CN1820952A - 液滴喷出装置的控制方法、液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子机器 - Google Patents

Abstract

一种功能液供给装置的控制方法，其特征在于，在为了维持所定的动作压力，而实施加压供给动作(利用加压泵将功能液罐加压，由所述功能液罐将功能液加压供给喷出功能液滴的功能液滴喷出头)和描绘动作(一边使所述功能液滴喷出头对安装在描绘区域的被描绘对象物相对移动，一边驱动所述功能液滴喷出头，使之喷出所述功能液滴，进行描绘)的液滴喷出装置的控制方法中，包括：检出所述功能液罐内的压力是否在所述动作压力的下限压力以下的压力检出工序；在所述功能液罐内的压力在所述下限压力以下时，确认所述功能液滴喷出头是否正在进行所述描绘动作的描绘动作确认工序；确认不在进行所述描绘动作时，将所述功能液罐加压到所述动作压力的上限压力为止的第1加压控制工序。

Description

液滴喷出装置的控制方法、液滴喷出装置、 电光学装置的制造方法、电光学装置及电子机器

技术领域

本发明涉及实施加压供给动作(间歇驱动加压泵，维持所定的动作压力范围地将功能液罐加压后，由功能液罐将功能液加压供给喷出功能液滴的功能液滴喷出头)和描绘动作(一边使功能液滴喷出头对安装在描绘区域的被描绘对象物相对移动，一边驱动功能液滴喷出头，使之喷出功能液滴，进行描绘)的液滴喷出装置的控制方法、液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子机器。

背景技术

在现有技术的作为一种液滴喷出装置而广为人知的喷墨记录装置(液滴喷出装置)中，有的使用空气泵将墨水罐(功能液罐)加压后，将墨水罐中贮存的墨水(功能液)加压供给喷墨记录头(功能液滴喷出头)的墨水供给装置(功能液供给装置)。

在墨水供给装置中，在墨水罐和喷墨记录头之间，设置副罐，由墨水罐压送的墨水，暂时贮存在副罐中后，再供给喷墨记录头。在副罐中，设置着检出墨水剩余量的变位检出单元，按照副罐中的墨水剩余量，由墨水罐供给墨水。这样，副罐内的压力就被保持在一定的范围内，能够抑制供给喷墨记录头的墨水的压力变动。

[专利文献1]特开2001-162834号公报

而且，现有技术的喷墨记录装置，采用变位检出单元检出某一定值后，就由墨水罐加压供给功能液的结构，即使在印刷期间，也只要变位检出单元检出一定值，就将墨水加压供给喷墨记录头。可是，向正在印刷的喷墨记录头加压供给墨水后，在加压泵的ON-OFF的作用下，喷墨记录头内的头内流路就产生压力变动(脉动)。使墨滴的喷出不稳定，对印刷质量产生不利的影响。

发明内容

因此，本发明的课题是：提供能够不使印刷质量下降、能够将墨水加压供给功能液滴喷出头的液滴喷出装置的控制方法、液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子机器。

本发明的特征在于：为了维持所定的动作压力，在实施加压供给动作(利用加压泵将功能液罐加压，由功能液罐将功能液加压供给喷出功能液滴的功能液滴喷出头)和描绘动作(一边使功能液滴喷出头对安装在描绘区域的被描绘对象物相对移动，一边驱动功能液滴喷出头，使之喷出功能液滴，进行描绘)的液滴喷出装置的控制方法中，包括：检出功能液罐内的压力是否在动作压力的下限压力以下的压力检出工序；在功能液罐内的压力在下限压力以下时，确认功能液滴喷出头是否正在进行描绘动作的描绘动作确认工序；确认不在进行描绘动作时，将功能液罐加压到动作压力的上限压力为止的第1加压控制工序。

另外，本发明的特征在于：为了维持所定的动作压力，在实施加压供给动作(利用加压泵将功能液罐加压，由功能液罐将功能液加压供给喷出功能液滴的功能液滴喷出头)和描绘动作(一边使功能液滴喷出头对安装在描绘区域的被描绘对象物相对移动，一边驱动功能液滴喷出头，使之喷出功能液滴，进行描绘)的液滴喷出装置中，包括：检出功能液罐内的压力是否在动作压力的下限压力以下的压力检出单元；在功能液罐内的压力在下限压力以下时，确认功能液滴喷出头是否正在进行描绘动作的描绘动作确认单元；确认不在进行描绘动作时，将功能液罐加压到动作压力的上限压力为止的第1加压控制单元。

采用这些结构后，在功能液罐内的压力在动作压力的下限压力以下时，确认功能液滴喷出头是否正在进行描绘动作，不在进行描绘动作时，将功能液罐加压到动作压力的上限压力后，维持动作压力。就是说，因为在功能液滴喷出头的非描绘动作期间加压供给功能液，所以功能液的加压供给，不会影响描绘结果，可以利用功能液滴喷出头进行高精度的描绘。

这时，最好还具有：确认正在进行描绘动作的功能液滴喷出头，一边在描绘移动区域内相对移动，一边向位于描绘移动区域内的描绘区域喷出功能液滴，确认正在进行描绘动作，而且确认功能液滴喷出头面对描绘区域时，等待功能液滴喷出头离开描绘区域后，在中断描绘动作的同时，将功能液罐加压到所述上限压力为止，确认正在进行描绘动作、确认功能液滴喷出头没有面对描绘区域时，中断描绘动作，将功能液罐加压到上限压力为止的第2加压控制工序；和在第2加压控制工序之后，使描绘动作再开始的描绘再开始工序。

另外，这时，最好还具有：确认正在进行描绘动作的功能液滴喷出头，一边在描绘移动区域内相对移动，一边向位于描绘移动区域内的描绘区域喷出功能液滴，确认正在进行描绘动作，而且确认功能液滴喷出头面对描绘区域时，等待功能液滴喷出头离开描绘区域后，在中断描绘动作的同时，将功能液罐加压到所述上限压力为止，确认正在进行描绘动作、确认功能液滴喷出头没有面对描绘区域时，中断描绘动作，将功能液罐加压到上限压力为止的第2加压控制单元；和在中断描绘动作，将功能液罐加压到上限压力为止后，使描绘动作再开始的描绘再开始单元。

采用这些结构后，在功能液罐内的压力成为动作压力的下限压力时，而且确认功能液滴喷出头正在进行描绘动作时，确认功能液滴喷出头的位置后，再进行加压。而且，由于在功能液滴喷出头没有面对描绘区域时，加压供给功能液，所以能够极力抑制给对被描绘对象物的描绘结果带来不良的影响。

这时，第2加压控制工序，最好取代上限压力，用比该上限压力低的描绘动作中的压力进行加压。

另外，这时，第2加压控制单元，最好取代上限压力，用比该上限压力低的描绘动作中的压力进行加压。

采用这些结构后，由于确认了描绘动作时的加压上限压力，被定为比动作压力的上限压力低的描绘动作中的压力，所以可以减少描绘动作的中断前及再开始后的功能液的头内压力(功能液滴喷出头的头内流路中的压力)的变动，能够有效地防止进行描绘动作的中断期间的功能液的加压供给给描绘动作再开始后的描绘结果带来的不良影响。

这时，最好还具有：面对功能液滴喷出头，对该功能液滴喷出头进行保养的维护单元；使功能液滴喷出头对维护单元相对移动的头移动单元；控制头移动单元，使正在进行加压供给动作的功能液滴喷出头，面对维护单元的移动控制单元。

采用这种结构后，能够使正在进行加压供给动作的功能液滴喷出头面对维护单元，能够对正在进行加压供给动作的功能液滴喷出头进行保养，能够将正在进行加压供给动作的功能液滴喷出头维持成为适当的状态。

而且，这时的维护单元，最好具有下述诸单元中的至少一个以上：密封功能液滴喷出头的喷嘴面的罩盖单元，从功能液滴喷出头的喷嘴吸引的吸引单元，用摩擦接触片擦拭功能液滴喷出头的喷嘴面的摩擦接触单元。

本发明的电光学装置的制造方法，其特征在于：使用上述的液滴喷出装置，在基板上形成由功能液滴变成的成膜部。

另外，本发明的电光学装置，其特征在于：使用上述的液滴喷出装置，在基板上形成由功能液滴变成的成膜部。

采用这些结构后，由于使用能够实现高精度的描绘的液滴喷出装置进行制造，所以能够制造出可靠性高的电光学装置。此外，作为电光学装置(平面屏显示器)，可以想到彩色滤波器、液晶显示装置、有机EL装置、PDP装置、电子发射装置等。此外，电子发射装置，包含所谓FED(FieldEmission Display)及SED(Surface-conduction Electron-Emitter Display)装置。进而，作为电光学装置，可以想到包含形成金属布线、形成透镜、形成抗蚀剂及形成光扩散体等的装置。

本发明的电子机器，其特征在于：搭载上述电光学装置。

这时，作为电子机器，除搭载了所谓平面屏显示器的手机、个人用计算机之外，各种电子产品，也均属此类。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式涉及的喷墨打印机的外形立体图。

