KR100855163B1

KR100855163B1 - 구금 및 액체의 도포 장치 및 도포 방법

Info

Publication number: KR100855163B1
Application number: KR1020027011142A
Authority: KR
Inventors: 이께우찌히데끼; 요시야마다까시; 히가시다요시히사; 우에다마사노리; 시미즈야스끼
Original assignee: 도레이 가부시끼가이샤
Priority date: 2000-12-27
Filing date: 2001-12-26
Publication date: 2008-08-29
Also published as: US20040065254A1; JPWO2002053297A1; CN1406156A; TWI271767B; CN1267205C; JP4055580B2; KR20020080440A; US7090725B2; WO2002053297A1

Abstract

도포 대상물에 도액을 도포하는 복수의 토출공이 대략 일직선형으로 배열되는 동시에, 내부에 도액 수용부를 갖는 구금에 있어서, 상기 도액 수용부에 토출공의 배열 방향에 대략 직교하는 방향으로 연장되는 지주를 설치한 것을 특징으로 하는 구금이다. 또한, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에, 상기 세로 격벽과 대략 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 방법 및 장치이다.

도포, 도액, 토출공, 지주, 구금, 도액 공급구, 토너먼트형 유로, 공급 유량 조정 제어 밸브, 기재, 테이블, 격벽, 플라즈마 디스플레이 패널

Description

구금 및 액체의 도포 장치 및 도포 방법{MOUTHPIECE AND DEVICE AND METHOD FOR APPLYING COATING FLUID}

본 발명은 도액을 도포하기 위한 구금 및 그 구금을 이용하여 기재의 표면에 페이스트상의 도액을 도포하는 도액의 도포 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 특히 플라즈마 디스플레이 패널(이하, PDP라고 약칭하는 경우도 있다.) 액정 칼라 필터(이하, LCM이라 약칭하는 경우도 있다.), 광학 필터, 프린트 기판, 반도체 등의 제조 분야에 적용하여 최적인 것으로, 특히 고점도 도액을 도포하는 PDP 제조 공정에서의 유리 기판 등의 피도포 대상물 표면에 비접촉으로 도액을 토출하면서 박막 패턴을 형성하는 도액의 도포용 구금 및 도액의 도포 장치 및 도포 방법에 적합한 것이다.

근년에 디스플레이는 그 방식에 있어서 차츰 다양화되어 가고 있다. 현재 주목받고 있는 것중의 하나가 종래의 브라운관보다 대형이며 박형 경량화가 가능한 플라즈마 디스플레이이다. 이것은 전면판과 배면판의 사이에 형성된 방전 공간 내에서 방전을 발생시키고, 이 방전에 의해 크세논 가스로부터 파장 147nm을 중심으로 하는 자외선이 발생하고, 이 자외선이 형광체를 여기하는 것으로 표시가 가능해진다. 적(R), 녹(G), 청(B)으로 발광하는 형광체를 나누어 칠한 방전 셀을 구동 회로에 의해 발광시킴으로써, 플 칼라 표시에 대응할 수 있다.

또한, 최근 활발하게 진행되고 있는 AC형 플라즈마 디스플레이는 표시 전극/유전체층/보호층을 형성한 전면 유리판과, 어드레스 전극/유전체층/격벽층/형광체층을 형성한 배면 유리판을 접합하고, 스트라이프형인 격벽으로 나누어진 방전 공간 내에 He-Xe 또는 Ne-Xe의 혼합 가스를 봉입한 구조를 가지고 있다.

R, G, B의 각 형광체층은 분말형의 형광체 입자를 주성분으로 하는 형광체 페이스트가 배면판에 형성된 각 색상마다 한 방향으로 연장되는 격벽에 의해 형성된 요철부의 오목부에 스트라이프형으로 충전되어 있다.

형광체가 스트라이프형으로 구성되어 있는 구조는 스트라이프형 블랙 매트릭스식의 칼라 수상관의 패널도 가지고 있다.

이와 같은 구조의 것을 높은 생산성과 고품질로 제조하려면 형광체를 일정한 패턴형으로 나누어 칠하는 기술이 중요하게 된다.

예를 들면, 특개평10-27543(미국 특허 제5921836호)에는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽간을 대상으로 도포 구금으로 도포하는 방법이 개시되고 있다.

이 구금에 있어서는, 복수의 토출공이 일정 간격을 두고 대략 일직선형으로 창설되어 있으며, 구금 내부에는 도액 수용부를 가지고 있다.

또한, 구금 상부에는 도액 수용부에 도액을 공급하는 도액 공급구가 설치되어 있다.

상기와 같은 구금에 있어서는, 도액 공급구로부터 도액이 공급되면 도액 수용부의 내압이 상승하고, 이에 따라 소정량의 도액이 토출공으로부터 토출되어 기 재 표면에 도액이 도포되도록 되어 있다.

그러나 상기와 같은 구금에 있어서는, 도액 수용부에 도액이 공급되어 반복하여 도액 수용부의 내압이 상승되면, 구금이 벌어져 변형될 우려가 있다. 특히 토출공이 다수 배열되는 가늘고 긴 형상의 구금에 있어서는, 수압(受壓) 면적이 커지기 때문에 변형이 발생되기 쉽다. 구금이 변형되면 토출공도 변형될 가능성이 있고 도액의 토출량 등에 분산이 발생하여, 기재 표면에 균일하게 도액을 도포할 수 없게 될 우려가 있다. 또한 구금의 다른 양태로서, 토출공을 형성한 부재와 도액 수용부를 형성하는 부재가 별도 부재이며, 이들을 볼트 체결, 용접 혹은 접착으로 접합한 구성의 것도 있는데, 이 경우 구금의 변형에 따라 그 접합면에 전단 응력이 작용하여 양 부재가 박리되고 구금이 파괴될 가능성도 있다. 또한, 구금 내부의 내압 강도를 향상시키고자 구금의 구성 부재를 육후(肉厚)화하면, 구금 나아가 도포 장치의 경량화, 저비용화의 방향성에 위배된다.

또한, 이 구금은 내부에 도액 수용부와 도액 상부의 공간을 가지며, 이 상부 공간에 압공을 주입하여 그 압력으로 도액을 구금으로부터 압출하는 구조가 필요하다. 왜냐하면, 구금 내에 도액을 충만시켜 펌프 등으로 정량 액송(液送)하는 구조에서는 도액인 형광체 페이스트의 점도가 높은 경우, 도액의 배관 압손(壓損)이 커서 도포 개시 지연이 현저해지기 때문이다.

또한, 상기 도액 상부에 공간을 갖는 구금에서는 형광체 페이스트를 도포 대상물인 기판에 도포한 후, 도포한 양과 동량인 형광체 페이스트량을 다시 구금 내로 공급할 필요가 있다.

그런데, 상기 특개평10-27543호 공보에 개시된 바와 같은 도액의 도포에서는 이하와 같은 문제가 있다.

즉, 형광체 페이스트를 구금 내로 공급할 때, 구금 상부로부터 형광체 페이스트를 단순히 자유 낙하시키는 방법을 채용하면 형광체 페이스트에 기포가 혼입될 우려가 있다. 기포가 혼입되면, 그 기포가 구금의 토출공으로부터 나올 때에 토출한 페이스트가 끊겨 도포 불량을 일으킨다.

또한, 형광체 페이스트를 구금 내에 공급할 때, 한군데에서 공급하게 되면 시간이 걸린다. 또한, 형광체 페이스트가 고점도이면, 액면이 구금 내에서 평탄해지는 데에 시간이 걸린다.

또한, 구금으로부터 토출되는 형광체 페이스트의 토출량은, 구금 내에 수용되어 있는 형광체 페이스트의 헤드와 형광체 페이스트 상부의 공간에 공급되는 압공의 압력의 합에 따라 결정되기 때문에, 토출량을 일정하게 유지하기 위해서도 형광체 페이스트의 액면 높이를 일정하게 유지할 필요가 있다.

특히 복수의 토출공을 갖는 구금의 경우, 형광체 페이스트의 액면 높이를 일정하게 또한 평탄하게 유지하지 않으면 각 토출공으로부터의 토출량에 분산이 발생하여 도포 얼룩 등을 일으킨다. 따라서, 구금 내에는 복수의 도포 공급구로부터 도액을 공급하는 것이 바람직하다.

그러나, 복수의 도액 공급구로부터 도액을 공급하면 도액 얼룩이 발생할 우려가 있다는 것을 알았다. 본원 발명자의 검토에 따르면, 복수의 도액 공급구로부터 공급된 형광체 페이스트는 구금 내의 어느 정해진 위치에서 반드시 합류하여 수 용되는데, 이 합류 부분 부근의 토출공으로부터 토출되는 형광체 페이스트가 도포 얼룩을 일으키고 있다는 것을 알아냈다.

즉, 구금에 형광체 페이스트를 공급할 때, 형광체 페이스트에는 관내 등을 흐를 때에 작용하는 것과 같은 전단 응력이 작용한다. 그리고, 형광체 페이스트와 같은 고점도 페이스트는 그 전단 응력의 크기나 작용하는 시간에 따라 점도 변화가 생긴다. 전단을 받고 구금 내로 공급된 형광체 페이스트의 일부는 반드시 합류 부분에 도달하여 수용된다.

합류하는 부분에서의 형광체 페이스트는 전단 응력의 크기나 그것이 작용하는 시간이 다른 부분에서의 형광체 페이스트와는 달라서, 다른 부분의 형광체 페이스트보다 점도가 현저하게 변화된다. 토출공으로부터 토출시키기 위하여 형광체 페이스트에 압력을 가할 때, 동일 압력 아래에서는 토출량과 페이스트의 점도에는 상관이 있어, 이 결과 이 합류 부분 부근의 토출공으로부터 토출되는 형광체 페이스트의 양은 다른 부분과 달라지게 되어, 도포 얼룩 등의 도포 불량을 일으키는 것이다.

또한, 근년 플라즈마 디스플레이의 분야에서는 휘도나 콘트라스트의 향상 및 에너지 절약화의 요청에 응답하고자, 제1도에 도시된 바와 같이 도액의 도포 방향(제1도의 화살표 방향)으로 연장되는 세로 격벽(101)에 대략 직교하는 방향으로 세로 격벽(101)보다 높이가 낮은 가로 격벽(102)이 형성된 기재(100)도 채용되고 있다(예를 들면, 특개평11-213896호 공보, 특개2000-123747호 공보 등). 이와 같은 기재(100)에서는 세로 격벽(101) 사이에 가로 격벽(102)이 배치되기 때문에, 세로 격벽(101)간의 홈(110)은 오목부(103, 104)를 갖는 격자형으로 형성된다.

또한, 상기와 같은 도액의 도포 방법은 홈부(110)에 형광체를 포함하는 페이스트형의 도액(108)을 도포하여 건조 경화시켜 형광체를 형성하는 것인데, 플라즈마 디스플레이용 발광 기판에서 격벽(101)간의 발광을 양호하게 수행시키려면, 격벽(101)간에서 발생한 방전을 형광체에 효율 좋게 작용시켜, 형광체에서 발생한 광을 효율 좋게 취출해야만 한다. 이를 위한 형광체층의 형상으로는 격벽(101)의 벽면과 홈부의 바닥 전면에 걸쳐 넓은 범위에서 형광체층이 존재하고 있는 것이 바람직하다. 따라서, 도액(108)을 홈부(110)에 가득 넣는 것이 바람직하다.

그러나, 종래의 스트라이프형의 홈부를 갖는 기재로의 도액의 도포 장치, 방법을 그대로 격자형의 홈부를 갖는 기재로의 도액의 도포에 적용하면 이하와 같은 문제가 발생할 우려가 있다. 즉, 제2도에 도시한 바와 같이 각 세로 격벽간에 형성되는 홈부(110)에 페이스트형의 도액을 도포할 때에 구금(105)의 토출공(106)으로부터 토출된 도액은 가로 격벽(102)을 타넘어야 하는데, 가로 격벽(102)의 정부(頂部)와 구금(105)의 토출공(106)을 갖는 토출공 형성판(107)의 면(109)의 사이의 클리어런스가 작아지기 때문에, 도액(페이스트)(108)이 제2도의 점선으로 나타낸 바와 같이 토출공 형성판(107)의 면(109)에 부착될 우려가 있다. 도포중에 도액이 토출공 형성판(107)의 토출공(106)의 근방에 일단 부착되면, 토출공(106)으로부터 토출된 도액은 그쪽으로 끌어 당겨져 토출 거동이 흩어져서 도액이 홈부(110)에 도포되지 않는 도액 누락, 소위 색상 누락이 발생할 우려가 있다.

이에, 본 발명의 과제는 경량화, 저비용화의 요청에 대응하면서 내압성을 향 상시킨 구금을 제공하는 동시에 상기 구금을 적용함으로써, 기재 표면에 균일하게 도액을 도포할 수 있는 도액의 도포 장치 및 도포 방법 및 플라즈마 디스플레이용 기재의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것에 있다.

