 자기적으로 포화될 정도 이상의 강도로 하면, 바람직한 결과를 얻을 수 있다. 자계중 열처리에 의해, 높은 각형비의 각형성(角形性)이 양호한 B-H 루프나 낮은 각형비의 직선성(直線性)이 양호한 B-H 루프의 재료를 얻을 수 있다. 열처리는 대기 중, 진공 중, Ar, 질소 등의 불활성 가스 중에서 수행할 수 있지만, 특히 불활성 가스 중에서 행하는 것이 바람직하다. 열처리는, 조성에 따르지만 통상 350℃에서 650℃의 범위에서 수행된다. 일정 온도로 유지하는 시간은 양산성의 관점에서 통상은 24시간 이하이며, 바람직하게는 4시간 이하이다. 특히 바람직하게는 1분～1시간이다. 열처리의 평균 승온 속도는 0.1℃/분 내지 10000℃/분이 바람직하고, 보다 바람직하게는 100℃/분 이상으로서, 보자력의 증가를 억제할 수 있다. 열처리는 1단계가 아니고, 다단계, 복수회 수행할 수도 있다. 또한, 합금에 직접 전류를 흐르게 하여, 주울(Joule) 열에 의해 열처리를 행하는 것, 응력 하에서 열처리하여 유도 자기 이방성을 부여하고 B-H 루프 형상을 제어하는 것도 가능하다.
본 발명의 연자성 합금에 대한 열처리는, 미세 결정 조직을 형성하는 것을 목적으로 한다. 온도와 시간이라는 2개의 파라미터를 조정함으로써, 마이크로 구조나 자기 특성을 제어할 수 있다. 높은 온도의 열처리라도, 매우 단시간이면 결정입자 성장을 억제할 수 있어 보자력도 작게 할 수 있고, 저자계에서의 자속밀도가 향상되고, 히스테리시스 손실도 감소하는 효과가 얻어진다. 또한, 승온 속도의 제어나 다양한 온도로 일정 시간 유지하는 여러 단계의 열처리 등에 의해, 핵 생성을 제어하는 것도 가능하다. 또한, 결정화 온도보다 낮은 온도로 일정 시간 유지하고, 핵 생성에 충분한 시간을 부여한 후, 결정화 온도보다 높은 온도에서 1시간 미만 유지하는 열처리에 의해 결정입자 성장을 행하면, 결정입자들이 성장을 서로 억제하기 때문에, 균질하고 미세한 결정 조직을 얻을 수 있다.
본 발명의 연자성 미세결정 합금은, 필요에 따라 SiO2, MgO, Al2O3 등의 분말 또는 막으로 합금 박대 표면을 피복하거나, 화성 처리에 의해 표면 처리하고 절연층을 형성하거나, 애노드 산화 처리에 의해 표면에 산화물 절연층을 형성하여 층간 절연을 행하는 등의 처리를 행하면, 보다 바람직한 결과를 얻을 수 있다. 이것은 특히 층간을 지나는 고주파에서의 와전류의 영향을 저감하고, 고주파에서의 자심 손실을 개선하는 효과가 있기 때문이다. 이 효과는 표면 상태가 양호할 뿐 아니라 광폭의 박대로 구성된 자심에 사용한 경우에 특히 현저하다. 또한, 본 발명의 연자성 합금으로부터 자심을 제조할 때, 필요에 따라 함침이나 코팅 등을 행하는 것도 가능하다. 본 발명의 연자성 합금은 고주파의 용도로서 특히 펄스형 전류가 흐르는 응용품에 가장 양호하게 성능을 발휘하지만, 센서나 저주파의 자성 부품의 용도에도 사용가능하다. 특히, 자기 포화가 문제가 되는 용도에서 우수한 특성을 발휘할 수 있어, 하이파워의 파워 일렉트로닉스의 용도에 특별히 적합하다.
