1271767 五、 發明說明 ( 1) [ 技 術 領 域 ] 本 發 明 係 關 於 塗 敷 塗 液 所 用 之 □ 承 5 及 使 用 其 □ 承 在 基 材 表 面 塗 敷 漿 狀 塗 液 之 塗 敷 裝 置 及 方 法 〇 本 發 明 係 尤 其 適 用 於 電 漿 顯 示 面 板 ( 以 下 ， 有 時 稱 爲 Ρ D Ρ ) 液 晶 濾 光 ( 以 下 有 時 稱 爲 L C Μ ) 光 學 濾 光 器 印 刷 基 板 半 導 體 等 製 造 領 域 較 佳 者 〇 尤 其 是 適 用 於 塗 敷 筒 黏 度 塗 液 之 Ρ D P 製 造 工 程 在 玻 璃 基 板 等 被 塗 敷 對 象 物 表 面 以 非 接 觸 邊 塗 敷 塗 液 以 形 成 薄 膜 圖 案 之 塗 液 之 塗 有 用 □ 承 R： 塗、; 夜, 之塗敷裝置及塗敷方法© :佳 ：者 〇 [ 背 景 技 術 ] 近 年 顯 示 器 係 於 其 方 式 逐 漸 多 樣 化 〇 現 在 受 到 注 g 之 一 爲 較 以 往 之 布 朗 陰 極 管 更 大 型 而 可 薄 型 輕 量 化 之 電 漿 顯 示 器 〇 此 係 在 形 成 於 前 面 板 與 背 面 板 間 之 放 電 空 間 內 發 生 放 電 藉 此 放 電 從 氙 氣 發 生 波 長 1 4 7 η m 爲 中 心 之 紫 外 線 5 此 紫 外 線 因 激 起 螢 光 體 就 可 顯 示 表 面 Ο 將 分 開 塗 敷 發 光 紅 ( R ) ， 綠 ( G ) 藍 ( Β ) 之 螢 光 體 之 放 電 單 元 藉 由 驅 動 電 路 使 其 發 光 即 可 對 應 全 彩 色 韜 示 〇 又 j 最 近 熱 絡 地 推 動 開 發 之 A C 型 電 漿 顯 示 器 係 具 有 貼 合 形 成 顯 示 電 極 / 介 電 質 層 / 保 護 層 之 .\上· 刖 面 玻 璃 板 ， 與 形 成 位 址 電 極 / 介 電 質 體 層 / 隔 壁 層 / 螢 光 體 層 之 背 面 玻 璃 5 在 由 條 狀 之 隔 壁 所 隔 開 之 放 電 空 間 內 封 入 Η e X e y 或 N e X e混合氣之構造。 -3-
1271767 五、 發明說明 (2) R G ， B各螢光體層，將 粉未 狀 之 螢 光 體 粒 子 作 爲 主 成 分 之 螢 光體漿成條狀塡充 於形 成 於 背 面 狀 之 每 各 色 向 單 向 延 伸 之隔壁所形成之凹凸部| 0 所 謂 螢 光 體構成爲條狀之構 造， 也 具 有 條 形 里 j \ w 矩 陣 式 之 彩 色 接 收 器之面板。 欲 將 這 種 構造者以局生產力 與高 品 質 製 造 時 將 螢 光 體 以 — 定 之 圖案狀分開塗敷之技術就變成重要。 例 如 於 曰本特開平1 〇 - 2 7 5 4 3 ( 美 國 專 利 第 丨 5 9 2 1 8 3 6號），揭示有 將電 漿 顯 示 面 板 之 隔 壁 間 爲 對 象 使 用塗敷口承之方法（ 於 此 □ 承 ，複數之排出孔穿 設成 隔 一 定 間 隔 略 成 一 直 線 狀 ， 在 P 承內部具有塗液貯留部。 又 於 □ 承上部，設有對於 塗液 貯 留 部 供 給 塗 液 之 塗 液 供 給 P 〇 於 如 上 述 口承，當從塗液供 給口 供 應 塗 液 時 塗 液 內 部 之 貯 留 部 之 內壓就上升，藉此 既定 量 之 塗 液 爲 從 排 出 孔 排出 而 在 基材表面塗敷塗液。 ) 妖 y V \\ 而 於 如上述之口承，對 於塗 液 貯 留 部 供 給 塗 液 反 復 上 升 塗 液貯留部之內壓時 ，□ 承 恐 被 有 推 開 變 形 之 虞 〇 尤 其 於排列多數列排出 口之 細 長 形 狀 之 □ 承 因 受 壓 面 積 會 變化大容易發生變 形。 當 □ 承 變 形 時 排 出 孔 也 有 發 生 變形之可能性，致 使塗 液 之 排 出 量 等 發 生 偏 差 恐 發 生 不能在基材表面均 -4- 勻塗 敷 塗 液 之 虞 0 又 1 作 1271767 五、發明說明（3) 爲口承之另外態樣，形成排出口之構件，與形成塗液貯 留部之構件爲另外構件，雖然有將其等以螺栓栓緊，焊 接，或黏著接合構成者，但是，其時由於口承之變形致 使其接合面作用剪斷應力，兩構件發生剝離，導致發生 α承受到破壞之可能性。按，爲了提升口承內部之耐壓 強度若將口承之構成構件厚壁化時，口承甚至塗敷裝置 之輕量化，低成本化之目標有所相反。 又，此口承係在內部具有塗液貯留部與塗液上部之空 間，在此上部空間注入壓縮空氣以其壓力必須將塗液從 □承壓出之構造。因爲，在口承內塡滿塗液使用泵等以 定量送液之構造，係屬於塗液之螢光體漿之黏度爲高時 ，塗液之配管壓損爲大，開始塗敷延遲將變成顯著。 又，在上述塗液上部具有空間之口承，將螢光體漿塗 敷於塗敷對象物之基材之後，必須將與所塗敷量同量之 螢光體漿再次供給於塗敷材。 然而，如上述日本專利特開平1 0 - 2 7 5 4 3號公 報所揭示之塗液之塗敷量，具有下列之問題。 亦即，將螢光體漿供給於口承內時，若採取從口承上 部將螢光體漿只以自由掉落方法時，恐在螢光體槳有摻 混氣泡之虞。若摻混氣泡時，當氣泡從口承之排出口出 來時，所排出之漿將中斷，而發生塗敷不良。 又，將螢光體漿供給於口承內時，若只從一處供給時 很花時間。又，若螢光體漿爲高黏度時，液面欲在口承 1271767 五、發明說明（4) 內變成平坦將會花時間。 又，從口承所排出之螢光體漿之排出量，由於貯存於 口承內之螢光體漿之液頭（h e a d )與供給於螢光體漿上 部空間之壓縮空氣之壓力之和所決定者，所以爲了將排 出量保持一定也必須保持螢光體漿之液面高度爲一定。 尤其具有複數排出口之口承時，若不將螢 面局度保持爲一'疋且平坦時’從各排出口之 生偏差，塗敷不勻等。因此，在口承內從複 給口供給塗液較佳。 但是，若從複數之塗液供給口供給塗液時 發生塗敷不勻之虞。依據本發明者之檢討， 液供給口所供給之螢光體漿，係在位於口承 位置必定合流而貯存，但是曉得了從此合流 排出口所排出之螢光體漿將發生塗敷不勻。 亦即，對於口承供給螢光體漿時，在螢光 用如流動於管內時發生作用之剪斷應力將會 並且，如螢光體漿之高黏度漿，係由其剪斷 或所作用之時間而發生黏度變化。受到剪斷 光體漿之液 排出量會發 數之塗液供 ，曉得了會 從複數之塗 內之某一定 處所附近之 體漿，將作 發生作用。 應力之大小 對於口承內 所供給螢光體漿之一部，將一定到達合流處所而貯存。 所合流之螢光體漿，係剪斷應力之大小，或其作用時 間係與其他部分之螢光體相異，因此，較其他部分之螢 光體漿其黏度顯著地發生變化。從排出口排出所需之螢 光體漿施加壓力時，在同一壓力下排出量與漿之黏度具 1271767 五、發明說明（5) 有相關關係’其結果，從此合流處所附近之排出口所排 出之螢光體漿之量將與其他部分變成不同，而引起塗敷 不勻等之塗敷不良。 又’近年’於電漿顯示器之領域，爲了因應亮度或對 比之提升’及節省消粍電力化之要求，因採用如第1圖 所示’塗液向塗敷方向（第1圖之箭頭方向）延伸之縱 隔壁1 0 1約直交方向形成較縱隔壁1 〇 1其高度低之 橫隔壁1 0 2之基材1 〇 〇 (例如，日本專利開平1 1 —2 1 3896號公報，日本專利開平20〇0 — 1 2 3 7 4 7號公報等）。於這種基材1 〇 〇，在縱隔壁1〇1 間配置有橫隔壁1 〇 2，所以，縱隔壁1 0 1間之溝1 1 0，係形成爲具有凹部1 〇 3，1 0 4之格子狀。 又’於如上述之塗液之塗敷方法，對於溝部塗敷包含 螢光體之漿狀塗液1 〇 8，加以乾燥硬化，來形成螢光 體層者’但是，於電漿顯示器用發光基板，欲使隔壁1 〇 i 間之發光良好地進行，在隔壁1 〇 1間所發生之放電有 效率地作用於螢光體，必須有效地取出在螢光體所發生 之光線。作爲爲此之螢光體層之形狀，及至隔壁1 〇 1 之壁面與溝部之底全面以廣寬範圍存在有螢光體層較佳 。因此’將塗液1 〇 8完全地進行於溝部1 1 〇較佳。 然而’將對於以往具有條狀溝部之基材之塗液塗敷裝 置’方法，若仍適用具有格子狀溝部之基材之塗液塗敷 時’將發生以下之問題。亦即，如第2圖所不，欲塗敷 1271767 五、發明說明（6) 漿狀塗液時，口承 ，雖然必須越過橫 2頂部與口承1 0 5 7之面1 0 9間之 有以如第2圖之虛 面1 0 9之虞。塗 07之塗出孔106 塗液係被拉靠到其 塗敷於溝部1 1 0 化，低成本化之要 藉適用於該口承， 液之塗液之塗敷裝 製造裝置及製造方 供一種塗敷裝置及 因不要其所發生之 塗液之塗敷裝置及 ，在形成一定凹凸 口塗敷高黏度之螢 以所需均勻形態塗 在各種縱隔壁間形成之溝部1 1 0之 1 0 5之排出口 1 0 6所排出之塗液 隔壁1 0 2，但是，在具有橫隔壁1 〇 之排出孔1 0 6之排出孔形成板1〇 空隙變小，所以塗液（漿）1 0 8恐 線所示附著於排出孔形成板1 0 7之 敷中若塗液一旦附著於排出孔形成板1 I 之附近時，從排出孔1 0 6所排出之 方，導致排出舉動變成紊亂，塗液未 之塗液脫落，恐會發生所謂脫色之虞。 