图2是打开卷筒纸罩、开闭罩、墨盒罩时，本发明的第1实施方式涉及的喷墨打印机的外形立体图。

图3是头组件(功能液滴喷出头)的外形立体图。

图4是喷墨打印机的示意说明图。

图5是墨水盒的说明图。

图6是压力调整阀的示意说明图。

图7是喷墨打印机的控制块的图形。

图8是加压泵的驱动方法的说明图。

图9是表示跟随加压时序控制处理的一系列流程的流程图。

图10是本发明的第2实施方式涉及的液滴喷装置的俯视示意图。

图11是讲述液滴喷装置的主制系统的方框图。

图12是讲述彩色滤波器的制造工序的流程图。

图13A～13E是按照工序顺序表示的彩色滤波器的剖面示意图。

图14是表示使用了采用本发明的彩色滤波器的液晶装置的简要结构的重要部位剖面图。

图15是表示使用了采用本发明的彩色滤波器的第2例的液晶装置的简要结构的重要部位剖面图。

图16是表示使用了采用本发明的彩色滤波器的第3例的液晶装置的简要结构的重要部位剖面图。

图17是有机EL装置——显示装置的重要部位剖面图。

图18是讲述有机EL装置——显示装置的制造工序的流程图。

图19是讲述形成无机物围堰层的工序图。

图20是讲述形成有机物围堰层的工序图。

图21是讲述空穴注入/输送层形成过程的工序图。

图22是讲述空穴注入/输送层形成状态的工序图。

图23是讲述形成蓝色发光层的过程的工序图。

图24是讲述形成了蓝色发光层的状态的工序图。

图25是讲述形成了各色发光层的状态的工序图。

图26是讲述形成阴极的工序图。

图27是等离子体型显示装置(PDP装置)——显示装置的主要部件的分解立体图。

图28是电子发射装置(FED装置)——显示装置的主要部件剖面图。

图29A及29B是分别表示显示装置的电子发射部周围的俯视图及表示其形成方法的俯视图。

具体实施方式

下面，参照附图，讲述本发明的第1实施方式涉及的一种液滴喷出装置——喷墨打印机。该喷墨打印机，是与个人用计算机等主计算机连接的大型彩色打印机，根据主计算机传输的打印数据，采用喷墨方式，在成为打印对象物的卷筒纸上进行印刷。

如图1及图2所示，喷墨打印机1，包括具有喷墨头41(将在后文讲述)的打印机本体2和支持打印机本体2的支持台3。

打印机本体2，用装置外壳11覆盖着外部，在其上部的后方，开闭自如地设置着旨在装卸卷筒纸R的卷筒纸罩12，还装卸自如地设置着将内部从卷筒纸罩12的前方到打印机本体2的正面敞开的开闭罩13。另外，在装置外壳11上，还形成旨在装卸墨水盒81的墨水盒罩17。进而，在打印机本体2的正面，在位于开闭罩13的下侧，形成排出印刷完毕的卷筒纸R的排纸口14。

在卷筒纸罩12的内侧，形成装拆自如地收容卷筒纸R的收容部15，设置着装入卷筒纸R后将其抽出的绕线盘16。

另一方面，在开闭罩13的内侧，形成将抽出卷筒纸R输送到排纸口14为止的输送线路(未图示)，沿着该输送线路，设置着旨在往卷筒纸R上印刷的印刷单元21。

该喷墨打印机1，作为基本结构，包括：具有喷墨头41，旨在往卷筒纸R上印刷的印刷单元21；沿着输送线路，输送卷筒纸R的进给单元22；具有墨水盒81，向喷墨头41供给墨水的墨水供给单元23；向喷墨头41提供保养的维护单元24；一边使上述各单元相互关联，一边加以控制，从而控制整个喷墨打印机1的控制单元25(参照图7)。然后，一边由墨水供给单元23向喷墨头41供给墨水，一边同步驱动印刷单元21及进给单元22，从而在卷筒纸R上印刷图象。

印刷单元21，具备搭载喷墨头41的头组件31，和移动自如地支持头组件31，使头组件31移动的头移动机构32。

头组件31，采用在托架42上搭载多个喷出墨水(滴)的喷墨头41的结构。如图3所示，喷墨头41，具备设置着接受墨水供给单元23供给的墨水的连接针52的墨水导入部51，和与墨水导入部51的下方连接，旨在使其喷出供给的墨水的头本体53。头本体53，由喷嘴板54及外壳55构成，前者具有许多(360个)喷嘴57开口的喷嘴面56，后者则装入压电元件。在喷墨头41中，在外壳55内的压电元件的收缩的作用下，由喷嘴57喷出墨滴。

此外，图3所示的本实施方式的喷墨头41，是所谓双联式的装置，在墨水导入部51中，设置着两个被独立地供给墨水的连接针52，而且在喷嘴板54(喷嘴面56)中，还形成2列由各连接针52独立供给墨水的喷嘴列。各喷嘴列等间距配置着许多(180个)喷嘴57，相互错开半个间距(约70μm)地形成。这样，喷墨头41既可以向各喷嘴列供给不同种类的墨水，使其喷出2种墨水；也可以使2个喷嘴列一致，以半间距的间隔喷出墨水(进行高分辨率的描绘)。

托架42，以定位的状态保持多个喷墨头41，将多个喷墨头41在托架42上定位固定后，就在托架42中形成由各喷墨头41的喷嘴列构成的所定的描绘线。所谓“描绘线”，是在卷筒纸R的进给方向(Y轴方向)上连续、而且供给同一种颜色的墨水的喷嘴列(喷嘴57)的排列，在本实施方式中，与墨水供给单元23供给的4色(4个)墨水对应，在托架42上形成4条描绘线。

头移动机构32，旨在使头组件31(托架42)向与卷筒纸R的进给方向(Y轴方向)正交的X轴方向(主扫描方向)移动，包括：托架电动机(未图示)，传递托架电动机的动力后使头组件31向X轴方向移动的动力传递机构(未图示)，和在X轴方向上滑动自如地支持头组件31的同时，还向X轴方向延伸地引导其移动的导向部件62。

托架电动机，由可以正反转的DC伺服电动机构成。动力传递机构，具有一对皮带轮，和架设在一对皮带轮之间、使喷墨头41的喷嘴面56与输送路线平行地固定托架42的基部的同步皮带(均未图示)。托架电动机与一个皮带轮连接，托架电动机正反转后，通过同步皮带做媒介，将动力传递给头组件31，引导导向部件62，使托架42在X轴方向上往复运动。

此外，头移动机构32采用使头组件31在预先设定的头移动区域64内往复运动的结构。在本实施方式中，位于头移动区域64的图示右侧一端的位置，被设定成头组件31的原来位置，将该位置作为基准位置，把握头组件31的移动位置。

具体地说，在喷墨打印机1中，设置着检出头组件31的原来位置的原来位置检出传感器65，同时还设置着由搭载在托架42上的光电传感器和与导向部件62并列设置、向X轴方向延伸的线性刻度构成的X轴线编码器66，用原来位置检出传感器65检出头组件31的原来位置后，用光电传感器依次检出被线性刻度设置的许多检出线，从而掌握在头移动区域64内移动的头组件31的移动位置。

进给单元22，在抽出卷筒纸收容部15收容的卷筒纸R的同时，还沿着输送路线输出抽出的卷筒纸R，具备：成为旨在抽出、输送卷筒纸R的驱动源的输送电动机(未图示)，和在面对输送线路地配置的同时、通过动力传递机构(未图示)做媒介与输送电动机(未图示)连接、抽出输送卷筒纸R的输送滚轮(未图示)。此外，在头移动区域64内，与安装的卷筒纸R的宽度对应，设置着印刷区域，卷筒纸R在该进给单元22的作用下，被通过该印刷区域地输送。

在该喷墨打印机1中，一边驱动头移动机构32，使头组件31向X轴方向移动，一边有选择地驱动多个喷墨头41，从而反复进行向卷筒纸R喷出墨滴的主扫描和驱动进给单元22后进行的卷筒纸R的进给——副扫描，在卷筒纸R上描绘所需的图象。

如图4所示，墨水供给单元23，包括：分别贮存黄(Y)、洋红(M)、蓝绿(C)及黑(B)的墨水的4个墨水盒81；收容4个墨水盒81的盒架82；向各墨水盒81供给空气，从而将墨水盒81加压后，加压输送各墨水盒81的墨水的加压单元83；将(4个)墨水盒81和(多个)喷墨头41布管连接的多根(在本实施方式中是4根)给液管84。