또한, 상술한 바와 같이 여러 가지 문제점에 착안하여, 복수의 토출공으부터의 도액의 토출, 그에 따른 도포에 얼룩이 생기지 않도록 한 구금 및 그 구금을 이용한 도액의 도포 장치 및 도포 방법, 특히 플라즈미 디스플레이 패널의 격벽과 같이 일정한 요철형의 패턴이 형성된 기재의 복수의 오목부에 도포 구금으로부터 고점도의 형광체 페이스트를 도포할 때에 적정량의 형광체 페이스트를 원하는 균일한 형태로 도포할 수 있도록 한 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 것에 있다.

또한, 표면에 격자형의 홈부가 형성된 기재에 도액을 도포할 때에도 도포 누락(색상 누락)을 방지하여, 기재 표면에 원하는 페이스트 패턴을 확실하게 묘화 형성할 수 있는 도액의 도포 장치 및 도포 방법 및 플라즈마 디스플레이 패널용 기재의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 구금은, 도포 대상물에 도액을 도포하는 복수의 토출공이 대략 일직선형으로 배열되는 동시에 내부에 도액 수용부를 갖는 구금에 있어서, 상기 도액 수용부에 토출공의 배열 방향으로 대략 직교하는 방향으로 연장되는 지주를 설치한 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다.

상기 구금은, 예를 들면 토출공이 형성된 토출공 형성 부재와, 도액 수용부를 형성하는 도액 수용부 형성 부재를 접합하고, 도액 수용부 형성 부재의 상부를 폐색하는 덮개 부재를 접합하는 것으로 구성할 수 있다.

상기 지주는 토출공의 배열 방향에 따른 방향으로 동일 간격으로 복수개 배치하는 것이 바람직하다. 이와 같이 지주를 배치하면 토출공의 배열 방향에 따르는 방향에 대하여 구금의 내내압 강도를 균일하게 향상시킬 수 있다. 또한, 지주는 도액 수용부 형성 부재에 일체로 형성하는 것도 가능하다.

본 발명에 관한 구금은 광범위한 기술 분야에 적용할 수 있는데, 특히 기재를 고정하는 테이블과, 상기 지재에 대향하여 설치되며 기재에 소정량의 도액을 도포하는 구금과, 테이블과 구금을 3차원적으로 상대 이동시키는 이동 수단을 구비한 기재로의 도액의 도포 장치에 이용하여 최적인 것이다.

특히 구금의 상대 이동 방향과 수직인 방향의 치수를 기재의 도포 영역보다 길게 할 필요가 있는 도액의 도포 장치에 이용하여 최적인 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 도액의 도포 방법은, 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치되며 복수의 토출공이 대략 일직선형으로 배열된 구금을 상대적으로 이동시키면서 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재에 도액을 도포하는 방법에 있어서, 상기 구금 내부에 형성된 도액 수용부에 토출공의 배열 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 지주를 설치한 구금을 이용하여 도포하는 것을 특징으로 하는 방법으로 이루어진다.

상기 기재로는, 예를 들면 표면에 스트라이프형의 오목부 또는 격자형의 오목부가 복수 형성되고, 상기 오목부에 적색, 청색, 녹색중의 어느 하나의 색상의 형광체를 포함하는 페이스트의 도액이 도포되는 플라즈마 디스플레이용 발광 기판 을 들 수 있다.

상기와 같은 구금에서는 도액 수용부에 토출공의 배열 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 지주가 설치되어 있으므로, 도액 수용부 형성 부재를 내측으로부터 확장하고자 하는 힘에 대한 강도를 향상시킬 수 있다. 따라서 경량화, 저비용화의 요청에 대응하면서 구금의 내압(內壓)에 대한 내압(耐壓) 강도를 대폭적으로 향상시킬 수 있어 구금의 변형 등을 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 지주를 토출공의 배열 방향에 따른 방향으로 동일 간격으로 복수개 배치하면, 구금의 내압에 대한 내압 강도를 구금의 길이 방향에 있어서 균일하게 향상시킬 수 있다. 따라서, 상기 구금을 적용한 도액의 도포 장치 및 도포 방법에 따르면 구금의 변형 등을 확실하게 방지할 수 있으므로, 기재의 표면에 도액을 균일하게 도포할 수 있다.

또한 본 발명에 관한 구금은, 도액을 수용하는 도액 수용부와, 상기 도액 수용부의 내측으로부터 외측으로 개구하는 복수의 토출공과, 상기 도액 수용부에 도액을 공급하기 위한 복수의 도액 공급구를 가지고, 각 도액 공급구에는 그 상류의 도액 공급원으로부터의 도액의 흐름을 분기시켜 도액을 각 도액 공급구에 공급하기 위한 토너먼트형 유로에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다. 즉, 구금의 도액 수용부 내에 도액을 공급할 때, 복수의 도액 공급구의 공급 유량을 갖추기 위하여, 도액은 도액 공급원으로부터 토너먼트형 유로를 통해 각 도액 공급구로 흘려 보내지도록 되어 있다.

또한, 상기 도액 공급구의 선단은 파이프 형상으로 형성되어 있으며, 그 선단은 도액 수용부 내의 도액중에 잠기도록 설치되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 도액을 공급할 때, 특히 기포가 혼입되지 않도록 공급구를 파이프 형상으로 하고, 그 선단이 도액중에 잠겨있는 구조이다.

또한, 이웃하는 도액 공급구의 간격은 모두 동일한 것이 바람직하다. 즉, 각 도액 공급구로부터의 공급 유량이 같고 도액 액면 높이의 평탄성을 고려한다면, 이웃하는 도액 공급구의 간격은 모두 동일한 것이 바람직하다.

또한, 상기 토너먼트형 유로는 파이프로 구성할 수도 있고, 홈을 형성한 판재를 접합하여 구성할 수도 있다. 특히 후자의 구성에서는 접합한 판재를 분리하여 용이하게 유로 내부를 세정할 수 있으므로 세정성이 우수하다.

또한, 도액 공급구의 상류에는 도액의 공급 유량을 조정 제어하는 공급 유량 조정 제어 밸브를 설치할 수 있다. 또한, 이웃하는 도액 공급구의 적어도 한쪽의 도액 공급구의 상류에 유량 조정 제어 밸브를 설치한 구성을 채용할 수도 있다. 이 공급 유량 조정 제어 밸브란, 단순히 밸브를 개폐시키는 것이거나 혹은 조리개 요소가 있어, 한 번의 개방시에 경시적으로 공급 유량을 변화시키거나, 한 번의 개방시에서는 공급 유량을 바꾸지 않고 사이클적으로 공급 기회 때마다 공급 유량을 변화시키거나 할 수 있는 밸브를 뜻한다. 이와 같은 구성을 취하면, 각 도액 공급구로부터 공급되는 도액이 도액 수용부 내에서 합류하는 위치를 흔드는(이동시키는) 것이 가능해진다. 즉, 각 도액 공급구로부터의 공급 유량의 조정 제어 밸브에 변화를 지니게 하면(공급의 기회마다 혹은 경시적) 합류하는 위치를 이동시킬 수 있다. 또한, 이웃하는 도액 공급구의 적어도 한쪽의 도액 공급 유량에 변화를 지니게 하면, 합류하는 위치를 이동시킬 수 있다. 이로써, 합류 위치에 고여있었던 혹은 고이려고 하는 도액에 자극을 가할 수 있어 도액의 점도가 현저하게 변화되는 일이 없어 도포 얼룩은 발생하지 않는다.

또한 상기와 다른 형태로, 합류하는 위치를 이동시킬 수도 있다. 예를 들면, 상기 복수의 도액 공급구가 2개의 그룹으로 나누어지고, 각각의 그룹에 대하여 토너먼트형 유로가 형성되어 있는 구조를 채용할 수 있다. 즉, 동일 그룹중의 도액 공급구로부터 공급되는 공급량은 각 토너먼트형 유로에 의해 맞추어진다. 가령, 도액 공급구가 4부분에서 직선형으로 배치되고, 각 공급구는 ①②③④의 순으로 나열되어 있다고 한다. 그리고 이들을 ①과 ②, ③과 ④라는 2개의 그룹으로 나누고, 각각의 그룹으로 토너먼트형 유로를 형성하고 있다고 한다. 이로써, 4부분 동시에 공급할 수도 있고 ①과 ②만, 혹은 ③과 ④로만 공급할 수 있다. ①②③④ 동시에 공급하는 경우, 각각의 도액 공급구의 사이에는 도액이 합류하는 부분(경계)이 발생하여, 그곳부터 토출되는 도액이 도포 얼룩을 일으킨다. 이에, 합류하는 부분을 이동시키기(흐리기) 위하여 먼저 ①과 ②에서만 공급하면, ①과 ②의 사이에 합류 부분이 발생하지만 ③과 ④에서는 공급하고 있지 않으므로, 시간과 함께 도액이 ③과 ④의 방향으로 흘러 ①과 ②가 합류하는 경계도 이동하여 흐려진다. 이로써 도액 얼룩은 없어진다. 그러나, 계속 ①과 ②에서만 공급하면, 도액이 고점도라면 흐르기 힘들기 때문에, ③④측의 도액이 없어지거나 혹은 ①②측과 ③④측에서 도액의 액면 높이가 크게 달라져 도포 불량이 발생한다. 따라서, 이렇게 되지 않도록 이번에는 ③과 ④로부터 공급하도록 전환한다. 즉, ①과 ②만, ③과 ④만의 공급을 임의의 횟수 교대로 계속하면 합류 위치는 그 때마다 이동 하여 도포 얼룩은 발생하지 않는다. 또한, 복수의 도액 공급구를 2개의 그룹으로 나누어 언급했으나, 2개 이상의 그룹이라면 상관이 없으며 동일한 효과가 얻어진다.

혹은, 상기 도액 공급구가 4부분 이상 설치되고, 직선형으로 배치된 도액 공급구가 하나 건너 2개의 그룹으로 나누어지고, 각각의 그룹에 대하여 토너먼트형 유로가 형성되어 있는 구조로 할 수도 있다. 즉, 상기와 마찬가지로 도액 공급구가 4부분인 경우, ①과 ③, ②와 ④가 동일 그룹이 되어 토너먼트형 유로로 연결되어 있다. 이로써, 4부분 동시에 공급할 수도 있고, ①과 ③만 혹은 ②와 ④에서만 공급할 수 있다. 가령, ①②③④의 간격을 동일하게 한 경우, 먼저 ①과 ③에서만 공급하면 도액은 ②의 위치에서 합류하게 된다. 마찬가지로, ②와 ④에서만 공급하면 도액은 ③의 위치에서 합류하게 된다. 즉, 한쪽 그룹(①과 ③)으로부터 공급하면 그 사이의 합류하는 위치(②)에서 도포 얼룩이 발생하는 것인데, 도포 얼룩이 발생하기 전에 다른 한쪽의 그룹(②과 ④)로부터 공급하면 먼저 발생한 합류 위치를 강제적으로 흩어놓게(이동시키게) 되므로 도포 얼룩은 발생하지 않는다. 전술한 바와 같이 ①과 ③만, ②와 ④만의 공급을 임의의 횟수 교대로 계속하면 된다. 또한 이 구성은 전술한 구성에 비해 액면 높이의 평탄성에는 유리하다. 설명의 편의상, ①②③④는 각각 동일 간격으로 하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 먼저 합류하는 위치에 나중에 직접 공급하면 강제적으로 흩어놓을 수 있지만, 합류하는 위치 부근에서도 합류 위치를 이동시키는 것은 충분히 할 수 있다. 또한, 2개의 그룹의 각각의 토너먼트형 유로의 상류에 도액의 공급 유량을 조정 제어하는 공급 유량 조정 제어 밸브를 설치할 수 있다. 이 공급 유량 조정 제어 밸브란, 단순히 밸브를 개폐시키는 것이거나 혹은 조리개 요소가 있어 한번의 개방시에 경시적으로 공급 유량을 변화시키거나 할 수 있는 밸브를 뜻한다. 이와 같은 구성을 취하면 각각의 그룹으로부터의 공급이나 정지를 용이하게 수행할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 구금은, 복수의 토출공은 직선형으로 배치되고, 복수의 도액 공급구는 토출공의 배열 방향으로 대략 평행하게 직선형으로 배치되어 있는 구성을 취할 수 있다.

본 발명에 관한 도액의 도포 장치는, 기재를 고정하는 테이블과, 기재에 대면하여 설치되며 기재에 소정량의 도액을 도포하는 구금과, 테이블과 구금을 3차원적으로 상대 이동시키는 이동 수단과, 구금으로의 도액의 공급원인 도액 탱크를 갖는 도포 장치에 있어서, 상기 도액 탱크와 구금의 사이에 도액의 공급 유량을 조정 제어하는 공급 유량 조정 제어 밸브와, 상기 공급 유량 조정 제어 밸브의 유량을 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 구금에 전술한 바와 같은 구금을 이용하는 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다.

이와 같은 도액의 도포 장치에 있어서는, 상기 구금의 도액 수용부 내의 도액량을 검출하는 검출 수단을 가지고, 도액량의 검출 결과에 따라 도액 탱크와 구금의 사이의 도액의 공급 유량 조정 제어 밸브를 제어함으로써, 도액 탱크로부터 구금으로의 도액을 공급할 수 있다. 이 도액 수용부 내의 도액량을 검출하는 수단으로는, 예를 들면 도액 액면 높이를 검출하는 센서를 이용할 수 있다.

