KR100959958B1 - 도막부착강도·전단강도 측정장치 - Google Patents

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Abstract

시료에 부착한 도막의 부착강도나 전단강도를 정확하게 측정할 수 있고 또한 구조가 간단하여 원가가 저렴한 도막부착강도·전단강도 측정장치를 제공하는 것을 그 과제로 한다.
이를 해결하기 위한 수단으로 시료 S에 대해 도막면에 수직인 수직방향 및 도막면에 평행한 평행방향의 2방향으로 이동가능한 안내축(14)에 수직압력 검지기(15)의 일단을 고정하고, 수직압력 검지기(15)의 타단에 연결구(16)를 통해 평행압력 검지기(17)의 제 1단을 고정하며, 평행압력 검지기(17)의 제 2단에 절단날(18)을 고정하고, 절단날(18)로 시료 S에 부착한 도막을 절삭하면서 절단날(18)에 가해지는 수직압력 및 평행압력을 검지한다.
이렇게 함으로써 절단날과 압력검지기 사이에 접동안내축이 개재하지 않으므로 접동저항이 가해지지 않아 측정이 정확하게 된다. 접동안내축의 갭이 홈깊이나 절삭면에 악영향을 주지 않게 된다. 접동안내축이 없기 때문에 구조가 간단하여 원가가 저렴하게 되는 효과를 이룰 수 있다.

Description

도막부착강도·전단강도 측정장치{COATING ADHESION STRENGTH AND SHEAR STRENGTH MEASURING APPARATUS}
도 1은 참고예에 관한 도막부착강도·전단강도 측정장치의 구성을 도시하는 정면설명도이다.
도 2는 도막부착강도·전단강도 측정장치에 의한 도막의 절삭상태를 도시하는 요부설명도.
도 3은 제 1실시예에 관한 도막부착강도·전단강도 측정장치의 구성을 도시하는 정면설명도.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※
5: 평행이동 모터 12: 수직이동 모터
15: 수직압력 검지기 17: 평행압력 검지기
18: 절단날 19: 수직변위계
28: 퍼스널 컴퓨터 30h,30v: 압전소자 구동미동 스테이지
32: 연결봉
100,200: 도막부착강도·전단강도 측정장치 S: 시료
본 발명은 도막부착강도·전단강도 측정장치에 관한 것이며 더욱 상세하게는 시료에 부착한 도막의 부착강도나 전단강도를 정확하게 측정할 수 있고 또한 구조가 간단하여 저가인 도막부착강도·전단강도 측정장치에 관한 것이다.
일본국 특개평 3-67151호 공보에 개시되는 도막부착강도·전단강도 측정장치는 시료의 도막면에 수직인 수직방향으로 접동하는 수직접동 안내축 및 도막면에 평행한 평행방향으로 접동하는 평행접동 안내축에 의해 수직 및 평행의 2방향으로 상대이동이 가능한 절단날 지지체와, 이 절단날 지지체에 고정되어 도막을 절삭하는 절단날과, 상기 수직접동 안내축을 통해 상기 수직방향의 반발력을 검지하는 수직압력 검지기와, 상기 평행접동 안내축을 통해 상기 평행방향의 절삭저항력을 검지하는 평행압력 검지기를 구비하고 있다.
상기 종래의 도막부착강도·전단강도 측정장치에서는 수직접동 안내축의 변위에 의해 수직방향의 반발력을 검지하고, 평행접동 안내축의 변위에 의해 평행방향의 절삭저항력을 검지하는 구조로 되어 있다. 이 때문에 검지되는 반발력에는 수직접동 안내축의 변위로 발생하는 접동저항이 가해지고 있으며, 검지되는 절삭저항력에는 평행접동 안내축의 변위로 발생하는 접동저항이 가해지고 있다.
그러나 검지되는 반발력/절삭저항력에 접동안내축의 접동저항이 가해지고 있으면 측정이 부정확하게 되는 문제점이 있다.