因而，本發明之問題係邊因應輕量 求以提供提升耐壓性之口承，並且， 提供一種在基材表面可均勻地塗敷塗 置及塗敷方法及電漿顯示器用基材之 法。 又，注目於如上述之種種問題，提 塗敷方法從複數之排出孔排出塗液， 塗敷不均勻之口承，及使用其口承之 方法，尤其如電漿顯示器面板之隔壁 狀之圖案之基材之複數凹部，從塗敷 光體漿時，將適當量之螢光體漿能夠 敷。 又，提供一種塗敷裝置及塗敷方法，及電漿顯示器面 1271767 五、 發明說明（ 7) 板 用 基 材 之製 造裝 置 及 製 方 法 其 係 在 表 面 形 成 格 子 狀 溝 部 之 基材 塗敷 塗 液 時 1 也 可 防 止 基 材 表 面 可 將 基 材 表 面 確 實 描繪 所需 獎 Η ί 〇 [ 發 明 之 揭示 ] 爲 了 解 決上 述問 題 1 本 發 .明 之 □ 承 其 特 徵 爲 9 在 塗 敷 對 象 物 約略 一直 線 上 排 列 塗 敷 塗 液 之 複 數 排 出 孔 並 且 在 內 部 具有 塗液 貯 留 部 之 □ 承 1 在 上 述 塗 液 貯 留 部 設 有 對 於排出孔之; 排列方向約略直交方向延伸 ?之 .支柱 〇 上 述 之 口承 ，係 例 如 形 成 有 排 出 孔 之 排 出 孔 形 成 構 件 與 接 合 形成 塗液 貯 留 部 之 塗 液 貯 留 部 成 形 構 件 接 合 堵 塞 塗 液 貯留 部形j 成構件之上部之蓋構件即可 •構 丨成 Ο 上 述 構 成係 沿著 排 出 孔 之 排 列 方 向 複 數 配 置 成 等 間 隔 較 佳 〇 配 置坦 種支 柱 時 對 於 沿 著 排 出 孔 之 排 列 方 向 即 可 均 勻 地提 升口 承 之 耐 內 壓 強 度 Ο 按 ， 支 柱 也 可 以 體 形 成於 塗液 貯留彳 部形成構件( 關 於 本 發明 之口 承 雖 妖 可 適 用 於 廣 範 圍 之 技 術 領 域 ， 但 是 尤 其使 用於 固 定 基 材 之 台 與 對 向 於 上 述 基 材 裝 設 將 具 有對 於基 材 塗 敷 塗 液 既 定 量 之 □ 承 與 將 台 與 □ 承 3 次 元性 地使 用 相 對 移 動 之 移 動 裝 置 之 基 材 之 塗 液 之 塗 敷 裝 置之 最佳: 者 〇 尤 其 將口 承之 相 對 移 動 方 向 與 垂 直 方 向 之 尺 寸 使 用 於 需 要 使用 於較 基 材 之 塗 敷 領 域 更 長 之 塗 液 之 塗 敷 裝 置 最 佳 者 〇 - 9- 1271767 五、發明說明（8) 爲了解決上述問題，本發明之塗液塗敷方法，基材與 對向於基材裝設之複數排出口爲排列成約略一直線狀之 口承與邊相對移動從排出孔排出塗液，對於基材塗敷塗 液之方法，其特徵爲；使用上述口承內部所形成之塗液 貯留部裝設向排出孔之排列方向直交方向延伸之支柱之 口承進行塗敷所構成。 作爲上述基材，例如可舉出在表面形成複數條狀之凹 部或格子狀凹部，在該凹部塗敷包含紅色，綠色，藍色 之任一色之螢光體之漿之塗液之電漿顯示器用發光基板 〇 於如上述之口承，在塗液貯留部，向排出孔之排列方 向成直交方向延伸之支柱，所以，可提升對於將塗液貯 留部形成構件從內側推開之方向力量之強度。因此，對 應此輕量化，低成本化之要求，可大幅度地提升對於口 承內壓之耐壓強度，可確實防止口承之變形等。又，配 置複數將支柱若沿著排出孔之排出方之間隔時’沿著口 承長向均勻提升對於口承內壓之耐壓強度。因此，依據 適用於該口承之塗液之塗敷裝置及塗敷方法，因可確實 地防止口承之變形等，所以，可在基材表面均勻地塗敷 塗液。 又，關於本發明之口承，其特徵爲具有；貯存塗液之 塗液貯留部，與在該塗液貯留部具有開口之複數排出口 ，與對於該塗液貯留部供給塗液之複數排出口，爲了對 -10- 1271767 五、發明說明（9) 於各塗液供給口，分岐供給來自其上游之塗液連接於各 塗液供給源之塗液流動所用之跑道（tQUrnamen t )形流 路。亦即，欲對於口承之塗液貯留部內供給塗液時爲了 備有複數塗液供給口之供給流量，使塗液從塗液供給源 流經跑道形流路流動於各塗液供給口。 又’上述塗液供給口之先端係形成爲管形狀，其先端 係裝設成能夠浸於塗液貯留部內之塗液中較佳。亦即， 當供給塗液時’尤其使氣泡不會混入，將供給口成爲管 狀，其先端爲浸於塗液中之構造。 又，相鄰之塗液供給口之所有間隔爲相等較佳。亦即 ，從各塗液供給口之供給流量爲相同，而考慮到塗液液 面高度之平坦性時，相鄰之塗液供給口之所有間隔爲相 等較佳。 又，上述跑道形流路，係可用管子構成，或也可貼合 形成溝之板材構成。尤其於後者之構成，因可拆下貼合 板材容易洗淨流路內部，所以優於洗淨性。 又，在塗液供給口上游可設用來調整控制塗液之供給 量之供給流量調整控制閥。又，也可採用相鄰塗液供給 口之至少一方之塗液供給口上游裝設流量調整控制閥之 構成。此供給流量調整控制閥，係指只開閉閥者，或具 節流因素，一次之開啓時經時性地使供給流量變化’或 一次開啓時不改變供給流量周期性地每供給之機會即可 使供給流量變化之閥。若採用這種構成時’可在從各塗 -11- 1271767 五、發明說明（1〇) 液供給口所供給之塗液在塗液貯留部內搖晃（移動）合 流位置。亦即’若使從各塗液供給之供給流量之調整控 制閥具有變化（每供給機會，或經時性），即可移動合 流之位置。又，若使相鄰塗液供給口之至少一方之塗液 供給流量具有變化時，即可移動合流之位置。藉此，對 於留存於合流位置，或欲留存之塗液給可給與搖晃，塗 液之黏度不會顯著地變化’不會發生塗敷不均勻。 又，上述另外之形態，也可移動所合流之位置。例如 ，可採用上述複數之塗液供給口分爲2個群組，對於各 個群組，在各個群組形成有跑道形流路之構造。亦即， 從同一群組中之塗液供給口所供給之供給量，係齊備由 各跑道形流路。倘若’塗液供給口爲4處配置成直線狀 ，各供給口以①②③④之順序排列。並且將這些分爲① 與②，③與④之2個群組’在各種個群組形成跑道形流 路。藉此，就可同時供給4處，只可從①與②，或③與 ④供給。同時供給①②③④時，在各個塗液供給口之間 ，就發生塗液合流之處所（邊界），從其排出之塗液將 會發生塗敷不均勻。於是’爲了移動（使其模糊）所合 流之處所，首先，只從①與②移動時，在①與②之間發 生合流處所，但是，因不會從③與④供給，所以隨著時 間塗液爲流向於③與④之方向，①與②合流之邊界也移 動也發生模糊。藉此，塗敷不勻就會消失。但是，不斷 -12- 1271767 五、發明說明（11) 地只從①與②供給時，若塗液爲高黏度時由於不容易流 動’所以會發生③④側之塗液變無，或在①②側與③④ 側塗液之液面高度變成大爲不同而發生塗敷不良。因此 ’爲了不發生這種情形，此情形就從③與④切換供給。 亦即’交互地只從①與②，③與④供給進行某次數時， 合流位置每當其時移動，而不會發生塗敷不均句。按， 談到將複數之塗液供給口分爲2個群組，但是，2個以 上之群組則任何情形都可，可得到同樣之效果。 或也可以爲設4處以上上述塗液供給口，配置成直線 上之塗液供給口每隔一個分爲2個群組，對於各個群組 成爲形成跑道形流路之構造。亦即，與上述同樣，若塗 液供給口爲4處時，①與②，③與④變成相同群組以跑 道形流路連接。藉此，同時可供給4處，也可只從①與 ②或只從②與④供給。假如，若將①②③④之間隔成爲 相同時，首先，若只從①與③供給時，塗液將在②之位 置合流。同樣，若只從②與④供給時，塗液將在③之位 置合流。亦即，若從單方之群組（①與③）供給時，就 在其時段合流之位置（②）發生塗敷不均勻，但是，在 發生塗敷不均勻之前，若從另方之群組（②與④）供給 時，因變成將先發生之合流位置強迫性地擾亂（使其移 動），所以不會發生塗敷不均勻。又與上述同樣，只將 ①與③，②與④之供給，進行某次數交互地持續進行即 1271767 五、發明說明（12) 可。又此構成係與上述構成相較，對於液面高度之平坦 性爲有利。爲了說明之方便上，①②③④係分別成爲同 間隔’但是並非限定於此。在先合流位置在其後直接供 給雖然可強迫性地擾亂，但是即使於合流位置附近，也 可充分移動合流位置。又，在2個群組之各個跑道形流 路上游可裝設塗液之供給流量加以調整控制之供給流量 調整控制閥。此供給流量調整控制閥係指只開閉閥者， 或具有節流因素，開一次時可使經時性地變化供給流量 之閥。若採取這種構成時，就可容易進行從各個群組之 供給或停止。 又，關於本發明之口承係配置複數之排出孔成直線狀 ，複數之塗液供給口係可採取對於排出孔之排列方向約 略並行之直線上之構成。 關於本發明之塗液之塗敷裝置，其係具有：對面於固 定基材之台，與基材裝設，在基材塗敷既定量之塗液之 口承，將台與口承三次元性地相對移動之移動裝置，對 於口承之塗液之供給源之塗液槽者，其特徵爲：在該塗 液槽與口承之間調整控制塗液之供給流量之供給流量調 整控制閥，與控制該供給流量調整控制之流量之控制裝 置，在上述口承，使用如前述之口承。 