이와 같은 도액의 도포 장치는, 특히 플라즈마 디스플레이 패널용 기재의 제 조에 유용하다. 즉, 본 발명에 관한 플라즈마 디스플레이 패널용 기재의 제조 장치는 상기 기재가 플라즈마 디스플레이용 발광 기판으로, 상기 도액이 적색, 녹색, 청색중 어느 하나의 색상으로 발광하는 형광체 분말을 포함하는 페이스트이며, 상기와 같은 도포 장치를 이용한 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다.

본 발명에 관한 도액의 도포 방법은, 복수의 토출공을 가지는 구금에 도액 공급원으로부터 도액을 공급하고, 상기 구금을 기재와 대면시켜 구금과 기재를 상대적으로 이동시키고, 상기 구금의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재에 도액을 도포하는 방법으로, 상기 구금은 복수의 도액 공급구를 가지고, 각각의 도액 공급구로부터 공급되는 도액의 도액 수용부 내에서 합류하는 위치가 어느 정해진 위치에 수용되지 않도록 도액을 공급하여 도액을 도포하는 것을 특징으로 하는 방법으로 이루어진다.

이 방법에 있어서는, 복수의 도액 공급구의 각 도액 공급구로부터의 도액의 공급 유량을 경시적으로 변화시켜, 각각의 도액 공급구로부터 공급되는 도액의 도액 수용부 내에서 합류하는 위치가 어느 정해진 위치에 수용되지 않도록 도액을 공급할 수 있다. 또한, 기재로의 도액의 도포와, 상기 구금의 도액 수용부 내로의 도액의 공급을 반복할 때, 각 도액 공급구로부터의 도액의 공급 유량을 공급할 때마다 바꾸어, 각 도액 공급구로부터 공급되는 도액의 도액 수용부 내에서 합류하는 위치가 어느 정해진 위치에 수용되지 않도록 도액을 공급할 수도 있다.

또한 본 발명에 관한 도액의 도포 방법은, 복수의 토출공을 가지는 구금에 도액 공급원으로부터 도액을 공급하고, 상기 구금을 기재와 대면시켜 공급과 기재 를 상대적으로 이동시키고, 상기 구금의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재에 도액을 도포하는 방법으로, 상기 구금에 전술한 바와 같은 구금을 이용하여 도액을 도포하는 것을 특징으로 하는 방법으로 이루어진다.

이 방법에 있어서는, 기재로의 도포와, 상기 구금의 도액 수용부 내로의 도액의 공급을 반복할 때, 각 도액 공급구로부터의 도액의 공급 유량을 공급할 때마다 바꿀 수 있다. 또한, 복수의 도액 공급구가 2개의 그룹으로 나누어져 있는 경우에는 기재로의 도포와, 상기 구금의 도액 수용부 내로의 도액의 공급을 반복할 때, 각 그룹의 도액 공급구로부터의 도액의 공급을 공급의 기회마다 교대로 전환할 수 있다. 이 때, 각 그룹의 도액 공급구로부터의 도액의 공급을, 예를 들면 2회 혹은 그 이상 계속하고, 그 이후는 이 공급 동작을 각 그룹에서 교대로 반복할 수 있다. 또한, 한쪽 그룹의 도액 공급구로부터의 도액의 공급과, 다른 한쪽의 그룹의 도액 공급구로부터의 도액의 공급과, 양쪽 그룹의 도액 공급구로부터의 도액의 공급을 일정한 회수와 주기로 반복할 수도 있다.

이와 같은 도액의 도포 방법에 있어서는, 상기 구금의 도액 수용부 내의 도액량을 검출하고, 그 검출 결과에 따라 상기 구금에 도액을 공급할 수 있다. 본 발명에 관한 플라즈마 디스플레이용 기재의 제조 방법은 상기 기재가 플라즈마 디스플레이용 발광 기판이며, 상기 도액이 적색, 녹색, 청색중 어느 하나의 색상으로 발광하는 형광체 분말을 포함하는 페이스트이고, 상술한 바와 같은 도포 방법을 이용하여 도액을 도포하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법으로 이루어진다.

본 발명에 관한 플라즈마 디스플레이 패널은 상기와 같은 방법에 의해 제조한 플라즈마 디스플레이 패널용 기판을 이용한 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다.

또한 본 발명의 도액의 도포 방법은, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에, 상기 세로 격벽과 대략 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 방법으로, 상기 구금의 토출공의 직경(D), 상기 가로 격벽의 높이(Hh), 상기 구금의 토출공을 갖는 면과, 기재의 세로 격벽과 가로 격벽에 둘러싸여 형성되는 홈부 저면과의 간격(C)이 D + Hh < C의 조건을 충족하는 것을 특징으로 하는 방법으로 이루어진다.

또한, 구금의 토출공이 비원형상으로 형성되어 있는 경우에는 상기 토출공의 도액의 도포 방법에 따르는 방향의 개구 치수(B)가 B + Hh < C의 조건을 충족시키도록 하면 된다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 또 하나의 본 발명의 도액의 도포 방법은, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 기재와, 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 방법으로, 상기 기재와 구금의 상대 속도(V)와, 구금의 토출공으로부터의 도액의 토출 속도(v)가 0 < V/v ≤1의 조건을 충족시키는 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다. 또한 상기 기재는 세로 격벽과 대략 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 것이어도 된다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 또 하나의 다른 본 발명의 도액의 도포 방법은, 표면에 스트라이트형으로 세로 격벽이 형성되는 기재와, 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 방법으로, 상기 구금의 토출공의 면적(a)과, 세로 격벽간에 형성되는 홈부의 단면적(A)이 0 < a/A ≤1의 조건을 충족시키는 것을 특징으로 하는 방법으로 이루어진다.

상기 과제를 해결하기 위한 또 하나의 다른 본 발명의 도액의 도포 방법은, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에, 상기 세로 격벽과 대략 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 방법으로, 상기 구금의 토출공의 면적(a), 세로 격벽간 및 가로 격벽간에 형성되는 홈부의 단면적(A), 세로 격벽 높이(H), 가로 격벽간의 도포 방향의 길이(L), 가로 격벽의 높이(Hh), 가로 격벽 1개의 도포 방향의 길이(Lh), 가로 격벽이 있는 기판과 가로 격벽이 없는 기판의 도포량의 비율(k)이 하기 식 (1), (2)를 충족시키는 것을 특징으로 하는 방법으로 이루어진다.

k = 1 -(Hh/H)·(Lh/(L+Lh))···(1)

0 < a/(k·A) ≤1 ···(2)

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 도액의 도포 장치는, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에 상기 세로 격벽과 대략 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 방법으로, 상기 구금의 토출공의 직경(D), 상기 가로 격벽의 높이(Hh), 상기 구금의 토출공을 갖는 면과 기재 표면의 세로 격벽간 및 가로 격벽간에 형성되는 홈부 저면과의 격벽(C)이 D + Hh < C의 조건을 충족시키도록 상기 직경(D) 및 간격(C)을 규정하는 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 또 하나의 본 발명의 도액의 도포 장치는, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 기재와, 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 도액의 도포 장치로서, 상기 구금의 토출공의 면적(a), 세로 격벽간에 형성되는 홈부의 단면적(A)이 0 < a/A ≤1의 조건을 충족시키도록 면적(a)을 규정하는 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다.

아울러, 상기 과제를 해결하기 위한 또 하나의 다른 본 발명의 도액의 도포 장치는, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에, 상기 세로 격벽의 대략 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 도액의 도포 장치에 있어서, 상기 구금의 토출공의 면적(a), 세로 격벽간 및 가로 격벽간에 형성되는 홈부의 단면적(A), 세로 격벽 높이(H), 가로 격벽간의 도포 방향의 길이(L), 가로 격벽의 높이(Hh), 가로 격벽 1개의 도포 방향의 길이(Lh), 가로 격벽이 있는 기판과 가로 격벽이 없는 기판의 도포량의 비율(k)이 하기 식 (1), (2)를 충족시키도록 상기 면적(a)를 규정하는 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다.

k = 1 - (Hh/H)·(Lh/(L+Lh))···(1)

0 < a/(k·A) ≤1 ···(2)

본 발명의 도액의 도포 방법 및 장치는 광범위한 기술 분야에 적용할 수 있지만, 특히 플라즈마 디스플레이용 발광 기판에 적색, 녹색, 청색중 어나 하나의 색상의 형광체를 포함하는 페이스트형의 도액을 도포하는 장치 및 방법으로서 최적인 것이다.

상기와 같은 도액의 도포 방법 및 장치에 있어서는, 구금의 토출공의 직경(D)와 가로 격벽의 높이(Hh) 및 구금의 토출공 형성판과 기재의 세로 격벽간 및 가로 격벽간에 형성되는 홈부 저면과의 간격(C)는 D + Hh < C의 조건을 충족시킬 필요가 있다. 토출공으로부터 토출된 페이스트형의 도액은 도포 직후에는 어느 정도 그대로의 형상, 즉 토출공의 형상을 유지한 채가 된다. 따라서, 토출공의 직경 (D)라면 직경 (D)와 가로 격벽의 높이 (Hh)의 합이 간격 (C)보다 작지 않다면, 도포 후의 도액이 구금의 토출공 형성판에 부착될 염려는 해소된다. 또한, 구금의 토출공이 비원형상일 때에는 토출공의 도액의 도포 방법에 따른 방향의 개구 치수(B)가 B + Hh < C의 관계를 충족시키면 토출된 페이스트가 구금의 토출공 형성면에 부착되는 문제점을 방지할 수 있다.

또한, 구금과 기재의 상대 이동 속도(V), 토출공으로부터의 도액의 토출 속도(v)는 0 < V/v ≤1일 필요가 있다. 토출고으로부터 토출된 페이스트형의 도액과 구금과 기재의 상대 이동 방향으로 구부러진다. 또한, 상기 페이스트의 구부러짐과 구금의 토출공 형성판의 토출공을 갖는 면의 습윤성의 관계에 의해 도액이 토출공 형성면상을 습윤 확산될 가능성이 있다. 그러나, 일단 도액이 토출공 형성판상을 습윤 확산되면, 토출공으로부터 토출되는 도액이 더욱 토출공 형성면상으로 확산될 염려가 있다. 이 습윤 작용에 저항하여 도액을 기재상에 도포하기 위해서는 도액의 토출 각도를 조정할 필요가 있다. 제3도에 도시한 바와 같이, 기재(100) 또는 구금(105)의 도포 방향(화살표 방향)으로의 이동 속도(V), 토출공(106)으로부터의 페이스트(108)의 토출 속도(v)에 의해 토출 각도(θ)는 tanθ = V/v로 나타낼 수 있다. 즉, θ가 작을수록 도액(108)의 면(109)으로의 부착의 염려는 낮아지고, 실험적으로는 θ= 45°까지라면 면(109)으로의 도액(108)의 부착을 방지할 수 있다는 것이 판명되었다. 따라서, 0 < V/v ≤1의 조건을 충족시킬 필요가 있다.

또한, 도액(108)은 홈부(110) 가득 충전할 필요가 있어, 구금의 토출공의 면적(a), 세로 격벽간에 형성되는 홈부의 단면적 (A)로 하면, 단위 시간당의 도포량(Q)은 Q = a·v = A·V이므로 tanθ = V/v = a/A로 나타낼 수 있다. 따라서 0 < a/A ≤1의 조건을 충족시킬 필요가 있다.

또한, 가로 격벽이 있는 기판의 홈부로의 도포량은 가로 격벽이 없는 기판의 그것보다 가로 격벽의 체적만큼 적어도 된다. 가로 격벽이 있는 기판에 대해서도 가로 격벽이 없는 기판과 마찬가지로 한결같이 페이스트를 도포하는 것이므로, 도포 직후는 가로 격벽상에 페이스트가 퇴적되어 있다. 그러나, 어느 일정 시간 방치하는(레벨링하는) 것으로 가로 격벽상의 페이스트는 가로 격벽간의 홈으로 흘러들어 가로 격벽간의 도포 홈의 충전량이 필요량(가득)이 된다.

여기서, 가로 격벽이 있는 기판의 홈부로의 단위 길이당의 도포량을 Qh, 가로 격벽이 없는 기판의 홈부로의 도포량을 Q로 한다. 제4도에서 홈 폭을 W라고 하면, 단위 길이(Lh + L)당의 Qh는,

Qh = W·H·L + W·(H - Hh)·Lh

또한, 가로 격벽이 없는 경우의 Q는,

Q = W·H·(Lh + L)

따라서, 가로 격벽이 있는 기판의 홈부로의 도포량(Qh)과 가로 격벽이 없는 기판의 홈부로의 도포량(Q)의 비율(k)는,

k = Qh/Q

= 〔W·H·L + W·(H - Hh)·Lh〕/〔W·H·(Lh + L)〕

= 1 - (Hh/H)·(Lh/(L + Lh))

로 나타낼 수 있다. 또한, 이 경우에도 토출각(θ)은 θ=45° 이하로 설정할 필요가 있으므로 0 < a, (k·A) ≤ 1의 조건을 충족시킬 필요가 있다.

제1도는 격자형의 홈부를 갖는 기판의 사시도이다.