또 수직접동 안내축과 이를 고정하는 부재사이에 갭(클리어런스)이 있기 때문에 홈깊이가 부정확하게 되는 문제점이 있다. 마찬가지로 평행접동 안내축과 이를 고정하는 부재사이에 갭이 있기 때문에 매끄러운 절삭면을 얻을 수 없거나 장거리의 절삭면을 얻기가 어려운 등의 문제점이 있다.
또한 수직접동 안내축 및 평행접동 안내축을 갖는 구조는 복잡하고, 원가가 높아지게 되는 문제가 있다.
그래서 본 발명의 목적은 시료에 부착한 도막의 부착강도나 전단강도를 정확하게 측정할 수 있고 또한 구조가 간단하여 원가를 낮출 수 있는 도막부착강도·전단강도 측정장치를 제공하는 것이다.
제 1관점에서는 본 발명은 시료에 부착한 도막을 절단날로 절삭하고, 상기 절단날에 가해지는 도막면에 수직방향의 힘과 도막면에 평행한 방향의 힘을 검지하여 도막의 부착강도나 전단강도를 측정하는 장치로서, 시료를 고정하기 위한 대(台)와, 고정부와 이동부를 가지고 상기 고정부가 상기 대에 고정되어 상기 이동부가 압전소자에 의해 수직방향 및 평행방향으로 이동가능한 2방향 가동수단과, 상기 2방향 가동수단의 상기 이동부에 일단이 고정된 평행사변형형의 수직압력 검지기와, 상기 수직압력 검지기의 타탄에 제1단이 고정된 평행사변형형의 평행압력 검지기와, 상기 평행압력 검지기의 제2단에 고정된 절단날과 수직변위계를 구비하고, 상기 2방향 가동수단으로부터 상기 절단날까지의 사이에 접동부분을 포함하지 않고, 또한 상기 수직압력 검지기에 의해 상기 절단날에 가해지는 상기 수직방향의 압력을 검지하는 동시에 상기 평행압력 검지기에 의해 상기 절단날에 가해지는 상기 평행방향의 압력을 검지하며, 또한 상기 수직변위계에 의해 홈깊이를 검지하는 것을 특징으로 하는 도막부착강도·전단강도 측정장치를 제공한다.
상기 구성에 있어서 시료를 고정하여 스테이지수단을 이동해도 좋고, 시료를 이동하여 스테이지 수단을 고정해도 되며 양자를 이동해도 좋다.
상기 제 1관점에 의한 도막부착강도·전단강도 측정장치에서는 절단날이 평행압력 검지기에 고정되고, 절단날과 평행압력 검지기 사이에 접동안내축이 개재하지 않는다. 이 때문에 검지되는 평행압력에 접동저항이 가해지지 않고 정확하게 평행압력을 측정할 수 있다. 또 절단날이 평행압력 검지기를 통해 수직압력 검지기에 고정되어 있고, 절단날과 수직압력 검지기 사이에 접동안내축이 개재하지 않는다. 이 때문에 검지되는 수직압력에 접동저항이 가해지지 않아 측정이 정확하게 된다. 또 접동안내축의 갭이 홈깊이나 절삭면에 악영향을 주지 않게 된다. 따라서 도막의 부착강도나 전단강도를 정확하게 측정할 수 있다. 또한 접동안내축이 없기 때문에 구조가 간단하여 원가가 낮아지게 된다.