사용 시에 자화되는 방향과 거의 수직인 방향으로 자계를 인가하면서 열처리를 수행한 본 발명의 연자성 합금은, 종래의 고포화 자속밀도의 재료보다 낮은 자심 손실을 얻을 수 있다. 또한, 본 발명의 연자성 합금은 박막이나 분말에서도 우수한 특성을 얻을 수 있다.
본 발명의 연자성 합금 중 적어도 일부 또는 전부에는 평균 입경 60nm 이하의 결정입자가 형성되어 있다. 상기 결정입자는 조직의 30% 이상의 비율인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 50% 이상, 특히 바람직하게는 60% 이상이다. 특히 바람직한 평균 결정입자 직경은 30nm 이하며, 이 범위에 있어서 특히 낮은 보자력 및 자심 손실을 얻을 수 있다.
전술한 본 발명의 연자성 합금 중에 형성하는 미tp결정 입자는 주로 Fe를 주체로 하는 체심 입방 구조(bcc)의 결정상이며, Co, Ni, Si, B, Ge나 Zr 등이 고용되어 있을 수도 있다. 또한, 규칙 격자를 포함할 수도 있다. 상기 결정상 이외의 나머지는 주로 비정질상이지만, 실질적으로 결정상만으로 이루어지는 합금도 본 발명에 포함된다. Cu나 Au를 포함하는 면심 입방 구조의 상(fcc상)이 존재할 수도 있다.
비정질상이 결정입자의 주위에 존재하는 비정질 모상 중에 나노 스케일 결정입자가 분산된 조직의 합금은, 저항률이 높고, 결정입자 성장이 억제되고, 고주파의 자기 특성이 개선되므로 보다 바람직한 결과를 얻을 수 있다.
본 발명의 연자성 합금은, 화합물상을 포함하지 않는 경우에 더욱 낮은 보자력, 낮은 자심 손실을 나타내지만 일부에 화합물상을 포함할 수도 있다.
또한, 상기 Fe 기재의 연자성 합금과 동일한 조성의 비정질 합금 박대도 본 발명에 해당한다. 또한, 상기 Fe 기재의 연자성 합금을 사용한 자성 부품도 본 발명의 범주이다. 상기 본 발명의 Fe 기재의 연자성 합금에 의해 자성 부품을 구성함으로써, 애노드 반응 장치 등의 대전류용의 각종 반응 장치, 액티브 필터용 초크 코일, 평활 초크 코일, 각종 변압기, 자기 차폐, 전자 차폐 재료 등의 노이즈 대책 부품, 레이저 전원, 가속기용 펄스 파워 자성 부품, 모터, 발전기 등에 바람직한 고성능 또는 소형의 자성 부품을 실현할 수 있다.
[발명의 효과]
본 발명에 의하면, 각종 변압기, 각종 초크 코일, 노이즈 대책, 전원 부품, 레이저 전원, 가속기용 펄스 파워 자성 부품, 각종 모터, 각종 발전기, 자기 차폐, 안테나, 센서 등에 사용되는 Fe 기재의 연자성 합금과 및 그것을 제조하기 위한 비정질 합금 박대, 상기 자성 합금을 사용한 자성 부품을 생산 레벨로 실현할 수 있으므로 그 효과는 현저하다.
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
이하 본 발명을 실시예에 따라서, 설명하지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.