제2도는 종래의 도액의 도포 장치의 구금과 기판의 위치 관계를 도시하는 확대 단면도이다.

제3도는 토출 속도와 도포 속도와의 관계를 설명하기 위한 단면도이다.

제4도는 기판의 확대 단면도이다.

제5도는 본 발명의 일 실시 양태에 관한 구금 및 상기 구금을 이용한 도액의 도포 장치의 사시도이다.

제6도는 제5도에서 도시한 도포 장치를 X축 방향에서 본 구금 주변의 개략도이다.

제7도는 오목부의 화상과 화상 처리의 커슬을 도시하는 개략도이다.

제8도는 제5도에 도시한 도포 장치의 구금의 단면도이다.

제9도는 제8도의 구금의 V-V선에 따른 단면도이다.

제10도는 지주와 도액 수용부 형성 부재를 볼트에 의해 접합한 구금의 확대 단면도이다.

제11도는 기판상의 오목부를 상면에서 본 개략도이다.

제12도는 토출공과 오목부의 위치 관계를 도시하는 개략도이다.

제13도는 본 발명의 다른 실시 양태에 관한 구금의 단면도이다.

제14도는 제13도의 구금의 X-X선에 따른 단면도이다.

제15도는 본 발명의 일 실시 양태에 관한 도액의 도포 장치의 전체 사시도이다.

제16도는 제15도의 장치의 테이블과 구금 주위의 구성을 도시하는 모식도이다.

제17도는 본 발명의 일 실시 양태에 관한 구금의 개략 구성도이다.

제18도는 본 발명의 다른 실시 양태에 관한 구금의 개략 구성도이다.

제19도는 본 발명의 또 다른 실시 양태에 관한 구금의 개략 구성도이다.

제20도는 본 발명의 또 다른 실시 양태에 관한 구금의 개략 구성도이다.

제21도는 본 발명의 일 실시 양태에 관한 각 도액 공급구로부터 도액 수용부로의 도액의 공급 유량을 모식적으로 나타낸 도면이다.

제22도는 본 발명의 다른 실시 양태에 관한 각 도액 공급구로부터 도액 수용부로의 도액의 공급 유량을 모식적으로 나타낸 도면이다.

제23도는 본 발명의 또 다른 실시 양태에 관한 구금의 개략 구성도이다.

제24도는 본 발명의 일 실시 양태에 관한 각 도액 공급구로부터 도액 수용부로의 도액의 공급 타이밍, 유량을 모식적으로 나타낸 도면이다.

제25도는 본 발명의 또 다른 실시 양태에 관한 구금의 개략 구성도이다.

제26도는 본 발명의 또 다른 실시 양태에 관한 구금의 개략 구성도이다.

제27도는 제5도의 장치의 구금으로의 도액의 공급 제어 장치의 개략도이다.

제28도는 홈부에 도액이 도포된 기판의 부분 확대 평면도이다.

제29도는 구금의 토출공과 홈부와의 위치 관계를 도시하는 개략도이다.

제30도는 기판의 부분 확대 평면도이다.

제31도는 제5도의 장치의 구금과 기판과의 위치 관계를 도시하는 확대 단면 도이다.

제32도는 제33도의 XI-XI선에 따른 확대 단면도이다.

제33도는 제5도의 구금의 토출공으로부터의 도액의 도포 상태를 도시하는 확대 단면도이다.

제34도는 구금의 토출공 면적(a)과 표면에 세로 격벽을 갖는 기판의 홈부의 단면적(A)과의 관계를 도시하는 관계도이다.

제35도는 구금의 토출공 면적(a)과 표면에 세로 격벽과 가로 격벽을 갖는 기판의 홈부의 단면적(kA)과의 관계를 도시하는 관계도이다.

본 발명은 도포 대상물에 도액을 도포하는 복수의 토출공이 대략 일직선형으로 배열되는 동시에, 내부에 도액 수용부를 갖는 구금으로, 상기 도액 수용부에 토출공의 배열 방향으로 대략 직교하는 방향으로 연장되는 지주를 설치한 구금이다.

상기 구금의 도액 수용부에 도액을 공급하기 위하여 복수의 도액 공급구를 가지고, 각 도액 공급구에는 그 상류의 도액 공급원으로부터의 도액의 흐름을 분기시켜 도액을 각 도액 공급구에 공급하기 위한 토너먼트형 유로에 접속되어 있는 구금이다.

그리고, 각 도액 공급구로부터의 도액의 공급 유량을 경시적으로 변화시키거나 혹은 기재로의 도액의 공급을 반복할 때, 각 도액 공급구로부터의 도액의 공급 유량을 공급할 때마다 바꾸어, 각각의 도액 공급구로부터 공급되는 도액의 도액 수용부 내에서 합류하는 위치가 어느 정해진 위치에 수용되지 않도록 도액을 공급하 여 도액을 도포하는 것이 바람직하다.

그리고, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에, 상기 세로 격벽과 대략 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포할 때, 상기 구금의 토출공의 직경(D), 상기 가로 격벽의 높이(Hh), 상기 구금의 토출공을 갖는 면과, 기재의 세로 격벽과 가로 격벽으로 둘러싸여 형성되는 홈부 저면과의 간격 (C)가 D + Hh < C의 조건을 충족시키도록 상기 직경 (D) 및 간격 (C)를 규정하는 것이 바람직하다.

그리고, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 기재와, 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 방법으로, 상기 기재와 구금의 상대 속도(V)와, 구금의 토출공으로부터의 도액의 토출 속도(v)가 0 < V/v ≤ 1의 조건을 충족시키는 것이 바람직하다.

이하에 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

제5도는 본 발명에 관한 구금, 상기 구금을 이용한 도액의 도포 장치의 사시도이다. 이 도포 장치는 피도포 기재(1)(본 실시 형태에서는 플라즈마 디스플레이용 발광 기판)의 상면에서 소정의 방향으로 복수 열의 스트라이프형의 도액의 도착부를 형성하는 장치이다. 제5도에서 도포 장치는 기대(2)상에 X축 방향으로 연장되는 X슬라이드 레일(3a, 3b)을 가지고 있다. X슬라이드 레일(3a, 3b)상에는 X축 방향으로 슬라이드 주행 가능하게 X슬라이드 테이블(4)이 설치되어 있다. X슬라이드 테으블(4)에는 상기 테이블(4)을 X축 방향으로 슬라이드시키기 위한 구동축(5)이 계합되어 있다. X슬라이드 테이블(4)은 X축 모터(6)에 의해 X축 방향으로 슬라이드되도록 되어 있다. 기재(1)는 X슬라이드 테이블(4)상에 위치 결정되어 착탈 자재로 흡착 지지되어 있다.

기대(2)의 상방에는 상기 기대(2)를 걸치듯이 문형인 지지 기대(7)가 설치되어 있다. 지지 기대(7)는 앞측의 측면(7a)에 Y축 방향으로 연장되는 Y슬라이드 레일(8a, 8b)을 가지고 있다. Y슬라이드 레일(8a, 8b)에는 Y축 방향으로 슬라이드 주행 가능하게 Y슬라이드 테이블(9)이 설치되어 있다. Y슬라이드 테이블(9)에는 상기 테이블(9)을 Y축 방햐응로 슬라이드시키기 위한 구동축(10)이 계합되어 있다. Y슬라이드 테이블(9)은 Y축 모터(11)에 의해 Y축 방향을 슬라이드되도록 되어 있다. X슬라이드 테이블(4), Y슬라이드 테이블(9) 등에 의해 구금(18)과 피도포 기재(1)를 도포 방향(X축, Y축 방향)으로 상대 이동시키는 제1 이동 수단(29a)이 구성되어 있다.

Y슬라이드 테이블(9)상에는 Z축 방향으로 연장되는 Z슬라이드 레일(12a, 12b)이 설치되어 있다. Z슬라이드 레일(12a, 12b)상에는 Z축 방향으로 슬라이드 주행 가능하게 Z슬라이드 테이블(13)이 설치되어 있다. Z슬라이드 테이블(13)에는 상기 테이블(13)을 Z축 방향으로 슬라이드시키기 위한 구동축(14)이 계합되어 있다. Z슬라이드 테이블(13)은 Z축 방향 위치 제어 수단(41)에 연결되는 Z축 모터(15)에 의해 Z축 방향, 즉 구금(18)을 기재(1)에 접근, 이간시키는 방향으로 슬라이드되도록 되어 있다. 이와 같이 하여 제2의 이동 수단(29b)이 구성되어 있다.

Z슬라이드 테이블(13)에는 구금(18)이 부착되어 있다. Y슬라이드 테이블(9)에는 구금(18)의 Y축 방향의 위치를 검출하기 위한 위치 센서(17)가 부착되어 있다. 위치 센서(17)는 지지 기대(7)의 상면에서 Y축 방향으로 설치된 센서 지지축(16)에 이동 자재로 지지되어 있다. Y축 모터(11)에는 Y슬라이드 테이블(9)의 이동 속도를 변경하기 위한 Y축 방향 속도 제어 수단(20)이 연결되어 있다.

구금(18)은 제5도의 Y축 방향으로 이동되고, 구금(18)의 토출공 형성 부재(32)에 소정의 간격으로 대략 일직선형으로 설치되어 있는 복수개의 토출공(18a)으로부터 도액을 토출하여, 기재(1)상에 복수 열의 도착 스트라이프(19)를 형성하도록 되어 있다. 또한, 토출공(18a)은 동일 간격으로 배열할 수도 있으나, 소정의 주기로 그 간격을 변경하여 형성할 수도 있다.

제6도는 제5도에 도시한 도포 장치를 X축 방향에서 본 구금(18) 주변을 나타내고 있다. Z슬라이드 테이블(13)에 부착되어 있는 카메라(22)로 기재(1)중의 대표가 되는 오목부(21)를 촬상하고, 화상 위치 처리부(23)를 통해 X축 위치 제어부(24)로 X슬라이드 테이블(4)을 이동시키고, 대표가 되는 오목부(21)의 중앙과 상기 대표가 되는 오목부(21)에 대응하는 구금(18)중의 대표가 되는 토출공(18a)의 중앙이 거의 일치하도록 제어된다. 즉, 제7도에 도시한 바와 같이, 기재(1)의 대표가 되는 오목부(21)의 화상과 화상 처리의 커슬(50)의 중앙과의 차이(△X)를 X슬라이드 테이블(4)을 X축 방향으로 이동하여 보정하도록 되어 있다.

또한, 상기 대표가 되는 오목부(21)는 오목부 배열 방향 중앙의 오목부(21)이다. 또한, 대표가 되는 토출공(18a)은 그 배열 방향 중앙의 토출공(18a)이다. 대표가 되는 오목부(21) 및 대표가 되는 토출공(18a)을 각각의 배열 방향 중앙의 오목부(21), 토출공(18a)으로 설정하면, 배열 방향 단부에서의 오목부(21)와 토출공(18a)과의 중앙의 위치 어긋남을 최소한으로 억제할 수 있다.

제8도는 구금(18)의 종단면도이다. 구금(18)은 내부에 도액 수용부(30)가 형성되는 도액 수용부 형성 부재(31)와, 상기 부재(31)와 서로 접합되는 토출공 형성 부재(32)와 덮개 부재(33)를 가지고 있다. 또한, 각 부재(31, 32, 33)는 용접, 확산 접합, 접착 혹은 볼트에 의한 체결 등에 의해 서로 강고하게 접합할 수 있다. 덮개 부재(33)에는 도액 수용부(30) 내에 도액(34)을 공급하는 도액 공급구(35)와, 도액 수용부(30)의 상부에 형성되는 공간부(36) 내에 압축 공기를 송입하는 압축 공기 공급구(37)가 설치되어 있다.

압축 공기 공급구(37)에는 관로로 이루어지는 기체 압력 도통로(38)의 일단이 연결되어 있다. 기체 압력 도통로(38)의 타단은 설정압으로 유지된 압력을 갖는 기체 압력원(40)에 개구되어 있다. 기체 압력 도통로(38)에는 방향 전환 밸브로 이루어지는 개폐 수단(39)이 설치되며, 개폐 수단(39)의 개폐 전환에 의해 공간부(36)와 기체 압력원(40)과의 연통과 차단이 수행된다. 공간부(36)와 기체 압력원(40)이 연통되면 공간부(36) 내에 압축 공기가 송입되어 공간부(36)의 내압이 상승하고, 이에 따라 일정량의 도액(30)이 토출공(18a)로부터 토출되도록 되어 있다. 개폐 수단(39)은 구금(18)의 토출공(18a)의 위치와 기재(1)의 상대 위치를 검출하 여 개폐 수단(39)의 타이밍을 제어하는 도시되지 않은 위치 검출, 토출 제어 수단으로 개폐의 타이밍이 제어되도록 되어 있다.