제 2관점에서는 본 발명은 시료에 부착한 도막을 절단날로 절삭하고, 상기 절단날에 가해지는 도막면에 수직인 방향의 힘과 도막면에 평행한 방향의 힘을 검지하여 도막의 부착강도나 전단강도를 측정하는 장치로서, 시료를 고정하기 위한 대와, 고정부와 이동부를 가지며 상기 고정부가 상기 대에 고정되어 상기 이동부가 압전소자에 의해 평행방향 및 수직방향으로 이동가능한 2방향 가동수단과, 상기 2방향 가동수단의 상기 이동부에 일단이 고정된 평행사변형형의 평행압력 검지기와, 상기 평행압력 검지기의 타단에 제1단이 고정된 평행사변형형의 수직압력 검지기와, 상기 수직압력 검지기의 제2단에 고정된 절단날과 수직변위계를 구비하고, 상기 2방향 가동수단으로부터 상기 절단날까지의 사이에 접동부분을 포함하지 않고, 또한 상기 수직압력 검지기에 의해 상기 절단날에 가해지는 상기 수직방향의 압력을 검지하는 동시에, 상기 평행압력 검지기에 의해 상기 절단날에 가해지는 상기 평행방향의 압력을 검지하며, 또한 상기 수직변위계에 의해 홈깊이를 검지하는 것을 특징으로 하는 도막부착강도·전단강도 측정장치를 제공한다.
상기 구성에 있어서 시료를 고정하여 스테이지수단을 이동해도 좋고, 시료를 이동하여 스테이지 수단을 고정해도 좋으며 양자를 이동해도 좋다.
상기 제 2관점에 의한 도막부착강도·전단강도 측정장치에서는 절단날이 수직압력 검지기에 고정되어 있고, 절단날과 수직압력 검지기 사이에 접동안내축이 개재하지 않는다. 이 때문에 검지되는 수직압력에 접동저항이 가해지지 않아 정확하게 수직압력을 측정할 수 있다. 또 절단날이 수직압력 검지기를 통해 평행압력 검지기에 고정되어 있고, 절단날과 평행압력 검지기 사이에 접동안내축이 개재하지 않는다. 이 때문에 검지되는 평행압력에 접동저항이 가해지지 않아 측정이 정확하게 된다. 또 접동안내축의 갭이 홈깊이나 절삭면에 악영향을 주지 않게 된다. 따라서 도막의 부착강도나 전단강도를 정확하게 측정할 수 있다. 또한 접동안내축이 없기 때문에 구조가 간단하여 원가가 낮아진다.
삭제
2방향 가동수단으로서는 스텝핑 모터구동이나 초음파 발진모터 구동의 XY스테이지를 사용가능하지만 접동부분이 있기 때문에 1㎛정도의 클리어런스는 불가피하다. 그러나 이 클리어런스가 측정오차의 원인이 되는 경우가 있다.
이에 대해 상기 제 1관점 및 제 2관점에 의한 도막부착강도·전단강도 측정장치에서는 압전소자구동에 의한 미동스테이지를 이용하므로 시료에서 절단날까지 즉, 시료-지지부재-2방향 가동수단-압력검지기-절단날을 전혀 클리어런스 없이 일체화할 수 있다. 이에 따라 매우 정밀한 측정이 가능하게 된다.
제 3의 관점에서는 본 발명은 상기 구성의 도막부착강도·전단강도 측정장치에 있어서 상기 수직압력 검지기로 검지한 수직압력, 상기 평행압력 검지기로 검지한 평행압력 및 상기 수직변위계로 검지한 홈깊이의 변화를 그래프화하는 그래프화수단을 구비한 것을 특징으로 하는 도막부착강도·전단강도 측정장치를 제공한다.
상기 제 3관점에 의한 도막부착강도·전단강도 측정장치에서는 절단날에 걸리는 수직압력과 평행압력과 홈깊이의 변화를 그래프화하므로 이들의 상관관계를 명확하게 파악할 수 있다.
다음 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 또한 이에 따라 본 발명이 한정되는 것은 아니다.
-참고예-
도 1은 참고예에 관한 도막부착강도·전단강도 측정장치의 정면설명도이다.
이 도막부착강도·전단강도 측정장치(100)에 있어서 지지부재(1)에 안내축(2)이 고정되고, 안내축(2)에 접동부재(3)가 축착(軸着)된다.
