JP2002169013A - フィルタ製造装置、フィルタ製造方法、この方法により製造されたフィルタおよび、このフィルタを用いた電子機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 画素の平坦度が優れており、且つ高品位・高
信頼性の表示能力を有するフィルタを製造するフィルタ
製造装置、フィルタ製造方法、この方法により製造され
たフィルタおよび、このフィルタを用いた電子機器を提
供すること。 【解決手段】 基板に形成されている複数のインク配置
領域１１ａに対して、ヘッド部から吐出されたインクを
着弾させるインク着弾手段１５０と、このインク着弾手
段で前記基板に着弾されたインクを本乾燥するインク本
乾燥手段と、を有するフィルタ製造装置であって、前記
基板本乾燥手段で、このインク着弾手段で基板に着弾さ
れたインクを本乾燥する前に、この基板のインクを予備
乾燥するインク予備乾燥手段１６０が設けられ、且つ、
このインク予備乾燥手段が、前記インク着弾手段の近傍
に設けられていることでフィルタ製造装置１００を構成
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶表示装
置等の表示装置に用いられるカラーフィルタ等のフィル
タを製造するためのフィルタ製造装置、フィルタ製造方
法、この方法により製造されたフィルタ及びこのフィル
タを用いた電子機器に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置等の表示装置に用いられる
カラーフィルタ等は、基板上に多数形成されているイン
ク配置領域のそれぞれに対して、インクを配置すること
により製造される。このインクは、赤色（Ｒ）、緑
（Ｇ）若しくは青色（Ｂ）のインクでなり、これらの
Ｒ，Ｇ，Ｂのインクを所定のパターンで、基板上に配置
するようになっている。このように、Ｒ，Ｇ，Ｂのイン
クは基板上のインク配置領域毎に精度良く、且つ色を違
えて配置するため、インクの吐出を高精度に制御する必
要があり、このような要請に適うものとして、インクジ
ェット方式が採用されている。

【０００３】インクジェット方式は、インクが収容され
ているインクジェットヘッドにインク吐出用のノズルが
多数配置され、このノズルから吐出されるインク量は、
圧電素子等の動作によって制御されるようになってい
る。この圧電素子の動作は、外部から印加される電圧の
高低によって、精度良く制御できるため、結果的にイン
クジェット方式は、インクの吐出量を精度良く制御でき
る。このようなインクジェット方式のカラーフィルタ製
造装置によって、インクが着弾し、配置されるカラーフ
ィルタ用基板を示した概略部分平面図が図１４である。
図１４に示すようにカラーフィルタ用基板には、バンク
１１により仕切られることでインク配置領域１１ａが一
定の間隔を空けて多数設けられている。このインク配置
領域１１ａ内にインクが配置されるのであるが、このイ
ンク配置領域１１ａの断面形状は、図１５に示すように
構成されている。

【０００４】すなわち、図１５は、図１４のＡ−Ａ’線
断面図であるが、図１５に示すようにバンク１１により
形成されているインク配置領域１１ａ内にインクが配置
されるようになっている。このようにバンク１１が設け
られているのは、インクが当初、液状であるため、容易
に周囲に広がってしまうため、この広がりを防止し、所
望の範囲にインクが収まるようにするためである。この
ようにインクがインク配置領域１１ａ内に配置されたカ
ラーフィルタ用基板は、インク着弾装置とは、別に設け
られた乾燥装置に搬送される。そして、この乾燥装置内
でカラーフィルタ用基板のインクは乾燥され、その後、
所定の工程を経て、カラーフィルタ用基板が完成するこ
とになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、インク着弾装
置でインクが配置されたカラーフィルタ用基板は、乾燥
装置に搬送されるまでに、ある程度自然乾燥してしま
う。このように自然乾燥したインクは、どうしても、そ
の表面の平坦度が悪くなってしまう。ところで、このイ
ンク配置領域１１ａに配置されるインクは、カラーフィ
ルタ用基板の画素を形成するため、表面の平坦度が悪い
インクは、画素の平坦度の低下となる。そして、このカ
ラーフィルタ用基板を用いる例えば表示装置のカラーフ
ィルタの表示品質の低下を招くという問題があった。

【０００６】そこで、本発明は、以上の点に鑑み、画素
の平坦度が優れており、且つ高品位・高信頼性の表示能
力を有するフィルタを製造するフィルタ製造装置、フィ
ルタ製造方法、この方法により製造されたフィルタおよ
び、このフィルタを用いた電子機器を提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的は、請求項１の
発明によれば、基板に形成されている複数のインク配置
領域に対して、ヘッド部からインクを吐出し、着弾させ
るインク着弾手段と、このインク着弾手段で前記基板に
着弾されたインクを本乾燥するインク本乾燥手段と、を
有するフィルタ製造装置であって、前記インク本乾燥手
段で、このインク着弾手段により基板に着弾された前記
インクを本乾燥する前に、この基板の前記インクを予備
乾燥するインク予備乾燥手段が設けられ、且つ、このイ
ンク予備乾燥手段が、前記インク着弾手段の近傍に設け
られていることを特徴とするフィルタ製造装置により、
達成される。

【０００８】請求項１の構成によれば、前記インク本乾
燥手段で、このインク着弾手段により前記基板に着弾さ
れた前記インクを本乾燥する前に、この基板のインクを
予備乾燥するインク予備乾燥手段が設けられているの
で、前記基板に着弾された前記インクは本乾燥する前
に、予備乾燥される。また、この予備乾燥するインク予
備乾燥手段は、前記インク着弾手段の近傍に設けられて
いるので、前記インクが着弾された前記基板は、速やか
に予備乾燥されることになる。

【０００９】好ましくは、請求項２の発明によれば、請
求項１の構成において、前記インク予備乾燥手段が、ホ
ットプレートを有していることを特徴とするフィルタ製
造装置である。

【００１０】請求項２の構成によれば、前記インク予備
乾燥手段が、ホットプレートを有しているので、熱効率
が良く、周辺温度に影響され難いインク予備乾燥手段と
なる。また、前記インク予備乾燥手段が、ホットプレー
トを有しているので、前記基板を速やかに乾燥でき、且
つ、インク予備乾燥手段全体を小型化することができ
る。