如图5所示，各墨水盒81，具有贮存墨水的墨水囊91和收容墨水囊91的墨水囊盒93。墨水囊91，是在将2枚长方形的(可挠性的)薄片重叠后热封口的袋状材料上，安装供给墨水的树脂制的供给口92后的元件，成为可以变形的结构。墨水囊盒93，在以密闭的状态收容墨水囊91的同时，还设置着与加压单元83的空气管道113(将在后文讲述)连通的空气供给口(未图示)。就是说，空气供给口向墨水囊盒93内供给空气后，空气就被供给墨水囊91的周围，从外侧向墨水囊加压。

盒架82，被固定设置在比喷墨头41的喷嘴面低的位置上。盒架82具有4个旨在安装所定颜色的墨水盒81的墨水盒安装部101。在各墨水盒安装部101上，设置着连接器(未图示)，将墨水盒81安装到墨水盒安装部101上后，就通过连接器做媒介，使空气管道113和墨水囊盒93气密状态地连接。

加压单元83，具有独立地向各墨水盒81(墨水囊盒93)供给空气的空气供给机构111。空气供给机构111，包括：向各墨水盒81供给空气，将其加压的单一的加压泵112；连接加压泵112及各墨水盒81的空气管道113(空气流路)；在空气管道113中设置的调节器114；设置在位于调节器114的下游侧的空气管道113中，通过检出空气流路内的压力，从而检出作用于墨水囊91的加压力的压力传感器115。

加压泵112，使用隔膜式的产品，通过动力传递机构做媒介，将泵电动机(步进电动机)的动力传递给构成泵腔的一部分的隔膜，从而使泵腔的容积增减，吸入·供给空气(均未图示)。驱动加压泵112后，通过空气管道113做媒介，供给空气，使墨水囊盒93内被加压。这样，被墨水盒81收容的墨水囊91就被加压，墨水囊91内贮存的墨水被加压供给。

空气管道113，一端与加压泵112连接，另一端将被各墨水盒安装部101配置的4个连接器串连，将单一的加压泵112供给的空气，通过连接器做媒介，供给4个的各墨水盒81(墨水囊盒93)。

调节器114，是为了不使空气流路内的压力(墨水囊盒93的加压力)由于加压泵112供给的空气而超过预先设定的所定的上限压力的安全阀(放泄阀)。此外，在调节器114中，设置着螺线管114a，采用在喷墨打印机1不运转等时，将空气流路内向大气敞开的结构。

压力传感器115，是用光藕合器等构成的ON/OFF传感器，检出空气流路内的压力是否达到设定压力。详细内容将在后文讲述。压力传感器115，与控制单元25连接，根据压力传感器115的检出结果，控制单元25驱动加压泵112后，将墨水盒81供给的墨水的墨水供给压力，保持在所定的动作压力内。

各给液管84，其一端与喷墨头41的连接针52连接，另一端与墨水盒81的供给口92连接。4根给液管84，被图外的电缆载有体(ケ一ブルベア：注册商标)归纳收容，随着头组件31(托架42)的移动而移动。

此外，如图4所示，在搭载喷墨头41的托架42上，搭载着多个旨在调整由墨水盒81供给的墨水的压力的压力调整阀121，在给液管84中，设置着压力调整阀121。

如图6所示，压力调整阀121在阀壳122内形成与墨水盒81连接的1次腔123、与喷墨头41连接的2次腔124、连通1次腔123及2次腔124的连通流路125，在2次腔124的一个面上，设置着面向外部的隔膜126(树脂薄膜)，在连通流路125中，设置着在隔膜126的作用下进行开闭动作的阀体127。

由墨盒81导入1次腔123的功能液，通过2次腔124做媒介，供给喷墨头41。这时，作用于隔膜126的大气压，作为调整基准压力，使在连通流路125中设置的阀体127开闭，从而调整2次腔124内的压力。这时，由于能够按照成为阀座的1次腔123侧的连通流路的开口边缘离开连接的阀体本体127a和隔膜126的面积比，抑制墨水囊91侧(1次侧)的墨水的压力变动，所以能够向喷墨头41供给压力变动极少的压力稳定的墨水。就是说，虽然由墨水盒81供给的墨水的供给压，被保持成所定的动作压力，但在该压力调整阀121的作用下，可以进一步减小其压力变动量。另外，在墨水囊91侧产生的墨水的脉动等，也被阀体127阻挡，所以可以将其吸收(阻尼功能)。

维护单元24，具有吸引喷墨头41的吸引单元131和旨在接受来自喷墨头41的喷出的冲洗单元132。

吸引单元131，通过可以与喷墨头41的喷嘴面贴紧的帽141做媒介，使来自吸引泵等的吸引力作用于喷墨头41，从而将墨水强制性地从喷嘴57排出，用来解除/防止喷嘴57的堵塞。另外，吸引单元131(的帽141)还被用来保管喷墨头41，在喷墨打印机1不工作时，使帽141贴紧喷墨头41的喷嘴面56，防止喷嘴57的干燥。此外，吸引单元131面对原来位置地配置，能够使帽141贴紧面对原来位置的头组件31的喷墨头41(参照图4)。

冲洗单元132，具有接受来自喷墨头41的喷出的冲洗接受部151。冲洗接受部151，是在遍及上述头移动区域64(吸引单元131的设置区域除外)中包含喷墨头41的移动轨迹地设置的凹槽，形成无论头组件31面对哪个位置，都能接受来自喷墨头41的喷出的结构。这样，由喷墨头41喷出的废弃墨滴就不必说了，从滚筒纸R的端部渗出的墨滴也能用冲洗接受部151接受(参照图4)。

此外，这里所谓的“废弃墨滴”，是为了排出在喷墨头41的喷嘴57内(由于气化等)粘度增加的墨水，并且向喷嘴57供给状态良好的新墨水，而使喷墨头41的(所有的)喷嘴57喷出的墨水，喷出废弃墨滴后，能够将喷墨头41维持成适当的状态。

控制单元25，与喷墨打印机1的各单元连接，统一控制整个喷墨打印机1。另外，在控制单元25中，作为和用户的接口，具备显示器(未图示)及各种指示器等。

下面，参照图7，讲述喷墨打印机1的主控系统。如该图所示，喷墨打印机1包括：具有打印机接口161，在输入主计算机发送的打印数据(图象数据及打印控制数据)及各种指令的同时，还向主计算机输出喷墨打印机1内部中的各种数据的数据输出入部162；具有上述的X轴线性编码器66及压力传感器115，进行各种检出的检出部163；具有印刷单元21及进给单元22，为了在滚筒纸R上进行印刷的印刷部164；具有墨水供给单元23，旨在加压供给墨水的墨水供给部165；具有维护单元24，旨在对喷墨头41进行保养的维护部168；具有驱动喷墨头41的头驱动器171、驱动托架电动机的托架电动机驱动器172、驱动进给电动机的进给电动机驱动器173、驱动加压泵112的泵驱动器174等驱动各部的各种驱动器的驱动部166；与这些各部连接，对整个喷墨打印机1加以控制的控制部167。

控制部167，包括：除了具有可以暂时记忆的记忆区域外，还具有作为旨在进行控制处理的作业区域使用的RAM181；具有各种记忆区域，记忆控制程序及控制数据(颜色变换表及文字修饰表等)的ROM182；对各种数据进行运算处理的CPU183；在装入旨在处理与周边电路的接口信号的逻辑电路的同时，还装入旨在进行时间控制的计时器185的周边控制电路(P-CON)184；将它们互相连接的总线186。

此外，在RAM181中，设置着墨滴计数器(未图示)。该墨滴计数器，在记忆后文讲述的跟随加压计算方法中使用的各种数据(例如墨水囊盒93的可加压容积、单位墨水滴数的墨水体积等)的同时，还累计各喷嘴57喷出的墨滴数。另外，在ROM182中，记忆旨在驱动控制加压泵112的驱动控制程序，还按照该驱动控制程序计算跟随加压时间。

在控制部167中，按照ROM182记忆的控制程序等，使CPU183对通过P-CON184做媒介从各部输入的各种数据及RAM181内的各种数据进行运算处理，将其处理结果，通过P-CON184做媒介向各部输出，从而控制各部。

例如，加压单元83的压力传感器115与控制部167连接，控制部167根据压力传感器115的检出结果，间歇驱动空气供给机构111(加压泵112)，从而将墨水盒81的加压力、即墨水盒81供给的墨水的供给压力，调整成预先设定的动作压力(Pmin～Pmax)内。

更具体地说，压力传感器115被设定成检出动作压力的下限压力Pmin，初期加压时也包括在内，控制部167在压力传感器115检出压力的下限压力Pmin后(压力检出工序)，驱动加压泵112，使加压力(墨水的供给压力)从动作压力的下限压力Pmin到动作压力的上限压力Pmax为止的时间，作为跟随加压时间T(sec)求出。然后，根据求出的跟随加压时间、使加压泵112(泵驱动工序)，从而将墨水盒81的加压力调整成动作压力。