(실시예 1)
Cu가 1.5원자%, B가 14원자%, Si가 4원자%, 나머지가 Fe 및 불순물에 의해 표현되는 합금 용탕을 단일 롤법에 의해 급랭하고, 폭 25mm, 두께 21㎛의 비정질 합금 박대를 얻었다. X선 회절과 투과 전자 현미경 관찰의 결과, 비정질 합금 박대 중에는, 체적 분율로 30% 미만의 입경 10nm 미만의 나노 스케일의 극미세한 결정입자가 형성되어 있는 것이 확인되었다. 이 결정입자는 주로 체심 입방 구조(bcc 구조)의 Fe를 주체로 하는 고용체상인 것으로 생각된다. 이 합금 박대의 불순물을 분석하여, 질량%로, Al 함유량은 0.001%, S 함유량은 0.0025%, Mn 함유량은 0.15%, N 함유량은 0.0047%, O 함유량은 0.008%인 것을 확인하였다. 다음에, 이 비정질 합금 박대를 길이 120mm로 절단하여, 승온 속도 200℃/분으로, 430℃까지 온도를 올려 1시간 유지 후, 가열로로부터 인출하고 공냉했다. 열처리 후의 시료에 대한 X선 회절 및 투과 전자 현미경에 의한 조직 관찰을 행하였다. 입경 약 25nm의 bcc 구조의 나노 결정입자상이 비정질 모상 중에 체적 분율로 50% 이상을 차지하고 있었다. 다음에, 이 시료의 자기 측정을 행하였다. 8000A/m의 자계에서 거의 포화되고 있고, 8000A/m에서의 자속밀도를 Bs로 하였다. 포화 자속밀도 Bs = 1.83T를 나타냈다 또한, 제조된 박대로부터 25개의 시료를 채취하고 열처리하여 보자력의 불균일을 조사한 결과, 보자력 Hc는 6.1～6.7A/m를 나타냈다 또한, 상기 비정질 합금 박대를 사용하여 외경 100mm, 내경 90mm의 권(卷)자심을 제조하였으나, 파단은 일어나지 않았다. 비교를 위하여, 본 발명의 범위 밖의 불순물 함유량의 합금을 제조하여 비교했다. 중량%로 Al 함유량은 0.02%, S는 0.1%, O는 0.2%, Mn은 0.8%, N은 0.15%였다. 포화 자속밀도 Bs = 1.81T를 나타냈다 또한, 제조된 박대로부터 25개 시료를 채취하고 열처리하여, 길이 방향의 보자력의 불균일을 조사한 결과, 보자력 Hc는 6.9～9.7A/m을 나타냈다. 또한, 상기 비정질 합금 박대를 사용하여 외경 100mm, 내경 90mm의 권자심을 제조한 결과, 권자심 제조 중에 박대의 파단이 일어났다. 이상과 같이, 본 발명 Fe 기재의 연자성 합금?비정질 합금 박대는, 본 발명 범위 외의 Fe 기재의 연자성 합금?비정질 합금 박대보다 양산에 적합하고 광폭 합금 박대 제조나 합금 박대의 가공이 용이하며 연자기 특성이 우수하다는 것이 확인되었다.
(실시예 2)
표 1에 나타내는 다양한 조성의 합금 용탕을 단일 롤법에 의해 급랭하고, 폭 30mm, 두께 약 20㎛의 약 5kg의 비정질 합금 박대를 얻었다. 이 합금 박대의 결정의 유무 및 결정입자 직경을 X선 회절에 의해 조사한 결과, 비정질 단상 또는, 입경 10nm 미만의 결정입자가 비정질상 중에 분산된 조직이었다. 이들 합금 박대로부터 25개의 시료를 채취하고, 370℃～460℃의 범위에서 열처리하고, 열처리 후의 보자력을 B-H 트레이서로 평가했다. 또한, 제조한 비정질 합금 박대를 외경 50mm, 내경 45mm로 감아, 권자심을 제조할 때의 박대의 파단에 대하여 조사하였다. 이들 열처리 후의 자성 합금은, 모두 조직 중 적어도 일부가 결정입자 직경 60nm 이하(0은 불포함)의 결정입자를 포함하는 것이었다. 또한, 나노 결정입자상이 비정질 모상 중에 체적 분율로 50% 이상을 차지하였다.
표 1에 불순물 성분과 권자심 제조 시의 박대 파단의 유무, 25개의 시료의 열처리 후의 보자력의 범위를 나타낸다. 본 발명의 비정질 합금 박대는, 불순물량이 본 발명 범위를 벗어나는 합금 박대보다 가공 시에 파단되기 어렵고, 열처리 후의 보자력은, 본 발명 Fe 기재의 합금인 경우가 불균일이 작고, 양산성이 뛰어나며, 우수한 연자성을 나타낸다.