【００１１】好ましくは、請求項３の発明によれば、請
求項２の構成において、前記ホットプレートが、多段に
配置されていることを特徴とするフィルタ製造装置であ
る。

【００１２】請求項３の構成によれば、前記ホットプレ
ートが、多段に配置されているので、多段のホットプレ
ートのそれぞれに前記基板を時間差を設けて配置するこ
とができる。そして、最初にホットプレートに載置した
前記基板のインクの予備乾燥中は、他のホットプレート
に載置すべき前記基板へのインクの着弾とホットプレー
トへの載置を行うことができる。そして、他のホットプ
レートへ前記基板をすべて載置し終えた際に、最初のホ
ットプレートの前記基板のインクの予備乾燥が終了する
ので製造ロスが少なくなり、効率良くフィルタを製造す
ることができる。

【００１３】好ましくは、請求項４の発明によれば、請
求項２又は請求項３の構成において、前記ホットプレー
トに対して風を送る送風部が設けられていることを特徴
とするフィルタ製造装置である。

【００１４】請求項４の構成によれば、前記ホットプレ
ートに対して風を送る送風部が設けられているので、ホ
ットプレート上の前記基板のインクを均一に予備乾燥す
ることができる。

【００１５】好ましくは、請求項５の発明によれば、請
求項４の構成において、前記送風部が温風を送風する温
風送風部であることを特徴とするフィルタ製造装置であ
る。

【００１６】請求項５の構成によれば、前記送風部が温
風を送風する温風送風部であるので、ホットプレート上
の前記基板のインクをより均一に予備乾燥することがで
きる。

【００１７】前記目的は、請求項６の発明によれば、基
板に形成されている複数のインク配置領域に対して、イ
ンク着弾手段がヘッド部からインクを吐出し、着弾させ
る工程と、このインク着弾手段の近傍に配置されている
インク予備乾燥手段で、前記基板に着弾した前記インク
を予備乾燥する工程と、この予備乾燥されたインクをイ
ンク本乾燥手段で本乾燥する工程と、を有することを特
徴とするフィルタ製造方法により、達成される。

【００１８】請求項６の構成によれば、前記インク着弾
手段の近傍に配置されているインク予備乾燥手段で、前
記基板に着弾したインクを予備乾燥する工程と、この予
備乾燥されたインクをインク本乾燥手段で本乾燥する工
程と、を有するので、前記基板に着弾された前記インク
は本乾燥する前に、予備乾燥されることになる。また、
この予備乾燥する前記インク予備乾燥手段は、前記イン
ク着弾手段の近傍に設けられているので、前記インクが
着弾された基板は、速やかに予備乾燥されることにな
る。

【００１９】好ましくは、請求項７の発明によれば、請
求項６の構成において、前記インク予備乾燥手段が、ホ
ットプレートを有し、前記基板をこのホットプレートに
載置し、このホットプレートにより前記基板のインクを
予備乾燥することを特徴とするフィルタ製造方法であ
る。

【００２０】請求項７の構成によれば、前記インク予備
乾燥手段が、ホットプレートを有し、前記基板をこのホ
ットプレートに載置し、このホットプレートにより前記
基板のインクを予備乾燥するので、前記インク予備乾燥
手段は、熱効率が良く、周辺温度に影響され難い。ま
た、前記インク予備乾燥手段が、このホットプレートに
より予備乾燥するので、前記基板を速やかに乾燥でき、
且つ、インク予備乾燥手段全体を小型化することができ
る。

【００２１】好ましくは、請求項８の発明によれば、請
求項７の構成において、前記ホットプレートが、多段に
配置され、これら多段のホットプレートの各々に対し、
順番に時間差を設けて、前記基板をそれぞれ配置し、最
後の基板を最後のホットプレートに載置した際は、最初
にホットプレートに載置した前記基板のインクの予備乾
燥が終了していることを特徴とするフィルタ製造方法で
ある。

【００２２】請求項８の構成によれば、前記多段のホッ
トプレートの各々に対し、順番に時間差を設けて、前記
基板をそれぞれ配置し、最後の基板を最後のホットプレ
ートに載置した際は、最初にホットプレートに載置した
前記基板のインクの予備乾燥が終了している。したがっ
て、製造ロスが少なくなり、効率良くフィルタを製造す
ることができる。

【００２３】好ましくは、請求項９の発明によれば、請
求項７又は請求項８の構成において、前記ホットプレー
トにより前記基板のインクを予備乾燥する際に、送風部
により前記ホットプレートに対して風が送られることを
特徴とするフィルタ製造方法である。

【００２４】請求項９の構成によれば、前記ホットプレ
ートにより前記基板のインクを予備乾燥する際に、送風
部により前記ホットプレートに対して風が送られるの
で、ホットプレート上の前記基板のインクを均一に予備
乾燥することができる。

【００２５】好ましくは、請求項１０の発明によれば、
請求項９の構成において、前記送風部から温風が送風さ
れることを特徴とするフィルタ製造方法である。

【００２６】請求項１０の構成によれば、前記送風部か
ら温風が送風されるので、ホットプレート上の前記基板
のインクをより均一に予備乾燥することができる。

【００２７】前記目的は、請求項１１の発明によれば、
基板に形成されている複数のインク配置領域に対して、
インク着弾手段がヘッド部からインクを吐出し、着弾さ
せ、このインク着弾手段の近傍に配置されているインク
予備乾燥手段で、前記基板に着弾した前記インクを予備
乾燥し、この予備乾燥されたインクをインク本乾燥手段
で本乾燥することで製造されるフィルタにより、達成さ
れる。

【００２８】請求項１１の構成によれば、前記インク着
弾手段の近傍に配置されているインク予備乾燥手段で、
前記基板に着弾したインクを予備乾燥し、この予備乾燥
されたインクをインク本乾燥手段で本乾燥するので、前
記基板に着弾された前記インクは本乾燥する前に、予備
乾燥されることになる。また、この予備乾燥する前記イ
ンク予備乾燥手段は、前記インク着弾手段の近傍に設け
られているので、前記インクが着弾された基板は、速や
かに予備乾燥されて製造されるフィルタである。

【００２９】好ましくは、請求項１２の発明によれば、
請求項１１の構成において、前記インク予備乾燥手段
が、ホットプレートを有し、前記基板をこのホットプレ
ートに載置し、このホットプレートにより前記基板のイ
ンクを予備乾燥することを特徴とするフィルタである。

【００３０】請求項１２の構成によれば、前記インク予
備乾燥手段が、ホットプレートを有し、前記基板をこの
ホットプレートに載置し、このホットプレートにより前
記基板のインクを予備乾燥するので、前記インク予備乾
燥手段は、熱効率が良く、周辺温度に影響され難い。ま
た、前記インク予備乾燥手段が、前記ホットプレートに
より予備乾燥するので、前記基板を速やかに乾燥でき、
且つ、インク予備乾燥手段全体を小型化して、製造され
るフィルタである。