此外，在喷墨头41中，作为补偿喷出所定量(体积)的功能液滴的功能液的压力，预先设定补偿压力范围，满足该补偿压力范围地设定上述动作压力。

在这里，讲述跟随加压时间的计算方法。在本实施方式中，作为加压泵112单位时间的空气供给量A(ml/sec)和使下限压力Pmin达到上限压力Pmax所需的必要空气量B(ml)之商，求出跟随加压时间T。跟随加压时间的计算方法包括：测定单位时间的空气供给量A的空气供给量测定工序；计算必要空气量B的必要空气量计算工序；根据测定的单位时间的空气供给量A和计算出的必要空气量B，计算跟随加压时间T的跟随加压时间计算工序。

空气供给量测定工序，在用加压泵112将处于向大气敞开状态的墨水囊盒93加压到上限压力Pmax为止的初期加压中，将墨水囊盒93的加压力开始初始加压后，直到达到下限压力Pmin为止的到达时间t(sec)，和在到达时间t的期间加压泵112供给的空气供给量a(ml)相除后，求出单位时间的空气供给量A。

到达时间t，使用装入控制部167(P-CON184)的计时器185，将为了初期加压而开始驱动加压泵112之后，到压力传感器115检出下限压力Pmin为止的时间，作为时间t计测。

空气供给量a，按照波义耳-查理定律，根据开始初期加压时的墨水囊盒93的加压容积和到达时间t内的加压力的压力变化量计算。加压容积，通过从墨水囊盒93的可加压容积(ml)(即从墨水囊盒93的容积减去喷墨时的墨水囊91的容积)，减去开始初期加压时墨水囊91残留的墨水体积(ml)后求出。这时，墨水囊91残留的墨水体积，根据预先设定(记忆)的装满墨水时的墨水体积、单位墨滴数的墨水体积以及墨水计数器的计数值，进行运算处理后求出。

此外，在本实施方式中，空气供给量测定工序，每逢将喷墨打印机1的电源ON时进行。

必要空气量计算工序，和空气供给量a的计算方法相同，在计算出检出下限压力Pmin时的墨水囊盒93加压容积V的同时，按照波义耳-查理定律，计算在计算出的加压容积V中，为使下限压力达到上限压力Pmax所需的必要空气量B。

跟随加压时间计算工序，将求出的单位时间的空气供给量A和求出的必要空气量B相除后，求出跟随加压时间T。比外，在空气供给量测定工序中求出的单位时间的空气供给量A，被RAM181记忆，初期加压后，使用RAM181记忆的空气供给量A，求出跟随加压时间T。这时，每逢进行空气供给量测定工序时，RAM181记忆的空气供给量A就被更新。

可是，从喷墨头41喷出的墨滴极其细微，喷墨头41容易受到供给的墨水的压力变动的影响。而且，在本实施方式的喷墨打印机1中，以具有一定的压力范围(Pmin～Pmax)的动作压向喷墨头41加压供给墨水，向正在进行印刷动作的期间(喷出墨滴的期间)的喷墨头41加压供给墨水后，加压泵112的ON-OFF等时，头内流路产生压力变动，墨滴的喷出有变得不稳定的危险。

因此，在本实施方式中，利用控制部167，对上述加压单元83(加压泵112)进行驱动控制，在喷墨头41对卷筒纸R进行印刷动作的期间，不进行墨水的加压供给、即跟随加压。

具体地说，动作压力下降，由压力传感器115检出动作压力的下限压力Pmin后，就通过跟随加压时序控制处理，设定按照哪个时序开始跟随加压，以便不向正在对卷筒纸R进行印刷动作的喷墨头41加压供给墨水，按照该设定，进行跟随加压。

在这里，参照图9，讲述跟随加压时序控制处理。检出下限压力Pmin、开始跟随加压时序控制处理后，首先，为了确认喷墨头41是否正在进行印刷动作，而确认是否正在发送旨在进行印刷处理的印刷控制信号(例如从主计算机接收的旨在印刷印刷数据的墨水喷出信号)(S11)。在这里，如果没有发送印刷控制信号(S11：NO)，就判断没有正在进行印刷动作(S12)，驱动加压泵112，开始跟随加压(S17)。作为判断没有正在进行印刷动作时的一个例子，可以列举印刷待机状态及吸引单元131正在对喷墨头41进行吸引处理等。

另一方面，发送印刷控制信号(S11：Yes)、判断正在进行印刷动作(S13)时，根据X轴线编码器66，确认在头移动区域64中进行往复动作的头组件31(喷墨头41)，是否面对卷筒纸R所在的印刷区域(S14)。这样，确认头组件31的位置后，可以判断冲洗单元132是正在进行废弃喷出，还是正在对卷筒纸R进行旨在印刷的喷出。

然后，在喷墨头41没有面对卷筒纸R所在的印刷区域时(S14：No)，判断没有正在对卷筒纸R进行印刷动作，在暂时中断印刷处理(S16)的同时，还开始跟随加压(S17)。另外，在喷墨头41面对印刷区域时(S14：Yes)，等待喷墨头41离开印刷区域后(S15)，在暂时中断印刷处理(S16)的同时，还开始跟随加压(S17)。然后，无论何时(S18：Yes)，跟随加压结束后，就再开始中断的印刷处理(S19)，结束跟随加压时序控制处理。

此外，在确认印刷处理的状态下进行跟随加压时，可以取代动作压力的上限压力Pmax，加压到设定成为比上限压力Pmax低的压力的印刷时设定压力为止。这样，能够减小跟随加压前的喷墨头41的头内流路和跟随加压后的喷墨头41的头内流路的压力差，能够抑制描绘处理再开始时的跟随加压的影响。

另外，在确认印刷处理的状态下进行跟随加压时，为了防止跟随加压期间的喷墨头41的干燥，最好由维护单元24对跟随加压中的喷墨头41进行保养。例如：中断印刷处理后，驱动托架电动机61，使喷墨头41移动到原来位置为止，由吸引单元131的帽141压紧喷嘴面。

这样，在本实施方式的喷墨打印机1中，喷墨头41正在对卷筒纸R进行印刷动作时，不进行墨水的加压供给，所以墨水的加压供给产生的压力变动，不会对印刷结果带来不良影响，能够进行高质量的印刷。

此外，跟随加压时序控制处理，按照ROM182记忆的旨在实行跟随加压时序控制处理的控制程序进行，权利要求书所说的“压力检出单元”、“描绘动作确认单元”、“第1加压控制单元”、“第2加压控制单元”、“描绘再开始单元”，控制部167的各单元，按照控制程序，协同动作后，发挥作用。

下面，讲述本发明的第2实施方式涉及的液滴喷出装置。该液滴喷出装置，是装入所谓平面显示器的生产线的装置，将使功能材料溶解到溶剂中的功能液导入功能液滴喷出头，采用液滴喷出法(应用喷墨法)后，形成由R(红)、G(绿)、B(蓝)等3种颜色构成的液晶显示装置的彩色滤波器的着色层及成为有机EL装置的各象素的发光元件等。

如图10所示，液滴喷出装置201，包括：机台202，在机台202上的整个区域放置的、具有功能液喷出头252的描绘装置203，在机台202上附设在描绘装置203上的头保养装置204，向功能液滴喷出头252供给功能液的功能液供给装置205，控制各装置的图外的控制装置206。而且，在液滴喷出装置201中，根据控制装置206的控制，在由描绘装置203对图外的工件移载机器人导入工件进行描绘处理的同时，还由保养装置204对功能液滴喷出头252进行适当的保养处理。

描绘装置203包括：朝主扫描方向(X轴方向)延伸的X轴台211，与X轴台211正交的Y轴台212，移动自如地安装在Y轴台211上的主架213，被主架213支持、搭载(多个)功能液滴喷出头252的头组件214。

X轴台211，采用将安装工件W的安装台222移动自如地搭载到被构成X轴方向的驱动系统的X轴电动机(未图示)驱动的X轴滑块221上的结构。安装台222，具有吸附安装工件W的吸附台223，和对安装在吸附台223上的工件W的位置朝θ轴方向修正的θ台224。此外，在机台202中，设置着X轴线性传感器225，以便掌握在X轴方向上移动的安装台222的移动位置。

Y轴台212，采用和X轴台211大致相同的结构，具有被构成Y轴方向的驱动系统的Y轴电动机(未图示)驱动的Y轴滑块231，在Y轴方向上移动自如地搭载着主架213。另外，与Y轴台212并列地设置着Y轴线性传感器232，以便掌握在Y轴方向上移动的头组件214的移动位置。此外，Y轴台212介有在机台202上直立设置的左右支柱235，跨越机台202上设置的X轴台211及头保养装置204地配置。X轴台211及Y轴台212相交的区域，成为对工件W进行描绘的描绘区域；Y轴台212及头保养装置204相交的区域，成为对功能液滴喷出头252进行保养动作的保养区域。

主架213，由下列部件构成：支持头组件214的托架本体241；通过托架本体241做媒介，对头组件214的θ方向进行位置修正的θ旋转机构242；通过θ旋转机构242做媒介，使Y轴台212支持托架本体241(头组件214)的近似I字型的吊设部件(未图示)。