關於這種塗液之塗敷裝置，具有檢測上述口承之塗液 貯留部內之塗液量之檢測裝置，因應塗液量之檢測結果 -14- 1271767 五、發明說明（13) ，藉塗液槽與口承之間之塗液供給流量調整控制閥’就 可從塗液槽供給塗液於口承。將此塗液貯留部內之塗液 量作爲檢測裝置，係例如可使用塗液液面高度之感測器 〇 這種塗液之塗敷裝置，尤其對於電漿顯示器面板用基 材之製造有用。亦即，關於本發明之電漿顯示器面板用 基材製造裝置，其特徵爲：上述基材爲電漿顯示器用發 光基板，上述塗液爲包含發光成紅色，綠色，藍色之任 一顏色之螢光體粉未之漿，而使用如上述之塗敷裝置。 關於本發明之塗液之塗敷方法，其係對於具有複數排 出孔之口承供給來自塗液供給源之塗液，使上述口承與 基材對面相對地移動口承與基材，從上述口承之排出孔 排出塗液，對於基材塗敷塗液之方法者，其特徵爲：上 述口承係具有複數塗液供給口，分別在各塗液供給口所 供給之塗液之塗液貯留部內合流之位置，使其不留存於 某所定之位置供給塗液，塗敷塗液。 關於此方法，將從複數塗液供給口之各塗液供給口之 塗液供給流量使用經時性地變化，從各個塗液供給口所 供給之塗液之塗液貯留部內所合流之位置，可使其不留 存於某既定位置供給塗液。又，對於基材之塗液塗敷， 與反復對於上述口承之塗液貯留部內之塗液之供給時， -15- 1271767 五、發明說明（14) 將各塗液供給口之塗液之供給流量依每供給時改變，在 從各塗液供給口所供給之塗液之塗液貯留部內之所合流 之位置，也可某既定位置留存供給塗液。 又，關於本發明之塗液之塗敷方法，係對於具有複數 排出孔之口承，從塗液供給源供給塗液，上述口承使與 基材對面相對地移動供給與基材，從上上述口承之排出 孔排出塗液，對於基材塗敷塗液之方法，其特徵爲：對 於上述口承使用如上述之口承塗敷塗液。 關於此方法，對於基材之塗敷，反復對於上述口承之 塗液貯留部內之塗液之供給，將從各塗液供給口之塗液 之供給流量，可於供給時改變。又，複數之塗液供給口 爲被分爲2個群組時，反復對於基材之塗敷，上述口承 之塗液貯留部內之塗液之供給時，將從各群組之塗液供 給口之塗液供給口，可依各供給時交互地切換。其時， 將從各群組之塗液供給口之塗液供給，例如，持續二次 或更多次，此後也可將此供給動作在各群組交互地反復 進行。又，從一方之群組之塗液供給口之塗液供給，與 另一方之群組之塗液供給口之塗液供給，與將從兩方群 組之塗液供給口之塗液供給，也可一定次數與周期反復 進行。 於此塗液之塗敷方法，檢測上述口承之塗液貯留部內 之塗液量，依據其檢測結果，可對於上述口承供給塗液 。關於本發明之電漿顯示器面板用基材之製造方法，其 -16- 1271767 五、發明說明（15) 係上述基材爲電漿顯示器用發光基板，其特徵爲：上述 塗液爲包含發光爲紅色，綠色，藍色之任一色之螢光體 粉末之漿，包括使用如上述之塗敷方法塗敷塗液之工程 〇 關於本發明之電漿顯示面板，其特徵爲：使用由如上 述方法所製造之電漿顯示面板用基材。 又，本發明之塗液之塗敷方法，其係在表面成條狀形 成縱隔壁，並且，向與該縱隔壁約略直交方向形成有縱 隔壁高度以下之橫隔壁之基材，相對地移動對向於該基 材所裝設之口承從設於口承之複數排出孔排出塗液，在 所選擇之基材縱隔壁間之溝部塗敷塗液之方法’其特徵 爲：上述口承之排出孔之直徑（D )，上述橫隔壁高度 (H h )，具有上述口承之排出孔之面，被基材之縱隔 壁與橫隔壁圍住形成之溝部之間隔（C )爲滿足D + Η h < C之條件。 又，若口承之排出孔被形成爲非圓形狀時，沿著該排 出孔之塗液之塗敷方向之開口尺寸（B )爲滿足B + H h < C之條件即可。 又，爲了解決上述問題，另一本發明之塗液之塗敷方 法，係邊相對地移動在表面成條狀形成縱隔壁之基材’ 與對向於基材裝設之口承而從設於口承之複數排出孔排 出塗液，在所選擇之基材之縱隔壁間之溝部塗敷塗液之 方法，其特徵爲：上述基材與口承之相對速度（V ) ’ -17- 1271767 五、發明說明（16) 與從口承之排出孔之塗液排出速度（v )爲滿足〇 < V / v ^ 1之條件。按，上述基材也可以在與縱隔壁約略 成直交方向形成有縱隔壁以下高度之橫隔壁。 又，爲了解決上述問題，本發明另一之塗液之塗敷 方法，其係在表面成條狀形成縱隔壁之基材，與相對 地移動對向於基材所裝設之口承，從設於口承之複數排 出孔排出塗液，對於所選擇之基材之縱隔壁間之溝部塗 敷塗液者，其特徵爲：上述口承之排出孔之面積（a ) ，與形成於縱隔壁間溝部之剖面積（A )爲滿足〇 < a / A S 1之條件。 爲了解決上述問題，本發明另一之塗液之塗敷方法， 係邊相對地移動在表面成條狀形成縱隔壁之基材，並且 ，與對向於該縱隔壁向約略成直交方向形成縱隔壁高度 以下之橫隔壁之基材，設於口承之複數出孔排出塗液， 在所選擇之基材之縱隔壁間之溝部塗敷塗液之方法，其 特徵爲：上述口承之排出孔之面積（a )，形成於縱隔 壁間及橫隔壁間溝部之剖面積（A )，縱隔壁高度（Η ) ，橫隔壁間之塗敷方向長度（L )，橫隔壁高度（H h ) ，橫隔壁1個之塗敷方向長度（L h ) ’具有橫隔壁之 基板與無橫隔壁基板之塗敷量之比（k )爲滿足下式 (1 )，（ 2 )。 k=l— (Hh/H) · (Lh/Lh) · · (1) 〇<a/(k*a)^l ........(2) -18- 1271767 五、發明說明（17) 又，爲了解決上述問題，本發明之塗液之塗敷裝置， 係在表面形成條狀之縱隔壁並且在與該縱隔壁約略成直 交方向形成有縱隔壁高度以下之縱隔壁之基材，邊相對 地移動與對向於基材裝設之口承而從設於口承之複數排 出孔排出塗液，在所選擇之基材之縱隔壁間之溝部塗敷 塗液者，其特徵爲：上述口承之排出孔之直徑（A )， 上述橫隔壁高度（H h，具有於上述口承之排出孔之面 與形成於基材表面之縱隔壁及橫隔壁之溝部底面之隔壁 (C )爲規定上述直徑（D )及間隔（C )使其滿足D + H h < C之條件。 又，爲了解決上述問題，本發明另一之塗液之塗敷裝 置，其係在表面成條狀地形成有縱隔壁之基材，與邊將 對向於基材所裝設之口承相對地移動從設於口承之複數 排出孔排出塗液，在基材所選擇之縱隔壁間之溝部塗敷 塗液者，其特徵爲：上述口承之排出孔之面積（a ) ’ 規定面積（a )，使其形成於縱隔壁間之溝部之剖面積 (A )爲可滿足〇 < a / A S 1之條件。 並且，爲了解決上述問題，本發明另一之塗液之塗敷 裝置，其係在表面成條狀地形成有縱隔壁，並且，在該 縱隔壁之約略直交之方向形成有縱隔壁高度以下之橫隔 壁之基材，與邊將對向於基材所裝設之口承相對地移動 從設於口承之複數排出孔排出塗液，在基材所選擇之縱 隔壁間之溝部塗敷塗液者，上述口承之排出口之面積 -19- 1271767 五、發明說明（18) (a )，形成於縱隔壁間及橫隔壁間之溝部剖面積（A )， 縱隔壁高度（Η )，橫隔壁間之塗敷方向長度（L )， 橫隔壁高度（H h )，橫隔壁1個之塗敷方向長度（Η h )，具有橫隔壁之基板與無橫隔壁基板之塗敷量之比 (k )，規定了上述面積（a )使其能夠滿足下述（1 )， (2 )之條件。 k二1— (Hh/H) · (Lh/(L + Lh)) · · · (1) 0<a/(k.A)Sl ...(2) 本發明之塗液之塗敷方法及裝置，雖然可適用於廣範 圍之技術領域，但是尤其對於電漿顯示器用發光基板塗 敷含有紅色，綠色，藍色中之任一色之螢光體之漿狀塗 液之裝置及方法爲最適用。 如上述，於塗液之塗敷方法及裝置，口承之排出孔之 直徑（D )與橫隔壁高度H h，及口承之排出孔形成板 與形成於基材之縱隔壁間及橫隔壁間之溝部底面之間隔 (C )必須滿足D + H h < C之條件。從排出孔所排出 之漿狀塗液係於塗敷之後，在某程度仍然保持其原先之 形狀，亦即仍保持排出孔之形狀。因此，若是排出孔之 直徑（D )時，倘若非直徑（D )與橫隔壁高度（H h )之和未較間隔（C )爲小時，塗敷後之塗液附著於口 承之排出孔形成板之虞將會消除。又，設若口承之排出 孔爲非圓形狀時，沿著排出孔之塗液之塗敷方向之開口 尺寸（B )，若滿足B + H h < C之關係，就可防止所 -20- 1271767 五、發明說明（19) 排出之漿附著於口承之排出孔形成面之不妥情形。 又’ 口承與基材之相對移動速度（V )，從排出孔之 塗液排出速度（v )，必須具0 < V / v S 1之關係。 排出孔所排出之獎狀塗液將向口承與基材之相對移動 方向彎曲。又，因該漿之彎曲，與具有口承之排出孔形 成板之排出孔之面之濕潤性之關係，塗液可能濕潤排出 孔形成面。 但是，一旦塗液濕潤擴大排出孔形成板上時，從排出 孔所排出之塗液恐有再擴大於排出孔形成面上之虞。抗 衡這種濕潤作用爲了將塗液塗敷於基材上時，需要調整 塗液之排出角度。如第3圖所示，對於基材1 〇 0或口 承10 5之塗敷方向（箭頭方向）之移動速度（V)， 對於從排出孔1 〇 6之漿1 0 8之排出速度（v )之排 出角度（0)，係可用tane=V/v表示。