【００３１】好ましくは、請求項１３の発明によれば、
請求項１２の構成において、前記ホットプレートが、多
段に配置され、これら多段のホットプレートの各々に対
し、順番に時間差を設けて、前記基板をそれぞれ配置
し、最後の基板を最後のホットプレートに載置した際
は、最初にホットプレートに載置した前記基板のインク
の予備乾燥が終了していることを特徴とするフィルタで
ある。

【００３２】請求項１３の構成によれば、前記多段のホ
ットプレートの各々に対し、順番に時間差を設けて、前
記基板をそれぞれ配置し、最後の基板を最後のホットプ
レートに載置した際は、最初にホットプレートに載置し
た前記基板のインクの予備乾燥が終了している。したが
って、製造ロスが少なくなり、効率良く製造できるフィ
ルタである。

【００３３】好ましくは、請求項１４の発明によれば、
請求項１２又は請求項１３の構成において、前記ホット
プレートにより前記基板のインクを予備乾燥する際に、
送風部により前記ホットプレートに対して風が送られる
ことを特徴とするフィルタである。

【００３４】請求項１４の構成によれば、前記ホットプ
レートにより前記基板のインクを予備乾燥する際に、送
風部により前記ホットプレートに対して風が送られるの
で、ホットプレート上の前記基板のインクを均一に予備
乾燥して製造できるフィルタである。

【００３５】好ましくは、請求項１５の発明によれば、
請求項１４の構成において、前記送風部から温風が送風
されることを特徴とするフィルタである。

【００３６】請求項１５の構成によれば、前記送風部か
ら温風が送風されるので、ホットプレート上の前記基板
のインクをより均一に予備乾燥して製造できるフィルタ
である。

【００３７】前記目的は、請求項１６の発明によれば、
基板に形成されている複数のインク配置領域に対して、
インク着弾手段がヘッド部からインクを吐出し、着弾さ
せ、このインク着弾手段の近傍に配置されているインク
予備乾燥手段で、前記基板に着弾した前記インクを予備
乾燥し、この予備乾燥されたインクをインク本乾燥手段
で本乾燥することで製造されるフィルタを用いた電子機
器により、達成される。

【００３８】請求項１６の構成によれば、前記インク着
弾手段の近傍に配置されているインク予備乾燥手段で、
前記基板に着弾したインクを予備乾燥し、この予備乾燥
されたインクをインク本乾燥手段で本乾燥するので、前
記基板に着弾された前記インクは本乾燥する前に、予備
乾燥されることになる。また、この予備乾燥する前記イ
ンク予備乾燥手段は、前記インク着弾手段の近傍に設け
られているので、前記インクが着弾された基板は、速や
かに予備乾燥されて製造されるフィルタを用いた電子機
器である。

【００３９】好ましくは、請求項１７の発明によれば、
請求項１６の構成において、前記インク予備乾燥手段
が、ホットプレートを有し、前記基板をこのホットプレ
ートに載置し、このホットプレートにより前記基板のイ
ンクを予備乾燥することを特徴とするフィルタを用いた
電子機器である。

【００４０】請求項１７の構成によれば、前記インク予
備乾燥手段が、ホットプレートを有し、前記基板をこの
ホットプレートに載置し、このホットプレートにより前
記基板のインクを予備乾燥するので、前記インク予備乾
燥手段は、熱効率が良く、周辺温度に影響され難い。ま
た、前記インク予備乾燥手段が、前記ホットプレートに
より予備乾燥するので、前記基板を速やかに乾燥でき、
且つ、インク予備乾燥手段全体を小型化して、製造され
るフィルタを用いた電子機器である。

【００４１】好ましくは、請求項１８の発明によれば、
請求項１７の構成において、前記ホットプレートが、多
段に配置され、これら多段のホットプレートの各々に対
し、順番に時間差を設けて、前記基板をそれぞれ配置
し、最後の基板を最後のホットプレートに載置した際
は、最初にホットプレートに載置した前記基板のインク
の予備乾燥が終了していることを特徴とするフィルタを
用いた電子機器である。

【００４２】請求項１８の構成によれば、前記多段のホ
ットプレートの各々に対し、順番に時間差を設けて、前
記基板をそれぞれ配置し、最後の基板を最後のホットプ
レートに載置した際は、最初にホットプレートに載置し
た前記基板のインクの予備乾燥が終了している。したが
って、製造ロスが少なくなり、効率良く製造できるフィ
ルタを用いた電子機器である。

【００４３】好ましくは、請求項１９の発明によれば、
請求項１７又は請求項１８の構成において、前記ホット
プレートにより前記基板のインクを予備乾燥する際に、
送風部により前記ホットプレートに対して風が送られる
ことを特徴とするフィルタを用いた電子機器である。

【００４４】請求項１９の構成によれば、前記ホットプ
レートにより前記基板のインクを予備乾燥する際に、送
風部により前記ホットプレートに対して風が送られるの
で、ホットプレート上の前記基板のインクを均一に予備
乾燥して製造できるフィルタを用いた電子機器である。

【００４５】好ましくは、請求項２０の発明によれば、
請求項１９の構成において、前記送風部から温風が送風
されることを特徴とするフィルタを用いた電子機器であ
る。

【００４６】請求項２０の構成によれば、前記送風部か
ら温風が送風されるので、ホットプレート上の前記基板
のインクをより均一に予備乾燥して製造できるフィルタ
を用いた電子機器である。

【００４７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面に基づいて説明する。図１は、本発明のフィルタ
製造装置の実施の形態であるカラーフィルタ製造装置１
００を示す概略平面図である。図２は、図１のカラーフ
ィルタ描画部１５０を除いたカラーフィルタ製造装置１
００の概略斜視図である。

【００４８】図１及び図２に示すようにカラーフィルタ
製造装置１００は、先ず、インクが着弾されていない基
板である例えばカラーフィルタ用基板を多数収納するこ
とができるカラーフィルタ用基板給材部１１０を有して
いる。そして、このカラーフィルタ用基板給材部１１０
の近傍には、このカラーフィルタ用基板給材部１１０に
収納されているカラーフィルタ用基板を一つずつ所定の
位置に配置するためのカラーフィルタ用基板位置決め部
１３０が配置されている。このカラーフィルタ用基板位
置決め部１３０は、図１及び図２に示すように位置決め
ベース部１３１を有しており、この位置決めベース部１
３１上には、レール部１３２が２本、設けられている。
このレール部１３２上を位置決め本体部１３３が移動可
能に配置されている。

