KR101016389B1 - 프로브 구조물 - Google Patents

Abstract

프로브 구조물은 프로브들, 고정부재 및 도전체들을 포함한다. 프로브들은 서로 이격되어 배치되며, 평판표시소자와 접촉한다. 고정 부재는 상기 프로브들이 이격된 상태를 유지하도록 고정한다. 도전체들은 상기 프로브들을 가로지르도록 구비되며, 서로 다른 프로브들과 선택적으로 접촉하여 상기 접촉된 프로브들을 전기적으로 연결한다.

Description

프로브 구조물{Probe structure}

본 발명은 프로브 구조물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시소자의 검사를 위해 평판표시소자와 직접 접촉하는 프로브 구조물에 관한 것이다.

평판표시소자에 대한 검사 공정은 상기 평판표시소자를 제조하는 동안 반복적으로 이루어진다. 상기 검사 공정은 상기 평판표시소자의 패드에 평판표시소자 검사 장치의 프로브 구조물을 접촉하여 전기신호를 인가함으로써 상기 평판표시소자의 정상 유무를 확인한다.

상기 평판표시소자에 구동 회로를 설치하기 전에 상기 평판표시소자의 각 셀의 상태를 검사하는 방법에는 비쥬얼테스트방식과, 그로스테스트방식이 있다.

상기 비쥬얼 테스트방식은 상기 평판표시소자의 배선들을 전기적으로 연결하는 쇼팅바를 형성하고 상기 프로브 구조물이 상기 배선들과 접촉하여 상기 평판표시소자를 검사한다. 따라서, 상기 평판표시소자를 검사하기 위한 신호가 상기 배선들로 안정적으로 인가될 수 있다. 그러나, 상기 쇼팅바의 신뢰성이 낮아서 상기 배선들이 전기적으로 연결되지 않을 수 있고, 상기 쇼팅바로 인해 배선들의 저항이 증가하여 각 배선들의 저항이 균일하지 않을 수 있다.

상기 그로스테스트방식은 상기 프로브 구조물이 상기 평판표시소자의 배선들과 일대일로 접촉하여 상기 평판표시소자에서 실제 사용하는 신호와 동일한 신호를 인가한다. 상기 그로스테스트 방식은 상기 평판표시소자에 원하는 패턴을 구현할 수 있다. 그러나, 상기 프로브 구조물이 상기 평판표시소자의 배선들과 각각 접촉하므로, 결함 발생시 상기 평판표시소자의 배선 결함인지 상기 프로브 구조물과 상기 배선들 사이의 접촉 불량인지 불명확하다. 따라서, 상기 평판표시소자에 대한 검사신뢰성이 낮은 단점이 있다.

본 발명은 평판표시소자에 대한 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 프로브 구조물을 제공한다.

본 발명에 따른 프로브 구조물은 서로 이격되어 배치되며, 평판표시소자와 접촉하는 다수의 프로브들과, 상기 프로브들이 이격된 상태를 유지하도록 고정하는 고정 부재 및 상기 프로브들을 가로지르도록 구비되며, 서로 다른 프로브들과 선택적으로 접촉하여 상기 접촉된 프로브들을 전기적으로 연결하는 다수의 도전체들을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 프로브들은 평판표시소자의 데이터부 및 게이트부 중 어느 하나와 접촉할 수 있다.

상기 프로브들이 상기 평판표시소자의 데이터부와 접촉하는 경우, 상기 프로브들 및 상기 도전체들은 각각 3의 배수개가 구비될 수 있다.

상기 프로브들이 상기 평판표시소자의 게이트부와 접촉하는 경우, 상기 도전체들은 2의 배수개가 구비될 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 다수의 도전체들은 상기 프로브들에 탈착할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 프로브들은 블레이드 형태, 니들 형태, 포고핀 형태, 멤브레인 형태 중 어느 하나를 가질 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 각 프로브들은 제1 폭과 제1 깊이를 갖는 하나의 제1 홈 및 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭과 상기 제1 깊이보다 깊은 제2 깊이를 갖는 다수의 제2 홈들로 이루어진 홈을 가지며, 각 도전체들은 상기 홈에 삽입되어 상기 제1 홈에 삽입된 부분이 상기 프로브들과 접촉할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 각 프로브들은 돌기를 가지며, 상기 도전체들은 상기 각 프로브의 돌기와 선택적으로 접촉할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 각 도전체들은 일정 간격으로 다수의 돌기들을 가지며, 상기 돌기들이 상기 프로브들과 선택적으로 접촉할 수 있다.

본 발명에 따른 프로브 구조물은 서로 이격되어 배치되며, 평판표시소자와 접촉하는 다수의 제1 프로브들과, 상기 제1 프로브들의 일측에 배치되고, 서로 이격되어 배치되며, 상기 평판표시소자와 접촉하는 다수의 제2 프로브들과, 상기 제1 프로브들 및 상기 제2 프로브들이 이격된 상태를 유지하도록 고정하는 고정 부재 및 상기 제1 프로브들을 가로지르도록 구비되며, 서로 다른 제1 프로브들과 선택적으로 접촉하여 상기 접촉된 제1 프로브들을 전기적으로 연결하는 다수의 도전체들을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 프로브들은 평판표시소자의 데이터부와 접촉하고, 상기 제2 프로브들은 상기 평판표시소자의 게이트부와 접촉할 수 있다.

상기 제1 프로브들 및 상기 도전체들은 각각 3의 배수개가 구비될 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 프로브 구조물은 상기 제2 프로브들과 각각 연결되며 상기 제2 프로브들 사이의 간격보다 넓은 간격을 갖는 신호선들을 포함하는 접속 시트를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 프로브 구조물은 서로 이격되어 배치되며, 평판표시소자의 데이터부와 접촉하는 다수의 제1 프로브들과, 상기 제1 프로브들의 일측에 배치되고, 서로 이격되어 배치되며, 상기 평판표시소자의 게이트부와 접촉하는 다수의 제2 프로브들 및 상기 제1 프로브들 및 상기 제2 프로브들이 이격된 상태를 유지하도록 고정하는 고정 부재를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 프로브 구조물은 상기 제1 프로브들을 가로지르도록 구비되며, 서로 다른 제1 프로브들과 선택적으로 접촉하여 상기 접촉된 제1 프로브들을 전기적으로 연결하는 다수의 제1 도전체들 및 상기 제2 프로브들을 가로지르도록 구비되며, 서로 다른 제2 프로브들과 선택적으로 접촉하여 상기 접촉된 제2 프로브들을 전기적으로 연결하는 다수의 제2 도전체들을 포함할 수 있다.

