CN1406156A - 喷嘴及涂布液的涂布装置和涂布方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种喷嘴，其特征在于，在向涂布对象物涂布涂布液的多个排出孔大致以直线状排列的同时，内部具有涂布液储存部的喷嘴中，所述涂布液储存部上设有在与排出孔的排列方向大致垂直相交方向上延伸的支柱。另外，本发明还提供一种使在表面上形成条状纵隔板，并在与该纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材与与该基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，向基材所选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的方法及装置。

Description

喷嘴及涂布液的涂布装置和涂布方法
技术领域
本发明涉及用于涂布涂布液的喷嘴(口金)及使用该喷嘴在基材表面涂布糊状物状涂布液的涂布液涂布装置和方法。本发明尤其适用于等离子体显示板(以下简称为PDP)、液晶滤色器(以下简称为LCM)、光学滤光器、印刷基板、半导体等的制造领域，尤其适合于涂布高粘度涂布液的PDP制造工序中，向玻璃基板等被涂布对象物表面非接触地排出涂布液同时形成薄膜图案的涂布液的涂布用喷嘴及涂布液的涂布装置和涂布方法。
背景技术
近年来，显示器在其方式上逐渐变得多样化。目前被人们注目的一种是比现有的阴极射线管更大型并且能够实现薄型轻质化的等离子体显示器。它是在形成于前面板和背面板之间的放电空间内发生放电，通过该放电从氙气生成以147nm的波长为中心的紫外线，通过该紫外线激发荧光体来实现显示。通过使用驱动电路使分开涂布有发光为红(R)、绿(G)、蓝(B)的荧光体的放电元件发光，可以对应于全色的显示。
还有，最近积极开发的AC型等离子体显示器是具有，粘贴形成有显示电极/介电层/保护层的前面玻璃板和，形成有寻址电极/介电层/隔板层/荧光体层的背面玻璃板，在用条状隔板隔开的放电空间内封入He-Xe或Ne-Xe的混合气体的构造。
R、G、B的各荧光体层是，将以粉末状荧光体粒子为主成分的荧光体糊状物以条状填充在通过背面上板形成的、每种颜色在一个方向上延伸的隔板形成的凹凸部的凹部。
荧光体以条状构成的构造也存在条形黑底显象管式的彩色显象管的面板上。
为了以高生产性和高品质制造这种构造的制品，将荧光体分开涂布成一定图案状的技术就变得重要。
例如，特开平10-27543(美国专利第5921836号)公开了，把等离子体显示板的隔板间作为对象用涂布喷嘴涂布的方法。
该喷嘴中，多个排出孔按照一定间隔以大致直线状穿透设置，喷嘴内部具有涂布液储存部。
另外，喷嘴上部设有向涂布液储存部供给涂布液的涂布液供给口。
在如上述的喷嘴，从涂布液供给口供给涂布液时，涂布液储存部的内压上升，从而给定量的涂布液从排出孔排出，涂布液涂布在基材表面。
但是，在如上述的喷嘴中，向涂布液储存部供给涂布液，涂布液储存部的内压反复上升，则喷嘴有可能扩孔而变形。尤其在排出孔多个排列的细长形状的喷嘴中，因受压面积变大而容易产生变形。喷嘴一旦变形，则排出孔也有可能变形，涂布液的排出量等将产生参差不齐，有可能无法在基材表面均匀地涂布涂布液。另外，作为喷嘴的其他形态，有形成排出孔的部件和形成涂布液储存部的部件为不同的部件，将其用螺栓连接、焊接、或粘接来接合的构成，但在这种情况下，由于喷嘴的变形在其接合面产生剪切应力，两个构件剥离，从而也可能使喷嘴破裂。再有，为了提高喷嘴内部的耐压强度而加厚喷嘴的构成部件，则有悖于喷嘴、进而涂布装置的轻量化、低成本化的趋势。
另外，该喷嘴需要，在内部具有涂布液储存部和涂布液上部的空间，在该上部空间注入压缩空气，用其压力将涂布液通过喷嘴挤出的构造。这是因为，采用在喷嘴内充满涂布液用泵等定量输液的构造，当作为涂布液的荧光体糊状物的粘度高时，涂布液的管道压力损失大，涂布起始滞后显著。
另外，采用在所述涂布液上部具有空间的喷嘴，把荧光体糊状物涂布于作为涂布对象物的基材上后，必须将与所涂布的量等量的荧光体糊状物再次供给于喷嘴内。
但是，上述特开平10-27543号公报所公开的涂布液的涂布中存在如下问题。
即，向喷嘴内供给荧光体糊状物时，如果采用把荧光体糊状物从喷嘴上部只是自由落下的方法，荧光体糊状物内有可能混入气泡。如果混入气泡，该气泡从喷嘴的排出孔出来时排出的糊状物被切断，引起涂布不良。
另外，向喷嘴内供给荧光体糊状物时，如果从一个地方供给，将花费时间。还有，如果荧光体糊状物为高粘度，为使因液面在喷嘴内变得平坦，需花费较长的时间。
另外，从喷嘴排出的荧光体糊状物的排出量，由于取决于储存于喷嘴内的荧光体糊状物的液压和向荧光体糊状物上部的空间供给的压缩空气的压力之和，所以为了保持一定的排出量也必须保持一定的荧光体糊状物的液面高度。
特别是具有多个排出孔的喷嘴时，如果不将荧光体糊状物的液面高度保持一定，并且平坦，则从各排出孔的排出量就会发生参差不齐，引起涂布不均等。因此，优选从多个涂布液供给口向喷嘴内供给涂布液。
但是，如果从多个涂布液供给口供给涂布液，有可能会产生涂布不匀。根据本发明者的研究，发现从多个涂布液供给口供给的荧光体糊状物在喷嘴内的某个固定位置肯定合流而停滞，而从该合流处附近的排出孔排出的荧光体糊状物引起涂布不匀。
即，向喷嘴供给荧光体糊状物时，如流过管内等时作用的剪切应力作用于荧光体糊状物。于是，象荧光体糊状物这种高粘度糊状物根据其剪切应力的大小和作用的时间而产生粘度变化。受到剪切向喷嘴内供给的荧光体糊状物的一部分必定到达合流处而停滞。
处于合流处的荧光体糊状物在剪切应力的大小或其作用的时间上与处于其他部分的荧光体糊状物不同，所以，与其他部分的荧光体糊状物相比其粘度发生显著变化。为了从排出孔排出而向荧光体糊状物加压时，在同一压力条件下，排出量和糊状物的粘度之间有相关性，其结果，从该合流处附近的排出孔排出的荧光体糊状物的量变得与其他部分不同，从而引起涂布不匀等不良涂布。
另外，近年来，在等离子体显示器领域中，应亮度或对比度的提高以及省电的要求，还采用如图1所示，在与向涂布液的涂布方向(图1的箭头方向)延伸的纵隔板101大致垂直相交的方向上形成比纵隔板101的高度低的横隔板102的基材100(如特开平11-213896号公报、特开2000-123747号公报等)。这种基材100中，由于在纵隔板101间配置有横隔板102，所以纵隔板101间的沟槽110形成为具有凹部103、104的格子状。
另外，如上所述的涂布液的涂布方法是，在沟槽部110涂布含有荧光体的糊状物状涂布液108，干燥固化，形成荧光体层，但在等离子体显示器用发光基板中，为了良好地进行隔板101间的发光，必须使在隔板101间发生的放电有效地作用于荧光体，有效地取出在荧光体中发生的光。为此，荧光体层的形状优选，在整个隔板101的壁面和沟槽部底的宽范围存在荧光体层。所以，优选把涂布液108灌满于沟槽部110。
但是，将现有的具有条状沟槽部的基材涂布涂布液的装置、方法直接用于具有格子状沟槽部的基材的涂布液的涂布，可能会产生如下问题。即，如图2所示，向形成于各纵隔板间的沟槽部110涂布糊状物状涂布液时，从喷嘴105的排出孔106排出的涂布液必须跨过横隔板102，但因横隔板102的顶部和具有喷嘴105的排出孔106的排出孔形成板107的面109之间的间隙变小，所以涂布液(糊状物)108有可能附着于如图2中虚线所示的排出孔形成板107的面109。涂布时涂布液一旦附着在排出孔形成板107的排出孔106的附近，则从排出孔106排出的涂布液将被它们所吸引，使得排出行为紊乱，产生涂布液未能涂布于沟槽部110的涂布液遗漏，发生所谓的脱色。
所以，本发明的课题是应轻量化、低成本化的要求，提供提高耐压性的喷嘴的同时，提供通过使用该喷嘴能够在基材表面均匀涂布涂布液的涂布液涂布装置和涂布方法以及等离子体显示板用基材的制造装置和制造方法。
另外，着眼于如上所述各种问题，提供从多个排出孔的涂布液的排出，并且不由此产生涂布不均的喷嘴，以及使用该喷嘴的涂布液的涂布装置和涂布方法，特别是向如等离子体显示板的隔板那样形成有一定凹凸状图案的基材的多个凹部，从涂布喷嘴涂布高粘度荧光体糊状物时，能够把适量的荧光体糊状物按照所希望的均匀的形态涂布的涂布装置及涂布方法。
另外，提供向表面形成有格子状沟槽部的基材涂布涂布液时，防止涂布遗漏(脱色)，在基材表面能够确实描绘形成所希望的糊状物图案的涂布液的涂布装置和涂布方法，以及等离子体显示板用基材的制造装置及制造方法。
发明内容
为了解决上述课题，本发明喷嘴的特征在于：在向涂布对象物涂布涂布液的多个排出孔大致以直线状排列的同时，在内部具有涂布液储存部的喷嘴中，所述涂布液储存部中设有在与排出孔的排列方向大致垂直相交方向上延伸的支柱。
上述喷嘴可以通过，例如接合形成排出孔的排出孔形成部件和形成涂布液储存部的涂布液储存部形成部件，接合闭塞涂布液储存部形成部件上部的盖部件来构成。
上述支柱优选在沿着排出孔排列方向的方向上以等间隔配置多个。如此配置支柱的话，对于沿着排出孔排列方向的方向，能够均匀地提高喷嘴的耐内压强度。另外，该支柱也可能与涂布液储存部形成部件形成整体。
本发明涉及的喷嘴适用于广泛的技术领域，但特别适用具有具备固定基材的台、与所述基材对向设置的向基材涂布给定量涂布液的喷嘴和使台与喷嘴三维相对移动的移动机构的向基材涂布涂布液的装置。
特别适用于必须使喷嘴的与相对移动方向垂直方向的尺寸长于基材涂布领域的涂布液的涂布装置。
