KR100909370B1 - 구리박막 제조방법 및 구리박막 형성장치 - Google Patents
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Abstract
Description
불순물 | 종래의 구리박막 | 본 실시예의 구리박막 |
C | 9×1019 | 1.5×1018 |
O | 1.3×1021 | 1×1019 |
F | 6×1019 | 4×1017 |
Claims (11)
- 기판을 수용하여 감압상태로 되어 있는 기판처리실내에 원료가스를 도입하여 상기 기판에 구리박막을 형성하는 구리박막 제조방법에 있어서, 성막초기에 상기 기판처리실내로 첨가가스 도입을 행한 후, 상기 원료가스의 상기 기판처리실내로의 도입을 개시하여 상기 기판처리실내로의 상기 원료가스 도입에 보태어 상기 첨가가스 도입을 행하고, 이후, 상기 첨가가스 도입을 정지함과 동시에 상기 원료가스 도입을 계속하여 구리박막 형성을 행하는 것을 특징으로 하는 구리박막 제조방법.
- 기판을 수용하여 감압상태로 되어 있는 기판처리실내에 원료가스를 도입하여 상기 기판에 구리박막을 형성하는 구리박막 제조방법에 있어서, 성막초기에 상기 원료가스 도입에 보태어 첨가가스 도입을 행하고, 이후, 상기 첨가가스 도입을 정지함과 동시에 상기 원료가스 도입을 계속하고, 미리 정해진 간격마다 상기 첨가가스 도입을 행하여 구리박막 형성을 행하는 것을 특징으로 하는 구리박막 제조방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 기판처리실내로 상기 첨가가스 도입을 행한 후, 상기 원료가스의 기판 처리실내로의 도입이 개시되어 성막이 개시되는 것을 특징으로 하는 구리박막 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 첨가가스는 물을 증발시킨 수증기, 알콜유도체를 증발시킨 가스, 카르복실산 유도체를 증발시킨 가스, β-디케톤유도체를 증발시킨 가스의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 구리박막 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 첨가가스는 용존 산소를 제거하는 처치가 실시된 물을 증발시킨 수증기, 용존산소를 제거하는 처치가 실시된 알콜유도체를 증발시킨 가스, 용존산소를 제거하는 처치가 실시된 카르복실산유도체를 증발시킨 가스, 용존산소를 제거하는 처치가 실시된 β-디케톤유도체를 증발시킨 가스의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 구리박막 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 첨가가스의 상기 기판 처리실내로의 도입은 상기 기판처리실에 접속되어 있는 가스 봄베에 충전되어 있는 물을 증발시킨 수증기를 상기 가스 봄베에서 상기 기판처리실내에 도입하는 것을 특징으로 하는 구리박막 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 원료가스는 [트리메틸비닐실릴]헥사플루오로아세틸아세톤산염구리(I)(Cu(hfac) (tmvs))을 기화시킨 가스인 것을 특징으로 하는 구리박막 제조방법.
- 내부를 감압상태로 유지하는 것이 가능한 기판처리실과, 상기 기판처리실내에서 기판을 지지하는 기판지지기구와, 상기 기판을 소정온도로 유지하는 기판온도제어기구와, 액체원료 또는 고체원료를 기화시켜서 원료가스로 하고, 상기 기판처리실내에 상기 원료가스를 공급하는 원료가스 도입기구를 구비한 구리박막 형성장치에 있어서,액체 첨가물 중의 용존산소를 제거하는 기구와, 상기 용존산소가 제거된 액체첨가물을 증발시키는 기구로 되어 있는 첨가가스 도입기구가 유량제어기구를 통하여 상기 기판처리실에 접속되어 있고,상기 유량제어기구는 성막초기에 상기 첨가가스 도입기구로부터의 상기 첨가가스를 상기 기판처리실내로 도입한 후, 상기 원료가스 도입기구에 의한 상기 기판처리실내로 상기 원료가스의 도입을 개시하고, 그 후 상기 기판처리실내로의 상기 첨가가스 도입을 정지하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 구리박막 형성장치.
- 내부를 감압상태로 유지하는 것이 가능한 기판처리실과, 상기 기판처리실내에서 기판을 지지하는 기판지지기구와, 상기 기판을 소정온도로 유지하는 기판온도제어기구와, 액체원료 또는 고체원료를 기화시켜서 원료가스로 하고, 상기 기판처리실내에 상기 원료가스를 공급하는 원료가스 도입기구를 구비한 구리박막 형성장치에 있어서,액체 첨가물 중의 용존산소를 제거하는 기구와, 상기 용존산소가 제거된 액체첨가물을 증발시키는 기구로 되어 있는 첨가가스 도입기구가 유량제어기구를 통하여 상기 기판처리실에 접속되어 있고,상기 유량제어기구는 상기 원료가스 도입기구에 의한 상기 기판처리실내로의 상기 원료가스의 도입에 보태어 상기 첨가가스 도입기구로부터 상기 기판처리실내로의 첨가가스의 도입을 행하고, 그 후 상기 기판처리실내로의 상기 첨가가스의 도입을 정지함과 동시에 상기 원료가스 도입기구에 의한 상기 기판처리실내로의 상기 원료가스의 도입을 계속하고, 미리 정해진 간격마다 상기 첨가가스 도입기구로부터 상기 기판처리실로의 첨가가스 도입을 행하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 구리박막 형성장치.
- 내부를 감압상태로 유지하는 것이 가능한 기판처리실과, 상기 기판처리실내에 있어서 기판을 지지하는 기판지지기구와, 상기 기판을 소정온도로 유지하는 기판온도제어기구와, 액체원료 또는 고체원료를 기화시켜서 원료가스로 하고, 상기 기판처리실에 원료가스를 공급하는 원료가스 도입기구를 구비한 구리박막 형성장치에 있어서,물을 증발시킨 수증기가 충전되어 있는 가스 봄베가 유량제어기구를 통하여 상기 기판처리실에 접속되어 있고,상기 유량제어기구는 성막초기에 상기 가스 봄베로부터의 상기 수증기를 상기 기판처리실내로 도입한 후, 상기 원료가스 도입기구에 의한 상기 기판처리실내로 상기 원료가스의 도입을 개시하고, 그 후 상기 기판처리실내로의 상기 수증기의 도입을 정지하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 구리박막 형성장치.
- 내부를 감압상태로 유지하는 것이 가능한 기판처리실과, 상기 기판처리실내에 있어서 기판을 지지하는 기판지지기구와, 상기 기판을 소정온도로 유지하는 기판온도제어기구와, 액체원료 또는 고체원료를 기화시켜서 원료가스로 하고, 상기 기판처리실에 원료가스를 공급하는 원료가스 도입기구를 구비한 구리박막 형성장치에 있어서,물을 증발시킨 수증기가 충전되어 있는 가스 봄베가 유량제어기구를 통하여 상기 기판처리실에 접속되어 있고,상기 유량제어기구는 상기 원료가스 도입기구에 의한 상기 기판처리실내로의 상기 원료가스의 도입에 보태어 상기 가스 봄베로부터 상기 기판처리실내로의 상기 수증기의 도입을 행하고, 그 후 상기 기판처리실내로의 상기 수증기의 도입을 정지함과 동시에 상기 원료가스 도입기구에 의한 상기 기판처리실내로의 상기 원료가스의 도입을 계속하고, 미리 정해진 간격마다 상기 가스 봄베로부터 상기 기판처리실로의 상기 수증기 도입을 행하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 구리박막 형성장치.
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