상기 제1 프로브들 및 제1 도전체들은 각각 3의 배수개가 구비되고, 상기 제2 도전체들은 2의 배수개가 구비될 수 있다.

본 발명에 따른 프로브 구조물은 각 프로브들이 도전체를 통해 전기적으로 연결되므로, 평판표시소자의 검사를 위한 입력 신호를 안정적으로 상기 평판표시소자로 제공할 수 있다. 따라서, 상기 평판표시소자에 대한 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 도전체를 상기 프로브들로부터 분리할 수 있으므로, 상기 평판표시소자의 구조에 따라 상기 프로브 구조물을 선택적으로 사용할 수 있다.

그리고, 프로브 블록으로부터 고정 부재를 분리하여 손상된 프로브만을 선택적으로 교체할 수 있다. 따라서, 상기 프로브 구조물의 리페어에 소요되는 비용을 줄일 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 프로브 구조물에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 구조물(100)을 설명하기 위한 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 프로브 구조물(100)의 저면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 프로브 구조물(100)은 프로브 블록(110), 고정 부재(120), 프로브들(130), 도전체들(140), 플레이트(150) 및 케이블(160)을 포함한다.

상기 프로브 블록(110)은 상기 고정 부재(120)를 고정한다.

상기 고정 부재(120)는 상기 프로브 블록(110)에 탈착 가능하도록 구비되며, 제1 고정 부재(122) 및 제2 고정 부재(124)를 포함한다.

상기 제1 고정 부재(122)는 상기 프로브 블록(110)의 하부면 전단에 고정된다. 상기 제1 고정 부재(122)는 상기 프로브들(130)의 전단부가 삽입되는 다수의 제1 슬릿들(미도시)을 갖는다. 상기 제1 슬릿들은 상기 제1 고정 부재(122)의 폭 방향을 따라 일정 간격 이격되어 길이 방향으로 형성된다.

상기 제2 고정 부재(124)는 상기 프로브 블록(110)의 하부면 후단에 고정된다. 상기 제2 고정 부재(124)는 상기 프로브들(130)의 후단부가 삽입되는 다수의 제2 슬릿들(미도시)을 갖는다. 상기 제2 슬릿들은 상기 제2 고정 부재(124)의 폭 방향을 따라 일정 간격 이격되어 길이 방향으로 형성된다.

상기 고정 부재(120)는 절연 재질, 예를 들면 세라믹 재질로 이루어진다. 상기 고정 부재(120)는 상기 프로브들(130)이 서로 절연되도록 고정한다.

상기 프로브들(130)은 도전성 박판 형태를 갖는다. 상기 프로브들(130)은 상기 고정 부재(120)의 슬릿들에 양단이 끼워져 고정된다. 상기 프로브들(130)의 전단부는 검사 대상물인 평판표시소자와 접촉한다. 상기 프로브들(130)의 후단부는 상기 평판표시소자를 검사하기 위한 신호가 입력된다.

상기에서는 상기 프로브들(130)이 도전성 박판 형태, 즉 블레이드 형태를 갖는 것으로 설명되었지만, 상기 프로브들(130)은 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 프로브들(130)은 니들 형태, 포고핀 형태, 절연 시트 상에 다수의 도전성 부재들이 형성된 멤브레인 형태 등을 가질 수 있다. 이때, 상기 고정 부재(120)는 상기 프로브들(130)이 서로 이격되도록 고정한다.

상기 프로브들(130)이 상기 평판표시소자와 용이하게 접촉하기 위해 상기 프로브들(130)의 전단부는 상기 제1 고정 부재(122)의 전단 방향으로 돌출되어 고정된다. 일 예로, 상기 각 프로브들(130)의 전단부는 상기 제1 고정 부재(122)로부터 동일한 길이만큼 돌출될 수 있다. 다른 예로, 상기 각 프로브들(130)의 전단부는 상기 제1 고정 부재(122)로부터 서로 다른 길이로 돌출될 수 있다.

상기 프로브들(130) 중 일부가 손상되는 경우, 상기 고정 부재(120)를 상기 프로브 블록(110)으로부터 분리하여 상기 손상된 프로브(130)만을 선택적으로 교체할 수 있다.

상기에서는 상기 고정부재(120)가 제1 고정부재(122) 및제2 고정부재(124)를 갖는 구성을 설명하였지만, 상기 고정부재(120)는 다양한 구성을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 고정부재(120)는 다수의 슬릿이 형성된한개고정부재에 상기 프로브들(130)이 고정될 수 있다. 이때, 별도의 가이드 봉이 상기 프로브들(130)의 중앙에 형성되는 홀에 삽입되어 상기 프로브들(130)을 고정할 수 있다. 다른 예를 들면, 상기 고정부재(120)는 상기 프로브들(130)의 중앙 부위들을 고정하고, 절연체가 상기 프로브들(130)을 서로 이격시킬 수 있다.

상기 프로브들(130)은 상기 평판표시소자의 데이터부와 접촉하거나 게이트부와 접촉한다. 이때, 상기 데이터부와 게이트부는 상기 평판표시소자의 서로 다른 측면에 각각 구비된다. 상기 데이터부와 상기 게이트부를 각각 구동하기 위한 데이터 회로와 게이트 회로는 별도의 기판 형태로 구비되어 상기 데이터부 및 게이트부와 각각 연결될 수 있다.

상기 데이터부에는 상기 평판표시소자의 각 셀을 적색, 녹색 및 청색으로 점등하기 위한 신호가 인가된다. 상기 게이트부에는 상기 평판표시소자의 각 셀을 온오프하기 위한 신호가 인가된다.

상기 도전체들(140)은 상기 프로브들(130)을 가로지르도록 구비된다. 상기 각 도전체들(140)은 서로 다른 프로브들(130)과 선택적으로 접촉하고, 접촉된 프로브들(130)을 전기적으로 연결한다.

도 3은 도 1에 도시된 프로브들(130)과 도전체들(140)의 접촉을 설명하기 위한 단면도이다.

도 3을 참조하면, 상기 각 프로브들(130)은 홈들(132)을 갖는다. 상기 홈들(132)은 제1 폭과 제1 깊이를 갖는 하나의 제1 홈(132a)과 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭과 제1 깊이보다 깊은 제2 깊이를 갖는 다수의 제2 홈들(132b)을 포함한다. 각 프로브(130)에서 상기 홈들(132)이 형성된 위치는 동일하며, 상기 제1 홈(132a)과 상기 제2 홈들(132b)의 위치는 바뀔 수 있다. 상기 홈들(132)의 개수는 상기 도전체들(140)의 개수와 동일하다.