亦即， Θ愈小塗液1 0 8對於面1 0 9之附著之虞就變低，實 驗上若具0 = 4 5 °時曉得了可防止對於面1 0 9之塗液 1 0 8之附著。所以’必須滿足〇〈 V / v $ 1之條件 〇 又，塗液1 0 8係必須塡滿溝部1 1 0，若將口承之 排出孔面積視爲（a ) ’形成於縱隔壁間之溝部剖面積 視爲（A )時，因每單位時間之塗敷量（Q )係Q = a • ν = Α · V所以可用t a n0=V/v = a/ A表示 。所以必須滿足0 < a / A $ 1之條件。 -21 - 1271767五、發明說明（2〇) 又’對於具有橫隔壁之基板之溝之塗敷量，係較無橫 隔壁之基板只少橫隔壁之體積分即可◦即使對於橫隔壁 之基板，與無橫隔壁之基板相同地，因同樣地塗敷漿， 所以塗敷即後係在橫隔壁上堆積漿。但是，放置一定時 間（流水平），橫隔壁上之漿就流入於橫隔壁間之溝， 橫隔壁間之塗敷溝之塡充量就變成需要量（塡滿）。 於此，將具有橫隔壁之基板對於溝部之每單位長度之 塗敷量視爲Q h，將無橫隔壁之基板對於溝部之每單位 長度之塗敷量視爲Q。於第4圖若將溝寬視爲W時，每 單位長度（L h + L )之Q h將變成如下， Q h - W · Η · L · (H — Hh) · L h 又，無橫隔壁時之Q係變成如下。 Q=W*H· (Lh + L) 因此，對於具橫隔壁之基板之溝部之塗敷量Q h ’與 對於無橫隔壁之基板之溝部之塗敷量Q之比k係可由下 式表不。 k = Q h // Q =(W · Η · L + W · (H- Hh) · L h > / (W · H · ( L h + L ) > 二 1- (Hh/H) · ( L h / ( L + L h )) 又，因此時排出角（0 )也必須設定爲Θ二4 5 °以下 ，所以必須滿足0 < a / ( k · A ) S 1之條件。 【實施發明之最佳形態】 -22- 1271767 五、發明說明（21) 本發明係對於塗敷對象物塗敷塗液之複數排出孔爲排 列成約略一直線狀，並且，在內部具有塗液貯留部之口 承，在上述塗液貯留部裝設對於排出孔之排列方向約略 成直交方向延伸之支柱之口承。 在上述口承之塗液貯留部具有供給塗液所需之複數塗 液供給口，在各塗液供給口，使從其上游之塗液供給源 之塗液流動加以分岐而連接於將塗液供給於各塗液供給 口所用之跑道形流路之口承。 並且，使從各塗液供給口之塗液之供給流量經時性地 發生變化，或，對於基材之塗液塗敷，與對於上述口承 之塗液貯留部內反復供給塗液時，從各塗液供給口之塗 液之供給流量每當供給時加以改變，從各個塗液供給口 所供給之塗液之塗液貯留部內所合流之位置不停留於某 一定位置地供給塗液，以塗敷塗液較佳。 並且，在表面成條狀形成縱隔壁，同時，在上述縱隔 壁略成直交方向形成有縱隔壁高度以下之橫隔壁之基材 ，與將對向於上述基材所裝設之口承相對性地邊移動從 設於口承之複數排出孔排出塗液，在基材所選擇之縱隔 壁間之溝部塗敷塗液時，上述口承之排出孔之直徑（D ) ，上述橫隔壁高度（H h )，上述口承所具有排出孔之 面，與由基材之縱隔壁與橫隔壁所圍住形成之溝部底面 之間隔（C )，爲規定上述直徑（D )及間隔（C )以 滿足D + H h < C之條件較佳。 -23- 1271767 五、發明說明（22) 並且，在表面成條狀形成縱隔壁之基材，對向於基材 所裝設之口承相對性地邊移動從設於口承之複數排出孔 排出塗液，在基材所選擇之縱隔壁間之溝部塗敷塗液之 方法，上述基材與口承之相對速度（V )，與從口承之 排出孔之塗液排出速度（V)爲滿足0<V/vSl之 條件較佳。 茲關於本發明之較佳實施形態參照圖式說明如下。 第5圖係關於本發明之口承，使用該口承之塗液之塗 敷裝置之斜視圖。此塗敷裝置係於被塗敷基材1 (於本 實施形態，係電漿顯示器用發光基板）上面在既定方向 形成有複數列之條狀塗液之塗著部之裝置。於第5圖， 塗敷裝置係在機台2上具有向X軸方向延伸之X滑動軌 道3a ，3a。在X滑動軌道3a ，3a上裝設有向X 軸方向可滑動行走之X滑動台4。在X滑動台4係卡合 將該台4向X軸方向滑動所用之驅動軸5。X滑動台4 係由X軸馬達6向X軸方向滑動。基材1係被定位於X 滑動台4上而被裝卸自如地吸附支撐。 在機台2上，係如跨越該機台2設有門型之支持機台 7。支持機台7係在前身側之側面7 a具有向γ軸方向 延伸之Y滑動軌道8 a，8 b。在Y滑動軌道8 a，8 b 上設有向Y軸方向可滑動行走之Y滑動台9。在Y滑動 台9卡合有將該台9向Υ軸方向滑動所用之驅動軸1〇 。Υ滑動台9係由Υ軸馬達1 1使其向γ軸方向滑動。 -24- 1271767 五、發明說明（23) 由X滑動台4 ，Y滑動台9等將口承1 8與被塗敷基材 1向塗敷方向（X軸，γ軸方向）構成使其相對移動之 第1移動裝置29a。 在Y滑動台9上設有向z軸方向延伸之z滑動軌道 12a ， 12b。在Z滑動軌道12a ， 12b上設有 可向Z軸方向滑動行走之z滑動台1 3 。在z滑動台 1 3上卡合布將該台1 3向Z軸方向滑動所用之驅動軸 1 4。Z滑動台1 3係由連結於Z軸方向位置控制裝置 4 1之Z軸馬達1 ’向z軸方向，亦即將口承1 8靠近 ，離開方向基材1進行滑動。像這樣，構成第2移動裝 置 2 9 b。 在Z滑動台1 3安裝有口承1 8。在Y滑動台9安裝 有檢測口承1 8之Y軸方向之位置之位置感測器1 7。 位置感測器1 7係於支持機台7上面移動自如地被支持 於向Y軸方向所裝設之感測器支持軸1 6。於Y軸馬達 1 1連結有欲變更Y滑動台9之移動速度所用之Y軸方 向速度控制裝置2 0。 使口承1 8向第5圖之Y軸方向移動，在口承1 8之 排出孔形成構件3 2以既定間隔，從略成一直線狀所裝 設之複數個之排出孔1 8 a排出塗液，在基材1上，形 成有複數列之塗著條1 9。按，排出孔1 8 a雖然也可 排列成等間隔，但是也可以既定周期變更形成其間隔。 第6圖係表示將第5圖所示塗敷裝置從X軸方向所視 -25- 1271767 五、發明說明（24) 口承1 8周邊。使用安裝於Z滑動台1 3之照相機2 2 攝影成爲基材1中之凹部2 1 ，經由圖像位置處理部2 3在X軸位置控制部2 4移動X滑動台4，控制成爲代 表之凹部2 1之中央與成爲該代表之凹部2 1所對應之 □承1 8中成爲代表之排出孔1 8 a中央座約略成爲一 致。亦即’如第7圖所示，將成爲基材1代表之凹部2丄 之圖像與圖像處理游標5 0之中央之差異ΔΧ之X滑動 台4向X軸方向移動加以補正。 按，成爲上述代表之凹部2 1係凹部排列方向中央之 凹部2 1 。又’成爲代表之排出孔1 8 a ，其排列方向 成爲中央之排出孔1 8 a。將成爲代表之凹部2 1及成 爲代表之排出孔1 8 a分別設定於其排列方向中央之凹 部2 1 ，排出孔1 8 a時，於排列方向端部之凹部2 1 與排出孔1 8 a中央之位置偏差可抑制爲最小限度。 第8圖係口承1 8之縱剖面圖。口承1 8係具有在內 部形成塗液貯留部3 0之塗液貯留部構件3 1 ，與和該 構件3 1互相接合之排出孔形成構件3 2與蓋構件3 2 。按，該構件3 1 ，3 2，3 3係使用焊接，擴散接合 ’黏著，或螺栓栓緊等可互相牢固地接合。於蓋構件 3 3設有在塗液貯留部3 0內供給塗液3 4之塗液供給 口 3 5，與在形成於塗液貯留部3 0上部之空間部3 6 內送入壓縮空氣之壓縮空氣供給口 3 7。 於壓縮空氣供給口 3 7連結有由管路所成氣體壓力導 -26- 1271767 五、發明說明（25 ) 通路3 8之一端。氣體壓力導通路3 8之另端係開口於 具有維持成設定壓力之氣體壓力源4 0。在氣體壓力導 通路3 8設有方向切換閥所成之開閉裝置3 9 ，藉開閉 裝置3 9之開閉切換進行空間部3 6與氣體壓力源4 0 之連通與遮斷。若連通空間部3 6與氣體壓力源4 0時 ，就向空間部3 6內送入壓縮空氣，空間部3 6內壓就 上升，隨此一定量之塗液3 0就從排出孔1 8 a排出。 開閉裝置3 9係檢測口承1 8之排出孔1 8 a之位置與 基材1之相對位置，由控制空間部3 6之時序（t i m i ng )未圖示之位置檢測，排出控制裝置控制所開閉之時序 〇 在塗液貯留部3 0係如第8圖，第9圖所示，設有排 出孔1 8 a之排列方向成直交方向延伸之支柱4 1。支 柱4 1係沿著排出孔1 8 a之排列方向以等間隔排列成 複數。於本實施形態，支柱4 1之剖面形狀雖然成爲圓 形，但是並非限定於此也可形成橢圓形，三角形，四角 形翼形狀等。又，支柱4 1與塗液貯留部構件3 1係如 第1 0圖所示，也可使用螺栓48旋緊。在支栓4 1與 構件3 1之接合面裝設有◦環，以確保該部分之密封性 。按，於本實施形態’雖然口承1 8內部之空間部3 6 所形成之型式者，但是，無空間部3 6在口承內部對於 塡滿塗液3 4型式之口承也可適用本發明。 第1 1圖係將形成於基材1上之凹部2 1從上面所視 -27- 1271767 五、發明說明（26) 之詳細。