为了解决上述课题的本发明的涂布液的涂布方法，其特征在于，相对移动基材和与基材相对设置，并且多个排出孔大致以直线状排列的喷嘴的同时从排出孔排出涂布液，在基材上涂布涂布液的方法中，使用在形成于所述喷嘴内部的涂布液储存部中，设置有在与排出孔的排列方向垂直相交的方向延伸的支柱的喷嘴进行涂布。
作为上述基材，例如，可例举的有在表面形成多个条状凹部或格子状凹部，在该凹部涂布含有红色、蓝色、绿色中任意一种颜色的荧光体的糊状物的涂布液的等离子体显示器用发光基板。
在上述喷嘴中，由于在涂布液储存部设置有在与排出孔的排列方向垂直相交的方向上延伸的支柱，所以可以提高相对从内侧扩孔涂布液储存部形成构件的力的强度。因此，可以在满足轻量化、低成本化的要求的条件下，大幅度提高对喷嘴内压的耐压强度，确实防止喷嘴的变形等。还有，如果在沿着排出孔的排列方向的方向上等间隔配置多个支柱，可以在喷嘴的纵向上均匀提高对喷嘴内压的耐压强度。因此，根据使用该喷嘴的涂布液的涂布装置及涂布方法，由于可以确实防止喷嘴的变形等，所以，可以在基材表面均匀地涂布涂布液。
另外，本发明的喷嘴的特征在于：具有储存涂布液的涂布液储存部、从该涂布液储存部内侧向外侧开通的多个排出孔和、向该涂布液储存部供给涂布液的多个涂布液供给口，各涂布液供给口与为使来自其上流的涂布液供给源的涂布液流分岔将涂布液分别供给各涂布液供给口的分支形流路连接。即，向喷嘴的涂布液储存部内供给涂布液时，为了使多个涂布液供给口的供给流量一致，涂布液从涂布液供给源通过分支形流路流向各涂布液供给口。
另外，上述涂布液供给口的顶端形成管状，其顶端优选设置成浸入涂布液储存部内的涂布液中。即形成供给涂布液时，特别是为了不混入气泡，使供给口成管状，并且其顶端浸入涂布液中的结构。
另外，相邻的涂布液供给口的间隔优选全部相等。即，从各涂布液供给口的供给流量相同，考虑到涂布液液面高度的平坦性，最好是相邻的涂布液供给口的间隔全部相等。
另外，上述分支形流路可以用管构成，也可以粘贴形成沟槽的板材来构成。尤其采用后者的构成，因可以取下粘贴的板材容易清洗流道内部，所以富于清洗性。
另外，可以在涂布液供给口的上流设置调节控制涂布液供给流量的供给流量调节控制阀。另外，可以采用在相邻的涂布液供给口的至少一方的涂布液供给口的上流设置流量调节控制阀的构成。该供给流量调节控制阀可以是，只开关阀的，或具有节流因子，可以在一次开时经时地改变供给流量、或在一次开时不改变供给流量，而是能够循环性地在每次供给时改变供给流量的阀。如果采用这种构成，可以摆动(移动)从各涂布液供给口供给的涂布液在涂布液储存部内合流的位置。即，如果使从各涂布液供给口的供给流量的调节控制阀发生改变(在每次供给时，或经时地)，可以移动合流的位置。另外，如果使相邻的涂布液供给口的至少一方的涂布液供给流量发生改变，可以移动合流的位置。这样，可以动摇滞留在合流位置或者欲滞留的涂布液，可以涂布液粘度不会发生显著变化，不产生涂布不匀的问题。
还有，也可以用与上述不同的方案移动合流位置。例如，采用所述多个涂布液供给口分为两个组，对于各组形成分支形流路的构造。即，从同一组中的涂布液供给口供给的供给量通过各分支形流路使其一致。假设，涂布液供给口在四处成直线设置，各供给口以①②③④的顺序排列。然后把它们分成①和②、③和④这两个组，由各组形成分支形流路。由此，既可以四处同时供给，也可以只从①和②、或只从③和④供给。当①②③④同时供给时，各个涂布液供给口之间产生涂布液合流的地方(界限)，从这里排出的涂布液引起涂布不匀。这样，如果为了移动(模糊)合流的地方，首先只从①和②供给，则在①和②之间产生合流处，但因不从③和④供给，所以随着时间推移涂布液向③和④的方向流动，①和②合流的界限也移动而变模糊。这样涂布不匀就会消失。但是，如果源源不断地只从①和②供给，当涂布液为高粘度时因难以流动，③④侧的涂布液会消失，或者在①②侧和③④侧涂布液的液面高度差异变大而产生不良涂布。所以，为了避免这种现象，这次替换成从③和④供给。即，如果以某个次数、交互地进行只从①和②的、只从③和④的供给，则合流位置每次都会移动，不产生涂布不匀。另外，虽然说到把多个涂布液供给口分成两个组，但只要是分成两个以上的组，任何一种都可以得到同样的效果。
或者，也可以设置四处以上所述涂布液供给口，排成直线状的涂布液供给口每隔一个地分成两组，对于各组形成分支形流路的构造。即，与上述相同，当涂布液供给口为四处时，①和③、②和④各为一组，用分支形流路连接。由此，可以四处同时供给，也可以只从①和③、或只从②和④供给。假如，①②③④的间隔相同时，如果首先只从①和③供给，则涂布液将在②的位置合流。同样，如果只从②和④供给，则涂布液将在③的位置合流。即，如果从一组(①和③)供给，会在其之间合流的位置(②)产生涂布不匀，但如果在产生涂布不匀之前从另一组(②和④)供给，则强制性地搅乱(移动)先前产生的合流位置，所以不会产生涂布不匀。与前面所述相同，优选以某一次数、交互地进行只从①和③的、只从②和④的供给。另外，该构成与前面所述的构成相比，有利于液面高度的平坦性。为便于说明，设定①②③④的间隔各自相同，但并不局限于此。如果在先前合流的位置之后直接供给，则可以强制性地搅乱，即使在合流位置附近也足可以移动合流位置。另外，可以在两组分别的分支形流路的上流设置调节控制涂布液供给流量的供给流量调节控制阀。该供给流量调节控制阀可以是，只开关阀的，或具有节流元件，可以在一次开时经时地改变供给流量的阀。如果采用这种构成，可以容易进行从各组的供给或停止。
还有，本发明的喷嘴可以采用，多个排出孔排列成直线状，多个涂布液供给口与排出孔的排列方向大致平行地排列成直线状的构成。
本发明的涂布液的涂布装置的特征在于：在具备固定基材的台、与基材对面设置并向基材涂布给定量涂布液的喷嘴、使上述台和喷嘴三维相对移动的移动机构和、作为向喷嘴内供给的涂布液的供给源的涂布液槽的涂布装置中，在该涂布液槽和喷嘴之间具备调节控制涂布液的供给流量的供给流量调节控制阀和、控制该供给流量调节控制阀的流量的控制机构，所述喷嘴使用如上所述的喷嘴。
在这样的涂布液的涂布装置中，具有检出所述喷嘴的涂布液储存部内涂布液量的检出机构，通过根据涂布液量的检出结果，控制涂布液槽和喷嘴之间的涂布液的供给流量调节控制阀，可从涂布液槽向喷嘴供给涂布液。作为检出该涂布液储存部内涂布液量的机构，可以使用例如检出涂布液液面高度的传感器。
这种涂布液的涂布装置特别对等离子体显示板用基材的制造有用。即，本发明的等离子体显示板用基材的制造装置的特征在于，所述基材为等离子体显示器用发光基板，所述涂布液是含有发光为红色、绿色、蓝色的任意一种颜色的荧光体粉末的糊状物，使用如上所述涂布装置。
本发明的涂布液的涂布方法的特征在于：是从涂布液供给源向具有多个排出孔的喷嘴供给涂布液，将所述喷嘴对置于基材并使喷嘴与基材相对移动，从所述喷嘴的排出孔排出涂布液，向基材涂布涂布液的方法，所述喷嘴具有多个涂布液供给口，以从各涂布液供给口供给的涂布液在涂布液储存部内合流的位置不停滞于某个固定位置的方式来供给涂布液，涂布涂布液。
在这种方法中，经时地改变从多个涂布液供给口的各涂布液供给口供给涂布液的流量，从而可以使从各涂布液供给口供给的涂布液在涂布液储存部内合流的位置不停滞于某个固定位置来供给涂布液。另外，反复向基材涂布涂布液和向所述喷嘴涂布液储存部内供给涂布液时，也可以在每次供给时改变从各涂布液供给口供给涂布液的流量，以使从各涂布液供给口供给的涂布液在涂布液储存部内合流的位置不停滞于某个固定位置地供给涂布液。
另外，本发明的涂布液的涂布方法的特征在于：是从涂布液供给源向具有多个排出孔的喷嘴供给涂布液，将所述喷嘴与基材相对设置，并使喷嘴与基材相对移动，从所述喷嘴的排出孔排出涂布液，向基材涂布涂布液的方法，作为所述喷嘴使用如前所述的喷嘴来涂布涂布液。
在这种方法中，可以在反复向基材的涂布和向所述喷嘴涂布液储存部内供给涂布液时，在每次供给时改变从各涂布液供给口供给涂布液的流量。另外，在多个涂布液供给口分为两组的情况，可以在反复向基材的涂布和向所述喷嘴涂布液储存部内供给涂布液时，将从各组涂布液供给口供给涂布液在每次供给时交互切换。此时，也可以将从各组涂布液供给口的涂布液供给连续进行如两次或以上，然后在各组交互反复该供给动作。另外，也可以以一定次数和周期反复进行从一个组的涂布液供给口的涂布液供给、从另一个组的涂布液供给口的涂布液供给和从双方组的涂布液供给口的涂布液供给。
在这样的涂布液的涂布方法中，可以检出所述喷嘴涂布液储存部内的涂布液量，根据其检出结果向所述喷嘴供给涂布液。本发明的等离子体显示板用基材的制造方法的特征在于，所述基材为等离子体显示器用发光基板，所述涂布液是含有发光为红色、绿色、蓝色的任意一种颜色的荧光体粉末的糊状物，含有使用如上所述涂布方法来涂布涂布液的工序。
本发明的等离子体显示板的特征在于，使用通过如上所述方法制造的等离子体显示板用基材。
另外，本发明的涂布液的涂布方法的特征在于，是使在表面形成条状纵隔板并在与该纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材与、与该基材对面设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的方法，所述喷嘴的排出孔的直径(D)、所述横隔板的高度(Hh)、所述喷嘴的具有排出孔的面和、被基材的纵隔板和横隔板包围形成的沟槽部底面的间隔(C)满足D+Hh＜C的条件。
另外，喷嘴的排出孔形成为非圆形状时，使该排出孔沿着涂布液涂布方向的方向的开口尺寸(B)满足B+Hh＜C的条件即可。