상기 도전체들(140)이 상기 프로브들(130)을 가로질러 상기 제1 홈(132a) 및 제2 홈들(132b)에 삽입된다. 상기 도전체들(132)의 바 형상을 가지며, 단면적은 상기 제1 홈(132a)의 크기와 실질적으로 동일하다. 상기 도전체들(140)은 상기 제1 홈(132a)에 삽입된 부분이 상기 프로브들(130)과 접촉하고 상기 제2 홈들(132b)에 삽입된 부분이 상기 프로브들(130)과 접촉하지 않는다. 따라서, 상기 도전체들(140)은 상기 프로브들(130)과 선택적으로 접촉하여 전기적으로 연결한다.

도 4 및 도 5는 다른 예에 따른 프로브들(130)과 도전체들(140)의 접촉을 설명하기 단면도들이다.

도 4를 참조하면, 상기 각 프로브들(130)은 각각 돌기(134)를 갖는다. 각 프로브(130)에서 상기 돌기(134)의 위치는 각각 달라질 수 있다. 상기 도전체들(140)은 상기 각 프로브(130)의 돌기(134)와 각각 접촉하여 상기 프로브들(130)을 전기적으로 연결한다.

도 5를 참조하면, 상기 도전체들(140)은 각각 다수의 돌기들(142)을 갖는다. 상기 돌기들(142)은 서로 일정 간격 이격될 수 있다. 상기 돌기들(142)이 상기 프로브들(130)과 선택적으로 접촉하여 상기 도전체들(140)은 상기 프로브들(130)을 전기적으로 연결한다.

따라서, 각 도전체들(140)은 접촉하는 프로브들(130)을 전기적으로 연결한다. 상기 각 도전체들(140)에 의해 전기적으로 연결된 상기 프로브들(130)에 상기 평판표시소자를 검사하기 위한 신호가 동일하게 인가하여 상기 평판표시소자를 점등 검사할 수 있다.

상기 프로브들(130)이 상기 평판표시소자의 데이터부와 접촉하는 경우, 상기 프로브들(130)이 상기 각 셀의 적색, 녹색 및 청색을 각각 검사하도록 상기 도전체들(140)은 3개, 6개, 9개 등 3의 배수개가 구비될 수 있다. 이때, 상기 프로브들(130)도 3의 배수개가 구비되며, 상기 프로브들(130)의 개수는 상기 도전체들(140)의 개수와 같거나 상기 도전체들(140)의 개수보다 많다.

도 6은 도 1에 도시된 프로브들(130)과 도전체들(140)이 접촉된 상태를 설명 하기 위한 도면이다.

도 6을 참조하면, 상기 도전체들(140)이 6개인 경우, 상기 도전체들(140) 중 첫번째 도전체는 첫 번째, 일곱 번째 프로브들을, 두번째 도전체는 두 번째, 여덜번째 프로브들을, 세번째 도전체는 세 번째, 아홉 번째 프로브들을, 네번째 도전체는 네 번째, 열 번째 프로브들을, 다섯번째 도전체는 다섯 번째, 열한번째 프로브들을, 여섯번째 도전체는 여섯 번째, 열두번째 프로브들을 각각 전기적으로 연결한다.

상기 도전체들(140)에는 서로 다른 입력 신호가 입력된다. 예를 들면, 상기 첫번째 도전체에는 제1 적색 신호가, 상기 두번째 도전체에는 제1 녹색 신호가, 상기 세번째 도전체에는 제1 청색 신호가, 상기 네번째 도전체에는 제2 적색 신호가, 상기 다섯번째 도전체에는 제2 녹색 신호가, 상기 여섯번째 도전체에는 제2 청색 신호가 각각 입력될 수 있다.

상기 프로브들(130)은 상기 데이터부의 서로 다른 패드와 접촉한다. 예를 들면, 첫 번째, 일곱 번째 프로브들은 상기 데이터부의 제1 적색 신호용 패드들과, 두 번째, 여덜번째 프로브들은 제1 녹색 신호용 패드들과, 세 번째, 아홉 번째 프로브들은 제1 청색 신호용 패드들과, 네 번째, 열 번째 프로브들은 제2 적색 신호용 패드들과, 다섯 번째, 열한번째 프로브들은 제2 녹색 신호용 패드들과, 여섯 번째, 열두번째 프로브들은 제2 청색 신호용 패드들과 각각 접촉할 수 있다.

따라서, 상기 제1 적색 신호용 패드들에 상기 제1 적색 신호가, 상기 제1 녹색 신호용 패드들에 상기 제1 녹색 신호가, 상기 제1 청색 신호용 패드들에 제1 청 색 신호가, 상기 제2 적색 신호용 패드들에 상기 제2 적색 신호가, 상기 제2 녹색 신호용 패드들에 상기 제2 녹색 신호가, 상기 제2 청색 신호용 패드들에 상기 제2 청색 신호가 각각 인가된다.

그러므로, 상기 평판표시소자에 대해 적색, 녹색, 청색, 검정색, 회색, 또는 백색으로 점등 검사를 수행할 수 있다.

상기와 같이 상기 도전체들(140)이 구비되어 상기 프로브들(130)이 선택적으로 쇼팅되는 경우, 상기 도전체들(140)로부터 상기 프로브들(130)이 쇼팅 신호를 상기 평판표시소자의 데이터부에 인가하여 적색, 녹색, 청색, 흰색, 검은색, 회색 및 백색 등으로 상기 평판표시소자를 검사할 수 있다.

아울러, 사용자 선택에 의해 상기 도전체들(140)을 상기 프로브들(130)로부터 분리하는 경우, 상기 프로브들(130)이 개별 신호를 상기 평판표시소자의 데이터부에 인가하여 다양한 색, 그림, 패턴으로 상기 평판표시소자패널을 검사할 수 있다.

상기 프로브들(130)이 상기 평판표시소자의 게이트부와 접촉하는 경우, 상기 프로브들(130)이 상기 각 셀의 온오프를 검사하도록 상기 도전체들(140)은 2개, 4개, 6개 등 2의 배수개가 구비될 수 있다. 이때, 상기 프로브들(130)의 개수는 상기 도전체들(140)의 개수와 같거나 상기 도전체(140)의 개수보다 많다. 상기 프로브들(130)의 개수는 2의 배수개가 구비될 수 있으나, 2의 배수개가 아니어도 무방하다.

일 예로, 상기 도전체들(140)이 4개인 경우, 상기 도전체들(140) 중 첫번째 도전체는 첫 번째, 다섯 번째 프로브들을, 두번째 도전체는 두 번째, 여섯 번째 프로브들을, 세번째 도전체는 세 번째, 일곱 번째 프로브들을, 네번째 도전체는 네 번째, 여덜번째 프로브들을 각각 전기적으로 연결한다.