【００４９】この位置決め本体部１３３は、カラーフィ
ルタ用基板給材部１１０の各カラーフィルタ用基板を一
つずつ所定位置に位置決めするようになっている。この
ようなカラーフィルタ用基板位置決め部１３０の近傍に
は、図１及び図２に示すように、搬送ロボット１４０が
配置されている。この搬送ロボット１４０は、図示する
ように２本のロボットアーム１４１を有しており、これ
ら２本のロボットアーム１４１で、カラーフィルタ用基
板を所定位置に搬送するようになっている。

【００５０】この搬送ロボット１４０の図１において左
側には、インク着弾手段であるカラーフィルタ用基板描
画部１５０が設けられている。このカラーフィルタ用基
板描画部１５０は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色
（Ｂ）のいずれかのインクをインクジェット方式で吐出
することができるインクジェットヘッドを有している。
このインクの吐出は、インクジェットヘッド内に配置さ
れた圧電素子に電圧を印加し、圧電素子が変形すること
によって吐出するようになっており、吐出量の制御は、
圧電素子に印加する電圧を変えることでおこなってい
る。

【００５１】このようなインクジェットヘッドでインク
を吐出させ、カラーフィルタ用基板に着弾させ、カラー
フィルタ用基板にインクを配置するようになっている。
すなわち、このカラーフィルタ用基板には、図１４に示
すようにマトリックス状のインク配置領域１１ａが多
数、形成されており、このインク配置領域１１ａは、図
１５に示すようにバンク１１が形成されている。そし
て、このインク配置領域１１ａ内にインクが着弾し、配
置されるようになっている。このようにインク配置領域
１１ａに、バンク１１が形成されているのは、着弾する
インクが液状であり、このバンク１１がないと周囲に広
がってしまうからである。

【００５２】以上のように構成されているカラーフィル
タ用基板描画部１５０の搬送ロボット１４０を介して反
対側（図１参照）には、インク予備乾燥手段であるイン
ク予備乾燥部１６０が配置されている。このインク予備
乾燥部１６０は、図２に示すように多段炉本体１６１
と、この多段炉本体１６１に温風を送る温風送風部であ
る温風送風機１６２を有している。図３及び図４は図１
のインク予備乾燥部１６０の構成を詳細に示した図であ
る。すなわち、図３は、温風送風機１６２を外し、多段
炉本体１６１内のホットプレート１６３の配置状態を示
した概略斜視図であり、図４は、図３の矢印Ｄ方向から
見た概略斜視図である。

【００５３】図３に示すように多段炉本体１６１には、
ホットプレート１６３が５段若しくは６段（図３におい
ては６段）配置されている。そして、これらホットプレ
ート１６３に、上記カラーフィルタ用基板を載置するこ
とができるように、多段炉本体１６１の前面（図３の手
前側）には、カラーフィルタ用基板挿入用開口１６１ａ
が形成されている。また、図４に示すように多段炉本体
１６１の上部には、温風送風機１６２が配置され、温風
を多段炉本体１６１のホットプレート１６３に対して送
るようになっている。

【００５４】さらに、図４に示すように多段炉本体１６
１のカラーフィルタ用基板挿入用開口１６１ａの反対側
には、排気ダクト１６４が例えば３個形成されている。
したがって、温風送風機１６２からホットプレート１６
３に送られれた温風が、排気ダクトから排気されること
になる。また、図３に示すように、多段に形成されてい
るホットプレート１６３の表面には、真空吸着用の真空
穴１６３ａが例えば１６個形成されている。したがっ
て、ホットプレート１６３上に、カラーフィルタ用基板
を載置した際、真空引きをすることで、カラーフィルタ
用基板を固定することができる。

【００５５】さらに、多段に配置されているホットプレ
ート１６３の周囲には、多段炉本体１６１の高さ方向に
駆動する上下駆動部１６５と、図３の多段炉本体１６１
の左右方向に駆動する左右駆動部１６６とが備えられて
いる。この上下駆動部１６５は、カラーフィルタ用基板
をホットプレート１６３上で保持するための爪部１６７
を、ホットプレート１６３に対して上下方向に移動させ
るようになっている。具体的には、この爪部１６７は、
図６及び図７に示すように各ホットプレート１６３毎に
配置され、これらの複数（例えば５個）の爪部１６７
は、爪部保持軸１６８によって保持されている。そし
て、この爪部保持部１６８には、図６に示すように上下
駆動シリンダ１６５ａが設けられている。

【００５６】すなわち、図８に示すように、この上下駆
動シリンダ１６５ａは、上下駆動リンク１６５ｂ、上下
用偏芯カム１６５ｃ及びカムフロア１６５ｄを介して爪
部保持軸１６８を図７の上下方向に移動するように構成
されている。一方、左右駆動部１６６は、図７に示すよ
うに左右駆動シリンダ１６６ａにより、図７の左右方向
（図の矢印方向）に動くようになっている。そして、こ
の左右駆動部１６６は、図５に示すように爪部１６７と
接続されているため、左右駆動部１６６によって爪部１
６７が、ホットプレート１６３に対して近接方向又は離
間方向に移動するように構成されている。

【００５７】以上のように、インク予備乾燥部１６０は
形成されているが、図１に示すように、このインク予備
乾燥部１６０には、カラーフィルタ用基板位置決め部１
３０を介してカラーフィルタ用基板除材部１２０が配置
されている。すなわち、インク予備乾燥部１６０で予備
乾燥が終了したカラーフィルタ用基板は、カラーフィル
タ用基板位置決め部１３０を介してカラーフィルタ用基
板除材部１２０に搬送される。また、本実施の形態に係
るカラーフィルタ製造装置１００は、このカラーフィル
タ用基板を本乾燥するためのインク本乾燥手段であるイ
ンク本乾燥部（図示せず）を有するため、予備乾燥が終
了したカラーフィルタ用基板は、カラーフィルタ用基板
除材部１２０からインク本乾燥部に搬送されることにな
る。

【００５８】本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ
製造装置１００は、以上のように構成されるが、以下、
その動作等について説明する。先ず、図１に示すカラー
フィルタ製造装置１００のカラーフィルタ用基板給材部
１１０に、所定数のインクが未配置のカラーフィルタ用
基板を配置する。このカラーフィルタ用基板は、図１４
に示すように多数のインク配置領域１１ａが形成され、
図１５に示すように、インク配置領域１１ａにはバンク
１１が形成されている。