在凹部2 1塡充有紅色’綠色，藍色之任一色 之螢光體漿2 7 (塗液3 4 )’由隔壁2 5 (縱肋片） 以既定節距所形成之凹部2 1係在顯示部之端部中斷未 形成爲非顯示部2 6。於本實施例，如第1 2圖所示， 同一色之塗液每隔2個可塗敷於凹部2 1。因此，排出 孔1 8 a之節距係成爲隔壁2 5節距之3倍。按，基材 1係具有直交於隔壁2 5之橫肋片，凹部2 1也可以形 成爲格子狀。 於本實施形態，在口承1 8之塗液貯留部3 0因設有 向排出孔1 8 a之排列方向直交方向延伸之支柱4 1 ， 口承1 8之排出孔1 8 a之排列方向，換言之，可大幅 度地提升於口承1 8之寬度方向對於內壓之耐壓強度， 有效地防止口承1 8之變形等可將塗液均勻地塗敷於基 材1上。 又，因支柱4 1係沿著排出孔1 8 a之排列方向配置 成等間隔，所以至口承1 8之全體長向均勻地對於內壓 提升耐壓強度。 又’若依據如本實施形態之裝設支柱4 1 2之構成， 爲了欲提升對於口承內壓之耐壓強度將所形成之口承之 各構件厚壁化之構成相較，可大幅度地減低成本之提高 。又’也可抑制重量增加，可將口承1 8之裝卸作業變 成容易。 第1 3圖·第1 4圖係表示關於本發明之第2實施形 -28- 1271767 五、發明說明（27) 態之口承。於本實施形態，口承4 2係具有：形成塗液 貯留部4 3之塗液貯留部形成構件4 4，與該構件4 4 互相接合之排出孔形成構件4 5與蓋構件4 6。在塗液 貯留部4 3內設有直交於排出孔4 2 a之排列方向延伸 之支柱4 7。支柱4 7係一體地形成於塗液貯留部形成 構件4 4，沿著排出孔4 2 a向排列方向排列複數。 即使於本實施形態，將對於口承4 2內壓之耐壓強度 ，因可沿著排出孔4 2 a排列方向均勻地提升，所以可 邊抑制重量增加或成本增高，可防止口承4 2之變形。 又，於本實施形.態，因支柱4 7係一體地形成於塗液 貯留部形成構件4 4，所以，不僅構成口承4 2之零件 件數之增加，並且，也可提升口承4 2裝配時之操作性 〇 茲參照圖式說明本發明之較佳另外實施形態如下。 首先，將關於本發明之塗液之塗敷裝置之全體構成， 尤其說明對於凹凸基材（例如，電漿顯示器面板用基材 )之塗液之塗敷裝置之全體構成例。 第1 5圖係關於本發明之一實施形態之塗液之塗敷裝 置之全體斜視圖，第1 6圖係第1 5圖之台2 0 6與口 承2 2 0周圍之模式圖。 首先，關於塗液之塗敷裝置之全體構成說明如下。第 1 5圖係表示關於本發明之電漿顯示器面板之製造所適 用之塗敷裝置之一例。此裝置係具有基座2 0 2。在基 -29- 1271767 五、發明說明（28) 座2 0 2上，設有一對導溝軌道2 0 8 ’在此導溝軌道 208上配置有台206。於此台206上面，在表面 有凸凹以一定節距向一方向形成爲條狀之基材2 0 4使 用真空吸引可固定於台面設有複數之吸引孔2 0 7。又 ，基材2 0 4係由未圖示之浮動銷升降於台2 0 6上。 並且，台2 0 6係經由滑動腳2 0 9將導溝軌道2〇8 上向X軸方向可往復移動自如。 在一對導溝軌道2 0 8間，構成第1 6圖所示進給螺 旋機構之進給螺旋2 1 0，爲貫通固定於台2 0 6下面 之螺帽狀之連接器2 1 1延伸。進給螺旋2 1 〇之兩端 部係迴轉自如地被支持於軸承2 1 2，並且，在其一端 有A C伺服馬達2 1 6經由萬能接頭2 1 4連結。 如第1 5圖所示，在台2 0 6台上，將排出塗液之口 承2 2 0爲經由支持器2 2 2連結於升降機構2 3 0 ， 寬度方向移動機構2 3 6。升降機構2 3 0係具有可升 降之升降托架2 2 8，在升降機構2 3 0之殻內部升降 自如地安裝於一對導桿。又，在此殼內位於導桿間由球 形螺旋所成之進給螺旋（未圖示）也配置成迴轉自如， 經由螺帽型之連接器連結於升降托架2 2 8。並且，在 進給螺旋上端，爲連接於未圖示之A C伺服馬達，藉此 A C伺服馬達之迴轉就可隨意地升降動作升降托架2 2 8 ° 並且，升降機構2 3 0係經由Y軸移動托架2 3 2 ( -30- 1271767 五、發明說明（29) 致動器）連接於寬度方向移動機構2 3 6。寬度方向移 動機構2 3 6係將Y軸移動托架2 3 2向口承之寬度方 向，亦即向Y軸方向往復移動自如地移動者。爲了動作 所需之導桿，進給螺旋，螺帽型連結器，A C伺服馬達 等係在殼內配置成與升降機構2 3 0相同。寬度方向移 動機構2 3 6係由支柱2 3 4固定於基座2 0 2上。藉 這些構成，口承2 2 0係與Z軸向Y軸方向可自如地移 動。 並且，參照第1 5圖時，在基座2 0 2上面固定有逆 L字形之感測器支柱2 3 8，在其先端安裝有測定台2 0 6上之基材2 0 4之凸部頂上位置（高度）之高度感 測器2 4 0。又，在鄰於高度感測器2 4 0安裝於支柱 2 7 0用來檢測基材2 0 4之凹凸部位置之照相機2 7 2。 如第1 6圖所示，照相機2 7 2係電氣性地連接於圖像 處理裝置，可定量地求得凸凹部位置之變化。 並且，在台2 0 6 —端，爲經由感測器托架2 6 4安 裝有用來檢測具有對於口承2 2 0之排出孔2 4 4之下 端面（排出面）之台2 0 6之垂直方向位置之檢測感測 器 2 6 6。 於此，就對於口承2 2 0供給塗液及壓縮空氣使其排 出，表示於本發明之塗敷裝置之一實施形態於第1 6圖 。口承2 2 0係在其內部具貯留塗液之塗液貯留部2 7 7 ，在塗液之液面上部具有空間部2 7 6。在空間部2 7 6係 3 1 1271767 五、發明說明（3〇 ) 與壓縮空氣軟管281 ，壓縮空氣控制閥282，減壓 閥2 8 4，壓縮空氣源2 8 6連接，構成爲可供給任意 壓力之壓縮空氣。壓縮空氣控制閥2 8 2係由全體控制 器2 6 0開閉控制。壓縮空氣控制閥2 8 2係塗敷塗液 閥被控制成開狀態，藉供給於口承2 2 0之空間部2 7 6之 壓縮空氣之押壓力從排出孔2 4 4排出塗液2 4 2。排 出孔2 4 4係因應塗液之塗布寬度將其孔徑設定爲1〇 〜5 0 0 // m之間即可。 口承2 2 0係藉拆下蓋2 8 0就可開放口承內部，可 進行洗淨作業之構成較佳。 口承2 2 0內之塗液量係每當停止塗敷動作時被檢測 。於本發明之塗敷裝置，具有將口承2 2 0內之塗液量 對塗液以非接觸檢測之檢測裝置。口承2 2 0之塗液貯 留部2 7 7內之塗敷量之檢測，藉使用非接觸之檢測裝 置，就可防止因塗液引起之汙染。作爲此非接觸檢測器 裝置裝設檢測塗液之液面高度之感測器2 8 8。感測器 2 8 8係與全體控制器2 6 0以電氣方式連接，全體控 制器2 6 0係因應其檢測訊號，來控制供給裝置控制器 2 5 8。又，不將控制器直接固定於口承2 2 0 ，也可 構成爲固定於屬於另外構件之感測器托架（字圖示）， 構成這樣時，更換口承2 2 0時感測器係經常處於固定 於另外構件之狀態，每當更換口承時不必調整感測器之 對準位置。感測器托架也考慮由於口承2 2 0之形狀規 -32- 1271767 五、發明說明（31) 格之不同’可將感測器2 8 8之位置可向高度方向移動 調整，可在任意位置固定者較佳。於本發明，感測器2 8 8係雷射式’超音波式等非接觸檢測之感測器就可適 用’尤其從檢測精度或檢測範圍之寬度，使用雷射式移 位計爲最佳。此時，在口承2 2 0安裝透明板，考慮可 檢測液面者較佳。 在上述口承2 2 0連接有濾色器2 4 7，塗液供給軟 管2 4 6，塗液之供給流量調整閥2 4 8，塗液槽2 9 7。 在塗液槽2 9 7貯留有塗液2 4 2，經由壓縮空氣2 5 4 連接於壓縮空氣源2 5〇。 又，於上述實施形態，在馬達控制器2 6 2，輸入來 自驅動A C伺服馬達2 1 6，或升降機2 3 0與寬度方 向移動機構2 3 6之各個致動器2 9 1 ，2 9 3 (例如 ’ A C伺服器），並且’來自檢測台2 0 6之移動位置 之位置感測器之訊號，檢測口承2 2 0之動作位置之Y ，Z軸之各個線式感測器（未圖示）之訊號等。按，替 代使用位置感測器2 6 8，在A C伺服馬達2 1 6裝設 編碼器，依據來自此編碼器所輸出之脈衝訊號也可測檢 台2 0 6之位置。 按，於上述塗液塗敷裝置之全體構成，作爲高度感測 器2 4 0 ，係利用雷射，超音波等之非接觸測定形式者 ，或分度盤指不計（dial gage )，差動變壓器等接觸 測定形式者等，只要是可測定原理則任何者都可以使用 -33- 1271767 五、發明說明（32) 〇 又’檢測口承之排出孔2 4 4爲與凹部對應之相對位 置之檢測裝置，也可藉使用基材之凹部與排出孔分別個 別地檢測之照相機之圖像處理裝置所構成。 茲關於本發明之口承，表示各實施形態。亦即，上述 口承2 2 0及連接於其之塗液供給部，可採取如以下之 各種構成。 第1 7圖係表示關於本發明之一實施形態之口承3 0 1 之縱剖面圖。在口承3 0 1設有複數之塗液供給口 3〇2 ’複數塗液供給口 3 0 2爲在其上游連接於形成跑道形 流路3 0 3之配管。