[표 1]
Figure 112009052346070-pct00001
(실시예 3)
표 2에 나타내는 다양한 조성의 합금 용탕을 단일 롤법에 의해 급랭하고, 폭 30mm, 두께 18㎛의 약 30kg의 비정질 합금 박대를 얻었다. 이 합금 박대의 결정의 유무 및 결정입자 직경을 X선 회절에 의해 조사한 결과, 비정질 단상인 것으로 확인되었다. 이들 합금 박대를 폭 5mm로 슬릿하고, 슬릿 시 박대의 분열 유무를 조사하였다. 또한, 슬릿된 박대 중 폭 방향의 중앙 부근에 상당하는 박대에 대하여, 선단부로부터 후단부에 걸쳐, 25개의 시료를 채취했다. 이 박대를 외경 19mm, 내경 15mm로 감아 권자심을 제조하였다. 이 권자심을 500℃～570℃의 범위에서 열처리하고, 열처리 후의 권자심의 보자력 및 100kHz, 0.2T에 있어서의 자심 손실 Pcv의 불균일을 평가했다. 이들 열처리 후의 자성 합금은, 모두 조직 중 적어도 일부가 결정입자 직경 60nm 이하(0은 불포함)의 결정입자를 포함하는 것이었다. 또한, 나노 결정입자상이 비정질 모상 중에 체적 분율로 50% 이상을 차지하였다. 표 2에 불순물 성분과 박대를 슬릿했을 때의 박대 분열의 유무, 25개의 시료의 열처리 후의 보자력의 범위를 나타낸다. 본 발명의 비정질 합금 박대는, 불순물량이 본 발명의 범위를 벗어나는 합금 박대보다 가공 시에 파단되기 어렵고, 열처리 후의 보자력은, 본 발명의 Fe 기재의 합금인 경우가 불균일을 작게 할 수 있을 뿐 아니라, 낮은 값을 나타내고, 양산성 및 연자성이 우수하다. 자심 손실에 대해도 본 발명의 Fe 기재의 합금인 경우가 보자력과 마찬가지로, 불균일이 작고, 낮은 값을 나타냈다.
[표 2]
Figure 112009052346070-pct00002

Claims (13)

  1. 원자%로, Cu량 x가 0.1≤x≤3, B량 y가 10≤y≤20, 나머지가 Fe 및 불순물로 이루어지고, 불순물로서 질량%로,
    Al: 0.01% 이하,
    S: 0.001%이상 ～0.05% 이하,
    Mn: 0.01%이상～0.5% 이하,
    N: 0.001%이상～0.1% 이하,
    O: 0.1% 이하
    를 함유하고, 조직 중 적어도 일부가 결정입자 직경 60nm 이하(0은 불포함)의 결정상을 포함하는 Fe 기재(iron-based)의 연자성 합금.
  2. 원자%로, Cu량 x가 0.1≤x≤3, B량 y가 4≤y≤20, X량 z가 0＜z≤20, 10≤y＋z≤30, 나머지가 Fe 및 불순물로 이루어지고(단, X는 Si, C, Ge, Ga, Be, P로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소), 불순물로서 질량%로,
    Al: 0.01% 이하,
    S: 0.001%이상～0.05% 이하,
    Mn: 0.01%이상～0.5% 이하,
    N: 0.001%이상～0.1% 이하,
    O: 0.1% 이하
    를 함유하고, 조직 중 적어도 일부가 결정입자 직경 60nm 이하(0은 불포함)의 결정상을 포함하는 Fe 기재의 연자성 합금.