【００５９】次に、カラーフィルタ用基板位置決め部１
２０の位置決め本体部１３３をレール部１３２に沿って
動かし、カラーフィルタ用基板給材部１１０の近傍に配
置する。そして、この位置決め本体部１３３上に、カラ
ーフィルタ用基板給材部１１０内の一つのカラーフィル
タ用基板を配置し、位置決めする。その後、この位置決
めされたカラーフィルタ用基板を搬送ロボット１４０の
ロボットアーム１４１で把持し、図１に示すカラーフィ
ルタ用基板描画部１５０内に配置する。このカラーフィ
ルタ用基板描画部１５０では、先ず、青色（Ｂ）のイン
クが図１４の所定のインク配置領域１１ａに対して吐出
される。これにより、所定のインク配置領域１１ａ内に
青色インクが着弾し、配置される。この青色インクの着
弾・配置は、例えば１分程度で終了する。

【００６０】次に、青色インクが配置されたカラーフィ
ルタ用基板が、再び図１に示すロボットアーム１４１に
把持されて、直ぐにインク予備乾燥部１６０内に収容さ
れ、予備乾燥される。したがって、インク着弾から、直
ぐに予備乾燥をするので、着弾し配置されたインクが自
然乾燥することがない。このため、インクの表面の平坦
度が低下することがなく、出来上がった画素の平坦度を
高くすることができる。そして、このようなカラーフィ
ルタ用基板を用いる製品の表示能力が高まることにな
る。

【００６１】ところで、以下に、この予備乾燥について
詳細に説明する。先ず、インク予備乾燥部１６０の多段
炉本体１６１の上下駆動シリンダ１６５ａを動かし、上
下駆動リンク１６５ｂ、上下偏心カム１６５ｃ及びカム
フロア１６５ｄを介して爪部保持部１６８を上方に移動
させる（図７及び図８参照）。この爪部保持部１６８を
上方に移動させることで、この爪部保持部１６８によっ
て保持されている爪部１６７も上方に移動する。すなわ
ち、爪部１６７がホットプレート１６３と離間方向に動
き、配置される状態とする。

【００６２】一方、青色インクを配置されたカラーフィ
ルタ用基板は、ロボットアーム１４１に把持された状態
で、図３に示すカラーフィルタ用基板挿入用開口１６１
ａのうち、最上段のホットプレート１６３の爪部１６７
の上方に配置される（図７においてＢ部とされている部
分）。次に、ロボットアーム１４１を下方に下げ、把持
しているカラーフィルタ用基板を最上段のホットプレー
ト１６３の爪部１６７の上に移載する。なお、このとき
爪部１６７を移動可能に保持している左右駆動部１６６
は、図７において中央部側に移動されており、爪部１６
７がカラーフィルタ用基板を載置できる位置となってい
る。したがって、ロボットアーム１４１が下方に移動す
ることで、上記青色インクを有するカラーフィルタ用基
板は、爪部１６７上に配置され、ロボットアーム１４１
は、インク予備乾燥部１６０から退去する。

【００６３】次にホットプレート１６３上の真空穴１６
３ａが機能するように真空装置（図示せず）を駆動させ
る。この状態で、図８に示す上下駆動部１６５を動作さ
せ、爪部１６３を下方に移動させ、青色インクを有する
カラーフィルタ用基板を最上段のホットプレート１６３
に近接若しくは接触させる。すると、ホットプレート１
６３の真空穴１６３ａにより、青色インクを有するカラ
ーフィルタ用基板が最上段のホットプレート１６３上に
しっかり固定される。このように真空穴１６３ａを用い
て真空吸着することで、予備乾燥のための加熱をした場
合でも、カラーフィルタ用基板の熱変形による位置ズレ
を未然に防止できることになる。

【００６４】ところで、最上段のホットプレート１６３
上に載置された青色インクを有するカラーフィルタ用基
板は、ホットプレート１６３により加熱されることにな
る。この加熱は、次に行われる本乾燥の前の予備加熱と
して行われるが、本乾燥前に予備乾燥することで、イン
クの表面の平坦度が向上することになる。また、ホット
プレート１６３により加熱することで、他の加熱手段で
あるベーク炉に比較してインク予備乾燥部１６０の装置
自体を小さくすることができる。さらに、ホットプレー
ト１６３にすることで多段に配置できるので、インクの
色毎に乾燥炉を設けることができ、インク乾燥特性の微
妙な違いに対応して均一な画素を形成することができ
る。

【００６５】そして、ホットプレート１６３で直接、カ
ラーフィルタ用基板を加熱できるので、先ず雰囲気中を
加熱するベーク炉に比べ熱効率を良くすることができ
る。さらに、ホットプレート１６３による加熱は、ベー
ク炉とは異なり周辺温度（外乱）の変化に強く、ベーク
炉より早く、所定温度まで加熱でき、準備時間が少ない
という利点がある。そのうえ、ベーク炉のように大きな
床面積が必要なベルト炉ではなく、上述のように、カラ
ーフィルタ用基板描画部１５０からロボットアーム１４
１で速やかにカラーフィルタ用基板をホットプレート１
６３へ搬送できるので、インクの着弾・配置からインク
の予備乾燥までの時間が早く、且つ均一化することがで
きる。

【００６６】ところで、最上段のホットプレート１６３
で加熱されている青色インクを有するカラーフィルタ用
基板に対しては、加熱と同時に温風送風機１６２から温
風が送られる。図９は、この温風が送られる状態を示す
概略説明図である。図９に示すようにホットプレート１
６３に載置されるカラーフィルタ用基板に対しては、そ
の表面を通過するように温風が供給され、この温風がカ
ラーフィルタ用基板上で滞留しないように図４に示すよ
うに多段炉本体１６１には、排気ダクト１６３が設けら
れている。

【００６７】したがって、図１４に示すカラーフィルタ
用基板の多数のインク配置領域１１ａのいずれについて
もインクの表面を均一にすることができる。すなわち、
通常、図１４に示すようなカラーフィルタ用基板を乾燥
させた場合、この基板の周辺に形成されているインク配
置領域１１ａ内のインクが早く乾燥し、中央部に近づく
ほど乾燥が遅くなる傾向にある。そして、早く乾燥した
インク配置領域１１ａのインクは図１０（ａ）に示すよ
うに、インクの中央部が盛り上がるように形成される。
また、逆に乾燥が遅いインク配置領域１１ａのインクは
中央部が凹状に形成される。