藉此，對於口承3 0 1之塗液貯留 部3 0 4供給塗液時，均勻地分配來自塗液供給源之塗 液3 0 5 ，從各種各塗液供給口 3 0 2可供給於塗液貯 留部304內。在口承301之蓋306 ，設有將塗液 貯留部3 0 4內所貯留之塗液3 0 5從排出孔3 0 7排 出所用之壓縮空氣供給於上部空間3 0 8之壓縮空氣供 給口 3 0 9。複數排出孔3 0 7係被配置成直線狀，複 數塗液供給口 3 0 2係向排出孔3 0 7之排列方向約略 平行地配置成直線狀。 第1 8圖係表示將塗液供給口 3 1 2之先端成爲管形 狀，且，將其先端浸漬於塗液3 0 5中之口承3 1 1。 藉此，供給塗液時，可防止在塗液中混入氣泡。又，於 這些口承3 1 0，3 1 1 ，若考慮塗液液面高度之平坦 -34- 1271767 五、發明說明（33 ) 性時’相鄰塗液供給口之間隔係全部相等較佳。又，若 各塗液供給口之間隔不能相等時，或，塗液供給口之數 目爲奇數時，即使是偶數只能成爲3之倍數，不能形成 均勻跑道形流路時，爲了齊備各塗液供給口之供給量， 例如，改變流路長度，改變流路徑，使流路壓力損失一 樣時，也可調整供給流量。 第1 9圖係表示將塗液供給口 3 2 2之上游跑道形流 路，以張貼板材3 2 4形成之溝所構成之口承3 2 1。 如上述之管子時，管子變長時洗淨管壁內壁就會變困難 ，若形成溝之板材3 2 4時，因可將其分解洗淨，不依 據流路長度容易洗淨。 藉經由如上述之跑道形流路3 0 3，3 2 3供給塗液 ，就可均勻地將塗液分配於塗液貯留部3 0 4內，可得 到從各排出孔3 0 7之均勻排出量。 第2 0圖係表示在塗液之供給口 3 3 2上游，裝設調 整控制塗液供給量之供給流量調整控制閥3 3 3之口承 3 3 1。此供給流量調整控制閥3 3 3係由電氣訊號就 可控制其開度，藉供給裝置控制器2 5 8以控制其開度 者。於圖示例，係由跑道形流路3 3 4所分岐之一對塗 液供給口 3 3 2之流路一方設有供給流路調整控制閥3 3 3 。藉此，如第2 1圖每當對於塗液貯留部3 0 4內之供 給機會時，或，如第2 2圖，即使於一次之供給經時性 地從各塗液供給口之塗液供給流量可使其具有變化，所 -35- 1271767 五、發明說明（34) 以，在塗液貯留部3 0 4內搖晃（使其移動）塗液合流 之位置，可使其不會發生塗敷偏差。此閥3 3 3 ’係如 圖示，即使只相鄰之塗液供給口一方’也可搖晃合流之 位置。 第2 3圖係表示將複數之塗液供給口 3 4 2分爲2個 群組（①與②，③與④之群組），將各個以跑道形流路 3 3 4連接之口承3 4 1。在各個2個群組，設有供給 流量控制閥3 4 4 a ，3 4 4 b。這些供給流量控制閥 3 4 4 a ，3 4 4 ’u係可由電氣訊號可控制其開度，藉 供給裝置控制器2 5 8控制其開度者。藉此，以如第2 4圖所示時序，可同時供給於4處，或只有塗液供給口 3 4 2之①與②，或只③與④，可只從一群組反復供給 。這些供給流量控制閥3 4 4 a ，3 4 4 b之控制，係 在供給裝置控制器2 5 8預先所決定之模式控制。 同時供給於①②③④時，在各個塗液供給口 3 4 2之 間，雖然會發生塗液合流之處所（邊界），但是作爲其 對策’首先，只從①與②供給時，雖然在①與②間發生 合流處所’但是因未從③與④供給，所以隨著時間塗液 會向③與④方向流動，①與②之合流之邊界也智利動而 變成模糊。藉此塗敷偏差就會消失。但是連續不斷地只 從①與②供給時，若塗液爲高黏度時就不容易流動，致 -36- 1271767 五、發明說明（35) 使③④側之塗液就變無，或在①②側與③④側塗液之液 面高度大爲不同時就會發生塗敷不良。因此，爲了不會 發生這種情形，此次就切換爲從③與④供給。亦即，只 將①與②’只從③與④之供給進行某次數，例如，2次 ’或持續其以上，其後係將此供給動作在各群組交互地 反復進行時，合流位置係每當其時移動，而不會發生供 給偏差。又，若考慮塗液液面之平坦性時，兩方之群組 ’亦即同時從①②③④供給之機會定期性地變小即可。 第2 5圖係表示將複數之塗液供給口 3 5 2每隔一 個分爲2組群組（①與③，②與④之群組），將各個 以跑道流路3 5 3 a ，3 5 3 b連接之口承3 5 1 。 各組群組，與其等所合流之上游側，裝設有供給流量 調整控制閥3 5 4 a ，3 5 4 b 。這些供給流量調整 控制閥354a ，354b ，也可以如第23圖所示 形態之供給流量調整控制閥，或如第2 5圖，藉虜縮 空氣控制閥之開閉，壓縮空氣也可以由控制開閉而& 壓縮控制閥3 5 4 a ’ ，3 5 4 b ’所控制。藉此’ 可同時供給4處，如只有①與③，或只有②與④’ @ 復只從一組群組供給。與第2 3圖所示實施形態之+ 同之點，在一方群組之塗液之合流位置附近，具有他 方群組之塗液供給口 。藉此，若從一方群組之 -37- 1271767 五、發明說明（36) 塗液供給供給時，在其時段雖然會發生塗液之合流位置 ’但是在發生塗有偏差之前，切換從他方群組供給時， 先於發生之合流位置就受到紊亂，不會發生塗敷偏差。 又於此實施形態，與第2 3圖所示之實施形態相較，對 於液面高度之平坦性爲有利。尤其，在一方之群組之塗 液之合流位置，配置他方群組之塗液供給口時，因可紊 亂合流位置所以有效。 第2 6圖係表示裝設檢測塗液貯留部3 0 4內之塗液 量（於本實施形態係液面）之感測器3 6 2之口承3 6 1。其他構成係與第2 3圖所示者實質上相同。感測器 3 6 2係與全體控制器6 0以電氣方式連接，全體控制 器6 0係因應其電氣訊號控制供給裝置控制器5 8。並 且，供給流量調整控制閥3 4 4 a ，3 4 4 b係由供給 裝置控制器2 5 8所開閉控制，而供給（補充）塗液之 塗敷裝置。 於此裝置’作爲一個方法，在塗液貯留部3 0 4內之 塗液量設定上限値，下限値，若低於下限時就開始供給 ’進到上限。此方法係雖然依上限値，下限値而異，但 是一次之供給動作供給較多塗液之方法，若如第2 〇圖 所示之□承時，因在一次之供給動作中經時性地從各塗 液供給口之供給流量使其具變化，所以，合流位置係不 只是一定位置，不會發生塗敷偏差。 又’作爲其他方法，也具有在塗液貯留部3 0 4內之 -38- 1271767 五、發明說明（37) 塗液量設疋管理値’低於管理値時’就開始供給’高於 管理値時停止之方法。此方法，係雖然依基材之塗敷量 (從口承之排出量）而不同，每當結束塗敷動作時對於 塗液貯留部3 0 4內供給塗液之方法，若如第2 〇圖所 示之口承時，每當供給動作時，使供給流量變化時不只 是合流位置，就不會發生塗敷偏差。又，如第2 3圖， 第2 5圖所示之口承時，只有①與②（或只有①與③） ’只有③與④（或只②與④）之供給進行某次數，例如 2次’或持續其次數以上，其後將此供給動作在各群組 交互地反復時，合流位置係每當其時就移動，不會發生 塗敷偏差。持續次數愈多合流位置之移動量就變大，雖 然不會發生塗敷偏差，但是考慮塗敷液面之平坦性時， 兩方之群組，亦即從①②③④同時供給之機會定期性地 變狹即可。 按’作爲感應測器，例如，如上述將塗液之液面高度 以非接觸檢測者，具雷射式，超音波式等之非接觸之移 位計。又，測定口承之重量，檢測塗液貯留內之塗液量 之方法’作爲其重量檢測感別器，也具有檢測塗液貯留 內之塗液量之方法，作爲其重量檢測感測器使用將檢測 重量變換電氣訊號之負載傳感器（load cell )較佳。 Μ且’就本發明之另外較佳實施形態參照圖式說明如 下。 -39- 1271767 五、發明說明（38) 於第5圖’在第1圖之基板1之表面，形成布向塗液 之塗敷方向延伸之複數之縱隔壁1 〇 1 ，與和該,縱隔壁 1 0 1直交方向延伸之橫隔壁1 〇 2。縱隔壁1 〇 1之 高度（H)與橫隔壁1 0 2之高度（Hh)之關係成爲 H^Hh。又，由壁101 ， 1〇2在基板1之表面形 成有格子狀之溝部1 1 0。溝部1 1 〇係具有凹部1〇 3 ，1 〇 4。凹部1 0 4係成爲縱隔壁1 〇 1與橫隔壁 1 0 2所圍住部分被形成。另者，凹部1 〇 3係由縱隔 壁1 0 1與橫隔壁1 0 2之頂部所形成。 第6圖係表示第5圖所示之塗敷裝置從X軸方向所視 之口承1 8周邊。安裝於Z滑動台1 3之照相機2 2攝 影成爲基板1中之代表之溝部1 1 〇，經由圖像位置處 理部2 3在X軸位置控制部2 4控制成移動X滑動台4 ’成爲代表之溝部1 1 0中央與成爲該代表之溝部1 1 〇所對應之口承1 8中成爲代表之排出孔1 8 a之中央 約略成爲一致。 第2 7圖係對於第5圖所示塗敷裝置之口承1 8之塗 液之供給控制裝置之槪略剖面圖。於第2 7圖，口承4 1 8 係由框體43 1所成，在框體431之下面板432 ’ 排出多數個塗液之排出孔4 1 8 a ，成一列以既定間隔 穿設。框體4 3 1之內部空間4 3 3，係由貯留塗液4 3 〇 (螢光體漿4 2 7 )之塗液貯留部4 3 1與位於其上部 之氣體空間4 3 5所形成。