另外，为了解决上述课题，另一个本发明的涂布液的涂布方法的特征在于，是使在表面上形成条状纵隔板的基材和与该基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴上的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的方法，所述基材与喷嘴的相对速度(V)和、从喷嘴的排出孔排出涂布液的排出速度(v)满足0＜V/v≤1的条件。还有，上述基材也可以是在与纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材。
还有，为了解决上述课题，另一个本发明的涂布液的涂布方法的特征在于，是在表面上形成条状纵隔板的基材与与该基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的方法，所述喷嘴的排出孔的面积(a)和、形成于纵隔板间的沟槽部的断面积(A)满足0＜a/A≤1的条件。
为了解决上述课题，另一个本发明的涂布液的涂布方法的特征在于，是使在表面上形成条状纵隔板并与该纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材与与所述基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的方法，所述喷嘴的排出孔的面积(a)和、形成于纵隔板间及横隔板间的沟槽部的断面积(A)、纵隔板高度(H)、横隔板间的涂布方向的长度(L)、横隔板的高度(Hh)、一块横隔板的涂布方向的长度(Lh)、有横隔板的基板和没有横隔板的基板的涂布量之比(k)满足下式(1)、(2)。
k＝1-(Hh/H)·(Lh/(L+Lh))    …(1)
0＜a/(k·A)≤1    …(2)
另外，为解决上述课题，本发明涂布液涂布装置的特征在于，在使相对移动在表面形成条状纵隔板并与该纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材与与所述基材对向设置的喷嘴的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的涂布液涂布装置中，使所述喷嘴的排出孔的直径(D)、所述横隔板的高度(Hh)、所述喷嘴的具有排出孔的面和、形成于基材表面的纵隔板间及横隔板间的沟槽部底面的间隔(C)满足D+Hh＜C的条件来规定所述直径(D)及间隔(C)。
另外，为解决上述课题，另一个本发明的涂布液的涂布装置的特征在于，是使在表面上形成条状纵隔板的基材与与该基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的涂布液涂布装置，使所述喷嘴排出孔的面积(a)、形成于纵隔板间的沟槽部的断面积(A)满足0＜a/A≤1的条件来规定面积(a)。
进一步，为解决上述课题，另一个本发明的涂布液的涂布装置的特征在于，在使在表面上形成条状纵隔板并与该纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材与与所述基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的涂布液涂布装置中，使所述喷嘴的排出孔的面积(a)、形成于纵隔板间及横隔板间的沟槽部的断面积(A)、纵隔板的高度(H)、横隔板间的涂布方向的长度(L)、横隔板的高度(Hh)、横隔板一个涂布方向的长度(Lh)、有横隔板的基板和没有横隔板的基板的涂布量之比(k)满足下式(1)、(2)来规定所述面积(a)。
k＝1-(Hh/H)·(Lh/(L+Lh))    …(1)
0＜a/(k·A)≤1    …(2)
本发明涂布液的涂布方法及装置适用于广泛的技术领域，但尤其适合作为在等离子体显示器用发光基板上涂布含有红色、蓝色、绿色中任意一种颜色的荧光体糊状物的涂布液的装置及方法。
在如上所述的涂布液的涂布方法及装置中，喷嘴的排出孔的直径(D)和横隔板的高度(Hh)、及喷嘴的排出孔形成板和形成于基材的纵隔板间及横隔板间的沟槽部底面的间隔(C)必须满足D+Hh＜C的条件。从排出孔排出的糊状物状涂布液在涂布后能够在一定时间内在某种程度仍保持其原形状，即仍保持排出孔的形状。所以，作为排出孔的直径(D)，如果满足直径(D)和横隔板的高度(Hh)之和比间隔(C)还小的话，就可以消除涂布后涂布液附着于喷嘴的排出孔形成板上的顾虑。另外，喷嘴的排出孔为非圆形状时，如果排出孔沿着涂布液涂布方向的方向的开口尺寸(B)满足B+Hh＜C的关系，则可以防止排出的糊状物附着于喷嘴的排出孔形成面的不良现象。
另外，喷嘴与基材的相对移动速度(V)、从排出孔排出涂布液的排出速度(v)必须为0＜V/v≤1。从排出孔排出的糊状物状涂布液向喷嘴和基材的相对移动方向弯曲。另外，根据该糊状物的弯曲和喷嘴排出孔形成板的具有排出孔的面的润湿性的关系，涂布液有可能润湿扩展到排出孔形成面上。但是，一旦涂布液润湿扩展到排出孔形成板上，从排出孔排出的涂布液有可能进一步向排出孔形成面上扩展。为了对抗这润湿作用将糊状物液涂布于基材上，必须调节涂布液的排出角度。如图3所示，根据基材100或喷嘴105向涂布方向(箭头方向)的移动速度(V)、从排出孔106排出糊状物108的排出速度(v)，排出角度(θ)可以用tanθ＝V/v来表示。即，θ越小向涂布液108的面109的附着的可能越小，实验中确认只要达到θ＝45°，就可以防止涂布液108向面109附着。因此，必须满足0＜V/v≤1的条件。
另外，涂布液108必须填满于沟槽部110，设定喷嘴的排出孔的面积(a)、形成于纵隔板间的沟槽部的断面积(A)，单位时间的涂布量(Q)为Q＝a·v＝A·V，所以可以表示为tanθ＝V/v＝a/A。因此，必须满足0＜a/A≤1的条件。
还有，向有横隔板的基板的沟槽的涂布量与没有横隔板的基板的相比，可以仅减少横隔板的体积部分。对于有横隔板的基板，也与没有横隔板的基板相同，同样涂布糊状物，所以涂布后横隔板上堆积糊状物。但是，通过放置一定时间(整平)，横隔板上的糊状物流落到横隔板间的沟槽，横隔板间的涂布沟槽的填充量变成必要量(充满)。
这里，将向有横隔板基板沟槽部的单位长度上的涂布量作为Qh、向没有横隔板基板沟槽部的涂布量作为Q。在图4中，如果把沟槽宽作为W，则单位长度(Lh+L)的Qh为：
Qh＝W·H·L+W·(H-Hh)·Lh
另外，没有横隔板时的Q为
Q＝W·H·(Lh+L)
因此，有横隔板基板沟槽部的涂布量Qh和没有横隔板基板向沟槽部的涂布量Q之比k可以用如下式表示：
k＝Qh/Q
 ＝[W·H·L+W·(H-Hh)·Lh]/W·H·(Lh+L)
 ＝1-(Hh/H)·(Lh/(L+Lh))另外，此时也必须把排出角(θ)设定为θ＝45°或以下，所以必须满足0＜a/(k·A)≤1的条件。
附图的简单说明
图1是具有格子状沟槽部的基板的立体图。
图2是表示现有的涂布液涂布装置的喷嘴和基板的位置关系的放大截面图。
图3是用于说明排出速度和涂布速度之间关系的截面图。
图4是基板的放大截面图。
图5是本发明第一个实施方案的喷嘴及使用该喷嘴的涂布液涂布装置的立体图。
图6是将图5所示涂布装置从X轴方向看时的喷嘴周边的概略图。
图7是表示凹部的图像和图像处理的滑块的概略图。
图8是图5所示涂布装置的喷嘴的截面图。
图9是图8中喷嘴的沿着V-V线的截面图。
图10是通过螺栓接合支柱和涂布液储存部形成构件的喷嘴的扩大截面图。
图11是从上面看基板上凹部的概略图。
图12是表示排出孔和凹部的位置关系的概略图。
图13是本发明其他实施方案涉及的喷嘴的截面图。
图14是图13喷嘴的沿着X-X线的截面图。
图15是本发明第一个实施方案涉及的涂布液涂布装置的整体立体图。
图16是表示图15装置的台和喷嘴周围的构成的示意图。
图17是本发明第一个实施方案的喷嘴的概略构成图。
图18是本发明其他实施方案的喷嘴的概略构成图。
图19是本发明另一个实施方案的喷嘴的概略构成图。
图20是本发明另一个实施方案的喷嘴的概略构成图。
图21是本发明第一个实施方案的、示意性地表示从各涂布液供给口向涂布液储存部的涂布液的供给流量的图。
图22是本发明其他实施方案的，示意性地表示从各涂布液供给口向涂布液储存部的涂布液的供给流量的图。
图23是本发明另一个实施方案的喷嘴的概略构成图。
图24是本发明第一个实施方案的，示意性地表示从各涂布液供给口向涂布液储存部的涂布液的供给定时器、流量的图。
图25是本发明另一个实施方案的喷嘴的概略构成图。
图26是本发明另一个实施方案的喷嘴的概略构成图。
图27是向图5装置的喷嘴的涂布液的供给控制装置的概略图。
图28是沟槽部涂布有涂布液的基板的部分放大平面图。
图29是表示喷嘴的排出孔和沟槽部间位置关系的概略图。
图30是基板的部分放大平面图。
图31是表示图5装置的喷嘴和基板之间位置关系的放大截面图。
图32是图33的沿着XI-XI线的扩大截面图。
图33是表示从图5喷嘴的排出孔涂布涂布液的状态的放大截面图。
图34是表示喷嘴的排出孔面积(a)和表面具有纵隔板的基板的沟槽部的断面积(A)之间关系的关系图。
图35是表示喷嘴的排出孔面积(a)和表面具有纵隔板和横隔板的基板的沟槽部的断面积(kA)之间关系的关系图。
发明的最佳实施方案
本发明是，向涂布对象物涂布涂布液的多个排出孔大致以直线状排列的同时，内部具有涂布液储存部的喷嘴，所述涂布液储存部上设置有在与排出孔的排列方向大致垂直相交的方向上延伸的支柱的喷嘴。
本发明为具有为向上述喷嘴的涂布液储存部供给涂布液的多个涂布液供给口，各涂布液供给口与使来自其上流的涂布液供给源的涂布液流分岔将涂布液供给于各涂布液供给口的分支形流路相连接的喷嘴。