상기 프로브들(130)은 상기 게이트부의 서로 다른 패드와 접촉한다. 상기 첫 번째, 다섯 번째 프로브들은 제1 게이트 패드들과, 상기 두 번째, 여섯 번째 프로브들은 제2 게이트 패드들과, 상기 세 번째, 일곱 번째 프로브들은 제3 게이트 패드들과, 상기 네 번째, 여덜번째 프로브들은 제4 게이트 패드들과 각각 접촉한다.

상기 도전체들(140) 및 프로브들(130)이 상기 제1 내지 제4 게이트 패드들에 신호를 인가하여 상기 평판 표시소자에 대한 점등 검사를 수행할 수 있다.

상기 플레이트(150)는 상기 프로브 블록(110) 또는 상기 고정 부재(120)에 착탈 가능하도록 고정된다. 상기 플레이트(150)는 상기 도전체들(140)을 지지하여 상기 도전체들(140)과 상기 프로브들(130)이 접촉된 상태를 유지시킨다. 일 예로, 상기 도전체들(140)은 상기 플레이트(150)에 고정될 수 있다. 다른 예로, 상기 도전체들(140)은 상기 플레이트(150)와 분리되며, 상기 플레이트(150)에 의해 단순 지지될 수 있다. 상기 플레이트(150)는 절연 재질로 이루어진다. 따라서, 상기 플레이트(150)는 상기 도전체들(140)을 전기적으로 연결하지 않는다.

상기 플레이트(150)를 상기 프로브 블록(110) 또는 상기 고정 부재(120)로부터 분리하여 상기 도전체들(140)과 상기 프로브들(130)의 접촉 상태를 해제할 수 있다.

한편, 상기 플레이트(150)를 구비하지 않고, 상기 도전체들(140)이 착탈 가 능하도록 상기 프로브들(130)에 고정될 수 있다. 예를 들면, 상기 도전체들(140)이 돌기(미도시)를 가지고, 상기 프로브들(130)이 상기 돌기를 수용하는 홈들을 가질 수 있다. 상기 돌기가 상기 홈에 삽입됨으로써 상기 도전체들(140)이 상기 프로브들(130)에 고정될 수 있다. 다른 예로, 상기 프로브들(130)이 돌기를 가지고, 상기 도전체들(140)이 상기 돌기를 수용하는 홈을 가질 수 있다. 따라서, 상기 도전체들(140)은 상기 프로브들(130)에 고정되어 상기 프로브들(130)과 접촉하고, 상기 프로브들(130)로부터 분리되어 상기 프로브들(130)과의 접촉이 해제될 수 있다.

상기 케이블(160)은 신호 발생기(미도시)에서 발생된 상기 입력 신호를 전달한다. 상기 케이블(160)은 상기 도전체들(140)과 각각 연결된다.

한편, 상기 도전체들(140)과 상기 프로브들(130)의 접촉이 해제된 경우, 상기 케이블(160)은 상기 프로브들(130)과 각각 연결될 수 있다. 상기 케이블(160)의 예로는 와이어, FPCB(Flexible Printed Circuit Board), TCP(Tape Carrier Package), FFC(Flexible Flat Cable) 등을 들 수 있다.

상기 프로브 구조물(100)은 상기 게이트부와 접촉하거나 또는 상기 데이터부와 접촉하여 상기 평판표시소자를 검사할 수 있다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 구조물(200)을 설명하기 위한 단면도이고, 도 8은 도 7에 도시된 프로브 구조물(200)의 저면도이다.

도 7 및 도 8을 참조하면, 상기 프로브 구조물(200)은 프로브 블록(210), 고정 부재(220), 프로브들(230), 도전체들(240), 플레이트(250), 케이블(260), 인터페이스 블록(270) 및 접속 시트(280)를 포함한다.

상기 프로브 블록(210), 고정 부재(220) 및 플레이트(250)에 대한 설명은 도 1 및 도 2를 참조한 프로브 블록(110), 고정 부재(120) 및 플레이트(150)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.

상기 프로브들(230)은 도전성 박판 형태를 갖는다. 상기 프로브들(230)은 상기 고정 부재(220)의 슬릿들에 양단이 끼워져 고정된다. 상기 프로브들(230)의 전단부는 검사 대상물인 평판표시소자와 접촉한다. 상기 프로브들(230)의 후단부는 상기 평판표시소자를 검사하기 위한 신호가 입력된다.

상기에서는 상기 프로브들(230)이 도전성 박판 형태, 즉 블레이드 형태를 갖는 것으로 설명되었지만, 상기 프로브들(230)은 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 프로브들(230)은 니들 형태, 포고핀 형태, 절연 시트 상에 다수의 도전성 부재들이 형성된 멤브레인 형태 등을 가질 수 있다. 이때, 상기 고정 부재(220)는 상기 프로브들(230)이 서로 이격되도록 고정한다.

상기 프로브들(230)이 상기 평판표시소자와 용이하게 접촉하기 위해 상기 프로브들(230)의 전단부는 상기 제1 고정 부재(222)의 전단 방향으로 돌출되어 고정된다. 일 예로, 상기 각 프로브들(230)의 전단부는 상기 제1 고정 부재(222)로부터 동일한 길이만큼 돌출될 수 있다. 다른 예로, 상기 각 프로브들(230)의 전단부는 상기 제1 고정 부재(222)로부터 서로 다른 길이로 돌출될 수 있다.

상기 프로브들(230)은 제1 프로브들(232) 및 제2 프로브들(234)을 포함한다.

상기 제1 프로브들(232)은 상기 고정 부재(220)의 중앙 부위에 배치되며, 상기 제2 프로브들(234)은 상기 고정 부재(220)의 양측 가장자리 부위에 배치된다. 예를 들면, 상기 제1 프로브들(232)은 제1 고정 부재(222)의 중앙 부위에 배치된 제1 슬릿들에 전단부가 삽입되고, 제2 고정 부재(224)의 중앙 부위에 배치된 제2 슬릿들에 후단부가 삽입된다. 상기 제2 프로브들(234)은 상기 제1 고정 부재(222)의 양측 가장자리 부위에 배치된 제1 슬릿들에 전단부가 삽입되고, 상기 제2 고정 부재(224)의 양측 가장자리 부위에 배치된 제2 슬릿들에 후단부가 삽입된다.

한편, 상기 제2 프로브들(234)은 상기 고정 부재(220)의 양측 가장자리 부위가 아닌 일측 가장자리 부위에만 배치될 수도 있다.