도액 수용부(30) 내에는 제8도, 제9도에 도시하는 바와 같이 토출공(18a)의 배열 방향으로 직교하는 방향으로 연장되는 지주(41)가 설치되어 있다. 지주(41)는 토출공(18a)의 배열 방향에 따라 동일 간격으로 복수개 배열되어 있다. 본 실시 양태에서는 지주(41)의 단면 형상은 원형으로 되어 있지만, 이에 한정되는 것이 아니고 타원형, 삼각형, 사각형, 날개 형상 등으로 형성할 수도 있다. 또한, 지주(41)와 도액 수용부 형성 부재(31)는 제10도에 도시한 바와 같이 볼트(48)에 의해 체결할 수도 있다. 지주(41)와 부재(31)와의 접합면에는 O링(49)이 개재되어 있으며, 상기 부분의 씰성이 확보되어 있다. 또한, 본 실시 양태에서는 구금(18)의 내부에 공간부(36)가 형성되는 타입의 것을 도시하고 있는데, 공간부(36)가 없고 구금의 내부에 도액(34)이 충만되는 타입의 구금에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다.

제11도는 기재(1)상에 형성된 오목부(21)를 상면에서 본 상세이다. 오목부(21)에 적색, 청색, 녹색중의 어느 한가지 색상의 형광체 페이스트(27){도액(34)}가 충전되어 있으며, 격벽(25)(세로 리브)에 의해 소정의 피치로 형성되는 오목부(21)는 표시부의 단부에서 끊어져 비표시부(26)에는 형성되어 있지 않다. 본 실시 양태에서는 제12도에 도시한 바와 같이 동일 색상의 도액이 2개 건너인 오목부(21)에 도포할 수 있도록 되어 있다. 따라서, 토출공(18a)의 피치는 격벽(25)의 피치의 3배로 되어 있다. 또한, 기재(1)는 격벽(25)에 직교하 는 가로 리브를 가지고 격자형으로 오목부(21)가 형성되어 있는 것이어도 된다.

본 실시 양태에서는 구금(18)의 도액 수용부(30)에는 토출공(18a)의 배열 방향으로 직교하는 방향으로 연장되는 지주(41)가 설치되어 있으므로, 구금(18)의 토출공(18a)의 배열 방향, 바꾸어 말하면 구금(18)의 폭 방향에서의 내압에 대한 내압 강도를 대폭적으로 향상시킬 수 있어, 구금(18)의 변형 등을 효과적으로 방지하여 기재(1) 상에 도액을 균일하게 도포할 수 있다.

또한, 지주(41)는 토출공(18a)의 배열 방향에 따른 방향으로 동일 간격으로 배치되어 있으므로, 구금(18)의 길이 방향 전체에 걸쳐 균일하게 내압에 대한 내압(耐壓) 강도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시 양태와 같은 지주(41)에 설치하는 구성에 따르면, 구금의 내압에 대한 내압 강도를 향상하고자 구금을 형성하는 각 부재를 육후(肉厚)화하는 구성에 비해 비용 상승을 대폭적으로 저감할 수 있다. 또한, 중량 증가도 제어할 수 있어 구금(18)의 착탈 작업을 용이화할 수 있다.

제13도, 제14도는 본 발명의 제2 실시 양태에 관한 구금을 도시하고 있다. 본 실시 양태에서 구금(42)은 도액 수용부(43)를 형성하는 도액 수용부 형성 부재(44)와, 상기 부재(44)와 서로 접합되는 토출공 형성 부재(45)와 덮개 부재(46)를 가지고 있다. 도액 수용부(43) 내에는 토출공(42a)의 배열 방향으로 직교하는 방향으로 연장되는 지주(47)가 설치되어 있다. 지주(47)는 도액 수용부 형성 부재(44)에 일체로 형성되어 있으며, 토출공(42a)의 배열 방향을 따라 복수 배열되어 있다.

본 실시 형태에서도 구금(42)의 내압에 대한 내압 강도를 토출공(42a)의 배열 방향을 따라 균일하게 향상시킬 수 있으므로, 중량 증가나 비용 상승을 억제하면서 구금(42)의 변형을 방지할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서 지주(47)는 도액 수용부 형성 부재(44)에 일체로 형성되어 있으므로, 구금(42)을 구성하는 부품 점수의 증가를 방지할 수 있는 동시에, 구금(42)의 조립시 등에 있어서의 핸드링성을 향상시킬 수도 있다.

다음으로, 본 발명의 바람직한 다른 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다.

먼저, 본 발명에 관한 도액의 도포 장치의 전체 구성, 특히 요철 기재(예를 들면 플라즈마 디스플레이 패널용 기재)로의 도액의 도포 장치의 전체 구성의 예에 대하여 설명한다.

제15도는 본 발명의 일 싱시 양태에 관한 도액의 도포 장치의 전체 사시도, 제16도는 제15도의 테이블(206)과 구금(220) 주위의 모식도이다.

먼저, 도액의 도포 장치의 전체 구성에 대하여 설명한다. 제15도는 본 발명에 관한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조에 적용되는 도포 장치의 일예를 도시하고 있다. 이 장치는 기대(202)를 구비하고 있다. 기대(202)상에는 한 쌍의 가이드 홈 레일(208)이 설치되어 있으며, 이 가이드 홈 레일(208)상에는 테이블(206)이 배치되어 있다. 이 테이블(206)의 상면에는 표면에 요철이 일정 피치로 한 방향으로 스트라이프형으로 형성된 기재(204)가 진공 흡인에 의해 테이블면에 고정 가능하게 되도록 복수의 흡인공(207)이 설치되어 있다. 또한, 기재(204)는 도시하지 않은 리프트 핀에 의해 테이블(206)상을 승강한다. 아울러, 테이블(206)은 슬라이 드 각(206)을 통해 가이드 홈 레일(208)상을 X축 방향으로 왕복 운동 자재로 되어 있다.

한 쌍의 가이드 홈 레일(208)간에는 제16도에 도시한 이송 나사 기구를 구성하는 피드 스크류(210)가 테이블(206)의 하면에 고정된 너트형의 커넥터(211)를 관통하여 연장되어 있다. 피드 스크류(210)의 양단부는 베어링(212)에 회전 자재로 지지되며, 아울러 그 일단에는 AC 서보 모터(216)가 자유 커플링(214)을 통해 연결되어 있다.

제15도에 도시한 바와 같이 테이블(206)의 상방에는 도액을 토출하는 구금(220)이 홀더(222)를 통해 승강 기구(230), 폭 방향 이동 기구(236)에 연결되어 있다. 승강 기구(230)는 승강 가능한 승강 브라켓(228)을 구비하고 있으며, 승강 기구(230)의 케이싱 내부에서 한 쌍의 가이드 로드에 승강 자재로 부착되어 있다. 또한, 이 케이싱 내에는 가이드 로드간에 위치하며 볼 나사로 이루어지는 피드 스크류(도시 않음)도 역시 회전 자재로 배치되어 있고, 너트형의 커넥터를 통해 승강 브라켓(228)과 연결되어 있다. 아울러 피드 스크류의 상단에는 도시하지 않은 AC 서보 모터가 접속되어 있으며, 이 AC 서보 모터의 회전에 의해 승강 브라켓(228)을 임의로 승강 작동시킬 수 있도록 되어 있다.

아울러, 승강 기구(230)는 Y축 이동 브라켓(232)(액추에이터)을 통해 폭 방향 이동 기구(236)에 접속되어 있다. 폭 방향 이동 기구(236)는 Y축 이동 브라켓(232)을 구금의 폭 방향, 즉 Y축 방향으로 왕복 운동 자재로 이동시키는 것이다. 동작을 위하여 필요한 가이드 로드, 피드 스크류, 너트형 커넥터, AC 서보 모터 등은 케이싱 내에 승강 기구(230)와 동일하게 배치되어 있다. 폭 방향 이동 기구(236)는 지주(234)에 의해 기대(202)상에 고정되어 있다. 이들의 구성에 의해, 구금(220)을 Z축과 Y축 방향으로 자재로 이동시킬 수 있다.

아울러 제15도를 참조하면, 기대(202)의 상면에는 역L자형의 센서 지주(238)가 고정되어 있으며, 그 선단에는 테이블(206)상의 기재(204)의 볼록부 정상의 위치(높이)를 측정하는 높이 센서(240)가 부착되어 있다. 또한, 높이 센서(240)의 이웃에는 기재(204)의 요철부의 위치를 검지하는 카메라(272)가 지주(270)에 부착되어 있다. 제16도에 도시한 바와 같이, 카메라(272)는 화상 처리 장치(274)에 전기적으로 접속되어 있으며, 요철부 위치의 변화를 정량적으로 구할 수 있다.

아울러, 테이블(206)의 일단에는 센서 브라켓(264)을 통해 구금(220)의 토출공(244)이 있는 하단면(토출공면)의 테이블(206)에 대한 수직 방향의 위치를 검지하는 센서(266)가 부착되어 있다.

여기서, 구금(220)에 도액 및 압공(壓空)을 공급하여 토출시키는 부분에 대하여 본 발명의 도포 장치의 일 실시 양태를 제16도에 도시한다. 구금(220)은 그 내부에 도액을 수용하는 도액 수용부(277)를 가지며, 도액의 액면 상부에 공간부(276)를 갖는다. 공간부(276)에는 압공 공급 호스(281), 압공 제어 밸브(282), 감압 밸브(284), 압공원(286)과 연결되어, 임의의 압력의 압공을 공급할 수 있는 구성으로 되어 있다. 압공 제어 밸브(282)는 전체 컨트롤러(260)에 의해 개폐 제어된다. 압공 제어 밸브(282)는 도액 도포시에 개방 상태로 제어되고, 구금(220) 내의 공간부(276)에 공급된 압공의 압압력에 의해 토출공(244)으로부터 도액(244)을 토출시킨다. 토출공(244)은 도액의 도포폭에 따라 그 공경을 10 내지 500μm의 사이로 설정하면 된다.

구금(220)은 덮개(280)를 분리함으로써 구금 내부를 개방할 수 있어 세정 작업을 수행할 수 있는 구성인 것이 바람직하다.

구금(220) 내의 도액량은 도포 동작이 정지할 때마다 검지된다. 본 발명의 도포 장치에서는 구금(220) 내의 도액량을 도액에 대하여 비접촉으로 검출하는 검출 수단을 갖는다. 구금(220)의 도액 수용부(277) 내의 도액량의 검출에는 비접촉의 검출 수단을 이용함으로써, 도액에 의한 오염을 방지할 수 있다. 이 비접촉 검출 수단으로 도액의 액면 높이를 검출하는 센서(288)가 설치되어 있다. 센서(288)는 전체 컨트롤러(260)와 전기적으로 접속되고, 전체 컨트롤러(260)는 그 검출 신호에 따라 공급 장치 컨트롤러(258)를 제어한다. 또한, 센서를 구금(220)에 직접 고정하지 않고 별도 부재인 센서 브라켓(도시 생략)에 고정하는 구성으로 할 수도 있으며, 이와 같이 하면 구금(220)의 교환시에도 센서(288)는 항상 별도 부재로 고정된 상태로 있어, 구금 교환 때마다 센서 위치 맞춤 등의 조정을 할 필요가 없다. 센서 브라켓은 구금(220)의 형상 사양의 차이에 따라 검출 액면 높이 레벨이 달라지는 것도 고려하여, 센서(288)의 위치를 높이 방향으로 이동 조정 가능하여 임의의 위치에서 고정할 수 있는 것이 바람직하다. 본 발명에서 센서(288)는 레이저식, 초음파식 등 비접촉 검출할 수 있는 센서라면 적용할 수 있고, 그 중에서도 검출 정밀도나 검출 렌지의 넓이 면에서 레이저식 변위계가 가장 바람직하다. 이 경우, 구금(220)에는 투명 플레이트를 부착하여 액면을 검출할 수 있도록 배려해 두 는 것이 바람직하다.

상기 구금(220)에는 필터(247), 도액 공급 호스(246), 도액의 공급 유량 조정 제어 밸브(248), 도액 탱크(297)가 접속되어 있다. 도액 탱크(297)에는 도액(242)이 비축되어 있으며, 압공 제어 밸브(254)를 통해 압공원(250)에 접속되어 있다.

또한, 상기 실시 양태에서 모터 컨트롤러(262)에는 테이블(206)을 구동하는 AC 서보 모터(216)나 승강 기구(230)와 폭 방향 이동 기구(236)의 각각의 액추에이터(291, 293)(예를 들면 AC 서보 모터), 나아가 테이블(206)의 이동 위치를 검출하는 위치 센서(268)로부터의 신호, 구금(220)의 작동 위치를 검출하는 Y, Z축의 각각의 리니어 센서(도시 않음)로부터의 신호 등이 입력된다. 또한, 위치 센서(268)를 사용하는 대신에 AC 서보 모터(216)에 앤코더를 조립하고, 이 인코더로부터 출력되는 펄스 신호에 의거하여 테이블(206)의 위치를 검출하는 것도 가능하다.

또한, 전술한 도액 도포 장치의 전체 구성에서 높이 센서(240)로는 레이저, 초음파 등을 이용한 비접촉 측정 형식의 것, 다이얼 게이지, 차동 트랜스 등을 이용한 접촉 측정 형식의 것 등, 측정 가능한 원리의 것이라면 어떠한 것을 이용해도 된다.

또한, 구금의 토출공(244)이 오목부와 대응하는 상대 위치를 검출하는 검지 수단은 기재의 오목부와 토출공을 각각 별개로 검지하는 카메라를 이용한 화상 처리 장치에 의해 구성해도 된다.