접동부재(3)에는 넛트부(7)가 고정되고, 넛트부(7)에 나사낸 봉(6)이 박힌다.
나사낸 봉(6)의 일단은 평행이동 모터(5)에 결합되어 있고, 평행이동 모터(5)의 회전에 의해 나사낸 봉(6)이 회전하며 넛트부(7)가 수평방향으로 접동한다.
평행이동 모터(5)는 스텝핑 모터로서 고정대(4)에 고정된다.
넛트부(7)에는 회전대(8)가 접속되고, 손잡이(30)로 회전대(8)는 연직면 안에서 회전가능하게 된다.
또한 회전대(8) 대신에 경사형 시료대를 이용해도 좋다.
회전대(8)에는 안내축(9)이 고정되고 안내축(9)에 접동부재(10)가 축착(軸着)되고 있다.
접동부재(11)에는 넛트부(14)가 고정되고, 넛트부(14)에 나사낸 봉(13)이 박혀진다.
나사낸 봉(6)의 일단은 수직이동 모터(12)에 결합되고 , 수직이동 모터(12)의 회전에 의해 나사낸 봉(13)이 회전하며 넛트부(14)가 수직방향으로 접동한다.
수직이동모터(12)는 스텝핑 모터로서 연결부(11)에 의해 회전대(8)에 고정된다.
넛트부(14)에는 수직압력 검지기(15)의 일단이 고정된다.
수직압력 검지기(15)는 계측용 로드셀(상품명 CB17; 미네베어 주식회사)로, 타단에 걸리는 수직방향의 압력을 검지한다.
수직압력 검지기(15)의 타단에는 연결구(16)를 통해 평행압력 검지기(17)의 제 1단이 고정되어 있다.
평행압력 검지기(17)는 계측용 로드셀(상품명 CB17; 미네베어 주식회사)로 제 2단에 걸리는 수평방향의 압력을 검지한다.
평행압력 검지기(17)의 제 2단은 절단날(18)이 고정된다.
평행압력 검지기(17)의 절단날 고정부에는 지지구(20)를 통해 수직변위계(19)가 고정된다.
시료 S는 도장판으로 도막면을 수평으로 하고 시료대(23)와 고정구(22)로 고정된다.
평행이동모터(5) 및 수직이동모터(12)는 출력인터페이스(28a)를 통해 퍼스널 컴퓨터(28)에 접속된다.
수직압력 검지기(15), 평행압력 검지기(17) 및 수직변위계(19)는 입력인터페이스(28b)를 통해 퍼스널 컴퓨터(28)에 접속된다.
퍼스널 컴퓨터(28)는 조작자의 지시에 따라 평행이동 모터(5) 및 수직이동 모터(12)를 구동하고, 시료 S의 도막을 절삭한다. 그리고 그 때의 수직압력 검지기(15)의 출력에서 수직압력을 검지하고, 평행압력 검지기(17)의 출력에서 평행압력을 검지하며 수직변위계(17)의 출력에서 홈깊이를 검지한다. 또 검지한 수직압력, 평행압력 및 홈깊이의 변화를 그래프화하고, 디스플레이에 표시하거나 프린터로 인자한다.
도막부착강도·전단강도측정은 다음의 순서로 행한다.
(1) 시료 S의 도막면이 수평이 되는 자세로 시료 S를 고정구(22)로 시료대(23)에 고정한다. 손잡이(30)를 돌려 회전대(8)를 회전시키고, 절단날(18) 의 선단을 시료 S의 표면에 평행하게 맞춘다. 또한 회전대(8) 대신에 경사형 시료대를 이용한 경우는 시료 S의 도막면을 절단날(18)의 선단에 평행하게 맞춘다.
(2) 수직이동모터(12)에 의해 절단날(18)을 하강시키고, 절단날(18)을 시료 S의 도막면에 소정의 하중(예를들어 1g)으로 밀어붙인다. 그리고 이 때의 수직변위계(17)의 출력을 홈깊이 "0"으로 한다.