상기 제1 프로브들(232)은 상기 평판표시소자의 데이터부와 접촉한다. 상기 제2 프로브들(234)은 상기 평판표시소자의 게이트부와 접촉한다. 이때, 상기 데이터부와 게이트부는 상기 평판표시소자의 동일한 측면에 인접하여 배치된다. 즉, 상기 평판표시소자는 상기 데이터부와 상기 게이터부를 각각 구동하기 위한 데이터 회로와 게이트 회로가 인접하여 상기 평판표시소자의 상기 측면에 직접 실장되는 GIP(gate in panel) 구조의 평판표시소자일 수 있다.

상기 데이터부는 상기 평판표시소자의 각 셀에 적색, 녹색 및 청색 신호를 인가한다. 상기 게이트부는 상기 평판표시소자의 각 셀에 온오프 신호를 인가한다.

상기 도전체들(240)은 상기 제1 프로브들(232)을 가로지르도록 구비된다. 상기 도전체들(240)은 상기 제1 프로브들(232)과 접촉하며, 상기 제2 프로브들(234)과는 접촉하지 않는다. 상기 각 도전체들(240)은 서로 다른 제1 프로브들(232)과 선택적으로 접촉한다. 상기 도전체들(240)과 상기 제1 프로브들(232)의 접촉에 대한 구체적인 설명은 도 3 내지 도 5를 참조한 도전체들(140)과 프로브들(130)의 접 촉에 대한 설명과 실질적으로 동일하다. 따라서, 각 도전체들(240)은 접촉하는 제1 프로브들(232)을 전기적으로 연결한다. 상기 각 도전체들(240)에 의해 전기적으로 연결된 상기 제1 프로브들(232)에 상기 평판표시소자의 데이터부를 검사하기 위한 신호가 동일하게 인가하여 상기 평판표시소자를 점등 검사할 수 있다.

상기 제1 프로브들(232)이 상기 각 셀의 적색, 녹색 및 청색을 각각 검사하도록 상기 도전체들(240)은 3개, 6개, 9개 등 3의 배수개가 구비될 수 있다.

일 예로, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 상기 도전체들(240)이 6개인 경우, 상기 도전체들(240) 중 첫번째 도전체는 첫 번째, 일곱 번째 제1 프로브들을, 두번째 도전체는 두 번째, 여덜번째 제1 프로브들을, 세번째 도전체는 세 번째, 아홉 번째 제1 프로브들을, 네번째 도전체는 네 번째, 열 번째 제1 프로브들을, 다섯번째 도전체는 다섯 번째, 열한 번째 제1 프로브들을, 여섯번째 도전체는 여섯 번째, 열두번째 제1 프로브들을 각각 전기적으로 연결한다.

상기 도전체들(240)에는 서로 다른 입력 신호가 입력된다. 예를 들면, 상기 첫번째 도전체에는 제1 적색 신호가, 상기 두번째 도전체에는 제1 녹색 신호가, 상기 세번째 도전체에는 제1 청색 신호가, 상기 네번째 도전체에는 제2 적색 신호가, 상기 다섯번째 도전체에는 제2 녹색 신호가, 상기 여섯번째 도전체에는 제2 청색 신호가 각각 입력될 수 있다.

상기 제1 프로브들(232)은 상기 데이터부의 서로 다른 패드와 접촉한다. 예를 들면, 첫 번째, 일곱 번째 제1 프로브들은 상기 데이터부의 제1 적색 신호용 패드들과, 두 번째, 여덜번째 제1 프로브들은 제1 녹색 신호용 패드들과, 세 번째, 아홉 번째 제1 프로브들은 제1 청색 신호용 패드들과, 네 번째, 열 번째 제1 프로브들은 제2 적색 신호용 패드들과, 다섯 번째, 열한번째 제1 프로브들은 제2 녹색 신호용 패드들과, 여섯 번째, 열두번째 제1 프로브들은 제2 청색 신호용 패드들과 각각 접촉할 수 있다.

따라서, 상기 제1 적색 신호용 패드들에 상기 제1 적색 신호가, 상기 제1 녹색 신호용 패드들에 상기 제1 녹색 신호가, 상기 제1 청색 신호용 패드들에 제1 청색 신호가, 상기 제2 적색 신호용 패드들에 상기 제2 적색 신호가, 상기 제2 녹색 신호용 패드들에 상기 제2 녹색 신호가, 상기 제2 청색 신호용 패드들에 상기 제2 청색 신호가 각각 인가된다.

그러므로, 상기 평판표시소자에 대해 적색, 녹색, 청색, 검정색, 회색, 또는 백색으로 점등 검사를 수행할 수 있다.

상기와 같이 상기 도전체들(240)이 구비되어 상기 제1 프로브들(232)이 선택적으로 쇼팅되는 경우, 상기 도전체들(240)로부터 상기 제1 프로브들(232)이 쇼팅 신호를 상기 평판표시소자의 데이터부에 인가하여 적색, 녹색, 청색, 흰색, 검은색, 회색 및 백색 등으로 상기 평판표시소자를 검사할 수 있다.

아울러, 사용자 선택에 의해 상기 도전체들(240)을 상기 제1 프로브들(232)로부터 분리하는 경우, 상기 제1 프로브들(232)이 개별 신호를 상기 평판표시소자의 데이터부에 인가하여 다양한 색, 그림, 패턴으로 상기 평판표시소자패널을 검사할 수 있다.

상기 제2 프로브들(234)은 상기 게이트부의 서로 다른 게이트 패드와 접촉한 다. 상기 제2 프로브들(234)이 상기 게이트 패드들에 각각 신호를 인가하여 상기 평판표시소자에 대한 점등 검사를 수행할 수 있다.

상기 인터페이스 블록(270)은 상기 프로브 블록(210)의 하면 후단에 고정된다.

상기 접속 시트(280)는 상기 인터페이스 블록(270)의 하면에 구비된다. 상기 접속 시트(280)는 배선들(282) 및 패드들(284)을 갖는다.

상기 배선들(282)은 제1 단부(282a)에서 제2 단부(282b)로 갈수록 상기 배선들(282) 사이의 간격이 넓어진다. 상기 배선들(282)의 제1 단부(282a)는 상기 제2 프로브들(234)과 각각 연결된다. 상기 패드들(284)은 상기 배선들(282)의 제2 단부(282b)에 각각 구비된다.

상기 배선들(282)의 개수는 상기 제2 프로브들(234)의 개수와 동일하다. 따라서, 상기 배선들(282)과 상기 제2 프로브들(234)은 일대일로 연결된다.