头组件214，采用通过头保持部件(未图示)做媒介，将功能液滴喷出头252搭载到头板251上的结构。功能液滴喷出头252，采用和上述喷墨头41同样的方式构成，所以在此不再赘述。

下面，讲述描绘装置203在进行描绘处理时的一系列的动作。首先，通过θ旋转机构242做媒介，对头组件214的位置进行修正，同时还通过θ旋转机构242做媒介，对安装在安装台222上的工件W的位置进行修正。接着，驱动X轴台211，使工件W在主扫描(X轴)方向上往复运动。与工件W的往动同步，驱动许多功能液滴喷出头252，对工件W有选择地进行功能液滴的喷出动作。工件W的往动结束后，驱动Y轴台212，使头组件214向副扫描(Y轴)方向移动。然后，再次进行使工件W向主扫描方向的复动和功能液滴喷出头252的驱动。这样，在描绘处理中，工件W向X轴方向的移动和与此同步的功能液滴喷出头252的喷出驱动(主扫描)，和头组件214向Y轴方向的移动(副扫描)交替反复进行，从而对工件W描绘所定的描绘图案。

头保养装置204，包括安置在机台202上的移动台261、冲洗组件262、吸引组件263、摩擦接触组件264。移动台261，采用可向X轴方向移动的结构。吸引组件263及摩擦接触组件264，朝X轴方向并排地设置在移动台261上，采用在对功能液滴喷出头252进行保养时，驱动移动台261，使吸引组件263及摩擦接触组件264面对适当的保养区域的结构。

冲洗组件262，是为了在对(1块)工件W进行的一系列的描绘处理中，接受头组件214的所有的功能液滴喷出头252的废弃喷出(冲洗)的功能液，和在描绘处理中从工件W渗出的功能液的装置，具有一对沿着与吸附台223的Y轴方向平行的一对边(周边)地设置的描绘冲洗箱271。这样，通过吸附台223做媒介，使工件W向X轴方向往复动作后，(经过一次主扫描，头组件214即将面对工件W以及头组件214刚从工件W离开的哪个时候都)能够使头组件214的所有的功能液滴喷出头252依次面对描绘冲洗箱271，能够适当接受对工件W进行的描绘动作将要开始和刚刚结束时进行的废弃喷出的功能液。

吸附组件263，相当于上述吸引单元131，具有紧贴功能液滴喷出头252的喷嘴面的帽281，和通过帽281做媒介，可以吸引功能液滴喷出头252的单一的吸引泵等。

摩擦接触组件264，是用将洗涤液雾状喷出的摩擦接触片291清除附着在功能液滴喷出头252的喷嘴面上的污垢的装置，包括：一边抽出卷绕成滚轮状的摩擦接触片291，一边卷绕的卷绕组件292；向抽出的摩擦接触片291散布洗涤液的洗涤液供给组件198；用散布了洗涤液的摩擦接触片291，擦拭喷嘴面的擦拭组件294。

功能液供给装置205，具备：与R·G·B 3种颜色的功能液对应的3个功能液罐301，收容3个功能液罐301的罐架302，将功能液罐301的功能液加压输送给功能液滴喷出头252的加压单元303，将3个功能液罐301和功能液滴喷出头252布管连接的多根(在本实施方式中为了3根)给液管304，采用与喷墨打印机1中的元件同样的结构、安装在各给液管304中的压力调整阀305。

功能液供给装置205，采用和上述喷墨打印机1的墨水供给单元大致相同的结构，功能液罐301采用墨盒式的产品。在罐架302中，设置着收容各功能液罐301的功能液收容部(未图示)，在各功能液收容部中，配置着连接功能液罐301和空气布管323的连接器(未图示)。另外，加压单元303具有通过连接器做媒介将空气供给各功能液罐301的空气供给机构321，驱动构成空气供给机构321的单一的加压泵322后，就通过空气布管323做媒介，向各功能液罐301供给空气。这时，在空气布管323中，也设置着带螺线管的调节器324及压力传感器325，成为可以将空气布管323内维持成所定的动作压力的结构。

控制装置206，由专用计算机等构成，具备旨在输入数据、进行各种设定的输入单元(键盘等)，以及为了观看输入数据·各种设定状态等的显示器等(均未图示)。

下面，参照图11，讲述液滴喷出装置201的主控系统。液滴喷出装置201，包括：具有描绘装置203的描绘部331；具有头保养装置204的头保养部332；具有功能液供给装置205的功能液供给部333；具有描绘装置203、头保养装置204及功能液供给装置205的各种传感器，进行各种检出的检出部334；驱动各部的各种驱动器(旨在驱动描绘装置203的描绘驱动器341、旨在驱动头保养装置204的头保养驱动器342、旨在驱动功能液供给装置205的功能液供给驱动器343等)的驱动部335；与各部连接，对整个液滴喷出装置201进行控制的控制部336(控制装置206)。

控制部336，具备旨在连接描绘装置203及头保养装置204等的接口351，以及在记忆来自描绘装置203、头保养装置204及功能液供给装置205的各种数据等的同时，还记忆旨在处理各种数据的程序等的硬盘352。除此之外，还和上述喷墨打印机1的控制部25的结构大致相同，具备RAM353、ROM354、CPU355、计时器356、内部总线357。

本实施方式的液滴喷出装置201，也和上述喷墨打印机1进行同样的控制。即通过控制部336对加压泵322进行驱动控制后，在将功能液罐301供给的功能液的供给压力，调整成预先设定的动作压力内的同时，还使正在对工件W进行描绘动作的功能液滴喷出头252的头内流路不产生压力变动，所以在功能液滴喷出头252对工件W进行描绘动作的期间，不进行功能液的加压供给。而且，在中断描绘处理、加压供给功能液时，驱动功能液滴喷出头252(X轴台211或Y轴台212)，使头组件214面对冲洗组件262或保养区，用头保养装置204进行保养地利用到加压供给结束为止的等待时间，对功能液滴喷出头252进行保养。所以，液滴喷出装置201可以用极高的精度描绘图案。

下面，作为使用本实施方式的液滴喷出装置201制造的电光学装置(平面屏显示器)，以彩色滤波器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)、进而在这些显示装置中形成的有源矩阵基板等为例，讲述它们的结构及制造方法。此外，所谓“有源矩阵基板”，是指薄膜晶体管及形成与薄膜晶体管电连接的源极线、数据线的基板。

首先，讲述装入液晶显示装置及有机EL装置等的彩色滤波器的制造方法。图12是表示彩色滤波器的制造工序的流程图，图13A～13E是按照工序顺序表示的本实施方式的彩色滤波器600(滤波器基体600A)的剖面示意图。

首先，在黑色矩阵形成工序(S101)中，如图13A所示，在基板(W)601上，形成黑色矩阵602。黑色矩阵602，由金属铬、金属铬和氧化铬的层迭体或树脂炭黑等形成。为了形成由金属薄膜构成的黑色矩阵602，可以使用溅射法及蒸镀法等。另外，在形成由树脂薄膜构成的黑色矩阵602时，可以使用凹版印刷术、光敏抗蚀剂法及热复制法等。

接着，在围堰形成工序(S102)中，以在黑色矩阵602上重叠的状态形成围堰603。就是说，首先如图13B所示，覆盖基板601及黑色矩阵602地形成由负片型的透明的感光性树脂构成的抗蚀剂层604。然后，用形成矩阵图案形状的掩模薄膜605被覆其上面的状态，进行曝光处理。

进而，如图13C所示，腐蚀处理抗蚀剂层604的未曝光部分，从而在抗蚀剂层604上布图，形成围堰603。此外，在用树脂炭黑形成黑色矩阵时，可以兼作黑色矩阵和围堰。

该围堰603和其下的黑色矩阵602，成为划分各象素区域607a的划分壁部607b，在以后的着色层形成工序中，利用功能液滴喷出头252形成着色层(成膜部)608R、608G、608B之际，规定功能液滴的射中区域。

经过以上的黑色矩阵形成工序及围堰形成工序后，就获得上述的滤波器基体600A。

此外，在本实施方式中，作为围堰603的材料，使用涂膜表面成为疏液(疏水)性的树脂材料。然后，由于基板(玻璃基板)601的表面是亲液(亲水)性的，所以在后述的着色层形成工序中，能够提高射入被围堰603(划分壁部607b)包围的各象素区域607a内的液滴的射中位置精度。

接着，在着色层形成工序(S301)中，如图13D所示，由功能液滴喷出头252喷出功能液滴，使其落入被划分壁部607b包围的各象素区域607a内。这时，使用功能液滴喷出头252，导入R·G·B 3色的功能液(过滤材料)，喷出功能液滴。此外，作为R·G·B 3色的排列图案，有带状排列、嵌镶排列及三角形排列等。

然后，经过干燥处理(加热等处理)后，使功能液固定，形成3色的着色层608R、608G、608B。形成了3色的着色层608R、608G、608B后，进行保护膜形成工序(S104)，如图13E所示，覆盖基板601、划分壁部607b及着色层608R、608G、608B的上面地形成保护膜609。