在框體4 3 1之上面板4 3 6設 -40- 1271767 五、發明說明（39) 有氣體壓力導通孔4 3 7，在氣體壓力導通孔4 3 7， 連結有由管路所成之氣體壓力導通路4 3 8之一端。氣 體壓力導通路4 3 8之另端係開口具有於被維持設定壓 力之壓力之氣體壓力源4 4 0。在氣體壓力導通路4 3 8 ，設有由方向切換閥所成之開閉裝置4 3 9 ，藉開閉裝 置4 3 9之開閉切換’進行氣體空間4 3 5與氣體壓力 源4 4 0連通之遮斷。開閉裝置4 3 9係檢測口承4 1 8之 排出孔4 1 8 a之位置與基板1之相對位置，由控制開 閉裝置4 3 9之時序之未圖示位置檢測，排出控制裝置 來控制開閉之時序。按，於本實施態樣，漿4 2 7係R (紅色），G (綠色）’ （B)藍色之中，塗敷其任一 顏色。 第2 8圖係形成於基板1上之溝部4 2 1從上面所視 之詳細圖。於本實施態樣，如第2 9圖所示，可塗敷同 一色之塗液每隔2個之溝部4 2 1。因此，排出孔4 1 8 a 之節距係成爲縱隔壁4 2 5 a節距之3倍。按，作爲基 板1 ，如第30圖所示，也可爲無橫隔壁425b者。 於本實施態樣，於排出孔4 1 8 a之直徑（D )，與 橫隔壁425b之高度（Hh) ’及從口承418之下 面板4 3 2到溝部4 2 1之凹部4 2 1 a底面之間隔c 之間，成立D+Hh<C之關係（弟3 1圖）。從排出 孔4 1 8 a所排出之漿4 2 7 ’將於其後仍然保持排出 孔418a之形狀（第32圖）。但是，只要成立D+ -41 - 1271767 五、發明說明（4〇 ) H h < C之關係’在橫隔壁4 2 1 b之頂部即使塗敷漿 427也不會附著於下面板432。 按，若排出孔4 1 8 a爲非圓形狀時，沿著該排出孔 4 18 a之塗敷方向之開口尺寸（B)係成爲滿足B + H h < C之關係。 又，於本實施態樣，口承4 1 8之相對速度（V ) ’ 從排出孔4 1 8 a之漿4 2 7之排出速度（v )必須爲 0<V/vSl。第32圖係如第33圖所示’從排出 孔4 1 8 a排出之漿4 2 7，係向口承4 1 8或基板1 之移動方向彎曲。因此，爲了防止對於所排出之漿4 2 7之 下面板4 3 2之附著，必須使對於排出速度（v )與基 板1或口承4 1 8之塗敷方向（箭頭方向）之移動速度 (V )所成之排出角度（Θ )儘量變小較佳。排出角度 (0)係可用t an0 = V/ v表示。又’若位於0° < 0 $ 4 5 °之範圍時’以實驗已知可防止漿4 2 7之下面 板4 3 2之附著。因此’若〇 < V / v $ 1時就可使0 位於上述範圍內。 又爲了在凹部42 1 a塡滿漿427，因會變成每單 位時間之塗敷量（Q )會變成Q = a · v = A · V所以 可用t an0=V/v二a/V表示。因此，可防止對 於下面板4 3 2之漿4 2 7之附著。 又，具橫隔壁4 2 5 b之基板對於溝4 2 1之塗敷量 ，係較無橫隔壁4 2 5 b之基板者，與無橫隔壁之基板 -42- 1271767 五、發明說明（41) 相同，因均勻地塗敷漿4 2 7，所以’塗敷即後係在凹 部42 1 b上堆積漿427。但是’放置（求水平）某 一定時間，凹部4 2 1 b之漿4 2 7就流入於凹部4 2 1 a ，橫隔壁間之塗敷溝之塡充量就會變成需要量（塡滿） 。於此，具有橫隔壁之基板對於溝部之每單位長度之塗 敷量視爲Q h，無橫隔壁之基板對於溝部之塗敷量視爲 Q。於第4圖將溝寬視爲W時，每單位長度（L h + L )之Q h，就變成， Qh-W-H-L+W· (H-Hh) -Lh 又，無橫隔壁時之Q就變成 Q=W-H· (Lh + L) 因此，對於具有橫隔壁之基板之溝部之塗敷量Q h ’ 與對於無橫隔壁之基板之溝部之塗敷量Q之比k •可由 下式表示。 k = Q h / Q =[W · Η · L + W · (H- Hh) .Lh] / [W · H · (Lh + L)] 二 1- (Hh/H) · ( L h / ( L + L h )) 又，此時因也必須設定爲排出角（Θ )爲Θ二4 5 以 下，所以，於本實施態樣爲可滿足〇 < a / ( k · A ) $ 1之條件。 實施例 實施例1 ’比較例1 -43- 1271767 五、發明說明（42) 使用只具有縱隔壁’成爲各縱隔壁間之寬度（W )= 〇.24mm，縱隔壁局度（H) = 〇·]_ 2mm，使用 口承之排出孔直徑（D )爲〇 . 1 ni m，0 · 1 2 m m， 0.1 5mm，0.22mm之4種類之口承，塗有了含 有發光成藍色之螢光體粉末之漿（黏度約6 0 〇泊）。 實施例2，比較例2 將各縱隔壁間之寬度（W )變更爲〇 . 2 8 m m以外， 與實施例1同一條件塗敷了漿。 實施例3，實施例4 將各縱隔壁間之寬度（W )變更了 〇 · 3 8 m m以外， 與實施例1同一條件塗敷了漿。 實施例5，比較例3 使用縱隔壁間之寬度（W ) = 〇 · 2 4 m m ’縱隔壁之 高度（H) = 0.12m 橫隔壁間之塗敷方向之長度（ L) =lmm，橫隔壁高度（Hh) =〇.lmm，橫隔壁 1個之塗敷方向長度（Lh) =〇.〇8mm ’ 口承之排 出孔直徑（D)爲 0.1mm ’ 0.1 2mm ’ 0.1 5mm ，〇 .2 2mm之4種類之口承，塗有了含有發光成藍色 之螢光體粉末之漿（黏度約6 0 0泊）° 實施例6，比較例4 將各縱隔壁間之寬度（w )變更爲〇 · 2 8 m m以外’ 與實施例5同一條件塗敷了漿。 -44- 1271767 五、發明說明（43) 實施例7，實施例8 將各縱隔壁間之寬度（W )變更爲〇 . 2 8 m m以外， 與實施例5同一條件塗敷了漿。 上述實施例1〜4，比較例1 ，2之結果表示於第1 表，第3 4圖。又，實施例5〜8 ，比較例3 ，4之結 果表示於第2表，第3 5圖。其結果，於實施例1〜8 ，未見到對於口承之下面板之漿附著，不會褪色可塗敷 成在基板均勻地塗敷漿。與此相對，於比較例1〜4， 發現了對於口承之下面板之漿之附著。又，在基板上觀 察到褪色。 於此，a = ( D / 2 ) 2 7Γ A = W · Η k=l — (Hh/H) · ( L h / ( L + L h )) -45- 1271767 五、發明說明（44) 實施例4 實施例3 比較例2 實施例2 比較例1 實施例1 CO oo 0.38 0. 38 0. 38 0. 28 0. 28 0. 28 0.28 0. 24 0.24 <〇 ro 〇> ro w (mm) ο Η-* ΓΟ <〇 h—^ ro ο Η— CO ο ο ΓΟ <〇 to 〇> ro O — to O ro 〇> C\〇 0.12 〇> ►—» to H (mm) ! 0.22 ο Κ—a cn 〇> — CO 〇> <3 ΓΟ to CD I—^ cn 〇> tND 〇> h—^ O ro ro o CJl 〇> ro K-* D (mm) 0. 03801 0. 01767 0.01131 0. 00785 0. 03801 0.01767 0.01131 0. 00785 0. 03801 0.01767 0.01131 0.00785 a (mm2) 0.0456 0.0456 0.0456 0.0456 0.0336 ! 0.0336 0.0336 0.0336 0.0288 0.0288 0.0288 0.0288 ! A (mm2) 0.83362 0. 38753 0. 24802 0.17224 j L 13135 0. 52594 0. 3366 0· 23375 i 1.31991 0· 61359 ! 0.3927 0.27271 1 1 a/A 39.8 CO IND CO CD CD OO oo cn ΓΟ OO OO CO CJl ro CO OO K-^ cn CO CJl oo 骑 lm