进一步，经时性地改变从各涂布液供给口供给涂布液的流量，或在反复向基材涂布涂布液和、向所述喷嘴的涂布液储存部内供给涂布液时，优选在每次供给时改变从各涂布液供给口供给涂布液的流量，使从各自涂布液供给口供给的涂布液在涂布液储存部内合流的位置不停滞于某个固定位置地供给涂布液，涂布涂布液。
进一步，在使在表面上形成条状纵隔板的同时，在与所述纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材与与所述基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液时，优选使所述喷嘴的排出孔的直径(D)、所述横隔板的高度(Hh)、所述喷嘴的具有排出孔的面和被基材的纵隔板与横隔板包围形成的沟槽部底面的间隔(C)满足D+Hh＜C的条件来规定所述直径(D)和间隔(C)。
进一步，在使在表面形成条状纵隔板的基材与与该基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材所选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的方法中，所述基材与喷嘴的相对速度(V)和、从喷嘴的排出孔排出涂布液的排出速度(v)优选满足0＜V/v≤1的条件。
下面，对于本发明优选的实施方案参照图面进行说明。
图5为本发明的喷嘴、使用该喷嘴的涂布液涂布装置的立体图。该涂布装置是，在被涂布基材1(本实施方案中为等离子体显示器用发光基板)的上面在给定方向形成多列条状的涂布液涂敷部的装置。图5中，涂布装置具有在机台2上沿X轴方向延伸的X滑动轨道3a、3b。X滑动轨道3a、3b上设有能够在X轴方向滑动的X滑动台4。X滑动台4上交合有用于使该台4向X轴方向滑动用的驱动轴5。X滑动台4设置成通过X轴马达6能够在X轴方向滑动。基材1的位置定在X滑动台4上，自由安装拆卸地被吸附支撑。
机台2的上方以跨该机台2的状态设置有门型支撑机台7。支撑机台7在前侧的侧面7a上具有沿Y轴方向延伸的Y滑动轨道8a、8b。Y滑动轨道8a、8b上设有能够沿Y轴方向滑动的Y滑动台9。Y滑动台9上交合有使该台9在Y轴方向滑动用的驱动轴10。Y滑动台9设置成通过Y轴马达11能够沿Y轴方向滑动。通过X滑动台4、Y滑动台9等，形成了使喷嘴18与被涂布基材1沿涂布方向(X轴、Y轴方向)相对移动的第一个移动机构29a。
Y滑动台9上设有沿Z轴方向延伸的Z滑动轨道12a、12b。Z滑动轨道12a、12b上设有能够沿Z轴方向滑动的Z滑动台13。Z滑动台13上交合有使该台13沿Z轴方向滑动用的驱动轴14。Z滑动台13通过连接于Z轴方向位置控制机构41的Z轴马达15沿Z轴方向，即使喷嘴18与基材1接近、离开的方向滑动。这样构成了第二个移动机构29b。
Z滑动台13上安装有喷嘴18。Y滑动台9上安装有用于检出喷嘴18的Y轴方向位置的位置传感器17。位置传感器17被在支撑机台7上面在Y轴方向设置的传感器支撑轴16移动自由地支撑着。Y轴马达11上交合有用于变更Y滑动台9的移动速度的Y轴方向速度控制机构20。
喷嘴18沿图5的Y轴方向移动，从在喷嘴18的排出孔形成构件32上以给定间隔设置成略一直线状的多个排出孔18a排出涂布液，在基材1上形成多列涂敷条19。另外，排出孔18a可以等间隔排列，但也可以以给定周期变更其间隔来形成。
图6表示将图5所示涂布装置从X轴方向看时的喷嘴18周边。用安装于Z滑动台13的照相机22拍摄基材1中作为代表的凹部21，借助于图像位置处理单元23用X轴位置控制单元24移动X滑动台4进行控制，以使作为代表的凹部21的中央和与作为该代表的凹部21相对应的喷嘴18中的作为代表的排出孔18a的中央几乎一致。即，如图7所示，基材1的作为代表的凹部21的图像和图像处理的滑块50的中央之差ΔX靠使X滑动台4向X轴方向移动来较正。
另外，作为上述代表的凹部21为凹部排列方向中央的凹部21。还有，作为代表的排出孔18a为其排列方向中央的排出孔18a。如果把作为代表的凹部21及作为代表的排出孔18a各自设定为其排列方向中央的凹部21、排出孔18a，则可以把排列方向端部的凹部21和排出孔18a间的中央位置偏差控制到最小限度。
图8是喷嘴18的纵截面图。喷嘴18具有内部形成有涂布液储存部30的涂布液储存部形成构件31和、与该构件31相互接合的排出孔形成构件32和盖构件33。还有，各构件31、32、33可以通过焊接、扩散接合、粘接、或用螺栓缔结等相互牢固地接合。盖构件33上设有向涂布液储存部30内供给涂布液34的涂布液供给口35和、向形成于涂布液储存部30上部的空间部36内送入压缩空气的压缩空气供给口37。
压缩空气供给口37与由管道构成的气体压力通路38的一端相连接。气体压力通路38的另一端与具有维持在设定压的压力的气体压力源40开口连通。气体压力通路38上设有由方向切换阀构成的开关装置39，通过开关装置39的开关切换，进行空间部36和气体压力源40间的连通和隔断。如果空间部36和气体压力源40连通，则压缩空气送入于空间部36内，空间部36的内压上升，一定量的涂布液30随之从排出孔18a排出。开关装置39是通过检出喷嘴18的排出孔18a的位置与基材1的相对位置，控制开关装置39的定时的未图示的位置检出、排出控制机构来控制开关的定时。
涂布液储存部30内设有如图8、图9所示的在与排出孔18a排列方向垂直相交的方向上延伸的支柱41。支柱41是沿着排出孔18a的排列方向以等间隔多个排列。本实施方案中支柱41的断面形状为圆形，但并不局限于此，可以形成为椭圆形、三角形、四角形、翼形状等。还有，支柱41和涂布液储存部形成构件31可以如图10所示通过螺栓48连接。支柱41和构件31间的接合面上介装有密封环49，确保着该部分的密封性。还有，本实施方案中，表示了在喷嘴18内部形成有空间部36的类型，但对于没有空间部36的喷嘴内部充满涂布液34类型的喷嘴也适用本发明。
图11为从上面看基板1上形成的凹部21的详细图。凹部21上填充有红色、蓝色、绿色的任意一种颜色的荧光体糊状物27(涂布液34)，通过隔板25(纵肋)以给定间隔形成的凹部21在显示部的端部中断而未形成在非显示部26上。本实施方案中，如图12所示，同一颜色的涂布液每隔两个涂布于凹部21。因此，排出孔18a的间隔成为隔板25间隔的三倍。还有，基材1也可以是具有与隔板25垂直相交的横肋，以格子状形成凹部21的构成。
本实施方案中，喷嘴18的涂布液储存部30上设有在与排出孔18a的排列方向上垂直相交的方向上延伸的支柱41，所以可以大幅度提高喷嘴18的排出孔18a的排列方向，换言之提高在喷嘴18的宽幅方向上对内压的耐压强度，能够有效防止喷嘴18的变形等，将涂布液均匀地涂布于基材1上。
还有，支柱41因在沿着排出孔18a排列方向的方向上以等间隔配置，所以在喷嘴18的整个纵向能够均匀地提高对内压的耐压强度。
还有，通过成为如本实施方案设置支柱41的构成，与为了提高对喷嘴内压的耐压强度而加厚形成喷嘴的各构件的构成相比，可以大幅度降低成本。还有，还可以抑制重量增加，使喷嘴18的安装拆卸操作变得容易。
图13、图14表示本发明第二个实施方案的喷嘴。本实施方案中，喷嘴42具有形成涂布液储存部43的涂布液储存部形成构件44和、与该构件44相互接合的排出孔形成构件45和盖构件46。涂布液储存部43内设有在与排出孔42a的排列方向垂直相交的方向延伸的支柱47。支柱47与涂布液储存部形成构件44形成为整体，沿着排出孔42a的排列方向多个排列。
本实施方案中，能够沿着排出孔42a的排列方向均匀地提高对喷嘴42内压的耐压强度，所以可以抑制重量增加或成本上升，并防止喷嘴42的变形。
还有，本实施方案中，由于支柱47与涂布液储存部形成构件44形成为整体，所以在防止构成喷嘴42的零件数的增加的同时，提高喷嘴42组装时等的操作性。
接着，参照附图来说明本发明优选的其他实施方案。
首先，对本发明的涂布液涂布装置的全体构成，尤其对向凹凸基材(如等离子体显示板用基材)的涂布液涂布装置的全体构成的例子进行说明。
图15是本发明第一个实施方案涉及的涂布液涂布装置的全体立体图、图16是图15的台206和喷嘴220周围的示意图。
首先，对涂布液涂布装置的整体构成进行说明。图15表示适用于本发明的等离子体显示板的制造的涂布装置的一例。该装置具备基台202。基台202上设有一对导槽轨道208，该导槽轨道208上配置有台206。在该台206上面设有多个吸引孔207，使得在表面上以一定间隔在一个方向条状形成凹凸的基材204能够通过真空吸引固定于台面。另外，基材204通过未图示的升高钉在台206上升降。进一步，台206通过滑腿209在导槽轨道208上沿X轴方向自由往返移动。
一对导槽轨道208之间，如图16所示构成送螺丝机构的送料螺纹杆210贯通固定于台206下面的螺母状连接器211延伸。送料螺纹杆210的两端部被轴承212旋转自由地支撑着，并且其一端通过自由接头214连接有AC伺服马达216。
如图15所示，台206的上方，排出涂布液的喷嘴220通过支持物222与升降机构230、幅向移动机构236连接。升降机构230具备能够升降的升降托架228，在升降机构230的套内被一对导杆升降自由地安装着。还有，在该套内旋转自由地配置有位于导杆间并由圆头螺栓构成的送料螺纹(未图示)，通过螺母形的连接器与升降托架228连接。进一步在送料螺纹杆的上端连接有未图示的AC伺服马达，通过该AC伺服马达旋转，能够使升降托架228任意地进行升降动作。