【００６８】これでは、インクの表面の平坦度が低くな
り、カラーフィルタの精度が著しく低下してしまう。そ
のため、本実施の形態では、温風送風機１６２で温風を
インク配置領域１１ａのインクの表面に送り、このよう
な表面の平坦度の低下を未然に防ぐようにしている。ま
た、排気ダクト１６４も設けてるため、インク配置領域
１１ａの表面の温風は滞留することがないので、表面の
平坦度をより良くすることができる。ところで、最上段
のホットプレート１６３に載置された青色インクを有す
るカラーフィルタ用基板は、予備乾燥のため加熱される
が、これは通常５分程度かかる。

【００６９】一方、カラーフィルタ用基板に対するイン
クの着弾・配置は、上述のように１分程度で終了する。
そこで、本実施の形態では、最上段のホットプレート１
６３上で、青色インクのカラーフィルタ用基板が予備乾
燥されている間、この乾燥を待つことなく、他のカラー
フィルタ用基板を図１のカラーフィルタ用基板給材部１
１０から出して、上述のように一分程度かけて、カラー
フィルタ用基板描画部１５０で青色インクを着弾・配置
させる。そして、このように青色インクを着弾・配置し
た他のカラーフィルタ用基板を図７の多段炉本体１６１
の上から第２段目のホットプレート１６３に配置する。

【００７０】このとき、上述のように図８に示す上下駆
動シリンダ１６５を動作させて、爪部保持軸１６８を上
方に移動させ、第２段目のホットプレート１６３の爪部
１６７を上方に動かす必要がある。しかし、爪部保持軸
１６８と各段のホットプレート１６３の各爪部１６７
は、すべて接続されているため、爪部保持軸１６８を上
方に移動させると、加熱・乾燥中の最上段のカラーフィ
ルタ用基板を載置している爪部１６７も上方に移動して
しまう。これでは、加熱・乾燥が不十分になってしまう
おそれがある。そこで、本実施の形態では、最上段のホ
ットプレート１６３の爪部１６７については、これを保
持する図７に示す左右駆動部１６６の左右駆動シリンダ
１６６ａを図に矢印の外側方向に動かし、爪部１６７と
加熱中のカラーフィルタ用基板との係合を外すようにし
ている。

【００７１】これにより、加熱中の最上段の爪部１６７
が爪部保持軸１６８によって上方に移動しても、ホット
プレート１６３上のカラーフィルタ用基板の加熱・乾燥
を邪魔することがない。同様に第３、第４、第５そして
第６段目（ホットプレート１６３を６段とした場合）に
ついて青色インクのカラーフィルタ用基板を載置する
と、丁度、第６段目にカラーフィルタ用基板を配置した
際に、最上段のカラーフィルタ用基板の予備乾燥（５分
程度）が終了することになる。したがって、最も効率良
く、多数のカラーフィルタ用基板の予備乾燥をすること
ができることになる。

【００７２】ところで、予備乾燥が終了した最上段のホ
ットプレート１６３上の青色インクを有するカラーフィ
ルタ用基板に対しては、先ず、多段炉本体１６１の左右
駆動部１６６が動作して、爪部１６７が前記カラーフィ
ルタ用基板を再び載置するようにする。また、同時に、
最上段のホットプレート１６３の真空穴１６３ａについ
てのみ真空装置の駆動が停止される。その後、多段炉本
体１６１の上下駆動部１６５が駆動して、上述のように
爪部１６７が上方に移動する。このとき、第２段目以降
のホットプレート１６３の爪部１６７については、左右
駆動部１６６が駆動して、既に加熱中のカラーフィルタ
用基板との係合が外れているため、第２段目以降のカラ
ーフィルタ用基板の加熱・乾燥を邪魔することがない。

【００７３】また、予備乾燥が終わった上記カラーフィ
ルタ用基板は、ホットプレート１６３から離されるの
で、上記カラーフィルタ用基板がホットプレート１６３
によってオーバーベークされるのを未然に防ぐことがで
きる。ところで、上述の最上段の予備乾燥が終わった青
色インクを有するカラーフィルタ用基板が、爪部１６７
で持ち上げられると、図１のロボットアーム１４１が再
び動作し、ロボットアーム１４１が図７のＣ部で示す部
分に挿入され、ロボットアーム１４１が上昇する。

【００７４】そして、爪部１６７上に載置されている上
記カラーフィルタ用基板をロボットアーム１４１上に移
載して、搬出する。搬出された予備乾燥が終わった青色
インクを有するカラーフィルタ用基板は、再び、カラー
フィルタ用基板描画部１５０内に搬送され、今度は緑色
（Ｇ）のインクを所定のパターンで着弾・配置される。
そして、ロボットアーム１４１で、再び多段炉本体１６
１に搬送され、予備乾燥される。緑色インクの予備乾燥
が終わったら、次に、赤色（Ｒ）インクの着弾・配置を
行い、予備乾燥を上述のように行う。青色（Ｂ）、緑色
（Ｇ）、赤色（Ｒ）の３色のインクの着弾・配置と予備
乾燥が終了すると、カラーフィルタ用基板は、ロボット
アーム１４１でカラーフィルタ用基板位置決め部１３０
を介してカラーフィルタ用基板除材部１２０に搬送され
る。

【００７５】このカラーフィルタ用基板除材部１２０か
らは、例えばベルト等の搬送路で本乾燥を行うインク本
乾燥部（図示せず）で本乾燥が行われる。その後、所定
の工程を経てカラーフィルタ用基板が完成する。このよ
うに本実施の形態にかかるカラーフィルタ製造装置１０
０でカラーフィルタ用基板を製造すれば、バンク１１内
のインクの表面（画素）の平坦度が優れ、且つ高品位・
高信頼性の表示能力を有するカラーフィルタ用基板を製
造することができる。なお、上述の実施の形態では、カ
ラーフィルタ用基板に青色、緑色そして赤色の順にイン
クを着弾・配置されたが、これに限らず、多段炉本体１
６１のホットプレート１６３について各別の温度設定等
を行い、カラーフィルタ用基板によって順番を変えるこ
ともできる。

【００７６】次に、上述したカラーフィルタ製造装置１
００で製造されるフィルタであるカラーフィルタ３００
を用いた電子機器である表示パネル２００について、以
下説明する。図１１は、このような表示パネル２００の
一構成例を示す概略断面図である。図１１に示すよう
に、表示パネル２００は、一方のガラス基板２１０（図
において下方側）上に透明基板としてＩＴＯ膜２２０を
形成し、その上に配向膜２３０が形成される。また、他
方のガラス基板２１０（図において上方側）に、カラー
フィルタ３００を介し、透明電極としてＩＴＯ膜２２０
を形成させ、その上に配向膜２３０を形成する。