-46- 1271767 五、發明說明（45) 實施例8 實施例7| 比較例4' 實施例6 比較例3 實施例5 〇 CO 〇〇 〇> oo oo o CO OO o CO oo O CO oo o ro oo <〇 DO OO o ro oo ο CND 私 〇> ro a o ro 仏 0. 24 W (mm) 〇 1—^ CNO 〇> 1~* CO O ro o to o o ro o H—4 CO o h—^ ro Ο oo o h—4 tND o >~* CO O ΓΟ H i (mm) H-* H—4 H—^ i— f~* i—1 L (mm) 〇 <〇 o 〇> o H—^ O o H-* O — ο 1—^ 〇 i—» o H—1 p Hh (mm) 〇 g o g o § 〇> g o g o § 〇> g o TO ο § o g 0.08 0.08 Lh (mm) 〇 ΓΟ ro 〇> ΟΊ o to 〇> o IND ro o 〇> to 〇 — ο CO to CD 〇> I—1 CO O D (mm) 0. 03801 0. 01767 0.01131 0.00785 0.03801 0. 01767 0.01131 0. 00785 0.03801 0. 01767 0.01131 0. 00785 a (mm2) 0. 0456 0. 0456 0. 0456 0.0456 0. 0336 0. 0336 0.0336 j 0.0336 J 0. 0288 O s oo oo 0. 0288 0. 0288 A (mm2) 0. 93827 0.93827 1 0.93827 0.93827 0.93827 0. 93827 0. 93827 0. 93827 0.93827 0.93827 0. 93827 0. 93827 0.04279 i 0.04279 1 0.04279 0. 04279 0.03153 0. 03153 0. 03153 i- ί 0.03153 0. 02702 0. 02702 0. 02702 ：0. 02702 k A 0. 88847 0.41303 0.26434 0.18357 1.20578 0.56054 0.35874 0.24913 1.40674 I0·65396 0.41853 j 0.29065 a/k A 41,6 ΓΟ CO A K—4 oo 〇 S oo to CO oo H-* CD —a 1—» O CJ1 CD oo oo CO ΓΟ to -4 5； to 荈a 璐 2m -47- 1271767 五、發明說明（46) 實施例9 於第8圖，第9圖所示口承，總長9 8 5 m m，寬度5 0 ’高度4 〇mm，塗液貯留部之寬度1 6mm之 塗液貯留部形成構件，總長9 8 5 m m，寬度2 0 m m， 厚度1 m m，排出孔形成構件使用環氧系黏著劑接合， 將第1 0圖所示直徑1 2 m m之支柱沿著排出孔之排列 方向以5 0 m m間隔排列1 8個，支柱與塗液貯留部形 成構件係使用Μ 4螺栓栓緊。並且，將總長9 8 5 m m， 寬度5 0mm，寬度1 〇mm之蓋構件使用螺栓柱栓緊 裝配了口承。從壓縮空氣供給口供給〇 . 8 Μ P a之壓縮 空氣，上升了口承內壓，將口承之變形量使用三豐製度 盤指不器（De gimatic indicater ID-C112)測定。其 結果，在口承之長向中央部膨脹〇 . 〇 〇 2 m m，但是， 未剝離排出孔形成構件。 比較例5 拆下支柱以外與實施例9同一條件測定時’在口承之 長向中央部膨脹0 · 0 5 4 m m，剝離了排出孔形成構件 實施例9 於第2 5圖，對於長度9 8 5mm之口承246mm以 2 4 6 m m間隔配置4個塗液供給口，每隔一個分爲2 群組，將各個使用不銹鋼製管（內徑Θ 8 m m )連接構 成了跑道形流路。並且，對於口承供給了含發光成藍色 -48- 1271767 五、發明說明（47) 色之螢光體粉末（黏度約6 〇 〇泊），塗敷於基板時， 從一方群組之塗液供給口之漿供給，與從另方群組之塗 液供給口之漿供給，每機會交互地切換時，即使連續 5 0片在基板上也未發生塗敷不均勻。 比較例6 從4個塗液供給口不斷同時供給以外係與實施例1〇 同一條件塗敷於基板時，對面於塗液供給口之中間位置 之基板上發生了條狀之塗敷不勻。 【產業上之利用可能性】 如以上所說明，依據本發明之口承，係抑制重量增加 及，成本上升，提升對於口承內壓之耐壓強度可防止口 承之變形。又，使用本發明之口承之塗液之塗敷裝置及 塗敷方法時，因可防止口承之變形可塗敷塗液，在基板 上可均勻地塗敷塗液。 又，依據關於本發明之口承，對於口承供給螢光體漿 等塗液時，由於跑道形流路可在塗液貯留部內均勻地供 給，並且，因可變更從各塗液供給口所供給之塗液之合 流位置，所以，不僅可確保從各排出口之均勻排出量， 並且，可防止在塗液中混入氣泡，可防止塗敷不良之發 生。所以，可無塗敷不勻地長時間進行安定之塗敷。 關於使用這種口承之本發明之塗液之塗敷裝置及塗敷 方法，對於基材之塗敷，可達成高生產力與高品質化。 又，依據本發明之電漿顯示器面板用基材之製造方法 -49- 1271767 五、發明說明（48) 及電漿顯示器，因使用上述塗液之塗敷裝置及塗敷方法 ，所以可將品質高之電漿顯示器面板，及至長期可進行 安定生產，結果提高生產力，且，可低廉地製造。 並且，依據本發明之塗液之塗敷方法及裝置，因可確 實防止對於口承之排出口所欲形成之面之漿之附著，所 以可無脫色在基板上均勻地塗敷塗液。 圖式之簡單說明 第1圖係具有格子狀構造之基板之斜視圖。 第2圖係表示習知之塗液之塗敷裝置之口承與基板之 位置關係之放大剖面圖。 第3圖係用來說明排出速度與塗敷速度之關係之剖面 圖。 第4圖係基板之放大剖面圖。 第5圖係關於本發明之一實施態樣之口承及使用該口 承之塗液之塗敷裝置斜視圖。 第6圖係第5圖所示塗敷裝置從X軸方向所視之口承 周邊之槪略圖。 第7圖係揭示凹部之圖像與圖像處理之游標之槪略圖 〇 第8圖係第5圖所示塗敷裝置之口承之剖面圖。 第9圖係沿著第8圖之口承之V — V線之剖面圖。 第1 0圖係支柱與塗液貯留部形成構件使用螺栓接合 之口承放大圖。 -50- 1271767 五、發明說明（49) 第1 1圖係將基板上之凹部從上面所視之槪略圖。 第1 2圖係揭示排出孔與凹部之位置關係之槪略圖。 第1 3圖係關於本發明之另外實施態樣之口承之剖面 圖。 第1 4圖係沿著第1 3圖之口承沿X — X線之剖面圖 〇 桌1 5圖係關於本發明之一實施態樣之塗液之塗敷裝 置之全體斜視圖。 第1 6圖係表示第1 5圖之裝置之台與口承周邊之構 成之模式圖。 第1 7圖係關於本發明之一實施態樣之口承之槪略構 成圖。 第1 8圖係關於本發明之其他實施態樣之口承之槪略 構成圖。 第1 9圖係關於本發明之再另外實施態樣之口承之.槪 略構成圖。 第2 0圖係關於本發明之再另一實施態樣之口承之槪 略構成圖。 第2 1圖係關於本發明之一實施態樣從各塗液供給對 於塗液貯留部之塗液供給流量以模式表示之圖。 第2 2圖係關於本發明之另一實施態樣從各塗液供給 對於塗液貯留部之塗液供給流量以模式表示之圖。 第2 3圖係關於本發明之再另一實施態樣之口承之槪 1271767 五、發明說明（5〇) 略構成圖。 第2 4圖係關於本發明一實施態樣從各塗液供給口對 於塗液貯留部之塗液供給時序流量以模式表示之圖。 第2 5圖係關於本發明之再另外實施態樣之口承槪略 構成圖。 第2 6圖係關於本發明之另一實施態樣之口承槪略構 成圖。 第2 7圖係對於第5圖之裝置之口承之塗液之供給控 制裝置之槪略圖。 ~ 第2 8圖係在溝部塗敷塗液之基板之部分放大平面圖 〇 第2 9圖係表示口承之排出孔與溝部之位置關係之槪 略圖。 第3 0圖係基板之部分放大平面圖。 第3 1圖係表示第5圖之裝置之口承與基板之位置關 係之放大剖面圖。 第3 2圖係沿著第3 3圖之X I — X I線之放大剖面 圖。 第3 3圖係表示從第5圖之口承之排出孔之塗液之塗 敷狀態之放大剖面圖。 第3 4圖係表示口承之排出孔面積（a )與在表面具 有縱隔壁基板之溝部剖面積（A )之關係之關係圖。 第3 5圖係口承之排出孔面積（a )與表面具有縱隔 -52- 1271767 五、發明說明（51) 壁與橫隔壁之基板之溝部剖面積（k A )之關係之關係 圖。 元件符號對照表 1 被塗敷基材 2 機台 3a，3b X滑動軌道 4 X滑動台 6 X軸馬達 7 支持機台 8 a , 8 b Y滑動軌道 9 Y滑動台 10 驅動軸 11 Y軸馬達 12a , 12b Z滑動軌道 13 Z滑動台 15 Z軸馬達 16 感測器支持軸 17 位置感測器 18,42,220,301 口承 18a 排出孔 19 塗著條 20 Y軸方向速度控制裝置 21 凹部
-53- 1271767 五、發明說明（52) 22 , 272 照相機 23 圖像位 27 螢光體 29a 第2移 30 塗流貯 3 1 塗液貯 32 排出口 34 塗液 36 空間部 37 壓縮空 38 氣體壓 39 開閉裝 40 氣體壓 41 Z軸方 48 螺栓 50 遊標 101 ,42 5 a 縱隔壁 102 ,421b 橫隔壁 202 基台 204 基材 207 吸引孔 208 導溝軌 210 進給螺 道 旋 置處理部 漿 動裝置 器部 留部形成構件 形成構件 氣供給口 力導通路 置 力源 向位置控制裝置、（支柱） - 54- 1271767
五、發明說明（53) 212 軸承 216 AC伺服馬達 228 升降托架 230 升降機構 232 Y軸移動托架 236 寬度方向移動機構 258 供給裝置控制器 260 全體控制器 264 感測器托架 288 感測器 302，322 塗液供給口 30 3，3 2 3，3 3 4，3 5 3 a，3 5 3 b 跑道形流路 306 蓋板 432 下面板 -55-