即向基板601的形成着色层608R、608G、608B的整个面上喷出保护膜用涂敷液后，再经过干燥处理，形成保护膜609。

然后，形成保护膜609后，彩色滤波器600进入下道工序——成为透明电极的ITO(Indium Tin Oxide)等的贴膜工序。

图14是表示作为使用了上述彩色滤波器600的液晶显示装置的一个例子的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的简要结构的重要部位剖面图。该液晶装置620，通过安装液晶驱动用IC、后备灯、支持体等的附带要素后，可以获得作为最终产品的透明型液晶显示装置。此外，彩色滤波器600与图13A～13E所示的产品相同，所以给对应的部位赋予相同的符号，不再赘述。

该液晶装置620，主要由下述部件构成：彩色滤波器600，由玻璃基板等构成的相对基板621，以及由被夹在它们之间的STN(Super TwistedNematic)液晶组成物构成的液晶层622。将彩色滤波器600，配置在图中的上侧(观测者一侧)。

此外，虽然没有图示，但在相对基板621及彩色滤波器600的外面(与液晶层622一侧相反侧的面)上，分别配置着偏振光板，还在位于相对基板621一侧的偏振光板的外侧，配置着背景灯。

在彩色滤波器600的保护膜609上(液晶层侧)，在图14中的左右方向，以所定的间隔形成许多长尺寸的矩形的第1电极623，覆盖该第1电极623和彩色滤波器600的一侧相反侧的面地形成第1定向膜624。

另一方面，在相对基板621中和彩色滤波器600相对的面上，以所定的间隔在与彩色滤波器600的第1电极623正交的方向上，形成许多长尺寸的矩形的第2电极626，覆盖该第2电极626的液晶层622侧的面地形成第2定向膜627。该第1电极623及第2电极626，由ITO等透明导电材料形成。

在液晶层622内设置的间隔片628，是为了将液晶层622的厚度(单元间隙)保持成一定的部件。另外，密封部件629，是为了防止液晶层622内的液晶组成物向外部漏出的部件。此外，第1电极623的一个端部，作为布线623a，延伸到密封部件629的外侧。

然后，第1电极623及第2电极626交差的部分，是象素，采用使彩色滤波器600的着色层608R、608G、608B位于成为该象素部分的结构。

在通常的制造工序中，在彩色滤波器600上进行第1电极623的布图及第1定向膜624的涂敷后，制作彩色滤波器600一侧的部分；另外，在相对基板621上进行第2电极626的布图及第2定向膜627的涂敷后，制作相对基板621一侧的部分。然后，将间隔片628及密封部件629装入相对基板621一侧的部分，在这种状态下，与彩色滤波器600一侧的部分贴合。接着，从密封部件629的注入口注入构成液晶层622的液晶，封住注入口。然后，层迭两偏振光板及背景灯。

实施方式的液滴喷出装置201，例如可以在涂敷构成上述单元间隙的间隙片材料(功能液)的同时，在将彩色滤波器600一侧的部分贴合到相对基板621一侧的部分上之前，向用密封部件629围住的区域均匀地涂敷液晶(功能液)。另外，还可以用功能液滴喷出头252对上述密封部件629进行印刷。进而，还可以用功能液滴喷出头252对第1·第2定向膜624、627进行涂敷。

图15是表示使用了本实施方式中制造的彩色滤波器600的液晶显示装置的第2个例子的的简要结构的重要部位剖面图。

该液晶装置630，和上述液晶装置620的最大的不同之处是：将彩色滤波器600配置在图中的下侧(与观测者相反的一侧)。

该液晶装置630，主要采用在彩色滤波器600和由玻璃基板等构成的相对基板631之间夹住由STN液晶构成的液晶层632的结构。此外，虽然没有图示，但在相对基板631及彩色滤波器600的外面，分别配置着偏振光板等。

在彩色滤波器600的保护膜609上(液晶层632侧)，在图中的深度方向，以所定的间隔形成许多长尺寸的矩形的第1电极633，覆盖该第1电极633的液晶层632侧的面地形成第1定向膜634。

在相对基板631中和彩色滤波器600相对的面上，以所定的间隔，形成许多向与彩色滤波器600的第1电极633正交的方向延伸的长尺寸的矩形的第2电极636，覆盖该第2电极636的液晶层632侧的面地形成第2定向膜637。

在液晶层632内，设置着为了将该液晶层632的厚度保持成一定的间隔片638，和为了防止液晶层632内的液晶组成物向外部漏出的部件密封部件639。

然后，和上述液晶装置620一样，第1电极633及第2电极636交差的部分，是象素，采用使彩色滤波器600的着色层608R、608G、608B位于成为该象素部分的结构。

图16是表示使用本实施方式的彩色滤波器600构成液晶显示装置的第3个例子的图形，是表示透过型的TFT(Thin Film Transistor)型的液晶装置的简要结构的分解立体图。

该液晶装置650，将彩色滤波器600配置在图中的上侧(观测者侧)。

该液晶装置650，主要由下述部件构成：彩色滤波器600，与其相对地配置的相对基板651，夹在它们之间没有图示的液晶层，配置在彩色滤波器600的上面侧(观测者一侧)的偏振光板655，配置在相对基板651的下面侧的偏振光板(未图示)。

在彩色滤波器600的保护膜609的表面(相对基板651侧的面)，形成液晶驱动用的电极656。该电极656，由ITO等透明导电材料构成，成为覆盖形成后述的象素电极660的整个区域的全面电极。另外，以覆盖该电极656的象素电极660的相反侧的面的状态，设置定向膜657。

在相对基板651与彩色滤波器600相对的面上，形成绝缘层658，在该绝缘层658上，以互相正交的状态，形成扫描线661及信号线662。然后，在被这些扫描线661及信号线662包围的区域内，形成象素电极660。此外，在实际的液晶装置中，在象素电极660上设置着定向膜，但图中省略。

另外，采用在象素电极660的缺口部和被扫描线661及信号线662包围的部分，装入具备源电极、漏电极、半导体及栅电极的薄膜晶体管663的结构。然后，向扫描线661和信号线662外加信号后，使薄膜晶体管663通·断，从而能够对象素电极660进行通电控制。

此外，上述各例的液晶装置620、630、650，采用了透过型的结构。但可以设置反射层或半透过反射层后，作为反射型的液晶装置或半透过反射型的液晶装置。

图17是有机EL装置的显示区域(以下简称“显示装置700”)的主要部位剖面图。

该显示装置700，主要以在基板(W)701上，层叠电路元件部702、发光元件部703及阴极704的状态构成。

在该显示装置700中，由发光元件部703向基板701侧发出的光，透过电路元件部702及基板701后，射向观看者的一侧，与此同时，由发光元件部703向基板701的相反侧发出的光，被阴极704反射后，透过电路元件部702及基板701后，射向观看者的一侧。

在电路元件部702和基板701之间，形成由硅氧化膜构成的基底保护膜706；在该基底保护膜706上(发光元件部703的一侧)，形成由多晶硅构成的岛状的半导体膜707。在该半导体膜707的左右区域，通过高浓度地注入阳离子，分别形成源极区域707a及漏极区域707b。然后，在没有注入阳离子的中央部，成为沟道区域707c。

另外，在电路元件部702中，形成覆盖基底保护膜706及半导体膜707的透明的栅极绝缘膜708，在该栅极绝缘膜708上的与半导体膜707的沟道区域707c对应的位置上，形成例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极709。在该栅电极709及栅极绝缘膜708上，形成透明的第1层间绝缘膜711a和第2层间绝缘膜711b。另外，贯通第1、第2层间绝缘膜711a、711b，形成分别与半导体膜707的源极区域707a、漏极区域707b连通的接触孔712a、712b。

然后，在第2层间绝缘膜711b上，布图成为所定的形状地形成由ITO等构成的透明的象素电极713，该象素电极713，通过接触孔712a，与源极区域707a连接。

另外，在第1层间绝缘膜711a上，配置电源线714，该电源线714，通过接触孔712b，与漏极区域707b连接。

这样，在电路元件部702中，分别形成与各象素电极713连接的驱动用的薄膜晶体管715。

上述发光元件部703，主要由分别在多个象素电极713上层叠的功能层717和在各象素电极713及功能层717之间具备的、划分各功能层717的围堰部718构成。

这些象素电极713、功能层717及在功能层717上配置的阴极704，构成发光元件。此外，象素电极713，布图成在俯视图上略呈矩形后形成，在各象素电极713之间形成围堰部718。

围堰部718，例如由SiO、SiO₂、TiO₂等无机材料形成的无机物围堰层718a(第1围堰层)，和在该无机物围堰层718a上层叠的由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优异的抗蚀剂形成的、断面呈台形的有机物围堰层718b(第2围堰层)构成。该围堰部718的一部分，以位于象素电极713的周边部之上的状态形成。