다음으로, 본 발명의 구금에 관하여 각 실시 양태를 도시한다. 즉, 상술한 구금(220) 및 그에 연결되는 도액 공급부는 이하와 같은 각종 구성을 취할 수 있다.

제17도는 본 발명의 일 실시 양태에 관한 구금(301)의 종단면도를 도시하고 있다. 구금(301)에는 복수의 도액 공급구(302)가 설치되어 있으며, 복수의 도액 공급구(302)가 그 상류에서 토너먼트형 유로(303)를 형성하는 배관에 연결되어 있다. 이로써, 구금(301)의 도액 수용부(304)에 도액(305)을 공급할 때, 도액 공급원으로부터의 도액(305)을 균등하게 분배하여 각 도액 공급구(302)로부터 도액 수용부(304) 내에 공급할 수 있다. 구금(301)의 덮개(306)에는 도액 수용부(304) 내에 수용된 도액(305)을 토출공(307)으로부터 토출시키기 위한 압공을 상부 공간(308)에 공급하는 압공 공급구(309)가 설치되어 있다. 복수의 토출공(307)은 직선형으로 배치되며, 복수의 도액 공급구(302)는 토출공(307)의 배열 방향에 대략 평행하게 직선형으로 배치되어 있다.

제18도는 도액 공급구(312)의 선단을 파이프형으로 하고, 또한 그 선단을 도액(305)중에 잠기도록 한 구금(311)을 도시하고 있다. 이로써, 도액 공급시, 도액중에 기포가 혼입하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이들 구금(301, 311)에서는 도액 액면 높이의 평탄성을 고려하면 이웃하는 도액 공급구의 간격은 모두 동등한 것이 바람직하다. 또한, 각 도액 공급구의 간격을 동등하게 할 수 없는 경우, 혹은 도액 공급구의 수가 기수가 되거나 짝수라도 3의 배수로밖에 할 수 없어, 균등한 터너먼트형 유로를 형성할 수 없는 경우에는, 각 도액 공급구로부터의 공급량을 맞추기 위하여, 예를 들면 유로 길이를 바꾸거나 유로 지름을 바꾸거나 하여 유로의 압력 손실을 맞추어 공급 유량을 조정할 수도 있다.

제19도는 도액 공급구(322)의 상류의 토너먼트형 유로(323)를 홈을 형성한 판재(324)를 접합하여 구성한 구금(321)을 도시하고 있다. 전술한 바와 같은 파이프라면 파이프가 길어지면 파이프 내벽을 세정하기가 어려워지지만, 홈을 형성한 판재(324)라면 그것을 분해하여 세정할 수 있으므로, 유로의 길이에 상관없이 세정하기 쉽다.

상기와 같은 토너먼트형 유로(303, 323)를 통해 도액을 공급함으로써, 도액을 도액 수용부(304) 내에 균등하게 분해할 수 있게 되어 각 토출공(307)으로부터의 균일한 토출량이 얻어지게 된다.

제20도는 도액 공급구(332)의 상류에 도액의 공급 유량을 조정 제어하는 공급 유량 조정 제어 밸브(333)를 설치한 구금(331)을 도시하고 있다. 이 공급 유량 조정 제어 밸브(333)는 전기 신호에 의해 그 개방도가 제어 가능하게 되어 있으며, 공급 장치 컨트롤러(258)에 의해 그 개방도를 제어하는 것이다. 도시예에서는 토너먼트형 유로(334)에 의해 분기된 한 쌍의 도액 공급구(332)로의 유로의 한쪽에 공급 유량 조정 제어 밸브(333)가 설치되어 있다. 이로써, 제21도와 같이 도액 수용부(304) 내로의 공급의 기회마다 혹은 제22도와 같이 1회의 공급에서도 경시적으로 각 도액 공급구로부터의 도액 공급 유량에 변화를 지니게 할 수 있으므로, 도액 수용부(304) 내에서 도액이 합류하는 위치를 흔들어(이동시켜) 도포 얼룩을 일으키지 않도록 할 수 있다. 이 밸브(333)는 도시와 같이 이웃하는 도액 공급구의 한쪽만으로도 합류하는 위치를 흔들 수 있다.

제23도는 복수의 도액 공급구(342)를 2개의 그룹(①과 ②, ③과④의 그룹)으로 나누고, 각각을 토너먼트형 유로(343)로 연결한 구금(431)을 도시하고 있다. 2개의 그룹의 각각에 공급 유량 조정 제어 밸브(344a, 344b)가 설치되어 있다. 이들 공급 유량 조정 제어 밸브(344a, 344b)는 전기 신호에 의해 그 개방도가 제어 가능하게 되어 있으며, 공급 장치 컨트롤러(258)에 의해 그 개방도를 제어하는 것이다. 이로써, 제24도에 도시한 바와 같은 타이밍으로 4부분 동시에 공급할 수 있고, 도액 공급구(342)의 ①과②만 혹은 ③과 ④만과 같이, 하나의 그룹만의 공급을 반복할 수도 있다. 이들 공급 유량 조정 제어 밸브(344a, 344b)의 제어는 공급 장치 컨트롤러(258)에서 미리 정해진 패턴으로 제어한다.

①②③④ 동시에 공급한 경우, 각각의 도액 공급구(342)의 사이에는 도액이 합류하는 부분(경계)이 발생하는데, 그 대책으로 먼저 ①과 ②에서만 공급하면 ①과 ②의 사이에 합류 부분이 발생하는데, ③과 ④에서는 공급하지 않으므로, 시간과 함께 도액이 ③과 ④의 방향으로 흘러, ①과 ②의 합류하는 경계도 이동하여 흐려진다. 이로써 도포 얼룩은 없어진다. 그러나 계속 ①과 ②에서만 공급하면, 도액이 고점도라면 흐르기 힘들게 되기 때문에, ③④측의 도액이 없어지거나 혹은 ①②측과 ③④측에서 도액의 액면 높이가 크게 달라져 도포 불량이 발생한다. 따라서, 그렇게 되지 않도록 이번에는 ③과 ④로부터 공급하도록 전환한다. 즉, ①과 ②만, ③과 ④만의 공급을 임의의 횟수, 예를 들면 2회 혹은 그 이상 계속하고, 그 이후는 이 공급 동작을 각 그룹에서 교대로 반복하면 합류 위치는 그 때마다 이동하여 도포 얼룩은 발생하지 않는다. 또한, 도액 액면의 평탄성을 고려하면 양쪽의 그룹, 즉 ①②③④로부터 동시에 공급하는 기회를 정기적으로 끼워 넣으면 더욱 좋다.

제25도는 복수의 도액 공급구(352)를 하나 건너 2개의 그룹(①과③, ②와 ④의 그룹)으로 나누고, 각각을 토너먼트 유로(353a, 353b)로 연결한 구금(351)을 도시하고 있다. 2개의 그룹의 각각과, 그들이 합류한 상류측에 공급 유량 조정 제어 밸브(354a, 354b)가 설치되어 있다. 이들 공급 유량 조정 제어 밸브(354a, 354b)는 제23도와 같은 형태의 공급 유량 조정 제어 밸브라도 되고, 혹은 제25도와 같이 압공에 의해 밸브의 개폐가 제어되며, 압공은 전기 신호에 의해 개폐를 제어하는 압공 제어 밸브(354a', 354b')에 의해 제어되는 것이어도 된다. 이로써, 4부분 동시에 공급할 수도 있고, ①과 ③만, 혹은 ②와 ④만과 같이 하나의 그룹만의 공급을 반복할 수 있다. 제23도에 도시한 실시 양태와의 차이는 한쪽의 그룹의 도액의 합류 위치 부근에 다른 쪽의 그룹의 도액 공급구가 있는 것이다. 이로써, 한쪽의 그룹의 도액 공급구로부터 공급하면 그 사이에는 도액의 합류 위치가 발생하는데, 도포 얼룩이 발생하기 전에 다른 쪽의 그룹으로부터 공급하도록 전환하면, 먼저 발생하기 시작한 합류 위치는 흩으러져 도포 얼룩은 발생하지 않는다. 또한, 이 실시 양태에서는 제23도에 도시한 실시 양태에 비해 도액 높이의 평탄성에 유리하다. 특히, 한쪽 그룹의 도액의 합류 위치에 다른 쪽 그룹의 도액 공급구를 배치하면 한층 합류 위치를 흩어놓는데 효과적이다.

제26도는 도액 수용부(304) 내의 도액량(본 실시 형태에서는 액면)을 검출하는 센서(362)를 설치한 구금(361)을 도시하고 있다. 이 이외의 구성은 제23도에 도시한 것과 실질적으로 동일하다. 센서(362)는 전체 컨트롤러(60)와 전기적으로 접속되며, 전체 컨트롤러(60)는 그 전기 신호에 따라 공급 장치 컨트롤러(58)를 제어한다. 그리고 공급 유량 조정 제어 밸브(344a, 344b)는 공급 장치 컨트롤러(258)에 의해 개폐 제어되어 도액을 공급(보충)하는 도포 장치이다.

이 장치에서는 하나의 방법으로, 도액 수용부(304) 내의 도액량에 상한치, 하한치를 설정하고, 하한을 밑돌면 공급을 개시하여 상한까지 넣는다. 이 방법은 상한치, 하한치의 차이에도 따르지만, 1회의 공급 동작으로 비교적 많은 도액을 공급하는 방법이며, 제20도에 도시한 바와 같은 구금이면 1회의 공급 동작중에 경시적으로 각 도액 공급구로부터의 공급 유량에 변화를 지니게 할 수 있으므로, 합류 위치는 정 위치에 그치지 않아 도포 얼룩은 발생하지 않는다.

또한 다른 방법으로, 도액 수용부(304) 내의 도액량에 관리치를 설정하고, 관리치를 밑돌면 공급을 개시하고, 윗돌면 정지하는 방법도 있다. 이 방법은 기재로의 도포량(구금으로부터의 토출량)에도 따르지만, 도포 동작이 종료될 때마다 도액 수용부(304) 내에 도액을 공급하는 방법이며, 제20도에 도시한 바와 같은 구금이라면 공급 동작 때마다 공급 유량에 변화를 지니게 하면 합류 위치는 정 위치에 그치지 않아 도포 얼룩은 발생하지 않는다. 또한, 제23도, 제25도에 도시한 바와 같은 구금이라면 ①과 ②만(또는 ①과 ③만), ③과 ④만(또는 ②와 ④만)의 공급을 임의의 횟수, 예를 들면 2회 혹은 그 이상 계속하고, 그 이후는 이 공급 동작을 각 그룹에서 교대로 반복하면 합류 위치는 그 때마다 이동하여 도포 얼룩은 발생하지 않는다. 계속하는 횟수가 많을수록 합류 위치의 이동량이 커져 도포 얼룩은 발생 하지 않지만, 도액 액면의 평탄성을 고려하면 양쪽의 그룹, 즉 ①②③④로부터 동시에 공급하는 기회를 정기적으로 끼워 넣으면 더욱 좋다.

또한 센서로는, 에를 들면 전술과 같이 도액의 액면 높이를 비접촉으로 검출하는 것이 있는데, 레이저식, 초음파식 등의 비접촉의 변위계가 있다. 또한, 구금의 중량을 측정하여 도액 수용부 내의 도액량을 검출하는 방법도 있는데, 그 중량 검지 센서로는 검출 중량을 전기 신호로 변환할 수 있는 로드 셀을 이용하는 것이 바람직하다.

아울러, 본 발명의 다른 바람직한 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

제5도에서 제1도의 기판(1)의 표면에는 도액의 도포 방법에 연장되는 복수의 세로 격벽(101)과, 상기 세로 격벽(101)과 직교하는 방향으로 연장되는 가로 격벽(102)이 형성되어 있다. 세로 격벽(101)의 높이(H)와 가로 격벽(102)의 높이(Hh)의 관계는 H ≥Hh로 되어 있다. 또한, 벽(101, 102)에 의해 기판(1)의 표면에는 격자형의 홈부(110)가 형성되고, 홈부(110)는 오목부(104, 103)를 가지고 있다. 오목부(104)는 세로 격벽(101)과 가로 격벽(102)에 둘러싸인 부분으로 형성되어 있다. 한편, 오목부(103)는 세로 격벽(101)과 가로 격벽(102)의 정부로 형성되어 있다.

제6도는 제5도에 도시한 도포 장치를 X축 방향에서 본 구금(18) 주변을 나타내고 있다. Z슬라이드 테이블(13)에 부착되어 있는 카메라(22)로 기판(1)중의 대표가 되는 홈부(110)를 촬상하고, 화상 위치 처리부(23)를 통해 X축 위치 제어부(24)로 X슬라이드 테이블(4)을 이동하고, 대표가 되는 홈부(110)의 중앙과 상기 대표가 되는 홈부(110)에 대응하는 구금(18)중의 대표가 되는 토출공(18a)의 중앙이 거의 일치하도록 제어된다.