  3. 원자%로, Cu량 x가 0.1≤x≤3, B량 y가 4≤y≤20, X량 z가 0≤z≤20, M량을 a로 한 경우, 10≤y＋z＋a≤30으로 하고(단, X는 Si, C, Ge, Ga, Be, P로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소, M은 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소), 불순물로서 질량%로,
    Al: 0.01% 이하,
    S: 0.001%이상～0.05% 이하,
    Mn: 0.01%이상～0.5% 이하,
    N: 0.001%이상～0.1% 이하,
    O: 0.1% 이하
    를 함유하고, 조직 중 적어도 일부가 결정입자 직경 60nm 이하(0은 불포함)의 결정상을 포함하는 Fe 기재의 연자성 합금.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 X가 Si인 Fe 기재의 연자성 합금.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 Fe 기재의 연자성 합금은, Fe량에 대하여, 그것의 50원자% 미만의 Co, 및 Ni으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소를 포함하는 Fe 기재의 연자성 합금.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 Fe 기재의 자성 합금은, Fe량에 대하여, 그것의 5원자% 이하의 Cr, Re, 백금족 원소, Au, Ag, Zn, In, Sn, As, Sb, Bi, Y 및 희토류 원소로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소를 포함하는 Fe 기재의 연자성 합금.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 Fe 기재의 연자성 합금을 사용한 자성 부품.
  8. 원자%로, Cu량 x가 0.1≤x≤3, B량 y가 10≤y≤20, 나머지가 Fe 및 불순물로 이루어지고, 불순물로서 질량%로,
    Al: 0.01% 이하,
    S: 0.001%이상～0.05% 이하,
    Mn: 0.01%이상～0.5% 이하,
    N: 0.001%이상～0.1% 이하,
    O: 0.1% 이하
    를 함유하는 비정질 합금 박대.
  9. 원자%로, Cu량 x가 0.1≤x≤3, B량 y가 4≤y≤20, X량 z가 0＜z≤20, 10≤y＋z≤30, 나머지가 Fe 및 불순물로 이루어지고(단, X는 Si, C, Ge, Ga, Be, P로부터 선택된 1종 이상의 원소), 불순물로서 질량%로,
    Al: 0.01% 이하,
    S: 0.001%이상～0.05% 이하,
    Mn: 0.01%이상～0.5% 이하,
    N: 0.001%이상～0.1% 이하,
    O: 0.1% 이하
    를 함유하는 비정질 합금 박대.
  10. 원자%로, Cu량 x가 0.1≤x≤3, B량 y가 4≤y≤20, X량 z가 0≤z≤20, M량을 a으로 한 경우, 10≤y＋z＋a≤30으로 하고(단, X는 Si, C, Ge, Ga, Be, P로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소, M은 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소), 불순물로서 질량%로,
    Al: 0.01% 이하,
    S: 0.001%이상～0.05% 이하,
    Mn: 0.01%이상～0.5% 이하,
    N: 0.001%이상～0.1% 이하,
    O: 0.1% 이하
    를 함유하는 비정질 합금 박대.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 X가 Si인 비정질 합금 박대.
  12. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 Fe 기재의 연자성 합금은, Fe량에 대하여, 그것의 50원자% 미만의 Co, 및 Ni으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소를 포함하는 비정질 합금 박대.