然后，在各围堰部718之间，形成对象素电极713而言，朝上方逐渐扩大的开口部719。

上述功能层717，由在开口部719内以层叠在象素电极713之上的状态形成的空穴注入/输送层717a，和在该空穴注入/输送层717a上形成的发光层717b构成。此外，还可以与该发光层717b邻接，形成具有其它功能的其它功能层。例如：还可以形成电子输送层。

空穴注入/输送层717a，具有从象素电极713的一侧输送空穴、注入发光层717b的功能。该空穴注入/输送层717a，采用喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第1组成物(功能液)的方法形成。作为空穴注入/输送层形成材料，使用众所周知的材料。

发光层717b，发出红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)中的某一种光，采用喷出包含发光层形成材料(发光材料)的第2组成物(功能液)的方法形成。作为第2组成物的溶剂(非极性溶剂)，最好使用不溶于空穴注入/输送层717a的众所周知的材料。在发光层717b的第2组成物中，使用这种非极性溶剂后，能够使空穴注入/输送层717a不重新溶解地形成发光层717b。

然后，在发光层717b中，由空穴注入/输送层717a注入的空穴，和由阴极704注入的电子，形成在发光层中重新结合而发光的结构。

阴极704，以覆盖发光元件部703的整个面的状态形成，与象素电极713结成对子后，发挥使电流流入功能层717的作用。此外，在该阴极704的上部，配置着未图示的密封部件。

接着，参照图18～图26，讲述上述显示装置700的制造方法。

该显示装置700，如图18所示，经过下述工序制造：围堰部形成工序(S 111)、表面处理工序(S112)、空穴注入/输送层形成工序(S113)、发光层形成工序(S114)及相对电极形成工序(S115)。此外，制造工序并不局限于例示的内容，可以根据需要，去掉或追加其它的工序。

首先，在围堰部形成工序(S111)中，如图19所示，在第2层间绝缘膜711b上，形成无机物围堰层718a。该无机物围堰层718a，通过在形成位置上形成无机物膜后，再采用光刻蚀术等在该无机物膜上布图后形成。这时，无机物围堰层718a的一部分，与象素电极713的周边部重叠地形成。

形成无机物围堰层718a后，如图20所示，在无机物围堰层718a上形成有机物围堰层718b。该有机物围堰层718b，也和无机物围堰层718a一样，采用光刻蚀术等布图后形成。

这样，就形成围堰部718。另外，与此同时，在各围堰部718之间，形成对象素电极713而言，朝上方开口的开口部719。该开口部719，规定象素区域。

在表面处理工序(S112)中，进行亲液化处理及斥液化处理。实施亲液化处理的区域，是无机物围堰层718a的第1层叠部718aa及象素电极713的电极面713a，这些区域，例如经过将氧作为处理气体的等离子体处理后，表面呈亲液性。该等离子体处理，还兼有对象素电极713——ITO进行洗涤等的作用。

另外，斥液化处理，在有机物围堰层718b的壁面718s及有机物围堰层718b的上面718t中实施，例如经过将四氟化甲烷作为处理气体的等离子体处理后，表面就被氟化处理(斥液性处理)。

经过该表面处理工序后，在使用功能液滴喷出头252形成功能层717之际，能够使功能液滴更精确地射到象素区域中，另外，还能防止射到象素区域的功能液滴从开口部719处溢出。

经过以上的工序后，可以获得显示装置基体700A。将该显示装置基体700A放置到图10所示的液滴喷出装置201的安装台222上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S113)及发光层形成工序(S114)。

如图21所示，在空穴注入/输送层形成工序(S113)中，由功能液滴喷出头252向象素区域——各开口部179内喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第1组成物。然后，如图22所示，进行干燥处理及热处理，使第1组成物中包含的极性溶剂蒸发，在象素电极(电极面713a)713上形成空穴注入/输送层717a。

接着，讲述发光层形成工序(S114)。在该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层717a的再溶解，作为发光层形成之际使用的第2组成物的溶剂，使用对空穴注入/输送层717a不溶的非极性溶剂。

可是，另一方面，由于空穴注入/输送层717a对非极性溶剂的亲和性低，所以即使将包含非极性溶剂的第2组成物喷到空穴注入/输送层717a上，也有不能使空穴注入/输送层717a和发光层717b贴紧或者不能均匀涂敷发光层717b的危险。

因此，为了提高空穴注入/输送层717a对非极性溶剂及发光层形成材料的亲和性，最好在发光层形成之前进行表面处理(表面改质处理)。该表面处理，通过在空穴注入/输送层717a上涂敷和发光层形成之际使用的第2组成物的非极性溶剂相同的溶剂或与其类似的溶剂——表面改质材料，使其干燥后进行。

进行这种处理后，空穴注入/输送层717a的表面容易与非极性溶剂亲和，在以后的工序中，能够将包含发光层形成材料的第2组成物均匀涂敷到空穴注入/输送层717a上。

再接着，如图23所示，将与包含各色中的某一个(在图23的示例中为蓝色(B))对应的发光层形成材料的第2组成物作为功能液滴，向象素区域(开口部719)内打入所定量。打入象素区域内的第2组成物，在空穴注入/输送层717a上扩散，装满开口部719内。此外，即使万一第2组成物偏离象素区域，落到围堰部718的上面718t上，也由于该上面718t如上所述，进行过斥液处理，所以第2组成物容易滚入开口部719内。

然后，进行干燥工序等，对喷出后的第2组成物进行干燥处理，使第2组成物包含的非极性溶剂蒸发，就如图24所示，在空穴注入/输送层717a上形成发光层717b。该图表示形成与蓝色(B)对应的发光层717b。

同样，使用功能液滴喷出头252，如图25所示，依次进行和上述形成与蓝色(B)对应的发光层717b时同样的工序，形成与其它颜色(红色(R)及绿色(G))对应的发光层717b。此外，发光层717b的形成顺序，并不局限于例示的顺序，用哪种顺序都行。例如：可以按照发光层形成材料，决定形成的顺序。另外，作为R·G·B3色的排列图案，有带状排列、嵌镶排列及三角形排列等。

至此，在象素电极713上形成功能层717即空穴注入/输送层717a及发光层717b。然后，进行相对电极形成工序(S115)。

在相对电极形成工序(S115)中，如图26所示，例如采用蒸镀法、溅射法、CVD法等，在发光层717b及有机物围堰层718b的整个上，形成阴极704(相对电极)。该阴极704，在本实施方式中，例如层叠钙层及铝层后构成。

在该阴极704的上部，适当设置作为电极的Al膜、Ag膜及防止其氧化的SiO₂、SiN等保护层。

这样，在形成阴极704之后，再在该阴极704的上部，实施利用密封材料密封的密封处理及布线处理等其它处理，就获得显示装置700。

图27是等离子体型显示装置(PDP装置，以下简称“显示装置800”)的主要部件的分解立体图。此外，在该图中，以将显示装置800去掉一部分的状态显示。

该显示装置800，主要包括互相相对配置的第1基板801、第2基板802及在它们之间形成的放电显示部803。放电显示部803，由多个放电腔805构成。在这些多个放电腔805中，红色放电腔805R、绿色放电腔805G、蓝色放电腔805B的3个放电腔805成为一组，构成1个象素地配置。

在第1基板801的上面，以所定间隔条纹状地形成地址电极806，并且还覆盖该地址电极806和第1基板801的上面地形成介电体层807。在介电体层807上，位于各地址电极806之间，而且沿着各地址电极806地直立设置隔壁808。该隔壁808，包括如图所示的向地址电极806的宽度方向的两侧延伸的部分，和未图示的向与地址电极806正交的方向延伸的部分。

然后，被该隔壁808隔开的区域，就成为放电腔805。

在放电腔805内，配置荧光体809。荧光体809，是发出红(R)、绿(G)、蓝(B)中的某一种颜色的荧光的元件，在红色放电腔805R的底部，配置着红色荧光体809(R)；在绿色放电腔805G的底部，配置着绿色荧光体809(G)；在蓝色放电腔805B的底部，配置着蓝色荧光体809(B)。

在第2基板802的图中下侧的面上，向与地址电极806正交的方向以所定间隔条纹状地形成多个显示电极811。然后，覆盖它们地形成介电体层812及由MgO等构成的保护膜813。

第1基板801和第2基板802，以使地址电极806和显示电极811互相正交的状态相对地贴合在一起。此外，上述地址电极806和显示电极811，与未图示的交流电源连接。

然后，给各电极806、811通电后，在放电显示部803中，荧光体809受激发光，可以进行彩色显示。

在本实施方式中，上述地址电极806、显示电极811及荧光体809，可以使用图10所示的液滴喷出装置201形成。以下，举列讲述第1基板801中的电极806的形成工序。