제27도는 제5도에 도시한 도포 장치의 구금(18)으로의 도액의 공급 제어 장치의 개략 단면도이다. 제27도에서 구금(418)은 광체(431)로 이루어지며, 광체(431)의 하면판(432)에는 다수개의 토액을 토출하는 토출공(418a)이 일열로 소정의 간격을 가지고 창설되어 있다. 광체(431)의 내부의 공간(433)은 도액(430){형광체 페이스트(427)}이 저장되는 도액 저장부(434)와 그 상부에 위치하는 기체 공간(435)으로 형성되어 있다. 광체(431)의 상면판(436)에는 기체 압력 도통공(437)이 설치되고, 기체 압력 도통공(437)에는 관로로 이루어지는 기체 압력 도통로(438)의 일단이 연결되어 있다. 기체 압력 도통로(438)의 타단은 설정압으로 유지된 압력을 갖는 기체 압력원(440)에 개구되어 있다. 기체 압력 도통로(438)에는 방향 전환 밸브로 이루어지는 개폐 수단(439)이 설치되며, 개폐 수단(439)의 개폐 전환에 의해 기체 공간(435)과 기체 압력원(440)의 연통과 차단이 수행된다. 개폐 수단(439)은 구금(418)의 토출공(418a)의 위치와 기판(1)의 상대 위치를 검출하여, 개폐 수단(439)의 타이밍을 제어하는 도시하지 않은 위치 검출, 토출 제어 수단에서 개폐의 타이밍이 제어되도록 되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서 페이스트(427)는 R(적색), G(녹색), B(청색)중 어느 한가지 색상이 도포되도록 되어 있다.

제28도는 기판(1)상에 형성된 홈부(421)를 상면에서 본 상세이다. 본 실시 형태에서는 제29도에 도시한 바와 같이 동일 색상의 도액이 2개 건너인 홈부(421)에 도포할 수 있도록 되어 있다. 따라서, 토출공(418a)의 피치는 세로 격벽(425a)의 피치의 3배로 되어 있다. 또한, 기판(1)으로는 제30도에 도시한 바와 같이 가로 격벽(425b)이 없는 것이어도 된다.

본 실시 형태에서는 토출공(418a)의 직경(D)과 가로 격벽(425b)의 높이(Hh) 및 구금(418)의 하면판(432)으로부터 홈부(421)의 오목부(421a)의 저면까지의 간격(C)의 사이에는 D + Hh < C인 관계가 성립되게 된다(제31도). 토출공(418a)에서 토출된 페이스트(427)는 직후에는 토출공(418a)의 형상을 유지한 채가 된다(제32도). 그러나 D + Hh < C인 관계가 성립하는 한, 가로 격벽(421b)의 정부에 페이스트(427)가 도포되어도 하면판(432)에 부착되는 일은 없다.

또한, 토출공(418a)이 비원형상인 경우에는 상기 토출공(418a)의 도포 방향에 따른 방향의 개구 치수(B)가 B + Hh < C인 관계를 충족시키도록 되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서는 구금(418)과 기판(1)의 상대 이동 속도(V), 토출공(418a)으로부터의 페이스트(427)의 토출 속도(v)는 0 < V/v ≤1일 필요가 있다. 제32도, 제33도에 도시한 바와 같이 토출공(418a)으로부터 토출된 페이스트(427)는 구금(418) 또는 기판(1)의 이동 방향으로 구부러진다. 따라서, 토출된 페이스트(427)의 하면판(432)으로의 부착을 방지하기 위해서는 토출 속도(v)와 기판(1) 또는 구금(418)의 도포 방향(화살표 방향)으로의 이동 속도(V)로 이루어지는 토출 각도(θ)를 되도록 작게 하는 것이 바람직하다. 토출 각도(θ)는 tanθ = V/v로 나타낼 수 있다. 또한, 0°< θ ≤45°의 범위라면 페이스트(427)의 하면판(432)으로의 부착을 방지할 수 있다는 것이 실험적으로 판명되어 있다. 따라서, 0 < V/v ≤1이면 θ를 상기 범위 내에 포함시킬 수 있으므로, 페이스트(427)의 하면판(432)으로의 부착을 방지할 수 있다.

또한, 오목부(421a)에 페이스트(427)를 가득 충전하기 위해서는 단위 시간당의 도포량(Q)은 Q = a·v = A·V가 되므로 tanθ = V/v = a/A로 나타낼 수 있다. 따라서, 0 < a/A ≤1이면 θ를 상기 범위 내에 포함시킬 수 있으므로, 페이스트(427)의 하면판(432)으로의 부착을 방지할 수 있다.

또한, 가로 격벽(425b)이 있는 기판의 홈(421)으로의 도포량은 가로 격벽(425b)이 없는 기판의 그것보다 가로 격벽(425b)의 체적만큼 적어도 된다. 가로 격벽이 있는 기판에 대해서도 가로 격벽이 없는 경우와 마찬가지로 한결같이 페이스트(427)를 도포하는 것이므로, 도포 직후는 오목부(421b)상에 페이스트(427)가 퇴적되어 있다. 그러나, 어느 일정 시간 방치하는(레벨링하는) 것으로, 오목부(421b)의 페이스트(427)는 오복부(421a)로 흘러들어 가로 격벽간의 도포 홈의 충전량이 필요량(가득)이 된다. 여기서, 가로 격벽이 있는 기판의 홈부로의 단위 길이당의 도포량을 Qh, 가로 격벽이 없는 기판의 홈부로의 도포량을 Q라고 한다. 제4도에서 홈 폭을 W라고 하면, 단위 길이(Lh + L)당의 Qh는,

Qh = W·H·L + W·(H - Hh)·Lh

또한, 가로 격벽이 없는 경우의 Q는,

Q = W·H·(Lh + L)

따라서, 가로 격벽이 있는 기판의 홈부로의 도포량(Qh)과, 가로 격벽이 없는 기판의 홈부로의 도포량(Q)의 비율(k)은,

K = Qh/Q

= 〔W·H·L + W·(H - Hh)·Lh〕/〔W·H·(Lh + L)〕

= 1 - (Hh/H)·(Lh/(L + Lh))

로 나타낼 수 있다. 또한, 이 경우에도 토출각(θ)은 θ=45° 이하로 설정할 필요가 있으므로, 본 실시 형태에 있어서는 0 < a/(k·A) ≤1의 조건을 충족시키도록 되어 있다.

실시예

실시예1, 비교예1

세로 격벽만을 갖는 기판을 이용하고, 각 세로 격벽간의 폭(W) = 0.24mm, 세로 격벽의 높이(H) = 0.12mm로 하고, 구금의 토출공의 직경(D)이 0.1mm, 0.12mm, 0.15mm, 0.22mm의 4종류의 구금을 이용하여, 청색으로 발광하는 형광체 분말을 포함하는 페이스트(점도 약 600포아즈)를 도포하였다.

실시예2, 비교예2

각 세로 격벽간의 폭(W)을 0.28mm로 변경한 것 이외에는 실시예1과 동일한 조건으로 페이스트를 도포하였다.

실시예3, 실시예4

각 세로 격벽간의 폭(W)을 0.38mm로 변경한 것 이외에는 실시예1과 동일한 조건으로 페이스트를 도포하였다.

실시예5, 비교예3

각 세로 격벽간의 폭(W) = 0.24mm, 세로 격벽의 높이(H) = 0.12mm, 가로 격벽간의 도포 방향의 길이(L) = 1mm, 가로 격벽의 높이(Hh) = 0.1mm, 가로 격벽 1개의 도포 방향의 길이(Lh) = 0.08mm로 하고, 구금의 토출공의 직경(D)이 0.1mm, 0.12mm, 0.15mm, 0.22mm의 4종류의 구금을 이용하여, 청색으로 발광하는 형광체 분말을 포함하는 페이스트(점도 약 600포아즈)를 도포하였다.

실시예6, 비교예4

각 세로 격벽간의 폭(W)을 0.28mm로 변경한 이외에는 실시예5와 동일한 조건으로 페이스트를 도포하였다.

실시예7, 실시예8

각 세로 격벽간의 폭(W)을 0.38mm로 변경한 것 이외에는 실시예5와 동일한 조건으로 페이스트를 도포하였다.

상기 실시예 1 내지 4, 비교예1, 2의 결과를 표1, 제34도에 도시하였다. 또한, 실시예 5 내지 8, 비교예3, 4의 결과를 표2, 제35도에 도시하였다. 이 결과, 실시예1 내지 8에서는 구금의 하면판으로의 페이스트의 부착은 보이지 않았고, 색상 누락되는 일 없이 기판에 페이스트를 균일한 상태로 도포할 수 있었다. 이에 대하여, 비교예 1 내지 4에서는 구금의 하면판으로의 페이스트의 부착이 보였다. 또한, 기판상에 색상 누락이 관찰되었다.

이에, a = (D/2)²π

A = W·H

k = 1 - (Hh/H)·(Lh/(L + Lh))

제1표

제2표

실시예9

제8도, 제9도에 도시한 구금에 있어서, 전체 길이 985mm, 폭 50mm, 높이 40mm, 도포 수용부의 폭 16mm의 도액 수용부 형성 부재와, 전체 길이 985mm, 폭 20mm, 두께 1mm의 토출공 형성 부재를 에폭시계 접착제로 접착하고, 제10도에 도시한 직경 12mm의 지주를 토출공의 배열 방향을 따라 50mm 간격으로 18개 배열하고, 지주와 도액 수용부 형성 부재는 M4 볼트로 체결하였다. 그리고, 전체 길이 985mm, 폭 50mm, 두께 10mm의 덮개 부재를 볼트로 체결하여 구금을 조립하였다. 압축 공기 공급구로부터 0.8MPa의 압축 공기를 공급하고, 구금 내압을 상승시키고, 구금의 변형량을 미쯔토요제 다이얼 게이지(디지매틱 인디케이터ID-C112)로 측정하였다. 그 결과, 구금의 길이 방향 중앙부에서 0.002mm 팽창했으나, 토출공 형성 부재는 박리되지 않았다.

비교예5

지주를 분리한 이외에는 실시예9와 동일한 조건으로 측정한 바, 구금의 길이 방향 중앙부에서 0.054mm 팽창하여 토출 성형 부재가 박리되었다.

실시예10

제25도에서 길이 985mm의 구금에 246mm 간격으로 4개의 도액 공급구를 배치하고, 하나 건너로 2개의 그룹으로 나누고, 각각을 스테인리스제 파이프(내경 Ø8mm)로 연결하여 토너먼트형 유로를 구성하였다. 그리고, 청색으로 발광하는 형광체 분말을 포함하는 페이스트(점도 약 600포아즈)를 구금에 공급하고, 기판에 도포할 때, 한쪽의 그룹의 도액 공급구로부터의 페이스트 공급과, 다른쪽 그룹의 도액 공급구로부터의 페이스트 공급을 기회마다 교대로 전환한 바, 기판 50장을 연속하여도 기판상에 도포 얼룩은 발생하지 않았다.

비교예6

4개의 도액 공급구로부터 페이스트를 끊임없이 동시에 공급한 것 이외는 실시예10과 동일한 조건으로 기판에 도포한 바, 도액 공급구의 중간 위치에 대면하는 기판상에 줄기형의 도포 얼룩이 발생하였다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 구금에 의할 때에는 중량 증가나 비용 상승을 억제하면서 구금의 내압에 대한 내압 강도를 향상하여 구금의 변형을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 구금을 이용한 도액의 도포 장치 및 도포 방법에 따를 때에는 구금의 변형을 방지하면서 도액을 도포할 수 있으므로, 기재상에 균일하게 도액을 도포할 수 있다.

또한 본 발명에 관한 구금에 따르면, 구금에 형광체 페이스트 등의 도액을 공급할 때에 토너먼트형 유로에 의해 도액 수용부 내에 균등하게 공급할 수 있고, 게다가 각 도액 공급구로부터 공급된 도액의 합류 위치를 변동시킬 수 있으므로, 각 토출공으로부터의 균일한 토출량을 확보할 수 있는 동시에 도액중에 기포가 혼입하는 것을 방지할 수 있어, 도포 불량의 발생을 방지할 수 있다. 따라서, 도포 얼룩 없이 장시간에 걸쳐 안정된 도포가 가능해진다.

이와 같은 구금을 이용한 본 발명에 관한 도액의 도포 장치 및 도포 방법에 따르면, 기재로의 도포에 대하여 고생산성과 고품질화가 가능해진다.

또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 기재의 제조 방법 및 플라즈마 디스플레이에 따르면, 상기 도액의 도포 장치 및 도포 방법을 사용하므로, 품질이 높은 플라즈마 디스플레이 패널을 장기에 걸쳐 안정 생산이 가능해져, 효과적으로 높은 생산성이면서 저가로 제조할 수 있게 된다.

아울러, 본 발명의 도액의 도포 방법 및 장치에 따를 때에는 구금의 토출공이 형성되는 면으로의 페이스트의 부착을 확실하게 방지할 수 있으므로, 색상 누락되지 않고 기판상에 균일하게 도액을 도포할 수 있다.