(3) 평행이동 모터(5) 및 수직이동 모터(12)에 의해 절단날(18)을 수평 및 수직방향으로 이동시키고, 도 2와 같이 절단날(19)을 시료 S의 도막에 박히도록 하여 도막을 절삭한다. 또한 압력에 의해 압력검지기(15)(17)가 변형해도 평행사변형의 원리로 절단날 고정면은 늘 평행하게 되므로 시료 S에 대한 절단날(18)의 설정각도는 일정하게 유지된다.
(4) 수직압력 검지기(15)의 출력에서 수직압력(반발력)을 검지하고, 평행압력 검지기(17)의 출력에서 평행압력(절삭저항력)을 검지하며, 수직변위계(17)의 출력에서 홈깊이를 검지한다. 그리고 수직압력, 평행압력 및 홈깊이의 변화를 관찰한다.
또한 평행압력 검지기(17)에 걸리는 수직압력이 평행압력의 측정에 영향을 주지만 통상은 평행압력에 비교하여 수지압력은 충분히 작기 때문에 영향은 무시할 수 있다. 또 수직압력 검지기(15)에 걸리는 평행압력이 수직압력의 측정에 영향을 주지만 미리 평행압력의 영향을 측정해 두어 그것으로 오프셋으로 하여 보정하면 영향을 제거할 수 있다. 또 측정치의 절대치로 평가하는 것이 아니라 상대치로 평가하도록 하면 영향을 고려할 필요는 없다.
이상의 도막부착강도·전단강도 측정장치(100)에 의하면 다음의 효과를 얻을 수 있다.
(1) 절단날(18)과 평행압력 검지기(17) 사이에 접동안내축이 개재하지 않기 때문에 접동저항이 가해지지 않아 정확하게 평행압력을 측정할 수 있다. 또 절단날(18)과 수직압력 검지기(15) 사이에 접동안내축이 개재하지 않기 때문에 접동저항이 가해지지 않아 정확하게 수직압력을 측정할 수 있다.
(2) 접동안내축의 갭이 홈깊이나 절삭면에 악영향을 주는 경우가 없어진다.
(3) 접동안내축이 없기 때문에 구조가 간단하여 원가가 낮아진다.
또한 넛트부(14)에 평행압력 검지기(17)의 일단을 고정하고, 평행압력 검지기(17)의 타단에 연결구(16)를 통해 수직압력 검지기(15)의 제 1단을 고정하며, 수직압력 검지기(15)의 제 2단에 절단날(18)을 고정해도 된다.
- 제 1실시예 -
도 3은 제 1실시예에 관한 도막부착강도·전단강도 측정장치의 정면설명도이다.
이 도막부착강도·전단강도 측정장치(200)에 있어서 지지부재(1)에 압전소자 구동미동 스테이지(30h)가 고정된다.
이 압전소자 구동미동 스테이지(30h)는 압전소자 구동에 의해 스테이지(36h)가 프레임(35h)에 대해 일방향으로 상대이동하는 장치(상품명 나노스테이지;주식회사 나노콘트롤)이다.
압전소자 구동미동 스테이지(30h)는 상대이동방향이 수평이 되도록 프레임(35h)을 지지부재(1)에 고정되어 있기 때문에 스테이지(36h)가 지지부재(1)에 대해 수평이동하게 된다. 스테이지(36h)의 수평이동범위는 예를들어 300㎛이다.
압전소자 구동미동 스테이지(30h)의 스테이지(36h)에는 연결봉(32)의 하단측이 고정된다.
연결봉(32)의 타단측에는 압전소자 구동미동 스테이지(30v)가 고정된다.
이 압전소자 구동미동 스테이지(30v)는 압전소자 구동에 의해 스테이지(36v)가 프레임(35v)에 대해 일방향으로 상대이동하는 장치(상품명 나노스테이지; 주식회사 나노콘트롤)이다.