상기 패드들(284)의 개수는 상기 제2 프로브들(234)의 개수와 동일하거나 작을 수 있다. 상기 제2 프로브들(234) 각각에 서로 다른 신호가 입력되는 경우, 상기 배선들(282)은 상기 패드들(284)과 일대일로 연결된다. 상기 제2 프로브들(234) 중 적어도 두 개에 동일한 신호가 입력되는 경우, 상기 동일한 신호가 입력되는 제2 프로브들(234)과 연결된 배선들(282)은 하나의 패드(284)와 연결될 수 있다.

따라서, 상기 접속 시트(280)는 후술하는 상기 케이블(260)과 상기 제2 프로브들(234)의 연결을 용이하게 한다.

상기 케이블(260)은 신호 발생기(미도시)에서 발생된 상기 입력 신호를 전달 한다. 상기 케이블(260)은 제1 케이블(262) 및 제2 케이블(264)을 포함한다.

상기 제1 케이블(262)은 상기 도전체들(240)과 각각 연결된다. 따라서, 상기 입력 신호를 상기 도전체들(240)을 통해 상기 제1 프로브들(232)로 제공한다.

한편, 상기 도전체들(240)과 상기 제1 프로브들(232)의 접촉이 해제된 경우, 상기 제1 케이블(262)은 상기 제1 프로브들(232)과 각각 연결될 수 있다.

상기 제2 프로브들(234) 사이의 간격이 상기 제1 프로브들(232) 사이의 간격보다 좁은 경우, 상기 제2 케이블(264)은 상기 제2 프로브들(234)과 각각 연결되기 어렵다. 따라서, 상기 제2 케이블(264)은 간격이 상대적으로 넓은 상기 접속 시트(280)의 패드들(284)과 각각 연결된다. 그러므로, 상기 제2 케이블(264)은 상기 패드들(284)과 용이하게 연결될 수 있고, 상기 입력 신호를 상기 배선들(282)을 통해 상기 제2 프로브들(234)로 제공할 수 있다.

한편, 상기 제2 프로브들(234) 사이의 간격과 상기 제1 프로브들(232) 사이의 간격이 동일한 경우, 상기 제2 케이블(264)은 상기 제2 프로브들(234)과 직접 연결될 수 있다.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 구조물(300)을 설명하기 위한 단면도이고, 도 10은 도 9에 도시된 프로브 구조물(300)의 저면도이다.

도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 프로브 구조물(300)은 프로브 블록(310), 고정 부재(320), 프로브들(330) 및 케이블(360)을 포함한다.

상기 프로브 블록(310) 및 고정 부재(320)에 대한 설명은 도 1 및 도 2를 참조한 프로브 블록(110) 및 고정 부재(120)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.

상기 프로브들(330)은 제1 프로브들(332) 및 제2 프로브들(334)을 포함하며, 상기 프로브들(330)에 대한 설명은 도 7 및 도 8을 참조한 프로브들(230)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.

상기 제1 프로브들(332)은 상기 평판표시소자의 데이터부와 접촉하여 평판표시소자를 점등 검사할 수 있다. 상기 제1 프로브들(332)은 3개, 6개, 9개 등 3의 배수개가 구비되어 상기 각 셀의 적색, 녹색 및 청색을 각각 검사할 수 있다.

상기 제2 프로브들(334)은 상기 평판표시소자의 게이트부와 접촉하여 상기 평판표시소자를 점등 검사할 수 있다. 상기 제2 프로브들(334)은 상기 각 셀의 온오프를 각각 검사할 수 있고, 상기 제2 프로브들(334)은 2개, 4개, 6개 등 2의 배수개가 구비될 수 있다. 상기 제2 프로브들(334)의 개수는 2의 배수개가 구비될 수 있으나, 2의 배수개가 아니어도 무방하다.

상기 케이블(360)은 신호 발생기(미도시)에서 발생된 상기 입력 신호를 전달한다. 상기 케이블(360)은 제1 케이블(362) 및 제2 케이블(364)을 포함한다.

상기 제1 케이블(362)은 상기 제1 프로브들(332)과 각각 연결되어 상기 데이터부를 검사하기 위한 상기 입력 신호를 상기 제1 프로브들(332)로 제공한다.

상기 제2 케이블(364)은 상기 제2 프로브들(334)과 각각 연결되어 상기 게이트부를 검사하기 위한 상기 입력 신호를 상기 제2 프로브들(332)로 제공한다.

상기 케이블(360)의 예로는 와이어, FPCB, FFC 등을 들 수 있다. 또한, 상기 케이블(360)은 도 7 및 도 8에 도시된 접속 시트(280)와 같은 형상으로 이루어질 수도 있다.

상기 도 7 및 도 8에 도시된 것과 같은 제1 도전체(240)가 상기 제1 프로브들(332)로부터 제거되고, 상기 제1 프로브들(332)이 개별적으로 상기 제1 케이블(362)과 연결된다. 따라서, 상기 제1 프로브들(332)이 개별 신호를 상기 평판표시소자의 데이터부에 인가하여 다양한 색, 그림, 패턴과 같은 검사가 가능하다.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 구조물(400)을 설명하기 위한 단면도이고, 도 12는 도 11에 도시된 프로브 구조물(400)의 저면도이다.

도 11 및 도 12를 참조하면, 상기 프로브 구조물(400)은 프로브 블록(410), 고정 부재(420), 프로브들(430), 도전체들(440), 플레이트(450) 및 케이블(460)을 포함한다.

상기 프로브 블록(410) 및 고정 부재(420)에 대한 설명은 도 1 내지 도 3을 참조한 프로브 블록(110) 및 고정 부재(120)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.

상기 프로브들(430)은 제1 프로브들(432) 및 제2 프로브들(434)을 포함하며, 상기 프로브들(430)에 대한 설명은 도 7 및 도 8을 참조한 프로브들(230)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.

상기 도전체들(440)은 제1 도전체들(442) 및 제2 도전체들(444)을 포함한다. 후술하는 상기 제1 도전체들(442)과 상기 제1 프로브들(432)의 접촉 및 상기 제2 도전체들(444)과 상기 제2 프로브들(434)의 접촉에 대한 구체적인 설명은 도 3 내지 도 5를 참조한 도전체들(140)과 프로브들(130)의 접촉에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.