进一步，升降机构230通过Y轴移动托架232(传动装置)连接在幅向移动机构236。幅向移动机构236是为了使Y轴移动托架232沿喷嘴的幅向，即沿Y轴方向自由往返移动。为了操作所必要的导杆、送料螺纹杆、螺母形连接器、AC伺服马达等在套内与升降机构230相同地配置。幅向移动机构236通过支柱234固定于基台202上。通过这种构成，喷嘴220能够沿Z轴和Y轴方向自由地移动。
进一步参照图15，基台202上面固定有反L形的传感器支柱238，其顶端安装有测定台206上基材204的凸部顶上位置(高度)的高度传感器240。还有，高度传感器240的相邻处，检测基材204凹凸部位置的照相机272安装在支柱270。如图16所示，照相机272电连接于图像处理装置274，可以定量地求出凹凸部位置的改变。
进一步，台206的一端通过传感器托架264，安装有检出喷嘴220的具有排出孔244的下端面(排出孔面)相对于台206在垂直方向位置的传感器266。
这里，对于向喷嘴220供给涂布排缩空气来排出的部分，将本发明的涂布装置的一个实施方案示于图16。喷嘴220在其内部具有储存涂布液的涂布液储存部277，在涂布液的液面上部具有空间部276。空间部276与压缩空气供给室281、压缩空气控制阀282、减压阀284、压缩空气源286相连，成为能够供给任意压力的压缩空气的构成。压缩空气控制阀282是由全体控制器260控制开关。压缩空气控制阀282是在涂布液涂布时控制成开的状态，通过向喷嘴220内的空间部276供给的压缩空气的挤压力从排出孔244排出涂布液242。排出孔244可根据涂布液的涂布宽度将其孔径设定在10～500μm之间。
喷嘴220优选为通过拆卸盖子280使喷嘴内部得以开放，进行清洗作业的构成。
喷嘴220内的涂布液量是在每次停止涂布动作时检出。本发明涂布装置中，具有以对涂布液以非接触状态地检出喷嘴220内的涂布液量的检出装置。在喷嘴220的涂布液储存部277内的涂布液量的检出中，通过使用非接触的检出装置可以防止涂布引起的污染。作为这种非接触检出装置设有检出涂布液液面高度的传感器288。传感器288与全体控制器260电连接，全体控制器260根据其检出信号控制供给装置控制器258。还有，还能够具有把传感器不直接固定于喷嘴220上，而是固定于作为其他构件的传感器托架(未图示)上，这样，喷嘴220的交换时传感器288也是经常固定于其他构件的状态，没必要在每次喷嘴交换时调节传感器位置状况等。传感器托架还考虑到根据喷嘴220形状的不同而检出液面高度水平不同的情况，优选能够把传感器288的位置在高度方向移动调节，能够固定在任意位置的构成。本发明中，传感器288只要是激光式、超声波式等能够非接触检出的传感器则均适用，其中从检出精度和检出范围的宽度的角度考虑更优选激光式位移计。此时，喷嘴220上优选考虑安装透明板，以能够检出液面。
所述喷嘴220连接有过滤器247、涂布液供给室246、涂布液的供给流量调节控制阀248、涂布液槽297。涂布液槽297中储有涂布液242，通过压缩空气控制阀254连接于压缩空气源250上。
还有，上述实施方案中，向马达控制器262中输入来自驱动台206的AC伺服马达216或、升降机构230和幅向移动机构236的各自操作器291、293(如AC伺服马达)、进一步检出台206移动位置的位置传感器268的信号、来自检出喷嘴220工作位置的Y、Z轴的各线性传感器(未图示)的信号等。还有，也可以在AC伺服马达216中纳入编码器，基于从该编码器输出的脉冲信号，检出台206的位置，以代替使用位置传感器268。
还有，对于所述涂布液涂布装置的整体构成，作为高度传感器240，使用利用激光、超声波等的非接触测定形式的，利用度盘式指示器、差动变压器等的接触测定形式的等，只要是测定可能的原理的均可使用。
还有，检测喷嘴的排出孔244与凹部对应的相对位置的检出手段，也可以由使用分别检测基材凹部和排出孔的照相机的图像处理装置构成。
接着，关于本发明喷嘴表出各实施方案。即，上述喷嘴220和与其连接的涂布液供给部可以采用如下各种构成。
图17表示本发明第一实施方案的喷嘴301的纵截面图。喷嘴301上设有多个涂布液供给口302，多个涂布液供给口302在其上流与形成分支形流路303的管道相连。由此，向喷嘴301的涂布液储存部304供给涂布液305时，可以均等分配来自涂布液供给源的涂布液305，从各涂布液供给口302向涂布液储存部304内供给。喷嘴301的盖子306上设有，为了使涂布液储存部304内储存的涂布液305从排出孔307排出的压缩空气向上部空间308供给的压缩空气供给口309。多个排出孔307排成直线状，多个涂布液供给口302与排出孔307的排列方向略平行地排成直线状。
图18表示，把涂布液供给口312的前端制成管状，并且把其顶端浸在涂布液305中的喷嘴311。由此，能够防止涂布液供给时气泡混入涂布液中。另外，于这些喷嘴301、311中，如果考虑涂布液液面高度的平坦性，优选相邻的涂布液供给口的间隔完全相等。还有，对于无法使各涂布液供给口的间隔相等的情况，或涂布液供给口的数目成奇数，或即使是偶数但不是3的倍数而无法形成均等的分支形流路的情况，为了使从各涂布液供给口的供给量一致，可以如改变流路长度，或改变流道直径来使流路的压力损失保持一致，调节供给流量。
图19表示，用粘贴形成沟槽的板材324来构成涂布液供给口322上流的分支形流路323的喷嘴321。如果是上述的管子，管子越长则越难以清洗管内壁，但如果是形成沟槽的板材324，因可以将其分解清洗，所以不管流路有多长，都可容易地清洗。
通过用如上述分支形流路303、323来供给涂布液，可以把涂布液均匀地分配于涂布液储存部304内，能够得到从各排出孔307的均匀的排出量。
图20表示在涂布液供给口332上流设有调节控制涂布液供给流量的供给流量调节控制阀333的喷嘴331。该供给流量调节控制阀333是可以根据电信号控制其打开程度，由供给装置控制器258控制其打开程度。图示例中，向由分支形流路334分岔的一对涂布液供给口332的流路的一方设有供给流量调节控制阀333。由此，如图21所示，在每次向涂布液储存部304内供给时，或如图22所示，在一次供给中也可以经时地改变从各涂布液供给口的涂布液供给流量，所以可以动摇(移动)涂布液在涂布液储存部304内合流的位置，避免引起涂布不匀。该阀333如图所示，即使只设置于相邻的涂布液供给口的一方，也可以动摇合流的位置。
图23表示把多个涂布液供给口342分成两个组(①和②、③和④的组)，分别用分支形流路343连接的喷嘴341。两个组各自设有供给流量调节控制阀344a、344b。这些供给流量调节控制阀344a、344b是能够根据电信号控制其打开程度，由供给装置控制器258控制其打开程度。由此，可以用图24所示定时(timing)向四处同时供给，也可以反复地仅从涂布液供给口342的①和②、或者③和④中的一个组进行供给。这些供给流量调节控制阀344a、344b的控制是用预先由供给装置控制器258决定的模式控制。
①②③④同时供给时，在各涂布液供给口342之间产生涂布液合流的地方(界限)，但作为其对策，首先只从①和②供给，则虽然在①和②之间产生合流处，但因不从③和④供给，所以随着时间推移涂布液向③和④方向流动，①和②合流的界限也移动变得模糊。通过此涂布不匀消失。但是，如果源源不断地只从①和②供给，则当涂布液为高粘度时因难以流动，所以③④侧的涂布液将消失，或者在①②侧和③④侧涂布液的液面高度差异变大而产生不良涂布。所以，为了避免这种现象，下次从③和④供给来替换。即，把只从①和②的、只从③和④的供给，以某一次数、如两次或以上连续，其后把该供给动作在各组交替反复进行，则合流位置每次都移动，不产生涂布不匀。还有，考虑到涂布液液面的平坦性，定期地加入从两个组即从①②③④同时供给的机会则更好。
图25表示，把多个涂布液供给口352隔一个地分成两组(①和③、②和④的组)，各自用分支形流路353a、353b连接的喷嘴351。在两个组和其合流的上流侧设有供给流量调节控制阀354a、354b。这些供给流量调节控制阀354a、354b可以是如图23所示形态的供给流量调节控制阀，也可以是如图25所示，通过压缩空气来控制阀的开关，压缩空气是由根据电信号控制开关的压缩空气控制阀354a’、354b’来控制。由此，既可以四处同时供给，也可以只从①和③、或只从②和④的只从一个组的反复供给。与图23所示分实施方案的差别为，在一个组的涂布液合流位置附近有另一个组的涂布液供给口。由此，如果从一个组的涂布液供给口供给，则在其间产生涂布液的合流位置，但在产生涂布不匀之前切换成从另一个组供给，则已产生的合流位置被搅乱，而不会产生涂布不匀。另外，该实施方案中，与图23所示实施方案相比，有利于液面高度的平坦性。尤其，如果在一个组的涂布液合流位置配置另一个组的涂布液供给口，则可以进一步有效搅乱合流位置。
图26表示设有检出涂布液储存部304内的涂布液量(本实施方案中为液面)的传感器362的喷嘴361。其他构成与图23所示实质上相同。传感器362与整体控制器60电连接，整体控制器60根据其电信号控制供给装置控制器58。这样，供给流量调节控制阀344a、344b由供给装置控制器258控制开关，供给(补充)涂布液的涂布装置。
该装置中，一种方法是对涂布液储存部304内的涂布液量设定上限值、下限值，如果低于下限则开始供给，加入到上限。该方法虽然随上限值与下限值之差的不同而异，但是仍是靠一次供给动作供给较多涂布液的方法，只要采用图20所示的喷嘴，则可以在一次供给动作中经时地改变从各涂布液供给口的供给流量，所以合流位置不会停留在固定位置，不会产生涂布不匀。