【００７７】このカラーフィルタ３００は、図１１に示
すように、インク配置領域１１ａが複数個形成され、例
えば図において左側のインク配置領域１１ａには、上述
のように赤インクが配置されている。また、図において
中央のインク配置領域１１ａには緑インクが配置され、
右側のインク配置領域１１ａには、青インクが、それぞ
れ上述のように配置されている。このような、２枚のガ
ラス基板２１０を用いて、それぞれの配向膜２３０が対
向するようにして液晶を封入する。そして、張り合わさ
れたガラス基板２１０の外側に図示するように偏光板２
４０を配置する。

【００７８】このようにして製造された表示パネル２０
０に光を一方（上方又は下方）より照射すると、偏光板
２４０を通過する光がカラーフィルタ３００のバンク内
の赤インク、緑インク又は青インクを通過し、カラー表
示ができるようになっている。また、このとき液晶中を
通過する光の量は、透明電極であるＩＴＯ２２０間の電
圧調整により制御可能となっている。このように本実施
の形態にかかるカラーフィルタ３００を用いた表示パネ
ル２００は、図１０に示すインク配置領域１１ａ内のイ
ンクの表面（画素）の平坦度が優れているので、高品位
且つ高信頼性の表示能力を有する表示パネルとなる。

【００７９】次に、このような表示パネル２００を用い
た電子機器について説明する。図１２は、電子機器であ
る例えば携帯電話機４００を示す概略斜視図である。図
１２に示すように携帯電話機４００には、複数の操作ボ
タン４１０、受話口４２０、送話口４３０と上述の表示
パネル２００が配置されている。したがって、上述の表
示パネル２００を用いた携帯電話機４００は、高品位且
つ高信頼性の表示能力を有する表示パネル２００を有す
る携帯電話となる。なお、表示パネル２００を用いる電
子機器としては、この他にも、図１３（ａ）に示すノー
ト型パーソナルコンピュータ５００や、図１３（ｂ）に
示す液晶テレビがある。

【００８０】さらに、ビューファインダ型・モニタ直視
型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、
ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワーク
ステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ディジタルス
チルカメラ、タッチパネルを備えた機器等が挙げられ
る。そして、これらの各種の電子機器に対して上述の実
施の携帯にかかる液晶パネル２００が適用可能なのは勿
論である。さらに、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を
行うことができる。

【００８１】本発明のフィルタ製造方法は、例えば液晶
表示用のフィルタの製造に限定されるものではなく、例
えば、本発明をＥＬ（エレクトロルミネッセンス）の表
示素子の製造に適用することもできる。ＥＬ表示素子
は、蛍光性の無機及び有機化合物を含む薄膜を、陰極と
陽極とで挟んだ構成を有し、この薄膜に電子及び正孔
（ホール）を注入して再結合させることにより励起子
（エキシトン）を生成させ、このエキシトンが失活する
際の光の放出（蛍光・燐光）を利用して発光させる素子
である。

【００８２】こうしたＥＬ表示素子に用いられる蛍光性
材料のうち、赤、緑及び青色の発光色を呈する材料を、
本発明の製造方法を用いてＴＦＴ等の素子基板上にイン
クジェットパターニングすることで、自発光フルカラー
ＥＬ表示素子を製造することができる。本発明における
フィルタの範囲には、こうしたＥＬ表示素子の基板を含
むものである。そして、本発明のフィルタ製造方法を用
いて製造したＥＬ表示素子は、セグメント表示や全面同
時発光の静止画表示、例えば絵、文字、ラベル等といっ
たローインフォーメーション分野への応用、または、
点、線、面形状をもった光源としても使用することがで
きる。

【００８３】さらにパッシブ駆動の表示素子をはじめ、
ＴＦＴ素子等のアクティブ素子を駆動に用いることで、
高輝度で応答性に優れたフルカラー表示素子を得ること
が可能となる。また、上述の本実施の形態図のフィルタ
製造方法の描画ヘッドは、Ｒ，Ｇ，Ｂのうち１つの種類
のインクを吐出することができるようになっているが、
このうちの２種類あるいは３種類のインクを同時に吐出
することももちろんできる。そして、上記実施の形態の
構成は、その一部を省略したり、上述していない他の任
意の組み合わせに変更することができる。

【００８４】

【発明の効果】本発明によれば、画素の平坦度が優れて
おり、且つ高品位・高信頼性の表示能力を有するフィル
タを製造するフィルタ製造装置、フィルタ製造方法、こ
の方法により製造されたフィルタおよび、このフィルタ
を用いた電子機器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ製造
装置を示す概略平面図である。

【図２】図１のカラーフィルタ製造装置の一部を示す概
略斜視図である。

【図３】図１のインク予備乾燥部を示す概略斜視図であ
る。

【図４】図１のインク予備乾燥部を示す他の概略斜視図
である。

【図５】図１の多段炉本体等を示す概略斜視図である。

【図６】図５の概略右側面図である。

【図７】図５の概略正面図である。

【図８】図６の上下駆動部を示す拡大概略図である。

【図９】図１の多段炉本体等の動作等を示す説明図であ
る。

【図１０】（ａ）早く乾燥したインク配置領域内のイン
クの状態を示す説明図である。（ｂ）遅く乾燥したイン
ク配置領域内のインクの状態を示す説明図である。

【図１１】本実施の形態に係るカラーフィルタを用いた
液晶パネルを示す概略断面図である。

【図１２】図１１の液晶パネルを用いた携帯電話機を示
す概略斜視図である。

【図１３】（ａ）図１１の液晶パネルを用いたノート型
パーソナルコンピュータを示す概略斜視図である。
（ｂ）図１１の液晶パネルを用いた液晶テレビを示す概
略斜視図である。