상기 제1 도전체들(442)은 상기 제1 프로브들(432)을 가로지르도록 구비되 며, 상기 제1 프로브들(432)과 접촉한다. 상기 각 제1 도전체들(442)은 서로 다른 제1 프로브들(432)과 선택적으로 접촉한다. 따라서, 각 제1 도전체들(442)은 접촉하는 제1 프로브들(432)을 전기적으로 연결한다. 상기 각 제1 도전체들(440)에 의해 전기적으로 연결된 상기 제1 프로브들(432)에 상기 평판표시소자의 데이터부를 검사하기 위한 신호가 동일하게 인가하여 상기 평판표시소자를 점등 검사할 수 있다.

상기 제1 프로브들(432)이 상기 각 셀의 적색, 녹색 및 청색을 각각 검사하도록 상기 제1 도전체들(442)은 3개, 6개, 9개 등 3의 배수개가 구비될 수 있다.

상기 제1 도전체들(442)과 상기 제1 프로브들(432)의 연결에 대한 구체적인 설명은 도 5 및 도 6을 참조한 도전체들(240)과 제1 프로브들(232)의 연결에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.

상기 제2 도전체들(444)은 상기 제2 프로브들(434)을 가로지르도록 구비되며, 상기 제2 프로브들(434)과 접촉한다. 상기 각 제2 도전체들(444)은 서로 다른 제2 프로브들(434)과 선택적으로 접촉한다. 따라서, 각 제2 도전체들(442)은 접촉하는 제2 프로브들(434)을 전기적으로 연결한다. 상기 각 제2 도전체들(444)에 의해 전기적으로 연결된 상기 제2 프로브들(434)에 상기 평판표시소자의 게이트부를 검사하기 위한 신호가 동일하게 인가하여 상기 평판표시소자를 점등 검사할 수 있다.

상기 제2 프로브들(434)이 상기 각 셀의 온오프를 각각 검사하도록 상기 제2 도전체들(444)은 2개, 4개, 6개 등 2의 배수개가 구비될 수 있다.

일 예로, 상기 제2 도전체들(444)이 4개인 경우, 상기 제2 도전체들(444) 중 첫번째 도전체는 첫 번째, 다섯 번째 프로브들을, 두번째 도전체는 두 번째, 여섯 번째 프로브들을, 세번째 도전체는 세 번째, 일곱 번째 프로브들을, 네번째 도전체는 네 번째, 여덜번째 프로브들을 각각 전기적으로 연결한다.

상기 제2 프로브들(434)은 상기 게이트부의 서로 다른 패드와 접촉한다. 상기 첫 번째, 다섯 번째 프로브들은 제1 게이트 패드들과, 상기 두 번째, 여섯 번째 프로브들은 제2 게이트 패드들과, 상기 세 번째, 일곱 번째 프로브들은 제3 게이트 패드들과, 상기 네 번째, 여덜 번째 프로브들은 제4 게이트 패드들과 각각 접촉한다.

상기 제2 도전체들(444) 및 제2 프로브들(434)이 상기 제1 내지 제4 게이트 패드들에 신호를 인가하여 상기 평판 표시소자에 대한 점등 검사를 수행할 수 있다.

상기 플레이트(450)는 제1 플레이트(452) 및 제2 플레이트(454)를 포함한다. 상기 제1 플레이트(452)는 상기 제1 도전체들(442)을 지지하고, 상기 제2 플레이트(454)는 상기 제2 도전체들(444)을 지지한다는 점을 제외하면, 상기 제1 플레이트(452) 및 상기 제2 플레이트(454) 각각에 대한 설명은 도 1 내지 도 3을 참조한 플레이트(150)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.

다른 예로, 상기 제1 플레이트(452) 및 상기 제2 플레이트(454)가 일체로 연결되어, 상기 제1 도전체들(442) 및 상기 제2 도전체들(444)을 동시에 지지할 수도 있다.

상기 케이블(460)은 신호 발생기(미도시)에서 발생된 상기 입력 신호를 전달한다. 상기 케이블(460)은 제1 케이블(462) 및 제2 케이블(464)을 포함한다.

상기 제1 케이블(462)은 상기 제1 도전체들(442)과 각각 연결된다. 따라서, 상기 입력 신호를 상기 제1 도전체들(442)을 통해 상기 제1 프로브들(432)로 제공한다.

상기 제2 케이블(464)은 상기 제2 도전체들(444)과 각각 연결된다. 따라서, 상기 입력 신호를 상기 제2 도전체들(444)을 통해 상기 제2 프로브들(432)로 제공한다.

한편, 상기 제1 도전체들(442)과 상기 제1 프로브들(432)의 접촉이 해제된 경우, 상기 제1 케이블(462)은 상기 제1 프로브들(432)과 직접 연결될 수 있다. 또한, 상기 제2 도전체들(444)과 상기 제2 프로브들(434)의 접촉이 해제된 경우, 상기 제2 케이블(464)은 상기 제2 프로브들(434)과 직접 연결될 수 있다.

도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 검사 장치(500)를 설명하기 위한 단면도이다.

도 13을 참조하면, 상기 검사 장치(500)는 프로브 구조물(100), 홀더(510), 메뉴플레이터(520) 및 신호발생기(530)를 포함한다.

상기 프로브 구조물(100)은 프로브 블록, 고정 부재, 프로브들, 도전체들, 플레이트 및 케이블을 포함한다. 상기 프로브 구조물(100)에 대한 구체적인 설명은 도 1 내지 도 4를 참조한 프로브 구조물(100)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.

한편, 상기 프로브 구조물(100)로 도 5 내지 도 12를 참조한 프로브 구조물 들이 채용될 수도 있다.

상기 홀더(510)는 상기 프로브 구조물(100)의 상기 프로브 블록(510) 상부에 위치한다. 제1 고정나사(512)는 상기 홀더(510)와 상기 프로브 블록을 체결한다. 한편, 상기 홀더(510)와 상기 프로브 블록 사이에는 인터페이스 블록이 구비될 수도 있다.

상기 메뉴플레이터(520)가 상기 홀더(510)와 제2 고정나사(522)에 의해서 서로 체결된다. 상기 메뉴플레이터(520)와 연결된 상기 홀더(510)는 검사 과정의 상하 물리력에 의해서 상하로 유동할 수 있다. 예를 들면, 상기 홀더(510) 일측과 상기 메뉴플레이터(520) 타측이 가이드 레일(524)에 의해서 서로 체결됨으로써 테스트 과정의 상하 물리력에 의해서 홀더(510)가 상하로 유동할 수 있다.

상기 홀더(510)와 메뉴플레이터(520)를 연결하는 제2 고정나사(522) 주변부에는 탄성력을 지닌 스프링(526)이 구비되므로, 테스트 과정의 상하 물리력에 의해서 상하로 유동된 홀더(520)가 스프링(526)의 탄성력에 의해서 원래의 위치로 복원될 수 있다.