Claims

도포 대상물에 도액을 도포하는 구금이며, 구금 내부에 마련된 공간과, 구금 외부와 상기 공간에 대하여 개구하는 도액 공급구와, 상기 공간과 구금 외부에 대하여 개구하는 복수의 도액 토출공을 구비하고, 상기 복수의 도액 토출공은 일직선형으로 배열되는 동시에 상기 공간에, 도액이 수용되는 도액 수용부가 형성되어 있는 구금에 있어서,

상기 공간에 상기 복수의 도액 토출공의 상기 배열 방향에 직교하는 방향으로 연장되고, 상기 공간의 마주보는 내벽에 도달하는 지주가 마련되고,

구금 외부와 상기 공간에 대하여 개구하는 가압 기체 공급구가 마련되고,

상기 공간에 있어서, 상기 도액 수용부의 상부에 상기 가압 기체가 공급되는 공간부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제1항에 있어서, 상기 복수의 도액 토출공이 마련된 토출공 형성 부재와, 상기 도액 수용부가 마련된 도액 수용부 형성 부재와, 상기 도액 공급구 및 가압 기체 공급구가 마련된 덮개 부재를 구비하고,

상기 토출공 형성 부재는 구금의 저면에 위치하고, 상기 도액 수용부 형성 부재는 구금의 측면에 위치하고, 상기 덮개 부재는 구금의 상면에 위치하고,

상기 각각의 부재들은 서로 접합되어 있고, 상기 각각의 부재들의 내측에 상기 공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제1항에 있어서, 상기 지주는 상기 공간에 복수개 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제3항에 있어서, 상기 지주는 동일 간격으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제2항에 있어서, 상기 지주는 상기 도액 수용부 형성 부재에 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
도액을 수용하는 도액 수용부와, 상기 도액 수용부의 내측으로부터 외측으로 개구되는 복수의 도액 토출공과, 상기 도액 수용부에 도액을 공급하기 위한 복수의 도액 공급구를 갖고, 각 도액 공급구에는 그 상류의 도액 공급원으로부터의 도액 흐름을 분기시켜 도액을 각 도액 공급구에 공급하기 위한 토너먼트형 유로가 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제6항에 있어서, 상기 도액 공급구의 선단은 파이프 형상으로 형성되어 있으며, 그 선단은 도액 수용부 내의 도액중에 잠기도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제6항에 있어서, 상기 토너먼트형 유로는 파이프로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제6항에 있어서, 상기 토너먼트형 유로는 홈이 형성된 판재를 접합하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제6항에 있어서, 상기 도액 공급구의 상류에는 도액의 공급 유량을 조정 제어하는 공급 유량 조정 제어 밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제6항에 있어서, 이웃하는 도액 공급구의 적어도 한쪽의 도액 공급구의 상류에 도액의 공급 유량을 조정 제어하는 공급유량 조정 제어 밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제6항에 있어서, 상기 복수의 도액 공급구가 2개의 그룹으로 나누어지고, 각각의 그룹에 대하여 토너먼트형 유로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제6항에 있어서, 상기 도액 공급구가 4부분 이상 설치되고 직선형으로 배치된 도액 공급구가 하나 건너 2개의 그룹으로 나누어지며, 각각의 그룹에 대하여 토너먼트형 유로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제13항에 있어서, 하나의 그룹의 도액 공급구로부터 공급된 도액이 도액 수용부 내에서 합류하는 위치에 또하나의 그룹의 도액 공급구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제13항에 있어서, 상기 2개의 그룹의 각각의 토너먼트형 유로의 상류에 도액의 공급 유량을 조정 제어하는 유량 조정 제어 밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
제6항에 있어서, 상기 복수의 도액 토출공은 직선형으로 배열되고, 상기 복수의 도액 공급구는 상기 복수의 도액 토출공의 상기 배열 방향으로 평행하게 직선형으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 구금.
기재를 고정하는 테이블과, 상기 기재에 대향하여 설치되며 기재에 도액을 도포하는 구금과, 테이블과 구금을 3차원적으로 상대 이동시키는 이동 수단을 구비한 기재로의 도액의 도포 장치에 있어서, 상기 구금은 제1항에 기재된 구금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 도액의 도포 장치.
기재를 고정하는 테이블과, 기재에 대향하여 설치되며 기재에 도액을 도포하는 구금과, 테이블과 구금을 3차원적으로 상대 이동시키는 이동 수단과, 구금으로의 도액의 공급원인 도액 탱크를 구비한 기재로의 도액의 도포 장치에 있어서, 상기 도액 탱크와 구금의 사이에 도액의 공급 유량을 조정 제어하는 공급 유량 조정 제어 밸브와, 상기 유량 조정 제어 밸브의 유량을 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 구금은 제6항에 기재된 구금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 도액의 도포 장치.
제18항에 있어서, 상기 구금의 도액 수용부 내의 도액량을 검출하는 검출 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 도액의 도포장치.
제17항 또는 제18항에 있어서, 상기 기재의 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되고, 그 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 것을 특징으로 하는 도액의 도포 장치.
제17항 또는 제18항에 있어서, 상기 기재의 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에 상기 세로 격벽과 직교하는 방향으로 가로 격벽이 형성되고, 그 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 것을 특징으로 하는 도액의

도포 장치.
표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에 상기 세로 격벽과 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 도액 토출공으로부터 토액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 장치에 있어서, 상기 구금의 도액 토출공의 직경(D), 상기 가로 격벽의 높이(Hh), 상기 구금의 도액 토출공을 가지는 면과, 기재의 세로 격벽과 가로 격벽에 둘러싸여 형성되는 홈부 저면과의 간격(C)이 D + Hh < C의 조건을 충족시키도록 상기 직경(D) 및 간격(C)을 규정하는 것을 특징으로 하는 도액의 도포 장치.
제22항에 있어서, 상기 구금의 도액 토출공이 비원형상으로 형성되어 있어, 상기 도액 토출공의 도액의 도포 방향에 따르는 방향의 개구 치수(B)가 B + Hh < C의 조건을 충족시키는 것을 특징으로 하는 도액의 도포 장치.
표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 도액 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 도액의 도포 장치이며, 상기 구금의 도액 토출공의 면적(a), 세로 격벽간에 형성되는 홈부의 단면적(A)이 0 < a/A ≤1의 조건을 충족시키도록 면적(a)을 규정하는 것을 특징으로 하는 도액의 도포 장치.
표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에, 상기 세로 격벽과 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 도액 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 도액의 도포 장치에 있어서, 상기 구금의 도액 토출공의 면적(a), 세로 격벽간 및 가로 격벽간에 형성되는 홈부의 세로 격벽과 직교 방향의 단면적(A), 세로 격벽의 높이(H), 가로 격벽간의 도포 방향의 길이(L), 가로 격벽의 높이(Hh), 가로 격벽 1개의 도포 방향의 길이(Lh), 가로 격벽이 있는 기판과 가로 격벽이 없는 기판의 도포량의 비율(k)이 하기 (1), (2)의 조건을 충족시키도록 상기 면적(a)을 규정하는 것을 특징으로 하는 도액의 도포 장치.

k = 1 - (Hh/H)·(Lh/(L + Lh))···(1)

0 < a/(k·A)≤1 ···(2)
제17항, 제18항, 제22항, 제24항 및 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구금의 상대 이동 방향과 수직인 방향의 치수인 상기 구금의 길이 방향 치수는 기재의 도액의 도포 영역보다 길고, 상기 구금이 1 회 상대 이동함으로써 기재로의 도액의 도포가 완료되는 것을 특징으로 하는 도액의 도포 장치.
기재가 플라즈마 디스플레이 패널용 기재이며, 도액이 적색, 녹색, 청색중의 어느 하나의 색상으로 발광하는 형광체 분말을 포함하는 페이스트이며, 제17항, 제18항, 제22항, 제24항 및 제25항 중 어느 한 항에 기재된 도포 장치를 이용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 기재의 제조 장치.
제17항 또는 제18항에 기재된 도액의 도포 장치를 이용하고, 상기 도포 장치의 상기 테이블에 고정되는 기재에 도액을 도포함으로써 도액이 도포되는 도포 기재를 제조하는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 상기 복수의 도액 토출공이 설치된 토출공 형성 부재와, 상기 도액 수용부가 설치된 도액 수용부 형성 부재와, 상기 도액 공급구 및 가압 기체 공급구가 설치된 덮개 부재를 구비하고,

상기 토출공 형성 부재는 구금의 저면에 위치하고, 상기 도액 수용부 형성 부재는 구금의 측면에 위치하고, 상기 덮개 부재는 구금의 상면에 위치하고,

상기 각각의 부재들은 서로 접합되어 있고, 상기 각각의 부재들의 내측에 상기 공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 상기 지주는 상기 공간에 복수개 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 상기 지주는 동일 간격으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제29항에 있어서, 상기 지주는 상기 도액 수용부 형성 부재에 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 상기 구금은 복수의 도액 공급구를 구비하고, 각각의 도액 공급구로부터 공급되는 도액이 도액 수용부 내에서 합류하는 위치가 변화하도록, 도액을 상기 각각의 도액 공급구로부터 공급하는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 상기 구금은 복수의 도액 공급구를 구비하고, 각각의 도액 공급구로부터 공급되는 도액의 공급 유량이 경시적으로 변화하는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 상기 구금은 복수의 도액 공급구를 구비하고, 상기 기재로의 도액 도포와, 상기 구금의 도액 수용부 내부로의 도액의 공급을 반복할 때, 각 도액 공급구로부터의 도액의 공급 유량은 공급할 때마다 변화하는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
삭제
제28항에 있어서, 상기 구금의 도액 수용부 내의 도액량을 검출하고, 그 검출 결과에 따라 상기 구금에 도액을 공급하는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 기재로의 도포와, 상기 구금의 도액 수용부 내로의 도액의 공급을 반복할 때에 각 도액 공급구로부터의 도액의 공급 유량을 공급할 때마다 바꾸는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 상기 구금은 복수의 도액 공급구와, 상기 복수의 도액 공급구에 결합된 2개의 그룹의 토너먼트형 유로를 구비하고,

기재로의 도액 도포와, 상기 구금의 도액 수용부 내로의 도액의 공급을 반복할 때에 각 그룹의 도액 공급구로부터의 도액의 공급을 공급의 기회마다 교대로 전환하는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제39항에 있어서, 한 그룹의 도액 공급구로부터의 도액의 공급과, 다른 한 그룹의 도액 공급구로부터의 도액의 공급과, 양쪽 그룹의 도액 공급구로부터의 도액의 공급을 일정한 횟수와 주기로 반복하는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 상기 기재의 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되고, 그 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 상기 기재의 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에 상기 세로 격벽과 직교하는 방향으로 가로 격벽이 형성되고, 그 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에, 상기 세로 격벽과 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 도액 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포할 때, 상기 구금의 도액 토출공의 직경(D), 상기 기재의 가로 격벽의 높이(Hh), 상기 구금의 도액 토출공을 갖는 면과, 상기 기재의 세로 격벽과 가로 격벽에 둘러싸여 형성되는 홈부 저면과의 간격(C)이 D + Hh < C의 조건을 충족시키도록 상기 직경(D) 및 상기 간격(C)이 선정되는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제43항에 있어서, 상기 구금의 도액 토출공이 비원형상으로 형성되어 있고, 상기 도액 토출공의 도액의 도포 방향에 따르는 방향의 개구 치수(B)가 B + Hh < C의 조건을 충족시키는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 기재와, 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 도액 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포할 때, 상기 기재와 상기 구금의 상대 속도(V)와, 상기 구금의 도액 토출공으로부터의 도액의 토출 속도(v)가 0 < V/v ≤1의 조건을 충족시키는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제45항에 있어서, 상기 기재의 표면에 상기 세로 격벽과 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 표면에 스트라이트형으로 세로 격벽이 형성되는 기재와, 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 도액 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포할 때, 상기 구금의 도액 토출공의 면적(a)과, 세로 격벽간에 형성되는 홈부의 단면적(A)이 0 < a/A ≤1의 조건을 충족시키는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
제28항에 있어서, 표면에 스트라이프형으로 세로 격벽이 형성되는 동시에, 상기 세로 격벽과 직교하는 방향으로 세로 격벽의 높이 이하의 가로 격벽이 형성되어 있는 기재와, 상기 기재에 대향하여 설치된 구금을 상대적으로 이동시키면서 구금에 설치된 복수의 도액 토출공으로부터 도액을 토출하여 기재의 선택된 세로 격벽간의 홈부에 도액을 도포할 때, 상기 구금의 도액 토출공의 면적(a), 세로 격벽간 및 가로 격벽간에 형성되는 홈부의 세로 격벽과 직교 방향의 단면적(A), 세로 격벽 높이(H), 가로 격벽간의 도포 방향의 길이(L), 가로 격벽의 높이(Hh), 가로 격벽 1개의 도포 방향의 길이(Lh), 가로 격벽이 있는 기판과 가로 격벽이 없는 기판의 도포량의 비율(k)이 하기 식 (1), (2)를 충족시키는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.

k = 1 -(Hh/H)·(Lh/(L+Lh))···(1)

0 < a/(k·A) ≤1 ···(2)
제28항에 있어서, 상기 구금의 상대적 이동 방향과 수직인 방향의 치수인 상기 구금의 길이 방향의 치수는 기재의 도액의 도포 영역보다 길고, 상기 구금이 1회 상대 이동함으로써 기재로의 도액의 도포를 완료하는 것을 특징으로 하는 도포 기재의 제조 방법.
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