【図１４】カラーフィルタ用基板のバンクの形成状態を
示す概略図である。

【図１５】図１４のＡ−Ａ’線概略断面図である。

【符号の説明】

１１・・・バンク １１ａ・・・インク配置領域 １００・・・カラーフィルタ製造装置 １１０・・・カラーフィルタ用基板給材部 １２０・・・カラーフィルタ用基板除材部 １３０・・・カラーフィルタ用基板位置決め部 １３１・・・位置決めベース部 １３２・・・レール部 １３３・・・位置決め本体部 １４０・・・搬送ロボット １４１・・・ロボットアーム １５０・・・カラーフィルタ用基板描画部 １６０・・・インク予備乾燥部 １６１・・・多段炉本体 １６１ａ・・・カラーフィルタ用基板挿入用開口 １６２・・・温風送風機 １６３・・・ホットプレート １６３ａ・・・真空穴 １６４・・・排気ダクト １６５・・・上下駆動部 １６５ａ・・・上下駆動シリンダ １６５ｂ・・・上下駆動リンク １６５ｃ・・・上下用偏心カム １６５ｄ・・・カムフロア １６６・・・左右駆動部 １６６ａ・・・左右駆動シリンダ １６７・・・爪部 １６８・・・爪部保持部 ２００・・・表示パネル ２１０・・・ガラス基板 ２２０・・・ＩＴＯ膜 ２３０・・・配向膜 ２４０・・・偏光板 ３００・・・カラーフィルタ ４００・・・携帯電話機 ４１０・・・操作ボタン ４２０・・・受話口 ４３０・・・送話口 ５００・・・ノート型パーソナルコンピュータ ６００・・・液晶テレビ

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に形成されている複数のインク配置
   領域に対して、ヘッド部からインクを吐出し、着弾させ
   るインク着弾手段と、 このインク着弾手段で前記基板に着弾されたインクを本
   乾燥するインク本乾燥手段と、を有するフィルタ製造装
   置であって、 前記インク本乾燥手段で、このインク着弾手段により前
   記基板に着弾された前記インクを本乾燥する前に、この
   基板の前記インクを予備乾燥するインク予備乾燥手段が
   設けられ、且つ、このインク予備乾燥手段が、前記イン
   ク着弾手段の近傍に設けられていることを特徴とするフ
   ィルタ製造装置。
2. 【請求項２】 前記インク予備乾燥手段が、ホットプレ
   ートを有していることを特徴とする請求項１に記載のフ
   ィルタ製造装置。
3. 【請求項３】 前記ホットプレートが、多段に配置され
   ていることを特徴とする請求項２に記載のフィルタ製造
   装置。
4. 【請求項４】 前記ホットプレートに対して風を送る送
   風部が設けられていることを特徴とする請求項２又は請
   求項３に記載のフィルタ製造装置。
5. 【請求項５】 前記送風部が温風を送風する温風送風部
   であることを特徴とする請求項４に記載のフィルタ製造
   装置。
6. 【請求項６】 基板に形成されている複数のインク配置
   領域に対して、インク着弾手段がヘッド部からインクを
   吐出し、着弾させる工程と、 このインク着弾手段の近傍に配置されているインク予備
   乾燥手段で、前記基板に着弾したインクを予備乾燥する
   工程とこの予備乾燥されたインクをインク本乾燥手段で
   本乾燥する工程と、を有することを特徴とするフィルタ
   製造方法。
7. 【請求項７】 前記インク予備乾燥手段が、ホットプレ
   ートを有し、前記基板をこのホットプレートに載置し、
   このホットプレートにより前記基板のインクを予備乾燥
   することを特徴とする請求項６に記載のフィルタ製造方
   法。
8. 【請求項８】 前記ホットプレートが、多段に配置さ
   れ、これら多段のホットプレートの各々に対し、順番に
   時間差を設けて、前記基板をそれぞれ配置し、最後の基
   板を最後のホットプレートに載置した際は、最初にホッ
   トプレートに載置した前記基板のインクの予備乾燥が終
   了していることを特徴とする請求項７に記載のフィルタ
   製造方法。
9. 【請求項９】 前記ホットプレートにより前記基板のイ
   ンクを予備乾燥する際に、送風部により前記ホットプレ
   ートに対して風が送られることを特徴とする請求項７又
   は請求項８に記載のフィルタ製造方法。
10. 【請求項１０】前記送風部から温風が送風されることを
    特徴とする請求項９に記載のフィルタ製造方法。
11. 【請求項１１】 基板に形成されている複数のインク配
    置領域に対して、インク着弾手段がヘッド部からインク
    を吐出し、着弾させ、 このインク着弾手段の近傍に配置されているインク予備
    乾燥手段で、前記基板に着弾したインクを予備乾燥し、 この予備乾燥されたインクをインク本乾燥手段で本乾燥
    することで製造されるフィルタ。
12. 【請求項１２】 前記インク予備乾燥手段が、ホットプ
    レートを有し、前記基板をホットプレートに載置し、こ
    のホットプレートにより前記基板のインクを予備乾燥す
    ることを特徴とする請求項１１に記載のフィルタ。
13. 【請求項１３】 前記ホットプレートが、多段に配置さ
    れ、これら多段のホットプレートの各々に対し、順番に
    時間差を設けて、前記基板をそれぞれ配置し、最後の基
    板を最後のホットプレートに載置した際は、最初にホッ
    トプレートに載置した前記基板のインクの予備乾燥が終
    了していることを特徴とする請求項１２に記載のフィル
    タ。
14. 【請求項１４】 前記ホットプレートにより前記基板の
    インクを予備乾燥する際に、送風部により前記ホットプ
    レートに対して風が送られることを特徴とする請求項１
    ２又は請求項１３に記載のフィルタ。
15. 【請求項１５】前記送風部から温風が送風されることを
    特徴とする請求項１４に記載のフィルタ。
16. 【請求項１６】 基板に形成されている複数のインク配
    置領域に対して、インク着弾手段がヘッド部からインク
    を吐出し、着弾させ、 このインク着弾手段の近傍に配置されているインク予備
    乾燥手段で、前記基板に着弾したインクを予備乾燥し、 この予備乾燥されたインクをインク本乾燥手段で本乾燥
    することで製造されるフィルタを用いた電子機器。
17. 【請求項１７】 前記インク予備乾燥手段が、ホットプ
    レートを有し、前記基板をホットプレートに載置し、こ
    のホットプレートにより前記基板のインクを予備乾燥す
    ることを特徴とする請求項１６に記載のフィルタを用い
    た電子機器。
18. 【請求項１８】 前記ホットプレートが、多段に配置さ
    れ、これら多段のホットプレートの各々に対し、順番に
    時間差を設けて、前記基板をそれぞれ配置し、最後の基
    板を最後のホットプレートに載置した際は、最初にホッ
    トプレートに載置した前記基板のインクの予備乾燥が終
    了していることを特徴とする請求項１７に記載のフィル
    タを用いた電子機器。
19. 【請求項１９】 前記ホットプレートにより前記基板の
    インクを予備乾燥する際に、送風部により前記ホットプ
    レートに対して風が送られることを特徴とする請求項１
    ７又は請求項１８に記載のフィルタを用いた電子機器。
20. 【請求項２０】前記送風部から温風が送風されることを
    特徴とする請求項１９に記載のフィルタを用いた電子機
    器。