상기 신호 발생기(530)는 상기 프로브 구조물(100)의 케이블과 전기적으로 연결되며, 상기 신호 발생기(530)는 상기 평판표시소자를 검사하기 위한 신호를 발생한다. 상기 신호 발생기(530)는 상기 신호의 세기를 자유롭게 조절할 수 있다. 또한, 상기 신호 발생기(530)는 상기 신호를 선택적으로 발생할 수 있다. 예를 들면, 상기 신호 발생기(530)는 상기 평판표시소자의 패드부들과 접촉된 각 프로브에 입력되는 신호만을 선택적으로 발생할 수 있다.

본 발명에 따른 프로브 구조물은 각 프로브들이 도전체를 통해 전기적으로 연결되므로, 평판표시소자의 검사를 위한 입력 신호를 안정적으로 상기 평판표시소자로 제공할 수 있다. 따라서, 상기 평판표시소자에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 도전체를 상기 프로브들로부터 분리할 수 있으므로, 상기 평판표시소자의 구조에 따라 상기 프로브 구조물을 선택적으로 사용할 수 있다.

그리고, 프로브 블록으로부터 고정 부재를 분리하여 손상된 프로브만을 선택적으로 교체할 수 있다. 따라서, 상기 프로브 구조물의 리페어에 소요되는 비용을 줄일 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 구조물을 설명하기 위한 단면도이다.

도 2는 도 1에 도시된 프로브 구조물의 저면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 프로브들과 도전체들의 접촉을 설명하기 위한 단면도이다.

도 4 및 도 5는 다른 예에 따른 프로브들과 도전체들의 접촉을 설명하기 단면도들이다.

도 6은 도 1에 도시된 프로브들과 도전체들이 접촉된 상태를 설명하기 위한 도면이다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 구조물을 설명하기 위한 단면도이다.

도 8은 도 7에 도시된 프로브 구조물의 저면도이다.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 구조물을 설명하기 위한 단면도이다.

도 10은 도 9에 도시된 프로브 구조물의 저면도이다.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 구조물을 설명하기 위한 단면도이다.

도 12는 도 11에 도시된 프로브 구조물의 저면도이다.

도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 검사 장치를 설명하기 위 한 단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 프로브 구조물 110 : 프로브 블록

120 : 고정 부재 130 : 프로브들

140 : 도전체 150 : 플레이트

160 : 케이블

Claims (16)

1. 서로 이격되어 배치되며, 평판표시소자의 데이터부 및 게이트부 중 어느 하나와 접촉하는 다수의 프로브들;

   상기 프로브들이 이격된 상태를 유지하도록 고정하는 고정 부재; 및

   상기 프로브들을 가로지르도록 구비되며, 서로 다른 프로브들과 선택적으로 접촉하여 상기 접촉된 프로브들을 전기적으로 연결하는 다수의 도전체들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
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3. 제1항에 있어서, 상기 프로브들이 상기 평판표시소자의 데이터부와 접촉하는 경우, 상기 프로브들 및 상기 도전체들은 각각 3의 배수개가 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
4. 제1항에 있어서, 상기 프로브들이 상기 평판표시소자의 게이트부와 접촉하는 경우, 상기 도전체들은 2의 배수개가 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
5. 제1항에 있어서, 상기 다수의 도전체들은 상기 프로브들에 탈착 가능한 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
6. 제1항에 있어서, 상기 프로브들은 블레이드 형태, 니들 형태, 포고핀 형태, 멤브레인 형태 중 어느 하나를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
7. 상기 제1항에 있어서, 각 프로브들은 제1 폭과 제1 깊이를 갖는 하나의 제1 홈 및 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭과 상기 제1 깊이보다 깊은 제2 깊이를 갖는 다수의 제2 홈들로 이루어진 홈을 가지며,

   각 도전체들은 상기 홈에 삽입되어 상기 제1 홈에 삽입된 부분이 상기 프로브들과 접촉하는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
8. 상기 제1항에 있어서, 상기 각 프로브들은 돌기를 가지며, 상기 도전체들은 상기 각 프로브의 돌기와 선택적으로 접촉하는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
9. 상기 제1항에 있어서, 상기 각 도전체들은 일정 간격으로 다수의 돌기들을 가지며, 상기 돌기들이 상기 프로브들과 선택적으로 접촉하는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
10. 서로 이격되어 배치되며, 평판표시소자와 접촉하는 다수의 제1 프로브들;

    상기 제1 프로브들의 일측에 배치되고, 서로 이격되어 배치되며, 상기 평판표시소자와 접촉하는 다수의 제2 프로브들;

    상기 제1 프로브들 및 상기 제2 프로브들이 이격된 상태를 유지하도록 고정하는 고정 부재; 및

    상기 제1 프로브들을 가로지르도록 구비되며, 서로 다른 제1 프로브들과 선택적으로 접촉하여 상기 접촉된 제1 프로브들을 전기적으로 연결하는 다수의 도전체들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
11. 제10항에 있어서, 상기 제1 프로브들은 평판표시소자의 데이터부와 접촉하고, 상기 제2 프로브들은 상기 평판표시소자의 게이트부와 접촉하는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
12. 제11항에 있어서, 상기 제1 프로브들 및 상기 도전체들은 각각 3의 배수개가 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
13. 제10항에 있어서, 상기 제2 프로브들과 각각 연결되며 상기 제2 프로브들 사이의 간격보다 넓은 간격을 갖는 신호선들을 포함하는 접속 시트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
14. 서로 이격되어 배치되며, 평판표시소자의 데이터부와 접촉하는 다수의 제1 프로브들;

    상기 제1 프로브들의 일측에 배치되고, 서로 이격되어 배치되며, 상기 평판 표시소자의 게이트부와 접촉하는 다수의 제2 프로브들; 및

    상기 제1 프로브들 및 상기 제2 프로브들이 이격된 상태를 유지하도록 고정하는 고정 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
15. 제14항에 있어서, 상기 제1 프로브들을 가로지르도록 구비되며, 서로 다른 제1 프로브들과 선택적으로 접촉하여 상기 접촉된 제1 프로브들을 전기적으로 연결하는 다수의 제1 도전체들; 및

    상기 제2 프로브들을 가로지르도록 구비되며, 서로 다른 제2 프로브들과 선택적으로 접촉하여 상기 접촉된 제2 프로브들을 전기적으로 연결하는 다수의 제2 도전체들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.
16. 제15항에 있어서, 상기 제1 프로브들 및 제1 도전체들은 각각 3의 배수개가 구비되고, 상기 제2 도전체들은 2의 배수개가 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 구조물.

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