另外，作为另一个方法，也可以对涂布液储存部304内的涂布液量设定管理值，如果低于管理值则开始供给，如果高于管理值则停止。该方法虽然取决于基材的涂布量(从喷嘴的排出量)，但是仍是在每次结束涂布动作时向涂布液储存部304内供给涂布液的方法，只要采用如图20所示喷嘴，如果在每次供给动作时持续改变供给流量，则合流位置不停留在固定位置，不产生涂布不匀。另外，如果是图23、图25所示的喷嘴，将只从①和②(或只从①和③)、只从③和④(或只从②和④)的供给，以某一次数、如两次或以上连续进行，其后将该供给动作在各组交替反复，则合流位置每次都移动，不产生涂布不匀。虽然连续的次数越多，合流位置的移动量越大，不产生涂布不匀，但考虑到涂布液面的平坦性，定期加入从两个组，即从①②③④同时供给的机会，则更好。
另外，传感器是，如前所述，非接触检出涂布液液面高度的，有激光、超声波式等非接触位移计。另外，也有测定喷嘴的重量并检出涂布液储存部内涂布液量的方法，作为其重量检出传感器优选使用能够把检出重量改变成电信号的测力传感器。
进一步参照附图说明本发明其他优选的实施方案。
图5中，在图1的基板1的表面上，形成有沿涂布液涂布方向延伸的多个纵隔板101和、沿与该纵隔板101垂直相交的方向延伸的横隔板102。纵隔板101的高度(H)和横隔板102的高度(Hh)的关系成为H≥Hh。还有，由隔板101、102在基板1的表面形成格子状的沟槽部110，该沟槽部110具有凹部104、103。凹部104作为被纵隔板101和横隔板102包围的部分形成。另一方面，凹部103由从纵隔板101和横隔板102的顶部形成。
图6表示从X轴方向看图5所示涂布装置的喷嘴18周围。用安装在Z滑动台13上的照相机22拍摄基材1中作为代表的沟槽部110，通过图像位置处理单元23用X轴位置控制单元24移动X滑动台4进行控制，以使作为代表的沟槽部110的中央和对应于作为该代表的沟槽部110的喷嘴18中作为代表的排出孔18a的中央几乎一致。
图27是向图5所示涂布装置的喷嘴18供给涂布液的控制装置的概略纵截面图。图27中喷嘴418是由筐体431构成，在筐体431的下面板432上以给定间隔穿设有一列多个排出涂布液的排出孔418a。筐431的内部空间433是由储存涂布液430(荧光体糊状物427)的涂布液储存部434和位于其上部的气体空间435形成。筐431的上面板436上设有气体压力导孔437，气体压力导孔437上连接有由管道构成的气体压力通道438的一端。气体压力通道438的另一端开口于具有维持设定压的压力的气体压力源440。气体压力通道438上设有由方向切换阀构成的开关装置439，通过开关装置439的开关切换，进行气体空间435与气体压力源440间的连通和隔断。开关装置439是，通过检出喷嘴418的排出孔418a的位置和基板1的相对位置，用控制开关装置439的定时的未图示的位置检出、排出控制装置，控制开关的定时。还有，本实施方案中，糊状物427是设定成能够用R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)中的任何一种颜色涂布。
图28是从上面看形成于基板1上的沟槽部421的详细图。本实施方案中，如图29所示，同一颜色的涂布液能够涂布每隔两个沟槽部421。于是，排出孔418a的间隔成为纵隔板425a间隔的三倍。还有，作为基板1可以是如图30所示没有横隔板425b的。
本实施方案中，排出孔418a的直径(D)和、横隔板425b的高度(Hh)、及从喷嘴418的下面板432到沟槽部421的凹部421a的底面的间隔(C)之间，D+Hh＜C的关系成立(图31)。从排出孔418a排出的糊状物427之后在一定时间内仍保持排出孔418a的形状(图32)。但是，只要D+Hh＜C的关系成立，即使在横隔板421b的顶部涂布糊状物427，也不会附着在下面板432。
还有，排出孔418a为非圆形状时，该排出孔418a的沿着涂布方向的开口尺寸(B)满足B+Hh＜C的关系。
还有，本实施方案中，喷嘴418和基板1的相对移动速度(V)、从排出孔418a排出糊状物427的排出速度(v)必须满足0＜V/v≤1的条件。如图32、图33所示，从排出孔418a排出的糊状物427向喷嘴418或基材1的移动方向弯曲。因此，为了防止排出的糊状物427附着于下面板432上，优选使由排出速度(v)和向基板1或喷嘴418的涂布方向(箭头方向)的移动速度(V)构成的排出角度(θ)尽量小。排出角度(θ)可以用tanθ＝V/v表示。另外，实验表明，如果在0°＜θ≤45°的范围，可以防止糊状物427附着于下面板432上。于是，只要0＜V/v≤1就可以把θ限制在上述范围内，可以防止糊状物427附着于下面板432上。
还有，为了在凹部421a填满糊状物427，对应于单位时间的涂布量(Q)为Q＝a·v＝A·V，所以可以表示为tanθ＝V/v＝a/A。于是，只要0＜a/A≤1就可以把θ限制在上述范围内，可以防止糊状物427附着于下面板432上。
还有，向具有横隔板425b的基板的沟槽421的涂布量与没有横隔板425b的基板相比，可以只减少横隔板425b的体积部分。对于具有横隔板的基板，也与没有横隔板的基板相同，同样涂布糊状物427，所以涂布后一定时间内糊状物427堆积于凹部421b上。但是，通过放置一定时间(整平)，凹部421b的糊状物427流落到凹部421a，横隔板间的涂布沟槽的填充量成为必要量(满)。这里，将有横隔板基板沟槽部的单位长度涂布量作为Qh、将没有横隔板基板沟槽部的涂布量作为Q。图4中，如果把沟槽宽作为W，则单位长度(Lh+L)的涂布量Qh为：
Qh＝W·H·L+W·(H-Hh)·Lh
另外，没有横隔板时的Q为：
Q＝W·H·(Lh+L)
因此，有横隔板的基板的沟槽部的涂布量Qh和、向没有横隔板的基板的沟槽部的涂布量Q之比k可以用如下式表示：
k＝Qh/Q
 ＝[W·H·L+W·(H-Hh)·Lh]/[W·H·(Lh+L)]
 ＝1-(Hh/H)·(Lh/(L+Lh))
还有，此时也必须将排出角(θ)设定为θ＝45°或以下，所以本实施方案满足0＜a/(k·A)≤1的条件。实施例实施例1、比较例1
使用只具有纵隔板的基板，使各纵隔板间的宽度(W)＝0.24mm、纵隔板的高度(H)＝0.12mm，使用喷嘴的排出孔直径(D)为0.1mm、0.12mm、0.15mm、0.22mm的四种喷嘴，涂布含有发光为蓝色的荧光体粉末的糊状物(粘度约600泊)。实施例2、比较例2
除了把各纵隔板间的宽度(W)变更为0.28mm以外，用与实施例1相同的条件涂布糊状物。实施例3、实施例4
除了把各纵隔板间的宽度(W)变更为0.38mm以外，用与实施例1相同的条件涂布糊状物。实施例5、比较例3
使各纵隔板间的宽度(W)＝0.24mm、纵隔板的高度(H)＝0.12mm，横隔板间的涂布方向的长度(L)＝1mm、横隔板的高度(Hh)＝0.1mm、横隔板单个的涂布方向的长度(Lh)＝0.08mm，使用喷嘴的排出孔直径(D)为0.1mm、0.12mm、0.15mm、0.22mm的四种喷嘴，涂布含有发光为蓝色的荧光体粉末的糊状物(粘度约600泊)。实施例6、比较例4
除了把各纵隔板间的宽度(W)变更为0.28mm以外，用与实施例5相同的条件涂布糊状物。实施例7、实施例8
除了把各纵隔板间的宽度(W)变更为0.38mm以外，用与实施例5相同的条件涂布糊状物。
将上述实施例1～4、比较例1、2的结果示于表1、图34。还有，将实施例5～8、比较例3、4的结果示于表2、图35。其结果，实施例1～8中，看不到糊状物附着在喷嘴的下面板，没有脱色现象，能够在基板上以均匀的状态涂布糊状物。与此相反，比较例1～4中，可以看到糊状物附着在喷嘴的下面板。还有，观察到基板上的脱色。
这里，a＝(D/2)2π
      A＝W·H
      k＝1-(Hh/H)·(Lh/(L+Lh))表1
    W(mm)      H(mm)      D(mm)      a(mm2)       A(mm2)      a/A      θ(度)
实施例1    0.24     0.12     0.1    0.00785     0.0288     0.27271     15.3
   0.24     0.12     0.12    0.01131     0.0288     0.3927     21.4
   0.24     0.12     0.15    0.01767     0.0288     0.61359     31.5
比较例1    0.24     0.12     0.22    0.03801     0.0288     1.31991     52.9
实施例2    0.28     0.12     0.1    0.00785     0.0336     0.23375     13.2
   0.28     0.12     0.12    0.01131     0.0336     0.3366     18.6
   0.28     0.12     0.15    0.01767     0.0336     0.52594     27.7
比较例2    0.28     0.12     0.22    0.03801     0.0336     1.13135     48.5
实施例3    0.38     0.12     0.1    0.00785     0.0456     0.17224     9.8
   0.38     0.12     0.12    0.01131     0.0456     0.24802     13.9
   0.38     0.12     0.15    0.01767     0.0456     0.38753     21.2