  13. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 Fe 기재의 연자성 합금은, Fe량에 대하여, 그것의 5원자% 이하의 Cr, Re, 백금족 원소, Au, Ag, Zn, In, Sn, As, Sb, Bi, Y 및 희토류 원소로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 비정질 합금 박대.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102264938B (zh) * 2009-01-23 2013-05-15 阿尔卑斯绿色器件株式会社 Fe基软磁性合金和使用了所述Fe基软磁性合金的压粉磁芯
JP5419302B2 (ja) 2009-08-07 2014-02-19 アルプス・グリーンデバイス株式会社 Ｆｅ基非晶質合金、及び前記Ｆｅ基非晶質合金を用いた圧粉コア、ならびにコイル封入圧粉コア
BR122021004633A8 (pt) * 2009-08-24 2022-08-16 Murata Manufacturing Co Composição de liga a base de ferro, método para formar liga nanocristalina baseada em ferro, liga nanocristalina baseada em ferro e componente magnético
JP6181346B2 (ja) * 2010-03-23 2017-08-16 株式会社トーキン 合金組成物、Ｆｅ基ナノ結晶合金及びその製造方法、並びに磁性部品
JP5916983B2 (ja) * 2010-03-23 2016-05-11 Ｎｅｃトーキン株式会社 合金組成物、Ｆｅ基ナノ結晶合金及びその製造方法、並びに磁性部品
FR2976765B1 (fr) * 2011-06-20 2015-05-01 Renault Sa Dispositif pour proteger un espace a proximite d'une source magnetique et procede de fabrication d'un tel dispositif
EP2733230B1 (en) * 2011-10-03 2017-12-20 Hitachi Metals, Ltd. Thin strip of alloy containing initial ultrafine crystals and method for cutting same, and thin strip of nanocrystalline soft-magnetic alloy and magnetic part employing same
CN102412045B (zh) * 2011-12-14 2014-03-05 南京航空航天大学 铁基纳米晶软磁合金
CN102723158B (zh) * 2012-07-06 2015-12-02 白皞 含稀土的高磁导率Ni-Fe软磁合金及其制备方法和用途
JP6057204B2 (ja) 2012-09-11 2017-01-11 川崎重工業株式会社 超電導界磁極
JP6191908B2 (ja) * 2013-06-12 2017-09-06 日立金属株式会社 ナノ結晶軟磁性合金及びこれを用いた磁性部品
WO2016104000A1 (ja) * 2014-12-22 2016-06-30 日立金属株式会社 Ｆｅ基軟磁性合金薄帯およびそれを用いた磁心
JP6457838B2 (ja) 2015-02-27 2019-01-23 太陽誘電株式会社 磁性体及びそれを含む電子部品
JP6651082B2 (ja) * 2015-07-31 2020-02-19 Ｊｆｅスチール株式会社 軟磁性圧粉磁芯の製造方法
JP6593146B2 (ja) 2015-12-16 2019-10-23 セイコーエプソン株式会社 軟磁性粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器
WO2017119787A1 (ko) * 2016-01-06 2017-07-13 주식회사 아모그린텍 Fe계 연자성 합금, 이의 제조방법 및 이를 통한 자성부품
CN106119739B (zh) * 2016-06-24 2018-06-05 郑州大学 铁基非晶纳米晶软磁合金及其制备方法
JP6862711B2 (ja) * 2016-08-04 2021-04-21 トヨタ自動車株式会社 軟磁性材料の製造方法
JP6750437B2 (ja) * 2016-09-29 2020-09-02 セイコーエプソン株式会社 軟磁性アトマイズ粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器
JP6862743B2 (ja) * 2016-09-29 2021-04-21 セイコーエプソン株式会社 軟磁性粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器
JP6904034B2 (ja) * 2017-04-17 2021-07-14 セイコーエプソン株式会社 軟磁性粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器
EP3447158B1 (de) * 2017-08-25 2020-09-30 Universität des Saarlandes Schwefelhaltige metallische gläser bildende legierung
JP6501005B1 (ja) * 2018-01-30 2019-04-17 Tdk株式会社 軟磁性合金および磁性部品
US20200107479A1 (en) 2018-09-27 2020-04-02 Tdk Corporation Metal magnetic film and magnetic sheet