这时，在将第1基板801放置到液滴喷出装置201的安装台222上的状态下，进行以下工序。

首先，由功能液滴喷出头252，将包含导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，喷射到地址电极形成区域。该液体材料，作为导电膜布线形成用材料，是将金属等导电性微粒分散到分散剂中的材料。作为该导电性微粒，可以使用包含金、银、铜、钯或镍等的金属微粒及导电性聚合体等。

对成为补充对象的所有的地址电极形成区域，补充液体材料的工序结束后，对喷出后的液体材料进行干燥处理，使液体材料中包含的分散剂蒸发，从而形成地址电极806。

以上，虽然只举例讲述电极806的形成工序，但上述显示电极811及荧光体809，也都可以经过以上工序形成。

形成显示电极811时，和地址电极806一样，将包含导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，喷射到显示电极形成区域。

另外，形成荧光体809时，由功能液滴喷出头252，将包含与各色(R、G、B)对应的荧光材料的液体材料(功能液)作为液滴，喷射到对应的颜色的放电腔805内。

图28是电子发射装置(也称作“FED装置”或“SED装置”，以下简称“显示装置900”)的主要部件剖面图。此外，在该图中，将显示装置900的一部分，作为剖面显示。

该显示装置900，主要由相互相对配置的第1基板901、第2基板902及在它们之间形成的电场发射显示部903构成。电场发射显示部903，由阵列状地配置的多个电子发射部905构成。

在第1基板901的上面，相互正交地形成构成阴极电极906的第1元件电极906a及第2元件电极906b。另外，在用第1元件电极906a及第2元件电极906b隔开的部分，形成构成帽908的导电性膜907。就是说，由第1元件电极906a、第2元件电极906b及导电性膜907，构成许多电子发射部905。导电性膜907，例如由氧化钯(PdO)等构成，另外，帽908，在导电性膜907成膜后，用成形法等形成。

在第2基板902的下面，形成与阴极电极906对峙的阳极电极909。在阴极电极906的下面，形成晶格状的围堰部911，在被该围堰部911包围、朝下的各开口部912中，与电子发射部905对应地配置荧光体913。荧光体913是发出红(R)、绿(G)、蓝(B)中的某一种颜色的荧光的元件，在各开口部912中，以上述所定的图案配置着红色荧光体913R、绿色荧光体913G及蓝色荧光体913B。

然后，将这样构成的第1基板901和第2基板902，存在微小间隙地贴合在一起。在该显示装置900中，通过导电性膜(帽908)907做媒介，使从阴极——第1元件电极906a或第2元件电极906b飞出的电子，撞击阳极——阳极电极909上形成的荧光体913，可以使其受激发光，进行彩色显示。

这时，也和其它实施方式一样，可以使用液滴喷出装置201，形成第1元件电极906a、第2元件电极906b、导电性膜907及阳极电极909，还能使用液滴喷出装置201，形成各色的荧光体913R、91G、913B。

第1元件电极906a、第2元件电极906b及导电性膜907，具有图29A所示的平面形状，使它们成膜时，如图29B所示，预先留下要装入第1元件电极906a、第2元件电极906b及导电性膜907的部分，形成围堰部BB(光刻蚀术)。接着，在由围堰部BB构成的槽部，形成第1元件电极906a及第2元件电极906b(采用液滴喷出装置201的喷墨法)，使该溶剂干燥、成膜后，形成导电性膜907(采用液滴喷出装置201的喷墨法)。然后，在导电性膜907成膜后，除去(抛光剥离处理)围堰部BB，进行上述的成形处理。此外，和上述的有机EL装置时一样，最好对第1基板901、第2基板902进行亲液化处理，以及对围堰部911、BB进行斥液化处理。

另外，作为其它的电光学装置，可以考虑金属布线形成、透镜形成及光扩散体形成等的装置。通过将上述液滴喷出装置201用于各种电光学装置(器件)的制造后，可以高效率地制造出各种电光学装置。

Claims (11)

1、一种液滴喷出装置的控制方法，所述液滴喷出装置实施加压供给动作和描绘动作，

所述加压供给动作，利用加压泵对功能液罐加压以维持所定的动作压力，由所述功能液罐将功能液加压供给到喷出功能液滴的功能液滴喷出头，从而进行功能液的加压供给，

所述描绘动作，一边使所述功能液滴喷出头相对于被设置在描绘区域的被描绘对象物进行移动，一边驱动所述功能液滴喷出头使之喷出所述功能液滴，从而进行描绘，其特征在于：包括：

检出所述功能液罐内的压力是否在所述动作压力的下限压力以下的压力检出工序；

当所述功能液罐内的压力处于所述下限压力以下时，确认所述功能液滴喷出头是否正在进行描绘动作的描绘动作确认工序；以及

当得出不在进行所述描绘动作的确认时，将所述功能液罐加压到所述动作压力的上限压力为止的第1加压控制工序。

2、如权利要求1所述的液滴喷出装置的控制方法，其特征在于，正在进行所述描绘动作的所述功能液滴喷出头，一边在描绘移动区域内相对移动，一边向位于所述描绘移动区域内的所述描绘区域喷出所述功能液滴，

所述方法还具有第2加压控制工序和描绘再开始工序，

所述第2加压控制工序，当得出正在进行所述描绘动作的确认、而且得出所述功能液滴喷出头面对所述描绘区域的确认时，等待所述功能液滴喷出头离开所述描绘区域后，中断所述描绘动作并将所述功能液罐加压到所述上限压力为止，

而当得出正在进行所述描绘动作的确认、而且得出所述功能液滴喷出头没有面对所述描绘区域的确认时，中断所述描绘动作将所述功能液罐加压到所述上限压力为止；

所述描绘再开始工序，在所述第2加压控制工序之后，使所述描绘动作再开始。

3、如权利要求2所述的液滴喷出装置的控制方法，其特征在于：所述第2加压控制工序，取代所述上限压力，用比该上限压力低的描绘动作中的压力进行加压。

4、一种液滴喷出装置，实施加压供给动作和描绘动作，

所述加压供给动作，利用加压泵对功能液罐加压以维持所定的动作压力，由所述功能液罐将功能液加压供给到喷出功能液滴的功能液滴喷出头，从而进行功能液的加压供给，

所述描绘动作，一边使所述功能液滴喷出头相对于被设置在描绘区域的被描绘对象物进行移动，一边驱动所述功能液滴喷出头使之喷出所述功能液滴，从而进行描绘，其特征在于：包括：

检出所述功能液罐内的压力是否在所述动作压力的下限压力以下的压力检出单元；

在所述功能液罐内的压力在所述下限压力以下时，确认所述功能液滴喷出头是否正在进行所述描绘动作的描绘动作确认单元；以及

当得出不在进行所述描绘动作的确认时，将所述功能液罐加压到所述动作压力的上限压力为止的第1加压控制单元。

5、如权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于，正在进行所述描绘动作的所述功能液滴喷出头，一边在描绘移动区域内相对移动，一边向位于所述描绘移动区域内的所述描绘区域喷出所述功能液滴，

所述液滴喷出装置还具有第2加压控制单元和描绘再开始单元，

所述第2加压控制单元，当得出正在进行所述描绘动作的确认、而且得出所述功能液滴喷出头面对所述描绘区域的确认时，等待所述功能液滴喷出头离开所述描绘区域后，中断所述描绘动作并将所述功能液罐加压到所述上限压力为止，

而当得出正在进行所述描绘动作的确认、而且得出所述功能液滴喷出头没有面对所述描绘区域的确认时，中断所述描绘动作将所述功能液罐加压到所述上限压力为止；

所述描绘再开始单元，在中断所述描绘动作将所述功能液罐加压到所述上限压力为止之后，使所述描绘动作再开始。

6、如权利要求5所述的液滴喷出装置，其特征在于：所述第2加压控制单元，取代所述上限压力，用比该上限压力低的描绘动作中的压力进行加压。

7、如权利要求4～6任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，还具有：

面对所述功能液滴喷出头，对该功能液滴喷出头进行保养的维护单元；

使所述功能液滴喷出头相对于所述维护单元进行移动的头移动单元；以及

控制所述头移动单元，使正在进行加压供给动作的所述功能液滴喷出头，面对所述维护单元的移动控制单元。

8、如权利要求7所述的液滴喷出装置，其特征在于，所述维护单元，具有下述诸单元中的至少一个以上：密封所述功能液滴喷出头的喷嘴面的罩盖单元、从所述功能液滴喷出头的喷嘴进行吸引的吸引单元、以及用摩擦接触片擦拭所述功能液滴喷出头的喷嘴面的摩擦接触单元。

9、一种电光学装置的制造方法，其特征在于：使用权利要求4～8任一项所述的液滴喷出装置，在所述被描绘对象物上形成由所述功能液滴变成的成膜部。

10、一种电光学装置，其特征在于：使用权利要求4～8任一项所述的液滴喷出装置，在所述被描绘对象物上形成由所述功能液滴变成的成膜部。

11、一种电子机器，其特征在于：搭载了采用权利要求9所述的液滴喷出装置的制造方法所制造的电光学装置或权利要求10所述的电光学装置。

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