实施例4    0.38     0.12     0.22    0.03801     0.0456     0.83362     39.8
表2
     W(mm)      H(mm)    L(mm)     Hh(mm)      Lh(mm)      D(mm)      a(mm2)       A(mm2)      k      kA      a/kA      θ(度)
实施例5     0.24     0.12     1     0.1     0.08     0.1   0.00785     0.0288   0.93827   0.02702     0.29065     16.2
    0.24     0.12     1     0.1     0.08     0.12   0.01131     0.0288   0.93827   0.02702     0.41853     22.7
    0.24     0.12     1     0.1     0.08     0.15   0.01767     0.0288   0.93827   0.02702     0.65396     33.2
  比较例3     0.24     0.12     1     0.1     0.08     0.22   0.03801     0.0288   0.93827   0.02702     1.40674     54.6
实施例6     0.28     0.12     1     0.1     0.08     0.1   0.00785     0.0336   0.93827   0.03153     0.24913     14.0
    0.28     0.12     1     0.1     0.08     0.12   0.01131     0.0336   0.93827   0.03153     0.35874     19.7
    0.28     0.12     1     0.1     0.08     0.15   0.01767     0.0336   0.93827   0.03153     0.56054     29.3
  比较例4     0.28     0.12     1     0.1     0.08     0.22   0.03801     0.0336   0.93827   0.03153     1.20578     50.3
实施例7     0.38     0.12     1     0.1     0.08     0.1   0.00785     0.0456   0.93827   0.04279     0.18357     10.4
0.38 0.12 1 0.1 0.08 0.12 0.01131 0.0456 0.93827 0.04279 0.26434 14.8
0.38 0.12 1 0.1 0.08 0.15 0.01767 0.0456 0.93827 0.04279 0.41303 22.4
  实施例8     0.38     0.12     1     0.1     0.08     0.22   0.03801     0.0456   0.93827   0.04279     0.88847     41.6
实施例9
在图8、图9所示喷嘴中，用环氧类粘合剂粘接全长985mm、宽50mm、高40mm、涂布液储存部宽16mm的涂布液储存部形成构件和全长985mm、宽20mm、厚1mm的排出孔形成构件，把图10所示直径12mm的支柱沿着排出孔的排列方向以50mm间隔排列18个，用M4螺栓连接支柱和涂布液储存部形成构件。然后，用螺栓连接全长985mm、宽50mm、厚10mm的盖构件来组装喷嘴。从压缩空气供给口供给0.8MPa的压缩空气，使喷嘴内压上升，用ミツトヨ制千分表(デジマチツクインジケ-タID-C112)测定喷嘴的变形量。其结果，虽然在喷嘴的纵向中央部位膨胀0.002mm，但排出孔形成构件没有剥离。比较例5
除了取下支柱以外，用与实施例9相同的条件测定，其结果在喷嘴的纵向中央部位膨胀0.054mm，排出孔形成构件剥离。实施例10
图25中，对长985mm的喷嘴以246mm间隔配置4个涂布液供给口，每隔一个地分成两组，分别用不锈钢管(内径φ8mm)连接，构成分段形流路。然后向喷嘴供给含有发光为蓝色的荧光体粉末的糊状物(粘度约600泊)，向基板涂布时，每次交互切换从一个组的涂布液供给口供给糊状物和从另一个组的涂布液供给口供给糊状物，结果连续50张基板也未在基板上产生涂布不匀。比较例6
除了从4个涂布液供给口不断同时供给糊状物以外，用与实施例10相同的条件涂布基板，结果在与涂布液供给口中间位置对置的基板上产生了条状涂布不匀。
如以上所述，采用本发明的喷嘴时，可以抑制重量增加或成本上升，同时可以提高对喷嘴内压的耐压强度，防止喷嘴的变形。还有，采用使用本发明喷嘴的涂布液涂布装置及涂布方法时，因可以防止喷嘴变形来涂布涂布液，所以能够在基材上均匀地涂布涂布液。
还有，通过使用本发明的喷嘴，在向喷嘴供给荧光体糊状物等涂布液时，可以通过分支形流路向涂布液储存部内均等地供给，并且能够变动从各涂布液供给口供给的涂布液的合流位置，所以在确保从各排出孔的均匀排出量的同时，可以防止气泡混入涂布液中，防止不良涂布的产生。进而，可以没有涂布不匀现象并长时间地进行稳定的涂布。
根据使用这种喷嘴的本发明的涂布液涂布装置及涂布方法，对于向基材的涂布，能够实现高生产性和高品质化。
还有，根据本发明等的离子体显示板用基材的制造方法及等离子体显示器，因使用上述涂布液的涂布装置及涂布方法，所以对品质高的等离子体显示板，能够实现长期稳定生产，结果能够高生产性并且廉价地制造。
进一步，使用本发明涂布液涂布方法及装置时，可以确实防止糊状物对喷嘴排出孔形成面的附着，没有脱色现象可以在基材上均匀地涂布涂布液。

Claims (51)

1.一种喷嘴，其特征在于：在向涂布对象物涂布涂布液的多个排出孔大致以直线状排列并且内部具有涂布液储存部的喷嘴中，所述涂布液储存部中设有在与排出孔的排列方向大致垂直相交的方向上延伸的支柱。
2.如权利要求1记载的喷嘴，其特征在于：上述喷嘴具有形成排出孔的排出孔形成构件和形成涂布液储存部的涂布液储存部形成构件，所述两个构件互相接合。
3.如权利要求1记载的喷嘴，其特征在于：支柱在沿着排出孔排列方向的方向上配置有多个。
4.如权利要求3记载的喷嘴，其特征在于：支柱以等间隔配置。
5.如权利要求1记载的喷嘴，其特征在于：支柱与涂布液储存部形成构件形成一体。
6.一种喷嘴，其特征在于：具有储存涂布液的涂布液储存部和、从所述涂布液储存部的内侧向外侧开口的多个排出孔和、向所述涂布液储存部供给涂布液的多个涂布液供给口，各涂布液供给口与使来自其上流的涂布液供给源的涂布液流分岔向各涂布液供给口供给涂布液的分支形流路相连接。
7.如权利要求6记载的喷嘴，其特征在于：所述涂布液供给口的顶端形成为管状，其顶端以浸在涂布液储存部内的涂布液中的方式设置。
8.如权利要求6记载的喷嘴，其特征在于：所述分支形流路是由管构成。
9.如权利要求6记载的喷嘴，其特征在于：所述分支形流路是由粘贴形成沟槽的板材来构成。
10.如权利要求6记载的喷嘴，其特征在于：在所述涂布液供给口的上流设有调节控制涂布液供给流量的供给流量调节控制阀。
11.如权利要求6记载的喷嘴，其特征在于：在相邻的涂布液供给口的至少一方的涂布液供给口上流设有调节控制涂布液供给流量的供给流量调节控制阀。
12.如权利要求6记载的喷嘴，其特征在于：所述多个涂布液供给口分为两个组，对于各组形成有分支形流路。
13.如权利要求6记载的喷嘴，其特征在于：所述涂布液供给口设置四处或以上，排成直线状的涂布液供给口每隔一个地分成两组，对于各组形成分支形流路。
14.如权利要求13记载的喷嘴，其特征在于：在从一个组的涂布液供给口供给的涂布液在涂布液储存部合流的位置上，设置另一个组的涂布液供给口。
15.如权利要求13记载的喷嘴，其特征在于：在所述两个组的各自的分支形流路的上流设有调节控制涂布液供给流量的流量调节控制阀。
16.如权利要求6记载的喷嘴，其特征在于：所述多个排出孔排成直线状，所述多个涂布液供给口在与排出孔的排列方向大致平行地以直线状排列。
17.一种涂布液的涂布装置，其特征在于：在具备固定基材的台、与所述基材对向设置并向基材涂布给定量涂布液的喷嘴和、使台和喷嘴三维相对移动的移动机构的向基材上涂布涂布液的装置中，所说的喷嘴使用权利要求1记载的喷嘴。
18.一种涂布液的涂布装置，其特征在于：在具备固定基材的台、与基材对向设置并向基材涂布给定量涂布液的喷嘴、使台和喷嘴三维相对移动的移动机构和、作为向喷嘴供给涂布液的供给源的涂布液槽的向基材上涂布涂布液的装置中，在所述涂布液槽和喷嘴之间具备调节控制涂布液的供给流量的供给流量调节控制阀和、控制所述流量调节控制阀的流量的控制机构，所述喷嘴使用权利要求6记载的喷嘴。
19.如权利要求18记载的涂布液的涂布装置，其特征在于：具有检测所述喷嘴的涂布液储存部内涂布液量的检出机构。
20.如权利要求17或权利要求18记载的涂布液的涂布装置，其特征在于：在所述基材表面上形成条状纵隔板，向其纵隔板间的沟槽部涂布涂布液。