KR102241959B1 (ko) * 2018-10-25 2021-04-16 엘지전자 주식회사 Fe 기지 연자성 합금 및 그 제조 방법
JP7318219B2 (ja) * 2019-01-30 2023-08-01 セイコーエプソン株式会社 軟磁性粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器
US11975377B2 (en) 2019-03-01 2024-05-07 Proterial, Ltd. Amorphous metal thin strip, laminated core, and amorphous metal thin ribbon punching method
CN113365764B (zh) * 2019-03-26 2023-06-16 株式会社博迈立铖 非晶质合金薄带、非晶质合金粉末及纳米晶体合金压粉磁芯以及纳米晶体合金压粉磁芯的制造方法
DE102019110872A1 (de) * 2019-04-26 2020-11-12 Vacuumschmelze Gmbh & Co. Kg Blechpaket und Verfahren zum Herstellen einer hochpermeablen weichmagnetischen Legierung
CN110029291A (zh) * 2019-05-23 2019-07-19 西安工业大学 一种铁基非晶软磁合金及其制备方法
CN110218950B (zh) * 2019-06-11 2021-05-25 贵州鑫湄纳米科技有限公司 一种铁基纳米晶软磁合金及其制备方法
CN114144851A (zh) * 2019-07-12 2022-03-04 阿莫绿色技术有限公司 铁基软磁合金、其制造方法以及包括其的磁性部件
JP6938743B1 (ja) * 2020-09-30 2021-09-22 Tdk株式会社 軟磁性合金および磁性部品
JP7230968B2 (ja) * 2020-09-30 2023-03-01 Tdk株式会社 軟磁性合金および磁性部品
JP7230967B2 (ja) * 2020-09-30 2023-03-01 Tdk株式会社 軟磁性合金および磁性部品

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07201620A (ja) * 1993-12-29 1995-08-04 Sumitomo Special Metals Co Ltd Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系ボンド磁石とその製造方法
JP2004353090A (ja) 1999-04-15 2004-12-16 Hitachi Metals Ltd 合金薄帯並びにそれを用いた部材

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6296948B1 (en) * 1981-02-17 2001-10-02 Ati Properties, Inc. Amorphous metal alloy strip and method of making such strip
JPH0222445A (ja) * 1988-07-08 1990-01-25 Nippon Steel Corp 超微細結晶組織を有する合金およびその製造方法
JP3357386B2 (ja) * 1991-03-20 2002-12-16 ティーディーケイ株式会社 軟磁性合金およびその製造方法ならびに磁心
JPH07201610A (ja) * 1993-11-25 1995-08-04 Mitsui Petrochem Ind Ltd インダクタンス素子およびこれを用いた集合素子
EP1045402B1 (en) * 1999-04-15 2011-08-31 Hitachi Metals, Ltd. Soft magnetic alloy strip, manufacturing method and use thereof
JP4798642B2 (ja) * 1999-07-29 2011-10-19 日立金属株式会社 高靱性Ｆｅ基アモルファス合金および高靱性Ｆｅ基アモルファス合金から製造されたＦｅ基ナノ結晶合金を用いた部品
JP2006040906A (ja) * 2001-03-21 2006-02-09 Teruhiro Makino 高透磁率かつ高飽和磁束密度の軟磁性成形体の製造方法
US7744703B2 (en) * 2005-04-08 2010-06-29 Nippon Steel Corporation Fe-based amorphous alloy strip
JP5445889B2 (ja) * 2005-09-16 2014-03-19 日立金属株式会社 軟磁性合金、その製造方法、ならびに磁性部品
JP5182601B2 (ja) * 2006-01-04 2013-04-17 日立金属株式会社 非晶質合金薄帯、ナノ結晶軟磁性合金ならびにナノ結晶軟磁性合金からなる磁心
JP5316920B2 (ja) * 2007-03-16 2013-10-16 日立金属株式会社 軟磁性合金、アモルファス相を主相とする合金薄帯、および磁性部品
JP5607495B2 (ja) * 2010-10-27 2014-10-15 シロキ工業株式会社 リクライニング装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07201620A (ja) * 1993-12-29 1995-08-04 Sumitomo Special Metals Co Ltd Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系ボンド磁石とその製造方法
JP2004353090A (ja) 1999-04-15 2004-12-16 Hitachi Metals Ltd 合金薄帯並びにそれを用いた部材

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