압전소자 구동미동 스테이지(30v)는 상대이동방향이 수직이 되도록 스테이지(36v)가 연결봉(32)에 고정되므로 프레임(35v)이 지지부재(1)에 대해 수직이동하게 된다. 프레임(35v)의 수직이동범위는 예를들어 100㎛이다.
압전소자 구동미동 스테이지(30v)의 프레임(35v)에는 수직압력 검지기(15)의 일단이 고정된다.
수직압력 검지기(15)는 계측용 로드셀(상품명 CB17; 미네베어 주식회사)이며, 타단에 걸리는 수직방향의 압력을 검지한다.
수직압력 검지기(15)의 타단에는 연결구(16)를 통해 평행압력 검지기(17)의 제 1단이 고정된다.
평행압력 검지기(17)는 계측용 로드셀(상품명 CB ; 미네베어 주식회사)로 제 2단에 걸리는 수평방향의 압력을 검지한다.
평행압력 검지기(17)의 제 2단에는 절단날(18)이 고정된다.
평행압력 검지기(17)의 절단날 고정부에는 지지구(20)를 통해 수직변위계(19)가 고정된다.
시료 S는 도장판으로 도막면을 수평으로 하고, 시료대(23)와 고정구(22)로 고정된다.
압전소자 구동미동 스테이지(30h)(30v)는 출력인터페이스(38a)(상품명 나노서보 콘트롤러 ; 주식회사 나노콘트롤)를 통해 퍼스널 컴퓨터(28)에 접속된다.
수직압력 검지기(15), 평행압력 검지기(17) 및 수직변위계(19)는 입력인터페이스(28b)를 통해 퍼스널 컴퓨터(28)에 접속된다.
퍼스널 컴퓨터(28)는 조작자의 지시에 따라 압전소자 구동미동 스테이지(30h)(30v)를 구동하고, 시료 S의 도막을 절삭한다. 그리고 그 때의 수직압력 검지기(15)의 출력에서 수직압력을 검지하고, 평행압력 검지기(17)의 출력에서 평행압력을 검지하며 수직변위계(17)의 출력에서 홈깊이를 검지한다. 또 검지한 수직압력, 평행압력 및 홈깊이의 변화를 그래프화하여, 디스플레이로 표시하거나 프린터로 인자한다.
도막부착강도 : 전단강도측정은 다음의 순서로 행한다.
(1) 시료 S의 도막면이 수평이 되는 자세로 시료 S를 고정구(22)로 시료대(23)에 고정한다. 손잡이(30)를 돌려 회전대(8)를 회전시키고, 절단날(18)의 선단을 시료 S의 표면에 평행하게 맞춘다. 또한 회전대(8)대신에 경사형 시료대를 이용한 경우는 시료 S의 도막면을 절단날(18)의 선단에 평행하게 맞춘다.
(2) 압전소자 구동미동 스테이지(30v)에 의해 절단날(18)을 하강시키고, 절단날(18)을 시료 S의 도막면에 소정의 하중(예를들어 1g)으로 밀어부친다. 그리고 이 때의 수직변위계(17)의 출력을 홈깊이 "0"으로 한다.
(3) 압전소자 구동미동 스테이지(30h)(30v)에 의해 홈(18)을 수평 및 수직방향으로 이동시키고, 도 2와 같이 절단날(18)을 시료 S의 도막에 박히게 하여 도막을 절삭한다. 또한 압력에 의해 압력검지기(15)(17)가 변형해도 평행 사변형의 원리로 절단날 고정면은 늘 평행하게 되므로 시료 S에 대한 절단날(18)의 설정각도는 일정하게 유지된다.