21.如权利要求17或18记载的涂布液的涂布装置，其特征在于：在所述基材表面上形成条状纵隔板的同时，在与所述纵隔板大致垂直相交的方向上形成横隔板，向在其纵隔板间的沟槽部涂布涂布液。
22.一种涂布液的涂布装置，其特征在于：在使在表面上形成条状纵隔板并在与所述纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材与与所述基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的涂布液涂布装置中，使所述喷嘴的排出孔的直径(D)、所述横隔板的高度(Hh)、所述喷嘴的具有排出孔的面与被基材的纵隔板和横隔板包围形成的沟槽部底面的间隔(C)满足D+Hh＜C的条件来规定所述直径(D)和间隔(C)。
23.如权利要求22记载的涂布液的涂布装置，其特征在于：所述喷嘴的排出孔形成为非圆形状，所述排出孔沿着涂布液涂布方向的开口尺寸(B)满足B+Hh＜C的条件。
24.一种涂布液的涂布装置，其特征在于：在使在表面形成条状纵隔板的基材与与该基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的涂布液涂布装置中，使所述喷嘴的排出孔的面积(a)、形成于纵隔板间的沟槽部的断面积(A)满足0＜a/A≤1的条件来规定面积(a)。
25.一种涂布液的涂布装置，其特征在于：在使在表面上形成条状纵隔板并与该纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材与与所述基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的涂布液涂布装置中，使所述喷嘴的排出孔的面积(a)、形成于纵隔板间及横隔板间的沟槽部的与纵隔板大致垂直相交的方向的断面积(A)、纵隔板的高度(H)、横隔板间涂布方向的长度(L)、横隔板的高度(Hh)、横隔板一个涂布方向的长度(Lh)、有横隔板的基板与没有横隔板的基板的涂布量之比(k)满足下式(1)、(2)来规定所述面积(a)，
k＝1-(Hh/H)·(Lh/(L+Lh))    …(1)
0＜a/(k·A)≤1    …(2)。
26.如权利要求17、18、22、24、25的任意一项记载的涂布液的涂布装置，其特征在于：所述喷嘴的与相对移动方向垂直方向的尺寸长于基材的涂布液涂布区域。
27.一种等离子体显示板用基材的制造装置，其特征在于：所述基材为等离子体显示板用基材，所述涂布液为含有发光为红色、绿色、蓝色中任意一种颜色的荧光体粉末的糊状物，使用如权利要求17、18、22、24、25的任意一项记载的涂布装置。
28.一种涂布液的涂布方法，其特征在于：在使基材与与该基材对向设置并且多个排出孔大致以直线状排列的喷嘴相对移动的同时，从排出孔排出涂布液，向基材涂布涂布液的涂布液涂布方法中，使用在形成于所述喷嘴内部的涂布液储存部中设置有在与排出孔的排列方向垂直相交的方向上延伸的支柱的喷嘴进行涂布。
29.如权利要求28记载的涂布液的涂布方法，其特征在于：所述喷嘴具有形成有排出孔的排出孔形成构件和形成涂布液储存部的涂布液储存部形成构件，所述两个构件互相接合。
30.如权利要求28记载的涂布液的涂布方法，其特征在于：支柱在沿着排出孔排列方向的方向上排列有多个。
31.如权利要求28记载的涂布液的涂布方法，其特征在于：支柱以等间隔配置。
32.如权利要求28记载的涂布液的涂布方法，其特征在于：支柱与涂布液储存部形成构件形成一体。
33.一种向基材涂布涂布液的方法，该方法是从涂布液供给源向具有多个排出孔的喷嘴供给涂布液，使所述喷嘴与基材对向设置，并使喷嘴与基材相对移动，从所述喷嘴的排出孔排出涂布液，向基材涂布涂布液的方法，其特征在于：所述喷嘴具有多个涂布液供给口，从各涂布液供给口供给的涂布液在涂布液储存部内合流的位置不停滞于某个固定位置来供给涂布液，涂布涂布液。
34.一种向基材涂布涂布液的方法，该方法是从涂布液供给源向具有多个排出孔的喷嘴供给涂布液，使所述喷嘴与基材对向设置，并使喷嘴与基材相对移动，从所述喷嘴的排出孔排出涂布液，向基材涂布涂布液的方法，其特征在于：所述喷嘴具有多个涂布液供给口，经时地改变所述多个涂布液供给口的从各涂布液供给口供给涂布液的流量。
35.一种向基材涂布涂布液的方法，该方法是从涂布液供给源向具有多个排出孔的喷嘴供给涂布液，使所述喷嘴与基材对向设置，并使喷嘴与基材相对移动，从所述喷嘴的排出孔排出涂布液，向基材涂布涂布液的方法，其特征在于：在反复向基材涂布涂布液和向所述喷嘴涂布液储存部内供给涂布液时，在每次供给时改变从各涂布液供给口供给涂布液的流量。
36.一种向基材涂布涂布液的方法，该方法是从涂布液供给源向具有多个排出孔的喷嘴供给涂布液，使所述喷嘴与基材对向设置，并使喷嘴与基材相对移动，从所述喷嘴的排出孔排出涂布液，向基材涂布涂布液的方法，其特征在于：所述喷嘴使用权利要求6记载的喷嘴来涂布涂布液。
37.如权利要求28、33、34、35、36的任意一项记载的涂布液的涂布方法，其中，检出所述喷嘴涂布液储存部内的涂布液量，根据其检出结果向所述喷嘴供给涂布液。
38.如权利要求28、33、34、35、36的任意一项记载的涂布液的涂布方法，其中，在反复向基材涂布涂布液和向所述喷嘴涂布液储存部内供给涂布液时，在每次供给时改变从各涂布液供给口供给涂布液的流量。
39.如权利要求28、33、34、35、36的任意一项记载的涂布液的涂布方法，其中，在反复向基材涂布涂布液和向所述喷嘴涂布液储存部内供给涂布液时，在每次供给时交替地从各组涂布液供给口供给涂布液。
40.如权利要求39记载的涂布液的涂布方法，其中，以一定次数和周期反复从一个组的涂布液供给口供给涂布液、从另一个组的涂布液供给口的涂布液供给和从两组的涂布液供给口的涂布液供给。
41.如权利要求28、33、34、35、36的任意一项记载的涂布液的涂布方法，其中，在所述基材表面上形成条状纵隔板，向其纵隔板间的沟槽部涂布涂布液。
42.如权利要求28、33、34、35、36的任意一项记载的涂布液的涂布方法，其中，在所述基材表面上形成条状纵隔板的同时，在与所述纵隔板大致垂直相交的方向上形成横隔板，向其纵隔板间的沟槽部涂布涂布液。
43.一种涂布液的涂布方法，该方法为使在表面上形成条状纵隔板并在与该纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材与与所述基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，向基材所选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的方法，其特征在于：所述喷嘴的排出孔的直径(D)、所述横隔板的高度(Hh)、所述喷嘴的具有排出孔的面和被基材的纵隔板和横隔板包围形成的沟槽部底面的间隔(C)满足D+Hh＜C的条件。
44.如权利要求43记载的涂布液的涂布方法，其中，所述喷嘴的排出孔形成为非圆形状，所述排出孔沿着涂布液涂布方向的方向的开口尺寸(B)满足B+Hh＜C的条件。
45.一种涂布液的涂布方法，该方法是使在表面上形成条状纵隔板的基材与与该基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的方法，其特征在于：所述基材和喷嘴的相对速度(V)和、从喷嘴的排出孔排出涂布液的排出速度(v)满足0＜V/v≤1的条件。
46.如权利要求45记载的涂布液的涂布方法，其中，在所述基材表面上，沿与所述纵隔板大致垂直相交的方向上形成有纵隔板高度以下的横隔板。
47.一种涂布液的涂布方法，该方法是使在表面上形成条状纵隔板的基材与与该基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，在基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的方法，其特征在于：所述喷嘴的排出孔的面积(a)和、形成于纵隔板间的沟槽部的断面积(A)满足0＜a/A≤1的条件。
48.一种涂布液的涂布方法，该方法是使在表面上形成条状纵隔板并与该纵隔板大致垂直相交的方向上形成纵隔板高度以下的横隔板的基材与与所述基材对向设置的喷嘴相对移动的同时，从设置于喷嘴的多个排出孔排出涂布液，向基材的选择的纵隔板间的沟槽部涂布涂布液的方法，其特征在于：所述喷嘴的排出孔的面积(a)、形成于纵隔板间及横隔板间的沟槽部的与纵隔板大致垂直相交方向的断面积(A)、纵隔板高度(H)、横隔板间的涂布方向的长度(L)、横隔板的高度(Hh)、1块横隔板的涂布方向的长度(Lh)、有横隔板的基板和没有横隔板的基板的涂布量之比(k)满足下式(1)、(2)，
k＝1-(Hh/H)·(Lh/(L+Lh))    …(1)
0＜a/(k·A)≤1    …(2)。
49.如权利要求28、33、34、35、36、43、45、47、48的任意一项记载的涂布液的涂布方法，其中，所述喷嘴的与相对移动方向垂直方向的尺寸长于基材的涂布液的涂布区域，通过所述喷嘴一次相对移动，完成向基材涂布涂布液。
50.一种等离子体显示板用基材的制造方法，其特征在于：所述基材为等离子体显示板用基材，所述涂布液为含有发光为红色、绿色、蓝色中任意一种颜色的荧光体粉末的糊状物，包含使用权利要求28、33、34、35、36、43、45、47、48的任意一项记载的涂布方法涂布涂布液的工序。
51.一种等离子体显示板，其特征在于：使用由权利要求50记载的方法制造的等离子体显示板用基材。
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