(4) 수직압력 검지기(15)의 출력에서 수직압력(반발력)을 검지하고, 평행압력 검지기(17)의 출력에서 평행압력(절삭저항력)을 검지하며 수직변위기(17)의 출력에서 홈깊이를 검지한다. 그리고 수직압력, 평행압력 및 홈깊이의 변화를 관찰한다.
이상의 도막부착강도·전단강도 측정장치(200)에 의하면 압전소자 구동미동 스테이지(30h)(30v)를 이용하고 있기 때문에 지지부재(1)로부터 절단날(18)까지 전혀 클리어런스없이 일체화할 수 있어 매우 정밀한 측정이 가능하게 된다.
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본 발명의 도막부착강도·전단강도 측정장치에 의하면 부착강도와 전단강도를 정밀하게 측정할 수 있다. 또 구조가 간단하여 원가가 낮아지게 된다. 또한 경량이 되므로 포터블형에도 가능하다.

Claims (4)

  1. 시료에 부착한 도막을 절단날로 절삭하고, 상기 절단날에 가해지는 도막면에 수직방향의 힘과 도막면에 평행한 방향의 힘을 검지하여 도막의 부착강도나 전단강도를 측정하는 장치로서,
    시료를 고정하기 위한 대(台)와, 고정부와 이동부를 가지고 상기 고정부가 상기 대에 고정되어 상기 이동부가 압전소자에 의해 수직방향 및 평행방향으로 이동가능한 2방향 가동수단과,
    상기 2방향 가동수단의 상기 이동부에 일단이 고정된 평행사변형형의 수직압력 검지기와,
    상기 수직압력 검지기의 타단에 제1단이 고정된 평행사변형형의 평행압력 검지기와,
    상기 평행압력 검지기의 제2단에 고정된 절단날과,
    수직변위계를, 구비하고,
    상기 2방향 가동수단으로부터 상기 절단날까지의 사이에 접동부분을 포함하지 않고, 또한 상기 수직압력 검지기에 의해 상기 절단날에 가해지는 상기 수직방향의 압력을 검지하는 동시에 상기 평행압력 검지기에 의해 상기 절단날에 가해지는 상기 평행방향의 압력을 검지하며, 또한 상기 수직변위계에 의해 홈깊이를 검지하는 것을 특징으로 하는 도포부착강도·전단강도 측정장치.
  2. 시료에 부착한 도막을 절단날로 절삭하고, 상기 절단날에 가해지는 도막면에 수직인 방향의 힘과 도막면에 평행한 방향의 힘을 검지하여 도막의 부착강도나 전단강도를 측정하는 장치로서,
    시료를 고정하기 위한 대와, 고정부와 이동부를 가지며 상기 고정부가 상기 대에 고정되어 상기 이동부가 압전소자에 의해 평행방향 및 수직방향으로 이동가능한 2방향 가동수단과,
    상기 2방향 가동수단의 상기 이동부에 일단이 고정된 평행사변형형의 평행압력 검지기와,
    상기 평행압력 검지기의 타단에 제1단이 고정된 평행사변형형의 수직압력 검지기와,
    상기 수직압력 검지기의 제2단에 고정된 절단날과,
    수직변위계를 구비하고,
    상기 2방향 가동수단으로부터 상기 절단날까지의 사이에 접동부분을 포함하지 않고, 또한 상기 수직압력 검지기에 의해 상기 절단날에 가해지는 상기 수직방향의 압력을 검지하는 동시에 상기 평행압력 검지기에 의해 상기 절단날에 가해지는 상기 평행방향의 압력을 검지하며, 또한 상기 수직변위계에 의해 홈 깊이를 검지하는 것을 특징으로 하는 도막부착강도·전단강도 측정장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 수직압력 검지기로 검지한 수직압력, 상기 평행압력 검지기로 검지한 평행압력 및 상기 수직변위계로 검지한 홈깊이의 변화를 그래프화하는 그래프화수단을 구비한 것을 특징으로 하는 도막부착강도·전단강도 측정장치.
  4. 삭제
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